JP2015001655A - Laminate resin black matrix substrate - Google Patents

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涼介 相原
Ryosuke Aihara
涼介 相原
雄大 梶谷
Yudai Kajitani
雄大 梶谷
西山 雅仁
Masahito Nishiyama
雅仁 西山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminate resin black matrix substrate in which a laminate resin black matrix having a sufficient optical density as well as having a low reflectance, a neutral reflection tone and excellent insulating property is formed.SOLUTION: A laminate black matrix substrate is provided, which comprises a low optical density layer formed on a transparent substrate and a high optical density layer formed on the low optical density layer. The high optical density layer comprises (a) carbon black and/or titanium carbide and (b) titanium nitride and/or titanium oxynitride, in which a content percentage of the (a) carbon black and/or titanium carbide is 30 to 90 mass% with respect to the total amount of (a) and (b).

Description

本発明は、積層樹脂ブラックマトリックス基板に関する。   The present invention relates to a laminated resin black matrix substrate.

液晶表示装置は、2枚の基板間に液晶層が挟み込まれた構造をとっており、液晶層の電気光学応答を利用して明暗を表現するが、カラーフィルター基板を用いることでカラー表示も可能である。   The liquid crystal display device has a structure in which a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates, and expresses light and dark using the electro-optic response of the liquid crystal layer, but color display is also possible by using a color filter substrate It is.

従来、カラーフィルター基板に形成されるブラックマトリックスは、クロム系材料からなる金属薄膜が主流であったが、コストや環境汚染低減のため、樹脂と遮光材とからなる樹脂ブラックマトリックスが開発されている。   Conventionally, a metal thin film made of a chromium-based material has been the mainstream of the black matrix formed on the color filter substrate, but a resin black matrix made of a resin and a light-shielding material has been developed to reduce cost and environmental pollution. .

しかし、カーボンブラック等の遮光材を含有する樹脂ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルター基板を備える液晶表示装置は、屋内での視認性は優れるものの、これを屋外で使用した場合において、ブラックマトリックスに由来する外光反射に起因する視認性の悪化が問題となっていた。   However, a liquid crystal display device provided with a color filter substrate on which a resin black matrix containing a light shielding material such as carbon black is formed is excellent in indoor visibility, but when used outdoors, it is derived from the black matrix. Deterioration of visibility due to external light reflection has been a problem.

このような背景から、光学濃度(OD値)が高くかつ透明基板側から見た場合の反射率が低い樹脂ブラックマトリックスを実現するために、種々の検討がなされており、例えば、形状異方性金属微粒子を含む光吸収層と反射光吸収層との2層構成とする方法(特許文献1)や、樹脂ブラックマトリックスを2層構造とすることで反射率を低減する方法(特許文献2)が提案されている。   From such a background, various studies have been made to realize a resin black matrix having a high optical density (OD value) and a low reflectance when viewed from the transparent substrate side. There are a method of forming a two-layer structure of a light absorption layer containing metal fine particles and a reflected light absorption layer (Patent Document 1) and a method of reducing the reflectance by forming a resin black matrix with a two-layer structure (Patent Document 2). Proposed.

特許第4837297号公報Japanese Patent No. 4837297 特許第5209063号公報Japanese Patent No. 5209603

しかしながら、従来の2層構成の樹脂ブラックマトリックスでは、積層樹脂ブラックマトリックスとしての反射率の低減や絶縁性が不十分であったことに加え、そもそも樹脂ブラックマトリックスの反射色調を調整する技術に関しては知見がなかった。   However, the conventional two-layer resin black matrix does not have sufficient reduction in reflectivity and insulation as a laminated resin black matrix, and in the first place, it is known about the technology to adjust the reflection color tone of the resin black matrix. There was no.

そこで本発明は、十分な光学濃度を持ちながらも、反射率が低く、反射色調がニュートラルであり、さらに絶縁性に優れる積層樹脂ブラックマトリックスが形成された、積層樹脂ブラックマトリックス基板を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a laminated resin black matrix substrate in which a laminated resin black matrix having a sufficient optical density, a low reflectance, a neutral reflection color tone, and an excellent insulating property is formed. Objective.

本発明は、以下の(1)〜(7)に記載した積層樹脂ブラックマトリックス基板等を提供する。   The present invention provides the laminated resin black matrix substrate described in the following (1) to (7).

(1) 透明基板上に形成された低光学濃度層と、該低光学濃度層上に形成された高光学濃度層からなり、
上記高光学濃度層が、(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタン、並びに、(b)窒化チタン及び/又は酸窒化チタンを含み、上記(a)及び(b)の合計量に対する上記(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタンの含有比率が、30〜90質量%である、積層ブラックマトリックス基板。
(2) 上記低光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が、0.3〜2.0である、(1)記載の積層ブラックマトリックス基板。
(3) 表面抵抗値が1015Ω/□以上であり、かつ、上記低光学濃度層と上記高光学濃度層との合計膜厚が1.5μm以下である、(1)又は(2)記載のブラックマトリックス基板。
(4) 上記高光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が3.0以上であり、かつ、上記高光学濃度層の膜厚が1.0μm以下である、(1)〜(3)のいずれか一項記載の積層ブラックマトリックス基板。
(5) 上記低光学濃度層のOD値が0.2以上である、(1)〜(4)のいずれか一項記載の積層ブラックマトリックス基板。
(6) (1)〜(5)のいずれか一項記載の積層樹脂ブラックマトリックス基板の開口部に、赤、緑又は青の画素が形成されている、カラーフィルター基板。
(7) (6)記載のカラーフィルター基板と、対向基板と、の間に、液晶化合物が充填されている、液晶表示装置。
(1) A low optical density layer formed on a transparent substrate and a high optical density layer formed on the low optical density layer,
The high optical density layer includes (a) carbon black and / or titanium carbide, and (b) titanium nitride and / or titanium oxynitride, and the above (a) with respect to the total amount of (a) and (b). A laminated black matrix substrate, wherein the content ratio of carbon black and / or titanium carbide is 30 to 90% by mass.
(2) The laminated black matrix substrate according to (1), wherein an OD value per 1 μm of film thickness of the low optical density layer is 0.3 to 2.0.
(3) The surface resistance value is 10 15 Ω / □ or more, and the total film thickness of the low optical density layer and the high optical density layer is 1.5 μm or less (1) or (2) Black matrix substrate.
(4) The OD value per 1 μm of the film thickness of the high optical density layer is 3.0 or more, and the film thickness of the high optical density layer is 1.0 μm or less of (1) to (3) The laminated black matrix substrate according to any one of claims.
(5) The laminated black matrix substrate according to any one of (1) to (4), wherein the low optical density layer has an OD value of 0.2 or more.
(6) A color filter substrate in which red, green, or blue pixels are formed in the opening of the laminated resin black matrix substrate according to any one of (1) to (5).
(7) A liquid crystal display device in which a liquid crystal compound is filled between the color filter substrate according to (6) and a counter substrate.

本発明の積層樹脂ブラックマトリックス基板に形成された積層樹脂ブラックマトリックスによれば、バックライトの光を通さないための十分な遮光性が薄膜で実現でき、高コントラストで鮮明な画像が得られるばかりでなく、反射率が低く、反射色調がニュートラルなために外光下でも視認性に極めて優れ、かつ電気的な信頼性が高い液晶表示装置を得ることが可能となる。   According to the multilayer resin black matrix formed on the multilayer resin black matrix substrate of the present invention, sufficient light shielding ability to prevent the backlight from passing through can be realized with a thin film, and a high-contrast and clear image can be obtained. In addition, since the reflectance is low and the reflection color tone is neutral, it is possible to obtain a liquid crystal display device that is extremely excellent in visibility even under external light and has high electrical reliability.

本発明の積層樹脂ブラックマトリックス(以下、「積層樹脂BM」)基板は、透明基板上に形成された低光学濃度層と、該低光学濃度層上に形成された高光学濃度層からなり、上記高光学濃度層が、(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタン、並びに、(b)窒化チタン及び/又は酸窒化チタンを含み、上記(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタンの含有比率が、30〜90質量%であることを特徴とする。   A laminated resin black matrix (hereinafter, “laminated resin BM”) substrate of the present invention comprises a low optical density layer formed on a transparent substrate and a high optical density layer formed on the low optical density layer. The high optical density layer contains (a) carbon black and / or titanium carbide, and (b) titanium nitride and / or titanium oxynitride, and the content ratio of (a) carbon black and / or titanium carbide is 30. It is -90 mass%.

低光学濃度層及び高光学濃度層の2層からなるブラックマトリックス(以下、「BM」)すなわち2層BMのOD値は、3.5以上であることが好ましい。2層BMのOD値が3.5未満であると、遮光性が不十分となり、バックライトの光漏れの原因となってしまう。   The OD value of a black matrix (hereinafter referred to as “BM”) consisting of two layers of a low optical density layer and a high optical density layer, that is, a two-layer BM is preferably 3.5 or more. If the OD value of the two-layer BM is less than 3.5, the light shielding property is insufficient, which causes light leakage of the backlight.

低光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値は、0.3〜2.0であることが好ましい。低光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が0.2未満であると、所望の透過色度及び遮光性を得るために膜厚を厚くせざるを得ず、カラーフィルターとしての視認性が悪化する可能性がある。一方で、低光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が2.0を超えると、積層樹脂BMが含有する顔料の濃度を高くする必要が生じ、積層樹脂BMの反射率が高くなってしまう恐れがある。また、低光学濃度層としてのOD値は0.2以上であることが好ましい。低光学濃度層のOD値が0.2よりも小さい場合、低光学濃度層と高光学濃度層との界面反射の影響を強く受けるので、低反射率を実現することができないことがある。   The OD value per 1 μm film thickness of the low optical density layer is preferably 0.3 to 2.0. If the OD value per 1 μm thickness of the low optical density layer is less than 0.2, it is necessary to increase the thickness in order to obtain the desired transmission chromaticity and light shielding property, and the visibility as a color filter is high. It can get worse. On the other hand, when the OD value per 1 μm thickness of the low optical density layer exceeds 2.0, it is necessary to increase the concentration of the pigment contained in the laminated resin BM, and the reflectance of the laminated resin BM becomes high. There is a fear. The OD value as the low optical density layer is preferably 0.2 or more. When the OD value of the low optical density layer is smaller than 0.2, the interface is strongly affected by the interface reflection between the low optical density layer and the high optical density layer, so that the low reflectance may not be realized.

高光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値は、3.0以上であることが好ましく、3.0〜6.0であることがより好ましい。高光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が3.0未満であると、所望の遮光性を得るために膜厚を厚くせざるを得ず、カラーフィルターとしての視認性が悪化する可能性がある。   The OD value per 1 μm film thickness of the high optical density layer is preferably 3.0 or more, and more preferably 3.0 to 6.0. If the OD value per 1 μm film thickness of the high optical density layer is less than 3.0, the film thickness must be increased to obtain the desired light-shielding property, and the visibility as a color filter may deteriorate. There is.

低光学濃度層及び高光学濃度層を形成する方法としては、例えば、低光学濃度層及び高光学濃度層をいずれも感光性黒色樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により形成する方法や、非感光性の低光学濃度層を形成後、高光学濃度層をフォトリソグラフィー法によって一括加工する方法等が挙げられる。加工性の観点から、少なくとも高光学濃度層は感光性樹脂組成物であり、フォトリソグラフィー法によって加工させることが好ましい。   As a method of forming the low optical density layer and the high optical density layer, for example, both the low optical density layer and the high optical density layer are formed by a photolithography method using a photosensitive black resin composition, or non-photosensitive For example, a method of forming a high optical density layer in a lump by a photolithography method after forming a low-density optical density layer. From the viewpoint of workability, at least the high optical density layer is a photosensitive resin composition and is preferably processed by a photolithography method.

積層樹脂BMの形成に用いる黒色樹脂組成物(特に断りがなく、文脈上も明らかにそうでない場合を除き、本明細書において単に「黒色樹脂組成物」と記載する場合は、低光学濃度層を形成する黒色樹脂組成物及び高光学濃度層を形成する黒色樹脂組成物の両者についての記述である)は、着色材、アルカリ可溶性樹脂、及び溶媒を含有し、感光性樹脂組成物である場合にはさらに光重合開始剤を含有する。高光学濃度層の形成に用いる黒色樹脂組成物が含有する着色材、すなわち、高光学濃度層が含有することとなる着色材としては、カーボンブラック及び/又は炭化チタン、並びに、窒化チタン及び/又は酸窒化チタンを含むことが必要であり、カーボンブラック又は炭化チタンのみしか含まない場合、絶縁性が悪く、液晶表示装置の誤作動の原因となる可能性がある。一方、窒化チタン又は酸窒化チタンのみしか含まない場合、反射色調が赤味を帯び、2層BMとしての反射色調をニュートラルにすることができない。   The black resin composition used for the formation of the laminated resin BM (except when there is no particular notice and the context does not clearly indicate that the “black resin composition” is simply referred to as a low optical density layer) Is a description of both the black resin composition to be formed and the black resin composition to form the high optical density layer), which contains a colorant, an alkali-soluble resin, and a solvent, and is a photosensitive resin composition Further contains a photopolymerization initiator. As the colorant contained in the black resin composition used for forming the high optical density layer, that is, the colorant that the high optical density layer contains, carbon black and / or titanium carbide, and titanium nitride and / or It is necessary to contain titanium oxynitride, and when only carbon black or titanium carbide is contained, the insulating property is poor, which may cause malfunction of the liquid crystal display device. On the other hand, when only titanium nitride or titanium oxynitride is included, the reflection color tone is reddish, and the reflection color tone as the two-layer BM cannot be made neutral.

低光学濃度層の形成に用いる黒色樹脂組成物が含有する着色材、すなわち、低光学濃度層が含有することとなる着色材としては、例えば、カーボンブラック、チタンブラック、酸化クロム、酸化鉄、アニリンブラック、ペリレン系顔料若しくはC.I.ソルベントブラック123等の黒色顔料、樹脂で被覆されたカーボンブラック、チタン、マンガン、鉄、銅若しくはコバルト等の複合酸化物等の無機系ブラック顔料、又は、有機顔料と黒色顔料との組み合わせ、及び2種以上の有機顔料の組み合わせが挙げられるが、特に限定されるものではない。   Examples of the colorant contained in the black resin composition used for forming the low optical density layer, that is, the colorant contained in the low optical density layer include, for example, carbon black, titanium black, chromium oxide, iron oxide, aniline. Black, perylene pigment or C.I. I. Black pigment such as Solvent Black 123, carbon black coated with resin, inorganic black pigment such as composite oxide such as titanium, manganese, iron, copper or cobalt, or a combination of organic pigment and black pigment, and 2 Although the combination of the organic pigment of a seed | species or more is mentioned, it is not specifically limited.

本発明における黒色樹脂組成物に用いられるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シロキサンポリマ系樹脂又はポリイミド樹脂が挙げられるが、組成物の貯蔵安定性及び塗膜の耐熱性に優れる、アクリル樹脂又はポリイミド樹脂が好ましい。   Examples of the alkali-soluble resin used in the black resin composition in the present invention include an epoxy resin, an acrylic resin, a siloxane polymer resin, or a polyimide resin, and are excellent in the storage stability of the composition and the heat resistance of the coating film. Acrylic resin or polyimide resin is preferred.

アクリル樹脂としては、カルボキシル基を有するアクリル樹脂が好ましく用いられる。カルボキシル基を有するアクリル樹脂としては、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物との共重合体が好ましい。不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸又はビニル酢酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよいが、他の共重合可能なエチレン性不飽和化合物と組み合わせて用いてもよい。   As the acrylic resin, an acrylic resin having a carboxyl group is preferably used. As the acrylic resin having a carboxyl group, a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and an ethylenically unsaturated compound is preferable. Examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, and vinyl acetic acid. These may be used alone or in combination with other copolymerizable ethylenically unsaturated compounds.

共重合可能なエチレン性不飽和化合物としては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、アクリル酸イソプロピル、メタクリル酸n−プロピル、メタクリル酸イソプロピル、アクリル酸n−ブチル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸イソ−ブチル、メタクリル酸イソ−ブチル、アクリル酸tert−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸n−ペンチル、メタクリル酸n−ペンチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート若しくはベンジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アルキルエステル、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン若しくはα−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物、アミノエチルアクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル、グリシジルアクリレート若しくはグリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル、酢酸ビニル若しくはプロピオン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル若しくはα−クロルアクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物、1,3−ブタジエン若しくはイソプレン等の脂肪族共役ジエン、それぞれ末端にアクリロイル基若しくはメタクリロイル基を有するポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルアクリレート又はポリブチルメタクリレートが挙げられるが、メタクリル酸、アクリル酸、メタクリル酸メチル、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート又はスチレンから選ばれた2〜4元共重合体で平均分子量(Mw)2千〜10万、酸価70〜150(mgKOH/g)のポリマーがアルカリ現像液に対する溶解性の観点から好ましい。この範囲を外れると、アルカリ現像液に対する溶解速度が低下又は速くなりすぎる。   Examples of the copolymerizable ethylenically unsaturated compound include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, N-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-butyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, acrylic acid n-pentyl, n-pentyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate and other unsaturated carboxylic acid alkyl esters, styrene, p-methyls An aromatic vinyl compound such as len, o-methylstyrene, m-methylstyrene or α-methylstyrene, an unsaturated carboxylic acid aminoalkyl ester such as aminoethyl acrylate, an unsaturated carboxylic acid glycidyl ester such as glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate or vinyl propionate, vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile or α-chloroacrylonitrile, aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene or isoprene, acryloyl groups or Examples include polystyrene having a methacryloyl group, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polybutyl acrylate or polybutyl methacrylate, 2-4 quaternary copolymer selected from tacrylic acid, acrylic acid, methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl methacrylate or styrene, average molecular weight (Mw) 2,000-100,000, acid value 70-150 (mgKOH / G) is preferred from the viewpoint of solubility in an alkaline developer. If it is out of this range, the dissolution rate with respect to the alkaline developer is lowered or becomes too fast.

また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂を用いると、露光、現像の際の感度がよくなるので好ましい。エチレン性不飽和基としては、アクリル基又はメタクリル基が好ましい。このようなアクリル樹脂は、カルボキシル基を有するアクリル系(共)重合体のカルボキシル基に、グリシジル基又は脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物を付加反応させて得ることができる。   In addition, it is preferable to use an acrylic resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain because the sensitivity during exposure and development is improved. As the ethylenically unsaturated group, an acryl group or a methacryl group is preferable. Such an acrylic resin can be obtained by adding an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an alicyclic epoxy group to a carboxyl group of an acrylic (co) polymer having a carboxyl group.

側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂としては、例えば、公知文献(特許第3120476号公報及び特開平8−262221号公報)記載のアクリル樹脂、又は、市販のアクリル系樹脂である光硬化性樹脂“サイクロマー(登録商標)P”(ダイセル化学工業(株))又はアルカリ可溶性カルド樹脂が挙げられる。中でも、側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル樹脂で平均分子量(Mw)2千〜10万(テトラヒドロフランをキャリヤーとしてゲルパーミェーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレンによる検量線を用いて換算したもの)、酸価70〜150(mgKOH/g)のアクリル樹脂が、感光特性、エステル系溶媒に対する溶解性及びアルカリ現像液に対する溶解性の各観点から好ましい。   As the acrylic resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, an acrylic resin described in known literatures (Japanese Patent No. 3120476 and JP-A-8-262221), or a photocuring which is a commercially available acrylic resin Resin "Cyclomer (registered trademark) P" (Daicel Chemical Industries, Ltd.) or alkali-soluble cardo resin. Above all, an acrylic resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain has an average molecular weight (Mw) of 2,000 to 100,000 (measured by gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as a carrier and converted using a standard polystyrene calibration curve) And an acrylic resin having an acid value of 70 to 150 (mg KOH / g) is preferable from the viewpoints of photosensitive characteristics, solubility in an ester solvent, and solubility in an alkali developer.

本発明において用いられる黒色樹脂組成物には、さらにモノマーを加えることができる。モノマーとしては、例えば、多官能若しくは単官能のアクリル系モノマー又はオリゴマーが挙げられる。多官能のアクリル系モノマーとしては、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ポリ(メタ)アクリレートカルバメート、変性ビスフェノールAエポキシ(メタ)アクリレート、アジピン酸1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリル酸エステル、無水フタル酸プロピレンオキサイド(メタ)アクリル酸エステル、トリメリット酸ジエチレングリコール(メタ)アクリル酸エステル、ロジン変性エポキシジ(メタ)アクリレート、アルキッド変性(メタ)アクリレート、公知文献(特許第3621533号公報及び特開平8−278630号公報)記載のフルオレンジアクリレート系オリゴマー、あるいはトリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリアクリルホルマール、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]エーテル、4,4’−ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]シクロヘキサン、9,9−ビス[4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]フルオレン、9,9−ビス[3−メチル−4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]フルオレン、9,9−ビス[3−クロロ−4−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル]フルオレン、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジメタアクリレート、ビスクレゾールフルオレンジアクリレート又はビスクレゾールフルオレンジメタアクリレートが挙げられる。これらは単独又は混合して用いることができる。   A monomer can be further added to the black resin composition used in the present invention. Examples of the monomer include polyfunctional or monofunctional acrylic monomers or oligomers. Examples of the polyfunctional acrylic monomer include bisphenol A diglycidyl ether (meth) acrylate, poly (meth) acrylate carbamate, modified bisphenol A epoxy (meth) acrylate, adipic acid 1,6-hexanediol (meth) acrylic acid Esters, propylene oxide (phthalate) anhydride (meth) acrylate, trimellitic acid diethylene glycol (meth) acrylate, rosin-modified epoxy di (meth) acrylate, alkyd-modified (meth) acrylate, known literature (Japanese Patent No. 3621533 and special Full orange acrylate oligomer described in Kaihei 8-278630), tripropylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate Bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, triacryl formal, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, 2,2-bis [4- (3-acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] propane, bis [4- (3-acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-Acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] ether, 4,4′-bis [4- (3- Acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] cyclohexane, 9,9-bis [4- (3-acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [3-methyl-4- (3-acryloxy-) 2-hydroxypropoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [3-chloro-4- (3-acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] fluorene, bisphenoxyethanol full orange acrylate, bisphenoxyethanol full orange methacrylate, biscresol Examples include full orange acrylate or biscresol full orange methacrylate. These can be used alone or in combination.

これらの多官能若しくは単官能のアクリル系モノマー又はオリゴマーの選択と組み合わせにより、レジストの感度や加工性の特性をコントロールすることが可能である。とくに感度を上げるためには、官能基が3以上ある化合物が好ましく、官能基が5以上ある化合物がより好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート又はジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートがさらに好ましい。   By selecting and combining these polyfunctional or monofunctional acrylic monomers or oligomers, it is possible to control the sensitivity and processability characteristics of the resist. In particular, in order to increase sensitivity, a compound having 3 or more functional groups is preferable, a compound having 5 or more functional groups is more preferable, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate or dipentaerythritol penta (meth) acrylate is more preferable.

黒色顔料のように光架橋に有効な紫外線を吸収する顔料を使用する場合には、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート又はジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートに加え、分子中に芳香環を多く含み撥水性が高いフルオレン環を有する(メタ)アクリレートを併用することが、現像時にパターンを望ましい形状にコントロールできるので好ましい。中でも、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート及び/又はジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート10〜60重量部と、フルオレン環を有する(メタ)アクリレート90〜40重量部との混合物を、モノマーとして用いることが好ましい。   When using a pigment that absorbs ultraviolet rays that is effective for photocrosslinking, such as black pigment, in addition to dipentaerythritol hexa (meth) acrylate or dipentaerythritol penta (meth) acrylate, the molecule contains many aromatic rings. It is preferable to use a (meth) acrylate having a fluorene ring having high water repellency, because the pattern can be controlled to a desired shape during development. Among them, a mixture of 10 to 60 parts by weight of dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and / or dipentaerythritol penta (meth) acrylate and 90 to 40 parts by weight of (meth) acrylate having a fluorene ring is used as a monomer. Is preferred.

黒色樹脂組成物が感光性である場合に含有することができる光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物、オキサントン系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾオキサゾール系化合物、オキシムエステル化合物、カルバゾール系化合物、トリアジン系化合物、リン系化合物又はチタネート等の無機系光重合開始剤が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator that can be contained when the black resin composition is photosensitive include, for example, benzophenone compounds, acetophenone compounds, oxanthone compounds, imidazole compounds, benzothiazole compounds, and benzoxazole compounds. And inorganic photopolymerization initiators such as oxime ester compounds, carbazole compounds, triazine compounds, phosphorus compounds, and titanates.

より具体的には、例えば、ベンゾフェノン、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパン、“イルガキュア(登録商標)”369である2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン(チバ・スペシャルティ・ケミカル(株)製)、“イルガキュア(登録商標)”379である2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン(チバ・スペシャルティ・ケミカル(株)製)、CGI−113である2−[4−メチルベンジル]−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン(チバ・スペシャルティ・ケミカル(株)製)、t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2,3−ジクロロアントラキノン、3−クロル−2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントラキノン、1,2−ベンゾアントラキノン、1,4−ジメチルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、“イルガキュア(登録商標)”OXE01である1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)](チバ・スペシャルティ・ケミカル(株)製)、“イルガキュア(登録商標)”OXE02であるエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、CGI−242であるエタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、4−(p−メトキシフェニル)−2,6−ジ−(トリクロロメチル)−s−トリアジン(チバ・スペシャルティ・ケミカル(株)製造)又はカルバゾール系化合物である“アデカ(登録商標)オプトマー”N−1818、N−1919若しくは“アデカ(登録商標)クルーズ”NCI−831(以上、旭電化工業(株)製)が挙げられる。   More specifically, for example, benzophenone, N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, Benzoin isobutyl ether, benzyldimethyl ketal, α-hydroxyisobutylphenone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane "Irgacure (registered trademark)" 369, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), "Irgacure (registered trademark)" 37 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), CGI 2-113- [4-methylbenzyl] -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone 2,3-dichloroanthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 1,2-benzoanthraquinone, 1,4-dimethylanthraquinone 2-phenylanthraquinone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole Dimer, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, “Irgacure®” OXE01, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime) )] (Manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), “Irgacure (registered trademark)” Etanone which is OXE02, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (0-acetyloxime), an ethanone that is CGI-242, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyl) Oxime), 4- (p-methoxyphenyl) -2,6-di- (trichloromethyl) -s-triazine (Ciba Specialty Chemical) ADEKA (registered trademark) optomer "N-1818, N-1919 or" ADEKA (registered trademark) Cruise "NCI-831 (above, manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.) It is done.

これらの光重合開始剤は2種類以上を併用して用いることもでき、中でも、“イルガキュア(登録商標)”379、“イルガキュア(登録商標)”OXE02、“アデカ(登録商標)オプトマー”N−1919及び“アデカ(登録商標)クルーズ”NCI−831からなる群から選ばれる2種類を併用すると高感度でパターン形状が良好な特性を有する感光性黒色樹脂組成物が得られるので好ましい。   These photopolymerization initiators can be used in combination of two or more. Among them, "Irgacure (registered trademark)" 379, "Irgacure (registered trademark)" OXE02, "Adeka (registered trademark) Optomer" N-1919 And two types selected from the group consisting of “ADEKA (registered trademark) Cruise” NCI-831 are preferable because a photosensitive black resin composition having high sensitivity and good pattern shape can be obtained.

さらに、ガラス板又はシリコンウエハー等の無機物との接着性を向上させる目的で、密着改良剤を加えることができる。密着改良剤としては、例えば、シランカップリング剤又はチタンカップリング剤を使用することができる。密着改良剤の添加量は、通常、ポリイミド樹脂又はアクリル樹脂の質量を基準として0.2〜20質量%程度である。   Furthermore, an adhesion improving agent can be added for the purpose of improving the adhesion to an inorganic material such as a glass plate or a silicon wafer. As the adhesion improving agent, for example, a silane coupling agent or a titanium coupling agent can be used. The addition amount of the adhesion improving agent is usually about 0.2 to 20% by mass based on the mass of the polyimide resin or acrylic resin.

また、本発明に用いられる黒色樹脂組成物において、遮光材の分散安定性を向上させる目的で、高分子分散剤を加えることができる。高分子分散剤としては、例えば、ポリエチレンイミン系高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤又はポリアリルアミン系高分子分散剤が挙げられる。これらの高分子分散剤は感光性や密着性を低下させない程度に添加することが望ましく、その添加量としては、通常、遮光材に対して1〜40質量%程度である。   In the black resin composition used in the present invention, a polymer dispersant can be added for the purpose of improving the dispersion stability of the light shielding material. Examples of the polymer dispersant include a polyethyleneimine polymer dispersant, a polyurethane polymer dispersant, and a polyallylamine polymer dispersant. These polymer dispersants are desirably added to such an extent that the photosensitivity and adhesion are not deteriorated, and the addition amount is usually about 1 to 40% by mass with respect to the light shielding material.

本発明の黒色樹脂組成物において、遮光材/樹脂成分の重量組成比は、80/20〜40/60の範囲であることが好ましく、75/25〜50/50の範囲であることが、密着性、パターン加工性及びOD値のバランスの点でより好ましい。ここで、樹脂成分とは、ポリマー、モノマー、オリゴマー及び高分子分散剤の合計とする。樹脂成分の量が少なすぎると、黒色被膜の基板との密着性が不良となり、逆に遮光材の量が少なすぎると厚み当たりの光学濃度(OD値/μm)が低くなり問題となる。   In the black resin composition of the present invention, the weight composition ratio of the light shielding material / resin component is preferably in the range of 80/20 to 40/60, and preferably in the range of 75/25 to 50/50. Is more preferable in terms of the balance between the properties, pattern processability, and OD value. Here, the resin component is the total of the polymer, monomer, oligomer and polymer dispersant. If the amount of the resin component is too small, the adhesion of the black coating to the substrate becomes poor. Conversely, if the amount of the light shielding material is too small, the optical density per unit thickness (OD value / μm) is lowered, causing a problem.

本発明の黒色樹脂組成物に用いられる溶媒としては、分散する顔料の分散安定性及び添加する樹脂等の溶解性に合わせて、水又は有機溶剤を用いることができる。有機溶剤としては、例えば、エステル類、脂肪族アルコール類、(ポリ)アルキレングリコールエーテル系溶剤、ケトン類、アミド系極性溶媒又はラクトン系極性溶媒が挙げられるが、これらの2種類以上の混合溶媒も好ましい。またこれら以外の有機溶剤との混合も好ましい。   As the solvent used in the black resin composition of the present invention, water or an organic solvent can be used in accordance with the dispersion stability of the pigment to be dispersed and the solubility of the resin to be added. Examples of the organic solvent include esters, aliphatic alcohols, (poly) alkylene glycol ether solvents, ketones, amide polar solvents, or lactone polar solvents. preferable. Mixing with other organic solvents is also preferred.

アルカリ可溶性樹脂としてはアクリル樹脂又はポリイミド樹脂の使用が好ましいことから、有機溶剤としては、アクリル樹脂やポリイミド樹脂を溶解する有機溶剤が好ましい。より具体的には、例えばアクリル樹脂を使用する場合、ベンジルアセテート、エチルベンゾエート、メチルベンゾエート、マロン酸ジエチル、2−エチルヘキシルアセテート、2−ブトキシエチルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シュウ酸ジエチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキシルアセテート、3−メトキシ−ブチルアセテート、アセト酢酸メチル、エチル−3−エトキシプロピオネート、2−エチルブチルアセテート、イソペンチルプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、酢酸ペンチル又はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。   Since it is preferable to use an acrylic resin or a polyimide resin as the alkali-soluble resin, the organic solvent is preferably an organic solvent that dissolves the acrylic resin or the polyimide resin. More specifically, for example, when an acrylic resin is used, benzyl acetate, ethyl benzoate, methyl benzoate, diethyl malonate, 2-ethylhexyl acetate, 2-butoxyethyl acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethyl oxalate, aceto Ethyl acetate, cyclohexyl acetate, 3-methoxy-butyl acetate, methyl acetoacetate, ethyl-3-ethoxypropionate, 2-ethylbutyl acetate, isopentylpropionate, propylene glycol monomethyl ether propionate, propylene glycol monoethyl Examples include ether acetate, pentyl acetate, or propylene glycol monomethyl ether acetate.

また、上記以外の溶媒としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、メチルカルビトール、エチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールターシャリーブチルエーテル(沸点153℃)若しくはジプロピレングリコールモノメチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールエーテル系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル若しくは酢酸イソペンチル等の脂肪族エステル類、ブタノール、3−メチル−2−ブタノール若しくは3−メチル−3−メトキシブタノール等の脂肪族アルコール類、シクロペンタノン若しくはシクロヘキサノン等のケトン類、キシレン、エチルベンゼン又はソルベントナフサが挙げられる。   Examples of the solvent other than the above include, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, monoethyl ether, methyl carbitol, ethyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene (Poly) alkylene glycol ether solvents such as glycol monoethyl ether, propylene glycol tertiary butyl ether (boiling point 153 ° C.) or dipropylene glycol monomethyl ether, aliphatic esters such as ethyl acetate, butyl acetate or isopentyl acetate, butanol, 3 -Aliphatic alcohols such as methyl-2-butanol or 3-methyl-3-methoxybutanol; Ketones such as Ropentanon or cyclohexanone, xylene, ethylbenzene or solvent naphtha.

また、ポリイミド樹脂を使用する場合、例えば、エステル類、脂肪族アルコール類、(ポリ)アルキレングリコールエーテル系溶剤、ケトン類、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド若しくはN,N−ジメチルホルムアミド等のアミド系極性溶媒又はラクトン類が挙げられるが、遮光材である顔料の分散効果を高めるため、ラクトン類又はラクトン類を主成分とする混合溶媒が好ましい。ここでラクトン類を主成分とする溶媒とは、全溶媒に占めるラクトン類の重量比が最大である溶媒をいう。またラクトン類とは、炭素数3〜12の脂肪族環状エステル化合物をいう。ラクトン類としては、例えば、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン又はε−カプロラクトンが挙げられるがポリイミド前駆体の溶解性の観点から、γ−ブチロラクトンが好ましい。また、ラクトン類以外の溶媒としては、例えば、3−メチル−3−メトキシブタノール、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレングリコール−モノ−メチルエーテルアセテ−ト、ジプロピレングリコール−モノ−メチルエーテル、トリプロピレングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレングリコール−モノ−3級−ブチルエーテル、イソブチルアルコール、イソアミルアルコール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、メチルカルビトール、メチルカルビトールアセテート、エチルカルビトール又はエチルカルビトールアセテートが挙げられる。   When polyimide resin is used, for example, esters, aliphatic alcohols, (poly) alkylene glycol ether solvents, ketones, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide or N, N- Examples include amide polar solvents such as dimethylformamide or lactones, but lactones or mixed solvents containing lactones as main components are preferable in order to enhance the dispersion effect of the pigment as a light shielding material. Here, the solvent containing lactones as a main component refers to a solvent having a maximum weight ratio of lactones in the total solvent. The lactone refers to an aliphatic cyclic ester compound having 3 to 12 carbon atoms. Examples of lactones include β-propiolactone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone, and ε-caprolactone. From the viewpoint of solubility of the polyimide precursor, γ- Butyrolactone is preferred. Examples of solvents other than lactones include 3-methyl-3-methoxybutanol, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol mono-methyl ether, propylene glycol mono-methyl ether acetate, Dipropylene glycol-mono-methyl ether, tripropylene glycol-mono-methyl ether, propylene glycol-mono-tertiary-butyl ether, isobutyl alcohol, isoamyl alcohol, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, methyl carbitol, Examples include methyl carbitol acetate, ethyl carbitol or ethyl carbitol acetate.

基板の大型化に伴いダイコーティング装置による塗布が主流になってきているので、適度の揮発性及び乾燥性を実現するため、2成分以上の混合溶媒が好ましい。   Since application by a die coating apparatus has become mainstream as the size of the substrate increases, a mixed solvent of two or more components is preferable in order to achieve appropriate volatility and drying properties.

また、本発明の黒色樹脂組成物には、塗布性及び着色被膜の平滑性を向上させながらベナードセルを防止する目的で、界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の添加量は、顔料の0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。添加量が少なすぎると塗布性及び着色被膜の平滑性を向上させる効果やベナードセルを防止する効果がなく、多すぎると逆に塗膜物性が不良となる場合がある。界面活性剤としては、例えば、ラウリル硫酸アンモニウム若しくはポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミン等の陰イオン界面活性剤、ステアリルアミンアセテート若しくはラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等の陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチルアミンオキサイド若しくはラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン等の両性界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル若しくはソルビタンモノステアレート等の非イオン界面活性剤、ポリジメチルシロキサン等を主骨格とするシリコーン系界面活性剤又はフッ素系界面活性剤が挙げられる。本発明では、これらの界面活性剤を1種又は2種以上用いることができる。   In addition, a surfactant may be added to the black resin composition of the present invention for the purpose of preventing Benard cells while improving the coatability and the smoothness of the colored coating. The addition amount of the surfactant is preferably 0.001 to 10% by mass of the pigment, and more preferably 0.01 to 1% by mass. If the addition amount is too small, the coating property and the smoothness of the colored coating are not improved and the effect of preventing Benard cell is not obtained. If the addition amount is too large, the physical properties of the coating film may be poor. Examples of the surfactant include an anionic surfactant such as ammonium lauryl sulfate or polyoxyethylene alkyl ether sulfate triethanolamine, a cationic surfactant such as stearylamine acetate or lauryltrimethylammonium chloride, lauryldimethylamine oxide, or lauryl. Amphoteric surfactants such as carboxymethylhydroxyethylimidazolium betaine, nonionic surfactants such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether or sorbitan monostearate, and silicone-based interfaces mainly composed of polydimethylsiloxane An activator or a fluorosurfactant is mentioned. In the present invention, one or more of these surfactants can be used.

本発明の黒色樹脂組成物において樹脂成分(モノマーやオリゴマー及び光重合開始剤等の添加剤も含む)と遮光材をあわせた固形分濃度としては、塗工性及び乾燥性の観点から、2〜30質量%が好ましく、5〜20質量%がより好ましい。従って、本発明の感光性黒色樹脂組成物は、溶媒、樹脂成分及び遮光材から本質的になることが好ましく、樹脂成分と遮光材との合計量が2〜30質量%であることがより好ましく、5〜20質量%であることがさらに好ましい。固形分を除く残部は溶媒であり、上記のとおり、界面活性剤をさらに含有していてもよい。   In the black resin composition of the present invention, the solid content concentration of the resin component (including additives such as monomers and oligomers and a photopolymerization initiator) and the light shielding material is 2 to 2 from the viewpoint of coating properties and drying properties. 30 mass% is preferable and 5-20 mass% is more preferable. Accordingly, the photosensitive black resin composition of the present invention preferably consists essentially of a solvent, a resin component and a light shielding material, and more preferably the total amount of the resin component and the light shielding material is 2 to 30% by mass. 5 to 20% by mass is more preferable. The remainder excluding the solid content is a solvent, and as described above, may further contain a surfactant.

本発明での感光性黒色樹脂組成物の製造方法としては、例えば、分散機を用いて樹脂溶液中に直接顔料を分散させる方法、又は、分散機を用いて水若しくは有機溶媒中に顔料を分散して顔料分散液を作製し、その後樹脂溶液と混合する方法が挙げられる。顔料の分散方法としては、例えば、ボールミル、サンドグラインダー、3本ロールミル又は高速度衝撃ミルが挙げられるが、分散効率及び微分散化の観点から、ビーズミルが好ましい。ビーズミルとしては、例えば、コボールミル、バスケットミル、ピンミル又はダイノーミルが挙げられる。ビーズミルのビーズとしては、例えば、チタニアビーズ、ジルコニアビーズ又はジルコンビーズが挙げられる。分散に用いるビーズ径としては、0.01〜5.0mmが好ましく、0.03〜1.0mmがより好ましい。顔料の一次粒子径及び一次粒子が凝集して形成された二次粒子の粒子径が小さい場合には、0.03〜0.10mmといった微小な分散ビーズを用いることが好ましい。この場合、微小な分散ビーズと分散液とを分離することが可能な、遠心分離方式によるセパレーターを有するビーズミルを用いて分散することが好ましい。一方、サブミクロン程度の粗大な粒子を含む顔料を分散させる際には、0.10mm以上の分散ビーズを用いることにより十分な粉砕力が得られ顔料を微細に分散できるため、好ましい。   Examples of the method for producing the photosensitive black resin composition in the present invention include a method of directly dispersing a pigment in a resin solution using a disperser, or a method of dispersing a pigment in water or an organic solvent using a disperser. Then, a method of preparing a pigment dispersion and then mixing it with a resin solution can be mentioned. Examples of the method for dispersing the pigment include a ball mill, a sand grinder, a three-roll mill, and a high-speed impact mill. A bead mill is preferable from the viewpoint of dispersion efficiency and fine dispersion. Examples of the bead mill include a coball mill, a basket mill, a pin mill, and a dyno mill. Examples of beads of the bead mill include titania beads, zirconia beads, and zircon beads. The bead diameter used for dispersion is preferably 0.01 to 5.0 mm, and more preferably 0.03 to 1.0 mm. When the primary particle size of the pigment and the secondary particle size formed by aggregation of the primary particles are small, it is preferable to use fine dispersed beads of 0.03 to 0.10 mm. In this case, it is preferable to disperse using a bead mill having a separator by a centrifugal separation method capable of separating fine dispersed beads and a dispersion. On the other hand, when dispersing a pigment containing coarse particles of about submicron, it is preferable to use a dispersion bead of 0.10 mm or more because sufficient pulverization force can be obtained and the pigment can be finely dispersed.

本発明の積層樹脂BM基板の製造例を以下に示す。感光性黒色樹脂組成物を透明基板上に塗布する方法としては、例えば、ディップ法、ロールコータ法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方法、透明基板を感光性黒色樹脂組成物の溶液中に浸漬する方法又は感光性黒色樹脂組成物の溶液を透明基板に噴霧する方法が挙げられる。透明基板としては、例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス若しくは表面をシリカコートしたソーダライムガラス等の無機ガラス類又は有機プラスチックのフィルム若しくはシートが挙げられる。なお、基板上に塗布する場合、シランカップリング剤、アルミニウムキレート剤又はチタニウムキレート剤等の接着助剤で基板表面を処理しておくと、BM被膜と基板との接着力を向上させることができる。   A production example of the laminated resin BM substrate of the present invention is shown below. Examples of the method for applying the photosensitive black resin composition on the transparent substrate include a dipping method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, and a transparent substrate in a solution of the photosensitive black resin composition. And a method of spraying a solution of the photosensitive black resin composition on a transparent substrate. Examples of the transparent substrate include quartz glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, inorganic glass such as soda lime glass whose surface is silica-coated, or an organic plastic film or sheet. In addition, when apply | coating on a board | substrate, if the board | substrate surface is processed with adhesion assistants, such as a silane coupling agent, an aluminum chelating agent, or a titanium chelating agent, the adhesive force of BM film and a board | substrate can be improved. .

黒色樹脂脂組成物を透明基板上に塗布した後、風乾、加熱乾燥又は真空乾燥等により加熱乾燥及び硬化を行い、乾燥被膜を形成する。被膜を形成する際の乾燥ムラ又は搬送ムラを抑制するため、塗液を塗布した透明基板を加熱装置を備えた減圧乾燥機で減圧乾燥した後、加熱乾燥及び硬化をすることが好ましい。   After apply | coating a black resin fat composition on a transparent substrate, heat drying and hardening are performed by air drying, heat drying, vacuum drying, etc., and a dry film is formed. In order to suppress drying unevenness or transport unevenness when forming the coating, it is preferable to dry and cure the transparent substrate coated with the coating liquid after being dried under reduced pressure using a vacuum dryer equipped with a heating device.

こうして得られた乾燥被膜は、通常、フォトリソグラフィー等の方法を用いてパターン加工される。感光性の樹脂から得られた乾燥被膜は、そのままか又はその表面に酸素遮断膜を形成した後に露光現像を行い、所望のパターンにすることができる。その後、必要に応じて酸素遮断膜を除去した後、加熱硬化させることで、積層樹脂BM基板が得られる。加熱硬化条件は、樹脂により異なるが、アクリル樹脂を用いる場合には、通常、200〜250℃で1〜60分、ポリイミド樹脂を使用する場合には通常、250〜300℃で1〜60分、加熱するのが一般的である。   The dry film thus obtained is usually patterned using a method such as photolithography. The dry film obtained from the photosensitive resin can be exposed or developed as it is or after an oxygen-blocking film is formed on the surface thereof to form a desired pattern. Thereafter, the oxygen blocking film is removed as necessary, and then heat-cured to obtain a laminated resin BM substrate. The heat curing conditions vary depending on the resin, but when an acrylic resin is used, it is usually 1 to 60 minutes at 200 to 250 ° C, and when a polyimide resin is used, it is usually 1 to 60 minutes at 250 to 300 ° C. It is common to heat.

本発明の積層樹脂BM基板を使用して、液晶表示用カラーフィルター基板を製造することができる。すなわち本発明は、本発明の積層樹脂BM基板を具備する、液晶表示用カラーフィルター基板を提供することができる。該カラーフィルターは、透明基板の一部領域上に積層樹脂BMが形成された積層樹脂BM基板と、透明基板上の、積層樹脂BMが形成されていない領域に形成された画素を少なくとも具備するカラーフィルターであって、上記積層樹脂BM基板が、本発明の積層樹脂BM基板であるものである。   A color filter substrate for liquid crystal display can be produced using the laminated resin BM substrate of the present invention. That is, the present invention can provide a color filter substrate for liquid crystal display comprising the laminated resin BM substrate of the present invention. The color filter includes at least a layered resin BM substrate in which a layered resin BM is formed on a partial region of the transparent substrate, and a pixel formed in a region on the transparent substrate where the layered resin BM is not formed. It is a filter, The said laminated resin BM board | substrate is a laminated resin BM board | substrate of this invention.

また、積層樹脂BMの反射色度としては、基板側の面より測定を行い、JIS−Z8729の方法に従って、標準C光源に対する反射スペクトルを用いて、CIE L*a*b*表色系により計算された色度値(a*、b*)を用いるのが一般的である。しかしながら、本発明の積層樹脂BM基板における積層樹脂BMは多層からなるため、各層の界面で反射した光が干渉し、測定値と視認される色相とが合わない場合がある。そこで本発明においては、印刷インキにより形成した見本BMを比較対象として、太陽光の下、目視による官能評価により判断を行った。反射色調としては、光沢が少なく、青みのある、すなわちニュートラルな反射色調となることが好ましい。   In addition, the reflection chromaticity of the laminated resin BM is measured from the surface on the substrate side, and calculated by the CIE L * a * b * color system using the reflection spectrum for the standard C light source according to the method of JIS-Z8729. It is common to use the determined chromaticity values (a *, b *). However, since the laminated resin BM in the laminated resin BM substrate of the present invention is composed of multiple layers, the light reflected at the interface of each layer interferes, and the measured value may not match the visually recognized hue. Therefore, in the present invention, a sample BM formed with printing ink was used as a comparison object, and a judgment was made by visual sensory evaluation under sunlight. As the reflection color tone, it is preferable that the reflection color tone is less glossy and bluish, that is, a neutral reflection color tone.

なお、以上の説明において、各成分は、文脈上そうでないことが明らかな場合を除き、それぞれ単独で用いることもできるし、2種以上を組み合わせて用いることもできる。   In the above description, each component can be used alone or in combination of two or more, unless it is clear from the context.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to these.

<評価方法>
[OD値]
厚み0.7mmの無アルカリガラスの上に膜厚1.0μmの樹脂BMを形成し、X−rite 361T(visual)densitometerを用いて入射光及び透過光それぞれの強度を測定し、以下の式(1)より算出した。
OD値 = log10(I/I) ・・・ 式(1)
:入射光強度
I:透過光強度
<Evaluation method>
[OD value]
A resin BM having a film thickness of 1.0 μm is formed on a non-alkali glass having a thickness of 0.7 mm, and the intensity of each of incident light and transmitted light is measured using an X-rite 361T (visual) densitometer. Calculated from 1).
OD value = log 10 (I 0 / I) (1)
I 0 : Incident light intensity I: Transmitted light intensity

[膜厚]
積層樹脂BMの膜厚測定は、形成した積層樹脂BMの任意の部分に傷を付け、ガラス面を露出させた部分を、日本真空社製触針式表面段差計DEKTAKFPD−500を用いて2回測定し、その平均値とした。
[Film thickness]
The film thickness of the laminated resin BM is measured twice using a stylus-type surface step meter DEKTAKFPD-500 manufactured by Nippon Vacuum Co., Ltd., by scratching an arbitrary portion of the formed laminated resin BM and exposing the glass surface. The average value was measured.

[反射色度]
厚み0.7mmの無アルカリガラスの上に所望の膜厚の積層樹脂BMを形成し、分光光度計(UV−2500PC;島津製作所製)を用いて、ガラス面からの反射色度を測定した(測定波長領域:300〜780nm、サンプリングピッチ:1.0nm、スキャン速度:低速、スリット幅:2.0nm)。
[Reflection chromaticity]
A laminated resin BM having a desired film thickness was formed on an alkali-free glass having a thickness of 0.7 mm, and the reflection chromaticity from the glass surface was measured using a spectrophotometer (UV-2500PC; manufactured by Shimadzu Corporation) ( Measurement wavelength region: 300 to 780 nm, sampling pitch: 1.0 nm, scan speed: low speed, slit width: 2.0 nm).

[表面抵抗値]
ハイレスタUP MCP−HT450(三菱化学アナリテック製)を用いて、表面抵抗値(Ω/□)を印加電圧1000Vにて測定し、以下の判断基準に基づき絶縁性を判定した。
[Surface resistance value]
Using Hiresta UP MCP-HT450 (manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech), the surface resistance value (Ω / □) was measured at an applied voltage of 1000 V, and the insulation was determined based on the following criteria.

[反射色調]
厚み0.7mmの無アルカリガラスの上に黒色印刷インキ(GLS−912;帝国インキ社製)を乾燥後の厚みが10μmとなるように230メッシュ版で印刷した後、150℃で30分間オーブン乾燥を行い、見本BMを作製した。
[Reflection color tone]
Black printing ink (GLS-912; manufactured by Teikoku Ink) was printed on a non-alkali glass with a thickness of 0.7 mm using a 230 mesh plate so that the thickness after drying was 10 μm, and then oven-dried at 150 ° C. for 30 minutes. A sample BM was prepared.

厚み0.7mmの無アルカリガラスの上に所望の積層樹脂BMを形成し、太陽光の下、見本BMと目視比較して、以下の判断基準に基づき反射色調を判断した。
○ : 視認性が極めて良好(漆黒で深みのある黒)
△ : 視認性が良好(ニュートラルな色調の黒)
× : 視認性が不良(赤みがかった黒)
A desired laminated resin BM was formed on a non-alkali glass having a thickness of 0.7 mm, and visually compared with a sample BM under sunlight, and the reflection color tone was determined based on the following criteria.
○: Very good visibility (black with deep black)
Δ: Good visibility (black with neutral color)
×: Visibility is poor (reddish black)

<製造例>
(ポリアミック酸A−1の合成)
4,4’−ジアミノフェニルエーテル(0.30モル当量)、パラフェニレンジアミン(0.65モル当量)、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.05モル当量)、γ−ブチロラクトン850g及びN−メチル−2−ピロリドン850gを仕込み、3,3’,4,4’−オキシジフタルカルボン酸二無水物(0.9975モル当量)を添加して、80℃で3時間反応させた。さらに無水マレイン酸(0.02モル当量)を添加して、80℃で1時間反応させて、ポリアミック酸A−1(ポリマー濃度20質量%)溶液を得た。
<Production example>
(Synthesis of polyamic acid A-1)
4,4′-diaminophenyl ether (0.30 molar equivalent), paraphenylenediamine (0.65 molar equivalent), bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (0.05 molar equivalent), γ-butyrolactone 850 g And 850 g of N-methyl-2-pyrrolidone were added, 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalcarboxylic dianhydride (0.9975 molar equivalent) was added, and the mixture was reacted at 80 ° C. for 3 hours. . Furthermore, maleic anhydride (0.02 molar equivalent) was added and reacted at 80 ° C. for 1 hour to obtain a polyamic acid A-1 (polymer concentration 20% by mass) solution.

(アクリルポリマー(P−1)の合成)
文献(特許第3120476号公報;実施例1)記載の方法により、メチルメタクリレート/メタクリル酸/スチレン共重合体(重量比30/40/30)を合成後、グリシジルメタクリレート40重量部を付加させ、精製水で再沈、濾過、乾燥することにより、平均分子量(Mw)40,000、酸価110(mgKOH/g)のアクリルポリマー(P−1)粉末を得た。
(Synthesis of acrylic polymer (P-1))
After synthesizing a methyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer (weight ratio 30/40/30) by the method described in the literature (Patent No. 3120476; Example 1), 40 parts by weight of glycidyl methacrylate was added and purified. By reprecipitation with water, filtration and drying, an acrylic polymer (P-1) powder having an average molecular weight (Mw) of 40,000 and an acid value of 110 (mgKOH / g) was obtained.

(窒化チタン分散液(Bk−1)の作製)
熱プラズマ法により製造したチタン窒化物粒子(日清エンジニアリング(株)製:96g)、ポリアミック酸溶液A−1(120g)、γ−ブチロラクトン(114g)、N−メチル−2ピロリドン(538g)及び3メチル−3メトキシブチルアセテート(132g)をタンクに仕込み、ホモミキサー(特殊機化製)で1時間撹拌後、0.05mmφジルコニアビーズ(YTZボール;ニッカトー製)を70%充填した遠心分離セパレーターを具備したウルトラアペックスミル(寿工業製)を用いて回転速度8m/sで2時間分散を行い、固形分濃度12質量%、顔料/樹脂(重量比)=80/20の遮光材分散液Bk−1を得た。
(Preparation of titanium nitride dispersion (Bk-1))
Titanium nitride particles produced by thermal plasma method (Nisshin Engineering Co., Ltd .: 96 g), polyamic acid solution A-1 (120 g), γ-butyrolactone (114 g), N-methyl-2pyrrolidone (538 g) and 3 A centrifuge separator charged with 70% of 0.05 mmφ zirconia beads (YTZ balls; manufactured by Nikkato) was charged in a tank with methyl-3 methoxybutyl acetate (132 g), stirred for 1 hour with a homomixer (made by Special Machine) Using an ultra apex mill (manufactured by Kotobuki Kogyo Co., Ltd.) for 2 hours at a rotational speed of 8 m / s, a light shielding material dispersion Bk-1 having a solid content concentration of 12% by mass and a pigment / resin (weight ratio) = 80/20 Got.

(カーボンブラック分散液(Bk−2)の作製)
カーボンブラック(TPX1291;CABOT製、;400g)にアクリル樹脂(P−1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40質量%溶液(187.5g)、高分子分散剤(BYK21116;ビックケミー社製;62.5g)及びプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(890g)をタンクに仕込み、ホモミキサー(特殊機化製)で1時間撹拌し、予備分散液2を得た。その後、0.10mmφジルコニアビーズ(東レ製)を70%充填した遠心分離セパレーターを具備した、ウルトラアペックスミル(寿工業製)に予備分散液2を供給し、回転速度8m/sで2時間分散を行い、固形分濃度25質量%、顔料/樹脂(重量比)=80/20のカーボンブラック顔料分散液Bk−2を得た。
(Preparation of carbon black dispersion (Bk-2))
Carbon black (TPX1291; manufactured by CABOT; 400 g), propylene glycol monomethyl ether acetate 40 mass% solution (187.5 g) of acrylic resin (P-1), polymer dispersant (BYK21116; manufactured by BYK Chemie; 62.5 g) And propylene glycol monoethyl ether acetate (890 g) were charged into a tank and stirred for 1 hour with a homomixer (manufactured by Tokushu Kika) to obtain Preliminary Dispersion 2. Thereafter, the preliminary dispersion 2 was supplied to an ultra apex mill (manufactured by Kotobuki Kogyo Co., Ltd.) equipped with a centrifugal separator filled with 70% of 0.10 mmφ zirconia beads (manufactured by Toray Industries), and dispersed for 2 hours at a rotational speed of 8 m / s. The carbon black pigment dispersion liquid Bk-2 having a solid content concentration of 25% by mass and a pigment / resin (weight ratio) = 80/20 was obtained.

(炭化チタン分散液(Bk−3)の作製)
顔料として熱プラズマ法により製造したチタン炭化物粒子(日清エンジニアリング(株)製、TiCナノ粉末 Lot:1330709111;400g)を用いた以外は、遮光材分散液Bk−2の作製と同様にして、炭化チタン分散液Bk−3を得た。
(Preparation of titanium carbide dispersion (Bk-3))
Carbonization was performed in the same manner as in the preparation of the light-shielding material dispersion Bk-2, except that titanium carbide particles (manufactured by Nissin Engineering Co., Ltd., TiC nano powder Lot: 1330709111; 400 g) manufactured by a thermal plasma method were used as pigments A titanium dispersion Bk-3 was obtained.

(窒化チタン分散液(Bk−4)の作製)
熱プラズマ法により製造したチタン窒化物粒子(日清エンジニアリング(株)製;400g)を用いた以外は遮光材分散液Bk−2の作製と同様にして、窒化チタン分散液Bk−4を得た。
(Preparation of titanium nitride dispersion (Bk-4))
A titanium nitride dispersion Bk-4 was obtained in the same manner as the preparation of the light-shielding material dispersion Bk-2 except that titanium nitride particles (Nisshin Engineering Co., Ltd .; 400 g) produced by the thermal plasma method were used. .

(酸窒化チタン分散液(Bk−5)の作製)
顔料として文献(特開2010−95716号公報;第119段落の試料8)記載の酸窒化チタン(粒径:40nm、チタン含有量:70.6質量%、窒素含有量:18.8質量%、酸素含有量:8.64質量%;400g)を用いた以外は、遮光材分散液Bk−2の作製と同様にして、酸窒化チタン分散液Bk−5を得た。
(Preparation of titanium oxynitride dispersion (Bk-5))
Titanium oxynitride (particle size: 40 nm, titanium content: 70.6 mass%, nitrogen content: 18.8 mass%) described in the literature (JP 2010-95716 A; sample 8 in paragraph 119) as a pigment A titanium oxynitride dispersion Bk-5 was obtained in the same manner as in the preparation of the light shielding material dispersion Bk-2, except that the oxygen content was 8.64% by mass; 400 g).

(実施例1)
遮光材分散液Bk―1(12.50g)に、ポリアミック酸A−1(42.30g)、γ−ブチロラクトン(28.21g)、N−メチル−2−ピロリドン(16.59g)、及び界面活性剤LC951(0.40g)を添加し、全固形分濃度10質量%、遮光材/樹脂(重量比)=12/88の黒色樹脂組成物PB−1を得た。
Example 1
The light-shielding material dispersion Bk-1 (12.50 g), polyamic acid A-1 (42.30 g), γ-butyrolactone (28.21 g), N-methyl-2-pyrrolidone (16.59 g), and surface activity Agent LC951 (0.40 g) was added to obtain a black resin composition PB-1 having a total solid content concentration of 10 mass% and a light shielding material / resin (weight ratio) = 12/88.

また、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(19.51g)に、光重合開始剤として“アデカ(登録商標)クルーズ”NCI−831(0.48g)を添加し、固形分が溶解するまで撹拌した。   In addition, “ADEKA (registered trademark) NCI-831 (0.48 g) as a photopolymerization initiator was added to propylene glycol monoethyl ether acetate (19.51 g) and stirred until the solid content was dissolved.

さらに、アクリルポリマー(P−1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40質量%溶液(4.65g)、多官能モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製)のプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート50質量%溶液(3.43g)、界面活性剤としてシリコーン系界面活性剤BYK333のプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート10質量%溶液(0.24g)を添加し、室温にて1時間撹拌を行うことで感光性レジストを得た。この感光性レジストに上記顔料分散液BK−2を15.85g、顔料分散液BK−4を15.85g添加することで全固形分濃度20質量%、顔料/樹脂(重量比)=55/45の感光性黒色樹脂組成物AB−1を調製した。   Furthermore, propylene glycol monomethyl ether acetate 40% by mass solution (4.65 g) of acrylic polymer (P-1), dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as a polyfunctional monomer, propylene glycol monoethyl ether acetate A 50% by mass solution (3.43 g) and a 10% by mass propylene glycol monoethyl ether acetate solution (0.24 g) of a silicone surfactant BYK333 as a surfactant were added and stirred at room temperature for 1 hour. A photosensitive resist was obtained. By adding 15.85 g of the pigment dispersion BK-2 and 15.85 g of the pigment dispersion BK-4 to this photosensitive resist, the total solid content concentration is 20% by mass, and the pigment / resin (weight ratio) = 55/45. A photosensitive black resin composition AB-1 was prepared.

透明基板である無アルカリガラス(1737;コーニング製;厚み0.7mm)基板上に、黒色樹脂組成物PB−1をキュア後の膜厚が0.7μmになるようにスピンコーターで塗布し、120℃で20分間セミキュアを行い、OD値が0.7の低光学濃度層の半硬化膜を得た。次に、感光性黒色樹脂組成物AB−1をキュア後の膜厚が0.8μmになるようにスピンコーターで塗布し、90℃で10分間プリベークを行った。この塗布膜にマスクアライナーPEM−6M(ユニオン光学(株)製)を用い、フォトマスクを介して紫外線を200mJ/cmの露光量で露光した。 On a non-alkali glass (1737; made by Corning; thickness 0.7 mm) substrate which is a transparent substrate, the black resin composition PB-1 was applied with a spin coater so that the film thickness after curing was 0.7 μm. Semi-curing was carried out at 20 ° C. for 20 minutes to obtain a semi-cured film having a low optical density layer having an OD value of 0.7. Next, photosensitive black resin composition AB-1 was applied by a spin coater so that the film thickness after curing was 0.8 μm, and prebaked at 90 ° C. for 10 minutes. A mask aligner PEM-6M (manufactured by Union Optics Co., Ltd.) was used for this coating film, and ultraviolet rays were exposed at a dose of 200 mJ / cm 2 through a photomask.

次に、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの0.5質量%水溶液のアルカリ現像液で現像し、続いて純水洗浄することにより、パターンニング基板を得た。得られたパターンニング基板を熱風オーブン中230℃で30分保持しキュアを行なうことで、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値4.3の積層樹脂BM基板1を得た。   Next, it developed with the 0.5 mass% aqueous solution of an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide, and then washed with pure water to obtain a patterned substrate. The obtained patterning substrate was kept in a hot air oven at 230 ° C. for 30 minutes and cured, whereby a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.6 were laminated. A laminated resin BM substrate 1 having a value of 4.3 was obtained.

(実施例2)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−4=70/30(感光性レジストに上記顔料分散液BK−2を22.19g、顔料分散液BK−4を9.51g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−2を得た。PB−1とAB−2を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.4の高光学濃度層とが積層した、OD値4.1の積層樹脂BM基板2を得た。
(Example 2)
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used for the high optical density layer was Bk-2 / Bk-4 = 70/30 (22.19 g of the above pigment dispersion BK-2 in the photosensitive resist, pigment dispersion) A photosensitive resin composition AB-2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 9.51 g of liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-2, a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.4 were laminated, and an OD value of 4.1. A laminated resin BM substrate 2 was obtained.

(実施例3)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−4=90/10(感光性レジストに上記顔料分散液BK−2を28.53g、顔料分散液BK−4を3.17g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−3を得た。PB−1とAB−3を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.3の高光学濃度層とが積層した、OD値4.0の積層樹脂BM基板3を得た。
Example 3
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used for the high optical density layer was Bk-2 / Bk-4 = 90/10 (28.53 g of the above pigment dispersion BK-2 in the photosensitive resist, pigment dispersion A photosensitive resin composition AB-3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 3.17 g of liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-3, an OD value of 4.0, in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.3 were laminated. A laminated resin BM substrate 3 was obtained.

(実施例4)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−4=30/70(感光性レジストに上記顔料分散液BK−2を9.51g、顔料分散液BK−4を22.19g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−4を得た。PB−1とAB−4を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.7の高光学濃度層とが積層した、OD値4.4の積層樹脂BM基板4を得た。
Example 4
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-2 / Bk-4 = 30/70 (9.51 g of the pigment dispersion BK-2 in the photosensitive resist, pigment dispersion) A photosensitive resin composition AB-4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 22.19 g of the liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-4, an OD value of 4.4, in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.7 were laminated. A laminated resin BM substrate 4 was obtained.

(実施例5)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−3/Bk−4=50/50(感光性レジストに上記顔料分散液BK−3を15.85g、顔料分散液BK−4を15.85g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−5を得た。PB−1とAB−5を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.9の高光学濃度層とが積層した、OD値4.6の積層樹脂BM基板5を得た。
(Example 5)
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-3 / Bk-4 = 50/50 (15.85 g of the above pigment dispersion BK-3 in the photosensitive resist, pigment dispersion A photosensitive resin composition AB-5 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 15.85 g of liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-5, an OD value of 4.6, in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.9 were laminated. A laminated resin BM substrate 5 was obtained.

(実施例6)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−3/Bk−4=90/10(感光性レジストに上記顔料分散液BK−3を28.53g、顔料分散液BK−4を3.17g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−6を得た。PB−1とAB−6を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.8の高光学濃度層とが積層した、OD値4.5の積層樹脂BM基板6を得た。
(Example 6)
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-3 / Bk-4 = 90/10 (28.53 g of the above pigment dispersion BK-3 in the photosensitive resist, pigment dispersion A photosensitive resin composition AB-6 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 3.17 g of liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-6, a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.8 were laminated. A laminated resin BM substrate 6 was obtained.

(実施例7)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−3/Bk−4=30/70(感光性レジストに上記顔料分散液BK−3を9.51g、顔料分散液BK−4を22.19g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−7を得た。PB−1とAB−7を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.9の高光学濃度層とが積層した、OD値4.6の積層樹脂BM基板7を得た。
(Example 7)
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-3 / Bk-4 = 30/70 (9.51 g of the pigment dispersion BK-3 in the photosensitive resist, pigment dispersion) A photosensitive resin composition AB-7 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 22.19 g of the liquid BK-4 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-7, an OD value of 4.6 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.9. A laminated resin BM substrate 7 was obtained.

(実施例8)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−3/Bk−5=50/50(感光性レジストに上記顔料分散液BK−3を15.85g、顔料分散液BK−5を15.85g添加)とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−8を得た。PB−1とAB−8を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値4.3の積層樹脂BM基板8を得た。
(Example 8)
The ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer is Bk-3 / Bk-5 = 50/50 (15.85 g of the above pigment dispersion BK-3 in the photosensitive resist, the pigment dispersion A photosensitive resin composition AB-8 was obtained in the same manner as in Example 1 except that 15.85 g of the liquid BK-5 was added. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-8, a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.6 were laminated, and an OD value of 4.3. A laminated resin BM substrate 8 was obtained.

(実施例9)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−5=50/50とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−9を得た。PB−1とAB−9を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.3の高光学濃度層とが積層した、OD値4.0の積層樹脂BM基板9を得た。
Example 9
Photosensitive resin composition AB-9 in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-2 / Bk-5 = 50/50. Got. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-9, an OD value of 4.0, in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.3 were laminated. A laminated resin BM substrate 9 was obtained.

(実施例10)
低光学濃度層に使用する黒色樹脂組成物の構成比率を全固形分濃度10質量%、遮光材/樹脂(重量比)=5/95とした以外は実施例1と同様にして黒色樹脂組成物PB−2を得た。PB−2とAB−1を使用して実施例1と同様にして、OD値0.2の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値3.8の積層樹脂BM基板10を得た。
(Example 10)
The black resin composition was the same as in Example 1 except that the composition ratio of the black resin composition used for the low optical density layer was 10% by mass of the total solid content and the light shielding material / resin (weight ratio) = 5/95. PB-2 was obtained. In the same manner as in Example 1 using PB-2 and AB-1, an OD value of 3.8 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 0.2 and a high optical density layer having an OD value of 3.6. A laminated resin BM substrate 10 was obtained.

(実施例11)
低光学濃度層に使用する黒色樹脂組成物の構成比率を全固形分濃度10質量%、遮光材/樹脂(重量比)=25/75とした以外は実施例1と同様にして黒色樹脂組成物PB−3を得た。PB−3とAB−1を使用して実施例1と同様にして、OD値1.4の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値5.0の積層樹脂BM基板11を得た。
(Example 11)
The black resin composition was the same as in Example 1 except that the composition ratio of the black resin composition used for the low optical density layer was 10% by mass of the total solid content and the light shielding material / resin (weight ratio) = 25/75. PB-3 was obtained. In the same manner as in Example 1 using PB-3 and AB-1, an OD value of 5.0 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 1.4 and a high optical density layer having an OD value of 3.6. A laminated resin BM substrate 11 was obtained.

(実施例12)
低光学濃度層に使用する黒色樹脂組成物の構成比率を全固形分濃度10質量%、遮光材/樹脂(重量比)=3/97とした以外は実施例1と同様にして黒色樹脂組成物PB−4を得た。PB−4とAB−1を使用して実施例1と同様にして、OD値0.1の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値3.7の積層樹脂BM基板12を得た。
(Example 12)
The black resin composition was the same as in Example 1 except that the composition ratio of the black resin composition used for the low optical density layer was 10% by mass of the total solid content and the light shielding material / resin (weight ratio) = 3/97. PB-4 was obtained. In the same manner as in Example 1 using PB-4 and AB-1, an OD value of 3.7 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 0.1 and a high optical density layer having an OD value of 3.6. A laminated resin BM substrate 12 was obtained.

(実施例13)
低光学濃度層に使用する黒色樹脂組成物PB−4の膜厚を1.5μmとした以外は実施例12と同様にして、OD値0.3の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値3.9の積層樹脂BM基板13を得た。
(Example 13)
A low optical density layer having an OD value of 0.3 and an OD value of 3.6 were obtained in the same manner as in Example 12 except that the thickness of the black resin composition PB-4 used for the low optical density layer was 1.5 μm. A laminated resin BM substrate 13 having an OD value of 3.9, laminated with a high optical density layer, was obtained.

(実施例14)
低光学濃度層に使用する黒色樹脂組成物の構成比率を全固形分濃度10質量%、遮光材/樹脂(重量比)=30/70とした以外は実施例1と同様にして黒色樹脂組成物PB−5を得た。PB−5とAB−1を使用して実施例1と同様にして、OD値1.7の低光学濃度層とOD値3.6の高光学濃度層とが積層した、OD値5.3の積層樹脂BM基板14を得た。
(Example 14)
The black resin composition was the same as in Example 1 except that the composition ratio of the black resin composition used for the low optical density layer was 10% by mass of the total solid content and the light shielding material / resin (weight ratio) = 30/70. PB-5 was obtained. In the same manner as in Example 1 using PB-5 and AB-1, an OD value of 5.3 was formed by laminating a low optical density layer having an OD value of 1.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.6. A laminated resin BM substrate 14 was obtained.

(比較例1)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−4=10/90とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−10を得た。PB−1とAB−10を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.9の高光学濃度層とが積層した、OD値4.6の積層樹脂BM基板15を得た。
(Comparative Example 1)
Photosensitive resin composition AB-10 in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-2 / Bk-4 = 10/90. Got. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-10, an OD value of 4.6 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.9. A laminated resin BM substrate 15 was obtained.

(比較例2)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2=100とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−11を得た。PB−1とAB−11を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.1の高光学濃度層とが積層した、OD値3.8の積層樹脂BM基板16を得た。
(Comparative Example 2)
A photosensitive resin composition AB-11 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was set to Bk-2 = 100. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-11, an OD value of 3.8 in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.1 were laminated. A laminated resin BM substrate 16 was obtained.

(比較例3)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−3=100とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−12を得た。PB−1とAB−12を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.8の高光学濃度層とが積層した、OD値4.6の積層樹脂BM基板17を得た。
(Comparative Example 3)
A photosensitive resin composition AB-12 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used for the high optical density layer was set to Bk-3 = 100. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-12, an OD value of 4.6, in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.8 were laminated. A laminated resin BM substrate 17 was obtained.

(比較例4)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−4=100とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−13を得た。PB−1とAB−13を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値4.0の高光学濃度層とが積層した、OD値4.7の積層樹脂BM基板18を得た。
(Comparative Example 4)
A photosensitive resin composition AB-13 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used for the high optical density layer was set to Bk-4 = 100. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-13, an OD value of 4.7 in which a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 4.0 were laminated. A laminated resin BM substrate 18 was obtained.

(比較例5)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−5=100とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−14を得た。PB−1とAB−14を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.5の高光学濃度層とが積層した、OD値4.2の積層樹脂BM基板19を得た。
(Comparative Example 5)
A photosensitive resin composition AB-14 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was set to Bk-5 = 100. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-14, a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.5 were laminated, and an OD value of 4.2. A laminated resin BM substrate 19 was obtained.

(比較例6)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−4/Bk−5=50/50とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−15を得た。PB−1とAB−15を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.7の高光学濃度層とが積層した、OD値4.4の積層樹脂BM基板20を得た。
(Comparative Example 6)
Photosensitive resin composition AB-15 in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used in the high optical density layer was Bk-4 / Bk-5 = 50/50. Got. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-15, an OD value of 4.4 was obtained by laminating a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.7. A laminated resin BM substrate 20 was obtained.

(比較例7)
高光学濃度層に使用する感光性樹脂組成物を構成する分散液の比率をBk−2/Bk−3=50/50とした以外は実施例1と同様にして感光性樹脂組成物AB−16を得た。PB−1とAB−16を使用して実施例1と同様にして、OD値0.7の低光学濃度層とOD値3.5の高光学濃度層とが積層した、OD値4.2の積層樹脂BM基板21を得た。
(Comparative Example 7)
Photosensitive resin composition AB-16 in the same manner as in Example 1 except that the ratio of the dispersion constituting the photosensitive resin composition used for the high optical density layer was Bk-2 / Bk-3 = 50/50. Got. In the same manner as in Example 1 using PB-1 and AB-16, a low optical density layer having an OD value of 0.7 and a high optical density layer having an OD value of 3.5 were laminated, and an OD value of 4.2. A laminated resin BM substrate 21 was obtained.

<評価結果>
実施例1〜12及び比較例1〜7で作製した黒色樹脂組成物の組成及び作製した積層樹脂BM基板の評価結果を、表1に示す。
<Evaluation results>
Table 1 shows the compositions of the black resin compositions prepared in Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 7 and the evaluation results of the prepared laminated resin BM substrates.

表1の結果から、実施例1〜12ではいずれも反射色調がニュートラルであり、絶縁性の高い積層樹脂BMを得ることができる。   From the results of Table 1, in Examples 1 to 12, it is possible to obtain a laminated resin BM that has a neutral reflection color tone and high insulation properties.

一方、比較例1〜7の様に、高光学濃度層にCB/TiCの添加比率が少ない場合やそれぞれ単体の顔料を使用した系、TiN/TiON、CB/TiCの様な顔料混合系だと反射色調や絶縁性が悪化し、反射色調がニュートラルであり絶縁性の高い積層樹脂BMを得ることができなかった。   On the other hand, as in Comparative Examples 1 to 7, when the addition ratio of CB / TiC is small in the high optical density layer, or a system using a single pigment, or a pigment mixture system such as TiN / TiON or CB / TiC. The reflection color tone and insulation were deteriorated, and it was impossible to obtain a laminated resin BM having a reflection color tone of neutral and high insulation.

Figure 2015001655
Figure 2015001655

Figure 2015001655
Figure 2015001655

本発明の積層樹脂BMは、冷陰極管若しくはLED等の光源を用いた表示装置又は液晶表示装置用カラーフィルター基板、あるいは液晶表示装置に利用できる。   The laminated resin BM of the present invention can be used for a display device using a light source such as a cold cathode tube or an LED, a color filter substrate for a liquid crystal display device, or a liquid crystal display device.

Claims (7)

透明基板上に形成された低光学濃度層と、該低光学濃度層上に形成された高光学濃度層からなり、
前記高光学濃度層が、(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタン、並びに、(b)窒化チタン及び/又は酸窒化チタンを含み、前記(a)及び(b)の合計量に対する前記(a)カーボンブラック及び/又は炭化チタンの含有比率が、30〜90質量%である、積層ブラックマトリックス基板。
A low optical density layer formed on a transparent substrate, and a high optical density layer formed on the low optical density layer,
The high optical density layer includes (a) carbon black and / or titanium carbide, and (b) titanium nitride and / or titanium oxynitride, and (a) with respect to the total amount of (a) and (b). A laminated black matrix substrate, wherein the content ratio of carbon black and / or titanium carbide is 30 to 90% by mass.
前記低光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が、0.3〜2.0である、請求項1記載の積層ブラックマトリックス基板。   The laminated black matrix substrate according to claim 1, wherein an OD value per 1 μm of the low optical density layer is 0.3 to 2.0. 表面抵抗値が1015Ω/□以上であり、かつ、前記低光学濃度層と前記高光学濃度層との合計膜厚が1.5μm以下である、請求項1又は2記載のブラックマトリックス基板。 The black matrix substrate according to claim 1 or 2, wherein a surface resistance value is 10 15 Ω / □ or more, and a total film thickness of the low optical density layer and the high optical density layer is 1.5 µm or less. 前記高光学濃度層の膜厚1μm当たりのOD値が3.0以上であり、かつ、前記高光学濃度層の膜厚が1.0μm以下である、請求項1〜3のいずれか一項記載の積層ブラックマトリックス基板。   The OD value per 1 μm thickness of the high optical density layer is 3.0 or more, and the thickness of the high optical density layer is 1.0 μm or less. Laminated black matrix substrate. 前記低光学濃度層のOD値が0.2以上である、請求項1〜4のいずれか一項記載の積層ブラックマトリックス基板。   The laminated black matrix substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein an OD value of the low optical density layer is 0.2 or more. 請求項1〜5のいずれか一項記載の積層樹脂ブラックマトリックス基板の開口部に、赤、緑又は青の画素が形成されている、カラーフィルター基板。   A color filter substrate in which red, green, or blue pixels are formed in the opening of the laminated resin black matrix substrate according to claim 1. 請求項6記載のカラーフィルター基板と、対向基板と、の間に、液晶化合物が充填されている、液晶表示装置。   A liquid crystal display device, wherein a liquid crystal compound is filled between the color filter substrate according to claim 6 and the counter substrate.
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