JP2015059743A - 光分岐素子、光分岐システムおよび測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】分岐した光の光量をより均一にする。【解決手段】光分岐素子は、第1面と、前記第1面と対向する第2面と、前記第1面において光束が入射する第1領域に設けられ、当該第1領域に入射した光束から枝光束を取り出す第1光取り出し部と、前記第1面において、前記第1領域で反射されさらに前記第2面で反射された前記光束が照射される第2領域の前記第1光取り出し部に相当する部分以外の部分に設けられ、当該第2領域に入射した光束から枝光束を取り出す第2光取り出し部とを有する。【選択図】図2
Description
本発明は、光分岐素子、光分岐システムおよび測定装置に関する。
光を用いて物理量(物理状態)を測定する光センサーを複数配置した光センサーアレイが知られている。光センサーとして光ポンピング型の磁気センサーを用いた光センサーアレイは、例えば生体の心臓から生じる磁場を測定する心磁計や脳磁計に用いられる。光センサーアレイを動作させるには、光源からの光を分岐させ、各光センサーに光を入射する必要がある。例えば、特許文献1は、偏光ビームスプリッター(PBS)を複数配置して、レーザー光を多数に分岐する技術を開示している。
偏光ビームスプリッターの透過率(または反射率)は、一般的に数%程度のバラツキを有する。そのため、複数の偏光ビームスプリッターを繰り返し透過した光は、累積した透過率誤差により、分岐した光の光量を均一にすることは困難である。
これに対し本発明は、分岐した光の光量をより均一にする技術を提供する。
本発明は、第1面と、前記第1面と対向する第2面と、前記第1面において光束が入射する第1領域に設けられ、当該第1領域に入射した光束から枝光束を取り出す第1光取り出し部と、前記第1面において、前記第1領域で反射されさらに前記第2面で反射された前記光束が照射される第2領域の前記第1光取り出し部に相当する部分以外の部分に設けられ、当該第2領域に入射した光束から枝光束を取り出す第2光取り出し部とを有する光分岐素子を提供する。
この光分岐素子によれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)することができる。
この光分岐素子によれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)することができる。
この光分岐素子は、前記第1光取り出し部および前記第2光取り出し部を含む3つ以上の光取り出し部を有してもよい。
この光分岐素子によれば、より均一な3つ以上の枝光束を分岐することができる。
この光分岐素子によれば、より均一な3つ以上の枝光束を分岐することができる。
前記3つ以上の光取り出し部は、所定の周期で等間隔に配置されていてもよい。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を分岐することができる。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を分岐することができる。
前記枝光束の本数N、前記第1面で反射された前記光束が前記第2面で反射され再び前記第1面に入射する周期M、および前記第1光取り出し部と前記2光取り出し部の間隔Pが、M=Nの場合、PとMは互いに素であってもよい。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を欠損無く分岐することができる。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を欠損無く分岐することができる。
前記枝光束の本数N、前記第1面で反射された前記光束が前記第2面で反射され再び前記第1面に入射する周期M、および前記第1光取り出し部と前記2光取り出し部の間隔Pが、M>Nの場合、P=1またはP=M+1であってもよい。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を欠損無く分岐することができる。
この光分岐素子によれば、より均一な、3つ以上の等間隔で配置された枝光束を欠損無く分岐することができる。
前記3つ以上の光取り出し部は、前記第1面において2方向に配置されていてもよい。
この光分岐素子によれば、より均一な、2次元的に配置された枝光束を分岐することができる。
この光分岐素子によれば、より均一な、2次元的に配置された枝光束を分岐することができる。
また、本発明は、前記光束を出力する光源と、上記の光分岐素子とを有する光分岐システムを提供する。
この光分岐システムによれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)することができる。
この光分岐システムによれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)することができる。
さらに、本発明は、前記光束を出力する光源と、上記の光分岐素子と、前記光分岐素子から取り出された光を用いて物理量を計測する光センサーが複数配置された光センサーアレイとを有する測定装置を提供する。
この測定装置によれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)された枝光束を用いて測定をすることができる。
この測定装置によれば、透過/反射型のプリズムや回折格子などの光分岐素子を並べて順次分岐する方法と比較して、より均一な枝光束を安定して分岐(分離)された枝光束を用いて測定をすることができる。
図1は、一実施形態に係るセンサーアレイシステム1の概要を示す図である。センサーアレイシステム1は、光源10と、光分岐素子20と、センサーアレイ30とを有する。なお、センサーアレイシステムのうち、光源10および光分岐素子20により構成される部分を光分岐システムという。光源10は、光束を出力する装置である。ここで、光束は複数の光線の束であり、高速に含まれる光線の一つ一つを枝光束という。光源10は、例えば半導体レーザーダイオードおよびビームホモジナイザーを含む。一般にレーザー光の強度はガウス分布を持つので、強度分布を均一化させるためにビームホモジナイザーを用いている。なお、出力されるレーザー光の強度分布が十分に均一である場合には、ビームホモジナイザーは省略されてもよい。
センサーアレイ30は、複数のセンサー31を含む。センサー31は、光を用いて物理量を測定する光センサーである。センサー31は、例えば、透過する光の偏光を、磁場に応じて回転させる素子である。センサー31を透過した光の偏光の回転角を測定する素子(図示略)を用いれば、センサー31における磁場を測定することができる。センサー31は、例えば、内部にアルカリ金属原子(例えば、カリウム、ルビジウム、またはセシウム)のガスが封入されたガスセルである。ガスセルは、光を透過する材料、例えば石英ガラスまたはホウ珪酸ガラスで形成される。センサーアレイ30において、複数のセンサー31は、マトリクス状に配置されている。すなわち、複数のセンサー31は、第1方向と、第1方向に直交する第2方向とに沿って2次元的に配置されている。複数のセンサー31は第1方向および第2方向のそれぞれにおいて等間隔で配置されている。
図2は、センサーアレイシステム1のA−A断面を示す図である。光分岐素子20は、光源10から出力された光束を分岐させ、複数の枝光束を出力する装置である。光分岐素子20は、複数のセンサー31の各々に対し、1つの枝光束を出力する。
光分岐素子20は、基板21を含む。基板21は、光束を透過する材料、例えば石英ガラスまたはホウ珪酸ガラスで形成されている。基板21は板状の形をしており、対向する2つの面(図2の例では面211および面212)を有する平行平板である。面211および面212においては、全反射をさせるため、例えば金属薄膜が設けられている。光分岐素子20に光束が入射されると、光束は面211および面212で繰り返し全反射されながら、図2の左から右まで伝搬する。
面211には、入射された光束から枝光束を取り出すための光取り出し部(光取り出し窓)が設けられている。複数の光取り出し部は、所定の周期で等間隔に配置されている。図2においては、4つの光取り出し部(光取り出し部2111〜2114)が図示されている。光取り出し部は、例えば、上記の金属薄膜に設けられた窓(開口)とその窓に設けられたプリズムの組み合わせ、または金属薄膜に形成された回折格子である。用いられるプリズムは、入射角が臨界角以下の全反射しない平面を持つ三角プリズムである。このプリズムは基板21とは別に製造され、基板21に貼り付けられてもよいし、基板21を切削加工や研磨加工することにより形成されてもよい。また、用いられる回折格子は、金属薄膜に形成された矩形の窓に形成されるレリーフ型の回折格子である。この場合、出射角は回折格子の周期により決定される。
また、光分岐素子20は、光源10から出力された光束を内部に入射させるための三角プリズム22を有する。光源10から出力された光束Ω0は、三角プリズム22を介して基板21の内部に入射する。ここでは説明のため、光束Ω0を複数の実線で表している。これら複数の実線は、各々、光取り出し部で分岐(分割)される枝光束の中心を表している。
面211のうち最初に光束Ω0が入射する領域A1において、光束Ω0のうち最初の光取り出し部(光取り出し部2111)に入射した光束が透過して枝光束β1として出力され、残りは全反射する。なお、基板21内を伝搬する光束を、枝光束と区別する意味で「本光束」という。領域A1で反射した光束を本光束Ω1という。領域A1で反射され、さらに面212で反射された本光束Ω1が入射する領域A2において、本光束Ω1のうち2番目の光取り出し部(光取り出し部2112)に入射した光束が透過して枝光束β2として出力され、残りは全反射する。領域A2で反射した光束を本光束Ω2と表す。以下同様に、領域Aiにおいて、入射した本光束Ωi-1は、i番目の光取り出し部に入射した光束が透過して枝光束βiとして出力され、残りは本光束Ωiとして全反射する(iは自然数)。
ここで、光取り出し部2111と光取り出し部2112との関係について検討すると、光取り出し部2112は、面211において、領域A1で反射されさらに面212で反射された本光束Ω1が照射される領域A2のうち、光取り出し部2111に相当する部分以外の部分に設けられている。「光取り出し部2111に相当する部分」とは、領域A2を領域A1とを重ね合わせたときに、光取り出し部2111と重なる部分をいう。光取り出し部2112は、領域A2に入射した本光束Ω1から枝光束β2を取り出す。
面211上に光取り出し部を形成するパターンをより詳細に説明するため、以下のパラメーターN、M、およびPを導入する。
N:光源10から出力される本光束に含まれる枝光束の数。
M:本光束が面211に入射する周期。すなわち、本光束の間隔。
P:枝光束が出力される周期。すなわち、隣り合う枝光束の間隔。
なお、パラメーターMおよびPは、枝光束の幅dを単位とする。通常、幅dは光取り出し部の幅と等しい。また、N、M、およびPはいずれも自然数である。本光束は繰り返し面211に入射するが、このとき本光束同士が重なることは許されない、すなわち、本光束Ωi-1と本光束Ωiとが重なることは許されないので、パラメーターMおよびNは、M≧Nを満たす。
N:光源10から出力される本光束に含まれる枝光束の数。
M:本光束が面211に入射する周期。すなわち、本光束の間隔。
P:枝光束が出力される周期。すなわち、隣り合う枝光束の間隔。
なお、パラメーターMおよびPは、枝光束の幅dを単位とする。通常、幅dは光取り出し部の幅と等しい。また、N、M、およびPはいずれも自然数である。本光束は繰り返し面211に入射するが、このとき本光束同士が重なることは許されない、すなわち、本光束Ωi-1と本光束Ωiとが重なることは許されないので、パラメーターMおよびNは、M≧Nを満たす。
図2は、特定の(N,M,P)の組み合わせの例を示している。ここで、これ以外の(N,M,P)の値の組み合わせによって「等間隔で並んだ複数の枝光束を得る」条件を探索するため、いくつかの(N,M,P)の値の組み合わせにおいて、枝光束の出射パターンを調査した。
図3A〜Cは、M=8の場合において、NとPを変化させた例を示している。Nは、8、9、または10とし、Pは1から13まで変化させた。図中、右方向が光の伝搬方向で、各セルは面211上の位置(単位は幅d)を表している。図において、○は枝光束が出射されるべき位置を、ハッチングは光束が入射しない位置を、白抜きは光束が入射する位置を表している。したがって、○とハッチングが重なる位置では、枝光束が出射されるべきであるにもかかわらず本光束が入射しない位置を示している。このような位置が存在する場合、「等間隔で並んだ複数の枝光束を得る」ことができない。したがって、このような(N,M,P)の組に対しては、評価欄に「NG」と記載した。評価欄が空欄の(N,M,P)の組によれば、「等間隔で並んだ複数の枝光束を得る」ことができる。
図4A〜Cおよび図5A〜Cは、それぞれ、M=9および10の場合の調査結果を示している。図における○、ハッチング、および白抜きの意味は図3と同じである。図3、4、および5の結果から、「等間隔で並んだ複数の枝光束を得る」ためには、パラメーターN、M、およびPは、以下の条件を満たす必要がある。
(1)M=Nの場合、PとMは互いに素である(1以外の公約数を持たない)。
(2)M>Nの場合、P=1またはP=M+1である。
(1)M=Nの場合、PとMは互いに素である(1以外の公約数を持たない)。
(2)M>Nの場合、P=1またはP=M+1である。
また、面211および面212に対する本光束の入射角をθとすると、基板21の厚さTは次式(1)で表される。
なお、面211において、光取り出し部は2次元的に配置されている。すなわち、光取り出し部は、センサー31が配置されている第1方向および第2方向に沿って配置されている。また、センサー31に1つの枝光束が入射するように、光取り出し部はセンサー31と同数、同じ位置関係で配置されている。例えば、センサーアレイ30が8行8列のセンサー31で構成されている場合、光分岐素子20は8×8=64個の光取り出し部を有し、これらは8行8列に配置されている。なお、光分岐素子において、光取り出し部は1次元的に、すなわち1方向に沿って配置されてもよい。光取り出し部が1方向に配置された光分岐素子を「1次元光分岐素子」といい、光取り出し部が2方向に配置された光分岐素子を「2次元光分岐素子」という。
図6は、光分岐素子20に光束を導く構成を例示する図である。この例では、1次元光分岐素子40およびミラーアレイ60が用いられる。光分岐素子20は1次元の光分岐素子をn個並べた構成を有しており、n×n個の光取り出し部を有する。光源10から出力された光束は、光分岐素子40によりn個の光束に分岐する。ミラーアレイ60は、光分岐素子40から出射された光束の進行方向を変更する。ここでは光分岐素子40の基板(平行平板)の長手方向と垂直になるように(すなわち、センサーアレイ30におけるセンサーの配列方向(第1方向および第2方向のいずれか)と平行になるように)枝光束の進行方向を変換する。ミラーアレイ60は、複数のプリズムを貼り合わせたものであってもよいし、平板に形成された複数のミラーを等間隔で配置したものであってもよい。これらの光束が光分岐素子20に入射され、それぞれn個の光束に分岐される。なお、図6においては図面を簡略化するため、複数の枝光束を含む本光束は単一の線で示している。
図7は、一実施形態に係る測定装置2の構成を示す図である。測定装置2は、ポンピング光およびプローブ光を用いたいわゆる2ビームの光ポンピング型の磁気測定装置である。測定装置2は、センサーアレイシステム1に加え、4つの1次元光分岐素子50、プリズムミラー70、および複数の偏光計90を有する。この例では、各セルに4方向(紙面の上下左右方向)からポンピング光が入射される。なお図7において、光源10およびミラーアレイ60の図示を省略している。
1次元光分岐素子50は、センサーアレイ30にポンピング光を入射するための光分岐素子である。4方向からポンピング光を入射するため、4つの1次元光分岐素子50が用いられる。4方向からのポンピング光の照射のため、4つの光源(いずれも図示略)が用いられる。この光源は、光源10と同様に、半導体レーザーダイオードおよびビームホモジナイザーを含む。光源から出力された光束は、光ファイバーを介して各1次元光分岐素子50に入射する。光ファイバーとしては、例えば、シングルモードファイバーまたは偏波保持ファイバーが用いられる。なお、光ファイバー端部から出力される光束が拡散光である場合は、コリメートレンズを用いて光束をコリメートしてもよい。なお、図7においては図面を簡略化するため、複数の枝光束を含む本光束は単一の線で示している。
各1次元光分岐素子50から出射された光束の進行方向は、ミラーアレイ(図示略)により変更される。ここでは1次元光分岐素子50の基板(平行平板)の長手方向と垂直になるように(すなわち、センサーアレイ30におけるセンサーの配列方向(第1方向および第2方向のいずれか)と平行になるように)枝光束の進行方向が変換される。なお、このミラーアレイについては、図6で説明したミラーアレイ60と同様の構造を有している。
図8は、測定装置2のB−B断面を示す図である。光分岐素子20は既に説明したように、光源10から出力される本光束をn×n個の枝光束に分岐する。これらの枝光束は、それぞれプローブ光として用いられる。この例で、各枝光束は直線偏光である。偏波面の方向および偏波消光比を厳密に制御したい場合は、センサーアレイ30との間に偏光板を挿入してもよい。各センサー31内のアルカリ金属原子はポンピングされ励起状態になる。この原子は、枝光束の偏光状態に応じてスピン偏極し、そこで印加されている磁場に反応し、さらに枝光束の光の状態を変化させる。その結果、枝光束は線形二色性などの光学活性作用を受ける。
プリズムミラー70は、センサー31(ガスセル)を透過した枝光束(プローブ光)を反射させる。ここでは入射光と反射光とが完全に重ならないように、入射角が0°からわずかにずれている。反射した枝光束は、再びガスセルを透過しながらアルカリ金属原子を光ポンピングし、磁場の作用から自らも光学活性の作用を受ける。プリズムミラー70で反射した枝光束は、二次元光分岐素子を透過する。
偏向プリズム80は、光分岐素子20を透過した枝光束の進行方向を偏光計90の方向に偏光する。なお、偏向プリズム80の代わりにミラーが用いられてもよい。
偏光計90は、偏向プリズム80を透過した枝光束の偏波面の方位(回転角)を検出する。ガスセルで線形二色性などの光学活性作用を受けた直線偏光は、結果的に偏波面の回転と同等の作用を受けるため、偏波面方位から磁場強度を計測することができる。
なお、光分岐素子20に対し、2以上の方向から光束が入射されてもよい。例えば、図8において、光源10と反対側(光源10を左に見たとき、基板21の右側)から光束が入射されてもよい。この場合、光分岐素子20には、各光源に対応する位置に光取り出し部が設けられる。
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。以下、変形例をいくつか説明する。以下の変形例のうち2つ以上のものが組み合わせて用いられてもよい。
図7では、4方向からポンピング光が入射される例を説明したが、ポンピング方向は、3方向以下の方向から入射されてもよい。また、図7では、2ビームの光ポンピング型の磁気測定装置の例を説明したが、1つの光束がポンピング光とプローブ光との機能を兼ねる1ビームの光ポンピング型の磁気測定装置にセンサーアレイシステム1が用いられてもよい。
測定装置2は磁気測定装置に限定されない。光を用いて物理量の空間分布を測定するものであれば、どのような装置であってもよい。測定装置2は、例えば、板状部材の歪み、偏光フィルムの偏波消光比や吸収率分布、または気体の屈折率等の空間分布を測定する装置であってもよい。
実施形態において、光分岐素子20は3つ以上の枝光束を出射する例(すなわち入射した本光束を3つ以上の枝光束に分岐する例)を説明したが、光分岐素子は入射した本光束を2つの枝光束に分岐するものであってもよい。この場合、光取り出し部は、図3〜5から導かれた条件(1)および(2)を満たしていなくてもよい。
1…センサーアレイシステム、2…測定装置、10…光源、20…光分岐素子、21…基板、30…センサーアレイ、31…センサー、40…光分岐素子、50…1次元光分岐素子、60…ミラーアレイ、70…プリズムミラー、80…偏向プリズム、90…偏光計、211…面、212…面、2111…光取り出し部、2112…光取り出し部
Claims (8)
- 第1面と、
前記第1面と対向する第2面と、
前記第1面において光束が入射する第1領域に設けられ、当該第1領域に入射した光束から枝光束を取り出す第1光取り出し部と、
前記第1面において、前記第1領域で反射されさらに前記第2面で反射された前記光束が照射される第2領域の前記第1光取り出し部に相当する部分以外の部分に設けられ、当該第2領域に入射した光束から枝光束を取り出す第2光取り出し部と
を有する光分岐素子。 - 前記第1光取り出し部および前記第2光取り出し部を含む3つ以上の光取り出し部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の光分岐素子。 - 前記3つ以上の光取り出し部は、所定の周期で等間隔に配置されている
ことを特徴とする請求項2に記載の光分岐素子。 - 前記枝光束の本数N、前記第1面で反射された前記光束が前記第2面で反射され再び前記第1面に入射する周期M、および前記第1光取り出し部と前記2光取り出し部の間隔Pが、
M=Nの場合、PとMは互いに素である
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光分岐素子。 - 前記枝光束の本数N、前記第1面で反射された前記光束が前記第2面で反射され再び前記第1面に入射する周期M、および前記第1光取り出し部と前記2光取り出し部の間隔Pが、
M>Nの場合、P=1またはP=M+1である
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の光分岐素子。 - 前記3つ以上の光取り出し部は、前記第1面において2方向に配置されている
ことを特徴とする請求項2または3に記載の光分岐素子。 - 前記光束を出力する光源と、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光分岐素子と
を有する光分岐システム。 - 前記光束を出力する光源と、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光分岐素子と、
前記光分岐素子から取り出された光を用いて物理量を計測する光センサーが複数配置された光センサーアレイと
を有する測定装置。
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---|---|---|---|
JP2013191610A JP2015059743A (ja) | 2013-09-17 | 2013-09-17 | 光分岐素子、光分岐システムおよび測定装置 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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JP2013191610A Pending JP2015059743A (ja) | 2013-09-17 | 2013-09-17 | 光分岐素子、光分岐システムおよび測定装置 |
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