JP2015050360A - Insulative coated powder for magnetic member - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide insulative coated planular powder 2 for a magnetic member such as an electromagnetic wave absorber which is effective in blocking or absorbing electromagnetic waves in a frequency region of 1 MHz to 50 GHz.SOLUTION: Insulative coated planular powder 2 of the present invention comprises: metal powder 4 processed into planular forms; and an insulative coating film 6 deposited to the surface of the resultant metal powder 4. The metal powder 4 has an aspect ratio of 10-300. The coating film 6 includes polymerization products of titanium alkoxides. In the powder 2, the ratio of the thickness of the coating film 6 to the thickness of the metal powder 4 is preferably between 0.002 and 0.2 inclusive. In the powder 2, titanium alkoxides are preferably titanium alkoxide oligomers. In the powder 2, the coverage of the coating film 6 on the metal powder 4 is preferably 20% or more. Preferably, in the powder 2, the thickness of the coating film 6 is 1-200 nm; the coating film 6 is made of titanium oxide.

Description

本発明は、磁性部材用絶縁被覆粉末に関する。詳細には、本発明は、1MHz〜50GHzまでの周波数領域における電磁波を遮蔽又は吸収するために用いられる磁性部材の製造のための絶縁被覆扁平粉末に関するものである。   The present invention relates to an insulating coating powder for a magnetic member. Specifically, the present invention relates to an insulating coated flat powder for producing a magnetic member used for shielding or absorbing electromagnetic waves in a frequency range from 1 MHz to 50 GHz.

携帯電話、ノート型パーソナルコンピュータ及びタブレット型パーソナルコンピュータに代表される携帯用電子機器が普及している。最近では、小型化、高性能化に伴い、回路内の部品は半導体素子等のノイズを発生させる部品の影響を受けやすくなっている。また、携帯用電子機器が発する電磁波が体内に悪影響を及ぼすことが報告されている。   Portable electronic devices typified by mobile phones, notebook personal computers, and tablet personal computers are widespread. Recently, with miniaturization and high performance, parts in a circuit are easily affected by noise generating parts such as semiconductor elements. In addition, it has been reported that electromagnetic waves emitted from portable electronic devices have an adverse effect on the body.

回路基板内の半導体素子や携帯用電子機器が発する電磁波を遮断し、この電磁波による影響を防止するために、電磁波を遮蔽又は吸収しうる磁性部材で電磁波の発生源を包み込むことが行われている。この磁性部材として、樹脂やゴムなどの絶縁物に軟磁性金属粉末を配合し、これをシート状又はリング状に成形したものを利用することがある。この磁性部材に、絶縁被覆処理がなされた軟磁性金属粉末が用いられることもある。このような磁性部材には、電磁波吸収体、電磁波吸収シート及び磁性シートが含まれる。   In order to block electromagnetic waves emitted from semiconductor elements and portable electronic devices in a circuit board and prevent the influence of the electromagnetic waves, the electromagnetic wave generation source is wrapped with a magnetic member capable of shielding or absorbing the electromagnetic waves. . As this magnetic member, there is a case where a soft magnetic metal powder is blended with an insulator such as resin or rubber, and this is molded into a sheet shape or a ring shape. For this magnetic member, a soft magnetic metal powder that has been subjected to an insulating coating treatment may be used. Such a magnetic member includes an electromagnetic wave absorber, an electromagnetic wave absorbing sheet, and a magnetic sheet.

携帯用電子機器が発する電磁波の周波数は、高周波化の傾向にある。従来型の磁性部材では、高周波域の電磁波を十分に遮蔽又は吸収することができないのが実状である。このため、電磁波の遮蔽、吸収に有効な磁性部材について様々な検討がなされている。この検討例が、特開2002−305395公報及び特開2006−203233公報に開示されている。   The frequency of electromagnetic waves emitted from portable electronic devices tends to be higher. The actual state is that conventional magnetic members cannot sufficiently shield or absorb high-frequency electromagnetic waves. For this reason, various studies have been made on magnetic members effective in shielding and absorbing electromagnetic waves. Examples of this study are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2002-305395 and 2006-203233.

特開2002−305395公報には、シート状に加工した電磁波吸収体が開示されている。この電磁波吸収体は、フレーク状の軟磁性金属粉末の表面をリン酸塩処理して得た粉末を含んでいる。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-305395 discloses an electromagnetic wave absorber processed into a sheet shape. This electromagnetic wave absorber includes a powder obtained by subjecting the surface of a flaky soft magnetic metal powder to a phosphate treatment.

特開2006−203233公報には、電波吸収体が開示されている。この電波吸収体は、有機基を有する分子からなる電気的絶縁層を有する金属軟磁性体粒子が充填された軟磁性複合体から構成されている。   Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2006-203233 discloses a radio wave absorber. This radio wave absorber is composed of a soft magnetic composite filled with metal soft magnetic particles having an electrically insulating layer made of molecules having an organic group.

特開2002−305395公報JP 2002-305395 A 特開2006−203233公報JP 2006-203233 A

上記特開2002−305395公報に記載の電磁波吸収体では、軟磁性金属のフレーク状粉末を、A)リン酸、B)MgO、CaO及びZnOから選んだ1種又は2種以上、並びに、C)ホウ酸を含む水溶液又は水分散液と混合し、この粉末を水切りして乾燥することにより、この粉末の表面にリン酸塩皮膜が形成される。リン酸を含んだ水溶液(又は水分散液)に粉末を浸漬して皮膜を形成するため、薄い厚みのフレーク状粉末を用いた場合、条件によっては、リン酸塩処理において、この粉末が溶ける恐れがある。   In the electromagnetic wave absorber described in JP-A-2002-305395, the soft magnetic metal flake powder is selected from one or more selected from A) phosphoric acid, B) MgO, CaO and ZnO, and C). A phosphate film is formed on the surface of the powder by mixing with an aqueous solution or aqueous dispersion containing boric acid, draining the powder and drying. In order to form a film by immersing the powder in an aqueous solution (or aqueous dispersion) containing phosphoric acid, if a thin flaky powder is used, depending on the conditions, the powder may be dissolved in the phosphate treatment. There is.

上記特開2006−203233公報に記載の電波吸収体では、シラン系カップリング剤からなる電気的絶縁層を有する金属軟磁性体粒子を用いて、470MHzから770MHzのUHF帯域での適用が検討されている。この電波吸収体では、770MHzから50GHzまでの周波数領域において絶縁抵抗が不十分となり、透磁率が低下し吸収特性が悪化する恐れがある。   In the radio wave absorber described in the above Japanese Patent Laid-Open No. 2006-203233, application in the UHF band of 470 MHz to 770 MHz has been studied using metal soft magnetic particles having an electrically insulating layer made of a silane coupling agent. Yes. In this radio wave absorber, the insulation resistance is insufficient in the frequency region from 770 MHz to 50 GHz, and there is a possibility that the magnetic permeability decreases and the absorption characteristics deteriorate.

本発明の目的は、1MHz〜50GHzまでの周波数領域における電磁波の遮蔽又は吸収に有効な電磁波吸収体のような磁性部材のための絶縁被覆扁平粉末の提供にある。   An object of the present invention is to provide an insulating coated flat powder for a magnetic member such as an electromagnetic wave absorber effective for shielding or absorbing electromagnetic waves in a frequency range from 1 MHz to 50 GHz.

本発明に係る磁性部材用絶縁被覆扁平粉末は、扁平加工された金属粉末と、この金属粉末の表面に付着した絶縁性の皮膜とを備えている。上記金属粉末のアスペクト比は、10以上300以下である。上記皮膜は、チタンアルコキシド類を含むものの重合物からなる。   The insulating coating flat powder for a magnetic member according to the present invention includes a flattened metal powder and an insulating film attached to the surface of the metal powder. The aspect ratio of the metal powder is 10 or more and 300 or less. The said film | membrane consists of a polymer of what contains titanium alkoxides.

好ましくは、この磁性部材用絶縁被覆扁平粉末では、上記皮膜の厚さの、上記金属粉末の厚さに対する比は0.002以上0.2以下である。   Preferably, in this insulating coated flat powder for a magnetic member, the ratio of the thickness of the film to the thickness of the metal powder is 0.002 or more and 0.2 or less.

好ましくは、この磁性部材用絶縁被覆扁平粉末では、上記チタンアルコキシド類はチタンアルコキシドのオリゴマーである。   Preferably, in the insulating coating flat powder for a magnetic member, the titanium alkoxide is an oligomer of titanium alkoxide.

好ましくは、この磁性部材用絶縁被覆扁平粉末では、上記皮膜による上記金属粉末の被覆率は20%以上である。   Preferably, in this insulating coating flat powder for a magnetic member, the coverage of the metal powder by the coating is 20% or more.

好ましくは、この磁性部材用絶縁被覆扁平粉末では、上記皮膜の厚さは1nm以上200nm以下である。この皮膜は、チタンの酸化物からなる。   Preferably, in the insulating coated flat powder for a magnetic member, the thickness of the film is 1 nm or more and 200 nm or less. This film is made of an oxide of titanium.

本発明に係る磁性部材は、上記絶縁被覆扁平粉末を用いて形成される。   The magnetic member according to the present invention is formed using the above-mentioned insulating coating flat powder.

本発明に係る磁性部材用絶縁被覆扁平粉末では、扁平加工された金属粉末が絶縁性の皮膜で覆われている。この皮膜は、チタンアルコキシド類を含むものの重合物からなる。チタンアルコキシド類は適切な反応速度で重合するので、クラックが少ない上に厚さが薄い絶縁性の皮膜が形成される。   In the insulating coated flat powder for magnetic members according to the present invention, the flattened metal powder is covered with an insulating film. This film is made of a polymer containing titanium alkoxides. Since titanium alkoxides polymerize at an appropriate reaction rate, an insulating film having a small thickness and a small thickness is formed.

磁性部材の性能を表す指標として、透磁率μ、実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”がある。実部透磁率μ’は、電磁波遮蔽特性の優劣を表す。虚部透磁率μ”は、電磁波吸収特性の優劣を表す。なお、透磁率μは、実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”を用いて下記数式のように表される。数式中、「j」は虚数((j)=−1)である。
μ=μ’+jμ”
なお、本願においては、透磁率μ、実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”のそれぞれは真空透磁率との比である比透磁率で表されている。
As indices representing the performance of the magnetic member, there are magnetic permeability μ, real part magnetic permeability μ ′ and imaginary part magnetic permeability μ ”. Real part magnetic permeability μ ′ represents superiority or inferiority of electromagnetic wave shielding characteristics. "" Indicates superiority or inferiority of electromagnetic wave absorption characteristics. The magnetic permeability μ is expressed by the following formula using the real part permeability μ ′ and the imaginary part permeability μ ”. In the formula,“ j ”is an imaginary number ((j) 2 = −1). is there.
μ = μ '+ jμ ”
In the present application, each of the magnetic permeability μ, the real part magnetic permeability μ ′, and the imaginary part magnetic permeability μ ″ is expressed by a relative magnetic permeability that is a ratio with the vacuum magnetic permeability.

金属系の磁性材は、表皮深さ(発生した渦電流が流れることが可能な深さの尺度)が浅く、スネーク(Snoek)の限界を超えた高周波領域において透磁率が低下しない特徴もあり、より高周波領域での特性を発揮できる。扁平加工されることでさらにその特徴が発揮される。また、金属粉末はフェライトと比較し飽和磁束密度が高く特性をより発揮しやすい。しかし、金属粉末は導電性を有しているため扁平加工された金属粉末同士が接触すると扁平粉末の見かけの厚さが増加する(接触した扁平粉末厚さの合計に相当する部分に渦電流が流れる)。扁平粉末の見かけの厚さが増加すると渦電流損失が大きくなり実部透磁率μ’が低下する。さらに実部透磁率μ’よりも高周波領域で見られる虚部透磁率μ”も低下する。本発明の粉末では、金属粉末の表面に絶縁性の皮膜が形成されているので、この粉末を樹脂、ゴム等の絶縁物に混合したものから磁性部材を得ても、この皮膜が金属粉末同士の接触を防止する。これにより、渦電流の発生による実部透磁率μ’の低下が抑制される。本発明の粉末によれば、従来の粉末に比べて、磁性部材の実部透磁率μ’の向上が達成される。さらに、高周波域で見られる虚部透磁率μ”の低下も抑制される。このため、本発明の粉末を含む磁性部材は、高周波域における電磁波吸収特性にも優れる。本発明の粉末によれば、電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性に優れた磁性部材が得られる。   The metal-based magnetic material has a feature that the skin depth (a measure of the depth at which the generated eddy current can flow) is shallow, and the permeability does not decrease in a high-frequency region exceeding the Snoke limit, Higher frequency characteristics can be demonstrated. The characteristics are further demonstrated by flat processing. Further, the metal powder has a higher saturation magnetic flux density than the ferrite, and more easily exhibits the characteristics. However, since the metal powder has electrical conductivity, when the flat-processed metal powders come into contact with each other, the apparent thickness of the flat powder increases (the eddy current is generated in the portion corresponding to the total thickness of the contacted flat powders). Flowing). As the apparent thickness of the flat powder increases, the eddy current loss increases and the real part permeability μ ′ decreases. Furthermore, the imaginary part permeability μ ″ seen in the high frequency region is also lower than the real part permeability μ ′. In the powder of the present invention, an insulating film is formed on the surface of the metal powder. Even if a magnetic member is obtained from a material mixed with an insulator such as rubber, the coating prevents the metal powders from contacting each other, thereby suppressing the decrease in the real part permeability μ ′ due to the generation of eddy currents. According to the powder of the present invention, the real part permeability μ ′ of the magnetic member is improved as compared with the conventional powder. Further, the decrease in the imaginary part permeability μ ″ seen in the high frequency range is also suppressed. The For this reason, the magnetic member containing the powder of this invention is excellent also in the electromagnetic wave absorption characteristic in a high frequency region. According to the powder of the present invention, a magnetic member excellent in electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics can be obtained.

図1は、本発明の一実施形態に係る磁性部材用絶縁被覆扁平粉末の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of an insulating coated flat powder for a magnetic member according to an embodiment of the present invention.

以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments with appropriate reference to the drawings.

図1に示されているのは、本発明の絶縁被覆扁平粉末2の断面図である。電磁波吸収体、電磁波吸収シート及び磁性シートのような磁性部材は、この粉末2を用いて形成される。磁性部材の製造では、無数の粉末2からなる基材粉体が準備される。この基材粉体を樹脂又はゴムに混合し、組成物が得られる。この組成物を用いて、磁性部材が形成される。形成された磁性部材の形状に、特に制限はない。この形状としては、シート状、リング状、立方体状、直方体状及び円筒状が例示される。なお、基材粉体を樹脂又はゴムに混合するための方法に、制限はない。この混合方法には、従来から公知の方法が採用される。組成物を磁性部材に成形するための方法にも、制限はない。この成形方法にも、従来から公知の方法が採用される。加工が容易との観点から、組成物に、潤滑材やバインダー等の加工助剤が配合されてもよい。   FIG. 1 shows a cross-sectional view of the insulating coated flat powder 2 of the present invention. Magnetic members such as an electromagnetic wave absorber, an electromagnetic wave absorbing sheet, and a magnetic sheet are formed using this powder 2. In the manufacture of the magnetic member, a base powder composed of an infinite number of powders 2 is prepared. This base powder is mixed with resin or rubber to obtain a composition. A magnetic member is formed using this composition. There is no restriction | limiting in particular in the shape of the formed magnetic member. Examples of the shape include a sheet shape, a ring shape, a cubic shape, a rectangular parallelepiped shape, and a cylindrical shape. In addition, there is no restriction | limiting in the method for mixing base material powder with resin or rubber | gum. Conventionally known methods are employed for this mixing method. There is no limitation on the method for forming the composition into a magnetic member. Conventionally known methods are also employed for this molding method. From the viewpoint of easy processing, processing aids such as lubricants and binders may be blended into the composition.

粉末2は、金属粉末4と、皮膜6とを備えている。この粉末2は、金属粉末4と皮膜6とからなる。皮膜6は、金属粉末4の表面に付着している。この粉末2では、皮膜6の表面にこの皮膜6とは別の皮膜が設けられてもよい。金属粉末4と皮膜6との間に、この皮膜6とは別の皮膜が設けられてもよい。   The powder 2 includes a metal powder 4 and a film 6. This powder 2 is composed of a metal powder 4 and a film 6. The film 6 is attached to the surface of the metal powder 4. In the powder 2, a film different from the film 6 may be provided on the surface of the film 6. A film other than the film 6 may be provided between the metal powder 4 and the film 6.

金属粉末4は、例えば、ガスアトマイズ法又は水アトマイズ法により得られる金属の粒子をメディア攪拌型ミル(アトライタ)で粉砕、扁平加工したものである。粉砕等の機械的プロセスにより得られた金属の粒子を扁平加工し、金属粉末4として用いてもよい。酸化物の還元等の化学的プロセスにより得られた金属の粒子を扁平加工し、金属粉末4として用いてもよい。また、粉砕、扁平加工後歪取り焼鈍を施した粉末を、金属粉末4として用いてもよい。   The metal powder 4 is obtained, for example, by pulverizing and flattening metal particles obtained by a gas atomization method or a water atomization method with a media stirring mill (attritor). Metal particles obtained by a mechanical process such as pulverization may be flattened and used as the metal powder 4. Metal particles obtained by a chemical process such as oxide reduction may be flattened and used as the metal powder 4. Alternatively, a powder that has been subjected to strain relief annealing after pulverization and flattening may be used as the metal powder 4.

前述の通り金属粉末4は、扁平加工される。金属粉末4の扁平度は、アスペクト比で表現される。本願においては、アスペクト比は金属粉末4の長軸の長さとこの金属粉末4の厚さとの比で表される。アスペクト比が大きくなると、反磁界係数の影響が抑制される。大きなアスペクト比は、実部透磁率μ’に影響する。   As described above, the metal powder 4 is flattened. The flatness of the metal powder 4 is expressed by an aspect ratio. In the present application, the aspect ratio is represented by the ratio between the length of the major axis of the metal powder 4 and the thickness of the metal powder 4. When the aspect ratio increases, the influence of the demagnetizing factor is suppressed. A large aspect ratio affects the real part permeability μ ′.

この粉末2では、金属粉末4のアスペクト比は10以上300以下である。これにより、高周波領域で実部透磁率μ’を大きく向上させることができる。アスペクト比が10未満であると、高周波領域で実部透磁率μ’が低下し、電磁波遮蔽特性が悪化してしまう。この観点から、アスペクト比は50以上が好ましい。アスペクト比が300を超えると、樹脂やゴム等に粉末2を混合する際にこの粉末2が割れてしまう恐れがある。粉末2が割れるとアスペクト比が低下することとなり、特性を維持した状態での加工が困難となる。この観点から、アスペクト比は200以下が好ましい。   In this powder 2, the aspect ratio of the metal powder 4 is 10 or more and 300 or less. As a result, the real part permeability μ ′ can be greatly improved in the high frequency region. When the aspect ratio is less than 10, the real part permeability μ ′ decreases in the high frequency region, and the electromagnetic wave shielding characteristics deteriorate. In this respect, the aspect ratio is preferably 50 or more. If the aspect ratio exceeds 300, the powder 2 may be broken when the powder 2 is mixed with resin, rubber, or the like. When the powder 2 is cracked, the aspect ratio is lowered, and it is difficult to process the powder while maintaining the characteristics. In this respect, the aspect ratio is preferably 200 or less.

本願では、金属粉末4のアスペクト比は次のようにして得られる。走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、金属粉末4を観察し、平面視においてその長さが最大となる位置が特定される。この位置が長軸とされ、この長軸の長さLが計測される。50個の金属粉末4について、長さLを計測し、これらの相加平均値Lavが算出される。この平均値Lavが、アスペクト比算出のための金属粉末4の長軸の長さとして用いられる。この金属粉末4を樹脂に埋め込んで研磨し、この研磨面が光学顕微鏡で観察される。この金属粉末4の厚さ方向を特定し、最大厚みtm及び最小厚みtnが計測され、最大厚みtm及び最小厚みtnの平均値((tm+tn)/2)が算出される。50個の金属粉末4について、平均値((tm+tn)/2)を得て、これらの相加平均値tavが算出される。この平均値tavが、アスペクト比算出のための金属粉末4の厚さとして用いられる。長軸の長さLavを厚さtavで除することにより、金属粉末4のアスペクト比(Lav/tav)が得られる。   In the present application, the aspect ratio of the metal powder 4 is obtained as follows. The metal powder 4 is observed using a scanning electron microscope (SEM), and the position where the length is maximum in plan view is specified. This position is taken as the long axis, and the length L of this long axis is measured. The length L of the 50 metal powders 4 is measured, and the arithmetic average value Lav is calculated. This average value Lav is used as the length of the long axis of the metal powder 4 for calculating the aspect ratio. The metal powder 4 is embedded in a resin and polished, and the polished surface is observed with an optical microscope. The thickness direction of the metal powder 4 is specified, the maximum thickness tm and the minimum thickness tn are measured, and the average value ((tm + tn) / 2) of the maximum thickness tm and the minimum thickness tn is calculated. For 50 metal powders 4, an average value ((tm + tn) / 2) is obtained, and an arithmetic average value tav thereof is calculated. This average value tav is used as the thickness of the metal powder 4 for calculating the aspect ratio. By dividing the long axis length Lav by the thickness tav, the aspect ratio (Lav / tav) of the metal powder 4 is obtained.

この粉末2では、金属粉末4は軟磁性材料である。この金属粉末4としては、他の成分を含まない純金属、あらかじめ合金成分を添加した合金綱からなる合金粉末、純金属又は合金粉末の表面に合金成分を部分的に拡散付着させたもの等を用いることができる。純金属としては鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)及びガドリニウム(Gd)が例示される。合金粉末としては、上記純金属同士を合金化したもの、又は、上記純金属や純金属同士を合金化したものに、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、ゲルマニウム(Ge)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)及びタングステン(W)からなる群から選択された少なくとも1種を添加したものが例示される。   In this powder 2, the metal powder 4 is a soft magnetic material. Examples of the metal powder 4 include pure metals that do not contain other components, alloy powders made of an alloy steel to which alloy components have been added in advance, and those obtained by partially diffusing and adhering alloy components to the surface of pure metals or alloy powders. Can be used. Examples of the pure metal include iron (Fe), nickel (Ni), cobalt (Co), and gadolinium (Gd). As the alloy powder, boron (B), aluminum (Al), silicon (Si), germanium (Ge), which is an alloy of the above pure metals, or an alloy of the above pure metals or pure metals. , Titanium (Ti), vanadium (V), chromium (Cr), manganese (Mn), copper (Cu), zinc (Zn), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo) and tungsten (W) What added at least 1 sort (s) selected from the group which consists of is illustrated.

金属粉末4としては、具体的には、他の成分を含まない純鉄粉末、Fe−3mass%Si粉末、Fe−6.5mass%Si粉末、Fe−3mass%Si―2mass%Cr粉末、Fe−5mass%Al粉末、Fe−9.5mass%Si−5.5mass%Al(センダスト)粉末、Fe−50mass%Co(パーメンジュール)及びFe−50mass%Ni(パーマロイ)が挙げられる。なお、「mass%」は質量%と同義である。   Specifically, as the metal powder 4, pure iron powder containing no other components, Fe-3 mass% Si powder, Fe-6.5 mass% Si powder, Fe-3 mass% Si-2 mass% Cr powder, Fe- Examples include 5 mass% Al powder, Fe-9.5 mass% Si-5.5 mass% Al (Sendust) powder, Fe-50 mass% Co (permendur) and Fe-50 mass% Ni (Permalloy). “Mass%” is synonymous with mass%.

皮膜6は、絶縁性である。この粉末2では、金属粉末4の表面に絶縁性の皮膜6が形成されている。この粉末2を樹脂、ゴム等の絶縁物に混合したものから得た磁性部材では、この皮膜6が金属粉末4同士の接触を防止する。これにより、渦電流の発生による実部透磁率μ’の低下が抑制される。この粉末2によれば、従来の粉末に比べて、磁性部材の実部透磁率μ’の向上が達成される。この粉末2は磁性部材の磁束収束効果に貢献するので、この粉末2を用いた磁性部材は電磁波遮蔽特性に優れる。さらに虚部透磁率μ”の低下も抑制できる。このため、本発明の粉末2を含む磁性部材は、高周波域における電磁波吸収特性にも優れる。本発明の粉末2によれば、電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性に優れた磁性部材が得られうる。   The film 6 is insulative. In this powder 2, an insulating film 6 is formed on the surface of the metal powder 4. In a magnetic member obtained by mixing the powder 2 with an insulating material such as resin or rubber, the coating 6 prevents the metal powders 4 from contacting each other. As a result, a decrease in the real part permeability μ ′ due to the generation of eddy current is suppressed. According to the powder 2, the real part permeability μ ′ of the magnetic member can be improved as compared with the conventional powder. Since the powder 2 contributes to the magnetic flux converging effect of the magnetic member, the magnetic member using the powder 2 is excellent in electromagnetic wave shielding characteristics. Further, it is possible to suppress a decrease in the imaginary part permeability μ ″. For this reason, the magnetic member including the powder 2 of the present invention is also excellent in electromagnetic wave absorption characteristics in a high frequency region. According to the powder 2 of the present invention, the electromagnetic wave shielding characteristics and A magnetic member having excellent electromagnetic wave absorption characteristics can be obtained.

図示されているように、皮膜6は金属粉末4を覆う。この粉末2では、皮膜6は金属粉末4に積層している。皮膜6は、金属粉末4に接合している。皮膜6は、金属粉末4の全体又はこの金属粉末4の一部を覆っている。電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性の観点から、金属粉末4の全体がこの皮膜6で覆われているのが好ましい。この皮膜6が2以上の層で構成されてもよい。   As shown, the coating 6 covers the metal powder 4. In this powder 2, the film 6 is laminated on the metal powder 4. The film 6 is bonded to the metal powder 4. The film 6 covers the entire metal powder 4 or a part of the metal powder 4. From the viewpoint of electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics, the entire metal powder 4 is preferably covered with this film 6. This film 6 may be composed of two or more layers.

皮膜6は、チタンアルコキシド類を含むものの重合物からなる。詳細には、この皮膜6はチタンアルコキシド類の重合物からなる。本発明では、チタンアルコキシド類とは1分子中にあるチタン原子に少なくとも1つのアルコキシド基が結合している化合物のことである。また本発明では、アルコキシド基とは有機基が負の電荷を持つ酸素と結合した化合物のことである。有機基とは、有機化合物からなる基のことである。チタンアルコキシド類という概念には、チタンアルコキシドのモノマー、このモノマーが複数重合されて形成されたオリゴマー、及び、チタンアルコキシドが生成する前の段階の化合物(以下、前駆体とも称される。)が含まれる。なお、この皮膜6が、チタンアルコキシド類以外の成分をさらに含むものの重合物から構成されてもよい。   The film 6 is made of a polymer containing titanium alkoxides. Specifically, the film 6 is made of a polymer of titanium alkoxides. In the present invention, titanium alkoxides are compounds in which at least one alkoxide group is bonded to a titanium atom in one molecule. In the present invention, the alkoxide group means a compound in which an organic group is bonded to oxygen having a negative charge. An organic group is a group made of an organic compound. The concept of titanium alkoxides includes a titanium alkoxide monomer, an oligomer formed by polymerizing a plurality of such monomers, and a compound at a stage prior to the production of titanium alkoxide (hereinafter also referred to as a precursor). It is. In addition, this membrane | film | coat 6 may be comprised from the polymer of what further contains components other than titanium alkoxides.

電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性に優れる磁性部材が得られるとの観点から、チタンアルコキシドで作製された皮膜6の厚さの、扁平加工された金属粉末4の厚さに対する比は、0.002以上0.2以下が好ましい。この比が0.002より小さいと、絶縁抵抗が低下し透磁率が低下する、又は金属粉末4同士が見かけ上接触したように振る舞い、金属粉末4の見かけの厚さが増加するため、反磁界係数の影響により透磁率が低下する。この比が0.2より大きいと皮膜6が厚くなり、粉末2の充填量が減少し透磁率が低下する。なお、皮膜6の厚さは後述する厚さTであり、金属粉末4の厚さは前述された厚さtavである。   From the viewpoint that a magnetic member having excellent electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics can be obtained, the ratio of the thickness of the film 6 made of titanium alkoxide to the thickness of the flattened metal powder 4 is 0.002 or more. 0.2 or less is preferable. If this ratio is smaller than 0.002, the insulation resistance is lowered and the magnetic permeability is lowered, or the metal powder 4 behaves as if they are in contact with each other, and the apparent thickness of the metal powder 4 is increased. The magnetic permeability decreases due to the influence of the coefficient. When this ratio is larger than 0.2, the film 6 becomes thick, the filling amount of the powder 2 decreases, and the magnetic permeability decreases. The thickness of the film 6 is a thickness T described later, and the thickness of the metal powder 4 is the thickness tav described above.

チタンアルコキシドの具体例として、チタンテトラメトキシド、チタンテトラエトキシド、チタンテトライソプロポキシド、チタンテトラブトキシド、チタンテトラ−2−エチルヘキソキシド及びイソプロピルトリドデシルベンゼンスフォニルチタネートが挙げられる。   Specific examples of the titanium alkoxide include titanium tetramethoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetraisopropoxide, titanium tetrabutoxide, titanium tetra-2-ethylhexoxide, and isopropyltridodecylbenzenesulfonyl titanate.

以上説明された粉末2については、種々のコーティング方法で作製が可能である。コーティング方法としては、混合法、ゾル・ゲル法、スプレードライヤー法及び転動流動層法が挙げられる。   The powder 2 described above can be produced by various coating methods. Examples of the coating method include a mixing method, a sol-gel method, a spray dryer method, and a rolling fluidized bed method.

本発明で用いるチタンアルコキシド類は溶剤で希釈して用いることができる。この溶剤としては、チタンアルコキシド類を溶解又は分散させうるものであればよく、この溶剤に特に制限はない。溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、アセトニトリル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、クロロホルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、酢酸エチル、プロピオン酸エチル及びテトラヒドロフランが挙げられる。   The titanium alkoxides used in the present invention can be diluted with a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve or disperse titanium alkoxides. Examples of the solvent include acetone, methyl ethyl ketone, acetonitrile, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, n-butanol, benzene, toluene, hexane, heptane, cyclohexane, chloroform, chlorobenzene, dichlorobenzene, ethyl acetate, ethyl propionate, and tetrahydrofuran. It is done.

この粉末2では、皮膜6の形成にはチタンアルコキシド類が用いられる。チタンアルコキシド類はアルミニウムアルコキシド類、ジルコニウムアルコキシド類等のアルコキシド類単体と比較して、適切な反応速度で金属粉末4の表面で重合していく。この皮膜6がチタンアルコキシド類の重合物からなる場合は、この皮膜6はチタンの酸化物からなる。チタンアルコキシド類からから形成された皮膜6では、クラックが少ない。しかもこの皮膜6は薄い。この皮膜6は、この粉末2から形成された磁性部材の電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性の向上に寄与しうる。本発明によれば、電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性に優れた磁性部材が得られる。   In this powder 2, titanium alkoxides are used for forming the film 6. Titanium alkoxides are polymerized on the surface of the metal powder 4 at an appropriate reaction rate as compared with alkoxides alone such as aluminum alkoxides and zirconium alkoxides. When the film 6 is made of a polymer of titanium alkoxides, the film 6 is made of an oxide of titanium. In the film 6 formed from titanium alkoxides, there are few cracks. Moreover, this film 6 is thin. The coating 6 can contribute to the improvement of the electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics of the magnetic member formed from the powder 2. According to the present invention, a magnetic member excellent in electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics can be obtained.

チタンアルコキシド類としてチタンアルコキシドのオリゴマーを皮膜6の形成に用いた場合、このチタンアルコキシド類としてチタンアルコキシドのモノマーをこの皮膜6の形成に用いた場合に比して、このチタンアルコキシド類がより適切な反応速度で重合する。このため、この皮膜6ではクラックの発生がより効果的に抑えられる上に、より薄い皮膜6が得られる。この皮膜6は、磁性部材の電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性の向上に寄与しうる。したがって、本発明では、適切な反応速度及び特性の向上の観点から、チタンアルコキシド類としてはチタンアルコキシドのオリゴマーが好ましい。   When an oligomer of titanium alkoxide is used as the titanium alkoxide for forming the film 6, the titanium alkoxide is more suitable than when a titanium alkoxide monomer is used as the titanium alkoxide for forming the film 6. Polymerize at reaction rate. For this reason, generation | occurrence | production of a crack is suppressed more effectively in this membrane | film | coat 6, and the thinner membrane | film | coat 6 is obtained. This film 6 can contribute to the improvement of the electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics of the magnetic member. Therefore, in the present invention, an oligomer of titanium alkoxide is preferable as the titanium alkoxide from the viewpoint of improving an appropriate reaction rate and characteristics.

チタンアルコキシドのオリゴマーは、チタンアルコキシドのモノマーを複数重合することにより得られる。換言すれば、チタンアルコキシドのオリゴマーはチタンアルコキシドのモノマーから形成されたものである。オリゴマーをなすモノマーの数は、皮膜6の形成時におけるチタンアルコキシド類の反応速度に影響する。適切な反応速度の観点から、チタンアルコキシドのオリゴマーをなすモノマーの数は、4以上が好ましく、50以下が好ましい。   The oligomer of titanium alkoxide is obtained by polymerizing a plurality of monomers of titanium alkoxide. In other words, the titanium alkoxide oligomer is formed from a titanium alkoxide monomer. The number of monomers constituting the oligomer affects the reaction rate of the titanium alkoxides when the film 6 is formed. From the viewpoint of an appropriate reaction rate, the number of monomers constituting the titanium alkoxide oligomer is preferably 4 or more, and more preferably 50 or less.

この粉末2では、皮膜6による金属粉末4の被覆率Cは20%以上が好ましい。前述したように、皮膜6は粉末2を用いて形成された磁性部材の電磁波遮蔽特性及び電磁波吸収特性に寄与しうる。特性向上の観点から、皮膜6による金属粉末4の被覆率Cは30%以上がより好ましい。さらに好ましくは、この被覆率Cは50%以上である。金属粉末4の全体が皮膜6で覆われるの最も好ましいので、特に好ましい被覆率Cは100%である。図1に示された粉末2において、皮膜6による金属粉末4の被覆率Cは100%である。この皮膜6は、金属粉末4の全体を覆っている。   In this powder 2, the coverage C of the metal powder 4 with the coating 6 is preferably 20% or more. As described above, the film 6 can contribute to the electromagnetic wave shielding characteristics and electromagnetic wave absorption characteristics of the magnetic member formed using the powder 2. From the viewpoint of improving characteristics, the coverage C of the metal powder 4 with the coating 6 is more preferably 30% or more. More preferably, the coverage C is 50% or more. Since it is most preferable that the entire metal powder 4 is covered with the film 6, a particularly preferable coverage ratio C is 100%. In the powder 2 shown in FIG. 1, the coverage C of the metal powder 4 with the coating 6 is 100%. This film 6 covers the entire metal powder 4.

本願では、皮膜6による金属粉末4の被覆率Cの算出には、透過型電子顕微鏡(TEM)にて撮影された粉末2の断面画像が用いられる。詳細には、TEMにて観察される無数の粉末2の中から、金属粉末4と皮膜6との境界の確認が可能な状態で10視野撮影される。撮影により得た写真において、金属粉末4が皮膜6で被覆されている長さ(以下、被覆長さとも称される。)及び金属粉末4の表面の長さが計測される。本願では、被覆長さを金属粉末4の表面の長さで除したものを百分率で表した数値が、被覆率Cとして表されている。   In the present application, a cross-sectional image of the powder 2 taken with a transmission electron microscope (TEM) is used to calculate the coverage C of the metal powder 4 with the coating 6. Specifically, 10 fields of view are photographed in a state in which the boundary between the metal powder 4 and the coating 6 can be confirmed from among the countless powders 2 observed by the TEM. In the photograph obtained by photographing, the length of the metal powder 4 covered with the film 6 (hereinafter also referred to as the coating length) and the length of the surface of the metal powder 4 are measured. In the present application, a numerical value representing a percentage obtained by dividing the coating length by the length of the surface of the metal powder 4 is represented as a coverage C.

図1において、両矢印Tは皮膜6の厚さを表している。本願では、厚さTは粉末2の断面を透過型電子顕微鏡(TEM)にて10視野撮影し、この撮影された断面の画像から得た計測値の平均値で表される。なお、撮影に際し、試料としての粉末2には、収束イオンビーム(FIB)加工により粉末2の断面が観察可能となるような調整がなされている。   In FIG. 1, the double arrow T represents the thickness of the film 6. In the present application, the thickness T is represented by an average value of measurement values obtained from 10 images of a cross section of the powder 2 taken with a transmission electron microscope (TEM). When photographing, the powder 2 as a sample is adjusted so that a cross section of the powder 2 can be observed by focused ion beam (FIB) processing.

皮膜6の厚さTは、粉末2を用いて形成された磁性部材の電磁場吸収特性及び電磁波遮蔽特性に影響する。この厚さTが1nmよりも小さくなると、成形された磁性部材の絶縁抵抗が低下してしまう。この場合、実部透磁率μ’が低下するとともに、実部透磁率μ’よりも高周波側で見られる虚部透磁率μ”も低下してしまう。この観点から、この厚さTは1nm以上が好ましい。この厚さTが200nmよりも大きくなると、磁性部材に含まれる粉末2の充填率(無数の粉末2からなる基材粉体の体積の、これらの粉末2が分散する樹脂又はゴムの体積に対する比)が低下してしまう。この場合においても、実部透磁率μ’が低下するとともに、虚部透磁率μ”が低下する恐れがある。この観点から、この厚さTは200nm以下が好ましい。   The thickness T of the film 6 affects the electromagnetic field absorption characteristics and electromagnetic wave shielding characteristics of the magnetic member formed using the powder 2. When the thickness T is smaller than 1 nm, the insulation resistance of the molded magnetic member is lowered. In this case, the real part permeability μ ′ is lowered and the imaginary part permeability μ ″ seen on the higher frequency side than the real part permeability μ ′ is also lowered. From this viewpoint, the thickness T is 1 nm or more. When the thickness T is larger than 200 nm, the filling rate of the powder 2 contained in the magnetic member (the volume of the base powder composed of innumerable powders 2 of the resin or rubber in which these powders 2 are dispersed) In this case, the real part permeability μ ′ may be lowered and the imaginary part permeability μ ″ may be lowered. From this viewpoint, the thickness T is preferably 200 nm or less.

以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。   Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by examples. However, the present invention should not be construed in a limited manner based on the description of the examples.

[磁性シート(磁性部材)の製作]
磁性シートの製作に先だって、下記の表1及び2に示された各例の粉末を製作した。この粉末の製作では、無数の金属粉末からなる粉体(10kg)が準備された。この粉体についてアトライタで処理を行い、各金属粉末に扁平加工が施された。なお、この金属粉末として、Fe−3mass%Si粉末及びFe−9.5mass%Si−5.5mass%Al粉末が用いられた。
[Production of magnetic sheet (magnetic member)]
Prior to the production of the magnetic sheet, the powders of the examples shown in Tables 1 and 2 below were produced. In the production of this powder, a powder (10 kg) made of countless metal powders was prepared. The powder was processed with an attritor, and each metal powder was flattened. As the metal powder, Fe-3 mass% Si powder and Fe-9.5 mass% Si-5.5 mass% Al powder were used.

チタンアルコキシド類を含む処理液を用いて、扁平加工の施された金属粉末に皮膜を形成させ、図1に示された絶縁被覆扁平粉末を作製した。この作製に使用したチタンアルコキシド類のタイプが、下記の表1及び2に示されている。皮膜の形成に用いられたチタンアルコキシドのオリゴマーは、このチタンアルコキシドのモノマーに溶剤を適量添加して作製された。なお、表1が金属粉末にFe−3mass%Si粉末を用いた場合を、表2が金属粉末にFe−9.5mass%Si−5.5mass%Al粉末を用いた場合をそれぞれ示している。   Using a treatment liquid containing titanium alkoxides, a film was formed on the flattened metal powder to produce the insulating coated flat powder shown in FIG. The types of titanium alkoxides used for the preparation are shown in Tables 1 and 2 below. The titanium alkoxide oligomer used to form the film was prepared by adding an appropriate amount of a solvent to the titanium alkoxide monomer. Table 1 shows the case where Fe-3 mass% Si powder was used for the metal powder, and Table 2 shows the case where Fe-9.5 mass% Si-5.5 mass% Al powder was used for the metal powder.

以上のようにして得た、無数の絶縁被覆扁平粉末からなる基材粉体を、小型ミキサーを用いて100℃の温度下でエポキシ樹脂と混練し、粉末が均一に分散した樹脂組成物を得た。エポキシ樹脂と基材粉体との体積比は、5対2とされた。この樹脂組成物を、4MPa、200℃の条件で5分間熱プレス処理し、厚み0.1mmの磁性シートを得た。   The base powder made of countless insulating coated flat powder obtained as described above is kneaded with an epoxy resin at a temperature of 100 ° C. using a small mixer to obtain a resin composition in which the powder is uniformly dispersed. It was. The volume ratio of the epoxy resin to the base powder was 5 to 2. This resin composition was hot-pressed for 5 minutes under the conditions of 4 MPa and 200 ° C. to obtain a magnetic sheet having a thickness of 0.1 mm.

[磁性シートの評価]
作製した磁性シートについて、温度25℃、周波数20MHzでの実部透磁率μ’及び比抵抗を測定した。この結果が、下記の表1及び2に示されている。なお、この実部透磁率μ’の測定には、アジレント・テクノロジー(Agilent Technologies)社製の商品名「ベクトル・ネットワーク・アナライザーN5245A」を用いた。比抵抗の測定には、日置電機社製の商品名「DSM−8104」を用いた。
[Evaluation of magnetic sheet]
With respect to the produced magnetic sheet, the real part permeability μ ′ and the specific resistance at a temperature of 25 ° C. and a frequency of 20 MHz were measured. The results are shown in Tables 1 and 2 below. The real part permeability μ ′ was measured using a product name “Vector Network Analyzer N5245A” manufactured by Agilent Technologies. The product name “DSM-8104” manufactured by Hioki Electric Co., Ltd. was used for the measurement of the specific resistance.

Figure 2015050360
Figure 2015050360

Figure 2015050360
Figure 2015050360

以下に、各例における粉末について詳細に説明する。   Below, the powder in each example is demonstrated in detail.

[実施例1−6、11−12、15−16、19−24、29−30及び33−34]
実施例1−6、11−12、15−16、19−24、29−30及び33−34は、アスペクト比が10から300の範囲にある金属粉末を用いている。皮膜はチタンアルコキシドのモノマーから形成された。各例の皮膜厚さT、厚さTの、金属粉末の厚さtavに対する比(T/tav)及び皮膜による金属粉末の被覆率Cは、表1−2に示されている通りである。
[Examples 1-6, 11-12, 15-16, 19-24, 29-30 and 33-34]
Examples 1-6, 11-12, 15-16, 19-24, 29-30 and 33-34 use metal powder having an aspect ratio in the range of 10 to 300. The coating was formed from a titanium alkoxide monomer. The film thickness T, the ratio of the thickness T to the thickness tav of the metal powder (T / tav), and the coverage C of the metal powder by the film are as shown in Table 1-2.

[実施例7−10、13−14、17−18、25−28、31−32及び35−36]
実施例7−10、13−14、17−18、25−28、31−32及び35−36は、アスペクト比が10から300の範囲にある金属粉末を用いている。皮膜はチタンアルコキシドのオリゴマーから形成された。各例の皮膜厚さT、厚さTの、金属粉末の厚さtavに対する比(T/tav)及び皮膜による金属粉末の被覆率Cは、表1−2に示されている通りである。
[Examples 7-10, 13-14, 17-18, 25-28, 31-32 and 35-36]
Examples 7-10, 13-14, 17-18, 25-28, 31-32 and 35-36 use metal powder having an aspect ratio in the range of 10 to 300. The film was formed from an oligomer of titanium alkoxide. The film thickness T, the ratio of the thickness T to the thickness tav of the metal powder (T / tav), and the coverage C of the metal powder by the film are as shown in Table 1-2.

[比較例1−2及び6−7]
比較例1−2及び6−7は、アスペクト比が10より小又は300より大の金属粉末を用いている。各例の皮膜厚さT及び皮膜による金属粉末の被覆率Cは、表1−2に示されている通りである。
[Comparative Examples 1-2 and 6-7]
Comparative Examples 1-2 and 6-7 use metal powder having an aspect ratio of less than 10 or greater than 300. The film thickness T and the coating rate C of the metal powder by the film are as shown in Table 1-2.

[比較例3−5及び8−10]
比較例3−5及び8−10の皮膜は、チタンアルコキシド以外の金属アルコキシドから形成された。各例の皮膜厚さT及び皮膜による金属粉末の被覆率Cは、表1−2に示されている通りである。
[Comparative Examples 3-5 and 8-10]
The films of Comparative Examples 3-5 and 8-10 were formed from metal alkoxides other than titanium alkoxide. The film thickness T and the coating rate C of the metal powder by the film are as shown in Table 1-2.

[総合評価1(Fe−3mass%Si粉末を用いた磁性シート)]
実部透磁率μ’及び比抵抗の値に基づき、下記の格付けを行った。
A:実部透磁率μ’が12以上であり、かつ、比抵抗が1.0×10Ω・m以上であること
B:実部透磁率μ’が10以上12未満であり、かつ、比抵抗が1.0×10Ω・m以上であること
C:実部透磁率μ’が9以上10未満である、又は、比抵抗が1.0×10Ω・m未満であること
D:実部透磁率μ’が9未満であること
この結果が、下記の表1に示されている。A、B、C、Dの順に良好である。
[Comprehensive evaluation 1 (magnetic sheet using Fe-3 mass% Si powder)]
The following rating was performed based on the values of the real part permeability μ ′ and the specific resistance.
A: The real part permeability μ ′ is 12 or more and the specific resistance is 1.0 × 10 5 Ω · m or more. B: The real part permeability μ ′ is 10 or more and less than 12, and The specific resistance is 1.0 × 10 5 Ω · m or more. C: The real part magnetic permeability μ ′ is 9 or more and less than 10, or the specific resistance is less than 1.0 × 10 5 Ω · m. D: The real part permeability μ ′ is less than 9. This result is shown in Table 1 below. Good in the order of A, B, C, D.

[総合評価2(Fe−9.5mass%Si−5.5mass%Al粉末を用いた磁性シート)]
実部透磁率μ’及び比抵抗の値に基づき、下記の格付けを行った。
A:実部透磁率μ’が8以上であり、かつ、比抵抗が1.0×10Ω・m以上であること
B:実部透磁率μ’が7以上8未満であり、かつ、比抵抗が1.0×10Ω・m以上であること
C:実部透磁率μ’が6以上7未満である、又は、比抵抗が1.0×10Ω・m未満であること
D:実部透磁率μ’が6未満であること
この結果が、下記の表2に示されている。A、B、C、Dの順に良好である。
[Comprehensive evaluation 2 (magnetic sheet using Fe-9.5 mass% Si-5.5 mass% Al powder)]
The following rating was performed based on the values of the real part permeability μ ′ and the specific resistance.
A: The real part permeability μ ′ is 8 or more and the specific resistance is 1.0 × 10 7 Ω · m or more. B: The real part permeability μ ′ is 7 or more and less than 8, and The specific resistance is 1.0 × 10 7 Ω · m or more. C: The real part magnetic permeability μ ′ is 6 or more and less than 7, or the specific resistance is less than 1.0 × 10 7 Ω · m. D: The real part permeability μ ′ is less than 6. This result is shown in Table 2 below. Good in the order of A, B, C, D.

表1に示されているように、Fe−3mass%Si粉末を金属粉末として用いた場合、実施例の粉末を使用した磁性シートでは、周波数20MHzの条件において、9以上の実部透磁率μ’が実現された。さらに皮膜の形成にチタンアルコキシドのオリゴマーを使用することで、12以上の実部透磁率μ’及び1.0×10Ω・m以上の比抵抗が実現された。表2に示されているように、Fe−9.5mass%Si−5.5mass%Al粉末を金属粉末として用いた場合、実施例の粉末を使用した磁性シートでは、周波数20MHzの条件において、6以上の実部透磁率μ’が実現された。さらに皮膜の形成にチタンアルコキシドのオリゴマーを使用することで、8以上の実部透磁率μ’及び1.0×10Ω・m以上の比抵抗が実現された。 As shown in Table 1, when Fe-3 mass% Si powder was used as the metal powder, the magnetic sheet using the powder of the example had a real part permeability μ ′ of 9 or more under the condition of a frequency of 20 MHz. Was realized. Furthermore, by using an oligomer of titanium alkoxide for forming the film, a real part permeability μ ′ of 12 or more and a specific resistance of 1.0 × 10 5 Ω · m or more were realized. As shown in Table 2, when the Fe-9.5 mass% Si-5.5 mass% Al powder was used as the metal powder, the magnetic sheet using the powder of the example had a frequency of 20 MHz under the condition of 6 MHz. The above real part permeability μ ′ was realized. Furthermore, by using an oligomer of titanium alkoxide for the formation of a film, a real part permeability μ ′ of 8 or more and a specific resistance of 1.0 × 10 7 Ω · m or more were realized.

以上説明された絶縁被覆扁平粉末は、種々の磁性シートにも適用されうる。   The insulating coating flat powder described above can be applied to various magnetic sheets.

2・・・粉末
4・・・金属粉末
6・・・皮膜
2 ... Powder 4 ... Metal powder 6 ... Film

Claims (6)

扁平加工された金属粉末と、この金属粉末の表面に付着した絶縁性の皮膜とを備えており、
上記金属粉末のアスペクト比が10以上300以下であり、
上記皮膜がチタンアルコキシド類を含むものの重合物からなる磁性部材用絶縁被覆扁平粉末。
It has a flat-processed metal powder and an insulating film attached to the surface of the metal powder.
The aspect ratio of the metal powder is 10 or more and 300 or less,
An insulating coated flat powder for a magnetic member, wherein the coating comprises a polymer containing titanium alkoxides.
上記皮膜の厚さの、上記金属粉末の厚さに対する比が0.002以上0.2以下である請求項1に記載の磁性部材用絶縁被覆扁平粉末。   The insulating coating flat powder for a magnetic member according to claim 1, wherein the ratio of the thickness of the coating to the thickness of the metal powder is 0.002 or more and 0.2 or less. 上記チタンアルコキシド類がチタンアルコキシドのオリゴマーである請求項1又は2に記載の磁性部材用絶縁被覆扁平粉末。   The insulating coating flat powder for magnetic members according to claim 1 or 2, wherein the titanium alkoxide is an oligomer of titanium alkoxide. 上記皮膜による上記金属粉末の被覆率が20%以上である請求項1から3のいずれかに記載の磁性部材用絶縁被覆扁平粉末。   The insulating coating flat powder for a magnetic member according to any one of claims 1 to 3, wherein a coating rate of the metal powder by the coating is 20% or more. 上記皮膜の厚さが1nm以上200nm以下であり、
この皮膜がチタンの酸化物からなる請求項1から4のいずれかに記載の磁性部材用絶縁被覆扁平粉末。
The thickness of the film is 1 nm or more and 200 nm or less,
The insulating coating flat powder for a magnetic member according to any one of claims 1 to 4, wherein the film is made of an oxide of titanium.
請求項1から5のいずれかに記載の絶縁被覆扁平粉末を用いて形成された磁性部材。   A magnetic member formed using the insulating coating flat powder according to claim 1.
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