JP2015102439A - 膜厚測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】低コスト化、省資源化、製造の容易化、性能の向上等を図ることのできる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】被測定膜Fの膜厚を測定する膜厚測定装置10であって、赤外線IRを被測定膜Fに照射する黒体炉20と、赤外線IRが照射された被測定膜Fを透過した透過光のうち、特定の波長領域の赤外線を透過させる赤外線フィルタ33と、赤外線フィルタ33を透過した赤外線を検出する赤外線カメラ30とを備え、赤外線フィルタ33は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する波長領域の赤外線を透過させる。
【選択図】図1
【解決手段】被測定膜Fの膜厚を測定する膜厚測定装置10であって、赤外線IRを被測定膜Fに照射する黒体炉20と、赤外線IRが照射された被測定膜Fを透過した透過光のうち、特定の波長領域の赤外線を透過させる赤外線フィルタ33と、赤外線フィルタ33を透過した赤外線を検出する赤外線カメラ30とを備え、赤外線フィルタ33は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する波長領域の赤外線を透過させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、膜厚を測定する技術に関する。
膜厚を測定する技術として、例えば、レーザー光を用いて膜厚を非接触に測定する技術が知られている。この測定技術は、一点ずつ膜厚測定する点測定、または、被測定膜を搬送しながら測定点を走査させて線状に膜厚を測定する線測定として用いられる。また、他の膜厚測定技術として、下記特許文献1の測定方法が知られている。特許文献1には、被測定膜と同一の物質を加熱して発生させた赤外線を被測定膜に照射し、被測定膜を透過した赤外線の強度の分布を測定して、被測定膜の膜厚を測定する技術が開示されている。
しかし、レーザー光を用いて膜厚を測定する場合、膜厚の測定部分が点または線であるため、被測定膜の面内に未測定部分が発生する虞がある。例えば、燃料電池の電解質膜の膜厚を測定する場合、膜に生じた穴を検出することができない場合があり、点測定または線測定では、電解質膜の品質保証が不十分となる可能性がある。
また、特許文献1による膜厚測定の場合、被測定膜と同一物質を加熱して赤外線を発生させるので、赤外線の放射率が低い場合がある。さらに、被測定膜と同一物質を加熱して赤外線を発生させる場合、その物質の融点が加熱温度の上限となるため、十分な強度の赤外線を発生させることができないといった問題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
(1)本発明の一形態によれば、被測定膜の膜厚を測定する膜厚測定装置が提供される。この形態の膜厚測定装置は、赤外線を前記被測定膜に照射する黒体炉と;前記赤外線が照射された前記被測定膜を透過した透過光のうち、特定の波長領域の赤外線を透過させる赤外線フィルタと;前記赤外線フィルタを透過した赤外線を検出する赤外線カメラとを備え;前記赤外線フィルタは、前記被測定膜の赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、前記半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する波長領域の赤外線を透過させる。
この形態の膜厚測定装置によると、被測定膜を透過した赤外線を赤外線カメラで検出することによって被測定膜の膜厚を測定するので、被測定膜の膜厚を2次元に測定することができる。また、この膜厚測定装置は、黒体炉から赤外線を出力させるので、出力させる赤外線の放射量を大きくすることができる。また、この膜厚測定装置は、赤外線フィルタを用いるので、赤外線カメラによる膜厚測定に必要な波長領域以外の波長の光によるノイズを除去することができる。さらに、赤外線フィルタは、透過させる光の波長領域が、被測定膜の赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上かつ半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する。よって、赤外吸収ピーク波長における赤外吸収率が100%以上である被測定膜の膜厚を測定する場合であっても、赤外線フィルタは、被測定膜の赤外吸収ピークの波長以外の赤外線を比較的放射量を確保して透過させる。従って、赤外線カメラは、赤外線フィルタを透過した赤外吸収ピークの波長以外の赤外線を検出することができる。従って、この膜厚測定装置は、比較的膜厚が厚く赤外線吸収率が高い被測定膜の膜厚を測定することができる。
また、このような形態によれば、低コスト化、省資源化、製造の容易化、性能の向上等の種々の課題の少なくとも1つを解決することができる。
なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能である。例えば、膜厚測定方法、膜厚測定システム、燃料電池用電解質膜の製造方法および製造装置などの種々の形態で実現することができる。
A.第1実施形態:
(A1)膜厚測定装置:
図1は、本発明の第1実施形態としての膜厚測定装置10を説明する説明図である。膜厚測定装置10は、赤外光源としての黒体炉20と、赤外線カメラ30と、画像生成部40と、画像表示部50とを備える。黒体炉20と赤外線カメラ30との間には、膜厚の測定対象である被測定膜Fが配置されている。
(A1)膜厚測定装置:
図1は、本発明の第1実施形態としての膜厚測定装置10を説明する説明図である。膜厚測定装置10は、赤外光源としての黒体炉20と、赤外線カメラ30と、画像生成部40と、画像表示部50とを備える。黒体炉20と赤外線カメラ30との間には、膜厚の測定対象である被測定膜Fが配置されている。
黒体炉20は、熱放射によって赤外線を出力する赤外線光源である。本実施形態で用いる黒体炉20の放射率は、0.99以上である。本実施形態においては、黒体炉20として、Mikron製(Mikronは登録商標)のM316型の簡易黒体炉を採用する。黒体炉20は、被測定膜Fに向けて赤外線を出力する。
赤外線カメラ30は、受光した赤外線を画像化する機能を有するサーモグラフィー装置である。赤外線カメラ30は、入射部31と、レンズ32と、赤外線フィルタ33と、検出器36とを備える。入射部31は、光を赤外線カメラ30の内部に入射させる。レンズ32は、入射した光を集光する。赤外線フィルタ33は、集光された光のうち、特定の波長領域の赤外線を透過させる。本実施形態においては、赤外線フィルタ33は、赤外線カメラ30の一部の構成として説明したが、赤外線カメラ30とは別体として赤外線カメラ30の外部に設けるとしてもよい。赤外線フィルタ33の特性については、後で詳しく説明する。検出器36は、赤外線を2次元で受光して赤外線の受光量を検出して電気信号に変換し、画像生成部40に出力する。
本実施形態おいては、赤外線カメラ30として、以下の装置を用いる。
・装置:サーモグラフィー装置(日本アビオニクス製、TS9230M型)
・温度測定範囲:−40℃〜120℃
・最少検出温度差:0.08℃(30℃黒体炉の場合)
・測定精度:±2℃または読み値の±2%のいずれか大きい方
・測定波長域:8〜13μm
・検出器:2次元非冷却センサ(マイクロボロメータ)
・視野角:水平21.7°×垂直16.4°
・空間分解能:1.2mrad
・焦点範囲:30cm〜∞
・画像データ数:320(H)×240(V)
・データ深渡:14bit
・装置:サーモグラフィー装置(日本アビオニクス製、TS9230M型)
・温度測定範囲:−40℃〜120℃
・最少検出温度差:0.08℃(30℃黒体炉の場合)
・測定精度:±2℃または読み値の±2%のいずれか大きい方
・測定波長域:8〜13μm
・検出器:2次元非冷却センサ(マイクロボロメータ)
・視野角:水平21.7°×垂直16.4°
・空間分解能:1.2mrad
・焦点範囲:30cm〜∞
・画像データ数:320(H)×240(V)
・データ深渡:14bit
画像生成部40、検出器36から出力された電気信号を受信し、検出器36が受光した赤外線の受光量に基づいた画像を生成する。画像生成部40は、CPU、RAM、ROMを備えるコンピュータである。本実施形態においては、画像生成部40は、画像を生成するために所定の解析ソフトを用いる。画像表示部50は、画像生成部40が生成した画像を、膜厚測定装置10のユーザに視認可能に表示する。
被測定膜Fは、本実施形態においては、固体高分子型燃料電池用の電解質樹脂の前駆体高分子(高分子鎖末端が−S02F)を押し出し成形機にて所定の膜厚に成形した薄膜である。
以上説明した構成の膜厚測定装置10は、以下に説明する態様で被測定膜Fの膜厚を測定する。黒体炉20から出力された赤外線は被測定膜Fに照射される。被測定膜Fは、被測定膜Fを構成する物質固有の赤外線吸収特性(赤外線吸収ピーク)を有し、所定の波長領域の赤外線を吸収する。被測定膜Fによる赤外線の吸収量は、被測定膜Fの膜厚と相関関係を有する。具体的には、被測定膜Fの膜厚が厚いほど、被測定膜Fによる赤外線の吸収量は多くなる。換言すると、被測定膜Fの膜厚が厚いほど、被測定膜Fを透過する赤外線(以下、透過赤外線とも呼ぶ)の透過量は少なくなる。
被測定膜Fに照射された赤外線のうち、透過赤外線は、赤外線カメラ30に入射する。赤外線カメラ30の検出器36は、透過赤外線の受光量を検出して電気信号に変化し、画像生成部40に出力する。画像生成部40は、受信した電気信号に基づいて、透過赤外線の受光量を被測定膜Fの膜厚情報に変換し、膜厚の大小を反映した画像を生成する。画像表示部50は、画像生成部40が生成した画像を表示する。膜厚測定装置10は、このようにして被測定膜Fの膜厚を測定する。
(A2)赤外線フィルタ:
次に、本実施形態において用いる赤外線フィルタ33について説明する。本実施形態で用いる赤外線フィルタ33は、透過させる光の波長領域(透過波長領域)が、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する。以下、赤外線フィルタ33の透過波長領域と、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルとの関係について、図2および図3を用いて説明する。
次に、本実施形態において用いる赤外線フィルタ33について説明する。本実施形態で用いる赤外線フィルタ33は、透過させる光の波長領域(透過波長領域)が、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する。以下、赤外線フィルタ33の透過波長領域と、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルとの関係について、図2および図3を用いて説明する。
説明の便宜上、先に比較例としての赤外線フィルタについて説明し、その後、赤外線フィルタ33について説明する。
図2は、比較例として、赤外線フィルタの透過波長領域が被測定膜Fの半値幅未満の場合の、被測定膜Fの赤外線吸収特性と赤外線フィルタの透過波長領域との関係を示す説明図である。図2(A)〜図2(D)は、4種類の膜厚の被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルと赤外線フィルタの透過波長領域との関係を示す。図に示した赤外線吸収スペクトルSPa〜SPdは、各膜厚における被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルを示している。また、図に示したW1は、赤外線フィルタの透過波長領域を示す。
図2は、比較例として、赤外線フィルタの透過波長領域が被測定膜Fの半値幅未満の場合の、被測定膜Fの赤外線吸収特性と赤外線フィルタの透過波長領域との関係を示す説明図である。図2(A)〜図2(D)は、4種類の膜厚の被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルと赤外線フィルタの透過波長領域との関係を示す。図に示した赤外線吸収スペクトルSPa〜SPdは、各膜厚における被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルを示している。また、図に示したW1は、赤外線フィルタの透過波長領域を示す。
図2(A)および図2(B)に示すように、被測定膜Fの膜厚が薄い場合には、赤外線吸収ピーク波長における被測定膜Fの赤外線吸収率が100%未満であるため、赤外線吸収ピーク波長領域の赤外線も被測定膜Fを透過する。そして、透過赤外線の波長は、赤外線フィルタの透過波長領域W1内であるため、赤外線フィルタを透過して検出器36で検出可能である。
しかし、図2(C)および図2(D)で示すように、被測定膜Fの膜厚が比較的厚い場合には、赤外線吸収ピーク波長における被測定膜Fの赤外線吸収率が100%以上であるため、赤外線吸収ピーク波長領域付近の赤外線は被測定膜Fをほとんど透過しない。従って、赤外線フィルタを透過する赤外線が微小であり、被測定膜Fの膜厚の変化を検出可能な赤外線を検出器36で受光することができない。よって、赤外線フィルタの透過波長領域W1が被測定膜Fの半値幅未満の場合には、所定以上の厚さの被測定膜Fの膜厚を測定することができない。
図3は、本実施形態で用いた赤外線フィルタ33の特性を示す説明図である。上述のように、赤外線フィルタ33は、透過波長領域が、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する。図3(A)〜図3(D)は、図2と同様、4種類の膜厚の被測定膜Fの赤外線吸収特性と赤外線フィルタ33の透過波長領域との関係を示す。図に示した赤外線吸収スペクトルSPa〜SPdは、各膜厚における被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルを示している。図3に示した赤外線吸収スペクトルSPa〜Spdは、図2に示した赤外線吸収スペクトルSPa〜Spdと同じである。図3に示したW2は、赤外線フィルタ33の透過波長領域を示す。
図3(A)および図3(B)に示すように、被測定膜Fの膜厚が薄い場合には、比較例の赤外線フィルタと同様、赤外線吸収ピーク波長における被測定膜Fの赤外線吸収率が100%未満であるため、赤外線吸収ピーク波長領域の赤外線も被測定膜Fを透過する。そして、透過赤外線の波長は、赤外線フィルタ33の透過波長領域W2内であるため、赤外線フィルタを透過して検出器36で検出可能である。
図3(C)および図3(D)で示すように、被測定膜Fの膜厚が厚い場合には、赤外線吸収ピーク波長における被測定膜Fの赤外線吸収率が100%以上であるが、赤外線フィルタ33の透過波長領域W2が、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上に広い波長範囲を有するので、赤外線吸収ピーク波長領域の外側の波長領域の赤外線を検出器36で検出可能である。従って、被測定膜Fの膜厚が厚くなった場合でも、赤外線吸収ピーク波長領域の外側の波長領域の赤外線の変化を検出することにより、被測定膜Fの膜厚を測定することが可能である。また、赤外線フィルタ33は、透過波長領域W2が赤外線吸収スペクトルの半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲であるので、膜厚測定に不要な波長のノイズを除去する。なお、膜厚測定装置10によって被測定膜Fの膜厚を測定する際には、予め測定対象である被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルを取得し、取得した赤外線吸収スペクトルに基づいて決定した透過波長領域W2の赤外線フィルタ33を用いる。
(A3)膜厚測定:
膜厚測定装置10を用いた被測定膜Fの膜厚測定の結果について説明する。
[1]実施例1:
膜厚測定の実施例1として、膜厚が10μmの被測定膜Fの膜厚を膜厚測定装置10によって測定した。黒体炉20の温度は100℃に設定した。赤外線フィルタ33は、以下の赤外線フィルタを採用した。この赤外線フィルタの透過波長領域は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有するという条件を満たす。
・赤外線フィルタ:(株)アイアールシステム製 ブロードバンドパスフィルタ BBP−7800−9400nm
・透過波長領域:7800nm〜9400nm
・赤外光透過率:70%以上(透過波長領域以外の波長の透過率は約0%)
膜厚測定装置10を用いた被測定膜Fの膜厚測定の結果について説明する。
[1]実施例1:
膜厚測定の実施例1として、膜厚が10μmの被測定膜Fの膜厚を膜厚測定装置10によって測定した。黒体炉20の温度は100℃に設定した。赤外線フィルタ33は、以下の赤外線フィルタを採用した。この赤外線フィルタの透過波長領域は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有するという条件を満たす。
・赤外線フィルタ:(株)アイアールシステム製 ブロードバンドパスフィルタ BBP−7800−9400nm
・透過波長領域:7800nm〜9400nm
・赤外光透過率:70%以上(透過波長領域以外の波長の透過率は約0%)
図4は、実施例1の測定結果を示す説明図である。図4(A)は、膜厚測定装置10による測定によって画像表示部50に表示された表示画像を示す。図面の制約上、図4(A)は白黒の画像として示しているが、実際には、カラー画像として示され、検出器36で検出した赤外線の受光量に応じて色分けがされている。
図4(B)は、図4(A)として画像生成部40に表示されている被測定膜Fの領域の点P1と点P2とを結ぶ線分上(検量線)の被測定膜Fの膜厚を示す。図4(A)に示した画像を反映した膜厚として示されている。実施例1の結果、被測定膜Fの膜厚を2次元的に測定可能であることが確認された。
[2]実施例2:
膜厚測定の実施例2として、膜厚が20μmの被測定膜Fの膜厚を膜厚測定装置10によって測定した。黒体炉20の温度は200℃に設定した。赤外線フィルタ33は、実施例1と同じ赤外線フィルタを採用した。
膜厚測定の実施例2として、膜厚が20μmの被測定膜Fの膜厚を膜厚測定装置10によって測定した。黒体炉20の温度は200℃に設定した。赤外線フィルタ33は、実施例1と同じ赤外線フィルタを採用した。
図5は、実施例2の測定結果を示す説明図である。図5(A)は、膜厚測定装置10による測定によって画像表示部50に表示された表示画像を示す。
図5(B)は、図5(A)として画像生成部40に表示されている被測定膜Fの領域の点P1と点P2とを結ぶ検量線上の被測定膜Fの膜厚を示す。実施例2の結果、実施例1と同様、被測定膜Fの膜厚を2次元的に測定可能であることが確認された。
[3]比較例1:
膜厚測定の比較例1として、用いる赤外線フィルタ以外は実施例1と測定条件を同じにして、被測定膜Fの膜厚を測定した。赤外線フィルタは、以下の赤外線フィルタを採用した。この赤外線フィルタの透過波長領域は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅以下である。
・赤外線フィルタ:(株)アイアールシステム製 バンドパスフィルタ BP−8170−250nm
・透過波長領域:赤外中心波長8170nm
・赤外光透過率:半値幅250nmのピークを有する赤外光の透過率は70%(その他の波長の透過率は約0%)
膜厚測定の比較例1として、用いる赤外線フィルタ以外は実施例1と測定条件を同じにして、被測定膜Fの膜厚を測定した。赤外線フィルタは、以下の赤外線フィルタを採用した。この赤外線フィルタの透過波長領域は、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅以下である。
・赤外線フィルタ:(株)アイアールシステム製 バンドパスフィルタ BP−8170−250nm
・透過波長領域:赤外中心波長8170nm
・赤外光透過率:半値幅250nmのピークを有する赤外光の透過率は70%(その他の波長の透過率は約0%)
比較例1によって、被測定膜Fの膜厚測定を試みたが、膜厚が5μm以上において、膜厚の増加と赤外線フィルタを透過する赤外線の透過量との間に相関が無くなるため、膜厚の測定が不可能であった。赤外線フィルタの透過波長領域が小さいため、被測定膜Fを透過した赤外線がほとんど赤外線フィルタによって除去されてしまったと推定される。すなわち、図2(C)または図2(D)に示した現象が現れていると推定される。
[4]比較例2:
膜厚測定の比較例2として、赤外光源として、黒体炉20に代えて、被測定膜Fと同一物質(電解質樹脂前駆体)をホットプレートで200℃に加熱し赤外線の発生を試みた。その他の測定条件は、実施例2と同じである。結果として、赤外光源として加熱した電解質樹脂前駆体が溶融してしまい、赤外光源として用いることができず、膜厚の測定は不可能であった。
膜厚測定の比較例2として、赤外光源として、黒体炉20に代えて、被測定膜Fと同一物質(電解質樹脂前駆体)をホットプレートで200℃に加熱し赤外線の発生を試みた。その他の測定条件は、実施例2と同じである。結果として、赤外光源として加熱した電解質樹脂前駆体が溶融してしまい、赤外光源として用いることができず、膜厚の測定は不可能であった。
(A4)効果:
以上説明したように、膜厚測定装置10は、赤外線カメラを用いて被測定膜Fの膜厚を測定するので、2次元的に膜厚を測定することができる。また、膜厚測定装置10は、赤外光源として黒体炉20を用いるので、被測定膜と同一物質を加熱して赤外光を発生させる場合と比較して、出力させる赤外線の放射量及び強度を十分に確保することができる。
以上説明したように、膜厚測定装置10は、赤外線カメラを用いて被測定膜Fの膜厚を測定するので、2次元的に膜厚を測定することができる。また、膜厚測定装置10は、赤外光源として黒体炉20を用いるので、被測定膜と同一物質を加熱して赤外光を発生させる場合と比較して、出力させる赤外線の放射量及び強度を十分に確保することができる。
また、膜厚測定装置10が備える赤外線フィルタ33は、透過させる光の波長領域が、被測定膜Fの赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上かつ半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する。よって、被測定膜Fの赤外吸収ピーク波長における赤外吸収率が100%以上である場合であっても、赤外線カメラ30は、赤外線フィルタ33を透過した赤外吸収ピークの波長以外の赤外線を検出することができる。従って、膜厚測定装置10は、比較的膜厚が大きく赤外吸収率が高い被測定膜Fの膜厚を測定することができる。
B.変形例:
なお、この発明は上記の実施形態や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
(B1)変形例1:
上記実施形態においては、被測定膜Fとして、燃料電池用電解質膜の前駆体高分子の膜を用いて説明をしたが、膜厚測定装置10は、被測定膜として種々の膜の膜厚を測定することができる。例えば、PE(ポリエチレン)、PP(ポリプロピレン)、PET(ポリエチレンテレフタラート)など、種々の材料によって形成されたフィルムの膜厚を測定することも可能である。
なお、この発明は上記の実施形態や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
(B1)変形例1:
上記実施形態においては、被測定膜Fとして、燃料電池用電解質膜の前駆体高分子の膜を用いて説明をしたが、膜厚測定装置10は、被測定膜として種々の膜の膜厚を測定することができる。例えば、PE(ポリエチレン)、PP(ポリプロピレン)、PET(ポリエチレンテレフタラート)など、種々の材料によって形成されたフィルムの膜厚を測定することも可能である。
10…膜厚測定装置
20…黒体炉
30…赤外線カメラ
31…入射部
32…レンズ
33…赤外線フィルタ
36…検出器
40…画像生成部
50…画像表示部
F…被測定膜
W1,W2…透過波長領域
P1,P2…点
SPa〜SPd…赤外線吸収スペクトル
20…黒体炉
30…赤外線カメラ
31…入射部
32…レンズ
33…赤外線フィルタ
36…検出器
40…画像生成部
50…画像表示部
F…被測定膜
W1,W2…透過波長領域
P1,P2…点
SPa〜SPd…赤外線吸収スペクトル
Claims (1)
- 被測定膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、
赤外線を前記被測定膜に照射する黒体炉と、
前記赤外線が照射された前記被測定膜を透過した透過光のうち、特定の波長領域の赤外線を透過させる赤外線フィルタと、
前記赤外線フィルタを透過した赤外線を検出する赤外線カメラとを備え、
前記赤外線フィルタは、前記被測定膜の赤外線吸収スペクトルの半値幅に対応する波長領域以上、かつ、前記半値幅の2倍に対応する波長領域以下の波長範囲を有する波長領域の赤外線を透過させる
膜厚測定装置。
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- 2013-11-26 JP JP2013243676A patent/JP2015102439A/ja active Pending
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