JP2014143142A - Organic electronic device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機電子デバイスに関する。本発明は、特に、ガラス基板上の有機電子素子がバリアフィルムにより封止されている構造を有する有機電子デバイスに関する。 The present invention relates to organic electronic devices. The present invention particularly relates to an organic electronic device having a structure in which an organic electronic element on a glass substrate is sealed with a barrier film.
水や酸素に弱い有機電子素子を、バリアフィルムを用いて封止した形態の有機電子デバイスは数多く提案されている。ガラス基板上に形成された有機電子素子の封止は、通常、接着剤によりバリアフィルムを貼合して行われるが、端部から接着剤を通過する水分侵入の影響も大きい。そのため、有機電子素子とバリアフィルムのエッジとの間の距離を十分に確保して水分の拡散距離を長くすることにより耐久性を確保する必要がある。一方で、有機電子デバイスの基板上の有機電子素子の外側部分はデッドスペースであり、小さいことが好ましい。 Many organic electronic devices have been proposed in which organic electronic elements that are weak against water and oxygen are sealed with a barrier film. Sealing of an organic electronic element formed on a glass substrate is usually performed by bonding a barrier film with an adhesive, but the influence of moisture intrusion passing through the adhesive from the end is also great. Therefore, it is necessary to ensure the durability by sufficiently securing the distance between the organic electronic element and the edge of the barrier film to increase the moisture diffusion distance. On the other hand, the outer part of the organic electronic element on the substrate of the organic electronic device is a dead space and is preferably small.
上記に関連して、特許文献1には、有機電子素子上に設けられるバリアフィルムの端部を基板の端部を覆うように構成することにより、端部からの水分侵入の影響を軽減する技術が開示されている。特許文献2には有機層および無機層を含むフィルムであって袋状のフィルムにより発光素子を封止する発光装置の作製方法に関する記載がある。特許文献3には可撓性に優れたガスバリアに関する記載がある。
In relation to the above, Patent Document 1 discloses a technique for reducing the influence of moisture intrusion from the end by configuring the end of the barrier film provided on the organic electronic element so as to cover the end of the substrate. Is disclosed.
本発明は、ガラス基板上の有機電子素子が封止されている構造を有する有機電子デバイスの提供を課題とする。 An object of the present invention is to provide an organic electronic device having a structure in which an organic electronic element on a glass substrate is sealed.
特許文献1に記載の技術においては、バリアフィルムの端部が基板の表面から裏面にわたって接着されることになるため、有機電子素子とバリアフィルムのエッジとの間の距離を短く保ったまま接着剤端部より侵入した水分の拡散距離を長く取ることが可能となる。特許文献1においては、バリアフィルムとして金属箔が具体的に記載されており、金属箔の端部が湾曲して上記の構造をとっている。
本発明者らは、ガラス基板上の有機電子素子を同様に封止できるとともに、有機電子素子からの発光や有機電子素子への受光を効率的になしうる構造を有する有機電子デバイスの提供を試み、本発明を完成させた。
In the technique described in Patent Document 1, since the end portion of the barrier film is bonded from the front surface to the back surface of the substrate, the adhesive is maintained while keeping the distance between the organic electronic element and the edge of the barrier film short. It is possible to increase the diffusion distance of moisture that has entered from the end. In Patent Document 1, a metal foil is specifically described as a barrier film, and an end portion of the metal foil is curved to take the above structure.
The present inventors have attempted to provide an organic electronic device having a structure that can similarly seal an organic electronic element on a glass substrate and can efficiently perform light emission from the organic electronic element and light reception to the organic electronic element. The present invention has been completed.
すなわち、本発明は以下(1)〜(17)を提供するものである。
(1)ガラス基板、前記ガラス基板の表面上に形成された有機電子素子、および前記ガラス基板に接着しているバリアフィルムを含み、前記バリアフィルムが前記有機電子素子を前記ガラス基板とともに封止するように前記ガラス基板に接着されている有機電子デバイスであって、
前記バリアフィルムは、基材、少なくとも1層の有機層、少なくとも1層の無機層を含み、
前記バリアフィルムの端部の少なくとも一部が前記ガラス基板の裏面で前記ガラス基板と接着している有機電子デバイス。
(2)前記バリアフィルムの端部の前記の少なくとも一部が前記ガラス基板の裏面および表面で前記ガラス基板と接着している(1)に記載の有機電子デバイス。
That is, the present invention provides the following (1) to (17).
(1) A glass substrate, an organic electronic device formed on the surface of the glass substrate, and a barrier film adhered to the glass substrate, wherein the barrier film seals the organic electronic device together with the glass substrate. An organic electronic device bonded to the glass substrate,
The barrier film includes a substrate, at least one organic layer, at least one inorganic layer,
An organic electronic device in which at least a part of an end of the barrier film is bonded to the glass substrate on the back surface of the glass substrate.
(2) The organic electronic device according to (1), wherein at least a part of the end portion of the barrier film is bonded to the glass substrate on a back surface and a front surface of the glass substrate.
(3)前記基材の膜厚が50μm以下である(1)または(2)に記載の有機電子デバイス。
(4)前記基材の膜厚が25μm以下である(1)または(2)に記載の有機電子デバイス。
(5)前記無機層がシリコン化合物またはアルミニウム化合物からなることを特徴とする(1)〜(4)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(6)前記無機層が窒化シリコン、水素化窒化シリコン、および水素化酸窒化シリコンからなる群から選択される1つ以上を含む(5)に記載の有機電子デバイス。
(7)前記無機層が25%原子以上30%原子以下の水素を含む(1)〜(6)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(3) The organic electronic device according to (1) or (2), wherein the thickness of the substrate is 50 μm or less.
(4) The organic electronic device according to (1) or (2), wherein the thickness of the base material is 25 μm or less.
(5) The organic electronic device according to any one of (1) to (4), wherein the inorganic layer is made of a silicon compound or an aluminum compound.
(6) The organic electronic device according to (5), wherein the inorganic layer includes one or more selected from the group consisting of silicon nitride, hydrogenated silicon nitride, and hydrogenated silicon oxynitride.
(7) The organic electronic device according to any one of (1) to (6), wherein the inorganic layer contains hydrogen of 25% atom or more and 30% atom or less.
(8)前記バリアフィルムの前記ガラス基板側の最表面層が無機層である(1)〜(7)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(9)裏面で前記バリアフィルムと接着している前記ガラス基板の端部が面取りされている(1)〜(8)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(10)裏面で前記バリアフィルムと接着している前記ガラス基板の端部が円弧状である(9)に記載の有機電子デバイス。
(11)前記円弧の曲率半径が0.2mm以下である(10)に記載の有機電子デバイス。
(12)裏面で前記バリアフィルムと接着している前記ガラス基板の端部が多角形状である(9)に記載の有機電子デバイス。
(13)前記多角形の最小角が135度以上である(12)に記載の有機電子デバイス。
(8) The organic electronic device according to any one of (1) to (7), wherein an outermost surface layer on the glass substrate side of the barrier film is an inorganic layer.
(9) The organic electronic device according to any one of (1) to (8), wherein an end portion of the glass substrate bonded to the barrier film on the back surface is chamfered.
(10) The organic electronic device according to (9), wherein an end portion of the glass substrate bonded to the barrier film on the back surface has an arc shape.
(11) The organic electronic device according to (10), wherein a radius of curvature of the arc is 0.2 mm or less.
(12) The organic electronic device according to (9), wherein an end portion of the glass substrate bonded to the barrier film on the back surface has a polygonal shape.
(13) The organic electronic device according to (12), wherein a minimum angle of the polygon is 135 degrees or more.
(14)前記有機電子素子が有機EL素子である(1)〜(13)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(15)前記バリアフィルムが長方形1の形状を有し、
長方形1のY方向に平行な2辺にある前記バリアフィルムの端部が裏面で前記ガラス基板と接着しており、かつ、前記ガラス基板が長方形2の形状を有し、前記バリアフィルムが接着している裏面が長方形2のY方向に平行なの2辺の端部にある(1)〜(14)のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。
(16)前記長方形1のX方向に平行な2辺において前記バリアフィルムの端部が裏面で前記ガラス基板と接着していない(15)に記載の有機電子デバイス。
(17)前記の長方形2のY方向に平行な2辺における前記ガラス基板のエッジから前記有機電子素子までの距離が前記の長方形2のX方向に平行なの2辺における前記ガラス基板のエッジから前記有機電子素子までの距離よりも短い(15)または(16)に記載の有機電子デバイス。
(14) The organic electronic device according to any one of (1) to (13), wherein the organic electronic element is an organic EL element.
(15) The barrier film has a shape of a rectangle 1;
The ends of the barrier film on two sides parallel to the Y direction of the rectangle 1 are bonded to the glass substrate on the back surface, and the glass substrate has a shape of the
(16) The organic electronic device according to (15), wherein the edge of the barrier film is not bonded to the glass substrate on the back surface at two sides parallel to the X direction of the rectangle 1.
(17) The distance from the edge of the glass substrate on the two sides parallel to the Y direction of the
本発明によりガラス基板上の有機電子素子がフィルムにより封止され、特に端部からの水分侵入の影響が軽減されている構造を有する有機電子デバイスが提供される。本発明の一実施態様では、透明で電気絶縁性であるフィルムにより有機電子素子が封止されている有機電子デバイスの提供が可能である。 According to the present invention, there is provided an organic electronic device having a structure in which an organic electronic element on a glass substrate is sealed with a film, and in particular, the influence of moisture intrusion from an end portion is reduced. In one embodiment of the present invention, it is possible to provide an organic electronic device in which an organic electronic element is sealed with a transparent and electrically insulating film.
以下、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。また、本発明における有機EL素子とは、有機エレクトロルミネッセンス素子のことをいう。本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートの両方を含む意味で使用される。
Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail.
In the present specification, “to” is used in the sense of including the numerical values described before and after it as lower and upper limits. The organic EL element in the present invention refers to an organic electroluminescence element. In this specification, (meth) acrylate is used in the meaning including both acrylate and methacrylate.
(有機電子デバイス)
本発明は、ガラス基板、有機電子素子、およびバリアフィルムを含む有機電子デバイスに関する。大気中の酸素、水分、窒素酸化物、硫黄酸化物、オゾン等を遮断する機能を有するバリアフィルムを用いて、該バリアフィルムおよびガラス基板により有機電子素子を封止(密閉)することにより、水や酸素等により常温常圧下における使用によっても経年劣化しうる有機電子素子を劣化から保護することができる。本発明の有機電子デバイスは、前記バリアフィルムを用いて前記有機電子素子を前記ガラス基板とともに封止するように前記ガラス基板に接着する構成を有する。このような有機電子デバイスは一般的に、ガラス基板、有機電子素子、およびバリアフィルムを基板の厚み方向でこの順に含む部位を含む構造を有する。前記構造の有機電子デバイスは例えば、(1)ガラス基板の1つの面の中央に有機電子素子を形成する(本明細書において有機電子素子が形成されているガラス基板の前記の1つの面を「表面」という場合がある);(2)(1)により得られた基板の表面の、有機電子素子の周辺に接着剤を塗布する;(3)前記接着剤によりバリアフィルムを基板と結合させることにより作製できる。すなわち、例えば、長方形のガラス基板表面の中央に長方形の形状に有機電子素子を形成し、次に前記表面の有機電子素子の外側に有機電子素子を完全に取り囲むように接着剤を塗布し(例えば図1参照)、最後に前記ガラス基板に対して前記表面側からバリアフィルムを前記接着剤により前記ガラス基板に接着させることができる。なお、本願明細書で「長方形」というときは、正方形も含む意味である。
(Organic electronic devices)
The present invention relates to an organic electronic device including a glass substrate, an organic electronic element, and a barrier film. By using a barrier film having a function of blocking oxygen, moisture, nitrogen oxide, sulfur oxide, ozone, etc. in the atmosphere, the organic electronic element is sealed (sealed) with the barrier film and the glass substrate, thereby Organic electronic elements that can deteriorate over time even when used at room temperature and normal pressure due to oxygen and oxygen can be protected from deterioration. The organic electronic device of this invention has the structure adhere | attached on the said glass substrate so that the said organic electronic element may be sealed with the said glass substrate using the said barrier film. Such an organic electronic device generally has a structure including a portion including a glass substrate, an organic electronic element, and a barrier film in this order in the thickness direction of the substrate. The organic electronic device having the above structure includes, for example, (1) an organic electronic element is formed at the center of one surface of a glass substrate (in the present specification, the one surface of the glass substrate on which the organic electronic element is formed is referred to as “ (2) Apply an adhesive around the surface of the organic electronic device on the surface of the substrate obtained in (1); (3) Bond the barrier film to the substrate with the adhesive. Can be produced. That is, for example, an organic electronic element is formed in a rectangular shape at the center of the surface of the rectangular glass substrate, and then an adhesive is applied to completely surround the organic electronic element on the outside of the organic electronic element on the surface (for example, Finally, a barrier film can be adhered to the glass substrate with the adhesive from the surface side with respect to the glass substrate. In the present specification, the term “rectangular” means to include a square.
本発明の有機電子デバイスは上記の構造において、バリアフィルムの端部の少なくとも一部が表面とは反対側の面(本明細書において「裏面」ということがある)においてガラス基板と接着していることを特徴の1つとしている。すなわち、バリアフィルムは表面からガラス基板厚みからなる側面(エッジ)を経由して裏面までにわたって配置され、裏面においてガラス基板と接着する。このような構成をとることにより、バリアフィルムが、ガラス基板の端部の少なくとも一部を覆う構造となり、覆われている端部からの外気の侵入を抑えることができる。裏面においてガラス基板と接着しているバリアフィルムは、さらにエッジにおいてガラス基板と接着していてもよい。典型的には、裏面においてガラス基板と接着している部位のバリアフィルムの端部において、バリアフィルムはガラス基板エッジの一部と接着し、さらにガラス基板端部の表面と接着していればよい。
バリアフィルムの端部の少なくとも一部が接着しているガラス基板の裏面はガラス基板の端部の少なくとも一部の裏面であればよい。
In the organic electronic device of the present invention, in the above structure, at least a part of the end of the barrier film is bonded to the glass substrate on the surface opposite to the front surface (sometimes referred to as “back surface” in this specification). This is one of the characteristics. That is, a barrier film is arrange | positioned from the surface to the back surface via the side surface (edge) which consists of glass substrate thickness, and adhere | attaches with a glass substrate in a back surface. By taking such a structure, a barrier film becomes a structure which covers at least one part of the edge part of a glass substrate, and the penetration | invasion of the external air from the covered edge part can be suppressed. The barrier film bonded to the glass substrate on the back surface may be further bonded to the glass substrate at the edge. Typically, at the end of the barrier film where the back surface is bonded to the glass substrate, the barrier film may be bonded to a part of the glass substrate edge and further bonded to the surface of the glass substrate end. .
The back surface of the glass substrate to which at least a part of the end portion of the barrier film is bonded may be at least the back surface of the end portion of the glass substrate.
バリアフィルムの端部の少なくとも一部は、いずれの部位でもよく、例えば、ガラス基板の形状に対応して長方形であるバリアフィルムにおける対向する2辺に対応する部位であってもよく、バリアフィルムの端部のすべての端部であってもよい。バリアフィルムの端部の少なくとも一部が長方形であるバリアフィルムにおける対向する2辺に対応する部位であるとき、覆われているガラス基板の部位も長方形であるガラス基板における対向する2辺に対応する部位であればよい。 At least a part of the end of the barrier film may be any part, for example, a part corresponding to two opposing sides of the barrier film that is rectangular corresponding to the shape of the glass substrate. It may be all the end portions. When at least a part of the end of the barrier film is a part corresponding to two opposing sides in a rectangular barrier film, the part of the covered glass substrate also corresponds to two opposing sides in the rectangular glass substrate Any site may be used.
なお、本明細書において、ガラス基板およびバリアフィルム等の平面状の物体について「端部」というとき、厚みからなる側面(エッジ)からの特定の距離の範囲の外周部分を意味する。前記距離はエッジから平面中心部分までの距離を超えない限り特に限定されないが、平面の大きさに応じて、例えば、0.1mm以上、1mm以上、5mm以上、1cm以上、5cm以上であればよく、30cm以下、20cm以下、10cm以下、5cm以下、1cm以下であればよい。前記の特定の距離は1つの物体の外周について一定であっても、一定でなくてもよい。 In the present specification, the term “end” for a planar object such as a glass substrate and a barrier film means an outer peripheral portion within a specific distance from a side surface (edge) having a thickness. The distance is not particularly limited as long as it does not exceed the distance from the edge to the center of the plane, but may be, for example, 0.1 mm or more, 1 mm or more, 5 mm or more, 1 cm or more, 5 cm or more according to the size of the plane. 30 cm or less, 20 cm or less, 10 cm or less, 5 cm or less, and 1 cm or less. The specific distance may or may not be constant with respect to the outer periphery of one object.
(バリアフィルム)
本発明の有機電子デバイスに含まれるバリアフィルムは、基材上に、少なくとも1層の有機層および少なくとも1層の無機層を含むバリア性積層体を有するバリアフィルムであればよい。
バリアフィルムにおいて、バリア性積層体は、基材フィルムの片面にのみ設けられていてもよいし、両面に設けられていてもよい。本発明のバリア性積層体は、基材フィルム側から無機層、有機層の順に積層していてもよいし、有機層、無機層の順に積層していてもよい。積層される最上層(基材から最も遠い層)は無機層でも有機層でもよいが無機層であることが好ましい。
(Barrier film)
The barrier film included in the organic electronic device of the present invention may be a barrier film having a barrier laminate including at least one organic layer and at least one inorganic layer on a substrate.
In the barrier film, the barrier laminate may be provided only on one side of the base film, or may be provided on both sides. The barrier laminate of the present invention may be laminated in the order of the inorganic layer and the organic layer from the base film side, or may be laminated in the order of the organic layer and the inorganic layer. The uppermost layer (the layer farthest from the substrate) to be laminated may be an inorganic layer or an organic layer, but is preferably an inorganic layer.
バリアフィルムはバリア性積層体、基材以外の構成成分(例えば、易接着層等の機能性層)を有していてもよい。機能性層はバリア性積層体の上、バリア性積層体と基材フィルムの間、基材フィルム上のバリア性積層体が設置されていない側(裏面)のいずれに設置してもよい。
バリアフィルムは透明であることが好ましい。有機電子素子から、または有機電子素子に、バリアフィルムを経由して光が通過する構造の有機電子デバイス(例えは、発光をバリアフィルムが設置された面から取り出す構造のデバイスや、バリアフィルム側に受光面がある太陽電池)では、透明であることが特に必要である。
また、バリアフィルムは電気絶縁性であることが好ましい。特にバリアフィルムに含まれる個々の構成要件(例えば、無機層、有機層など)が電気絶縁性であることが好ましい。例えば、本願発明において用いられるバリアフィルムは、導電性の金属箔を含むバリアフィルムではないことが好ましい。
The barrier film may have a component other than the barrier laminate and the base material (for example, a functional layer such as an easy-adhesion layer). The functional layer may be placed on the barrier laminate, between the barrier laminate and the base film, or on the side where the barrier laminate on the base film is not placed (back side).
The barrier film is preferably transparent. An organic electronic device having a structure in which light passes from the organic electronic element to the organic electronic element through the barrier film (for example, a device having a structure in which light emission is extracted from the surface on which the barrier film is installed, or the barrier film side) It is particularly necessary for the solar cell having a light-receiving surface to be transparent.
The barrier film is preferably electrically insulating. In particular, it is preferable that individual constituent elements (for example, an inorganic layer, an organic layer, etc.) included in the barrier film are electrically insulating. For example, the barrier film used in the present invention is preferably not a barrier film containing a conductive metal foil.
(バリア性積層体)
バリア性積層体は、少なくとも1層の有機層と少なくとも1層の無機層を含むものであり、2層以上の有機層と2層以上の無機層とが交互に積層しているものであってもよい。
また、バリア性積層体は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、バリア性積層体を構成する組成が膜厚方向に有機領域と無機領域が連続的に変化するいわゆる傾斜材料層を含んでいてもよい。前記傾斜材料の例としては、キムらによる論文「Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971−977(2005 American Vacuum Society) ジャーナル オブ バキューム サイエンス アンド テクノロジー A 第23巻 971頁〜977ページ(2005年刊、アメリカ真空学会)」に記載の材料や、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように有機領域と無機領域が界面を持たない連続的な層等が挙げられる。以降、簡略化のため、有機層と有機領域は「有機層」として、無機層と無機領域は「無機層」として記述する。
(Barrier laminate)
The barrier laminate includes at least one organic layer and at least one inorganic layer, in which two or more organic layers and two or more inorganic layers are alternately laminated. Also good.
Further, the barrier laminate includes a so-called gradient material layer in which the organic region and the inorganic region continuously change in the film thickness direction in the composition constituting the barrier laminate in a range not departing from the gist of the present invention. Also good. As an example of the gradient material, a paper by Kim et al. “Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23 p971-977 (2005 American Vacuum Society) Journal of Vacuum Science and Technology A Vol. 23, pages 971-977 (published in 2005) And a continuous layer in which the organic region and the inorganic region do not have an interface as disclosed in US Patent Publication No. 2004-46497. Hereinafter, for simplification, the organic layer and the organic region are described as “organic layer”, and the inorganic layer and the inorganic region are described as “inorganic layer”.
バリア性積層体を構成する層数に関しては特に制限はないが、典型的には2層〜30層が好ましく、3層〜20層がさらに好ましい。また、有機層および無機層以外の他の構成層を含んでいてもよい。 Although there is no restriction | limiting in particular regarding the number of layers which comprise a barriering laminated body, Typically 2-30 layers are preferable, and 3-20 layers are more preferable. Moreover, you may include other structural layers other than an organic layer and an inorganic layer.
(有機層)
有機層は有機ポリマーを主成分とする、有機層であることが好ましい。ここで主成分とは、有機層を構成する成分の第一の成分が有機ポリマーであることをいい、通常は、有機層を構成する成分の80重量%以上が有機ポリマーであることをいう。
有機ポリマーとしては、例えば、ポリエステル、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、セルロースアシレート、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、脂環式ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、フルオレン環変性ポリカーボネート、脂環変性ポリカーボネート、フルオレン環変性ポリエステルおよびアクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂、あるいはポリシロキサン等の有機珪素ポリマーなどが挙げられる。有機層は単独の材料からなっていても混合物からなっていてもよいし、サブレイヤーの積層構造であってもよい。この場合、各サブレイヤーが同じ組成であっても異なる組成であってもよい。また、上述したとおり、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように無機層との界面が明確で無く、組成が膜厚方向で連続的に変化する層であってもよい。
(Organic layer)
The organic layer is preferably an organic layer containing an organic polymer as a main component. Here, the main component means that the first component of the component constituting the organic layer is an organic polymer, and usually 80% by weight or more of the component constituting the organic layer is an organic polymer.
Examples of the organic polymer include polyester, acrylic resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene, transparent fluororesin, polyimide, fluorinated polyimide, polyamide, polyamideimide, polyetherimide, cellulose acylate, and polyurethane. , Polyether ether ketone, polycarbonate, alicyclic polyolefin, polyarylate, polyether sulfone, polysulfone, fluorene ring modified polycarbonate, alicyclic modified polycarbonate, fluorene ring modified polyester, thermoplastic resins such as acryloyl compound, or polysiloxane, etc. Examples thereof include organosilicon polymers. The organic layer may be made of a single material or a mixture, or may be a laminated structure of sublayers. In this case, each sublayer may have the same composition or a different composition. Further, as described above, as disclosed in US 2004-46497, the interface with the inorganic layer is not clear and the layer may be a layer whose composition changes continuously in the film thickness direction.
本発明における有機層は、好ましくは、重合性化合物を含む重合性組成物を硬化してなるものである。
(重合性化合物)
重合性化合物は、好ましくは、ラジカル重合性化合物および/またはエーテル基を官能基に有するカチオン重合性化合物であり、より好ましくは、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物、および/または、エポキシまたはオキセタンを末端または側鎖に有する化合物である。これらのうち、エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物が好ましい。エチレン性不飽和結合を末端または側鎖に有する化合物の例としては、(メタ)アクリレート系化合物、アクリルアミド系化合物、スチレン系化合物、無水マレイン酸等が挙げられ、(メタ)アクリレート系化合物および/またはスチレン系化合物が好ましく、(メタ)アクリレート系化合物がさらに好ましい。
The organic layer in the present invention is preferably formed by curing a polymerizable composition containing a polymerizable compound.
(Polymerizable compound)
The polymerizable compound is preferably a radical polymerizable compound and / or a cationic polymerizable compound having an ether group as a functional group, more preferably a compound having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain, and / or A compound having an epoxy or oxetane at the terminal or side chain. Of these, compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain are preferred. Examples of compounds having an ethylenically unsaturated bond at the terminal or side chain include (meth) acrylate compounds, acrylamide compounds, styrene compounds, maleic anhydride, etc., (meth) acrylate compounds and / or Styrenic compounds are preferred, and (meth) acrylate compounds are more preferred.
(メタ)アクリレート系化合物としては、(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートやポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート等が好ましい。
スチレン系化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、4−メチルスチレン、ジビニルベンゼン、4−ヒドロキシスチレン、4−カルボキシスチレン等が好ましい。
As the (meth) acrylate compound, (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate and the like are preferable.
As the styrene compound, styrene, α-methylstyrene, 4-methylstyrene, divinylbenzene, 4-hydroxystyrene, 4-carboxystyrene and the like are preferable.
以下に、本発明で好ましく用いられる(メタ)アクリレート系化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the (meth) acrylate compound preferably used in the present invention are shown below, but the present invention is not limited to these.
さらに、下記一般式(2)で表されるメタアクリレート系化合物も好ましく用いることができる。
一般式(2)
General formula (2)
一般式(2)中、R11は、置換基を表し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。nは、0〜5の整数を示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。但し、R11の少なくとも1つは重合性基を含む。 In general formula (2), R 11 represents a substituent, which may be the same or different. n represents an integer of 0 to 5, and may be the same or different. However, at least one of R 11 contains a polymerizable group.
R11の置換基としては、−CR12 2−(R12は水素原子または置換基)、−CO−、−O−、フェニレン基、−S−、−C≡C−、−NR13−(R13は水素原子または置換基)、−CR14=CR15−(R14、R15は、ぞれぞれ、水素原子または置換基)の1つ以上と、重合性基との組み合わせからなる基が挙げられ、−CR12 2−(R12は水素原子または置換基)、−CO−、−O−およびフェニレン基の1つ以上と、重合性基との組み合わせからなる基が好ましい。 As the substituent for R 11 , —CR 12 2 — (R 12 is a hydrogen atom or a substituent), —CO—, —O—, a phenylene group, —S—, —C≡C—, —NR 13 — ( R 13 is a hydrogen atom or a substituent), —CR 14 ═CR 15 — (R 14 and R 15 are each a hydrogen atom or a substituent) and a combination of a polymerizable group. And a group comprising a combination of one or more of —CR 12 2 — (R 12 is a hydrogen atom or a substituent), —CO—, —O— and a phenylene group and a polymerizable group is preferable.
R12は、水素原子または置換基であるが、好ましくは、水素原子またはヒドロキシ基である。
R11の少なくとも1つが、ヒドロキシ基を含むことが好ましい。ヒドロキシ基を含むことにより、有機層の硬化率が向上する。
R11の少なくとも1つの分子量が10〜250であることが好ましく、70〜150であることがより好ましい。
R11が結合している位置としては、少なくともパラ位に結合していることが好ましい。
nは、0〜5の整数を示し、0〜2の整数であることが好ましく、0または1であることがより好ましく、いずれも1であることがさらに好ましい。
R 12 is a hydrogen atom or a substituent, but is preferably a hydrogen atom or a hydroxy group.
It is preferable that at least one of R 11 includes a hydroxy group. By containing a hydroxy group, the curing rate of the organic layer is improved.
The molecular weight of at least one R 11 is preferably 10 to 250, more preferably 70 to 150.
The position where R 11 is bonded is preferably bonded at least to the para position.
n represents an integer of 0 to 5, preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1, and still more preferably 1.
一般式(2)で表される化合物は、R11の少なくとも2つが同じ構造であることが好ましい。さらに、nは、いずれも1であり、4つのR11の少なくとも2つずつがそれぞれ同じ構造であることがより好ましく、nは、いずれも1であり、4つのR11が同じ構造であることがさらに好ましい。一般式(2)が有する重合性基は、(メタ)アクリロイル基またはエポキシ基であることが好ましく、(メタ)アクリロイル基であることがより好ましい。一般式(2)が有する重合性基の数は、2つ以上であることが好ましく、3つ以上であることがより好ましい。また、上限は特に定めるものではないが、8つ以下であることが好ましく、6つ以下であることがより好ましい。
一般式(2)で表される化合物の分子量は、600〜1400が好ましく、800〜1200がより好ましい。
In the compound represented by the general formula (2), it is preferable that at least two of R 11 have the same structure. Furthermore, it is more preferable that n is 1 and at least two of each of four R 11 have the same structure, and n is both 1, and the four R 11 have the same structure. Is more preferable. The polymerizable group of the general formula (2) is preferably a (meth) acryloyl group or an epoxy group, and more preferably a (meth) acryloyl group. The number of polymerizable groups that the general formula (2) has is preferably 2 or more, and more preferably 3 or more. The upper limit is not particularly defined, but is preferably 8 or less, and more preferably 6 or less.
600-1400 are preferable and, as for the molecular weight of the compound represented by General formula (2), 800-1200 are more preferable.
以下に、一般式(2)で表される化合物の具体例を示すが、これによって本発明が限定されることはない。また、下記化合物では、一般式(2)の4つのnがいずれも1の場合を例示しているが、一般式(2)の4つのnのうち、1つまたは2つまたは3つが0のもの(例えば、2官能や3官能化合物等)や、一般式(2)の4つのnのうち、1つまたは2つまたは3つ以上が2つ以上のもの(R11が1つの環に、2つ以上結合しているもの、例えば、5官能や6官能化合物等)も好ましい化合物として例示される。 Although the specific example of a compound represented by General formula (2) below is shown, this invention is not limited by this. Further, in the following compounds, the case where all four n's in the general formula (2) are 1 is exemplified, but one, two or three of the four n's in the general formula (2) are 0. A compound (for example, a bifunctional compound or a trifunctional compound), or one having two or more of the four n's in the general formula (2) (R 11 is one ring, Those having two or more bonds, such as pentafunctional and hexafunctional compounds, are also exemplified as preferred compounds.
上記一般式(2)で表される化合物は、市販品として入手することができる。また、上記化合物は、公知の方法によって合成することもできる。例えば、エポキシアクリレートは、エポキシ化合物とアクリル酸との反応で得ることができる。これらの化合物は、通常、反応の際、2官能、3官能、5官能やその異性体なども生成する。これらの異性体を分離したい場合は、カラムクロマトグラフィによって分離できるが、本発明では、混合物として用いることも可能である。 The compound represented by the general formula (2) can be obtained as a commercial product. Moreover, the said compound is also compoundable by a well-known method. For example, epoxy acrylate can be obtained by reaction of an epoxy compound and acrylic acid. These compounds usually generate bifunctional, trifunctional, pentafunctional and isomers thereof during the reaction. When it is desired to separate these isomers, they can be separated by column chromatography, but in the present invention, they can also be used as a mixture.
重合性化合物は、重合性組成物の固形分に対し、90質量%以上含まれていることが好ましく、99質量%以上含まれていることがより好ましい。
有機層を形成するための組成物において重合性化合物は2種類以上含まれていてもよい。
The polymerizable compound is preferably contained in an amount of 90% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, based on the solid content of the polymerizable composition.
Two or more kinds of polymerizable compounds may be contained in the composition for forming the organic layer.
(シランカップリング剤)
重合性組成物はシランカップリング剤を含んでいてもよい。シランカップリング剤は重合性基を含むことが好ましく、特に(メタ)アクリレート基を含むことが好ましい。好ましいシランカップリング剤としては、以下の一般式(1)で示されるシランカップリング剤があげられる。
(Silane coupling agent)
The polymerizable composition may contain a silane coupling agent. The silane coupling agent preferably contains a polymerizable group, and particularly preferably contains a (meth) acrylate group. Preferable silane coupling agents include silane coupling agents represented by the following general formula (1).
式中、R1は、それぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、R2はハロゲン元素またはアルキル基を示し、R3は水素原子またはアルキル基を示し、Lは2価の連結基を示し、nは0から2のいずれかの整数を示す。 In the formula, each R1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, R2 represents a halogen element or an alkyl group, R3 represents a hydrogen atom or an alkyl group, L represents a divalent linking group, and n represents 0. To an integer from 2 to 2.
ハロゲン元素としては、塩素原子、臭素原子、フッ素原子、及びヨウ素原子があげられる。
アルキル基、または後述の置換基のうちアルキル基を含む置換基中のアルキル基の炭素数は、1〜12が好ましく、1〜9がより好ましく、1〜6がさらに好ましい。アルキル基の具体例として、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、直鎖状であっても分枝状であっても環状であっても構わないが、直鎖アルキル基が好ましい。
Examples of the halogen element include a chlorine atom, a bromine atom, a fluorine atom, and an iodine atom.
1-12 are preferable, as for carbon number of the alkyl group in the substituent containing an alkyl group or an alkyl group among the below-mentioned substituents, 1-9 are more preferable, and 1-6 are more preferable. Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, and a hexyl group. The alkyl group may be linear, branched or cyclic, but a linear alkyl group is preferred.
2価の連結基としては、1〜20個の炭素を含む連結基であることが好ましい。好ましくは1〜12、より好ましくは1〜6の炭素を含む連結基であればよい。2価の連結基の例としては、アルキレン基(例えば、エチレン基、1,2−プロピレン基、2,2−プロピレン基(2,2−プロピリデン基、1,1−ジメチルメチレン基とも呼ばれる)、1,3−プロピレン基、2,2−ジメチル−1,3−プロピレン基、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロピレン基、1,6−ヘキシレン基、1,9−ノニレン基、1,12−ドデシレン基、1,16−ヘキサデシレン基等)、アリーレン基(例えば、フェニレン基、ナフチレン基)、エーテル基、イミノ基、カルボニル基、スルホニル基、およびこれらの2価の基が複数個直列に結合した2価残基(例えば、ポリエチレンオキシエチレン基、ポリプロピレンオキシプロピレン基、2,2−プロピレンフェニレン基等)を挙げることができる。これらの基は置換基を有してもよい。また、これらの基の2個以上が複数直列に結合して形成された連結基であってもよい。この中でも、アルキレン基、アリーレン基およびこれらが複数直列に結合した2価の基が好ましく、無置換のアルキレン基、無置換のアリーレン基およびこれらが複数直列に結合した2価の基がより好ましい。置換基としてはアルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基などがあげられる。 The divalent linking group is preferably a linking group containing 1 to 20 carbons. Preferably it is a linking group containing 1 to 12, more preferably 1 to 6 carbons. Examples of the divalent linking group include an alkylene group (for example, ethylene group, 1,2-propylene group, 2,2-propylene group (also called 2,2-propylidene group, 1,1-dimethylmethylene group), 1,3-propylene group, 2,2-dimethyl-1,3-propylene group, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propylene group, 1,6-hexylene group, 1,9-nonylene group, 1 , 12-dodecylene group, 1,16-hexadecylene group, etc.), arylene group (for example, phenylene group, naphthylene group), ether group, imino group, carbonyl group, sulfonyl group, and a plurality of these divalent groups in series. And divalent residues (for example, a polyethyleneoxyethylene group, a polypropyleneoxypropylene group, a 2,2-propylenephenylene group, etc.). These groups may have a substituent. Moreover, the connection group formed by couple | bonding two or more of these groups in series may be sufficient. Among these, an alkylene group, an arylene group, and a divalent group in which a plurality of these are bonded in series are preferable, and an unsubstituted alkylene group, an unsubstituted arylene group, and a divalent group in which these are bonded in series are more preferable. Examples of the substituent include an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, and an aryloxy group.
シランカップリング剤は、重合性組成物の固形分に対し、1〜30質量%含まれていることが好ましく、5〜20質量%含まれていることがより好ましい。
また、本発明では、シランカップリング剤を2種類以上含んでいてもよく、この場合、それらの合計量が、上記範囲となる。
It is preferable that 1-30 mass% is contained with respect to solid content of a polymeric composition, and, as for a silane coupling agent, it is more preferable that 5-20 mass% is contained.
Moreover, in this invention, 2 or more types of silane coupling agents may be included, and those total amounts become the said range in this case.
以下に、シランカップリング剤の具体例を示すが、これらに限定されるものではない。 Although the specific example of a silane coupling agent is shown below, it is not limited to these.
シランカップリング剤の、重合性組成物の固形分(揮発分が揮発した後の残分)中に占める割合は、1〜20質量%が好ましく、2〜10質量%がより好ましい。 The proportion of the silane coupling agent in the solid content of the polymerizable composition (residue after the volatile component has volatilized) is preferably 1 to 20 mass%, more preferably 2 to 10 mass%.
(重合開始剤)
重合性組成物は、通常、重合開始剤を含む。重合開始剤を用いる場合、その含量は、重合に関与する化合物の合計量の0.1モル%以上であることが好ましく、0.5〜2モル%であることがより好ましい。このような組成とすることにより、活性成分生成反応を経由する重合反応を適切に制御することができる。光重合開始剤の例としてはBAFSジャパンから市販されているイルガキュア(Irgacure)シリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア754、イルガキュア184、イルガキュア2959、イルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379、イルガキュア819など)、ダロキュア(Darocure)シリーズ(例えば、ダロキュアTPO、ダロキュア1173など)、クオンタキュア(Quantacure)PDO、ランベルティ(Lamberti)社から市販されているエザキュア(Esacure)シリーズ(例えば、エザキュアTZM、エザキュアTZT、エザキュアKTO46など)、エザキュアKIPシリーズ等が挙げられる。
(Polymerization initiator)
The polymerizable composition usually contains a polymerization initiator. When using a polymerization initiator, the content thereof is preferably 0.1 mol% or more, more preferably 0.5 to 2 mol%, based on the total amount of compounds involved in the polymerization. By setting it as such a composition, the polymerization reaction via an active component production | generation reaction can be controlled appropriately. Examples of photopolymerization initiators include Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 754, Irgacure 184, Irgacure 2959, Irgacure 907, Irgacure 369, Irgacure 379, Irgacure 819, etc.) and Darocur (Darocure) series (eg, Darocur TPO, Darocur 1173, etc.), Quantacure PDO, Esacure series (eg, Ezacure TZM, Ezacure TZT, Ezacure KTO 46, etc.) commercially available from Lamberti ), Ezacure KIP series and the like.
(溶剤)
重合性組成物は、通常、溶剤を含んでいる。溶剤としては、ケトン、エステル系の溶剤が例示され、2−ブタノン、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノンが好ましい。溶剤の含量は、重合性組成物の60〜97質量%が好ましく、70〜95質量%がより好ましい。
(solvent)
The polymerizable composition usually contains a solvent. Examples of the solvent include ketone and ester solvents, and 2-butanone, propylene glycol monoethyl ether acetate, and cyclohexanone are preferable. The content of the solvent is preferably 60 to 97% by mass of the polymerizable composition, and more preferably 70 to 95% by mass.
(有機層の形成方法)
重合性組成物から有機層を形成する方法としては、プラスチックフィルム、またはプラスチックフィルム上の機能層、または無機層上に適用し、その後、光(例えば、紫外線)、電子線、または熱線にて、硬化させる方法があげられる。
適用方法としては、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、スライドコート法、或いは、米国特許第2681294号明細書に記載のホッパ−を使用するエクストル−ジョンコート法が採用できる。
また、有機層はフラッシュ蒸着法のような真空製膜法で形成してもよい。
(Formation method of organic layer)
As a method of forming an organic layer from a polymerizable composition, it is applied to a plastic film, or a functional layer on a plastic film, or an inorganic layer, and then light (for example, ultraviolet rays), electron beam, or heat ray, The method of hardening is mention | raise | lifted.
Application methods include dip coating, air knife coating, curtain coating, roller coating, wire bar coating, gravure coating, slide coating, or the hopper described in US Pat. No. 2,681,294. The extrusion coating method used can be adopted.
The organic layer may be formed by a vacuum film formation method such as flash vapor deposition.
重合性組成物は、光によって硬化させることが好ましい。照射する光は、通常、高圧水銀灯もしくは低圧水銀灯による紫外線である。照射エネルギーは0.1J/cm2以上が好ましく、0.5J/cm2以上がより好ましい。重合性化合物として、(メタ)アクリレート系化合物を用いる場合、空気中の酸素によって重合阻害を受けるため、重合時の酸素濃度もしくは酸素分圧を低くすることが好ましい。窒素置換法によって重合時の酸素濃度を低下させる場合、酸素濃度は2%以下が好ましく、0.5%以下がより好ましい。減圧法により重合時の酸素分圧を低下させる場合、全圧が1000Pa以下であることが好ましく、100Pa以下であることがより好ましい。また、100Pa以下の減圧条件下で0.5J/cm2以上のエネルギーを照射して紫外線重合を行うことが特に好ましい。 The polymerizable composition is preferably cured by light. The light to irradiate is usually ultraviolet light from a high pressure mercury lamp or a low pressure mercury lamp. The radiation energy is preferably 0.1 J / cm 2 or more, 0.5 J / cm 2 or more is more preferable. When a (meth) acrylate compound is used as the polymerizable compound, the polymerization is inhibited by oxygen in the air, and therefore it is preferable to reduce the oxygen concentration or oxygen partial pressure during polymerization. When the oxygen concentration during polymerization is lowered by the nitrogen substitution method, the oxygen concentration is preferably 2% or less, and more preferably 0.5% or less. When the oxygen partial pressure during polymerization is reduced by the decompression method, the total pressure is preferably 1000 Pa or less, and more preferably 100 Pa or less. Further, it is particularly preferable to perform ultraviolet polymerization by irradiating energy of 0.5 J / cm 2 or more under a reduced pressure condition of 100 Pa or less.
有機層は、平滑で、膜硬度が高いことが好ましい。有機層の平滑性は1μm角の平均粗さ(Ra値)として1nm未満であることが好ましく、0.5nm未満であることがより好ましい。モノマーの重合率は85%以上であることが好ましく、88%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましく、92%以上であることが特に好ましい。ここでいう重合率とはモノマー混合物中の全ての重合性基(例えば、アクリロイル基およびメタクリロイル基)のうち、反応した重合性基の比率を意味する。重合率は赤外線吸収法によって定量することができる。 The organic layer is preferably smooth and has a high film hardness. The smoothness of the organic layer is preferably less than 1 nm as average roughness (Ra value) of 1 μm square, and more preferably less than 0.5 nm. The polymerization rate of the monomer is preferably 85% or more, more preferably 88% or more, further preferably 90% or more, and particularly preferably 92% or more. The polymerization rate here means the ratio of the reacted polymerizable group among all the polymerizable groups (for example, acryloyl group and methacryloyl group) in the monomer mixture. The polymerization rate can be quantified by an infrared absorption method.
有機層の膜厚については特に限定はない。しかし、薄すぎると膜厚の均一性を得ることが困難になり、厚すぎると外力によりクラックを発生してバリア性が低下する。かかる観点から、有機層の膜厚は50nm〜5000nmが好ましく、200nm〜4000nmがより好ましく、30nm〜3000nmが更に好ましい。
有機層の表面にはパーティクル等の異物、突起が無いことが要求される。このため、有機層の成膜はクリーンルーム内で行われることが好ましい。クリーン度はクラス10000以下が好ましく、クラス1000以下がより好ましい。
有機層の硬度は高いことが好ましい。有機層の硬度が高いと、無機層が平滑に成膜されその結果としてバリア能が向上することがわかっている。有機層の硬度はナノインデンテーション法に基づく微小硬度として表すことができる。有機層の微小硬度は100N/mm以上であることが好ましく、150N/mm以上であることがより好ましい。
There is no particular limitation on the thickness of the organic layer. However, if it is too thin, it will be difficult to obtain film thickness uniformity. If it is too thick, cracks will be generated by external force and the barrier properties will be reduced. From this viewpoint, the film thickness of the organic layer is preferably 50 nm to 5000 nm, more preferably 200 nm to 4000 nm, and still more preferably 30 nm to 3000 nm.
The surface of the organic layer is required to be free of foreign matters such as particles and protrusions. For this reason, it is preferable that the organic layer is formed in a clean room. The degree of cleanness is preferably class 10000 or less, more preferably class 1000 or less.
It is preferable that the organic layer has a high hardness. It has been found that when the hardness of the organic layer is high, the inorganic layer is formed smoothly and as a result, the barrier ability is improved. The hardness of the organic layer can be expressed as a microhardness based on the nanoindentation method. The microhardness of the organic layer is preferably 100 N / mm or more, and more preferably 150 N / mm or more.
(無機層)
無機層は、バリア性積層体内の層であり、通常、金属化合物からなる薄膜の層である。無機層の形成方法は、目的の薄膜を形成できる方法であればいかなる方法でも用いることができる。例えば、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理的気相成長法(PVD)、種々の化学的気相成長法(CVD)、めっきやゾルゲル法等の液相成長法があり、プラズマCVD法が好ましい。無機層に含まれる成分は、上記性能を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属酸化窒化物または金属酸化炭化物であり、Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、Cu、CeおよびTaから選ばれる1種以上の金属を含む酸化物、窒化物、炭化物、酸化窒化物または酸化炭化物などを好ましく用いることができる。これらの中でも、Si、Al、In、Sn、ZnおよびTiから選ばれる金属の酸化物、窒化物または酸化窒化物が好ましく、SiまたはAlの酸化物または窒化物がより好ましく、特に窒化シリコン(Si窒化物)が好ましい。これらは、副次的な成分として他の元素を含有していてもよい。例えば、窒化シリコンは水素を含んで水素化窒化シリコンとなっていてもよく、さらに酸素を含んで水素化酸窒化シリコンとなっていてもよい。
(Inorganic layer)
The inorganic layer is a layer in the barrier laminate, and is usually a thin film layer made of a metal compound. As a method for forming the inorganic layer, any method can be used as long as it can form a target thin film. For example, there are physical vapor deposition methods (PVD) such as vapor deposition, sputtering and ion plating, various chemical vapor deposition methods (CVD), and liquid phase growth methods such as plating and sol-gel methods. The CVD method is preferred. The component contained in the inorganic layer is not particularly limited as long as it satisfies the above performance. For example, it is a metal oxide, metal nitride, metal carbide, metal oxynitride, or metal oxycarbide, and Si, Al, In An oxide, nitride, carbide, oxynitride or oxycarbide containing one or more metals selected from Sn, Zn, Ti, Cu, Ce and Ta can be preferably used. Among these, an oxide, nitride or oxynitride of a metal selected from Si, Al, In, Sn, Zn and Ti is preferable, an oxide or nitride of Si or Al is more preferable, and particularly silicon nitride (Si Nitride) is preferred. These may contain other elements as secondary components. For example, silicon nitride may be hydrogenated silicon nitride containing hydrogen, and may further be hydrogenated silicon oxynitride containing oxygen.
上述のように、ガラス基板の表面に配置されるバリアフィルムを端部でガラス基板の裏面と接着させるために、バリアフィルムの端部の少なくとも一部は湾曲させる必要があるが、この湾曲によっては、例えばバリアフィルムの無機層にクラック等が生じてしまう場合がある。無機層が水素化窒化シリコンを含むと無機層が引張に対して強くなり、同様に圧縮耐性も向上する傾向があるため、このクラックは生じにくくなる。この傾向は無機層中に水素結合が形成されることによると推定される。無機層における水素の量は25〜30%原子%であることが好ましい。水素の量がこれより多いとバリア性の低下や酸化耐性が低下する可能性がある。 As described above, in order to adhere the barrier film disposed on the surface of the glass substrate to the back surface of the glass substrate at the end, it is necessary to bend at least a part of the end of the barrier film. For example, a crack or the like may occur in the inorganic layer of the barrier film. When the inorganic layer contains silicon hydronitride, the inorganic layer becomes strong against tension, and similarly, the compression resistance tends to be improved. This tendency is presumed to be due to the formation of hydrogen bonds in the inorganic layer. The amount of hydrogen in the inorganic layer is preferably 25-30% atomic%. When the amount of hydrogen is larger than this, there is a possibility that the barrier property and oxidation resistance are lowered.
無機層の平滑性は、1μm角の平均粗さ(Ra値)として1nm未満であることが好ましく、0.5nm以下がより好ましい。無機層の成膜はクリーンルーム内で行われることが好ましい。クリーン度はクラス10000以下が好ましく、クラス1000以下がより好ましい。 The smoothness of the inorganic layer is preferably less than 1 nm as an average roughness (Ra value) of 1 μm square, and more preferably 0.5 nm or less. The inorganic layer is preferably formed in a clean room. The degree of cleanness is preferably class 10000 or less, more preferably class 1000 or less.
1層に付き、通常、5〜500nmの範囲内であり、好ましくは10〜200nmである。無機層の膜厚は20nmより大きくてもよく、また30nm以上 40nm以上でありうる。また、無機層の膜厚は、100nm以下、50nm以下、または35nm以下であってもよい。 無機層は複数のサブレイヤーから成る積層構造であってもよい。この場合、各サブレイヤーが同じ組成であっても異なる組成であってもよい。また、上述したとおり、米国公開特許2004−46497号明細書に開示してあるように有機層との界面が明確で無く、組成が膜厚方向で連続的に変化する層であってもよい。 One layer is usually in the range of 5 to 500 nm, preferably 10 to 200 nm. The film thickness of the inorganic layer may be larger than 20 nm, and may be 30 nm or more and 40 nm or more. The film thickness of the inorganic layer may be 100 nm or less, 50 nm or less, or 35 nm or less. The inorganic layer may have a laminated structure including a plurality of sublayers. In this case, each sublayer may have the same composition or a different composition. Further, as described above, as disclosed in US 2004-46497, the interface with the organic layer is not clear and the layer may be a layer whose composition changes continuously in the film thickness direction.
(無機層の形成方法)
無機層は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法などの真空製膜法で形成することができる。無機層が窒化シリコンを含む層である場合はプラズマCVD法で形成されることが好ましい。
(Formation method of inorganic layer)
The inorganic layer can be formed by a vacuum film forming method such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, an ion plating method, or a plasma CVD method. When the inorganic layer is a layer containing silicon nitride, it is preferably formed by a plasma CVD method.
(有機層と無機層の積層)
有機層と無機層の積層は、所望の層構成に応じて有機層と無機層を順次繰り返し製膜することにより行うことができる。
特に、少なくとも2層の有機層と少なくとも2層の無機層を交互に積層した場合に、高いバリア性を発揮することができる。交互積層は支持体側から有機層/無機層/有機層/無機層の順に積層していても、無機層/有機層/無機層/有機層の順に積層していてもよい。
(Lamination of organic and inorganic layers)
The organic layer and the inorganic layer can be laminated by sequentially forming the organic layer and the inorganic layer in accordance with a desired layer structure.
In particular, when at least two organic layers and at least two inorganic layers are alternately laminated, high barrier properties can be exhibited. The alternate lamination may be carried out in the order of organic layer / inorganic layer / organic layer / inorganic layer from the support side, or may be laminated in the order of inorganic layer / organic layer / inorganic layer / organic layer.
(機能層)
バリア性積層体は、機能層を有していてもよい。機能層については、特開2006−289627号公報の段落番号0036〜0038に詳しく記載されている。これら以外の機能層の例としてはマット剤層、保護層、耐溶剤層、帯電防止層、平滑化層、密着改良層、遮光層、反射防止層、ハードコート層、応力緩和層、防曇層、防汚層、被印刷層、易接着層等が挙げられる。
(Functional layer)
The barrier laminate may have a functional layer. The functional layer is described in detail in paragraph numbers 0036 to 0038 of JP-A-2006-289627. Examples of functional layers other than these include matting agent layers, protective layers, solvent resistant layers, antistatic layers, smoothing layers, adhesion improving layers, light shielding layers, antireflection layers, hard coat layers, stress relaxation layers, antifogging layers. , Antifouling layer, printed layer, easy adhesion layer and the like.
(基材)
本発明の有機電子デバイスに用いられるバリアフィルムの基材はプラスチックフィルムであることが好ましい。プラスチックフィルムはバリア性積層体を保持できるフィルムであれば材質、膜厚等に特に制限はなく、使用目的等に応じて適宜選択することができる。有機電子デバイスの種類に従って、透明プラスチックフィルムや、高い光学特性を有するフィルムが好ましい場合もある。プラスチックフィルムとしては、具体的には、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン樹脂、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、フルオレン環変性ポリカーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、フルオレン環変性ポリエステル樹脂、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。プラスチックフィルムは、ポリエステル樹脂およびいわゆる光学フィルムが好ましく、ポリエステル樹脂としてはポリエチレンテレフタレート(PET)またはポリエチレンナフタレート(PEN)、光学フィルムとしてはシクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート樹脂がより好ましい。
(Base material)
The base material of the barrier film used in the organic electronic device of the present invention is preferably a plastic film. As long as the plastic film is a film that can hold the barrier laminate, the material, film thickness, and the like are not particularly limited, and can be appropriately selected according to the purpose of use. Depending on the type of organic electronic device, a transparent plastic film or a film with high optical properties may be preferred. Specifically, as a plastic film, polyester resin, methacrylic resin, methacrylic acid-maleic acid copolymer, polystyrene resin, transparent fluororesin, polyimide, fluorinated polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin , Cellulose acylate resin, polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyarylate resin, polyether sulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin polymer, cycloolefin copolymer, fluorene ring modified polycarbonate resin, Examples thereof include thermoplastic resins such as alicyclic modified polycarbonate resins, fluorene ring modified polyester resins, and acryloyl compounds. The plastic film is preferably a polyester resin or a so-called optical film, the polyester resin is preferably polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN), and the optical film is more preferably a cycloolefin polymer, a cycloolefin copolymer, or a polycarbonate resin.
プラスチックフィルムの膜厚は、特に制限はないが、薄いことが好ましい。屈曲性の高いバリアフィルムとして、ガラス基板の裏面でのバリアフィルムとガラス基板との接着を容易とするためである。基材が薄いとバリアフィルムにおける曲げ中心からの無機層の距離を短くすることができ、無機層における曲げ応力が小さくなる。基材は、通常、1〜150μmであればよく、50μm以下がより好ましく、25μm以下がさらに好ましい。 The thickness of the plastic film is not particularly limited, but is preferably thin. This is because, as a highly flexible barrier film, adhesion between the barrier film and the glass substrate on the back surface of the glass substrate is facilitated. If the substrate is thin, the distance of the inorganic layer from the bending center in the barrier film can be shortened, and the bending stress in the inorganic layer is reduced. The substrate may be usually 1 to 150 μm, more preferably 50 μm or less, and further preferably 25 μm or less.
(ガラス基板)
本発明の有機電子デバイスにおけるガラス基板としては、有機電子デバイスの基板として用いられている材質の基板のいずれを用いてもよく、特に限定されない。
(Glass substrate)
As the glass substrate in the organic electronic device of the present invention, any of the substrates used as the substrate of the organic electronic device may be used, and is not particularly limited.
ガラス基板は面取りされていてもよい。より具体的には、ガラス基板においては、エッジおよび表面、並びにエッジおよび裏面がそれぞれなす角が面取りされていてもよい。面取りされているガラス基板を用いることにより、エッジ部分を覆うように形成されるバリアフィルムへの応力を緩和し、ガラス基板の裏面でのバリアフィルムとガラス基板との接着を容易とすることができる。面取りの形態は特に限定されないが、円弧状(R面取り)または多角形状に行うことができる。すなわち、ガラス基板を厚み方向から見た端部が円弧状または多角形状円弧状となるように行うことができる。円弧状の面取りの曲率半径はガラス基板の厚さに応じて、例えば1cm〜0.1 mmで設定すればよい。例えば、0.2 mm以下の曲率半径を用いることができる。多角形状の面取りは最小角が好ましくは120度以上、より好ましくは135度以上、さらに好ましくは150度以上であればよい。
面取りの方法は、当業者に公知のいずれの方法でもよい。面取り済みの市販のガラス基板を用いてもよい。また、面取りは、少なくとも、バリアフィルムの端部が基板の反対側の面で接着することにより覆われているカラス基板のエッジにおいて施されていればよい。
The glass substrate may be chamfered. More specifically, in the glass substrate, the edges and the front surface, and the corners formed by the edge and the back surface may be chamfered. By using a chamfered glass substrate, stress on the barrier film formed so as to cover the edge portion can be relaxed, and adhesion between the barrier film and the glass substrate on the back surface of the glass substrate can be facilitated. . Although the form of chamfering is not particularly limited, it can be performed in an arc shape (R chamfering) or a polygonal shape. That is, the glass substrate can be formed so that the end portion of the glass substrate viewed from the thickness direction has an arc shape or a polygonal arc shape. The radius of curvature of the arc-shaped chamfer may be set, for example, from 1 cm to 0.1 mm according to the thickness of the glass substrate. For example, a radius of curvature of 0.2 mm or less can be used. Polygonal chamfering may have a minimum angle of preferably 120 degrees or more, more preferably 135 degrees or more, and even more preferably 150 degrees or more.
The chamfering method may be any method known to those skilled in the art. A commercially available glass substrate that has been chamfered may be used. Moreover, the chamfering should just be given at the edge of the crow board | substrate which is covered by adhering the edge part of a barrier film on the surface on the opposite side of a board | substrate at least.
(有機電子素子が形成されたガラス基板とバリアフィルムとの結合)
表面上に有機電子素子が形成されているガラス基板の上記表面上から有機電子素子を挟むようにバリアフィルムを配置して、ガラス基板とバリアフィルムを接着することにより、有機電子素子が形成されたガラス基板とバリアフィルムとの結合を行えばよい。ガラス基板の裏面においてバリアフィルムの端部の少なくとも一部が接着することを可能とするために、バリアフィルムの端部がガラス基板の端部より外側部分にある部分があればよい。例えば、長方形(長方形1)のバリアフィルムと長方形(長方形2)のガラス基板とを結合する場合は、前記長方形1のY方向に平行な2辺および前記長方形2のY方向に平行な2辺が略平行となるように、かつ、前記長方形1のY方向に平行な2辺を前記長方形2のY方向平行な2辺の外側となるように両者を配置することにより(図1参照)、対向する2辺に位置する端部において、バリアフィルムが裏面で接着している構造を形成することが可能になる。
(Bonding of a glass substrate on which an organic electronic element is formed and a barrier film)
The organic electronic device was formed by arranging the barrier film so as to sandwich the organic electronic device from above the surface of the glass substrate on which the organic electronic device is formed, and bonding the glass substrate and the barrier film. Bonding between the glass substrate and the barrier film may be performed. In order to allow at least a part of the end portion of the barrier film to adhere to the back surface of the glass substrate, there may be a portion in which the end portion of the barrier film is outside the end portion of the glass substrate. For example, when a rectangular (rectangular 1) barrier film and a rectangular (rectangular 2) glass substrate are combined, two sides parallel to the Y direction of the rectangular 1 and two sides parallel to the Y direction of the rectangular 2 are By arranging the two sides so that they are substantially parallel and the two sides parallel to the Y direction of the rectangle 1 are outside the two sides parallel to the Y direction of the rectangle 2 (see FIG. 1) Thus, it is possible to form a structure in which the barrier film is adhered on the back surface at the end portions located on the two sides.
有機電子素子が形成されたガラス基板の表面には、有機電子素子の外周に接着剤を塗布してバリアフィルムを設けてもよく、バリアフィルムが固体封止法による封止のためのフィルムとしても用いられていてもよい。固体封止法とはデバイスの上に好ましくは保護層を形成した後、接着剤層、バリアフィルムを重ねて硬化する方法である。しかし、接着剤層は有機電子素子上には設けられていないことが好ましい。接着剤は一般的に水分を含むためである。 On the surface of the glass substrate on which the organic electronic element is formed, a barrier film may be provided by applying an adhesive to the outer periphery of the organic electronic element, and the barrier film may be used as a film for sealing by a solid sealing method. It may be used. The solid sealing method is a method in which a protective layer is preferably formed on a device, and then an adhesive layer and a barrier film are stacked and cured. However, the adhesive layer is preferably not provided on the organic electronic element. This is because the adhesive generally contains moisture.
接着剤としては特に制限はないが、熱硬化性エポキシ樹脂、光硬化性アクリレート樹脂等が例示される。
また、接着シートまたはテープを用いてもよい。接着シートとしては、広くOCA(Optical Clear Adhesive)して知られる接着シートが例示される。
Although there is no restriction | limiting in particular as an adhesive agent, A thermosetting epoxy resin, a photocurable acrylate resin, etc. are illustrated.
Further, an adhesive sheet or a tape may be used. As the adhesive sheet, an adhesive sheet widely known as OCA (Optical Clear Adhesive) is exemplified.
バリアフィルムがガラス基板の裏面に接着されているバリアフィルムの端部においては、表面の有機電子素子の外周部分、ガラス基板のエッジ、反対側の面を経由する方向に接着剤を例えば、0.1mm以上、1mm以上、2mm以上、5mm以上、または1cm以上の幅で設ければよい。接着剤の幅は素子への水分の影響を減らすためには、大きければ大きいほどよいが、例えば、ガラス基板の大きさや有機電子デバイスの使用目的に応じて、1mm以下、2mm以下、5mm以下、1cm以下、または5cm以下程度の幅で設ければよい。上記の端部においては、接着剤は、裏面のみにあってもよく、裏面およびエッジにあってもよく、裏面、エッジ、および表面にあってもよい。例えば、図2(図2においては、円弧状に面取りされたガラス基板を用いた例が示されている。)に示すように、バリアフィルムの端部が、ガラス基板の裏面、エッジ、表面に亘って接着剤を設けることにより、バリアフィルムのエッジ部分から侵入する外気が接着剤層を経由する距離(接着剤の幅)を、有機電子デバイスのデットスペースを抑えつつ、確保することができる。 At the edge of the barrier film where the barrier film is bonded to the back surface of the glass substrate, an adhesive is applied in the direction passing through the outer peripheral portion of the organic electronic element on the surface, the edge of the glass substrate, the opposite surface, for example, The width may be 1 mm or more, 1 mm or more, 2 mm or more, 5 mm or more, or 1 cm or more. In order to reduce the influence of moisture on the element, the larger the width of the adhesive, the better. For example, depending on the size of the glass substrate and the purpose of use of the organic electronic device, 1 mm or less, 2 mm or less, 5 mm or less It may be provided with a width of about 1 cm or less or about 5 cm or less. At the end, the adhesive may be on the back surface only, on the back surface and the edge, or on the back surface, edge, and surface. For example, as shown in FIG. 2 (in FIG. 2, an example using a glass substrate chamfered in an arc shape is shown), the end of the barrier film is formed on the back surface, edge, and surface of the glass substrate. By providing the adhesive over the distance, it is possible to secure a distance (adhesive width) through which the outside air entering from the edge portion of the barrier film passes through the adhesive layer while suppressing the dead space of the organic electronic device.
バリアフィルムがガラス基板の裏面に接着されているバリアフィルムの端部(屈曲端部)以外の端部(非屈曲端部)を有する場合は、非屈曲端部に設けられる接着剤の幅は、屈曲端部に設けられる接着剤の幅と同じであっても、異なっていてもよい。一般的には、同様に外気を封止するため、ほぼ同じであることが好ましい。この場合は接着剤の幅は表面に設けられる接着剤のみで達成されていればよい。
上記からわかるように、屈曲端部においては、接着剤のために必要な表面のスペースを抑えることができるため、ガラス基板のエッジから前記有機電子素子までの距離を、非屈曲端部と比較して短くすることができる。
When the barrier film has an end (non-bending end) other than the end (bending end) of the barrier film bonded to the back surface of the glass substrate, the width of the adhesive provided on the non-bending end is The width may be the same as or different from the width of the adhesive provided at the bent end. Generally, in order to seal the outside air as well, it is preferable that they are substantially the same. In this case, the width of the adhesive need only be achieved by the adhesive provided on the surface.
As can be seen from the above, since the space on the surface necessary for the adhesive can be suppressed at the bent end, the distance from the edge of the glass substrate to the organic electronic element is compared with the non-bent end. Can be shortened.
基材の片面にバリア積層体が設けられているバリアフィルムが用いられている場合は有機電子素子からバリア積層体側が有機電子素子側となるように、バリアフィルムがガラス基板と接着されることが好ましい。また、有機電子素子からみてバリアフィルムの最表面層が無機層となるようにバリアフィルムがガラス基板と接着されることが好ましい。最表面層が無機層である構造により、ガラス基板とバリアフィルムとにより構成される有機電子素子を含む空間の水分を減少させることができる。 When a barrier film provided with a barrier laminate on one side of the substrate is used, the barrier film may be adhered to the glass substrate so that the barrier laminate side is the organic electronic element side from the organic electronic element. preferable. Moreover, it is preferable that a barrier film is adhere | attached with a glass substrate so that the outermost surface layer of a barrier film may become an inorganic layer seeing from an organic electronic element. With the structure in which the outermost surface layer is an inorganic layer, it is possible to reduce moisture in a space including an organic electronic element constituted by a glass substrate and a barrier film.
(有機電子素子)
本発明の有機電子デバイスにおける有機電子素子の例としては、空気中の化学成分(酸素、水、窒素酸化物、硫黄酸化物、オゾン等)によって性能が劣化する素子が好ましくあげられる。前記デバイスの例としては、例えば、有機EL素子、液晶表示素子、薄膜トランジスタ、タッチパネル、電子ペーパー、太陽電池等を挙げることができ有機EL素子に好ましく用いられる。
(Organic electronic device)
As an example of the organic electronic element in the organic electronic device of the present invention, an element whose performance is deteriorated by a chemical component (oxygen, water, nitrogen oxide, sulfur oxide, ozone, etc.) in the air is preferably exemplified. As an example of the said device, an organic EL element, a liquid crystal display element, a thin-film transistor, a touch panel, electronic paper, a solar cell etc. can be mentioned, for example, It is preferably used for an organic EL element.
有機EL素子としては、特に限定されないが、特開2012−256904号公報に記載の有機EL素子を用いることができる。
液晶表示素子としては、特開2009−172993号公報の段落番号0044の記載を参酌することができる。
その他の適用例としては、特表平10−512104号公報に記載の薄膜トランジスタ、特開平5−127822号公報、特開2002−48913号公報等に記載のタッチパネル、特開2000−98326号公報に記載の電子ペーパー、特願平7−160334号公報に記載の太陽電池等が挙げられる。
Although it does not specifically limit as an organic EL element, The organic EL element of Unexamined-Japanese-Patent No. 2012-256904 can be used.
As the liquid crystal display element, the description in paragraph No. 0044 of JP2009-172993A can be referred to.
As other application examples, the thin film transistor described in JP-A-10-512104, the touch panel described in JP-A-5-127822, JP-A-2002-48913, etc., described in JP-A-2000-98326. Electronic paper, solar cells described in Japanese Patent Application No. 7-160334, and the like.
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。 The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.
[バリアフィルムの作製]
ポリエチレンテレフタレート(東レ社製、S10)の平滑面上に、プラズマ処理を行った後、以下の構造式で表される化合物Iを95重量部、重合開始剤(Lamberti社、Esacure KTO46)5重量部を2−ブタノン溶媒に溶解し、乾燥膜厚が2000nmとなるように塗布成膜し、酸素含有量100ppm以下の窒素雰囲気下で紫外線照射量0.5J/cm2で照射して硬化させ、第1の有機層を作製した。その第1の有機層上に、第1の無機層を真空成膜で40nm作成した。第1の無機層は表1に示す組成で作製し、窒化ケイ素(膜中に酸素,水素を含む)はプラズマCVD法、酸化アルミはスパッタ法、酸化ケイ素は真空蒸着法により作製した。さらに第1の無機層表面上に、第2の有機層を第1の有機層と同様の方法で作製した。表1に示すように、一部の実施例において、第2の有機層表面上に第2の無機層を第1の無機層と同様の方法で作製した。
[Preparation of barrier film]
Plasma treatment is performed on a smooth surface of polyethylene terephthalate (Toray, S10), and then 95 parts by weight of compound I represented by the following structural formula and 5 parts by weight of a polymerization initiator (Lamberti, Esacure KTO46). Is dissolved in 2-butanone solvent, coated to form a dry film thickness of 2000 nm, cured by irradiation with an ultraviolet ray irradiation amount of 0.5 J / cm 2 in a nitrogen atmosphere with an oxygen content of 100 ppm or less, An organic layer was prepared. A first inorganic layer having a thickness of 40 nm was formed on the first organic layer by vacuum film formation. The first inorganic layer was formed by the composition shown in Table 1, silicon nitride (including oxygen and hydrogen in the film) was formed by plasma CVD, aluminum oxide was formed by sputtering, and silicon oxide was formed by vacuum evaporation. Further, a second organic layer was produced on the surface of the first inorganic layer in the same manner as the first organic layer. As shown in Table 1, in some examples, the second inorganic layer was formed on the surface of the second organic layer in the same manner as the first inorganic layer.
[耐久性の評価方法]
カルシウム腐食法(Asia Display/IDW'01 pp.1435〜1438参照)と呼ばれる、金属カルシウムの退色により水分進入を評価する方法を応用して、実際の有機電子デバイスを想定した耐久性評価を実施した。
ガラス基板上に金属カルシウムを蒸着し、バリアフィルムと接着剤を用いて封止する。接着剤(ナガセケムテックス社、XNR5516)はディスペンサーでガラス基板上に塗布し、バリアフィルムを貼り合せた後、紫外線照射量6J/cm2で+80℃1時間の加熱により硬化させた。比較例では、接着剤幅が5mm(X方向に平行な2辺の接着),1mm(Y方向に平行な2辺の接着)程度となるよう接着剤量を調整した。実施例では、図1に示すように配置されたバリアフィルムのY方向に平行な2辺のガラス基板と重なっていない端部を曲げてガラス基板のY方向に平行な2辺の端部をそれぞれ包むようにして、表面1mmかつ裏面4mmの接着剤幅で接着し、バリアフィルムのX方向に平行な2辺はガラス基板のX方向に平行な2辺の端部に表面5mmの接着剤幅で接着した。
[Durability evaluation method]
We applied a method called the calcium corrosion method (see Asia Display / IDW'01 pp.1435-1438) to evaluate moisture ingress by fading of metallic calcium, and performed durability evaluation assuming actual organic electronic devices. .
Metal calcium is vapor-deposited on a glass substrate and sealed with a barrier film and an adhesive. An adhesive (Nagase ChemteX Corporation, XNR5516) was applied onto a glass substrate with a dispenser, bonded to a barrier film, and then cured by heating at + 80 ° C. for 1 hour at an ultraviolet irradiation amount of 6 J / cm 2 . In the comparative example, the adhesive amount was adjusted so that the adhesive width was about 5 mm (adhesion of two sides parallel to the X direction) and 1 mm (adhesion of two sides parallel to the Y direction). In the examples, the ends of the barrier film arranged as shown in FIG. 1 that do not overlap with the glass substrate on the two sides parallel to the Y direction are bent to form the two ends on the glass substrate parallel to the Y direction. Wrapped and bonded with an adhesive width of 1mm on the front surface and 4mm on the back surface, the two sides parallel to the X direction of the barrier film were bonded to the edge of the two sides parallel to the X direction of the glass substrate with an adhesive width of 5mm surface .
封止後のサンプルを60℃/90%の高温高湿槽内に1000時間保管した後、金属カルシウムの退色面積ともとのカルシウム面積から退色率を計測し、表2に示す基準で耐久性を評価した。結果を表1に示す。
なお、表1の 端部構造の記載において、「直角は面取りなし、Rは円弧状面取り(曲率半径0.2mm)、Cは多角形状面取り(内角135度)を示す。また、表1に記載のあるH量は、ラザフォード後方散乱及び水素前方散乱分析法により無機層における元素及び原子数を測定し、その原子数比から規定した。
After the sealed sample is stored in a high-temperature and high-humidity tank at 60 ° C / 90% for 1000 hours, the fading rate is measured from the fading area of metallic calcium and the original calcium area, and the durability shown in Table 2 is used. evaluated. The results are shown in Table 1.
In the description of the end structure in Table 1, “right angle indicates no chamfering, R indicates a circular chamfer (curvature radius of 0.2 mm), and C indicates a polygonal chamfer (inner angle of 135 degrees). A certain amount of H was determined from the atomic ratio by measuring the number of elements and atoms in the inorganic layer by Rutherford backscattering and hydrogen forward scattering analysis.
1.ガラス基板
2.有機電子素子
3.バリアフィルム
4.接着剤
1. 1.
Claims (17)
前記バリアフィルムは、基材、少なくとも1層の有機層、少なくとも1層の無機層を含み、
前記バリアフィルムの端部の少なくとも一部が前記ガラス基板の裏面で前記ガラス基板と接着している有機電子デバイス。 A glass substrate, an organic electronic device formed on the surface of the glass substrate, and a barrier film adhered to the glass substrate, wherein the barrier film seals the organic electronic device together with the glass substrate. An organic electronic device bonded to a glass substrate,
The barrier film includes a substrate, at least one organic layer, at least one inorganic layer,
An organic electronic device in which at least a part of an end of the barrier film is bonded to the glass substrate on the back surface of the glass substrate.
長方形1のY方向に平行な2辺にある前記バリアフィルムの端部が裏面で前記ガラス基板と接着しており、かつ、前記ガラス基板が長方形2の形状を有し、前記バリアフィルムが接着している裏面が長方形2のY方向に平行なの2辺の端部にある請求項1〜14のいずれか一項に記載の有機電子デバイス。 The barrier film has a rectangular shape 1;
The ends of the barrier film on two sides parallel to the Y direction of the rectangle 1 are bonded to the glass substrate on the back surface, and the glass substrate has a shape of the rectangle 2, and the barrier film is bonded. The organic electronic device as described in any one of Claims 1-14 which exists in the edge part of 2 sides of the back surface which is parallel to the Y direction of the rectangle 2.
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2013
- 2013-01-25 JP JP2013012085A patent/JP2014143142A/en active Pending
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WO2016133130A1 (en) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | コニカミノルタ株式会社 | Sealed structure |
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