JP2014149287A - Gas sensor element and gas sensor - Google Patents

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JP2014149287A JP2013223457A JP2013223457A JP2014149287A JP 2014149287 A JP2014149287 A JP 2014149287A JP 2013223457 A JP2013223457 A JP 2013223457A JP 2013223457 A JP2013223457 A JP 2013223457A JP 2014149287 A JP2014149287 A JP 2014149287A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas sensor element that includes a water permeable electrode and a water non-permeable lead connected to the electrode and can prevent a crack from occurring in itself without reducing oxygen pump performance of the electrode even if water infiltrates into the water permeable electrode and is frozen.SOLUTION: A first electrode 133 includes an exposed-to-space part 133b that is exposed to an internal space 160 of a gas sensor element 10 communicating with the outside of the gas sensor element 10. A first lead 137 is connected to a first electrode 133. The first electrode 133 includes a first connection part 133d that is disposed at a position that is not exposed to the internal space 160, is connected to the first lead 137, and is disposed at a position most distant from the internal space in the first electrode 133. The whole first connection part 133d is positioned in a region A1 separated from the internal space 160 by a distance of 1.0 mm or shorter.

Description

本発明は、ガスセンサ素子、及び、これを備えたガスセンサに関する。   The present invention relates to a gas sensor element and a gas sensor including the same.

従来、自動車エンジンなどの内燃機関の排気通路に取り付けられ、排気ガス(測定対象ガス)中の酸素濃度やNOx濃度を検知するガスセンサが知られている(特許文献1,2参照)。特許文献1,2には、このガスセンサを構成するガスセンサ素子として、板状の固体電解質体が複数積層されてなるガスセンサ素子が記載されている。このガスセンサ素子は、固体電解質体の表面側または裏面側に設けられた電極と、固体電解質体の表面側または裏面側に設けられ、上記電極に接続されたリードとを備えている。   2. Description of the Related Art Conventionally, gas sensors that are attached to an exhaust passage of an internal combustion engine such as an automobile engine and detect the oxygen concentration and NOx concentration in exhaust gas (measurement target gas) are known (see Patent Documents 1 and 2). Patent Documents 1 and 2 describe a gas sensor element in which a plurality of plate-shaped solid electrolyte bodies are stacked as a gas sensor element constituting the gas sensor. The gas sensor element includes an electrode provided on the front surface side or the back surface side of the solid electrolyte body and a lead provided on the front surface side or the back surface side of the solid electrolyte body and connected to the electrode.

特許文献1,2では、酸素ポンプ性能を確保するために、電極を多孔質に形成しており、その結果、電極は、ガス透過性及び透水性を有することとなる。一方、電気導通性を向上させるためには、単位面積当たりの充填度合を高くすることが好ましく、そのために、リードを緻密に形成している。その結果、リードは、非ガス透過性及び非透水性を有することとなる。   In patent documents 1 and 2, in order to ensure oxygen pump performance, the electrode is formed porous, and as a result, the electrode has gas permeability and water permeability. On the other hand, in order to improve electrical conductivity, it is preferable to increase the filling degree per unit area, and for this purpose, leads are formed densely. As a result, the lead has non-gas permeability and non-water permeability.

特許第4165652号公報Japanese Patent No. 4165552 特開2010−122187号公報JP 2010-122187 A

ところで、特許文献1の図3,4には、電極として、ガスセンサ素子の外部と連通する内部空間に露出する空間露出部、を有する第1電極が記載されている。さらに、リードとして、上記第1電極と接続する第1リードが記載されている。この第1リードは、内部空間内にて第1電極に重なりあうようにして接続している。ところが、第1電極及び第1リードが、上述したような、透水性の電極と非透水性のリードとの組み合わせの場合には、次のような不具合が発生する虞があった。つまり、第1電極のうち、第1リード部に重なる部位(以下、第1接続部)において、酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する虞がある。   Incidentally, in FIGS. 3 and 4 of Patent Document 1, a first electrode having a space exposed portion exposed in an internal space communicating with the outside of the gas sensor element is described as an electrode. Furthermore, a first lead connected to the first electrode is described as the lead. The first lead is connected so as to overlap the first electrode in the internal space. However, when the first electrode and the first lead are a combination of the water-permeable electrode and the non-water-permeable lead as described above, the following problems may occur. In other words, in the portion of the first electrode that overlaps the first lead portion (hereinafter referred to as the first connection portion), the oxygen pump performance is reduced, and the detection accuracy for detecting the oxygen concentration or NOx concentration in the measurement target gas is reduced. There is a fear.

一方、上述の問題を考慮し、電極の一部を内部空間に露出しない位置まで延ばすことで、第1接続部を、内部空間に露出しない位置に配置することが考えられる。これにより、「第1接続部が内部空間に配置されることで酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する」ことを抑制できる。   On the other hand, in consideration of the above-described problem, it is conceivable that the first connection portion is disposed at a position where it is not exposed to the internal space by extending a part of the electrode to a position where it is not exposed to the internal space. Thereby, it can suppress that "the oxygen connection performance falls by the 1st connection part being arranged in interior space, and the detection accuracy which detects the oxygen concentration and NOx concentration in measurement object gas falls."

ところが、第1接続部を上記内部空間に露出しない位置に配置したとしても、次のような不具合が発生する虞がある。例えば、冬季には、ガスセンサ素子の表面が結露することがある。この結露により生じた水(結露水)が、ガスセンサ素子の内部空間内に浸入し、さらに、空間露出部を通じて透水性の第1電極内に浸入することがある。第1電極内に浸入した水は、第1リードと接続する第1接続部に達するが、第1リードは非透水性であるため、第1リード内に浸入することができず、その結果、第1接続部に留まることがある。第1接続部に結露水が留まった状態で、この結露水が凍結することで体積膨張すると、第1接続部を挟む層間を引き離す方向に応力が発生し、これにより、第1接続部を挟む層間にクラックが発生する虞があった。   However, even if the first connection portion is disposed at a position where it is not exposed to the internal space, there is a possibility that the following problem may occur. For example, in the winter season, the surface of the gas sensor element may condense. Water (condensation water) generated by this condensation may enter the internal space of the gas sensor element, and may further enter the water permeable first electrode through the exposed space. The water that has entered the first electrode reaches the first connection portion that connects to the first lead, but the first lead is impermeable to water, and therefore cannot enter the first lead. It may stay at the first connection. When the condensed water stays in the first connection portion and the volume of the condensed water is expanded by freezing, stress is generated in a direction to separate the layers sandwiching the first connection portion, thereby sandwiching the first connection portion. There was a risk of cracks occurring between the layers.

本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、透水性の電極及びこれに接続された非透水性のリードとを備えるガスセンサ素子において、電極の酸素ポンプ性能を低下させることなく、透水性の電極内に水が浸入しこれが凍結するような場合でも、自身にクラックが発生するのを防止できるガスセンサ素子、及びこれを備えたガスセンサを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and in a gas sensor element including a water-permeable electrode and a non-water-permeable lead connected to the water-permeable electrode without reducing the oxygen pump performance of the electrode. It is an object of the present invention to provide a gas sensor element that can prevent cracks from occurring even when water enters a free electrode and freezes, and a gas sensor including the gas sensor element.

本発明の一態様は、板状の固体電解質体が複数積層されてなるガスセンサ素子であって、上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられた電極と、上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられ、上記電極に接続されたリードと、を備え、上記電極は、上記ガスセンサ素子の外部と連通する上記ガスセンサ素子の内部空間に露出する空間露出部を有する、透水性の第1電極、を含み、上記リードは、上記第1電極と接続する非透水性の第1リードを含み、上記第1電極は、上記内部空間に露出しない位置に配置され、上記第1リードと接続する第1接続部であって、当該第1電極の中で上記内部空間から最も離れた位置に配置された第1接続部を含み、上記第1接続部全体が、上記内部空間からの距離が1.0mm以内の領域内に位置してなるガスセンサ素子である。   One aspect of the present invention is a gas sensor element in which a plurality of plate-shaped solid electrolyte bodies are stacked, and an electrode provided on the front surface side or the back surface side of the solid electrolyte body, and the surface side of the solid electrolyte body or And a lead connected to the electrode, the electrode having a space exposed portion exposed to an internal space of the gas sensor element communicating with the outside of the gas sensor element. An electrode, and the lead includes a water-impermeable first lead connected to the first electrode, and the first electrode is disposed at a position not exposed to the internal space and connected to the first lead. 1st connection part, Comprising: The 1st connection part arrange | positioned in the position most distant from the said internal space in the said 1st electrode, The distance from the said internal space is the said 1st connection part as a whole. Within the area of 0mm A gas sensor element formed by.

上述のガスセンサ素子は、ガスセンサ素子の外部と連通するガスセンサ素子の内部空間に露出する空間露出部を有する透水性の第1電極を有すると共に、第1電極と接続する非透水性の第1リードを有している。このうち、第1電極は、上記内部空間に露出しない位置に配置され、上記第1リードと接続する第1接続部を含む(従って、第1電極は、内部空間に露出する空間露出部と内部空間に露出しない第1接続部とを有する)。この第1接続部は、第1リードと内部空間の外側で接続するために、第1電極が延ばされて形成されるため、第1電極のうちで、上記内部空間から最も離れた位置に配置されている。   The gas sensor element described above has a water permeable first electrode having a space exposed portion exposed in the internal space of the gas sensor element that communicates with the outside of the gas sensor element, and a non-permeable first lead connected to the first electrode. Have. Of these, the first electrode is disposed at a position not exposed to the internal space and includes a first connection portion connected to the first lead (the first electrode is therefore exposed to the space exposed portion and the internal space). A first connection portion that is not exposed to the space). The first connection portion is formed by extending the first electrode in order to connect the first lead to the outside of the internal space. Therefore, the first connection portion is located farthest from the internal space among the first electrodes. Has been placed.

このような構成のガスセンサ素子では、従来、第1接続部内に水が浸入し、これが凍結するような場合に、ガスセンサ素子にクラックが発生する虞があった。具体的には、例えば、ガスセンサ素子の表面に生じた結露水が、ガスセンサ素子の内部空間内に浸入し、さらに、空間露出部を通じて第1電極内に浸入することがある。第1電極内に浸入した水は、第1リードと接続する第1接続部に達するが、第1リードは非透水性であるため、第1接続部に留まることがある。そして、第1接続部内に結露水が留まった状態で、この結露水が凍結することで体積膨張すると、第1接続部を挟む層間を引き離す方向に応力が発生し、これにより、ガスセンサ素子の層間(第1接続部を挟む層間)にクラックが発生する虞があった。   Conventionally, in the gas sensor element having such a configuration, when water enters the first connection portion and freezes, there is a possibility that the gas sensor element may crack. Specifically, for example, dew condensation water generated on the surface of the gas sensor element may enter the internal space of the gas sensor element and further enter the first electrode through the space exposed portion. The water that has entered the first electrode reaches the first connection portion that is connected to the first lead, but the first lead is impermeable to water and may remain in the first connection portion. Then, in a state where the dew condensation water remains in the first connection part, when the dew condensation water freezes and expands in volume, a stress is generated in a direction to separate the layers sandwiching the first connection part, and thereby, the interlayer of the gas sensor element is generated. There was a possibility that a crack would occur in the (interlayer sandwiching the first connecting portion).

これに対し、上述のガスセンサ素子では、第1接続部全体を、上記内部空間からの距離が1.0mm以内の領域内に配置している。これにより、第1接続部内に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。その理由は、次のように考えている。   On the other hand, in the gas sensor element described above, the entire first connection portion is disposed in a region whose distance from the internal space is within 1.0 mm. Thereby, even when water permeates into the first connection portion and the water freezes, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked. The reason is considered as follows.

第1接続部内に水が留まった状態で、この水が凍結し始めると、第1接続部内の微細空孔が次第に小さくなってゆく(氷によって塞がれてゆく)ので、第1接続部内に留まっている水は、第1リードとは反対側(すなわち、水が浸入できるスペースのある内部空間側)に移動してゆく。このとき、第1接続部全体を、上記内部空間からの距離が1.0mm以内の領域内に配置しておく(すなわち、第1接続部のうち内部空間から最も離れている箇所から内部空間までの距離を1.0mm以内と短くしておく)ことにより、第1接続部内に留まっていた水の多くを、第1接続部内で凍結する前に、内部空間にまで移動させる(逃がす)ことができる。その後、内部空間内において多くの水が凍結して膨張しても、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力が発生することはない。その結果、ガスセンサ
素子にクラックが発生するのを防止することができる。
If the water stays in the first connection part and the water starts to freeze, the fine pores in the first connection part gradually become smaller (closed by ice), so The remaining water moves to the side opposite to the first lead (that is, the inner space side where there is a space where water can enter). At this time, the entire first connection portion is disposed in a region having a distance of 1.0 mm or less from the internal space (that is, from the location farthest from the internal space to the internal space in the first connection portion. The distance of the water in the first connecting portion can be moved (released) to the internal space before freezing in the first connecting portion. it can. Then, even if a lot of water freezes and expands in the internal space, no stress is generated that separates the layers of the gas sensor element. As a result, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked.

なお、「ガスセンサ素子の外部と連通するガスセンサ素子の内部空間」には、ガスセンサの外部と直接(介在物がない状態で)連通する内部空間や、多孔質体を通じて外部と連通する(ガス透過可能及び透水可能に連通する)内部空間も含まれる。このうち、多孔質体を通じて外部と連通する内部空間には、1つの多孔質体を通じて外部と連通する内部空間に限らず、複数の多孔質体を通じて外部と連通する(ガス透過可能及び透水可能に連通する)内部空間も含まれる。   The “internal space of the gas sensor element that communicates with the outside of the gas sensor element” communicates with the interior of the gas sensor directly (without inclusions) or communicates with the outside through a porous body (gas permeation is possible). And an internal space that is permeable to water). Among these, the internal space communicating with the outside through the porous body is not limited to the internal space communicating with the outside through one porous body, but communicates with the outside through a plurality of porous bodies (gas permeable and water permeable). Internal space is also included.

その上、上述のガスセンサ素子では、第1電極が、上記内部空間に露出しない位置にて、第1リードと接続している。このため、前述の特許文献1(特許第4165652号公報)と異なり、「第1接続部が内部空間に配置されることで、酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する」ことを抑制できる。   Moreover, in the gas sensor element described above, the first electrode is connected to the first lead at a position where it is not exposed to the internal space. For this reason, unlike the above-mentioned Patent Document 1 (Japanese Patent No. 4165562), “the first connection portion is disposed in the internal space, so that the oxygen pump performance is reduced, and the oxygen concentration and NOx concentration in the measurement target gas It is possible to suppress “decrease in detection accuracy of detecting”.

さらに、上記のガスセンサ素子であって、前記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第1絶縁層を有し、前記第1電極の一部と前記第1リードは、上記第1絶縁層上に形成されてなり、上記第1電極の前記空間露出部は、上記第1絶縁層を上記固体電解質体の積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部を有し、上記第1電極の前記第1接続部は、上記第1絶縁層上において、上記第1リードと接続してなるガスセンサ素子とすると良い。   Further, the gas sensor element includes a first insulating layer formed on a front surface or a back surface of the solid electrolyte body, and a part of the first electrode and the first lead are formed on the first insulating layer. The space exposed portion of the first electrode is formed on a layer, and the space exposed portion of the first electrode is in contact with the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the first insulating layer in the stacking direction of the solid electrolyte body. The first connection portion of the first electrode may be a gas sensor element connected to the first lead on the first insulating layer.

上述のガスセンサ素子では、第1電極の空間露出部(ガスセンサ素子の内部空間に露出する部位)は、第1絶縁層の貫通孔を通じて、固体電解質体と接触する電解質体接触部を有している。一方、第1リードは、第1絶縁層上に形成している(これにより、固体電解質体と接触させないようにしている)。また、第1電極の第1接続部は、第1絶縁層上において、第1リードと接続している。従って、上述のガスセンサ素子では、第1電極の第1接続部を、内部空間に露出しない位置に配置すると共に、固体電解質体と接触させないようにしている。   In the gas sensor element described above, the space exposed portion of the first electrode (the portion exposed to the internal space of the gas sensor element) has an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body through the through hole of the first insulating layer. . On the other hand, the first lead is formed on the first insulating layer (this prevents contact with the solid electrolyte body). The first connection portion of the first electrode is connected to the first lead on the first insulating layer. Therefore, in the gas sensor element described above, the first connection portion of the first electrode is disposed at a position not exposed to the internal space and is not brought into contact with the solid electrolyte body.

これにより、上述のガスセンサでは、第1電極の電解質体接触部のみを、実際に感応部として機能させることができ、検知対象であるガス濃度を精度良く検知することが可能となる。なお、リードは、第1電極とは電気特性が異なるため、リードやこれと接続した第1接続部の一部が固体電解質と接触する構成とした場合は、ガス濃度を精度良く検知することができないことがある。   Thereby, in the above-mentioned gas sensor, only the electrolyte body contact part of the 1st electrode can be made to actually function as a sensitive part, and it becomes possible to detect the gas concentration which is a candidate for detection with sufficient accuracy. Since the lead has different electrical characteristics from the first electrode, the gas concentration can be accurately detected when the lead and a part of the first connecting portion connected to the lead are in contact with the solid electrolyte. There are things that cannot be done.

さらに、上記いずれかのガスセンサ素子であって、前記電極は、ガス透過性及び透水性を有し、上記ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体、と接触する多孔質体接触部を有する透水性の第2電極を含み、前記リードは、上記第2電極と接続する非透水性の第2リードを含み、上記第2電極は、前記固体電解質体の積層方向に直交する平面方向について上記多孔質体から離れた位置で、上記第2リードと接続する第2接続部であって、当該第2電極の中で上記多孔質体から最も離れた位置に配置された第2接続部を含み、上記第2接続部全体が、上記多孔質体からの距離が1.0mm以内の領域内に位置してなるガスセンサ素子とすると良い。   Furthermore, in any one of the above gas sensor elements, the electrode has gas permeability and water permeability, and has a porous body contact portion in contact with a porous body exposed to the outside of the gas sensor element. The lead includes a non-permeable second lead connected to the second electrode, and the second electrode is porous with respect to a planar direction perpendicular to the stacking direction of the solid electrolyte body. A second connection portion connected to the second lead at a position away from the body, the second connection portion disposed at a position farthest from the porous body in the second electrode, It is preferable that the entire second connection portion be a gas sensor element that is located in a region within a distance of 1.0 mm from the porous body.

上述のガスセンサ素子は、ガス透過性及び透水性を有し、ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体を有している。さらに、この多孔質体と接触する多孔質体接触部を有する透水性の第2電極を有すると共に、第2電極と接続する非透水性の第2リードを有している。このうち、第2電極は、多孔質体から平面方向に離れた位置で、第2リードと接続す
る第2接続部を有している(従って、第2電極は、多孔質体と接触する多孔質体接触部
と、多孔質体と接触しない第2接続部とを有している)。この第2接続部は、第2リードと多孔質体から離れた位置で接続するために、第2電極が延ばされて形成されるため、第2電極のうちで、上記多孔質体から最も離れた位置に配置されている。
The gas sensor element described above has gas permeability and water permeability, and has a porous body exposed to the outside of the gas sensor element. Furthermore, it has the water-permeable 2nd electrode which has a porous body contact part which contacts this porous body, and has the water-impermeable 2nd lead connected with a 2nd electrode. Among these, the second electrode has a second connection portion that is connected to the second lead at a position away from the porous body in the plane direction (therefore, the second electrode is a porous member that contacts the porous body. And a second contact portion that does not contact the porous body). The second connection portion is formed by extending the second electrode so as to be connected to the second lead at a position away from the porous body. Therefore, among the second electrodes, the second connection portion is the most from the porous body. It is located at a distance.

このような構成を有するガスセンサ素子でも、従来、第2接続部内に水が浸入し、これが凍結するような場合に、ガスセンサ素子にクラックが発生する虞があった。具体的には、例えば、ガスセンサ素子の表面に生じた結露水が、多孔質体を通じて、これに接触する第2電極内に浸入することがある。第2電極内に浸入した水は、第2リードと接続する第2接続部に達するが、第2リードは非透水性であるため、第2接続部に留まることがある。そして、第2接続部内に結露水が留まった状態で、この結露水が凍結することで体積膨張すると、第2接続部を挟む層間を引き離す方向に応力が発生し、これにより、ガスセンサ素子の層間(第2接続部を挟む層間)にクラックが発生する虞があった。   Even in the gas sensor element having such a configuration, there is a possibility that cracks may occur in the gas sensor element when water enters the second connection portion and freezes. Specifically, for example, dew condensation water generated on the surface of the gas sensor element may enter the second electrode in contact with the porous sensor through the porous body. The water that has entered the second electrode reaches the second connection portion that is connected to the second lead. However, the second lead is impermeable to water and may remain in the second connection portion. Then, when the condensed water stays in the second connecting portion and the condensed water freezes and expands in volume, a stress is generated in a direction separating the layers sandwiching the second connecting portion. There was a possibility that a crack would occur in the (interlayer sandwiching the second connection portion).

これに対し、上述のガスセンサ素子では、第2接続部全体を、多孔質体からの距離が1.0mm以内の領域内に配置している。これにより、第2接続部内に浸入した水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。その理由は、次のように考えている。   On the other hand, in the gas sensor element described above, the entire second connection portion is disposed within a region whose distance from the porous body is within 1.0 mm. Thereby, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked even when the water that has entered the second connection portion freezes. The reason is considered as follows.

第2接続部内に水が留まった状態で、この水が凍結し始めると、第2接続部内の微細空孔が次第に小さくなってゆく(氷によって塞がれてゆく)ので、第2接続部内に留まっている水は、第2リードとは反対側(すなわち、水が浸入できるスペースのある多孔質体側)に移動してゆく。このとき、第2接続部全体を、上記多孔質体からの距離が1.0mm以内の領域内に配置しておく(すなわち、第2接続部のうち多孔質体から最も離れている箇所から多孔質体までの距離を1.0mm以内と短くしておく)ことにより、第2接続部内に留まっていた水の多くを、第2接続部内で凍結する前に、多孔質体にまで移動させる(逃がす)ことができる。その後、多孔質体内において多くの水が凍結して膨張しても、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力が発生することはない。多孔質体は外部に露出しているので、仮に、多孔質体内が水で満たされていたとしても、凍結の際、その水を外部に逃がすことができるので、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力が発生することはない。従って、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。   If the water stays in the second connection part and the water begins to freeze, the fine pores in the second connection part will gradually become smaller (closed by ice), so The remaining water moves to the side opposite to the second lead (that is, the side of the porous body having a space where water can enter). At this time, the entire second connection portion is disposed in a region having a distance of 1.0 mm or less from the porous body (that is, the second connection portion is porous from the portion farthest from the porous body. By keeping the distance to the material body within 1.0 mm, most of the water remaining in the second connection part is moved to the porous body before freezing in the second connection part ( Can escape). Thereafter, even if a large amount of water freezes and expands in the porous body, no stress that separates the layers of the gas sensor element is generated. Since the porous body is exposed to the outside, even if the porous body is filled with water, the water can be released to the outside during freezing. It does not occur. Therefore, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked.

その上、第2電極は、多孔質体から平面方向に離れた位置で、第2リードと接続している。このため、「第2接続部が多孔質体と重なる位置に配置されることで、酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する」ことを抑制できる。   In addition, the second electrode is connected to the second lead at a position away from the porous body in the planar direction. For this reason, "the second connecting portion is disposed at a position overlapping the porous body, so that the oxygen pump performance is reduced, and the detection accuracy for detecting the oxygen concentration and NOx concentration in the measurement target gas is reduced." Can be suppressed.

さらに、上記のガスセンサ素子であって、前記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第2絶縁層を有し、前記第2電極の一部と前記第2リードは、上記第2絶縁層上に形成されてなり、上記第2電極の前記多孔質体接触部は、上記第2絶縁層を前記積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部を有し、上記第2電極の前記第2接続部は、上記第2絶縁層上において、上記第2リードと接続してなるガスセンサ素子とすると良い。   Furthermore, the gas sensor element includes a second insulating layer formed on the front surface or the back surface of the solid electrolyte body, and a part of the second electrode and the second lead are connected to the second insulating layer. The porous body contact portion of the second electrode has an electrolyte body contact portion that comes into contact with the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the second insulating layer in the stacking direction. The second connection portion of the second electrode may be a gas sensor element connected to the second lead on the second insulating layer.

上述のガスセンサ素子では、第2電極の多孔質体接触部(多孔質体と接触する部位)は、第2絶縁層の貫通孔を通じて、固体電解質体と接触する電解質体接触部を有している。一方、第2リードは、第2絶縁層上に形成している(これにより、固体電解質体と接触させないようにしている)。また、第2電極の第2接続部は、第2絶縁層上において、第2リードと接続している。従って、上述のガスセンサ素子では、第2電極の第2接続部を、多孔質体から平面方向に離れた位置に配置しつつ、固体電解質体と接触させないようにしている。   In the gas sensor element described above, the porous body contact portion of the second electrode (the portion in contact with the porous body) has an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body through the through hole of the second insulating layer. . On the other hand, the second lead is formed on the second insulating layer (this prevents contact with the solid electrolyte body). The second connection portion of the second electrode is connected to the second lead on the second insulating layer. Therefore, in the above-described gas sensor element, the second connection portion of the second electrode is disposed at a position away from the porous body in the planar direction, and is not brought into contact with the solid electrolyte body.

これにより、上述のガスセンサでは、第2電極の電解質体接触部のみを、実際に感応部として機能させることができ、検知対象であるガス濃度を精度良く検知することが可能となる。なお、リードは、第2電極とは電気特性が異なるため、リードやこれと接続した第2接続部の一部が固体電解質と接触する構成とした場合は、ガス濃度を精度良く検知することができないことがある。   Thereby, in the above-mentioned gas sensor, only the electrolyte body contact portion of the second electrode can actually function as the sensitive portion, and the gas concentration as the detection target can be detected with high accuracy. Since the lead has different electrical characteristics from the second electrode, the gas concentration can be accurately detected when the lead and a part of the second connection part connected to the lead are in contact with the solid electrolyte. There are things that cannot be done.

本発明の他の態様は、板状の固体電解質体が複数積層されてなるガスセンサ素子であって、上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられた電極と、上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられ、上記電極に接続されたリードと、を備え、上記電極は、上記ガスセンサ素子の外部と連通する上記ガスセンサ素子の内部空間内に配置された透水性の第3電極を含み、上記リードは、上記第3電極と接続する非透水性の第3リードを含み、上記ガスセンサ素子は、上記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第3絶縁層を有し、上記第3電極の一部と上記第3リードは、上記第3絶縁層上に形成されてなり、上記第3電極は、上記第3絶縁層を上記固体電解質体の積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部と、上記内部空間内で且つ上記第3絶縁層上において、上記第3リードと接続する第3接続部と、を有するガスセンサ素子である。   Another aspect of the present invention is a gas sensor element formed by laminating a plurality of plate-shaped solid electrolyte bodies, the electrode provided on the surface side or the back side of the solid electrolyte body, and the surface side of the solid electrolyte body Or a lead provided on the back surface side and connected to the electrode, the electrode including a water-permeable third electrode disposed in the internal space of the gas sensor element communicating with the outside of the gas sensor element The lead includes a non-water-permeable third lead connected to the third electrode, and the gas sensor element includes a third insulating layer formed on the front surface or the back surface of the solid electrolyte body, A part of the third electrode and the third lead are formed on the third insulating layer, and the third electrode passes through the through hole penetrating the third insulating layer in the stacking direction of the solid electrolyte body. , Contact with the solid electrolyte body An electrolyte body contact portion that, in and the third insulating layer within the internal space, a gas sensing element having a third connection portion which connects with the third lead.

上述のガスセンサ素子では、ガスセンサ素子の外部と連通するガスセンサ素子の内部空間内に配置された透水性の第3電極を有している。すなわち、第3電極は、その全体が上記内部空間内に配置されている(第3電極の表面または裏面の全体が内部空間に露出している)。また、上記内部空間内で第3電極の第3接続部と接続する非透水性の第3リードを有している。   The gas sensor element described above has a water-permeable third electrode disposed in the internal space of the gas sensor element that communicates with the outside of the gas sensor element. That is, the entire third electrode is disposed in the internal space (the entire front surface or back surface of the third electrode is exposed in the internal space). Moreover, it has the water-impermeable 3rd lead connected with the 3rd connection part of the 3rd electrode in the said internal space.

このような構成とすることで、第3電極内に浸入した水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。第3接続部を含む第3電極の全体が内部空間内に配置されているため、第3接続部を含む第3電極内に留まった水を内部空間内において凍結(膨張)させることができ、その結果、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力の発生を抑制することができるからである。   With such a configuration, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked even when the water that has entered the third electrode freezes. Since the entire third electrode including the third connection portion is disposed in the internal space, water remaining in the third electrode including the third connection portion can be frozen (expanded) in the internal space. As a result, the generation of stress that separates the layers of the gas sensor element can be suppressed.

その上、第3電極の第3接続部は、第3絶縁層上において、第3リードと接続している(これにより、固体電解質体と接触させないようにしている)。従って、第3接続部が内部空間に配置されていても、第3接続部が第3電極の酸素ポンプ性能に影響を及ぼすことがない(第3電極の酸素ポンプ性能を低下させることがない)。このため、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下することを抑制できる。   In addition, the third connection portion of the third electrode is connected to the third lead on the third insulating layer (this prevents contact with the solid electrolyte body). Therefore, even if the third connection portion is disposed in the internal space, the third connection portion does not affect the oxygen pump performance of the third electrode (the oxygen pump performance of the third electrode is not deteriorated). . For this reason, it can suppress that the detection accuracy which detects the oxygen concentration and NOx concentration in measurement object gas falls.

さらに、上記のガスセンサ素子であって、前記電極は、ガス透過性及び透水性を有し、上記ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体、と接触する透水性の第4電極であって、その全体が、前記固体電解質体の積層方向について上記多孔質体に対向する位置に配置された第4電極を含み、前記リードは、上記第4電極と接続する非透水性の第4リードを含み、上記ガスセンサ素子は、上記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第4絶縁層を有し、上記第4電極の一部と上記第4リードは、上記第4絶縁層上に形成されてなり、上記第4電極は、上記第4絶縁層を上記積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部と、上記積層方向について上記多孔質体と対向する位置で、且つ、上記第4絶縁層上において、上記第4リードと接続する第4接続部と、を有するガスセンサ素子とすると良い。   Further, in the above gas sensor element, the electrode is a water permeable fourth electrode that is in contact with a porous body that has gas permeability and water permeability and is exposed to the outside of the gas sensor element, The whole includes a fourth electrode disposed at a position facing the porous body in the stacking direction of the solid electrolyte body, and the lead includes a water-impermeable fourth lead connected to the fourth electrode, The gas sensor element includes a fourth insulating layer formed on the front surface or the back surface of the solid electrolyte body, and a part of the fourth electrode and the fourth lead are formed on the fourth insulating layer. The fourth electrode includes an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the fourth insulating layer in the stacking direction, and a position facing the porous body in the stacking direction. And the fourth insulating layer In, may the gas sensor element having a fourth connecting portion that connects with the fourth lead.

上述のガスセンサ素子は、ガス透過性及び透水性を有し、ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体を有している。さらに、多孔質体と接触する透水性の第4電極であって、その全体が、固体電解質体の積層方向(厚み方向)について多孔質体に対向する位置に配置
された第4電極を有している。ここで、「第4電極の全体が多孔質体に対向する」とは、多孔質体の全体が多孔質体に接触しつつ対向する場合の他、第4電極の一部がリードを挟んで多孔質体に対向すると共に、その他の部位が多孔質体に接触する形態で、透水性電極の全体が多孔質体に対向する場合も含む。また、上述のガスセンサ素子では、上記積層方向について上記多孔質体と対向する位置で、第4電極の第4接続部と接続する第4リードを有する。
The gas sensor element described above has gas permeability and water permeability, and has a porous body exposed to the outside of the gas sensor element. Furthermore, the fourth electrode is a water-permeable fourth electrode that comes into contact with the porous body, and is entirely disposed at a position facing the porous body in the stacking direction (thickness direction) of the solid electrolyte body. ing. Here, “the whole of the fourth electrode faces the porous body” means that the whole of the porous body faces the porous body while being in contact with it, and a part of the fourth electrode sandwiches the lead. It includes a case where the entire water-permeable electrode faces the porous body in a form in which the other portion contacts the porous body while facing the porous body. Further, the gas sensor element described above has a fourth lead connected to the fourth connection portion of the fourth electrode at a position facing the porous body in the stacking direction.

このような構成とすることで、第4電極内に浸入した水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。第4接続部を含む第4電極の全体が多孔質体に対向して配置され、第4電極の全体またはリードと接触した部位のみを除いた第4電極の大部分が多孔質体に接触しているため、第4電極内に留まった水の多くを多孔質体の空孔内において凍結(膨張)させることができ、その結果、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力の発生を抑制することができるからである。   With such a configuration, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked even when the water that has entered the fourth electrode is frozen. The entire fourth electrode including the fourth connecting portion is disposed to face the porous body, and most of the fourth electrode except the entire portion of the fourth electrode or only the portion in contact with the lead contacts the porous body. Therefore, most of the water remaining in the fourth electrode can be frozen (expanded) in the pores of the porous body, and as a result, the generation of stress separating the layers of the gas sensor element can be suppressed. Because.

その上、第4電極の第4接続部は、第4絶縁層上において、第4リードと接続している(これにより、固体電解質体と接触させないようにしている)。従って、第4接続部が多孔質体と重なる位置(積層方向に対向する位置)に配置されていても、第4接続部が第4電極の酸素ポンプ性能に影響を及ぼすことがない(第4電極の酸素ポンプ性能を低下させることがない)。このため、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下することを抑制できる。   In addition, the fourth connection portion of the fourth electrode is connected to the fourth lead on the fourth insulating layer (this prevents contact with the solid electrolyte body). Therefore, even if the fourth connecting portion is disposed at a position where the fourth connecting portion overlaps the porous body (position facing the stacking direction), the fourth connecting portion does not affect the oxygen pump performance of the fourth electrode (fourth). The oxygen pump performance of the electrode is not degraded). For this reason, it can suppress that the detection accuracy which detects the oxygen concentration and NOx concentration in measurement object gas falls.

さらに、上記いずれかのガスセンサ素子であって、前記ガスセンサ素子は、測定対象ガスに含まれるNOxの濃度を検出するガスセンサ素子であり、前記第1リードまたは前記第3リードとして、NOx濃度に応じた電流が流れるリードを備えるガスセンサ素子とすると良い。   Furthermore, any one of the gas sensor elements described above, wherein the gas sensor element is a gas sensor element that detects a concentration of NOx contained in a measurement target gas, and the first lead or the third lead is configured according to a NOx concentration. A gas sensor element having a lead through which a current flows may be used.

測定対象ガス(例えば、内燃機関の排ガス)に含まれるNOxの濃度を精度良く検知するためには、NOx濃度に応じた電流が流れるリードを緻密に形成する必要がある。緻密に形成したリードは、非透水性になる。このため、従来、NOx濃度に応じた電流が流れるリードと電極と接続した場合、前述のように、電極内に水が浸入し、この水が凍結するような場合には、ガスセンサ素子にクラックが発生する虞があった。   In order to accurately detect the concentration of NOx contained in the measurement target gas (for example, exhaust gas from an internal combustion engine), it is necessary to form leads with a high current flowing in accordance with the NOx concentration. A densely formed lead is impermeable to water. For this reason, conventionally, when the lead and the electrode through which the current corresponding to the NOx concentration flows are connected, as described above, when water enters the electrode and the water freezes, the gas sensor element is cracked. There was a risk of occurrence.

しかしながら、上述のガスセンサ素子では、第1リードまたは第3リードとして、NOx濃度に応じた電流が流れるリードを備えている。前述のように、第1リードと接続する第1電極の第1接続部全体を、内部空間からの距離が1.0mm以内の領域内に配置している。第3リードと接続する第3電極の第3接続部については、内部空間内に配置している。これにより、第1(第3)電極内に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。   However, the gas sensor element described above includes a lead through which a current corresponding to the NOx concentration flows as the first lead or the third lead. As described above, the entire first connection portion of the first electrode connected to the first lead is arranged in a region whose distance from the internal space is within 1.0 mm. About the 3rd connection part of the 3rd electrode connected with a 3rd lead | read | reed, it has arrange | positioned in internal space. Thereby, even when water enters the first (third) electrode and the water freezes, it is possible to prevent the gas sensor element from cracking.

また、本発明の他の態様は、上記いずれかのガスセンサ素子を備えるガスセンサである。
このガスセンサは、前述のいずれかのガスセンサ素子を有している。このため、このガスセンサでは、電極の酸素ポンプ性能を低下させることなく、透水性の電極内に水が浸入しこれが凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができ、測定対象ガスを適切に検知することができる。
Moreover, the other aspect of this invention is a gas sensor provided with one of the said gas sensor elements.
This gas sensor has any of the gas sensor elements described above. For this reason, in this gas sensor, it is possible to prevent the gas sensor element from cracking even when water enters the permeable electrode and freezes without degrading the oxygen pump performance of the electrode. The gas to be measured can be detected appropriately.

実施形態及び変形形態にかかるガスセンサの断面図である。It is sectional drawing of the gas sensor concerning embodiment and modification. 実施形態及び変形形態にかかるガスセンサ素子の斜視図である。It is a perspective view of the gas sensor element concerning embodiment and a modification. 図2のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. ガスセンサ素子を構成する各層を示す斜視図である。It is a perspective view which shows each layer which comprises a gas sensor element. 図4のE部の拡大図である。It is an enlarged view of the E section of FIG. 図4のF部の拡大図である。It is an enlarged view of the F section of FIG. Ip2−電極の接続部の位置を示す図であり、図3のC矢視図である。It is a figure which shows the position of the connection part of Ip2-electrode, and is C arrow line view of FIG. Ip1+電極の接続部の位置を示す図であり、図3のG矢視図である。It is a figure which shows the position of the connection part of an Ip1 + electrode, and is a G arrow line view of FIG. 距離D1,D2とクラック発生率との相関図である。It is a correlation diagram of distance D1, D2 and a crack generation rate. 変形形態にかかるガスセンサ素子について、Ip2−電極の接続部の位置を示す図である。It is a figure which shows the position of the connection part of Ip2-electrode about the gas sensor element concerning a deformation | transformation form. 変形形態にかかるガスセンサ素子について、Ip1+電極の接続部の位置を示す図である。It is a figure which shows the position of the connection part of an Ip1 + electrode about the gas sensor element concerning a deformation | transformation form.

(実施形態)
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
図1は、実施形態にかかるガスセンサ1の縦断面図(軸線AXに沿って切断した断面図)である。図2は、実施形態にかかるガスセンサ素子10の斜視図である。図3は、図2のB−B断面図であり、ガスセンサ素子10の内部構造を示している。図4は、ガスセンサ素子10を構成する各層を示す斜視図であり、積層方向(図4において上下方向)について積層順に並べて示している。図5は、図4のE部の拡大図であり、図6は、図4のF部の拡大図である。
(Embodiment)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view (a cross-sectional view cut along an axis AX) of a gas sensor 1 according to an embodiment. FIG. 2 is a perspective view of the gas sensor element 10 according to the embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 2 and shows the internal structure of the gas sensor element 10. FIG. 4 is a perspective view showing each layer constituting the gas sensor element 10 and shows the stacking direction (vertical direction in FIG. 4) in the stacking order. 5 is an enlarged view of a portion E in FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of a portion F in FIG.

ガスセンサ1は、測定対象ガスである排ガス中の特定ガス(NOx)の濃度を検出可能なガスセンサ素子10を備え、内燃機関の排気管(図示なし)に装着されて使用されるNOxセンサである(図1参照)。このガスセンサ1は、排気管に固定するためのネジ部21が外表面の所定位置に形成された筒状の主体金具20を備える。ガスセンサ素子10は、軸線AX方向に延びる細長板状をなし、主体金具20の内側に保持されている(図1、図2参照)。   The gas sensor 1 includes a gas sensor element 10 that can detect the concentration of a specific gas (NOx) in exhaust gas that is a measurement target gas, and is a NOx sensor that is used by being mounted on an exhaust pipe (not shown) of an internal combustion engine ( (See FIG. 1). This gas sensor 1 includes a cylindrical metal shell 20 in which a screw portion 21 for fixing to an exhaust pipe is formed at a predetermined position on the outer surface. The gas sensor element 10 has an elongated plate shape extending in the direction of the axis AX, and is held inside the metal shell 20 (see FIGS. 1 and 2).

さらに詳しくは、ガスセンサ1は、ガスセンサ素子10の後端部10k(図1において上端の部位)が挿入される挿入孔62を有する保持部材60と、この保持部材60の内側に保持された6個の端子部材とを備える。なお、図1では、6個の端子部材のうち2個の端子部材(具体的には、端子部材75,76)のみを図示している。   More specifically, the gas sensor 1 includes a holding member 60 having an insertion hole 62 into which the rear end portion 10k (the upper end portion in FIG. 1) of the gas sensor element 10 is inserted, and six pieces held inside the holding member 60. Terminal members. In FIG. 1, only two terminal members (specifically, terminal members 75 and 76) out of the six terminal members are illustrated.

ガスセンサ素子10の後端部10k(図2において右端部)には、平面視矩形状の電極端子部が合計6個形成されている。詳細には、ガスセンサ素子10の第1面10aに、電極端子部13,14,15が形成され、第2面10bに、電極端子部16,17,18が形成されている。電極端子部13〜18には、それぞれ、前述の端子部材が弾性的に当接して電気的に接続している(図1参照)。具体的には、各々の端子部材の先端側に位置する素子当接部が、電極端子部13〜18のいずれかに弾性的に当接する。例えば、電極端子部14には、端子部材75の素子当接部75bが弾性的に当接して電気的に接続している。また、電極端子部17には、端子部材76の素子当接部76bが弾性的に当接して電気的に接続している(図1参照)。   A total of six electrode terminal portions having a rectangular shape in plan view are formed at the rear end portion 10k (right end portion in FIG. 2) of the gas sensor element 10. Specifically, electrode terminal portions 13, 14, and 15 are formed on the first surface 10a of the gas sensor element 10, and electrode terminal portions 16, 17, and 18 are formed on the second surface 10b. The above-described terminal members are in elastic contact with and electrically connected to the electrode terminal portions 13 to 18, respectively (see FIG. 1). Specifically, the element contact portion located on the tip side of each terminal member elastically contacts any one of the electrode terminal portions 13 to 18. For example, the element contact portion 75 b of the terminal member 75 is elastically contacted and electrically connected to the electrode terminal portion 14. Further, the element contact portion 76b of the terminal member 76 is elastically contacted and electrically connected to the electrode terminal portion 17 (see FIG. 1).

さらに、6個の端子部材(端子部材75,76など)には、それぞれ、異なるリード線71が電気的に接続されている。具体的には、端子部材の後端部に位置するリード線把持部によって、リード線71の芯線が把持されることで、端子部材にリード線71が電気的に接続される。例えば、図1に示すように、端子部材75のリード線把持部77によって、リード線71の芯線が把持されることで、端子部材75にリード線71が電気的に接続される。また、端子部材76のリード線把持部78によって、他のリード線71の芯線
が把持されることで、端子部材76に他のリード線71が電気的に接続される。
Furthermore, different lead wires 71 are electrically connected to the six terminal members (terminal members 75, 76, etc.), respectively. Specifically, the lead wire 71 is electrically connected to the terminal member by gripping the core wire of the lead wire 71 by the lead wire gripping portion located at the rear end portion of the terminal member. For example, as shown in FIG. 1, the lead wire 71 is electrically connected to the terminal member 75 by gripping the core wire of the lead wire 71 by the lead wire gripping portion 77 of the terminal member 75. Further, the lead wire gripping portion 78 of the terminal member 76 grips the core wire of the other lead wire 71, whereby the other lead wire 71 is electrically connected to the terminal member 76.

主体金具20は、軸線AX方向に貫通する貫通孔23を有する筒状部材である。この主体金具20は、径方向内側に突出する形態で貫通孔23の一部を構成する棚部25を有している。主体金具20は、ガスセンサ素子10の先端部10sを自身の先端側外部(図1において下方)に突出させると共に、ガスセンサ素子10の後端部10kを自身の後端側外部(図1において上方)に突出させた状態で、ガスセンサ素子10を貫通孔23内に保持している。   The metal shell 20 is a cylindrical member having a through hole 23 that penetrates in the direction of the axis AX. The metal shell 20 has a shelf 25 that constitutes a part of the through hole 23 in a form protruding radially inward. The metal shell 20 projects the front end portion 10s of the gas sensor element 10 to the outside of its front end side (downward in FIG. 1), and the rear end portion 10k of the gas sensor element 10 to the outside of its rear end side (upward in FIG. 1). The gas sensor element 10 is held in the through hole 23 in a state where the gas sensor element 10 is protruded to the inside.

また、主体金具20の貫通孔23の内部には、環状のセラミックホルダ42、滑石粉末を環状に充填してなる2つの滑石リング43,44、及びセラミックスリーブ45が配置されている。詳細には、ガスセンサ素子10の径方向周囲を取り囲む状態で、セラミックホルダ42、滑石リング43,44、及びセラミックスリーブ45が、この順に、主体金具20の軸線方向先端側(図1において下端側)から軸線方向後端側(図1において上端側)にわたって重ねて配置されている。   Further, an annular ceramic holder 42, two talc rings 43 and 44 formed by annularly filling talc powder, and a ceramic sleeve 45 are disposed inside the through hole 23 of the metal shell 20. Specifically, the ceramic holder 42, the talc rings 43 and 44, and the ceramic sleeve 45 are arranged in this order in the axial direction front end side (lower end side in FIG. 1) of the metal shell 20 in a state of surrounding the gas sensor element 10 in the radial direction. To the rear end side in the axial direction (upper end side in FIG. 1).

また、セラミックホルダ42と主体金具20の棚部25との間には、金属カップ41が配置されている。また、セラミックスリーブ45と主体金具20のカシメ部22との間には、加締リング46が配置されている。なお、主体金具20のカシメ部22が、加締リング46を介してセラミックスリーブ45を先端側に押し付けるように、加締められている。   Further, a metal cup 41 is disposed between the ceramic holder 42 and the shelf 25 of the metal shell 20. A caulking ring 46 is disposed between the ceramic sleeve 45 and the caulking portion 22 of the metal shell 20. The caulking portion 22 of the metal shell 20 is crimped so as to press the ceramic sleeve 45 against the distal end side via the crimping ring 46.

主体金具20の先端部20bには、ガスセンサ素子10の先端部10sを覆うように、複数の孔を有する金属製(具体的にはステンレス)の外部プロテクタ31及び内部プロテクタ32が、溶接によって取り付けられている。一方、主体金具20の後端部には、外筒51が溶接によって取り付けられている。外筒51は、軸線AX方向に延びる筒状をなし、ガスセンサ素子10を包囲している。   A metal (specifically, stainless steel) external protector 31 and an internal protector 32 having a plurality of holes are attached to the distal end portion 20b of the metal shell 20 by welding so as to cover the distal end portion 10s of the gas sensor element 10. ing. On the other hand, an outer cylinder 51 is attached to the rear end portion of the metal shell 20 by welding. The outer cylinder 51 has a cylindrical shape extending in the direction of the axis AX and surrounds the gas sensor element 10.

保持部材60は、絶縁性材料(具体的にはアルミナ)からなり、軸線AX方向に貫通する挿入孔62を有する筒状部材である。挿入孔62内には、前述した6個の端子部材(端子部材75,76など)が配置されている(図1参照)。保持部材60の後端部には、径方向外側に突出する鍔部65が形成されている。保持部材60は、鍔部65が内部支持部材53に当接する態様で、内部支持部材53に保持されている。なお、内部支持部材53は、外筒51のうち径方向内側に向けて加締められた加締部51gにより、外筒51に保持されている。   The holding member 60 is a cylindrical member made of an insulating material (specifically alumina) and having an insertion hole 62 penetrating in the direction of the axis AX. In the insertion hole 62, the six terminal members (terminal members 75, 76, etc.) described above are arranged (see FIG. 1). At the rear end portion of the holding member 60, a flange portion 65 that protrudes radially outward is formed. The holding member 60 is held by the internal support member 53 in such a manner that the collar portion 65 contacts the internal support member 53. The inner support member 53 is held by the outer cylinder 51 by a caulking portion 51g that is caulked toward the radially inner side of the outer cylinder 51.

保持部材60の後端面61上には、絶縁部材90が配置されている。絶縁部材90は、電気絶縁性材料(具体的にはアルミナ)からなり、円筒状をなす。この絶縁部材90には、軸線AX方向に貫通する貫通孔91が合計6個形成されている。この貫通孔91には、前述した端子部材のリード線把持部(リード線把持部77,78など)が配置されている。   An insulating member 90 is disposed on the rear end surface 61 of the holding member 60. The insulating member 90 is made of an electrically insulating material (specifically, alumina) and has a cylindrical shape. The insulating member 90 is formed with a total of six through holes 91 penetrating in the direction of the axis AX. In the through hole 91, the lead wire gripping portions (lead wire gripping portions 77, 78, etc.) of the terminal member described above are arranged.

また、外筒51のうち軸線方向後端部(図1において上端部)に位置する後端開口部51cの径方向内側には、フッ素ゴムからなる弾性シール部材73が配置されている(図1参照)。この弾性シール部材73には、軸線AX方向に延びる円筒状の挿通孔73cが、合計6個形成されている。各々の挿通孔73cは、弾性シール部材73の挿通孔面73b(円筒状の内壁面)によって構成されている。各々の挿通孔73cには、リード線71が1本ずつ挿通されている。各々のリード線71は、弾性シール部材73の挿通孔73cを通じて、ガスセンサ1の外部に延出している。弾性シール部材73は、外筒51の後端開口部51cを径方向内側に加締めることで径方向に弾性圧縮変形し、これにより、挿通孔面73bとリード線71の外周面71bとを密着させて、挿通孔面73bとリード線71の外周面71bとの間を水密に封止している。   Further, an elastic seal member 73 made of fluororubber is arranged on the radially inner side of the rear end opening 51c located at the rear end portion in the axial direction (the upper end portion in FIG. 1) of the outer cylinder 51 (FIG. 1). reference). The elastic seal member 73 is formed with a total of six cylindrical insertion holes 73c extending in the axis AX direction. Each insertion hole 73 c is configured by an insertion hole surface 73 b (cylindrical inner wall surface) of the elastic seal member 73. One lead wire 71 is inserted through each insertion hole 73c. Each lead wire 71 extends to the outside of the gas sensor 1 through the insertion hole 73 c of the elastic seal member 73. The elastic seal member 73 is elastically compressed and deformed in the radial direction by caulking the rear end opening 51c of the outer cylinder 51 inward in the radial direction, whereby the insertion hole surface 73b and the outer peripheral surface 71b of the lead wire 71 are brought into close contact with each other. Thus, the space between the insertion hole surface 73b and the outer peripheral surface 71b of the lead wire 71 is sealed in a watertight manner.

一方、ガスセンサ素子10は、図3に示すように、板状の固体電解質体111、121、131と、これらの間に配置された絶縁体140、145とを備え、これらが積層方向(図3において上下方向)に積層された構造を有する。さらに、ガスセンサ素子10には、固体電解質体131の裏面131c側(図3において下面側)に、ヒータ161が積層されている。このヒータ161は、アルミナを主体とする板状の絶縁体162、163と、その間に埋設されたヒータパターン164(Ptを主体としている)とを備えている(図3,6参照)。ヒータパターン164は、曲線状の発熱部164dと、発熱部164dの両端にそれぞれ接続される直線状の第1リード部164b及び第2リード部164cとを備える。第1リード部164bは電極端子部16に電気的に接続され、第2リード部164cは電極端子部18に電気的に接続されている(図6参照)。   On the other hand, as shown in FIG. 3, the gas sensor element 10 includes plate-shaped solid electrolyte bodies 111, 121, 131 and insulators 140, 145 disposed therebetween, which are stacked in the stacking direction (FIG. 3). In the vertical direction). Further, in the gas sensor element 10, a heater 161 is laminated on the back surface 131 c side (the lower surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 131. The heater 161 includes plate-like insulators 162 and 163 mainly composed of alumina, and a heater pattern 164 (mainly composed of Pt) embedded therebetween (see FIGS. 3 and 6). The heater pattern 164 includes a curved heat generating portion 164d and linear first lead portions 164b and second lead portions 164c connected to both ends of the heat generating portion 164d, respectively. The first lead portion 164b is electrically connected to the electrode terminal portion 16, and the second lead portion 164c is electrically connected to the electrode terminal portion 18 (see FIG. 6).

固体電解質体111、121、131は、固体電解質であるジルコニアからなり、酸素イオン伝導性を有する。固体電解質体111の表面111b側(図3において上面側)には、多孔質のIp1+電極112が設けられている。また、固体電解質体111の裏面111c側(図3において下面側)には、多孔質のIp1−電極113が設けられている。Ip1+電極112及びIp1−電極113は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されており、ガス透過性及び透水性を有している。   The solid electrolyte bodies 111, 121, and 131 are made of zirconia, which is a solid electrolyte, and have oxygen ion conductivity. On the surface 111b side (the upper surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 111, a porous Ip1 + electrode 112 is provided. A porous Ip1-electrode 113 is provided on the back surface 111c side (the lower surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 111. The Ip1 + electrode 112 and the Ip1-electrode 113 are formed of cermet containing Pt powder and ceramic powder, and have gas permeability and water permeability.

なお、本実施形態では、次のようにして、Ip1+電極112及びIp1−電極113を形成している。具体的には、まず、100重量部のPt粉末と14重量部のセラミック粉末と10重量部の有機バインダー(例えば、エチルセルロース)を混合し、この混合物に対し所定量の溶媒を加えて、電極用ペーストを作製する。次いで、この電極用ペーストを固体電解質体111の表面111b側及び裏面111c側に塗工する。その後、加熱により有機バインダを消失させて、多孔質の電極112、113が形成される。   In the present embodiment, the Ip1 + electrode 112 and the Ip1− electrode 113 are formed as follows. Specifically, first, 100 parts by weight of Pt powder, 14 parts by weight of ceramic powder, and 10 parts by weight of an organic binder (for example, ethyl cellulose) are mixed, and a predetermined amount of solvent is added to the mixture to form an electrode. Make a paste. Next, this electrode paste is applied to the front surface 111 b side and the back surface 111 c side of the solid electrolyte body 111. Thereafter, the organic binder is eliminated by heating, and the porous electrodes 112 and 113 are formed.

図5に示すように、Ip1+電極112の接続部112dには、Ip1+リード116が接続されている。このIp1+リード116は、電極端子部13に電気的に接続されている。また、Ip1−電極113の接続部113dには、Ip1−リード117が接続されている。このIp1−リード117は、電極端子部15に電気的に接続されている。Ip1+リード116及びIp1−リード117は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されているが、Ip1+電極112及びIp1−電極113と異なり、緻密に形成されている。このため、Ip1+リード116及びIp1−リード117は、非透水性を有している。   As shown in FIG. 5, the Ip1 + lead 116 is connected to the connection part 112d of the Ip1 + electrode 112. The Ip1 + lead 116 is electrically connected to the electrode terminal portion 13. In addition, an Ip1-lead 117 is connected to the connection portion 113d of the Ip1-electrode 113. The Ip1-lead 117 is electrically connected to the electrode terminal portion 15. The Ip1 + lead 116 and the Ip1-lead 117 are formed of a cermet containing Pt powder and ceramic powder, but unlike the Ip1 + electrode 112 and the Ip1-electrode 113, they are densely formed. For this reason, the Ip1 + lead 116 and the Ip1-lead 117 are impermeable to water.

なお、本実施形態では、次のようにして、Ip1+リード116及びIp1−リード117を形成している。具体的には、まず、100重量部のPt粉末と18重量部のセラミック粉末と5重量部の有機バインダー(例えば、エチルセルロース)を混合し、この混合物に対し所定量の溶媒を加えて、リード用ペーストを作製する。次いで、このリード用ペーストを固体電解質体111の表面111b側及び裏面111c側に塗工する。その後、加熱により有機バインダを消失させて、リード116、117が形成される。
ところで、リード用ペーストは、前述の電極用ペーストに比べて、有機バインダーの添加量を少量(約半分の量)にしている。このように、加熱により消失して内部空孔を形成する有機バインダの添加量を少量とすることで、内部空孔の少ない緻密なリード116、117が形成される。
In the present embodiment, the Ip1 + lead 116 and the Ip1− lead 117 are formed as follows. Specifically, first, 100 parts by weight of Pt powder, 18 parts by weight of ceramic powder, and 5 parts by weight of an organic binder (for example, ethyl cellulose) are mixed, and a predetermined amount of solvent is added to the mixture, thereby leading to lead. Make a paste. Next, this lead paste is applied to the front surface 111 b side and the back surface 111 c side of the solid electrolyte body 111. Thereafter, the organic binder is eliminated by heating, and leads 116 and 117 are formed.
By the way, the lead paste has an organic binder added in a small amount (about half the amount) compared to the above-mentioned electrode paste. In this way, by reducing the amount of the organic binder added that disappears by heating to form internal vacancies, dense leads 116 and 117 with few internal vacancies are formed.

また、Ip1+電極112及びIp1+リード116の表面側(図3〜図5において上面側)には、アルミナ等からなる保護層115が積層されている。この保護層115のうちIp1+電極112と積層方向に対向する位置には、ガスセンサ素子10の外部に露出する第1多孔質体114(特許請求の範囲の多孔質体に相当する)が設けられている。この第1多孔質体114は、ガス透過性及び透水性を有し、Ip1+電極112の一部と接触している。Ip1+電極112のうち第1多孔質体114と接触する部位を、多孔質体接触部112bとする。   Further, a protective layer 115 made of alumina or the like is laminated on the surface side (the upper surface side in FIGS. 3 to 5) of the Ip1 + electrode 112 and the Ip1 + lead 116. A first porous body 114 (corresponding to the porous body in the claims) that is exposed to the outside of the gas sensor element 10 is provided at a position of the protective layer 115 facing the Ip1 + electrode 112 in the stacking direction. Yes. The first porous body 114 has gas permeability and water permeability, and is in contact with a part of the Ip1 + electrode 112. A portion of the Ip1 + electrode 112 that is in contact with the first porous body 114 is referred to as a porous body contact portion 112b.

固体電解質体111及び電極112、113は、Ip1セル110(第1ポンプセル)を構成する(図3参照)。このIp1セル110は、電極112、113間に流すポンプ電流Ip1に応じて、電極112の接する雰囲気(ガスセンサ素子10の外部の雰囲気)と電極113の接する雰囲気(後述する第1測定室150内の雰囲気)との間で酸素の汲み出し及び汲み入れ(いわゆる酸素ポンピング)を行う。   The solid electrolyte body 111 and the electrodes 112 and 113 constitute an Ip1 cell 110 (first pump cell) (see FIG. 3). The Ip1 cell 110 has an atmosphere in contact with the electrode 112 (atmosphere outside the gas sensor element 10) and an atmosphere in contact with the electrode 113 (in a first measurement chamber 150 to be described later) according to a pump current Ip1 flowing between the electrodes 112 and 113. Pumping out and pumping oxygen (so-called oxygen pumping).

固体電解質体121は、絶縁体140を挟んで、固体電解質体111と積層方向に対向するように配置されている。固体電解質体121の表面121b側(図3において上面側)には、多孔質のVs−電極122が設けられている。また、固体電解質体121の裏面121c側(図3において下面側)には、多孔質のVs+電極123が設けられている。Vs−電極122及びVs+電極123は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されており、ガス透過性及び透水性を有している。   The solid electrolyte body 121 is disposed so as to face the solid electrolyte body 111 in the stacking direction with the insulator 140 interposed therebetween. On the surface 121b side (upper surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 121, a porous Vs-electrode 122 is provided. Further, a porous Vs + electrode 123 is provided on the back surface 121c side (the lower surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 121. The Vs− electrode 122 and the Vs + electrode 123 are made of cermet containing Pt powder and ceramic powder, and have gas permeability and water permeability.

図5に示すように、Vs−電極122の接続部122dには、Vs−リード126が接続されている。このVs−リード126は、電極端子部15に電気的に接続されている。このVs−リード126は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されているが、Vs−電極122と異なり、緻密に形成されている。このため、Vs−リード126は、非透水性を有している。一方、図5,6に示すように、Vs+電極123の接続部123dには、Vs+リード127が接続されている。このVs+リード127は、電極端子部14に電気的に接続されている。このVs+リード127は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されているが、Vs+電極123と同時に形成されるため、多孔質に形成されている。このため、Vs+リード127は、ガス透過性及び透水性を有している。   As shown in FIG. 5, the Vs-lead 126 is connected to the connection portion 122 d of the Vs-electrode 122. The Vs-lead 126 is electrically connected to the electrode terminal portion 15. The Vs-lead 126 is formed of cermet containing Pt powder and ceramic powder, but unlike the Vs-electrode 122, it is formed densely. For this reason, the Vs-lead 126 has non-water permeability. On the other hand, as shown in FIGS. 5 and 6, the Vs + lead 127 is connected to the connection portion 123 d of the Vs + electrode 123. The Vs + lead 127 is electrically connected to the electrode terminal portion 14. The Vs + lead 127 is formed of a cermet containing Pt powder and ceramic powder. Since the Vs + lead 127 is formed simultaneously with the Vs + electrode 123, the Vs + lead 127 is formed porous. Therefore, the Vs + lead 127 has gas permeability and water permeability.

固体電解質体111と固体電解質体121との間には、ガスセンサ素子の内部空間としての第1測定室150が形成されている(図3参照)。この第1測定室150は、排気通路内を流通する排ガスが、ガスセンサ素子10内に最初に導入される内部空間であり、ガス透過性及び透水性を有する第2多孔質体151を通じてガスセンサ素子10の外部と連通している。第2多孔質体151は、ガスセンサ素子10の外部との仕切りとして、第1測定室150の側方に設けられており、第1測定室150内への排ガスの単位時間あたりの流通量を制限する(図2、図5参照)。   A first measurement chamber 150 as an internal space of the gas sensor element is formed between the solid electrolyte body 111 and the solid electrolyte body 121 (see FIG. 3). The first measurement chamber 150 is an internal space in which the exhaust gas flowing through the exhaust passage is first introduced into the gas sensor element 10, and the gas sensor element 10 passes through the second porous body 151 having gas permeability and water permeability. Communicates with the outside. The second porous body 151 is provided on the side of the first measurement chamber 150 as a partition from the outside of the gas sensor element 10, and limits the flow rate of exhaust gas per unit time into the first measurement chamber 150. (See FIGS. 2 and 5).

第1測定室150の後端側(図3において右側)には、第1測定室150と後述する第2測定室160との間の仕切りとして、排ガスの単位時間あたりの流通量を制限する第3多孔質体152が設けられている。   On the rear end side (the right side in FIG. 3) of the first measurement chamber 150, as a partition between the first measurement chamber 150 and a second measurement chamber 160 described later, a flow rate of exhaust gas per unit time is limited. A three porous body 152 is provided.

固体電解質体121及び電極122、123は、Vsセル120を構成する(図3参照)。このVsセル120は、主として、固体電解質体121により隔てられた雰囲気(電極122の接する第1測定室150内の雰囲気と、電極123の接する基準酸素室170内の雰囲気)間の酸素分圧差に応じて起電力を発生する。   The solid electrolyte body 121 and the electrodes 122 and 123 constitute a Vs cell 120 (see FIG. 3). The Vs cell 120 mainly has an oxygen partial pressure difference between the atmospheres separated by the solid electrolyte body 121 (the atmosphere in the first measurement chamber 150 in contact with the electrode 122 and the atmosphere in the reference oxygen chamber 170 in contact with the electrode 123). In response, an electromotive force is generated.

固体電解質体131は、絶縁体145を挟んで、固体電解質体121と積層方向に対向するように配置されている。固体電解質体131の表面131b側(図3において上面側)には、多孔質のIp2+電極132と多孔質のIp2−電極133が設けられてい
る。Ip2+電極132及びIp2−電極133は、Pt粉末とセラミック粉末とを含む
サーメットにより形成されており、ガス透過性及び透水性を有している。
The solid electrolyte body 131 is disposed so as to face the solid electrolyte body 121 in the stacking direction with the insulator 145 interposed therebetween. On the surface 131b side (upper surface side in FIG. 3) of the solid electrolyte body 131, a porous Ip2 + electrode 132 and a porous Ip2-electrode 133 are provided. The Ip2 + electrode 132 and the Ip2- electrode 133 are made of cermet containing Pt powder and ceramic powder, and have gas permeability and water permeability.

図6に示すように、Ip2+電極132には、Ip2+リード136が接続されている。このIp2+リード136は、電極端子部17に電気的に接続されている。このIp2+リード136は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されているが、Ip2+電極132と同時に形成されるため、多孔質に形成されている。このため、Ip2+リード136は、ガス透過性及び透水性を有している。一方、Ip2−電極133の接続部133dには、Ip2−リード137が接続されている。このIp2−リード137は、電極端子部15に電気的に接続されている。このIp2−リード137は、Pt粉末とセラミック粉末とを含むサーメットにより形成されているが、Ip2−電極133と異なり、緻密に形成されている。このため、Ip2−リード137は、非透水性を有している。   As shown in FIG. 6, an Ip2 + lead 136 is connected to the Ip2 + electrode 132. The Ip2 + lead 136 is electrically connected to the electrode terminal portion 17. The Ip2 + lead 136 is formed of a cermet containing Pt powder and ceramic powder. Since the Ip2 + lead 136 is formed simultaneously with the Ip2 + electrode 132, the Ip2 + lead 136 is formed porous. Therefore, the Ip2 + lead 136 has gas permeability and water permeability. On the other hand, the Ip2-lead 137 is connected to the connection part 133d of the Ip2-electrode 133. The Ip2-lead 137 is electrically connected to the electrode terminal portion 15. The Ip2-lead 137 is formed of a cermet containing Pt powder and ceramic powder, but unlike the Ip2-electrode 133, the Ip2-lead 137 is densely formed. For this reason, the Ip2-lead 137 has non-water permeability.

Ip2+電極132とVs+電極123との間には、孤立した小空間としての基準酸素室170が形成されている(図3参照)。この基準酸素室170は、絶縁体145に形成されている開口部145bにより構成されている。なお、基準酸素室170内のうちIp2+電極132側には、セラミックス製の多孔質体が配置されている。
また、Ip2−電極133と積層方向に対向する位置には、ガスセンサ素子の内部空間としての第2測定室160が形成されている。この第2測定室160は、絶縁体145を積層方向に貫通する開口部145cと、固体電解質体121を積層方向に貫通する開口部125と、絶縁体140を積層方向に貫通する開口部141とにより構成されている。
A reference oxygen chamber 170 as an isolated small space is formed between the Ip2 + electrode 132 and the Vs + electrode 123 (see FIG. 3). The reference oxygen chamber 170 is constituted by an opening 145 b formed in the insulator 145. In the reference oxygen chamber 170, a ceramic porous body is disposed on the Ip2 + electrode 132 side.
A second measurement chamber 160 as an internal space of the gas sensor element is formed at a position facing the Ip2-electrode 133 in the stacking direction. The second measurement chamber 160 includes an opening 145c that penetrates the insulator 145 in the laminating direction, an opening 125 that penetrates the solid electrolyte body 121 in the laminating direction, and an opening 141 that penetrates the insulator 140 in the laminating direction. It is comprised by.

第1測定室150と第2測定室160とは、ガス透過性及び透水性を有する第3多孔質体152を通じて連通している。従って、第2測定室160は、第2多孔質体151、第1測定室150、及び第3多孔質体152を通じて、ガスセンサ素子10の外部と連通している。
なお、本実施形態では、第1測定室150と第2測定室160とが、特許請求の範囲に記載の「ガスセンサ素子の外部と連通するガスセンサ素子の内部空間」に相当する。
The first measurement chamber 150 and the second measurement chamber 160 communicate with each other through a third porous body 152 having gas permeability and water permeability. Therefore, the second measurement chamber 160 communicates with the outside of the gas sensor element 10 through the second porous body 151, the first measurement chamber 150, and the third porous body 152.
In the present embodiment, the first measurement chamber 150 and the second measurement chamber 160 correspond to “the internal space of the gas sensor element communicating with the outside of the gas sensor element” recited in the claims.

固体電解質体131及び電極132、133は、NOx濃度を検知するためのIp2セル130(第2ポンプセル)を構成する。このIp2セル130は、第2測定室160内で分解されたNOx由来の酸素(酸素イオン)を、固体電解質体131を通じて、基準酸素室170に移動させる。このとき、電極132に接続されたリード136及び電極133に接続されたリード137には、第2測定室160内に導入された排ガス(測定対象ガス)に含まれるNOxの濃度に応じた電流が流れる。   The solid electrolyte body 131 and the electrodes 132 and 133 constitute an Ip2 cell 130 (second pump cell) for detecting the NOx concentration. The Ip2 cell 130 moves NOx-derived oxygen (oxygen ions) decomposed in the second measurement chamber 160 to the reference oxygen chamber 170 through the solid electrolyte body 131. At this time, the lead 136 connected to the electrode 132 and the lead 137 connected to the electrode 133 have a current corresponding to the concentration of NOx contained in the exhaust gas (measurement target gas) introduced into the second measurement chamber 160. Flowing.

なお、本実施形態では、固体電解質体111の表面111b上に、アルミナ絶縁層118が形成されている。さらに、Ip1+電極112の一部及びIp1+リード116は、アルミナ絶縁層118上に形成されている。さらに、Ip1+電極112の多孔質体接触部112bは、アルミナ絶縁層118を積層方向に貫通する貫通孔118bを通じて、固体電解質体111と接触する電解質体接触部112cを有する。   In the present embodiment, an alumina insulating layer 118 is formed on the surface 111 b of the solid electrolyte body 111. Further, a part of the Ip1 + electrode 112 and the Ip1 + lead 116 are formed on the alumina insulating layer 118. Furthermore, the porous body contact portion 112b of the Ip1 + electrode 112 has an electrolyte body contact portion 112c that contacts the solid electrolyte body 111 through a through hole 118b that penetrates the alumina insulating layer 118 in the stacking direction.

さらに、固体電解質体111の裏面111c上には、アルミナ絶縁層119が形成されている。さらに、Ip1−電極113の一部及びIp1−リード117は、アルミナ絶縁層119上に形成されている。さらに、Ip1−電極113のうち第1測定室150(内部空間)に露出する空間露出部113bは、アルミナ絶縁層119を積層方向に貫通する貫通孔119bを通じて、固体電解質体111と接触する電解質体接触部113cを有する。   Further, an alumina insulating layer 119 is formed on the back surface 111 c of the solid electrolyte body 111. Further, a part of the Ip1-electrode 113 and the Ip1-lead 117 are formed on the alumina insulating layer 119. Furthermore, the space exposed portion 113b exposed to the first measurement chamber 150 (internal space) of the Ip1-electrode 113 is an electrolyte body that contacts the solid electrolyte body 111 through a through hole 119b that penetrates the alumina insulating layer 119 in the stacking direction. A contact portion 113c is provided.

さらに、本実施形態では、固体電解質体121の表面121b上に、アルミナ絶縁層128が形成されている。さらに、Vs−電極122の一部及びVs−リード126は、アルミナ絶縁層128上に形成されている。さらに、Vs−電極122のうち第1測定室150(内部空間)に露出する空間露出部122bは、アルミナ絶縁層128を積層方向に貫通する貫通孔128bを通じて、固体電解質体121と接触する電解質体接触部122cを有する。   Furthermore, in this embodiment, an alumina insulating layer 128 is formed on the surface 121 b of the solid electrolyte body 121. Further, a part of the Vs-electrode 122 and the Vs-lead 126 are formed on the alumina insulating layer 128. Furthermore, the space exposed portion 122b exposed to the first measurement chamber 150 (internal space) of the Vs-electrode 122 is an electrolyte body that contacts the solid electrolyte body 121 through a through hole 128b that penetrates the alumina insulating layer 128 in the stacking direction. A contact portion 122c is provided.

さらに、固体電解質体121の裏面121c上には、アルミナ絶縁層129が形成されている。さらに、Vs+電極123の一部及びVs+リード127は、アルミナ絶縁層129上に形成されている。さらに、Vs+電極123は、アルミナ絶縁層129を積層方向に貫通する貫通孔129bを通じて、固体電解質体121と接触する電解質体接触部123cを有する。   Further, an alumina insulating layer 129 is formed on the back surface 121 c of the solid electrolyte body 121. Further, a part of the Vs + electrode 123 and the Vs + lead 127 are formed on the alumina insulating layer 129. Further, the Vs + electrode 123 has an electrolyte body contact portion 123c that contacts the solid electrolyte body 121 through a through hole 129b that penetrates the alumina insulating layer 129 in the stacking direction.

さらに、本実施形態では、固体電解質体131の表面131b上に、アルミナ絶縁層138が形成されている。さらに、Ip2+電極132の一部及びIp2+リード136は、アルミナ絶縁層138上に形成されている。さらに、Ip2−電極133の一部及びIp2−リード137も、アルミナ絶縁層138上に形成されている。電極132は、アルミナ絶縁層138を積層方向に貫通する貫通孔138bを通じて、固体電解質体131と接触する電解質体接触部132cを有する。また、電極133のうち第2測定室160(内部空間)に露出する空間露出部133bは、アルミナ絶縁層138を積層方向に貫通する貫通孔138cを通じて、固体電解質体131と接触する電解質体接触部133cを有する。   Furthermore, in this embodiment, an alumina insulating layer 138 is formed on the surface 131 b of the solid electrolyte body 131. Further, a part of the Ip2 + electrode 132 and the Ip2 + lead 136 are formed on the alumina insulating layer 138. Further, a part of the Ip2-electrode 133 and the Ip2-lead 137 are also formed on the alumina insulating layer 138. The electrode 132 has an electrolyte body contact portion 132c that comes into contact with the solid electrolyte body 131 through a through hole 138b that penetrates the alumina insulating layer 138 in the stacking direction. In addition, the space exposed portion 133b exposed to the second measurement chamber 160 (internal space) of the electrode 133 is an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body 131 through a through hole 138c that penetrates the alumina insulating layer 138 in the stacking direction. 133c.

このような構成とすることで、電極112、113、122、123、132、133のうち電解質体接触部112c、113c、122c、123c、132c、133cのみを、実際に感応部として機能させることができ、測定対象であるガス濃度を精度良く検知することが可能となる。なお、リード116、117、126、137は、電極112、113、122、133とは電気特性が異なるため、リードやこれと接続した接続部の一部が固体電解質と接触する構成とした場合は、接触させない本実施形態と比べて、ガス濃度の検知精度が劣ることになる。   With such a configuration, only the electrolyte body contact portions 112c, 113c, 122c, 123c, 132c, and 133c among the electrodes 112, 113, 122, 123, 132, and 133 can actually function as the sensitive portions. It is possible to accurately detect the concentration of the gas to be measured. The leads 116, 117, 126, and 137 have different electrical characteristics from those of the electrodes 112, 113, 122, and 133. Therefore, when the lead and a part of the connecting portion connected thereto are in contact with the solid electrolyte, The gas concentration detection accuracy is inferior to that of the present embodiment in which no contact is made.

なお、本実施形態では、Ip1−電極113、Vs−電極122、及び、Ip2−電極133が、特許請求の範囲に記載の「第1電極」に相当する。さらに、Ip1−リード117、Vs−リード126、及び、Ip2−リード137が、特許請求の範囲に記載の「第1リード」に相当する。また、Ip1+電極112が、特許請求の範囲に記載の「第2電極」に相当する。さらに、Ip1+リード116が、特許請求の範囲に記載の「第2リード」に相当する。   In the present embodiment, the Ip1-electrode 113, the Vs-electrode 122, and the Ip2-electrode 133 correspond to the “first electrode” recited in the claims. Furthermore, the Ip1-lead 117, the Vs-lead 126, and the Ip2-lead 137 correspond to the “first lead” recited in the claims. The Ip1 + electrode 112 corresponds to a “second electrode” recited in the claims. Further, the Ip1 + lead 116 corresponds to a “second lead” recited in the claims.

また、Ip1+電極112(第2電極)の接続部112dは、積層方向に直交する平面方向(図3、図5において左右方向)について第1多孔質体114から離れた位置に配置されており、Ip1+リード116(第2リード)と接続している。しかも、この接続部112dは、Ip1+電極112のうちで第1多孔質体114から最も離れた位置に配置されている。   In addition, the connection portion 112d of the Ip1 + electrode 112 (second electrode) is disposed at a position away from the first porous body 114 in the plane direction orthogonal to the stacking direction (the left-right direction in FIGS. 3 and 5). It is connected to the Ip1 + lead 116 (second lead). In addition, the connecting portion 112d is disposed at a position farthest from the first porous body 114 in the Ip1 + electrode 112.

さらに、Ip1−電極113(第1電極)の接続部113dは、第1測定室150(内部空間)に露出しない位置に配置され、第1測定室150の外側でIp1−リード117と接続している。しかも、この接続部113dは、Ip1−電極113のうちで第1測定室150から最も離れた位置に配置されている。同様に、Vs−電極122の接続部122dも、第1測定室150(内部空間)に露出しない位置に配置され、第1測定室150の外側でVs−リード126と接続している。しかも、この接続部122dは、Vs−電極122のうちで第1測定室150から最も離れた位置に配置されている。   Further, the connection portion 113d of the Ip1-electrode 113 (first electrode) is disposed at a position not exposed to the first measurement chamber 150 (internal space), and is connected to the Ip1-lead 117 outside the first measurement chamber 150. Yes. In addition, the connection portion 113 d is disposed at a position farthest from the first measurement chamber 150 in the Ip 1 -electrode 113. Similarly, the connection part 122 d of the Vs-electrode 122 is also arranged at a position where it is not exposed to the first measurement chamber 150 (internal space), and is connected to the Vs-lead 126 outside the first measurement chamber 150. In addition, the connecting portion 122 d is disposed at a position farthest from the first measurement chamber 150 in the Vs− electrode 122.

また、Ip2−電極133の接続部133dは、第2測定室160(内部空間)に露出しない位置に配置され、第2測定室160の外側でIp2−リード137と接続している。しかも、この接続部133dは、Ip2−電極133のうちで第2測定室160から最も離れた位置に配置されている。   Further, the connection part 133d of the Ip2-electrode 133 is disposed at a position not exposed to the second measurement chamber 160 (internal space), and is connected to the Ip2-lead 137 outside the second measurement chamber 160. In addition, the connecting portion 133d is arranged at a position farthest from the second measurement chamber 160 in the Ip2-electrode 133.

なお、本実施形態では、Ip1+電極112の接続部112dが、特許請求の範囲に記載の「第2接続部」に相当する。また、Ip1−電極113の接続部113d、Vs−電極122の接続部122d、及び、Ip2−電極133の接続部133dが、特許請求の範囲に記載の「第1接続部」に相当する。   In the present embodiment, the connection portion 112d of the Ip1 + electrode 112 corresponds to a “second connection portion” recited in the claims. Further, the connection portion 113d of the Ip1-electrode 113, the connection portion 122d of the Vs-electrode 122, and the connection portion 133d of the Ip2-electrode 133 correspond to the “first connection portion” recited in the claims.

上述のように、本実施形態では、接続部113d、122d、133d(第1接続部)が、第1測定室150、第2測定室160(内部空間)に露出しない位置で、Ip1−リード117、Vs−リード126、Ip2−リード137(第1リード)と接続している。これにより、前述の特許文献1(特許第4165652号公報)と異なり、「第1接続部が内部空間に配置されることで、酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する」ことを抑制できる。
さらに、接続部112d(第2接続部)が、第1多孔質体114から平面方向(図3、図5において左右方向)に離れた位置で、Ip1+リード116(第2リード)と接続している。これにより、「第2接続部が多孔質体と重なる位置に配置されることで、酸素ポンプ性能が低下し、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下する」ことを抑制できる。
As described above, in this embodiment, the connection portions 113d, 122d, and 133d (first connection portion) are not exposed to the first measurement chamber 150 and the second measurement chamber 160 (internal space), and the Ip1-lead 117 is exposed. , Vs-lead 126 and Ip2-lead 137 (first lead). Thereby, unlike the above-mentioned patent document 1 (Japanese Patent No. 4165552), “the first connection portion is disposed in the internal space, so that the oxygen pump performance is reduced, and the oxygen concentration and NOx concentration in the measurement target gas. It is possible to suppress “decrease in detection accuracy for detecting“
Further, the connecting portion 112d (second connecting portion) is connected to the Ip1 + lead 116 (second lead) at a position away from the first porous body 114 in the planar direction (left and right direction in FIGS. 3 and 5). Yes. Thereby, “the second connecting portion is arranged at a position overlapping the porous body, so that the oxygen pump performance is lowered and the detection accuracy for detecting the oxygen concentration and the NOx concentration in the measurement target gas is lowered”. Can be suppressed.

ここで、本実施形態のガスセンサ1によるNOx濃度検知について、簡単に説明する。
ガスセンサ素子10の固体電解質体111、121、131は、ヒータパターン164の昇温に伴い加熱され、活性化する。これにより、Ip1セル110、Vsセル120、及びIp2セル130が動作するようになる。
Here, the NOx concentration detection by the gas sensor 1 of the present embodiment will be briefly described.
The solid electrolyte bodies 111, 121, 131 of the gas sensor element 10 are heated and activated as the heater pattern 164 is heated. As a result, the Ip1 cell 110, the Vs cell 120, and the Ip2 cell 130 are operated.

排気通路(図示なし)内を流通する排ガス(測定対象ガス)は、第2多孔質体151による流通量の制限を受けつつ第1測定室150内に導入される。このとき、Vsセル120には、電極123側から電極122側へ微弱な電流Icpが流されている。このため、排ガス中の酸素は、負極側となる第1測定室150内の電極122から電子を受け取ることができ、酸素イオンとなって固体電解質体121内を流れ、基準酸素室170内に移動する。つまり、電極122、123間で電流Icpが流されることによって、第1測定室150内の酸素が基準酸素室170内に送り込まれる。   Exhaust gas (measurement target gas) flowing in the exhaust passage (not shown) is introduced into the first measurement chamber 150 while being restricted by the second porous body 151. At this time, a weak current Icp flows through the Vs cell 120 from the electrode 123 side to the electrode 122 side. For this reason, oxygen in the exhaust gas can receive electrons from the electrode 122 in the first measurement chamber 150 on the negative electrode side, flows as oxygen ions in the solid electrolyte body 121, and moves into the reference oxygen chamber 170. To do. That is, when the current Icp flows between the electrodes 122 and 123, oxygen in the first measurement chamber 150 is sent into the reference oxygen chamber 170.

第1測定室150内に導入された排ガスの酸素濃度が所定値より薄い場合、電極112側が負極となるようにIp1セル110に電流Ip1を流し、ガスセンサ素子10の外部から第1測定室150内へ酸素の汲み入れを行う。一方、第1測定室150内に導入された排ガスの酸素濃度が所定値より濃い場合、電極113側が負極となるようにIp1セル110に電流Ip1を流し、第1測定室150内からガスセンサ素子10外部へ酸素の汲み出しを行う。   When the oxygen concentration of the exhaust gas introduced into the first measurement chamber 150 is lower than a predetermined value, a current Ip1 is passed through the Ip1 cell 110 so that the electrode 112 side becomes a negative electrode, and the gas sensor element 10 has an inside of the first measurement chamber 150. Pump oxygen into the water. On the other hand, when the oxygen concentration of the exhaust gas introduced into the first measurement chamber 150 is higher than a predetermined value, the current Ip1 is supplied to the Ip1 cell 110 so that the electrode 113 side becomes a negative electrode, and the gas sensor element 10 is supplied from the first measurement chamber 150. Pump out oxygen to the outside.

このように、第1測定室150において酸素濃度が調整された排ガスは、第3多孔質体152を通じて、第2測定室160内に導入される。第2測定室160内で電極133と接触した排ガス中のNOxは、電極132、133間に電圧Vp2を印加されることで、電極133上で窒素と酸素に分解(還元)され、分解された酸素は、酸素イオンとなって固体電解質体131内を流れ、基準酸素室170内に移動する。このとき、第1測定室150で汲み残された残留酸素も同様に、Ip2セル130によって基準酸素室170内に移動する。これにより、Ip2セル130には、NOx由来の電流及び残留酸素由来の電流が流れる。   In this way, the exhaust gas whose oxygen concentration is adjusted in the first measurement chamber 150 is introduced into the second measurement chamber 160 through the third porous body 152. NOx in the exhaust gas in contact with the electrode 133 in the second measurement chamber 160 is decomposed (reduced) into nitrogen and oxygen on the electrode 133 by being applied with the voltage Vp2 between the electrodes 132 and 133 and decomposed. Oxygen flows as oxygen ions through the solid electrolyte body 131 and moves into the reference oxygen chamber 170. At this time, the residual oxygen remaining in the first measurement chamber 150 is similarly moved into the reference oxygen chamber 170 by the Ip2 cell 130. As a result, a current derived from NOx and a current derived from residual oxygen flow through the Ip2 cell 130.

ここで、第1測定室150で汲み残された残留酸素の濃度は、上記のように所定値に調整されているため、その残留酸素由来の電流は略一定とみなすことができ、NOx由来の電流の変動に対し影響は小さく、Ip2セル130を流れる電流は、NOx濃度に比例することとなる。従って、Ip2セル130を流れる電流Ip2を検出し、その電流値に基づいて、排ガス中のNOx濃度を検知することができる。   Here, since the concentration of the residual oxygen remaining in the first measurement chamber 150 is adjusted to a predetermined value as described above, the current derived from the residual oxygen can be regarded as substantially constant, and is derived from NOx. The influence on the current fluctuation is small, and the current flowing through the Ip2 cell 130 is proportional to the NOx concentration. Therefore, the current Ip2 flowing through the Ip2 cell 130 can be detected, and the NOx concentration in the exhaust gas can be detected based on the current value.

ところで、従来のガスセンサ素子では、第1電極(例えば、Ip1−電極113)内に水が浸入し、これが凍結するような場合に、ガスセンサ素子にクラックが発生する虞があった。具体的には、例えば、ガスセンサ素子の表面に生じた結露水が、第2多孔質体151を通じてガスセンサ素子の内部空間内に浸入し、さらに、第1電極内に浸入することがある。第1電極内に浸入した水は、第1リード(例えば、Ip1−リード117)と接続する第1接続部(例えば、接続部113d)に達するが、第1リードは非透水性であるため、第1接続部に留まることがある。第1接続部内に結露水が留まった状態で、この結露水が凍結することで体積膨張すると、第1接続部を挟む層間を引き離す方向に応力が発生し、これにより、ガスセンサ素子の層間(第1接続部を挟む層間)にクラックが発生する虞があった。   By the way, in the conventional gas sensor element, when water infiltrates into the 1st electrode (for example, Ip1-electrode 113) and this freezes, there exists a possibility that a crack may generate | occur | produce in a gas sensor element. Specifically, for example, condensed water generated on the surface of the gas sensor element may enter the internal space of the gas sensor element through the second porous body 151 and further enter the first electrode. The water that has entered the first electrode reaches the first connection portion (for example, the connection portion 113d) connected to the first lead (for example, Ip1-lead 117), but the first lead is impermeable to water. It may stay at the first connection. When the condensed water stays in the first connection portion and the volume expands due to the freezing of the condensed water, a stress is generated in a direction separating the layers sandwiching the first connection portion. There was a risk of cracks occurring between the layers sandwiching one connecting portion.

これに対し、本実施形態のガスセンサ素子10では、第1接続部(具体的には、接続部113d、122d、133d)の全体を、内部空間(第1測定室150または第2測定室160)からの距離が1.0mm以内の領域内に配置している。例えば、図7に示すように、接続部133d(第1接続部)の全体を、第2測定室160(内部空間)からの距離が1.0mm以内の領域A1(図7において二点鎖線K1で囲まれた領域)の内側に配置している。これと同様に、接続部113d、122dについても、その全体を、第1測定室150(内部空間)からの距離が1.0mm以内の領域の内側に配置している。   On the other hand, in the gas sensor element 10 of the present embodiment, the entire first connection portion (specifically, the connection portions 113d, 122d, and 133d) is the internal space (the first measurement chamber 150 or the second measurement chamber 160). It arrange | positions in the area | region within 1.0 mm from the distance. For example, as shown in FIG. 7, the entire connection portion 133d (first connection portion) is arranged in a region A1 within a distance of 1.0 mm from the second measurement chamber 160 (internal space) (two-dot chain line K1 in FIG. 7). (Area surrounded by). Similarly, the entire connection portions 113d and 122d are arranged inside a region whose distance from the first measurement chamber 150 (internal space) is within 1.0 mm.

これにより、Ip2−電極133(第1電極)内に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子10にクラックが発生するのを防止することができる。Ip1−電極113、Vs−電極122内に水が浸入した場合も、同様である。これらのことは、後述する凍結試験の結果より明らかである。なお、クラック発生を防止できる理由は、次のように考えている。   Thereby, even when water permeates into the Ip2-electrode 133 (first electrode) and the water freezes, it is possible to prevent the gas sensor element 10 from being cracked. The same applies when water enters the Ip1-electrode 113 and the Vs-electrode 122. These are clear from the results of the freezing test described later. The reason why cracks can be prevented is considered as follows.

例えば、Ip2−電極133の接続部133d内に水が留まった状態で、この水が凍結し始めると、接続部133d内の微細空孔が次第に小さくなってゆく(氷によって塞がれてゆく)ので、接続部133d内に留まっている水は、Ip2−リード137(第1リード)とは反対側(すなわち、水が浸入できるスペースのある第2測定室160側、図7において左側)に移動してゆく。このとき、接続部133d全体を、第2測定室160からの距離が1.0mm以内の領域A1内に配置しておく(すなわち、接続部133dのうち第2測定室160から最も離れた箇所から第2測定室160までの距離D1を1.0mm以内と短くしておく)ことにより、接続部133d内に留まっていた水の多くを、接続部133d内で凍結する前に、第2測定室160にまで移動させる(逃がす)ことができる。その後、第2測定室160内において多くの水が凍結して膨張しても、ガスセンサ素子10の層間を引き離す応力が発生することはない。その結果、ガスセンサ素子10にクラックが発生するのを防止することができる。Ip1−電極113の接続部113d及びVs−電極122の接続部122d内に溜まった水が凍結する場合も、同様であると考えている。   For example, when the water stays in the connection part 133d of the Ip2-electrode 133 and the water starts to freeze, the fine pores in the connection part 133d gradually become smaller (closed by ice). Therefore, the water remaining in the connection part 133d moves to the side opposite to the Ip2-lead 137 (first lead) (that is, the second measurement chamber 160 side where there is a space where water can enter, left side in FIG. 7). I will do it. At this time, the entire connection portion 133d is disposed in the region A1 whose distance from the second measurement chamber 160 is 1.0 mm or less (that is, from the portion of the connection portion 133d that is farthest from the second measurement chamber 160). The distance D1 to the second measurement chamber 160 is shortened to within 1.0 mm), so that most of the water remaining in the connection portion 133d is frozen in the connection portion 133d before the second measurement chamber 160d is frozen. It is possible to move up to 160. Thereafter, even if a large amount of water freezes and expands in the second measurement chamber 160, no stress that separates the layers of the gas sensor element 10 is generated. As a result, it is possible to prevent the gas sensor element 10 from being cracked. The same applies to the case where water accumulated in the connecting portion 113d of the Ip1-electrode 113 and the connecting portion 122d of the Vs-electrode 122 freezes.

また、従来のガスセンサ素子では、第2電極(Ip1+電極112)内に水が浸入し、これが凍結するような場合にも、ガスセンサ素子にクラックが発生する虞があった。具体的には、例えば、ガスセンサ素子の表面に生じた結露水が、第1多孔質体114を通じて、これに接触する第2電極内に浸入することがある。第2電極内に浸入した水は、第2リード(Ip1+リード116)と接続する第2接続部(接続部112d)に達するが、第2リードは非透水性であるため、第2接続部に留まることがある。第2接続部内に結露水が留まった状態で、この結露水が凍結することで体積膨張すると、第2接続部を挟む層間を引き離す方向に応力が発生し、これにより、ガスセンサ素子の層間(第2接続部を挟む層間)にクラックが発生する虞があった。   Further, in the conventional gas sensor element, there is a possibility that cracks may occur in the gas sensor element even when water enters the second electrode (Ip1 + electrode 112) and freezes. Specifically, for example, condensed water generated on the surface of the gas sensor element may enter the second electrode in contact with the first porous body 114 through the first porous body 114. The water that has entered the second electrode reaches the second connecting portion (connecting portion 112d) connected to the second lead (Ip1 + lead 116). However, since the second lead is impermeable to water, May stay. When the condensed water stays in the second connection portion and the volume of the condensed water is expanded by freezing, stress is generated in a direction to separate the layers sandwiching the second connection portion. There was a risk of cracks occurring in the layer between the two connecting portions.

これに対し、本実施形態のガスセンサ素子10では、図8に示すように、接続部112d(第2接続部)の全体を、第1多孔質体114からの距離が1.0mm以内の領域A2(図8において二点鎖線K2で囲まれた領域)内に配置している。換言すれば、接続部112d(第2接続部)のうち第1多孔質体114から最も離れている箇所から第1多孔質体114までの距離D2を、1.0mm以内としている。これにより、Ip1+電極112(第2電極)内に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子10にクラックが発生するのを防止することができる。このことは、後述する凍結試験の結果より明らかである。従って、このようなガスセンサ素子10を備えるガスセンサ1では、透水性の電極内に水が浸入しこれが凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができ、測定対象ガスを適切に検知することができる。   On the other hand, in the gas sensor element 10 of the present embodiment, as shown in FIG. 8, the entire connection portion 112d (second connection portion) is a region A2 whose distance from the first porous body 114 is within 1.0 mm. (A region surrounded by a two-dot chain line K2 in FIG. 8). In other words, the distance D2 from the portion farthest from the first porous body 114 to the first porous body 114 in the connecting portion 112d (second connecting portion) is set to be within 1.0 mm. Thereby, even when water permeates into the Ip1 + electrode 112 (second electrode) and the water freezes, it is possible to prevent the gas sensor element 10 from being cracked. This is clear from the results of the freezing test described later. Therefore, in the gas sensor 1 including such a gas sensor element 10, even when water enters the permeable electrode and freezes, it is possible to prevent the gas sensor element from cracking, and to measure the gas to be measured. Can be detected appropriately.

(凍結試験)
次に、ガスセンサ素子に対し行った凍結試験について説明する。
具体的には、第1接続部(接続部113d、122d、または、接続部133d)のうち内部空間(第1測定室150または第2測定室160)から最も離れている箇所から内部空間までの距離D1、及び、第2接続部(接続部112d)のうち第2多孔質体から最も離れている箇所から第2多孔質体までの距離D2を異ならせたガスセンサ素子(以下、試験素子ともいう)を、20個作製した。距離D1,D2は、それぞれの接続部について、0〜2.0mmの範囲で、0.2mm間隔で異ならせている。
(Freezing test)
Next, a freezing test performed on the gas sensor element will be described.
Specifically, from the location farthest from the internal space (first measurement chamber 150 or second measurement chamber 160) in the first connection portion (connection portions 113d, 122d, or connection portion 133d) to the internal space. A gas sensor element (hereinafter, also referred to as a test element) in which the distance D1 and the distance D2 from the portion farthest from the second porous body to the second porous body in the second connecting portion (connecting portion 112d) are different. 20) were produced. The distances D1 and D2 are different at intervals of 0.2 mm in the range of 0 to 2.0 mm for the respective connecting portions.

次いで、作製した試験素子を用いて凍結試験を行った。具体的には、まず、試験素子の先端部(第2多孔質体151及び第1多孔質体114を含む端部)を水没させ、この状態で24時間放置する。これにより、第2多孔質体151及び第1多孔質体114を通じて、試験素子内(電極112,113,122,133内)に水を浸入させる。次いで、試験素子を水中から取り出し、試験素子の表面に付着している水を拭き取る。次に、試験素子を、−20℃に槽内温度を設定した恒温槽内に配置し、2分間放置する。これにより、試験素子内に浸入した水を凍結させる。その後、試験素子を恒温槽内から取り出し、室温で1分間放置する。この恒温槽内放置と室温放置とを10回繰り返し行った後、試験素子の表面にレッド液を塗布する。塗布後、一定時間経過した後、試験素子の表面を拭き取る。拭き取った後の試験素子表面の外観チェックにより、クラック発生の有無を確認した。   Next, a freezing test was performed using the produced test element. Specifically, first, the tip of the test element (the end including the second porous body 151 and the first porous body 114) is submerged and left in this state for 24 hours. As a result, water enters the test element (in the electrodes 112, 113, 122, 133) through the second porous body 151 and the first porous body 114. Next, the test element is taken out from the water, and the water adhering to the surface of the test element is wiped off. Next, the test element is placed in a thermostatic bath set at −20 ° C. and left for 2 minutes. This freezes the water that has entered the test element. Thereafter, the test element is taken out from the thermostat and allowed to stand at room temperature for 1 minute. After being left in the constant temperature bath and left at room temperature 10 times, a red liquid is applied to the surface of the test element. After a certain time has elapsed after application, the surface of the test element is wiped off. The presence or absence of cracks was confirmed by checking the appearance of the test element surface after wiping.

具体的には、クラックが発生している箇所では、レッド液がその内部に浸透するため、試験素子の表面を拭き取った後も、レッド液が残存することになる。従って、第1接続部(接続部113d、122d、または、接続部133d)及び第2接続部(接続部112d)を挟んだ層間にクラックが発生している場合は、当該層間にレッド液が残存することになる。このような考えに基づいて、クラック発生の有無を判断した。その結果を図9に示す。   Specifically, since the red liquid penetrates into the cracked portion, the red liquid remains even after the surface of the test element is wiped off. Therefore, when a crack is generated between the first connection part (connection part 113d, 122d or connection part 133d) and the second connection part (connection part 112d), red liquid remains between the layers. Will do. Based on this idea, the presence or absence of cracks was determined. The result is shown in FIG.

図9に示すように、距離D1を1.0mm以下とした場合は、ガスセンサ素子にクラックは発生しなかった。同様に、距離D2を1.0mm以下とした場合も、ガスセンサ素子にクラックは発生しなかった。   As shown in FIG. 9, when the distance D1 was 1.0 mm or less, no crack occurred in the gas sensor element. Similarly, no cracks occurred in the gas sensor element even when the distance D2 was 1.0 mm or less.

一方、距離D1を1.0mmより大きくした場合は、ガスセンサ素子にクラックが発生した。具体的には、距離D1を1.2mmとした場合は、クラックの発生率が15%となった。すなわち、20個の試験素子のうち3個の試験素子において、クラックが発生した。また、距離D1を1.4mmとした場合は、クラックの発生率が25%となった。すなわち、20個の試験素子のうち5個の試験素子において、クラックが発生した。また、距離D1を1.6mmとした場合は、クラックの発生率が50%となった。すなわち、20個の試験素子のうち10個の試験素子において、クラックが発生した。また、距離D1を1.8mmとした場合は、クラックの発生率が85%となった。すなわち、20個の試験素子のうち17個の試験素子において、クラックが発生した。また、距離D1を2.0mmとした場合は、クラックの発生率が100%となった。すなわち、20個の試験素子の全てにおいて、クラックが発生した。   On the other hand, when the distance D1 was larger than 1.0 mm, a crack occurred in the gas sensor element. Specifically, when the distance D1 was 1.2 mm, the crack generation rate was 15%. That is, cracks occurred in three of the 20 test elements. When the distance D1 was 1.4 mm, the crack generation rate was 25%. That is, cracks occurred in 5 of the 20 test elements. Moreover, when the distance D1 was 1.6 mm, the crack generation rate was 50%. That is, cracks occurred in 10 test elements out of 20 test elements. When the distance D1 was 1.8 mm, the crack generation rate was 85%. That is, cracks occurred in 17 test elements out of 20 test elements. When the distance D1 was 2.0 mm, the crack generation rate was 100%. That is, cracks occurred in all 20 test elements.

また、距離D2を1.0mmより大きくした場合も、ガスセンサ素子にクラックが発生した。クラックの発生率は、距離D1に対する発生率と同等であった(図9参照)。   Further, when the distance D2 was larger than 1.0 mm, a crack occurred in the gas sensor element. The occurrence rate of cracks was equivalent to the occurrence rate with respect to the distance D1 (see FIG. 9).

以上の結果より、接続部113d、122d(第1接続部)の全体を、第1測定室150(内部空間)からの距離が1.0mm以内の領域内に配置することで、電極113,122の内部に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、接続部113d、122dを挟む層間においてクラックが発生することを防止できるといえる。さらに、接続部133d(第1接続部)の全体を、第2測定室160(内部空間)からの距離が1.0mm以内の領域内に配置することで、電極133の内部に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、接続部133dを挟む層間においてクラックが発生することを防止できるといえる。さらに、接続部112d(第2接続部)の全体を、第1多孔質体114からの距離が1.0mm以内の領域内に配置することで、電極112の内部に水が浸入し、この水が凍結するような場合でも、接続部112dを挟む層間においてクラックが発生することを防止できるといえる。   From the above results, the electrodes 113 and 122 are arranged by disposing the entire connection portions 113d and 122d (first connection portion) in a region whose distance from the first measurement chamber 150 (internal space) is within 1.0 mm. It can be said that even when water enters the inside and freezes, cracks can be prevented from occurring between the layers sandwiching the connection portions 113d and 122d. Further, the entire connection portion 133d (first connection portion) is disposed in a region within a distance of 1.0 mm from the second measurement chamber 160 (internal space), so that water enters the electrode 133. Even when this water freezes, it can be said that cracks can be prevented from occurring between the layers sandwiching the connecting portion 133d. Further, the entire connection portion 112d (second connection portion) is disposed in a region within a distance of 1.0 mm from the first porous body 114, so that water enters the electrode 112, and this water It can be said that cracks can be prevented from occurring between the layers sandwiching the connecting portion 112d even when the battery freezes.

(変形形態)
次に、本発明の変形形態について説明する。変形形態のガスセンサ201は、実施形態のガスセンサ1と比較してガスセンサ素子のみが異なり、その他の部位については同様である(図1参照)。従って、ここでは、実施形態と異なる点について説明し、同様な点については説明を省略または簡略化する。
実施形態のガスセンサ素子10では、図7に示すように、Ip2−電極133の接続部133d(第1接続部)の全体を、第2測定室160(内部空間)からの距離が1.0mm以内の領域A1(図7において二点鎖線K1で囲まれた領域)の内側に配置した。
(Deformation)
Next, modifications of the present invention will be described. The gas sensor 201 of the modified embodiment is different from the gas sensor 1 of the embodiment only in the gas sensor element, and the other parts are the same (see FIG. 1). Therefore, here, a different point from embodiment is demonstrated and description is abbreviate | omitted or simplified about the same point.
In the gas sensor element 10 of the embodiment, as shown in FIG. 7, the distance from the second measurement chamber 160 (internal space) to the entire connection portion 133 d (first connection portion) of the Ip2-electrode 133 is within 1.0 mm. In the region A1 (region surrounded by a two-dot chain line K1 in FIG. 7).

これに対し、本変形形態のガスセンサ素子210では、図10に示すように、Ip2−電極233を、第2測定室260(内部空間)内に配置している。すなわち、接続部233dを含めてIp2−電極233の全体を、第2測定室260(内部空間)内に配置している。これにより、接続部233dを含めたIp2−電極233の全体を、第2測定室260(内部空間)内に露出させている。また、Ip2−リード237は、第2測定室260(内部空間)内で、Ip2−電極233の接続部233dと接続している。   On the other hand, in the gas sensor element 210 of this modification, as shown in FIG. 10, the Ip2-electrode 233 is disposed in the second measurement chamber 260 (internal space). That is, the entire Ip2-electrode 233 including the connection portion 233d is disposed in the second measurement chamber 260 (internal space). Thus, the entire Ip2-electrode 233 including the connection portion 233d is exposed in the second measurement chamber 260 (internal space). The Ip2-lead 237 is connected to the connection part 233d of the Ip2-electrode 233 in the second measurement chamber 260 (internal space).

このような構成とすることで、Ip2−電極233内に浸入した水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。接続部233dを含むIp2−電極233(第3電極)の全体が第2測定室260(内部空間)内に配置されているため、接続部233d(第3接続部)を含むIp2−電極233内に留まった水を第2測定室260内において凍結(膨張)させることができ、その結果、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力の発生を抑制することができるからである。   With such a configuration, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked even when the water that has entered the Ip2-electrode 233 freezes. Since the entire Ip2-electrode 233 (third electrode) including the connection portion 233d is disposed in the second measurement chamber 260 (internal space), the Ip2-electrode 233 including the connection portion 233d (third connection portion) This is because the water remaining in the gas chamber can be frozen (expanded) in the second measurement chamber 260, and as a result, the generation of stress separating the layers of the gas sensor element can be suppressed.

また、Ip2−電極233は、アルミナ絶縁層238の貫通孔238cを通じて、アルミナ絶縁層238が形成されている固体電解質体131と接触する電解質体接触部233cを有している(図10参照)。一方、Ip2−リード237は、アルミナ絶縁層238上に形成している(これにより、固体電解質体131と接触させないようにしている)。また、Ip2−電極233の接続部233dは、アルミナ絶縁層238上において、Ip2−リード237と接続している(これにより、固体電解質体131と接触させないようにしている)。これにより、接続部233dが第2測定室260(内部空間)内に配置されていても、接続部233dがIp2−電極233の酸素ポンプ性能に影響を及ぼすことがない(Ip2−電極233の酸素ポンプ性能を低下させることがない)。このため、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下することを抑制できる。しかも、Ip2−電極233の電解質体接触部233cのみを、実際に感応部として機能させることができ、検知対象であるガス濃度を精度良く検知することが可能となる。   Further, the Ip2-electrode 233 has an electrolyte body contact portion 233c that comes into contact with the solid electrolyte body 131 on which the alumina insulating layer 238 is formed through the through hole 238c of the alumina insulating layer 238 (see FIG. 10). On the other hand, the Ip2-lead 237 is formed on the alumina insulating layer 238 (this prevents contact with the solid electrolyte body 131). Further, the connection part 233d of the Ip2-electrode 233 is connected to the Ip2-lead 237 on the alumina insulating layer 238 (this prevents the contact with the solid electrolyte body 131). Thereby, even if the connection part 233d is arrange | positioned in the 2nd measurement chamber 260 (internal space), the connection part 233d does not affect the oxygen pump performance of the Ip2-electrode 233 (oxygen of the Ip2-electrode 233) Pump performance will not be reduced). For this reason, it can suppress that the detection accuracy which detects the oxygen concentration and NOx concentration in measurement object gas falls. In addition, only the electrolyte contact portion 233c of the Ip2-electrode 233 can actually function as a sensitive portion, and the gas concentration that is the detection target can be detected with high accuracy.

なお、本変形形態では、Ip2−電極233が、特許請求の範囲に記載の「第3電極」に相当する。また、接続部233dが、特許請求の範囲に記載の「第3接続部」に相当する。また、Ip2−リード237が、特許請求の範囲に記載の「第3リード」に相当する。また、アルミナ絶縁層238が、特許請求の範囲に記載の「第3絶縁層」に相当する。また、電解質体接触部233cが、特許請求の範囲に記載の「第3電解質体接触部」に相当する。   In this modification, the Ip2-electrode 233 corresponds to a “third electrode” recited in the claims. The connection portion 233d corresponds to a “third connection portion” recited in the claims. The Ip2-lead 237 corresponds to a “third lead” recited in the claims. The alumina insulating layer 238 corresponds to a “third insulating layer” recited in the claims. The electrolyte body contact portion 233c corresponds to a “third electrolyte body contact portion” recited in the claims.

また、Ip1−電極及びVs−電極についても、Ip2−電極233と同様に、リードとの接続部を含めた全体を、第1測定室(内部空間)内に配置することで、クラックの発生を抑制することができる。   In addition, as for the Ip1-electrode and the Vs-electrode, similarly to the Ip2-electrode 233, the entire structure including the connection portion with the lead is arranged in the first measurement chamber (internal space), thereby generating cracks. Can be suppressed.

また、実施形態のガスセンサ素子10では、図8に示すように、Ip1+電極112の接続部112d(第2接続部)の全体を、第1多孔質体114からの距離が1.0mm以内の領域A2(図8において二点鎖線K2で囲まれた領域)内に配置した。   Further, in the gas sensor element 10 of the embodiment, as shown in FIG. 8, the entire connection portion 112 d (second connection portion) of the Ip1 + electrode 112 is a region whose distance from the first porous body 114 is within 1.0 mm. It arrange | positioned in A2 (area | region enclosed with the dashed-two dotted line K2 in FIG. 8).

これに対し、本変形形態のガスセンサ素子210では、図11に示すように、Ip1+電極212を、第1多孔質体214と接触させて、その全体を、固体電解質体の積層方向(厚み方向、図11において紙面に直交する方向)について第1多孔質体214に対向する位置に配置している。詳細には、Ip1+電極212の一部がIp1+リード216を挟んで第1多孔質体214に対向すると共に、その他の部位(リード216が積層方向に存在していない部位)が第1多孔質体214に接触する形態で、Ip1+電極212の全体が第1多孔質体214に対向している。なお、Ip1+リード216は、上記積層方向について第1多孔質体214と対向する位置で、Ip1+電極212の接続部212dと接続している。   On the other hand, in the gas sensor element 210 of the present modified embodiment, as shown in FIG. 11, the Ip1 + electrode 212 is brought into contact with the first porous body 214, and the whole is laminated in the stacking direction of the solid electrolyte body (thickness direction, In FIG. 11, it is arranged at a position facing the first porous body 214 in a direction perpendicular to the paper surface. Specifically, a part of the Ip1 + electrode 212 faces the first porous body 214 with the Ip1 + lead 216 interposed therebetween, and the other part (the part where the lead 216 does not exist in the stacking direction) is the first porous body. The entire Ip1 + electrode 212 is opposed to the first porous body 214 in a form in contact with 214. The Ip1 + lead 216 is connected to the connection part 212d of the Ip1 + electrode 212 at a position facing the first porous body 214 in the stacking direction.

このような構成とすることで、Ip1+電極212内に浸入した水が凍結するような場合でも、ガスセンサ素子にクラックが発生するのを防止することができる。接続部212dを含むIp1+電極212の全体が第1多孔質体214に対向して配置され、Ip1+電極212のうちIp1+リード216と接触した部位のみを除いた電極212の大部分が第1多孔質体214に接触しているため、Ip1+電極212内に留まった水の多くを第1多孔質体214の空孔内において凍結(膨張)させることができ、その結果、ガスセンサ素子の層間を引き離す応力の発生を抑制することができるからである。   With such a configuration, it is possible to prevent the gas sensor element from being cracked even when the water that has entered the Ip1 + electrode 212 freezes. The entire Ip1 + electrode 212 including the connecting portion 212d is disposed to face the first porous body 214, and most of the electrode 212 excluding only the portion in contact with the Ip1 + lead 216 of the Ip1 + electrode 212 is the first porous body 214. Since it is in contact with the body 214, much of the water remaining in the Ip1 + electrode 212 can be frozen (expanded) in the pores of the first porous body 214, and as a result, the stress separating the layers of the gas sensor element It is because generation | occurrence | production of this can be suppressed.

また、Ip1+電極212は、アルミナ絶縁層218の貫通孔218bを通じて、アルミナ絶縁層218が形成されている固体電解質体111と接触する電解質体接触部212cを有している(図11参照)。一方、Ip1+リード216は、アルミナ絶縁層218上に形成している(これにより、固体電解質体111と接触させないようにしている)。また、Ip1+電極212の接続部212dは、アルミナ絶縁層218上において、Ip1+リード216と接続している(これにより、固体電解質体111と接触させないようにしている)。このようにすることで、接続部212d(第4接続部)が第1多孔質体214と重なる位置(積層方向に対向する位置)に配置されていても、接続部212dがIp1+電極212(第4電極)の酸素ポンプ性能に影響を及ぼすことがない(Ip1+電極212の酸素ポンプ性能を低下させることがない)。このため、測定対象ガス中の酸素濃度やNOx濃度を検知する検知精度が低下することを抑制できる。しかも、Ip1+電極212の電解質体接触部212cのみを、実際に感応部として機能させることができ、検知対象であるガス濃度を精度良く検知することが可能となる。   Further, the Ip1 + electrode 212 has an electrolyte body contact portion 212c that comes into contact with the solid electrolyte body 111 on which the alumina insulating layer 218 is formed through the through hole 218b of the alumina insulating layer 218 (see FIG. 11). On the other hand, the Ip1 + lead 216 is formed on the alumina insulating layer 218 (this prevents contact with the solid electrolyte body 111). In addition, the connecting portion 212d of the Ip1 + electrode 212 is connected to the Ip1 + lead 216 on the alumina insulating layer 218 (this prevents contact with the solid electrolyte body 111). By doing in this way, even if the connection part 212d (4th connection part) is arrange | positioned in the position (position which opposes a lamination direction) which overlaps with the 1st porous body 214, the connection part 212d becomes Ip1 + electrode 212 (1st electrode). (4 electrodes) oxygen pump performance is not affected (the oxygen pump performance of the Ip1 + electrode 212 is not deteriorated). For this reason, it can suppress that the detection accuracy which detects the oxygen concentration and NOx concentration in measurement object gas falls. Moreover, only the electrolyte body contact portion 212c of the Ip1 + electrode 212 can actually function as a sensitive portion, and the gas concentration that is the detection target can be detected with high accuracy.

なお、本変形形態では、Ip1+電極212が、特許請求の範囲に記載の「第4電極」に相当する。また、接続部212dが、特許請求の範囲に記載の「第4接続部」に相当する。また、Ip1+リード216が、特許請求の範囲に記載の「第4リード」に相当する。また、アルミナ絶縁層218が、特許請求の範囲に記載の「第4絶縁層」に相当する。また、電解質体接触部212cが、特許請求の範囲に記載の「第4電解質体接触部」に相当する。   In this modification, the Ip1 + electrode 212 corresponds to the “fourth electrode” recited in the claims. Further, the connecting portion 212d corresponds to a “fourth connecting portion” recited in the claims. Further, the Ip1 + lead 216 corresponds to a “fourth lead” recited in the claims. The alumina insulating layer 218 corresponds to the “fourth insulating layer” recited in the claims. The electrolyte body contact portion 212c corresponds to a “fourth electrolyte body contact portion” recited in the claims.

以上において、本発明を実施形態及び変形形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、実施形態及び変形形態では、ガスセンサ素子として、NOx濃度を検知することが可能なガスセンサ素子(NOxセンサ素子)を例示した。しかしながら、本発明は、NOxセンサ素子に限らず、NOx以外のガスを検知することが可能なガスセンサ素子(例えば、酸素を検知する酸素センサ素子など)にも適用することができる。
In the above, the present invention has been described with reference to the embodiments and modifications. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments and the like, and can be appropriately modified and applied without departing from the gist thereof. Needless to say.
For example, in the embodiment and the modification, the gas sensor element (NOx sensor element) capable of detecting the NOx concentration is exemplified as the gas sensor element. However, the present invention can be applied not only to NOx sensor elements but also to gas sensor elements that can detect gases other than NOx (for example, oxygen sensor elements that detect oxygen).

また、変形形態では、Ip1+電極212の一部がIp1+リード216を挟んで第1多孔質体214に対向すると共に、その他の部位(リード216が積層方向に存在していない部位)が第1多孔質体214に接触する形態で、Ip1+電極212の全体が第1多孔質体214に対向するようにした。しかしながら、Ip1+電極212とIp1+リード216との積層方向位置を反対(上下反対)にして、Ip1+電極212の全体が第1多孔質体214に接触するようにしても良い。   In a modified form, a part of the Ip1 + electrode 212 faces the first porous body 214 with the Ip1 + lead 216 interposed therebetween, and the other part (part where the lead 216 does not exist in the stacking direction) is the first porous. The entire Ip1 + electrode 212 is made to face the first porous body 214 in a form in contact with the mass body 214. However, the position in the stacking direction of the Ip1 + electrode 212 and the Ip1 + lead 216 may be reversed (upside down) so that the entire Ip1 + electrode 212 is in contact with the first porous body 214.

1,201 ガスセンサ
10,210 ガスセンサ素子
111,121,131 固体電解質体
111b,121b,131b 固体電解質体の表面
111c,121c,131c 固体電解質体の裏面
112 Ip1+電極(第2電極)
112b 多孔質体接触部
112c 電解質体接触部
112d 接続部(第2接続部)
113 Ip1−電極(第1電極)
113b,122b,133b 空間露出部
113c,122c,133c 電解質体接触部
113d,122d,133d 接続部(第1接続部)
114 第1多孔質体
116 Ip1+リード(第2リード)
117 Ip1−リード(第1リード)
118 アルミナ絶縁層(第2絶縁層)
118b,119b,128b,138c 貫通孔
119,128,138 アルミナ絶縁層(第1絶縁層)
122 Vs−電極(第1電極)
123 Vs+電極
126 Vs−リード(第1リード)
127 Vs+リード
132 Ip2+電極
133 Ip2−電極(第1電極)
136 Ip2+リード
137 Ip2−リード(第1リード)
150 第1測定室(内部空間)
151 第2多孔質体
160 第2測定室(内部空間)
212 Ip1+電極(第4電極)
212c 電解質体接触部(第4電解質体接触部)
212d 接続部(第4接続部)
216 Ip1+リード(第4リード)
218 アルミナ絶縁層(第4絶縁層)
233 Ip2−電極(第3電極)
233c 電解質体接触部(第3電解質体接触部)
233d 接続部(第3接続部)
237 Ip2−リード(第3リード)
238 アルミナ絶縁層(第3絶縁層)
1,201 Gas sensor 10, 210 Gas sensor element 111, 121, 131 Solid electrolyte body 111b, 121b, 131b Front surface 111c, 121c, 131c of solid electrolyte body 112 Ip1 + electrode (second electrode) of solid electrolyte body
112b Porous body contact part 112c Electrolyte body contact part 112d Connection part (2nd connection part)
113 Ip1-electrode (first electrode)
113b, 122b, 133b Space exposed portion 113c, 122c, 133c Electrolyte body contact portion 113d, 122d, 133d Connection portion (first connection portion)
114 1st porous body 116 Ip1 + lead (2nd lead)
117 Ip1-lead (first lead)
118 Alumina insulating layer (second insulating layer)
118b, 119b, 128b, 138c Through hole 119, 128, 138 Alumina insulating layer (first insulating layer)
122 Vs-electrode (first electrode)
123 Vs + electrode 126 Vs-lead (first lead)
127 Vs + lead 132 Ip2 + electrode 133 Ip2- electrode (first electrode)
136 Ip2 + lead 137 Ip2- lead (first lead)
150 1st measurement chamber (internal space)
151 2nd porous body 160 2nd measurement chamber (internal space)
212 Ip1 + electrode (fourth electrode)
212c Electrolyte body contact portion (fourth electrolyte body contact portion)
212d Connection part (fourth connection part)
216 Ip1 + lead (4th lead)
218 Alumina insulating layer (fourth insulating layer)
233 Ip2-electrode (third electrode)
233c Electrolyte body contact portion (third electrolyte body contact portion)
233d connection part (third connection part)
237 Ip2-lead (3rd lead)
238 Alumina insulating layer (third insulating layer)

Claims (8)

板状の固体電解質体が複数積層されてなるガスセンサ素子であって、
上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられた電極と、
上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられ、上記電極に接続されたリードと、を備え、
上記電極は、
上記ガスセンサ素子の外部と連通する上記ガスセンサ素子の内部空間に露出する空間露出部を有する、透水性の第1電極、を含み、
上記リードは、上記第1電極と接続する非透水性の第1リードを含み、
上記第1電極は、上記内部空間に露出しない位置に配置され、上記第1リードと接続する第1接続部であって、当該第1電極の中で上記内部空間から最も離れた位置に配置された第1接続部を含み、
上記第1接続部全体が、上記内部空間からの距離が1.0mm以内の領域内に位置してなる
ガスセンサ素子。
A gas sensor element in which a plurality of plate-shaped solid electrolyte bodies are laminated,
An electrode provided on the front or back side of the solid electrolyte body;
Provided on the front side or the back side of the solid electrolyte body, and connected to the electrode,
The electrode is
A water permeable first electrode having a space exposed portion exposed in the internal space of the gas sensor element that communicates with the outside of the gas sensor element;
The lead includes a water-impermeable first lead connected to the first electrode,
The first electrode is disposed at a position that is not exposed to the internal space, and is a first connection portion that is connected to the first lead, and is disposed at a position farthest from the internal space in the first electrode. Including a first connecting portion,
The gas sensor element in which the whole said 1st connection part is located in the area | region where the distance from the said interior space is 1.0 mm or less.
請求項1に記載のガスセンサ素子であって、
前記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第1絶縁層を有し、
前記第1電極の一部と前記第1リードは、上記第1絶縁層上に形成されてなり、
上記第1電極の前記空間露出部は、上記第1絶縁層を上記固体電解質体の積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部を有し、
上記第1電極の前記第1接続部は、上記第1絶縁層上において、上記第1リードと接続してなる
ガスセンサ素子。
The gas sensor element according to claim 1,
A first insulating layer formed on the front or back surface of the solid electrolyte body;
A part of the first electrode and the first lead are formed on the first insulating layer,
The space exposed portion of the first electrode has an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the first insulating layer in the stacking direction of the solid electrolyte body,
The gas sensor element, wherein the first connection portion of the first electrode is connected to the first lead on the first insulating layer.
請求項1または請求項2に記載のガスセンサ素子であって、
前記電極は、
ガス透過性及び透水性を有し、上記ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体、と接触する多孔質体接触部を有する透水性の第2電極を含み、
前記リードは、上記第2電極と接続する非透水性の第2リードを含み、
上記第2電極は、前記固体電解質体の積層方向に直交する平面方向について上記多孔質体から離れた位置で、上記第2リードと接続する第2接続部であって、当該第2電極の中で上記多孔質体から最も離れた位置に配置された第2接続部を含み、
上記第2接続部全体が、上記多孔質体からの距離が1.0mm以内の領域内に位置してなる
ガスセンサ素子。
The gas sensor element according to claim 1 or 2,
The electrode is
A porous body having gas permeability and water permeability, exposed to the outside of the gas sensor element, and a water permeable second electrode having a porous body contact portion in contact with the porous body,
The lead includes a water-impermeable second lead connected to the second electrode,
The second electrode is a second connection portion connected to the second lead at a position away from the porous body in a plane direction orthogonal to the stacking direction of the solid electrolyte body, A second connecting portion disposed at a position farthest from the porous body,
A gas sensor element in which the entire second connection portion is located within a region having a distance of 1.0 mm or less from the porous body.
請求項3に記載のガスセンサ素子であって、
前記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第2絶縁層を有し、
前記第2電極の一部と前記第2リードは、上記第2絶縁層上に形成されてなり、
上記第2電極の前記多孔質体接触部は、上記第2絶縁層を前記積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部を有し、
上記第2電極の前記第2接続部は、上記第2絶縁層上において、上記第2リードと接続してなる
ガスセンサ素子。
The gas sensor element according to claim 3,
A second insulating layer formed on the front or back surface of the solid electrolyte body;
A part of the second electrode and the second lead are formed on the second insulating layer,
The porous body contact portion of the second electrode has an electrolyte body contact portion that contacts the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the second insulating layer in the stacking direction,
The gas sensor element, wherein the second connection portion of the second electrode is connected to the second lead on the second insulating layer.
板状の固体電解質体が複数積層されてなるガスセンサ素子であって、
上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられた電極と、
上記固体電解質体の表面側または裏面側に設けられ、上記電極に接続されたリードと、
を備え、
上記電極は、
上記ガスセンサ素子の外部と連通する上記ガスセンサ素子の内部空間内に配置された透水性の第3電極を含み、
上記リードは、上記第3電極と接続する非透水性の第3リードを含み、
上記ガスセンサ素子は、上記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第3絶縁層を有し、
上記第3電極の一部と上記第3リードは、上記第3絶縁層上に形成されてなり、
上記第3電極は、
上記第3絶縁層を上記固体電解質体の積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部と、
上記内部空間内で且つ上記第3絶縁層上において、上記第3リードと接続する第3接続部と、を有する
ガスセンサ素子。
A gas sensor element in which a plurality of plate-shaped solid electrolyte bodies are laminated,
An electrode provided on the front or back side of the solid electrolyte body;
A lead provided on the front side or the back side of the solid electrolyte body and connected to the electrode;
With
The electrode is
A water permeable third electrode disposed in the internal space of the gas sensor element communicating with the outside of the gas sensor element;
The lead includes a water-impermeable third lead connected to the third electrode,
The gas sensor element has a third insulating layer formed on the front surface or the back surface of the solid electrolyte body,
A part of the third electrode and the third lead are formed on the third insulating layer,
The third electrode is
An electrolyte body contact portion that comes into contact with the solid electrolyte body through a through-hole penetrating the third insulating layer in the stacking direction of the solid electrolyte body;
A gas sensor element comprising: a third connection portion connected to the third lead in the internal space and on the third insulating layer.
請求項5に記載のガスセンサ素子であって、
前記電極は、
ガス透過性及び透水性を有し、上記ガスセンサ素子の外部に露出する多孔質体、と接触する透水性の第4電極であって、その全体が、前記固体電解質体の積層方向について上記多孔質体に対向する位置に配置された第4電極を含み、
前記リードは、上記第4電極と接続する非透水性の第4リードを含み、
上記ガスセンサ素子は、上記固体電解質体の表面上または裏面上に形成された第4絶縁層を有し、
上記第4電極の一部と上記第4リードは、上記第4絶縁層上に形成されてなり、
上記第4電極は、
上記第4絶縁層を上記積層方向に貫通する貫通孔を通じて、上記固体電解質体と接触する電解質体接触部と、
上記積層方向について上記多孔質体と対向する位置で、且つ、上記第4絶縁層上において、上記第4リードと接続する第4接続部と、を有する
ガスセンサ素子。
The gas sensor element according to claim 5,
The electrode is
A porous electrode having gas permeability and water permeability that is exposed to the outside of the gas sensor element, and a water permeable fourth electrode that is in contact with the porous body in the stacking direction of the solid electrolyte body. Including a fourth electrode disposed at a position facing the body,
The lead includes a water-impermeable fourth lead connected to the fourth electrode,
The gas sensor element has a fourth insulating layer formed on the front surface or the back surface of the solid electrolyte body,
A part of the fourth electrode and the fourth lead are formed on the fourth insulating layer,
The fourth electrode is
An electrolyte body contact portion in contact with the solid electrolyte body through a through hole penetrating the fourth insulating layer in the stacking direction;
A gas sensor element comprising: a fourth connection portion connected to the fourth lead at a position facing the porous body in the stacking direction and on the fourth insulating layer.
請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のガスセンサ素子であって、
前記ガスセンサ素子は、測定対象ガスに含まれるNOxの濃度を検出するガスセンサ素子であり、
前記第1リードまたは前記第3リードとして、NOx濃度に応じた電流が流れるリードを備える
ガスセンサ素子。
The gas sensor element according to any one of claims 1 to 6,
The gas sensor element is a gas sensor element that detects the concentration of NOx contained in the measurement target gas,
A gas sensor element comprising a lead through which a current corresponding to a NOx concentration flows as the first lead or the third lead.
請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載のガスセンサ素子、を備える
ガスセンサ。
A gas sensor comprising the gas sensor element according to any one of claims 1 to 7.
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