JP2014224742A - High-temperature environment formation device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-temperature environment formation device capable of reducing effect on adhesion means provided between a device main body and a door body, the effect being caused by an environment formed in predetermined space, and capable of restraining the progress of deterioration of the adhesion means.SOLUTION: An environmental test device (a high-temperature environment formation device) comprises: a device main body 4 having a test chamber 5 and a device opening 11; and a door body 6 attached to the device main body 4 in an openable/closable manner. The door body 6 comprises a door main body 13, a sealing part 15, and a shielding member 17. The door main body 13 has a protruded portion 35 in such a shape as to fit in the device opening 11. The sealing part 15 has an inner seal 37 and an outer seal 38 to form a double-sealing structure. The shielding member 17 is disposed in a gap s formed between the door main body 13 and an edge portion of the device opening 11 when the door body 6 is in a closed attitude, and shields most of the gap s.

Description

本発明は、所定の空間を目標とする温度及び/又は湿度に調整可能な高温環境形成装置に関するものであり、特に、所定の空間を備えた装置本体と、当該装置本体に対して開閉自在に取り付けられた扉体との間の構造に関する。   The present invention relates to a high temperature environment forming apparatus capable of adjusting a predetermined space to a target temperature and / or humidity, and in particular, an apparatus main body having a predetermined space, and the apparatus main body can be freely opened and closed. It relates to the structure between the attached door body.

製品や素材等(以下、単に試料体という)の性能や耐久性等を試験する装置として、環境試験装置がある。環境試験装置は、試験対象の試料体が載置される試験室(所定の空間)を有し、この試験室内の温度や湿度を所望の試験環境に調整する機能を備えた装置(高温環境形成装置)である。すなわち、試験室内は、試料体の性能や耐久性等の評価を行うべく、低温環境に制御されたり、逆に高温環境に制御される。また同時に、試験室内を、高湿環境にしたり、低湿環境にするような場合もある(以下、このような動作を環境試験という)。   There is an environmental test device as a device for testing the performance, durability, etc. of products, materials, etc. (hereinafter simply referred to as sample bodies). An environmental test apparatus has a test chamber (predetermined space) in which a specimen to be tested is placed, and has a function of adjusting the temperature and humidity in the test chamber to a desired test environment (high temperature environment formation) Device). That is, the inside of the test chamber is controlled to a low temperature environment or, conversely, to a high temperature environment in order to evaluate the performance and durability of the sample body. At the same time, the test chamber may be placed in a high humidity environment or a low humidity environment (hereinafter, such an operation is referred to as an environmental test).

そのため、環境試験装置では、環境試験が実施されると、試験室内と外部との間において、温度や湿度に著しい格差が生じる。例えば、試験室内が過度に高温(摂氏200〜300度)であったり、過度に低温(摂氏マイナス10〜40度)であるのに対して、外部は常温(摂氏10〜20度程度)という状況が発生する。また、試験室は、外部環境に比べると、著しく狭小な空間と言えるため、外部環境の影響を受け易い。つまり、試験室と外部との間で意図せず気体が往来し得る状況(試験室内の気圧の調整を目的として意図的に気体を往来させる場合は除く)が発生した場合、試験室内の環境は大きく乱れ、試験の信頼性が大幅に低下してしまうおそれがある。   Therefore, in the environmental test apparatus, when an environmental test is performed, a significant difference in temperature and humidity occurs between the test chamber and the outside. For example, the test chamber is excessively hot (200 to 300 degrees Celsius) or excessively cold (minus 10 to 40 degrees Celsius), but outside is at room temperature (approximately 10 to 20 degrees Celsius). Occurs. In addition, since the test room can be said to be a remarkably narrow space compared to the external environment, it is easily affected by the external environment. In other words, if there is a situation where gas can come and go unintentionally between the test room and the outside (except when gas is intentionally sent and received for the purpose of adjusting the pressure inside the test room), the environment inside the test room is There is a risk that the reliability of the test will be greatly reduced due to a large disturbance.

一方で、環境試験装置には、試験室が設けられた装置本体に、試料体を出し入れするための開口が設けられている。つまり、環境試験装置は、開口を介して、試験室と外部との間で気体が往来し得る構造となっている。そして、この種の環境試験装置では、装置本体に対して開閉自在な扉体が設けられ、扉体によって、前記開口を閉鎖できる構造となっている。   On the other hand, the environmental test apparatus is provided with an opening for taking in and out the sample body in the apparatus main body provided with the test chamber. That is, the environmental test apparatus has a structure in which gas can pass between the test chamber and the outside through the opening. And in this kind of environmental test apparatus, the door body which can be opened and closed with respect to an apparatus main body is provided, and it has the structure which can close the said opening with a door body.

このような事情に鑑みると、環境試験装置においては、環境試験の実施中、試験室と外部との間で起き得る意図しない気体の往来を防止するべく、扉体によって開口を確実に閉鎖状態にする必要がある。そのため、環境試験装置では、装置本体と扉体との間に、十分なシール構造を形成することが求められていた。   In view of such circumstances, in the environmental test apparatus, the opening is surely closed by the door body in order to prevent unintended gas traffic between the test chamber and the outside during the environmental test. There is a need to. Therefore, in the environmental test apparatus, it has been required to form a sufficient seal structure between the apparatus main body and the door body.

そこで、従来より、環境試験装置では、装置本体と扉体との間に、ガスケットを配し、当該ガスケットによって、試験室内の気密性が図られている。例えば、特許文献1には、扉体にガスケットを設け、当該ガスケットを装置本体側に密着させて、装置本体と扉体との間にシール構造を形成する環境試験装置の技術が開示されている。   Therefore, conventionally, in an environmental test apparatus, a gasket is arranged between the apparatus main body and the door body, and the gasket is designed to achieve airtightness in the test chamber. For example, Patent Document 1 discloses a technique of an environmental test apparatus in which a gasket is provided on a door body, the gasket is brought into close contact with the apparatus body side, and a seal structure is formed between the apparatus body and the door body. .

特開2012−63018号公報JP 2012-63018 A

しかしながら、従来の環境試験装置においては、装置本体と扉体の間に設けられたガスケットは、試験室内の高温雰囲気や低温雰囲気等の影響を受け易くなっており、劣化が加速度的に早められてしまう不具合があった。すなわち、この種の環境試験装置では、ガスケットの一部が試験室側に露出しており、当該露出した部分が、試験室内に流れる気体にさらされる構造となっている。そのため、ガスケットは、試験室における環境の影響を大いに受け、その寿命を本来の設計寿命よりも著しく短くしてしまっていた。またそれに伴い、ガスケットの交換サイクルが著しく短縮化され、環境試験装置における維持費の増大を招いていた。   However, in the conventional environmental test apparatus, the gasket provided between the apparatus main body and the door body is easily affected by a high temperature atmosphere or a low temperature atmosphere in the test chamber, and the deterioration is accelerated at an accelerated speed. There was a bug. That is, in this type of environmental test apparatus, a part of the gasket is exposed to the test chamber side, and the exposed portion is exposed to the gas flowing in the test chamber. For this reason, the gasket was greatly affected by the environment in the test room, and its life was significantly shortened from the original design life. Along with this, the gasket replacement cycle has been significantly shortened, leading to an increase in maintenance costs in the environmental test apparatus.

また、これと同様の問題が、恒温装置(あるいは恒温恒湿装置)、並びに、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)やプラズマディスプレイ(PDP:Plasma Display)、有機ELディスプレイ(FPD:Flat Panel Display)の製作に使用される熱処理装置(高温環境形成装置)においても露呈している。   In addition, the same problem is caused by a thermostatic device (or a constant temperature and humidity device), a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), an organic EL display (FPD: Flat Panel Display). It is also exposed in a heat treatment apparatus (high temperature environment forming apparatus) used for manufacturing the above.

そこで、本発明では、装置本体と扉体との間に設けられたガスケット(密着手段)における、所定の空間の環境から受ける影響を抑制し、その劣化の進行を抑えることが可能な高温環境形成装置を提供することを課題とする。   Therefore, in the present invention, the formation of a high-temperature environment that can suppress the influence of the gasket (contact means) provided between the apparatus main body and the door body from the environment of a predetermined space and suppress the progress of the deterioration. It is an object to provide an apparatus.

上記課題を解決するべく提供される請求項1に記載の発明は、被加熱物を載置する被加熱物載置室と、当該被加熱物載置室とその外部を連通する開口と、当該開口を開放状態及び閉鎖状態にすることが可能な扉体を有する高温環境形成装置において、被加熱物載置室と扉体との間には、前記開口を閉鎖状態にした際に、試験室側あるいは扉体側に密接する密着手段が設けられており、さらに前記開口を閉鎖した状態を基準として、密着手段の近傍には、試験室内の気体が当該密着手段側に流れ込むのを阻害する遮蔽部が設けられていることを特徴とする高温環境形成装置である。   The invention according to claim 1, which is provided to solve the above-described problem, includes a heated object placing chamber for placing an object to be heated, an opening for communicating the heated object placing chamber and the outside thereof, In a high temperature environment forming apparatus having a door capable of opening and closing an opening, a test chamber is provided between the heated object placement chamber and the door when the opening is closed. A close contact means is provided in close contact with the door or the door body side, and a shielding portion that inhibits the gas in the test chamber from flowing into the close contact means side in the vicinity of the close contact means with reference to a state in which the opening is closed. Is a high temperature environment forming apparatus.

本発明の高温環境形成装置は、被加熱物載置室と扉体との間にシール構造を形成する密着手段が設けられており、当該密着手段の近傍に遮蔽部が設けられている。そして、遮蔽部によって、被加熱物載置室内の気体が密着手段側に流れ込むのを阻害している。すなわち、被加熱物載置室内が高温雰囲気に制御されたり、あるいは低温雰囲気に制御されて、その被加熱物載置室内の気体が密着手段側に流れ込むような状況(密着手段方向に気体の流れが向いている状況)にあっても、遮蔽部によってその流れが阻害される。これにより、本発明においては、被加熱物載置室内における高温あるいは低温の気体が、密着手段に対して直接的に吹き付けられるという状況が発生しないため、密着手段における被加熱物載置室内の環境から受ける影響が抑制されて、従来のような密着手段の加速度的な劣化を抑えることが可能となる。その結果、密着手段の交換サイクルの短縮化が抑制され、高温環境形成装置の維持費増大を防止できる。   In the high-temperature environment forming apparatus of the present invention, a close contact means for forming a seal structure is provided between the heated object placement chamber and the door body, and a shielding portion is provided in the vicinity of the close contact means. And the shielding part has inhibited that the gas in a to-be-heated material mounting chamber flows into the contact | adherence means side. In other words, the situation where the heated object placement chamber is controlled to a high temperature atmosphere or the low temperature atmosphere is controlled so that the gas in the heated object placement chamber flows into the contact means side (the flow of gas toward the contact means). Even in the situation where the is facing, the flow is obstructed by the shielding part. As a result, in the present invention, there is no situation in which high-temperature or low-temperature gas in the object-to-be-heated object placement chamber is directly blown against the contact means, so the environment in the object-to-be-heated object placement chamber in the contact means Thus, it is possible to suppress the acceleration deterioration of the close contact means as in the prior art. As a result, shortening of the replacement cycle of the close contact means is suppressed, and an increase in maintenance cost of the high temperature environment forming apparatus can be prevented.

請求項2に記載の発明は、密着手段及び遮蔽部は、扉体によって開口を閉鎖した状態を基準として、当該開口の縁端に沿って環状に配されていることを特徴とする請求項1に記載の高温環境形成装置である。
なお、ここで言う「環状」には、円形だけでなく、その他の形状、例えば長方形のような円形以外の閉じた形状の概念を含む。
The invention according to claim 2 is characterized in that the close contact means and the shielding portion are arranged in a ring shape along the edge of the opening with reference to a state in which the opening is closed by the door body. The high-temperature environment forming apparatus described in 1.
The term “annular” as used herein includes not only a circular shape but also a concept of a closed shape other than a circular shape such as a rectangle.

本発明の高温環境形成装置は、密着手段が開口の縁端に沿うように配されており、さらにその密着手段と同様、遮蔽部も開口の縁端を沿うように配されているため、被加熱物載置室と扉体との間により確実なシール構造を形成しつつも、そのシール構造を形成する密着手段の劣化をより確実に防止することができる。   In the high-temperature environment forming apparatus of the present invention, the contact means is arranged along the edge of the opening, and the shielding portion is arranged along the edge of the opening as well as the contact means. While a reliable sealing structure is formed between the heated object placing chamber and the door body, it is possible to more reliably prevent deterioration of the close contact means forming the sealing structure.

請求項3に記載の発明は、扉体は、開口を閉鎖状態にした際に、その一部が開口に嵌り込む凸形状となっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の高温環境形成装置である。   According to a third aspect of the present invention, the door body has a convex shape in which a part of the door is fitted into the opening when the opening is in a closed state. It is an environment forming device.

本発明の高温環境形成装置は、扉体に凸形状を呈する部分を設け、その部分を開口に嵌り込むようにしているため、従来、被加熱物載置室側に露わになっていた密着手段を、扉体の凸状部によって、被加熱物載置室から遮蔽したような配置にできる。これにより、被加熱物載置室内の気体が、密着手段側に至り難くなる。そして、本発明では、前記したように、密着手段の近傍に遮蔽部が設けられているため、それらの相乗効果によって、密着手段が、被加熱物載置室内に流れる気体に直接的にさらされてしまうといった現象を、より効果的に防止することができる。   In the high temperature environment forming apparatus of the present invention, the door body is provided with a convex part, and the part is fitted into the opening. The convex portion of the door body can be arranged so as to be shielded from the object-to-be-heated object mounting chamber. This makes it difficult for the gas in the heated object placement chamber to reach the close contact means side. In the present invention, as described above, since the shielding portion is provided in the vicinity of the close contact means, the close contact means is directly exposed to the gas flowing in the heated object placement chamber by their synergistic effect. It is possible to more effectively prevent such a phenomenon.

請求項4に記載の発明は、扉体には、開口に嵌り込む嵌合部と、開口に嵌り込まない非嵌合部があり、当該嵌合部と開口との間には、隙間が形成されるものであり、遮蔽部は、扉体が開口を閉鎖した状態において、前記隙間に位置することを特徴とする請求項3に記載の高温環境形成装置である。   In the invention according to claim 4, the door body has a fitting portion that fits into the opening and a non-fitting portion that does not fit into the opening, and a gap is formed between the fitting portion and the opening. The high-temperature environment forming apparatus according to claim 3, wherein the shielding portion is positioned in the gap in a state where the door closes the opening.

ここで、嵌合部と開口(開口縁部)との間に形成される隙間は、扉体の開閉動作を行うため、構造上必要な隙間である。そして、この構造上の隙間は、扉体の嵌合部の大きさを、開口の大きさよりも若干小さくすることで形成される。具体的には、嵌合部は、扉体を開閉する際に、当該嵌合部の軌跡が、開口縁部に衝突しない程度の大きさに設定される。
一方、この構造上の隙間は、その延長上に密着手段が配された場合には、当該密着手段に繋がる気体の経路になり得る。
Here, the gap formed between the fitting portion and the opening (opening edge) is a structurally necessary gap in order to perform the opening / closing operation of the door body. The structural gap is formed by making the size of the fitting portion of the door body slightly smaller than the size of the opening. Specifically, when the door is opened and closed, the fitting portion is set to a size such that the locus of the fitting portion does not collide with the opening edge.
On the other hand, when the close contact means is arranged on the extension, the structural gap can be a gas path connected to the close contact means.

そこで、請求項4に記載の発明では、扉体で開口を閉鎖した状態において形成される隙間のいずれかの位置に、遮蔽板を配した構成となっている。かかる構成により、被加熱物載置室内の気体が隙間に流入することが防止されるため、より効果的に密着手段の劣化の進行を抑えることができる。
なお、前記したように、扉体と開口縁部との間に形成される隙間は、構造上必要なものであり、また扉体を開閉する際の嵌合部の軌跡に応じて形成されるものである。そのため、遮蔽板の設置位置は、当該隙間上であっても、扉体の開閉を阻害しないように配慮する必要がある。
Therefore, the invention according to claim 4 has a configuration in which a shielding plate is arranged at any position of a gap formed in a state where the opening is closed by the door body. With this configuration, the gas in the heated object placement chamber is prevented from flowing into the gap, so that the progress of deterioration of the contact means can be suppressed more effectively.
As described above, the gap formed between the door body and the opening edge is structurally necessary, and is formed according to the locus of the fitting portion when the door body is opened and closed. Is. Therefore, it is necessary to consider the installation position of the shielding plate so as not to obstruct the opening and closing of the door body even if it is on the gap.

請求項5に記載の発明は、密着手段は、複数のシール部を備えており、当該複数のシール部が、被加熱物載置室と扉体との間を多重にシールすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の高温環境形成装置である。   The invention according to claim 5 is characterized in that the close contact means includes a plurality of seal portions, and the plurality of seal portions seals the space between the object-to-be-heated object placement chamber and the door body in a multiple manner. The high-temperature environment forming apparatus according to any one of claims 1 to 4.

本発明の高温環境形成装置は、密着手段が有する複数のシール部によって、被加熱物載置室と扉体との間を多重にシールすることができるため、扉体と被加熱物載置室との間のシール性を向上させることができる。また、複数のシール部で多重のシール構造を形成し、隣接するシール部同士の間に空気層を介在させれば、被加熱物載置室内の熱が外部側に伝熱し難くなるため、装置の外装が過度に高温となったり、過度に低温となる不具合を防止できる。また、装置の外装が過度に低温となった場合は、外装表面に結露が生じたり、霜付きが生じるおそれがあるため、このような不具合も抑制することができる。   The high-temperature environment forming apparatus of the present invention can seal the space between the object-to-be-heated object mounting chamber and the door body by the plurality of seal portions of the close contact means. The sealing performance between the two can be improved. In addition, if a multiple seal structure is formed by a plurality of seal portions and an air layer is interposed between adjacent seal portions, the heat in the heated object placement chamber becomes difficult to transfer to the outside, so that the device It is possible to prevent a problem that the exterior of the battery becomes excessively hot or excessively cold. In addition, when the exterior of the apparatus becomes excessively low in temperature, condensation may occur on the exterior surface or frost formation may occur, so that such problems can be suppressed.

請求項6に記載の発明は、密着手段は、複数のシール部と、扉体によって開口を閉鎖状態にした際に、当該シール部が当接する当接部を備えており、当該当接部は、金属によって成形されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の高温環境形成装置である。   In the invention according to claim 6, the contact means includes a plurality of seal portions and an abutting portion with which the seal portion abuts when the opening is closed by the door body. The high-temperature environment forming apparatus according to claim 1, wherein the high-temperature environment forming apparatus is formed of a metal.

ここで、従来の当接部について付言しておくと、従来、シール部が当接する当接部には、耐熱性を有した樹脂が採用されていた。これは、被加熱物載置室内の熱が、当接部を伝って装置の外装等に伝熱することを防止(所謂熱切り)するためであり、この技術分野においては常識であった。ところが、近年、試料体をさらす環境を、より高温にしたり、より低温にする傾向があるため、当接部に使用される樹脂として、より高価な耐熱性樹脂を選定せざるを得なくなってきている。つまり、この種の樹脂製の当接部は、装置全体の製造コストを増大させる原因の1つとなってきている。そこで、樹脂製の当接部は、より少しでもコストを抑えるべく、歩溜まりを高められる構成となっている。具体的には、樹脂製の当接部101は、図12に示すように、4つの直線状の板体102〜105を組み合わせた構成にされている。   Here, in addition to the conventional abutting portion, conventionally, a heat-resistant resin has been employed for the abutting portion with which the seal portion abuts. This is to prevent heat in the heated object placement chamber from being transferred to the exterior of the apparatus through the contact portion (so-called heat cutting), and is common knowledge in this technical field. However, in recent years, the environment to which the sample body is exposed tends to be higher or lower, and therefore, it has been necessary to select a more expensive heat-resistant resin as the resin used for the contact portion. Yes. That is, this type of resin contact portion has become one of the causes for increasing the manufacturing cost of the entire apparatus. Therefore, the resin contact portion is configured to increase the yield in order to reduce the cost as much as possible. Specifically, as shown in FIG. 12, the resin contact portion 101 has a configuration in which four linear plates 102 to 105 are combined.

また、高温環境形成装置は、主たる部分が金属によって構成されるものであるため、当接部は、その金属に対して固定される。しかしながら、金属と樹脂は、熱伝導率が異なるだけでなく、その熱膨張率も異なる。つまり、金属と樹脂は、同じ温度環境にさらされた場合であっても、各伸び率が異なる。特に、金属と樹脂は、高温環境にさらされる程、その伸び率の差が大きくなる傾向にある。そのため、被加熱物載置室内が高温環境に制御された場合には、伸び率の違いに起因して、樹脂製の当接部が破損してしまう場合があった。   Moreover, since the main part of the high-temperature environment forming apparatus is made of metal, the contact portion is fixed to the metal. However, metals and resins not only have different thermal conductivities, but also have different thermal expansion coefficients. That is, even if it is a case where a metal and resin are exposed to the same temperature environment, each elongation rate differs. In particular, the difference in elongation between metals and resins tends to increase as they are exposed to a high temperature environment. Therefore, when the heated object placement chamber is controlled to a high temperature environment, the resin contact portion may be damaged due to the difference in elongation.

そこで、そのような不具合を解消するべく、請求項6に記載の高温環境形成装置では、金属によって成形された当接部を採用している。これにより、本発明では、従来のように、素材の伸び率の違いに起因して、当接部が破損してしまうというおそれはない。
なお、当接部に使用する金属として、例えば、当該当接部が固定される部分(固定部)と同一の金属を採用すれば、当接部と固定部の両者を、同一の熱膨張率とすることができる。
Therefore, in order to solve such a problem, the high temperature environment forming apparatus according to claim 6 employs a contact portion formed of metal. Thereby, in this invention, there is no possibility that a contact part will be damaged by the difference in the elongation rate of a raw material like the past.
In addition, as a metal used for the contact portion, for example, if the same metal as the portion (fixed portion) to which the contact portion is fixed is adopted, both the contact portion and the fixed portion have the same thermal expansion coefficient. It can be.

さらに、本発明では、当接部を金属によって成形することで、コスト削減、及び、組み立て時における作業効率の向上にも成功している。すなわち、前記したように、従来、高温環境にも耐え得る樹脂を選定せざるを得なかったため、当接部は、そもそも材料単価が高かった。それに伴い、樹脂製の当接部は、少しでも歩溜まりを高めるべく、前記したように、4部材構成にされていた。それに対して、金属(例えばステンレス鋼)によって当接部を成形すれば、材料単価を抑制することが可能となるため、歩溜まりの善し悪しに関わらず、樹脂を用いる場合よりも大幅にコストを抑えることが可能となる。また同時に、本発明によれば、歩溜まりを考慮する必要がなくなり、4部材で構成されていたものを、1部材にすることができるため、組み立て時における作業効率を向上させることができる。   Furthermore, in the present invention, the contact portion is formed of metal, thereby succeeding in cost reduction and improvement in work efficiency during assembly. That is, as described above, conventionally, it has been necessary to select a resin that can withstand a high-temperature environment. Accordingly, the resin contact portion has a four-member configuration as described above in order to increase the yield even a little. On the other hand, if the contact portion is formed of a metal (for example, stainless steel), the unit price of the material can be suppressed. Therefore, the cost can be significantly reduced as compared with the case where the resin is used regardless of whether the yield is good or bad. It becomes possible. At the same time, according to the present invention, it is not necessary to consider the yield, and what is configured with four members can be made into one member, so that work efficiency at the time of assembly can be improved.

本発明の高温環境形成装置は、被加熱物たる被試験物を所望の環境にさらすことが可能な環境試験装置であり、前記被加熱物載置室は、被試験物を載置する試験室であり、内部に所望の温度及び/又は湿度環境を作ることができ、前記開口は、試験室から被試験物を出し入れするための開口であることが推奨される。(請求項7)   The high-temperature environment forming apparatus according to the present invention is an environmental test apparatus capable of exposing a test object as an object to be heated to a desired environment, and the object to be heated mounting chamber is a test chamber for mounting the object to be tested. It is recommended that a desired temperature and / or humidity environment can be created therein, and that the opening is an opening for taking in and out the test object from the test room. (Claim 7)

本発明の高温環境形成装置は、熱処理装置であり、前記被加熱物載置室は、被加熱物たるワークを熱処理する熱処理室であり、前記開口は、熱処理室からワークを出し入れするための開口であることが推奨される。(請求項8)   The high-temperature environment forming apparatus of the present invention is a heat treatment apparatus, the object to be heated mounting chamber is a heat treatment chamber for heat treating a work as an object to be heated, and the opening is an opening for taking in and out the work from the heat treatment chamber It is recommended that (Claim 8)

本発明の高温環境形成装置は、所定の空間(試験室あるいは熱処理室)と扉体との間に設けられた密着手段の近傍に遮蔽部を設けて、当該密着手段における、前記所定の空間に形成される環境から受ける影響を抑制することを可能にしたため、密着手段の劣化の進行を抑えることが可能である。   The high-temperature environment forming apparatus of the present invention is provided with a shielding portion in the vicinity of a close contact means provided between a predetermined space (test room or heat treatment chamber) and a door body, and the predetermined space in the close contact means is provided in the predetermined space. Since it is possible to suppress the influence received from the environment to be formed, it is possible to suppress the progress of deterioration of the contact means.

本発明の実施形態に係る環境試験装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the environmental test apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図1の環境試験装置の扉体を開放した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which open | released the door body of the environmental test apparatus of FIG. 図1の環境試験装置の内部構成を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the internal structure of the environmental test apparatus of FIG. 装置本体の装置開口近傍に注目した断面図である。It is sectional drawing which paid its attention to the apparatus opening vicinity of an apparatus main body. 額縁部材を示す正面図である。It is a front view which shows a frame member. 扉体の背面側に注目した斜視図である。It is the perspective view which paid its attention to the back side of a door. 扉体を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a door body. 遮蔽部材を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows a shielding member. 扉体で装置開口を閉鎖した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which closed the apparatus opening with the door body. 遮蔽部材の変形例を示す断面図であり、(a)は遮蔽部材が扉本体に設置された状態を示し、(b)は遮蔽部材が装置本体に設置された状態を示す。It is sectional drawing which shows the modification of a shielding member, (a) shows the state in which the shielding member was installed in the door main body, (b) shows the state in which the shielding member was installed in the apparatus main body. 扉体の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of a door body. 従来の環境試験装置における樹脂製の当接部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the resin-made contact parts in the conventional environmental test apparatus.

以下に、本発明の実施形態に係る環境試験装置について説明する。
本実施形態の環境試験装置(高温環境形成装置)1は、所謂冷熱衝撃試験装置であり、電子部品や電子機器等の試料体(被加熱物)に対して、熱風や冷風を所定のサイクルで送って(冷熱衝撃試験)、当該試料体に熱ストレスを与える機能を備えた装置である。そして、本実施形態では、図1、2に示すように、その主たる構成として、直方体状の装置本体4と、その装置本体4に対して開閉自在な扉体6が備えられている。
なお、装置本体4及び扉体6は、いずれも断熱性を備えた構造となっている。
Below, the environmental test apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated.
An environmental test apparatus (high temperature environment forming apparatus) 1 according to the present embodiment is a so-called cold shock test apparatus, and applies hot air or cold air to a sample body (object to be heated) such as an electronic component or an electronic device in a predetermined cycle. It is an apparatus that has a function of sending a thermal stress to the sample body. In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, as a main configuration, a rectangular parallelepiped device body 4 and a door body 6 that can be opened and closed with respect to the device body 4 are provided.
In addition, both the apparatus main body 4 and the door body 6 have a structure provided with heat insulation.

装置本体4は、図3に示すように、その内部に、試料体が載置される試験室(被加熱物載置室)5と、その試験室5に熱風を送ることが可能な高温室2と、試験室5に冷風を送ることが可能な低温室3とを備えている。そして、本実施形態では、試験室5を基準として、上部に高温室2が配され、下部に低温室3が配されている。また、試験室5と高温室2の間、及び、試験室5と低温室3の間には、互いに連通した通気口20が設けられている。そして、それぞれの通気口20には、室間の気体の往来を制限するダンパー21が設けられている。   As shown in FIG. 3, the apparatus main body 4 has a test chamber (a heated object mounting chamber) 5 in which a sample body is placed and a high-temperature chamber capable of sending hot air to the test chamber 5. 2 and a low temperature chamber 3 capable of sending cold air to the test chamber 5. In the present embodiment, the high temperature chamber 2 is disposed at the upper portion and the low temperature chamber 3 is disposed at the lower portion with the test chamber 5 as a reference. In addition, vents 20 communicating with each other are provided between the test chamber 5 and the high temperature chamber 2 and between the test chamber 5 and the low temperature chamber 3. Each vent 20 is provided with a damper 21 that restricts the passage of gas between the chambers.

試験室(被加熱物載置室)5は、所望の環境が形成される部分であり、試料体が載置される複数(本実施形態では2つ)の載置棚24と、試験室5内の雰囲気温度を検知する試験室側温度センサ34を有する。   The test chamber (object-to-be-heated object mounting chamber) 5 is a portion where a desired environment is formed, and a plurality of (two in the present embodiment) mounting shelves 24 on which the sample body is mounted, and the test chamber 5. It has a test chamber side temperature sensor 34 for detecting the ambient temperature inside.

高温室2は、当該室内の気体を予め設定した高温側の設定温度まで加熱し、その加熱した気体を試験室5との間で循環させる機能を備えた部分であり、主たる構成として、気体を加熱する加熱ヒータ22と、気体を循環させる高温側送風機23と、高温室2内の雰囲気温度を検知する高温側温度センサ25を有する。   The high greenhouse 2 is a part having a function of heating the gas in the room to a preset temperature on the high temperature side, and circulating the heated gas between the test room 5 and the main structure. A heater 22 for heating, a high-temperature side fan 23 for circulating gas, and a high-temperature side temperature sensor 25 for detecting the atmospheric temperature in the high-temperature chamber 2 are provided.

低温室3は、室内の気体を予め設定した低温側の設定温度まで冷却し、その冷却した気体を試験室5との間で循環させる機能を備えた部分であり、主たる構成として、気体を冷却する冷却器26と、気体を循環させる低温側送風機27と、冷却した気体の温度を微調整する調整用ヒータ28と、低温室3内の雰囲気温度を検知する低温側温度センサ30を有する。
なお、冷却器26は、冷凍サイクルを備えた公知の冷凍機29の一部であり、具体的には蒸発器である。
The low greenhouse 3 is a part having a function of cooling the indoor gas to a preset temperature on the low temperature side and circulating the cooled gas between the test chamber 5 and the main structure. A cooler 26 that circulates the gas, a low-temperature blower 27 that circulates the gas, an adjustment heater 28 that finely adjusts the temperature of the cooled gas, and a low-temperature-side temperature sensor 30 that detects the ambient temperature in the low-temperature chamber 3.
The cooler 26 is a part of a known refrigerator 29 having a refrigeration cycle, and is specifically an evaporator.

また、装置本体4には、図2に示すように、その正面側に、試験室5に試料体を出し入れするための装置開口11が設けられている。この装置開口11は、試験室5の内外を連通する位置に配されており、正面視した形状が横長のほぼ長方形状(装置本体4の幅方向の長さが長い長方形状)を呈している。そして、この装置開口11は、その大きさが、ほぼ直方体状の試験室5の一面(正面側の一面)と同程度の大きさとなっている。
なお、装置開口11の開口縁は、ヘミング曲げ(あざ折り)加工が施されており、その部分は装置本体4の外部方向に張り出した姿勢となっている。
Further, as shown in FIG. 2, the apparatus main body 4 is provided with an apparatus opening 11 for taking a sample body into and out of the test chamber 5 on the front side thereof. The device opening 11 is disposed at a position where the inside and the outside of the test chamber 5 communicate with each other, and the shape when viewed from the front is a substantially rectangular shape (a rectangular shape whose length in the width direction of the device body 4 is long). . The size of the device opening 11 is approximately the same as that of one surface (one surface on the front side) of the substantially rectangular parallelepiped test chamber 5.
Note that the opening edge of the device opening 11 is subjected to hemming bending (brushed fold) processing, and the portion protrudes outward from the device main body 4.

また、装置本体4には、図2、4に示すように、装置開口11の開口縁に沿った部分に、後述するシール部が当接する額縁部材(当接部)12が設けられている。この額縁部材(密着手段の一部)12は、所定の金属(例えばステンレス鋼)によって成形された枠状の板体である。より具体的には、額縁部材12は、図5に示すように、長方形状の1枚の金属板の一部を、部材厚方向に打ち抜く加工が施されており、平面状の枠状部31と、打ち抜かれた部分たる額縁開口32を有する。
なお、本実施形態では、額縁開口32が、装置開口11とほぼ同一の大きさ及び形状となっている。
Further, as shown in FIGS. 2 and 4, the apparatus main body 4 is provided with a frame member (contact part) 12 on which a seal part to be described later comes into contact with a part along the opening edge of the apparatus opening 11. The frame member (part of the close contact means) 12 is a frame-like plate body formed of a predetermined metal (for example, stainless steel). More specifically, as shown in FIG. 5, the frame member 12 is processed by punching a part of one rectangular metal plate in the member thickness direction, and the planar frame-shaped portion 31. And a frame opening 32 which is a punched portion.
In the present embodiment, the frame opening 32 has substantially the same size and shape as the device opening 11.

一方、扉体6は、図1、2に示すように、装置本体4に対して、ヒンジ40を介して取り付けられた開き戸型の扉であり、主たる構成として、図6に示すように、扉本体13と、シール部(密着手段の一部)15と、遮蔽部材17とを備えている。
なお、以下においては、特に断りがない限り、装置本体4を基準とした方向を用いる。
On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 2, the door body 6 is a hinged door attached to the apparatus main body 4 via a hinge 40, and the main structure is as shown in FIG. 6. A main body 13, a seal part (a part of the close contact means) 15, and a shielding member 17 are provided.
In the following, the direction based on the apparatus main body 4 is used unless otherwise specified.

扉本体13は、外観が一方向に突出した形状であり、図6、7に示すように、直方体形状の凸状部35を備えた構成となっている。具体的には、本実施形態では、扉本体13の正面側に基部(非嵌合部)36を備え、その基部36の背面側に、装置開口11に嵌り込む凸状部(嵌合部)35が設けられた構成となっている。より具体的には、扉本体13は、図7に示すように、その断面形状が段状となっており、基部36の背面側の縁端側(以下、基部縁端部43という)を露出させた状態で、凸状部35を扉本体13の厚み方向(正面側から背面側に向けた方向)に重ね合わせたような構造となっている。つまり、扉本体13は、中央側(凸状部35が位置する部分)が縁端側(基部縁端部43が位置する部分)よりも厚みが増した構造である。   The door main body 13 has a shape whose external appearance protrudes in one direction, and has a rectangular parallelepiped convex portion 35 as shown in FIGS. Specifically, in this embodiment, a base portion (non-fitting portion) 36 is provided on the front side of the door body 13, and a convex portion (fitting portion) that fits into the device opening 11 on the back side of the base portion 36. 35 is provided. More specifically, as shown in FIG. 7, the door main body 13 has a stepped cross-sectional shape and exposes an edge side on the back side of the base portion 36 (hereinafter referred to as a base edge portion 43). In this state, the convex portion 35 is superposed in the thickness direction of the door body 13 (the direction from the front side to the back side). That is, the door body 13 has a structure in which the thickness on the center side (the portion where the convex portion 35 is located) is increased compared to the edge side (the portion where the base edge portion 43 is located).

また、凸状部35は、基部36からの突端側の面を形成する背面壁41と、その背面壁41の各辺(4つの辺のそれぞれ)から正面側に張り出した側面壁42a〜42dとで形成されている。そして、凸状部35は、図9に示すように、装置開口11に嵌め込んだ状態において、その周囲であって、凸状部35の側面壁42a〜42dと、装置開口11の縁部との間にほぼ均等な隙間sが形成される大きさに設計されている。
一方、基部36は、装置本体4の正面側に露出する部分であり、扉体6の開閉用のレバー45(図1)が設けられている。
The convex portion 35 includes a back wall 41 that forms a protruding side surface from the base portion 36, and side walls 42 a to 42 d that protrude from the sides (each of the four sides) of the back wall 41 to the front side. It is formed with. Then, as shown in FIG. 9, the convex portion 35 is a periphery of the convex portion 35 in a state where the convex portion 35 is fitted into the device opening 11, and the side walls 42 a to 42 d of the convex portion 35 and the edge portion of the device opening 11. It is designed in such a size that a substantially uniform gap s is formed between the two.
On the other hand, the base portion 36 is a portion exposed to the front side of the apparatus main body 4 and is provided with a lever 45 (FIG. 1) for opening and closing the door body 6.

シール部(密着手段の一部)15は、所謂ガスケットであり、扉本体13に設けられて、扉本体13と装置本体4との間のシール性を向上させる部分である。具体的には、シール部15は、図6に示すように、扉本体13の基部縁端部43に取り付けられ、扉体6で装置開口11を閉鎖した際に、装置本体4の額縁部材12の枠状部31に密接する部分である。
なお、本実施形態では、このシール部15が扉本体13に設けられた構成を示したが、装置本体4側に設けても構わない。
The seal portion (a part of the close contact means) 15 is a so-called gasket, and is a portion that is provided on the door main body 13 and improves the sealing performance between the door main body 13 and the apparatus main body 4. Specifically, as shown in FIG. 6, the seal portion 15 is attached to the base edge portion 43 of the door body 13, and when the device opening 11 is closed by the door body 6, the frame member 12 of the device body 4. This is a portion in close contact with the frame-shaped portion 31.
In addition, in this embodiment, although the structure which provided this seal | sticker part 15 in the door main body 13 was shown, you may provide in the apparatus main body 4 side.

そして、本実施形態では、シール部15が、2つのシール形成部材37、38により構成されている。このシール形成部材37、38はいずれも、可撓性を有した長尺状の部材であり、図6、7に示すように、一方のシール形成部材(以下、内側シールという)37が、凸状部35に近接した位置で、その周囲を囲繞するように環状を呈する状態で固定され、さらに他方のシール形成部材(以下、外側シールという)38が、前記内側シール37よりも外周側の位置で、環状を呈する状態で固定される。すなわち、シール部15は、2つの内側シール37及び外側シール38によって2重のシール構造を形成し、それぞれを一定距離離反した配置にしている。
なお、本実施形態では、内側シール37、外側シール38のいずれにも、シリコン製のものを採用している。
In the present embodiment, the seal portion 15 is configured by two seal forming members 37 and 38. Each of the seal forming members 37 and 38 is a long and flexible member. As shown in FIGS. 6 and 7, one seal forming member (hereinafter referred to as an inner seal) 37 is convex. At a position close to the shape portion 35, it is fixed in an annular shape so as to surround the periphery thereof, and the other seal forming member (hereinafter referred to as an outer seal) 38 is positioned on the outer peripheral side of the inner seal 37. And fixed in a ring-like state. That is, the seal portion 15 forms a double seal structure by the two inner seals 37 and the outer seals 38, and is arranged so as to be separated from each other by a certain distance.
In the present embodiment, both the inner seal 37 and the outer seal 38 are made of silicon.

遮蔽部材17は、扉本体13に設けられて、試験室5内の気体が、扉本体13と装置開口11の縁部との間に形成された隙間sに流入するのを抑制するものである。一方で、遮蔽部材17は、扉本体13の装置本体4に対する開閉動作を阻害し得るものともなり得るため、扉本体13が装置本体4に対して開閉可能な範囲で、且つ、可能な限り隙間sを遮蔽するように設置することが好ましい。そこで、本実施形態では、遮蔽部材17が、図6に示すように、扉本体13の凸状部35に取り付けられ、扉体6で装置開口11を閉鎖した際に、図9に示すように、前記隙間sの開口面積の概ね50%以上を遮蔽、より好ましくは前記隙間sの開口面積の60〜80%を遮蔽するようにして設置されている。   The shielding member 17 is provided in the door main body 13 and suppresses the gas in the test chamber 5 from flowing into the gap s formed between the door main body 13 and the edge of the device opening 11. . On the other hand, since the shielding member 17 can also block the opening / closing operation of the door main body 13 with respect to the apparatus main body 4, the door main body 13 can be opened / closed with respect to the apparatus main body 4 and the gap is as much as possible. It is preferable to install so as to shield s. Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 9, when the shielding member 17 is attached to the convex portion 35 of the door body 13 and the device opening 11 is closed by the door body 6 as shown in FIG. 6. It is installed so as to shield approximately 50% or more of the opening area of the gap s, and more preferably 60 to 80% of the opening area of the gap s.

そして、本実施形態では、この遮蔽部材17が、図8に示す「L」字断面を呈した長尺状のL字金具45によって構成されている。すなわち、遮蔽部材17は、L字金具45の一方の面(固定面p)を側面壁42a〜42dに固定しつつ、他方の面(遮蔽面q)で隙間sを閉塞する。より詳細には、遮蔽部材17は、4つのL字金具45a〜45dを有し、当該各L字金具45a〜45dを、凸状部35の側面壁42a〜42dを囲むように配して固定される。つまり、遮蔽部材17は、4つのL字金具45a〜45dを凸状部35に固定して形成される枠構造体である。   And in this embodiment, this shielding member 17 is comprised by the elongate L-shaped metal fitting 45 which exhibited the "L" -shaped cross section shown in FIG. That is, the shielding member 17 closes the gap s with the other surface (shielding surface q) while fixing one surface (fixed surface p) of the L-shaped metal fitting 45 to the side walls 42a to 42d. More specifically, the shielding member 17 has four L-shaped brackets 45 a to 45 d, and the L-shaped brackets 45 a to 45 d are arranged and fixed so as to surround the side walls 42 a to 42 d of the convex portion 35. Is done. That is, the shielding member 17 is a frame structure formed by fixing the four L-shaped metal fittings 45 a to 45 d to the convex portion 35.

次に、本実施形態の環境試験装置1の環境試験時における動作について説明する。
なお、以下においては、高温さらし試験、低温さらし試験の順番で一連の試験サイクルが、所定回数繰り返し実施される冷熱衝撃試験(環境試験)について説明する。
Next, the operation | movement at the time of the environmental test of the environmental test apparatus 1 of this embodiment is demonstrated.
In the following description, a thermal shock test (environmental test) in which a series of test cycles are repeated a predetermined number of times in the order of a high temperature exposure test and a low temperature exposure test will be described.

本実施形態の環境試験装置1は、冷熱衝撃試験が開始されると、まず1サイクル目の高温さらし試験を開始する。すなわち、環境試験装置1では、ダンパ21を閉鎖した状態で、高温室2内を予め設定された目標温度まで加熱する。その後、高温室2内の雰囲気温度が、目標温度に到達すれば、高温室2と試験室5との間のダンパ21を開放して、熱風を高温室2と試験室5との間で循環させる。これにより、試験室5内には、高温室2から送り込まれる高温の気体によって気流が発生する。こうして、試験室5内が急激に加熱され、試料体に高温の熱衝撃が与えられる。そして、この高温さらし試験は、予め設定された所定時間行われる。   When the thermal shock test is started, the environmental test apparatus 1 of the present embodiment first starts the first cycle high-temperature exposure test. That is, in the environmental test apparatus 1, the inside of the high temperature chamber 2 is heated to a preset target temperature with the damper 21 closed. Thereafter, when the atmospheric temperature in the high temperature chamber 2 reaches the target temperature, the damper 21 between the high temperature chamber 2 and the test chamber 5 is opened, and hot air is circulated between the high temperature chamber 2 and the test chamber 5. Let As a result, an air flow is generated in the test chamber 5 by the high-temperature gas sent from the high-temperature chamber 2. Thus, the inside of the test chamber 5 is rapidly heated, and a high temperature thermal shock is given to the sample body. The high temperature exposure test is performed for a predetermined time set in advance.

高温さらし試験が開始されてから所定時間が経過すると、高温室2と試験室5との間のダンパ21を閉鎖して高温さらし試験を終了し、同サイクルの低温さらし試験を開始する。
ここで、低温さらし試験を実行する場合、当該試験動作を開始する以前に、低温室3内を予め冷却しておく予冷動作が実施される。すなわち、前記高温さらし試験の開始と同時、あるいは、タイミングをずらして、低温室3内を予め設定された目標温度まで冷却する。そして、このようにして低温室3内を冷却した状態で、高温さらし試験の終了を待機する。
すなわち、高温さらし試験が終了して、低温さらし試験に移行すれば、低温室3と試験室5との間のダンパ21を開放して、低温室3内に生成された冷風を低温室3と試験室5との間で循環させる。これにより、試験室5内には、低温室3から送り込まれる低温の気体によって気流が発生する。こうして、試験室5内が急激に冷却され、試料体に低温の熱衝撃が与えられる。そして、この低温さらし試験は、予め設定された所定時間行われる。
When a predetermined time elapses after the high temperature exposure test is started, the damper 21 between the high temperature chamber 2 and the test chamber 5 is closed to end the high temperature exposure test, and the low temperature exposure test of the same cycle is started.
Here, when the low-temperature exposure test is executed, a pre-cooling operation for cooling the inside of the low-temperature chamber 3 in advance is performed before the test operation is started. That is, the inside of the low temperature chamber 3 is cooled to a preset target temperature simultaneously with the start of the high temperature exposure test or at a different timing. And in the state which cooled the inside of the low temperature chamber 3 in this way, completion | finish of a high temperature exposure test is waited.
That is, when the high temperature exposure test is completed and the low temperature exposure test is started, the damper 21 between the low temperature chamber 3 and the test chamber 5 is opened, and the cold air generated in the low temperature chamber 3 is transferred to the low temperature chamber 3. Circulate with test chamber 5. As a result, an air flow is generated in the test chamber 5 by the low-temperature gas fed from the low-temperature chamber 3. Thus, the inside of the test chamber 5 is rapidly cooled, and a low temperature thermal shock is given to the sample body. This low temperature exposure test is performed for a predetermined time set in advance.

このような流れで、1サイクル目の低温さらし試験が終了すると、次サイクルに突入し、前記同様に、高温さらし試験と低温さらし試験が実施される。そして、この冷熱衝撃試験は、予め設定された所定回数のサイクルに至るまで繰り返し行われる。   When the low-temperature exposure test of the first cycle is completed in such a flow, the next cycle is entered, and the high-temperature exposure test and the low-temperature exposure test are performed as described above. The thermal shock test is repeated until a predetermined number of cycles set in advance is reached.

次に、本実施形態の環境試験装置1の特徴的機能について説明する。
先にも説明したように、環境試験装置において、試験室内に一定の気密性を維持するためには、装置本体と扉体とのシール性が重要である。そのため、従来より、環境試験装置は、装置本体と扉体との間にガスケット(シール部)を設けて、試験室内の気密性を確保している。一方で、このガスケットは、一部が試験室内に露出するため、環境試験が実施されると、試験室内に形成される試験環境に直接的にさらされ、加速度的に劣化してしまうという問題を抱えていた。
Next, characteristic functions of the environmental test apparatus 1 of the present embodiment will be described.
As described above, in the environmental test apparatus, in order to maintain a certain airtightness in the test chamber, the sealability between the apparatus main body and the door body is important. Therefore, conventionally, the environmental test apparatus has provided a gasket (seal part) between the apparatus main body and the door body to ensure airtightness in the test chamber. On the other hand, since this gasket is partially exposed to the test chamber, when an environmental test is performed, the gasket is directly exposed to the test environment formed in the test chamber and deteriorates at an accelerated rate. I had it.

そこで、本実施形態では、シール部15が試験室5の環境に直接的にさらされないようにするべく、前記したように、扉本体13に遮蔽部材17が設けられている。また、本実施形態では、同様の観点から、扉本体13に凸状部35が設けられている。すなわち、本実施形態では、遮蔽部材17と凸状部35の双方によって、シール部15を試験室5における試験環境が形成される領域から遮蔽する機能(遮蔽機能)が付与されている。
これについて以下に詳述する。
Therefore, in the present embodiment, as described above, the shielding member 17 is provided on the door body 13 so that the seal portion 15 is not directly exposed to the environment of the test chamber 5. Moreover, in this embodiment, the convex part 35 is provided in the door main body 13 from the same viewpoint. That is, in this embodiment, the function (shielding function) which shields the seal part 15 from the area | region where the test environment in the test chamber 5 is formed by both the shielding member 17 and the convex-shaped part 35 is provided.
This will be described in detail below.

環境試験装置1は、前記したように、環境試験たる冷熱衝撃試験を実施する機能を有する。そして、冷熱衝撃試験を実施する際には、図9に示すように、扉体6が装置本体4の装置開口11を閉鎖した状態となっている。この装置開口11を閉鎖した状態においては、扉本体13の凸状部35が、装置本体4の装置開口11内に挿通されている。つまり、凸状部35が装置開口11に挿通されることで、凸状部35の側面壁42a〜42dが、装置本体11の縁部に対向した配置となる。そして、対向した配置の凸状部35と装置開口11の縁部との間に、所定の大きさの隙間sが形成されると共に、遮蔽部材17が配される。そしてこのとき、遮蔽部材17は、遮蔽面qが隙間sの大半を閉塞するような姿勢となっている。   As described above, the environmental test apparatus 1 has a function of performing a thermal shock test as an environmental test. And when implementing a thermal shock test, as shown in FIG. 9, the door body 6 is the state which closed the apparatus opening 11 of the apparatus main body 4. As shown in FIG. In a state where the device opening 11 is closed, the convex portion 35 of the door body 13 is inserted into the device opening 11 of the device body 4. That is, when the convex portion 35 is inserted into the device opening 11, the side walls 42 a to 42 d of the convex portion 35 are arranged to face the edge of the device main body 11. A gap s of a predetermined size is formed between the convex portions 35 arranged in opposition and the edge of the device opening 11, and the shielding member 17 is disposed. At this time, the shielding member 17 is in such a posture that the shielding surface q closes most of the gap s.

一方、扉本体13の基部36側は、装置本体4の外側であって装置開口11から逸脱した位置に配される。そして、その基部36の基部縁端部43に設けられたシール部15が、装置本体4に設けられた額縁部材12の枠状部31に密接した状態となる。またこのとき、基部縁端部43におけるシール部15以外の部分であって、試験室5側(内側)の部分には、額縁部材12との間に所定の大きさの隙間tが形成される。そして、この基部36側の隙間tは、前記した凸状部35側の隙間sと連通する。つまり、凸状部35側の隙間sの延長上に、シール部15が位置する。   On the other hand, the base 36 side of the door main body 13 is disposed outside the apparatus main body 4 and at a position deviating from the apparatus opening 11. Then, the seal portion 15 provided at the base edge portion 43 of the base portion 36 is in close contact with the frame-like portion 31 of the frame member 12 provided in the apparatus main body 4. Further, at this time, a gap t of a predetermined size is formed between the base edge portion 43 and the frame member 12 in a portion other than the seal portion 15 on the test chamber 5 side (inner side). . The gap t on the base portion 36 side communicates with the gap s on the convex portion 35 side. That is, the seal portion 15 is positioned on the extension of the gap s on the convex portion 35 side.

したがって、本実施形態では、扉本体13の背面側に、凸状部35を設けることで、シール部15を、隙間sの延長上に位置するようにしている。つまり、本実施形態では、従来のようにシール部15が試験室5側に露わになっておらず、凸状部35によって、シール部15が試験室5から概ね隔離された状態となっている。一方で、シール部15は、隙間sを介して、試験室5と連通した位置に配されているため、試験室5内で発生する気流によって、隙間sに試験室5内の加熱あるいは冷却された気体が流入することが考えられるが、前記したように、隙間sには、気体の流入を遮る遮蔽部材17が設けられている。   Therefore, in the present embodiment, the seal portion 15 is positioned on the extension of the gap s by providing the convex portion 35 on the back side of the door body 13. That is, in the present embodiment, the seal portion 15 is not exposed to the test chamber 5 side as in the prior art, and the seal portion 15 is substantially isolated from the test chamber 5 by the convex portion 35. Yes. On the other hand, since the seal portion 15 is disposed at a position communicating with the test chamber 5 via the gap s, the test chamber 5 is heated or cooled in the gap s by the air flow generated in the test chamber 5. However, as described above, the shielding member 17 that blocks the inflow of gas is provided in the gap s.

このように、本実施形態では、シール部15を隙間sの延長上に配し、さらにその隙間sに遮蔽部材17を設けたため、試験室5内における試験環境から受ける影響を大幅に減縮することができる。その結果、本実施形態では、シール部15が、試験室5内の高温又は低温の気体に直接的にさらされることが抑制されるため、当該シール部15が加速度的に劣化してしまうことが抑制される。   Thus, in this embodiment, since the seal portion 15 is arranged on the extension of the gap s and the shielding member 17 is provided in the gap s, the influence of the test environment in the test chamber 5 is greatly reduced. Can do. As a result, in this embodiment, since the seal part 15 is suppressed from being directly exposed to the high-temperature or low-temperature gas in the test chamber 5, the seal part 15 may be accelerated and deteriorated. It is suppressed.

また、本実施形態では、従来、熱切り機能を果たしていた樹脂製の額縁部材に替えて、金属製の額縁部材12を採用したため、伝熱性の向上により、装置本体4の外装が過度に高温又は低温となってしまう懸念があるが、2重のシール構造を形成するシール部15を設けることで、そのような懸念を払拭している。すなわち、シール部15は、2つのシール形成部材37、38を有し、それらを一定距離離間するように並列に並べている。そのため、シール部15が、額縁部材12に密接した状態においては、図9に示すように、シール形成部材37、38間に空気層vが形成される。つまり、この空気層vが、熱切り機能を果たす。また前記した、扉体6の凸状部35と、遮蔽部材17の作用も働き、装置本体4に起き得る外装の過剰な温度変化を、より効果的に抑えることができる。
したがって、本実施形態では、金属製の額縁部材12を用いても、装置本体4の外装が過度に高温又は低温となってしまうおそれはない。
Moreover, in this embodiment, since the metal frame member 12 was adopted instead of the resin frame member that has conventionally performed the heat cutting function, the exterior of the apparatus main body 4 is excessively heated or increased due to the improvement in heat conductivity. Although there is a concern that the temperature becomes low, such a concern is eliminated by providing the seal portion 15 that forms a double seal structure. That is, the seal portion 15 includes two seal forming members 37 and 38, which are arranged in parallel so as to be separated from each other by a predetermined distance. Therefore, when the seal portion 15 is in close contact with the frame member 12, an air layer v is formed between the seal forming members 37 and 38 as shown in FIG. That is, the air layer v performs a heat cutting function. Moreover, the above-mentioned convex part 35 of the door body 6 and the action of the shielding member 17 also work, and an excessive temperature change of the exterior that can occur in the apparatus main body 4 can be suppressed more effectively.
Therefore, in this embodiment, even if the metal frame member 12 is used, there is no possibility that the exterior of the apparatus body 4 becomes excessively hot or cold.

そして、本実施形態の効果を実証するため、以下に示す実験を行った。
本実施形態の環境試験装置(実施例)1と、従来の環境試験装置(比較例)を、同一の試験条件(設定する目標温度等)の下、前記した環境試験を実施し、高温さらし試験時における内側シール37と外側シール38における測定温度を比較した。
And in order to demonstrate the effect of this embodiment, the experiment shown below was conducted.
The environmental test apparatus (example) 1 of the present embodiment and the conventional environmental test apparatus (comparative example) are subjected to the above-described environmental test under the same test conditions (target temperature to be set, etc.), and the high temperature exposure test The measured temperatures of the inner seal 37 and the outer seal 38 at the time were compared.

実施した試験の試験条件は、以下の通りである。
高温さらし試験を4時間連続的に実施。
高温さらし試験の設定温度: 摂氏300度
高温さらし試験の実施時間: 4時間
The test conditions of the conducted tests are as follows.
The high temperature exposure test was conducted continuously for 4 hours.
High temperature exposure test set temperature: 300 degrees Celsius High temperature exposure test duration: 4 hours

内側シール37の測定温度は、実施例では、比較例に対し、40度程度下がり、16%程度の温度降下が見られた。また、外側シール38については、比較例と実施例の双方で概ね同程度であった。これにより、樹脂に比べると、熱伝導率が高い金属(例えばステンレス鋼)を、額縁部材12の材料として使用することが可能となった。   In the example, the measured temperature of the inner seal 37 was about 40 degrees lower than the comparative example, and a temperature drop of about 16% was observed. Further, the outer seal 38 was substantially the same in both the comparative example and the example. Thereby, compared with resin, it became possible to use the metal (for example, stainless steel) with high heat conductivity as a material of the frame member 12. FIG.

上記実施形態では、装置本体4と扉本体13との間に形成される隙間s内に、断面形状がL字型を呈した遮蔽部材17を設けて、その隙間sを概ね遮蔽する構成を示したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、遮蔽部材を隙間s内に設けることなく、当該隙間sを概ね遮蔽できる他の構成であっても構わない。例えば、図10(a)に示すように、平板状の遮蔽部材51を、扉本体13の背面側(試験室5側)の突端面、つまり背面壁41に設けて、隙間sを概ね遮蔽するものや、図10(b)に示すように、平板状の遮蔽部材51を、装置本体4の内側であって、装置開口11よりも内側(試験室5側)寄りの位置に設けて、隙間sを概ね遮蔽するものが挙げられる。   In the above embodiment, a configuration is shown in which a shielding member 17 having an L-shaped cross section is provided in a gap s formed between the apparatus main body 4 and the door main body 13 and the gap s is generally shielded. However, the present invention is not limited to this. That is, another configuration that can substantially shield the gap s without providing the shielding member in the gap s may be used. For example, as shown in FIG. 10A, a flat shield member 51 is provided on the rear end side of the door body 13 (the test chamber 5 side), that is, on the rear wall 41 to substantially shield the gap s. As shown in FIG. 10B, a flat shielding member 51 is provided at a position on the inner side of the apparatus main body 4 and closer to the inner side (test chamber 5 side) than the apparatus opening 11. There are those that generally shield s.

上記実施形態では、扉本体13に凸状部35を設けて、装置開口11に扉本体13を嵌り込むような構成を示したが、本発明はこれに限定されず、凸状部35を備えない扉本体を採用した構成であっても構わない。ただし、この構成を採用する場合は、図11に示すように、扉本体50と装置開口11との間に、隙間sが形成されることはないため、遮蔽部材17は扉本体13の基部36に相当するところに設ける必要がある。   In the said embodiment, although the convex part 35 was provided in the door main body 13 and the structure which fits the door main body 13 in the apparatus opening 11 was shown, this invention is not limited to this, The convex part 35 is provided. There may be a configuration in which a door body is not used. However, when this configuration is adopted, as shown in FIG. 11, the gap s is not formed between the door main body 50 and the apparatus opening 11, so that the shielding member 17 is the base 36 of the door main body 13. It is necessary to provide in the place corresponding to.

また、上記実施形態では、遮蔽部材17を、4部材構造にした構成を示したが、本発明はこれに限定されず、その4部材が予め一体成形されたものであっても構わない。   Moreover, in the said embodiment, although the structure which made the shielding member 17 the 4 member structure was shown, this invention is not limited to this, The 4 members may be integrally molded previously.

上記実施形態では、2つのシール形成部材37、38によって、2重のシール構造を形成したシール部15を示したが、本発明はこれに限定されず、1重又は3重以上のシール構造を形成したシール部を採用しても構わない。   In the above-described embodiment, the seal portion 15 in which the double seal structure is formed by the two seal forming members 37 and 38 is shown. However, the present invention is not limited to this, and the seal structure having a single layer or a triple layer or more is used. You may employ | adopt the formed seal part.

上記実施形態では、遮蔽部材17を扉本体13に設けた構成を示したが、本発明はこれに限定されず、装置本体4に設けた構成であっても構わない。すなわち、遮蔽部材17を、装置開口11の縁部に設けた構成である。   In the said embodiment, although the structure which provided the shielding member 17 in the door main body 13 was shown, this invention is not limited to this, The structure provided in the apparatus main body 4 may be sufficient. That is, the shielding member 17 is provided at the edge of the device opening 11.

上記実施形態では、装置本体4において、長方形状を呈した装置開口11を備えた構成を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、円形や正方形、あるいは、その他の多角形等の形状の開口であっても構わない。また、それに伴って、シール部15の形状を装置開口11の形状に合わせることが好ましい。   In the said embodiment, although the structure provided with the apparatus opening 11 which exhibited the rectangular shape in the apparatus main body 4 was shown, this invention is not limited to this, For example, circular, square, other polygons, etc. It may be an opening having a shape. Accordingly, it is preferable to match the shape of the seal portion 15 to the shape of the device opening 11.

上記実施形態では、高温環境形成装置として環境試験装置1を例に説明したが、本発明はこれに限定されず、高温環境形成装置が、液晶ディスプレイ等のワーク(被加熱物)を熱処理する熱処理装置であっても構わない。すなわち、一般的に、熱処理装置は、ワークを熱処理するための熱処理室(被加熱物載置室)を有し、当該熱処理室を所定の温度環境に調整するため、装置本体と扉体との間には、環境試験装置と同様の構造が形成される。そのため、この熱処理装置に、前記した実施形態と同様の構成を付与しても、同様の作用効果を期待することができる。
また同様に、高温環境形成装置を、冷熱衝撃試験を目的とした装置ではなく、温度サイクル試験装置や、恒温装置あるいは恒温恒湿装置等の他の環境試験装置としても構わない。
In the above embodiment, the environment test apparatus 1 has been described as an example of the high temperature environment forming apparatus. It may be a device. That is, in general, a heat treatment apparatus has a heat treatment chamber (object to be heated) for heat treating a workpiece, and the apparatus main body and the door body are arranged to adjust the heat treatment chamber to a predetermined temperature environment. In the meantime, the same structure as the environmental test apparatus is formed. Therefore, even if this heat treatment apparatus is provided with the same configuration as that of the above-described embodiment, the same effect can be expected.
Similarly, the high-temperature environment forming device may not be a device for the purpose of the thermal shock test, but may be another environmental test device such as a temperature cycle test device, a constant temperature device or a constant temperature and humidity device.

1 環境試験装置(高温環境形成装置)
2 高温室
3 低温室
4 装置本体
5 試験室
6 扉体
11 装置開口
12 額縁部材(当接部、密着手段)
13 扉本体
15 シール部(密着手段)
17 遮蔽部材
37 内側シール(シール形成部材)
38 外側シール(シール形成部材)
40 ヒンジ
s 隙間
1 Environmental test equipment (high temperature environment forming equipment)
2 High greenhouse 3 Low greenhouse 4 Device body 5 Test room 6 Door body 11 Device opening 12 Frame member (contact part, contact means)
13 Door body 15 Sealing part (contacting means)
17 Shielding member 37 Inner seal (seal forming member)
38 Outer seal (seal forming member)
40 Hinge s Clearance

Claims (8)

被加熱物を載置する被加熱物載置室と、当該被加熱物載置室とその外部を連通する開口と、当該開口を開放状態及び閉鎖状態にすることが可能な扉体を有する高温環境形成装置において、
被加熱物載置室と扉体との間には、前記開口を閉鎖状態にした際に、試験室側あるいは扉体側に密接する密着手段が設けられており、さらに前記開口を閉鎖した状態を基準として、密着手段の近傍には、試験室内の気体が当該密着手段側に流れ込むのを阻害する遮蔽部が設けられていることを特徴とする高温環境形成装置。
A high temperature having a heated object placement chamber for placing an article to be heated, an opening communicating the heated object placement chamber and the outside thereof, and a door capable of opening and closing the opening. In environment forming equipment,
When the opening is in a closed state, a close contact means is provided between the object-to-be-heated object placement chamber and the door body, and the opening is closed. As a reference, a high-temperature environment forming apparatus characterized in that a shielding portion is provided in the vicinity of the close contact means to prevent the gas in the test chamber from flowing into the close contact means.
密着手段及び遮蔽部は、扉体によって開口を閉鎖した状態を基準として、当該開口の縁端に沿って環状に配されていることを特徴とする請求項1に記載の高温環境形成装置。   The high-temperature environment forming apparatus according to claim 1, wherein the close contact means and the shielding portion are annularly arranged along an edge of the opening with reference to a state in which the opening is closed by the door body. 扉体は、開口を閉鎖状態にした際に、その一部が開口に嵌り込む凸形状となっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の高温環境形成装置。   3. The high-temperature environment forming apparatus according to claim 1, wherein when the opening is in a closed state, a part of the door has a convex shape that fits into the opening. 扉体には、開口に嵌り込む嵌合部と、開口に嵌り込まない非嵌合部があり、当該嵌合部と開口との間には、隙間が形成されるものであり、
遮蔽部は、扉体が開口を閉鎖した状態において、前記隙間に位置することを特徴とする請求項3に記載の高温環境形成装置。
The door body has a fitting portion that fits into the opening and a non-fitting portion that does not fit into the opening, and a gap is formed between the fitting portion and the opening.
The high-temperature environment forming apparatus according to claim 3, wherein the shielding portion is located in the gap in a state where the door closes the opening.
密着手段は、複数のシール部を備えており、当該複数のシール部が、被加熱物載置室と扉体との間を多重にシールすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の高温環境形成装置。   The close contact means includes a plurality of seal portions, and the plurality of seal portions seals the space between the object-to-be-heated object placement chamber and the door body in multiple. The high-temperature environment forming apparatus described in 1. 密着手段は、複数のシール部と、扉体によって開口を閉鎖状態にした際に、当該シール部が当接する当接部を備えており、当該当接部は、金属によって成形されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の高温環境形成装置。   The contact means includes a plurality of seal portions and a contact portion with which the seal portion comes into contact when the opening is closed by the door body, and the contact portion is formed of metal. The high-temperature environment forming apparatus according to any one of claims 1 to 5, 高温環境形成装置は、被加熱物たる被試験物を所望の環境にさらすことが可能な環境試験装置であり、前記被加熱物載置室は、被試験物を載置する試験室であり、内部に所望の温度及び/又は湿度環境を作ることができ、前記開口は、試験室から被試験物を出し入れするための開口であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の高温環境形成装置。   The high-temperature environment forming apparatus is an environmental test apparatus capable of exposing a test object as a heated object to a desired environment, and the heated object mounting chamber is a test chamber for mounting the test object, 7. A desired temperature and / or humidity environment can be created therein, and the opening is an opening for taking in and out a test object from a test room. High temperature environment forming device. 高温環境形成装置は、熱処理装置であり、前記被加熱物載置室は、被加熱物たるワークを熱処理する熱処理室であり、前記開口は、熱処理室からワークを出し入れするための開口であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の高温環境形成装置。   The high-temperature environment forming device is a heat treatment device, the heated object mounting chamber is a heat treatment chamber for heat-treating a workpiece as a heated object, and the opening is an opening for taking in and out the workpiece from the heat treatment chamber. The high-temperature environment forming apparatus according to any one of claims 1 to 6.
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