JP2015094791A - 反射率測定顕微鏡おいて無限／有限の切り替え機構を利用することで、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を認識することを可能にした反射率測定顕微鏡 - Google Patents
反射率測定顕微鏡おいて無限／有限の切り替え機構を利用することで、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を認識することを可能にした反射率測定顕微鏡 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】無限系顕微鏡におけるピンホール光源を使用した光学系において、試料の垂直反射率測定時、試料表面と光軸との直角性を正確かつ容易に認識することができる反射率計測顕微鏡を提供する。【解決手段】無限系顕微鏡において、結像レンズを精度よく手動もしくは自動にて脱入状態にすることができる機構を設けたことを特徴とする。【選択図】図１
Description
この発明は無限系顕微鏡においてピンホール光源を使用した反射率測定時、試料と光軸との垂直性を正確かつ容易に認識できることで、精度よく垂直反射率を計測する反射率測定顕微鏡に関するものである。
ピンホール光源を使用した無限系顕微鏡において、試料の垂直反射率を測定する際、試料表面を観察し、ピンホール光源が照射された位置の光量を計測することはできた。また試料が大きく傾斜している場合、視野中心以外はボケが生じるため、ある程度は直角性の認識ができた。つまりは人の感覚に大きく頼っていた。
これは次のような欠点があった。
試料と光軸の精度良い直角性が出ていなければ垂直反射率データと言えず、データに大きな誤差が出た。傾斜した平面の直角性コントロールや、球面状の試料表面において球面頂点位置を正確に計測することが困難であり、試料の傾斜状態や球面の頂点位置誤差によりデータに測定バラつきが大きく出た。
本発明は、以上のような欠点をなくすためになされたものである。
試料と光軸の精度良い直角性が出ていなければ垂直反射率データと言えず、データに大きな誤差が出た。傾斜した平面の直角性コントロールや、球面状の試料表面において球面頂点位置を正確に計測することが困難であり、試料の傾斜状態や球面の頂点位置誤差によりデータに測定バラつきが大きく出た。
本発明は、以上のような欠点をなくすためになされたものである。
無限系顕微鏡において、結像レンズを精度よく手動もしくは自動にて脱入状態にすることができる機構を設けた。
本発明は、以上のような構成よりなる結像レンズ脱入可能顕微鏡である。
本発明は、以上のような構成よりなる結像レンズ脱入可能顕微鏡である。
こ本発明における反射率測定顕微鏡では、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を視野の中心にピンホール光源が照射されていることを確認することだけで簡単に直角性が認識できる。
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
無限系対物レンズと結像レンズからなる光学機構において結像レンズが手動もしくは自動にて精度よく脱入状態にすることができる機構を設ける。
本発明は、以上のような構造である。
本発明を使用するときは、
まず、結像レンズを脱状態にし、無限系対物レンズは結像レンズが存在しないため無限系としての顕微鏡構造は成り立たたないが、試料位置をさらに下げることでピンホール光源が焦点を試料上に結ぶ、画像としては最適な状態ではないが、有限系の光学構造が成り立った状態である。
この状態で光軸の直角性がある場合はピンホール光源の照射された位置が視野中心に位置することとなるり、中心に位置しない場合は傾斜した試料角度を調整、もしくは球面試料の位置を調整し、照射ピンホール光源を視野中心に来るように調整する。これで直角性を調整できる。
この後結像レンズを挿入し、無限系顕微鏡として作用させ光量を計測する。
無限系対物レンズと結像レンズからなる光学機構において結像レンズが手動もしくは自動にて精度よく脱入状態にすることができる機構を設ける。
本発明は、以上のような構造である。
本発明を使用するときは、
まず、結像レンズを脱状態にし、無限系対物レンズは結像レンズが存在しないため無限系としての顕微鏡構造は成り立たたないが、試料位置をさらに下げることでピンホール光源が焦点を試料上に結ぶ、画像としては最適な状態ではないが、有限系の光学構造が成り立った状態である。
この状態で光軸の直角性がある場合はピンホール光源の照射された位置が視野中心に位置することとなるり、中心に位置しない場合は傾斜した試料角度を調整、もしくは球面試料の位置を調整し、照射ピンホール光源を視野中心に来るように調整する。これで直角性を調整できる。
この後結像レンズを挿入し、無限系顕微鏡として作用させ光量を計測する。
１ 結像レンズ
（脱入により無限系の場合は使用、有限系では不使用）
２ 無限系対物レンズ
３ ピンホール
４ 光検出素子
５ 光源ランプ
６ 観察者
７ 分岐ミラー
８ コンデンサレンズ
９ 分岐ミラー
１０ 試料（結像レンズ入時の位置：無限系構成）
１１ 試料（結像レンズ脱時の位置：有限系構成）
（脱入により無限系の場合は使用、有限系では不使用）
２ 無限系対物レンズ
３ ピンホール
４ 光検出素子
５ 光源ランプ
６ 観察者
７ 分岐ミラー
８ コンデンサレンズ
９ 分岐ミラー
１０ 試料（結像レンズ入時の位置：無限系構成）
１１ 試料（結像レンズ脱時の位置：有限系構成）
Claims (2)
- 無限系顕微鏡において、無限系対物レンズ（２）上の結像レンズ（１）を精度よく手動もしくは自動にて脱入状態にすることができる機構を特徴とする反射率測定顕微鏡。
- 無限系顕微鏡において、無限系対物レンズ（２）上の結像レンズ（１）の脱入状態機構により、試料表面と光軸の直角性を認識できる認識機構を特徴とする反射率測定顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013232633A JP2015094791A (ja) | 2013-11-10 | 2013-11-10 | 反射率測定顕微鏡おいて無限／有限の切り替え機構を利用することで、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を認識することを可能にした反射率測定顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013232633A JP2015094791A (ja) | 2013-11-10 | 2013-11-10 | 反射率測定顕微鏡おいて無限／有限の切り替え機構を利用することで、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を認識することを可能にした反射率測定顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015094791A true JP2015094791A (ja) | 2015-05-18 |
Family
ID=53197246
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| JP2013232633A Pending JP2015094791A (ja) | 2013-11-10 | 2013-11-10 | 反射率測定顕微鏡おいて無限／有限の切り替え機構を利用することで、傾斜した平面や球面状の試料表面と光軸の直角性を認識することを可能にした反射率測定顕微鏡 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2015094791A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109690381A (zh) * | 2016-09-06 | 2019-04-26 | 奥林巴斯株式会社 | 观察装置 |
-
2013
- 2013-11-10 JP JP2013232633A patent/JP2015094791A/ja active Pending
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