JP2014187116A - ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 - Google Patents
ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014187116A JP2014187116A JP2013059850A JP2013059850A JP2014187116A JP 2014187116 A JP2014187116 A JP 2014187116A JP 2013059850 A JP2013059850 A JP 2013059850A JP 2013059850 A JP2013059850 A JP 2013059850A JP 2014187116 A JP2014187116 A JP 2014187116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- submount
- die bonding
- brazing material
- collet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】サブマウント3上に蒸着された共晶ロウ材SLおよびサブマウント3に搭載された半導体素子4(ダイ)にレーザ光LAを照射して加熱可能なレーザ装置6を有する構成のダイボンディング装置1,10とし、サブマウント3の上に蒸着する共晶ロウ材SLにレーザ光を照射して加熱溶融し、その上に半導体素子4を搭載する際に、半導体素子4にレーザ光を照射して加熱した後、接合する構成のダイボンディング方法とした。
【選択図】図1
Description
図1に示すダイボンディング装置1は、半導体レーザチップなどの半導体素子4を基板(サブマウント3)に搭載した半導体パッケージを製造する際に用いられる装置である。このような半導体素子(ダイ)4を、基板(サブマウント3)に搭載して半導体パッケージを組み立てる製造工程には、半導体ウエハを製造するウエハ製造工程と、このウエハを分割して多数のダイを製造するダイシング工程と、分割されたそれぞれのダイをサブマウント上に搭載するダイボンディング工程などがある。
図5に示す第2実施形態のダイボンディング装置10は、前述した第1実施形態のダイボンディング装置1と同様に、サブマウント3を載置するステージ2と、該ステージ2の上方に沿って移動可能であり、半導体素子4を吸引保持して当該半導体素子4をサブマウント3上の所定位置に搭載するコレット5と、ステージ2の上方に配設され、サブマウント3と半導体素子4との接合部にレーザ光LAを照射して加熱可能なレーザ装置6と、を有する。
1A ダイボンディング装置(従来の)
2 ステージ
3 サブマウント
4 半導体素子
5 コレット
6 レーザ装置
7 ハーフミラー
8 焦点調整用レンズ
9 撮影装置
10 ダイボンディング装置(本発明の第2実施形態)
21 吸引部
31 配線部
41 電極部
51 枠
52 ガラス体
53 吸引部
LA レーザ光
SL 共晶ロウ材
Claims (5)
- 共晶ロウ材を介在してサブマウントに半導体素子を接合するダイボンディング装置であって、
前記サブマウントを載置するステージと、
当該ステージの上方に沿って移動可能であり、前記半導体素子を吸引保持して当該半導体素子を前記サブマウント上の所定位置に搭載するコレットと、
前記ステージの上方に配設され、前記サブマウント上に蒸着された前記共晶ロウ材および前記サブマウントに搭載された前記半導体素子にレーザ光を照射して加熱可能なレーザ装置と、
を有することを特徴とするダイボンディング装置。 - 前記コレットは、前記半導体素子を吸引保持した状態において、前記レーザ光を前記半導体素子に向けて照射可能な導光部を有することを特徴とする請求項1に記載のダイボンディング装置。
- 前記ステージの上方に、前記半導体素子を撮影可能で、前記サブマウントに対する相対位置を認識可能な撮影装置を配設したことを特徴とする請求項1または2に記載のダイボンディング装置。
- 前記サブマウント上に移動した前記コレットと前記撮影装置との間に、側方から照射されるレーザ光を下向きに導光し、前記撮影装置による撮影を可能にするハーフミラーを配設したことを特徴とする請求項3に記載のダイボンディング装置。
- 請求項1から4のいずれかに記載のダイボンディング装置を用いてサブマウントに半導体素子を接合するダイボンディング方法であって、
上面に共晶ロウ材を蒸着したサブマウントをステージに載置する工程と、
サブマウント上の前記共晶ロウ材にレーザ光を照射して溶融する工程と、
コレットを用いて前記半導体素子を吸引保持して前記サブマウント上に移動する工程と、
前記コレットを下降して前記半導体素子を前記サブマウント上に載置する工程と、
前記半導体素子にレーザ光を照射して加熱する工程と、
加熱後に前記半導体素子と前記共晶ロウ材とを冷却する工程と、
を備えることを特徴とするダイボンディング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013059850A JP2014187116A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013059850A JP2014187116A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014187116A true JP2014187116A (ja) | 2014-10-02 |
Family
ID=51834428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013059850A Pending JP2014187116A (ja) | 2013-03-22 | 2013-03-22 | ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014187116A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117293248A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-26 | 华引芯(武汉)科技有限公司 | 一种具有光能自反馈的uv led器件及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000059098A (ja) * | 1998-08-03 | 2000-02-25 | Nec Corp | 部品実装装置 |
JP2003188196A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Juki Corp | ダイボンディング方法及びダイボンディング装置 |
JP2004158491A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-06-03 | Juki Corp | ダイボンディング装置 |
-
2013
- 2013-03-22 JP JP2013059850A patent/JP2014187116A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000059098A (ja) * | 1998-08-03 | 2000-02-25 | Nec Corp | 部品実装装置 |
JP2003188196A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Juki Corp | ダイボンディング方法及びダイボンディング装置 |
JP2004158491A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-06-03 | Juki Corp | ダイボンディング装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117293248A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-26 | 华引芯(武汉)科技有限公司 | 一种具有光能自反馈的uv led器件及其制备方法 |
CN117293248B (zh) * | 2023-11-27 | 2024-03-01 | 华引芯(武汉)科技有限公司 | 一种具有光能自反馈的uv led器件及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20130340943A1 (en) | Bonding apparatus | |
KR102052115B1 (ko) | 본딩헤드 | |
TW202215577A (zh) | 使用垂直腔表面發射雷射器元件的倒裝晶片接合裝置 | |
JP2012138583A (ja) | 材料を加えることによって部材をサポートに接着する方法、および2つの要素を重ね合わせる装置 | |
TW201521142A (zh) | 定位半導體晶片及接合頭之系統與方法、熱接合系統與方法 | |
JP6802583B2 (ja) | 実装装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2014187116A (ja) | ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 | |
JP2008298205A (ja) | 真空封止装置 | |
KR102174929B1 (ko) | 레이저 리플로우 장치의 레이저 리플로우 방법 | |
JP4002431B2 (ja) | 半導体レーザ装置の製造方法および半導体レーザ装置の製造装置 | |
JP4038435B2 (ja) | ダイボンディング装置 | |
JP4233905B2 (ja) | 部品装着装置 | |
JP5111644B2 (ja) | 光ファイバ固定方法、及びレーザモジュールの製造方法 | |
JP3833531B2 (ja) | ダイボンディング方法及びダイボンディング装置 | |
JP5861482B2 (ja) | 光モジュール製造装置および製造方法 | |
WO2024034482A1 (ja) | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP4179805B2 (ja) | ダイボンディング装置 | |
KR101858665B1 (ko) | 기판 가접합 장치, 이를 이용한 기판 접합 시스템 및 기판 접합 방법 | |
JP2004071648A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
WO2015151137A1 (ja) | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 | |
CN107195560A (zh) | Ic卡的激光封装系统及方法 | |
CN116799609A (zh) | 一种激光器封装装置及激光器封装方法 | |
JP2004023039A (ja) | 熱電装置およびその製造方法 | |
JP2003057496A (ja) | 調芯固定方法および調芯固定装置 | |
JP2024007508A (ja) | 光モジュールの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150916 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20151113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160722 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161220 |