JP2014147945A - Brazing material supply device - Google Patents

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JP2014147945A JP2013016911A JP2013016911A JP2014147945A JP 2014147945 A JP2014147945 A JP 2014147945A JP 2013016911 A JP2013016911 A JP 2013016911A JP 2013016911 A JP2013016911 A JP 2013016911A JP 2014147945 A JP2014147945 A JP 2014147945A
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Sumio Fujita
純男 藤田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a brazing material supply device capable of accurately arranging a brazing material piece 6 in a brazing material joining part, shortening process time, and reducing manufacturing cost.SOLUTION: A brazing material supply device 10 comprises a cutting part 12 composed of a combination of a receiving blade 13 and a cutting edge 14 for cutting a tape-like brazing material 7 into a brazing material piece 6, a guide 11 for guiding the tape-like brazing material 7 to the cutting part 12, a brazing material presser 18 arranged between the guide 11 and the cutting edge 14 and pressing the tape-like brazing material 7 to the receiving blade 13 and a transfer head mechanism 17 for pressing-fixing the tape-like brazing material 7 having reached on the cutting edge 14 to the cutting edge 14 and adsorbing, holding and transferring the cut brazing material piece 6. In the brazing material supply device 10, the brazing material presser 18 presses the tape-like brazing material 7 sent in between the receiving blade 13 and the cutting edge 14 to the receiving blade 13, and releases pressing force after cutting.

Description

本発明は、テープ状ろう材をろう材片に切断しこのろう材片を所定位置へ移送するろう材供給装置に関する。   The present invention relates to a brazing material supply device that cuts a brazing filler metal piece into a brazing filler metal piece and transfers the brazing filler metal piece to a predetermined position.

半導体パッケージの製造工程では、セラミック製の絶縁部材にリードフレームや放熱用金属板などの金属部材をろう材を介して接合されることが行われる。
図6はこのような半導体パッケージの一例を示す斜視図である。
図6(a)において、半導体パッケージ1は、タングステンやモリブデンなどの導体ペーストを印刷後焼成して形成されたメタライズ層2を上下面に有するセラミック製の枠体3と、枠体3の上面にろう材を介して接合されたFe―Ni系合金等の金属材料からなるリードフレーム4と、枠体3の下面にろう材を介して接合された銅タングステン(Cu―W)や銅モリブデン(Cu―Mo)などの金属材料からなる基体5と、を有している。
枠体3とリードフレーム4の接合は、図6(b)に示すように、リードフレーム4の上に平行に2本の短冊状のろう材片6を配置し、さらにその上にろう材片6とメタライズ層2が重なるように枠体3を配置して所定の温度で熱処理することにより行われる。
In the manufacturing process of a semiconductor package, a metal member such as a lead frame or a heat radiating metal plate is joined to a ceramic insulating member via a brazing material.
FIG. 6 is a perspective view showing an example of such a semiconductor package.
In FIG. 6A, a semiconductor package 1 includes a ceramic frame 3 having metallized layers 2 formed on a top surface and a bottom surface formed by printing a conductive paste such as tungsten or molybdenum and firing on the upper surface of the frame 3. A lead frame 4 made of a metal material such as an Fe—Ni alloy joined via a brazing material, and copper tungsten (Cu—W) or copper molybdenum (Cu) joined to the lower surface of the frame 3 via a brazing material. And a base 5 made of a metal material such as Mo).
As shown in FIG. 6B, the frame 3 and the lead frame 4 are joined by arranging two strip-shaped brazing material pieces 6 in parallel on the lead frame 4, and further brazing material pieces thereon. 6 and the metallized layer 2 are arranged so that the frame 3 is arranged and heat-treated at a predetermined temperature.

ろう材片6を配置するのに、テープ状ろう材をろう材片に切断し、これを吸着して移送するろう材供給装置が使用されている。図7は従来のろう材供給装置を示し、51は上面部に配置したテープ状ろう材7を切断部52へ案内するガイド、53および54はガイド51を通って送り出されたテープ状ろう材7を所定長さに切断する受刃および切刃で、切刃54はテープ状ろう材7を切断する際に上昇するようになっている。受刃53とガイド51の間にはテープ状ろう材7を切断部52へ送り出し可能とするために、テープ状ろう材7の厚みよりも大きな隙間hが設けられている。
57は切刃54の上昇によってテープ状ろう材7から切断されたろう材片6に当接してこれを真空吸着して移送する移載ヘッド機構で、移載ヘッド機構57はろう材片6を真空吸着する吸着ノズル55と、吸着ノズル55を保持するホルダー56から構成される。移載ヘッド機構57は、吸着ノズル55がろう材片6を吸着すると、リードフレーム4の上方に移動してろう材片6を配置し、しかる後元の位置に戻るようになっている。
In order to arrange the brazing filler metal piece 6, a brazing filler metal feeding device is used that cuts the tape-like brazing filler material into a brazing filler metal piece and sucks and transfers the brazing filler metal piece. FIG. 7 shows a conventional brazing material supply device, 51 is a guide for guiding the tape-shaped brazing material 7 arranged on the upper surface portion to the cutting portion 52, and 53 and 54 are the tape-shaped brazing material 7 fed out through the guide 51. The cutting blade 54 rises when the tape-like brazing material 7 is cut. A gap h larger than the thickness of the tape-shaped brazing material 7 is provided between the receiving blade 53 and the guide 51 so that the tape-shaped brazing material 7 can be fed to the cutting portion 52.
Reference numeral 57 denotes a transfer head mechanism that abuts against the brazing filler metal piece 6 cut from the tape-like brazing filler metal 7 by the rising of the cutting blade 54 and vacuum-sucks and transfers the brazing filler metal piece 6. The suction nozzle 55 includes a suction nozzle 55 and a holder 56 that holds the suction nozzle 55. When the suction nozzle 55 sucks the brazing filler metal piece 6, the transfer head mechanism 57 moves above the lead frame 4 to place the brazing filler metal piece 6, and then returns to the original position.

上記のろう材供給装置では、テープ状ろう材7が切刃54の上昇によって切断された後、切断されたろう材片6がさらに上昇させられ吸着ノズル55に吸着される。テープ状ろう材7の切断時に、切刃54の動作による衝撃や振動などによりろう材片6が回転や位置ずれを起こし、この状態でろう材片6が吸着ノズル55に吸着される。このため、ろう材片6がリードフレーム4上に位置ずれして配置され、接合不良となる問題が発生していた。   In the above brazing material supply device, after the tape-shaped brazing material 7 is cut by raising the cutting blade 54, the cut brazing material piece 6 is further raised and sucked by the suction nozzle 55. At the time of cutting the tape-shaped brazing material 7, the brazing material piece 6 is rotated or displaced due to impact or vibration caused by the operation of the cutting blade 54, and in this state, the brazing material piece 6 is attracted to the suction nozzle 55. For this reason, the brazing filler metal piece 6 is displaced on the lead frame 4 and has a problem of poor bonding.

このような問題を解決するため、非特許文献1には、上下の双方間に水平方向に送り込まれた薄材を小片に切断するための上刃カッタと下刃カッタ、この下刃カッタ上に至った上記薄材を上方から押圧し位置固定しておき、上記上刃カッタと下刃カッタにより切断された上記上片を真空吸着するニードル、このニードルを上下動可能に支持しており、上記薄材が上記上下のカッタ間に送り込まれると下降し上記ニードルで下刃カッタ上の薄片を押圧させ、上記小片に切断されるとニードルに吸着させて上昇し、部品上の溶着位置上に移動して下降し、ニードルに吸着されている小片を部品上に圧着し溶着させる支持わく、及びこの支持わくに装着され、上記ニードルを下方に押圧するばね部材を備えた薄材の切断溶着装置が記載されている。
上記切断溶着装置によれば、送り込まれ下刃カッタ上にある薄材をニードルで押圧し位置固定し、カッタの切断動作で小片に切断し、この小片をニードルで真空吸着して部品上に移送し溶着するようにしているので、小片が部品上の溶着箇所に位置精度よく溶着することができ、位置ずれによる他の部品との溶着不良をなくすることができる。
In order to solve such a problem, Non-Patent Document 1 discloses that an upper blade cutter and a lower blade cutter for cutting a thin material fed in the horizontal direction between the upper and lower sides into small pieces, on the lower blade cutter. The above-mentioned thin material is pressed from above and fixed in position, a needle for vacuum-adsorbing the upper piece cut by the upper blade cutter and the lower blade cutter, and supporting the needle so as to move up and down, When the thin material is fed between the upper and lower cutters, it descends and presses the thin piece on the lower blade cutter with the needle, and when it is cut into the small pieces, it is adsorbed by the needle and rises to move onto the welding position on the part Then, a thin metal cutting and welding apparatus including a support frame that lowers and presses and welds a small piece adsorbed by the needle onto a component, and a spring member that is attached to the support frame and presses the needle downward is provided. Have been described.
According to the above-mentioned cutting and welding apparatus, the thin material that is fed in and pressed on the lower blade cutter is pressed and fixed in position by the needle, cut into small pieces by the cutting operation of the cutter, and this small piece is vacuum-adsorbed by the needle and transferred onto the part. Since the welding is performed, the small piece can be welded to the welding location on the part with high positional accuracy, and the welding failure with other parts due to misalignment can be eliminated.

図8(a)は半導体パッケージの他の例を示す斜視図であり、図6(a)の半導体パッケージ1に比べてリードフレーム4のリード数が多く、枠体3の4つの辺全部にリードフレーム4のリード9が接続される以外は図6(a)の半導体パッケージ1の構成と同じである。この場合の枠体3とリードフレーム4の接合もろう材を用いて行われ、図8(b)に示すように、リードフレーム4の上に格子状に4本のろう材片6を配置し、さらにその上にろう材片6とメタライズ層2が重なるように枠体3を配置して所定の温度で熱処理することにより行われる。   FIG. 8A is a perspective view showing another example of the semiconductor package. The number of leads of the lead frame 4 is larger than that of the semiconductor package 1 of FIG. Except that the lead 9 of the frame 4 is connected, the configuration is the same as that of the semiconductor package 1 of FIG. In this case, the frame 3 and the lead frame 4 are also joined by using a brazing material. As shown in FIG. 8B, four brazing material pieces 6 are arranged on the lead frame 4 in a lattice shape. Further, the frame body 3 is disposed so that the brazing filler metal piece 6 and the metallized layer 2 overlap each other, and heat treatment is performed at a predetermined temperature.

図7に示す従来のろう材供給装置50や非特許文献1に記載されている切断溶着装置では、1度に1つのろう材片しかリードフレーム上へ移送できないため、図8(a)に示す半導体パッケージ1では4回のろう材片移送工程が必要となり、工程時間を短縮できないという問題があった。
このような問題を解決するため、特許文献1に示すようなリング状ろう材を用いることが行われている。この場合の枠体3とリードフレーム4の接合は、図8(c)に示すように、リードフレーム4上にリング状ろう材8を配置し、さらにその上にリング状ろう材8とメタライズ層2が重なるように枠体3を配置して所定の温度で熱処理することにより行われる。
特許文献1に示すようなリング状ろう材を用いれば、一度に4つの辺にろう材を配置することができ、工程時間を短縮することができる。
In the conventional brazing material supply device 50 shown in FIG. 7 and the cutting and welding device described in Non-Patent Document 1, only one brazing material piece can be transferred onto the lead frame at a time. In the semiconductor package 1, the brazing material piece transfer process is required four times, and the process time cannot be shortened.
In order to solve such a problem, a ring-shaped brazing material as shown in Patent Document 1 is used. In this case, as shown in FIG. 8C, the frame 3 and the lead frame 4 are joined by arranging a ring-shaped brazing material 8 on the lead frame 4 and further a ring-shaped brazing material 8 and a metallized layer thereon. The frame 3 is arranged so that 2 overlaps and heat-treated at a predetermined temperature.
If a ring-shaped brazing material as shown in Patent Document 1 is used, the brazing material can be arranged on four sides at a time, and the process time can be shortened.

実開昭57−23926号公報Japanese Utility Model Publication No. 57-23926

特開2002−239786号公報JP 2002-239786 A

非特許文献1に記載されている切断溶着装置には、ガイド51と受刃53の間に位置するテープ状ろう材7を切断時に固定する技術に関する記載は無い。このような切断溶着装置では、切刃54の上昇によって受刃53に押し付けられていたテープ状ろう材7が、切断によってろう材片6から切り離されて、受刃53側からガイド51側へ落下する。この落下の衝撃によってテープ状ろう材7の先端7aの位置がずれ、位置ずれしたテープ状ろう材7の先端7aが切刃54へ送り込まれるという問題が発生していた。   In the cutting and welding apparatus described in Non-Patent Document 1, there is no description relating to a technique for fixing the tape-shaped brazing material 7 positioned between the guide 51 and the receiving blade 53 at the time of cutting. In such a cutting and welding apparatus, the tape-shaped brazing material 7 pressed against the receiving blade 53 by the rising of the cutting blade 54 is cut off from the brazing filler metal piece 6 by cutting and falls from the receiving blade 53 side to the guide 51 side. To do. Due to the impact of the drop, the position of the tip 7a of the tape-shaped brazing material 7 is displaced, and the problem that the position of the displaced tip 7a of the tape-shaped brazing material 7 is fed into the cutting blade 54 has occurred.

また、特許文献1に示すようなリング状ろう材を用いるためには、半導体パッケージ1の形状やサイズごとに、リング状ろう材8を打ち抜くための金型を準備しなければならず、ろう材の製造コストを下げることが難しいという問題があった。
本発明は、上記課題を解決し、ろう材片を位置精度良くろう材接合部へ配置することができるとともに、工程時間を短縮でき、製造コストを下げることのできるろう材供給装置を提供することを目的とする。
In addition, in order to use the ring-shaped brazing material as shown in Patent Document 1, a mold for punching the ring-shaped brazing material 8 must be prepared for each shape and size of the semiconductor package 1. There was a problem that it was difficult to reduce the manufacturing cost of the.
The present invention provides a brazing material supply device that solves the above-described problems and that can dispose the brazing filler metal piece on the brazing filler joint with high positional accuracy, reduce the process time, and reduce the manufacturing cost. With the goal.

上記課題を解決するための本発明の請求項1に記載のろう材供給装置は、
テープ状ろう材をろう材片に切断する受刃および切刃の組合せからなる切断部と、
上記テープ状ろう材を上記切断部へ案内するガイドと、
上記ガイドと上記切刃の間に設置され、上記テープ状ろう材を上記受刃に押し付けるろう材押さえと、
上記切刃上に至った上記テープ状ろう材を上記切刃に押圧固定するとともに、切断された上記ろう材片を吸着保持して移送する移載ヘッド機構を有するろう材供給装置であって、
上記ろう材押さえは、上記受刃と上記切刃の間に送り込まれた上記テープ状ろう材を上記受刃に押し付け、切断後に上記押し付け力を解除することを特徴とするろう材供給装置である。
The brazing filler metal supply device according to claim 1 of the present invention for solving the above-described problem is provided.
A cutting part comprising a combination of a receiving blade and a cutting blade for cutting the tape-shaped brazing material into a brazing material piece;
A guide for guiding the tape-shaped brazing material to the cutting portion;
A brazing material presser installed between the guide and the cutting blade and pressing the tape-shaped brazing material against the receiving blade;
A brazing filler metal supply device having a transfer head mechanism that presses and fixes the tape-shaped brazing filler metal reaching the cutting blade to the cutting blade and sucks and holds the cut brazing filler metal piece,
The brazing material presser is a brazing material supply device that presses the tape-shaped brazing material fed between the receiving blade and the cutting blade against the receiving blade and releases the pressing force after cutting. .

また、上記課題を解決するための本発明の請求項2に記載のろう材供給装置は、
上記テープ状ろう材は並列に2本配されて上記切断部に案内され、上記切断部は並列に案内された上記2本のテープ状ろう材を同時に切断し、上記移載ヘッド機構は2つの単位移載ヘッドを有しそれぞれの単位移載ヘッドが切断された上記ろう材片を1つづつ吸着保持して移送することを特徴とする請求項1に記載のろう材供給装置である。
Moreover, the brazing material supply apparatus according to claim 2 of the present invention for solving the above-described problems is
The two tape-shaped brazing filler metals are arranged in parallel and guided to the cutting portion, the cutting portion simultaneously cuts the two tape-shaped brazing filler metals guided in parallel, and the transfer head mechanism has two 2. The brazing filler metal supply device according to claim 1, wherein the brazing filler metal piece having unit transfer heads is sucked and held one by one and is transferred.

また、上記課題を解決するための本発明の請求項3に記載のろう材供給装置は、
上記移載ヘッド機構は、
上記2つの単位移載ヘッドの配列ピッチを、切断された上記2つのろう材片の配列ピッチに合わせる手段と、
上記2つの単位移載ヘッドによって上記2つのろう材片を同時に吸着保持する手段と、
吸着保持した上記2つのろう材片を移送する手段と、
上記2つの単位移載ヘッドの配列ピッチをろう材接合部のピッチに合わせる手段を有することを特徴とする請求項2に記載のろう材供給装置である。
Moreover, the brazing filler metal supply device according to claim 3 of the present invention for solving the above-described problems is provided.
The transfer head mechanism is
Means for adjusting the arrangement pitch of the two unit transfer heads to the arrangement pitch of the two brazing filler metal pieces cut;
Means for simultaneously sucking and holding the two brazing filler metal pieces by the two unit transfer heads;
Means for transferring the two brazing filler metal pieces held by adsorption;
The brazing material supply device according to claim 2, further comprising means for adjusting an arrangement pitch of the two unit transfer heads to a pitch of the brazing material joint.

また、上記課題を解決するための本発明の請求項4に記載のろう材供給装置は、
上記単位移載ヘッドは、上記ろう材片を吸着保持後、水平方向に90度回転する機構を備えていることを特徴とする請求項3に記載のろう材供給装置である。
Moreover, the brazing material supply apparatus according to claim 4 of the present invention for solving the above-described problem is
4. The brazing material supply device according to claim 3, wherein the unit transfer head includes a mechanism that rotates 90 degrees in the horizontal direction after the brazing material pieces are sucked and held.

本発明の請求項1に記載のろう材供給装置によれば、ガイドと切刃の間に設置され、受刃に向けて供給されたテープ状ろう材を受刃に押し付けるテープ状ろう材押さえを有し、前記ろう材押さえは、受刃と切刃の間に送り込まれた切断直前のテープ状ろう材を受刃に押し付け、切断後に上記押し付け力を解除するようにしている。このため、切断直後のろう材片から切り離されたテープ状ろう材の端部は受刃に押し付けられているので、切断の衝撃によってテープ状ろう材の端部が位置ずれすることが無い。したがって、テープ状ろう材の端部は位置ずれをおこすことなく切刃上へ案内される。   According to the brazing material supply device of the first aspect of the present invention, the tape-shaped brazing material presser is installed between the guide and the cutting blade and presses the tape-shaped brazing material supplied toward the receiving blade against the receiving blade. The brazing material press has a tape-shaped brazing material immediately before cutting, which is fed between the receiving blade and the cutting blade, pressed against the receiving blade and releases the pressing force after cutting. For this reason, since the edge part of the tape-shaped brazing material cut off from the brazing material piece immediately after cutting is pressed against the receiving blade, the edge part of the tape-shaped brazing material is not displaced due to the impact of the cutting. Therefore, the end of the tape-like brazing material is guided onto the cutting blade without causing a positional shift.

本発明の請求項2記載のろう材供給装置によれば、一度に2つのろう材片を移送することができ、工程時間を短縮することができる。   According to the brazing material supply device of the second aspect of the present invention, two brazing material pieces can be transferred at a time, and the process time can be shortened.

本発明の請求項3記載のろう材供給装置によれば、2つの単位移載ヘッドの配列ピッチを可変とすることにより、2本のテープ状ろう材のピッチと2つの単位移載ヘッドのピッチをろう材接合部のピッチに合わせる必要が無い。したがって、装置の調整に要する時間を短縮することができる。   According to the brazing material supply apparatus of the third aspect of the present invention, the pitch of the two tape-shaped brazing materials and the pitch of the two unit transfer heads can be changed by changing the arrangement pitch of the two unit transfer heads. There is no need to match the pitch of the brazing joint. Therefore, the time required for adjusting the apparatus can be shortened.

本発明の請求項4記載のろう材供給装置によれば、単位移載ヘッドが水平方向に90度回転する機構を備えていることにより、4つの短冊状のろう材片を枠状に配置することができる。したがって、半導体パッケージの形状やサイズごとにリング状ろう材打ち抜き用の金型を準備する必要が無くなり、ろう材の製造コストを下げることができる。   According to the brazing material supply apparatus of the fourth aspect of the present invention, the unit transfer head includes a mechanism that rotates 90 degrees in the horizontal direction, whereby the four strip-shaped brazing material pieces are arranged in a frame shape. be able to. Therefore, it is not necessary to prepare a ring-shaped brazing die for each shape and size of the semiconductor package, and the manufacturing cost of the brazing material can be reduced.

本発明の第1実施例に係るろう材供給装置の側面図The side view of the brazing material supply apparatus which concerns on 1st Example of this invention. 本発明の第1実施例に係るろう材供給装置の動作説明図Explanatory drawing of operation | movement of the brazing material supply apparatus which concerns on 1st Example of this invention. 本発明の第2実施例に係るろう材供給装置の斜視図The perspective view of the brazing material supply apparatus which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第3実施例に係るろう材供給装置の動作説明図Explanatory drawing of operation | movement of the brazing material supply apparatus which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第4実施例に係るろう材供給装置の動作説明図Explanatory drawing of operation | movement of the brazing material supply apparatus which concerns on 4th Example of this invention. 半導体パッケージの1例を示し、(a)は同半導体パッケージの斜視図、(b)は同半導体パッケージの組立方法を説明するための分解斜視図An example of a semiconductor package is shown, (a) is a perspective view of the semiconductor package, (b) is an exploded perspective view for explaining an assembly method of the semiconductor package. 従来例に係るろう材供給装置の側面図Side view of brazing material supply device according to conventional example 半導体パッケージの他の例を示し、(a)は同半導体パッケージの斜視図、(b)は同半導体パッケージの組立方法を説明するための分解斜視図、(c)は同半導体パッケージの他の組立方法を説明するための分解斜視図2A and 2B show another example of a semiconductor package, in which FIG. 1A is a perspective view of the semiconductor package, FIG. 1B is an exploded perspective view for explaining an assembly method of the semiconductor package, and FIG. Exploded perspective view for explaining the method

(第1実施例)
図1、図2は本発明の第1実施例に係るろう材供給装置を説明するための図であり、図1はろう材供給装置の側面図、図2はろう材供給装置の動作説明図である。
まず、図1を参照して第1実施例のろう材供給装置について説明する。
11は上面部にテープ状ろう材7を挿入させて切断部12へ案内するガイド、13および14はガイド11を通って送り出されたテープ状ろう材7を所定長さのろう材片6に切断する受刃および切刃で、切刃14はテープ状ろう材7を切断する際に上昇するようになっている。受刃13とガイド11の間にはテープ状ろう材7を切断部12へ送り出し可能とするために、テープ状ろう材7の厚みよりも大きな隙間hが設けられている。
17は切刃14の上昇によってテープ状ろう材7から切断されたろう材片6に当接してこれを真空吸着して移送する移載ヘッド機構で、移載ヘッド機構17はろう材片6を真空吸着する吸着ノズル15と、吸着ノズル15を保持するホルダー16から構成される。移載ヘッド機構17は、吸着ノズル15がろう材片6を吸着すると、リードフレーム4の上方に移動してろう材片6を配置し、しかるのち元の位置に戻るようになっている。
18はガイド11と切刃14の間に設置され、テープ状ろう材7を受刃13に押し付けるろう材押さえで、切刃14の動作に伴い上下動する。
(First embodiment)
1 and 2 are diagrams for explaining a brazing filler metal supply device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a side view of the brazing filler metal supply device, and FIG. It is.
First, the brazing material supply device of the first embodiment will be described with reference to FIG.
Reference numeral 11 denotes a guide for inserting the tape-shaped brazing material 7 into the upper surface portion and guides it to the cutting portion 12. Reference numerals 13 and 14 denote the brazing material piece 6 having a predetermined length cut into the tape-shaped brazing material 7 fed through the guide 11. The cutting blade 14 rises when the tape-shaped brazing material 7 is cut. A gap h larger than the thickness of the tape-shaped brazing material 7 is provided between the receiving blade 13 and the guide 11 so that the tape-shaped brazing material 7 can be fed to the cutting part 12.
Reference numeral 17 denotes a transfer head mechanism that abuts against the brazing filler metal piece 6 cut from the tape-like brazing filler metal 7 by the rising of the cutting blade 14 and transfers it by vacuum suction. The transfer head mechanism 17 vacuums the brazing filler metal piece 6. It comprises a suction nozzle 15 for suction and a holder 16 for holding the suction nozzle 15. When the suction nozzle 15 sucks the brazing filler metal piece 6, the transfer head mechanism 17 moves above the lead frame 4 to place the brazing filler metal piece 6, and then returns to the original position.
18 is a brazing material presser that is installed between the guide 11 and the cutting blade 14 and presses the tape-shaped brazing material 7 against the receiving blade 13, and moves up and down as the cutting blade 14 moves.

次に、図2を参照して第1実施例のろう材供給装置の動作について説明する。
まず、図2(a)に示すように、テープ状ろう材7が受刃13と切刃14の間に送り込まれる。次に、図2(b)に示すように、ろう材押さえ18が上昇してテープ状ろう材7を受刃13に押し付ける。次に、吸着ノズル15が下降してその先端がテープ状ろう材7に接触した位置で停止してテープ状ろう材7を吸着する。次に、図2(c)に示すように切刃14が矢印のように上昇し、テープ状ろう材7を切断する。このとき、切断されたろう材片6は吸着ノズル15に位置ずれを起こすことなく吸着固定されている。また、切断後のテープ状ろう材7の端部7aも位置ずれを起こすことなくろう材押さえ18によって受刃13に押し付けられ固定されている。次に、図2(d)に示すように、移載ヘッド機構17が上昇した後、リードフレーム4の上方に移動してろう材片6を配置し、しかるのち元の位置に戻る。また、切刃14とろう材押さえ18は、図2(a)に示す位置にまで下降する。
本実施例のろう材供給装置10によれば、切断直後のテープ状ろう材7の端部7aは受刃13に押し付けられているので、切断の衝撃によって端部7aの位置がずれることが無い。したがって、テープ状ろう材7の端部7aは位置ずれをおこすことなく切刃14上へ案内される。
Next, the operation of the brazing material supply apparatus of the first embodiment will be described with reference to FIG.
First, as shown in FIG. 2A, the tape-shaped brazing material 7 is fed between the receiving blade 13 and the cutting blade 14. Next, as shown in FIG. 2B, the brazing material presser 18 rises and presses the tape-shaped brazing material 7 against the receiving blade 13. Next, the suction nozzle 15 descends and stops at a position where the tip of the suction nozzle 15 comes into contact with the tape-like brazing material 7 to suck the tape-like brazing material 7. Next, as shown in FIG. 2 (c), the cutting blade 14 rises as shown by an arrow, and the tape-shaped brazing material 7 is cut. At this time, the cut brazing filler metal piece 6 is fixed to the suction nozzle 15 without being displaced. Further, the end 7a of the tape-like brazing material 7 after being cut is also pressed and fixed to the receiving blade 13 by the brazing material presser 18 without causing a positional shift. Next, as shown in FIG. 2D, after the transfer head mechanism 17 is raised, it moves above the lead frame 4 to place the brazing filler metal piece 6, and then returns to its original position. Further, the cutting blade 14 and the brazing material presser 18 are lowered to the position shown in FIG.
According to the brazing material supply device 10 of the present embodiment, the end portion 7a of the tape-shaped brazing material 7 immediately after cutting is pressed against the receiving blade 13, so that the position of the end portion 7a does not shift due to the impact of cutting. . Therefore, the end 7a of the tape-shaped brazing material 7 is guided onto the cutting blade 14 without causing a positional shift.

(第2実施例)
図3は本発明の第2実施例に係るろう材供給装置の斜視図である。
第1実施例では、一度に1つのろう材片の切断と移送を行っていたが、本実施例では一度に2つのろう材片の切断と移送を行うようにしている。この場合、図3に示すようにガイド11上に2本のテープ状ろう材7が並列に配されて切断部12に案内される。また、本実施例の移載ヘッド機構17は2つの単位移載ヘッド20を有しており、各単位移載ヘッド20が下降して切刃14上に至ったテープ状ろう材7を1つづつ吸着保持する。次に、切刃14が上昇し、2本のテープ状ろう材7を同時に切断する。最後に、切断された2つのろう材片6は移載ヘッド機構17により移送されリードフレーム4のろう材接合部4a、4b上に載置される。ここで、上記切刃14上に至った2本のテープ状ろう材7のピッチP1と2つの単位移載ヘッド20のピッチPを、リードフレーム4の接合部4a、4bのピッチP2と同じになるように予め調整しておく。その他の事項は第1実施例と同じでよい。
本実施例のろう材供給装置によれば、一度に2つのろう材片を移送することができ、工程時間を短縮することができる。
(Second embodiment)
FIG. 3 is a perspective view of a brazing material supply device according to a second embodiment of the present invention.
In the first embodiment, one brazing piece is cut and transferred at a time, but in this embodiment, two brazing pieces are cut and transferred at a time. In this case, as shown in FIG. 3, two tape-shaped brazing materials 7 are arranged in parallel on the guide 11 and guided to the cutting part 12. Further, the transfer head mechanism 17 of the present embodiment has two unit transfer heads 20, and one tape-like brazing material 7 is lowered onto each of the cutting blades 14 by lowering each unit transfer head 20. Suck and hold one by one. Next, the cutting blade 14 rises and cuts the two tape-shaped brazing materials 7 simultaneously. Finally, the cut two brazing filler metal pieces 6 are transferred by the transfer head mechanism 17 and placed on the brazing filler metal joints 4 a and 4 b of the lead frame 4. Here, the pitch P1 of the two tape-shaped brazing materials 7 reaching the cutting blade 14 and the pitch P of the two unit transfer heads 20 are the same as the pitch P2 of the joints 4a and 4b of the lead frame 4. It adjusts beforehand so that it may become. Other matters may be the same as in the first embodiment.
According to the brazing material supply apparatus of the present embodiment, two brazing material pieces can be transferred at a time, and the process time can be shortened.

(第3実施例)
第2実施例の移載ヘッド機構17では、各単位移載ヘッド20のピッチPは固定されていたが、本実施例の移載ヘッド機構17では、2つの単位移載ヘッド20間のピッチPを変更できるようになっている。この場合、2つの単位移載ヘッド20を保持する連結アーム19内にモータ(図示せず)が内蔵され、各単位移載ヘッド20が前記モータに連結されている。そして、前記モータを駆動することにより単位移載ヘッド20が連結アーム19の長手方向に移動する。これにより2つの単位移載ヘッド20間のピッチPを変更する。
次に、図4を用いて本実施例のろう材供給装置の動作について説明する。
図4(a)は移載ヘッド機構17を切刃14上に移動させた状態を示している。ここで、2つの単位移載ヘッド20の配列ピッチPを、切刃14上に至った2本のテープ状ろう材7のピッチP1に合わせる。次に、実施例1と同様にろう材押さえ18が上昇してテープ状ろう材7を受刃13に押し付けた後(図2(b)参照)、図4(b)のように吸着ノズル15が下降してその先端がテープ状ろう材7に接触した位置で停止してテープ状ろう材7を吸着保持する。次に、図4(c)に示すように切刃14が矢印のように上昇し、テープ状ろう材7を切断して切断されたろう材片6が吸着ノズル15に吸着保持された状態となる。次に、図4(d)に示すように、移載ヘッド機構17が上昇した後、リードフレーム4の上方に移動してろう材片6をろう材接合部4a、4bへ配置し、しかるのち元の位置に戻る。この移動過程において、2つの単位移載ヘッド20の配列ピッチPをリードフレーム4のろう材接合部4a、4bのピッチP2に合わせる。
このように、2つの単位移載ヘッド20の配列ピッチPを可変とすることにより、2本のテープ状ろう材7のピッチP1と2つの単位移載ヘッド20のピッチPをリードフレーム4の接合部4a、4bのピッチP2に合わせる必要が無い。したがって、装置の調整に要する時間を短縮することができる。
(Third embodiment)
In the transfer head mechanism 17 of the second embodiment, the pitch P of each unit transfer head 20 is fixed, but in the transfer head mechanism 17 of this embodiment, the pitch P between the two unit transfer heads 20 is fixed. Can be changed. In this case, a motor (not shown) is built in the connecting arm 19 that holds the two unit transfer heads 20, and each unit transfer head 20 is connected to the motor. Then, the unit transfer head 20 moves in the longitudinal direction of the connecting arm 19 by driving the motor. As a result, the pitch P between the two unit transfer heads 20 is changed.
Next, operation | movement of the brazing material supply apparatus of a present Example is demonstrated using FIG.
FIG. 4A shows a state where the transfer head mechanism 17 is moved onto the cutting blade 14. Here, the arrangement pitch P of the two unit transfer heads 20 is matched with the pitch P1 of the two tape-shaped brazing materials 7 reaching the cutting blade 14. Next, after the brazing material presser 18 is raised and presses the tape-shaped brazing material 7 against the receiving blade 13 (see FIG. 2B), the suction nozzle 15 as shown in FIG. Is lowered and stopped at a position where the tip thereof contacts the tape-like brazing material 7, and holds the tape-like brazing material 7 by suction. Next, as shown in FIG. 4C, the cutting blade 14 rises as shown by an arrow, and the brazing filler metal piece 6 cut by cutting the tape-like brazing filler metal 7 is in a state of being sucked and held by the suction nozzle 15. . Next, as shown in FIG. 4D, after the transfer head mechanism 17 is lifted, it moves above the lead frame 4 to place the brazing filler metal piece 6 on the brazing filler joints 4a and 4b. Return to the original position. In this moving process, the arrangement pitch P of the two unit transfer heads 20 is matched with the pitch P2 of the brazing material joints 4a and 4b of the lead frame 4.
In this way, by making the arrangement pitch P of the two unit transfer heads 20 variable, the pitch P1 of the two tape-shaped brazing materials 7 and the pitch P of the two unit transfer heads 20 are joined to the lead frame 4. There is no need to match the pitch P2 of the portions 4a and 4b. Therefore, the time required for adjusting the apparatus can be shortened.

(第4実施例)
第4実施例のろう材供給装置は、第3実施例の移載ヘッド機構17において、2つの単位移載ヘッド20が水平方向に90度回転する機構を備えていることによって、4本の短冊状のろう材片をリードフレームのろう材接合部上に枠状に配置できるようにしたものである。
次に、図5を用いて、4つのろう材片6a、6b、6c、6dを2回にわけてリードフレーム4上に配置する動作について説明する。
まず、ろう材片6a、6bをリードフレーム4上に配置する動作について説明する。本動作は、移載ヘッド機構17によって吸着保持したろう材片6a、6bをリードフレーム4の上方に移動して配置する移送過程の動作が相違している以外は、第3実施例の動作と同様であるため、移送過程の動作についてのみ説明する。図5(a)は移送過程の全体を示す側面図、図5(b)乃至図5(e)は移送過程におけるろう材片6a、6bの相対位置の変化を示す平面図である。まず、単位移載ヘッド20a、20bに吸着保持された直後のろう材片6a、6bは図5(b)のように平行になっている。次に、ろう材片6aを保持している単位移載ヘッド20aを90度回転させてろう材片6aとろう材片6bのなす角度を図5(c)のように90度とする。次に、ろう材片6aを保持している単位移載ヘッド20aを所定量移動させて、ろう材片6a、6bの配置が図5(d)のようにL字状となるようにする。そして、リードフレーム4上に移動させた移載ヘッド機構17を下降させ、L字状に配置したろう材片6a、6bを図5(e)のようにリードフレーム4のろう材接合部上に配置する。
次に、ろう材片6c、6dをリードフレーム4上に配置する動作について説明する。本動作においても、移載ヘッド機構17によって吸着保持したろう材片6c、6dをリードフレーム4の上方に移送して配置する移送過程の動作が相違している以外は、第3実施例と同様であるため、移送過程の動作についてのみ説明する。図5(f)は移送過程の全体を示す側面図、図5(g)乃至図5(j)は移送過程におけるろう材片6c、6dの相対位置の変化を示す平面図である。まず、単位移載ヘッド20a、20bに吸着保持された直後のろう材片6c、6dは図5(g)のように平行になっている。次に、ろう材片6dを保持している単位移載ヘッド20bを90度回転させてろう材片6cとろう材片6dのなす角度を図5(h)のように90度とする。次に、ろう材片6dを保持している単位移載ヘッド20bを所定量移動させて、ろう材片6cと6dの配置が図5(i)のようにL字状となるようにする。そして、リードフレーム4上に移動させた移載ヘッド機構17を下降させ、L字状に配置したろう材片6c、6dを図5(j)のようにリードフレーム4のろう材接合部上に配置する。
本実施例においては、リードフレーム4上にろう材を枠状に配置するのに、4つのろう材片6a、6b、6c、6dを2回にわけてリードフレーム4上に配置することにより行っている。したがって、図8(c)に示すようなリング状ろう材8を用いる必要が無くなり、半導体パッケージの形状やサイズごとにリング状ろう材打ち抜き用の金型を準備する必要が無くなり、ろう材の製造コストを下げることができる。
(Fourth embodiment)
The brazing filler metal supply device of the fourth embodiment includes four strips by providing a mechanism in which the two unit transfer heads 20 rotate 90 degrees in the horizontal direction in the transfer head mechanism 17 of the third embodiment. A brazing filler metal piece can be arranged in a frame shape on the brazing filler metal joint portion of the lead frame.
Next, the operation of arranging the four brazing filler metal pieces 6a, 6b, 6c and 6d on the lead frame 4 in two steps will be described with reference to FIG.
First, the operation of arranging the brazing filler metal pieces 6a and 6b on the lead frame 4 will be described. This operation is different from the operation of the third embodiment except that the operation of the transfer process in which the brazing filler metal pieces 6a and 6b sucked and held by the transfer head mechanism 17 are moved and arranged above the lead frame 4 is different. Since this is the same, only the operation of the transfer process will be described. FIG. 5A is a side view showing the entire transfer process, and FIGS. 5B to 5E are plan views showing changes in the relative positions of the brazing filler metal pieces 6a and 6b in the transfer process. First, the brazing filler metal pieces 6a and 6b immediately after being sucked and held by the unit transfer heads 20a and 20b are parallel as shown in FIG. 5B. Next, the unit transfer head 20a holding the brazing material piece 6a is rotated 90 degrees so that the angle formed by the brazing material piece 6a and the brazing material piece 6b is 90 degrees as shown in FIG. Next, the unit transfer head 20a holding the brazing material piece 6a is moved by a predetermined amount so that the brazing material pieces 6a and 6b are arranged in an L shape as shown in FIG. Then, the transfer head mechanism 17 moved onto the lead frame 4 is lowered, and the brazing filler metal pieces 6a and 6b arranged in an L shape are placed on the brazing filler metal joint portion of the lead frame 4 as shown in FIG. Deploy.
Next, the operation of arranging the brazing filler metal pieces 6c and 6d on the lead frame 4 will be described. This operation is the same as that of the third embodiment except that the operation of the transfer process in which the brazing filler metal pieces 6c and 6d attracted and held by the transfer head mechanism 17 are transferred and arranged above the lead frame 4 is different. Therefore, only the operation of the transfer process will be described. FIG. 5 (f) is a side view showing the entire transfer process, and FIGS. 5 (g) to 5 (j) are plan views showing changes in the relative positions of the brazing filler metal pieces 6c and 6d in the transfer process. First, the brazing filler metal pieces 6c and 6d immediately after being attracted and held by the unit transfer heads 20a and 20b are parallel as shown in FIG. Next, the unit transfer head 20b holding the brazing material piece 6d is rotated 90 degrees so that the angle formed by the brazing material piece 6c and the brazing material piece 6d is 90 degrees as shown in FIG. Next, the unit transfer head 20b holding the brazing material piece 6d is moved by a predetermined amount so that the brazing material pieces 6c and 6d are arranged in an L shape as shown in FIG. Then, the transfer head mechanism 17 moved onto the lead frame 4 is lowered, and the brazing filler metal pieces 6c and 6d arranged in an L shape are placed on the brazing filler metal joint portion of the lead frame 4 as shown in FIG. Deploy.
In the present embodiment, the brazing material is arranged in a frame shape on the lead frame 4 by arranging the four brazing material pieces 6a, 6b, 6c, 6d on the lead frame 4 in two steps. ing. Therefore, it is not necessary to use the ring-shaped brazing material 8 as shown in FIG. 8C, and it is not necessary to prepare a mold for punching the ring-shaped brazing material for each shape and size of the semiconductor package. Cost can be reduced.

1 半導体パッケージ 2 メタライズ層 3 枠体 4 リードフレーム
5 基体 6、6a、6b、6c、6d ろう材片 7 テープ状ろう材
7a 端部 8 リング状ろう材 9 リード
10 ろう材供給装置 11 ガイド 12 切断部 13 受刃 14 切刃
15 吸着ノズル 16 ホルダー 17 移載ヘッド機構 18 ろう材押さえ
19 連結アーム 20、20a、20b 単位移載ヘッド

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor package 2 Metallized layer 3 Frame 4 Lead frame 5 Base | substrate 6, 6a, 6b, 6c, 6d Brazing material piece 7 Tape-shaped brazing material 7a End part 8 Ring-shaped brazing material 9 Lead 10 Brazing material supply apparatus 11 Guide 12 Cutting Part 13 Receiving blade 14 Cutting blade 15 Suction nozzle 16 Holder 17 Transfer head mechanism 18 Brazing material presser 19 Connecting arm 20, 20a, 20b Unit transfer head

Claims (4)

テープ状ろう材をろう材片に切断する受刃および切刃の組合せからなる切断部と、上記テープ状ろう材を上記切断部へ案内するガイドと、上記ガイドと上記切刃の間に設置され、上記テープ状ろう材を上記受刃に押し付けるろう材押さえと、上記切刃上に至った上記テープ状ろう材を上記切刃に押圧固定するとともに、切断された上記ろう材片を吸着保持して移送する移載ヘッド機構を有するろう材供給装置であって、上記ろう材押さえは、上記受刃と上記切刃の間に送り込まれた上記テープ状ろう材を上記受刃に押し付け、切断後に上記押し付け力を解除することを特徴とするろう材供給装置。   A cutting portion comprising a combination of a receiving blade and a cutting blade for cutting the tape-shaped brazing material into a brazing material piece, a guide for guiding the tape-shaped brazing material to the cutting portion, and installed between the guide and the cutting blade. A brazing material presser that presses the tape-shaped brazing material against the receiving blade, and the tape-shaped brazing material that has reached the cutting blade is pressed and fixed to the cutting blade, and the cut brazing material piece is adsorbed and held. A brazing material supply device having a transfer head mechanism for transferring the brazing material, wherein the brazing material presser presses the tape-shaped brazing material fed between the receiving blade and the cutting blade against the receiving blade, and after cutting A brazing material supply device, wherein the pressing force is released. 上記テープ状ろう材は並列に2本配されて上記切断部に案内され、上記切断部は並列に案内された上記2本のテープ状ろう材を同時に切断し、上記移載ヘッド機構は2つの単位移載ヘッドを有しそれぞれの単位移載ヘッドが切断された上記ろう材片を1つづつ吸着保持して移送することを特徴とする請求項1に記載のろう材供給装置。   The two tape-shaped brazing filler metals are arranged in parallel and guided to the cutting portion, the cutting portion simultaneously cuts the two tape-shaped brazing filler metals guided in parallel, and the transfer head mechanism has two The brazing filler metal supply device according to claim 1, wherein the brazing filler metal piece having unit transfer heads is sucked and held one by one and transferred. 上記移載ヘッド機構は、上記2つの単位移載ヘッドの配列ピッチを、切断された上記2つのろう材片の配列ピッチに合わせる手段と、上記2つの単位移載ヘッドによって上記2つのろう材片を同時に吸着保持する手段と、吸着保持した上記2つのろう材片を移送する手段と、上記2つの単位移載ヘッドの配列ピッチをろう材接合部のピッチに合わせる手段を有することを特徴とする請求項2に記載のろう材供給装置。   The transfer head mechanism includes means for adjusting the arrangement pitch of the two unit transfer heads to the arrangement pitch of the cut two brazing filler metal pieces, and the two brazing filler metal pieces by the two unit transfer heads. Means for simultaneously adsorbing and holding the two brazing filler metal pieces, and means for adjusting the arrangement pitch of the two unit transfer heads to the pitch of the brazing joint portion. The brazing material supply apparatus according to claim 2. 上記単位移載ヘッドは、上記ろう材片を吸着保持後、水平方向に90度回転する機構を備えていることを特徴とする請求項3に記載のろう材供給装置。
The brazing material supply device according to claim 3, wherein the unit transfer head includes a mechanism that rotates 90 degrees in the horizontal direction after the brazing material piece is sucked and held.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108247475A (en) * 2018-01-09 2018-07-06 湖州众诚链传动制造厂 A kind of simple chain carrier bar perforating device

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