JP2015025228A - Metal oxide-adhered glass cloth and production method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、金属酸化物固着ガラスクロス及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a metal oxide fixed glass cloth and a method for producing the same.
従来、複数の両面プリント配線基板を絶縁体層を介して相互に積層してなる積層プリント配線基板において、隣接する両面プリント配線基板の間に配設される該絶縁体層として、ガラスクロスに合成樹脂を含浸させてなるプリプレグが用いられている。 Conventionally, in a multilayer printed wiring board in which a plurality of double-sided printed wiring boards are laminated on each other via an insulating layer, the insulating layer disposed between adjacent double-sided printed wiring boards is synthesized with a glass cloth. A prepreg impregnated with a resin is used.
また近年、スマートフォン、タブレット端末等の前記積層プリント配線基板を用いる電子機器等において、高性能化、多機能化及び薄型軽量化が進み、より小さい搭載面積で多数の発熱性電子部品が高密度に組み込まれるようになっている。そこで、前記電子機器、特に前記積層プリント配線基板の過熱を防ぐために、放熱性を向上させることが望まれる。 In recent years, electronic devices using the above multilayer printed wiring boards such as smartphones and tablet terminals have been improved in performance, multifunction, and thin and light, and a large number of heat-generating electronic components have become dense with a smaller mounting area. It is designed to be incorporated. Therefore, in order to prevent overheating of the electronic device, particularly the laminated printed wiring board, it is desired to improve heat dissipation.
前記事情に鑑み、前記積層プリント配線基板の過熱を防ぐために、前記プリプレグに用いられるガラスクロスの放熱性を向上させることが検討されている。このようなガラスクロスとして、例えば、窒化アルミニウムの繊維又は粒子を付着させたガラスフィラメントを織り込んだガラスクロスが提案されている（例えば特許文献１参照）。 In view of the above circumstances, in order to prevent overheating of the multilayer printed wiring board, it has been studied to improve the heat dissipation of the glass cloth used for the prepreg. As such a glass cloth, for example, a glass cloth woven with glass filaments to which aluminum nitride fibers or particles are attached has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、前記従来の窒化アルミニウムの繊維又は粒子を付着させたガラスフィラメントを織り込んだガラスクロスは、その製造過程において該窒化アルミニウムが空気中の水分と反応してアンモニアを発生させ、作業環境が汚染されるという不都合がある。 However, the glass cloth woven with the conventional glass filaments to which the fibers or particles of aluminum nitride are adhered, in the production process, the aluminum nitride reacts with moisture in the air to generate ammonia, and the working environment is contaminated. There is an inconvenience.
本発明は、かかる不都合を解消して、製造過程において作業環境が汚染することなく、しかも優れた放熱性を備える金属酸化物固着ガラスクロス及びその製造方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a metal oxide-fixed glass cloth and a method for manufacturing the same, which eliminates such disadvantages and does not contaminate the work environment in the manufacturing process and has excellent heat dissipation.
かかる目的を達成するために、本発明は、ガラス繊維を製織してなるガラスクロスと、該ガラス繊維に固着された金属酸化物とを備える金属酸化物固着ガラスクロスにおいて、該金属酸化物はアルミナ又はその水和物からなることを特徴とする。 In order to achieve this object, the present invention provides a metal oxide-fixed glass cloth comprising a glass cloth formed by weaving glass fibers and a metal oxide fixed to the glass fibers, wherein the metal oxide is alumina. Or it consists of the hydrate.
本発明の金属酸化物固着ガラスクロスは、前記ガラスクロスを形成する前記ガラス繊維にアルミナ又はその水和物からなる金属酸化物が固着されているので、熱伝導性が向上されており、優れた放熱性を得ることができる。また、前記アルミナ又はその水和物は、空気中の水分と反応せず、アンモニアを生成することが無いので、本発明の金属酸化物固着ガラスクロスによれば、その製造過程における作業環境の汚染を防止することができる。 The metal oxide-fixed glass cloth of the present invention is improved in thermal conductivity because a metal oxide made of alumina or a hydrate thereof is fixed to the glass fiber forming the glass cloth. Heat dissipation can be obtained. Further, since the alumina or hydrate thereof does not react with moisture in the air and does not generate ammonia, according to the metal oxide fixed glass cloth of the present invention, contamination of the working environment in the production process. Can be prevented.
本発明の金属酸化物固着ガラスクロスにおいて、前記金属酸化物は、前記ガラスクロスの質量に対して０．０１〜３．０質量％の範囲の質量を備えることが好ましく、０．０５〜１．０質量％の範囲の質量を備えることがさらに好ましい。前記金属酸化物の質量が、前記ガラスクロスの質量に対して０．０１質量％未満であるときには、熱伝導性を向上させる効果が十分に得られないことがある。また、前記金属酸化物の質量は、前記ガラスクロスの質量に対して３．０質量％を超えると、該金属酸化物を前記ガラス繊維に固着させることが難しくなる。 In the metal oxide-fixed glass cloth of the present invention, the metal oxide preferably has a mass in the range of 0.01 to 3.0% by mass with respect to the mass of the glass cloth. More preferably, it has a mass in the range of 0% by mass. When the mass of the metal oxide is less than 0.01 mass% with respect to the mass of the glass cloth, the effect of improving the thermal conductivity may not be sufficiently obtained. Moreover, when the mass of the metal oxide exceeds 3.0% by mass with respect to the mass of the glass cloth, it becomes difficult to fix the metal oxide to the glass fiber.
また、前記金属酸化物は、前記ガラスクロスの質量に対して０．０５〜１．０質量％の範囲の質量を備えることにより、前記ガラス繊維に確実に固着させることができ、前記ガラスクロスにおいて優れた熱伝導性を得ることができる。 Moreover, the said metal oxide can be reliably fixed to the said glass fiber by providing the mass of the range of 0.05-1.0 mass% with respect to the mass of the said glass cloth, In the said glass cloth, Excellent thermal conductivity can be obtained.
また、本発明の金属酸化物固着ガラスクロスにおいて、前記金属酸化物はアルミナであってもよく、アルミナの水和物であってもよい。前記金属酸化物がアルミナである場合には、前記金属酸化物固着ガラスクロスを４００℃程度以上の温度で加工することができる。一方、前記金属酸化物がアルミナの水和物である場合には、前記金属酸化物固着ガラスクロスの製造の際に高温の加熱を必要としないので、前記ガラスクロスの強度を低下させることがない。 In the metal oxide fixed glass cloth of the present invention, the metal oxide may be alumina or a hydrate of alumina. When the metal oxide is alumina, the metal oxide-fixed glass cloth can be processed at a temperature of about 400 ° C. or higher. On the other hand, when the metal oxide is a hydrate of alumina, high-temperature heating is not required in the production of the metal oxide-fixed glass cloth, so that the strength of the glass cloth is not reduced. .
前記金属酸化物がアルミナである場合には、該アルミナは５０〜７５％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、５５〜６５％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましい。前記アルミナは、その結晶化度が５０％未満であるときには、熱伝導性を向上させる効果が十分に得られないことがある。また、前記アルミナの結晶化度を７５％を超えるものとすることは製造効率上好ましくない。また、前記アルミナは、その結晶化度が５５〜６５％の範囲であることにより、前記金属酸化物固着ガラスクロスに良好な機械的強度と樹脂密着性とを付与することができ、該金属酸化物固着ガラスクロスを含むシート又は積層板に高い熱伝導性を付与することができるとの効果を奏することができる。 When the metal oxide is alumina, the alumina preferably has a crystallinity in the range of 50 to 75%, and more preferably has a crystallinity in the range of 55 to 65%. When the crystallinity of the alumina is less than 50%, the effect of improving the thermal conductivity may not be sufficiently obtained. Moreover, it is not preferable in terms of production efficiency that the crystallinity of the alumina exceeds 75%. Further, the alumina has a crystallinity in the range of 55 to 65%, so that the metal oxide-fixed glass cloth can be provided with good mechanical strength and resin adhesion. The effect that high heat conductivity can be provided to the sheet | seat or laminated board containing an object fixed glass cloth can be show | played.
前記アルミナの結晶化度は、ベーマイト型アルミナ（アルミナ水和物）微粒子を４５℃の温度で２４時間乾燥させ、次いで１０００℃の温度で２時間焼成して得られたアルミナをＸ線回折装置で分析した際に、回折角度６６°付近に存在するピークの強度をα、前記金属酸化物を形成する前記アルミナを該Ｘ線回折装置で分析した際に、該回折角度付近に存在するピークの強度をβとして、次式から算出することができる。 The degree of crystallinity of the alumina was determined by drying boehmite-type alumina (alumina hydrate) fine particles at a temperature of 45 ° C. for 24 hours and then firing the alumina obtained at a temperature of 1000 ° C. for 2 hours with an X-ray diffractometer. When analyzed, the intensity of the peak existing near the diffraction angle of 66 ° is α, and when the alumina forming the metal oxide is analyzed by the X-ray diffractometer, the intensity of the peak existing near the diffraction angle is Can be calculated from the following equation.
アルミナの結晶化度（％）＝β／α×１００
また、本発明の金属酸化物固着ガラスクロスにおいて、前記金属酸化物がアルミナ水和物である場合には、該アルミナ水和物は４０〜９７％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、４２〜９２％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましく、４２〜５０％の範囲の結晶化度を備えることが特に好ましい。前記アルミナ水和物は、その結晶化度が９７％を超えるときには、熱伝導性を向上させる効果が十分に得られないことがある。また、前記アルミナ水和物の結晶化度を４０％未満とすることは技術的に困難である。また、前記アルミナ水和物は、その結晶化度が４２〜９２％の範囲であることにより、前記金属酸化物固着ガラスクロスに良好な機械的強度と樹脂密着性とを付与することができ、該金属酸化物固着ガラスクロスを含むシート又は積層板に高い熱伝導性を付与することができるとの効果を奏することができる。さらに、前記アルミナ水和物は、その結晶化度が４０〜５０％の範囲であることにより、前記金属酸化物固着ガラスクロスを含むシート又は積層板に特に高い熱伝導性を付与することができるとの効果を奏することができる。
Crystallinity of alumina (%) = β / α × 100
In the metal oxide-fixed glass cloth of the present invention, when the metal oxide is an alumina hydrate, the alumina hydrate preferably has a crystallinity in the range of 40 to 97%. It is more preferable to have a crystallinity in the range of 42 to 92%, and it is particularly preferable to have a crystallinity in the range of 42 to 50%. When the crystallinity of the alumina hydrate exceeds 97%, the effect of improving the thermal conductivity may not be sufficiently obtained. Moreover, it is technically difficult to make the crystallinity of the alumina hydrate less than 40%. The alumina hydrate can impart good mechanical strength and resin adhesion to the metal oxide-fixed glass cloth by having a crystallinity in the range of 42 to 92%. The effect that high heat conductivity can be provided to the sheet | seat or laminated board containing this metal oxide fixed glass cloth can be show | played. Furthermore, the alumina hydrate can impart particularly high thermal conductivity to the sheet or laminate including the metal oxide-fixed glass cloth when the crystallinity is in the range of 40 to 50%. The effect can be achieved.
前記アルミナ水和物の結晶化度は、ベーマイト型アルミナ（アルミナ水和物）微粒子を４５℃の温度で２４時間乾燥させて得られたアルミナ水和物（ベーマイト）をＸ線回折装置で分析した際に、回折角度４９°付近に存在するピークの最大ピーク強度をα、前記金属酸化物を形成する前記アルミナ水和物を該Ｘ線回折装置で分析した際に、該回折角度付近に存在するピークのピーク強度をβとして、次式から算出することができる。 The degree of crystallinity of the alumina hydrate was determined by analyzing the alumina hydrate (boehmite) obtained by drying boehmite type alumina (alumina hydrate) fine particles at a temperature of 45 ° C. for 24 hours with an X-ray diffractometer. In this case, the maximum peak intensity of a peak existing near a diffraction angle of 49 ° is α, and when the alumina hydrate forming the metal oxide is analyzed by the X-ray diffractometer, it exists near the diffraction angle. The peak intensity of the peak can be calculated from the following equation with β.
アルミナ水和物の結晶化度（％）＝β／α×１００
尚、アルミナ又はアルミナ水和物の結晶化度の計算において、ピーク強度は、金属酸化物固着ガラスクロスから分離させた金属酸化物粒子に対する粉末Ｘ線回折により求められるピーク強度であってもよく、金属酸化物固着ガラスクロスの表面に存在する金属酸化物層に対する薄膜Ｘ線回折により求められるピーク強度であってもよい。ただし、金属酸化物固着ガラスクロスから金属酸化物粒子を分離させることが困難な場合には、薄膜Ｘ線回折により求められるピーク強度を、前記式のピーク強度として採用する。
Crystallinity of alumina hydrate (%) = β / α × 100
In the calculation of the crystallinity of alumina or alumina hydrate, the peak intensity may be a peak intensity obtained by powder X-ray diffraction for metal oxide particles separated from a metal oxide-fixed glass cloth, It may be a peak intensity obtained by thin film X-ray diffraction with respect to a metal oxide layer present on the surface of the metal oxide fixed glass cloth. However, when it is difficult to separate the metal oxide particles from the metal oxide-fixed glass cloth, the peak intensity obtained by thin film X-ray diffraction is employed as the peak intensity in the above formula.
また、本発明は、ガラス繊維を製織してなるガラスクロスと、該ガラス繊維に固着された金属酸化物とを備える金属酸化物固着ガラスクロスの製造方法において、該ガラスクロスを該金属酸化物の粒子の分散液に浸漬し、該ガラス繊維に該金属酸化物の粒子を付着させる工程と、該金属酸化物の粒子が付着された該ガラスクロスを乾燥させた後、１００〜６００℃の範囲の温度で２〜４８時間加熱して、該ガラス繊維に該金属酸化物を固着させる工程とを備え、該金属酸化物の粒子の分散液が、アルミナ又はその水和物の粒子の分散液であることを特徴とする。 The present invention also provides a method for producing a metal oxide-fixed glass cloth comprising a glass cloth formed by weaving glass fibers and a metal oxide fixed to the glass fibers, wherein the glass cloth is made of the metal oxide. A step of immersing in a dispersion of particles to attach the metal oxide particles to the glass fiber; and drying the glass cloth to which the metal oxide particles are attached. Heating at a temperature for 2 to 48 hours to fix the metal oxide to the glass fiber, and the dispersion of the metal oxide particles is a dispersion of particles of alumina or a hydrate thereof. It is characterized by that.
本発明の金属酸化物固着ガラスクロスの製造方法では、まず、ガラスクロスを前記アルミナ又はその水和物の粒子の水分散液に浸漬し、該ガラス繊維に該アルミナ又はその水和物の粒子を付着させる。そして、前記ガラス繊維に前記アルミナ又はその水和物の粒子が付着された前記ガラスクロスを乾燥させた後、１００〜６００℃の範囲の温度で２〜４８時間加熱することにより、該ガラス繊維に前記金属酸化物、すなわち、アルミナ又はその水和物を固着させることができる。 In the method for producing a metal oxide-fixed glass cloth of the present invention, first, the glass cloth is immersed in an aqueous dispersion of the alumina or hydrate particles, and the alumina or hydrate particles are put on the glass fibers. Adhere. And after drying the said glass cloth with which the particle | grains of the said alumina or its hydrate adhered to the said glass fiber, by heating for 2-48 hours at the temperature of the range of 100-600 degreeC, this glass fiber is made into this glass fiber. The metal oxide, that is, alumina or a hydrate thereof can be fixed.
このとき、前記加熱温度が１００℃未満又は加熱時間が２時間未満では、前記金属酸化物を形成することができない。また、前記加熱温度が６００℃を超えるか又は加熱時間が４８時間を超えると、前記ガラスクロスの強度が低下する。 At this time, if the heating temperature is less than 100 ° C. or the heating time is less than 2 hours, the metal oxide cannot be formed. On the other hand, when the heating temperature exceeds 600 ° C. or the heating time exceeds 48 hours, the strength of the glass cloth decreases.
本発明の金属酸化物固着ガラスクロスの製造方法では、前記ガラスクロスに前記金属酸化物の粒子を付着させる工程に先立って、前記ガラスクロスを加熱して脱油処理を行う工程を備えることが好ましい。前記ガラスクロスは、予め前記脱油処理を行うことにより、その表面に対して前記金属酸化物を直接、より強く固着させることができる。 The method for producing a metal oxide-fixed glass cloth according to the present invention preferably includes a step of heating the glass cloth and performing a deoiling process prior to the step of attaching the metal oxide particles to the glass cloth. . By performing the deoiling treatment in advance, the glass cloth can directly and strongly fix the metal oxide to the surface thereof.
また、本発明の金属酸化物固着ガラスクロスの製造方法では、前記ガラスクロスの表裏両面に前記金属酸化物を形成する工程の後に、該金属酸化物が形成された該ガラスクロスをシランカップリング剤で処理することが好ましい。本発明の金属酸化物固着ガラスクロスは、前記金属酸化物上に樹脂被覆層を形成することにより、放熱性シートとすることができる。このとき、前記ガラスクロスは、前記シランカップリング剤で処理されていることにより、該シランカップリング剤を介して前記樹脂被覆層を強固に結合することができる。 Further, in the method for producing a metal oxide-fixed glass cloth of the present invention, after the step of forming the metal oxide on both the front and back surfaces of the glass cloth, the glass cloth on which the metal oxide is formed is treated with a silane coupling agent. It is preferable to treat with. The metal oxide fixed glass cloth of the present invention can be made into a heat radiating sheet by forming a resin coating layer on the metal oxide. At this time, since the glass cloth is treated with the silane coupling agent, the resin coating layer can be firmly bonded through the silane coupling agent.
本発明の放熱性シートは、本発明の金属酸化物固着ガラスクロスを用いるものであって、ガラス繊維を製織してなるガラスクロスと、該ガラスクロスの表裏両面を被覆すると共にアルミナ又はその水和物からなる金属酸化物と、該金属酸化物上に形成された樹脂被覆層とを備えることを特徴とする。 The heat-radiating sheet of the present invention uses the metal oxide-fixed glass cloth of the present invention, which covers a glass cloth formed by weaving glass fibers, both front and back surfaces of the glass cloth, and alumina or its hydration. It is characterized by comprising a metal oxide made of a material and a resin coating layer formed on the metal oxide.
また、本発明の積層板は、本発明の放熱性シートを備えることを特徴とする。 Moreover, the laminated board of this invention is equipped with the thermal radiation sheet | seat of this invention, It is characterized by the above-mentioned.
次に、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
図１に示すように、本実施形態の金属酸化物固着ガラスクロス１は、ガラス繊維を経糸２と緯糸３として製織してなるガラスクロス４と、ガラス繊維（経糸２及び緯糸３）に直接固着された金属酸化物５とを備え、シランカップリング剤で処理されている。 As shown in FIG. 1, a metal oxide-fixed glass cloth 1 according to this embodiment is directly fixed to a glass cloth 4 formed by weaving glass fibers as warp yarns 2 and weft yarns 3, and glass fibers (warp yarns 2 and weft yarns 3). Metal oxide 5 and treated with a silane coupling agent.
ここで、前記金属酸化物は、ガラス繊維表面に直接固着されていることが好ましい。前記金属酸化物がガラス繊維表面に直接固着されているとは、ガラス繊維表面の有機化合物層を介さずに、該金属酸化物がガラス繊維表面に固着されることをいう。前記有機化合物層は、ガラス繊維の製造又は製織の際に、サイジング剤として該ガラス繊維表面に付与される澱粉等の有機化合物が乾燥されて形成されるものである。前記金属酸化物は、前記有機化合物層を介さずに前記ガラス繊維表面に固着されることにより、加熱処理等により該有機化合物層が除去された場合であっても、該ガラス表面から分離することがない。 Here, it is preferable that the metal oxide is directly fixed to the glass fiber surface. The phrase “the metal oxide is directly fixed to the glass fiber surface” means that the metal oxide is fixed to the glass fiber surface without using the organic compound layer on the glass fiber surface. The organic compound layer is formed by drying an organic compound such as starch applied to the surface of the glass fiber as a sizing agent during the production or weaving of the glass fiber. The metal oxide is separated from the glass surface even when the organic compound layer is removed by heat treatment or the like by being fixed to the glass fiber surface without passing through the organic compound layer. There is no.
ガラスクロス４は、例えば、Ｅガラス、Ａガラス、Ｄガラス、Ｓガラス等のいずれかのガラスからなる直径４〜１０μｍのフィラメントを、５０〜４００本集束した経糸２及び緯糸３を製織したものを用いることができる。経糸２及び緯糸３の打ち込み密度は、１０〜２００本／２５ｍｍであり、好ましくは１５〜１００本／２５ｍｍであり、さらに好ましくは４０〜８０本／２５ｍｍである。また、ガラスクロス４は、その単位面積当たりの質量が５〜４００ｇ／ｍ2 、好ましくは１０〜３００ｇ／ｍ2 である。ガラスクロス４の織り方は、平織り、朱子織り、綾織り、ななこ織り等のいずれであってもよい。 For example, the glass cloth 4 is made by weaving 50 to 400 bundles of warp yarns 2 and weft yarns 4 to 10 μm in diameter made of any glass such as E glass, A glass, D glass, and S glass. Can be used. The driving density of the warp 2 and the weft 3 is 10 to 200/25 mm, preferably 15 to 100/25 mm, and more preferably 40 to 80/25 mm. The glass cloth 4 has a mass per unit area of 5 to 400 g / m 2 , preferably 10 to 300 g / m 2 . The weave of the glass cloth 4 may be any of plain weave, satin weave, twill weave, nanako weave and the like.
ガラスクロス４は、予め、加熱により脱油処理されている。前記脱油処理は、例えば、ガラスクロス４を３００〜４５０℃の範囲の温度で、２４〜７２時間加熱することにより行うことができる。この結果、ガラスクロス４は、澱粉系集束剤等の有機物の９９％以上、さらには９９．９％以上が除去されていることが好ましい。 The glass cloth 4 is previously deoiled by heating. The deoiling treatment can be performed, for example, by heating the glass cloth 4 at a temperature in the range of 300 to 450 ° C. for 24 to 72 hours. As a result, it is preferable that 99% or more, more preferably 99.9% or more of the organic substance such as the starch-based sizing agent is removed from the glass cloth 4.
金属酸化物５は、アルミナ又はアルミナ水和物からなる。ここで、アルミナ水和物としては、ベーマイト（アルミナ一水和物、Ａｌ２Ｏ３・Ｈ２Ｏ）及び擬ベーマイト（Ａｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏ、１＜ｎ＜２）を挙げることができる。ベーマイトと擬ベーマイトとの明確な区別は困難であるが、入手及び管理の容易性から、本発明で用いるアルミナ水和物としては、ベーマイトが好ましい。 The metal oxide 5 is made of alumina or alumina hydrate. Here, examples of the alumina hydrate include boehmite (alumina monohydrate, Al 2 O 3 .H 2 O) and pseudoboehmite (Al 2 O 3 .nH 2 O, 1 <n <2). it can. Although it is difficult to clearly distinguish between boehmite and pseudoboehmite, boehmite is preferable as the alumina hydrate used in the present invention because of easy availability and management.
金属酸化物５を形成する前記アルミナ微粒子又はアルミナ水和物微粒子の質量は、ガラスクロス４の質量に対して０．０１〜３．０質量％の範囲にあることが好ましく、０．０５〜１．０質量％の範囲にあることがさらに好ましい。 The mass of the alumina fine particles or alumina hydrate fine particles forming the metal oxide 5 is preferably in the range of 0.01 to 3.0% by mass with respect to the mass of the glass cloth 4, and 0.05 to 1 More preferably, it is in the range of 0.0 mass%.
また、金属酸化物５が前記アルミナ微粒子からなる場合、該アルミナ微粒子は５０〜７５％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、５５〜６５％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましい。一方、金属酸化物５が前記アルミナ水和物微粒子からなる場合、該アルミナ水和物微粒子は４０〜９７％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、４２〜９２％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましく、４２〜５０％の範囲の結晶化度を備えることが特に好ましい。 Further, when the metal oxide 5 is composed of the alumina fine particles, the alumina fine particles preferably have a crystallinity in the range of 50 to 75%, and more preferably have a crystallinity in the range of 55 to 65%. . On the other hand, when the metal oxide 5 is composed of the alumina hydrate fine particles, the alumina hydrate fine particles preferably have a crystallinity in the range of 40 to 97%, and a crystallinity in the range of 42 to 92%. Is more preferable, and it is particularly preferable to have a crystallinity in the range of 42 to 50%.
前記シランカップリング剤としては、例えば、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−β−（Ｎ−ベンジルアミノエチルアミノプロピル）トリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−β−（Ｎ−ベンジルアミノエチルアミノプロピル）メチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−Ｎ−γ−（Ｎ−ビニルベンジル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−β−（Ｎ−ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、Ｎ−β−（Ｎ−ジ（ビニルベンジル）アミノエチル）−Ｎ−γ−（Ｎ−ビニルベンジル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、２−（３，４エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、アミノプロピルトリメトキシシラン、並びにビニルトリメトキシシラン等の単体、又はこれらの混合物等を挙げることができる。 Examples of the silane coupling agent include N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-. Aminopropylmethyldimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-benzylaminoethylaminopropyl) trimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-benzylaminoethylaminopropyl) methyldimethoxysilane and its hydrochloric acid Salt, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -N-γ- (N-vinylbenzyl)- γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-di (vinylben L) aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -N-γ- (N-vinylbenzyl) -γ-aminopropyltri Methoxysilane and its hydrochloride, 2- (3,4 epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and its hydrochloride, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, aminopropyltrimethoxysilane, and vinyltrimethoxysilane Etc., or a mixture thereof.
次に、本実施形態の金属酸化物固着ガラスクロス１の製造方法について、説明する。 Next, the manufacturing method of the metal oxide fixed glass cloth 1 of this embodiment is demonstrated.
前記製造方法では、まず、予め脱油処理されているガラスクロス４を、０．０１〜１０質量％の範囲の濃度を備え、１５〜７０℃の範囲の液温のアルミナ水和物微粒子水分散液中に、１〜１０秒の範囲の時間浸漬し、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にベーマイト微粒子を直接付着させる。前記アルミナ水和物微粒子水分散液としては、平均粒子径が５０〜３００ｎｍの範囲にあるアルミナ水和物微粒子（例えば、日産化学工業株式会社製、商品名：アルミナゾル２００）の水分散液を挙げることができる。 In the manufacturing method, first, the glass cloth 4 that has been deoiled in advance has a concentration in the range of 0.01 to 10% by mass, and the alumina hydrate fine particle water dispersion at a liquid temperature in the range of 15 to 70 ° C. The boehmite fine particles are directly adhered to the warp yarn 2 and the weft yarn 3 forming the glass cloth 4 by dipping in the liquid for a time in the range of 1 to 10 seconds. Examples of the alumina hydrate fine particle aqueous dispersion include an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles (for example, product name: Alumina Sol 200, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) having an average particle diameter in the range of 50 to 300 nm. be able to.
ここで、脱油処理されたガラスクロスを、０．５〜５質量％の濃度を備え、１５〜３５℃の液温のアルミナ水和物微粒子水分散液中に２〜３秒浸漬することが好ましい。このようにすることにより、製造効率に優れ、かつ、前記アルミナ水和物が特に強固に前記ガラスクロスに固着した金属酸化物固着ガラスクロス１を得ることができる。 Here, the degreased glass cloth is immersed in an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 0.5 to 5% by mass and a liquid temperature of 15 to 35 ° C. for 2 to 3 seconds. preferable. By doing in this way, the metal oxide fixed glass cloth 1 which is excellent in production efficiency and in which the alumina hydrate is particularly firmly fixed to the glass cloth can be obtained.
次に、経糸２及び緯糸３に前記アルミナ水和物微粒子が付着されたガラスクロス４を、例えば、４０〜１２０℃の範囲の温度で、５分〜１時間の範囲の時間加熱し、乾燥する。このとき、製造効率上、ガラスクロス４を７０〜８０℃の範囲の温度で、２０〜３０分の範囲の時間加熱することが好ましい。 Next, the glass cloth 4 in which the alumina hydrate fine particles are adhered to the warp 2 and the weft 3 is heated and dried at a temperature in the range of 40 to 120 ° C. for a time in the range of 5 minutes to 1 hour, for example. . At this time, it is preferable to heat the glass cloth 4 at a temperature in the range of 70 to 80 ° C. for a time in the range of 20 to 30 minutes in terms of manufacturing efficiency.
次に、前記のようにして乾燥されたガラスクロス４を、例えば、１００〜６００℃の範囲の温度で、２〜４８時間の範囲の時間加熱し、アルミナ微粒子又はアルミナ水和物微粒子からなる金属酸化物５を経糸２及び緯糸３に直接固着させる。この結果、金属酸化物固着ガラスクロス１を得ることができる。 Next, the glass cloth 4 dried as described above is heated at a temperature in the range of 100 to 600 ° C. for a time in the range of 2 to 48 hours, for example, to form a metal composed of alumina fine particles or alumina hydrate fine particles. The oxide 5 is directly fixed to the warp 2 and the weft 3. As a result, the metal oxide fixed glass cloth 1 can be obtained.
このとき、製造効率上、ガラスクロス４を、３００〜４００℃の範囲の温度で、２４〜４８時間の範囲の時間加熱することが好ましい。このようにすることにより、前記脱油処理の加熱条件を利用することができる。 At this time, it is preferable to heat the glass cloth 4 at a temperature in the range of 300 to 400 ° C. for a time in the range of 24 to 48 hours in terms of production efficiency. By doing in this way, the heating conditions of the said deoiling process can be utilized.
ここで、金属酸化物５を形成する前記アルミナ微粒子又はアルミナ水和物微粒子の質量は、前述のように、ガラスクロス４の質量に対して０．０１〜３．０質量％の範囲となっていることが好ましく、０．０５〜１．０質量％の範囲となっていることがさらに好ましい。 Here, the mass of the alumina fine particles or alumina hydrate fine particles forming the metal oxide 5 is in the range of 0.01 to 3.0% by mass with respect to the mass of the glass cloth 4 as described above. It is preferable that it is in the range of 0.05 to 1.0% by mass.
また、金属酸化物５が前記アルミナ微粒子からなる場合、該アルミナ微粒子は５０〜７５％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、５５〜６５％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましい。一方、金属酸化物５が前記アルミナ水和物微粒子からなる場合、該アルミナ水和物微粒子は４０〜９７％の範囲の結晶化度を備えることが好ましく、４２〜９２％の範囲の結晶化度を備えることがさらに好ましく、４２〜５０％の範囲の結晶化度を備えることが特に好ましい。 Further, when the metal oxide 5 is composed of the alumina fine particles, the alumina fine particles preferably have a crystallinity in the range of 50 to 75%, and more preferably have a crystallinity in the range of 55 to 65%. . On the other hand, when the metal oxide 5 is composed of the alumina hydrate fine particles, the alumina hydrate fine particles preferably have a crystallinity in the range of 40 to 97%, and a crystallinity in the range of 42 to 92%. Is more preferable, and it is particularly preferable to have a crystallinity in the range of 42 to 50%.
金属酸化物固着ガラスクロス１は、さらにシランカップリング剤で処理することができる。前記シランカップリング剤で処理する場合は、例えば、金属酸化物固着ガラスクロス１を、０．１〜５質量％、より好ましくは０．３〜３．３質量％の範囲の濃度を備え、２〜５の範囲のｐＨに調整された該シランカップリング剤溶液中に、１〜１０秒の範囲の時間浸漬する。そして、絞液した後、金属酸化物固着ガラスクロス１を乾燥することにより行うことができる。 The metal oxide fixed glass cloth 1 can be further treated with a silane coupling agent. In the case of treating with the silane coupling agent, for example, the metal oxide-fixed glass cloth 1 has a concentration in the range of 0.1 to 5% by mass, more preferably 0.3 to 3.3% by mass. Immerse in the silane coupling agent solution adjusted to a pH in the range of ˜5 for a time in the range of 1-10 seconds. And after squeezing, it can carry out by drying the metal oxide fixed glass cloth 1.
本実施形態の金属酸化物固着ガラスクロス１は、さらに、図２に示す放熱性シート１１を形成することができる。放熱性シート１１は、金属酸化物固着ガラスクロス１を補強材とし、金属酸化物５上にさらに樹脂被覆層１２が形成されている。 The metal oxide fixed glass cloth 1 of the present embodiment can further form a heat radiating sheet 11 shown in FIG. The heat dissipating sheet 11 has a metal oxide-fixed glass cloth 1 as a reinforcing material, and a resin coating layer 12 is further formed on the metal oxide 5.
樹脂被覆層１２を形成する樹脂は、熱硬化性樹脂又は、熱可塑性樹脂のいずれであってもよい。前記熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ラジカル重合型硬化樹脂、マレイミドトリアジン樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂等を挙げることができる。 The resin forming the resin coating layer 12 may be either a thermosetting resin or a thermoplastic resin. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, a radical polymerization type curable resin, a maleimide triazine resin, a thermosetting polyimide resin, and a benzoxazine resin.
前記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応するアミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、水酸基等を有する化合物を、無触媒、又は、イミダゾール化合物、３級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるものを挙げることができる。 The epoxy resin includes a compound having an epoxy group and a compound having an amino group, a phenol group, an acid anhydride group, a hydrazide group, an isocyanate group, a cyanate group, a hydroxyl group, or the like that reacts with the epoxy group, without any catalyst, or imidazole. Examples thereof include a compound having a reaction catalytic ability such as a compound, a tertiary amine compound, a urea compound, and a phosphorus compound, which is reacted and cured.
また、前記ラジカル重合型硬化樹脂としては、アリル基、メタクリル基、アクリル基を有する化合物を、熱分解型触媒、または光分解型触媒を反応開始剤として使用して硬化させるものを挙げることができる。また、前記マレイミドトリアジン樹脂としては、シアネート基を有する化合物とマレイミド基を有する化合物を反応させて硬化させるものを挙げることができる。 Examples of the radical polymerization type curable resin include those obtained by curing a compound having an allyl group, a methacryl group, and an acrylic group using a thermal decomposition catalyst or a photodecomposition catalyst as a reaction initiator. . Examples of the maleimide triazine resin include those obtained by reacting and curing a compound having a cyanate group and a compound having a maleimide group.
また、前記熱硬化性ポリイミド樹脂としては、マレイミド化合物とアミン化合物を反応させて硬化させるものを挙げることができ、前記ベンゾオキサジン樹脂としては、ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるものを挙げることができる。 Examples of the thermosetting polyimide resin include those obtained by reacting and curing a maleimide compound and an amine compound. Examples of the benzoxazine resin include those obtained by crosslinking and curing a compound having a benzoxazine ring by heat polymerization. Can be mentioned.
また、前記熱可塑性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等を挙げることができる。 Examples of the thermoplastic resin include polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulfone, polyarylate, aromatic polyamide, polyetheretherketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, polyamideimide, fluorine resin, and the like. Can be mentioned.
また、樹脂被覆層１２を形成する樹脂は、熱伝導性を向上させるために、窒化ホウ素等の熱伝導性フィラーを含んでいることが好ましい。前記樹脂は、熱伝導性フィラーを含む場合、その全量の１０〜６０質量％の範囲で該熱伝導性フィラーを含むことが好ましい。前記樹脂中の熱伝導性フィラーが１０質量％未満の量であると、シートが高い熱伝導性を示さない場合がある。一方、前記樹脂中の熱伝導性フィラーを６０質量を超える量とすることは、製造コストの点で好ましくない。 Further, the resin forming the resin coating layer 12 preferably contains a heat conductive filler such as boron nitride in order to improve the heat conductivity. When the said resin contains a heat conductive filler, it is preferable to contain this heat conductive filler in 10-60 mass% of the whole quantity. If the thermally conductive filler in the resin is less than 10% by mass, the sheet may not exhibit high thermal conductivity. On the other hand, it is not preferable from the viewpoint of manufacturing cost to make the heat conductive filler in the resin more than 60 mass.
放熱性シート１１は、金属酸化物固着ガラスクロス１を、２０〜８０質量％の範囲の濃度を備える前記樹脂中に、５〜６０秒の範囲の時間浸漬した後、乾燥することにより得ることができる。このとき、金属酸化物固着ガラスクロス１は、金属酸化物５に樹脂被覆層を強固に結合するために、前記シランカップリング剤で処理されていることが好ましい。 The heat radiating sheet 11 can be obtained by immersing the metal oxide-fixed glass cloth 1 in the resin having a concentration in the range of 20 to 80% by mass for a time in the range of 5 to 60 seconds and then drying. it can. At this time, the metal oxide fixed glass cloth 1 is preferably treated with the silane coupling agent in order to firmly bond the resin coating layer to the metal oxide 5.
また、放熱性シート１１は、例えば、真空プレスにより１．９６ＭＰａの圧力で銅箔に熱圧着されることより、積層板を形成することができる。前記積層板は、積層プリント配線基板等の材料として使用することができる。 Moreover, the heat-radiation sheet 11 can form a laminated board by thermocompression-bonding to copper foil with the pressure of 1.96 MPa, for example by a vacuum press. The said laminated board can be used as materials, such as a laminated printed wiring board.
次に、実施例及び比較例を示す。 Next, examples and comparative examples are shown.
〔実施例１〕
本実施例では、まず、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４（日東紡績株式会社製、商品名：ＷＥＡ７６２８）を、濃度１．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に５秒間浸漬し、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にベーマイト微粒子を直接付着させた。
[Example 1]
In this example, first, a glass cloth 4 (manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd., trade name: WEA7628) that has been deoiled by heat treatment is used as an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 1.0 mass%. The boehmite fine particles were directly adhered to the warp yarn 2 and the weft yarn 3 forming the glass cloth 4 by dipping for 5 seconds.
本実施例で用いた前記ガラスクロス４は、Ｅガラス製の直径９μｍのフィラメントを４００本集束した経糸２及び緯糸３を平織にしたものである。その番手は６７．５ｔｅｘであり、単位面積当たりの質量は２０９ｇ／ｍ２である。経糸２及び緯糸３の打ち込み密度は、経糸２が４４本／２５ｍｍ、緯糸３が３２本／２５ｍｍである。また、ガラスクロス４は、予め、４００℃の温度で４８時間加熱されることにより脱油処理されており、澱粉系集束剤等の有機物の９９．９％以上が除去されている。 The glass cloth 4 used in this example is a plain weave of warp 2 and weft 3 obtained by converging 400 filaments made of E glass having a diameter of 9 μm. The count is 67.5 tex, and the mass per unit area is 209 g / m 2 . The driving density of the warp 2 and the weft 3 is 44/25 mm for the warp 2 and 32/25 mm for the weft 3. Further, the glass cloth 4 is previously deoiled by heating at a temperature of 400 ° C. for 48 hours, and 99.9% or more of organic substances such as the starch-based sizing agent are removed.
前記アルミナ水和物微粒子は、平均粒子径が５０〜３００ｎｍの範囲にあるアルミナ水和物微粒子（日産化学工業株式会社製、商品名：アルミナゾル２００）を用いた。また、前記アルミナ水和物微粒子水分散液は、液温が１５〜３５℃の範囲となるように調整した。 As the alumina hydrate fine particles, alumina hydrate fine particles (trade name: Alumina Sol 200, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) having an average particle diameter in the range of 50 to 300 nm were used. Moreover, the said alumina hydrate fine particle aqueous dispersion was adjusted so that liquid temperature might be the range of 15-35 degreeC.
次に、経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させたガラスクロス４を８０℃の温度で３０分間加熱して乾燥した後、３００℃の温度で４８時間焼成した。前記焼成後のガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３の表面を走査型電子顕微鏡により観察したところ、アルミナ水和物（より具体的にはベーマイト）微粒子からなる金属酸化物５が固着していることが確認された。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。 Next, the glass cloth 4 in which the alumina hydrate fine particles were directly attached to the warp 2 and the weft 3 was dried by heating at a temperature of 80 ° C. for 30 minutes, and then fired at a temperature of 300 ° C. for 48 hours. When the surfaces of the warp 2 and the weft 3 forming the glass cloth 4 after firing were observed with a scanning electron microscope, the metal oxide 5 composed of alumina hydrate (more specifically, boehmite) fine particles fixed. It was confirmed that Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
次に、前記焼成後のガラスクロス４の質量をａ、前記アルミナ水和物微粒子水分散液に浸漬する前のガラスクロス４の質量をｂとして、次式から金属酸化物５を形成する前記ベーマイト微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量Ａを算出した。 Next, the boehmite that forms the metal oxide 5 from the following formula, where a is the mass of the glass cloth 4 after firing and b is the mass of the glass cloth 4 before dipping in the alumina hydrate fine particle aqueous dispersion. The content A with respect to the mass of the glass cloth 4 of the fine particles was calculated.
Ａ（質量％）＝（ａ−ｂ）／ｂ×１００
また、アルミナ水和物微粒子（日産化学工業株式会社製、商品名：アルミナゾル２００）を４５℃の温度で２４時間乾燥させて得られたアルミナ水和物をＸ線回折装置（株式会社リガク製、商品名：ＲＩＮＴ−２０００）で分析した際に、回折角度４９°付近に存在するピークの最大ピーク強度をα、金属酸化物５を形成する前記アルミナ水和物微粒子を該Ｘ線回折装置で分析した際に、該回折角度付近に存在するピークのピーク強度をβとして、次式から金属酸化物５を形成する前記アルミナ水和物微粒子の結晶化度Ｂを算出した。
A (mass%) = (ab) / b × 100
Further, alumina hydrate obtained by drying alumina hydrate fine particles (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., trade name: Alumina sol 200) at a temperature of 45 ° C. for 24 hours is used as an X-ray diffractometer (produced by Rigaku Corporation (Product name: RINT-2000), the maximum peak intensity of a peak existing near a diffraction angle of 49 ° is α, and the alumina hydrate fine particles forming the metal oxide 5 are analyzed by the X-ray diffractometer. The crystallinity B of the alumina hydrate fine particles forming the metal oxide 5 was calculated from the following equation, where β is the peak intensity of the peak existing near the diffraction angle.
Ｂ（％）＝β／α×１００
この結果、金属酸化物５は、ガラスクロス４の質量に対して０．１質量％のアルミナ水和物微粒子を含んでおり、該アルミナ水和物微粒子は、４５．７％の結晶化度を備えていた。結果を表２に示す。
B (%) = β / α × 100
As a result, the metal oxide 5 contains 0.1% by mass of alumina hydrate fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4, and the alumina hydrate fine particles have a crystallinity of 45.7%. I was prepared. The results are shown in Table 2.
次に、経糸２及び緯糸３に金属酸化物５が固着されたガラスクロス４を、シランカップリング剤に浸漬し、絞液することにより、表面処理を行った。前記シランカップリング剤としては、２質量％の濃度のＮ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン溶液をｐＨ３．５に調整したものを用いた。この結果、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。 Next, the glass cloth 4 in which the metal oxide 5 was fixed to the warp yarn 2 and the weft yarn 3 was immersed in a silane coupling agent and subjected to a surface treatment by drawing. As the silane coupling agent, an N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane solution having a concentration of 2% by mass was adjusted to pH 3.5. As a result, the metal oxide fixed glass cloth 1 in which the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained.
次に、シランカップリング剤処理を施した金属酸化物固着ガラスクロス１を６２５℃で２時間加熱した場合の重量減少値（強熱減量値）Ａと、経糸２及び緯糸３に金属酸化物５が固着されたガラスクロス４をシランカップリング剤処理することなく６２５℃で２時間加熱した場合の重量減少値（強熱減量値）Ｂとの差（Ａ−Ｂ、単位ｇ）により、金属酸化物固着ガラスクロス１に対する前記シランカップリング剤の付着量を算出し、該シランカップリング剤の付着性を評価した。結果を表２に示す。 Next, the weight reduction value (ignition loss value) A when the metal oxide fixed glass cloth 1 treated with the silane coupling agent treatment is heated at 625 ° C. for 2 hours, and the metal oxide 5 on the warp 2 and the weft 3 Due to the difference (A−B, unit g) from the weight loss value (ignition loss value) B when the glass cloth 4 to which is fixed is heated at 625 ° C. for 2 hours without being treated with a silane coupling agent, The adhesion amount of the silane coupling agent to the object fixing glass cloth 1 was calculated, and the adhesion of the silane coupling agent was evaluated. The results are shown in Table 2.
尚、表２において、シランカップリング剤の付着量が０．００５ｇ未満であればその付着性を×、シランカップリング剤の付着量が０．００５ｇ以上０．０１ｇ未満であればその付着性を△、シランカップリング剤の付着量が０．０１ｇ以上０．０１５ｇ未満であればその付着性を○、シランカップリング剤の付着量が０．０１５ｇ以上であればその付着性を◎で示す。 In Table 2, if the adhesion amount of the silane coupling agent is less than 0.005 g, the adhesion is x. If the adhesion amount of the silane coupling agent is 0.005 g or more and less than 0.01 g, the adhesion is Δ, if the adhesion amount of the silane coupling agent is 0.01 g or more and less than 0.015 g, the adhesion property is indicated by ◯, and if the adhesion amount of the silane coupling agent is 0.015 g or more, the adhesion property is indicated by ◎.
次に、金属酸化物固着ガラスクロス１に対して、２０℃の純水中で超音波振動子（ＢＲＡＮＳＯＮ製、商品名：ＢＲＡＮＳＯＮＩＣ Ｂ１２００）との間隔を１０ｃｍとして、周波数５０ｋＨｚの超音波を１分間作用させた。そして、前記超音波を作用させる前後での表面領域の変化（剥落等）を走査型電子顕微鏡で観察することにより、金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。結果を表２に示す。 Next, an ultrasonic wave with a frequency of 50 kHz is applied to the metal oxide-fixed glass cloth 1 at a frequency of 10 cm in pure water at 20 ° C. with an interval of 10 cm between the ultrasonic vibrator (manufactured by BRANSON, product name: BRANSONIC B1200) for 1 minute. Acted. And the adhesiveness of the metal oxide 5 in the metal oxide fixed glass cloth 1 was evaluated by observing the change (peeling etc.) of the surface area before and after applying the ultrasonic wave with a scanning electron microscope. The results are shown in Table 2.
尚、表２において、走査型電子顕微鏡で観察した表面領域の５％以上で剥落が生じたものを×、１％以上５％未満で剥落が生じたものを△、１％未満で剥落が生じたものを○で示す。 In Table 2, the case where peeling occurred at 5% or more of the surface area observed with a scanning electron microscope x, the case where peeling occurred at 1% or more and less than 5%, and the peeling occurred when less than 1%. Are marked with a circle.
次に、金属酸化物固着ガラスクロス１の引張強度を測定した。前記引張強度は、金属酸化物固着ガラスクロス１の２５ｍｍ×２５ｍｍの試料片について、引張圧縮試験機（東洋精機製作所製、商品名：ストログラフＶＥ５Ｄ）を用いて、縦引張強度と横引張強度とを測定し、縦引張強度と横引張強度との平均値を算出した。結果を表２に示す。 Next, the tensile strength of the metal oxide fixed glass cloth 1 was measured. The tensile strength of the 25 mm × 25 mm sample piece of the metal oxide-fixed glass cloth 1 was determined by using a tensile compression tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, trade name: Strograph VE5D). Was measured, and the average value of the longitudinal tensile strength and the transverse tensile strength was calculated. The results are shown in Table 2.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を、エポキシ樹脂組成物に５秒間浸漬して該エポキシ樹脂組成物を含浸させた。前記エポキシ樹脂組成物は、熱伝導性フィラーとしての窒化ホウ素（電気化学工業株式会社製、商品名：ＳＰ３−７）５０質量％とエポキシ樹脂５０質量％とからなる。 Next, the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example was immersed in the epoxy resin composition for 5 seconds to impregnate the epoxy resin composition. The epoxy resin composition is composed of 50% by mass of boron nitride (trade name: SP3-7, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) as a thermally conductive filler and 50% by mass of the epoxy resin.
次に、前記エポキシ樹脂組成物を含浸させた金属酸化物固着ガラスクロス１から、スクイズローラーで余分な樹脂分を除去し、１３０℃の温度で５分間加熱して溶剤分を揮発させることにより、放熱性シート１１としてのプリプレグを作製した。前記プリプレグは、金属酸化物固着ガラスクロス１の金属酸化物５上に、さらに樹脂被覆層１２が形成されている。 Next, from the metal oxide fixed glass cloth 1 impregnated with the epoxy resin composition, an excess resin component is removed with a squeeze roller, and the solvent component is volatilized by heating at a temperature of 130 ° C. for 5 minutes. A prepreg as the heat dissipating sheet 11 was produced. In the prepreg, a resin coating layer 12 is further formed on the metal oxide 5 of the metal oxide-fixed glass cloth 1.
次に、前記プリプレグを真空プレス機で、１８０℃の温度で１．９６ＭＰａの加圧下に９０分間保持することにより加圧加熱処理して成形し、積層板を作製した。 Next, the prepreg was molded by pressurizing and heating by holding for 90 minutes under a pressure of 1.96 MPa at a temperature of 180 ° C. in a vacuum press machine, and a laminate was produced.
次に、熱伝導率測定計（京都電子工業株式会社製、商品名：ＱＴＭ−５００）を用い、前記積層板の厚さ方向について、該積層板の熱伝導率を測定した。結果を表２に示す。 Next, the thermal conductivity of the laminate was measured in the thickness direction of the laminate using a thermal conductivity meter (trade name: QTM-500, manufactured by Kyoto Electronics Industry Co., Ltd.). The results are shown in Table 2.
次に、前記積層板に、壁間１０ｍｍ、穴ピッチ１５ｍｍ、ドリル径５ｍｍで貫通孔を設け、４時間煮沸した後、５００Ｖ、チャージ時間４０秒の条件で、絶縁抵抗値を測定した。結果を表２に示す。 Next, the laminated plate was provided with through holes with a wall spacing of 10 mm, a hole pitch of 15 mm, and a drill diameter of 5 mm, boiled for 4 hours, and then measured for insulation resistance under conditions of 500 V and a charge time of 40 seconds. The results are shown in Table 2.
〔実施例２〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度１．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、３００℃の温度で２時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物（より具体的にはベーマイト）微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
[Example 2]
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is dipped in an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 1.0 mass% for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and the weft 3, dried by heating, and then fired at a temperature of 300 ° C. for 2 hours. Exactly the same as Example 1, except that alumina was applied to the warp 2 and the weft 3. A metal oxide-fixed glass cloth 1 in which a metal oxide 5 composed of hydrate (more specifically boehmite) fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例１と全く同一にして、前記アルミナ水和物微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ水和物微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina hydrate fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the alumina hydrate were exactly the same as in Example 1. The crystallinity of the fine particles was calculated, the tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例３〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度１．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、４００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 3
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is dipped in an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 1.0 mass% for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 400 ° C. for 48 hours. The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例1と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it was completely the same as Example 1, and the heat dissipation sheet 11 and the laminated board were obtained.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例１と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量を算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。 Next, for the metal oxide-fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 was calculated in the same manner as in Example 1, and the tensile strength was measured. The adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated.
また、アルミナ水和物微粒子（日産化学工業株式会社製、商品名：アルミナゾル２００）を１０００℃の温度で２時間焼成して得られたアルミナをＸ線回折装置（株式会社リガク製、商品名：ＲＩＮＴ−２０００）で分析した際に、回折角度６６°付近に存在するピークの強度をα、金属酸化物５を形成する前記アルミナ微粒子を該Ｘ線回折装置で分析した際に、該回折角度付近に存在するピークの強度をβとして、次式から金属酸化物５を形成する前記アルミナ微粒子の結晶化度ＢＡを算出した。 Further, alumina hydrate fine particles (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., trade name: alumina sol 200) were calcined at a temperature of 1000 ° C. for 2 hours. When analyzed by RINT-2000), the intensity of the peak existing near the diffraction angle of 66 ° is α, and the alumina fine particles forming the metal oxide 5 are analyzed by the X-ray diffractometer. the intensity of the peaks as β present in, was calculated crystallinity B a of the alumina particles to form a metal oxide 5 from the following equation.
ＢＡ（％）＝β／α×１００
また、本実施例で得られた放熱性シート１１について、実施例１と全く同一にして、前記金属酸化物固着ガラスクロス１に対する樹脂被覆層１２の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。
B A (%) = β / α × 100
Further, the heat dissipation sheet 11 obtained in this example was evaluated exactly in the same manner as in Example 1, and the adhesiveness of the resin coating layer 12 to the metal oxide fixed glass cloth 1 was evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例４〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度０．５質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、４００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 4
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is immersed in an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles having a concentration of 0.5% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 400 ° C. for 48 hours. The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性を及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例５〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度５．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、４００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 5
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is dipped in an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 5.0% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 400 ° C. for 48 hours. The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例６〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度１５．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、４００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 6
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is immersed in an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles having a concentration of 15.0% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 400 ° C. for 48 hours. The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例７〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度１５．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、６００℃の温度で２時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 7
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is immersed in an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles having a concentration of 15.0% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 600 ° C. for 2 hours. Exactly the same as Example 1, except that alumina was applied to warp 2 and weft 3 The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例８〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度０．５質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、６００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 8
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is immersed in an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles having a concentration of 0.5% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 600 ° C. for 48 hours. Exactly the same as Example 1, except that alumina was applied to warp 2 and weft 3 The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例９〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度１．０質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、１００℃の温度で２時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物（より具体的にはベーマイト）微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 9
In this example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment is dipped in an alumina hydrate fine particle aqueous dispersion having a concentration of 1.0 mass% for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and the weft 3, dried by heating, and then fired at 100 ° C. for 2 hours, exactly the same as in Example 1, except that the warp 2 and the weft 3 were alumina A metal oxide-fixed glass cloth 1 in which a metal oxide 5 composed of hydrate (more specifically boehmite) fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例１と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, exactly the same as in Example 1, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4, the crystallinity of the alumina fine particles, and The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔実施例１０〕
本実施例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、濃度０．１質量％のアルミナ水和物微粒子水分散液に、５秒間浸漬して、ガラスクロス４を形成する経糸２及び緯糸３にアルミナ水和物微粒子を直接付着させ、加熱乾燥させた後、４００℃の温度で４８時間焼成したこと以外は、実施例１と全く同一にして、経糸２及び緯糸３にアルミナ微粒子からなる金属酸化物５が固着され、金属酸化物５の表面が前記シランカップリング剤により処理されている金属酸化物固着ガラスクロス１を得た。本実施例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
Example 10
In this embodiment, the glass cloth 4 that has been deoiled by heat treatment is immersed in an aqueous dispersion of alumina hydrate fine particles having a concentration of 0.1% by mass for 5 seconds to form the glass cloth 4. Alumina hydrate fine particles were directly attached to 2 and weft 3 and heated and dried, and then fired at a temperature of 400 ° C. for 48 hours. The metal oxide fixed glass cloth 1 in which the metal oxide 5 made of fine particles was fixed and the surface of the metal oxide 5 was treated with the silane coupling agent was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this example.
また、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１を用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、放熱性シート１１及び積層板を得た。 Moreover, except having used the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the heat dissipation sheet 11 and the laminated board.
次に、本実施例で得られた金属酸化物固着ガラスクロス１について、実施例３と全く同一にして、前記アルミナ微粒子のガラスクロス４の質量に対する含有量と、該アルミナ微粒子の結晶化度とを算出し、その引張強度を測定し、前記シランカップリング剤の付着性及び金属酸化物固着ガラスクロス１における金属酸化物５の固着性を評価した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, with respect to the metal oxide fixed glass cloth 1 obtained in this example, the content of the alumina fine particles with respect to the mass of the glass cloth 4 and the crystallinity of the alumina fine particles were exactly the same as in Example 3. The tensile strength was measured, and the adhesion of the silane coupling agent and the adhesion of the metal oxide 5 in the metal oxide-fixed glass cloth 1 were evaluated. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
〔比較例〕
本比較例では、予め加熱処理により脱油処理されているガラスクロス４を、金属酸化物５を全く固着させることなく、シランカップリング剤により表面処理した以外は、実施例１と全く同一にして、該シランカップリング剤により処理されているガラスクロス（実施例１の金属酸化物固着ガラスクロス１に相当）を得た。本比較例におけるガラスクロス４の処理条件を表１に示す。
[Comparative Example]
In this comparative example, the glass cloth 4 previously deoiled by heat treatment was exactly the same as in Example 1 except that the surface was treated with a silane coupling agent without fixing the metal oxide 5 at all. A glass cloth treated with the silane coupling agent (corresponding to the metal oxide fixed glass cloth 1 of Example 1) was obtained. Table 1 shows the processing conditions for the glass cloth 4 in this comparative example.
また、本比較例で得られたガラスクロスを用いたこと以外は、実施例１と全く同一にして、プリプレグ（実施例１の放熱性シート１１に相当）及び積層板を得た。 Moreover, except having used the glass cloth obtained by this comparative example, it carried out exactly the same as Example 1, and obtained the prepreg (equivalent to the heat dissipation sheet 11 of Example 1) and a laminated board.
次に、本比較例で得られたガラスクロスについて、実施例１と全く同一にして、その引張強度を測定した。また、本実施例で得られた積層板について、実施例１と全く同一にして、その熱伝導率と絶縁抵抗値とを測定した。結果を表２に示す。 Next, the tensile strength of the glass cloth obtained in this comparative example was measured in the same manner as in Example 1. Moreover, about the laminated board obtained by the present Example, it carried out exactly the same as Example 1, and measured the heat conductivity and the insulation resistance value. The results are shown in Table 2.
１…金属酸化物固着ガラスクロス、 ４…ガラスクロス、 ５…金属酸化物、 １１…放熱性シート、 １２…樹脂被覆層。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal oxide fixed glass cloth, 4 ... Glass cloth, 5 ... Metal oxide, 11 ... Heat dissipation sheet, 12 ... Resin coating layer.
Claims (11)
該金属酸化物はアルミナ又はその水和物からなることを特徴とする金属酸化物固着ガラスクロス。 In a metal oxide fixed glass cloth comprising a glass cloth formed by weaving glass fibers, and a metal oxide fixed to the glass fibers,
The metal oxide fixed glass cloth, wherein the metal oxide is made of alumina or a hydrate thereof.
該ガラスクロスを該金属酸化物の粒子の分散液に浸漬し、該ガラス繊維に該金属酸化物の粒子を付着させる工程と、
該金属酸化物の粒子が付着された該ガラスクロスを乾燥させた後、１００〜６００℃の範囲の温度で２〜４８時間加熱して、該ガラス繊維に該金属酸化物を固着させる工程とを備え、
前記金属酸化物の粒子の分散液が、アルミナ又はその水和物の粒子の分散液であることを特徴とする金属酸化物固着ガラスクロスの製造方法。 In a method for producing a metal oxide-fixed glass cloth, comprising a glass cloth formed by weaving glass fibers, and a metal oxide fixed to the glass fibers,
Immersing the glass cloth in a dispersion of the metal oxide particles to attach the metal oxide particles to the glass fibers;
Drying the glass cloth to which the metal oxide particles are adhered, and heating the glass cloth at a temperature in the range of 100 to 600 ° C. for 2 to 48 hours to fix the metal oxide to the glass fiber; Prepared,
A method for producing a metal oxide-fixed glass cloth, wherein the metal oxide particle dispersion is an alumina or hydrate particle dispersion.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| WO2015182600A1 (en) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | ポリマテック・ジャパン株式会社 | Thermally conductive sheet and production method for thermally conductive sheet |
-
2013
- 2013-07-29 JP JP2013157148A patent/JP2015025228A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2015182600A1 (en) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | ポリマテック・ジャパン株式会社 | Thermally conductive sheet and production method for thermally conductive sheet |
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