JP2015034763A - Filter inspection jig - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter inspection jig which allows accurate leak inspection of each filter to be performed without polluting other filters even in equipment like a clean booth provided with a plurality of filters and is suitable for measurement with a photometer.SOLUTION: The filter inspection jig includes: a frame body 11 which is formed of hollow frames 14 having hollow parts 14a and connection frames 15 so as to have a quadrangle frame shape and is to be air-tightly attached to an outer peripheral frame 1a of each filter 1; injection parts 12 which are provided on the hollow frames 14 to inject inspection particles to the hollow parts 14a; and a plurality of ejection parts 13 which eject the inspection particles injected to the hollow parts 14a to the inside of the frame body 11. By this configuration, accurate leak inspection of each filter can be performed without polluting other filters even in equipment like a clean booth provided with a plurality of filters, and measurement with a photometer is facilitated.

Description

本発明は、クリーンルーム、クリーンブース等の設備に複数設けられるＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のフィルタのリーク検査に使用されるフィルタ検査治具に関する。   The present invention relates to a filter inspection jig used for leak inspection of filters such as a HEPA filter and a ULPA filter provided in a plurality of facilities such as a clean room and a clean booth.

例えばクリーンルームやクリーンブースで使用するＨＥＰＡフィルタについては、損傷によるリークやピンホールによるリークがないことを確認するために、クリーンルームやクリーンブースの完成以降、定期的にリーク検査が行われる。従来は、ＨＥＰＡフィルタ上流側に、負荷粒子（ＰＡＯ、ＤＯＰ等の検査用粒子）を導入するとともに、パーティクルカウンタやフォトメータを用い、その吸引プローブによりＨＥＰＡフィルタ出側面を自動または手動で走査し、フィルタ出側面全域について清浄化気体のサンプリングを行うことによって、リークを検査していた（例えば、特許文献１参照）   For example, a HEPA filter used in a clean room or a clean booth is periodically inspected after the completion of the clean room or clean booth in order to confirm that there is no leakage due to damage or pinhole leakage. Conventionally, loaded particles (inspection particles such as PAO and DOP) are introduced upstream of the HEPA filter, and a particle counter or a photometer is used to automatically or manually scan the HEPA filter exit surface with the suction probe. The leak was inspected by sampling the cleaning gas over the entire area of the filter exit (see, for example, Patent Document 1).

このような従来のリーク検査では、例えば図９に示すように、複数枚のＨＥＰＡフィルタ１が装着された空気清浄装置の場合、負荷粒子発生器２からの負荷粒子（検査用粒子）を１台の送風機３に吸い込ませ、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側、すなわちＨＥＰＡフィルタ１に対する共通の一次側チャンバ４に供給拡散し、ＨＥＰＡフィルタ１の出側面をパーティクルカウンタやフォトメータで走査している。   In such a conventional leak test, for example, as shown in FIG. 9, in the case of an air purifier equipped with a plurality of HEPA filters 1, one load particle (inspection particle) is supplied from the load particle generator 2. The air is blown into the blower 3 and supplied to the upstream side of the HEPA filter 1, that is, the primary side chamber 4 common to the HEPA filter 1, and the exit side of the HEPA filter 1 is scanned with a particle counter or a photometer.

特開平１１−１４５３２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-14532

ところが、従来のリーク検査では、共通の一次側チャンバ内の気流は複雑な乱流（渦流）を形成しているため、各ＨＥＰＡフィルタに対し、負荷粒子（検査用粒子）の濃度が安定せず、また１枚のフィルタに対しても濃度分布に偏りが生じ易かったため、正確なリーク検査が行い難かった。
また、共通の一次側チャンバのため、１枚のＨＥＰＡフィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のＨＥＰＡフィルタに負荷粒子が流れ込むために、他のＨＥＰＡフィルタに対して必要以上の汚染をさせていた。
さらに、共通の一次側チャンバの容積が比較的大きくなるため、一次側チャンバ内において、フォトメータで計測可能となる負荷粒子濃度まで上げることが困難であり、フォトメータによる計測には不向きであった。 However, in the conventional leak test, since the air flow in the common primary chamber forms a complex turbulent flow (vortex), the concentration of the load particles (test particles) is not stable for each HEPA filter. In addition, since the density distribution is likely to be biased with respect to one filter, it is difficult to perform an accurate leak inspection.
In addition, because of the common primary side chamber, load particles flow into other HEPA filters that are not targeted at the time of leak inspection for one HEPA filter, causing other HEPA filters to be contaminated more than necessary. .
Furthermore, since the volume of the common primary chamber is relatively large, it is difficult to increase the concentration of the loaded particles that can be measured with a photometer in the primary chamber, which is unsuitable for measurement with a photometer. .

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメータによる計測にも好適なフィルタ検査治具を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and even in equipment such as a clean booth equipped with a plurality of filters, accurate leak inspection can be performed on each filter without contaminating other filters, and photo It aims at providing the filter inspection jig suitable also for the measurement by a meter.

前記目的を達成するために、本発明の請求項１に係るフィルタ検査治具は、複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠に気密に装着される枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a filter inspection jig according to claim 1 of the present invention is a filter inspection jig used for filter leak inspection of equipment having a plurality of filters,
A frame that is formed in a rectangular frame shape, and at least a part of the inside is a hollow part, and is hermetically attached to the outer peripheral frame of each filter;
An injection part that is provided in the frame and injects inspection particles into the hollow part;
It is provided with the some discharge | release part which is provided in the said frame, and discharge | releases the test | inspection particle | grains inject | poured into the said hollow part inside the said frame.

本発明においては、フィルタの外周枠に気密に装着された枠体の中空部に注入部から検査用粒子が注入され、当該検査用粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体の内側が一次側チャンバとなり、この一次側チャンバにおいて、各フィルタに対し、検査用粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバは従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバであるため、各フィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のフィルタに検査用粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバの容積は各フィルタに対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバの検査用粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、枠体がフィルタの外周枠に気密に装着されるので、複数のフィルタを有する既存のクリーンブース等の設備に対しても、フィルタに容易に装着して、リーク検査を行える。
加えて、リーク検査の完了後に中空部内に残存する検査用粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。 In the present invention, the inspection particles are injected from the injection portion into the hollow portion of the frame body that is airtightly attached to the outer peripheral frame of the filter, and the inspection particles are discharged from the plurality of discharge portions to the inside of the frame body. The inside of the frame is a primary chamber, and in this primary chamber, the concentration distribution of the inspection particles is extremely uniform for each filter, and the primary chamber is not a common primary chamber unlike conventional ones. Since it is a dedicated primary side chamber, the inspection particles do not flow into other filters not subject to the leak inspection for each filter.
Therefore, even in equipment such as a clean booth equipped with a plurality of filters, an accurate leak test can be performed on each filter without contaminating other filters.
Further, since the volume of the primary chamber is relatively small corresponding to each filter, the inspection particle concentration in the primary chamber can be made extremely high. Therefore, leak inspection can be performed with a photometer.
Furthermore, since the frame body is airtightly attached to the outer peripheral frame of the filter, it is possible to easily attach the filter to an existing clean booth or the like having a plurality of filters and perform a leak inspection.
In addition, in order to discharge and clean the inspection particles remaining in the hollow portion after the leak inspection is completed, cleaning can be performed by injecting clean air from the injection portion after the inspection is completed.

また、本発明の請求項２に係るフィルタ検査治具は、複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠を含む枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とする。 The filter inspection jig according to claim 2 of the present invention is a filter inspection jig used for filter leak inspection of equipment having a plurality of filters,
Formed into a rectangular frame shape, and at least a part of the inside is a hollow portion, and a frame body including an outer peripheral frame of each filter;
An injection part that is provided in the frame and injects inspection particles into the hollow part;
It is provided with the some discharge | release part which is provided in the said frame, and discharge | releases the test | inspection particle | grains inject | poured into the said hollow part inside the said frame.

本発明においては、フィルタの外周枠を含む枠体の中空部に注入部から検査用粒子が注入され、当該検査用粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体の内側が一次側チャンバとなり、この一次側チャンバにおいて、各フィルタに対し、検査用粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバは従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバであるため、各フィルタに対するリーク検査時に、対象外の他のフィルタに検査用粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバの容積は各フィルタに対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバの検査用粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、フィルタ検査治具の枠体がフィルタの外周枠を含んでおり、検査治具とフィルタとが一体的なものとなるので、請求項１のフィルタ検査治具と異なり、各フィルタの外周枠に枠体を気密に装着する必要がないので、クリーンブース等の設備への取付けが容易となるとともに、コストを抑えることもできる。
加えて、リーク検査の完了後に中空部内に残存する検査用粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。 In the present invention, the inspection particles are injected from the injection portion into the hollow portion of the frame including the outer peripheral frame of the filter, and the inspection particles are discharged from the plurality of discharge portions to the inside of the frame. The inner side becomes a primary side chamber, and in this primary side chamber, the concentration distribution of the particles for inspection becomes extremely uniform for each filter, and the primary side chamber is not a common primary side chamber unlike the conventional case, but a dedicated primary side chamber. Since it is a side chamber, the inspection particles do not flow into other filters that are not subject to the leak inspection for each filter.
Therefore, even in equipment such as a clean booth equipped with a plurality of filters, an accurate leak test can be performed on each filter without contaminating other filters.
Further, since the volume of the primary chamber is relatively small corresponding to each filter, the inspection particle concentration in the primary chamber can be made extremely high. Therefore, leak inspection can be performed with a photometer.
Furthermore, since the frame of the filter inspection jig includes the outer peripheral frame of the filter, and the inspection jig and the filter are integrated, the outer peripheral frame of each filter differs from the filter inspection jig of claim 1. In addition, since it is not necessary to mount the frame in an airtight manner, it can be easily attached to equipment such as a clean booth, and the cost can be reduced.
In addition, in order to discharge and clean the inspection particles remaining in the hollow portion after the leak inspection is completed, cleaning can be performed by injecting clean air from the injection portion after the inspection is completed.

本発明の前記構成において、前記枠体が、断面四角形状で内部に前記中空部を有しかつ端面が閉塞され、平行離間して配置された一対の中空フレームと、当該一対の中空フレームの端部どうしを連結する一対の連結フレームとを備え、
前記一対の中空フレームの前記枠体の外側を向く側壁に前記注入部が設けられ、
前記一対の中空フレームの前記枠体の内側を向く側壁に前記放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられていてもよい。 In the configuration of the present invention, the frame body has a quadrangular cross section, the hollow portion inside, the end face closed, and a pair of hollow frames arranged in parallel and spaced apart, and ends of the pair of hollow frames A pair of connecting frames that connect the parts together,
The injection portion is provided on a side wall facing the outside of the frame body of the pair of hollow frames,
A plurality of the discharge portions may be provided at predetermined intervals along the length direction of the hollow frame on the side walls facing the inside of the frame body of the pair of hollow frames.

このような構成によれば、中空フレームと連結フレームの長さを適宜調整することによって、枠体の形状・大きさをフィルタの外周枠の形状・大きさに合わせることができる。
また、放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられているので、当該放出部から枠体の内側に放出された検査用粒子の濃度分布を容易に均一とすることができる。 According to such a configuration, the shape and size of the frame can be matched to the shape and size of the outer peripheral frame of the filter by appropriately adjusting the lengths of the hollow frame and the connecting frame.
In addition, since a plurality of discharge portions are provided at predetermined intervals along the length direction of the hollow frame, the concentration distribution of the inspection particles discharged from the discharge portion to the inside of the frame body can be easily made uniform. Can do.

また、本発明の前記構成において、前記枠体に当該枠体の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部が設けられていてもよい。   Moreover, the said structure of this invention WHEREIN: The density | concentration test | inspection part for measuring the density | concentration of the test | inspection particle | grains inside the said frame may be provided in the said frame.

このような構成によれば、枠体の内側が所定の検査用粒子濃度となったことを濃度検査部によって容易に確認でき、この確認後にリーク検査を実施できる。   According to such a configuration, the concentration inspection unit can easily confirm that the inside of the frame has a predetermined particle concentration for inspection, and a leak inspection can be performed after this confirmation.

本発明によれば、複数のフィルタを備えたクリーンブース等の設備においても、各フィルタに対して正確なリーク検査を他のフィルタを汚染させることなく行えるとともに、フォトメーターでリーク検査が可能となる。   According to the present invention, even in equipment such as a clean booth equipped with a plurality of filters, an accurate leak test can be performed on each filter without contaminating other filters, and a leak test can be performed with a photometer. .

本発明に係るフィルタ検査治具の第１の実施の形態を示すもので、その分解斜視図である。1 shows a first embodiment of a filter inspection jig according to the present invention, and is an exploded perspective view thereof. FIG. 同、フィルタ検査治具の斜視図である。It is a perspective view of a filter inspection jig. 同、フィルタ検査治具の横断面図である。It is a cross-sectional view of a filter inspection jig. 同、複数のフィルタ検査治具を取り付けた状態を示す横断面図である。It is a transverse cross section showing the state where a plurality of filter inspection jigs were attached. 本発明に係るフィルタ検査治具の第２の実施の形態を示すもので、その横断面図である。The 2nd Embodiment of the filter inspection jig which concerns on this invention is shown, and it is the cross-sectional view. 同、フィルタ検査治具の側断面図である。It is a sectional side view of a filter inspection jig. 本発明に係るフィルタ検査治具の第３の実施の形態を示すもので、その斜視図である。3 is a perspective view showing a third embodiment of the filter inspection jig according to the present invention. FIG. 同、フィルタ検査治具の横断面図である。It is a cross-sectional view of a filter inspection jig. 従来のリーク検査方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the conventional leak test | inspection method.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図１〜図３は本発明に係るフィルタ検査治具１０の第１の実施の形態を示すもので、図１は分解斜視図、図２は斜視図、図３は横断面図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
(First embodiment)
1 to 3 show a first embodiment of a filter inspection jig 10 according to the present invention. FIG. 1 is an exploded perspective view, FIG. 2 is a perspective view, and FIG. 3 is a cross-sectional view.

これらの図に示すフィルタ検査治具１は、複数のフィルタを有するクリーンブース等の設備のフィルタリーク検査に使用されるものであり、枠体１１と、注入部１２と、放出部１３とを備えている。
枠体１１は、一対の中空フレーム１４，１４と、当該一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム１５，１５とで構成されており、全体として矩形枠状（四角形枠状）に形成されている。
中空フレーム１４は、アルミ等の金属で形成された角パイプで構成されており、当該角パイプの両端開口は閉塞されている。このような中空フレーム１４には、図３に示すように、断面矩形の中空部１４ａが中空フレーム１４の長手方向（図３において紙面と直交する方向）に延在するようにして設けられている。 A filter inspection jig 1 shown in these drawings is used for filter leak inspection of equipment such as a clean booth having a plurality of filters, and includes a frame body 11, an injection portion 12, and a discharge portion 13. ing.
The frame 11 includes a pair of hollow frames 14 and 14 and a pair of connecting frames 15 and 15 that connect ends of the pair of hollow frames 14 and 14. It is formed in a frame shape.
The hollow frame 14 is composed of a square pipe made of a metal such as aluminum, and both end openings of the square pipe are closed. In such a hollow frame 14, as shown in FIG. 3, a hollow portion 14a having a rectangular cross section is provided so as to extend in the longitudinal direction of the hollow frame 14 (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 3). .

中空フレーム１４の枠体１１の外側を向く側壁に前記注入部１２が設けられている。この注入部１２は、中空部にＰＡＯ等の負荷粒子（検査用粒子）を注入するためのもので、注入パイプ１２ａの先端部を前記側壁に形成された孔１２ｂに挿通することによって構成されている。孔１２ｂは前記側壁の端部でかつ下部に１個形成されているが、この孔１２ｂの位置および個数はこれに限ることはなく、孔１２が複数ある場合は各孔１２にそれぞれ注入パイプ１２ａの先端部を挿通する。また、注入パイプ１２ａの基端部は、図示しない負荷粒子発生器に接続されている。
また、前記中空フレーム１４の枠体１１の内側を向く側壁に前記放出部１３が複数設けられている。この放出部１３は、中空部１４ａに注入された負荷粒子を、枠体１１の内側に放出するためのもので、円形の孔１３によって構成されている。孔１３は、前記側壁の上縁部に当該側壁の長辺方向（中空フレーム１４の長さ方向）に沿って所定間隔で複数設けられており、前記中空部１４ａに注入された負荷粒子は孔１３から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に向けて放出（噴霧）されるようになっている。 The injection part 12 is provided on the side wall of the hollow frame 14 facing the outside of the frame body 11. The injection portion 12 is for injecting load particles (inspection particles) such as PAO into the hollow portion, and is configured by inserting the tip end portion of the injection pipe 12a into the hole 12b formed in the side wall. Yes. One hole 12b is formed at the end of the side wall and in the lower part. However, the position and number of the holes 12b are not limited to this, and when there are a plurality of holes 12, each of the holes 12 has an injection pipe 12a. Insert the tip of. Further, the proximal end portion of the injection pipe 12a is connected to a load particle generator (not shown).
A plurality of the discharge portions 13 are provided on the side wall of the hollow frame 14 facing the inside of the frame body 11. The discharge part 13 is for discharging the load particles injected into the hollow part 14 a to the inside of the frame body 11, and is constituted by a circular hole 13. A plurality of holes 13 are provided at predetermined intervals along the long side direction of the side wall (the length direction of the hollow frame 14) at the upper edge of the side wall, and the load particles injected into the hollow part 14a are holes. 13 is discharged (sprayed) toward the inside of the frame 11 (primary chamber 21).

前記連結フレーム１５は一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結するものであり、その両端部の内側を向く側面に、中空フレーム１４の端面が接合されている。連結フレーム１５は、中空フレーム１４と同様に内部が中空のものであってもよいし、中実なものであってもよい。また、連結フレーム１５の上下方向の寸法は、中空フレーム１４の上下方向の寸法と等しくなっている。
また、一対の連結フレーム１５，１５のうち、一方の連結フレーム１５には、枠体１１の内側における負荷粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられている。この濃度検査部１６は、パーティクルカウンタやフォトメータの吸引プローブ１６ａを連結フレーム１５に形成された貫通孔に挿通して、枠体１１の内側に配置することによって構成されている。 The connecting frame 15 connects the end portions of the pair of hollow frames 14, 14, and the end surfaces of the hollow frame 14 are joined to the side surfaces facing the inner sides of the both end portions. The connection frame 15 may be hollow inside or may be solid like the hollow frame 14. The vertical dimension of the connecting frame 15 is equal to the vertical dimension of the hollow frame 14.
Further, of the pair of connection frames 15, 15, one connection frame 15 is provided with a concentration inspection unit 16 for measuring the concentration of the loaded particles inside the frame body 11. The density inspection unit 16 is configured by inserting a suction probe 16 a of a particle counter or a photometer through a through hole formed in the connection frame 15 and arranging it inside the frame body 11.

このような構成のフィルタ検査治具１０は、図３および図４に示すように、クリーンルームやクリーンブースの天井に縦横に設けられているフィルタ受けフレーム１８に固定される。具体的には、フィルタ受けフレーム１８の下面に、フィルタ検査治具１０の枠体１１の上面が固定され、その固定部の周囲が空気漏れの無きようにシール処理される。
また、フィルタ検査治具１０の下方に、ＨＥＰＡフィルタ１が配置され、その外周枠１ａの上面が、フィルタ検査治具１０の枠体１１の下面にパッキン材１９を介して気密に接合される。
さらに、フィルタ受けフレーム１８の上面に、多数の貫通孔を有する多孔板２０が設置されることによって、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側（一次側）、つまり、ＨＥＰＡフィルタ１の上方でかつ枠体１１の内側に、一次側チャンバ２１が形成される。
このようにして、クリーンルームやクリーンブースの天井に設けられる全てのＨＥＰＡフィルタ１に対して、それぞれフィルタ検査治具１０が装着される（図４参照）。 As shown in FIGS. 3 and 4, the filter inspection jig 10 having such a configuration is fixed to a filter receiving frame 18 provided vertically and horizontally on the ceiling of a clean room or clean booth. Specifically, the upper surface of the frame 11 of the filter inspection jig 10 is fixed to the lower surface of the filter receiving frame 18, and the periphery of the fixed portion is sealed so that there is no air leakage.
In addition, the HEPA filter 1 is disposed below the filter inspection jig 10, and the upper surface of the outer peripheral frame 1 a is airtightly bonded to the lower surface of the frame body 11 of the filter inspection jig 10 via a packing material 19.
Furthermore, by installing a perforated plate 20 having a large number of through holes on the upper surface of the filter receiving frame 18, the upstream side (primary side) of the HEPA filter 1, that is, above the HEPA filter 1 and on the frame body 11. Inside the primary chamber 21 is formed.
In this way, the filter inspection jig 10 is attached to all the HEPA filters 1 provided on the ceiling of the clean room or clean booth (see FIG. 4).

そして、フィルタ１のリーク検査時には、各フィルタ検査治具１０の注入部１２から中空フレーム１４の中空部１４ａに負荷粒子（検査用粒子）を所定の圧力で注入する。すると、中空部１４ａに充満した負荷粒子が複数の前記放出部１３から枠体１１の内側、すなわち一次側チャンバ２１に噴霧される。
一方、前記多孔板２０の上方から一次側チャンバ２１に向けて所定の圧力で空気を送風する。この空気送風の圧力は、負荷粒子が放出部１３から放出（噴霧）される際の圧力に比して十分に大きいものとなっている。このため、一次側チャンバ２１に噴霧された負荷粒子が多孔板２０を抜けて外部に漏洩することはない。 During the leak inspection of the filter 1, load particles (inspection particles) are injected from the injection portion 12 of each filter inspection jig 10 into the hollow portion 14 a of the hollow frame 14 at a predetermined pressure. Then, the load particles filled in the hollow portion 14 a are sprayed from the plurality of the discharge portions 13 to the inside of the frame body 11, that is, the primary side chamber 21.
On the other hand, air is blown at a predetermined pressure from above the porous plate 20 toward the primary chamber 21. The pressure of this air blowing is sufficiently larger than the pressure when the load particles are discharged (sprayed) from the discharge portion 13. For this reason, the load particles sprayed on the primary side chamber 21 do not leak through the perforated plate 20 to the outside.

一次側チャンバ２１内の負荷粒子の濃度が所定の負荷粒子濃度になったことを、前記濃度検査部１６によって計測して確認した後、リーク検査を行う。
このリーク検査は、パーティクルカウンタやフォトメータを用い、その吸引プローブによりＨＥＰＡフィルタ１の出側面等を走査することにより行う。つまり、ＨＥＰＡフィルタ１のろ材部を通過する清浄空気が性能通りの負荷粒子の捕集効率であることや、ＨＥＰＡフィルタ１とフィルタ検査治具１０とのパッキン接合部（パッキン材１９を介した接合部）における負荷粒子の漏洩の有無を検査する。
リーク検査の完了後は、中空フレーム１４の中空部１４ａ内に残存する負荷粒子（検査用粒子）を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部１２より清浄空気を圧入することでクリーニングを行う。 The concentration inspection unit 16 measures and confirms that the concentration of the loaded particles in the primary chamber 21 has reached a predetermined loaded particle concentration, and then performs a leak test.
This leak inspection is performed by using a particle counter or a photometer and scanning the exit surface of the HEPA filter 1 with the suction probe. That is, the clean air passing through the filter medium part of the HEPA filter 1 has a load particle collection efficiency as per performance, and the packing joint part (joint via the packing material 19) between the HEPA filter 1 and the filter inspection jig 10. Inspected for leakage of loaded particles in
After the leak inspection is completed, in order to discharge and clean the loaded particles (inspection particles) remaining in the hollow portion 14a of the hollow frame 14, after the inspection is completed, clean air is injected from the injection portion 12. Perform cleaning.

このように本実施の形態では、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａにフィルタ検査治具１０の枠体１１が気密に装着され、当該枠体１１の中空部１４ａに注入部１２から負荷粒子が注入され、当該負荷粒子が複数の放出部から枠体の内側に放出されるので、枠体１１の内側が一次側チャンバ２１となる。そして、この一次側チャンバ２１において、各ＨＥＰＡフィルタ１に対し、負荷粒子の濃度分布が極めて均一となるとともに、当該一次側チャンバ２１は従来と異なり共通の一次側チャンバではなく、専用の一次側チャンバ２１であるため、各ＨＥＰＡフィルタ１に対するリーク検査時に、対象外の他のＨＥＰＡフィルタ１に負荷粒子が流れ込むことがない。
したがって、複数のＨＥＰＡフィルタ１を備えたクリーンブース等の設備においても、各ＨＥＰＡフィルタ１に対して正確なリーク検査を他のＨＥＰＡフィルタ１を汚染させることなく行える。
また、一次側チャンバ２１の容積は各ＨＥＰＡフィルタ１に対応して比較的小さくなるため、一次側チャンバ２１の負荷粒子濃度を極めて高濃度とすることが可能となる。したがって、フォトメーターでリーク検査が可能となる。
さらに、フィルタ検査治具１０の枠体１１がＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａに気密に装着されるので、複数のＨＥＰＡフィルタ１を有する既存のクリーンブース等の設備に対しても容易に各ＨＥＰＡフィルタ１に装着して、リーク検査を行える。 As described above, in this embodiment, the frame 11 of the filter inspection jig 10 is airtightly attached to the outer peripheral frame 1a of the HEPA filter 1, and the load particles are injected from the injection portion 12 into the hollow portion 14a of the frame 11. Since the load particles are discharged from the plurality of discharge portions to the inside of the frame body, the inside of the frame body 11 becomes the primary side chamber 21. In the primary chamber 21, the concentration distribution of the load particles is extremely uniform with respect to each HEPA filter 1, and the primary chamber 21 is not a common primary chamber unlike the conventional case, but a dedicated primary chamber. Therefore, the load particles do not flow into other HEPA filters 1 that are not the target at the time of leak inspection for each HEPA filter 1.
Therefore, even in equipment such as a clean booth equipped with a plurality of HEPA filters 1, an accurate leak test can be performed on each HEPA filter 1 without contaminating other HEPA filters 1.
Moreover, since the volume of the primary side chamber 21 becomes comparatively small corresponding to each HEPA filter 1, it becomes possible to make the load particle | grain density | concentration of the primary side chamber 21 extremely high. Therefore, leak inspection can be performed with a photometer.
Further, since the frame body 11 of the filter inspection jig 10 is airtightly attached to the outer peripheral frame 1a of the HEPA filter 1, each HEPA filter can be easily applied to an existing equipment such as a clean booth having a plurality of HEPA filters 1. 1 can be installed for leak inspection.

また、枠体１１が一対の中空フレーム１４，１４と、当該一対の中空フレーム１４，１４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム１５，１５とを備えているので、中空フレーム１４と連結フレーム１５の長さを適宜調整することによって、枠体１１の形状・大きさをＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａの形状・大きさに合わせることができる。
また、放出部１３が中空フレーム１４の長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられているので、当該放出部１３から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に放出された負荷粒子の濃度分布を容易に均一とすることができる。
加えて、枠体１１の連結フレーム１５に当該枠体１１の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられているので、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）が所定の負荷粒子濃度となったことを濃度検査部１６によって容易に確認でき、この確認後にリーク検査を実施できる。
また、リーク検査の完了後に中空部１４ａ内に残存する負荷粒子を排出し清浄化するために、検査完了後には、注入部１２より清浄空気を圧入することでクリーニングが可能となる。 Moreover, since the frame 11 includes a pair of hollow frames 14 and 14 and a pair of connection frames 15 and 15 that connect ends of the pair of hollow frames 14 and 14, the hollow frame 14 and the connection frame By appropriately adjusting the length of 15, the shape and size of the frame 11 can be matched with the shape and size of the outer peripheral frame 1 a of the HEPA filter 1.
Further, since a plurality of the discharge portions 13 are provided at predetermined intervals along the length direction of the hollow frame 14, the concentration of the load particles discharged from the discharge portion 13 to the inside of the frame body 11 (primary side chamber 21). The distribution can be made uniform easily.
In addition, since the concentration inspection unit 16 for measuring the concentration of the inspection particles inside the frame 11 is provided in the connecting frame 15 of the frame 11, the inside of the frame 11 (primary chamber 21). Can be easily confirmed by the concentration inspection unit 16 and the leakage inspection can be performed after this confirmation.
Further, in order to discharge and clean the loaded particles remaining in the hollow portion 14a after completion of the leak inspection, cleaning can be performed by injecting clean air from the injection portion 12 after the inspection is completed.

（第２の実施の形態）
図５および図６は本発明に係るフィルタ検査治具の第２の実施の形態を示すもので、図５は横断面図、図６は側断面図である。
本実施の形態におけるフィルタ検査治具３０は、図１〜図３に示すフィルタ検査治具１０より、中空フレーム１４および連結フレーム１５が長くなって、枠体１１が大型化した場合に好適な例である。
なお、本実施の形態では、第１の実施の形態におけるフィルタ検査治具１０より枠体１１が大型化しているが、枠体１１の基本構成は同様であるので、当該枠体１１を構成する中空フレームおよび連結フレームには同一符号を付して、その説明を省略ないし簡略化する。 (Second Embodiment)
5 and 6 show a second embodiment of the filter inspection jig according to the present invention. FIG. 5 is a transverse sectional view and FIG. 6 is a side sectional view.
The filter inspection jig 30 in the present embodiment is an example suitable when the hollow frame 14 and the connecting frame 15 are longer and the frame body 11 is larger than the filter inspection jig 10 shown in FIGS. It is.
In the present embodiment, the frame body 11 is larger than the filter inspection jig 10 in the first embodiment, but the basic structure of the frame body 11 is the same, so the frame body 11 is configured. The hollow frame and the connecting frame are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or simplified.

本実施の形態では、枠体１１が大型化しているために、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）の負荷粒子の濃度分布の均一性が低下する可能性がある。これを防止するため、平行離間して配置された中空フレーム１４，１４間の中央部に、当該中空フレーム１４と平行に延びる供給パイプ２５が設けられている。
供給パイプ２５は、中空フレーム１４に設けられた放出部１３とほぼ等しい高さに配置されており、当該供給パイプ２５は一方の連結フレーム１５を貫通して、枠体１１の内側に配置され、先端部は他方の連結フレーム１５に固定されている。また、供給パイプ２５は、一方の連結フレーム１５から外部に延出され、その基端部は、図示しない負荷粒子発生器に接続されている。
供給パイプ２５には、放出孔が供給パイプ２５の長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられており、供給パイプ２５によって負荷粒子が枠体１１の内側まで供給され、放出孔から枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に放出（噴霧）されるようになっている。なお、供給パイプ２５にはコック２５ａが設けられており、供給パイプ２５に供給する負荷粒子の量を調整可能となっている。 In the present embodiment, since the frame body 11 is enlarged, the uniformity of the concentration distribution of the load particles inside the frame body 11 (primary side chamber 21) may be lowered. In order to prevent this, a supply pipe 25 extending in parallel with the hollow frame 14 is provided in the central portion between the hollow frames 14 and 14 arranged in parallel with each other.
The supply pipe 25 is disposed at substantially the same height as the discharge portion 13 provided in the hollow frame 14, and the supply pipe 25 penetrates one connection frame 15 and is disposed inside the frame body 11. The tip is fixed to the other connecting frame 15. Moreover, the supply pipe 25 is extended outside from one connection frame 15, The base end part is connected to the load particle generator which is not shown in figure.
A plurality of discharge holes are provided in the supply pipe 25 at predetermined intervals along the length direction of the supply pipe 25, and load particles are supplied to the inside of the frame body 11 through the supply pipe 25, and the frame body 11 is supplied from the discharge hole. The inside (primary side chamber 21) is discharged (sprayed). The supply pipe 25 is provided with a cock 25 a so that the amount of load particles supplied to the supply pipe 25 can be adjusted.

本実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、枠体１１の中央部に供給パイプ２５が設けられているので、当該供給パイプ２５の放出孔から負荷粒子を枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）に噴霧することができる。したがって、枠体１１が大型化した場合でも、枠体１１の内側（一次側チャンバ２１）の負荷粒子の濃度分布の均一性を確保できる。
なお、本実施の形態では、供給パイプ２５を１本設けたが、枠体１１がさらに大型化した場合、供給パイプ２５を２本以上設けてもよい。 According to the present embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the supply pipe 25 is provided at the center of the frame 11. Load particles can be sprayed from the 25 discharge holes to the inside (primary chamber 21) of the frame 11. Therefore, even when the frame 11 is enlarged, it is possible to ensure the uniformity of the concentration distribution of the load particles inside the frame 11 (primary side chamber 21).
In the present embodiment, one supply pipe 25 is provided. However, when the frame body 11 is further enlarged, two or more supply pipes 25 may be provided.

（第３の実施の形態）
図７および図８は本発明に係るフィルタ検査治具の第３の実施の形態を示すもので、図７は斜視図、図８は横断面図である。
本実施の形態におけるフィルタ検査治具４０が、前記第１の実施の形態におけるフィルタ検査治具１０と異なる点は、枠体の構成であり、その他の構成は第１の実施の形態と同様であるので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を省略ないし簡略化する。 (Third embodiment)
7 and 8 show a third embodiment of the filter inspection jig according to the present invention. FIG. 7 is a perspective view, and FIG. 8 is a cross-sectional view.
The filter inspection jig 40 in the present embodiment is different from the filter inspection jig 10 in the first embodiment in the configuration of the frame, and the other configurations are the same as those in the first embodiment. Therefore, the same components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or simplified.

本実施の形態におけるフィルタ検査治具４０は、枠体４１と、注入部１２と、放出部１３とを備えている。
枠体４１は、一対の中空フレーム４４，４４と、当該一対の中空フレーム４４，４４の端部どうしを連結する一対の連結フレーム４５，４５とで構成されており、全体として矩形枠状（四角形枠状）に形成されている。中空フレーム４４および連結フレーム４５は、前記中空フレーム１４および連結フレーム１５と左右の長さおよび厚さは同一であるが、上下方向の寸法が中空フレーム１４および連結フレーム１５より長くなっている。このため、枠体４１は枠体１１に比べ高さが高くなっている。
中空フレーム４４は、アルミ等の金属で形成された角パイプで構成されており、当該角パイプの両端開口は閉塞されている。このような中空フレーム４４には、断面矩形の中空部４４ａが中空フレーム４４の長手方向に延在するようにして設けられている。 The filter inspection jig 40 in the present embodiment includes a frame body 41, an injection part 12, and a discharge part 13.
The frame body 41 includes a pair of hollow frames 44 and 44 and a pair of connecting frames 45 and 45 that connect ends of the pair of hollow frames 44 and 44. It is formed in a frame shape. The hollow frame 44 and the connection frame 45 have the same left and right lengths and thicknesses as the hollow frame 14 and the connection frame 15, but are longer in the vertical direction than the hollow frame 14 and the connection frame 15. For this reason, the height of the frame body 41 is higher than that of the frame body 11.
The hollow frame 44 is composed of a square pipe made of a metal such as aluminum, and both ends of the square pipe are closed. The hollow frame 44 is provided with a hollow portion 44 a having a rectangular cross section so as to extend in the longitudinal direction of the hollow frame 44.

中空フレーム４４の枠体４１の外側を向く側壁に注入部１２が設けられている。
また、中空フレーム１４の枠体１１の内側を向く側壁の上縁部に放出部１３が、当該側壁の長辺方向（中空フレーム４４の長さ方向）に沿って所定間隔で複数設けられている。 The injection part 12 is provided on the side wall of the hollow frame 44 facing the outside of the frame body 41.
Further, a plurality of discharge portions 13 are provided at predetermined intervals along the long side direction of the side wall (the length direction of the hollow frame 44) at the upper edge of the side wall of the hollow frame 14 facing the inside of the frame 11. .

前記連結フレーム４５は一対の中空フレーム４４，４４の端部どうしを連結するものであり、その両端部の内側を向く側面に、中空フレーム４４の端面が接合されている。連結フレーム４５は、中空フレーム４４と同様に内部が中空のものであってもよいし、中実なものであってもよい。
また、一方の連結フレーム４５には、枠体４１の内側の負荷粒子の濃度を計測するための濃度検査部１６が設けられている。 The connection frame 45 connects the end portions of the pair of hollow frames 44, 44, and the end surfaces of the hollow frame 44 are joined to the side surfaces facing the inner sides of the both end portions. As with the hollow frame 44, the connection frame 45 may be hollow inside or may be solid.
One connection frame 45 is provided with a concentration inspection unit 16 for measuring the concentration of the load particles inside the frame body 41.

このような枠体４１は、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａを含んでいる。すなわち、当該枠体４１の下部が、ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａとなっている。この外周枠１ａにＨＥＰＡフィルタ１のろ材部１ｂが取り付けられている。   Such a frame 41 includes the outer peripheral frame 1 a of the HEPA filter 1. That is, the lower part of the frame 41 is the outer peripheral frame 1 a of the HEPA filter 1. A filter medium portion 1b of the HEPA filter 1 is attached to the outer peripheral frame 1a.

本実施の形態のフィルタ検査治具４０は、第１の実施の形態のフィルタ検査治具１０と同様に、クリーンルームやクリーンブースの天井に縦横に設けられているフィルタ受けフレーム１８に固定される。
この場合、予めフィルタ検査治具４０の枠体４１の下部の外周枠１ａに、ＨＥＰＡフィルタ１のろ材部１ｂを取り付けておく。
また、フィルタ受けフレーム１８の上面に、多数の貫通孔を有する多孔板２０を設置することによって、ＨＥＰＡフィルタ１の上流側（一次側）に一次側チャンバ２１を形成する。
そして、クリーンルームやクリーンブースの天井において、複数のフィルタ検査治具４０を設けることによって、複数のＨＥＰＡフィルタ１を設ける。 The filter inspection jig 40 of this embodiment is fixed to the filter receiving frame 18 provided vertically and horizontally on the ceiling of a clean room or clean booth, like the filter inspection jig 10 of the first embodiment.
In this case, the filter medium portion 1b of the HEPA filter 1 is attached to the outer peripheral frame 1a below the frame body 41 of the filter inspection jig 40 in advance.
In addition, by installing a perforated plate 20 having a large number of through holes on the upper surface of the filter receiving frame 18, a primary chamber 21 is formed on the upstream side (primary side) of the HEPA filter 1.
A plurality of HEPA filters 1 are provided by providing a plurality of filter inspection jigs 40 on the ceiling of the clean room or clean booth.

ＨＥＰＡフィルタ１のリーク検査は、前記第１の実施の形態と同様にして行う。
本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのは勿論のこと、フィルタ検査治具４０の枠体４１の下部がＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａとなっており、検査治具４０とＨＥＰＡフィルタ１とが一体的なものとなるので、第１の実施の形態のフィルタ検査治具１０と異なり、各ＨＥＰＡフィルタ１の外周枠１ａに枠体を気密に装着する必要がないので、クリーンブース等の設備への取付けが容易となるとともに、コストを抑えることもできる。 The leak inspection of the HEPA filter 1 is performed in the same manner as in the first embodiment.
According to the present embodiment, the same effect as the first embodiment can be obtained, and the lower part of the frame body 41 of the filter inspection jig 40 becomes the outer peripheral frame 1a of the HEPA filter 1. Since the inspection jig 40 and the HEPA filter 1 are integrated, unlike the filter inspection jig 10 of the first embodiment, the frame body is hermetically sealed on the outer peripheral frame 1a of each HEPA filter 1. Since it is not necessary to install, it is easy to attach to equipment such as a clean booth, and the cost can be reduced.

なお、前記第１の実施の形態〜第３の実施の形態では、枠体１１，４４を一対の中空フレーム１４と一対の連結フレームとによって四角形枠状に形成したが、当該枠体１１，４４は、四角形枠状であれば、どのような構成であってもよい。例えば、１本の角パイプを四角形枠状に折曲し、端部どうしを接合することによって構成してもよい。
また、中空部は枠体の内部の少なくとも一部に存在していればよいが、注入部１２および放出部１３は中空部に面する枠体の壁部に設ける必要がある。 In the first to third embodiments, the frame bodies 11 and 44 are formed in a rectangular frame shape by the pair of hollow frames 14 and the pair of connection frames. May have any configuration as long as it has a rectangular frame shape. For example, a single square pipe may be bent into a quadrangular frame, and the ends may be joined together.
In addition, the hollow portion only needs to exist in at least a part of the inside of the frame, but the injection portion 12 and the discharge portion 13 need to be provided on the wall portion of the frame facing the hollow portion.

１ ＨＥＰＡフィルタ（フィルタ）
１ａ 外周枠
１０，３０，４０ フィルタ検査治具
１１，４１ 枠体
１２ 注入部
１３ 放出部
１４，４４ 中空フレーム
１４ａ，４４ａ 中空部
１５，４５ 連結フレーム
１６ 濃度検査部 1 HEPA filter (filter)
1a outer peripheral frame 10, 30, 40 filter inspection jig 11, 41 frame 12 injection part 13 discharge part 14, 44 hollow frame 14a, 44a hollow part 15, 45 connection frame 16 concentration inspection part

Claims (4)

複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠に気密に装着される枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とするフィルタ検査治具。 A filter inspection jig used for filter leak inspection of equipment having a plurality of filters,
A frame that is formed in a rectangular frame shape, and at least a part of the inside is a hollow part, and is hermetically attached to the outer peripheral frame of each filter;
An injection part that is provided in the frame and injects inspection particles into the hollow part;
A filter inspection jig, comprising: a plurality of discharge portions that are provided in the frame body and discharge the inspection particles injected into the hollow portion to the inside of the frame body. 複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、
四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠を含む枠体と、
当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、
前記枠体に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側に放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とするフィルタ検査治具。 A filter inspection jig used for filter leak inspection of equipment having a plurality of filters,
Formed into a rectangular frame shape, and at least a part of the inside is a hollow portion, and a frame body including an outer peripheral frame of each filter;
An injection part that is provided in the frame and injects inspection particles into the hollow part;
A filter inspection jig, comprising: a plurality of discharge portions that are provided in the frame body and discharge the inspection particles injected into the hollow portion to the inside of the frame body. 前記枠体が、断面四角形状で内部に前記中空部を有しかつ端面が閉塞され、平行離間して配置された一対の中空フレームと、当該一対の中空フレームの端部どうしを連結する一対の連結フレームとを備え、
前記一対の中空フレームの前記枠体の外側を向く側壁に前記注入部が設けられ、
前記一対の中空フレームの前記枠体の内側を向く側壁に前記放出部が前記中空フレームの長さ方向に沿って所定間隔で複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のリーク検査治具。 The frame body has a square cross section and has the hollow portion inside, the end face is closed, and a pair of hollow frames arranged in parallel with each other, and a pair of end portions of the pair of hollow frames connected to each other With a connecting frame,
The injection portion is provided on a side wall facing the outside of the frame body of the pair of hollow frames,
2. The leak inspection according to claim 1, wherein a plurality of the discharge portions are provided at predetermined intervals along a length direction of the hollow frame on side walls facing the inside of the frame body of the pair of hollow frames. jig. 前記枠体に当該枠体の内側の検査用粒子の濃度を計測するための濃度検査部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査治具。   The leak inspection jig according to claim 1, wherein the frame body is provided with a concentration inspection unit for measuring the concentration of inspection particles inside the frame body.
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