JP2015082763A - Optical module and atomic oscillator - Google Patents

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祐司 倉知
Yuji Kurachi
祐司 倉知
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module that can increase stability of an atomic oscillator by controlling a polarization direction of polarized light that is emitted from a surface emitting laser and incident to a quarter-wave plate, with respect to the quarter-wave plate.SOLUTION: An optical module 100 includes: a surface emitting laser 10 that emits light; a polarization control unit 20 which includes a reflective polarizing element 22 irradiated with light emitted from the surface emitting laser 10, and a quarter-wave plate 24 that is disposed to set a fast axis rotated by 45 degrees from the polarization transmission axis of the polarizing element 22 and is irradiated with light transmitted through the polarizing element 22; a gas cell 30 that is filled with an alkaline metal gas and is irradiated with the light transmitted through the quarter-wave plate 24; a first photodetector 40 that detects intensity of the light transmitted through the gas cell 30; a second photodetector 50 that detects intensity of the light reflected by the polarizing element 22; a drive unit 60 that rotates the polarization control unit 20; and a control unit 70 that operates the drive unit 60 in accordance with luminous energy detected by the second photodetector 50.

Description

本発明は、光学モジュールおよび原子発振器に関する。   The present invention relates to an optical module and an atomic oscillator.

近年、量子干渉効果のひとつであるCPT(Coherent Population
Trapping)を利用した原子発振器が提案され、装置の小型化や低消費電力化が期待されている。CPTを利用した原子発振器は、アルカリ金属原子に異なる2種類の波長(周波数)を有するコヒーレント光を照射すると、コヒーレント光の吸収が停止する電磁誘起透過現象(EIT現象:Electromagnetically Induced Transparency)を利用した発振器である。
In recent years, CPT (Coherent Population), one of the quantum interference effects
Atomic oscillators using trapping have been proposed, and miniaturization of devices and low power consumption are expected. An atomic oscillator using CPT uses an electromagnetically induced transmission phenomenon (EIT phenomenon: Electromagnetically Induced Transparency) in which absorption of coherent light stops when an alkali metal atom is irradiated with coherent light having two different wavelengths (frequencies). It is an oscillator.

例えば、特許文献1には、EIT現象の発現確率を高めるために、光源から射出された共鳴光をλ/4板によって円偏光に変換して、アルカリ金属原子が封入されたガスセルに照射する原子発振器が開示されている。ガスセルに円偏光の光を照射することにより、アルカリ金属原子と円偏光の光との間で相互作用を起こし、アルカリ金属原子が磁気量子数m=0の基底準位に存在する確率を高めることができる。これにより、EIT現象の発現確率を高めることができる。 For example, in Patent Document 1, in order to increase the probability of occurrence of the EIT phenomenon, resonant light emitted from a light source is converted into circularly polarized light by a λ / 4 plate, and atoms irradiated to a gas cell in which alkali metal atoms are enclosed are disclosed. An oscillator is disclosed. By irradiating the gas cell with circularly polarized light, an interaction occurs between the alkali metal atom and the circularly polarized light, and the probability that the alkali metal atom exists at the ground level of the magnetic quantum number m F = 0 is increased. be able to. Thereby, the expression probability of the EIT phenomenon can be increased.

特開2013−98606号公報JP 2013-98606 A

面発光レーザーで発生する光は、可干渉性を有するため、量子干渉効果を得るために好適である。面発光レーザーは、一般的に、偏光した光(偏光光)を射出する。   The light generated by the surface emitting laser has coherence and is suitable for obtaining a quantum interference effect. A surface emitting laser generally emits polarized light (polarized light).

しかしながら、面発光レーザーが射出する偏光光の偏光方向は、例えば、経時的に変化する。そのため、特許文献1の原子発振器の光源として面発光レーザーを適用すると、面発光レーザーが射出する偏光光の偏光方向の変化によって、λ/4板に対する偏光光の偏光方向が変化し、λ/4板を通過した光の円偏光成分の割合が変化する(例えばλ/4板で円偏光に変換されずに楕円偏光に変換される)。したがって、特許文献1の原子発振器の光源として面発光レーザーを適用すると、ガスセルに照射される光の円偏光成分の割合が経時的に変化し、原子発振器の安定性が低下してしまうという問題がある。   However, the polarization direction of the polarized light emitted from the surface emitting laser changes with time, for example. Therefore, when a surface emitting laser is applied as the light source of the atomic oscillator of Patent Document 1, the polarization direction of the polarized light with respect to the λ / 4 plate changes due to the change in the polarization direction of the polarized light emitted by the surface emitting laser, and λ / 4 The ratio of the circularly polarized component of the light that has passed through the plate changes (for example, it is converted into elliptically polarized light without being converted into circularly polarized light by the λ / 4 plate). Therefore, when the surface emitting laser is applied as the light source of the atomic oscillator of Patent Document 1, the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell changes with time, and the stability of the atomic oscillator is lowered. is there.

本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、面発光レーザーから射出されてλ/4板に入射する偏光光のλ/4板に対する偏光方向を制御して、原子発振器の安定性を高めることができる光学モジュールを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記光学モジュールを含む原子発振器を提供することにある。   One of the objects according to some aspects of the present invention is to control the polarization direction of the polarized light emitted from the surface emitting laser and incident on the λ / 4 plate with respect to the λ / 4 plate, thereby improving the stability of the atomic oscillator. The object is to provide an optical module that can be enhanced. Another object of some aspects of the present invention is to provide an atomic oscillator including the optical module.

本発明に係る光学モジュールは、
原子発振器の光学モジュールであって、
光を射出する面発光レーザーと、
前記面発光レーザーから射出された光が照射される反射型の偏光素子、および前記偏光素子の偏光透過軸に対して速軸が45度回転して設けられ、かつ前記偏光素子を透過した光が照射されるλ/4板を有する偏光制御部と、
アルカリ金属ガスが封入され、かつ、前記λ/4板を透過した光が照射されるガスセルと、
前記ガスセルを透過した光の強度を検出する第1光検出部と、
前記偏光素子にて反射された光の強度を検出する第2光検出部と、
前記偏光制御部を回転させる駆動部と、
前記第2光検出部で検出した光量に応じて、前記駆動部を動作させる制御部と、
を含む。
The optical module according to the present invention is
An optical module of an atomic oscillator,
A surface emitting laser that emits light;
A reflection type polarizing element irradiated with light emitted from the surface emitting laser, and a fast axis rotated by 45 degrees with respect to the polarization transmission axis of the polarizing element, and the light transmitted through the polarizing element A polarization controller having a λ / 4 plate to be irradiated;
A gas cell filled with an alkali metal gas and irradiated with light transmitted through the λ / 4 plate;
A first light detector for detecting the intensity of light transmitted through the gas cell;
A second light detection unit for detecting the intensity of light reflected by the polarizing element;
A driving unit for rotating the polarization control unit;
A control unit that operates the driving unit in accordance with the amount of light detected by the second light detection unit;
including.

このような光学モジュールでは、面発光レーザーから射出した光を偏光素子で分離して第1の方向に偏光する第1偏光光として、λ/4板に入射させる。したがって、面発光レーザーにおいて偏光光の偏光方向が変化してもλ/4板に入射する偏光光の偏光方向を、λ/4板に対して一定の方向(λ/4板の速軸に対して45度傾いた方向)にすることができる。これにより、例えば、面発光レーザーにおいて偏光光の偏光方向が経時的に変化することに起因して、ガスセルに照射される光の円偏光成分の割合が変化することを防ぐことができる。   In such an optical module, the light emitted from the surface emitting laser is incident on the λ / 4 plate as the first polarized light that is separated by the polarizing element and polarized in the first direction. Therefore, the polarization direction of the polarized light incident on the λ / 4 plate is constant with respect to the λ / 4 plate (with respect to the fast axis of the λ / 4 plate) even if the polarization direction of the polarized light in the surface emitting laser changes. Direction inclined by 45 degrees). Thereby, for example, it is possible to prevent the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell from changing due to the change in the polarization direction of the polarized light with time in the surface emitting laser.

さらに、このような光学モジュールでは、面発光レーザーにおいて偏光光の偏光方向が変化しても、制御部が駆動部を動作させて偏光制御部を回転させることにより、ガスセルに照射される光の光量を一定にすることができる。   Furthermore, in such an optical module, even if the polarization direction of polarized light in the surface emitting laser changes, the control unit operates the drive unit to rotate the polarization control unit, thereby the amount of light irradiated to the gas cell. Can be made constant.

したがって、このような光学モジュールでは、面発光レーザーにおいて偏光光の偏光方向が変化することに起因して、ガスセルに照射させる光の円偏光成分の割合、およびその光量が変化することを防ぐことができるため、原子発振器の安定性を高めることができる。   Therefore, in such an optical module, it is possible to prevent a change in the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell and the amount of light due to the change in the polarization direction of the polarized light in the surface emitting laser. Therefore, the stability of the atomic oscillator can be improved.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記制御部は、前記第2光検出部で検出される光の光量が最小となるように前記駆動部を駆動させてもよい。
In the optical module according to the present invention,
The control unit may drive the driving unit so that the amount of light detected by the second light detection unit is minimized.

このような光学モジュールでは、第1偏光光の光量を一定にすることができるため、ガスセルに照射される光の量を一定にすることができる。   In such an optical module, the amount of the first polarized light can be made constant, so that the amount of light applied to the gas cell can be made constant.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記偏光素子は、ワイヤーグリッド偏光板であってもよい。
In the optical module according to the present invention,
The polarizing element may be a wire grid polarizer.

このような光学モジュールでは、偏光素子は、偏光素子のワイヤーの中心軸の方向に電場が振動する第2偏光光を反射させ、中心軸の方向と直交する方向に電場が振動する第1偏光光を透過させることができる。   In such an optical module, the polarizing element reflects the second polarized light whose electric field vibrates in the direction of the central axis of the wire of the polarizing element, and the first polarized light whose electric field vibrates in a direction orthogonal to the direction of the central axis. Can be transmitted.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記偏光素子は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸に対して入射面の法線を傾けて、前記光軸上に設けられていてもよい。
In the optical module according to the present invention,
The polarizing element may be provided on the optical axis such that the normal line of the incident surface is inclined with respect to the optical axis of the light emitted from the surface emitting laser.

このような光学モジュールでは、偏光素子において反射した第2偏光光を、光軸に対して傾いた方向に進行させることができる。   In such an optical module, the second polarized light reflected by the polarizing element can be advanced in a direction inclined with respect to the optical axis.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記第2光検出部は、前記偏光素子にて反射された光を受光する受光面を有し、
前記受光面は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸の方向から見て、環状であり、
前記光軸は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸の方向から見て、前記受光面の内側に位置していてもよい。
In the optical module according to the present invention,
The second light detection unit has a light receiving surface that receives light reflected by the polarizing element,
The light receiving surface is annular when viewed from the direction of the optical axis of the light emitted from the surface emitting laser,
The optical axis may be located inside the light receiving surface when viewed from the direction of the optical axis of the light emitted from the surface emitting laser.

このような光学モジュールでは、第2光検出部は、光軸に対して傾いた方向に進行する第2偏光光を、受光することができる。   In such an optical module, the second light detection unit can receive the second polarized light traveling in the direction inclined with respect to the optical axis.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記受光面には、前記面発光レーザーから射出された光を透過させる開口部が設けられていてもよい。
In the optical module according to the present invention,
The light receiving surface may be provided with an opening through which light emitted from the surface emitting laser is transmitted.

このような光学モジュールでは、偏光素子と受光面との間の距離を小さくすることができる。そのため、このような光学モジュールでは、偏光素子にて反射された第2偏光光を、より確実に受光することができる。   In such an optical module, the distance between the polarizing element and the light receiving surface can be reduced. Therefore, in such an optical module, the second polarized light reflected by the polarizing element can be received more reliably.

本発明に係る光学モジュールにおいて、
前記面発光レーザーは、偏光光を射出してもよい。
In the optical module according to the present invention,
The surface emitting laser may emit polarized light.

本発明に係る原子発振器は、
本発明に係る光学モジュールを含む。
The atomic oscillator according to the present invention is
The optical module which concerns on this invention is included.

このような原子発振器では、本発明に係る光学モジュールを含むため、装置の安定性を高めることができる。   Since such an atomic oscillator includes the optical module according to the present invention, the stability of the apparatus can be improved.

本実施形態に係る光学モジュールを含む原子発振器を示すブロック図。The block diagram which shows the atomic oscillator containing the optical module which concerns on this embodiment. 共鳴光の周波数スペクトラムを示す図。The figure which shows the frequency spectrum of resonant light. アルカリ金属原子のΛ型3準位モデルと第1側帯波および第2側帯波の関係を示す図。The figure which shows the relationship of the (LAMBDA) type | mold 3 level model of an alkali metal atom, a 1st sideband, and a 2nd sideband. 本実施形態に係る光学モジュールの偏光制御部および駆動部を模式的に示す図。The figure which shows typically the polarization control part and drive part of the optical module which concern on this embodiment. 本実施形態に係る光学モジュールの面発光レーザーおよび第2光検出部を模式的に示す図。The figure which shows typically the surface emitting laser and 2nd light detection part of the optical module which concern on this embodiment. 本実施形態に係る光学モジュールの面発光レーザーおよび第2光検出部を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the surface emitting laser and 2nd light detection part of the optical module which concern on this embodiment. 本実施形態の第1変形例に係る光学モジュールの面発光レーザーおよび第2光検出部を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the surface emitting laser and 2nd light detection part of the optical module which concern on the 1st modification of this embodiment. 本実施形態の第2変形例に係る光学モジュールを含む原子発振器を示すブロック図。The block diagram which shows the atomic oscillator containing the optical module which concerns on the 2nd modification of this embodiment.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.

1. 光学モジュール
1.1. 構成
まず、本実施形態に係る光学モジュールについて、図面を参照しながら説明する。ここでは、本実施形態に係る光学モジュールを原子発振器に適用した例について説明する。図1は、本実施形態に係る光学モジュール100を含んで構成された原子発振器1を示すブ
ロック図である。
1. Optical module 1.1. Configuration First, an optical module according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. Here, an example in which the optical module according to the present embodiment is applied to an atomic oscillator will be described. FIG. 1 is a block diagram showing an atomic oscillator 1 including an optical module 100 according to this embodiment.

原子発振器1は、図1に示すように、光学モジュール100と、中心波長制御部2と、高周波制御部4と、を含んで構成されている。   As shown in FIG. 1, the atomic oscillator 1 includes an optical module 100, a center wavelength control unit 2, and a high frequency control unit 4.

光学モジュール100は、図1に示すように、面発光レーザー10と、反射型の偏光素子22およびλ/4板24を有する偏光制御部20と、ガスセル30と、第1光検出部40と、第2光検出部50と、駆動部60と、制御部70と、を含んで構成されている。   As shown in FIG. 1, the optical module 100 includes a surface emitting laser 10, a polarization control unit 20 having a reflective polarizing element 22 and a λ / 4 plate 24, a gas cell 30, a first light detection unit 40, The second light detection unit 50, the drive unit 60, and the control unit 70 are included.

面発光レーザー10は、例えば、共振器を半導体基板に対して垂直に作りこんだ垂直共振器面発光レーザー(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)である。   The surface emitting laser 10 is, for example, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) in which a resonator is formed perpendicular to a semiconductor substrate.

面発光レーザー10は、偏光光を射出する。ここで偏光光とは、直線偏光の場合と、実質的に直線偏光とみなせる楕円偏光の場合と、を含む。直線偏光とは、光の電場の振動方向が一平面内にある光をいう。また、実質的に直線偏光とみなせる楕円偏光とは、楕円偏光の長軸の長さが楕円偏光の短軸の長さに対して十分に長いものをいう。例えば、長軸の長さaと短軸の長さbとの比がa/b≧10の関係を満たす楕円偏光である。ここで、楕円偏光の長軸とは、光の電場の振動ベクトルの先端が楕円運動する楕円偏光において、この振動ベクトルの先端が描く楕円の長軸をいう。また、楕円偏光の短軸とは、当該楕円の短軸をいう。なお、図1では、偏光光(直線偏光の光)を実線の白抜き矢印で示し、電場の振動ベクトルの先端が円運動をする光(円偏光の光)を破線の白抜き矢印で示している。   The surface emitting laser 10 emits polarized light. Here, the polarized light includes a case of linearly polarized light and a case of elliptically polarized light that can be regarded as substantially linearly polarized light. Linearly polarized light refers to light in which the direction of vibration of the electric field of light is within one plane. In addition, elliptically polarized light that can be regarded as substantially linearly polarized light means that the length of the major axis of the elliptically polarized light is sufficiently longer than the length of the minor axis of the elliptically polarized light. For example, it is elliptically polarized light in which the ratio of the major axis length a to the minor axis length b satisfies the relationship of a / b ≧ 10. Here, the major axis of elliptically polarized light refers to the major axis of the ellipse drawn by the tip of the vibration vector in elliptically polarized light in which the tip of the vibration vector of the electric field of light moves elliptically. The minor axis of elliptically polarized light refers to the minor axis of the ellipse. In FIG. 1, polarized light (linearly polarized light) is indicated by a solid white arrow, and light (circularly polarized light) in which the tip of the vibration vector of the electric field makes a circular motion is indicated by a dashed white arrow. Yes.

面発光レーザー10では、経時的に偏光光の偏光方向(直線偏光における電場の振動方向)が変化する。すなわち、面発光レーザー10では、経時的に偏光面が回転する。ここで、偏光面とは、光の進行方向と電場の振動方向とを含む面である。なお、実質的に直線偏光とみなせる楕円偏光において、偏光光の偏光方向とは、楕円偏光の長軸の方向をいうことができる。   In the surface emitting laser 10, the polarization direction of polarized light (electric field vibration direction in linearly polarized light) changes with time. That is, in the surface emitting laser 10, the polarization plane rotates with time. Here, the polarization plane is a plane including the traveling direction of light and the vibration direction of the electric field. In elliptically polarized light that can be regarded as substantially linearly polarized light, the polarization direction of polarized light can refer to the direction of the major axis of elliptically polarized light.

図2は、面発光レーザー10が射出する光の周波数スペクトラムを示す図である。図3は、アルカリ金属原子のΛ型3準位モデルと第1側帯波W1および第2側帯波W2の関係を示す図である。面発光レーザー10から射出される光は、図2に示す、中心周波数f(=c/λ:cは光の速さ、λはレーザー光の中心波長)を有する基本波Fと、中心周波数fに対して上側サイドバンドに周波数fを有する第1側帯波W1と、中心周波数fに対して下側サイドバンドに周波数fを有する第2側帯波W2と、を含む。第1側帯波W1の周波数fは、f=f+fであり、第2側帯波W2の周波数fは、f=f−fである。 FIG. 2 is a diagram illustrating a frequency spectrum of light emitted from the surface emitting laser 10. FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the Λ-type three-level model of alkali metal atoms and the first sideband wave W1 and the second sideband wave W2. The light emitted from the surface emitting laser 10 includes a fundamental wave F having a center frequency f 0 (= c / λ 0, where c is the speed of light and λ 0 is the center wavelength of the laser light), as shown in FIG. It includes a first sideband W1 having a frequency f 1 to the upper sideband with respect to the center frequency f 0, and the second sideband wave W2 having a frequency f 2 to the lower sideband with respect to the center frequency f 0, the. Frequency f 1 of the first sideband W1 is f 1 = f 0 + f m , the frequency f 2 of the second sideband wave W2 is f 2 = f 0 -f m.

図3に示すように、第1側帯波W1の周波数fと第2側帯波W2の周波数fとの周波数差が、アルカリ金属原子の基底準位GL1と基底準位GL2とのエネルギー差ΔE12に相当する周波数と一致している。したがって、アルカリ金属原子は、周波数fを有する第1側帯波W1と、周波数fを有する第2側帯波W2と、によってEIT現象を起こす。 As shown in FIG. 3, the energy difference between the frequency f 1 of the first sideband wave W1 frequency difference between the frequency f 2 of the second sideband wave W2 is the ground level GL1 and ground level GL2 alkali metal atom ΔE This corresponds to the frequency corresponding to 12 . Therefore, the alkali metal atom is, causing the first sideband W1 having a frequency f 1, a second sideband wave W2 having a frequency f 2, the EIT phenomenon by.

偏光素子22には、図1に示すように、面発光レーザー10から射出された光が入射する(光が照射される)。偏光素子22は、面発光レーザー10から射出した光を、第1の方向に偏光する第1偏光光L1と、第1の方向と直交する第2の方向に偏光する第2偏光光L2とに分離する。そして、偏光素子22は、第1偏光光L1を透過させ、第2偏光光L2を反射させる。ここで、第1の方向に偏光する第1偏光光L1とは、電場の振動方向
が第1の方向である直線偏光の光をいう。同様に、第2の方向に偏光する第2偏光光L2とは、電場の振動方向が第2の方向である直線偏光の光をいう。
As shown in FIG. 1, the light emitted from the surface emitting laser 10 enters the polarizing element 22 (the light is irradiated). The polarizing element 22 converts the light emitted from the surface emitting laser 10 into a first polarized light L1 that is polarized in a first direction and a second polarized light L2 that is polarized in a second direction orthogonal to the first direction. To separate. Then, the polarizing element 22 transmits the first polarized light L1 and reflects the second polarized light L2. Here, the first polarized light L1 polarized in the first direction refers to linearly polarized light whose electric field vibration direction is the first direction. Similarly, the second polarized light L2 polarized in the second direction refers to linearly polarized light whose electric field vibration direction is the second direction.

偏光素子22は、例えば、面発光レーザー10から射出された光を第1偏光光L1と第2偏光光L2とに分離し、第1偏光光L1を透過させ、第2偏光光L2を反射させるワイヤーグリッド偏光板である。すなわち、偏光素子22は、面発光レーザー10から射出された光の、第1の方向に偏光する成分を透過させ、第2の方向に偏光する成分を反射させる。以下では、偏光素子22をワイヤーグリッド偏光板として説明する。図4は、偏光制御部20および駆動部60を模式的に示す図である。   For example, the polarizing element 22 separates the light emitted from the surface emitting laser 10 into the first polarized light L1 and the second polarized light L2, transmits the first polarized light L1, and reflects the second polarized light L2. It is a wire grid polarizer. That is, the polarizing element 22 transmits the component polarized in the first direction and reflects the component polarized in the second direction of the light emitted from the surface emitting laser 10. Below, the polarizing element 22 is demonstrated as a wire grid polarizing plate. FIG. 4 is a diagram schematically illustrating the polarization control unit 20 and the driving unit 60.

偏光素子22は、図4に示すように、複数のワイヤー23を含んで構成されている。ワイヤー23の材質は、例えば、金、銀、銅、白金などである。複数のワイヤー23は、互いに平行に延出している。すなわち、複数のワイヤー23において、ワイヤー23の一方の端部の中心と他方の端部の中心とを通る中心軸23cは、互いに平行である。上述した第2の方向とは、ワイヤー23の延出方向(中心軸23cの方向)である。上述した第1の方向とは、ワイヤー23の延出方向と直交する方向である。   As illustrated in FIG. 4, the polarizing element 22 includes a plurality of wires 23. The material of the wire 23 is, for example, gold, silver, copper, platinum or the like. The plurality of wires 23 extend in parallel to each other. That is, in the plurality of wires 23, the central axes 23c passing through the center of one end of the wire 23 and the center of the other end are parallel to each other. The second direction described above is the extending direction of the wire 23 (the direction of the central axis 23c). The first direction described above is a direction orthogonal to the extending direction of the wire 23.

偏光素子22では、ワイヤー23の延出方向と同じ方向に電場が振動する光(電磁波)が入射すると、ワイヤー23の電子は、入射電磁波によって運動する。そして、ワイヤー23の電子は、透過する電磁波を打ち消すように電磁波を放射する。その結果、ワイヤー23の延出方向と同じ方向(第2の方向)に偏光する成分の電磁波は、偏光素子22を透過することができず、偏光素子22は、第2の方向に偏光する成分の電磁波(第2偏光光L2)を、反射波として放射する。   In the polarizing element 22, when light (electromagnetic wave) whose electric field vibrates in the same direction as the extending direction of the wire 23, electrons on the wire 23 move by the incident electromagnetic wave. And the electron of the wire 23 radiates | emits electromagnetic waves so that the electromagnetic waves which permeate | transmit may be canceled. As a result, the electromagnetic wave of the component polarized in the same direction (second direction) as the extending direction of the wire 23 cannot pass through the polarizing element 22, and the polarizing element 22 is a component polarized in the second direction. The electromagnetic wave (second polarized light L2) is radiated as a reflected wave.

一方、ワイヤー23の電子は、ワイヤー23の延出方向と直交する方向に運動することができない。そのため、ワイヤー23の延出方向と直交する方向(第1の方向)に偏光する成分の電磁波は、偏光素子22を透過することができ、偏光素子22は、第1の方向に偏光する成分の電磁波(第1偏光光L1)を、透過波として放射する。ワイヤー23の中心軸23cと直交する軸は、偏光素子22の偏光透過軸22tである。   On the other hand, the electrons of the wire 23 cannot move in the direction orthogonal to the extending direction of the wire 23. Therefore, the electromagnetic wave of the component polarized in the direction orthogonal to the extending direction of the wire 23 (first direction) can pass through the polarizing element 22, and the polarizing element 22 has the component polarized in the first direction. Electromagnetic waves (first polarized light L1) are radiated as transmitted waves. The axis orthogonal to the central axis 23 c of the wire 23 is the polarization transmission axis 22 t of the polarizing element 22.

偏光素子22は、図1に示すように、面発光レーザー10から射出された光の光軸Aに対して、入射面21の法線Nを傾けて、光軸A上に設けられている。これにより、偏光素子22において反射した第2偏光光L2は、光軸Aに対して傾いた方向に進行する。ここで、光軸Aとは、面発光レーザー10から射出された光の広がりの中心を通る軸である。偏光素子22の入射面21とは、複数のワイヤー23の中心軸23cを含む平面である。   As shown in FIG. 1, the polarizing element 22 is provided on the optical axis A such that the normal line N of the incident surface 21 is inclined with respect to the optical axis A of the light emitted from the surface emitting laser 10. As a result, the second polarized light L2 reflected by the polarizing element 22 travels in a direction inclined with respect to the optical axis A. Here, the optical axis A is an axis passing through the center of the spread of the light emitted from the surface emitting laser 10. The incident surface 21 of the polarizing element 22 is a plane including the central axes 23 c of the plurality of wires 23.

光学モジュール100では、面発光レーザー10から射出された光は、偏光素子22によって第1偏光光L1と第2偏光光L2とに分離されることにより、2つの経路(経路R1、経路R2)に分かれる。経路R1は、偏光素子22で分離されてからλ/4板24、ガスセル30を通って第1光検出部40で検出されるまでの光の経路である。経路R1は、EIT現象を利用して原子発振器1を発振器として動作させるための光の経路である。経路R2は、偏光素子22で分離されてから第2光検出部50で検出されるまでの光の経路である。経路R2は、第2偏光光L2(第1偏光光L1)の光量をモニターするための光の経路である。   In the optical module 100, the light emitted from the surface emitting laser 10 is separated into the first polarized light L1 and the second polarized light L2 by the polarizing element 22, thereby being divided into two paths (path R1 and path R2). Divided. The path R <b> 1 is a light path from being separated by the polarizing element 22 to being detected by the first light detection unit 40 through the λ / 4 plate 24 and the gas cell 30. The path R1 is a light path for operating the atomic oscillator 1 as an oscillator using the EIT phenomenon. The path R <b> 2 is a light path from being separated by the polarizing element 22 to being detected by the second light detection unit 50. The path R2 is a light path for monitoring the amount of the second polarized light L2 (first polarized light L1).

λ/4板24には、偏光素子22を透過した第1偏光光L1が入射する(第1偏光光L1が照射される)。λ/4板24は、光の直交する直線偏光成分間に1/4波長の光路差(90°の位相差)を与える波長板である。λ/4板24は、第1偏光光L1(直線偏光)を円偏光に変換する。λ/4板24は、図4に示すように、偏光素子22の偏光透過軸22tに対して、速軸24fが45度の角度となるように設けられている。すなわち、λ
/4板24は、偏光透過軸22tに対して、速軸24fが45度回転して設けられている。これにより、λ/4板24は、第1偏光光L1を円偏光に変換することができる。ここで、速軸(高速軸)とは、λ/4板において小さい屈折率を持つ方向の軸をいい、λ/4板の遅軸(低速軸、大きい屈折率を持つ方向の軸)に対して直交する軸である。
The first polarized light L1 transmitted through the polarizing element 22 is incident on the λ / 4 plate 24 (irradiated with the first polarized light L1). The λ / 4 plate 24 is a wave plate that gives an optical path difference of ¼ wavelength (90 ° phase difference) between linearly polarized light components orthogonal to each other. The λ / 4 plate 24 converts the first polarized light L1 (linearly polarized light) into circularly polarized light. As shown in FIG. 4, the λ / 4 plate 24 is provided such that the fast axis 24 f is at an angle of 45 degrees with respect to the polarization transmission axis 22 t of the polarizing element 22. That is, λ
The / 4 plate 24 is provided with a fast axis 24f rotated by 45 degrees with respect to the polarization transmission axis 22t. Thereby, the λ / 4 plate 24 can convert the first polarized light L1 into circularly polarized light. Here, the fast axis (high-speed axis) means an axis having a small refractive index in the λ / 4 plate, and a slow axis (slow axis, axis having a large refractive index) of the λ / 4 plate. Are orthogonal axes.

λ/4板24は、偏光素子22と離間して設けられていてもよいが、偏光素子22に接合されて設けられていることが好ましい。これにより、偏光制御部20を小型化することができ、かつ、偏光制御部20を回転させる駆動部60の制御を、簡単にすることができる。図1に示す例では、λ/4板24の入射面25の法線は、光軸Aに対して傾いている。λ/4板24としては、例えば、水晶板や、雲母板等を用いることができる。   The λ / 4 plate 24 may be provided apart from the polarizing element 22, but it is preferable that the λ / 4 plate 24 be provided bonded to the polarizing element 22. Thereby, the polarization control unit 20 can be reduced in size, and the control of the driving unit 60 that rotates the polarization control unit 20 can be simplified. In the example shown in FIG. 1, the normal line of the incident surface 25 of the λ / 4 plate 24 is inclined with respect to the optical axis A. As the λ / 4 plate 24, for example, a crystal plate or a mica plate can be used.

ガスセル30は、容器中に気体状のアルカリ金属原子(ナトリウム原子、ルビジウム原子、セシウム原子等)が封入されたものである。このガスセル30に対して、アルカリ金属原子の2つの基底準位のエネルギー差に相当する周波数(波長)を有する2つの光波が照射されると、アルカリ金属原子がEIT現象を起こす。例えば、アルカリ金属原子がセシウム原子であれば、D1線における基底準位GL1と基底準位GL2のエネルギー差に相当する周波数が9.19263・・・GHzなので、周波数差が9.19263・・・GHzの2つの光波が照射されるとEIT現象を起こす。   The gas cell 30 is a container in which gaseous alkali metal atoms (sodium atoms, rubidium atoms, cesium atoms, etc.) are sealed. When the gas cell 30 is irradiated with two light waves having a frequency (wavelength) corresponding to the energy difference between the two ground levels of the alkali metal atoms, the alkali metal atoms cause an EIT phenomenon. For example, if the alkali metal atom is a cesium atom, the frequency corresponding to the energy difference between the ground level GL1 and the ground level GL2 in the D1 line is 9.19263... GHz, so the frequency difference is 9.19263. When two light waves of GHz are irradiated, an EIT phenomenon occurs.

ガスセル30には、λ/4板24を透過した光(円偏光)が照射される。光学モジュール100では、面発光レーザー10から射出された光を、偏光素子22を介してλ/4板24で円偏光に変換し、ガスセル30に照射する。これにより、EIT現象の発現確率を高めることができる。   The gas cell 30 is irradiated with light (circularly polarized light) transmitted through the λ / 4 plate 24. In the optical module 100, the light emitted from the surface emitting laser 10 is converted into circularly polarized light by the λ / 4 plate 24 through the polarizing element 22 and irradiated to the gas cell 30. Thereby, the expression probability of the EIT phenomenon can be increased.

第1光検出部40は、ガスセル30に封入されたアルカリ金属原子を透過した光の強度を検出する。第1光検出部40は、アルカリ金属原子を透過した光の強度に応じた検出信号を出力する。第1光検出部40としては、例えば、フォトダイオードを用いる。   The first light detection unit 40 detects the intensity of light transmitted through the alkali metal atoms enclosed in the gas cell 30. The first light detection unit 40 outputs a detection signal corresponding to the intensity of light transmitted through the alkali metal atom. For example, a photodiode is used as the first light detection unit 40.

第2光検出部50は、偏光素子22にて反射された光(第2偏光光L2)の強度を検出する。ここで、図5は、面発光レーザー10および第2光検出部50を、光軸Aの方向から見た状態を模式的に示す図である。図6は、面発光レーザー10および第2光検出部50を模式的に示す図5のVI−VI線断面図である。   The second light detection unit 50 detects the intensity of the light reflected by the polarizing element 22 (second polarized light L2). Here, FIG. 5 is a diagram schematically showing a state in which the surface emitting laser 10 and the second light detection unit 50 are viewed from the direction of the optical axis A. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5 schematically illustrating the surface emitting laser 10 and the second light detection unit 50.

第2光検出部50は、面発光レーザー10とモノリシックに(同一基板上に)設けられていてもよい。面発光レーザー10は、図6に示すように、第2光検出部50の上面(面発光レーザー10から射出された光が進行する方向側の面)に設けられている。第2光検出部50の上面のうち面発光レーザー10が設けられていない領域(露出している領域)は、偏光素子22にて反射された第2偏光光L2を受光する受光面52となる。受光面52は、図5に示すように光軸Aの方向から見て、環状(具体的にはドーナツ状)の形状を有し、光軸Aは、光軸Aの方向から見て、受光面52の内側に位置している。   The second light detection unit 50 may be provided monolithically (on the same substrate) as the surface emitting laser 10. As shown in FIG. 6, the surface emitting laser 10 is provided on the upper surface of the second light detection unit 50 (the surface on the side in which the light emitted from the surface emitting laser 10 travels). A region where the surface emitting laser 10 is not provided (an exposed region) on the upper surface of the second light detection unit 50 is a light receiving surface 52 that receives the second polarized light L <b> 2 reflected by the polarizing element 22. . As shown in FIG. 5, the light receiving surface 52 has an annular shape (specifically, a donut shape) when viewed from the direction of the optical axis A, and the optical axis A is received from the direction of the optical axis A. It is located inside the surface 52.

第2光検出部50は、第2偏光光L2の強度に応じた検出信号を出力する。第2光検出部50としては、例えば、フォトダイオードを用いる。第2光検出部50の検出信号は、制御部70に出力される。   The second light detection unit 50 outputs a detection signal corresponding to the intensity of the second polarized light L2. For example, a photodiode is used as the second light detection unit 50. The detection signal of the second light detection unit 50 is output to the control unit 70.

駆動部60は、偏光素子22およびλ/4板24を有している偏光制御部20を、回転させる。具体的には、駆動部60は、偏光制御部20を、偏光素子22の入射面21の法線N周りに回転させる。偏光素子22およびλ/4板24は、例えば互いに接合されており、偏光素子22およびλ/4板24は、速軸24fが偏光透過軸22tに対して45度傾いた状態で、回転される。ここで、第1偏光光L1の光量および第2偏光光L2の光量
は、偏光素子22における偏光光L1,L2の分離比によって決まる。そのため、駆動部60が偏光制御部20を回転させて偏光透過軸22tを回転させることにより、第1偏光光L1の光量(第2偏光光L2の光量)を変化させることができる。なお、偏光制御部20を法線N周りに回転させる構成の場合には、受光面52は必ずしも環状に設けられる必要はない。
The drive unit 60 rotates the polarization control unit 20 having the polarizing element 22 and the λ / 4 plate 24. Specifically, the driving unit 60 rotates the polarization control unit 20 around the normal line N of the incident surface 21 of the polarizing element 22. The polarizing element 22 and the λ / 4 plate 24 are bonded to each other, for example, and the polarizing element 22 and the λ / 4 plate 24 are rotated in a state where the fast axis 24f is inclined 45 degrees with respect to the polarization transmission axis 22t. . Here, the light quantity of the first polarized light L1 and the light quantity of the second polarized light L2 are determined by the separation ratio of the polarized lights L1 and L2 in the polarizing element 22. Therefore, the light amount of the first polarized light L1 (the light amount of the second polarized light L2) can be changed by the drive unit 60 rotating the polarization control unit 20 and rotating the polarization transmission axis 22t. In the case where the polarization controller 20 is rotated around the normal line N, the light receiving surface 52 is not necessarily provided in a ring shape.

駆動部60は、図4に示すように、偏光制御部20に動力を伝達する歯車62を含んで構成されている。駆動部60は、モーター(図示せず)で歯車62を回転させて、偏光制御部20を回転させる。偏光制御部20の縁部には、歯車の歯が設けられている。すなわち、偏光制御部20は、歯車(平歯車)を構成している。偏光制御部20の回転に伴い、偏光素子22の偏光透過軸22tおよびλ/4板24の速軸24fが回転する。駆動部60は、制御部70によって制御される。   As shown in FIG. 4, the drive unit 60 includes a gear 62 that transmits power to the polarization control unit 20. The drive unit 60 rotates the gear 62 with a motor (not shown) to rotate the polarization control unit 20. Gear edges are provided at the edge of the polarization controller 20. That is, the polarization controller 20 constitutes a gear (spur gear). As the polarization controller 20 rotates, the polarization transmission axis 22t of the polarization element 22 and the fast axis 24f of the λ / 4 plate 24 rotate. The drive unit 60 is controlled by the control unit 70.

制御部70は、第2光検出部50で検出した光の光量に応じて、駆動部60を動作させる。具体的には、制御部70は、第2光検出部50で検出される第2偏光光L2の光量が変化したときに、変化する前の第2偏光光L2の光量に戻すように駆動部60を動作させる。これにより、第1偏光光L1の光量も変化する前の光量に戻すことができるため、ガスセル30に照射される光の量を一定にすることができる。   The control unit 70 operates the driving unit 60 in accordance with the light amount detected by the second light detection unit 50. Specifically, when the light amount of the second polarized light L2 detected by the second light detection unit 50 changes, the control unit 70 returns the light amount of the second polarized light L2 before the change to the drive unit. 60 is operated. Thereby, since the light quantity of the 1st polarized light L1 can also be returned to the light quantity before changing, the quantity of the light irradiated to the gas cell 30 can be made constant.

制御部70は、例えば、第2光検出部50で検出される第2偏光光L2の光量が所定の光量となるように駆動部60を動作させる。なお、所定の光量は、例えば、第2偏光光L2の光量が最小となるときの光量である。すなわち、第1偏光光L1の光量が最大となるときの第2偏光光L2の光量である。なお、所定の光量は、第2偏光光L2の光量が最小となるときの光量に限定されず、適宜設定することができる。   For example, the control unit 70 operates the driving unit 60 so that the light amount of the second polarized light L2 detected by the second light detection unit 50 becomes a predetermined light amount. The predetermined light amount is, for example, the light amount when the light amount of the second polarized light L2 is minimized. That is, the light amount of the second polarized light L2 when the light amount of the first polarized light L1 is maximized. The predetermined light amount is not limited to the light amount when the light amount of the second polarized light L2 is minimized, and can be set as appropriate.

制御部70は、具体的には、駆動部60を動作させて偏光制御部20を回転させて偏光透過軸22tおよび速軸24fを変化させながら第2偏光光L2の光量をモニターし、第2偏光光L2の光量が所定の光量となったところで駆動部60の動作を止める。これにより、第2偏光光L2の光量を所定の光量とすることができる。   Specifically, the control unit 70 operates the driving unit 60 to rotate the polarization control unit 20 to monitor the light amount of the second polarized light L2 while changing the polarization transmission axis 22t and the fast axis 24f, and the second When the light amount of the polarized light L2 reaches a predetermined light amount, the operation of the drive unit 60 is stopped. Thereby, the light quantity of the 2nd polarized light L2 can be made into predetermined light quantity.

中心波長制御部2は、第1光検出部40が出力する検出信号に応じた大きさの駆動電流を発生させて面発光レーザー10に供給し、面発光レーザー10が射出する光の中心波長λを制御する。面発光レーザー10、ガスセル30、第1光検出部40、中心波長制御部2を通るフィードバックループにより、面発光レーザー10が射出する光の中心波長λが微調整されて安定する。 The center wavelength control unit 2 generates a drive current having a magnitude corresponding to the detection signal output from the first light detection unit 40, supplies the drive current to the surface emitting laser 10, and the center wavelength λ of light emitted from the surface emitting laser 10 Control 0 . The center wavelength λ 0 of the light emitted from the surface emitting laser 10 is finely adjusted and stabilized by the feedback loop passing through the surface emitting laser 10, the gas cell 30, the first light detection unit 40, and the center wavelength control unit 2.

高周波制御部4は、第1光検出部40が出力する検出結果に基づいて、第1側帯波W1と第2側帯波W2との波長(周波数)差が、ガスセル30に封入されたアルカリ金属原子の2つの基底準位のエネルギー差に相当する周波数に等しくなるように制御する。高周波制御部4は、第1光検出部40が出力する検出結果に応じた変調周波数f(図2参照)を有する変調信号を発生させる。 Based on the detection result output from the first light detection unit 40, the high-frequency control unit 4 determines that the difference in wavelength (frequency) between the first sideband W1 and the second sideband W2 is an alkali metal atom enclosed in the gas cell 30. The frequency is controlled to be equal to the frequency corresponding to the energy difference between the two ground levels. The high frequency control unit 4 generates a modulation signal having a modulation frequency f m (see FIG. 2) corresponding to the detection result output by the first light detection unit 40.

面発光レーザー10、ガスセル30、第1光検出部40、高周波制御部4を通るフィードバックループにより、第1側帯波W1と第2側帯波W2との周波数差がアルカリ金属原子の2つの基底準位のエネルギー差に相当する周波数と極めて正確に一致するようにフィードバック制御がかかる。その結果、変調周波数fは極めて安定した周波数になるので、変調信号を原子発振器1の出力信号(クロック出力)とすることができる。 Due to the feedback loop passing through the surface emitting laser 10, the gas cell 30, the first light detection unit 40, and the high frequency control unit 4, the frequency difference between the first sideband W1 and the second sideband W2 is two ground levels of alkali metal atoms. The feedback control is applied so as to match the frequency corresponding to the energy difference very accurately. As a result, the modulation frequency f m is very since a stable frequency can be a modulation signal and the atomic oscillator 1 of the output signal (clock output).

1.2. 動作
次に、光学モジュール100の動作について、図1を参照しながら説明する。
1.2. Operation Next, the operation of the optical module 100 will be described with reference to FIG.

面発光レーザー10は、偏光光を射出する。面発光レーザー10から射出された偏光光は、偏光素子22に入射する。偏光素子22に入射した光は、互いに偏光方向が垂直な方向である第1偏光光L1と第2偏光光L2とに分離される。このように、面発光レーザー10から射出された光は、偏光素子22によって第1偏光光L1と第2偏光光L2とに分離されることにより、2つの経路(経路R1、経路R2)に分かれる。以下、各経路R1,R2ごとに説明する。   The surface emitting laser 10 emits polarized light. The polarized light emitted from the surface emitting laser 10 enters the polarizing element 22. The light incident on the polarizing element 22 is separated into the first polarized light L1 and the second polarized light L2 whose directions of polarization are perpendicular to each other. As described above, the light emitted from the surface emitting laser 10 is separated into the first polarized light L1 and the second polarized light L2 by the polarizing element 22, and thus is divided into two paths (path R1 and path R2). . Hereinafter, each route R1, R2 will be described.

まず、経路R1について説明する。   First, the route R1 will be described.

偏光素子22を透過した第1偏光光L1は、λ/4板24に入射する。第1偏光光L1は、λ/4板24で円偏光に変換され、ガスセル30に入射する。ここで、面発光レーザー10から射出される光は、アルカリ金属原子の2つの基底準位のエネルギー差に相当する周波数(波長)を有する2つの光波(第1側帯波W1、第2側帯波W2)を含んでおり、アルカリ金属原子がEIT現象を起こす。ガスセル30を透過した光の強度は、第1光検出部40で検出される。   The first polarized light L 1 that has passed through the polarizing element 22 is incident on the λ / 4 plate 24. The first polarized light L 1 is converted into circularly polarized light by the λ / 4 plate 24 and enters the gas cell 30. Here, the light emitted from the surface emitting laser 10 is two light waves (first sideband wave W1 and second sideband wave W2) having a frequency (wavelength) corresponding to the energy difference between the two ground levels of the alkali metal atom. ), And an alkali metal atom causes an EIT phenomenon. The intensity of the light transmitted through the gas cell 30 is detected by the first light detection unit 40.

中心波長制御部2および高周波制御部4は、第1側帯波W1と第2側帯波W2との周波数差がアルカリ金属原子の2つの基底準位のエネルギー差に相当する周波数と極めて正確に一致するように、フィードバック制御を行う。原子発振器1では、EIT現象を利用し、第1側帯波W1と第2側帯波W2との周波数差f−fが基底準位GL1と基底準位GL2とのエネルギー差ΔE12に相当する周波数からずれた時の光吸収挙動の急峻な変化を検出し制御することで、高精度な発振器をつくることができる。 The center wavelength control unit 2 and the high frequency control unit 4 match the frequency difference between the first sideband wave W1 and the second sideband wave W2 very accurately with the frequency corresponding to the energy difference between the two ground levels of the alkali metal atom. Thus, feedback control is performed. In atomic oscillator 1, utilizing the EIT phenomenon, the frequency difference f 1 -f 2 between the first sideband wave W1 and the second sideband wave W2 corresponds to the energy difference Delta] E 12 between the ground level GL1 and ground level GL2 By detecting and controlling a steep change in light absorption behavior when deviating from the frequency, a highly accurate oscillator can be produced.

次に、経路R2について説明する。   Next, the route R2 will be described.

偏光素子22で反射された第2偏光光L2は、第2光検出部50に入射する。第2光検出部50では、第2偏光光L2の強度が検出される。   The second polarized light L <b> 2 reflected by the polarizing element 22 enters the second light detection unit 50. The second light detection unit 50 detects the intensity of the second polarized light L2.

ここで、偏光素子22は、入射する偏光光の偏光方向の透過軸22tに対する傾き角に応じて、第1偏光光L1と第2偏光光L2の分離比が異なる特性を持つ。そのため、例えば、面発光レーザー10から射出される偏光光の偏光方向が変化すると、偏光素子22において第1偏光光L1と第2偏光光L2の分離比が変わる。これにより、ガスセル30に照射される光の量が変化してしまう。   Here, the polarizing element 22 has a characteristic in which the separation ratio of the first polarized light L1 and the second polarized light L2 is different according to the inclination angle of the polarization direction of the incident polarized light with respect to the transmission axis 22t. Therefore, for example, when the polarization direction of the polarized light emitted from the surface emitting laser 10 changes, the separation ratio of the first polarized light L1 and the second polarized light L2 changes in the polarizing element 22. Thereby, the quantity of the light irradiated to the gas cell 30 will change.

そのため、制御部70は、第2光検出部50で検出される第2偏光光L2の光量が変化したときに、変化する前の第2偏光光L2の光量に戻すように駆動部60を動作させる。これにより、第1偏光光L1の光量も変化する前の光量に戻すことができるため、ガスセル30に照射される光の量を一定にすることができる。   Therefore, when the light amount of the second polarized light L2 detected by the second light detection unit 50 is changed, the control unit 70 operates the drive unit 60 so as to return to the light amount of the second polarized light L2 before the change. Let Thereby, since the light quantity of the 1st polarized light L1 can also be returned to the light quantity before changing, the quantity of the light irradiated to the gas cell 30 can be made constant.

制御部70の処理の一例について、具体的に説明する。   An example of the processing of the control unit 70 will be specifically described.

制御部70は、第2光検出部50が出力する検出信号の強度が設定値から変化すると、駆動部60を動作させて偏光制御部20を回転させる。ここで、設定値は、例えば、第2偏光光L2の光量が最小となるときの第2光検出部50の検出信号の強度である。偏光制御部20を回転させることにより、偏光透過軸22tの方向が変化する。これにより、偏光素子22の偏光光L1,L2の分離比が変化し、第2偏光光L2の光量が変化する。   When the intensity of the detection signal output from the second light detection unit 50 changes from the set value, the control unit 70 operates the drive unit 60 to rotate the polarization control unit 20. Here, the set value is, for example, the intensity of the detection signal of the second light detection unit 50 when the light amount of the second polarized light L2 is minimized. By rotating the polarization control unit 20, the direction of the polarization transmission axis 22t changes. Thereby, the separation ratio of the polarized light L1 and L2 of the polarizing element 22 changes, and the light quantity of the second polarized light L2 changes.

制御部70は、第2光検出部50が出力する検出信号の強度(第2偏光光L2の光量)をモニターしながら、当該検出信号の強度が設定値(最小値)になるまで駆動部60を動
作させて偏光制御部20を回転させる。そして、制御部70は、当該検出信号の強度が設定値(最小値)になると処理を終了する。
The control unit 70 monitors the intensity of the detection signal output from the second light detection unit 50 (the amount of light of the second polarized light L2), and drives the drive unit 60 until the intensity of the detection signal reaches a set value (minimum value). Is operated to rotate the polarization controller 20. Then, the control unit 70 ends the process when the intensity of the detection signal reaches a set value (minimum value).

なお、制御部70は、第2光検出部50が出力する検出信号の強度をモニターしながら偏光制御部20を回転させる際に、偏光制御部20の回転(例えば右まわりの回転)に伴って当該検出信号の強度が大きくなる場合には、偏光制御部20を逆回転(例えば左まわりの回転)させる処理を行ってもよい。   In addition, when the control unit 70 rotates the polarization control unit 20 while monitoring the intensity of the detection signal output from the second light detection unit 50, the rotation of the polarization control unit 20 (for example, clockwise rotation) is accompanied. When the intensity of the detection signal increases, a process of rotating the polarization controller 20 in the reverse direction (for example, counterclockwise rotation) may be performed.

上述の例では、偏光素子22をワイヤーグリッド偏光板として説明したが、偏光素子22は、偏光ビームスプリッターであってもよい。この場合、偏光素子22は、p偏光の偏光光を透過させs偏光の偏光光を反射させてもよいし、s偏光の偏光光を透過させp偏光の偏光光を反射させてもよい。なお、偏光素子22は、第1の方向に偏光する第1偏光光を透過させ、第1の方向と直交する第2の方向に偏光する第2偏光光を反射させることができれば、ワイヤーグリッド偏光板や偏光ビームスプリッターに限定されず、例えば、屈折率異方性が異なる2つの層の交互積層体によって構成されていてもよい。   In the above-described example, the polarizing element 22 has been described as a wire grid polarizing plate. However, the polarizing element 22 may be a polarizing beam splitter. In this case, the polarization element 22 may transmit p-polarized polarized light and reflect s-polarized polarized light, or may transmit s-polarized polarized light and reflect p-polarized polarized light. If the polarizing element 22 can transmit the first polarized light polarized in the first direction and reflect the second polarized light polarized in the second direction orthogonal to the first direction, the wire grid polarized light can be used. It is not limited to a plate or a polarizing beam splitter, and may be constituted by, for example, an alternating laminate of two layers having different refractive index anisotropies.

光学モジュール100は、例えば、以下の特徴を有する。   The optical module 100 has the following features, for example.

光学モジュール100では、面発光レーザー10と、面発光レーザー10から射出された光が照射される反射型の偏光素子22、および偏光素子22の偏光透過軸22tに対して速軸24fが45度回転して設けられ、かつ偏光素子22を透過した光が照射されるλ/4板24を有する偏光制御部20と、アルカリ金属ガスが封入され、かつ、λ/4板24を透過した光が照射されるガスセル30と、ガスセル30を透過した光の強度を検出する第1光検出部40と、偏光素子22にて反射された光の強度を検出する第2光検出部50と、偏光制御部20を回転させる駆動部60と、第2光検出部50で検出した光量に応じて、駆動部60を動作させる制御部70と、を含む。このように、光学モジュール100では、面発光レーザー10から射出した光を偏光素子22で分離して第1の方向に偏光する第1偏光光L1として、λ/4板24に入射させる。したがって、面発光レーザー10において偏光光の偏光方向が変化してもλ/4板24に入射する偏光光の偏光方向を、λ/4板24に対して一定の方向(λ/4板24の速軸24fに対して45度傾いた方向)にすることができる。これにより、例えば、面発光レーザー10において偏光光の偏光方向が経時的に変化することに起因して、ガスセル30に照射される光の円偏光成分の割合が変化することを防ぐことができる。   In the optical module 100, the surface emitting laser 10, the reflective polarizing element 22 irradiated with the light emitted from the surface emitting laser 10, and the fast axis 24 f rotate 45 degrees with respect to the polarization transmission axis 22 t of the polarizing element 22. And the polarization controller 20 having the λ / 4 plate 24 irradiated with the light transmitted through the polarizing element 22, and the light sealed with the alkali metal gas and transmitted through the λ / 4 plate 24. Gas cell 30, a first light detector 40 that detects the intensity of light transmitted through the gas cell 30, a second light detector 50 that detects the intensity of light reflected by the polarizing element 22, and a polarization controller And a control unit 70 that operates the drive unit 60 in accordance with the amount of light detected by the second light detection unit 50. In this manner, in the optical module 100, the light emitted from the surface emitting laser 10 is incident on the λ / 4 plate 24 as the first polarized light L1 that is separated by the polarizing element 22 and polarized in the first direction. Therefore, even if the polarization direction of the polarized light in the surface emitting laser 10 is changed, the polarization direction of the polarized light incident on the λ / 4 plate 24 is set to a fixed direction (with respect to the λ / 4 plate 24). (A direction inclined by 45 degrees with respect to the fast axis 24f). Thereby, for example, it is possible to prevent the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell 30 from changing due to the polarization direction of the polarized light changing with time in the surface emitting laser 10.

さらに、光学モジュール100では、面発光レーザー10において偏光光の偏光方向が変化しても、制御部70が駆動部60を動作させて偏光制御部20を回転させることにより、ガスセル30に照射される光の光量を一定にすることができる。   Further, in the optical module 100, even when the polarization direction of polarized light in the surface emitting laser 10 changes, the control unit 70 operates the driving unit 60 to rotate the polarization control unit 20, thereby irradiating the gas cell 30. The amount of light can be made constant.

このように、光学モジュール100では、面発光レーザー10から射出されてλ/4板24に入射する第1偏光光L1のλ/4板24に対する偏光方向を制御することにより、面発光レーザー10において偏光光の偏光方向が変化することに起因して、ガスセル30に照射させる光の円偏光成分の割合、およびその光量が変化することを、防ぐことができる。その結果、光学モジュール100では、原子発振器1の安定性を高めることができる。   As described above, in the optical module 100, by controlling the polarization direction of the first polarized light L 1 emitted from the surface emitting laser 10 and incident on the λ / 4 plate 24 with respect to the λ / 4 plate 24, Due to the change in the polarization direction of the polarized light, it is possible to prevent the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell 30 and the amount of light from changing. As a result, in the optical module 100, the stability of the atomic oscillator 1 can be improved.

さらに、光学モジュール100では、駆動部60は、面発光レーザー10を回転させるのではなく、偏光制御部20を回転させる。そのため、光学モジュール100では、例えば、面発光レーザー10を回転させる場合に比べて、小型化を図ることができる。   Further, in the optical module 100, the driving unit 60 does not rotate the surface emitting laser 10 but rotates the polarization control unit 20. Therefore, the optical module 100 can be reduced in size as compared with, for example, the case where the surface emitting laser 10 is rotated.

光学モジュール100では、制御部70は、第2光検出部50で検出される光の光量が
最小となるように駆動部60を駆動させる。これにより、第1偏光光L1の光量を一定にすることができるため、ガスセル30に照射される光の量を一定にすることができる。
In the optical module 100, the control unit 70 drives the drive unit 60 so that the amount of light detected by the second light detection unit 50 is minimized. Thereby, since the light quantity of the 1st polarized light L1 can be made constant, the quantity of the light irradiated to the gas cell 30 can be made constant.

光学モジュール100では、偏光素子22は、ワイヤーグリッド偏光板である。そのため、偏光素子22は、偏光素子22のワイヤー23の中心軸23cの方向に電場が振動する第2偏光光L2を反射させ、中心軸23cの方向と直交する方向に電場が振動する第1偏光光L1を透過させることができる。   In the optical module 100, the polarizing element 22 is a wire grid polarizing plate. Therefore, the polarizing element 22 reflects the second polarized light L2 whose electric field oscillates in the direction of the central axis 23c of the wire 23 of the polarizing element 22, and the first polarized light whose electric field oscillates in a direction orthogonal to the direction of the central axis 23c. The light L1 can be transmitted.

光学モジュール100では、偏光素子22は、面発光レーザー10から射出された光の光軸Aに対して入射面21の法線Nを傾けて、光軸A上に設けられている。そのため、偏光素子22において反射した第2偏光光L2を、光軸Aに対して傾いた方向に進行させることができる。   In the optical module 100, the polarizing element 22 is provided on the optical axis A with the normal line N of the incident surface 21 inclined with respect to the optical axis A of the light emitted from the surface emitting laser 10. Therefore, the second polarized light L2 reflected by the polarizing element 22 can be advanced in a direction inclined with respect to the optical axis A.

光学モジュール100では、第2光検出部50の受光面52は、光軸Aの方向から見て、環状であり、光軸Aは、光軸Aの方向から見て、受光面52の内側に位置している。そのため、第2光検出部50は、光軸Aに対して傾いた方向に進行する第2偏光光L2を、受光することができる。   In the optical module 100, the light receiving surface 52 of the second light detection unit 50 is annular when viewed from the direction of the optical axis A, and the optical axis A is located inside the light receiving surface 52 when viewed from the direction of the optical axis A. positioned. Therefore, the second light detection unit 50 can receive the second polarized light L2 that travels in a direction inclined with respect to the optical axis A.

2. 変形例
2.1. 第1変形例
次に、本実施形態の第1変形例に係る光学モジュールについて、図面を参照しながら説明する。図7は、本実施形態の第1変形例に係る光学モジュール200の面発光レーザー10および第2光検出部50を模式的に示す図であって、図6に対応している。
2. Modification 2.1. First Modification Next, an optical module according to a first modification of the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a diagram schematically showing the surface-emitting laser 10 and the second light detection unit 50 of the optical module 200 according to the first modification of the present embodiment, and corresponds to FIG.

以下、本実施形態の第1変形例に係る光学モジュール200について、本実施形態に係る光学モジュール100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。このことは、以下に示す、本実施形態の第2変形例に係る光学モジュールについても同様である。   Hereinafter, in the optical module 200 according to the first modification of the present embodiment, members having the same functions as those of the optical module 100 according to the present embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. To do. The same applies to the optical module according to the second modification of the present embodiment shown below.

上述した光学モジュール100では、図6に示すように、第2光検出部50上に面発光レーザー10が設けられていた。これに対し、光学モジュール200では、図7に示すように、面発光レーザー10の上方に(面発光レーザー10から射出された光が進行する方向側に)第2光検出部50が設けられている。第2光検出部50は、面発光レーザー10と偏光素子22との間に設けられている。   In the optical module 100 described above, the surface emitting laser 10 is provided on the second light detection unit 50 as shown in FIG. On the other hand, in the optical module 200, as shown in FIG. 7, a second light detection unit 50 is provided above the surface emitting laser 10 (on the side in which the light emitted from the surface emitting laser 10 travels). Yes. The second light detection unit 50 is provided between the surface emitting laser 10 and the polarizing element 22.

光学モジュール200では、第2光検出部50の受光面52には、面発光レーザーから射出された光を透過させる開口部54が設けられている。光軸Aの方向から見たときの開口部54の形状は、例えば、円形である。   In the optical module 200, the light receiving surface 52 of the second light detection unit 50 is provided with an opening 54 that transmits light emitted from the surface emitting laser. The shape of the opening 54 when viewed from the direction of the optical axis A is, for example, a circle.

光学モジュール200では、光学モジュール100に比べて、偏光素子22と受光面52との間の距離を小さくすることができる。そのため、光学モジュール200では、偏光素子22にて反射された第2偏光光L2を、より確実に受光することができる。   In the optical module 200, the distance between the polarizing element 22 and the light receiving surface 52 can be reduced as compared with the optical module 100. Therefore, the optical module 200 can receive the second polarized light L2 reflected by the polarizing element 22 more reliably.

2.2. 第2変形例
次に、本実施形態の第2変形例に係る光学モジュールについて、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態の第2変形例に係る光学モジュール300を含んで構成された原子発振器1を示すブロック図である。
2.2. Second Modification Example Next, an optical module according to a second modification example of the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a block diagram showing an atomic oscillator 1 configured to include an optical module 300 according to a second modification of the present embodiment.

上述した光学モジュール100では、図1に示すように、λ/4板24の入射面25は、光軸Aに対して傾いていた。これに対し、光学モジュール300では、図8に示すよう
に、λ/4板24の入射面25は、光軸Aと直交している。すなわち、入射面25の法線(図示せず)は、光軸Aと平行である。
In the optical module 100 described above, the incident surface 25 of the λ / 4 plate 24 is inclined with respect to the optical axis A as shown in FIG. On the other hand, in the optical module 300, the incident surface 25 of the λ / 4 plate 24 is orthogonal to the optical axis A as shown in FIG. That is, the normal line (not shown) of the incident surface 25 is parallel to the optical axis A.

光学モジュール300では、偏光素子22を透過した第1偏光光L1を、より確実に円偏光に変換することができる。   In the optical module 300, the first polarized light L1 transmitted through the polarizing element 22 can be more reliably converted to circularly polarized light.

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。   The above-described embodiments and modifications are merely examples, and the present invention is not limited to these. For example, it is possible to appropriately combine each embodiment and each modification.

なお、上記では、λ/4板24が偏光素子22の偏光透過軸22tに対して45度傾いた速軸24fを有している場合について説明したが、λ/4板24の速軸24fは、偏光透過軸22tに対して44度以上46度以下の範囲で傾いてもよい。すなわち、偏光透過軸22tと速軸24fとがなす角度は、44度以上46度以下の範囲であってもよい。このような場合でも、λ/4板24を透過した光を、円偏光または実質的に円偏光とみなせる楕円偏光とすることができ、EIT現象の発現確率を高めることができる。また、このような場合でも、面発光レーザー10において偏光光の偏光方向が変化することに起因して、ガスセル30に照射される光の円偏光成分の割合が変化することを防ぐことができる。したがって、光学モジュール100では、原子発振器1の安定性を高めることができる。   In the above description, the case where the λ / 4 plate 24 has the fast axis 24f inclined by 45 degrees with respect to the polarization transmission axis 22t of the polarizing element 22 has been described, but the fast axis 24f of the λ / 4 plate 24 is The tilt angle may be in the range of 44 degrees to 46 degrees with respect to the polarization transmission axis 22t. That is, the angle formed by the polarization transmission axis 22t and the fast axis 24f may be in a range of 44 degrees to 46 degrees. Even in such a case, the light transmitted through the λ / 4 plate 24 can be made into circularly polarized light or elliptically polarized light that can be regarded as substantially circularly polarized light, and the probability of occurrence of the EIT phenomenon can be increased. Even in such a case, it is possible to prevent the ratio of the circularly polarized component of the light irradiated to the gas cell 30 from changing due to the change in the polarization direction of the polarized light in the surface emitting laser 10. Therefore, in the optical module 100, the stability of the atomic oscillator 1 can be improved.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

1…原子発振器、2…中心波長制御部、4…高周波制御部、10…面発光レーザー、20…偏光制御部、21…入射面、22…偏光素子、22f…偏光透過軸、23…ワイヤー、23c…中心軸、24…λ/4板、24f…速軸、25…入射面、30…ガスセル、40…第1光検出部、50…第2光検出部、52…受光面、54…開口部、60…駆動部、62…歯車、70…制御部、100,200,300…光学モジュール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Atomic oscillator, 2 ... Center wavelength control part, 4 ... High frequency control part, 10 ... Surface emitting laser, 20 ... Polarization control part, 21 ... Incident surface, 22 ... Polarizing element, 22f ... Polarization transmission axis, 23 ... Wire, 23c: central axis, 24: λ / 4 plate, 24f: fast axis, 25: incident surface, 30: gas cell, 40: first light detecting unit, 50: second light detecting unit, 52: light receiving surface, 54: aperture Part, 60 ... drive part, 62 ... gear, 70 ... control part, 100, 200, 300 ... optical module

Claims (8)

原子発振器の光学モジュールであって、
光を射出する面発光レーザーと、
前記面発光レーザーから射出された光が照射される反射型の偏光素子、および前記偏光素子の偏光透過軸に対して速軸が45度回転して設けられ、かつ前記偏光素子を透過した光が照射されるλ/4板を有する偏光制御部と、
アルカリ金属ガスが封入され、かつ、前記λ/4板を透過した光が照射されるガスセルと、
前記ガスセルを透過した光の強度を検出する第1光検出部と、
前記偏光素子にて反射された光の強度を検出する第2光検出部と、
前記偏光制御部を回転させる駆動部と、
前記第2光検出部で検出した光量に応じて、前記駆動部を動作させる制御部と、
を含む、ことを特徴とする光学モジュール。
An optical module of an atomic oscillator,
A surface emitting laser that emits light;
A reflection type polarizing element irradiated with light emitted from the surface emitting laser, and a fast axis rotated by 45 degrees with respect to the polarization transmission axis of the polarizing element, and the light transmitted through the polarizing element A polarization controller having a λ / 4 plate to be irradiated;
A gas cell filled with an alkali metal gas and irradiated with light transmitted through the λ / 4 plate;
A first light detector for detecting the intensity of light transmitted through the gas cell;
A second light detection unit for detecting the intensity of light reflected by the polarizing element;
A driving unit for rotating the polarization control unit;
A control unit that operates the driving unit in accordance with the amount of light detected by the second light detection unit;
An optical module comprising:
前記制御部は、前記第2光検出部で検出される光の光量が最小となるように前記駆動部を駆動させる、ことを特徴とする請求項1に記載の光学モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the control unit drives the driving unit so that the amount of light detected by the second light detection unit is minimized. 前記偏光素子は、ワイヤーグリッド偏光板である、ことを特徴とする請求項1または2に記載の光学モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the polarizing element is a wire grid polarizing plate. 前記偏光素子は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸に対して入射面の法線を傾けて、前記光軸上に設けられている、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光学モジュール。   4. The polarizing element according to claim 1, wherein the polarizing element is provided on the optical axis so that a normal line of an incident surface is inclined with respect to an optical axis of light emitted from the surface emitting laser. The optical module according to any one of the above. 前記第2光検出部は、前記偏光素子にて反射された光を受光する受光面を有し、
前記受光面は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸の方向から見て、環状であり、
前記光軸は、前記面発光レーザーから射出された光の光軸の方向から見て、前記受光面の内側に位置している、ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光学モジュール。
The second light detection unit has a light receiving surface that receives light reflected by the polarizing element,
The light receiving surface is annular when viewed from the direction of the optical axis of the light emitted from the surface emitting laser,
The said optical axis is located inside the said light-receiving surface seeing from the direction of the optical axis of the light inject | emitted from the said surface emitting laser, The any one of Claim 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. The optical module as described.
前記受光面には、前記面発光レーザーから射出された光を透過させる開口部が設けられている、ことを特徴とする請求項5に記載の光学モジュール。   The optical module according to claim 5, wherein an opening for transmitting light emitted from the surface emitting laser is provided on the light receiving surface. 前記面発光レーザーは、偏光光を射出する、ことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光学モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the surface emitting laser emits polarized light. 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光学モジュールを含む、ことを特徴とする原子発振器。   An atomic oscillator comprising the optical module according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018532133A (en) * 2015-07-28 2018-11-01 センター ナショナル ド ラ ルシェルシュ サイエンティフィーク Device for shaping laser beams for atomic sensors
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