JP2015053215A - Organic electroluminescent display device and method for manufacturing the same - Google Patents

Organic electroluminescent display device and method for manufacturing the same Download PDF

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佐藤 敏浩
Toshihiro Sato
敏浩 佐藤
裕訓 豊田
Hirokuni Toyoda
裕訓 豊田
健 大河原
Takeshi Ogawara
健 大河原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent current leakage between pixels adjacent to each other.SOLUTION: An organic electroluminescent display device comprises: a plurality of pixel electrodes 18; an insulation layer 22 provided on a region between pixel electrodes 18 adjacent to each other so as to place on edges of each of pixel electrodes 18; an organic electroluminescent film 30 containing a common layer 32 continuously covering a plurality of pixel electrodes 18 and the insulation film 22; and a common electrode 38 provided on the organic electroluminescent film 30. The insulation film 22 has a recessed and protruded upper surface consisting of a plurality of recesses 24 and a plurality of protrusions 26. The common layer 32 has a recessed and protruded upper step part 34 where each protrusions 26 is placed, and a lower step part 36 where each recesses 24 is placed. The upper step part 34 and the lower step part 36 are arranged to be vertically sifted from each other, and at least parts of them in its thickness direction are discontinuous to partially thin the common layer 32, thereby its electric resistance is enhanced.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence display device and a manufacturing method thereof.

有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、有機膜を陽極と陰極で挟み込んだ構造を有している。通常、複数の有機膜が積層されており、その一層は発光層である。複数の画素に一色(例えば白色)の発光を得るためには、発光層にするための有機膜を全体的に連続するように設ける。あるいは、複数の画素に複数色の発光を得るためには、発光層にするための有機膜は画素ごとに分離されるが、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層又は電子輸送層などにするための有機膜は連続的に設ける。いずれの場合であっても、少なくとも1層の有機膜が隣同士の画素にわたって連続的に設けられる。   An organic electroluminescence display device has a structure in which an organic film is sandwiched between an anode and a cathode. Usually, a plurality of organic films are laminated, and one layer is a light emitting layer. In order to obtain light emission of one color (for example, white) in a plurality of pixels, an organic film for forming a light emitting layer is provided so as to be continuous as a whole. Alternatively, in order to obtain light emission of a plurality of colors in a plurality of pixels, an organic film for forming a light emitting layer is separated for each pixel, but a hole injection layer, an electron injection layer, a hole transport layer, or an electron transport layer For example, an organic film is continuously provided. In any case, at least one organic film is continuously provided over adjacent pixels.

特開2010−212177号公報JP 2010-212177 A 特開2006−140145号公報JP 2006-140145 A

高画質の表示装置では、画素の微細化によって、隣同士の画素が接近するようになってきた。そのため、連続する有機膜を伝わって、いずれかの画素の電極から隣の画素に電流がリークすることがあった。電流リークにより、隣の画素が発光してしまうという問題があった。   In a high-quality display device, adjacent pixels have come close to each other due to pixel miniaturization. Therefore, current may leak from the electrode of any pixel to the adjacent pixel through the continuous organic film. There is a problem in that adjacent pixels emit light due to current leakage.

特許文献1及び2には、隔壁(又は絶縁膜)の表面を粗くすることが開示されているが、その上に形成される有機膜についての説明がないので、電流リークの問題は解決されない。   Patent Documents 1 and 2 disclose that the surface of a partition wall (or insulating film) is roughened, but there is no description of an organic film formed thereon, so the problem of current leakage is not solved.

本発明は、隣同士の画素間での電流リークの防止を目的とする。   An object of the present invention is to prevent current leakage between adjacent pixels.

(1)本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、基板と、前記基板に設けられた複数の画素電極と、それぞれの前記画素電極の端部に載るように、隣同士の前記画素電極の間の領域に設けられた絶縁層と、前記複数の画素電極及び前記絶縁層を連続的に覆う共通層を含むように前記基板に設けられた有機エレクトロルミネッセンス膜と、前記有機エレクトロルミネッセンス膜の上に設けられた共通電極と、を有し、前記絶縁層は、複数の凹部及び複数の凸部からなる凹凸形状の上面を有し、前記共通層は、前記凹凸形状の各凸部に載る上段部と各凹部に載る下段部を有し、前記上段部と前記下段部は、相互に上下にずれて位置し、厚み方向の少なくとも一部同士が不連続になることで、前記共通層の厚みを部分的に薄くして電気抵抗を高くしていることを特徴とする。本発明によれば、隣同士の前記画素電極の間の領域の上方で、共通層の厚みが部分的に薄くなることで、電気抵抗が高くなっている。これにより、共通層を通って隣同士の画素間で電流がリークすることを防止できる。   (1) An organic electroluminescence display device according to the present invention includes a substrate, a plurality of pixel electrodes provided on the substrate, and adjacent pixel electrodes so as to be placed on end portions of the pixel electrodes. An organic electroluminescent film provided on the substrate so as to include an insulating layer provided in the region, a common layer continuously covering the plurality of pixel electrodes and the insulating layer, and an organic electroluminescent film on the organic electroluminescent film A common electrode provided, the insulating layer has a concavo-convex upper surface comprising a plurality of concave portions and a plurality of convex portions, and the common layer is an upper stage portion mounted on each convex portion of the concavo-convex shape And the lower step portion placed on each concave portion, the upper step portion and the lower step portion are shifted from each other up and down, and at least part of the thickness direction is discontinuous, thereby reducing the thickness of the common layer. Partially thin and power Characterized in that by increasing the resistance. According to the present invention, the electrical resistance is increased by partially reducing the thickness of the common layer above the region between the adjacent pixel electrodes. This can prevent current from leaking between adjacent pixels through the common layer.

(2)(1)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記上段部と前記下段部は、厚み方向の一部同士が連続していることを特徴としてもよい。   (2) In the organic electroluminescence display device described in (1), the upper stage part and the lower stage part may be characterized in that a part of the thickness direction is continuous.

(3)(1)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記上段部と前記下段部は、分離されていることを特徴としてもよい。   (3) In the organic electroluminescence display device described in (1), the upper stage part and the lower stage part may be separated.

(4)(1)から(3)のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記複数の凹部の底面は、1つの平面に沿って配列され、前記複数の凸部の上面は、他の1つの平面に沿って配列されていることを特徴としてもよい。   (4) In the organic electroluminescence display device according to any one of (1) to (3), the bottom surfaces of the plurality of recesses are arranged along one plane, and the top surfaces of the plurality of projections May be arranged along one other plane.

(5)(1)から(3)のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記複数の凹部の底面は、1つの凸曲面に沿って配列され、前記複数の凸部の上面は、他の1つの凸曲面に沿って配列されていることを特徴としてもよい。   (5) In the organic electroluminescence display device according to any one of (1) to (3), bottom surfaces of the plurality of concave portions are arranged along one convex curved surface, and the plurality of convex portions are arranged. The upper surface may be arranged along one other convex curved surface.

(6)(1)から(5)のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記複数の画素電極は、縦方向及び横方向に配列され、それぞれの前記画素電極の平面形状は、長軸と短軸を有して一方向に長くなっており、前記縦方向に隣同士の前記画素電極は、前記短軸に沿った短辺同士が隣り合い、前記横方向に隣同士の前記画素電極は、前記長軸に沿った長辺同士が隣り合い、前記絶縁層の前記複数の凹部及び前記複数の凸部は、隣り合う前記短辺の間の領域を避けて、隣り合う前記長辺の間の領域に形成されていることを特徴としてもよい。   (6) In the organic electroluminescence display device according to any one of (1) to (5), the plurality of pixel electrodes are arranged in a vertical direction and a horizontal direction, and a planar shape of each of the pixel electrodes Has a long axis and a short axis, and is long in one direction. The pixel electrodes adjacent to each other in the vertical direction are adjacent to each other in the short direction along the short axis, and are adjacent to each other in the horizontal direction. In the pixel electrode, long sides along the long axis are adjacent to each other, and the plurality of concave portions and the plurality of convex portions of the insulating layer are adjacent to each other while avoiding a region between the adjacent short sides. It may be formed in a region between the long sides.

(7)本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、複数の画素電極が設けられた基板を用意する工程と、それぞれの前記画素電極の端部に載るように、隣同士の前記画素電極の間の領域に、絶縁層を形成する工程と、前記複数の画素電極及び前記絶縁層を連続的に覆う共通層を含むように、前記基板に有機エレクトロルミネッセンス膜を形成する工程と、前記有機エレクトロルミネッセンス膜の上に共通電極を形成する工程と、を含み、前記絶縁層は、複数の凹部及び複数の凸部からなる凹凸形状の上面を有するように形成し、前記共通層は、前記凹凸形状の各凸部に載る上段部と各凹部に載る下段部を有するように形成し、前記上段部と前記下段部は、相互に上下にずれて位置し、厚み方向の少なくとも一部同士が不連続になることで、前記共通層の厚みを部分的に薄くして電気抵抗を高くしていることを特徴とする。本発明によれば、隣同士の前記画素電極の間の領域の上方で、共通層の厚みが部分的に薄くなることで、電気抵抗が高くなっている。これにより、共通層を通って隣同士の画素間で電流がリークすることを防止できる。   (7) The manufacturing method of the organic electroluminescence display device according to the present invention includes a step of preparing a substrate provided with a plurality of pixel electrodes, and the pixels adjacent to each other so as to be placed on end portions of the pixel electrodes. Forming an insulating layer in a region between the electrodes; forming an organic electroluminescence film on the substrate so as to include a common layer continuously covering the plurality of pixel electrodes and the insulating layer; Forming a common electrode on the organic electroluminescence film, wherein the insulating layer is formed to have a concavo-convex shape composed of a plurality of concave portions and a plurality of convex portions, and the common layer includes the common layer It is formed so as to have an upper step portion that is placed on each convex portion of the concavo-convex shape and a lower step portion that is placed on each concave portion, and the upper step portion and the lower step portion are positioned so as to be displaced from each other vertically, and at least a part of the thickness direction is between By it becomes continuous, characterized in that by increasing the electric resistance by reducing the thickness of the common layer partially. According to the present invention, the electrical resistance is increased by partially reducing the thickness of the common layer above the region between the adjacent pixel electrodes. This can prevent current from leaking between adjacent pixels through the common layer.

(8)(7)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記凹凸形状の前記上面を有する前記絶縁層を形成する工程は、絶縁材料を設ける工程と、ナノインプリントによって前記絶縁材料に前記凹凸形状を付ける工程と、を含むことを特徴としてもよい。   (8) In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to (7), the step of forming the insulating layer having the top surface of the concavo-convex shape includes a step of providing an insulating material, and a step of forming the insulating material by nanoimprinting. A step of applying the uneven shape.

(9)(8)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記凹凸形状の前記上面を有する前記絶縁層を形成する工程で、前記絶縁材料を前記複数の画素電極を覆うように設け、前記凹凸形状を付ける工程の後に、それぞれの前記画素電極の少なくとも中央部の上から、前記絶縁材料を部分的に除去することを特徴としてもよい。   (9) In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to (8), in the step of forming the insulating layer having the upper surface of the uneven shape, the insulating material is covered with the plurality of pixel electrodes. The insulating material may be partially removed from at least the central portion of each pixel electrode after the step of providing and forming the uneven shape.

(10)(9)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記絶縁材料の部分的な除去は、フォトリソグラフィ及びドライエッチングの少なくとも一方によって行うことを特徴としてもよい。   (10) In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device described in (9), the insulating material may be partially removed by at least one of photolithography and dry etching.

(11)(9)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記凹凸形状を付ける工程で、前記ナノインプリントによって、それぞれの前記画素電極の少なくとも前記中央部の上方で、前記絶縁材料を窪ませて厚みを薄くすることを特徴としてもよい。   (11) In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to (9), in the step of applying the uneven shape, the insulating material is formed at least above the central portion of each pixel electrode by the nanoimprint. It may be characterized in that it is recessed to reduce the thickness.

(12)(11)に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、前記絶縁材料の部分的な除去は、ドライエッチングによって行うことを特徴としてもよい。   (12) In the method of manufacturing an organic electroluminescence display device described in (11), the insulating material may be partially removed by dry etching.

本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の斜視図である。1 is a perspective view of an organic electroluminescence display device according to a first embodiment of the present invention. 図1に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置のII−II線断面の概略図である。It is the schematic of the II-II sectional view of the organic electroluminescent display apparatus shown in FIG. 複数の画素電極の配列を示す平面図である。It is a top view which shows the arrangement | sequence of several pixel electrodes. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 第2の実施形態の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の斜視図である。図2は、図1に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置のII−II線断面の概略図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an organic electroluminescence display device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram of a cross section taken along line II-II of the organic electroluminescence display device shown in FIG.

図1に示すように、有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、ガラスなどからなる光透過性の第1基板10を有する。第1基板10は、画像表示のための画像表示領域を有する。第1基板10には、画像を表示するための素子を駆動するための集積回路チップ12が搭載されている。第1基板10には、外部との電気的接続のために、フレキシブル配線基板14が接続されている。   As shown in FIG. 1, the organic electroluminescence display device has a light-transmitting first substrate 10 made of glass or the like. The first substrate 10 has an image display area for image display. An integrated circuit chip 12 for driving an element for displaying an image is mounted on the first substrate 10. A flexible wiring substrate 14 is connected to the first substrate 10 for electrical connection with the outside.

図2に示すように、第1基板10には回路層16が設けられている。回路層16は、図示しない配線、薄膜トランジスタ及び絶縁膜などを含む。第1基板10(図2の例では回路層16の上)には、複数の画素電極18が設けられている。画素電極18は陽極である。   As shown in FIG. 2, a circuit layer 16 is provided on the first substrate 10. The circuit layer 16 includes a wiring, a thin film transistor, an insulating film, and the like (not shown). A plurality of pixel electrodes 18 are provided on the first substrate 10 (on the circuit layer 16 in the example of FIG. 2). The pixel electrode 18 is an anode.

図3は、複数の画素電極18の配列を示す平面図である。複数の画素電極18は、縦方向及び横方向に配列されている。それぞれの画素電極18の平面形状は、長軸と短軸を有して一方向に長くなっている。縦方向に隣同士の画素電極18は、短軸に沿った短辺同士が隣り合う。横方向に隣同士の画素電極18は、長軸に沿った長辺同士が隣り合う。画素電極18は、コンタクト20で回路層16の図示しない配線に電気的に接続している。   FIG. 3 is a plan view showing the arrangement of the plurality of pixel electrodes 18. The plurality of pixel electrodes 18 are arranged in the vertical direction and the horizontal direction. The planar shape of each pixel electrode 18 has a long axis and a short axis and is long in one direction. The pixel electrodes 18 adjacent to each other in the vertical direction have adjacent short sides along the short axis. The pixel electrodes 18 adjacent to each other in the horizontal direction are adjacent to each other along the long axis. The pixel electrode 18 is electrically connected to a wiring (not shown) of the circuit layer 16 through a contact 20.

図2に示すように、それぞれの画素電極18の端部に載るように、隣同士の画素電極18の間の領域に絶縁層22が設けられている。絶縁層22は、それぞれの画素電極18の周縁部を囲むようになっている。言い換えると、絶縁層22は、画素電極18の中央部を露出させる開口22aを有する(図3参照)。   As shown in FIG. 2, an insulating layer 22 is provided in a region between adjacent pixel electrodes 18 so as to be placed on an end portion of each pixel electrode 18. The insulating layer 22 surrounds the peripheral edge of each pixel electrode 18. In other words, the insulating layer 22 has an opening 22a that exposes the central portion of the pixel electrode 18 (see FIG. 3).

絶縁層22は、複数の凹部24及び複数の凸部26からなる凹凸形状の上面を有する。凹凸形状は、凸曲面上に形成されている。したがって、複数の凹部24の底面は、1つの凸曲面に沿って配列され、複数の凸部26の上面は、他の1つの凸曲面に沿って配列される。絶縁層22の複数の凹部24及び複数の凸部26は、図3に示すように、隣り合う短辺の間の領域を避けて、隣り合う長辺の間の領域28に形成されている。   The insulating layer 22 has a concavo-convex upper surface composed of a plurality of concave portions 24 and a plurality of convex portions 26. The uneven shape is formed on a convex curved surface. Therefore, the bottom surfaces of the plurality of concave portions 24 are arranged along one convex curved surface, and the top surfaces of the plurality of convex portions 26 are arranged along one other convex curved surface. As shown in FIG. 3, the plurality of concave portions 24 and the plurality of convex portions 26 of the insulating layer 22 are formed in a region 28 between adjacent long sides, avoiding a region between adjacent short sides.

第1基板10には有機エレクトロルミネッセンス膜30が設けられている。有機エレクトロルミネッセンス膜30は、複数の画素電極18及び絶縁層22に載るようになっている。有機エレクトロルミネッセンス膜30は、図示しないが複数層からなり、少なくとも発光層を含み、さらに、電子輸送層、正孔輸送層、電子注入層及び正孔注入層のうち少なくとも一層を含む。発光層は、一色(例えば白色)の光のみを発するように構成されている。   An organic electroluminescence film 30 is provided on the first substrate 10. The organic electroluminescence film 30 is placed on the plurality of pixel electrodes 18 and the insulating layer 22. Although not shown, the organic electroluminescence film 30 includes a plurality of layers, includes at least a light emitting layer, and further includes at least one of an electron transport layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and a hole injection layer. The light emitting layer is configured to emit only light of one color (for example, white).

有機エレクトロルミネッセンス膜30は、複数の画素電極18及び絶縁層22を連続的に覆う共通層32を含む。図2の例では、有機エレクトロルミネッセンス膜30の全体が共通層32である。あるいは、複数層からなる有機エレクトロルミネッセンス膜30の少なくとも1層(少なくとも1層を除く)が共通層32(例えば電子注入層)であり、少なくとも1層からなる残りの層は、画素電極18ごとに切断された層であってもよい。2層以上の発光層を含むタンデム構造からなる有機エレクトロルミネッセンス膜30では、隣同士の発光層の間に配置された電子及び正孔を供給するためのチャージジェネレーション層が共通層32であってもよい。   The organic electroluminescence film 30 includes a common layer 32 that continuously covers the plurality of pixel electrodes 18 and the insulating layer 22. In the example of FIG. 2, the entire organic electroluminescence film 30 is the common layer 32. Alternatively, at least one layer (excluding at least one layer) of the organic electroluminescence film 30 including a plurality of layers is the common layer 32 (for example, an electron injection layer), and the remaining layers including at least one layer are provided for each pixel electrode 18. It may be a cut layer. In the organic electroluminescence film 30 having a tandem structure including two or more light emitting layers, even if the charge generation layer for supplying electrons and holes arranged between adjacent light emitting layers is the common layer 32. Good.

共通層32は、絶縁層22の凹凸形状の各凸部26に載る上段部34と各凹部24に載る下段部36を有する。上段部34と下段部36は、相互に上下にずれて位置している。上段部34と下段部36は、厚み方向の一部同士が横方向に連続しているが、厚み方向の少なくとも一部同士が横方向に不連続になるため、段を形成している。上段部34及び下段部36を形成することで、共通層32の厚みが部分的に薄くなり、共通層32の電気抵抗が高くなっている。   The common layer 32 has an upper step portion 34 placed on each convex portion 26 of the concavo-convex shape of the insulating layer 22 and a lower step portion 36 placed on each concave portion 24. The upper step portion 34 and the lower step portion 36 are positioned so as to be shifted vertically from each other. The upper step portion 34 and the lower step portion 36 are partially continuous in the thickness direction, but form steps because at least some of the thickness direction are discontinuous in the horizontal direction. By forming the upper step 34 and the lower step 36, the thickness of the common layer 32 is partially reduced, and the electric resistance of the common layer 32 is increased.

有機エレクトロルミネッセンス膜30の上には共通電極38が設けられている。共通電極38は陰極である。画素電極18及び共通電極38に電圧をかけることにより各々から正孔と電子を有機エレクトロルミネッセンス膜30に注入する。注入された正孔と電子が発光層で結合して光を発する。画素電極18の端部と共通電極38の間には、絶縁層22が介在しているので、両者間のショートが防止されている。   A common electrode 38 is provided on the organic electroluminescence film 30. The common electrode 38 is a cathode. By applying a voltage to the pixel electrode 18 and the common electrode 38, holes and electrons are injected from each into the organic electroluminescence film 30. The injected holes and electrons combine in the light emitting layer to emit light. Since the insulating layer 22 is interposed between the end of the pixel electrode 18 and the common electrode 38, a short circuit between them is prevented.

本実施形態によれば、隣同士の画素電極18の間の領域の上方で、共通層32の厚みが部分的に薄くなることで、電気抵抗が高くなっている。これにより、共通層32を通って隣同士の画素間で電流がリークすることを防止できる。   According to the present embodiment, the electric resistance is increased by partially reducing the thickness of the common layer 32 above the region between the adjacent pixel electrodes 18. Thereby, it is possible to prevent current from leaking between adjacent pixels through the common layer 32.

共通電極38の上には封止膜40が設けられている。封止膜40は、有機エレクトロルミネッセンス膜30を、水分から遮断するように封止している。封止膜40の上には充填層42が設けられている。   A sealing film 40 is provided on the common electrode 38. The sealing film 40 seals the organic electroluminescence film 30 so as to shield it from moisture. A filling layer 42 is provided on the sealing film 40.

第1基板10と間隔をあけて対向するように、第2基板44が配置されている。第2基板44の第1基板10側の面には、カラーフィルタ層46が設けられている。カラーフィルタ層46は、ブラックマトリクス48及び着色層50を含む。上述した有機エレクトロルミネッセンス膜30の発光層(図示せず)が単一色(例えば白色)を発するので、本実施形態ではカラーフィルタ層46を設けてフルカラー表示を可能にしている。有機エレクトロルミネッセンス膜30が、異なる色(例えば、赤、緑及び青)を発する複数の発光層を含む場合、発光層が複数色の光を発するので着色層50は不要である。第1基板10と第2基板44との間に充填層42が設けられている。   The second substrate 44 is disposed so as to face the first substrate 10 with a gap. A color filter layer 46 is provided on the surface of the second substrate 44 on the first substrate 10 side. The color filter layer 46 includes a black matrix 48 and a colored layer 50. Since the light emitting layer (not shown) of the organic electroluminescence film 30 described above emits a single color (for example, white), in this embodiment, the color filter layer 46 is provided to enable full color display. When the organic electroluminescence film 30 includes a plurality of light emitting layers that emit different colors (for example, red, green, and blue), the light emitting layer emits light of a plurality of colors, and thus the colored layer 50 is unnecessary. A filling layer 42 is provided between the first substrate 10 and the second substrate 44.

図4〜図7は、本発明の第1の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。   4-7 is a figure for demonstrating the manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention.

図4に示すように、複数の画素電極18が設けられた第1基板10を用意し、絶縁材料52を複数の画素電極18を覆うように設ける。   As shown in FIG. 4, a first substrate 10 provided with a plurality of pixel electrodes 18 is prepared, and an insulating material 52 is provided so as to cover the plurality of pixel electrodes 18.

図5に示すように、絶縁材料52に凹凸形状を形成する。例えば、ナノインプリントによって絶縁材料52に凹凸形状を付ける。詳しくは、微細な凹凸を有するナノスタンパ54を絶縁材料52に押しつけそのパターンを転写する。熱ナノインプリントでは、絶縁材料52に熱可塑性樹脂を使用し、ガラス転移温度以上まで加熱することで軟化させた樹脂にナノスタンパ54の凹凸をプレス転写する。   As shown in FIG. 5, an uneven shape is formed in the insulating material 52. For example, the insulating material 52 is provided with an uneven shape by nanoimprinting. Specifically, the nano stamper 54 having fine irregularities is pressed against the insulating material 52 to transfer the pattern. In the thermal nanoimprint, a thermoplastic resin is used as the insulating material 52, and the unevenness of the nano stamper 54 is press-transferred to the resin softened by heating to the glass transition temperature or higher.

図6に示すように、それぞれの画素電極18の少なくとも中央部の上から、絶縁材料52を部分的に除去する。絶縁材料52の部分的な除去は、フォトリソグラフィ及びドライエッチングの少なくとも一方によって行う。フォトリソグラフィを適用すると、図6に示すように、残った絶縁材料52は上面が凸曲面状になる。こうして、それぞれの画素電極18の端部に載るように、隣同士の画素電極18の間の領域に、絶縁層22を形成する。絶縁層22は、複数の凹部24及び複数の凸部26からなる凹凸形状の上面を有する。   As shown in FIG. 6, the insulating material 52 is partially removed from at least the central part of each pixel electrode 18. The partial removal of the insulating material 52 is performed by at least one of photolithography and dry etching. When photolithography is applied, as shown in FIG. 6, the remaining insulating material 52 has a convex curved upper surface. Thus, the insulating layer 22 is formed in the region between the adjacent pixel electrodes 18 so as to be placed on the end portions of the respective pixel electrodes 18. The insulating layer 22 has a concavo-convex upper surface composed of a plurality of concave portions 24 and a plurality of convex portions 26.

図7に示すように、複数の画素電極18及び絶縁層22を連続的に覆う共通層32を含むように、第1基板10に有機エレクトロルミネッセンス膜30を形成する。有機エレクトロルミネッセンス膜30は、蒸着によって形成するので、下地の表面形状に従った形状になる。詳しくは、上述した共通層32が、絶縁層22の凹凸形状の各凸部26に載る上段部34と各凹部24に載る下段部36を有するように形成される。上段部34と下段部36は、相互に上下にずれて位置する。上段部34と下段部36は、厚み方向の少なくとも一部同士が不連続になる。そして、有機エレクトロルミネッセンス膜30の上に共通電極38を形成する。   As shown in FIG. 7, an organic electroluminescence film 30 is formed on the first substrate 10 so as to include a common layer 32 that continuously covers the plurality of pixel electrodes 18 and the insulating layer 22. Since the organic electroluminescence film 30 is formed by vapor deposition, it has a shape according to the surface shape of the base. Specifically, the common layer 32 described above is formed so as to have an upper step portion 34 placed on each convex portion 26 of the concavo-convex shape of the insulating layer 22 and a lower step portion 36 placed on each concave portion 24. The upper step portion 34 and the lower step portion 36 are positioned so as to be shifted vertically from each other. The upper step portion 34 and the lower step portion 36 are at least partially discontinuous in the thickness direction. Then, the common electrode 38 is formed on the organic electroluminescence film 30.

本実施形態によれば、隣同士の画素電極18の間の領域の上方で、共通層32の厚みが部分的に薄くなることで、電気抵抗が高くなっている。これにより、共通層32を通って隣同士の画素間で電流がリークすることを防止できる。   According to the present embodiment, the electric resistance is increased by partially reducing the thickness of the common layer 32 above the region between the adjacent pixel electrodes 18. Thereby, it is possible to prevent current from leaking between adjacent pixels through the common layer 32.

図8は、本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置を示す断面図である。本実施形態では、絶縁層122の凹凸形状が平面上に形成されている。つまり、複数の凹部124の底面は、1つの平面に沿って配列され、複数の凸部126の上面は、他の1つの平面に沿って配列されている。また、複数の封止膜140(第1封止膜156、第2封止膜158及び第3封止膜160)が共通電極138の上に設けられ、有機エレクトロルミネッセンス膜130を水分から遮断するように封止している。それ以外の構成は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing an organic electroluminescence display device according to the second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the uneven shape of the insulating layer 122 is formed on a plane. That is, the bottom surfaces of the plurality of recesses 124 are arranged along one plane, and the top surfaces of the plurality of projections 126 are arranged along another one plane. A plurality of sealing films 140 (first sealing film 156, second sealing film 158, and third sealing film 160) are provided on the common electrode 138 to block the organic electroluminescence film 130 from moisture. It is sealed like this. Other configurations correspond to the contents described in the above embodiment.

図9〜図10は、本発明の第2の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明するための図である。   9 to 10 are views for explaining a method of manufacturing the organic electroluminescence display device according to the second embodiment of the present invention.

図9に示すように、複数の画素電極118を覆うように形成した絶縁材料152に、ナノインプリントによって凹凸形状を付ける。詳しくは、微細な凹凸を有するナノスタンパ154を絶縁材料152に押しつけそのパターンを転写する。光ナノインプリントでは、絶縁材料152に光硬化性樹脂を使用し、樹脂にナノスタンパ154の凹凸をプレス転写し、紫外線を照射して樹脂を硬化させる。   As shown in FIG. 9, the insulating material 152 formed so as to cover the plurality of pixel electrodes 118 is provided with an uneven shape by nanoimprinting. Specifically, the nano stamper 154 having fine unevenness is pressed against the insulating material 152 to transfer the pattern. In the optical nanoimprint, a photo-curing resin is used for the insulating material 152, the unevenness of the nano stamper 154 is press-transferred to the resin, and the resin is cured by irradiating ultraviolet rays.

また、ナノインプリントによって、それぞれの画素電極118の少なくとも中央部の上方で、絶縁材料152を窪ませて厚みを薄くする。詳しくは、ナノスタンパ154は、絶縁材料152を窪ませる位置に対応して突出領域を有している。相対的に窪んだ領域に、ナノスタンパ154は凹凸を有する。   In addition, the thickness of the insulating material 152 is reduced by nanoimprinting by recessing the insulating material 152 at least above the center of each pixel electrode 118. Specifically, the nano stamper 154 has a protruding region corresponding to a position where the insulating material 152 can be depressed. The nano stamper 154 has irregularities in a relatively recessed area.

そして、それぞれの画素電極118の少なくとも中央部の上から、絶縁材料152を部分的に除去する(図8参照)。なお、絶縁材料152の部分的な除去は、ドライエッチングによって行う。   Then, the insulating material 152 is partially removed from at least the central portion of each pixel electrode 118 (see FIG. 8). Note that the partial removal of the insulating material 152 is performed by dry etching.

図10に示すように、有機エレクトロルミネッセンス膜130を形成する。有機エレクトロルミネッセンス膜130の上には、図8に示すように、共通電極138を形成し、複数の封止膜140(第1封止膜156、第2封止膜158及び第3封止膜160)を形成する。その後の工程は、第1の実施形態で説明した内容が該当する。   As shown in FIG. 10, an organic electroluminescence film 130 is formed. As shown in FIG. 8, a common electrode 138 is formed on the organic electroluminescence film 130, and a plurality of sealing films 140 (first sealing film 156, second sealing film 158 and third sealing film are formed). 160). The contents described in the first embodiment correspond to the subsequent processes.

図11は、第2の実施形態の変形例を示す図である。この例でも、有機エレクトロルミネッセンス膜230の共通層232は、絶縁層222の凸部226に載る上段部234と凹部224に載る下段部236を有するが、上段部234及び下段部236は分離されている。つまり、上段部234と下段部236は、相互に上下にずれて位置し、厚み方向の全体が不連続になっている。共通層232を薄く形成すれば、このように上段部234及び下段部236は分離される。   FIG. 11 is a diagram illustrating a modification of the second embodiment. Also in this example, the common layer 232 of the organic electroluminescence film 230 has an upper step portion 234 that rests on the convex portion 226 of the insulating layer 222 and a lower step portion 236 that rests on the concave portion 224, but the upper step portion 234 and the lower step portion 236 are separated. Yes. That is, the upper step 234 and the lower step 236 are positioned so as to be displaced from each other vertically, and the entire thickness direction is discontinuous. If the common layer 232 is formed thin, the upper step portion 234 and the lower step portion 236 are thus separated.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made. For example, the configuration described in the embodiment can be replaced with substantially the same configuration, a configuration that exhibits the same operational effects, or a configuration that can achieve the same purpose.

10 第1基板、12 集積回路チップ、14 フレキシブル配線基板、16 回路層、18 画素電極、20 コンタクト、22 絶縁層、22a 開口22a、24 凹部、26 凸部、28 領域、30 エレクトロルミネッセンス膜、32 共通層、34 上段部、36 下段部、38 共通電極、40 封止膜、42 充填層、44 第2基板、46 カラーフィルタ層、48 ブラックマトリクス、50 着色層、52 絶縁材料、54 ナノスタンパ、118 画素電極、122 絶縁層、124 凹部、126 凸部、130 エレクトロルミネッセンス膜、134 上段部、136 下段部、138 共通電極、140 封止膜、152 絶縁材料、154 ナノスタンパ、156 第1封止膜、158 第2封止膜、160 第3封止膜、222 絶縁層、224 凹部、226 凸部、230 有機エレクトロルミネッセンス膜、232 共通層、234 上段部、236 下段部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st board | substrate, 12 Integrated circuit chip, 14 Flexible wiring board, 16 Circuit layer, 18 Pixel electrode, 20 Contact, 22 Insulating layer, 22a Opening 22a, 24 Recessed part, 26 Convex part, 28 area | region, 30 Electroluminescent film | membrane, 32 Common layer, 34 Upper part, 36 Lower part, 38 Common electrode, 40 Sealing film, 42 Filling layer, 44 Second substrate, 46 Color filter layer, 48 Black matrix, 50 Colored layer, 52 Insulating material, 54 Nano stamper, 118 Pixel electrode, 122 insulating layer, 124 concave portion, 126 convex portion, 130 electroluminescence film, 134 upper stage portion, 136 lower stage portion, 138 common electrode, 140 sealing film, 152 insulating material, 154 nano stamper, 156 first sealing film, 158 Second sealing film, 160 Third sealing film, 222 Marginal, 224 recess, 226 protrusion, 230 organic electroluminescent layer, 232 a common layer, 234 upper portion, 236 lower portion.

Claims (12)

基板と、
前記基板に設けられた複数の画素電極と、
それぞれの前記画素電極の端部に載るように、隣同士の前記画素電極の間の領域に設けられた絶縁層と、
前記複数の画素電極及び前記絶縁層を連続的に覆う共通層を含むように前記基板に設けられた有機エレクトロルミネッセンス膜と、
前記有機エレクトロルミネッセンス膜の上に設けられた共通電極と、
を有し、
前記絶縁層は、複数の凹部及び複数の凸部からなる凹凸形状の上面を有し、
前記共通層は、前記凹凸形状の各凸部に載る上段部と各凹部に載る下段部を有し、
前記上段部と前記下段部は、相互に上下にずれて位置し、厚み方向の少なくとも一部同士が不連続になることで、前記共通層の厚みを部分的に薄くして電気抵抗を高くしていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
A substrate,
A plurality of pixel electrodes provided on the substrate;
An insulating layer provided in a region between adjacent pixel electrodes so as to be placed on an end of each pixel electrode;
An organic electroluminescence film provided on the substrate so as to include a common layer continuously covering the plurality of pixel electrodes and the insulating layer;
A common electrode provided on the organic electroluminescence film;
Have
The insulating layer has a concavo-convex upper surface composed of a plurality of concave portions and a plurality of convex portions,
The common layer has an upper stage portion that is placed on each convex portion of the uneven shape and a lower stage portion that is placed on each concave portion,
The upper step portion and the lower step portion are shifted from each other vertically and at least part of the thickness direction is discontinuous, thereby partially reducing the thickness of the common layer and increasing the electrical resistance. An organic electroluminescence display device characterized by comprising:
請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記上段部と前記下段部は、厚み方向の一部同士が連続していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The organic electroluminescence display device, wherein the upper stage part and the lower stage part are partially continuous in the thickness direction.
請求項1に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記上段部と前記下段部は、分離されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
The organic electroluminescence display device according to claim 1,
The organic electroluminescence display device, wherein the upper stage part and the lower stage part are separated.
請求項1から3のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記複数の凹部の底面は、1つの平面に沿って配列され、
前記複数の凸部の上面は、他の1つの平面に沿って配列されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
The organic electroluminescence display device according to any one of claims 1 to 3,
The bottom surfaces of the plurality of recesses are arranged along one plane,
The organic electroluminescence display device, wherein upper surfaces of the plurality of convex portions are arranged along another plane.
請求項1から3のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記複数の凹部の底面は、1つの凸曲面に沿って配列され、
前記複数の凸部の上面は、他の1つの凸曲面に沿って配列されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
The organic electroluminescence display device according to any one of claims 1 to 3,
The bottom surfaces of the plurality of recesses are arranged along one convex curved surface,
An organic electroluminescence display device, wherein upper surfaces of the plurality of convex portions are arranged along another convex curved surface.
請求項1から5のいずれか1項に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記複数の画素電極は、縦方向及び横方向に配列され、
それぞれの前記画素電極の平面形状は、長軸と短軸を有して一方向に長くなっており、
前記縦方向に隣同士の前記画素電極は、前記短軸に沿った短辺同士が隣り合い、
前記横方向に隣同士の前記画素電極は、前記長軸に沿った長辺同士が隣り合い、
前記絶縁層の前記複数の凹部及び前記複数の凸部は、隣り合う前記短辺の間の領域を避けて、隣り合う前記長辺の間の領域に形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
In the organic electroluminescence display device according to any one of claims 1 to 5,
The plurality of pixel electrodes are arranged in a vertical direction and a horizontal direction,
The planar shape of each of the pixel electrodes has a long axis and a short axis, and is long in one direction.
The pixel electrodes adjacent to each other in the vertical direction are adjacent to each other along the short axis,
The pixel electrodes adjacent to each other in the horizontal direction are adjacent to each other along the long axis,
The plurality of concave portions and the plurality of convex portions of the insulating layer are formed in a region between the adjacent long sides, avoiding a region between the adjacent short sides. Luminescence display device.
複数の画素電極が設けられた基板を用意する工程と、
それぞれの前記画素電極の端部に載るように、隣同士の前記画素電極の間の領域に、絶縁層を形成する工程と、
前記複数の画素電極及び前記絶縁層を連続的に覆う共通層を含むように、前記基板に有機エレクトロルミネッセンス膜を形成する工程と、
前記有機エレクトロルミネッセンス膜の上に共通電極を形成する工程と、
を含み、
前記絶縁層は、複数の凹部及び複数の凸部からなる凹凸形状の上面を有するように形成し、
前記共通層は、前記凹凸形状の各凸部に載る上段部と各凹部に載る下段部を有するように形成し、
前記上段部と前記下段部は、相互に上下にずれて位置し、厚み方向の少なくとも一部同士が不連続になることで、前記共通層の厚みを部分的に薄くして電気抵抗を高くしていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
Preparing a substrate provided with a plurality of pixel electrodes;
Forming an insulating layer in a region between adjacent pixel electrodes so as to be placed on an end of each of the pixel electrodes;
Forming an organic electroluminescence film on the substrate so as to include a common layer continuously covering the plurality of pixel electrodes and the insulating layer;
Forming a common electrode on the organic electroluminescence film;
Including
The insulating layer is formed so as to have a concavo-convex shape composed of a plurality of concave portions and a plurality of convex portions,
The common layer is formed so as to have an upper step portion placed on each convex portion of the uneven shape and a lower step portion placed on each concave portion,
The upper step portion and the lower step portion are shifted from each other vertically and at least part of the thickness direction is discontinuous, thereby partially reducing the thickness of the common layer and increasing the electrical resistance. A method for producing an organic electroluminescence display device.
請求項7に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
前記凹凸形状の前記上面を有する前記絶縁層を形成する工程は、
絶縁材料を設ける工程と、
ナノインプリントによって前記絶縁材料に前記凹凸形状を付ける工程と、
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to claim 7,
The step of forming the insulating layer having the top surface of the uneven shape,
Providing an insulating material;
Applying the uneven shape to the insulating material by nanoimprint;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display apparatus characterized by including.
請求項8に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
前記凹凸形状の前記上面を有する前記絶縁層を形成する工程で、
前記絶縁材料を前記複数の画素電極を覆うように設け、
前記凹凸形状を付ける工程の後に、それぞれの前記画素電極の少なくとも中央部の上から、前記絶縁材料を部分的に除去することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to claim 8,
In the step of forming the insulating layer having the top surface of the uneven shape,
Providing the insulating material so as to cover the plurality of pixel electrodes;
A method of manufacturing an organic electroluminescence display device, wherein the insulating material is partially removed from at least a central portion of each of the pixel electrodes after the step of forming the concavo-convex shape.
請求項9に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
前記絶縁材料の部分的な除去は、フォトリソグラフィ及びドライエッチングの少なくとも一方によって行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to claim 9,
The method for manufacturing an organic electroluminescence display device, wherein the partial removal of the insulating material is performed by at least one of photolithography and dry etching.
請求項9に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
前記凹凸形状を付ける工程で、前記ナノインプリントによって、それぞれの前記画素電極の少なくとも前記中央部の上方で、前記絶縁材料を窪ませて厚みを薄くすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to claim 9,
The method for producing an organic electroluminescence display device, wherein in the step of forming the concavo-convex shape, the insulating material is recessed at least above the central portion of each pixel electrode by the nanoimprint to reduce the thickness. .
請求項11に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
前記絶縁材料の部分的な除去は、ドライエッチングによって行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the organic electroluminescent display device according to claim 11,
The method for manufacturing an organic electroluminescence display device, wherein the partial removal of the insulating material is performed by dry etching.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016046245A (en) * 2014-08-22 2016-04-04 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. Light-emitting display device and method of manufacturing the same
EP3588573A1 (en) * 2018-06-27 2020-01-01 LG Display Co., Ltd. Light-emitting display device and method of manufacturing the same
JPWO2020162076A1 (en) * 2019-02-04 2021-09-30 株式会社Ihi Fuel supply control device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006302723A (en) * 2005-04-22 2006-11-02 Hitachi Displays Ltd Organic light emitting display device
JP2008016444A (en) * 2006-06-09 2008-01-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacturing method of semiconductor device
WO2010109877A1 (en) * 2009-03-25 2010-09-30 凸版印刷株式会社 Organic electroluminescent device, method for manufacturing organic electroluminescent device, image display device, and method for manufacturing image display device
JP2010538419A (en) * 2007-08-28 2010-12-09 エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ Manufacturing method of organic electronic device or optoelectronic device
JP2012043583A (en) * 2010-08-17 2012-03-01 Sony Corp Display device and method of manufacturing the same
JP2014123527A (en) * 2012-12-21 2014-07-03 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light-emitting device and method for manufacturing the same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006302723A (en) * 2005-04-22 2006-11-02 Hitachi Displays Ltd Organic light emitting display device
JP2008016444A (en) * 2006-06-09 2008-01-24 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Manufacturing method of semiconductor device
JP2010538419A (en) * 2007-08-28 2010-12-09 エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ Manufacturing method of organic electronic device or optoelectronic device
WO2010109877A1 (en) * 2009-03-25 2010-09-30 凸版印刷株式会社 Organic electroluminescent device, method for manufacturing organic electroluminescent device, image display device, and method for manufacturing image display device
JP2012043583A (en) * 2010-08-17 2012-03-01 Sony Corp Display device and method of manufacturing the same
JP2014123527A (en) * 2012-12-21 2014-07-03 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light-emitting device and method for manufacturing the same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016046245A (en) * 2014-08-22 2016-04-04 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. Light-emitting display device and method of manufacturing the same
EP3588573A1 (en) * 2018-06-27 2020-01-01 LG Display Co., Ltd. Light-emitting display device and method of manufacturing the same
US10950680B2 (en) 2018-06-27 2021-03-16 Lg Display Co., Ltd. Light-emitting display device and method of manufacturing the same
JPWO2020162076A1 (en) * 2019-02-04 2021-09-30 株式会社Ihi Fuel supply control device
JP7095759B2 (en) 2019-02-04 2022-07-05 株式会社Ihi Fuel supply control device

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