JP2015147823A - Anisotropic conductive film and method for producing the same - Google Patents

Anisotropic conductive film and method for producing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2015147823A
JP2015147823A JP2014019860A JP2014019860A JP2015147823A JP 2015147823 A JP2015147823 A JP 2015147823A JP 2014019860 A JP2014019860 A JP 2014019860A JP 2014019860 A JP2014019860 A JP 2014019860A JP 2015147823 A JP2015147823 A JP 2015147823A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin layer
insulating resin
anisotropic conductive
conductive film
polymerization initiator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014019860A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6237288B2 (en
Inventor
怜司 塚尾
Satoshi Tsukao
怜司 塚尾
恭志 阿久津
Yasushi Akutsu
恭志 阿久津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Dexerials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2014019860A priority Critical patent/JP6237288B2/en
Application filed by Dexerials Corp filed Critical Dexerials Corp
Priority to CN201580007324.0A priority patent/CN105940564B/en
Priority to US15/115,813 priority patent/US11195813B2/en
Priority to TW104103837A priority patent/TWI722980B/en
Priority to KR1020167021102A priority patent/KR102450569B1/en
Priority to TW109140476A priority patent/TWI777304B/en
Priority to PCT/JP2015/053040 priority patent/WO2015119131A1/en
Publication of JP2015147823A publication Critical patent/JP2015147823A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6237288B2 publication Critical patent/JP6237288B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve good connection reliability, good insulation properties and good particle capture efficiency in an anisotropic conductive film which has a multilayer structure having conductive particles arranged in a single layer.SOLUTION: There is provided an anisotropic conductive film 1 obtained by laminating a first insulating resin layer 2, an intermediate insulating resin layer 4 and a second insulating resin layer 3 in order. The first insulating resin layer 2 is formed of a photopolymerizable resin, the intermediate insulating resin layer 4 is formed of a resin containing no polymerization initiator, the second insulating resin layer 3 is formed of a heat-cationic or heat-anionic polymerizable resin, a photo cationic or photo anionic polymerizable resin, a heat-radical polymerizable resin or a photo-radical polymerizable resin. Conductive particles 10 for anisotropic conductive connection are arranged in a single layer on the side surface of the second insulating resin layer 3 of the first insulating resin layer 2 and are in contact with the intermediate insulating resin layer 4.

Description

本発明は、異方性導電フィルム及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an anisotropic conductive film and a method for producing the same.

ICチップなどの電子部品の実装に異方性導電フィルムは広く使用されており、近年では、高実装密度への適用の観点から、接続信頼性や絶縁性の向上、導電粒子捕捉率の向上、製造コストの低減等を目的に、単層に配置された異方性導電接続用の導電粒子と2層構造の絶縁性樹脂層で形成された異方性導電フィルムが提案されている(特許文献1)。   Anisotropic conductive films are widely used for mounting electronic components such as IC chips, and in recent years, from the viewpoint of application to high mounting density, improved connection reliability and insulation, improved conductive particle capture rate, For the purpose of reducing manufacturing costs, an anisotropic conductive film formed of conductive particles for anisotropic conductive connection arranged in a single layer and an insulating resin layer having a two-layer structure has been proposed (Patent Document). 1).

この異方性導電フィルムは、粘着層に単層且つ密に導電粒子を配置し、その粘着層を2軸延伸処理することにより導電粒子が配列したシートを形成し、そのシート上の導電粒子を熱硬化性樹脂と潜在性硬化剤とを含有する絶縁性樹脂層に転写し、更に転写した導電粒子上に、熱硬化性樹脂を含有するが潜在性硬化剤を含有しない別の絶縁性樹脂層をラミネートすることにより製造される(特許文献1)。   In this anisotropic conductive film, conductive particles are arranged in a single layer and densely in an adhesive layer, and the adhesive layer is biaxially stretched to form a sheet in which conductive particles are arranged. Another insulating resin layer that contains a thermosetting resin but does not contain a latent curing agent on the conductive particles transferred to the insulating resin layer containing the thermosetting resin and the latent curing agent. (Patent Document 1).

特許第4789738号明細書Japanese Patent No. 4778938

しかしながら、特許文献1の異方性導電フィルムは、潜在性硬化剤を含有していない絶縁性樹脂層を使用しているために、異方性導電接続時の加熱により、潜在性硬化剤を含有していない絶縁性樹脂層に比較的大きな樹脂流れが生じ易く、その流れに沿って導電粒子も流れ易くなるため、2軸延伸により導電粒子を単層で均等な間隔に配列させたにもかかわらず、導電粒子捕捉率の低下、ショートの発生(絶縁性の低下)等の問題が生じる。   However, since the anisotropic conductive film of Patent Document 1 uses an insulating resin layer that does not contain a latent curing agent, it contains a latent curing agent by heating during anisotropic conductive connection. Since a relatively large resin flow easily occurs in the insulating resin layer that is not formed, and the conductive particles easily flow along the flow, the conductive particles are arranged at equal intervals in a single layer by biaxial stretching. However, problems such as a decrease in the capture rate of conductive particles and occurrence of short circuits (decrease in insulation) occur.

本発明の目的は、以上の従来の技術の問題点を解決することであり、単層に配置した導電粒子を有する多層構造の異方性導電フィルムにおいて、良好な導電粒子捕捉率、良好な接続信頼性及び良好な絶縁性を実現することである。   The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, in an anisotropic conductive film having a multilayer structure having conductive particles arranged in a single layer, good conductive particle capture rate, good connection It is to achieve reliability and good insulation.

本発明者は、光重合性樹脂層の片面に導電粒子を単層で配置し、紫外線を照射することにより光重合樹脂に導電粒子を固定化し、更に固定化した導電粒子の周囲に、導電粒子に加わる応力の緩和層として中間絶縁性樹脂層を設け、その上に、熱又は光により重合する重合性樹脂層が積層している異方性導電フィルムにより、上述の本発明の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   The present inventor arranges conductive particles as a single layer on one side of the photopolymerizable resin layer, immobilizes the conductive particles on the photopolymerization resin by irradiating ultraviolet rays, and further encloses the conductive particles around the immobilized conductive particles. The above-mentioned object of the present invention can be achieved by an anisotropic conductive film in which an intermediate insulating resin layer is provided as a stress relaxation layer and a polymerizable resin layer that is polymerized by heat or light is laminated thereon. As a result, the present invention has been completed.

即ち、本発明は、第1絶縁性樹脂層、中間絶縁性樹脂層及び第2絶縁性樹脂層が順次積層している異方性導電フィルムであって、
第1絶縁性樹脂層が、光重合樹脂で形成され、
第2絶縁性樹脂層が、熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成され、
中間絶縁性樹脂層が重合開始剤を含まない樹脂で形成され、
第1絶縁性樹脂層の第2絶縁性樹脂層側表面に、異方性導電接続用の導電粒子が単層で配置され、該導電粒子が中間絶縁性樹脂層と接している異方性導電フィルムを提供する。
That is, the present invention is an anisotropic conductive film in which a first insulating resin layer, an intermediate insulating resin layer, and a second insulating resin layer are sequentially laminated,
The first insulating resin layer is formed of a photopolymerization resin;
The second insulating resin layer is formed of a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin,
The intermediate insulating resin layer is formed of a resin not containing a polymerization initiator,
Conductive particles for anisotropic conductive connection are arranged as a single layer on the second insulating resin layer side surface of the first insulating resin layer, and the conductive particles are in contact with the intermediate insulating resin layer. Provide film.

なお、第2絶縁性樹脂層は、加熱により重合反応を開始する熱重合開始剤を使用した熱重合性樹脂層であることが好ましいが、光により重合反応を開始する光重合開始剤を使用した光重合性樹脂層であってもよい。熱重合開始剤と光重合開始剤とを併用した熱・光重合性樹脂層であってもよい。   The second insulating resin layer is preferably a thermopolymerizable resin layer using a thermal polymerization initiator that initiates a polymerization reaction by heating, but a photopolymerization initiator that initiates a polymerization reaction by light is used. It may be a photopolymerizable resin layer. A thermal / photopolymerizable resin layer in which a thermal polymerization initiator and a photopolymerization initiator are used in combination may be used.

また、本発明は、上述の異方性導電フィルムの製造方法であって、以下の工程(A)〜(D):
工程(A)
光重合性樹脂層に、導電粒子を単層で配置する工程;
工程(B)
導電粒子を配置した光重合性樹脂層に対して紫外線を照射することにより光重合反応させ、表面に導電粒子が固定化された第1絶縁性樹脂層を形成する工程;
工程(C)
熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成された第2絶縁性樹脂層を形成する工程;
工程(D)
重合開始剤を含まない樹脂で形成された中間絶縁性樹脂層を、第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に形成する工程;
を有し、
(i)工程(D)を工程(B)の後に行うことにより第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に中間絶縁性樹脂層を形成し、次いで該中間絶縁性樹脂層と工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層を積層するか、又は
(ii)工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層上に、重合開始剤を含まない樹脂で形成された中間絶縁性樹脂層を形成し、次いで該中間絶縁性樹脂層を、工程(B)で形成した第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に積層する製造方法を提供する。
Moreover, this invention is a manufacturing method of the above-mentioned anisotropic conductive film, Comprising: The following processes (A)-(D):
Process (A)
Arranging the conductive particles in a single layer on the photopolymerizable resin layer;
Process (B)
A step of causing a photopolymerization reaction by irradiating the photopolymerizable resin layer in which the conductive particles are arranged with ultraviolet rays to form a first insulating resin layer having the conductive particles fixed on the surface;
Process (C)
Forming a second insulating resin layer formed of a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin;
Process (D)
Forming an intermediate insulating resin layer formed of a resin not containing a polymerization initiator on the conductive particle side surface of the first insulating resin layer;
Have
(i) An intermediate insulating resin layer is formed on the conductive particle side surface of the first insulating resin layer by performing the step (D) after the step (B), and then the intermediate insulating resin layer and the step (C) Or laminating the second insulating resin layer formed in
(ii) On the second insulating resin layer formed in step (C), an intermediate insulating resin layer formed of a resin not containing a polymerization initiator is formed, and then the intermediate insulating resin layer is formed in the step ( The manufacturing method of laminating | stacking on the electrically-conductive particle side surface of the 1st insulating resin layer formed in B) is provided.

加えて、本発明は、上述の異方性導電フィルムで第1電子部品を第2電子部品に異方性導電接続した接続構造体を提供する。   In addition, the present invention provides a connection structure in which the first electronic component is anisotropically conductively connected to the second electronic component using the anisotropic conductive film described above.

本発明の異方性導電フィルムは、光重合性樹脂層を光重合させた第1絶縁性樹脂層と、重合開始剤を含まない樹脂で形成された中間絶縁性樹脂層、熱又は光で重合する第2絶縁性樹脂層が順次積層を有しており、更に、第1絶縁性樹脂層の第2絶縁性樹脂層側表面には、異方性導電接続用の導電粒子が単層で配置されている。このため、導電粒子を、光重合した第1絶縁性樹脂層よってしっかりと固定化できる。しかも、導電粒子の周囲には中間絶縁性樹脂層が設けられており、この中間絶縁性樹脂層が、異方性導電フィルムの巻き取り時、巻出時、搬送時、異方性導電接続工程でのフィルムの引き出し時等に導電粒子に加わる応力を緩和する。したがって、本発明の異方性導電フィルムは、良好な導電粒子捕捉率、導通信頼性、及び低いショート発生率を実現することができる。   The anisotropic conductive film of the present invention includes a first insulating resin layer obtained by photopolymerization of a photopolymerizable resin layer, an intermediate insulating resin layer formed of a resin not containing a polymerization initiator, and polymerized by heat or light. The second insulating resin layers are sequentially laminated, and further, conductive particles for anisotropic conductive connection are arranged in a single layer on the surface of the first insulating resin layer on the second insulating resin layer side. Has been. Therefore, the conductive particles can be firmly fixed by the photopolymerized first insulating resin layer. Moreover, an intermediate insulating resin layer is provided around the conductive particles, and this intermediate insulating resin layer is used when the anisotropic conductive film is wound, unwound, transported, and anisotropic conductive connection step. The stress applied to the conductive particles is eased when the film is pulled out. Therefore, the anisotropic conductive film of the present invention can achieve a good conductive particle capture rate, conduction reliability, and a low short-circuit occurrence rate.

特に、第1絶縁性樹脂層を形成するにあたり、光重合性樹脂に紫外線を導電粒子側から照射すると、導電粒子の下方(裏側)の光重合性樹脂は、導電粒子の影になるために紫外線が十分に照射されなくなる。そのため、導電粒子の影になった光重合樹脂は、影にならなかった光重合樹脂に対して相対的に硬化率が低くなり、異方性導電接続時に導電粒子が良好に押し込まれ、より一層、良好な導通信頼性、絶縁性を実現することができる。   In particular, when forming the first insulating resin layer, if the photopolymerizable resin is irradiated with ultraviolet rays from the conductive particle side, the photopolymerizable resin below the conductive particles (back side) becomes a shadow of the conductive particles, and thus the ultraviolet rays are exposed. Will not be sufficiently irradiated. Therefore, the photopolymerization resin shaded by the conductive particles has a lower curing rate than the photopolymerization resin not shaded, and the conductive particles are pushed better during anisotropic conductive connection. Good conduction reliability and insulation can be realized.

一方、第1絶縁性樹脂層を形成するにあたり、光重合性樹脂に導電粒子の反対側、ないしは両面側から紫外線を照射すると導電粒子の固定化が促進され、異方性導電フィルムの製造ラインで安定な品質を確保することができる。また、異方性導電フィルムの製造後のリールへの巻き取りや、異方導電接続時におけるフィルムのリールからの引き出し工程で異方性導電フィルムに不要な外部応力がかかっても、異方性導電接続前の導電粒子の配列に外部応力の影響が及びにくくなる。   On the other hand, in forming the first insulating resin layer, when the photopolymerizable resin is irradiated with ultraviolet rays from the opposite side or both sides of the conductive particles, the fixing of the conductive particles is promoted, and in the production line of the anisotropic conductive film, Stable quality can be ensured. In addition, even if an anisotropic conductive film is subjected to unnecessary external stress during winding of the anisotropic conductive film onto a reel or drawing the film from the reel during anisotropic conductive connection, The influence of external stress is less likely to affect the arrangement of the conductive particles before the conductive connection.

なお、本発明の異方性導電フィルムにおいて、第2絶縁性樹脂層が熱で反応する重合性樹脂で形成されている場合、それを用いた電子部品の異方性導電接続は、通常の異方性導電フィルムを用いる接続方法と同様に行うことができる。
一方、本発明の異方性導電フィルムにおいて、第2絶縁性樹脂層が光で反応する重合性樹脂で形成されている場合、それを用いた第1電子部品と第2電子部品の異方性導電接続は、接続ツールによる押し込みを、光反応が終了するまでに行えばよい。この場合においても、接続ツール等は樹脂流動や粒子の押し込みを促進するため加熱してもよい。また、第2絶縁性樹脂層において、熱で反応する重合性樹脂と光で反応する重合性樹脂が併用されている場合も、上記と同様に光反応が終了するまでに接続ツールによる押し込みを行い、かつ加熱を行えばよい。
In the anisotropic conductive film of the present invention, when the second insulating resin layer is formed of a polymerizable resin that reacts with heat, the anisotropic conductive connection of an electronic component using the second insulating resin layer is different from a normal one. It can carry out similarly to the connection method using an anisotropic conductive film.
On the other hand, in the anisotropic conductive film of the present invention, when the second insulating resin layer is formed of a polymerizable resin that reacts with light, the anisotropy of the first electronic component and the second electronic component using the same is used. The conductive connection may be pushed by the connection tool until the photoreaction is finished. In this case as well, the connection tool or the like may be heated to promote resin flow or particle pushing. In addition, in the second insulating resin layer, when a polymerizable resin that reacts with heat and a polymerizable resin that reacts with light are used in combination, the connection tool is pushed in until the photoreaction is completed as described above. And heating may be performed.

また、第1電子部品と第2電子部品を、光反応を利用して異方性導電接続する場合は、透光性を有する電子部品側から光照射すればよい   In addition, when the first electronic component and the second electronic component are anisotropically conductively connected using a photoreaction, light irradiation may be performed from the electronic component side having translucency.

図1Aは、本発明の異方性導電フィルムの断面図である。FIG. 1A is a cross-sectional view of the anisotropic conductive film of the present invention. 図1Bは、本発明の異方性導電フィルムの変形態様の断面図である。FIG. 1B is a cross-sectional view of a modified embodiment of the anisotropic conductive film of the present invention. 図1Cは、本発明の異方性導電フィルムの変形態様の断面図である。FIG. 1C is a cross-sectional view of a modified embodiment of the anisotropic conductive film of the present invention. 図2は、本発明の異方性導電フィルムの製造方法における工程(A)の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of the step (A) in the method for producing an anisotropic conductive film of the present invention. 図3Aは、本発明の異方性導電フィルムの製造方法における工程(B)の説明図である。FIG. 3A is an explanatory diagram of the step (B) in the method for producing an anisotropic conductive film of the present invention. 図3Bは、本発明の異方性導電フィルムの製造方法における工程(B)の説明図である。FIG. 3B is an explanatory diagram of a step (B) in the method for producing an anisotropic conductive film of the present invention. 図4は、本発明の異方性導電フィルムの製造方法における工程(C)の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of step (C) in the method for producing an anisotropic conductive film of the present invention. 図5は、本発明の異方性導電フィルムの製造方法において工程(D)を方法(i)で行った場合の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram when step (D) is performed by method (i) in the method for producing an anisotropic conductive film of the present invention. 図6は、方法(i)で行った工程(D)の後工程の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a subsequent process of the process (D) performed by the method (i). 図7は、方法(i)で行った工程(D)の後工程で得られた異方性導電フィルムの断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the anisotropic conductive film obtained in the subsequent step of the step (D) performed by the method (i). 図8は、本発明の異方性導電フィルムの製造において工程(D)を方法(ii)で行った場合の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram when the step (D) is performed by the method (ii) in the production of the anisotropic conductive film of the present invention. 図9は、方法(ii)で行った工程(D)の後工程の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of the subsequent step of the step (D) performed by the method (ii). 図10は、方法(ii)で行った工程(D)の後工程で得られた異方性導電フィルムの断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the anisotropic conductive film obtained in the subsequent step of the step (D) performed by the method (ii).

以下、本発明の異方性導電フィルムの一例を図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は、同一又は同等の構成要素を表わしている。
<<異方性導電フィルム>>
Hereinafter, an example of the anisotropic conductive film of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol represents the same or equivalent component.
<< anisotropic conductive film >>

図1Aは、本発明の一実施例の異方性導電フィルム1の断面図である。この異方性導電フィルム1では、第1絶縁性樹脂層2、中間絶縁性樹脂層4及び第2絶縁性樹脂層3が順次積層され、異方性導電接続用の導電粒子10が、第1絶縁性樹脂層2の第2絶縁性樹脂層3側の表面2aに単層で、中間絶縁性樹脂層4の少なくとも第1絶縁性樹脂層2側の面を貫くように配置され、該中間絶縁性樹脂層4と接している。   FIG. 1A is a cross-sectional view of an anisotropic conductive film 1 according to an embodiment of the present invention. In this anisotropic conductive film 1, the first insulating resin layer 2, the intermediate insulating resin layer 4 and the second insulating resin layer 3 are sequentially laminated, and the conductive particles 10 for anisotropic conductive connection are the first A single layer is provided on the surface 2a of the insulating resin layer 2 on the second insulating resin layer 3 side so as to penetrate at least the surface of the intermediate insulating resin layer 4 on the first insulating resin layer 2 side. In contact with the conductive resin layer 4.

<第1絶縁性樹脂層2>
本発明の異方性導電フィルム1を構成する第1絶縁性樹脂層2は、光重合樹脂で形成されている。より具体的には、例えば、アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤とを含む光ラジカル重合性樹脂層を光ラジカル重合させたもので形成されている。第1絶縁性樹脂層2が光重合していることにより、導電粒子10を適度に固定化できる。即ち、異方性導電接続時に異方性導電フィルム1が加熱されても第1絶縁性樹脂層2は流れ難いので、樹脂流れにより導電粒子10が不用に流されてショートが発生することを大きく抑制することができる。
<First insulating resin layer 2>
The 1st insulating resin layer 2 which comprises the anisotropic conductive film 1 of this invention is formed with the photopolymerization resin. More specifically, for example, it is formed by photo radical polymerization of a photo radical polymerizable resin layer containing an acrylate compound and a photo radical polymerization initiator. Since the first insulating resin layer 2 is photopolymerized, the conductive particles 10 can be appropriately fixed. That is, even if the anisotropic conductive film 1 is heated at the time of anisotropic conductive connection, the first insulating resin layer 2 is difficult to flow. Therefore, it is greatly caused that the conductive particles 10 are unnecessarily flown by the resin flow and short circuit occurs. Can be suppressed.

特に、本実施例の異方性導電フィルム1では、第1絶縁性樹脂層2において、導電性粒子10が第2絶縁性樹脂層3側に存在する領域2X(即ち、導電粒子10と第1絶縁性樹脂層2の外側表面2bとの間に位置する領域)の硬化率が、導電粒子10が第2絶縁性樹脂層3側に存在しない領域2Yの硬化率に比して低いことが異方性導電接続の上では好ましい。第1絶縁性樹脂層2の領域2Xには、光硬化が進行していないアクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤が残存していてもよい。異方性導電フィルム1がこのような領域2Xを有することにより、異方性導電接続時に領域2Xの絶縁性樹脂が排除されやすくなるので、導電粒子10が第1絶縁性樹脂層2の平面方向には移動しにくいが、厚み方向には良好に押し込まれるようになる。従って、導電粒子捕捉率を向上させ、さらに接続信頼性も向上させ、ショートの発生率を低下させることができる。
ここで、硬化率はビニル基の減少比率と定義される数値であり、第1絶縁性樹脂層の領域2Xの硬化率は好ましくは40〜80%であり、領域2Yの硬化率は好ましくは70〜100%である。
In particular, in the anisotropic conductive film 1 of the present example, in the first insulating resin layer 2, the region 2X in which the conductive particles 10 exist on the second insulating resin layer 3 side (that is, the conductive particles 10 and the first conductive film 10). The curing rate of the region between the insulating resin layer 2 and the outer surface 2b is lower than the curing rate of the region 2Y where the conductive particles 10 do not exist on the second insulating resin layer 3 side. It is preferable on the isotropic conductive connection. In the region 2X of the first insulating resin layer 2, the acrylate compound and the photo radical polymerization initiator that have not been photocured may remain. Since the anisotropic conductive film 1 has such a region 2X, the insulating resin in the region 2X can be easily removed at the time of anisotropic conductive connection, so that the conductive particles 10 are in the plane direction of the first insulating resin layer 2. Although it is difficult to move, it is pushed in well in the thickness direction. Therefore, it is possible to improve the conductive particle capture rate, further improve connection reliability, and reduce the occurrence rate of short circuits.
Here, the curing rate is a numerical value defined as a vinyl group reduction ratio, the curing rate of the region 2X of the first insulating resin layer is preferably 40 to 80%, and the curing rate of the region 2Y is preferably 70. ~ 100%.

一方、第1接続層部分2Xと2Yに硬化率の差が実質的にないことは、異方性導電フィルムの製品品質を安定させる上では好ましい。即ち、異方性導電フィルムの製造工程において、導電粒子の固定化が促進されると、安定な品質を確保することができる。また、異方性導電フィルムは、一般的に長尺に製造され、リールに巻き取られ、異方性導電接続に使用するときにはリールから引き出されるので、リールへの巻き始めから巻き終わりまで、導電粒子にかかる圧力を均質化させることにより、導電粒子の配列の乱れを防止することができる。   On the other hand, it is preferable that there is substantially no difference in curing rate between the first connection layer portions 2X and 2Y in order to stabilize the product quality of the anisotropic conductive film. That is, when the fixing of the conductive particles is promoted in the manufacturing process of the anisotropic conductive film, stable quality can be ensured. In addition, since the anisotropic conductive film is generally manufactured in a long length, wound on a reel, and drawn out from the reel when used for anisotropic conductive connection, the conductive film is conductive from the beginning of winding to the end of winding. By homogenizing the pressure applied to the particles, disorder of the arrangement of the conductive particles can be prevented.

(アクリレート化合物)
アクリレート単位となるアクリレート化合物としては、従来公知の光重合性アクリレートを使用することができる。例えば、単官能(メタ)アクリレート(ここで、(メタ)アクリレートにはアクリレートとメタクリレートとが包含される)、二官能以上の多官能(メタ)アクリレートを使用することができる。本発明においては、異方性導電接続時に絶縁性樹脂層を熱硬化できるように、アクリル系モノマーの少なくとも一部に多官能(メタ)アクリレートを使用することが好ましい。
(Acrylate compound)
A conventionally well-known photopolymerizable acrylate can be used as an acrylate compound used as an acrylate unit. For example, monofunctional (meth) acrylate (here, (meth) acrylate includes acrylate and methacrylate), and bifunctional or more polyfunctional (meth) acrylate can be used. In the present invention, it is preferable to use polyfunctional (meth) acrylate as at least a part of the acrylic monomer so that the insulating resin layer can be thermally cured at the time of anisotropic conductive connection.

第1絶縁性樹脂層2におけるアクリレート化合物の含有量は、少なすぎると異方性導電接続時に第1絶縁性樹脂層2と第2絶縁性樹脂層3との粘度差を付けにくくなる傾向があり、多すぎると硬化収縮が大きく作業性が低下する傾向があるので、好ましくは2〜70質量%、より好ましくは10〜50質量%である。   If the content of the acrylate compound in the first insulating resin layer 2 is too small, the viscosity difference between the first insulating resin layer 2 and the second insulating resin layer 3 tends to be difficult to attach at the time of anisotropic conductive connection. If the amount is too large, curing shrinkage tends to be large and workability tends to decrease.

(重合開始剤)
第1絶縁性樹脂層の形成に使用する光重合開始剤としては、公知の光重合開始剤の中から適宜選択して使用することができる。例えば、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンジルケタール系光重合開始剤、リン系光重合開始剤等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。
また、光重合開始剤に加えて、熱ラジカル重合開始剤を使用してもよい。熱ラジカル重合開始剤としては、例えば、有機過酸化物やアゾ系化合物等をあげる事ができる。特に、気泡の原因となる窒素を発生しない有機過酸化物を好ましく使用することができる。
(Polymerization initiator)
The photopolymerization initiator used for forming the first insulating resin layer can be appropriately selected from known photopolymerization initiators. Examples thereof include photo radical polymerization initiators such as acetophenone photopolymerization initiators, benzyl ketal photopolymerization initiators, and phosphorus photopolymerization initiators.
In addition to the photopolymerization initiator, a thermal radical polymerization initiator may be used. Examples of the thermal radical polymerization initiator include organic peroxides and azo compounds. In particular, an organic peroxide that does not generate nitrogen that causes bubbles can be preferably used.

光重合開始剤の使用量は、アクリレート化合物100質量部に対し、少なすぎると光重合が十分に進行せず、多すぎると剛性低下の原因となるので、好ましくは0.1〜25質量部、より好ましくは0.5〜15質量部である。   If the amount of the photopolymerization initiator used is too small relative to 100 parts by weight of the acrylate compound, the photopolymerization will not proceed sufficiently, and if it is too much, it will cause a reduction in rigidity. More preferably, it is 0.5-15 mass parts.

(その他の樹脂と重合開始剤)
第1絶縁性樹脂層2には、必要に応じて、エポキシ化合物と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合開始剤又は光カチオン若しくは光アニオン重合開始剤を含有させてもよい。これにより、層間剥離強度を向上させることができる。エポキシ化合物と共に使用する重合開始剤については、第2絶縁性樹脂層3で説明する。第1絶縁性樹脂層2には、必要に応じて、更にフェノキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂などの膜形成樹脂を併用することができる。
(Other resins and polymerization initiators)
The first insulating resin layer 2 may contain an epoxy compound and a thermal cation or a thermal anion polymerization initiator or a photo cation or a photoanion polymerization initiator, if necessary. Thereby, delamination strength can be improved. The polymerization initiator used together with the epoxy compound will be described in the second insulating resin layer 3. If necessary, the first insulating resin layer 2 is further used in combination with a film forming resin such as a phenoxy resin, an unsaturated polyester resin, a saturated polyester resin, a urethane resin, a butadiene resin, a polyimide resin, a polyamide resin, or a polyolefin resin. be able to.

第1絶縁性樹脂層2の層厚は、薄すぎると導電粒子捕捉率が低下する傾向があり、厚すぎると導通抵抗が高くなる傾向があるので、好ましくは1.0〜6.0μm、より好ましくは2.0〜5.0μmである。   If the layer thickness of the first insulating resin layer 2 is too thin, the conductive particle trapping rate tends to decrease, and if it is too thick, the conduction resistance tends to increase, so that the thickness is preferably 1.0 to 6.0 μm. Preferably it is 2.0-5.0 micrometers.

第1絶縁性樹脂層2の形成は、光重合性樹脂と光重合開始剤とを含有する光重合性樹脂層に、フィルム転写法、金型転写法、インクジェット法、静電付着法等の手法により導電粒子を単層に付着させ、紫外線を照射することにより行うことができる。この場合、紫外線照射は、導電粒子側から照射することが好ましいが、導電粒子と反対側から照射してもよい。特に、紫外線を導電粒子側からのみ照射することが、第1絶縁性樹脂層の領域2Xの硬化率を、領域2Yの硬化率に対して相対的に低く抑制することができる点から好ましい。   The first insulating resin layer 2 is formed on a photopolymerizable resin layer containing a photopolymerizable resin and a photopolymerization initiator by a film transfer method, a mold transfer method, an ink jet method, an electrostatic adhesion method, or the like. Can be carried out by attaching conductive particles to a single layer and irradiating with ultraviolet rays. In this case, the ultraviolet irradiation is preferably performed from the conductive particle side, but may be performed from the side opposite to the conductive particle. In particular, it is preferable to irradiate ultraviolet rays only from the side of the conductive particles because the curing rate of the region 2X of the first insulating resin layer can be suppressed relatively low with respect to the curing rate of the region 2Y.

光重合後の第1絶縁性樹脂層2の最低溶融粘度は、第2絶縁性樹脂層3の最低溶融粘度よりも高いことが好ましく、具体的にはレオメータで測定した[第1絶縁性樹脂層2の最低溶融粘度(mPa・s)]/[第2絶縁性樹脂層3の最低溶融粘度(mPa・s)]の数値が、好ましくは1〜1000、より好ましくは4〜400である。なお、それぞれの好ましい最低溶融粘度は、第1絶縁性樹脂層2については100〜100000mPa・s、より好ましくは500〜50000mPa・sである。第2絶縁性樹脂層3については好ましくは0.1〜10000mPa・s、より好ましくは0.5〜1000mPa・sである。   The minimum melt viscosity of the first insulating resin layer 2 after the photopolymerization is preferably higher than the minimum melt viscosity of the second insulating resin layer 3, and specifically measured by a rheometer [first insulating resin layer The minimum melt viscosity of 2 (mPa · s)] / [minimum melt viscosity (mPa · s) of the second insulating resin layer 3] is preferably 1 to 1000, more preferably 4 to 400. In addition, each preferable minimum melt viscosity is 100-100000 mPa * s about the 1st insulating resin layer 2, More preferably, it is 500-50000 mPa * s. About the 2nd insulating resin layer 3, Preferably it is 0.1-10000 mPa * s, More preferably, it is 0.5-1000 mPa * s.

<導電粒子>
導電粒子10としては、従来公知の異方性導電フィルムに用いられているものの中から適宜選択して使用することができる。例えばニッケル、コバルト、銀、銅、金、パラジウムなどの金属粒子、金属被覆樹脂粒子などが挙げられる。2種以上を併用することもできる。
<Conductive particles>
The conductive particles 10 can be appropriately selected from those used in conventionally known anisotropic conductive films. For example, metal particles such as nickel, cobalt, silver, copper, gold, and palladium, metal-coated resin particles, and the like can be given. Two or more kinds can be used in combination.

導電粒子の平均粒径としては、小さすぎると配線の高さのばらつきを吸収できず抵抗が高くなる傾向があり、大きすぎてもショートの原因となる傾向があるので、好ましくは1〜10μm、より好ましくは2〜6μmである。   The average particle size of the conductive particles is too small to absorb the variation in the height of the wiring and tends to increase the resistance, and if it is too large, it tends to cause a short circuit, preferably 1 to 10 μm, More preferably, it is 2-6 micrometers.

このような導電粒子の第1絶縁性樹脂層2中の粒子量は、少なすぎると粒子捕捉数が低下して異方性導電接続が難しくなり、多すぎるとショートすることが懸念されるので、好ましくは1平方mm当たり50〜50000個、より好ましくは200〜30000個である。   Since the amount of particles in the first insulating resin layer 2 of such conductive particles is too small, the number of trapped particles decreases and anisotropic conductive connection becomes difficult. The number is preferably 50 to 50000 per square mm, more preferably 200 to 30000.

第1の絶縁性樹脂層2の厚み方向における導電粒子10の位置は、図1Aに示すように、第1の絶縁性樹脂層2内に埋没せずに中間絶縁性樹脂層4を貫通し、第2絶縁性樹脂層3に食い込んでいることが好ましい。即ち、この場合は導電粒子10が、第1の絶縁性樹脂層2と第2絶縁性樹脂層3にまたがるようになる。導電粒子10が中間絶縁性樹脂層4を貫通していることにより、異方性導電接続時の導電粒子10の変形を均一にし、不要な粒子ズレを防止することができる。   As shown in FIG. 1A, the position of the conductive particles 10 in the thickness direction of the first insulating resin layer 2 penetrates the intermediate insulating resin layer 4 without being embedded in the first insulating resin layer 2, It is preferable to bite into the second insulating resin layer 3. That is, in this case, the conductive particles 10 straddle the first insulating resin layer 2 and the second insulating resin layer 3. Since the conductive particles 10 penetrate the intermediate insulating resin layer 4, the deformation of the conductive particles 10 during anisotropic conductive connection can be made uniform, and unnecessary particle deviation can be prevented.

また、図1Aに示すように、導電粒子10が中間絶縁性樹脂層4を貫通して第2絶縁性樹脂層3に食い込んでいる場合、中間絶縁性樹脂層4及び第2絶縁性樹脂層への食い込みの程度(即ち、第1絶縁性樹脂層2から突出している程度)は、導電粒子捕捉率と導通抵抗のバランスから、好ましくは導電粒子10の平均粒子径の10〜90%、より好ましくは20〜80%である。   As shown in FIG. 1A, when the conductive particles 10 penetrate the intermediate insulating resin layer 4 and bite into the second insulating resin layer 3, the intermediate insulating resin layer 4 and the second insulating resin layer are moved to. The degree of biting (that is, the degree of protrusion from the first insulating resin layer 2) is preferably 10 to 90% of the average particle diameter of the conductive particles 10, more preferably from the balance of the conductive particle capture rate and the conductive resistance. Is 20-80%.

一方、導電粒子10の、第1絶縁性樹脂層2から突出している部分は、中間絶縁性樹脂層4で覆われていてもよく、例えば、図1Bに示すように、導電粒子10が中間絶縁性樹脂層4を貫通せずに、第1絶縁性樹脂層2と中間絶縁性樹脂層4にまたがっていてもよい。このように中間絶縁性樹脂層4が導電粒子10の上部を覆っていても、異方性導電接続の押し込みにおいて、導電粒子10の変形は阻害されにくい。この場合、導電粒子10の第1絶縁性樹脂層2側に突出している部分は、該導電粒子の粒子径の20%以下、より好ましくは10%以下が好ましい。   On the other hand, the portion of the conductive particles 10 protruding from the first insulating resin layer 2 may be covered with the intermediate insulating resin layer 4. For example, as shown in FIG. The first insulating resin layer 2 and the intermediate insulating resin layer 4 may be straddled without penetrating the conductive resin layer 4. As described above, even if the intermediate insulating resin layer 4 covers the upper part of the conductive particles 10, the deformation of the conductive particles 10 is difficult to be inhibited in pushing in the anisotropic conductive connection. In this case, the portion of the conductive particles 10 protruding to the first insulating resin layer 2 side is preferably 20% or less, more preferably 10% or less of the particle diameter of the conductive particles.

また、導電粒子10の、第1絶縁性樹脂層2から突出している部分が、中間絶縁性樹脂層4で覆われている態様としては、図1Cに示すように、第1絶縁性樹脂層2から突出している導電粒子10が、導電粒子径よりも薄い厚みの中間絶縁性樹脂層4により、導電粒子10の隆起に沿って覆われていてもよい。図1Cの態様では、導電粒子10の形状に追随して中間絶縁性樹脂層4が設けられているため、異方性導電接続の押し込みにおける導電粒子10の変形阻害をより精緻に制御できる。   Moreover, as a mode in which the portion of the conductive particle 10 protruding from the first insulating resin layer 2 is covered with the intermediate insulating resin layer 4, as shown in FIG. 1C, the first insulating resin layer 2 The conductive particles 10 protruding from the conductive particles 10 may be covered along the ridges of the conductive particles 10 by the intermediate insulating resin layer 4 having a thickness smaller than the diameter of the conductive particles. In the embodiment of FIG. 1C, since the intermediate insulating resin layer 4 is provided following the shape of the conductive particles 10, the deformation inhibition of the conductive particles 10 in pushing in the anisotropic conductive connection can be controlled more precisely.

これに対し、導電粒子10が第1絶縁性樹脂層2に埋没していると、電子部品を異方性導電接続する際に、導電粒子10の変形が阻害されて押し込みが不均一になる懸念が生じるため好ましくない。   On the other hand, when the conductive particles 10 are buried in the first insulating resin layer 2, there is a concern that the deformation of the conductive particles 10 is hindered and the indentation becomes uneven when the electronic component is anisotropically conductively connected. Is not preferable.

<中間絶縁性樹脂層4>
中間絶縁性樹脂層4は、異方性導電フィルム1の巻き取り時、巻出時、搬送時、異方性導電接続工程の引き出し時等に導電粒子に加わる応力を緩和する層として設けられている。中間絶縁性樹脂層4が導電粒子10の周囲に設けられ、導電粒子10に蓄積された応力が緩和されていると、異方性導電接続時に、樹脂流動や導電粒子10の圧縮で生じる導電粒子の接続平面方向の位置ズレを抑制することができる。したがって、本発明の異方性導電フィルム1は、良好な導電粒子捕捉率、導通信頼性、低いショート発生率を実現することができる。
<Intermediate insulating resin layer 4>
The intermediate insulating resin layer 4 is provided as a layer that relieves stress applied to the conductive particles when the anisotropic conductive film 1 is wound, unwound, transported, pulled out in the anisotropic conductive connection step, and the like. Yes. When the intermediate insulating resin layer 4 is provided around the conductive particles 10 and the stress accumulated in the conductive particles 10 is relaxed, the conductive particles generated by resin flow or compression of the conductive particles 10 during anisotropic conductive connection The positional deviation in the connection plane direction can be suppressed. Therefore, the anisotropic conductive film 1 of the present invention can realize a good conductive particle capture rate, conduction reliability, and a low short-circuit occurrence rate.

中間絶縁性樹脂層4の厚みは、導電粒子10の粒子径の好ましくは1.2倍以下、より好ましくは1倍以下、更により好ましくは0.7倍以下である。この範囲にあると、異方性導電接続における導電粒子10の押し込みにおいて、変形の不均一化や、バンプ端部において導電粒子の捕捉が困難になるなどの品質安定性上の問題が起こりにくい。また、長尺の異方性導電フィルムをリールなどに巻き取る場合に、導電粒子にかかる圧力を均質化させ、導電粒子の配列の乱れを予防することができる。なお、製造条件をより容易にするため、中間絶縁性樹脂層4は導電粒子10と略同一の厚みであってもよい。   The thickness of the intermediate insulating resin layer 4 is preferably 1.2 times or less, more preferably 1 time or less, and even more preferably 0.7 times or less the particle diameter of the conductive particles 10. If it is in this range, problems in quality stability such as non-uniform deformation and difficulty in capturing the conductive particles at the bump ends are less likely to occur when the conductive particles 10 are pushed in the anisotropic conductive connection. In addition, when a long anisotropic conductive film is wound on a reel or the like, the pressure applied to the conductive particles can be homogenized, and disorder of the arrangement of the conductive particles can be prevented. In order to make the manufacturing conditions easier, the intermediate insulating resin layer 4 may have substantially the same thickness as the conductive particles 10.

異方性導電接続時の導電粒子にかかる応力を吸収しやすくするため、中間絶縁性樹脂層4は重合開始剤を含有しない樹脂から形成する。中間絶縁性樹脂層4を形成する樹脂としては、他の層の樹脂成分と同程度の弾性率であることが好ましく、重合性樹脂であってもよい。例えば、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂等を使用することができる。   In order to easily absorb the stress applied to the conductive particles during the anisotropic conductive connection, the intermediate insulating resin layer 4 is formed from a resin that does not contain a polymerization initiator. The resin forming the intermediate insulating resin layer 4 preferably has an elastic modulus comparable to that of the resin component of the other layers, and may be a polymerizable resin. For example, phenoxy resin, epoxy resin, polyolefin resin, polyurethane resin, acrylic resin, or the like can be used.

また、中間絶縁性樹脂層4には、異方性導電接続時の不用な導電粒子の流れを効果的に抑制するため、シリカ等のフィラーを含有させることが好ましい。中間絶縁性樹脂層4におけるフィラーの含有量は、0.5〜20質量%とすることが好ましい。   The intermediate insulating resin layer 4 preferably contains a filler such as silica in order to effectively suppress the flow of unnecessary conductive particles during anisotropic conductive connection. The filler content in the intermediate insulating resin layer 4 is preferably 0.5 to 20% by mass.

<第2絶縁性樹脂層3>
第2絶縁性樹脂層3は、熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成される。より具体的には、エポキシ化合物と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合開始剤又は光カチオン若しくは光アニオン重合開始剤とを含有する、熱又は光により重合する重合性樹脂層、又はアクリレート化合物と、熱ラジカル又は光ラジカル重合開始剤とを含有する熱又は光によりラジカル重合する重合性樹脂層からなるものである。
(エポキシ化合物)
第2絶縁性樹脂層3を形成するエポキシ化合物としては、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する化合物もしくは樹脂が好ましく挙げられる。これらは液状であっても、固体状であってもよい。
<Second insulating resin layer 3>
The second insulating resin layer 3 is formed of a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin. More specifically, it contains an epoxy compound, a thermal cation or thermal anion polymerization initiator or a photo cation or photoanion polymerization initiator, a polymerizable resin layer that polymerizes by heat or light, or an acrylate compound, and a thermal radical. Alternatively, it comprises a polymerizable resin layer that undergoes radical polymerization by heat or light containing a photo radical polymerization initiator.
(Epoxy compound)
As an epoxy compound which forms the 2nd insulating resin layer 3, the compound or resin which has a 2 or more epoxy group in a molecule | numerator is mentioned preferably. These may be liquid or solid.

(熱カチオン重合開始剤)
第2絶縁性樹脂層3を形成する熱カチオン重合開始剤としては、エポキシ化合物の熱カチオン重合開始剤として公知のものを採用することができ、例えば、熱により酸を発生するヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、フェロセン類等を用いることができ、特に、温度に対して良好な潜在性を示す芳香族スルホニウム塩を好ましく使用することができる。
(Thermal cationic polymerization initiator)
As the thermal cationic polymerization initiator for forming the second insulating resin layer 3, known thermal cationic polymerization initiators for epoxy compounds can be employed. For example, iodonium salts and sulfonium salts that generate an acid by heat , Phosphonium salts, ferrocenes and the like can be used, and in particular, an aromatic sulfonium salt showing a good potential with respect to temperature can be preferably used.

熱カチオン重合開始剤の配合量は、少なすぎても硬化不良となる傾向があり、多すぎても製品ライフが低下する傾向があるので、エポキシ化合物100質量部に対し、好ましくは2〜60質量部、より好ましくは5〜40質量部である。   If the amount of the thermal cationic polymerization initiator is too small, curing tends to be poor, and if it is too much, product life tends to decrease. Therefore, it is preferably 2 to 60 masses per 100 mass parts of the epoxy compound. Part, more preferably 5 to 40 parts by weight.

(熱アニオン重合開始剤)
第2絶縁性樹脂層3を形成する熱アニオン重合開始剤としては、エポキシ化合物の熱アニオン重合開始剤として公知のものを採用することができ、例えば、熱により塩基を発生する脂肪族アミン系化合物、芳香族アミン系化合物、二級又は三級アミン系化合物、イミダゾール系化合物、ポリメルカプタン系化合物、三フッ化ホウ素−アミン錯体、ジシアンジアミド、有機酸ヒドラジッド等を用いることができ、特に温度に対して良好な潜在性を示すカプセル化イミダゾール系化合物を好ましく使用することができる。
(Thermal anionic polymerization initiator)
As the thermal anion polymerization initiator for forming the second insulating resin layer 3, known thermal anion polymerization initiators for epoxy compounds can be employed, for example, aliphatic amine compounds that generate a base by heat. , Aromatic amine compounds, secondary or tertiary amine compounds, imidazole compounds, polymercaptan compounds, boron trifluoride-amine complexes, dicyandiamide, organic acid hydrazides, etc. An encapsulated imidazole compound showing good potential can be preferably used.

熱アニオン重合開始剤の配合量は、少なすぎても硬化不良となる傾向があり、多すぎても製品ライフが低下する傾向があるので、エポキシ化合物100質量部に対し、好ましくは2〜60質量部、より好ましくは5〜40質量部である。   If the amount of the thermal anionic polymerization initiator is too small, it tends to be poorly cured, and if it is too much, the product life tends to decrease. Therefore, it is preferably 2 to 60 masses per 100 mass parts of the epoxy compound. Part, more preferably 5 to 40 parts by weight.

(光カチオン重合開始剤及び光アニオン重合開始剤)
エポキシ化合物用の光カチオン重合開始剤又は光アニオン重合開始剤としては、公知のものを適宜使用することができる。
(Photocationic polymerization initiator and photoanionic polymerization initiator)
A well-known thing can be used suitably as a photocationic polymerization initiator or photoanion polymerization initiator for epoxy compounds.

(アクリレート化合物)
第2絶縁性樹脂層3を形成するアクリレート化合物は、第1絶縁性樹脂層2に関して説明したアクリレート化合物の中から適宜選択して使用することができる。
(Acrylate compound)
The acrylate compound that forms the second insulating resin layer 3 can be used by appropriately selecting from the acrylate compounds described for the first insulating resin layer 2.

(熱ラジカル重合開始剤)
また、第2絶縁性樹脂層3にアクリレート化合物を含有させる場合に、アクリレート化合物と共に使用する熱ラジカル重合開始剤としては、第1絶縁性樹脂層2に関して説明した熱ラジカル重合開始剤の中から適宜選択して使用することができる。
(Thermal radical polymerization initiator)
In addition, when the acrylate compound is contained in the second insulating resin layer 3, the thermal radical polymerization initiator used together with the acrylate compound is appropriately selected from the thermal radical polymerization initiators described for the first insulating resin layer 2. You can select and use.

熱ラジカル重合開始剤の使用量は、少なすぎると硬化不良となり、多すぎると製品ライフの低下となるので、アクリレート化合物100質量部に対し、好ましくは2〜60質量部、より好ましくは5〜40質量部である。   If the amount of the thermal radical polymerization initiator used is too small, curing will be poor, and if it is too large, the product life will be reduced. Therefore, the amount is preferably 2 to 60 parts by weight, more preferably 5 to 40 parts per 100 parts by weight of the acrylate compound. Part by mass.

(光ラジカル重合開始剤)
アクリレート化合物用の光ラジカル重合開始剤としては、公知の光ラジカル重合開始剤を使用することができる。
(Photo radical polymerization initiator)
As a radical photopolymerization initiator for the acrylate compound, a known radical photopolymerization initiator can be used.

光ラジカル重合開始剤の使用量は、少なすぎると硬化不良となり、多すぎると製品ライフの低下となるので、アクリレート化合物100質量部に対し、好ましくは2〜60質量部、より好ましくは5〜40質量部である。   If the amount of the radical photopolymerization initiator used is too small, curing will be poor, and if it is too large, the product life will be reduced. Part by mass.

(第2絶縁性樹脂層3の層厚)
第2絶縁性樹脂層3の層厚は、異方性導電接続時の導電粒子捕捉性の点から、好ましくは3〜20μm、より好ましくは5〜15μmである。
(Layer thickness of the second insulating resin layer 3)
The layer thickness of the second insulating resin layer 3 is preferably 3 to 20 μm, more preferably 5 to 15 μm, from the viewpoint of capturing conductive particles during anisotropic conductive connection.

<<異方性導電フィルムの製造方法>>
本発明の異方性導電フィルムは、次の工程(A)〜(D)を行い、製造することができる。
<< Method for Manufacturing Anisotropic Conductive Film >>
The anisotropic conductive film of the present invention can be produced by performing the following steps (A) to (D).

(工程(A))
図2に示すように、必要に応じて剥離フィルム30上に形成した光重合性樹脂層20に、導電粒子10を単層で配置する。導電粒子10を単層で光重合性樹脂層20に配置する方法としては、特に制限はなく、特許第4789738号の実施例1の導電粒子を粘着剤で固定した樹脂フィルムの2軸延伸操作を利用する方法や、特開2010−33793号公報の金型を使用する方法等を採用することができる。なお、導電粒子10の配置としては、縦横に所定間隔で配列させることが好ましい。また、接続対象のサイズ、導通信頼性、絶縁性、導電粒子捕捉率等を考慮し、2次元的な最近接粒子間距離を1〜100μm程度とすることが好ましい。
(Process (A))
As shown in FIG. 2, the conductive particles 10 are arranged in a single layer on the photopolymerizable resin layer 20 formed on the release film 30 as necessary. There is no restriction | limiting in particular as a method of arrange | positioning the electrically-conductive particle 10 in the photopolymerizable resin layer 20 with a single layer, Biaxial stretching operation of the resin film which fixed the electrically-conductive particle of Example 1 of the patent 478938 with the adhesive was carried out. The method of using, the method of using the metal mold | die of Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-33793, etc. are employable. The conductive particles 10 are preferably arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions. In consideration of the size of the connection target, conduction reliability, insulation, conductive particle capture rate, etc., the two-dimensional closest interparticle distance is preferably about 1 to 100 μm.

(工程(B))
次に、導電粒子10が配列した光重合性樹脂層20に対して紫外線(UV)を照射することにより光重合反応させ、表面に導電粒子10が固定化された第1絶縁性樹脂層2を形成する。この場合、好ましくは図3Aに示すように、導電粒子10側から紫外線(UV)を照射する。これにより、図3Bに示すように、第1絶縁性樹脂層2において、導電性粒子10が第2絶縁性樹脂層3側に存在する領域2X(第1絶縁性樹脂層2の剥離フィルム30側表面2bと導電粒子10との間に位置する領域)の第1絶縁性樹脂層の硬化率を、導電粒子10が第2絶縁性樹脂層3側に存在しない領域2Yの硬化率よりも低くすることができる。したがって異方導電接続時の導電粒子10の押し込みが容易になり、且つ導電粒子10の接続平面方向の流動を抑制することもできる。
(Process (B))
Next, the photopolymerizable resin layer 20 in which the conductive particles 10 are arranged is subjected to a photopolymerization reaction by irradiating with ultraviolet rays (UV), and the first insulating resin layer 2 having the conductive particles 10 fixed on the surface thereof is formed. Form. In this case, preferably, as shown in FIG. 3A, ultraviolet rays (UV) are irradiated from the conductive particle 10 side. As a result, as shown in FIG. 3B, in the first insulating resin layer 2, the region 2 </ b> X where the conductive particles 10 exist on the second insulating resin layer 3 side (the release film 30 side of the first insulating resin layer 2). The curing rate of the first insulating resin layer in the region located between the surface 2b and the conductive particles 10 is made lower than the curing rate of the region 2Y where the conductive particles 10 do not exist on the second insulating resin layer 3 side. be able to. Therefore, it becomes easy to push in the conductive particles 10 at the time of anisotropic conductive connection, and the flow of the conductive particles 10 in the connection plane direction can be suppressed.

(工程(C))
一方、図4に示すように剥離フィルム31上に、熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成された第2絶縁性樹脂層3を常法により形成する。
(Process (C))
On the other hand, as shown in FIG. 4, the second film formed on the release film 31 with a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin. The insulating resin layer 3 is formed by a conventional method.

(工程(D))
工程(B)で導電粒子10を固定した第1絶縁性樹脂層2の、導電粒子10側表面に中間絶縁性樹脂層4を形成する。
この工程(D)は次の(i)又は(ii)の方法で行うことができる。
(Process (D))
The intermediate insulating resin layer 4 is formed on the conductive particle 10 side surface of the first insulating resin layer 2 to which the conductive particles 10 are fixed in the step (B).
This step (D) can be carried out by the following method (i) or (ii).

方法(i)
図5に示すように、工程(B)で導電粒子10を固定した第1絶縁性樹脂層2の、導電粒子10側表面に中間絶縁性樹脂層4を形成する。より具体的には、重合開始剤を含まず、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹枝、アクリル樹脂から選ばれる少なくとも一種の樹脂を含有し、好ましくはシリカ等のフィラーを含有する中間絶縁性樹脂層形成用塗液を第1絶縁性樹脂層2の導電粒子10側表面に塗布又は噴霧し、中間絶縁性樹脂層4を形成する。
その後、図6に示すように、中間絶縁性樹脂層4と工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層3を対向させ、図7に示すように熱圧着する。この場合、熱圧着により過大な熱重合が生じないようにする。そして剥離フィルム30、31を取り除くことにより図1Aの異方性導電フィルム1を得ることができる。
Method (i)
As shown in FIG. 5, the intermediate insulating resin layer 4 is formed on the surface of the first insulating resin layer 2 to which the conductive particles 10 are fixed in the step (B) on the conductive particle 10 side. More specifically, it contains at least one resin selected from a phenoxy resin, an epoxy resin, a polyolefin resin, a polyurethane resin, and an acrylic resin, preferably containing a filler such as silica. The intermediate insulating resin layer 4 is formed by applying or spraying the coating liquid for forming the resin layer on the surface of the first insulating resin layer 2 on the conductive particle 10 side.
Thereafter, as shown in FIG. 6, the intermediate insulating resin layer 4 and the second insulating resin layer 3 formed in the step (C) are opposed to each other, and thermocompression bonding is performed as shown in FIG. In this case, excessive thermal polymerization is not caused by thermocompression bonding. Then, the anisotropic conductive film 1 of FIG. 1A can be obtained by removing the release films 30 and 31.

方法(ii)
工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層3の表面に、(i)と同様の中間絶縁性樹脂層形成用塗液を塗布又は噴霧することにより、図8に示すように、第2絶縁性樹脂層3上に中間絶縁性樹脂層4を形成する。次いで、図9に示すように、中間絶縁性樹脂層4と、工程(B)で形成した第1絶縁性樹脂層2上の導電粒子10とを対向させ、図10に示すように熱圧着する。なお、図10では、導電粒子10が中間絶縁性樹脂層4を貫通していない態様を示した。剥離フィルム30、31を取り除くことにより図1Cに示した異方性導電フィルム1を得ることができる。
Method (ii)
As shown in FIG. 8, the second insulating resin layer 3 formed in the step (C) is coated or sprayed with the same coating liquid for forming an intermediate insulating resin layer as that shown in FIG. An intermediate insulating resin layer 4 is formed on the insulating resin layer 3. Next, as shown in FIG. 9, the intermediate insulating resin layer 4 and the conductive particles 10 on the first insulating resin layer 2 formed in the step (B) are opposed to each other and thermocompression bonded as shown in FIG. . In FIG. 10, the conductive particles 10 do not penetrate the intermediate insulating resin layer 4. By removing the release films 30 and 31, the anisotropic conductive film 1 shown in FIG. 1C can be obtained.

<<接続構造体>>
本発明の異方性導電フィルム1は、ICチップ、ICモジュールなどの第1電子部品と、フレキシブル基板、ガラス基板などの第2電子部品とを異方性導電接続する際に好ましく適用することができる。このようにして得られる接続構造体も本発明の一部である。なお、異方性導電フィルムの第1絶縁性樹脂層2側をフレキシブル基板等の第2電子部品側に配し、第2絶縁性樹脂層3側をICチップなどの第1電子部品側に配することが、接続信頼性を高める点から好ましい。
<< Connection structure >>
The anisotropic conductive film 1 of the present invention is preferably applied when anisotropically conductively connecting a first electronic component such as an IC chip or IC module and a second electronic component such as a flexible substrate or a glass substrate. it can. The connection structure thus obtained is also part of the present invention. The first insulating resin layer 2 side of the anisotropic conductive film is arranged on the second electronic component side such as a flexible substrate, and the second insulating resin layer 3 side is arranged on the first electronic component side such as an IC chip. It is preferable to increase the connection reliability.

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples.

実施例1〜10、比較例1
特許第4789738号の実施例1の操作に準じて導電粒子が単層に配列しており、表1に示す配合(質量部)に従って形成した第1絶縁性樹脂層と第2絶縁性樹脂層を有する比較例1の異方性導電フィルム、さらに中間絶縁性樹脂層を有し、導電粒子が図1Aに示すように中間絶縁性樹脂層を突き抜けている実施例1〜10の異方性導電フィルムを作製した。
Examples 1 to 10, Comparative Example 1
Conductive particles are arranged in a single layer according to the operation of Example 1 of Japanese Patent No. 4778938, and a first insulating resin layer and a second insulating resin layer formed according to the composition (parts by mass) shown in Table 1 The anisotropic conductive film of Comparative Example 1 further having an intermediate insulating resin layer, and the conductive particles penetrated through the intermediate insulating resin layer as shown in FIG. 1A. Was made.

具体的には、まず、アクリレート化合物及び光ラジカル重合開始剤等を酢酸エチル又はトルエンにて固形分が50質量%となるように混合液を調製した。この混合液を、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに、乾燥厚が3μmとなるように塗布し、80℃のオーブン中で5分間乾燥することにより、第1絶縁性樹脂層の前駆層である光ラジカル重合性樹脂層を形成した。   Specifically, first, a mixed solution of an acrylate compound, a radical photopolymerization initiator, and the like was prepared using ethyl acetate or toluene so that the solid content was 50% by mass. This mixed liquid is applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm so as to have a dry thickness of 3 μm, and is dried in an oven at 80 ° C. for 5 minutes, whereby light that is a precursor layer of the first insulating resin layer A radical polymerizable resin layer was formed.

次に、得られた光ラジカル重合性樹脂層の表面に、平均粒子径4μmの導電粒子(Ni/Auメッキ樹脂粒子、AUL704、積水化学工業(株))を、導電粒子間の最近接距離を4μmとなるように単層に格子状に配列させた。更に、この導電粒子側から光ラジカル重合性樹脂層に対し、波長365nm、積算光量4000mJ/cmの紫外線を照射することにより、表面に導電粒子が固定された第1絶縁性樹脂層を形成した。
一方、表1に示した配合で中間絶縁性樹脂層用塗料を調製し、これを導電粒子が固定されている第1絶縁性樹脂層に塗布することにより、中間絶縁性樹脂層を形成した(実施例1〜10)。なお、比較例1では、中間絶縁性樹脂層の形成を省略した。
Next, conductive particles (Ni / Au plated resin particles, AUL704, Sekisui Chemical Co., Ltd.) having an average particle diameter of 4 μm are placed on the surface of the obtained radical photopolymerizable resin layer, and the closest distance between the conductive particles is set. The single layer was arranged in a lattice shape so as to be 4 μm. Further, by irradiating the radical photopolymerizable resin layer from the conductive particle side with ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm and an integrated light amount of 4000 mJ / cm 2 , a first insulating resin layer having conductive particles fixed on the surface was formed. .
On the other hand, an intermediate insulating resin layer coating was prepared with the formulation shown in Table 1, and this was applied to the first insulating resin layer to which the conductive particles were fixed, thereby forming an intermediate insulating resin layer ( Examples 1 to 10). In Comparative Example 1, the formation of the intermediate insulating resin layer was omitted.

また、第2絶縁性樹脂層を形成するために、熱硬化性樹脂及び重合開始剤等を酢酸エチル又はトルエンにて固形分が50質量%となるように混合液を調製した。この混合液を、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに、乾燥厚が12μmとなるように塗布し、80℃のオーブン中で5分間乾燥することにより、第2絶縁性樹脂層を形成した。   Moreover, in order to form a 2nd insulating resin layer, the liquid mixture was prepared so that thermosetting resin, the polymerization initiator, etc. might become solid content 50 mass% with ethyl acetate or toluene. This mixed solution was applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm so as to have a dry thickness of 12 μm, and dried in an oven at 80 ° C. for 5 minutes to form a second insulating resin layer.

このようにして得られた、導電粒子が固定されている第1絶縁性樹脂層と、第2絶縁性樹脂層とを、導電粒子が内側となるようにラミネートすることにより実施例1〜10及び比較例1の異方性導電フィルムを得た。   The first insulating resin layer to which the conductive particles are fixed and the second insulating resin layer obtained in this way are laminated so that the conductive particles are on the inner side, and Examples 1 to 10 and An anisotropic conductive film of Comparative Example 1 was obtained.

実施例11
光ラジカル重合型樹脂層への紫外線照射を、導電粒子側と、導電粒子と反対側から、積算光量2000mJ/cmずつ行う以外は実施例2と同様にして異方性導電フィルムを得た。
Example 11
An anisotropic conductive film was obtained in the same manner as in Example 2 except that the photo radical polymerization type resin layer was irradiated with ultraviolet rays from the conductive particle side and the side opposite to the conductive particle by an integrated light amount of 2000 mJ / cm 2 .

実施例12
中間絶縁性樹脂層の厚みを5μmとする以外は実施例2と同様にして異方性導電フィルムを得た。この異方性導電フィルムでは、導電粒子が中間絶縁性樹脂層を突き抜けていない。
Example 12
An anisotropic conductive film was obtained in the same manner as in Example 2 except that the thickness of the intermediate insulating resin layer was 5 μm. In this anisotropic conductive film, the conductive particles do not penetrate the intermediate insulating resin layer.

実施例13
中間絶縁性樹脂層の厚みを5μmとする以外は実施例11と同様にして異方性導電フィルムを得た。この異方性導電フィルムでは、導電粒子が中間絶縁性樹脂層を突き抜けていない。
Example 13
An anisotropic conductive film was obtained in the same manner as in Example 11 except that the thickness of the intermediate insulating resin layer was 5 μm. In this anisotropic conductive film, the conductive particles do not penetrate the intermediate insulating resin layer.

評価
各実施例及び比較例の異方性導電フィルムを用いて、0.5×1.8×20.0mmの大きさのICチップ(バンプサイズ30×85μm、バンプ高さ15μm、バンプピッチ50μm)を、0.5×50×30mmの大きさのコーニング社製のガラス配線基板(1737F)に180℃、80MPa、5秒という条件で実装して接続構造体サンプルを得た。
Evaluation Using an anisotropic conductive film of each example and comparative example, an IC chip having a size of 0.5 × 1.8 × 20.0 mm (bump size 30 × 85 μm, bump height 15 μm, bump pitch 50 μm) Was mounted on a glass wiring board (1737F) manufactured by Corning having a size of 0.5 × 50 × 30 mm under the conditions of 180 ° C., 80 MPa, and 5 seconds to obtain a connection structure sample.

得られた接続構造体サンプルについて、以下に説明するように、「実装粒子捕捉効率」、「初期導通性」、「導通信頼性」、「反り」及び「ショート発生率」を試験評価した。結果を表1に示す。   About the obtained connection structure sample, as described below, “mounting particle trapping efficiency”, “initial continuity”, “conduction reliability”, “warp”, and “short-circuit occurrence rate” were tested and evaluated. The results are shown in Table 1.

「実装粒子捕捉効率」
“加熱・加圧前の接続構造体サンプルのバンプ上に存在する導電粒子の数”に対する、“加熱・加圧後の接続構造体サンプルのバンプ上で実際に捕捉されている導電粒子の数”の割合(%)を以下の式により求め、実装粒子捕捉効率とした。
なお、加熱加圧前の接続構造体サンプルのバンプ上に存在する導電粒子の数は、異方性導電接続の加熱・加圧前における異方性導電フィルムの導電粒子の個数密度とバンプ面積から算出し、加熱加圧後の接続構造体サンプルのバンプ上に存在する導電粒子の数は光学顕微鏡の観察により求めた。
実用上、50%以上であることが好ましい。
"Mounting particle capture efficiency"
“The number of conductive particles actually captured on the bump of the connection structure sample after heating / pressing” against “the number of conductive particles present on the bump of the connection structure sample before heating / pressing” The percentage (%) of was obtained by the following formula and was defined as the mounting particle trapping efficiency.
The number of conductive particles present on the bumps of the connection structure sample before heating and pressing is determined from the number density of the conductive particles and the bump area of the anisotropic conductive film before heating and pressing of the anisotropic conductive connection. The number of conductive particles present on the bumps of the connection structure sample after calculation and heating and pressing was determined by observation with an optical microscope.
Practically, it is preferably 50% or more.

Figure 2015147823
Figure 2015147823

「初期導通性」
接続構造体サンプルの導通抵抗を測定した。
"Initial conductivity"
The conduction resistance of the connection structure sample was measured.

「導通信頼性」
接続構造体サンプルを、85℃、85%RHの高温高湿環境下に500時間放置した後の導通抵抗を、初期導通性と同様に測定した。この導通抵抗は、接続した電子部品の実用的な導通安定性の点から、5Ω以上であると好ましくない。
"Conduction reliability"
The connection resistance after the connection structure sample was left in a high-temperature and high-humidity environment of 85 ° C. and 85% RH for 500 hours was measured in the same manner as the initial conductivity. This conduction resistance is not preferably 5Ω or more from the viewpoint of practical conduction stability of the connected electronic component.

「反り」
ICチップが実装されていない側のガラス配線基板の表面の、反対面のICチップの幅に相当する巾20mmにおける反りを三次元側長機((株)キーエンス)を用いて測定した。
反りは、実用上15μm未満であることが好ましい。
"warp"
The warpage of the surface of the glass wiring board on the side where the IC chip is not mounted at a width of 20 mm corresponding to the width of the IC chip on the opposite side was measured using a three-dimensional side machine (Keyence Co., Ltd.).
The warp is preferably less than 15 μm for practical use.

「ショート発生率」
ショート発生率の評価用ICとして、7.5μmスペースの櫛歯TEGパターンのIC(外径1.5×13mm、厚み0.5mm、Bump仕様:金メッキ、高さ15μm、サイズ25×140μm、Bump間Gap7.5μm)を用意し、各実施例及び比較例の異方性導電フィルムを、ショート発生率の評価用ICと、それに対応したパターンのガラス基板との間に挟み、初期導通性と同様の条件で加熱加圧して接続体を得た。そして、その接続体のショート発生率を、「ショート発生数/7.5μmスペース総数」により算出した。ショート発生率は、実用上、100ppm以下であることが望ましい。
"Short incidence"
As an IC for evaluating the incidence of short circuit, an IC with a comb tooth TEG pattern with a space of 7.5 μm (outer diameter 1.5 × 13 mm, thickness 0.5 mm, bump specification: gold plating, height 15 μm, size 25 × 140 μm, between bumps Gap 7.5 μm) is prepared, and the anisotropic conductive films of the examples and comparative examples are sandwiched between the evaluation IC for short-circuit occurrence rate and the glass substrate of the corresponding pattern, and the same as the initial conductivity A connected body was obtained by heating and pressing under conditions. Then, a short-circuit occurrence rate of the connected body was calculated by “number of short-circuits / total number of 7.5 μm spaces”. The short-circuit occurrence rate is desirably 100 ppm or less for practical use.

Figure 2015147823
Figure 2015147823

表1から分かるように、実施例1〜10の異方性導電フィルムは、実装捕捉効率、初期導通性、導通信頼性、反り、ショート発生率の全ての評価項目について実用上好ましい結果を示した。
実施例11、13の接続構造体は、実施例2に対して実装粒子補足効率がやや劣っていたが、実用上問題はなく、初期導通性、導通信頼性、反り、ショート発生率については実施例2と同様に好ましい結果を示した。
また、実施例12の接続構造体では、顕微鏡観察によりバンプに接続している導電粒子の形状が、実施例2に比べるとやや不均一であったが、実装捕捉効率、初期導通性、導通信頼性、反り、ショート発生率の全ての評価項目について実用上好ましい結果を示した。
As can be seen from Table 1, the anisotropic conductive films of Examples 1 to 10 showed practically preferable results for all evaluation items of mounting capture efficiency, initial conductivity, conductivity reliability, warpage, and short-circuit occurrence rate. .
The connection structures of Examples 11 and 13 were slightly inferior in mounting particle supplementation efficiency to Example 2, but there were no practical problems, and the initial conductivity, conduction reliability, warpage, and occurrence rate of short circuit were measured. Similar to Example 2, favorable results were shown.
Moreover, in the connection structure of Example 12, the shape of the conductive particles connected to the bumps by microscopic observation was slightly non-uniform compared to Example 2, but the mounting capture efficiency, initial conductivity, and conduction reliability Practically preferable results were shown for all evaluation items of property, warpage, and short-circuit occurrence rate.

それに対し、比較例1の異方性導電フィルムは、中間絶縁性樹脂層が無いために、実装粒子捕捉効率が低く、反りも大きかった。   On the other hand, since the anisotropic conductive film of Comparative Example 1 had no intermediate insulating resin layer, the mounting particle capturing efficiency was low and the warp was large.

本発明の異方性導電フィルムは、光ラジカル重合性樹脂層を光ラジカル重合させた第1絶縁性樹脂層と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成された第2絶縁性樹脂層が積層され、第1絶縁性樹脂層の第2絶縁性樹脂層側表面に導電粒子が単層で配置されているので、良好な導電粒子捕捉率による優れた初期導通性、導通信頼性、低いショート発生率を示す。さらに、第1絶縁性樹脂層と第2絶縁性樹脂層の間には、中間絶縁性樹脂層が導電粒子を囲むように積層されているため、導電粒子にかかる応力が緩和され、異方性導電接続時の導電粒子捕捉率が一層向上する。よって、本発明の異方性導電フィルムは、ICチップなどの電子部品の配線基板への異方性導電接続に有用である。電子部品の配線は狭小化が進んでおり、本発明は、狭小化した電子部品を異方性導電接続する場合に特に有用となる。   The anisotropic conductive film of the present invention includes a first insulating resin layer obtained by photoradical polymerization of a photoradically polymerizable resin layer, a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photocation or photoanion polymerizable resin, and a thermal radical. A second insulating resin layer formed of a polymerizable resin or a photo-radical polymerizable resin is laminated, and conductive particles are arranged as a single layer on the surface of the first insulating resin layer on the second insulating resin layer side. Therefore, it exhibits excellent initial conductivity, conduction reliability, and low short-circuit occurrence rate due to a good conductive particle capture rate. Further, since the intermediate insulating resin layer is laminated between the first insulating resin layer and the second insulating resin layer so as to surround the conductive particles, the stress applied to the conductive particles is relieved and anisotropic The conductive particle capture rate at the time of conductive connection is further improved. Therefore, the anisotropic conductive film of the present invention is useful for anisotropic conductive connection to a wiring board of an electronic component such as an IC chip. The wiring of electronic components is becoming narrower, and the present invention is particularly useful when the narrowed electronic components are anisotropically conductively connected.

1 異方性導電フィルム
2 第1絶縁性樹脂層
2a 第1絶縁性樹脂層の表面
2b 第1絶縁性樹脂層の表面
2X 第1絶縁性樹脂層において、第2絶縁性樹脂層側に導電粒子が存在する領域
2Y 第1絶縁性樹脂層において、第2絶縁性樹脂層側に導電粒子が存在しない領域
3 第2絶縁性樹脂層
4 中間絶縁性樹脂層
10 導電粒子
20 光重合性樹脂層
30 剥離フィルム
31 剥離フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Anisotropic conductive film 2 1st insulating resin layer 2a The surface of 1st insulating resin layer 2b The surface of 1st insulating resin layer 2X In the 1st insulating resin layer, it is a conductive particle in the 2nd insulating resin layer side 2Y In the first insulating resin layer, in the first insulating resin layer, there are no conductive particles on the second insulating resin layer side. 3 Second insulating resin layer 4 Intermediate insulating resin layer 10 Conductive particles 20 Photopolymerizable resin layer 30 Release film 31 Release film

Claims (22)

第1絶縁性樹脂層、中間絶縁性樹脂層及び第2絶縁性樹脂層が順次積層している異方性導電フィルムであって、
第1絶縁性樹脂層が、光重合樹脂で形成され、
第2絶縁性樹脂層が、熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成され、
中間絶縁性樹脂層が重合開始剤を含まない樹脂で形成され、
第1絶縁性樹脂層の第2絶縁性樹脂層側表面に、異方性導電接続用の導電粒子が単層で配置され、該導電粒子が中間絶縁性樹脂層と接している異方性導電フィルム。
An anisotropic conductive film in which a first insulating resin layer, an intermediate insulating resin layer, and a second insulating resin layer are sequentially laminated,
The first insulating resin layer is formed of a photopolymerization resin;
The second insulating resin layer is formed of a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin,
The intermediate insulating resin layer is formed of a resin not containing a polymerization initiator,
Conductive particles for anisotropic conductive connection are arranged as a single layer on the second insulating resin layer side surface of the first insulating resin layer, and the conductive particles are in contact with the intermediate insulating resin layer. the film.
中間絶縁性樹脂層の厚さが導電粒子の粒子径の1.2倍以下である請求項1記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the thickness of the intermediate insulating resin layer is 1.2 times or less of the particle diameter of the conductive particles. 導電粒子が中間絶縁性樹脂層を貫通している請求項1又は2記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 1 or 2, wherein the conductive particles penetrate the intermediate insulating resin layer. 中間絶縁性樹脂層がフィラーを含有する請求項1〜3のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the intermediate insulating resin layer contains a filler. 中間絶縁性樹脂層が、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂及びアクリル樹脂から選ばれる少なくとも一種を含有する請求項1〜4のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film in any one of Claims 1-4 in which an intermediate | middle insulating resin layer contains at least 1 type chosen from a phenoxy resin, an epoxy resin, polyolefin resin, a polyurethane resin, and an acrylic resin. 第1絶縁性樹脂層において、導電性粒子が第2絶縁性樹脂層側に存在する領域の硬化率が、導電粒子が第2絶縁性樹脂層側に存在しない領域の硬化率に対して低い請求項1〜5のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   In the first insulating resin layer, the curing rate of the region where the conductive particles are present on the second insulating resin layer side is lower than the curing rate of the region where the conductive particles are not present on the second insulating resin layer side. Item 6. The anisotropic conductive film according to any one of Items 1 to 5. 第1絶縁性樹脂層が、アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤とを含む光ラジカル重合性樹脂層を光ラジカル重合させたものである請求項1〜6のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the first insulating resin layer is obtained by photoradical polymerization of a photoradical polymerizable resin layer containing an acrylate compound and a photoradical polymerization initiator. . 第1絶縁性樹脂層に、アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤が残存している請求項7記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 7, wherein the acrylate compound and the photo radical polymerization initiator remain in the first insulating resin layer. 第1絶縁性樹脂層が、アクリレート化合物と熱ラジカル重合開始剤を含有する請求項1〜8のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film in any one of Claims 1-8 in which a 1st insulating resin layer contains an acrylate compound and a thermal radical polymerization initiator. 第1絶縁性樹脂層が、エポキシ化合物と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合開始剤又は光カチオン若しくは光アニオン重合開始剤を含有する請求項1〜9のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the first insulating resin layer contains an epoxy compound and a thermal cation or thermal anion polymerization initiator, or a photo cation or photoanion polymerization initiator. 第2絶縁性樹脂層が、エポキシ化合物と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合開始剤又は光カチオン若しくは光アニオン重合開始剤を含有する重合性樹脂、又はアクリレート化合物と、熱ラジカル若しくは光ラジカル重合開始剤を含有する重合性樹脂で形成されている請求項1〜10のいずれかに記載の異方性導電フィルム。   The second insulating resin layer comprises an epoxy compound, a polymerizable resin containing a thermal cation or thermal anion polymerization initiator or a photo cation or photoanion polymerization initiator, or an acrylate compound, and a thermal radical or photo radical polymerization initiator. The anisotropic conductive film in any one of Claims 1-10 currently formed with the polymeric resin to contain. 請求項1記載の異方性導電フィルムの製造方法であって、以下の工程(A)〜(D):
工程(A)
光ラジカル重合性樹脂層に、導電粒子を単層で配置する工程;
工程(B)
導電粒子を配置した光重合性樹脂層に対して紫外線を照射することにより光重合反応させ、表面に導電粒子が固定化された第1絶縁性樹脂層を形成する工程;
工程(C)
熱カチオン若しくは熱アニオン重合性樹脂、光カチオン若しくは光アニオン重合性樹脂、熱ラジカル重合性樹脂、又は光ラジカル重合性樹脂で形成された第2絶縁性樹脂層を形成する工程;
工程(D)
重合開始剤を含まない樹脂で形成された中間絶縁性樹脂層を、第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に形成する工程;
を有し、
(i)工程(D)を工程(B)の後に行うことにより第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に中間絶縁性樹脂層を形成し、次いで該中間絶縁性樹脂層と工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層を積層するか、又は
(ii)工程(C)で形成した第2絶縁性樹脂層上に、重合開始剤を含まない樹脂で形成された中間絶縁性樹脂層を形成し、次いで該中間絶縁性樹脂層を、工程(B)で形成した第1絶縁性樹脂層の導電粒子側表面に積層する製造方法。
It is a manufacturing method of the anisotropic conductive film of Claim 1, Comprising: The following processes (A)-(D):
Process (A)
Arranging the conductive particles in a single layer on the radical photopolymerizable resin layer;
Process (B)
A step of causing a photopolymerization reaction by irradiating the photopolymerizable resin layer in which the conductive particles are arranged with ultraviolet rays to form a first insulating resin layer having the conductive particles fixed on the surface;
Process (C)
Forming a second insulating resin layer formed of a thermal cation or thermal anion polymerizable resin, a photo cation or photo anion polymerizable resin, a thermal radical polymerizable resin, or a photo radical polymerizable resin;
Process (D)
Forming an intermediate insulating resin layer formed of a resin not containing a polymerization initiator on the conductive particle side surface of the first insulating resin layer;
Have
(i) An intermediate insulating resin layer is formed on the conductive particle side surface of the first insulating resin layer by performing the step (D) after the step (B), and then the intermediate insulating resin layer and the step (C) Or laminating the second insulating resin layer formed in
(ii) On the second insulating resin layer formed in step (C), an intermediate insulating resin layer formed of a resin not containing a polymerization initiator is formed, and then the intermediate insulating resin layer is formed in the step ( The manufacturing method which laminates | stacks on the electroconductive particle side surface of the 1st insulating resin layer formed in B).
中間絶縁性樹脂層の厚みが、導電粒子の粒子径の1.2倍以下である請求項12記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein the thickness of the intermediate insulating resin layer is 1.2 times or less of the particle diameter of the conductive particles. 中間絶縁性樹脂層がフィラーを含有する請求項12又は13に記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12 or 13, wherein the intermediate insulating resin layer contains a filler. 中間絶縁性樹脂層が、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂及びアクリル樹脂から選ばれる少なくとも一種を含有する請求項12〜14のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein the intermediate insulating resin layer contains at least one selected from a phenoxy resin, an epoxy resin, a polyolefin resin, a polyurethane resin, and an acrylic resin. 工程(B)において、光重合性樹脂層に対して紫外線を導電粒子側から照射する請求項12〜15のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein in the step (B), the photopolymerizable resin layer is irradiated with ultraviolet rays from the conductive particle side. 第1絶縁性樹脂層を形成する光重合性樹脂が、アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤を含む請求項12〜16のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein the photopolymerizable resin forming the first insulating resin layer contains an acrylate compound and a radical photopolymerization initiator. 第1絶縁性樹脂層を形成する光重合性樹脂が、さらに熱ラジカル重合開始剤を含有する請求項12〜17のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to any one of claims 12 to 17, wherein the photopolymerizable resin forming the first insulating resin layer further contains a thermal radical polymerization initiator. 第1絶縁性樹脂層を形成する光重合性樹脂が、エポキシ化合物と、光カチオン又は光アニオン重合開始剤を含有する請求項12〜18のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein the photopolymerizable resin forming the first insulating resin layer contains an epoxy compound and a photocation or photoanion polymerization initiator. 第1絶縁性樹脂層が、さらに熱カチオン又は熱アニオン重合開始剤を含有する請求項12〜19のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The method for producing an anisotropic conductive film according to claim 12, wherein the first insulating resin layer further contains a thermal cation or a thermal anionic polymerization initiator. 第2絶縁性樹脂層が、エポキシ化合物と、熱カチオン若しくは熱アニオン重合開始剤又は光カチオン若しくは光アニオン重合開始剤を含有する重合性樹脂、又はアクリレート化合物と熱ラジカル若しくは光ラジカル重合開始剤を含有する重合性樹脂で形成されている請求項12〜20のいずれかに記載の異方性導電フィルムの製造方法。   The second insulating resin layer contains an epoxy compound and a polymerizable resin containing a thermal cation or a thermal anion polymerization initiator or a photo cation or a photoanion polymerization initiator, or an acrylate compound and a thermal radical or a photo radical polymerization initiator. The manufacturing method of the anisotropic conductive film in any one of Claims 12-20 currently formed with the polymerizable resin to perform. 請求項1〜11のいずれかに記載の異方性導電フィルムで第1電子部品を第2電子部品に異方性導電接続した接続構造体。   The connection structure which anisotropically connected the 1st electronic component to the 2nd electronic component with the anisotropic conductive film in any one of Claims 1-11.
JP2014019860A 2014-02-04 2014-02-04 Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof Active JP6237288B2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014019860A JP6237288B2 (en) 2014-02-04 2014-02-04 Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
US15/115,813 US11195813B2 (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film and production method of the same
TW104103837A TWI722980B (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
KR1020167021102A KR102450569B1 (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film and production method therefor
CN201580007324.0A CN105940564B (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film and method for producing same
TW109140476A TWI777304B (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film, connection structure, and method for producing the same
PCT/JP2015/053040 WO2015119131A1 (en) 2014-02-04 2015-02-04 Anisotropic conductive film and production method therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014019860A JP6237288B2 (en) 2014-02-04 2014-02-04 Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015147823A true JP2015147823A (en) 2015-08-20
JP6237288B2 JP6237288B2 (en) 2017-11-29

Family

ID=53891472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014019860A Active JP6237288B2 (en) 2014-02-04 2014-02-04 Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6237288B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114907594A (en) * 2016-10-31 2022-08-16 迪睿合株式会社 Filled membranes
CN115710367A (en) * 2016-10-18 2023-02-24 迪睿合株式会社 Filled membranes
KR20240051204A (en) 2021-09-30 2024-04-19 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 Conductive film, connection structure, and method of manufacturing the same

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08148211A (en) * 1994-11-25 1996-06-07 Hitachi Chem Co Ltd Connection member and structure and method for connecting electrode using the same
JP2001052778A (en) * 1999-08-06 2001-02-23 Hitachi Chem Co Ltd Anisotropic conductive adhesive film and its manufacture
JP2008034232A (en) * 2006-07-28 2008-02-14 Asahi Kasei Electronics Co Ltd Anisotropic conductive film
JP2010199087A (en) * 2010-05-11 2010-09-09 Sony Chemical & Information Device Corp Anisotropic conductive film and manufacturing method therefor, and junction body and manufacturing method therefor
WO2014021457A1 (en) * 2012-08-03 2014-02-06 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film and method for producing same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08148211A (en) * 1994-11-25 1996-06-07 Hitachi Chem Co Ltd Connection member and structure and method for connecting electrode using the same
JP2001052778A (en) * 1999-08-06 2001-02-23 Hitachi Chem Co Ltd Anisotropic conductive adhesive film and its manufacture
JP2008034232A (en) * 2006-07-28 2008-02-14 Asahi Kasei Electronics Co Ltd Anisotropic conductive film
JP2010199087A (en) * 2010-05-11 2010-09-09 Sony Chemical & Information Device Corp Anisotropic conductive film and manufacturing method therefor, and junction body and manufacturing method therefor
WO2014021457A1 (en) * 2012-08-03 2014-02-06 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film and method for producing same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115710367A (en) * 2016-10-18 2023-02-24 迪睿合株式会社 Filled membranes
CN114907594A (en) * 2016-10-31 2022-08-16 迪睿合株式会社 Filled membranes
KR20240051204A (en) 2021-09-30 2024-04-19 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 Conductive film, connection structure, and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP6237288B2 (en) 2017-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6372543B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
WO2015119131A1 (en) Anisotropic conductive film and production method therefor
JP6269114B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6237288B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
KR102438704B1 (en) Anisotropic conductive film and production method therefor
JP6273875B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
TWI723561B (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6428325B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6241326B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6409281B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6260313B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP6233069B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
JP2015149126A (en) Anisotropic conductive film and method for manufacturing the same
JP6260312B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof
KR102552788B1 (en) Anisotropic conductive film and production method of the same
JP6217422B2 (en) Anisotropic conductive film and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171003

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171016

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6237288

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250