JP2014181125A - Reel for winding superabrasive wire saw - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、超砥粒ワイヤソー巻き付け用リールに関する。 The present invention relates to a superabrasive wire saw winding reel.
芯線の表面に、結合材として樹脂、ニッケルめっき、およびロウ材などにより、ダイヤモンド砥粒を固着した、固定砥粒方式のダイヤモンドワイヤソーが、超砥粒ワイヤソーの一例として提案されている。このダイヤモンドワイヤソーを用いると、極めて良好な切れ味で金属等の材料を切断することができる。また、研磨液と砥粒とを混合したスラリーが不要であり、水溶性または不水溶性の切削液を利用することができる。このため、切断時に飛散するスラッジによって切断装置およびその周辺が汚染されることを抑制でき、作業環境の改善を図ることができる。加えて、このダイヤモンドワイヤソーによれば、数km以上といった長尺で作製することが可能となる。これにより、複数の切断加工を同時に行なうことができるため、スラリーを用いたマルチワイヤソー方式と比較して数倍以上の切断速度を得ることができる。 As an example of a superabrasive wire saw, a fixed-abrasive diamond wire saw in which diamond abrasive grains are fixed to the surface of a core wire by a resin, nickel plating, brazing material, or the like as a binder. When this diamond wire saw is used, a material such as metal can be cut with a very good sharpness. Moreover, the slurry which mixed abrasive | polishing liquid and the abrasive grain is unnecessary, and a water-soluble or water-insoluble cutting fluid can be utilized. For this reason, it can suppress that a cutting device and its periphery are contaminated with the sludge scattered at the time of a cutting | disconnection, and can aim at the improvement of a working environment. In addition, according to this diamond wire saw, it is possible to produce a long length of several km or more. Thereby, since a plurality of cutting processes can be performed at the same time, a cutting speed several times or more can be obtained as compared with a multi-wire saw system using a slurry.
上述の超砥粒ワイヤソーを用いて切断加工を行なう場合、超砥粒ワイヤソーは、リールに巻かれた状態とされ、その状態から加工物に向けて繰り出されたり、回収されたりする。このため、超砥粒ワイヤソーを切断装置に装着可能な状態とするためには、まず超砥粒ワイヤソーを切断装置に応じたリールに巻き付ける必要がある。 When performing cutting using the above-described superabrasive wire saw, the superabrasive wire saw is wound around a reel, and is fed out or collected from the state toward a workpiece. For this reason, in order to make a superabrasive wire saw attachable to a cutting device, it is necessary to first wind the superabrasive wire saw around a reel corresponding to the cutting device.
超砥粒ワイヤソーは、芯線と、結合材を用いて芯線の表面に固着された複数の超砥粒とを備える。超砥粒は、遊離砥粒方式の場合とは異なり、結合材の表面から突出するように設けられている。超砥粒ワイヤソーは、円筒状に形成されたリールの表面に、その表面の両端の間を往復しながら多層に巻き付けられている。超砥粒ワイヤソーは、リールの表面の両端の間で一定のピッチで多段に巻き付けられており、隣り合う超砥粒ワイヤソー同士が接触している。 The superabrasive wire saw includes a core wire and a plurality of superabrasive particles fixed to the surface of the core wire using a binder. Unlike the case of the free abrasive grain method, the superabrasive grains are provided so as to protrude from the surface of the binder. A superabrasive wire saw is wound around a surface of a reel formed in a cylindrical shape in multiple layers while reciprocating between both ends of the surface. The superabrasive wire saw is wound in multiple stages at a constant pitch between both ends of the surface of the reel, and adjacent superabrasive wire saws are in contact with each other.
従来のこの種のリールとしては、以下のような先行技術が知られている。
特開平11−114798号公報(特許文献1)には、超砥粒ワイヤソー等を巻き付けるリールで、鍔部分と胴部分が鋼で一体に成形され、中心軸部が中空となっており、中心軸部にアルミニウム合金を圧入したリールが開示されている。
The following prior arts are known as conventional reels of this type.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-114798 (Patent Document 1) discloses a reel around which a superabrasive wire saw or the like is wound. A reel in which an aluminum alloy is press-fitted into the part is disclosed.
このようにして、胴部分が変形したりせず、鍔部分と胴部分の隙間に超砥粒ワイヤソーが噛み込んで断線することがない効果をねらったリールである。 In this way, the reel is aimed at the effect that the superabrasive wire saw does not break due to the body part not being deformed and the gap between the flange part and the body part being caught.
特開2000−317805号公報(特許文献2)には、リールをワイヤソー切断機に取り付けるのに用いるナットをリールの先端部に収納できる凹部を設け、その凹部をフタで塞ぐことができるリールが開示されている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-317805 (Patent Document 2) discloses a reel in which a nut that can be used to attach a reel to a wire saw cutting machine is provided at the tip of the reel, and the recess can be closed with a lid. Has been.
ナットにスラリー等が付着して、ナットの緩め作業が阻害されないようにする効果をねらったリールである。なおこの種のリールは鋼で形成されている。 The reel is intended to prevent slurry and the like from adhering to the nut so that the nut loosening operation is not hindered. This type of reel is made of steel.
特開2002−370152号公報には、鍔部分と胴部分が別々に形成された、組み立て方式のリールが開示されている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-370152 discloses an assembly-type reel in which a flange portion and a body portion are separately formed.
しかしながら、従来の鋼で形成されたリールは、重量が重く、動バランス調整を精度良く実施することが困難なため、ワイヤソー切断機に振動が発生して超砥粒ワイヤソーが断線する原因となるだけでなく、工作物の切断面の精度不良を発生させる原因となることがあった。 However, conventional reels made of steel are heavy and difficult to accurately adjust the dynamic balance, causing vibrations in the wire saw cutting machine and causing the superabrasive wire saw to break. In some cases, this may cause a poor accuracy of the cut surface of the workpiece.
さらに、鍔部分と胴部分が別々に形成された、組み立て方式のリールでは、鍔部分と胴部分の隙間に超砥粒ワイヤソーが噛み込んで断線する原因となることがあった。 Furthermore, in an assembly-type reel in which the heel portion and the body portion are separately formed, the superabrasive wire saw may be caught in the gap between the heel portion and the body portion, causing disconnection.
本発明は、従来の鋼製リールに比較して、アンバランスの低減が容易で回転時の振動低下効果が得られ、回転駆動時において動力面及び運送にかかる省エネルギー効果が得られ、しかも低コストで製造が可能なリールを提供することにある。 Compared to conventional steel reels, the present invention can easily reduce unbalance, obtain a vibration reduction effect during rotation, obtain an energy saving effect related to power plane and transportation during rotation driving, and can be manufactured at low cost. It is to provide a reel that can be manufactured at
この発明に従った超砥粒ワイヤソー巻き付け用リールは、巻き軸方向に延在するドラム部と、ドラム部から外周方向に延在するフランジ部とを備え、ドラム部とフランジ部とはアルミニウム合金鋳物からなる一体物により形成されている。 A superabrasive wire saw winding reel according to the present invention includes a drum portion extending in a winding axis direction and a flange portion extending from the drum portion in an outer peripheral direction, and the drum portion and the flange portion are casted from an aluminum alloy. It is formed by the integral thing which consists of.
このように構成された超砥粒ワイヤソー巻き付け用リールでは、ドラム部とフランジ部とはアルミニウム合金鋳物からなる一体物により形成されているため、リールが軽量となり、アンバランスの低減が容易で回転時の振動低下効果が得られる。さらに、回転駆動時において動力面及び運送にかかる省エネルギー効果が得られ、しかも低コストで製造が可能なリールを提供できる。 In the superabrasive wire saw winding reel configured as described above, the drum portion and the flange portion are formed of an integral body made of an aluminum alloy casting, so that the reel is light in weight and unbalance can be easily reduced. The vibration lowering effect can be obtained. Further, it is possible to provide a reel capable of producing an energy saving effect in terms of power and transportation during rotation driving, and which can be manufactured at low cost.
好ましくは、アルミニウム合金の組成は、Alが85から98質量%、Siが0.5質量%以下、Cuが0.25質量%以下、Mgが2から10質量%である。 Preferably, the composition of the aluminum alloy is 85 to 98 mass% for Al, 0.5 mass% or less for Si, 0.25 mass% or less for Cu, and 2 to 10 mass% for Mg.
好ましくは、アルミニウム合金の硬さは、ブリネル硬さで40以上である。
好ましくは、アルミニウム合金の破断伸びは5%以上である。なお、破断伸びの測定方法は、JIS Z 2241に従う。
Preferably, the hardness of the aluminum alloy is 40 or more in terms of Brinell hardness.
Preferably, the breaking elongation of the aluminum alloy is 5% or more. In addition, the measuring method of breaking elongation follows JISZ2241.
好ましくは、超砥粒ワイヤソーは、直径が0.03mmから0.5mmの芯線を有する。 Preferably, the superabrasive wire saw has a core wire with a diameter of 0.03 mm to 0.5 mm.
好ましくは、超砥粒ワイヤソーの巻き付けテンションは3Nから40Nである。
好ましくは、超砥粒ワイヤソーの巻き付けピッチは、0.05mmから3.0mmであり、巻き付け段数は2段以上である。
Preferably, the winding tension of the superabrasive wire saw is 3N to 40N.
Preferably, the winding pitch of the superabrasive wire saw is 0.05 mm to 3.0 mm, and the number of winding stages is two or more.
好ましくは、ワンユース用、すなわち、一度客先に納められると供給者がリールを再度回収しない仕様である。 Preferably, the specification is for one-use use, i.e., the supplier does not collect the reels again once they are delivered to the customer.
好ましくは、超砥粒ワイヤソーに接触するドラム部およびフランジ部の表面粗さはRa3.2μm以下である。 Preferably, the surface roughness of the drum portion and the flange portion in contact with the superabrasive wire saw is Ra 3.2 μm or less.
図1は、この発明の実施の形態における超砥粒ワイヤソー巻き付け用リールに巻かれた超砥粒ワイヤソーを示す斜視図である。図1を参照して、超砥粒ワイヤソー10が、円筒状に形成されたリール1の外周面に多層に巻き付けられている。後に詳細に説明するが、本実施の形態における超砥粒ワイヤソー巻き付け構造では、超砥粒ワイヤソー10が外周面に巻き付けられるピッチPが所定の範囲に設定されている。
FIG. 1 is a perspective view showing a superabrasive wire saw wound around a superabrasive wire saw winding reel according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, a
超砥粒ワイヤソー10は、シリコンインゴットからのシリコンウェハのスライシングの他、超硬合金、サーメット、セラミックス、ゲルマニウム、フェライト、センダスト、アルニコ、サマリウムコバルト、ネオジウム磁石、ガラス、水晶、サファイア、石材、耐火レンガ、タイル、樹脂材料、FRP(fiber-glass reinforced plastic:ガラス繊維強化プラスチック)、CFRP(carbon fiber reinforced plastic:炭素繊維強化プラスチ
ック)、グラファイト、砥石、宝石および金属材料などの切断加工に用いられる。
In addition to slicing silicon wafers from silicon ingots,
図2は、図1中の超砥粒ワイヤソーを拡大して示す模式図である。図2の一部には、超砥粒ワイヤソーの長手方向の縦断面が示されている。図3は、図2中のIII−III線上に沿った断面を示す模式図である。 FIG. 2 is an enlarged schematic view of the superabrasive wire saw in FIG. A part of FIG. 2 shows a longitudinal section of the superabrasive wire saw in the longitudinal direction. FIG. 3 is a schematic diagram showing a cross section taken along line III-III in FIG.
図2および図3を参照して、超砥粒ワイヤソー10は、線状に延びる芯線11と、芯線11の表面11aを覆う結合材12と、結合材12によって表面11a上に固着された複数の超砥粒13とを備える。超砥粒13は、たとえばダイヤモンド砥粒から形成されており、結合材12の表面12aから一部が突出するように設けられている。
Referring to FIGS. 2 and 3,
超砥粒ワイヤソー10は、平均直径Dを有する。この際、超砥粒ワイヤソー10の長手方向に間隔を隔てた任意の位置に3つの測定地点を選び、これらの地点のそれぞれにおいて、超砥粒ワイヤソー10の直径を3方向で測定し、合計9つの測定値を得る。そして、得られた測定値の平均を算出することによって、超砥粒ワイヤソー10の平均直径Dを求める。
芯線11としては、たとえば、鋼線、銅めっきを施した鋼線およびブラスめっきを施した鋼線のいずれか1つを用いることができる。
As the
鋼線としては、容易に極細線に仕上げることができ、強度が高いピアノ線が最も好ましい。ピアノ線はそのままでも使用することができるが、保管を容易にし、かつレジンボンドの密着性を良好にして超砥粒の保持力を高めるためには、ピアノ線に銅めっきまたはブ
ラスめっき等の表面処理を施すことが好ましい。
As the steel wire, a piano wire that can be easily finished into a very fine wire and has high strength is most preferable. The piano wire can be used as it is, but in order to facilitate storage and improve the adhesion of the resin bond and increase the holding power of the superabrasive grains, the piano wire has a surface such as copper plating or brass plating. It is preferable to perform the treatment.
その他の材質の芯線としては、炭素繊維、アラミド繊維、ボロン繊維、ガラス繊維のいずれか1種の単線または撚り線を用いることができる。または、炭素繊維、アラミド繊維、ボロン繊維、ガラス繊維のうち2種以上の繊維を混合して撚り線としたものも用いることができる。さらに、これらの撚り線に鋼線を加えた撚り線を芯線として用いることも可能である。 As a core wire of other materials, a single wire or a stranded wire of any one of carbon fiber, aramid fiber, boron fiber, and glass fiber can be used. Alternatively, a stranded wire obtained by mixing two or more kinds of carbon fibers, aramid fibers, boron fibers, and glass fibers can be used. Furthermore, it is also possible to use a stranded wire obtained by adding a steel wire to these stranded wires as a core wire.
超砥粒13の平均直径がd2である場合、芯線11および超砥粒13の平均直径d1およびd2は、0.02<d2/d1<0.5の関係を満たすことが好ましい。
When the average diameter of the
結合材12としては、レジンボンド、電着、メタルボンドまたはビトリファイドボンドを用いることができる。また、レジンボンドとメタルボンドとの複合ボンドや、レジンボンドとビトリファイドボンドとの複合ボンドなどの各種の結合材を結合材12として用いることもできる。なお、本実施の形態における効果が特に顕著に得られるのは、レジンボンドまたはレジンボンドを主体とする複合ボンドを用いた場合である。
Resin bond, electrodeposition, metal bond or vitrified bond can be used as the
レジンボンドとして適用できる樹脂としては、弾性率、軟化温度、成形性、物理的特性の観点から、アルキド樹脂、フェノール樹脂、ホルマリン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステルウレタン樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、シアナトエステル樹脂、ポリエーテルイミド、ポリパラバン酸、芳香族ポリアミドなどが好ましい。 Resins that can be used as resin bonds include alkyd resin, phenol resin, formalin resin, polyurethane resin, polyester resin, polyimide resin, epoxy resin, melamine resin, urea from the viewpoint of elastic modulus, softening temperature, moldability, and physical properties. Resins, unsaturated polyester resins, acrylic resins, polyester imide resins, polyamide imide resins, polyester urethane resins, bismaleimide resins, bismaleimide triazine resins, cyanate ester resins, polyether imides, polyparabanic acids, aromatic polyamides and the like are preferable.
電着とは、電着によって結合材12を芯線11の表面11aに形成する場合を指し、たとえば、ニッケル(Ni)めっきを結合材12として表面11aに形成する。また、結合材12としてメタルボンドを用いる場合、適当な金属粉と超砥粒13とを混合粉とし、その混合粉を芯線11の表面11aに焼き付ける。
Electrodeposition refers to the case where the
図4は、図1中のIV−IV線上に沿った断面図である。図4では、リール1に実際に巻かれている超砥粒ワイヤソー10の一部のみが模式的に示されている。図4を参照して、リール1は、ドラム部2と、ドラム部2の両端から直角方向に立ち上がるフランジ部5とを有する。ドラム部2とフランジ部5とが交差する位置には、一方端3および他方端4が規定されている。
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. In FIG. 4, only a part of the superabrasive wire saw 10 actually wound on the
超砥粒ワイヤソー10は、まず、一方端3から他方端4に向けてピッチPでドラム部2に巻き付けられている(第1層目の超砥粒ワイヤソー101)。第1層目の超砥粒ワイヤソーが他方端4まで巻き付けられた後、超砥粒ワイヤソー10は、既に巻き付けられた超砥粒ワイヤソーの上から次は他方端4から一方端3に向けてピッチPで巻き付けられている(第2層目の超砥粒ワイヤソー102)。さらに、超砥粒ワイヤソー10は、第3層目では一方端3から他方端4に向けて、第4層目では他方端4から一方端3に向けてという具合に、一方端3と他方端4との間を往復しながらピッチPで多層に巻き付けられている。
First, the superabrasive wire saw 10 is wound around the
また、張力計で測定された超砥粒ワイヤソー10の巻き付け張力Tに基づいて、図示しない制御部からモーターに向けて適切な回転速度が指示されてもよい。この場合、図示しない制御部からは、巻き付け張力Tが3Nから40Nとなるようにモーター22の回転速度が指示されることが好ましい。これにより、いったん巻き付けた超砥粒ワイヤソー10が緩んでしまうことを防止できる。また同時に、巻き付けられた超砥粒ワイヤソー10同士が食い込んで、結合材12が損傷することを防止できる。
Moreover, based on the winding tension T of the superabrasive wire saw 10 measured by a tension meter, an appropriate rotation speed may be instructed from a control unit (not shown) to the motor. In this case, it is preferable that the rotation speed of the motor 22 is instructed from a control unit (not shown) so that the winding tension T is 3N to 40N. Thereby, it can prevent that the superabrasive wire saw 10 once wound loosens. At the same time, it is possible to prevent the wound superabrasive wire saws 10 from biting into each other and damaging the
超砥粒ワイヤソー巻き付け用のリール1は、巻き軸80方向に延在するドラム部2と、ドラム部2から外周方向に延在するフランジ部5とを備え、ドラム部2とフランジ部5とはアルミニウム合金鋳物からなる一体物により形成されている。ドラム部2とフランジ部5とはアルミニウム合金鋳物からなる一体物により形成されているため、リール1が軽量となり、アンバランスの低減が容易で回転時の振動低下効果が得られる。さらに、回転駆動時において動力面の省エネルギー効果が得られ、しかも低コストで製造が可能なリール1を提供できる。好ましくは、アルミニウム合金の組成は、Alが85から98質量%、Siが0.5質量%以下、Cuが0.25質量%以下、Mgが2から10質量%である。好ましくは、アルミニウム合金の硬さは、ブリネル硬さで40以上である。好ましくは、アルミニウム合金の破断伸びは5%以上である。好ましくは、超砥粒ワイヤソー10は、直径が0.03mmから0.5mmの芯線を有する。好ましくは、超砥粒ワイヤソー10の巻き付けテンションは3Nから40Nである。好ましくは、超砥粒ワイヤソー10の巻き付けピッチは、0.05mmから3.0mmであり、巻き付け段数は2段以上である。好ましくは、リール1はワンユース用である。好ましくは、超砥粒ワイヤソー10に接触するドラム部2およびフランジ部5の表面粗さはRa3.2μm以下である。
The
図5は、この発明の実施の形態における超砥粒ワイヤソー切断装置を示す斜視図である。図5を参照して、超砥粒ワイヤソー切断装置51は、加工物55との間で超砥粒ワイヤソー10を繰り出したり、回収したりする超砥粒ワイヤソー供給部57を備える。超砥粒ワイヤソー供給部57には、実施の形態1または2における超砥粒ワイヤソー巻き付け構造を用いて超砥粒ワイヤソー10が巻き付けられたリール1が設けられている。リール1は、加工物55に対して両側に2つ配置されており、それぞれモーターの回転軸に取り付けられている。
FIG. 5 is a perspective view showing a superabrasive wire saw cutting apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, superabrasive wire saw cutting
超砥粒ワイヤソー切断装置51は、さらに、超砥粒ワイヤソー10を案内する複数のガイドローラー52および53と、加工物55の下方に位置し、所定の間隔を隔てて配置された2つのメインローラー56と、メインローラー56の近傍に設けられた2つの切削液ノズル54とを備える。メインローラー56の外周面には、加工物55の切断寸法に応じて溝が設けられている。2つのリール1に両端が巻き付けられた超砥粒ワイヤソー10は、その溝に案内されながら、2つのメインローラー56の間で張架されている。ガイドローラー52は、所定の方向に往復運動可能に設けられている。
The superabrasive wire saw cutting
超砥粒ワイヤソー切断装置51を用いて加工物55を切断する場合、リール1が接続されたモーターを正反転させ、超砥粒ワイヤソー10を2つのリール1の間で往復運動させる。このとき、ガイドローラー52を図5中に示すトラバーサ24と同様に往復運動させてもよい。これにより、超砥粒ワイヤソー切断装置51を用いた切断加工時においても、超砥粒ワイヤソー10が所定のピッチPでリール1に巻き付けられ、実施の形態1または2に記載の効果と同様の効果を奏することができる。
When the
続いて、2つのメインローラー56の間で移動する多数本の超砥粒ワイヤソー10に向けて、加工物55を押し付ける。これにより、加工物55を多数枚に切断加工することができる。この際、メインローラー56の外周面に形成された溝と加工物55には、切削液ノズル54から切削液が供給される。この切削液は、切断加工時の摩擦を低減し、冷却を促進する役割を果たす。なお、超砥粒ワイヤソー10が所定のピッチPで巻き付けられるようにガイドローラー52を往復移動させた場合には、超砥粒ワイヤソー10がリール1に巻き付けられた状態で、超砥粒ワイヤソー10の隙間に切断加工時に供給された切削液が介在する。このため、切削液による上述の効果を特に有効に得られるものと考えられる。
Subsequently, the
(実施例1)
以下のような本発明の実施例1の超砥粒ワイヤソー用のアルミニウム合金鋳物製リールを製作して、本発明の効果を実験により確認した。
Example 1
An aluminum alloy casting reel for the superabrasive wire saw of Example 1 of the present invention as described below was manufactured, and the effect of the present invention was confirmed by experiments.
実施例1のアルミニウム合金鋳物製リールに用いたアルミニウム合金鋳物の組成は質量%で、Siが0.15%、Cuが0.05%、Mgが5%、残部はAlと微量の不純物(Zn、Fe、Mn、Ni、Ti、Pb、Sn、Crなど)を含む。アルミニウム合金鋳物のブリネル硬さ(HBW)は45、伸びは10%であった。なお、本明細書において、「伸び」とは、破断伸びを意味する。アルミニウム合金鋳物製リールの表面は、切削工具により切削加工され、ドラム部2およびフランジ部5のうち超砥粒ワイヤソーに接触する部分の表面粗さはRa0.4μmであった。アルミニウム合金鋳物製リールの寸法は、胴部(ドラム部2)の外径(直径)D1は110mmで長さL1は250mm、鍔部(フランジ部5)の外径(直径)D2は190mmで厚みT1は20mmであった。
The composition of the aluminum alloy casting used in the reel made of the aluminum alloy casting of Example 1 is mass%, Si is 0.15%, Cu is 0.05%, Mg is 5%, and the balance is Al and a small amount of impurities (Zn Fe, Mn, Ni, Ti, Pb, Sn, Cr, etc.). The aluminum alloy casting had a Brinell hardness (HBW) of 45 and an elongation of 10%. In this specification, “elongation” means elongation at break. The surface of the aluminum alloy casting reel was cut by a cutting tool, and the surface roughness of the
巻き付けに用いた超砥粒ワイヤソーは、平均粒径5μmのダイヤモンド砥粒をフェノール系レジンボンドで直径0.03mmのピアノ線の表面に固着したレジンボンド超砥粒ワイヤソーで、平均外径(平均直径)Dは0.041mmであった。 The superabrasive wire saw used for winding is a resin-bonded superabrasive wire saw in which diamond abrasive grains having an average particle diameter of 5 μm are fixed to the surface of a piano wire having a diameter of 0.03 mm with a phenol-based resin bond. ) D was 0.041 mm.
このレジンボンド超砥粒ワイヤソーを上記リールにピッチPが0.05mm、巻き付けテンション3Nで、全長10kmを巻き付けた。 This resin-bonded superabrasive wire saw was wound around the reel with a pitch P of 0.05 mm and a winding tension of 3 N to a total length of 10 km.
このようにレジンボンド超砥粒ワイヤソー10kmを巻き付けたリールをワイヤソー切断機に取り付けて、シリコンインゴットのスライシング実験を行ったところ、ワイヤソー切断機の振動発生は無く、良好な切れ味を発揮し、シリコンインゴットの切断面も良好な表面粗さが得られた。 In this way, a silicon ingot slicing experiment was conducted by attaching a reel wound with a resin bond superabrasive wire saw 10 km to a wire saw cutting machine, and the silicon ingot was sliced. Good surface roughness was also obtained for the cut surface.
(実施例2〜20) (Examples 2 to 20)
実施例2から20では、表1および2で示す超砥粒ワイヤソーをリールに巻きつけた。リールの寸法は実施例1と同じであり、リールを構成するアルミニウム合金は、表1および表2で示されるものである。 In Examples 2 to 20, the superabrasive wire saw shown in Tables 1 and 2 was wound around a reel. The dimensions of the reel are the same as those in Example 1, and the aluminum alloys constituting the reel are those shown in Tables 1 and 2.
これらの超砥粒ワイヤソーを巻き付けたリールをワイヤソー切断機に取り付けて、シリコンインゴットのスライシング実験を行ったところ、ワイヤソー切断機の振動発生は無く、良好な切れ味を発揮し、シリコンインゴットの切断面も良好な表面粗さが得られた。 When a reel in which these superabrasive wire saws were wound was attached to a wire saw cutting machine and a silicon ingot slicing experiment was conducted, there was no vibration of the wire saw cutting machine, good sharpness was exhibited, and the silicon ingot cutting surface was also Good surface roughness was obtained.
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
本発明のリールは、各種の超砥粒ワイヤソーの巻き付けに用いることが考えられる。 The reel of the present invention can be used for winding various types of superabrasive wire saws.
1 リール、2 ドラム部、3 一方端、4 他方端、5 フランジ部、10 超砥粒ワイヤソー、11 芯線、11a 表面、12 結合材、13 超砥粒、51 超砥粒ワイヤソー切断装置。 1 reel, 2 drum part, 3 one end, 4 other end, 5 flange part, 10 superabrasive wire saw, 11 core wire, 11a surface, 12 binder, 13 superabrasive grain, 51 superabrasive wire saw cutting device.
Claims (9)
巻き軸方向に延在するドラム部と、
前記ドラム部から外周方向に延在するフランジ部とを備え、
前記ドラム部と前記フランジ部とはアルミニウム合金鋳物からなる一体物により形成されている、超砥粒ワイヤソー巻き付け用リール。 A super-abrasive wire saw winding reel,
A drum portion extending in the winding axis direction;
A flange portion extending in the outer peripheral direction from the drum portion,
The reel for winding a superabrasive wire saw, wherein the drum portion and the flange portion are formed of an integral body made of an aluminum alloy casting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013058257A JP2014181125A (en) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | Reel for winding superabrasive wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013058257A JP2014181125A (en) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | Reel for winding superabrasive wire saw |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014181125A true JP2014181125A (en) | 2014-09-29 |
Family
ID=51700183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013058257A Pending JP2014181125A (en) | 2013-03-21 | 2013-03-21 | Reel for winding superabrasive wire saw |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014181125A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160150010A (en) * | 2015-06-18 | 2016-12-28 | 가부시기가이샤 디스코 | Multi-wire saw |
CN107444994A (en) * | 2017-07-25 | 2017-12-08 | 上海舜海光伏科技有限公司 | Withdrawing rope device and cleaning equipment |
-
2013
- 2013-03-21 JP JP2013058257A patent/JP2014181125A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160150010A (en) * | 2015-06-18 | 2016-12-28 | 가부시기가이샤 디스코 | Multi-wire saw |
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