JP2015044267A - ロボットシステム及び劣化検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ロボットアームに取り付けられる測定用の端子の数が増大するのを回避して、ロボットアームの大型化を回避する。
【解決手段】ロボットアーム２００には、ツール３００_１，３００_２への電力線又は信号線が電気的に接続された端子２１１ａが設けられている。ツール３００_１，３００_２には、ツール装着時に端子２１１ａに接触する端子３０１ａ_１，３０１ａ_２と、端子３０１ａ_１，３０１ａ_２に電気的に導通する端子３０２ａ_１，３０２ａ_２が設けられている。載置台４００_１，４００_２には、ツールが載置台に載置されたときに端子３０２ａ_１，３０２ａ_２に接触する端子４０１ａ_１，４０１ａ_２が設けられている。抵抗測定部１０５が、端子２１１ａと端子４０１ａ_１（端子４０１ａ_２）との間の電気抵抗値を測定することで、制御部１５０が端子２１１ａと端子３０１ａ_１（端子３０１ａ_２）との接点の接触状態の良否を判断する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ロボットアームと、ロボットアームに着脱可能なツールとを備えたロボットシステム、及びロボットアームとツールとの接点の劣化を検出する劣化検出方法に関する。

現在、多軸多関節のロボットアームに、エアシリンダを使ったツールや、モータを制御して作業を行う電動ツール等を装着し、搬送作業や組立作業などを行うロボットシステムが使用されている。

多品種少量生産のため、複数の作業を１台のロボットアームを用いて行うための方法として、グリッパツールや３つ爪ツールや４つ爪ツール等のツールを、作業に応じて着脱交換する方法が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１では、電源供給部と制御処理部で構成されるロボット制御装置のツールへの電源供給と電気信号伝達のために、複数の端子からなる接点ユニットが、ロボットアーム先端とツールに設けられている。

以下、ロボットアームの接点ユニットをアーム側接点ユニットと呼び、ツールの接点ユニットをツール側接点ユニットと呼ぶ。アーム側接点ユニットは、複数の端子を有し、ツール側接点ユニットは、アーム側接点ユニットの端子数と同数の複数の端子を有する。ツールがロボットアームに装着されることにより、アーム側接点ユニットの端子とツール側接点ユニットの端子とが接触する。

しかしながら、アーム側接点ユニットの端子とツール側接点ユニットの端子との接点は、接触不良や経年劣化などによって接触抵抗が上昇し、電圧降下が大きくなり、十分に電力供給又は電気信号伝達ができなくなり、ロボットシステムが停止することがあった。

一方、接点の接触不良や経年劣化による装置の停止を回避するために、接点の接触抵抗を検出する方法として、以下の検出部を備えた電子装置の技術が知られている（特許文献２参照）。

特許文献２に記載の電子装置は、本体と負荷ユニットとからなり、本体側の接点ユニットと、負荷側の接点ユニットとの接続により、本体から負荷ユニットに電力供給が可能となっている。

負荷側の接点ユニットは、互いに電気的に導通する２つの端子を有し、本体側の接点ユニットは、負荷側の接点ユニットの各端子に接続されて、２つの接点を形成する２つの端子を有している。本体側の接点ユニットの２つの端子の電位差を検出部で検出することにより、２つの接点の接触抵抗を検出することができる。

特開平５−３０１１８７号公報 特開２００７−２９８２８８号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載のロボットに、上記特許文献２に記載の接続構造を適用した場合、アーム側接点ユニットとツール側接点ユニットのそれぞれに、測定用端子を１つ増やす必要がある。例えば、アーム側接点ユニットが、電力用に２つの端子、信号用に２つの端子を有している場合、測定用に更に４つの端子を追加する必要がある。

したがって、上記特許文献２の技術をそのまま上記特許文献１の技術に適用すると、アーム側接点ユニットに測定用端子を追加した分、ロボットアームが大型化し、周辺部材と干渉するのを回避するために、ロボットアームの動作を制限する必要があった。

さらに、アーム側接点ユニットに追加した端子と検出部の端子とを接続する配線をロボットアームに這わせた場合、配線を追加した分、ロボットアームに這わせる配線束が太くなる。よって、ロボットアームの内部に配線束を這わせた場合には、配線束が太くなる分、ロボットアームを大型化しなければならず、ロボットアームの外部に配線束を這わせた場合には、配線束が周辺部材と干渉するのを回避する必要がある。したがって、ロボットアームの動作を制限する必要があった。

そこで、本発明は、ロボットアームに取り付けられる測定用の端子の数が増大するのを回避して、ロボットアームの大型化を回避することができる。

本発明のロボットシステムは、ロボットアームと、前記ロボットアームに着脱可能なツールと、前記ロボットアームに取り付けられ、前記ツールへの電力線又は信号線が電気的に接続されたアーム側端子と、前記ツールに取り付けられ、前記ツールが前記ロボットアームに装着されたときに前記アーム側端子に接触するツール側端子と、前記ツールが載置可能な載置台と、前記ツールに取り付けられ、前記ツール側端子に電気的に導通する測定用ツール側端子と、前記載置台に取り付けられ、前記ツールが前記載置台に載置されたときに前記測定用ツール側端子に接触する載置台側端子と、前記アーム側端子と前記載置台側端子との間の電気抵抗値を測定する抵抗測定部と、前記ツールが前記ロボットアームに装着され、且つ前記ツールが前記載置台に載置されている状態での前記抵抗測定部の測定結果に基づいて、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否を判断する制御部と、を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、アーム側端子とツール側端子との接点の接触状態の良否を判断するために、ロボットアーム側に測定用の端子を追加する必要がなくなり、ロボットアームの大型化を回避することができる。

第１実施形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。 第１実施形態におけるロボット制御装置の制御切換部及び検出切換部の内部構成を模式的に示したロボットシステムの説明図である。 第１実施形態におけるロボット制御装置の制御部が実施するツール接続処理を示すフローチャートである。 第１実施形態におけるロボット制御装置の制御部が実施するツール切離処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。 第２実施形態におけるロボット制御装置の制御部が実施する初期測定のフローチャートである。 第２実施形態において、抵抗測定する際のロボットシステムの動作を示す説明図である。

以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。ロボットシステム５００は、ロボットアーム２００と、複数のツール３００_１，３００_２と、複数の載置台４００_１，４００_２と、ロボット制御装置１００と、を備えている。ロボットアーム２００は、多関節のロボットアーム本体２０１と、ロボットアーム本体２０１の先端に設けられた着脱部２０２と、を有している。

ロボットアーム２００の先端、即ち着脱部２０２には、ツール３００_１，３００_２が着脱可能となっており、図１では、ツール３００_１が装着されている。

各ツール３００_１，３００_２は、電力供給及び電気信号により動作する負荷部Ｌ_１，Ｌ_２、例えばサーボモータ（不図示）を有している。

載置台４００_１，４００_２は、対応するツール３００_１，３００_２が載置可能に構成されている。つまり、載置台４００_１はツール３００_１が載置可能に構成され、載置台４００_２はツール３００_２が載置可能に構成されている。

ロボットアーム２００の先端、即ち着脱部２０２には、アーム側端子としての端子２１１ａを有する接点ユニット（アーム側接点ユニット）２１１が取り付けられている。

ツール３００_１には、ツール３００_１がロボットアーム２００に装着されたときに接点ユニット２１１の端子２１１ａに接触するツール側端子としての端子３０１ａ_１を有する接点ユニット（ツール側接点ユニット）３０１_１が取り付けられている。同様に、ツール３００_２には、ツール３００_２がロボットアーム２００に装着されたときに接点ユニット２１１の端子２１１ａに接触する端子３０１ａ_２を有する接点ユニット３０１_２が取り付けられている。

接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１は、ツール３００_１の負荷部Ｌ_１に電気的に導通している。つまり、ツール３００_１の負荷部Ｌ_１には、接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１を通じて、外部から電力供給又は外部との信号伝送が可能に構成されている。同様に、接点ユニット３０１_２の端子３０１ａ_２は、ツール３００_２の負荷部Ｌ_２に電気的に導通している。つまり、ツール３００_２の負荷部Ｌ_２には、接点ユニット３０１_２の端子３０１ａ_２を通じて、外部から電力供給又は外部との信号伝送が可能に構成されている。

また、ツール３００_１には、接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１に電気的に導通している測定用ツール側端子としての端子３０２ａ_１を有する接点ユニット（測定用ツール側接点ユニット）３０２_１が取り付けられている。同様に、ツール３００_２には、接点ユニット３０１_２の端子３０１ａ_２に電気的に導通している端子３０２ａ_２を有する接点ユニット３０２_２が取り付けられている。つまり、接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１と接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１とは、ツール３００_１の内部で接続されている。同様に、接点ユニット３０１_２の端子３０１ａ_２と接点ユニット３０２_２の端子３０２ａ_２とは、ツール３００_２の内部で接続されている。

載置台４００_１には、ツール３００_１が載置されたときに接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１に接触する載置台側端子としての端子４０１ａ_１を有する接点ユニット（載置台側接点ユニット）４０１_１が取り付けられている。同様に、載置台４００_２には、ツール３００_２が載置されたときに接点ユニット３０２_２の端子３０２ａ_２に接触する端子４０１ａ_２を有する接点ユニット４０１_２が取り付けられている。

ロボット制御装置１００は、制御部１５０、抵抗測定部１０５、制御切換部１０７、検出切換部１０８、及び報知部１０９を有して構成されている。制御部１５０は、統括制御部１０１、アーム制御部１０２、着脱制御部１０３、ツール制御部１０４_１，１０４_２、及び判定部１０６を有して構成されている。

統括制御部１０１と各部１０２〜１０９とは、統括制御配線１２０で接続されている。ロボットアーム本体２０１とアーム制御部１０２とは、アーム配線２２１で接続されている。着脱部２０２と着脱制御部１０３とは、着脱配線２２２で接続されている。

ツール制御部１０４_１，１０４_２と制御切換部１０７とは、ツール配線２２４_１，２２４_２で接続されている。制御切換部１０７と接点ユニット２１１の端子２１１ａとは、ツール配線２２３で接続されている。抵抗測定部１０５と制御切換部１０７とは、測定用配線２２５で接続されており、抵抗測定部１０５と検出切換部１０８とは、測定用配線２２６で接続されている。また、検出切換部１０８と載置台４００_１，４００_２とは、載置台配線４１１_１，４１１_２で接続されている。

統括制御部１０１は、計算処理を行い、統括制御配線１２０を介して各部１０２〜１０９に命令を与える。

統括制御配線１２０、アーム配線２２１、着脱配線２２２、ツール配線２２３，２２４_１，２２４_２は、電源供給と電気信号伝達を行えるように複数の電線で構成される。例えば、各配線２２１，２２２，２２３，２２４_１，２２４_２は、電源用、電源グラウンド用、信号用、信号グラウンド用に４つの電線で構成されている。つまり、各配線２２１，２２２，２２３，２２４_１，２２４_２は、２つの電力線及び２つの信号線からなる４つの電線で構成されている。

また、各接点ユニット２１１，３０１_１，３０１_２，３０２_１，３０２_２，４０１_１，４０１_２も、各配線の電線と同数の端子、即ち２つの電力端子及び２つの信号端子からなる４つの端子を有して構成されている。また、載置台配線４１１_１，４１１_２及び測定用配線２２５，２２６も、合計４つの電線で構成される。

抵抗測定部１０５は、測定用配線２２５及び測定用配線２２６の各電線が各々１本ずつ接続される２つの測定用端子としての端子１１５，１１６を有する抵抗測定回路（不図示）を４つ備えている。

抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路は、２つの端子１１５，１１６間に端子２１１ａ，３０１ａ，３０２ａ，４０１ａを含む閉ループ回路が形成されたときの閉ループ回路の電気抵抗値、即ち端子２１１ａと端子４０１ａとの間の電気抵抗値を測定する。抵抗測定部１０５は、電気抵抗値として、２つの端子１１５，１１６間の電位差を測定する。配線の電気抵抗値はほとんど変化せず一定とみなせるので、抵抗測定部１０５は、端子４０１ａ_１（端子４０１ａ_２）と端子２１１ａとの間の電気抵抗値、即ち端子４０１ａ_１（端子４０１ａ_２）と端子２１１ａとの間の電位差を測定しているのと等価である。

判定部１０６は、抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路により測定した電気抵抗値を判定するための閾値を持つ。また、閾値は、ツール３００_１，３００_２内部の負荷部Ｌ_１，Ｌ_２に必要とされる供給電圧が下回るような抵抗値を設定する。

アーム制御部１０２は、統括制御部１０１から与えられる位置命令を受け取り、ロボットアーム本体２０１内を通るアーム配線２２１を介して、ロボットアーム本体２０１内にあるサーボモータ（不図示）の動作を位置命令に従い制御する。

報知部１０９は、例えば警告灯であり、制御部１５０の統括制御部１０１の制御の下、警告灯の点灯によってユーザに報知する。

着脱部２０２は、ツール３００_１，３００_２の接続、切離しの機械的処理を行う。接続、切離しの機械的処理は、ロボットアーム２００がツール３００_１，３００_２に対応している載置台４００_１，４００_２の上方に移動したのちに行われる。ツール３００_１，３００_２は、負荷部Ｌ_１，Ｌ_２としてサーボモータを内蔵しており、負荷部Ｌ_１，Ｌ_２はツール制御部１０４_１，１０４_２によって制御される。

２種類のツール３００_１，３００_２は、把持するワークの形状や重量により使い分ける。例えば、ツール３００_１は微細なワークを把持するための爪先が細いピンセットツールであり、ツール３００_２は大型ワークを把持するための爪先が大きい二つ爪グリッパツールである。

制御部１５０は、ツール装着動作及びツール切離動作を実行可能に構成されている。ツール装着動作は、載置台４００_１又は載置台４００_２に載置されているツール３００_１又はツール３００_２をロボットアーム２００に装着させる動作である。ツール切離動作は、ロボットアーム２００に装着されているツール３００_１又はツール３００_２を載置台４００_１又は載置台４００_２に載置させて切り離す動作である。

以下、ツール３００_１を対象としたツール装着動作及びツール切離動作について詳細に説明するが、まずツール装着動作について説明する。

着脱部２０２にツール３００_１が装着されていない状態からツール３００_１を装着させる場合、まず、統括制御部１０１がアーム制御部１０２に命令を出し、ロボットアーム２００を載置台４００_１の上方に移動させる。

次に、統括制御部１０１が着脱制御部１０３に接続命令を出し、着脱制御部１０３がロボットアーム本体２０１内を通る着脱配線２２２を介して電気接続されている着脱部２０２のサーボモータを制御し、機械的嵌合処理を行う。これにより、着脱部２０２とツール３００_１との接続を行う。着脱部２０２は磁石で機械的嵌合処理をするものでも良い。また、空気圧で機械的嵌合処理するような機構でも良く、その場合は着脱配線の代わりに空気を通すホース等になる。

着脱部２０２とツール３００_１との接続によって、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１とが電気的に接続される。また制御切換部１０７によって、ツール配線２２４_１とツール配線２２３とを電気的に接続する。

なお、着脱部２０２とツール３００_２との接続処理を行う場合は、制御切換部１０７によって、ツール配線２２４_２とツール配線２２３とを接続し、抵抗測定時は測定用配線２２５とツール配線２２３とを接続する。ツール配線２２３はロボットアーム本体２０１の外部に配置され、接点ユニット２１１の端子２１１ａに電気的に接続されている。

以上の切換動作により、ツール制御部１０４_１は、ツール配線２２３、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接点を介して、ツール３００_１の負荷部Ｌ_１に電力供給と電気信号の伝達が行えるようになる。ツール３００_１とツール制御部１０４_１と電気的な接続がなされることで、ツール制御部１０４_１は、把持命令または把持解放命令をツール３００_１の負荷部Ｌ_１（サーボモータ）に送信し、ツール３００_１の爪先の開閉制御を行う。ツール３００_１の爪先の開閉によって、ワーク（不図示）の把持や把持解放を行い、生産に必要な搬送工程や組立工程を行う。

次に、着脱部２０２にツール３００_１が装着されている状態からツール切離動作を行う場合について説明する。まず、統括制御部１０１がアーム制御部１０２に命令を出し、ロボットアーム２００を載置台４００_１の上方に移動させる。移動完了後に統括制御部１０１が着脱制御部１０３に切離し命令を出し、着脱制御部１０３が着脱部２０２のサーボモータを制御し、機械的切離し処理を行うことで、ツール切離動作が終了する。

なお、載置台４００_１にツール３００_１が載置されているときは、接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１と、接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１とが電気的に接続される。同様に、載置台４００_２にツール３００_２が載置されているときは、接点ユニット３０２_２の端子３０２ａ_２と、接点ユニット４０１_２の端子４０１ａ_２とが電気的に接続される。

図２は、第１実施形態におけるロボット制御装置１００の制御切換部１０７及び検出切換部１０８の内部構成を模式的に示したロボットシステム５００の説明図である。なお、図２において、ロボットアーム本体２０１の先端部分のみを図示し、残りの部分の図示を省略している。

制御切換部１０７は、ツール配線２２３とツール配線２２４_１との接続及び切断を切り換える開閉スイッチ１０７ａと、ツール配線２２３とツール配線２２４_２との接続及び切断を切り換える開閉スイッチ１０７ｂと、を有している。また、制御切換部１０７は、ツール配線２２３と測定用配線２２５との接続及び切断を切り換える開閉スイッチ１０７ｃを有している。検出切換部１０８は、測定用配線４２６を載置台配線４１１_１及び載置台配線４１１_２のうちいずれか一方の配線に接続する切換スイッチである。なお、これらスイッチは、電気的に導通・非導通を切り換えることができればよく、例えば機械的なスイッチを用いてもよいし、半導体スイッチング素子を用いてもよい。

図２には、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１とが接続され、かつ接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１と接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１とが接続された状態を図示している。

図２に示すような接続状態のときに、制御切換部１０７によって、開閉スイッチ１０７ａと開閉スイッチ１０７ｂを切断（開放）し、開閉スイッチ１０７ｃを閉じ、ツール配線２２３と測定用配線２２５を接続する。さらに、検出切換部１０８で測定用配線２２６と載置台配線４１１_１と接続する。

これにより、抵抗測定部１０５の２つの端子１１５，１１６の間に閉ループ回路が形成され、抵抗測定部１０５により閉回路の電気抵抗値が測定される。閉ループ回路とは、抵抗測定部１０５、測定用配線２２５、ツール配線２２３、接点ユニット２１１と接点ユニット３０１_１との接点、接点ユニット３０２_１と接点ユニット４０１_１との接点、載置台配線４１１_１、測定用配線２２６で形成される回路である。

閉ループ回路が形成されたことで、抵抗測定部１０５の２つの端子１１５，１１６間の電気抵抗値、即ち端子２１１ａと端子４０１ａ_１との間の電気抵抗値を抵抗測定部１０５により測定可能となる。

よって、接点ユニット２１１において、抵抗測定用に端子の数（接点数）を追加したり、ロボットアーム本体２０１に沿ってロボットアーム本体２０１の内部又は外部に這わせる測定用の配線を追加したりする必要がない。したがって、ロボットアーム２００から張り出す部分が増加するのを回避することができ、また、ロボットアーム２００が大型化するのを回避することができる。

図３は、ロボット制御装置１００の制御部１５０が実施するツール接続処理を示すフローチャートである。

着脱部２０２にツール３００_１が接続されていない状態から着脱部２０２にツール３００_１を装着して電気抵抗値を測定し、その測定結果に基づく動作について説明する。以下、装着対象がツール３００_１の場合について説明するが、装着対象がツール３００_２の場合についても、ツール３００_１の場合と同様であるので説明を省略する。

統括制御部１０１は、アーム制御部１０２にツール接続命令を出力し、アーム制御部１０２は、ツール接続命令の入力を受けて、ロボットアーム２００を載置台４００_１上方へ移動させる制御を開始する（Ｓ１）。

このとき、検出切換部１０８が載置台配線４１１_１と測定用配線２２６とを接続し、さらに、制御切換部１０７がツール制御部１０４_１，１０４_２をツール配線２２３から切断し、抵抗測定部１０５をツール配線２２３に接続する（Ｓ２）。

次に、アーム制御部１０２が載置台４００_１上方の接続位置にロボットアーム２００を移動させた後（Ｓ３）、着脱制御部１０３が着脱部２０２にツール３００_１の機械的接続処理を行う（Ｓ４：閉ループ回路形成工程）。つまり、ツール３００_１を載置台４００_１に載置させ、且つツール３００_１をロボットアーム２００に装着させた状態にする。これにより、端子２１１ａと端子３０１ａ_１とを接触させ、且つ端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１とを接触させて、抵抗測定部１０５の２つの端子１１５，１１６間に閉ループ回路を形成する。以上の動作がツール装着動作である。

そのツール装着動作の直後、統括制御部１０１は、抵抗測定部１０５に閉ループ回路、即ち端子２１１ａと端子４０１ａ_１との間の電気抵抗値を測定させる（Ｓ５：測定工程）。ツール装着動作の直後とは、載置台４００_１に載置されたツール３００_１をロボットアーム２００に装着してからロボットアーム２００を移動させるまでであり、ロボットアーム２００の姿勢がツール３００_１を装着してから移動していない状態のときである。換言すると、端子２１１ａと端子３０１ａ_１とが接触し、かつ端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１とが接触している状態のときである。

次に、判定部１０６は、ステップＳ５における抵抗測定部１０５の測定結果に基づいて、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断する（Ｓ６：判断工程）。具体的に説明すると、判定部１０６は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否の判断として、抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路により測定された電気抵抗値（測定値）が所定閾値よりも低いか否かを判断する。

ステップＳ６にて判定部１０６が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち全てが所定閾値よりも低いと判断した場合（Ｓ６：Ｙｅｓ）、統括制御部１０１は、次の予定位置へとロボットアーム２００を移動させる制御を開始する（Ｓ７）。即ち、判定部１０６が端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態が良好と判断した場合（Ｓ６：Ｙｅｓ）、ステップＳ７の処理に移行する。

ロボットシステム５００の次の位置への移動を開始した後、判定部１０６は、抵抗測定部１０５にて測定された電気抵抗値（測定値）が所定閾値よりも高いか否かを判断する（Ｓ８）。判定部１０６がステップＳ８にて抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路の測定値が所定閾値を上回ることを判定した後（Ｓ８：Ｙｅｓ）、制御切換部１０７により抵抗測定部１０５を切断し、ツール制御部１０４_１をツール配線２２３に接続する（Ｓ９）。

一方、判定部１０６が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち少なくとも１つが所定閾値を上回ったと判断した場合（Ｓ６：Ｎｏ）、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２にロボットアーム２００を停止させる指令を送る（Ｓ１０）。或いは、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２に次の動作命令を送るのを停止する。これにより、アーム制御部１０２は、ロボットアーム２００の動作を停止させる制御を行う。つまり、統括制御部１０１は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態を不良と判断した場合に、ロボットアーム２００の動作を停止させる。

次いで、統括制御部１０１は、報知部１０９に、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態が不良である旨をユーザに報知させる（Ｓ１１）。具体的には、報知部１０９は警告灯であるので、統括制御部１０１は、警告灯を点灯させる。

警告灯の点灯を見た作業者（ユーザ）は、接触不良があることを認識することができ、接点ユニット２１１、接点ユニット３０１_１、接点ユニット４０１_１、接点ユニット３０２_１のメンテナンス、または交換の対応を行うことができる。

なお、ステップＳ６にて判定部１０６が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち少なくとも１つが所定閾値を上回ったと判断した場合（Ｓ６：Ｎｏ）、再度接続し直す動作を行ってもよい。

以上が、第１実施形態における接続処理であり、着脱部２０２とツール３００_１との接続後は、ツール３００_１を使用して搬送工程や組立工程を行う。

図４は、ロボット制御装置１００の制御部１５０が実施するツール切離処理を示すフローチャートである。

着脱部２０２にツール３００_１が接続されている状態からツール３００_１を切り離す直前で電気抵抗値を測定し、その測定結果に基づく動作について説明する。以下、装着対象がツール３００_１の場合について説明するが、装着対象がツール３００_２の場合についても、ツール３００_１の場合と同様であるので説明を省略する。

統括制御部１０１は、アーム制御部１０２にツール切り離し命令を出力し、アーム制御部１０２は、ツール切り離し命令の入力を受けて、ロボットアーム２００を載置台４００_１上方へ移動させる制御を開始する（Ｓ２１）。

このとき、検出切換部１０８が載置台配線４１１_１と測定用配線２２６とを接続し、さらに、制御切換部１０７がツール制御部１０４_１，１０４_２をツール配線２２３から切断し、抵抗測定部１０５をツール配線２２３に接続する（Ｓ２２）。

次に、アーム制御部１０２が載置台４００_１上方の切り離し位置にロボットアーム２００を移動させることで（Ｓ２３）、抵抗測定部１０５の２つの端子１１５，１１６間に閉ループ回路を形成する（閉ループ回路形成工程）。

閉ループ回路を形成後、統括制御部１０１は、抵抗測定部１０５に閉ループ回路、即ち端子２１１ａと端子４０１ａ_１との間の電気抵抗値を測定させる（Ｓ２４：測定工程）。

このステップＳ２４における測定動作は、次の工程のツール切離動作を実行するに先立って行われる。つまり、次の工程のツール切離動作を実行する直前に行われる。ここで、ツール切離動作を実行する直前とは、閉ループ回路が形成された時からツール切離動作を実行する前までである。換言すると、端子２１１ａと端子３０１ａ_１とが接触し、かつ端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１とが接触している状態のときである。

次に、判定部１０６は、ステップＳ５における抵抗測定部１０５の測定結果に基づいて、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断する（Ｓ２５：判断工程）。具体的に説明すると、判定部１０６は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否の判断として、抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路により測定された電気抵抗値（測定値）が所定閾値よりも低いか否かを判断する。

ステップＳ２５にて判定部１０６が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち全てが所定閾値よりも低い場合（Ｓ２５：Ｙｅｓ）、着脱制御部１０３が着脱部２０２からツール３００_１の機械的切り離し処理を行う（Ｓ２６）。即ち、判定部１０６が端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態が良好と判断した場合（Ｓ２５：Ｙｅｓ）、統括制御部１０１の制御の下、着脱制御部１０３がツール切離動作を実行する。

次に、統括制御部１０１は、次の予定位置へとロボットアーム２００を移動させる制御を開始する（Ｓ２７）。

ステップＳ２５にて判定部１０６が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち少なくとも１つが所定閾値を上回った場合（Ｓ２５：Ｎｏ）、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２にロボットアーム２００を停止させる指令を送る（Ｓ２８）。或いは、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２に次の動作命令を送るのを停止する。これにより、アーム制御部１０２は、ロボットアーム２００の動作を停止させる制御を行う。つまり、統括制御部１０１は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態を不良と判断した場合に、ロボットアーム２００の動作を停止させる。

次いで、統括制御部１０１は、報知部１０９に、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態が不良である旨をユーザに報知させる（Ｓ２９）。具体的には、報知部１０９は警告灯であるので、統括制御部１０１は、警告灯を点灯させる。

警告灯が点灯したのを見た作業者（ユーザ）は、接触不良があることを認識することができ、接点ユニット２１１、接点ユニット３０１_１、接点ユニット４０１_１、接点ユニット３０２_１のメンテナンス、または交換の対応を行うことができる。以上が第１実施形態における切り離し処理である。

以上、第１実施形態によれば、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断するために、接点ユニット２１１に測定用の端子を追加する必要がない。したがって、ロボットアーム２００に這わせる配線を追加する必要がなく、ロボットアーム２００の大型化を回避することができる。

また、通常、電源供給で使用する電流は大電流であることが多く、接点が確実に接続しないで電源供給を開始すると、接点において放電現象が生じ、通常の接触による物理的な劣化よりも大きな接点劣化が起こる。

第１実施形態によれば、ロボットアーム２００にツール３００_１を装着した直後、即ち、ツール制御部１０４_１において電源供給と電気信号伝達を開始する前に、接点の接触状態の良否を判断している。したがって、接点において放電による著しい接点劣化を避けることができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係るロボットシステムについて説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係るロボットシステムの概略構成を示す説明図である。なお、第２実施形態において、前記第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して、説明を省略する。

前記第１実施形態では、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の劣化であるか、端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１との接点の劣化であるかは特定していなかった。第２実施形態では、いずれの接点の劣化であるかを特定する。

ロボットシステム５００Ａは、ロボットアーム２００と、複数のツール３００_１，３００_２と、複数の載置台４００_１，４００_２と、ロボット制御装置１００Ａと、を備えている。

ロボット制御装置１００Ａは、制御部１５０Ａ、抵抗測定部１０５、制御切換部１０７、検出切換部１０８、報知部１０９及び記憶部１１１を有して構成されている。

制御部１５０Ａは、ツール３００_１がロボットアーム２００に装着され、且つツール３００_１が載置台４００_１に載置されている状態での抵抗測定部１０５の測定結果に基づいて、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断する。制御部１５０Ａは、上記第１実施形態と同様、ツール装着動作及びツール切離動作を実行可能である。

制御部１５０Ａは、統括制御部１０１、アーム制御部１０２、着脱制御部１０３、ツール制御部１０４_１，１０４_２、及び計算部１１０を有して構成されている。

記憶部１１１は、抵抗測定部１０５で測定した電気抵抗値、又は計算部１１０で計算した計算値を記憶する。計算部１１０は、抵抗測定部１０５で測定した電気抵抗値や記憶部１１１で記憶された測定値を用いて計算する。

図６は、接点ユニットを交換した直後等、接点が初期状態になったときに行う、ロボット制御装置１００Ａの制御部１５０Ａが実施する初期測定のフローチャートである。

接点ユニット２１１，３０１_１，３０２_１，４０１_１を交換した直後は、着脱部２０２にツール３００_１が接続されていない状態である。まず、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２に、ロボットアーム２００を載置台４００_１上方へ移動させる制御を開始するよう命令する（Ｓ３１）。次に、検出切換部１０８が載置台配線４１１_１と測定用配線２２６とを接続し、さらに、制御切換部１０７がツール制御部１０４_１，１０４_２をツール配線２２３から切断し、抵抗測定部１０５をツール配線２２３に接続する（Ｓ３２）。

次に、アーム制御部１０２が載置台４００_１上方の接続位置にロボットアーム２００を移動させた後（Ｓ３３）、着脱制御部１０３が着脱部２０２にツール３００_１の機械的接続処理を行う。つまり、ツール３００_１を載置台４００_１に載置させ、且つツール３００_１をロボットアーム２００に装着させた状態にする。これにより、端子２１１ａと端子３０１ａ_１とを接触させ、且つ端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１とを接触させて、抵抗測定部１０５の２つの端子１１５，１１６間に閉ループ回路を形成する。以上の動作がツール装着動作である。

そのツール装着動作の直後、統括制御部１０１は、抵抗測定部１０５に閉ループ回路、即ち端子２１１ａと端子４０１ａ_１との間の電気抵抗値Ｒ_０を測定させる（Ｓ３４）。

電気抵抗値Ｒ_０は、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接触抵抗ｒ_１０、接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１と接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１との接触抵抗ｒ_２０の和である。統括制御部１０１は、この電気抵抗値Ｒ_０を記憶部１１１に記憶させる（Ｓ３５）。
Ｒ_０＝ｒ_１０＋ｒ_２０…式（１）

次に、計算部１１０は、ステップＳ３４における抵抗測定部１０５の測定結果に基づいて、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断する（Ｓ３６）。具体的に説明すると、計算部１１０は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否の判断として、抵抗測定部１０５の各抵抗測定回路により測定された電気抵抗値（測定値）が所定閾値よりも低いか否かを判断する。

計算部１１０が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち全てが所定閾値よりも低いと判断した場合（Ｓ３６：Ｙｅｓ）、統括制御部１０１は、次の予定位置へとロボットアーム２００を移動させる制御を開始する（Ｓ３７）。

一方、計算部１１０が抵抗測定部１０５の４つの抵抗測定回路の測定値のうち少なくとも１つが所定閾値を上回ったと判断した場合（Ｓ３６：Ｎｏ）、統括制御部１０１は、アーム制御部１０２にロボットアーム２００を停止させる指令を送る（Ｓ３８）。これにより、アーム制御部１０２は、ロボットアーム２００の動作を停止させる制御を行う。つまり、統括制御部１０１は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態を不良と判断した場合に、ロボットアーム２００の動作を停止させる。

次いで、統括制御部１０１は、報知部１０９に、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態が不良である旨をユーザに報知させる（Ｓ３９）。具体的には、報知部１０９は警告灯であるので、統括制御部１０１は、警告灯を点灯させる。

警告灯が点灯したのを見た作業者（ユーザ）は、接触不良があることを認識することができ、接点ユニット２１１、接点ユニット３０１_１、接点ユニット４０１_１、接点ユニット３０２_１のメンテナンス、または交換の対応を行うことができる。

ここで、接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１と接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１との接触抵抗ｒ_２０は、接続状態が維持されており、接点に異物が混入しない、かつ物理的な接触による接触面劣化をしない。そのため、この初期測定では、接触抵抗ｒ_２０は変化しない。

以上が接点ユニットの初期測定である。

図７は、抵抗測定する際のロボットシステム５００Ａの動作を示す説明図である。ロボットシステム５００Ａは、組立や搬送作業を行うために、図６に示す初期測定を行った後に、着脱部２０２にツール３００_１が接続されていない状態（状態Ａ）から着脱部２０２にツール３００_１を装着する（状態Ｂ）。次にツール３００_１を使用した作業（状態Ｃ）をした後に、ツール切離し処理（状態Ｄ）を行い、他のツール３００_２と接続し、組立や搬送作業を行う。

図７に示すツール交換の一連の流れを用いて、各接点の抵抗増加分の測定方法を以下に説明する。

まず、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接点の抵抗劣化成分ａ_１０，接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１と接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１との抵抗劣化成分ａ_２０、差分値ｄを以下のように定義する。
ａ_１０＝０…式（２）
ａ_２０＝０…式（３）
ｄ＝０…式（４）

図７に示す状態Ｂは、ツール未接続状態（状態Ａ）から、ツール３００_１と着脱部２０２とを接続した状態である。

測定値を電気抵抗値Ｒ_１とすると、接触抵抗ｒ_２０は、前述したとおり、接点に異物が混入しない、かつ接触面劣化をしないため変化しない。

しかし、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ１との接点の接触抵抗は、接続し直しており、接点への異物混入や接触面の劣化などが起きている可能性があるため、接触抵抗ｒ_１１となっている。

つまり電気抵抗値Ｒ_１は、接触抵抗ｒ_１１と接触抵抗ｒ_２０の和である。統括制御部１０１は、この電気抵抗値Ｒ_１を記憶部１１１に記憶させる。
Ｒ_１＝ｒ_１１＋ｒ_２０…式（５）

電気抵抗値Ｒ_１と電気抵抗値Ｒ_０との差分計算を計算部１１０で行う。この差分値ｄが接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接点の接触抵抗の抵抗変動分（増分値）である。統括制御部１０１は、差分値ｄとａ_１０の和（つまり積算値）をａ_１１とし、積算値ａ_１１を記憶部１１１に記憶させる。
ｄ＝Ｒ_１−Ｒ_０…式（６）
ａ_１１＝ｄ＋ａ_１０…式（７）

計算部１１０は、積算値ａ_１１が所定閾値を下回っているか否かを判断し、下回っていれば状態Ｃへと移る。積算値ａ_１１が所定閾値を上回っている場合は、接点ユニット２１１と接点ユニット３０１_１のメンテナンス、または交換の対応を行う。

次に、ツール３００_１を使用した作業を行う（状態Ｃ）。このとき、接点ユニット２１１と接点ユニット３０１_１は接続されており、接点に異物が混入しない、かつ接触面劣化をしないため、接触抵抗ｒ_１１は変化しない。

ロボットシステム５００は作業した後に、他のツール３００_２と交換するために、ツール切離し処理を行う。

図７に示す状態Ｄは、ツール切離し処理を行う直前の状態である。

このときの測定値を電気抵抗値Ｒ_２とすると接触抵抗ｒ_１１は前述したとおり、接点に異物が混入しない、かつ接触面劣化をしないため変化しない。

しかし、接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１と接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１との接触抵抗は、接続し直しており、接点への異物混入や接触面の劣化などが起きている可能性があるため、接触抵抗ｒ_２１となっている。

つまりＲ_２は接触抵抗ｒ_１１と接触抵抗ｒ_２１の和であり、統括制御部１０１は、電気抵抗値Ｒ_２を記憶部１１１に記憶させる。
Ｒ_２＝ｒ_１１＋ｒ_２１…式（８）

電気抵抗値Ｒ_２と電気抵抗値Ｒ_１との差分計算を計算部１１０で行う。この差分値ｄが接点ユニット４０１_１の端子４０１ａ_１と接点ユニット３０２_１の端子３０２ａ_１との接点の接触抵抗の抵抗変動分（増分値）である。差分値ｄとａ_２０の和（つまり積算値）をａ_２１として、統括制御部１０１は、積算値ａ_２１を記憶部１１１に記憶させる。
ｄ＝Ｒ_２−Ｒ_１…式（９）
ａ_２１＝ｄ＋ａ_２０…式（１０）

計算部１１０は、積算値ａ_２１が所定閾値を下回っているか否かを判断し、下回っていれば状態Ａへと移る。積算値ａ_２１が所定閾値を上回っている場合は、接点ユニット４０１_１と接点ユニット３０２_１のメンテナンス、または交換の対応を行う。

抵抗測定部１０５で測定する回数をｎ（１，２，３…）とすると、差分値ｄ、劣化成分は以下の一般式で表せる。
ｄ＝Ｒ_ｎ−Ｒ_{（ｎ−１）}…式（１１）
ａ_{１｛（ｎ＋１）／２｝}＝ｄ＋ａ_{１｛（（ｎ＋１）／２）−１｝} …式（１２）
ａ_{２（ｎ／２）}＝ｄ＋ａ_{２｛（ｎ／２）−１｝} …式（１３）
となる。

以上がツール使用の一連の動作における接点の劣化検出方法である。ツール使用時に上記劣化検出を行い、接点ユニット２１１と接点ユニット３０１_１の抵抗変動分として、積算値ａ_{１｛（ｎ＋１）／２｝}を、記憶部１１１に記憶させていく。また、接点ユニット４０１_１と接点ユニット３０２_１の抵抗変動分として、積算値ａ_{２（ｎ／２）}を記憶部１１１に記憶させていく。

即ち、統括制御部１０１は、端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否の判断として、ツール切離動作に次いでツール装着動作を実行する度に、ツール切離動作を実行するに先立って（直前に）抵抗測定部１０５により電気抵抗値を測定させる。計算部１１０は、ツール接離動作の直前に測定した電気抵抗値に対する、ツール装着動作を実行した直後に抵抗測定部１０５により測定させた電気抵抗値の増分値を積算する。そして、計算部１１０は、該積算値ａ_{１｛（ｎ＋１）／２｝}が所定閾値よりも低いか否かを判断する。

以上の動作により、初期状態からの端子２１１ａと端子３０１ａ_１との接点の接触抵抗の増分値が積分され、この積分結果に基づいて、接点の接触状態の良否が判断される。

また、統括制御部１０１は、ツール装着動作に次いでツール切離動作を実行する度に、ツール装着動作を実行した直後に抵抗測定部１０５により電気抵抗値を測定させる。計算部１１０は、ツール装着動作の直後に測定された電気抵抗値に対する、ツール切離動作を実行する直前に抵抗測定部１０５により測定された電気抵抗値の増分値を積算する。そして、計算部１１０は、該積算値ａ_{２（ｎ／２）}に基づき端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１との接点の接続状態の良否を判断する。具体的には、計算部１１０は、積算値ａ_{２（ｎ／２）}が所定閾値よりも低いか否かを判断する。

以上の動作により、初期状態からの端子３０２ａ_１と端子４０１ａ_１との接点の接触抵抗の増分値が積分され、この積分結果に基づいて、接点の接触状態の良否が判断される。

ツールが複数ある場合は、ツール毎に測定値Ｒと劣化成分ａを設定し、測定値と計算値を記憶していけばよい。

以上、第２実施形態によれば、接点ユニット２１１の端子２１１ａと接点ユニット３０１_１の端子３０１ａ_１との接点の接触状態の良否を判断するために、接点ユニット２１１に測定用の端子を追加する必要がない。したがって、ロボットアーム２００に這わせる配線を追加する必要がなく、ロボットアーム２００の大型化を回避することができる。

更に、第２実施形態によれば、接点ユニット２１１と接点ユニット３０１_１との接点の劣化であるか、接点ユニット４０１_１と接点ユニット３０２_１との接点の劣化であるかを特定できる。よって、接点（端子）を適切な寿命で使用することが可能となるため、接点（端子）の交換部品のコストを抑えることが可能となる。

なお、本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、多くの変形が本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。

１０５…抵抗測定部、１５０…制御部、２００…ロボットアーム、２１１ａ…端子（アーム側端子）、２２３…ツール配線（電力線又は信号線）、３００_１，３００_２…ツール、３０１ａ_１，３０１ａ_２…端子（ツール側端子）、３０２ａ_１，３０２ａ_２…端子（測定用ツール側端子）、４００_１，４００_２…載置台、４０１ａ_１，４０１ａ_２…端子（載置台側端子）、５００…ロボットシステム

Claims (8)

1. ロボットアームと、
   前記ロボットアームに着脱可能なツールと、
   前記ロボットアームに取り付けられ、前記ツールへの電力線又は信号線が電気的に接続されたアーム側端子と、
   前記ツールに取り付けられ、前記ツールが前記ロボットアームに装着されたときに前記アーム側端子に接触するツール側端子と、
   前記ツールが載置可能な載置台と、
   前記ツールに取り付けられ、前記ツール側端子に電気的に導通する測定用ツール側端子と、
   前記載置台に取り付けられ、前記ツールが前記載置台に載置されたときに前記測定用ツール側端子に接触する載置台側端子と、
   前記アーム側端子と前記載置台側端子との間の電気抵抗値を測定する抵抗測定部と、
   前記ツールが前記ロボットアームに装着され、且つ前記ツールが前記載置台に載置されている状態での前記抵抗測定部の測定結果に基づいて、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否を判断する制御部と、を備えたことを特徴とするロボットシステム。
2. 前記制御部は、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態を不良と判断した場合に、前記ロボットアームの動作を停止させることを特徴とする請求項１に記載のロボットシステム。
3. 前記制御部が前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態を不良と判断した場合に、不良である旨をユーザに報知する報知部を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のロボットシステム。
4. 前記制御部は、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否の判断として、前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値が所定閾値よりも低いか否かを判断することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロボットシステム。
5. 前記制御部は、
   前記載置台に載置されている前記ツールを前記ロボットアームに装着させるツール装着動作、及び前記ロボットアームに装着されている前記ツールを前記載置台に載置させて切り離すツール切離動作を実行可能であり、
   前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否の判断として、前記ツール切離動作に次いで前記ツール装着動作を実行する度に、前記ツール切離動作を実行するに先立って前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値に対する、前記ツール装着動作を実行した場合に前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値の増分値を積算し、該積算値が所定閾値よりも低いか否かを判断することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロボットシステム。
6. 前記制御部は、前記ツール装着動作に次いで前記ツール切離動作を実行する度に、前記ツール装着動作を実行した場合に前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値に対する、前記ツール切離動作を実行するに先立って前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値の増分値を積算し、該積算値に基づき前記測定用ツール側端子と前記載置台側端子との接点の接続状態の良否を判断することを特徴とする請求項５に記載のロボットシステム。
7. 載置台に載置されているツールをロボットアームに装着させるツール装着動作と、前記ロボットアームに装着されている前記ツールを前記載置台に載置させて切り離すツール切離動作とが実行可能であり、２つの測定用端子を有する抵抗測定部を用いて前記ロボットアームに取り付けられたアーム側端子と、前記ツールに取り付けられたツール側端子との接点の劣化を検出する劣化検出方法であって、
   前記ツールを前記載置台に載置させ、且つ前記ツールを前記ロボットアームに装着させた状態にすることで、前記アーム側端子と前記ツール側端子とを接触させ、且つ前記ツールに取り付けられた測定用ツール側端子と、前記載置台に取り付けられた載置台側端子とを接触させて、前記抵抗測定部の２つの測定用端子の間に、前記アーム側端子、前記ツール側端子、前記測定用ツール側端子、及び前記載置台側端子を含む閉ループ回路を形成する閉ループ回路形成工程と、
   前記抵抗測定部により前記閉ループ回路の電気抵抗値を測定させる測定工程と、
   前記測定工程における前記抵抗測定部の測定結果に基づいて、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否を判断する判断工程と、を備えたことを特徴とする劣化検出方法。
8. 前記判断工程では、前記アーム側端子と前記ツール側端子との接点の接触状態の良否の判断として、前記ツール切離動作に次いで前記ツール装着動作を実行する度に、前記ツール切離動作を実行するに先立って前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値に対する、前記ツール装着動作を実行した場合に前記抵抗測定部により測定された電気抵抗値の増分値を積算し、該積算値が所定閾値よりも低いか否かを判断することを特徴とする請求項７に記載の劣化検出方法。

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