JP2015117409A - Electrodeposition drum - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、銅箔等を製造する金属箔製造装置における電着ドラムに関するものである。 The present invention relates to an electrodeposition drum in a metal foil manufacturing apparatus for manufacturing copper foil or the like.
従来から電着ドラムの表面に均一な平滑面を有する銅箔を同厚で電着生成するための改良がなされてきたが、現在では電解液に対する耐食性の秀れたチタン板(アウタースキン)をインナードラムの外周面に被着し、チタン板の外周面に均一な平滑面を有する銅箔を同厚で生成する電着ドラムが多用されている(特許文献1等参照)。 Conventionally, improvements have been made to produce a copper foil having a uniform smooth surface on the surface of the electrodeposition drum with the same thickness, but nowadays, a titanium plate (outer skin) with excellent corrosion resistance to the electrolyte is used. An electrodeposition drum is often used that adheres to the outer peripheral surface of the inner drum and generates a copper foil having a uniform smooth surface on the outer peripheral surface of the titanium plate with the same thickness (see Patent Document 1, etc.).
ところで、この電着ドラムのチタン板の外周面は幅方向の電着範囲を限定するため幅方向両端部で絶縁する必要があり、この絶縁する手段としては、絶縁テープをチタン板の幅方向両端部に貼着するシールテープ方式や、図1に図示したように、チタン板22の幅方向両端面22’に絶縁体から成るシールリング26をリング保持部材24により止着するシールリング方式が知られている。
By the way, the outer peripheral surface of the titanium plate of this electrodeposition drum needs to be insulated at both ends in the width direction in order to limit the electrodeposition range in the width direction. As shown in FIG. 1, there is known a seal ring method in which a
なお、シールリング26は、チタン板22の幅方向両端面22’とリング保持部材24の幅方向端面24’に密着せしめられている。
The
図中符号21はインナードラム、23はインナードラムの側面に被着されるチタン側板である。
In the figure,
ここで、シールテープ方式は、チタン板の外周面の絶縁テープが貼着された領域が、銅箔が生成されない無効領域となる欠点がある。 Here, the seal tape method has a drawback that the region where the insulating tape on the outer peripheral surface of the titanium plate is attached becomes an ineffective region where no copper foil is generated.
そのため、現在では上記欠点のないシールリング方式を用いるのが一般的であるが、シールリング方式にも以下の問題点がある。 Therefore, at present, it is common to use a seal ring system that does not have the above-mentioned drawbacks, but the seal ring system has the following problems.
例えば、図2に図示したように、チタン板22の外周面を平滑化するための弾性砥石25(例えばPVA研磨砥石)による研磨等を繰り返し行うと、弾性砥石25の一部がチタン板22の幅方向両端面22’に回り込もうとする際に、両端部が研磨されチタン板22のエッジ部Eが丸まってしまい、シールリング26との密着性が悪化する可能性がある(図2(b)参照)。
For example, as illustrated in FIG. 2, when the polishing with an elastic grindstone 25 (for example, PVA grindstone) for smoothing the outer peripheral surface of the
チタン板22の両端部のエッジ部Eとシールシング26との密着性が悪化すると、異常電析等により銅箔の両端部の厚さが厚くなったり、銅箔が破断したり、巻き取りが良好に行われなくなったりし、生産性や歩留まりの低下を招く。
When the adhesion between the edge E of the both ends of the
例えば、チタン板22の丸みを帯びた部分等を切削することで、両端部のエッジ部Eを回復させることも可能ではあるが、この場合、チタン板22の板厚や板幅が減少し、電着ドラムの使用可能期間や銅箔製造可能領域の減少を招くことになり、好ましくない。
For example, it is possible to recover the edge portion E at both ends by cutting a rounded portion or the like of the
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムを提供するものである。 The present invention has been made in view of the current situation as described above, and maintains the adhesiveness with the seal ring for a long period of time by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with an elastic grindstone. It is possible to provide an electrodeposition drum that is excellent in productivity and capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface stably without reducing the area in which the metal foil can be produced over a long period of time.
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。 The gist of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
インナードラム1の外周面にチタン板2を設けた金属箔製造装置に用いられる電着ドラムであって、前記チタン板2の外周面の幅方向両端部若しくは前記チタン板2の外周面にして金属箔が生成される有効領域の幅方向両端から内方へ夫々2mm〜5mmの範囲には、幅方向中央部に比し硬質な硬質部3が設けられ、この硬質部3の表面硬さはブリネル硬さで130HBW以上であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
An electrodeposition drum used in a metal foil manufacturing apparatus in which a
また、請求項1記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3の表面硬さは前記チタン板2の幅方向中央部よりブリネル硬さで5〜40HBW硬いことを特徴とする電着ドラムに係るものである。
2. The electrodeposition drum according to claim 1, wherein the surface hardness of the hard portion 3 is 5-40 HBW in terms of Brinell hardness from the center in the width direction of the
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に加工硬化処理を行うことで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to any one of
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材を溶接することで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
Further, in the electrodeposition drum according to claim 1, the hard portion 3 is formed by welding a hard member harder than the
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材を溶射することで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to any one of
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材をイオンプレーティングすることで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to claim 1, wherein the hard portion 3 is formed by ion-plating a hard member harder than the
また、請求項1〜6いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3の表面も金属箔が生成される有効領域であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。 The electrodeposition drum according to any one of claims 1 to 6, wherein the surface of the hard portion 3 is also an effective region in which a metal foil is generated.
また、請求項1〜7いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記金属箔は銅箔であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。 The electrodeposition drum according to any one of claims 1 to 7, wherein the metal foil is a copper foil.
本発明は上述のように構成したから、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムとなる。 Since the present invention is configured as described above, it is possible to maintain the adhesion with the seal ring for a long period of time by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with an elastic grindstone. Thus, an electrodeposition drum excellent in productivity capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface without decreasing the metal foil production area is provided.
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。 An embodiment of the present invention which is considered to be suitable will be briefly described with reference to the drawings showing the operation of the present invention.
チタン板2を弾性砥石により研磨する際、チタン板2の幅方向両端面に弾性砥石が回り込んでもチタン板2の幅方向両端部が硬質であるから、チタン板2のエッジ部の磨耗が抑制され、従って、チタン板2の幅方向両端部のエッジ部が丸まり難くなり、エッジ部とシールリングとの密着性を長期間にわたって維持することができ、長期間にわたって良好な金属箔の製造が可能となる。また、エッジ部が丸まり難いため、丸みが生じた際に行う切削頻度を減少させることができ、従って、それだけメンテナンスが容易であり、チタン板2の寿命も長期化できる。
When the
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。 Specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施例の電着ドラムは、インナードラム1の外周面にチタン板2を張設したもので、電解槽中で回転させることで前記チタン板2の外周面に銅箔を電着生成させるものである。
The electrodeposition drum of the present embodiment has a
具体的には、前記チタン板2の外周面の幅方向両端部若しくは前記チタン板2の外周面にして銅箔が生成される有効領域の幅方向両端から内方へ夫々2mm〜5mmの範囲には、夫々幅方向中央部に比し硬質な硬質部3が設けられ、この硬質部3の表面硬さはブリネル硬さで130HBW以上のものである。
Specifically, in the range of 2 mm to 5 mm respectively inward from the width direction both ends of the outer peripheral surface of the
なお、ブリネル硬さとは、圧子(金属球)を所定の試験荷重で試料の表面に押し込み、表面に残ったくぼみの表面積を計測して算出する硬さ値である。その試験方法はJIS Z 2243や、ISO6506において定められており、試験荷重P(kgf)を算出した表面積S(mm2)で割った値がブリネル硬さである。 The Brinell hardness is a hardness value calculated by pushing an indenter (metal sphere) into the surface of a sample with a predetermined test load and measuring the surface area of the indentation remaining on the surface. The test method is defined in JIS Z 2243 and ISO 6506, and the value obtained by dividing the test load P (kgf) by the calculated surface area S (mm 2 ) is the Brinell hardness.
また、図3に図示したように、インナードラム1の側面にはチタン側板4が設けられている。図中符号5は回転軸である。
As shown in FIG. 3, a
なお、本実施例は、銅箔をチタン板2の外周面に生成する例について説明しているが、例えば、ニッケル、鉄、銀等の他の金属箔を生成する構成としてもよい。
In addition, although the present Example demonstrates the example which produces | generates copper foil on the outer peripheral surface of the
本実施例の硬質部3の表面硬さはチタン板2の幅方向中央部(硬質部以外の部分)よりブリネル硬さで5〜40HBW硬くなるように設定している。また、チタン板2の幅方向中央部は、ブリネル硬さで90HBW以上、好ましくは110HBW以上に設定する。
The surface hardness of the hard part 3 of the present embodiment is set to be 5 to 40 HBW harder in Brinell hardness than the center part in the width direction of the titanium plate 2 (part other than the hard part). Moreover, the center part of the width direction of the
また、本実施例においてチタン板2としてはTP270材を採用している。なお、純チタン材に限らず、チタン合金材を採用しても良い。
In this embodiment, TP270 material is used as the
硬質部3は、本実施例においては、適宜な加工具6によりチタン板2の幅方向端面側から端部を冷間圧下して加工硬化させることで形成している(図4(a)、(b)参照)。加工具6は自転させながら前記端面に沿って移動させ、一連の動作で全周を略一様に加工する。
In the present embodiment, the hard portion 3 is formed by cold-working and hardening the end portion from the end surface side in the width direction of the
なお、本実施例においては、チタン板2をインナードラム1の外周面に張設してリング状とした状態で加工硬化処理を行っているが、チタン板2をインナードラム1の外周面に張設する前のシート状の段階で加工硬化処理を行っても良い。
In the present embodiment, the work hardening treatment is performed in a state where the
また、加工硬化処理を行った後、当該処理により生じた不要部分(凹凸等)を除去し切削等の平坦化(平滑化)処理を行う(図4(c)参照)。従って、前記チタン板2の外周面は平滑面となり、前記硬質部3も銅箔が生成される有効領域となる。
Further, after performing the work hardening process, unnecessary portions (unevenness and the like) generated by the process are removed, and a flattening (smoothing) process such as cutting is performed (see FIG. 4C). Therefore, the outer peripheral surface of the
なお、加工硬化処理に限らず、前記チタン板2の幅方向両端部に該チタン板2より硬質な硬質部材7(例えば、TP340材)を溶接、溶射若しくはイオンプレーティングすることで硬質部3を形成しても良い。
The hard part 3 is not limited to the work hardening process, but the hard part 3 is welded, sprayed, or ion-plated with a hard member 7 (for example, TP340 material) harder than the
図5は溶接接合により硬質部を設ける例、図6は肉盛溶接により硬質部を設ける例である。この場合も、図5(a)及び図6(a)に図示したような溶接及び溶射処理後に平坦化処理を行う(図5(b)及び図6(b)参照)。溶接によれば、チタン板2の両端部に硬質部材から成る硬質部3が設けられ、溶射及びイオンプレーティングによれば、チタン板2の両端部の表面に硬質部材から成る硬質皮膜が形成され硬質部3が設けられることになる。
FIG. 5 shows an example in which the hard part is provided by welding and FIG. 6 shows an example in which the hard part is provided by overlay welding. Also in this case, a flattening process is performed after the welding and spraying processes as shown in FIGS. 5A and 6A (see FIGS. 5B and 6B). According to the welding, hard portions 3 made of a hard member are provided at both ends of the
なお、上述した加工硬化処理と同様、溶接、溶射若しくはイオンプレーティングについても、インナードラム1の外周面に張設する前のシート状若しくは張設後のリング状のいずれの状態のチタン板2に対して行っても良い。シート状のチタン板2に対して溶接等を行う場合には同様にシート状の硬質部材7を用い、リング状のチタン板2に対して溶接等を行う場合には同様にリング状の硬質部材7を用いる。
Note that, similarly to the work hardening process described above, welding, thermal spraying, or ion plating is applied to the
また、本実施例においては、硬質部3は、チタン板2の外周面の幅方向両端から2mm以上5mm以下の範囲に設ける。2mm未満では硬質部3による効果が不十分であり、また、5mmを越えると幅方向中央部と性質の異なる領域が広くなり過ぎるため、銅箔のトリムロスを考慮する必要が生じる。
In the present embodiment, the hard portion 3 is provided in the range of 2 mm or more and 5 mm or less from both ends in the width direction of the outer peripheral surface of the
なお、チタン板2の外周面の幅方向両端の極僅かな範囲、具体的には1〜2mm程度の範囲に銅箔が生成されない無効領域を設ける場合には、外周面にして銅箔が生成される有効領域の幅方向両端から上記所定範囲に硬質部3を設ける。この場合も、無効領域は通常極僅かであることからチタン板2の外周面の幅方向両端から所定範囲に設ける場合と同様、上記数値範囲に設定する。また、無効領域も硬質部3としても良い。
In addition, when providing the invalid area | region where copper foil is not produced | generated in the very slight range of the width direction both ends of the outer peripheral surface of the
本実施例は上述のように構成したから、チタン板2を弾性砥石4により研磨する際、チタン板2の幅方向両端面に弾性砥石4が回り込んでもチタン板2の幅方向両端部が硬質であるためにエッジ部の磨耗が抑制され、よって、チタン板2の幅方向両端部のエッジ部が丸まり難くなり、図1に図示したようなシールリング方式を用いて金属箔を生成するに際し、エッジ部とシールリングとの密着性を長期間にわたって維持することができ、長期間にわたって良好な金属箔の製造が可能となる。また、エッジ部が丸まり難いため、丸みが生じた際に行う切削頻度を減少させることができ、従って、それだけメンテナンスが容易であり、チタン板2の寿命も長期化できる。
Since the present embodiment is configured as described above, when the
よって、本実施例は、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムとなる。 Therefore, in this example, by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with the elastic grindstone, the adhesion with the seal ring can be maintained for a long time, and the metal foil can be manufactured for a long time. It becomes an electrodeposition drum excellent in productivity capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface without reducing the possible area.
以下に、本実施例の効果を裏付ける実験例について説明する。 Hereinafter, experimental examples that support the effects of the present embodiment will be described.
次の1.〜7.の手順でサンプルを作製し、条件毎の研磨耐性を比較した。図7,8に実験条件及び実験結果を示す。 Next 1. ~ 7. Samples were prepared according to the procedure described above, and the polishing resistance for each condition was compared. 7 and 8 show experimental conditions and experimental results.
1.母材硬さがブリネル硬さで夫々108、110、120、135HBWであるチタ
ン熱延板(厚さ8mm×幅300mm×長さ300mm)を、各幅方向の端面を機械
加工により平坦に仕上げる。
1. Titanium hot-rolled sheets (thickness 8 mm x width 300 mm x length 300 mm) with a base material hardness of Brinell, 108, 110, 120, and 135 HBW are finished flat by machining the end faces in each width direction. .
2.上記チタン熱延板の各幅方向の端面に該端面から5mm以上の範囲に及ぶように加
工硬化処理を施す。
2. The end face in the width direction of the titanium hot-rolled sheet is subjected to a work hardening treatment so as to reach a range of 5 mm or more from the end face.
3.上記チタン熱延板の各表裏面(内外周面)、各幅方向の両端面を機械加工により平
坦に仕上げ、加工済みチタン熱延板(厚さ6mm×(幅300mm−α[mm])×
長さ300mm)を得る。なお、硬質部が両端面から夫々5mm以内の範囲に収まる
ようにする。また、−αとは機械加工により減ずる幅寸法である。
3. Each front and back surface (inner and outer peripheral surfaces) of each titanium hot-rolled sheet and both end faces in the width direction are flattened by machining, and processed titanium hot-rolled sheet (thickness 6 mm x (width 300 mm-α [mm]) ×
A length of 300 mm). The hard part should be within the range of 5mm from both end faces. Further, -α is a width dimension reduced by machining.
4.各表面(外周面)と端面のエッジが立っていることを確認する。 4). Make sure that the edges of each surface (outer peripheral surface) and end face are standing.
5.外径305mm×幅30mmのPVA研磨砥石とPVA油を用い、砥石回転速度1
500rpm、砥石押し付け力15N、長さ方向送り速度300mm/min、幅方
向送り速度15mm/min、エッジ部の砥石乗り越し量が15mm前後になるよう
に上記各加工済みチタン熱延板に、研磨砥石番手が♯180、♯320、♯600の
順に100パスずつPVA研磨を施す。
5. Using a PVA grinding wheel with an outer diameter of 305 mm and a width of 30 mm and PVA oil, the wheel rotation speed is 1
To each of the above-mentioned processed titanium hot-rolled plates, 500 rpm, grinding wheel pressing force 15 N, lengthwise feed rate 300 mm / min, widthwise
6.PVA研磨終了後、幅方向両端部のエッジ部の状況と、表面段差の有無を評価する
。評価は熟練検査員が目視により行う。
6). After the PVA polishing, the situation of the edge portions at both ends in the width direction and the presence or absence of a surface step are evaluated. The evaluation is performed visually by a skilled inspector.
7.硬質部が端面から3、2、1mmの範囲に収まるように加工した加工済みチタン熱
延板についても同様の研磨及び評価を行う。
7). The same polishing and evaluation are performed on the processed titanium hot-rolled sheet that has been processed so that the hard part is within the range of 3, 2, 1 mm from the end face.
この実験結果から、本発明で規定した硬質部を設ける位置及び範囲、硬質部のブリネル硬さ並びに硬質部と中央部とのブリネル硬さの差により、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を良好に抑制できることが確認できる。 From this experimental result, the width and width of the titanium plate at the time of polishing with an elastic grindstone are determined depending on the position and range of the hard part specified in the present invention, the Brinell hardness of the hard part and the Brinell hardness of the hard part and the central part. It can be confirmed that the wear at both ends in the direction can be satisfactorily suppressed.
1 インナードラム
2 チタン板
3 硬質部
1
本発明は、銅箔等を製造する金属箔製造装置における電着ドラムに関するものである。 The present invention relates to an electrodeposition drum in a metal foil manufacturing apparatus for manufacturing copper foil or the like.
従来から電着ドラムの表面に均一な平滑面を有する銅箔を同厚で電着生成するための改良がなされてきたが、現在では電解液に対する耐食性の秀れたチタン板(アウタースキン)をインナードラムの外周面に被着し、チタン板の外周面に均一な平滑面を有する銅箔を同厚で生成する電着ドラムが多用されている(特許文献1等参照)。 Conventionally, improvements have been made to produce a copper foil having a uniform smooth surface on the surface of the electrodeposition drum with the same thickness, but nowadays, a titanium plate (outer skin) with excellent corrosion resistance to the electrolyte is used. An electrodeposition drum is often used that adheres to the outer peripheral surface of the inner drum and generates a copper foil having a uniform smooth surface on the outer peripheral surface of the titanium plate with the same thickness (see Patent Document 1, etc.).
ところで、この電着ドラムのチタン板の外周面は幅方向の電着範囲を限定するため幅方向両端部で絶縁する必要があり、この絶縁する手段としては、絶縁テープをチタン板の幅方向両端部に貼着するシールテープ方式や、図1に図示したように、チタン板22の幅方向両端面22’に絶縁体から成るシールリング26をリング保持部材24により止着するシールリング方式が知られている。
By the way, the outer peripheral surface of the titanium plate of this electrodeposition drum needs to be insulated at both ends in the width direction in order to limit the electrodeposition range in the width direction. As shown in FIG. 1, there is known a seal ring method in which a
なお、シールリング26は、チタン板22の幅方向両端面22’とリング保持部材24の幅方向端面24’に密着せしめられている。
The
図中符号21はインナードラム、23はインナードラムの側面に被着されるチタン側板である。
In the figure,
ここで、シールテープ方式は、チタン板の外周面の絶縁テープが貼着された領域が、銅箔が生成されない無効領域となる欠点がある。 Here, the seal tape method has a drawback that the region where the insulating tape on the outer peripheral surface of the titanium plate is attached becomes an ineffective region where no copper foil is generated.
そのため、現在では上記欠点のないシールリング方式を用いるのが一般的であるが、シールリング方式にも以下の問題点がある。 Therefore, at present, it is common to use a seal ring system that does not have the above-mentioned drawbacks, but the seal ring system has the following problems.
例えば、図2に図示したように、チタン板22の外周面を平滑化するための弾性砥石25(例えばPVA研磨砥石)による研磨等を繰り返し行うと、弾性砥石25の一部がチタン板22の幅方向両端面22’に回り込もうとする際に、両端部が研磨されチタン板22のエッジ部Eが丸まってしまい、シールリング26との密着性が悪化する可能性がある(図2(b)参照)。
For example, as illustrated in FIG. 2, when the polishing with an elastic grindstone 25 (for example, PVA grindstone) for smoothing the outer peripheral surface of the
チタン板22の両端部のエッジ部Eとシールシング26との密着性が悪化すると、異常電析等により銅箔の両端部の厚さが厚くなったり、銅箔が破断したり、巻き取りが良好に行われなくなったりし、生産性や歩留まりの低下を招く。
When the adhesion between the edge E of the both ends of the
例えば、チタン板22の丸みを帯びた部分等を切削することで、両端部のエッジ部Eを回復させることも可能ではあるが、この場合、チタン板22の板厚や板幅が減少し、電着ドラムの使用可能期間や銅箔製造可能領域の減少を招くことになり、好ましくない。
For example, it is possible to recover the edge portion E at both ends by cutting a rounded portion or the like of the
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムを提供するものである。 The present invention has been made in view of the current situation as described above, and maintains the adhesiveness with the seal ring for a long period of time by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with an elastic grindstone. It is possible to provide an electrodeposition drum that is excellent in productivity and capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface stably without reducing the area in which the metal foil can be produced over a long period of time.
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。 The gist of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
インナードラム1の外周面にチタン板2を設けた金属箔製造装置に用いられる電着ドラムであって、前記チタン板2の外周面の幅方向両端部若しくは前記チタン板2の外周面にして金属箔が生成される有効領域の幅方向両端部を起点とし、これら両端部から内方へ最少で2mm最大で5mmの位置を終点とする範囲には、幅方向中央部に比し硬質な硬質部3が設けられ、この硬質部3の表面硬さはブリネル硬さで130HBW以上であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
An electrodeposition drum used in a metal foil manufacturing apparatus in which a
また、請求項1記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3の表面硬さは前記チタン板2の幅方向中央部よりブリネル硬さで5〜40HBW硬いことを特徴とする電着ドラムに係るものである。
2. The electrodeposition drum according to claim 1, wherein the surface hardness of the hard portion 3 is 5-40 HBW in terms of Brinell hardness from the center in the width direction of the
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に加工硬化処理を行うことで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to any one of
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材を溶接することで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
Further, in the electrodeposition drum according to claim 1, the hard portion 3 is formed by welding a hard member harder than the
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材を溶射することで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to any one of
また、請求項1,2いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3は、前記チタン板2に該チタン板2より硬質な硬質部材をイオンプレーティングすることで形成されたものであることを特徴とする電着ドラムに係るものである。
The electrodeposition drum according to claim 1, wherein the hard portion 3 is formed by ion-plating a hard member harder than the
また、請求項1〜6いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記硬質部3の表面も金属箔が生成される有効領域であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。 The electrodeposition drum according to any one of claims 1 to 6, wherein the surface of the hard portion 3 is also an effective region in which a metal foil is generated.
また、請求項1〜7いずれか1項に記載の電着ドラムにおいて、前記金属箔は銅箔であることを特徴とする電着ドラムに係るものである。 The electrodeposition drum according to any one of claims 1 to 7, wherein the metal foil is a copper foil.
本発明は上述のように構成したから、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムとなる。 Since the present invention is configured as described above, it is possible to maintain the adhesion with the seal ring for a long period of time by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with an elastic grindstone. Thus, an electrodeposition drum excellent in productivity capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface without decreasing the metal foil production area is provided.
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。 An embodiment of the present invention which is considered to be suitable will be briefly described with reference to the drawings showing the operation of the present invention.
チタン板2を弾性砥石により研磨する際、チタン板2の幅方向両端面に弾性砥石が回り込んでもチタン板2の幅方向両端部が硬質であるから、チタン板2のエッジ部の磨耗が抑制され、従って、チタン板2の幅方向両端部のエッジ部が丸まり難くなり、エッジ部とシールリングとの密着性を長期間にわたって維持することができ、長期間にわたって良好な金属箔の製造が可能となる。また、エッジ部が丸まり難いため、丸みが生じた際に行う切削頻度を減少させることができ、従って、それだけメンテナンスが容易であり、チタン板2の寿命も長期化できる。
When the
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。 Specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施例の電着ドラムは、インナードラム1の外周面にチタン板2を張設したもので、電解槽中で回転させることで前記チタン板2の外周面に銅箔を電着生成させるものである。
The electrodeposition drum of the present embodiment has a
具体的には、前記チタン板2の外周面の幅方向両端部若しくは前記チタン板2の外周面にして銅箔が生成される有効領域の幅方向両端部を起点とし、これら両端部から内方へ最少で2mm最大で5mmの位置を終点とする範囲には、夫々幅方向中央部に比し硬質な硬質部3が設けられ、この硬質部3の表面硬さはブリネル硬さで130HBW以上のものである。
Specifically, the width direction both ends of the outer peripheral surface of the
なお、ブリネル硬さとは、圧子(金属球)を所定の試験荷重で試料の表面に押し込み、表面に残ったくぼみの表面積を計測して算出する硬さ値である。その試験方法はJIS Z 2243や、ISO6506において定められており、試験荷重P(kgf)を算出した表面積S(mm2)で割った値がブリネル硬さである。 The Brinell hardness is a hardness value calculated by pushing an indenter (metal sphere) into the surface of a sample with a predetermined test load and measuring the surface area of the indentation remaining on the surface. The test method is defined in JIS Z 2243 and ISO 6506, and the value obtained by dividing the test load P (kgf) by the calculated surface area S (mm 2 ) is the Brinell hardness.
また、図3に図示したように、インナードラム1の側面にはチタン側板4が設けられている。図中符号5は回転軸である。
As shown in FIG. 3, a
なお、本実施例は、銅箔をチタン板2の外周面に生成する例について説明しているが、例えば、ニッケル、鉄、銀等の他の金属箔を生成する構成としてもよい。
In addition, although the present Example demonstrates the example which produces | generates copper foil on the outer peripheral surface of the
本実施例の硬質部3の表面硬さはチタン板2の幅方向中央部(硬質部以外の部分)よりブリネル硬さで5〜40HBW硬くなるように設定している。また、チタン板2の幅方向中央部は、ブリネル硬さで90HBW以上、好ましくは110HBW以上に設定する。
The surface hardness of the hard part 3 of the present embodiment is set to be 5 to 40 HBW harder in Brinell hardness than the center part in the width direction of the titanium plate 2 (part other than the hard part). Moreover, the center part of the width direction of the
また、本実施例においてチタン板2としてはTP270材を採用している。なお、純チタン材に限らず、チタン合金材を採用しても良い。
In this embodiment, TP270 material is used as the
硬質部3は、本実施例においては、適宜な加工具6によりチタン板2の幅方向端面側から端部を冷間圧下して加工硬化させることで形成している(図4(a)、(b)参照)。加工具6は自転させながら前記端面に沿って移動させ、一連の動作で全周を略一様に加工する。
In the present embodiment, the hard portion 3 is formed by cold-working and hardening the end portion from the end surface side in the width direction of the
なお、本実施例においては、チタン板2をインナードラム1の外周面に張設してリング状とした状態で加工硬化処理を行っているが、チタン板2をインナードラム1の外周面に張設する前のシート状の段階で加工硬化処理を行っても良い。
In the present embodiment, the work hardening treatment is performed in a state where the
また、加工硬化処理を行った後、当該処理により生じた不要部分(凹凸等)を除去し切削等の平坦化(平滑化)処理を行う(図4(c)参照)。従って、前記チタン板2の外周面は平滑面となり、前記硬質部3も銅箔が生成される有効領域となる。
Further, after performing the work hardening process, unnecessary portions (unevenness and the like) generated by the process are removed, and a flattening (smoothing) process such as cutting is performed (see FIG. 4C). Therefore, the outer peripheral surface of the
なお、加工硬化処理に限らず、前記チタン板2の幅方向両端部に該チタン板2より硬質な硬質部材7(例えば、TP340材)を溶接、溶射若しくはイオンプレーティングすることで硬質部3を形成しても良い。
The hard part 3 is not limited to the work hardening process, but the hard part 3 is welded, sprayed, or ion-plated with a hard member 7 (for example, TP340 material) harder than the
図5は溶接接合により硬質部を設ける例、図6は肉盛溶接により硬質部を設ける例である。この場合も、図5(a)及び図6(a)に図示したような溶接及び溶射処理後に平坦化処理を行う(図5(b)及び図6(b)参照)。溶接によれば、チタン板2の両端部に硬質部材から成る硬質部3が設けられ、溶射及びイオンプレーティングによれば、チタン板2の両端部の表面に硬質部材から成る硬質皮膜が形成され硬質部3が設けられることになる。
FIG. 5 shows an example in which the hard part is provided by welding and FIG. 6 shows an example in which the hard part is provided by overlay welding. Also in this case, a flattening process is performed after the welding and spraying processes as shown in FIGS. 5A and 6A (see FIGS. 5B and 6B). According to the welding, hard portions 3 made of a hard member are provided at both ends of the
なお、上述した加工硬化処理と同様、溶接、溶射若しくはイオンプレーティングについても、インナードラム1の外周面に張設する前のシート状若しくは張設後のリング状のいずれの状態のチタン板2に対して行っても良い。シート状のチタン板2に対して溶接等を行う場合には同様にシート状の硬質部材7を用い、リング状のチタン板2に対して溶接等を行う場合には同様にリング状の硬質部材7を用いる。
Note that, similarly to the work hardening process described above, welding, thermal spraying, or ion plating is applied to the
また、本実施例においては、硬質部3は、チタン板2の外周面の幅方向両端を起点とし該両端から内方へ最少で2mm最大で5mmの位置を終点とする範囲に設ける。2mm未満では硬質部3による効果が不十分であり、また、5mmを越えると幅方向中央部と性質の異なる領域が広くなり過ぎるため、銅箔のトリムロスを考慮する必要が生じる。
Further, in the present embodiment, the hard portion 3 is provided in a range starting from both ends in the width direction of the outer peripheral surface of the
なお、チタン板2の外周面の幅方向両端の極僅かな範囲、具体的には1〜2mm程度の範囲に銅箔が生成されない無効領域を設ける場合には、外周面にして銅箔が生成される有効領域の幅方向両端から上記所定範囲に硬質部3を設ける。この場合も、無効領域は通常極僅かであることからチタン板2の外周面の幅方向両端から所定範囲に設ける場合と同様、上記数値範囲に設定する。また、無効領域も硬質部3としても良い。
In addition, when providing the invalid area | region where copper foil is not produced | generated in the very slight range of the width direction both ends of the outer peripheral surface of the
本実施例は上述のように構成したから、チタン板2を弾性砥石4により研磨する際、チタン板2の幅方向両端面に弾性砥石4が回り込んでもチタン板2の幅方向両端部が硬質であるためにエッジ部の磨耗が抑制され、よって、チタン板2の幅方向両端部のエッジ部が丸まり難くなり、図1に図示したようなシールリング方式を用いて金属箔を生成するに際し、エッジ部とシールリングとの密着性を長期間にわたって維持することができ、長期間にわたって良好な金属箔の製造が可能となる。また、エッジ部が丸まり難いため、丸みが生じた際に行う切削頻度を減少させることができ、従って、それだけメンテナンスが容易であり、チタン板2の寿命も長期化できる。
Since the present embodiment is configured as described above, when the
よって、本実施例は、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を抑制することで、シールリングとの密着性を長期間維持することができ、長期間にわたって金属箔製造可能領域の減少を伴わず安定的に均一な平滑面を有する金属箔を生成可能な生産性に秀れる電着ドラムとなる。 Therefore, in this example, by suppressing wear at both ends in the width direction of the titanium plate during polishing with the elastic grindstone, the adhesion with the seal ring can be maintained for a long time, and the metal foil can be manufactured for a long time. It becomes an electrodeposition drum excellent in productivity capable of producing a metal foil having a uniform and smooth surface without reducing the possible area.
以下に、本実施例の効果を裏付ける実験例について説明する。 Hereinafter, experimental examples that support the effects of the present embodiment will be described.
次の1.〜7.の手順でサンプルを作製し、条件毎の研磨耐性を比較した。図7,8に実験条件及び実験結果を示す。 Next 1. ~ 7. Samples were prepared according to the procedure described above, and the polishing resistance for each condition was compared. 7 and 8 show experimental conditions and experimental results.
1.母材硬さがブリネル硬さで夫々108、110、120、135HBWであるチタ
ン熱延板(厚さ8mm×幅300mm×長さ300mm)を、各幅方向の端面を機械
加工により平坦に仕上げる。
1. Titanium hot-rolled sheets (thickness 8 mm x width 300 mm x length 300 mm) with a base material hardness of Brinell, 108, 110, 120, and 135 HBW are finished flat by machining the end faces in each width direction. .
2.上記チタン熱延板の各幅方向の端面に該端面から5mm以上の範囲に及ぶように加
工硬化処理を施す。
2. The end face in the width direction of the titanium hot-rolled sheet is subjected to a work hardening treatment so as to reach a range of 5 mm or more from the end face.
3.上記チタン熱延板の各表裏面(内外周面)、各幅方向の両端面を機械加工により平
坦に仕上げ、加工済みチタン熱延板(厚さ6mm×(幅300mm−α[mm])×
長さ300mm)を得る。なお、硬質部が両端面から夫々5mm以内の範囲に収まる
ようにする。また、−αとは機械加工により減ずる幅寸法である。
3. Each front and back surface (inner and outer peripheral surfaces) of each titanium hot-rolled sheet and both end faces in the width direction are flattened by machining, and processed titanium hot-rolled sheet (thickness 6 mm x (width 300 mm-α [mm]) ×
A length of 300 mm). The hard part should be within the range of 5mm from both end faces. Further, -α is a width dimension reduced by machining.
4.各表面(外周面)と端面のエッジが立っていることを確認する。 4). Make sure that the edges of each surface (outer peripheral surface) and end face are standing.
5.外径305mm×幅30mmのPVA研磨砥石とPVA油を用い、砥石回転速度1
500rpm、砥石押し付け力15N、長さ方向送り速度300mm/min、幅方
向送り速度15mm/min、エッジ部の砥石乗り越し量が15mm前後になるよう
に上記各加工済みチタン熱延板に、研磨砥石番手が♯180、♯320、♯600の
順に100パスずつPVA研磨を施す。
5. Using a PVA grinding wheel with an outer diameter of 305 mm and a width of 30 mm and PVA oil, the wheel rotation speed is 1
To each of the above-mentioned processed titanium hot-rolled plates, 500 rpm, grinding wheel pressing force 15 N, lengthwise feed rate 300 mm / min, widthwise
6.PVA研磨終了後、幅方向両端部のエッジ部の状況と、表面段差の有無を評価する
。評価は熟練検査員が目視により行う。
6). After the PVA polishing, the situation of the edge portions at both ends in the width direction and the presence or absence of a surface step are evaluated. The evaluation is performed visually by a skilled inspector.
7.硬質部が端面から3、2、1mmの範囲に収まるように加工した加工済みチタン熱
延板についても同様の研磨及び評価を行う。
7). The same polishing and evaluation are performed on the processed titanium hot-rolled sheet that has been processed so that the hard part is within the range of 3, 2, 1 mm from the end face.
この実験結果から、本発明で規定した硬質部を設ける位置及び範囲、硬質部のブリネル硬さ並びに硬質部と中央部とのブリネル硬さの差により、弾性砥石による研磨の際のチタン板の幅方向両端部の磨耗を良好に抑制できることが確認できる。 From this experimental result, the width and width of the titanium plate at the time of polishing with an elastic grindstone are determined depending on the position and range of the hard part specified in the present invention, the Brinell hardness of the hard part and the Brinell hardness of the hard part and the central part. It can be confirmed that the wear at both ends in the direction can be satisfactorily suppressed.
1 インナードラム
2 チタン板
3 硬質部
1
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