JP2014234775A - Slide component, and gas compressor and analysis equipment using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、摺動部品およびそれを用いたガス圧縮機または分析機器に関する。 The present invention relates to a sliding component and a gas compressor or an analytical instrument using the sliding component.
空気等の圧縮ガスは様々な業種の工場で利用され、近年では不活性な圧縮窒素ガスやオイルミストを含まないクリーンな圧縮ガスの需要が高まっている。 Compressed gas such as air is used in factories of various industries, and in recent years, the demand for clean compressed gas that does not contain inert compressed nitrogen gas or oil mist is increasing.
圧縮ガスは、一般に往復するピストンとシリンダを備えた圧縮機を使って作りだされる。圧縮ガスは、圧縮される前のガスをシリンダ内の圧縮室入れ、それをピストンで圧縮することで生成される。一般にピストンはピストンリングを備えている。
所謂オイルフリー圧縮機のピストンリングには、自己潤滑性を有する樹脂材が用いられ、ポリエチレンやナイロン等のいわゆる樹脂材料よりも摩擦係数が低いPTFE(polytetralfluoroethylene)を主体とするPTFE複合材が良く使われる。PTFEは摩擦係数が低いという特徴を有するが、一方で摩耗量が多いという特徴も有する。そのためPTFEあるいはPTFE複合材を利用するには、PTFEの低い摩擦係数を活かしつつ、摩耗量を低減することが必要となる。
Compressed gas is generally created using a compressor with a reciprocating piston and cylinder. The compressed gas is generated by putting the gas before being compressed into a compression chamber in the cylinder and compressing it with a piston. Generally, a piston is provided with a piston ring.
A so-called oil-free compressor piston ring uses a self-lubricating resin material, and a PTFE composite material mainly composed of PTFE (polytetrafluoroethylene) having a lower coefficient of friction than so-called resin materials such as polyethylene and nylon is often used. Is called. PTFE has a characteristic that the coefficient of friction is low, but also has a characteristic that the amount of wear is large. Therefore, in order to use PTFE or PTFE composite material, it is necessary to reduce the amount of wear while utilizing the low coefficient of friction of PTFE.
一方、ガス圧縮機で空気を圧縮する場合と、窒素ガスを圧縮する場合とで、ピストンリングの摩耗量は、窒素ガスの場合が空気の場合よりも多くなるという問題があった。これを解決するために、PTFEあるいはPTFE複合材に酸化銅を含有させることでそれを硬質化し、PTFEあるいはPTFE複合材の耐摩耗性を向上させていた(特許文献1参照)。 On the other hand, there is a problem that the wear amount of the piston ring is greater in the case of nitrogen gas than in the case of air when compressing air with a gas compressor and when compressing nitrogen gas. In order to solve this problem, the PTFE or PTFE composite material is hardened by adding copper oxide to improve the wear resistance of the PTFE or PTFE composite material (see Patent Document 1).
また、PTFEあるいはPTFE複合材の摩耗低減には、それらが摺動する際に、相手材の表面に形成するPTFE移着膜が上手く生成されると、それが摩耗低減に効果があることが知られている(非特許文献1参照)。 In addition, in reducing the wear of PTFE or PTFE composite material, it is known that when the PTFE transfer film formed on the surface of the counterpart material is successfully formed when they slide, it is effective in reducing the wear. (See Non-Patent Document 1).
前記特許文献1は、窒素ガスを圧縮する場合のピストンリングの摩耗量低減について一定の効果はあるが、さらなる摩耗量低減を図ることで、その交換周期を延長し、その結果運転コストの低減を図る必要があった。
Although
本発明の目的は、PTFE摺動材の摩耗を低減する構造、を提供することである。 An object of the present invention is to provide a structure that reduces the wear of the PTFE sliding material.
上述の課題を解決するため、PTFE摺動材の近くに、PTFEよりも金属に移着し易
い樹脂、からなる摺動部品を配置する。
In order to solve the above-described problems, a sliding component made of a resin that is more easily transferred to metal than PTFE is disposed near the PTFE sliding material.
本発明によれば、窒素ガスおよび乾燥空気であっても、PTFE摺動材の摩耗を低減し、その交換周期を延長できる摺動部品、およびそれを用いたガス圧縮機または分析機器を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is nitrogen gas and dry air, the sliding component which can reduce the abrasion of a PTFE sliding material and can extend the replacement period, and a gas compressor or analysis instrument using the same can be provided. .
以下、図面を用いて、本発明の実施例を説明する。
図15は、一般的なオイルフリーガス圧縮機の断面図である。ガス圧縮機は主に、圧縮室3を構成するシリンダ40、ピストン1、吸入弁、吐出弁(圧縮ガス側)と、連結棒、プーリ―、モータ、そして筐体からなる。圧縮ガスを生成するには、モータの動力をベルト、プーリ―、連結棒を通じてピストンに伝え、ピストンを上下させ、吸入弁を通って圧縮室にガスを圧縮させる。圧縮させたガスは、吐出弁を通って圧縮ガスの配管に吐出される。この際、ピストンリングは、シリンダ40の内面と摺動して摩耗し、その量は摺動回数の増加に伴って増加する。また、ライダーリング30は、シリンダ40に対するピストンの姿勢を整えるために設けられている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 15 is a cross-sectional view of a general oil-free gas compressor. The gas compressor mainly includes a
図16は、図15のピストンリングがシリンダ40の内面と摺動する摺動部の拡大図であり、移着膜を説明する図である。拡大図には、PTFE複合材のピストンリング20がシリンダ内面41の上で摺動し、ピストンリング20の一部がシリンダ内面41で移着膜28を形成する様子を示す。ピストンリング20はシリンダ40もしくシリンダ内面41と、移着膜28を介して接触する。そうすると、ピストンリング20はシリンダ内面41の凹凸と直接触れることなく摺動するので、摩耗を低減することができる。
FIG. 16 is an enlarged view of a sliding portion in which the piston ring of FIG. 15 slides on the inner surface of the
仮に移着層28が形成されないと、ピストンリング20はシリンダ内面41と直接接触し、シリンダ内面41の凸部が、ピストンリング20を削り取り、その結果、ピストンリング20の摩耗が促進されることになる。
If the
図1は、金属に対して樹脂(PTFE樹脂材料)が摺動した際に、金属表面に移着膜の有無によって摩耗粉がどのように発生するかを説明するための図である。
図1(a)は、現行のミクロ接触面の、移着膜ができる場合を示しており、金属と樹脂が移着膜を介して摺動する。それに対して、図1(b)は、現行のミクロ接触面の、移着膜ができない場合を示しており、金属と樹脂が直接接触する。そのため、摺動の際に金属表面よって樹脂材表面が常に削られ、摩耗粉の量は移着膜が有る場合より増加する。
FIG. 1 is a diagram for explaining how abrasion powder is generated depending on the presence or absence of a transfer film on a metal surface when a resin (PTFE resin material) slides on the metal.
FIG. 1A shows a case where a transfer film can be formed on the current microcontact surface, in which a metal and a resin slide through the transfer film. On the other hand, FIG. 1B shows a case where a transfer film cannot be formed on the current microcontact surface, and the metal and the resin are in direct contact. Therefore, the surface of the resin material is always scraped by the metal surface during sliding, and the amount of wear powder increases as compared with the case where there is a transfer film.
図1(c)は、本発明の原理を説明する図であり、本発明のミクロ接触面を示したものである。図1(c)は、移着を促進する、あるいは強化な移着膜を作る材料を、PTFE樹脂材料の近くに配置している。PTFE樹脂材料よりも移着を促進する樹脂材によって、金属表面に移着を促進する樹脂材からできた移着膜ができる様子を示す。この構造であれば、結果的に図1(a)で説明した、移着膜ができる場合に対応し、移着膜が常に安定してできるので、樹脂(PTFE樹脂材料)と金属材料の直接接触を避け、摩耗粉の発生を抑えること、即ち摩耗量を低減できる。 FIG. 1C is a view for explaining the principle of the present invention and shows a micro contact surface of the present invention. In FIG. 1 (c), a material that promotes transfer or forms a reinforced transfer film is disposed near the PTFE resin material. A state in which a transfer film made of a resin material that promotes transfer is formed on a metal surface by a resin material that promotes transfer more than the PTFE resin material is shown. With this structure, as a result, the transfer film can be formed in a stable manner, corresponding to the case where the transfer film can be formed as described in FIG. 1A. Therefore, the resin (PTFE resin material) and the metal material can be directly used. Contact can be avoided and generation of wear powder can be suppressed, that is, the amount of wear can be reduced.
図2は、本実施例の摺動部の断面を示す図である。本実施例は、図2に示すように、2本のピストンリング20と21で構成されており、片方のピストンリング20がPTFE複合材で、もう一つがPTFE複合材よりも移着膜を形成し易い樹脂からなるピストンリング21で構成される。
FIG. 2 is a view showing a cross section of the sliding portion of the present embodiment. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the
なお、本実施例では特に断らない限り、樹脂とは、PTFE、ポリエチレン、ナイロン等の樹脂材料が各単体で含まれるもの、或いはそれら樹脂材料と他の材料とで構成される複合材を示す。 In the present embodiment, unless otherwise specified, the resin refers to a resin material including a single resin material such as PTFE, polyethylene, nylon, or a composite material composed of the resin material and another material.
PTFEよりも移着が促進される樹脂としては、カルボン酸やPPS(ポリフェーレンサルファイド)、または、エーテル鎖を含む高分子があげられる。また、耐熱性がPTFEと同等であることが望ましい。耐熱性をもつことが望ましい理由は、摺動による摩擦熱とガスを圧縮する際に発生する熱によって、ピストンリングは100度から200度の温度環境に曝されるからである。また、エーテル鎖を含む高分子であることが望ましい理由は、それが金属と樹脂との接着力を高める効果があるためである。そのような樹脂として望ましいものとして、PFA(perfluoroalkoxy)、PAI(polyamideimide)、PBT(polybutylene terephthalate)、PEI(polyetherimide)、PEEK(polyetheretherketone)、エポキシ樹脂等が挙げられる。またそれらの何れかを少なくとも1種類以上含む樹脂が挙げられる。ここに挙げた樹脂は、エーテル鎖を有するため、窒素分子などの無極性分子からなるガスや乾燥空気中でも、相手材にPTFEよりも容易に移着膜を形成する。 Examples of the resin whose transfer is promoted more than PTFE include carboxylic acid, PPS (polyphenylene sulfide), and a polymer containing an ether chain. Moreover, it is desirable that heat resistance is equivalent to PTFE. The reason why it is desirable to have heat resistance is that the piston ring is exposed to a temperature environment of 100 degrees to 200 degrees due to frictional heat due to sliding and heat generated when compressing the gas. The reason why it is desirable to be a polymer containing an ether chain is that it has the effect of increasing the adhesive force between the metal and the resin. Desirable examples of such resins include PFA (perfluoroalkoxide), PAI (polyamideimide), PBT (polybutylene phthalate), PEI (polyetherimide), PEEK (polyetherketone), and resins. Moreover, the resin containing at least 1 or more types of any of those is mentioned. Since the resin mentioned here has an ether chain, it forms a transfer film on the counterpart material more easily than PTFE even in a gas composed of nonpolar molecules such as nitrogen molecules or in dry air.
図3は図2の部分的な拡大図を示す。拡大図には、PTFE複合材よりも移着膜を形成し易い樹脂からなるピストンリング21がシリンダ内面41の上で摺動することで、摺動面41で移着膜28を形成する様子を示している。この移着膜28により、ピストンリング20はシリンダ内面41と、移着膜28を介して接触する。その結果、ピストンリング20は、窒素分子などの無極性分子からなるガスや乾燥空気中であっても、シリンダ内面41の凹凸と直接触れることなく摺動し、ピストンリング20が摩耗するのを抑えることができる。
FIG. 3 shows a partially enlarged view of FIG. In the enlarged view, a state in which the
エーテル鎖を含む高分子からなる摺動部材は、PTFE摺動材がつくる移着膜よりも、より厚い移着膜を形成する。或いはPTFE摺動材が移着膜をほとんどつくらないようなある意味で過酷な環境でも、エーテル鎖を含む高分子からなる摺動部材は、摺動する金属表面にPTFEよりも容易に移着膜を形成する。PTFE摺動材は、自身とは別に金属表面に移着膜を形成する摺動材からなる摺動部品がつくる移着膜によって、金属表面と直接接触することが避けられる。その結果、PTFE摺動材は、環境によって自身が移着膜を形成する能力を消失した場合でも、その影響を受けることなく、そして摩耗を増やすことなく摺動することができる。 The sliding member made of a polymer containing an ether chain forms a thicker transfer film than the transfer film formed by the PTFE sliding material. Alternatively, even in a harsh environment where the PTFE sliding material hardly forms a transfer film, the sliding member made of a polymer containing an ether chain is more easily transferred to the sliding metal surface than PTFE. Form. The PTFE sliding material can be prevented from coming into direct contact with the metal surface by a transfer film formed by a sliding component made of a sliding material that forms a transfer film on the metal surface separately from itself. As a result, even if the PTFE sliding material loses its ability to form a transfer film depending on the environment, the PTFE sliding material can slide without being affected and without increasing wear.
図4と図5は、PTFEとPFAの移着膜がPTFE複合材の摩耗現象に与える影響を示す試験結果である。図4はその試験のフローを示す。ここで、プレスライディングとは金属材料の表面に移着させたい樹脂を付けるプロセスのことである。プレスライディングでは、大気中で20分間、PTFEとPFAをそれぞれ摺動させ、PTFEあるいはPFAのどちらか一方が付いた金属材料を計2種類用意した。PTFE複合材摩耗試験では、プレスライディングで用意した2種類の金属材料を、それぞれ新品のPTFE複合材で60分間摺動させ、次にそれらPTFEの摩耗量を測定した。図5は、プレスライディングで準備した金属材料とで摺動させた各PTFE複合材の摩耗量を示す試験結果である。図5から、金属表面についた移着膜の種類によってPTFE複合材の摩耗量が変わること、そしてPFAの移着膜はPTFEの移着膜よりPTFE複合材の摩耗量を減らす効果が大きいことが分かる。この結果から類推すると、PTFE複合材とPFAを同時に摺動させた場合と、PTFE複合材とPTFEを同時に摺動させた場合とでは、前者のPFAを同時に摺動させた場合の方が、PTFE複合材の摩耗量を低減できることが分かった。 4 and 5 are test results showing the influence of the transfer film of PTFE and PFA on the wear phenomenon of the PTFE composite material. FIG. 4 shows the test flow. Here, press riding is a process of attaching a resin to be transferred to the surface of a metal material. In press riding, PTFE and PFA were slid in the atmosphere for 20 minutes, and two types of metal materials with either PTFE or PFA were prepared. In the PTFE composite material wear test, two kinds of metal materials prepared by press riding were each slid for 60 minutes with a new PTFE composite material, and then the wear amount of the PTFE was measured. FIG. 5 is a test result showing the amount of wear of each PTFE composite material slid with a metal material prepared by press riding. From FIG. 5, it can be seen that the wear amount of the PTFE composite varies depending on the type of transfer film on the metal surface, and that the transfer film of PFA has a greater effect of reducing the wear amount of the PTFE composite than the transfer film of PTFE. I understand. By analogy with this result, when the PTFE composite material and the PFA are slid simultaneously and when the PTFE composite material and the PTFE are slid simultaneously, the former PFA is slid simultaneously. It was found that the amount of wear of the composite material can be reduced.
図6は、実施例2における摺動部の断面を示す図である。図6に示す構成は、図2に対して、PTFE複合材製のピストンリング20とPTFE複合材よりも移着膜を形成し易い樹脂からなるピストンリング21の位置が異なり、ピストンリング21がピストンリング20よりもシリンダの上部(或いは上死点)側にある点が異なる。この構成の利点は、図2の場合には、ピストンリング21がピストンリング20よりも下にあるので、ピストンの上死点付近で、ピストンリング21によって移着膜が生成されない場所があるため、ピストンリング20が移着膜が生成されない場所を摺動することになる。それに対して、図6の場合には、ピストンリング21がピストンリング20に上部にあることで、ピストンリング20はピストンの上死点付近でもピストンリング21によって生成された移着膜の上を摺動することができ、よりピストンリング20の摩耗を抑えることができるという特有の効果がある。なお、ピストンがシリンダ内の最下部に来た時には、ピストンリング20は、ピストンリング21が摺動していない場所を摺動することになるが、ピストンの上の空間の圧縮室は窒素ガスであっても、ピストンの下の空間は大気中であるので、PTFE複合材でも移着膜を生成しやすいため、ピストンリング20自身による移着膜の形成により摩耗を抑えることができる。
FIG. 6 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the second embodiment. 6 differs from FIG. 2 in the position of a
図7は、実施例3における摺動部の断面を示す図である。図7に示す構成は、図2及び図6に対して、PTFE複合材の上下に、PTFE複合材よりも移着膜を形成し易い樹脂からなるピストンリング21が2本配置される点で異なる。この構成のメリットは、ピストンリング20がシリンダ内面を上下に往復する際に、シリンダ内面の上部ではピストンリング20の上部のピストンリング21によって生成された移着膜の上を、また下部ではピストンリング20の下部のピストンリング21によって生成された移着膜の上を摺動する。よってピストンリング20は、常に上下のピストンリング21によって生成された移着膜の上を摺動することができる。その結果、ピストンリング20は、より摩耗を抑えることができるという特有の効果がある。
FIG. 7 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the third embodiment. The configuration shown in FIG. 7 differs from FIGS. 2 and 6 in that two
なお、実施例1から3の図2、図6、図7に挙げたピストンリングの構成においては、ピストンリング20は、シリンダとピストンの隙間から圧縮したガスを漏らさないようにシリンダ内面と密着させるようにすることが望ましい。またピストンリング21は、望ましいとして挙げたPFA等の材料は、PTFE複合材よりも摩擦係数が高いため、可能であればピストンリング20よりシリンダ内面41に密着させないように、最外径を若干ピストンリング20のそれよりも小さくした方が良い。
In the configuration of the piston ring shown in FIGS. 2, 6, and 7 of the first to third embodiments, the
図8は、実施例4における摺動部の断面を示す図である。図8に示す構成は、従来使用していたPTFE複合材のピストンリングに、移着膜形成を促進する樹脂材22bを埋め込み付けたものである。この構成では、実施例1から3に挙げた構成と同じように、移着膜形成を促進する樹脂材22bがシリンダ内面41に移着膜28を生成し、結果的にPTFE複合材22aと移着膜形成を促進する樹脂材22bからなるピストンリング22の摩耗が低減される。
FIG. 8 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the fourth embodiment. The configuration shown in FIG. 8 is obtained by embedding a
図9は、実施例5における摺動部の断面を示す図である。図9に示す構成は、図8のPTFE複合材22aと移着膜形成を促進する樹脂材22bを入れ替えたものである。図8の構成では、ピストンが上死点および下死点にあるときに、移着膜形成を促進する樹脂材22bによる移着膜形成が行われないこととなり、結果、ピストンが上死点および下死点にあるときにPTFE複合材22aが摩耗する。しかし、図9では、ピストンが上死点および下死点にあっても、移着膜形成を促進する樹脂材22bによってシリンダ表面に樹脂移着膜が常に形成されることになり、結果的にPTFE複合材22aと移着膜形成を促進する樹脂材22bからなるピストンリング23の摩耗が避けられる。
FIG. 9 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the fifth embodiment. The configuration shown in FIG. 9 is obtained by replacing the PTFE
図10と図11は、実施例6における摺動部の断面を示す図である。図10と図11に示す構成は、PTFE複合材22aと移着膜形成を促進する樹脂材22bを上下に重ねたものである。その効果は、図8および図9の構成で得られる効果とほぼ同じである。図10と図11の構成の特有の効果は、図8および図9に対して、PTFE複合材22aに移着膜形成を促進する樹脂材22bを埋め込むといったことを必要としないことである。また図2や図6の構成と比較して、ピストンリングが収まる溝の数を削減できるため、ピストン作製の際には溝加工に掛ける時間を削減できるという特有の効果がある。
10 and 11 are diagrams showing a cross section of the sliding portion in the sixth embodiment. 10 and FIG. 11, the PTFE
図12は、実施例7における摺動部の断面を示す図である。図12に示す構成は、PTFE複合材のピストンリング20と、PTFE複合材よりも移着膜を形成し易い樹脂のライダーリング31からなる。このライダーリング31の役割はシリンダ40に対する姿勢を整えることと、シリンダ内面41に移着膜を形成し、ピストンリング20の摩耗を抑えることである。これにより、ピストンリング20は、窒素分子などの無極性分子からなるガスや乾燥空気中であっても、ライダーリング31によって生成された移着膜の上を摺動するため、シリンダ内面41の凹凸と直接触れることなく摺動し、ピストンリング20が摩耗するのを抑えることができる。
FIG. 12 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the seventh embodiment. The structure shown in FIG. 12 includes a PTFE
図13は、実施例8における摺動部の断面を示す図である。図13に示す構成は、図12のライダーリング31の代わりに、移着膜形成を促進する樹脂フィルム32をピストン1に直接成膜した点である。成膜法としては、PFAを移着膜形成を促進する樹脂フィルム32とする場合、加熱して液体状にしたPFAの中にシリンダ1を入れて鋳造することが望ましい。またPEEKやエポキシ樹脂であれば、それらが溶解する有機溶剤を用いて、それらを溶解させ、次にそれらが溶解した有機溶剤をピストン表面に塗布し、成膜してやれば良い。
FIG. 13 is a diagram illustrating a cross section of the sliding portion in the eighth embodiment. The configuration shown in FIG. 13 is that a
以上説明したガス圧縮機は、窒素分子などの無極性分子からなるガスや乾燥空気を圧縮する場合であっても、ピストンリング20が摩耗するのを抑えることができる。
The gas compressor described above can suppress wear of the
図14は、実施例9における分析機器を示す図である。
分析機器とは、試料の物理的な特徴や組成などを測定、分析する装置の総称であって、例えば、半導体ウェーハ上の微細な回路パターンの寸法を測定する走査型電子顕微鏡である測長SEM(Scanning Electron Microscope)等がある。これらの分析機器は、試料(サンプル)を測定するために移動させる必要があり、そのために摺動部材が必要である。分析機器は、微細な構造や、成分を検出する性質上、摺動部材に潤滑油の使用は避ける必要がある。また、摺動部での摩耗粉が検出結果に影響を及ぼしかねないので摩耗粉の排出を嫌う装置である。
FIG. 14 is a diagram illustrating an analytical instrument according to the ninth embodiment.
An analytical instrument is a general term for an apparatus that measures and analyzes physical characteristics and composition of a sample. For example, a length measuring SEM that is a scanning electron microscope that measures the dimensions of a fine circuit pattern on a semiconductor wafer. (Scanning Electron Microscope). These analytical instruments need to be moved in order to measure a sample (sample), and therefore a sliding member is necessary. Analytical instruments must avoid the use of lubricating oil for sliding members because of their fine structure and the nature of detecting components. In addition, since the wear powder at the sliding portion may affect the detection result, the apparatus dislikes the discharge of the wear powder.
図14は、一般的な分析機器に本発明を適用した構成を示しており、チャンバー50、チャンバー内部51にサンプルステージ53、検出装置52及びサンプル55等を配置した構成を示す。本分析機器においては、サンプルが検出装置で分析できるように、サンプルをサンプルステージ53の上に固定し、それをガイドレール54上で移動させる。サンプルステージの移動の際は、それがガイドレール上でスムーズに移動できるよう、サンプルステージとガイドレールの間にはPTFE複合材56と移着膜形成を促進する材料57を設けている。またPTFE複合材と移着膜形成を促進する材料は、サンプルステージに固定され、ガイドレールと摺動する。本発明を適用した分析機器では、ガイドレール表面に移着膜を形成する材料によって樹脂移着膜が形成される。そのため、PTFE複合材はガイドレールとの直接接触が避けられ、結果的にPTFE複合材の摩耗は低減される。また、摩耗粉の排出が抑えられるので、好適な分析機器が実現できる。
なお、図14においては、前記摺動部は、PTFE複合材56と移着膜形成を促進する材料57とを別体としたが、一体形成されていてもよい。
FIG. 14 shows a configuration in which the present invention is applied to a general analytical instrument, in which a sample stage 53, a detection device 52, a sample 55, and the like are arranged in a chamber 50 and a
In FIG. 14, the sliding portion is composed of the PTFE composite material 56 and the material 57 that promotes the formation of the transfer film, but may be integrally formed.
以上実施例について説明したが、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加、削除、置換をすることも可能である。例えば、図6のピストンリング21と図12のライダーリング31の組み合わせとしてもよい。
Although the embodiments have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes various modifications. For example, the above-described embodiments have been described in detail for easy understanding of the present invention, and are not necessarily limited to those having all the configurations described. Further, a part of the configuration of one embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of one embodiment. Moreover, it is also possible to add, delete, and replace other configurations for a part of the configuration of each embodiment. For example, the
3 圧縮室
5 連結棒
20、21、22、23、24、25 ピストンリング
22a PTFE複合材
22b 移着膜形成を促進する樹脂材
28 移着膜
30、31 ライダーリング
32 移着膜形成を促進する樹脂フィルム
40 シリンダ
41 シリンダ内面
3 Compression Chamber 5
Claims (16)
前記ピストンリングの近傍に前記シリンダと摺動する摺動部を設け、該摺動部は前記PTFE樹脂よりも前記シリンダに移着されやすい樹脂からなり、前記摺動部が摺動した前記シリンダ上を前記ピストンリングが摺動する、ことを特徴とするガス圧縮機。 Gas compression that generates a compressed gas by compressing a gas in a compression chamber provided in the cylinder with a piston, and a cylinder formed mainly of metal, a piston, and a piston ring molded mainly of PTFE resin. In the machine
A sliding portion that slides with the cylinder is provided in the vicinity of the piston ring, and the sliding portion is made of a resin that is more easily transferred to the cylinder than the PTFE resin. A gas compressor, wherein the piston ring slides.
前記摺動部は、エーテル鎖を含む高分子からなることを特徴とするガス圧縮機。 The gas compressor according to claim 1,
The gas compressor according to claim 1, wherein the sliding portion is made of a polymer containing an ether chain.
前記エーテル鎖を含む高分子は、PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、エポキシ樹脂を少なくとも1種類含む樹脂であることを特徴するガス圧縮機。 A gas compressor according to claim 2, wherein
The gas compressor according to claim 1, wherein the polymer including an ether chain is a resin including at least one of PAI resin, PBT resin, PEI resin, PGT resin, PEEK resin, and epoxy resin.
前記摺動部は、第2のピストンリングであることを特徴とするガス圧縮機。 A gas compressor according to any one of claims 1 to 3,
The gas compressor according to claim 1, wherein the sliding portion is a second piston ring.
前記摺動部は、ライダーリングであることを特徴とするガス圧縮機。 A gas compressor according to any one of claims 1 to 3,
The gas compressor according to claim 1, wherein the sliding portion is a rider ring.
前記摺動部は、前記ピストンリングと一体形成されていることを特徴とするガス圧縮機。 A gas compressor according to any one of claims 1 to 3,
The gas compressor according to claim 1, wherein the sliding portion is formed integrally with the piston ring.
前記サンプルステージのガイドレールと摺動する部分にPTFE樹脂を主体とする第1の摺動部を設け、さらに該第1の摺動部の近傍に前記ガイドレールと摺動する第2の摺動部を設け、該第2の摺動部は前記PTFE樹脂よりも前記ガイドレールに移着されやすい樹脂からなり、前記第2の摺動部が摺動した前記ガイドレール上を前記第1の摺動部が摺動する、ことを特徴とする分析機器。 In an analysis apparatus that has a detection device, a sample stage, and a guide rail, and analyzes the sample on the sample stage by moving the sample stage on the guide rail,
A first sliding portion mainly composed of PTFE resin is provided in a portion that slides with the guide rail of the sample stage, and a second sliding that slides with the guide rail in the vicinity of the first sliding portion. The second sliding portion is made of a resin that is more easily transferred to the guide rail than the PTFE resin, and the first sliding portion is moved on the guide rail on which the second sliding portion has slid. An analytical instrument characterized in that the moving part slides.
前記第2の摺動部は、エーテル鎖を含む高分子からなることを特徴とする分析機器。 The analytical instrument according to claim 7, wherein
The second sliding portion is made of a polymer containing an ether chain.
前記エーテル鎖を含む高分子は、PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、エポキシ樹脂を少なくとも1種類含む樹脂であることを特徴とする分析機器。 The analytical instrument according to claim 8, wherein
The analytical instrument characterized in that the polymer containing an ether chain is a resin containing at least one kind of PAI resin, PBT resin, PEI resin, PGT resin, PEEK resin, and epoxy resin.
前記第2の摺動部は、前記第1の摺動部と一体形成されていることを特徴とする分析機器。 The analytical instrument according to any one of claims 7 to 9,
The analytical instrument, wherein the second sliding part is integrally formed with the first sliding part.
該摺動部品は前記PTFE樹脂よりも摺動する相手材に移着されやすい樹脂からなることを特徴とする摺動部品。 A sliding component used together with a PTFE composite material mainly composed of PTFE resin,
The sliding component is made of a resin that is more easily transferred to a counterpart material that slides than the PTFE resin.
前記摺動部品は、エーテル鎖を含む高分子からなることを特徴とする摺動部品。 The sliding component according to claim 11,
The sliding component is made of a polymer containing an ether chain.
前記エーテル鎖を含む高分子は、PAI樹脂、PBT樹脂、PEI樹脂、PGT樹脂、PEEK樹脂、エポキシ樹脂を少なくとも1種類含む樹脂であることを特徴する摺動部品。 The sliding component according to claim 12,
The sliding component, wherein the polymer containing an ether chain is a resin containing at least one kind of PAI resin, PBT resin, PEI resin, PGT resin, PEEK resin, and epoxy resin.
前記摺動部品は、ピストンリングであることを特徴とする摺動部品。 The sliding component according to any one of claims 11 to 13,
The sliding component is a piston ring.
前記摺動部品は、ライダーリングであることを特徴とする摺動部品。 The sliding component according to any one of claims 11 to 13,
The sliding component is a rider ring.
前記摺動部品は、前記PTFE複合材と一体形成されていることを特徴とする摺動部品。 The sliding component according to any one of claims 11 to 13,
The sliding component, wherein the sliding component is integrally formed with the PTFE composite material.
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