JP2015076257A - Short arc type discharge lamp with base - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は口金付きショートアーク型放電ランプに関し、特に、口金の軽量化を図った口金付きショートアーク型放電ランプに係わるものである。 The present invention relates to a short arc type discharge lamp with a base, and more particularly to a short arc type discharge lamp with a base for reducing the weight of the base.
従来から、半導体基板や液晶ディスプレイ用の液晶基板を露光するのに使用される露光装置の紫外線光源として、水銀を封入したショートアーク型放電ランプが多用されている。
この種のショートアーク型放電ランプにおいては、封止管の端部に口金が装着された口金付きショートアーク型放電ランプが採用されている。
特開平０９−４５２２７号公報（特許文献１）などがそれであって、その概略構造が図６、図７に示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a short arc type discharge lamp enclosing mercury has been widely used as an ultraviolet light source of an exposure apparatus used to expose a semiconductor substrate or a liquid crystal substrate for a liquid crystal display.
In this type of short arc type discharge lamp, a short arc type discharge lamp with a base having a base attached to the end of a sealed tube is employed.
Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-45227 (Patent Document 1) and the like are shown in FIG. 6 and FIG.
図６に示すように、ショートアーク型放電ランプの封止部２１の端部には、口金２２が被嵌されている。
図７にその構造が示されていて、口金２２は、有底円筒状本体部２３と、その底部２３ａに突設されたロウ付け用ピン部２４の一体構造からなり、封止部２１の端部に被嵌されて、接着剤２５によってこれに固定されている。
封止部２１から突出するリード線２６が前記ロウ付け用ピン部２４を貫通し、その外端部においてロウ付け２７によってピン部２４に接続固定されている。
前記リード線２６は、通常、銅の撚り線からなり、その外端部において、銅系のロウ材などにより前記ピン部２４にロウ付け固定される。そのため、ピン部２４を含む口金２２はロウ付けに耐えうる材料、例えば真鍮などにより構成されている。
As shown in FIG. 6, a
The structure is shown in FIG. 7, and the
A
The
ところで、昨今では、この種の露光装置用ショートアーク型放電ランプは、ランプが大型化しており、総重量が増加してきている。そのため、ランプの軽量化の要請が課題となっている。
とりわけ、この種のランプが管軸方向に延びる構造であって、力のモーメントに対する影響が大きい端部構造、即ち、口金の軽量化がそのカギを握っている。ただ、露光装置用のショートアーク型放電ランプは、高温、高電流などの過酷な環境におかれるため、単純に軽い材料に変更するというわけにはいかない。また、リード線とのロウ付け接合に適した材料を選択しなければならないという課題もある。
Incidentally, in recent years, the short arc type discharge lamp for an exposure apparatus of this type has been increased in size and the total weight has increased. For this reason, the demand for lighter lamps has become an issue.
In particular, this type of lamp extends in the axial direction of the tube, and the end structure that has a great influence on the moment of force, that is, the weight reduction of the base, holds the key. However, since the short arc type discharge lamp for the exposure apparatus is in a severe environment such as high temperature and high current, it cannot be simply changed to a light material. There is also a problem that a material suitable for brazing with the lead wire must be selected.
上記従来技術の問題点に鑑みて、この発明が解決しようとする課題は、発光空間を形成する発光管と、該発光管の両端に形成された封止管と、該封止管に装着された口金とを備え、該口金は、前記封止管に被嵌される有底円筒状本体部と、該本体部の底部から突出するロウ付け用ピン部とを有し、前記封止管から突出するリード線が前記口金のピン部に接続されてなる口金付きショートアーク型放電ランプにおいて、ロウ付け用ピン部とリード線とのロウ付け接続を強化なものとしたままで、口金の軽量化を図る構造を提供することである。 In view of the above-mentioned problems of the prior art, the problems to be solved by the present invention are an arc tube that forms a light emitting space, a sealing tube formed at both ends of the arc tube, and a mounting tube attached to the sealing tube. The base has a bottomed cylindrical main body portion fitted into the sealing tube, and a brazing pin portion protruding from the bottom of the main body portion, In a short arc type discharge lamp with a base in which the protruding lead wire is connected to the pin part of the base, the weight of the base is reduced while the brazing connection between the brazing pin part and the lead wire is strengthened. It is providing the structure which aims at.
上記課題を解決するために、この発明に係るショートアーク型放電ランプでは、前記口金の本体部が、アルミニウム（Ａｌ）からなり、前記ロウ付け用ピン部が、銅（Ｃｕ）と亜鉛（Ｚｎ）の合金からなるとともに、前記本体部に対して一体的に鋳包み成型されていることを特徴とする。
また、前記ロウ付け用ピン部が、径方向に突出したフランジ部を有することを特徴とする。
また、前記フランジ部の全体が前記本体部内に埋設するように鋳包みされていることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, in the short arc type discharge lamp according to the present invention, the main body portion of the base is made of aluminum (Al), and the brazing pin portion is made of copper (Cu) and zinc (Zn). And is integrally cast and molded with respect to the main body.
Further, the brazing pin portion has a flange portion protruding in a radial direction.
Further, the entire flange portion is cast so as to be embedded in the main body portion.
この発明によれば、口金の本体部をアルミニウムとすることで全体の軽量化を達成し、ロウ付け用ピン部を銅と亜鉛の合金として、前記本体部と一体に鋳包み成形することで、リード線とのロウ付け接続を強固なものとすることができるという効果を奏するものである。
また、前記ピン部位にフランジ部を設けたので、本体部との一体化はより強固なものとなる。
特に、フランジ部全体を本体部内に鋳包み成型すると、更に強固に一体化される。
According to this invention, the overall weight reduction is achieved by making the main body portion of the base aluminum, and the brazing pin portion is made of an alloy of copper and zinc, and is cast and molded integrally with the main body portion. This brings about an effect that the brazing connection with the lead wire can be strengthened.
Further, since the flange portion is provided at the pin portion, the integration with the main body portion becomes stronger.
In particular, when the entire flange portion is cast into the main body portion, it is more firmly integrated.
図１において、ランプの封止管１に被嵌固定される口金２は、円筒部３ａと底部３ｂとからなる円筒状本体部３と、その底部３ｂに固定的に突設されたロウ付け用ピン部４とからなる。本体部３はアルミニウム（Ａｌ）により構成されていて、口金全体の軽量化に寄与する。ロウ付け用ピン部４は、銅（Ｃｕ）と亜鉛（Ｚｎ）との合金、即ち、真鍮（黄銅ともいう）によって構成され、前記本体部３の底部３ｂに鋳包み成型されて一体化されている。
この口金２は封止管１に被嵌されて、接着剤５によって固定される。そして封止管１から突出するリード線６は、ピン部４を貫通して、その外端部においてロウ付け７により接続固定されている。
In FIG. 1, a
The
本発明の口金の製造方法を図２に基づいて説明する。
まず、本体部を形成する中空部１１を有する鋳型１０を用意し、その内部にロウ付け用ピン部を構成する真鍮製のピン部用部材１２を中子として配置する。これに鋳込み口１３から溶融したアルミニウムを中空部１１に注入する（Ａ）。
これにより、アルミニウム製の円筒状本体部３に真鍮製のピン用部材１２が一体的に鋳包みされた形状ができる（Ｂ）。
次いで、ピン用部材１２を切削加工して貫通孔１２ａを穿設し、口金２が成形される（Ｃ）。
The manufacturing method of the nozzle | cap | die of this invention is demonstrated based on FIG.
First, a
As a result, a shape in which the
Next, the
このような口金付きショートアーク型放電ランプは、露光装置に取り付けるときは、図３に示すように、口金２の本体部３の円筒部３ａが露光装置側のランプ保持・給電部材１５によって把持される構造となっている。
ランプへの給電はこの保持・給電部材１５を介して行われ、口金２の本体部３の円筒部３ａ→底部３ｂ→ロウ付け用ピン部４→リード線６を経る給電パスによってランプに給電される。
このとき、口金２の本体部３とピン部４が鋳包み成形されていることから、その密着度が高く、本体部３からピン部４への電気抵抗が、図７に示す従来の一体成型品と殆ど変らず、電気的ロスが殆どない。
When such a short arc discharge lamp with a base is attached to the exposure apparatus, as shown in FIG. 3, the
Electric power is supplied to the lamp through the holding /
At this time, since the
図４に他の実施例が示されていて、この例では、ロウ付け用ピン部４のランプ側の端部には径方向に突出したフランジ部４ａが形成されている。こうすることで、ピン部４が軸方向に移動したり、抜け出たりすることがない。
また、更に他の実施例が図５に示されていて、前記したピン部４のフランジ部４ａの全体が本体部３の底部３ａ内に埋設されるように鋳包みされている。こうすることで、ロウ付け用ピン部４はより一層強固に円筒状本体部３に固定される。
FIG. 4 shows another embodiment. In this example, a
Still another embodiment is shown in FIG. 5, and the
以上説明したように、本発明では、封止管の端部に口金が装着されてなる口金付きショートアーク型放電ランプにおいて、前記口金の円筒状本体部が、アルミニウム（Ａｌ）からなり、前記ロウ付け用ピン部が、銅（Ｃｕ）と亜鉛（Ｚｎ）の合金からなるとともに、前記本体部に対して一体的に鋳包み成型されているので、口金の体積の大部分を占める本体部をアルミニウムにより構成して、口金全体を軽量化することができるとともに、ロウ付け用ピン部を真鍮により構成するので、リード線とのロウ付け接続を確実なものとすることができる。
しかも、本体部とピン部とは鋳包み成型されているので、その接続が強固であるとともに、密着度が高く、本体部からピン部への電力損失を低減できる。
As described above, according to the present invention, in a short arc discharge lamp with a cap in which a cap is attached to an end of a sealing tube, the cylindrical main body portion of the cap is made of aluminum (Al), and the braze Since the attaching pin portion is made of an alloy of copper (Cu) and zinc (Zn) and is integrally cast with the main body portion, the main body portion occupying most of the volume of the base is made of aluminum. Thus, the entire base can be reduced in weight, and the brazing pin portion is made of brass, so that the brazing connection with the lead wire can be ensured.
In addition, since the main body portion and the pin portion are cast-molded, the connection is strong, the degree of adhesion is high, and power loss from the main body portion to the pin portion can be reduced.
１ （ランプの）封止管
２ 口金
３ 円筒状本体部（アルミニウム）
３ａ 円筒部
３ｂ 底部
４ ロウ付け用ピン部
４ａ フランジ部
５ 接着剤
６ リード線
７ ロウ付け
１０ 鋳型
１１ 中空部
１２ ピン部用部材（真鍮）
１５ （露光装置の）ランプ保持・給電部材
1 (lamp)
3a
15 Lamp holding / feeding member (of exposure equipment)
Claims (3)
前記口金の本体部が、アルミニウム（Ａｌ）からなり、
前記ロウ付け用ピン部が、銅（Ｃｕ）と亜鉛（Ｚｎ）の合金からなるとともに、前記本体部に対して一体的に鋳包み成型されていることを特徴とする口金付きショートアーク型放電ランプ。 An arc tube that forms a light emitting space, a sealing tube formed at both ends of the arc tube, and a base attached to the sealing tube, the base being fitted on the sealing tube With a base having a bottom cylindrical main body part and a brazing pin part protruding from the bottom part of the main body part, and a lead wire protruding from the sealing tube is connected to the brazing pin part of the base In short arc type discharge lamp,
The base part of the base is made of aluminum (Al),
The short arc type discharge lamp with a cap, wherein the brazing pin portion is made of an alloy of copper (Cu) and zinc (Zn) and is integrally cast with the main body portion. .
The short arc type discharge lamp with a cap according to claim 2, wherein the entire flange portion is cast so as to be embedded in the main body portion.
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|---|---|---|---|
| JP2013211583A JP2015076257A (en) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | Short arc type discharge lamp with base |
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| JP (1) | JP2015076257A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11482479B2 (en) | 2017-04-24 | 2022-10-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
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2013
- 2013-10-09 JP JP2013211583A patent/JP2015076257A/en active Pending
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| US11482479B2 (en) | 2017-04-24 | 2022-10-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
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