JP2015145056A - Robot hand, robot, and method for manufacturing robot hand - Google Patents

Robot hand, robot, and method for manufacturing robot hand Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a robot hand that can hold an object stably.SOLUTION: The robot hand (1) is a robot hand having a finger part 2. The robot hand (1) includes: an elastic body 14 provided in the finger part 2 and including an adsorption part 21 for adsorbing an object; and a sensor (15) provided in the finger part 2 to detect deformation of the elastic body 14. The adsorption part 21 also includes: a suction flow passage (23) for sucking a fluid; and a first fluid chamber (25) communicated to the suction flow passage (23).

Description

本発明は、ロボットハンド、ロボット、及びロボットハンドの製造方法に関する。   The present invention relates to a robot hand, a robot, and a method for manufacturing a robot hand.

ロボットハンドは、ロボットアームの先端などに取り付けられて、例えば物体の保持や移動を伴う各種作業に利用される（例えば、特許文献１参照）。ロボットハンドには、物体を安定して保持できる性能などが期待されており、その上で物体との接触力などを検出することが有用である。特許文献１には、弾性部材で形成され非圧縮性流体を充てんした受圧部材と、非圧縮性流体の圧力を検出する圧力検出器とを備えるロボット用掌感圧センサが提案されている。   A robot hand is attached to the tip of a robot arm or the like, and is used, for example, for various operations involving holding and moving an object (see, for example, Patent Document 1). The robot hand is expected to have a capability of stably holding an object, and it is useful to detect a contact force with the object on the robot hand. Patent Document 1 proposes a palm palm pressure sensor that includes a pressure receiving member formed of an elastic member and filled with an incompressible fluid, and a pressure detector that detects the pressure of the incompressible fluid.

特開平５−１３１３８７号公報JP-A-5-131387

上記の特許文献１の技術においては、ロボットハンドで把持した物体が滑ることなどにより落下することがありえる。本発明は、このような事情を鑑み、物体を安定的に保持できるロボットハンド、ロボット、及びロボットハンドの製造方法を提供することを目的とする。   In the technique disclosed in Patent Document 1, an object held by a robot hand may fall due to slipping or the like. In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a robot hand capable of stably holding an object, a robot, and a method for manufacturing the robot hand.

本発明の第１の態様のロボットハンドは、指部を有するロボットハンドであって、指部に設けられ、物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、指部に設けられ、弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、吸着部は、流体を吸引する吸引流路と、吸引流路に通じる第１流体室とを有する。   The robot hand according to the first aspect of the present invention is a robot hand having a finger part, and is provided on the finger part, and includes an elastic body including a suction part that sucks an object, and is provided on the finger part to deform the elastic body. And a suction section having a suction flow path for sucking fluid and a first fluid chamber communicating with the suction flow path.

第１の態様のロボットハンドは、吸着部を含む弾性体が設けられている指部に、弾性体の変形を検出するセンサーが設けられているので、物体の吸着状態をセンサーによって精度よく検出できる。その結果、物体の吸着状態を精度よく制御することができ、例えば物体の落下などが防止されるので、物体を安定的に保持できる。   In the robot hand according to the first aspect, the sensor that detects the deformation of the elastic body is provided on the finger portion on which the elastic body including the suction portion is provided, so that the suction state of the object can be accurately detected by the sensor. . As a result, the suction state of the object can be controlled with high accuracy and, for example, the object can be prevented from dropping, so that the object can be stably held.

第１の態様のロボットハンドにおいて、センサーは、弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、圧力変化部は、流体が配される第２流体室を含んでいてもよい。このロボットハンドは、弾性体の変形により第２流体室の圧力が変化し、第２流体室の圧力をセンサーにより検出するので、物体の吸着状態を精度よく検出できる。その結果、例えば、物体を落とさないように保持すること、物体をつぶさないように保持することなどができる。   In the robot hand according to the first aspect, the sensor is disposed so as to be able to detect the pressure of the pressure change portion that generates a pressure change due to deformation of the elastic body, and the pressure change portion includes a second fluid chamber in which a fluid is disposed. May be. In this robot hand, the pressure in the second fluid chamber changes due to the deformation of the elastic body, and the pressure in the second fluid chamber is detected by the sensor, so that it is possible to accurately detect the adsorption state of the object. As a result, for example, the object can be held so as not to drop, the object can be held so as not to be crushed, and the like.

第１の態様のロボットハンドにおいて、流体は気体を含み、センサーは気体の圧力を検出可能に配置されていてもよい。このロボットハンドは、流体が液体である場合と比較して、濡れや汚れの付着によるメンテナンスを簡略化あるいは省略することができ、扱いが簡便である。   In the robot hand according to the first aspect, the fluid may include a gas, and the sensor may be arranged to detect the pressure of the gas. This robot hand can simplify or omit maintenance due to wetness or adhesion of dirt as compared with the case where the fluid is liquid, and is easy to handle.

第１の態様のロボットハンドにおいて、指部には、弾性体およびセンサーを含む構造が複数設けられていてもよい。このロボットハンドは、複数の弾性体により物体を保持しながら、それぞれの弾性体による吸着状態をセンサーにより検出できるので、物体を安定的に保持できる。   In the robot hand of the first aspect, the finger portion may be provided with a plurality of structures including an elastic body and a sensor. The robot hand can hold the object with a plurality of elastic bodies and can detect the suction state of each elastic body with a sensor, so that the object can be stably held.

第１の態様のロボットハンドは、指部を複数備えていてもよい。このロボットハンドは、多様な物体を安定的に保持することができ、利便性が高い。   The robot hand according to the first aspect may include a plurality of finger portions. This robot hand can hold various objects stably and is highly convenient.

本発明の第２の形態のロボットは、指部を有し、指部に設けられ物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、指部に設けられ弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、吸着部は、流体を吸引する吸引流路と、吸引流路に通じる第１流体室とを有するロボットハンドと、ロボットハンドを支持するアームと、を備える。第２の形態のロボットにおいて、ロボットハンドは、吸着部を含む弾性体が設けられている指部に、弾性体の変形を検出するセンサーが設けられているので、物体の吸着状態をセンサーによって精度よく検出できる。その結果、このロボットは、物体の吸着状態を精度よく制御することができ、例えば物体の落下などが防止されるので、物体を安定的に保持できる   A robot according to a second aspect of the present invention has a finger portion, and includes an elastic body that is provided on the finger portion and includes a suction portion that sucks an object, and a sensor that is provided on the finger portion and detects deformation of the elastic body. The suction unit includes a robot hand having a suction channel for sucking a fluid, a first fluid chamber communicating with the suction channel, and an arm for supporting the robot hand. In the robot according to the second aspect, the robot hand is provided with a sensor for detecting deformation of the elastic body at the finger portion on which the elastic body including the suction section is provided. Can be detected well. As a result, this robot can accurately control the suction state of the object, for example, it can prevent the object from dropping, and can stably hold the object.

第３の態様のロボットハンドの製造方法は、第１の態様のロボットハンドの製造方法であって、ロボットハンドにおいて流体が配される空隙を形成する工程は、空隙となる空間の周囲の一部に、第１壁部を形成するステップと、第１壁部上の空隙となる空間に、犠牲部を形成するステップと、犠牲部上に、空隙となる空間を第１壁部とともに囲む第２壁部を形成するステップと、犠牲部を除去し、第１壁部および第２壁部に囲まれる空間を空隙とするステップと、を含む。   The manufacturing method of the robot hand according to the third aspect is the manufacturing method of the robot hand according to the first aspect, wherein the step of forming the gap in which the fluid is arranged in the robot hand is a part of the periphery of the space that becomes the gap. A step of forming a first wall portion, a step of forming a sacrificial portion in a space to be a space on the first wall portion, and a second surrounding the space to be a space on the sacrificial portion together with the first wall portion. Forming a wall, and removing the sacrificial part to form a space surrounded by the first wall and the second wall.

第３の態様のロボットハンドの製造方法によれば、犠牲部を除去し、第１壁部および第２壁部に囲まれる空間を空隙とするので、空隙をその周囲の部材と一体的に形成できる。そのため、物体を安定的に保持可能なロボットハンドの部品数を減らすことなどができる。   According to the robot hand manufacturing method of the third aspect, the sacrificial part is removed, and the space surrounded by the first wall part and the second wall part is formed as a gap, so that the gap is formed integrally with the surrounding members. it can. Therefore, the number of parts of the robot hand that can stably hold the object can be reduced.

第１実施形態に係るロボットハンドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the robot hand which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る指部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the finger part which concerns on 1st Embodiment. 吸着動作中における流体室、流体室の圧力変化の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the pressure change of a fluid chamber and a fluid chamber during adsorption operation. （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。(A)-(c) is process drawing which shows the manufacturing method of the robot hand 1. FIG. （ａ）〜（ｃ）は、図４（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.4 (c). （ａ）〜（ｃ）は、図５（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.5 (c). （ａ）〜（ｃ）は、図６（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.6 (c). 第１参考形態に係るロボットハンドの指部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the finger | toe part of the robot hand which concerns on a 1st reference form. 第１参考形態に係る指部の吸着部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the adsorption | suction part of the finger part which concerns on a 1st reference form. 吸着部の吸着力と圧力センサーの検出値との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the adsorption | suction force of an adsorption | suction part, and the detected value of a pressure sensor. （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。(A)-(c) is process drawing which shows the manufacturing method of the robot hand 1. FIG. （ａ）〜（ｄ）は、図１１（ｃ）から続く工程図である。(A)-(d) is process drawing which continues from FIG.11 (c). （ａ）〜（ｄ）は、図１２（ｄ）から続く工程図である。(A)-(d) is process drawing which continues from FIG.12 (d). （ａ）〜（ｄ）は、図１３（ｄ）から続く工程図である。(A)-(d) is process drawing which continues from FIG.13 (d). 第２参考形態に係るロボットハンドの指部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the finger part of the robot hand which concerns on a 2nd reference form. 第２参考形態に係る指部の吸着部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the adsorption | suction part of the finger part which concerns on a 2nd reference form. （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。(A)-(c) is process drawing which shows the manufacturing method of the robot hand 1. FIG. （ａ）〜（ｃ）は、図１７（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.17 (c). （ａ）〜（ｃ）は、図１８（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.18 (c). （ａ）〜（ｃ）は、図１９（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.19 (c). （ａ）〜（ｃ）は、図２０（ｃ）から続く工程図である。(A)-(c) is process drawing which continues from FIG.20 (c). ロボットの実施形態を示す図である。It is a figure which shows embodiment of a robot. ロボットの他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of a robot. ロボットの他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of a robot.

［第１実施形態］
図１は、本実施形態に係るロボットハンド１を示す斜視図である。このロボットハンド１は、例えば工具や部品などの対象物を保持する産業用ロボットの保持装置として用いられる。ロボットハンド１は、産業ロボットの他の用途、例えば宇宙関連、医薬関連、食品関連、及び遊具の少なくとも一つの用途にも適用可能である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view showing a robot hand 1 according to the present embodiment. The robot hand 1 is used as a holding device for an industrial robot that holds an object such as a tool or a part. The robot hand 1 can be applied to other uses of industrial robots, for example, at least one of space-related, pharmaceutical-related, food-related, and playground equipment.

図１のロボットハンド１は、指部２と、指部２を支持する支持部３と、支持部３を駆動する駆動部４とを備える。駆動部４は、支持部３を所定軸の周りで回動可能である。本実施形態において、指部２は、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃを含む。第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、支持部３の所定軸の周方向に離散的に配列されている。第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、それぞれ、所定軸に近づく向きと離れる向きとに可動であり、例えば手を閉じたり開いたりするような動作が可能である。これにより、ロボットハンド１は、対象物を把持すること、把持されている対象物を開放（リリース）することなどが可能である。   The robot hand 1 of FIG. 1 includes a finger part 2, a support part 3 that supports the finger part 2, and a drive part 4 that drives the support part 3. The drive unit 4 can rotate the support unit 3 around a predetermined axis. In the present embodiment, the finger part 2 includes a first finger part 2a, a second finger part 2b, and a third finger part 2c. The first finger part 2 a, the second finger part 2 b, and the third finger part 2 c are discretely arranged in the circumferential direction of the predetermined axis of the support part 3. The first finger part 2a, the second finger part 2b, and the third finger part 2c are respectively movable in directions toward and away from a predetermined axis, and for example, operations such as closing and opening a hand are possible. is there. As a result, the robot hand 1 can grasp the object, release (release) the object being grasped, and the like.

本実施形態において、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、それぞれ内部が密閉されている。このため、ロボットハンド１は、食器などの洗浄機内や水槽内など、水分の多い場所の対象物を把持する場合にも用いることができる。また、駆動部４は、カバー部材５により覆われており、外部との干渉やゴミの侵入などから保護されている。   In the present embodiment, the first finger part 2a, the second finger part 2b, and the third finger part 2c are sealed inside. For this reason, the robot hand 1 can also be used when holding an object in a place with a lot of moisture, such as in a washing machine such as tableware or in a water tank. The drive unit 4 is covered with a cover member 5 and is protected from interference with the outside and entry of dust.

次に、指部２の構成について説明する。本実施形態において、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、いずれも同様の構成であるので、ここでは第１指部２ａの構成を説明し、他の指部の説明を適宜省略する。   Next, the configuration of the finger unit 2 will be described. In the present embodiment, the first finger part 2a, the second finger part 2b, and the third finger part 2c all have the same configuration. Therefore, the configuration of the first finger part 2a will be described here, and the other fingers Description of the part is omitted as appropriate.

図１の第１指部２ａは、先端部１０、第１腹部１１、及び第２腹部１２を有する。第２腹部１２は支持部３に対する第１指部２ａの基端部である。第２腹部１２の先端側には第１腹部１１が接続されており、第１腹部１１の先端側には先端部１０が接続されている。先端部１０、第１腹部１１、及び第２腹部１２の各部は、対象物に接触可能であるが、対象物と接触する部分が互いに不連続である。すなわち、第１指部２ａは、対象物を多点支持できる。例えば、先端部１０のうち対象物に接触する部分は、第１腹部１１のうち対象物に接触する部分と不連続である。本実施形態において、先端部１０は、第１腹部１１と一体化されており、第１腹部１１との相対位置が固定されている。また、先端部１０および第１腹部１１は、第２腹部１２と別体であり、第２腹部１２に対する姿勢が可変である。   The first finger portion 2 a in FIG. 1 has a tip portion 10, a first abdominal portion 11, and a second abdominal portion 12. The second abdominal part 12 is a base end part of the first finger part 2 a with respect to the support part 3. The first abdominal part 11 is connected to the distal end side of the second abdominal part 12, and the distal end part 10 is connected to the distal end side of the first abdominal part 11. Although each part of the front-end | tip part 10, the 1st abdominal part 11, and the 2nd abdominal part 12 can contact a target object, the part which contacts a target object is mutually discontinuous. That is, the first finger part 2a can support the object at multiple points. For example, the portion of the tip 10 that contacts the object is discontinuous with the portion of the first abdomen 11 that contacts the object. In this embodiment, the front-end | tip part 10 is integrated with the 1st abdominal part 11, and the relative position with the 1st abdominal part 11 is being fixed. The tip 10 and the first abdomen 11 are separate from the second abdomen 12, and the posture with respect to the second abdomen 12 is variable.

図２は、指部２（第１指部２ａ）の先端部１０および第１腹部１１を示す断面図である。なお、図２においては、図を見やすくするために適宜ハッチングを省略した。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing the distal end portion 10 and the first abdominal portion 11 of the finger portion 2 (first finger portion 2a). In FIG. 2, hatching is omitted as appropriate to make the drawing easier to see.

指部２は、剛性部材１３と、先端部１０に設けられた弾性体１４と、先端部１０に設けられた圧力センサー１５と、第１腹部１１に設けられた弾性体１６と、第１腹部１１に設けられた圧力センサー１７とを備える。   The finger 2 includes a rigid member 13, an elastic body 14 provided at the tip 10, a pressure sensor 15 provided at the tip 10, an elastic 16 provided at the first abdomen 11, and a first abdomen 11 is provided with a pressure sensor 17 provided on the head 11.

剛性部材１３は、指部２の骨格をなし、指部２の剛性を確保する部材である。剛性部材１３の形成材料は、指部２に要求される剛性に応じて選択され、例えばポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂材料である。   The rigid member 13 is a member that forms a skeleton of the finger portion 2 and ensures the rigidity of the finger portion 2. The material for forming the rigid member 13 is selected according to the rigidity required for the finger portion 2 and is, for example, a resin material such as polyurethane resin or epoxy resin.

剛性部材１３は、開口１３ａを有する箱状部１８と、開口１３ａを塞ぐ蓋部１９とを有する。箱状部１８の内側の空間は、ゴミなどが侵入しないように、蓋部１９および封止材２０により封止されている。封止材２０は、蓋部１９上とその周囲とにわたって、設けられている。箱状部１８は、開口１３ａと反対側の底部１８ａと、底部１８ａに対して傾斜し、蓋部１９に接続された側部１８ｂとを含む。側部１８ｂは先端部１０に相当し、側部１８ｂには弾性体１４および圧力センサー１５が設けられている。底部１８ａは第１腹部１１に相当し、底部１８ａには弾性体１６および圧力センサー１７が設けられている。   The rigid member 13 includes a box-shaped portion 18 having an opening 13a and a lid portion 19 that closes the opening 13a. The space inside the box-shaped portion 18 is sealed with a lid portion 19 and a sealing material 20 so that dust or the like does not enter. The sealing material 20 is provided over the lid portion 19 and the periphery thereof. The box-shaped portion 18 includes a bottom portion 18 a opposite to the opening 13 a and a side portion 18 b that is inclined with respect to the bottom portion 18 a and connected to the lid portion 19. The side part 18b corresponds to the tip part 10, and the elastic body 14 and the pressure sensor 15 are provided on the side part 18b. The bottom 18a corresponds to the first abdomen 11, and an elastic body 16 and a pressure sensor 17 are provided on the bottom 18a.

弾性体１４は、その一部が対象物に接触する接触部であり、対象物（物体）を吸着する吸着部２１を含む。弾性体１４は、弾性変形可能に形成され、弾性体１４の形成材料は、剛性部材１３よりも軟質のものが選択される。弾性体１４の形成材料は、例えばポリウレタン樹脂などの樹脂材料である。   The elastic body 14 is a contact portion that partially contacts the object, and includes an adsorption portion 21 that adsorbs the object (object). The elastic body 14 is formed so as to be elastically deformable, and the material for forming the elastic body 14 is selected to be softer than the rigid member 13. The forming material of the elastic body 14 is a resin material such as polyurethane resin, for example.

弾性体１４は、剛性部材１３の側部１８ｂから外部に向かって突出した突起状であり、中空構造である。弾性体１４は、指部２の外部に面する外面を含む外殻部１４ａと、外殻部１４ａの内側に設けられ、指部２の内部に面する内面を含む内殻部１４ｂとを有する。外殻部１４ａおよび内殻部１４ｂは、それぞれ有孔容器状であり、孔の縁が剛性部材１３の側部１８ｂと密着しており、孔が側部１８ｂに塞がれている。弾性体１４（内殻部１４ｂ）と剛性部材１３（側部１８ｂ）とに囲まれる空間は、流体が配される流体室２２になっている。   The elastic body 14 is a protrusion that protrudes outward from the side portion 18b of the rigid member 13, and has a hollow structure. The elastic body 14 includes an outer shell portion 14 a including an outer surface facing the outside of the finger portion 2, and an inner shell portion 14 b provided inside the outer shell portion 14 a and including an inner surface facing the inside of the finger portion 2. . Each of the outer shell portion 14a and the inner shell portion 14b has a perforated container shape, and the edge of the hole is in close contact with the side portion 18b of the rigid member 13, and the hole is closed by the side portion 18b. A space surrounded by the elastic body 14 (inner shell portion 14b) and the rigid member 13 (side portion 18b) is a fluid chamber 22 in which a fluid is disposed.

本実施形態において、流体室２２に配される流体は気体である。この気体は、例えば窒素ガスなどの不活性ガスであるが、空気やその他のガスであってもよい。また、流体室２２に配される流体は、気体または液体の単相流体であってもよいし、液体と気体との混相流体であってもよく、気体と液体の少なくとも一方と粒子などの固体を含む混相流体であってもよい。   In the present embodiment, the fluid disposed in the fluid chamber 22 is a gas. This gas is an inert gas such as nitrogen gas, but may be air or other gas. The fluid disposed in the fluid chamber 22 may be a gas or liquid single-phase fluid, or may be a mixed phase fluid of liquid and gas, or a solid such as at least one of gas and liquid and particles. It may be a mixed phase fluid containing.

外殻部１４ａには、外殻部１４ａを貫通する貫通孔１４ｃが形成されている。貫通孔１４ｃのうち指部２の外部に面する開口は、指部２の外部に開放された吸引口２３である。吸引口２３は、第１指部２ａの外部から流体を吸引する吸引流路の端である。貫通孔１４ｃのうち指部２の内部側の開口は、内殻部１４ｂにより塞がれている。すなわち、貫通孔１４ｃの内側およびその縁部は、内殻部１４ｂの外表面を底面とする凹部状であり、内殻部１４ｂのうち貫通孔１４ｃに面する壁部２４と吸引口２３との間で外殻部１４ａに囲まれる部分は、流体が配される流体室２５になっている。流体室２５は、吸引口２３（吸引流路）に通じている。   A through hole 14c is formed in the outer shell portion 14a so as to penetrate the outer shell portion 14a. The opening facing the outside of the finger part 2 in the through hole 14 c is a suction port 23 opened to the outside of the finger part 2. The suction port 23 is an end of a suction channel that sucks fluid from the outside of the first finger portion 2a. The opening on the inner side of the finger part 2 in the through hole 14c is closed by the inner shell part 14b. That is, the inner side of the through-hole 14c and the edge thereof have a concave shape with the outer surface of the inner shell part 14b as a bottom surface, and the wall part 24 facing the through-hole 14c and the suction port 23 of the inner shell part 14b. A portion surrounded by the outer shell portion 14a is a fluid chamber 25 in which a fluid is disposed. The fluid chamber 25 communicates with the suction port 23 (suction channel).

ところで、弾性体１４の一部をなす内殻部１４ｂの壁部２４は、流体室２２の圧力が減少すると、流体室２５から流体室２２に向かって変形する。これにより、流体室２２の容積が変化し、流体室２２の圧力が変化する。このように、流体室２２は、弾性体１４の変形により圧力変化を生じる圧力変化部である。   By the way, the wall portion 24 of the inner shell portion 14 b that forms a part of the elastic body 14 is deformed from the fluid chamber 25 toward the fluid chamber 22 when the pressure in the fluid chamber 22 decreases. As a result, the volume of the fluid chamber 22 changes and the pressure of the fluid chamber 22 changes. As described above, the fluid chamber 22 is a pressure changing portion that generates a pressure change due to the deformation of the elastic body 14.

弾性体１４の内部には、流体室２５と連通する流路２６が形成されている。本実施形態において、流路２６は、外殻部１４ａに形成された溝部の側方を内殻部１４ｂで塞いだものである。流路２６の一端は、貫通孔１４ｃの内壁に開いた吸気口になっており、流路２６の他端は、配管２７に接続されている。配管２７は、剛性部材１３の側部１８ｂに形成された穴を通して、剛性部材１３の箱状部１８内を引き回されて指部２の外部へ引き出され、真空ポンプなどの吸引装置（図示略）に接続されている。   A flow path 26 communicating with the fluid chamber 25 is formed inside the elastic body 14. In the present embodiment, the flow path 26 is formed by closing the side of the groove formed in the outer shell portion 14a with the inner shell portion 14b. One end of the flow path 26 is an air inlet opening in the inner wall of the through hole 14 c, and the other end of the flow path 26 is connected to the pipe 27. The pipe 27 is drawn through the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 through the hole formed in the side portion 18b of the rigid member 13, and is pulled out of the finger portion 2. The suction device (not shown) such as a vacuum pump is provided. )It is connected to the.

圧力センサー１５は、流体室２２の圧力を検出することにより、弾性体１４の変形を検出するセンサーである。圧力センサー１５は、例えば、圧力を感じる感圧部１５ａと、感圧部１５ａが感じた圧力を電気信号に変換する本体部１５ｂと、本体部１５ｂから出力された電気信号を処理する処理部１５ｃとを含む。感圧部１５ａは、剛性部材１３の側部１８ｂを貫通する孔に挿通されており、弾性体１４の内側の流体室２２に隣接（露出）している。   The pressure sensor 15 is a sensor that detects the deformation of the elastic body 14 by detecting the pressure of the fluid chamber 22. The pressure sensor 15 includes, for example, a pressure sensing part 15a that senses pressure, a main body part 15b that converts pressure sensed by the pressure sensing part 15a into an electrical signal, and a processing part 15c that processes an electrical signal output from the main body part 15b. Including. The pressure sensitive part 15 a is inserted through a hole penetrating the side part 18 b of the rigid member 13, and is adjacent (exposed) to the fluid chamber 22 inside the elastic body 14.

本実施形態において、流体室２２に配される流体は気体であるので、感圧部１５ａの濡れなどによる故障の発生が抑制される。本体部１５ｂおよび処理部１５ｃは、剛性部材１３の箱状部１８に収容されている。流体室２２に配される流体は気体であるので、この流体が液体である場合と比較して、液体の漏れなどによる本体部１５ｂおよび処理部１５ｃの故障の発生などが抑制される。   In the present embodiment, since the fluid disposed in the fluid chamber 22 is a gas, the occurrence of a failure due to the wetting of the pressure sensing unit 15a is suppressed. The main body portion 15 b and the processing portion 15 c are accommodated in the box-shaped portion 18 of the rigid member 13. Since the fluid disposed in the fluid chamber 22 is a gas, the occurrence of a failure of the main body portion 15b and the processing portion 15c due to liquid leakage or the like is suppressed as compared with the case where the fluid is a liquid.

剛性部材１３の底部１８ａに設けられた弾性体１６は、弾性変形可能に形成され、例えば弾性体１４と同様の樹脂材料からなる。弾性体１６は、底部１８ａから指部２の外部に向かって突出した突起状である。弾性体１６は、有孔容器状であり、その孔の縁が剛性部材１３の底部１８ａと密着しており、この孔は底部１８ａに塞がれている。弾性体１６と剛性部材１３（底部１８ａ）とに囲まれる空間は、流体が配される流体室２８になっている。   The elastic body 16 provided on the bottom portion 18a of the rigid member 13 is formed to be elastically deformable, and is made of, for example, the same resin material as that of the elastic body 14. The elastic body 16 has a protruding shape that protrudes from the bottom portion 18 a toward the outside of the finger portion 2. The elastic body 16 has a perforated container shape, and the edge of the hole is in close contact with the bottom portion 18a of the rigid member 13, and the hole is closed by the bottom portion 18a. A space surrounded by the elastic body 16 and the rigid member 13 (bottom 18a) is a fluid chamber 28 in which a fluid is disposed.

圧力センサー１７は、流体室２８の圧力を検出することにより、弾性体１６の変形を検出するセンサーである。圧力センサー１７は、例えば、圧力を感じる感圧部１７ａと、感圧部１７ａが感じた圧力を電気信号に変換する本体部１７ｂと、本体部１７ｂから出力された電気信号を処理する処理部１７ｃとを含む。感圧部１７ａは、剛性部材１３の底部１８ａを貫通する孔に挿通されており、弾性体１６の内側の流体室２８に隣接（露出）している。本体部１７ｂおよび処理部１７ｃは、剛性部材１３の箱状部１８に収容されている。   The pressure sensor 17 is a sensor that detects the deformation of the elastic body 16 by detecting the pressure of the fluid chamber 28. The pressure sensor 17 includes, for example, a pressure sensing unit 17a that senses pressure, a main body unit 17b that converts pressure sensed by the pressure sensing unit 17a into an electrical signal, and a processing unit 17c that processes an electrical signal output from the main body unit 17b. Including. The pressure sensitive portion 17 a is inserted through a hole that penetrates the bottom portion 18 a of the rigid member 13, and is adjacent (exposed) to the fluid chamber 28 inside the elastic body 16. The main body portion 17 b and the processing portion 17 c are accommodated in the box-shaped portion 18 of the rigid member 13.

次に、指部２による吸着動作について説明する。指部２の吸着部２１は、対象物を吸着する際に、対象物の付近に配置される。また、配管２７に接続された吸引装置は、配管２７および流路２６を介して、流体室２５の流体を吸引する。すると、吸着部２１と対象物との間の流体が吸着部２１の吸引口２３から吸引され、吸着部２１と対象物との間が減圧される。この減圧より、対象物は、吸着部２１に引き寄せられて弾性体１４に接触し、吸着部２１に吸着する。   Next, the adsorption operation by the finger part 2 will be described. The suction part 21 of the finger part 2 is disposed in the vicinity of the object when the object is sucked. Further, the suction device connected to the pipe 27 sucks the fluid in the fluid chamber 25 through the pipe 27 and the flow path 26. Then, the fluid between the suction unit 21 and the target object is sucked from the suction port 23 of the suction unit 21 and the pressure between the suction unit 21 and the target object is reduced. From this pressure reduction, the object is attracted to the adsorbing part 21, contacts the elastic body 14, and adsorbs to the adsorbing part 21.

図３は、指部２の吸着動作中における流体室２２、流体室２５の圧力変化の一例を示す図である。図３において、縦軸は、流体室２２および流体室２５のそれぞれの圧力［ｋＰａ］を示し、横軸は、吸引口２３から吸引が開始されてからの時間［ｓｅｃ］、符号ｔ１は、対象物が吸着された時間を示す。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of pressure changes in the fluid chamber 22 and the fluid chamber 25 during the suction operation of the finger portion 2. In FIG. 3, the vertical axis indicates the pressure [kPa] of each of the fluid chamber 22 and the fluid chamber 25, the horizontal axis indicates the time [sec] from when the suction is started from the suction port 23, and the symbol t <b> 1 is the target Indicates the time when an object is adsorbed.

流体室２５の圧力Ｐ１は、流体室２５が大気解放されている状態においては、指部２の外部の圧力とほぼ同じである。流体室２５の圧力Ｐ１は、吸引が開始されてもほぼ変化しないか、変化してもその傾きが緩やかであるが、時間ｔ１において対象物が吸着されると、ステップ状に急激に減少する。これは、吸着した対象物により、吸引口２３の少なくとも一部が塞がれた状態となり、流体室２５が吸引装置により減圧されるからである。   The pressure P1 of the fluid chamber 25 is substantially the same as the pressure outside the finger portion 2 when the fluid chamber 25 is released to the atmosphere. The pressure P1 in the fluid chamber 25 does not substantially change even when the suction is started, or the slope thereof is gentle even if the suction is started. However, when the object is adsorbed at time t1, the pressure P1 rapidly decreases in a stepped manner. This is because at least a part of the suction port 23 is blocked by the adsorbed object, and the fluid chamber 25 is decompressed by the suction device.

また、流体室２５と壁部２４を介して隣り合う流体室２２の圧力Ｐ２は、流体室２５の圧力Ｐ１（指部２の外部の圧力）よりも高い正圧に設定されている。流体室２２の圧力Ｐ２は、時間ｔ１までは流体室２５の圧力Ｐ１がほぼ変化しないため、圧力Ｐ１と同様にほぼ変化しない。ここで、貫通孔１４ｃに面する内殻部１４ｂの壁部２４（図２参照）は、対象物が吸着された時間ｔ１において、流体室２５が減圧されることにより流体室２５に向かって変形する。これにより、流体室２２の容積が増加し、流体室２２の圧力Ｐ２が低下する。この流体室２２の圧力Ｐ２は、図２に示した圧力センサー１５により検出されるので、圧力センサー１５による検出の結果により、対象物が吸着しているか否かを判定すること等ができる。換言すると、ロボットハンド１は、対象物に隣接する流体室２５の圧力を検出しなくても対象物の吸着状態（吸着力、吸着の有無など）を検出することができる。   The pressure P2 of the fluid chamber 22 adjacent to the fluid chamber 25 via the wall portion 24 is set to a positive pressure higher than the pressure P1 of the fluid chamber 25 (pressure outside the finger portion 2). The pressure P2 in the fluid chamber 22 does not substantially change in the same manner as the pressure P1 because the pressure P1 in the fluid chamber 25 does not substantially change until time t1. Here, the wall portion 24 (see FIG. 2) of the inner shell portion 14b facing the through hole 14c is deformed toward the fluid chamber 25 by reducing the pressure of the fluid chamber 25 at time t1 when the object is adsorbed. To do. Thereby, the volume of the fluid chamber 22 increases and the pressure P2 of the fluid chamber 22 decreases. Since the pressure P2 in the fluid chamber 22 is detected by the pressure sensor 15 shown in FIG. 2, it can be determined whether or not the object is adsorbed based on the result of detection by the pressure sensor 15. In other words, the robot hand 1 can detect the suction state (suction force, presence / absence of suction, etc.) of the target without detecting the pressure of the fluid chamber 25 adjacent to the target.

なお、流体室２５に配される流体は、例えば指部２が空気中で作業する場合には空気であり、例えば指部２が水中で作業する場合には水である。このように、流体室２５に配される流体は、気体または液体を含む単相流体であってもよいし、気体および液体を含む混相流体であってもよく、気体と液体の少なくとも一方と粒子などの固体を含む混相流体であってもよい。   Note that the fluid disposed in the fluid chamber 25 is, for example, air when the finger unit 2 operates in the air, and water, for example, when the finger unit 2 operates in water. As described above, the fluid disposed in the fluid chamber 25 may be a single-phase fluid containing gas or liquid, or a mixed-phase fluid containing gas and liquid, and at least one of gas and liquid and particles. It may be a multiphase fluid containing a solid.

以上のような構成の本実施形態のロボットハンド１は、指部２に吸着部２１が設けられているので、対象物が指部２に対して滑ること等が抑制され、対象物を安定して保持（把持）できる。このような吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができる。その結果、ロボットハンド１は、対象物の吸着状態（保持状態）を精度よく制御することができ、例えば、対象物を落とさないように保持すること、対象物をつぶさないように保持することなどができる。   In the robot hand 1 of the present embodiment having the above-described configuration, the finger unit 2 is provided with the suction unit 21, so that the object is prevented from sliding with respect to the finger unit 2 and the object is stabilized. Can be held (gripped). Since the pressure sensor 15 is provided together with such an adsorbing portion 21, it is possible to accurately detect the adsorbing state of the object. As a result, the robot hand 1 can accurately control the attracting state (holding state) of the object, for example, holding the object so as not to drop, holding the object so as not to be crushed, and the like. Can do.

また、ロボットハンド１は、対象物の吸着状態を精度よく検出することができるので、例えば吸着状態を検出するための検出系、あるいは吸着状態を推定するための演算系などをシンプルにすることができ、シンプルな構成で高機能を実現可能である。   Further, since the robot hand 1 can accurately detect the suction state of the object, for example, a detection system for detecting the suction state or a calculation system for estimating the suction state can be simplified. It is possible to achieve high functionality with a simple configuration.

本実施形態において、流体室２２の圧力は、流体室２５の圧力に応じて変化し、図３に示したように対象物の吸着の有無に対して感度が高い。そのため、例えば圧力センサー１５による検出の結果をモニタリングすること等により、対象物の吸着の有無を精度よく判定することができる。この判定は、例えば圧力センサー１５が検出した圧力を閾値と比較することで実行でき、ロボットハンド１のオペレータが実行してもよいし、ロボットハンド１に併設される演算装置などが自動で実行してもよい。   In the present embodiment, the pressure of the fluid chamber 22 changes according to the pressure of the fluid chamber 25, and the sensitivity is high with respect to the presence or absence of the object as shown in FIG. Therefore, for example, by monitoring the detection result by the pressure sensor 15, it is possible to accurately determine whether or not the object is adsorbed. This determination can be executed, for example, by comparing the pressure detected by the pressure sensor 15 with a threshold value, and may be executed by the operator of the robot hand 1, or may be automatically executed by an arithmetic unit attached to the robot hand 1. May be.

本実施形態において、流体室２２は、弾性体１４により気密に封止されているので、流体室２２へのゴミ等の異物の侵入が抑制される。圧力センサー１７の少なくとも一部（感圧部１７ａ）は、このような流体室２２に隣接して配置されているので、異物の侵入による故障や誤動作が抑制される。また、吸着部２１の一部をなす弾性体１４を利用して、圧力センサー１７を異物から保護することができるので、圧力センサー１７の保護構造を別途設ける場合よりも、シンプルな構成にできる。   In the present embodiment, since the fluid chamber 22 is hermetically sealed by the elastic body 14, entry of foreign matters such as dust into the fluid chamber 22 is suppressed. Since at least a part of the pressure sensor 17 (pressure-sensitive portion 17a) is disposed adjacent to the fluid chamber 22, failure and malfunction due to entry of foreign matter are suppressed. In addition, since the pressure sensor 17 can be protected from foreign substances by using the elastic body 14 that forms a part of the adsorbing portion 21, a simpler structure can be achieved than when a protective structure for the pressure sensor 17 is provided separately.

本実施形態において、ロボットハンド１は、複数の指部２を備えているので多様な物体を安定的に保持することができ、利便性が高い。なお、ロボットハンド１が備える指部２の数は、１つでもよい。また、本実施形態において、第１腹部１１および第２腹部１２は、吸着部２１を有していないが、吸着部２１を有していてもよい。このように、弾性体およびセンサーを含む構造が複数設けられていれば、物体をさらに安定的に保持することができる。   In the present embodiment, the robot hand 1 includes a plurality of finger portions 2 and thus can stably hold various objects and is highly convenient. Note that the number of the finger parts 2 provided in the robot hand 1 may be one. Moreover, in this embodiment, although the 1st abdominal part 11 and the 2nd abdominal part 12 do not have the adsorption | suction part 21, you may have the adsorption | suction part 21. FIG. Thus, if a plurality of structures including an elastic body and a sensor are provided, the object can be held more stably.

なお、第１指部２ａは、対象物と接触する接触部を離散的に有する場合に、複数の接触部のうち少なくとも１つに吸着部２１が設けられていればよく、吸着部２１を有する接触部の数に限定はない。また、複数の接触部のうちのいずれに吸着部２１が設けられていてもよく、例えば、先端部１０に吸着部２１が設けられておらず、第１腹部１１に吸着部２１が設けられていてもよい。また、第１指部２ａのうち対象物と接触する接触部の数は、１つ以上であれば限定はなく、例えば接触部の数が１つであってもよく、この接触部に吸着部２１が設けられていればよい。   In addition, when the 1st finger part 2a has the contact part which contacts a target object discretely, the adsorption | suction part 21 should just be provided in at least 1 among several contact parts, and has the adsorption | suction part 21. There is no limitation on the number of contact portions. Moreover, the adsorption | suction part 21 may be provided in any of several contact parts, for example, the adsorption | suction part 21 is not provided in the front-end | tip part 10, and the adsorption | suction part 21 is provided in the 1st abdominal part 11. May be. Moreover, the number of the contact parts which contact with the target object among the first finger parts 2a is not limited as long as it is one or more. For example, the number of the contact parts may be one, and the suction part is attached to the contact part. 21 should just be provided.

次に、本実施形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図４（ａ）〜（ｃ）、図５（ａ）〜（ｃ）、図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。   Next, a method for manufacturing the robot hand 1 according to the present embodiment will be described based on the robot hand 1 described above. 4 (a) to (c), FIGS. 5 (a) to (c), FIGS. 6 (a) to (c), and FIGS. 7 (a) to 7 (c) show the robot hand 1 (finger 2). It is process drawing which shows a manufacturing method.

指部２を製造するには、図４（ａ）に示すように、指部２の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。型３０は、図２に示した弾性体１４の外殻部１４ａに相当する凹部３０ａ、及び弾性体１６に相当する凹部３０ｂを有する。この型３０は、例えばワックス（ロウ材）などの母材を切削加工することで得られる。型３０はメス型であり、その開口３０ｃから見た場合に影となるオーバーハング部分が少ないものを用いると、後の工程で作業性が高くなる。そのためには、型３０の開口３０ｃから凹部３０ａの内側および凹部３０ｂの内側が見通せるように、凹部３０ａの縁を含む面および凹部３０ｂの縁を含む面を、型３０の開口３０ｃを含む面に対して傾けておくとよい。   In order to manufacture the finger part 2, as shown to Fig.4 (a), the type | mold 30 according to the external shape of the elastic body 14 and the elastic body 16 of the finger part 2 is prepared. The mold 30 has a recess 30a corresponding to the outer shell portion 14a of the elastic body 14 shown in FIG. 2 and a recess 30b corresponding to the elastic body 16. The mold 30 can be obtained by cutting a base material such as wax (waxing material). The mold 30 is a female mold, and if a mold having a small overhang portion that becomes a shadow when viewed from the opening 30c is used, workability is improved in a later process. For this purpose, the surface including the edge of the recess 30a and the surface including the edge of the recess 30b are made the surface including the opening 30c of the mold 30 so that the inside of the recess 30a and the inside of the recess 30b can be seen from the opening 30c of the mold 30. It is better to tilt it.

次に、図４（ｂ）に示すように、型３０に弾性体１４および弾性体１６の形成材料である軟質樹脂３１を堆積させ、この軟質樹脂３１を凹部３０ａの内側および凹部３０ｂの内側に充填する。軟質樹脂３１は、例えばショア高度が５０Ａ程度のポリウレタン樹脂であり、一例としてＡｘｓｏｎ Ｊａｐａｎ製のポリウレタン樹脂（ＵＲ５８０１／ＵＲ５８５０）などが挙げられる。このようにして、軟質樹脂３１のうち弾性体１４の外形および弾性体１６の外形に相当する部分を成形する。   Next, as shown in FIG. 4B, a soft resin 31 as a material for forming the elastic body 14 and the elastic body 16 is deposited on the mold 30, and the soft resin 31 is placed inside the recess 30a and inside the recess 30b. Fill. The soft resin 31 is, for example, a polyurethane resin having a Shore altitude of about 50 A, and examples thereof include a polyurethane resin (UR5801 / UR5850) manufactured by Axson Japan. In this manner, portions of the soft resin 31 corresponding to the outer shape of the elastic body 14 and the outer shape of the elastic body 16 are formed.

また、型３２を用いて、軟質樹脂３１のうち型３０の反対側を成形する。型３２は、図２に示した弾性体１４の外殻部１４ａの内面の形状に相当する凸部３２ａ、及び弾性体１６の内面の形状に相当する凸部３２ｂを有する。   Further, the mold 32 is used to mold the opposite side of the mold 30 in the soft resin 31. The mold 32 has a convex portion 32 a corresponding to the shape of the inner surface of the outer shell portion 14 a of the elastic body 14 shown in FIG. 2 and a convex portion 32 b corresponding to the shape of the inner surface of the elastic body 16.

ところで、図２に示した外殻部１４ａには流路２６に相当する溝部が形成されており、外殻部１４ａの内面の一部は、流路２６の内面の一部となる。そこで、凸部３２ａとしては、流路２６の溝部の形状に応じた突条部を有するものを用いる。   Incidentally, a groove corresponding to the flow path 26 is formed in the outer shell portion 14 a shown in FIG. 2, and a part of the inner surface of the outer shell portion 14 a becomes a part of the inner surface of the flow path 26. Therefore, as the convex portion 32a, a convex portion having a protrusion corresponding to the shape of the groove portion of the flow path 26 is used.

また、軟質樹脂３１は、弾性体１４の外殻部１４ａおよび弾性体１６になる部分であり、それ以外の指部２の部位と接する面（以下、接触面という）を含む。例えば、軟質樹脂３１のうち外殻部１４ａになる部分は、弾性体１４の内殻部１４ｂと接する接触面３１ａ、剛性部材１３の側部１８ｂと接する接触面３１ｂを有する。接触面３１ａおよび接触面３１ｂは、平滑面に形成されてもよいが、表面粗さが高い方が他の部位との密着性が高くなる。そこで、本実施形態においては、型３２のうち接触面３１ａおよび接触面３１ｂを成形する部分の少なくとも一部の表面粗さを高くしておき、接触面３１ａおよび接触面３１ｂを表面粗さが高くなるように成形する。   Further, the soft resin 31 is a portion that becomes the outer shell portion 14a and the elastic body 16 of the elastic body 14, and includes a surface (hereinafter referred to as a contact surface) in contact with the other portions of the finger portion 2. For example, a portion of the soft resin 31 that becomes the outer shell portion 14 a has a contact surface 31 a that contacts the inner shell portion 14 b of the elastic body 14 and a contact surface 31 b that contacts the side portion 18 b of the rigid member 13. The contact surface 31a and the contact surface 31b may be formed as smooth surfaces, but the higher the surface roughness, the higher the adhesion with other parts. Therefore, in the present embodiment, the surface roughness of at least a part of the mold 32 where the contact surface 31a and the contact surface 31b are molded is increased, and the contact surface 31a and the contact surface 31b are increased in surface roughness. It shape | molds so that it may become.

このような型３２で軟質樹脂３１を成形した後、図４（ｃ）に示すように、軟質樹脂３１を型３０に付けた状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。成形された軟質樹脂３１には、図２に示した指部２において流体が配される空隙（流路２６）となる空間Ｓａの周囲の一部に、弾性体１４の外殻部１４ａが壁部として形成されている。   After the soft resin 31 is molded with such a mold 32, the mold 32 is removed from the soft resin 31 while maintaining the state where the soft resin 31 is attached to the mold 30 as shown in FIG. In the molded soft resin 31, the outer shell portion 14 a of the elastic body 14 is formed on a part of the periphery of the space Sa serving as a gap (flow path 26) in which fluid is arranged in the finger portion 2 shown in FIG. 2. It is formed as a part.

次に、図５（ａ）に示すように、弾性体１４の外殻部１４ａ上において流路２６となる空間Ｓａに、犠牲部３３ａを形成する。ここでは、犠牲部３３ａとなる犠牲材料を昇温により液状とし、液状の犠牲材料を空間Ｓａに充填する。そして、液状材料を常温程度に冷却することにより固化し、必要に応じて切削加工、型成形などにより成形する。犠牲部３３ａの表面形状は、図２に示した弾性体１４の内殻部１４ｂの外面の形状に合わせるように成形する。   Next, as shown in FIG. 5A, a sacrificial portion 33 a is formed in a space Sa serving as the flow path 26 on the outer shell portion 14 a of the elastic body 14. Here, the sacrificial material that becomes the sacrificial portion 33a is made liquid by raising the temperature, and the liquid sacrificial material is filled into the space Sa. Then, the liquid material is solidified by cooling to about room temperature, and is formed by cutting, mold forming, or the like as necessary. The surface shape of the sacrificial portion 33a is formed to match the shape of the outer surface of the inner shell portion 14b of the elastic body 14 shown in FIG.

次に、図５（ｂ）に示すように、弾性体１４の外殻部１４ａ上および犠牲部３３ａ上に、図２に示した弾性体１４の内殻部１４ｂの形成材料として軟質樹脂３４を堆積させる。そして、図５（ｃ）に示すように、軟質樹脂３４を切削加工あるいは型成形により成形し、弾性体１４の内殻部１４ｂを形成する。内殻部１４ｂの一部は、流路２６となる空間Ｓａの犠牲部３３ａ上に形成されており、空間Ｓａを外殻部１４ａとともに囲む壁部として形成される。そして、犠牲部３３ａを例えば昇温により流動化し、外殻部１４ａと内殻部１４ｂとの間から除去する。犠牲部３３ａが除去された空間Ｓａは、空隙となり、図２に示した流路２６となる。   Next, as shown in FIG. 5B, a soft resin 34 is formed on the outer shell portion 14a and the sacrificial portion 33a of the elastic body 14 as a material for forming the inner shell portion 14b of the elastic body 14 shown in FIG. Deposit. Then, as shown in FIG. 5C, the soft resin 34 is molded by cutting or molding to form the inner shell portion 14b of the elastic body 14. A part of the inner shell portion 14b is formed on the sacrificial portion 33a of the space Sa serving as the flow path 26, and is formed as a wall portion surrounding the space Sa together with the outer shell portion 14a. Then, the sacrificial portion 33a is fluidized, for example, by raising the temperature, and is removed from between the outer shell portion 14a and the inner shell portion 14b. The space Sa from which the sacrificial portion 33a has been removed becomes a gap and becomes the flow path 26 shown in FIG.

ところで、弾性体１４の内殻部１４ｂは、図２に示した指部２において流体が配される空隙（流体室２２）の周囲の一部に形成された壁部である。また、弾性体１６は、指部２において流体が配される空隙（図２の流体室２８）の周囲の一部に形成された壁部である。これら壁部を利用して、後の工程で流体室２２および流体室２８を形成する。   By the way, the inner shell part 14b of the elastic body 14 is a wall part formed in a part of the periphery of the gap (fluid chamber 22) in which the fluid is arranged in the finger part 2 shown in FIG. Further, the elastic body 16 is a wall portion formed in a part of the periphery of the gap (fluid chamber 28 in FIG. 2) in which fluid is arranged in the finger portion 2. Using these wall portions, the fluid chamber 22 and the fluid chamber 28 are formed in a later process.

次に、図６（ａ）に示すように、弾性体１４の内殻部１４ｂ上および弾性体１６上に、犠牲材料を堆積させて犠牲部３５を形成する。犠牲部３５は、図５（ａ）に示した犠牲部３３ａと同様にして形成できる。そして、図６（ｂ）に示すように、犠牲部３５を切削加工や型成形などによって成形することにより、内殻部１４ｂ上において流体室２２となる空間Ｓｂに犠牲部３３ｂを形成し、弾性体１６上において流体室２８となる空間Ｓｃに犠牲部３３ｃを形成する。犠牲部３３ｂの表面形状は、図２に示した剛性部材１３の側部１８ｂの表面形状に合わせるように成形する。また、犠牲部３３ｃの表面形状は、剛性部材１３の底部１８ａの表面形状に合わせるように、成形する。   Next, as shown in FIG. 6A, a sacrificial material is deposited on the inner shell portion 14 b and the elastic body 16 of the elastic body 14 to form a sacrificial portion 35. The sacrificial portion 35 can be formed in the same manner as the sacrificial portion 33a shown in FIG. Then, as shown in FIG. 6B, the sacrificial portion 35 is formed by cutting or molding to form the sacrificial portion 33b in the space Sb that becomes the fluid chamber 22 on the inner shell portion 14b, and is elastic. A sacrificial portion 33 c is formed in a space Sc that becomes the fluid chamber 28 on the body 16. The surface shape of the sacrificial portion 33b is formed to match the surface shape of the side portion 18b of the rigid member 13 shown in FIG. In addition, the surface shape of the sacrificial portion 33 c is formed to match the surface shape of the bottom portion 18 a of the rigid member 13.

次に、図６（ｃ）に示すように、犠牲部３３ｂ上および犠牲部３３ｃ上に、図２に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。ところで、犠牲部３３ｂ、犠牲部３３ｃ等には、液状の犠牲材料に由来する水分、雰囲気中の水分が付着していることがある。そこで、硬質樹脂３６の堆積に先立ち、犠牲部３３ｂや犠牲部３３ｃ等の水分を減圧などにより除去しておくと、硬質樹脂３６に水分に起因するの気泡を生じることなどが抑制される。   Next, as shown in FIG. 6C, a hard resin 36 is deposited on the sacrificial part 33b and the sacrificial part 33c as a material for forming the rigid member 13 shown in FIG. By the way, the water | moisture content derived from a liquid sacrificial material and the water | moisture content in atmosphere may adhere to sacrificial part 33b, sacrificial part 33c, etc. Therefore, if moisture in the sacrificial portion 33b and the sacrificial portion 33c is removed by decompression or the like prior to the deposition of the hard resin 36, generation of bubbles due to the moisture in the hard resin 36 is suppressed.

次に、図７（ａ）に示すように、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形することにより、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。箱状部１８の側部１８ｂは、流体室２２となる空間Ｓｂの犠牲部３３ｂ上に形成されており、空間Ｓｂを内殻部１４ｂとともに囲む壁部である。ここでは、箱状部１８の側部１８ｂに圧力センサー１５の取付孔３７を形成する。取付孔３７は、側部１８ｂを貫通しており、犠牲部３３ｂに通じることになる。また、箱状部１８の底部１８ａは、流体室２８となる空間Ｓｃの犠牲部３３ｃ上に形成されており、空間Ｓｂを弾性体１６とともに囲む壁部である。ここでは、箱状部１８の底部１８ａに圧力センサー１７の取付孔３８を形成する。取付孔３８は、底部１８ａを貫通しており、犠牲部３３ｃに通じることになる。   Next, as shown in FIG. 7A, the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 is formed by molding the hard resin 36 by cutting or the like. The side portion 18b of the box-shaped portion 18 is a wall portion that is formed on the sacrificial portion 33b of the space Sb that becomes the fluid chamber 22, and surrounds the space Sb together with the inner shell portion 14b. Here, the attachment hole 37 of the pressure sensor 15 is formed in the side portion 18 b of the box-shaped portion 18. The attachment hole 37 penetrates the side portion 18b and leads to the sacrifice portion 33b. The bottom portion 18 a of the box-shaped portion 18 is a wall portion that is formed on the sacrificial portion 33 c of the space Sc that becomes the fluid chamber 28 and surrounds the space Sb together with the elastic body 16. Here, the attachment hole 38 of the pressure sensor 17 is formed in the bottom portion 18 a of the box-shaped portion 18. The attachment hole 38 passes through the bottom portion 18a and communicates with the sacrificial portion 33c.

次に、図７（ｂ）に示すように、図７（ａ）の犠牲部３３ｂおよび犠牲部３３ｃを除去する。犠牲部３３ｂは、例えば昇温により流動化した状態で、取付孔３７を介して除去可能である。同様に、犠牲部３３ｃは、例えば昇温により流動化した状態で、取付孔３８を介して除去可能である。犠牲部３３ｂが除去された空間Ｓｂ、犠牲部３３ｃが除去された空間Ｓｃは、それぞれ空隙となり、図２に示した流体室２２、流体室２８となる。   Next, as shown in FIG. 7B, the sacrificial portion 33b and the sacrificial portion 33c in FIG. 7A are removed. The sacrificial portion 33b can be removed through the mounting hole 37 in a state of being fluidized by, for example, increasing the temperature. Similarly, the sacrificial part 33c can be removed through the attachment hole 38 in a state of being fluidized by, for example, increasing the temperature. The space Sb from which the sacrificial portion 33b has been removed and the space Sc from which the sacrificial portion 33c has been removed become voids, which become the fluid chamber 22 and the fluid chamber 28 shown in FIG.

次に、図７（ｃ）に示すように、取付孔３７に圧力センサー１５を取り付け、取付孔３８に圧力センサー１７を取り付ける。また、流路２６に配管２７を接続する。このように、剛性部材１３の箱状部１８に各部を収容した後に、図２に示した蓋部１９および封止材２０により箱状部１８を封止することなどにより、指部２が得られる。封止材２０は、例えば、弾性体１４と同様に軟質樹脂などで形成できる。   Next, as shown in FIG. 7C, the pressure sensor 15 is attached to the attachment hole 37, and the pressure sensor 17 is attached to the attachment hole 38. A pipe 27 is connected to the flow path 26. Thus, after each part is accommodated in the box-shaped part 18 of the rigid member 13, the finger part 2 is obtained by sealing the box-shaped part 18 with the lid part 19 and the sealing material 20 shown in FIG. It is done. The sealing material 20 can be formed of, for example, a soft resin like the elastic body 14.

このような本実施形態のロボットハンド１の製造方法は、物体を安定的に保持できるロボットハンド１を製造できる。また、流体が配される空隙を形成する工程において、図５（ｃ）に示した空間Ｓａの犠牲部３３ａを除去することにより流路２６を形成するので、流路２６を弾性体１４と一体的に形成できる。また、図７（ａ）および図７（ｂ）に示した空間Ｓｂの犠牲部３３ｂを除去することにより、流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、空間Ｓｃの犠牲部３３ｃを除去することにより、流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。   Such a manufacturing method of the robot hand 1 of the present embodiment can manufacture the robot hand 1 capable of stably holding an object. Further, in the step of forming the gap in which the fluid is disposed, the flow path 26 is formed by removing the sacrificial portion 33a of the space Sa shown in FIG. 5C, so that the flow path 26 is integrated with the elastic body 14. Can be formed. Further, the fluid chamber 22 is formed by removing the sacrificial portion 33b of the space Sb shown in FIG. 7A and FIG. 7B, so that the fluid chamber 22 is integrated with the elastic body 14 and the rigid member 13. Can be formed. Similarly, since the fluid chamber 28 is formed by removing the sacrificial portion 33c of the space Sc, the fluid chamber 28 can be formed integrally with the elastic body 16 and the rigid member 13. As described above, since the gap in which the fluid is arranged is formed integrally with the surrounding members, the manufacturing cost can be suppressed, and a high function can be realized with a simple configuration.

なお、弾性体１４の成形については、型成形の他に切削加工などで行ってもよいが、型成形によれば、切削加工に比べて弾性体１４が損傷しにくい。そのため、弾性体１４の厚みを減らすことが容易になり、弾性体１４の柔軟性を向上させることなどができる。これにより、対象物への密着性が向上し、対象物を安定的に保持できる。また、弾性体１４を柔軟にすることにより、例えば、フィルムなどの損傷しやすい対象物への適用が容易になる。また、弾性体１４が変形しやすくなるので、圧力センサー１５の感度を実質的に向上することができる。   The elastic body 14 may be formed by cutting or the like in addition to mold forming. However, according to the mold forming, the elastic body 14 is less likely to be damaged than cutting. Therefore, it becomes easy to reduce the thickness of the elastic body 14, and the flexibility of the elastic body 14 can be improved. Thereby, the adhesiveness to a target object improves and a target object can be hold | maintained stably. Further, by making the elastic body 14 flexible, for example, application to an easily damaged object such as a film becomes easy. Further, since the elastic body 14 is easily deformed, the sensitivity of the pressure sensor 15 can be substantially improved.

［第１参考形態］
次に第１参考形態について説明する。本参考形態において、上記の実施形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。 [First Reference Form]
Next, the first reference embodiment will be described. In the present embodiment, the same configurations as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment, and the description thereof is simplified or omitted.

図８は本参考形態に係るロボットハンドの指部２を示す断面図、図９は指部２の吸着部２１を示す断面図である。本参考形態の指部２は、吸着部２１の構成が第１参考形態と異なる。図９の吸着部２１は、弾性体１４の外表面に配置された隔壁４０と、弾性体１４の内側において隔壁４０に隣接する流体室２５と、流体室２５から流体を吸引する吸引口４１と、を有する。吸引口４１は、配管２７を介して吸引装置（図示略）と接続されている。吸引口４１を介して流体室２５から流体が吸引されると、流体室２５の圧力が減少する。本参考形態において、流体室２５に配される流体は気体であるが、液体の単相流体であってもよいし、混相流体であってもよい。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing the finger part 2 of the robot hand according to this embodiment, and FIG. 9 is a cross-sectional view showing the suction part 21 of the finger part 2. The finger part 2 of this reference form is different from the first reference form in the configuration of the suction part 21. 9 includes a partition wall 40 arranged on the outer surface of the elastic body 14, a fluid chamber 25 adjacent to the partition wall 40 inside the elastic body 14, and a suction port 41 for sucking fluid from the fluid chamber 25. Have. The suction port 41 is connected to a suction device (not shown) through the pipe 27. When fluid is sucked from the fluid chamber 25 through the suction port 41, the pressure in the fluid chamber 25 decreases. In the present embodiment, the fluid disposed in the fluid chamber 25 is a gas, but it may be a liquid single-phase fluid or a mixed-phase fluid.

隔壁４０は、弾性体１４の一部であり、弾性体１４の他の部分よりも薄肉である。ここでは、弾性体１４において対象物に接触する面４２は、ほぼ平面状であり、隔壁４０の外面は、面４２の一部である。隔壁４０は、流体室２５の圧力が指部２の外部の圧力よりも低圧（負圧）になると、流体室２５に向かって変形（湾曲）する。対象物が面４２に接触した状態において、隔壁４０が流体室２５に向かって変形すると、隔壁４０と対象物との間の空隙が広がり、この空隙の負圧により対象物が吸着部２１に吸着される。   The partition wall 40 is a part of the elastic body 14 and is thinner than the other parts of the elastic body 14. Here, the surface 42 in contact with the object in the elastic body 14 is substantially flat, and the outer surface of the partition wall 40 is a part of the surface 42. The partition 40 is deformed (curved) toward the fluid chamber 25 when the pressure in the fluid chamber 25 becomes lower (negative pressure) than the pressure outside the finger portion 2. When the partition wall 40 is deformed toward the fluid chamber 25 in a state where the target object is in contact with the surface 42, a gap between the partition wall 40 and the target object is expanded, and the target object is adsorbed by the suction portion 21 due to the negative pressure of the gap. Is done.

圧力センサー１７は、上記の実施形態と同様に、その感圧部１５ａが流体室２２に隣接している。流体室２２は、隔壁４３によって流体室２５と仕切られており、正圧に保たれている。隔壁４３は、有底中空の柱状であり、その内部が流体室２５になっている。隔壁４３は、その開口の縁が隔壁４０と接しており、その底部が流体室２２と流体室２５との仕切りになっている。   The pressure sensor 17 has a pressure-sensitive portion 15 a adjacent to the fluid chamber 22 as in the above embodiment. The fluid chamber 22 is separated from the fluid chamber 25 by a partition wall 43 and is maintained at a positive pressure. The partition wall 43 is a bottomed hollow columnar shape, and the inside is a fluid chamber 25. The edge of the opening of the partition wall 43 is in contact with the partition wall 40, and the bottom of the partition wall 43 serves as a partition between the fluid chamber 22 and the fluid chamber 25.

本参考形態に係る隔壁４３は、弾性体１４よりも変形しにくい硬質材料からなり、例えば剛性部材１３と同じ材料で形成される。このような隔壁４３は、流体室２２と流体室２５との圧力差による変形量が少なく、この圧力差を緩和しにくい。その結果、流体室２５が負圧になった状態においても、流体室２２の圧力は正圧に保たれる。この正圧は、弾性体１４が対象物に接触する際のクッションになるので、弾性体１４を対象物に対して柔軟に接触させることができる。   The partition wall 43 according to the present embodiment is made of a hard material that is harder to deform than the elastic body 14, and is formed of the same material as the rigid member 13, for example. Such a partition wall 43 has a small amount of deformation due to a pressure difference between the fluid chamber 22 and the fluid chamber 25, and it is difficult to alleviate this pressure difference. As a result, even in a state where the fluid chamber 25 has a negative pressure, the pressure in the fluid chamber 22 is maintained at a positive pressure. Since this positive pressure serves as a cushion when the elastic body 14 comes into contact with the object, the elastic body 14 can be flexibly brought into contact with the object.

図１０は、吸着部２１の吸着力と圧力センサー１５の検出値との関係を示す図である。図１０の縦軸は、吸着パッド内の圧力、すなわち隔壁４０と対象物との間の圧力［ｋＰａ］であり、この圧力が低いほど吸着力が強いことを示す。また、横軸は、圧力センサー１５が検出した圧力、すなわち流体室２２の圧力［ｋＰａ］を示す。   FIG. 10 is a diagram illustrating the relationship between the suction force of the suction unit 21 and the detection value of the pressure sensor 15. The vertical axis in FIG. 10 represents the pressure in the suction pad, that is, the pressure [kPa] between the partition wall 40 and the object, and the lower the pressure, the stronger the suction force. The horizontal axis indicates the pressure detected by the pressure sensor 15, that is, the pressure [kPa] of the fluid chamber 22.

図９の吸着部２１は、弾性体１４の面４２を対象物に押し付けた状態で、吸引口４１からの吸引により流体室２５を減圧させることで壁部２４を変形させ、隔壁４０と対象物との間を負圧にすることにより、対象物を吸着する。吸着させる際に弾性体１４の面４２を対象物に押し付ける力を増すほど、弾性体１４が剛性部材１３に向かって変形し、流体室２２の圧力が高くなる一方、壁部２４と対象物との間の隙間が小さくなり、この隙間を隔壁４０の変形により広げた際に壁部２４と対象物との間の圧力の減少が顕著になる。このように、吸着部２１の吸着力と圧力センサー１５の検出結果との間には関係性があるので、圧力センサー１５の検出結果に基づいて、吸着力の吸着力を検出することができ、吸着力を精度よく制御すること等ができる。   In the state where the surface 42 of the elastic body 14 is pressed against the object, the adsorbing part 21 in FIG. 9 deforms the wall part 24 by reducing the pressure of the fluid chamber 25 by suction from the suction port 41, and the partition 40 and the object. The object is adsorbed by making a negative pressure between the two. The more the force that presses the surface 42 of the elastic body 14 against the object during adsorption, the more the elastic body 14 is deformed toward the rigid member 13 and the pressure in the fluid chamber 22 increases, while the wall 24 and the object When the gap is widened by deformation of the partition wall 40, the pressure reduction between the wall portion 24 and the object becomes remarkable. Thus, since there is a relationship between the suction force of the suction portion 21 and the detection result of the pressure sensor 15, the suction force of the suction force can be detected based on the detection result of the pressure sensor 15, The suction force can be controlled with high accuracy.

以上のような構成の本参考形態のロボットハンド１は、吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができ、対象物を安定的に保持できる。   The robot hand 1 according to the present embodiment configured as described above is provided with the pressure sensor 15 in the suction portion 21, so that the suction state of the target can be accurately detected and the target can be stably held. it can.

次に、本参考形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図１１（ａ）〜（ｃ）、図１２（ａ）〜（ｄ）、図１３（ａ）〜（ｄ）、図１４（ａ）〜（ｄ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。なお、第１実施形態と共通する工程については、その説明を簡略化あるいは省略する。   Next, a method for manufacturing the robot hand 1 according to this embodiment will be described based on the robot hand 1 described above. FIGS. 11A to 11C, FIGS. 12A to 12D, FIGS. 13A to 13D, and FIGS. 14A to 14D show the robot hand 1 (finger 2). It is process drawing which shows a manufacturing method. Note that description of processes common to the first embodiment is simplified or omitted.

本参考形態に係る指部２を製造するには、図１１（ａ）に示すように、指部２（図８参照）の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。本参考形態において、弾性体１４の面４２は概ね平面であり、型３０において、弾性体１４の外殻部１４ａに相当する凹部３０ａの底面は、弾性体１４の面４２に対応して概ね平面である。次に、図１１（ｂ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１を堆積させ、軟質樹脂３１の型３０と反対を型３２により成形する。これにより、弾性体１４および弾性体１６が形成される。次に、図１１（ｃ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１をはめ込んだ状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。   In order to manufacture the finger part 2 according to the present embodiment, as shown in FIG. 11A, a mold 30 corresponding to the outer shape of the elastic body 14 and the elastic body 16 of the finger part 2 (see FIG. 8) is prepared. . In this reference embodiment, the surface 42 of the elastic body 14 is substantially flat, and in the mold 30, the bottom surface of the recess 30 a corresponding to the outer shell portion 14 a of the elastic body 14 is substantially flat corresponding to the surface 42 of the elastic body 14. It is. Next, as shown in FIG. 11 (b), a soft resin 31 is deposited on the mold 30, and the mold 32 opposite to the mold 30 of the soft resin 31 is molded. Thereby, the elastic body 14 and the elastic body 16 are formed. Next, as shown in FIG. 11C, the mold 32 is removed from the soft resin 31 while maintaining the state where the soft resin 31 is fitted in the mold 30.

次に、図１２（ａ）に示すように、弾性体１６上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４５を形成する。次に、図１２（ｂ）に示すように、犠牲部４５を切削加工あるいは型成形により成形し、図８に示した弾性体１６と剛性部材１３の底部１８ａとの間の流体室２８となる空間Ｓｃに、犠牲部４５ａを形成する。   Next, as shown in FIG. 12A, a sacrificial material is deposited on the elastic body 16 to form a sacrificial portion 45. Next, as shown in FIG. 12 (b), the sacrificial portion 45 is formed by cutting or molding to form a fluid chamber 28 between the elastic body 16 and the bottom portion 18a of the rigid member 13 shown in FIG. A sacrifice portion 45a is formed in the space Sc.

次に、図１２（ｃ）に示すように、弾性体１４に硬質樹脂などで隔壁４３を形成する。隔壁４３は、後に流体室２２となる空間Ｓｂの周囲の一部に、壁部として形成する。また、隔壁４３の内側の流体室２５に連通する配管２７を取り付ける。配管２７は、他の部材との干渉を避けるように、例えば圧力センサー１７の取付位置を避けるように、犠牲部４５ａ上を適宜引き回して配置する。次に、図１１（ｄ）に示すように、隔壁４３上と配管２７上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４６を形成する。次に、犠牲部４６を切削加工あるいは型成形により成形し、図１３（ａ）に示すように、図９に示した弾性体１４と剛性部材１３の側部１８ｂとの間の流体室２２となる空間Ｓｂに、犠牲部４６ａを形成する。   Next, as shown in FIG. 12C, the partition wall 43 is formed on the elastic body 14 with a hard resin or the like. The partition wall 43 is formed as a wall portion in a part of the periphery of the space Sb that will later become the fluid chamber 22. A pipe 27 communicating with the fluid chamber 25 inside the partition wall 43 is attached. The pipe 27 is arranged by being appropriately routed on the sacrificial part 45a so as to avoid interference with other members, for example, so as to avoid the mounting position of the pressure sensor 17. Next, as shown in FIG. 11D, a sacrificial material is deposited on the partition wall 43 and the pipe 27 to form a sacrificial portion 46. Next, the sacrificial portion 46 is formed by cutting or molding, and as shown in FIG. 13A, the fluid chamber 22 between the elastic body 14 and the side portion 18b of the rigid member 13 shown in FIG. A sacrificial portion 46a is formed in the space Sb.

次に、図１３（ｂ）に示すように、犠牲部４５ａ上および犠牲部４６ａ上に、図８に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。次に、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形し、図１３（ｃ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。次に、図１３（ｄ）に示すように、犠牲部４５ａを除去し、犠牲部４５ａが占有していた空間Ｓｃを流体室２８とする。また、犠牲部４６ａを除去し、犠牲部４６ａが占有していた空間Ｓｂを流体室２２とする。   Next, as shown in FIG. 13B, a hard resin 36 is deposited on the sacrificial portion 45a and the sacrificial portion 46a as a material for forming the rigid member 13 shown in FIG. Next, the hard resin 36 is formed by cutting or the like to form the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 13D, the sacrificial part 45 a is removed, and the space Sc occupied by the sacrificial part 45 a is defined as the fluid chamber 28. Further, the sacrificial portion 46 a is removed, and the space Sb occupied by the sacrificial portion 46 a is defined as the fluid chamber 22.

次に、図１４（ａ）に示すように、圧力センサー１５を箱状部１８の側部１８ｂに取り付け、圧力センサー１７を剛性部材１３の底部１８ａに取り付ける。次に、図１４（ｂ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８に蓋部１９を接着し、箱状部１８の内側を封止する。次に、図１４（ｃ）に示すように、蓋部１９上に軟質樹脂４７を堆積させる。次に、軟質樹脂４７を切削加工などにより成形し、図１４（ｄ）に示すように、封止材２０を形成する。そして、型３０を取り外すこと等により、図８に示した指部２が得られる４   Next, as shown in FIG. 14A, the pressure sensor 15 is attached to the side portion 18 b of the box-shaped portion 18, and the pressure sensor 17 is attached to the bottom portion 18 a of the rigid member 13. Next, as shown in FIG. 14B, a lid 19 is bonded to the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 to seal the inside of the box-shaped portion 18. Next, as shown in FIG. 14C, a soft resin 47 is deposited on the lid portion 19. Next, the soft resin 47 is formed by cutting or the like, and the sealing material 20 is formed as shown in FIG. And the finger | toe part 2 shown in FIG. 8 is obtained by removing the type | mold 30 etc. 4

このような本参考形態のロボットハンド１の製造方法によれば、物体を安定的に保持できるロボットハンド１を製造できる。また、本参考形態において、流体が配される空隙を形成する工程は、図１３（ｃ）および（ｄ）に示した犠牲部４５ａを除去することにより流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、犠牲部４６ａを除去することにより流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。   According to the manufacturing method of the robot hand 1 of this reference embodiment, the robot hand 1 that can stably hold an object can be manufactured. Further, in the present embodiment, the step of forming the air gap in which the fluid is disposed forms the fluid chamber 28 by removing the sacrificial portion 45a shown in FIGS. 13C and 13D, so that the fluid chamber 28 Can be formed integrally with the elastic body 16 and the rigid member 13. Similarly, since the fluid chamber 22 is formed by removing the sacrificial portion 46a, the fluid chamber 22 can be formed integrally with the elastic body 14 and the rigid member 13. As described above, since the gap in which the fluid is arranged is formed integrally with the surrounding members, the manufacturing cost can be suppressed, and a high function can be realized with a simple configuration.

［第２参考形態］
次に第２参考形態について説明する。本参考形態において、上記の実施形態、第１参考形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。 [Second Reference Form]
Next, a second reference embodiment will be described. In this reference embodiment, the same configurations as those in the above-described embodiment and the first reference embodiment are denoted by the same reference numerals as in the above-described embodiment, and the description thereof is simplified or omitted.

図１５は本参考形態に係るロボットハンドの指部２を示す断面図、図１６は指部２の吸着部２１を示す断面図である。本参考形態の指部２は、隔壁４０の変形により吸着する点が第１参考形態と同様であるが、隔壁４０を変形させる機構が第１参考形態と異なる。   15 is a cross-sectional view showing the finger part 2 of the robot hand according to the present embodiment, and FIG. 16 is a cross-sectional view showing the suction part 21 of the finger part 2. The finger part 2 of the present reference embodiment is the same as the first reference embodiment in that it is adsorbed by deformation of the partition wall 40, but the mechanism for deforming the partition wall 40 is different from that of the first reference embodiment.

図１６の吸着部２１は、流体室２５において隔壁４０に接続されたワイヤー５０を有する。隔壁４０のうち流体室２５を向く内面には、補強部５１が設けられており、ワイヤー５０は補強部５１に取り付けられている。すなわち、ワイヤー５０の一端は、補強部５１を介して隔壁４０と接続されている。補強部５１は、隔壁４０（弾性体１４）よりも硬質の材料からなり、例えば剛性部材１３と同様の硬質樹脂からなる。ワイヤー５０の他端は、図１５に示す配管２７を通して、指部２の外部へ引き出されている。本参考形態において、隔壁４０は、ワイヤー５０から引っ張られることにより、流体室２５に向かって変形する。これにより、隔壁４０と対象物との間が減圧され、対象物が吸着部２１に吸着される。   16 has a wire 50 connected to the partition wall 40 in the fluid chamber 25. A reinforcing portion 51 is provided on the inner surface of the partition wall 40 facing the fluid chamber 25, and the wire 50 is attached to the reinforcing portion 51. That is, one end of the wire 50 is connected to the partition wall 40 via the reinforcing portion 51. The reinforcing portion 51 is made of a material harder than the partition wall 40 (elastic body 14), and is made of, for example, a hard resin similar to the rigid member 13. The other end of the wire 50 is drawn out of the finger part 2 through the pipe 27 shown in FIG. In this reference embodiment, the partition wall 40 is deformed toward the fluid chamber 25 by being pulled from the wire 50. Thereby, the pressure between the partition wall 40 and the object is reduced, and the object is adsorbed by the adsorption unit 21.

以上のような構成の本参考形態のロボットハンド１は、吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができ、シンプルな構成で高機能を実現可能である。また、ワイヤー５０のテンションにより隔壁４０の変形を制御できるので、流体室２５を減圧する機構が不要になる。また、流体室２５を減圧しないことにより、弾性体１４と剛性部材１３との間の空隙を正圧に保つことが容易になり、この正圧をクッションとして、弾性体１４を対象物に柔軟に接触させることがでる。また、弾性体１４と剛性部材１３との間の空隙を正圧を保つことが容易であるので、隔壁４３を省略することもでき、構成をシンプルにできる。   The robot hand 1 according to the present embodiment having the above-described configuration is provided with the pressure sensor 15 in the suction unit 21, so that the suction state of the object can be detected with high accuracy, and has a high functionality with a simple configuration. It is feasible. Further, since the deformation of the partition wall 40 can be controlled by the tension of the wire 50, a mechanism for decompressing the fluid chamber 25 is not necessary. Further, by not depressurizing the fluid chamber 25, it becomes easy to keep the gap between the elastic body 14 and the rigid member 13 at a positive pressure, and the elastic body 14 can be flexibly applied to the object using the positive pressure as a cushion. It can be contacted. In addition, since it is easy to maintain a positive pressure in the gap between the elastic body 14 and the rigid member 13, the partition wall 43 can be omitted, and the configuration can be simplified.

次に、本参考形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図１７（ａ）〜（ｃ）、図１８（ａ）〜（ｃ）、図１９（ａ）〜（ｄ）、図２０（ａ）〜（ｃ）、図２１（ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。なお、第１参考形態と共通する工程については、その説明を簡略化あるいは省略する。   Next, a method for manufacturing the robot hand 1 according to this embodiment will be described based on the robot hand 1 described above. 17 (a) to (c), FIG. 18 (a) to (c), FIG. 19 (a) to (d), FIG. 20 (a) to (c), and FIG. 21 (a) to (c). FIG. 5 is a process diagram showing a method for manufacturing the robot hand 1 (finger part 2). Note that description of processes common to the first reference embodiment is simplified or omitted.

本参考形態に係る指部２を製造するには、図１７（ａ）に示すように、指部２（図１５参照）の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。次に、図１７（ｂ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１を堆積させ、軟質樹脂３１の型３０と反対を型３２により成形する。これにより、弾性体１４および弾性体１６が形成される。次に、図１７（ｃ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１をはめ込んだ状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。   In order to manufacture the finger part 2 according to the present embodiment, as shown in FIG. 17A, a mold 30 corresponding to the outer shape of the elastic body 14 and the elastic body 16 of the finger part 2 (see FIG. 15) is prepared. . Next, as shown in FIG. 17B, a soft resin 31 is deposited on the mold 30, and the mold 32 opposite to the mold 30 of the soft resin 31 is molded. Thereby, the elastic body 14 and the elastic body 16 are formed. Next, as shown in FIG. 17C, the mold 32 is removed from the soft resin 31 while maintaining the state where the soft resin 31 is fitted in the mold 30.

次に、図１８（ａ）に示すように、弾性体１６上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４５を形成する。次に、犠牲部４５を切削加工あるいは型成形により成形し、図１８（ｂ）に示すように、図１５に示した弾性体１６と剛性部材１３の底部１８ａとの間の流体室２８となる空間Ｓｃに、犠牲部４５ａを形成する。次に、図１８（ｃ）に示すように、隔壁４０に補強部５１を形成し、弾性体１４に硬質樹脂などで隔壁４３を形成する。また、隔壁４３の内側の流体室２５に連通する配管２７を取り付け、配管２７の内側にワイヤー５０を通して、ワイヤー５０の一端を補強部５１と接続する。   Next, as shown in FIG. 18A, a sacrificial material is deposited on the elastic body 16 to form a sacrificial portion 45. Next, the sacrificial portion 45 is formed by cutting or molding, and as shown in FIG. 18B, a fluid chamber 28 is formed between the elastic body 16 shown in FIG. 15 and the bottom portion 18a of the rigid member 13. A sacrifice portion 45a is formed in the space Sc. Next, as shown in FIG. 18C, the reinforcing portion 51 is formed on the partition wall 40, and the partition wall 43 is formed on the elastic body 14 with a hard resin or the like. A pipe 27 communicating with the fluid chamber 25 inside the partition wall 43 is attached, and the wire 50 is passed through the pipe 27 to connect one end of the wire 50 to the reinforcing portion 51.

次に、図１９（ａ）に示すように、隔壁４３上と配管２７上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４６を形成する。次に、犠牲部４６を切削加工あるいは型成形により成形し、図１９（ｂ）に示すように、図１５に示した弾性体１４と剛性部材１３の側部１８ｂとの間の流体室２２となる空間Ｓｂに、犠牲部４６ａを形成する。次に、図１９（ｃ）に示すように、犠牲部４５ａ上および犠牲部４６ａ上に、図１５に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。   Next, as shown in FIG. 19A, a sacrificial material is deposited on the partition wall 43 and the pipe 27 to form a sacrificial portion 46. Next, the sacrificial portion 46 is formed by cutting or molding, and as shown in FIG. 19B, the fluid chamber 22 between the elastic body 14 and the side portion 18b of the rigid member 13 shown in FIG. A sacrificial portion 46a is formed in the space Sb. Next, as shown in FIG. 19C, a hard resin 36 is deposited on the sacrificial part 45a and the sacrificial part 46a as a material for forming the rigid member 13 shown in FIG.

次に、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形し、図２０（ａ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。次に、図２０（ｂ）に示すように、犠牲部４５ａを除去し、犠牲部４５ａが占有していた空間Ｓｃを流体室２８とする。また、犠牲部４６ａを除去し、犠牲部４６ａが占有していた空間Ｓｂを流体室２２とする。次に、図２０（ｃ）に示すように、圧力センサー１５を剛性部材１３の側部１８ｂに取り付け、圧力センサー１７を剛性部材１３の底部１８ａに取り付ける。   Next, the hard resin 36 is formed by cutting or the like, and the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 is formed as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 20B, the sacrificial part 45 a is removed, and the space Sc occupied by the sacrificial part 45 a is defined as a fluid chamber 28. Further, the sacrificial portion 46 a is removed, and the space Sb occupied by the sacrificial portion 46 a is defined as the fluid chamber 22. Next, as shown in FIG. 20C, the pressure sensor 15 is attached to the side portion 18 b of the rigid member 13, and the pressure sensor 17 is attached to the bottom portion 18 a of the rigid member 13.

次に、図２１（ａ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８に蓋部１９を接着し、箱状部１８の内側を封止する。次に、図２１（ｂ）に示すように、蓋部１９上に軟質樹脂４７を堆積させる。次に、軟質樹脂４７を切削加工などにより成形し、図２１（ｃ）に示すように、封止材２０を形成する。そして、型３０を取り外すこと等により、図１５に示した指部２が得られる。   Next, as shown in FIG. 21A, a lid portion 19 is bonded to the box-shaped portion 18 of the rigid member 13 to seal the inside of the box-shaped portion 18. Next, as shown in FIG. 21B, a soft resin 47 is deposited on the lid portion 19. Next, the soft resin 47 is formed by cutting or the like, and the sealing material 20 is formed as shown in FIG. And the finger | toe part 2 shown in FIG. 15 is obtained by removing the type | mold 30 etc. FIG.

このような本参考形態のロボットハンド１の製造方法は、図２０（ａ）及び（ｂ）に示した犠牲部４５ａを除去することにより流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、犠牲部４６ａを除去することにより流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。   In the method of manufacturing the robot hand 1 according to the present embodiment, the fluid chamber 28 is formed by removing the sacrificial portion 45a shown in FIGS. 20A and 20B. Further, it can be formed integrally with the rigid member 13. Similarly, since the fluid chamber 22 is formed by removing the sacrificial portion 46a, the fluid chamber 22 can be formed integrally with the elastic body 14 and the rigid member 13. As described above, since the gap in which the fluid is arranged is formed integrally with the surrounding members, the manufacturing cost can be suppressed, and a high function can be realized with a simple configuration.

なお、上記の各形態において、弾性体１４の変形を検出するセンサーは、流体室２２の圧力を検出する圧力センサー１５であるが、圧力以外を検出するセンサーであってもよい。例えば、弾性体１４に歪ゲージを設けておき、弾性体１４の変形に伴う歪ゲージの電気抵抗値の変化を検出してもよい。   In each of the above embodiments, the sensor that detects the deformation of the elastic body 14 is the pressure sensor 15 that detects the pressure of the fluid chamber 22, but may be a sensor that detects other than the pressure. For example, a strain gauge may be provided in the elastic body 14 and a change in the electrical resistance value of the strain gauge accompanying the deformation of the elastic body 14 may be detected.

［ロボット］
次に、ロボットについて説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。 [robot]
Next, the robot will be described. In the present embodiment, the same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment, and the description thereof is simplified or omitted.

図２２は、本実施形態に係るロボット１００を示す図である。図２２のロボット１００は、例えば産業用ロボットアームとして用いられる。ロボット１００は、多軸アームと、この多軸アームの先端に取り付けられたロボットハンド１とを備える。この多軸アームは、取付部１０１、第１リンク１０２、第２リンク１０３、第３リンク１０４、第４リンク１０５、第５リンク１０６、及び第６リンク１０７を有する。   FIG. 22 is a diagram illustrating the robot 100 according to the present embodiment. The robot 100 of FIG. 22 is used as an industrial robot arm, for example. The robot 100 includes a multi-axis arm and a robot hand 1 attached to the tip of the multi-axis arm. The multi-axis arm includes a mounting portion 101, a first link 102, a second link 103, a third link 104, a fourth link 105, a fifth link 106, and a sixth link 107.

取付部１０１は、例えば床部や壁部、天井部などに取り付けられる部分である。第１リンク１０２〜第６リンク７は、例えば取付部１０１から順に直列に接続されている。そして、ロボット１００は、取付部１０１と第１リンク１０２、およびリンク同士が接続部（関節１１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１５）で回転可能に連結されている。第１リンク１０２〜第６リンク１０７のそれぞれが回転可能に設けられているため、それぞれのリンクを関節１１０〜関節１１５で適宜回転させることで、ロボットアーム全体としての複合的な動作が可能になっている。   The attachment part 101 is a part attached to a floor part, a wall part, a ceiling part, etc., for example. The first link 102 to the sixth link 7 are connected in series, for example, in order from the mounting portion 101. In the robot 100, the attachment portion 101, the first link 102, and the links are connected to each other so as to be rotatable at connection portions (joints 110, 111, 112, 113, 114, 115). Since each of the first link 102 to the sixth link 107 is provided so as to be rotatable, the robot arm as a whole can perform a complex operation by appropriately rotating the links at the joints 110 to 115. ing.

第６リンク１０７は、ロボット１００におけるロボットアームの先端部分である。この第６リンク１０７の先端部に、上記の実施形態で説明したロボットハンド１が取り付けられている。   The sixth link 107 is a tip portion of the robot arm in the robot 100. The robot hand 1 described in the above embodiment is attached to the distal end portion of the sixth link 107.

本実施形態のロボット１００は、上記の実施形態のロボットハンド１を備えているので、シンプルな構成で高機能を実現可能である。なお、図２２には６つの関節を有するロボットの例を示したが、関節の数に限定はない。関節の数が多くなるほど、アームの動きに冗長性を持たせることができる。   Since the robot 100 of the present embodiment includes the robot hand 1 of the above-described embodiment, high functionality can be realized with a simple configuration. Although FIG. 22 shows an example of a robot having six joints, the number of joints is not limited. As the number of joints increases, the movement of the arm can be made redundant.

図２３は、他の態様のロボット１３０を示す図である。このロボット１３０は、図２２に示した多軸アーム（ロボット１００）を複数（ここでは２つ）設けた双腕ロボットである。ロボット１３０は、双腕のそれぞれにロボットハンド１を設けることで、双腕のロボットハンド１で対象物Ｍを挟み込んで把持させて作業をさせることができる。   FIG. 23 is a diagram illustrating a robot 130 according to another aspect. The robot 130 is a double-arm robot provided with a plurality (two in this case) of multi-axis arms (robot 100) shown in FIG. By providing the robot hand 1 on each of the two arms, the robot 130 can hold the object M with the two-arm robot hand 1 and hold it so as to work.

図２４は、他の態様のロボット１４０を示す図である。このロボット１４０は、胴体部１４１と、胴体部１４１に設けられた２つの多軸アーム（ロボット１００）を備える。２つの多軸アームには、それぞれ、図２２に示したロボットハンド１が設けられる。図２４において、各多軸アームは、第１リンク１０２〜第７リンク１０８を有する７軸アームである。このロボット１４０においては、６つの接続部（関節１１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１５）のうち関節１１１と関節１１２の関節の間に回転軸１１６を設けることにより、７軸アームとなっている。   FIG. 24 is a diagram showing a robot 140 according to another aspect. The robot 140 includes a body part 141 and two multi-axis arms (robot 100) provided on the body part 141. Each of the two multi-axis arms is provided with the robot hand 1 shown in FIG. In FIG. 24, each multi-axis arm is a seven-axis arm having a first link 102 to a seventh link 108. In this robot 140, a rotation axis 116 is provided between the joints 111 and 112 among the six connection portions (joints 110, 111, 112, 113, 114, and 115), thereby forming a seven-axis arm. Yes.

このロボット１４０は、例えば、人間が２本の腕と手を使って一つの大きなものを持つのと同様のアームの動きと把持形態を実現できる。また、図２３および図２４に示したような複数のアーム（ロボットハンド１）を有するロボットは、ロボットアームの数が１つであるロボットと比較して、大きな対象物を把持することができる。また、箱の中の物体を、箱と物体との隙間に指部を差し込んで２つのロボットアームで把持することもできる。   For example, the robot 140 can realize the same arm movement and gripping form as a human holding one large object using two arms and hands. In addition, a robot having a plurality of arms (robot hand 1) as shown in FIGS. 23 and 24 can grip a large object as compared with a robot having one robot arm. It is also possible to hold an object in the box with two robot arms by inserting a finger into the gap between the box and the object.

また、ロボット１４０は、底部に車輪１４２を備えるとともに図示しない制御装置を収容した本体部１４３に胴体部１４１が支持されており、車輪１４２によって移動可能となっている。そのため、作業範囲を広げること、設置位置を変更すること等が容易である。   In addition, the robot 140 includes a wheel 142 at the bottom, and a body portion 141 supported by a main body portion 143 that houses a control device (not shown). Therefore, it is easy to widen the work range, change the installation position, and the like.

なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではない。上記の実施形態、参考形態で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、上記の実施形態で説明した要件の少なくとも１つは、省略されることある。本発明の主旨を逸脱しない範囲内で多様な変形が可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment. The requirements described in the above embodiments and reference embodiments can be combined as appropriate. In addition, at least one of the requirements described in the above embodiment may be omitted. Various modifications are possible without departing from the gist of the present invention.

１ ロボットハンド、２ 指部、１４ 弾性体、１５ 圧力センサー（センサー）、１６ 弾性体、２１ 吸着部、２２ 流体室、２５ 流体室、３３ａ 犠牲部、３３ｂ 犠牲部、３３ｃ 犠牲部、４０ 壁部、４５ａ 犠牲部、４６ａ 犠牲部、５０ ワイヤー、１００ ロボット、１３０ ロボット、１４０ ロボット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Robot hand, 2 Finger part, 14 Elastic body, 15 Pressure sensor (sensor), 16 Elastic body, 21 Adsorption part, 22 Fluid chamber, 25 Fluid chamber, 33a Sacrificing part, 33b Sacrificing part, 33c Sacrificing part, 40 Wall part , 45a Sacrificial part, 46a Sacrificial part, 50 wires, 100 robot, 130 robot, 140 robot

Claims (7)

指部を有するロボットハンドであって、
前記指部に設けられ、物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、
前記指部に設けられ、前記弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、
前記吸着部は、流体を吸引する吸引流路と、
前記吸引流路に通じる第１流体室とを有するロボットハンド。 A robot hand having fingers,
An elastic body provided on the finger portion and including an adsorbing portion that adsorbs an object;
A sensor provided on the finger portion to detect deformation of the elastic body;
The adsorbing portion includes a suction channel for sucking fluid;
A robot hand having a first fluid chamber communicating with the suction channel. 前記センサーは、前記弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、
前記圧力変化部は、流体が配される第２流体室を含む
請求項１に記載のロボットハンド。 The sensor is arranged so as to be able to detect the pressure of a pressure change portion that generates a pressure change due to deformation of the elastic body,
The robot hand according to claim 1, wherein the pressure change unit includes a second fluid chamber in which a fluid is disposed. 前記流体は気体を含み、前記センサーは前記気体の圧力を検出可能に配置されている
請求項１または２に記載のロボットハンド。 The robot hand according to claim 1, wherein the fluid includes a gas, and the sensor is disposed so as to detect a pressure of the gas. 前記指部には、前記弾性体および前記センサーを含む構造が複数設けられている
請求項１〜３のいずれか一項に記載のロボットハンド。 The robot hand according to any one of claims 1 to 3, wherein the finger unit is provided with a plurality of structures including the elastic body and the sensor. 前記指部を複数備える
請求項１〜４のいずれか一項に記載のロボットハンド。 The robot hand according to claim 1, comprising a plurality of the finger portions. 指部を有し、前記指部に設けられ物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、前記指部に設けられ前記弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、前記吸着部は、流体を吸引する吸引流路と、前記吸引流路に通じる第１流体室とを有するロボットハンドと、
前記ロボットハンドを支持するアームと、を備えるロボット。 An elastic body having a finger portion and including an adsorbing portion provided on the finger portion and adsorbing an object; and a sensor provided on the finger portion and detecting deformation of the elastic body, wherein the adsorbing portion is a fluid A robot hand having a suction flow path for sucking and a first fluid chamber communicating with the suction flow path;
An arm that supports the robot hand. 請求項１〜５のいずれか一項に記載のロボットハンドの製造方法であって、
前記ロボットハンドにおいて流体が配される空隙を形成する工程は、
前記空隙となる空間の周囲の一部に、第１壁部を形成するステップと、
前記第１壁部上の前記空隙となる空間に、犠牲部を形成するステップと、
前記犠牲部上に、前記空隙となる空間を前記第１壁部とともに囲む第２壁部を形成するステップと、
前記犠牲部を除去し、前記第１壁部および前記第２壁部に囲まれる空間を前記空隙とするステップと、を含むロボットハンドの製造方法。 It is a manufacturing method of the robot hand according to any one of claims 1 to 5,
The step of forming a gap in which fluid is arranged in the robot hand,
Forming a first wall portion in a part of the periphery of the space that becomes the void;
Forming a sacrificial part in the space that becomes the gap on the first wall part;
Forming on the sacrificial part a second wall part surrounding the space to be the gap together with the first wall part;
Removing the sacrificial part, and setting the space surrounded by the first wall part and the second wall part as the gap.
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