JP2015095564A - カーボンナノチューブ集合体を用いた電界効果トランジスタ - Google Patents
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図1は、本発明の一実施形態に係る電界効果トランジスタ100の構成を示す。電界効果トランジスタ100はゲート電極103、ゲート絶縁層104及びカーボンナノチューブ集合体により形成されるチャネル層106を有する。ソース電極108及びドレイン電極110はチャネル層106と接するように設けられている。
チャネル層106に用いるカーボンナノチューブ集合体は半導体型カーボンナノチューブのみから成ることが理想的であるが、合成されるカーボンナノチューブの集合体から半導体型カーボンナノチューブのみを精製することは困難である。そこで本発明の一実施形態においてはチャネル層106に用いるカーボンナノチューブ集合体に半導体型カーボンナノチューブのみならず、金属型カーボンナノチューブが含まれることを容認しつつ、特定の金属型カーボンナノチューブの割合を減少させている。それにより、チャネル長を短くしてもオフ電流の上昇を防ぐことができ、オンオフ比として1000以上の値を得ることが可能となる。
図2及び図3を参照して、半導体型カーボンナノチューブの含有比率が高いカーボンナノチューブ集合体を合成する一例を説明する。本実施例では、電界効果トランジスタのチャネル層に適用可能なカーボンナノチューブ集合体の合成法について示す。
図2(A)で示すように、カーボンナノチューブ集合体を合成するために基板102を用意する。この基板102の表面に触媒粒子105を形成する。本実施例では基板102としてシリコンウエハを用いている。この基板102の表面には酸化シリコン膜104が形成されている。酸化シリコン膜104の膜厚に限定はないが、例えば100nmとすればよい。
このプロセスは、触媒粒子を適度に酸化させることを目的としており、これによってその次のカーボンナノチューブ集合体を合成する段階において半導体型カーボンナノチューブ集合体の含有率を高めることができる。酸化シリコン膜104の表面に触媒粒子105が形成された基板102を合成炉に入れて加熱を行う。合成炉内に基板をセットした後、雰囲気ガスと還元ガスを流しながら基板を加熱する。基板の加熱は、炉内の温度が600〜900℃、例えば780℃に加熱する。雰囲気ガスとしては不活性ガスが好ましく、例えばヘリウム(He)を用い、還元ガスとしては水素(H2)を用いることができる。雰囲気ガスに対する還元ガスの割合は、流量比で1/10以下とすればよく、本実施例においてはHeの流量が1900sccmに対して、H2を100sccm流している。
触媒粒子を一定時間水蒸気(H2O)に暴露した後、水蒸気(H2O)の供給は完全に停止させる。そして雰囲気ガスと還元ガスを流した状態で、原料ガスを合成炉内に導入する。原料ガスは炭化水素ガスを用いることが好ましく、例えばエチレン(C2H4)を用いる。原料ガスの供給を一定時間続けることで、基板上にカーボンナノチューブの集合体が成長する(図2(C))。
(1)ラマン分光分析
合成されたカーボンナノチューブ集合体の物性を評価するためにラマン分光分析を行った。ラマン分光分析によれば、カーボンナノチューブ集合体に含まれる半導体型カーボンナノチューブと金属型カーボンナノチューブの存在を確認することができる。
図5は、合成されたカーボンナノチューブ集合体を走査電子顕微鏡(SEM)で観察した結果を示す。図5において白く繊維状に観察されるものがカーボンナノチューブである。このSEM写真から、カーボンナノチューブの本数を計数すると、走査電子顕微鏡で観察されるカーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの本数密度は、1μm2当たり200本以内であることを確認することができる。
図1で示すものと同様の構造を有する電界効果トランジスタを作製し、その特性を評価した結果を図6に示す。
<CNTの作製>
図8を参照して比較例として用いた金属型カーボンナノチューブの含有率が高いカーボンナノチューブ集合体の作製方法を説明する。比較例においても、酸化シリコン膜上に触媒粒子を敷設した基板を用いるが、この処理条件は実施例と同じ条件である。
図9に比較例の試料をラマン分光分析により評価した結果を示す。実施例と同様に励起光の波長は532nmと785nmを選択し、合成されたカーボンナノチューブ集合体における半導体型カーボンナノチューブと金属型カーボンナノチューブの評価を行った。
図10に、比較例で作製したカーボンナノチューブ集合体をチャネル層に用いた電界効果トランジスタの特性を示す。比較例の電界効果トランジスタは、チャネル長5μm、チャネル幅100μmである。なお、試料の構造は実施例と同様である。オン電流は11μAと高いものの、オフ電流も0.4μAと高いため、オンオフ比は24しか得られていないものとなった。このようにカーボンナノチューブ集合体に金属型カーボンナノチューブが多く含まれる場合には、オフ電流が著しく増加することが示された。
102:基板
103:ゲート電極
104:ゲート絶縁層
105:触媒粒子
106:チャネル層
108:ソース電極
110:ドレイン電極
112:パッシベーション膜
Claims (3)
- ソース電極、ドレイン電極、前記ソース電極と前記ドレイン電極とを接続するカーボンナノチューブ集合体からなるチャネル層、ゲート電極及びゲート絶縁層を有し、
前記カーボンナノチューブ集合体は、波長532nmのラマン分光分析で200cm-1以上280cm-1以下の領域に観測される金属型カーボンナノチューブ由来のピーク面積を130cm-1以上200cm-1以下の領域に観測される半導体型カーボンナンポチューブ由来のピーク面積で除算して得た、直径0.8nm以上1.3nm以下の金属型カーボンナノチューブの量が、波長785nmのラマン分光分析で190cm-1以上280cm-1以下の領域に観測される半導体型カーボンナノチューブ由来のピーク面積を140cm-1以上190cm-1以下の領域に観測される金属型カーボンナノチューブ由来のピーク面積で除算して得た、直径0.8nm以上1.3nm以下の半導体型カーボンナノチューブの量の0.1倍以下となる特性を有し、
前記ソース電極と前記ドレイン電極間の間隔が10μm以下であり、
前記ソース電極と前記ドレイン電極の電位差を0.1Vとしたときに、オン状態におけるドレイン電流の最大値をチャネル幅で除算したときの電流密度が10-8A/μm以上であり、かつオンオフ比が1000以上であることを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記カーボンナノチューブ集合体は、走査電子顕微鏡で観察される本数密度が1μm2当たり200本以内であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 電界効果移動度が1.0cm2/V・sec以上であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
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