JP2015056247A - Radiation generation device and radiographic device using the same - Google Patents

Radiation generation device and radiographic device using the same Download PDF

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義勇 鈴木
Yoshio Suzuki
義勇 鈴木
山▲崎▼ 康二
Koji Yamazaki
康二 山▲崎▼
小野 治人
Haruto Ono
治人 小野
角田 浩一
Koichi Tsunoda
浩一 角田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress occurrence of discharge due to a mismatch between a potential distribution ascribable to a radiation generation tube and a potential distribution ascribable to a step-up circuit substrate, and to achieve miniaturization of a radiation generation device.SOLUTION: A radiation generation device includes: a radiation generation tube 6 that includes an anode 2 having a target 5, a cathode 1 having an electron emission source 4, and an insulation tube 3 connected with the anode and the cathode; and a drive circuit substrate 31 obtained by mounting, on a substrate, an anode terminal 43 electrically connected with the anode, a cathode terminal 41 electrically connected with the cathode, and a step-up circuit, wherein the anode is a transmission-type target and constitutes an end window of the radiation generation tube, the anode terminal and the cathode terminal are positioned apart by a prescribed distance on the substrate, the step-up circuit of the drive circuit substrate is constructed so that a potential increases as a distance from the cathode terminal increases, and a position of a midpoint 65 in a tube axis direction of the insulation tube substantially coincides with a centroid position of a midpoint potential of the drive circuit substrate.

Description

本発明は、医療機器および産業機器分野におけるX線撮影等に適応できる放射線発生装置と放射線撮影装置に関する。   The present invention relates to a radiation generating apparatus and a radiation imaging apparatus that can be applied to X-ray imaging and the like in the fields of medical equipment and industrial equipment.

一般に、放射線発生装置は放射線発生管内に設置された陰極と陽極との間に高電圧を印加することにより、陰極から放出される電子を陽極に照射し、X線等の放射線を発生させている。このような放射線発生装置では、装置の耐圧性能を確保するために、放射線発生管および駆動回路基板を絶縁性液体が充填された収納容器内に設置した構造がとられる。   In general, a radiation generator applies a high voltage between a cathode and an anode installed in a radiation generating tube to irradiate the anode with electrons emitted from the cathode and generate radiation such as X-rays. . In such a radiation generation apparatus, in order to ensure the pressure resistance performance of the apparatus, a structure in which the radiation generation tube and the drive circuit board are installed in a storage container filled with an insulating liquid is employed.

通常駆動回路基板と放射線発生管の陽極と陰極との間には70乃至150kV程度の管電圧が印加されている。そのため絶縁性液体で満たされた状態であっても電界が強い部分では、収納容器、陰極、陽極または他の収納物との間で放電が発生する場合があった、この収納容器内の放電が駆動回路基板の動作特性に変動をきたしたり、損傷に至る場合があった。これらの放電を防ぐために充分に収納容器、陰極、陽極または他の収納物との間の距離を離すことが必要であった。また放射線発生管には、漏洩放射線の遮蔽のために鉛やバリウム、タングステン等の重金属を外周遮蔽体として周囲を覆った構造となっていた。このような構造の場合、外周遮蔽体は、放射線発生管の陽極または陰極、駆動回路基板の陽極端子または陰極端子と、の間の絶縁距離を更に大きく確保する必要があった。   Usually, a tube voltage of about 70 to 150 kV is applied between the drive circuit board and the anode and cathode of the radiation generating tube. Therefore, even in a state filled with an insulating liquid, in a portion where the electric field is strong, a discharge may occur between the storage container, the cathode, the anode or other stored items. In some cases, the operating characteristics of the drive circuit board are changed or damaged. In order to prevent these discharges, it was necessary to keep a sufficient distance between the storage container, the cathode, the anode or other stored items. Further, the radiation generating tube has a structure in which a heavy metal such as lead, barium, or tungsten is used as an outer shield to cover the periphery in order to shield leakage radiation. In the case of such a structure, it is necessary for the outer peripheral shield to further secure an insulation distance between the anode or cathode of the radiation generating tube and the anode terminal or cathode terminal of the drive circuit board.

特許文献1には、反射型の放射線発生管を収納容器内に備えた小型の放射線発生装置が記載されており、収納容器と陽極との間に放熱部材を配置して放熱性を高めることにより、装置の長時間駆動を実現することが記載されている。特許文献1では、導電性の遮蔽体からなる収納容器の内側に絶縁板46を配置することにより、反射型の放射線管または駆動回路と収納容器との間の電気的絶縁を確保することが開示されている。   Patent Document 1 describes a small-sized radiation generating device provided with a reflection type radiation generating tube in a storage container. By disposing a heat radiating member between the storage container and the anode, the heat dissipation is improved. It is described that the device can be driven for a long time. In Patent Document 1, it is disclosed to secure electrical insulation between a reflective radiation tube or a drive circuit and a storage container by disposing an insulating plate 46 inside a storage container made of a conductive shield. Has been.

一方、特許文献2には、透過型のターゲットを端窓として備えた透過型放射線発生管を備え、絶縁油を充填した収納容器に、該透過型放射線発生管、駆動回路とが収納された透過型の放射線発生装置が開示されている。   On the other hand, Patent Document 2 includes a transmission radiation generating tube having a transmission target as an end window, and a transmission container in which the transmission radiation generating tube and a drive circuit are stored in a storage container filled with insulating oil. A type of radiation generator is disclosed.

特開2007−80568号公報JP 2007-80568 A 特開2013−055041号公報JP2013-055041A

本発明は、透過型ターゲットを端窓とする放射線発生管と駆動回路基板の相対配置を調整することにより、放射線発生管と駆動回路基板を接近させても放電が生じない構造を実現するものである。   The present invention realizes a structure in which no discharge occurs even when the radiation generator tube and the drive circuit board are brought close to each other by adjusting the relative arrangement of the radiation generator tube and the drive circuit board with the transmission target as an end window. is there.

上記特許文献1に係る図5に示す従来例のような反射型の放射線発生管96においては、ターゲット5から放出される放射線91が放射線取出し窓87以外の広範囲に放出されるため、鉛やタングステン、ビスマスなどの重金属元素を主成分として含有する外周遮蔽体81を設けられている。外周遮蔽体81は通常導電体でありリード線82により接地されている。そのため70乃至150kV程度の管電圧が印加されている陰極1と陽極2の少なくとも一方と外周遮蔽体81の距離によっては、放電が生じる可能性があった。よって絶縁を確保するためには充分に間隔を開けて配置するか、または陰極1、陽極2と遮蔽体81の間に絶縁部材83を設けて絶縁耐圧を確保する構造が一般的であった。更に外周遮蔽体81は、昇圧回路84との間において電界強度の高い領域が発生する可能性があるため、その間にも絶縁部材83を間に設ける必要があった。これらの構造物は、放射線発生管96と昇圧回路84と外周遮蔽体81とからなる放射線発生装置を小型化が制限されていた。   In the reflection-type radiation generating tube 96 as shown in FIG. 5 according to Patent Document 1 described above, the radiation 91 emitted from the target 5 is emitted over a wide range other than the radiation extraction window 87, so that lead or tungsten is used. A peripheral shield 81 containing a heavy metal element such as bismuth as a main component is provided. The outer shield 81 is usually a conductor and is grounded by a lead wire 82. Therefore, discharge may occur depending on the distance between the outer peripheral shield 81 and at least one of the cathode 1 and the anode 2 to which a tube voltage of about 70 to 150 kV is applied. Therefore, in order to ensure insulation, the structure which arrange | positions with sufficient space | interval, or provided the insulating member 83 between the cathode 1, the anode 2, and the shielding body 81, and ensure the withstand voltage was common. Furthermore, since there is a possibility that a region having a high electric field strength is generated between the outer peripheral shield 81 and the booster circuit 84, it is necessary to provide the insulating member 83 therebetween. These structures have been limited in reducing the size of the radiation generating device including the radiation generating tube 96, the booster circuit 84, and the outer shield 81.

これに対して、透過型の放射線発生管を用いた場合、図1に示すようにターゲット5をその内管部において保持する管状の遮蔽体7を設けることにより周囲への漏洩する放射線量を低減することが可能である。よってこのような構造の透過型放射線発生管においては、放射線発生管を取り囲む嵩高な遮蔽体を別途配置することが不要となるため放射線発生管と駆動回路基板からなるユニットを、反射型放射線発生管と比べてより小型・軽量化する可能性があった。しかしながら、容量分割される空間(絶縁管、絶縁性液体)における放射線発生管起因の電位分布と駆動回路基板起因の電位分布との不整合によっては放電が発生する場合があり、更なる小型化を実現するための障害となっていた。   On the other hand, when a transmission type radiation generating tube is used, the amount of radiation leaking to the surroundings is reduced by providing a tubular shield 7 that holds the target 5 in its inner tube as shown in FIG. Is possible. Therefore, in the transmission type radiation generating tube having such a structure, it is not necessary to separately arrange a bulky shield surrounding the radiation generating tube, so that a unit including the radiation generating tube and the drive circuit board is provided as a reflection type radiation generating tube. There was a possibility that it would be smaller and lighter than that. However, discharge may occur depending on the mismatch between the potential distribution caused by the radiation generator tube and the potential distribution caused by the drive circuit board in the space (capacitor-divided space (insulating tube, insulating liquid)). It was an obstacle to realize.

本発明では、上記の課題を解決するために、陽極と陰極との間に加速電圧が印加された放射線発生管を有し、回路基板内で前記回路基板の中央部から両端部にかけて、回路基板の中央部からの距離に応じて正電圧方向および負電圧方向に昇圧される昇圧回路を備えた放射線発生装置において、以下の手法により小型・軽量化を実現した。   In the present invention, in order to solve the above-described problem, the circuit board includes a radiation generating tube to which an acceleration voltage is applied between the anode and the cathode, and the circuit board extends from the center to both ends in the circuit board. In the radiation generator equipped with a booster circuit that boosts the voltage in the positive voltage direction and the negative voltage direction according to the distance from the center of the device, the following method is used to achieve a reduction in size and weight.

すなわち、本発明の放射線発生装置は、ターゲットを備えた陽極と、前記ターゲットに電子線を照射する電子放出源を備えた陰極と、前記陽極と前記陰極との間において前記陽極と前記陰極と接続された絶縁管と、からなる放射線発生管と、前記陽極と電気的に接続された陽極端子と、前記陰極と電気的に接続された陰極端子と、昇圧回路とが基板に実装された駆動回路基板と、前記放射線発生管と前記駆動回路基板とを収納する収納容器と、を備えた放射線発生装置であって、
前記陽極が透過型ターゲットであって、前記透過型ターゲットは前記放射線発生管の端窓を構成し、前記昇圧回路は、前記陰極端子と前記陽極端子との間において、前記陰極端子からの距離の増加に応じて電位が増加するように、前記基板上に配置されており、前記駆動回路基板は、前記陰極端子と前記昇圧回路と前記陽極端子とが、前記放射線発生管の管軸方向において前記陰極から前記陽極に向かう方向に沿って、この順で配列されるように、前記放射線発生管に対して並置されていることを特徴とする。
That is, the radiation generator of the present invention includes an anode provided with a target, a cathode provided with an electron emission source that irradiates the target with an electron beam, and the anode and the cathode connected between the anode and the cathode. A drive circuit in which a radiation generating tube comprising: an insulated tube; an anode terminal electrically connected to the anode; a cathode terminal electrically connected to the cathode; and a booster circuit mounted on a substrate A radiation generator comprising: a substrate; and a storage container for storing the radiation generator tube and the drive circuit substrate,
The anode is a transmissive target, the transmissive target constitutes an end window of the radiation generating tube, and the booster circuit has a distance from the cathode terminal between the cathode terminal and the anode terminal. The drive circuit board is disposed on the substrate so that the potential increases in accordance with the increase, and the cathode terminal, the booster circuit, and the anode terminal are arranged in the tube axis direction of the radiation generating tube. It is characterized by being juxtaposed with the radiation generating tube so as to be arranged in this order along the direction from the cathode toward the anode.

更に、本発明は、上記放射線発生装置と、前記放射線発生装置から放出され被検体を透過した放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線発生装置と前記放射線検出器とを統合制御するシステム制御装置と、を備えていることを特徴とする放射線撮影装置を提供する。   Furthermore, the present invention provides the radiation generator, a radiation detector that detects radiation emitted from the radiation generator and transmitted through the subject, and a system control device that integrally controls the radiation generator and the radiation detector. And a radiographic apparatus characterized by comprising:

本発明によれば、基板の一端の側に実装された陰極端子から他端の側に実装された陽極端子に向けて段階的に電位が昇圧される昇圧回路が実装された駆動回路基板と、管軸方向において陰極、絶縁管、陽極を備えた放射線発生管と、を備えた放射線発生装置において、駆動回路基板と放射線発生管との間の放電を抑制する効果が得られる。   According to the present invention, a drive circuit board on which a booster circuit in which the potential is stepped up stepwise from a cathode terminal mounted on one end side of the board toward an anode terminal mounted on the other end side, In a radiation generating device including a radiation generating tube including a cathode, an insulating tube, and an anode in the tube axis direction, an effect of suppressing discharge between the drive circuit board and the radiation generating tube can be obtained.

本発明を用いることにより、駆動回路基板と放射線発生管を近接させて配置することを可能とした。これにより放射線発生装置ユニットをより小型・軽量化することが可能になった。   By using the present invention, the drive circuit board and the radiation generating tube can be arranged close to each other. As a result, the radiation generator unit can be made smaller and lighter.

本発明の第一の実施形態、実施例を示す図である。It is a figure which shows 1st embodiment of this invention and an Example. 本発明の第一の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 1st Example of this invention. 本発明の第二の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd Example of this invention. 実施例における微小放電の発生頻度を示す図である。It is a figure which shows the generation frequency of the micro discharge in an Example. 比較例として、従来の実施形態を示す図である。It is a figure which shows conventional embodiment as a comparative example. 本発明の放射線撮影装置の説明図である。It is explanatory drawing of the radiography apparatus of this invention.

本発明の放射線発生装置の基本構成は、
1)ターゲットを備えた陽極と、前記ターゲットに電子線を照射する電子放出源を備えた陰極と、前記陽極と前記陰極との間において両極と接続された絶縁管とからなる放射線発生管;
2)前記陽極と電気的に接続された陽極端子と、前記陰極と電気的に接続された陰極端子と、昇圧回路とが基板に実装された駆動回路基板;
3)前記放射線発生管と前記駆動回路基板とを収納する収納容器;
であり、この基本構成からなる本発明の特徴を図1等に示される実施形態に沿って詳細に説明する。この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
The basic configuration of the radiation generator of the present invention is as follows:
1) A radiation generating tube comprising an anode provided with a target, a cathode provided with an electron emission source for irradiating the target with an electron beam, and an insulating tube connected to both electrodes between the anode and the cathode;
2) A drive circuit board in which an anode terminal electrically connected to the anode, a cathode terminal electrically connected to the cathode, and a booster circuit are mounted on the board;
3) A storage container for storing the radiation generating tube and the drive circuit board;
The features of the present invention having this basic configuration will be described in detail along the embodiment shown in FIG. The dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the component parts described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to them.

図1は本発明の第一の実施形態による放射線発生装置の構成を示す図である。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a radiation generating apparatus according to a first embodiment of the present invention.

図1の放射線発生装置は、放射線発生管6と、リード線42、44で放射線発生管6と接続された駆動回路基板31からなり、使用時は絶縁性液体内に配置されている。また、駆動回路基板31は、陰極端子41、昇圧回路、陽極端子43が放射線発生管6の管軸方向において陰極1から陽極2に向かう方向に沿って、この順で配列されるように放射線発生管6に対して並置されている。前記昇圧回路は、陰極端子41からの距離の増加に応じて電位が増加するように構成されており、駆動回路基板31の陽極端子43および陰極端子41が出力する陽極電位および陰極電位は放射線発生管6の陽極2及び陰極1の電位を規定する。絶縁性液体は、放射線発生管6及び駆動回路基板31の絶縁耐圧を確保するためと放射線発生時に加熱する放射線発生管6の冷却媒体としての役割を有するものである。絶縁性液体には電気絶縁油を用いるのが好ましく、鉱油、シリコーン油等が好適に用いられる。その他に使用可能な絶縁性液体としては、フッ素系電気絶縁液体が挙げられる。   The radiation generating apparatus in FIG. 1 includes a radiation generating tube 6 and a drive circuit board 31 connected to the radiation generating tube 6 by lead wires 42 and 44, and is disposed in an insulating liquid when in use. The drive circuit board 31 generates radiation so that the cathode terminal 41, the booster circuit, and the anode terminal 43 are arranged in this order along the direction from the cathode 1 to the anode 2 in the tube axis direction of the radiation generating tube 6. It is juxtaposed with respect to the tube 6. The booster circuit is configured such that the potential increases as the distance from the cathode terminal 41 increases. The anode potential and the cathode potential output from the anode terminal 43 and the cathode terminal 41 of the drive circuit substrate 31 are radiation generated. The potentials of the anode 2 and the cathode 1 of the tube 6 are defined. The insulating liquid has a role as a cooling medium for the radiation generating tube 6 that heats the radiation generating tube 6 and the drive circuit board 31 to ensure the withstand voltage and when the radiation is generated. As the insulating liquid, it is preferable to use an electric insulating oil, and mineral oil, silicone oil or the like is preferably used. Other insulating liquids that can be used include fluorine-based electrical insulating liquids.

収納容器10は、真鍮、ステンレス等の金属から構成され、容器内部に放射線発生管6、絶縁性液体を収納可能な大きさとなっている。収納容器10は、かかる収納の機能の他に、放射線発生管6または駆動回路基板31の支持、漏洩放射線の遮蔽、絶縁性液体を介した放熱、放射線装置の外周面の電位規定等の機能を発現するように構成される場合がある。   The storage container 10 is made of a metal such as brass or stainless steel, and has a size capable of storing the radiation generating tube 6 and the insulating liquid inside the container. The storage container 10 has functions such as supporting the radiation generating tube 6 or the drive circuit board 31, shielding leakage radiation, radiating heat through the insulating liquid, and regulating the potential of the outer peripheral surface of the radiation device in addition to the storage function. May be configured to express.

放射線発生管6の内部は真空に保たれており、陰極側の内部に電子放出源としての電子銃4が、陽極側の内部にターゲット5が設けられている。電子銃4から放出された電子は陽極と陰極間に印加されている±80乃至160kVの電界により加速されターゲット5に衝突し、放射線91が窓8を介して外部へ放射される。このターゲット5は、透過型ターゲットであって、反射型放射線発生管の場合とは異なり、放射線発生管6の端窓として構成されるものである。   The inside of the radiation generating tube 6 is kept in vacuum, and an electron gun 4 as an electron emission source is provided inside the cathode side, and a target 5 is provided inside the anode side. Electrons emitted from the electron gun 4 are accelerated by an electric field of ± 80 to 160 kV applied between the anode and the cathode, collide with the target 5, and radiation 91 is emitted to the outside through the window 8. The target 5 is a transmissive target, and is configured as an end window of the radiation generating tube 6, unlike the case of a reflective radiation generating tube.

さらに、本発明の主たる構成を図1に沿って説明する。   Furthermore, the main structure of this invention is demonstrated along FIG.

放射線発生管6の陰極1と陽極2における絶縁管3との電極との接合部分の境界を陰極側接合部64、陽極側接合部66、駆動回路基板31の両端に所定距離離間して設けられ、放射線発生管6に対して管電圧を出力する出力端子を陰極端子41、陽極端子43とする。   The boundary of the joint between the cathode 1 of the radiation generating tube 6 and the electrode of the insulating tube 3 in the anode 2 is provided at a predetermined distance away from both ends of the cathode side joint 64, the anode side joint 66, and the drive circuit board 31. The output terminals for outputting the tube voltage to the radiation generating tube 6 are referred to as a cathode terminal 41 and an anode terminal 43, respectively.

以下、駆動回路基板31上の放射線発生管6に対向する側に実装された配線、電気回路部品を含む回路網内の電位分布を同定し、陽極電位と陰極電位との中間電位となる領域の面積重心の位置を中点35と定義する。すなわち、中点35の電位は、陽極端子43が規定する電位を陽極電位Va、陰極端子41が規定する電位を陰極電位Vcとすると、これらの加法平均された電位(Va+Vc)/2となる。   Hereinafter, the potential distribution in the circuit network including the wiring and electric circuit components mounted on the side facing the radiation generating tube 6 on the drive circuit board 31 is identified, and the region of the intermediate potential between the anode potential and the cathode potential is identified. The position of the area centroid is defined as the midpoint 35. That is, the potential at the midpoint 35 is an additive averaged potential (Va + Vc) / 2 where the potential defined by the anode terminal 43 is the anode potential Va and the potential defined by the cathode terminal 41 is the cathode potential Vc.

また放射線発生管6において、陽極2と陰極1のそれぞれと、絶縁管3との駆動回路基板31に対向する側の境界をそれぞれ接合部分64、66とし、その間の絶縁管3外周面の管軸方向における距離をLとし、陽極・陰極間の駆動回路基板31側の表面上の長さの中間点を放射線発生管6の中間点65とした。   Further, in the radiation generating tube 6, the boundaries of the anode 2 and the cathode 1 and the insulating tube 3 on the side facing the drive circuit board 31 are respectively joined portions 64 and 66, and the tube axis on the outer peripheral surface of the insulating tube 3 therebetween. The distance in the direction was L, and the midpoint of the length on the surface of the drive circuit board 31 between the anode and the cathode was the midpoint 65 of the radiation generating tube 6.

このとき、駆動回路基板側の中点35の位置関係に関し、放射線発生管の陰極1と絶縁管3の境界の接合位置64からの距離68をMと定義する。   At this time, regarding the positional relationship of the midpoint 35 on the drive circuit board side, a distance 68 from the junction position 64 at the boundary between the cathode 1 of the radiation generating tube and the insulating tube 3 is defined as M.

このような構成で、駆動回路基板上の部品の配置などをずらして中点35の位置を変化させて、±40乃至80kVの管電圧を印加して所定時間保持して、微小放電に起因する陽極電流Iaの平均値に対する変動率ΔIa/Iaveが±10%の変動値を超える頻度を比較した。その結果、電流変動の頻度が最も少ないのは図2に示すように中点35と中間点65を一致させた状態であるM=L/2の付近であったが、図4に示すように、ある範囲においては両者の中点がずれて配置されていても微小放電に起因する電流変動の増加が少ないことが判明した。   With such a configuration, the position of the midpoint 35 is changed by shifting the arrangement of components on the drive circuit board, and a tube voltage of ± 40 to 80 kV is applied and held for a predetermined time, resulting in a minute discharge. The frequency with which the fluctuation rate ΔIa / Iave with respect to the average value of the anode current Ia exceeded the fluctuation value of ± 10% was compared. As a result, the frequency of the current fluctuation is the lowest in the vicinity of M = L / 2, which is a state where the midpoint 35 and the midpoint 65 coincide as shown in FIG. 2, but as shown in FIG. In a certain range, it has been found that even if the midpoints of both are shifted, the increase in current fluctuation due to the micro discharge is small.

図1に示すように中点35の位置を中間点65の位置から陽極方向へ移動させて実験を行った結果、
M≦1.44×L/2
の範囲を超えると急激に電流変動の頻度が増加することがわかった。
As a result of performing an experiment by moving the position of the midpoint 35 from the position of the intermediate point 65 toward the anode as shown in FIG.
M ≦ 1.44 × L / 2
It was found that the frequency of current fluctuations suddenly increased beyond this range.

次に中点35の位置を陰極方向へ移動させて同様の実験を行った時の駆動回路基板と放射線発生管の構成を図3に示す。本構成は、駆動回路基板上の構成部品の配置などを変更して中点35の位置を放射線発生管6の中間点65の位置から陰極側へずらした構成となっている。このような構成に置いて、中点35の位置を変化させながら電流変動の頻度を測定した結果、
0.56×L/2≦M
の範囲を超えると急激に電流変動の頻度が増すことが分かった。
Next, FIG. 3 shows the configuration of the drive circuit board and the radiation generating tube when a similar experiment is performed by moving the position of the midpoint 35 toward the cathode. In this configuration, the arrangement of the components on the drive circuit board is changed, and the position of the midpoint 35 is shifted from the position of the intermediate point 65 of the radiation generating tube 6 to the cathode side. As a result of measuring the frequency of current fluctuation while changing the position of the midpoint 35 in such a configuration,
0.56 × L / 2 ≦ M
It was found that the frequency of current fluctuations suddenly increased beyond this range.

よって上記の結果より本構成においては、駆動回路基板の中点35の位置を以下の範囲内に収めることで放電の頻度を有効に低減可能であることが分かった。
0.56×L/2≦M≦1.44×L/2
Therefore, it was found from the above results that in this configuration, the frequency of discharge can be effectively reduced by keeping the position of the midpoint 35 of the drive circuit board within the following range.
0.56 × L / 2 ≦ M ≦ 1.44 × L / 2

なお、絶縁管3の陽極2と陰極1のそれぞれから離間した位置に、陽極電位と陰極電位の中点電位に規定される中間電極を設け、この中間電極と駆動回路基板31の中間電位点が、接地電位に規定される共通電極に接続される構成とすることができる。この場合には、絶縁管の沿面の電位分布を安定化できるメリットがある。   An intermediate electrode defined by the midpoint potential of the anode potential and the cathode potential is provided at a position apart from each of the anode 2 and the cathode 1 of the insulating tube 3, and the intermediate potential point between the intermediate electrode and the drive circuit board 31 is Further, it can be configured to be connected to a common electrode defined by the ground potential. In this case, there is an advantage that the potential distribution along the surface of the insulating tube can be stabilized.

以下、各実施態様に共通の構成に関して図1を用いて説明する。   Hereinafter, a configuration common to each embodiment will be described with reference to FIG.

放射線発生管6には、ガラスやセラミクス材料等が用いられる。管内の真空度は通常10-4乃至10-8Pa程度に保持されている。放射線発生管6は、放射線を外部へ取り出すための開口部が設けてあり、ターゲット5の近傍で不要な放射線を遮るための後方遮蔽体7が設けてある。この後方遮蔽体7は、放射線発生管6の開口部に連通する通路を有しており、その通路にターゲット5の支持基板が接合されることにより内部が真空に密閉されている。また、放射線発生管6には不図示の排気管を設けても良い。排気管を設けた場合、例えば排気管を通じて内部を真空に排気した後、排気管の一部を封止することで放射線発生管6の内部を真空にすることができる。放射線発生管6の内部には真空度を保つために、不図示のゲッターを配置しても良い。 For the radiation generating tube 6, glass, ceramic material, or the like is used. The degree of vacuum in the tube is normally maintained at about 10 −4 to 10 −8 Pa. The radiation generating tube 6 is provided with an opening for extracting the radiation to the outside, and a rear shielding body 7 for shielding unnecessary radiation in the vicinity of the target 5. The rear shield 7 has a passage communicating with the opening of the radiation generating tube 6, and the support substrate of the target 5 is joined to the passage so that the inside is sealed in a vacuum. The radiation generating tube 6 may be provided with an exhaust pipe (not shown). When the exhaust pipe is provided, for example, after the inside is evacuated to vacuum through the exhaust pipe, the inside of the radiation generating pipe 6 can be evacuated by sealing a part of the exhaust pipe. In order to maintain the degree of vacuum inside the radiation generating tube 6, a getter (not shown) may be arranged.

電子銃4は、放射線発生管6の内部に開口部に臨んで配設されている。電子銃4にはタングステンフィラメントや、含浸型カソードのような熱陰極、またはカーボンナノチューブ等の冷陰極を用いることができる。電子銃4より放出された電子90は、ターゲット5に入射し、放射線91が発生する。ターゲット5の材料としては、タングステン、タンタル、モリブデン等が用いられる。   The electron gun 4 is disposed inside the radiation generating tube 6 so as to face the opening. The electron gun 4 can be a tungsten filament, a hot cathode such as an impregnated cathode, or a cold cathode such as a carbon nanotube. Electrons 90 emitted from the electron gun 4 enter the target 5 and generate radiation 91. As a material of the target 5, tungsten, tantalum, molybdenum or the like is used.

放射線発生管6には、不図示の引出し電極やレンズ電極を設けても良い。これらを設けた場合、引出し電極によって形成される電界によって電子銃4から電子が放出された電子はレンズ電極で収束され、ターゲット5に入射する。このとき、電子銃4とターゲット5間に印加される電圧は、放射線の使用用途によって異なるものの、概ね40乃至150kV程度である。   The radiation generating tube 6 may be provided with an extraction electrode and a lens electrode (not shown). When these are provided, the electrons emitted from the electron gun 4 by the electric field formed by the extraction electrode are converged by the lens electrode and incident on the target 5. At this time, the voltage applied between the electron gun 4 and the target 5 is approximately 40 to 150 kV although it varies depending on the intended use of radiation.

駆動回路基板31としては、半波倍電圧整流回路やコッククロフト・ウォルトン回路を用いることができる。コッククロフト・ウォルトン回路においては、外部のインバータ電源(不図示)からの交流電圧をトランス(不図示)で10乃至20kVに昇圧された電圧を駆動回路基板31の中央部へ入力される。この時入力された交流電圧は、駆動回路基板31の中央部から外側方向にむかって徐々に昇圧されるように電気部品と配線が実装されており、陽極側、陰極側で±20kV乃至±75kVの直流電圧として出力される。   As the drive circuit board 31, a half-wave voltage doubler rectifier circuit or a Cockcroft-Walton circuit can be used. In the Cockcroft-Walton circuit, a voltage obtained by boosting an AC voltage from an external inverter power supply (not shown) to 10 to 20 kV by a transformer (not shown) is input to the central portion of the drive circuit board 31. Electric components and wiring are mounted so that the AC voltage input at this time is gradually boosted from the center of the drive circuit board 31 toward the outside, and ± 20 kV to ± 75 kV on the anode side and the cathode side. Is output as a direct current voltage.

放射線発生管6と駆動回路基板31との間には、誘電体として絶縁油、絶縁性気体、絶縁性樹脂のみが存在し、外周遮蔽体金属や導電性部材は存在しない。   Between the radiation generating tube 6 and the drive circuit board 31, only insulating oil, insulating gas, and insulating resin are present as dielectrics, and there is no outer peripheral shielding metal or conductive member.

図6は、放射線撮影装置の実施形態の一例について説明する図である。システム制御装置102は、上記で示した放射線発生装置100と、放射線検出装置106とを連携制御する。管駆動部105は、駆動回路基板31を有し、システム制御装置102による制御の下に、放射線管6に各種の制御信号を出力する。制御信号により、放射線発生装置100から放出される放射線の放出状態が制御される。放射線発生装置100から放出された放射線は、被検体104を透過して放射線検出器108で検出される。放射線検出器108は、検出した放射線を画像信号に変換して信号処理部107に出力する。信号処理部107は、システム制御装置102による制御の下に、画像信号に所定の信号処理を施し、処理された画像信号をシステム制御装置102に出力する。システム制御装置102は、処理された画像信号に基いて、表示装置103に画像を表示させるための表示信号を表示装置103に出力する。表示装置103は、表示信号に基く画像を、被検体104の撮影画像としてスクリーンに表示する。すなわち、システム制御装置102は、放射線発生装置100を制御し、信号処理部107を介して放射線検出器108を制御することにより、放射線発生装置100と放射線検出器107とを統合制御するものである。なお、放射線の代表例はX線であり、工業製品の非破壊検査や人体や動物の病理診断に用いることができる。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an embodiment of a radiation imaging apparatus. The system control apparatus 102 controls the radiation generation apparatus 100 and the radiation detection apparatus 106 described above in a coordinated manner. The tube driving unit 105 includes a drive circuit board 31 and outputs various control signals to the radiation tube 6 under the control of the system control device 102. The emission state of the radiation emitted from the radiation generation apparatus 100 is controlled by the control signal. The radiation emitted from the radiation generating apparatus 100 passes through the subject 104 and is detected by the radiation detector 108. The radiation detector 108 converts the detected radiation into an image signal and outputs the image signal to the signal processing unit 107. The signal processing unit 107 performs predetermined signal processing on the image signal under the control of the system control device 102 and outputs the processed image signal to the system control device 102. The system control apparatus 102 outputs a display signal for displaying an image on the display apparatus 103 to the display apparatus 103 based on the processed image signal. The display device 103 displays an image based on the display signal on the screen as a captured image of the subject 104. That is, the system control apparatus 102 controls the radiation generation apparatus 100 and controls the radiation detector 108 via the signal processing unit 107, thereby integrally controlling the radiation generation apparatus 100 and the radiation detector 107. . A typical example of radiation is X-rays, which can be used for non-destructive inspection of industrial products and pathological diagnosis of human bodies and animals.

<実施例1>
図1を用いて第一の実施例を説明する。
<Example 1>
A first embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例において用いた放射線発生管6の主要部の寸法は、管直径:50mm、管の陰極1と陽極2間の絶縁管3との接合部64、66間の長さLは50mmであり、両電極間の絶縁管3にはアルミナセラミックスを用いている。陰極1はコバール合金、陽極側の電極2は、タングステン合金、コバール合金と銅を主要材料として構成されている。   The dimensions of the main part of the radiation generating tube 6 used in this example are as follows: the tube diameter: 50 mm, and the length L between the joints 64 and 66 of the insulating tube 3 between the cathode 1 and the anode 2 of the tube is 50 mm. The insulating tube 3 between the electrodes is made of alumina ceramics. The cathode 1 is composed of Kovar alloy, and the anode-side electrode 2 is composed of tungsten alloy, Kovar alloy and copper as main materials.

駆動回路基板31は、片側6段のコンデンサーとダイオードから構成されるコッククロフト回路であるが、電気的中点の位置を変化させるために正負の回路基板上で部品レイアウトを変更した。駆動回路基板31の全長は140mmであり、陰極端子41と陽極端子43間の長さは135mmとなるように構成した。   The drive circuit board 31 is a cockcroft circuit composed of a capacitor and a diode of six stages on one side, but the component layout is changed on the positive and negative circuit boards in order to change the position of the electrical middle point. The total length of the drive circuit board 31 was 140 mm, and the length between the cathode terminal 41 and the anode terminal 43 was set to 135 mm.

以上のような構成の放射線発生管6と駆動回路基板31の正負両電極間の電位分布の中点35、中間点65をM=36mmとなるように配した。駆動回路基板31上の陰極端子41、43の放射線発生管6側を結ぶ線を37としたとき、放射線発生管6管における近接線67との間隔70がG=12mmとして絶縁油中へ浸漬した。   The midpoint 35 and the midpoint 65 of the potential distribution between the radiation generating tube 6 configured as described above and the positive and negative electrodes of the drive circuit board 31 were arranged so that M = 36 mm. When the line connecting the cathode terminals 41 and 43 on the drive circuit board 31 to the radiation generating tube 6 side is 37, the distance 70 between the radiation generating tube 6 and the adjacent line 67 is set to G = 12 mm and immersed in insulating oil. .

このときM=1.44×L/2の関係となっている。   At this time, the relationship is M = 1.44 × L / 2.

この状態で駆動回路基板31の陽極と陰極に±50kVを発生させ、陰極端子41、陽極端子43からリード線42、44を通して放射線発生管6の両端の陰極1と陽極2へ管電圧を印加し、耐圧試験を行った結果、中点35と中間点65を一致させた配置である図2に示す場合と比べて微小放電起因と思われる電流変動の急激な増加はなかった。このとき、動作が安定で放電しなかった。   In this state, ± 50 kV is generated at the anode and the cathode of the drive circuit board 31, and a tube voltage is applied from the cathode terminal 41 and the anode terminal 43 to the cathode 1 and the anode 2 at both ends of the radiation generating tube 6 through the lead wires 42 and 44. As a result of the withstand voltage test, there was no sudden increase in current fluctuation that was thought to be caused by minute discharges as compared with the case shown in FIG. 2 in which the midpoint 35 and the midpoint 65 were aligned. At this time, the operation was stable and no discharge occurred.

比較として1.44×L/2<Mを超えてMの位置を大きくした結果、図4に示すように、微小放電発生頻度が急激に増加することを確認した。このときは、動作が不安定でまれに放電に至ることがあった。このため、この態様では、間隔70は少なくともG=24mmとすべきものとなった。   As a comparison, as a result of increasing the position of M beyond 1.44 × L / 2 <M, it was confirmed that the frequency of occurrence of minute discharges increased rapidly as shown in FIG. At this time, the operation was unstable and in some rare cases, discharge occurred. For this reason, in this embodiment, the interval 70 should be at least G = 24 mm.

<実施例2>
図3を用いて第二の実施例を説明する。
<Example 2>
A second embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例において用いた放射線発生管6の主要部の寸法は、実施例1と同じ構成とした。駆動回路基板31は、6段のコンデンサーとダイオードから構成されるコッククロフト回路であり、陰極端子41と陽極端子43間の長さも実施例1と同一であるが、部品の配置を変更し中点35の位置を陰極側へ移動させた構成である。本実施例においてはM=14mmとした。この時M=0.56×L/2の関係となっている。   The dimensions of the main part of the radiation generating tube 6 used in this example were the same as those in Example 1. The drive circuit board 31 is a cockcroft circuit composed of six stages of capacitors and diodes, and the length between the cathode terminal 41 and the anode terminal 43 is the same as that of the first embodiment. Is moved to the cathode side. In this embodiment, M = 14 mm. At this time, the relationship is M = 0.56 × L / 2.

この状態で絶縁油中へ浸漬し駆動回路基板の陽極と陰極に±50kVを発生させ、陰極端子41、陽極端子43からリード線42、44を通して放射線発生管6の両端の陰極1と陽極2へ管電圧を印加し、電流をモニターした結果、本発明の範囲において微小放電発生頻度の顕著な増加はなかった。   In this state, it is immersed in insulating oil to generate ± 50 kV at the anode and cathode of the drive circuit board, and from the cathode terminal 41 and anode terminal 43 to the cathode 1 and anode 2 at both ends of the radiation generating tube 6 through lead wires 42 and 44. As a result of applying the tube voltage and monitoring the current, there was no significant increase in the frequency of occurrence of microdischarges within the scope of the present invention.

比較としてM<0.56×L/2を超えてMの位置をずらした結果、図4に示すように、微小放電発生頻度が急激に増加することを確認した。この時は、動作が不安定でまれに放電に至ることがあった。このため、この態様では、間隔70は少なくともG=25mmとすべきものとなった。   As a comparison, as a result of shifting the position of M exceeding M <0.56 × L / 2, it was confirmed that the frequency of occurrence of minute discharges rapidly increased as shown in FIG. At this time, the operation was unstable, and in some rare cases, discharge occurred. For this reason, in this embodiment, the interval 70 should be at least G = 25 mm.

1:陰極、2:陽極、3:絶縁管、4:電子銃、5:ターゲット、6:放射線発生管、8:窓、10:収納容器、31:駆動回路基板、35:中点位置、41:陰極端子、42:リード線、43:陽極端子、44:リード線、64:接合部の位置(陰極側接合部)、65:放射線発生管の中間点、66:接合部の位置(陽極側接合部)、68:中点位置から接合部までの距離、70:間隔(G)、81:外周遮蔽体、82:グランド接地線、83:絶縁部材、84:昇圧回路、85:電子銃、87:放射線取出し窓、86:反射型ターゲット、90:電子線、91:放射線、96:反射型の放射線発生管   1: cathode, 2: anode, 3: insulating tube, 4: electron gun, 5: target, 6: radiation generating tube, 8: window, 10: storage container, 31: drive circuit board, 35: midpoint position, 41 : Cathode terminal, 42: lead wire, 43: anode terminal, 44: lead wire, 64: position of junction (cathode side junction), 65: midpoint of radiation generating tube, 66: position of junction (anode side) (Joint part), 68: distance from the midpoint position to the joint part, 70: interval (G), 81: outer peripheral shield, 82: ground ground wire, 83: insulating member, 84: booster circuit, 85: electron gun, 87: Radiation extraction window, 86: Reflective target, 90: Electron beam, 91: Radiation, 96: Reflective radiation generator tube

Claims (9)

ターゲットを備えた陽極と、前記ターゲットに電子線を照射する電子放出源を備えた陰極と、前記陽極と前記陰極との間において前記陽極と前記陰極と接続された絶縁管と、からなる放射線発生管と、
前記陽極と電気的に接続された陽極端子と、前記陰極と電気的に接続された陰極端子と、昇圧回路とが基板に実装された駆動回路基板と、
前記放射線発生管と前記駆動回路基板とを収納する収納容器と、
を備えた放射線発生装置であって、
前記陽極が透過型ターゲットであって、前記透過型ターゲットは前記放射線発生管の端窓を構成し、
前記昇圧回路は、前記陰極端子と前記陽極端子との間において、前記陰極端子からの距離の増加に応じて電位が増加するように、前記基板上に配置されており、
前記駆動回路基板は、前記陰極端子と前記昇圧回路と前記陽極端子とが、前記放射線発生管の管軸方向において前記陰極から前記陽極に向かう方向に沿って、この順で配列されるように、前記放射線発生管に対して並置されていることを特徴とする放射線発生装置。
Radiation generation comprising an anode having a target, a cathode having an electron emission source for irradiating the target with an electron beam, and an insulating tube connected to the anode and the cathode between the anode and the cathode Tube,
An anode terminal electrically connected to the anode, a cathode terminal electrically connected to the cathode, and a drive circuit board on which a booster circuit is mounted on a substrate;
A storage container for storing the radiation generating tube and the drive circuit board;
A radiation generator comprising:
The anode is a transmission target, and the transmission target constitutes an end window of the radiation generating tube;
The booster circuit is disposed on the substrate such that the potential increases with an increase in the distance from the cathode terminal between the cathode terminal and the anode terminal,
The drive circuit board is arranged such that the cathode terminal, the booster circuit, and the anode terminal are arranged in this order along the direction from the cathode to the anode in the tube axis direction of the radiation generating tube. A radiation generating apparatus, wherein the radiation generating apparatus is juxtaposed with the radiation generating tube.
前記絶縁管の外周面において前記絶縁管の管軸方向における中間点の位置は、前記駆動回路基板の中点電位の重心位置と実質的に一致していることを特徴とする請求項1に記載の放射線発生装置。   The position of the intermediate point in the tube axis direction of the insulating tube on the outer peripheral surface of the insulating tube substantially coincides with the position of the center of gravity of the midpoint potential of the drive circuit board. Radiation generator. 前記中間点は、前記陽極と前記絶縁管との陽極側接合部と、前記陰極と前記絶縁管との陰極側接合部との距離における中間の位置であることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線発生装置。   The intermediate point is an intermediate position in the distance between the anode side junction between the anode and the insulating tube and the cathode side junction between the cathode and the insulating tube. The radiation generator described in 1. 前記中点電位は、前記陽極端子が規定する陽極電位Vaと、前記陰極端子が規定する陰極電位Vcとの平均電位(Va+Vc)/2であり、
前記重心位置は、前記駆動回路基板上において前記中点電位に規定された領域の重心の位置であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線発生装置。
The midpoint potential is an average potential (Va + Vc) / 2 between the anode potential Va defined by the anode terminal and the cathode potential Vc defined by the cathode terminal,
4. The radiation generating apparatus according to claim 1, wherein the center-of-gravity position is a position of a center of gravity of a region defined by the midpoint potential on the drive circuit board. 5.
前記中点電位の前記重心位置の、前記管軸方向における前記陰極側接合部からの距離をMとし、前記絶縁管の管軸方向における長さをLとしたとき、Mを0.56×L/2≦M≦1.44×L/2の範囲とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線発生装置。   When the distance from the cathode side junction in the tube axis direction of the center-of-gravity position of the midpoint potential is M and the length of the insulating tube in the tube axis direction is L, M is 0.56 × L. The radiation generator according to any one of claims 1 to 4, wherein a range of /2≦M≦1.44×L/2 is satisfied. 前記放射線発生管が、前記絶縁管の陽極と陰極のそれぞれから離間した位置に、陽極電位と陰極電位の中点電位に規定される中間電極を有し、この中間電極と前記駆動回路基板の中間電位点が共通電極に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線発生装置。   The radiation generating tube has an intermediate electrode defined by a midpoint potential of an anode potential and a cathode potential at a position separated from each of the anode and the cathode of the insulating tube, and an intermediate electrode between the intermediate electrode and the drive circuit board. The radiation generating apparatus according to claim 1, wherein the potential point is connected to the common electrode. 前記共通電極が接地電位に規定されることを特徴とする請求項6に記載の放射線発生装置。   The radiation generating apparatus according to claim 6, wherein the common electrode is regulated to a ground potential. 前記昇圧回路が、前記中点電位を基準とし正電圧を発生するコッククロフト・ウォルトン回路と、前記中点電位を基準とし負電圧を発生するコッククロフト・ウォルトン回路から構成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の放射線発生装置。   The boost circuit includes a Cockcroft-Walton circuit that generates a positive voltage based on the midpoint potential and a Cockcroft-Walton circuit that generates a negative voltage based on the midpoint potential. Item 8. The radiation generator according to any one of Items 1 to 7. 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の放射線発生装置と、前記放射線発生装置から放出され被検体を透過した放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線発生装置と前記放射線検出器とを統合制御するシステム制御装置と、を備えていることを特徴とする放射線撮影装置。   A radiation generator according to any one of claims 1 to 8, a radiation detector that detects radiation emitted from the radiation generator and transmitted through a subject, the radiation generator and the radiation detector. A radiation imaging apparatus comprising: a system control device that performs integrated control.
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