JP2014135183A - Organic el light emitting device and method for manufacturing the same - Google Patents

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和博 梅木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase an amount of light emission per light emission area in an organic EL light emitting element device including an organic EL light emitting element.SOLUTION: An organic EL light emitting device includes an organic EL light emitting element 23 including: an anode 5; a cathode 13; an organic EL layer 15 arranged between the anode 5 and the cathode 13 and including at least a light emitting layer 9; a reflective film 17 arranged on a side surface of the organic EL layer 15 excluding a part of a region on the side surface of the organic EL layer 15; and a light emission part 19 configured of a side surface part of the organic EL layer 15 where the reflective film 17 is not arranged.

Description

本発明は、陽極と陰極の間に配置され、少なくとも発光層を含む有機EL層をもつ有機EL発光素子を備えた有機EL発光デバイス及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic EL light emitting device including an organic EL light emitting element that is disposed between an anode and a cathode and has an organic EL layer including at least a light emitting layer, and a manufacturing method thereof.

発光素子アレイは複数の発光素子を直線状に配置したものである。発光素子として発光ダイオード(以下、LEDと記述する)を用いた発光素子アレイをLEDアレイと称されている。LEDアレイは、例えば電子写真方式の光プリンタの光源として使用されている。光プリンタにおいては高精細化が強く望まれていることから、それに伴いLEDアレイの高密度化を図ることが必要となる。   The light emitting element array is a plurality of light emitting elements arranged in a straight line. A light emitting element array using a light emitting diode (hereinafter referred to as LED) as a light emitting element is called an LED array. The LED array is used as a light source of an electrophotographic optical printer, for example. Since high definition is strongly desired in optical printers, it is necessary to increase the density of LED arrays accordingly.

しかし、高密度化を図るためにLEDアレイ内の発光部の間隔を狭くすると、LEDアレイの端部に位置する発光部とチップ端部との間隔が狭くなる。そうすると、アレイの端部に位置する発光部から放射される有効な光量、つまりチップ表面から略垂直方向に放出される光の量が少なくなる。これは、発光部から少し傾いて放射された光のうちチップ表面に達する前にチップ端面に達する光が有効な光とならないためである。   However, if the interval between the light emitting parts in the LED array is narrowed in order to increase the density, the distance between the light emitting part located at the end of the LED array and the chip end becomes narrow. As a result, the effective amount of light emitted from the light emitting portion located at the end of the array, that is, the amount of light emitted from the chip surface in a substantially vertical direction is reduced. This is because the light that reaches the chip end surface before reaching the chip surface out of the light emitted with a slight inclination from the light emitting portion does not become effective light.

また、光プリンタにおいては高速化が重要な課題である。高速化のためには光源であるLEDアレイの光量増加を図ることが必要となる。従来のLEDアレイを使用した方式は上記のような課題を有している。   Further, speeding up is an important issue for optical printers. In order to increase the speed, it is necessary to increase the amount of light of the LED array as a light source. A conventional method using an LED array has the above-described problems.

また、有機EL発光素子と光導波路とをもつ有機EL発光デバイスが配列された発光素子アレイが知られている(例えば特許文献1を参照。)。この有機EL発光デバイスは、有機EL発光素子から出射された光を光導波路に入射させ、光導波路の端面から出射させる。これにより、有機EL発光素子の発光面積に対して光出射面積を小さくでき、有機EL発光デバイスの発光光量の増加を図ることができる。   A light-emitting element array in which organic EL light-emitting devices each having an organic EL light-emitting element and an optical waveguide are arranged is known (see, for example, Patent Document 1). In this organic EL light emitting device, light emitted from the organic EL light emitting element is incident on the optical waveguide and is emitted from the end face of the optical waveguide. Thereby, the light emission area can be reduced with respect to the light emitting area of the organic EL light emitting element, and the amount of light emitted from the organic EL light emitting device can be increased.

特開2003−205646号公報JP 2003-205646 A

三上明義,「有機EL発光素子の光学解析技術と高効率化手法」,応用物理、第80巻、第4号,2011年,p.277−283Akiyoshi Mikami, “Optical Analysis Technology and Efficiency Improvement Method for Organic EL Light Emitting Elements”, Applied Physics, Vol. 80, No. 4, 2011, p. 277-283

本発明は、有機EL発光素子を備えた有機EL発光素子デバイスにおける光出射面積あたりの発光光量を増加させることを目的とする。   An object of the present invention is to increase the amount of emitted light per light emitting area in an organic EL light emitting device provided with an organic EL light emitting device.

本発明にかかる有機LE発光デバイスは、陽極と、陰極と、上記陽極と上記陰極の間に配置され、少なくとも発光層を含む有機EL層と、上記有機EL層の側面の一部分の領域を除いて上記有機EL層の側面に配置された反射膜と、上記反射膜が配置されていない上記有機EL層の側面部分で構成される光出射部と、をもつ有機EL発光素子を備えたものである。ここで、反射膜は、有機EL層の発光光を全反射するものであってもよいし、有機EL層の発光光の一部を反射するものであってもよい。   The organic LE light-emitting device according to the present invention is disposed between an anode, a cathode, the anode and the cathode, and includes at least an organic EL layer including a light-emitting layer, and a partial region on a side surface of the organic EL layer. An organic EL light emitting device having a reflective film disposed on a side surface of the organic EL layer and a light emitting portion constituted by a side surface portion of the organic EL layer on which the reflective film is not disposed. . Here, the reflection film may totally reflect the light emitted from the organic EL layer, or may reflect a part of the light emitted from the organic EL layer.

本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記陽極及び上記陰極のうち少なくとも一方は透明導電膜で形成されており、上記反射膜は、上記有機EL層と上記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて上記積層体の側面に配置されており、上記光出射部は上記反射膜が配置されていない上記積層体の側面部分で構成されているようにしてもよい。ここで、透明導電膜は半透明のものも含む。ただし、反射膜は、有機EL層の側面のみに配置されていてもよい。   In the organic LE light emitting device of the present invention, at least one of the anode and the cathode is formed of a transparent conductive film, and the reflective film is a part of a side surface of a laminate of the organic EL layer and the transparent conductive film. Except for the region, it may be arranged on the side surface of the laminate, and the light emitting part may be constituted by a side portion of the laminate on which the reflective film is not arranged. Here, the transparent conductive film includes a translucent one. However, the reflective film may be disposed only on the side surface of the organic EL layer.

さらに、上記有機EL発光素子は、上記透明導電膜の上記有機EL層とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射層を備えているようにしてもよい。   Furthermore, the organic EL light emitting element may include a reflective layer made of a metal material disposed on the surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer.

また、上記有機EL発光素子は、上記透明導電膜の上記有機EL層とは反対側の面に配置された、上記透明導電膜の屈折率よりも低い屈折率をもつ低屈折率材料層を備えているようにしてもよい。   In addition, the organic EL light emitting device includes a low refractive index material layer having a refractive index lower than the refractive index of the transparent conductive film, disposed on the surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer. You may be allowed to.

さらに、上記有機EL発光素子は、上記低屈折率材料層の上記透明導電膜とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射層を備えているようにしてもよい。   Furthermore, the organic EL light emitting element may include a reflective layer made of a metal material disposed on the surface of the low refractive index material layer opposite to the transparent conductive film.

また、本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記有機EL発光素子は、上記反射膜の上記有機EL層とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射部材を備えているようにしてもよい。   In the organic LE light-emitting device of the present invention, the organic EL light-emitting element may include a reflective member made of a metal material disposed on a surface of the reflective film opposite to the organic EL layer. Good.

また、本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記有機EL発光素子は、上記光出射部の面に配置された、上記光出射部から出射される光の取り出し効率を向上させるための屈折率分布構造体を備えているようにしてもよい。   Further, in the organic LE light emitting device of the present invention, the organic EL light emitting element is disposed on the surface of the light emitting part, and has a refractive index distribution structure for improving the extraction efficiency of light emitted from the light emitting part. You may make it have a body.

また、本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記光出射部に対向する位置に、上記光出射部から出射された光の進行方向を変更するための光学体をさらに備えているようにしてもよい。   The organic LE light emitting device of the present invention may further include an optical body for changing the traveling direction of the light emitted from the light emitting unit at a position facing the light emitting unit. .

上記光学体の上記光出射部に対向する面は、平面、球面、自由曲面のいずれかである例を挙げることができる。   The surface which opposes the said light-projection part of the said optical body can mention the example which is either a plane, a spherical surface, or a free-form surface.

また、上記光学体は、上記光出射部から出射された光を集光させる機能を有する例を挙げることができる。   Moreover, the said optical body can give the example which has the function to condense the light radiate | emitted from the said light-projection part.

また、上記光学体は、上記光出射部に対向する面に、全反射する構造体又は反射ミラーを備えている例を挙げることができる。   In addition, the optical body may include an example in which a structure or a reflection mirror that totally reflects is provided on a surface facing the light emitting portion.

また、上記光学体を備えた本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記陽極、上記有機EL層及び上記陰極の積層体は環状形状に配置されており、上記反射膜は上記環状形状の外周側面に配置され、上記光出射部は上記環状形状の内周側面に配置され、上記環状形状の内側に1つ又は複数の上記光学体は配置されている例を挙げることができる。   In the organic LE light emitting device of the present invention including the optical body, the laminate of the anode, the organic EL layer, and the cathode is disposed in an annular shape, and the reflective film is disposed on the outer peripheral side surface of the annular shape. An example in which the light emitting part is disposed on the inner circumferential side surface of the annular shape and one or more optical bodies are disposed on the inner side of the annular shape can be given.

また、上記光学体を備えた本発明の有機LE発光デバイスにおいて、同一領域に向けて上記光出射部から光を出射する複数の上記有機EL発光素子と、上記同一領域に配置された1つ又は複数の上記光学体と、を備えている例を挙げることができる。   Further, in the organic LE light emitting device of the present invention provided with the optical body, a plurality of the organic EL light emitting elements that emit light from the light emitting portion toward the same region, and one or more arranged in the same region An example including a plurality of the optical bodies can be given.

上記環状形状の有機EL発光素子又は上記複数の有機EL発光素子と上記光学体とを備えた本発明の有機LE発光デバイスにおいて、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略同一方向に変更する例を挙げることができる。   In the organic LE light-emitting device of the present invention including the annular organic EL light-emitting element or the plurality of organic EL light-emitting elements and the optical body, the optical body travels light emitted from the organic EL light-emitting element. An example of changing the direction to substantially the same direction can be given.

さらに、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を複数の方向に分割する例を挙げることができる。   Furthermore, the said optical body can give the example which divides | segments the advancing direction of the light radiate | emitted from the said organic electroluminescent light emitting element into several directions.

さらに、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更する例を挙げることができる。   Furthermore, the said optical body can give the example which changes the advancing direction of the light radiate | emitted from the said organic EL light emitting element to a substantially inverted cone shape.

また、本発明の有機LE発光デバイスにおいて、複数の前記有機EL発光素子を備え、それらの有機EL発光素子の前記光出射部は二次元又は三次元にアレイ状に配列されているようにしてもよい。   In the organic LE light emitting device of the present invention, a plurality of the organic EL light emitting elements are provided, and the light emitting portions of the organic EL light emitting elements are arranged in an array in two dimensions or three dimensions. Good.

本発明にかかる有機LE発光デバイスの製造方法の第1局面は、本発明の有機EL発光デバイスの製造方法であって、上記陽極、上記有機EL層、上記陰極を形成した後、その上記有機EL層の側面に上記反射膜及び上記光出射部を形成して上記有機EL発光素子を形成する。   1st aspect of the manufacturing method of the organic LE light-emitting device concerning this invention is a manufacturing method of the organic EL light-emitting device of this invention, Comprising: After forming the said anode, the said organic EL layer, and the said cathode, the said organic EL The reflective film and the light emitting part are formed on the side surface of the layer to form the organic EL light emitting element.

本発明の有機LE発光デバイスの製造方法の第1局面において、上記陽極及び上記陰極のうち少なくとも一方を透明導電膜で形成し、上記反射膜を、上記有機EL層と上記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて上記積層体の側面に配置し、上記光出射部を上記反射膜が配置されていない上記積層体の側面部分で形成する例を挙げることができる。ただし、反射膜を、有機EL層の側面のみに配置するようにしてもよい。   1st aspect of the manufacturing method of the organic LE light-emitting device of this invention WHEREIN: At least one is formed with a transparent conductive film among the said anode and said cathode, The said reflecting film is a laminated body of the said organic EL layer and the said transparent conductive film. An example can be given in which the light emitting portion is formed on the side surface portion of the laminate without the reflection film disposed on the side surface of the laminate except for a part of the side surface of the laminate. However, the reflective film may be disposed only on the side surface of the organic EL layer.

本発明にかかる有機LE発光デバイスの製造方法の第2局面は、本発明の有機EL発光デバイスの製造方法であって、上記光出射部の形成予定位置に開口をもつ枠状の上記反射膜を形成した後、上記反射膜で囲まれた領域内に上記有機EL層を形成して上記光出射部をもつ上記有機EL発光素子を形成する。   A second aspect of the method for manufacturing an organic LE light emitting device according to the present invention is the method for manufacturing the organic EL light emitting device of the present invention, wherein the frame-shaped reflective film having an opening at a position where the light emitting portion is to be formed is provided. After the formation, the organic EL layer is formed in a region surrounded by the reflective film to form the organic EL light emitting element having the light emitting portion.

本発明の有機LE発光デバイスの製造方法の第2局面において、上記陽極及び上記陰極のうち少なくとも一方を透明導電膜で形成し、上記透明導電膜を上記反射膜で囲まれた領域内に形成して、上記反射膜を上記有機EL層と上記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて上記積層体の側面に配置し、上記光出射部を上記反射膜が配置されていない上記積層体の側面部分で形成する例を挙げることができる。   In the second aspect of the method for producing an organic LE light-emitting device of the present invention, at least one of the anode and the cathode is formed of a transparent conductive film, and the transparent conductive film is formed in a region surrounded by the reflective film. The reflective film is disposed on a side surface of the stacked body except for a region of a part of the side surface of the stacked body of the organic EL layer and the transparent conductive film, and the light emitting portion is not disposed on the reflective film. The example formed in the side part of a laminated body can be given.

本発明の有機LE発光デバイスの製造方法において、上記透明導電膜の上記有機EL層とは反対側の面に金属材料からなる反射層を配置するための工程を含む例を挙げることができる。   In the method for producing an organic LE light emitting device of the present invention, an example including a step for disposing a reflective layer made of a metal material on the surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer can be given.

また、上記透明導電膜の上記有機EL層とは反対側の面に上記透明導電膜の屈折率よりも低い屈折率をもつ低屈折率材料層を配置するための工程を含む例を挙げることができる。   In addition, an example including a step for disposing a low refractive index material layer having a refractive index lower than the refractive index of the transparent conductive film on the surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer is given. it can.

さらに、上記低屈折率材料層の上記透明導電膜とは反対側の面に金属材料からなる反射層を配置するための工程を含む例を挙げることができる。   Furthermore, the example which includes the process for arrange | positioning the reflective layer which consists of metal materials in the surface on the opposite side to the said transparent conductive film of the said low refractive index material layer can be given.

また、本発明の有機LE発光デバイスの製造方法において、上記反射膜の上記有機EL層とは反対側の面に金属材料からなる反射部材を配置するための工程を含む例を挙げることができる。   Moreover, in the manufacturing method of the organic LE light-emitting device of this invention, the example including the process for arrange | positioning the reflection member which consists of metal materials in the surface on the opposite side to the said organic EL layer of the said reflecting film can be given.

また、上記有機EL発光素子は、上記光出射部の面に、上記光出射部から出射される光の取り出し効率を向上させるための屈折率分布構造体を形成するための工程を含む例を挙げることができる。   Further, the organic EL light emitting device includes an example including a step for forming a refractive index distribution structure for improving the extraction efficiency of light emitted from the light emitting part on the surface of the light emitting part. be able to.

また、上記光出射部に対向する位置に、上記光出射部から出射された光の進行方向を変更するための光学体を配置するための工程を含む例を挙げることができる。   Moreover, the example including the process for arrange | positioning the optical body for changing the advancing direction of the light radiate | emitted from the said light-emitting part in the position facing the said light-emitting part can be given.

さらに、上記光学体の上記光出射部に対向する面は、平面、球面、自由曲面のいずれかである例を挙げることができる。   Furthermore, the surface which opposes the said light emission part of the said optical body can mention the example which is either a plane, a spherical surface, or a free-form surface.

また、上記光学体は、上記光出射部から出射された光を集光させる機能を有する例を挙げることができる。   Moreover, the said optical body can give the example which has the function to condense the light radiate | emitted from the said light-projection part.

また、上記光学体は、上記光出射部に対向する面に、全反射する構造体又は反射ミラーを備えている例を挙げることができる。   In addition, the optical body may include an example in which a structure or a reflection mirror that totally reflects is provided on a surface facing the light emitting portion.

また、上記陽極、上記有機EL層及び上記陰極の積層体を環状形状に配置され、上記反射膜は上記環状形状の外周側面に配置され、上記光出射部は上記環状形状の内周側面に配置され、上記環状形状の内側に1つ又は複数の上記光学体が配置される例を挙げることができる。   The laminate of the anode, the organic EL layer, and the cathode is disposed in an annular shape, the reflective film is disposed on the outer peripheral side surface of the annular shape, and the light emitting portion is disposed on the inner peripheral side surface of the annular shape. An example in which one or more optical bodies are arranged inside the annular shape can be given.

また、同一領域に向けて上記光出射部から光を出射する複数の上記有機EL発光素子と、上記同一領域に配置された1つ又は複数の上記光学体と、を配置する例を挙げることができる。   In addition, an example in which a plurality of the organic EL light emitting elements that emit light from the light emitting unit toward the same region and one or a plurality of the optical bodies that are arranged in the same region is given. it can.

また、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略同一方向に変更するものである例を挙げることができる。   Moreover, the said optical body can give the example which changes the advancing direction of the light radiate | emitted from the said organic EL light emitting element to the substantially same direction.

また、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を複数の方向に分割するものである例を挙げることができる。   Moreover, the said optical body can give the example which divides | segments the advancing direction of the light radiate | emitted from the said organic EL light emitting element into a some direction.

また、上記光学体は、上記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更するものである例を挙げることができる。   Moreover, the said optical body can give the example which changes the advancing direction of the light radiate | emitted from the said organic EL light emitting element to a substantially reverse cone shape.

また、複数の上記有機EL発光素子が配置され、それらの有機EL発光素子の上記光出射部は二次元又は三次元にアレイ状に配列される例を挙げることができる。   Further, an example in which a plurality of the organic EL light emitting elements are arranged and the light emitting portions of these organic EL light emitting elements are arranged in an array in two dimensions or three dimensions can be given.

本発明の有機LE発光デバイスは、有機EL層の側面に反射膜と、反射膜が配置されていない有機EL層の側面部分で構成される光出射部と、をもつ有機EL発光素子を備えている。本発明の有機LE発光デバイスの製造方法は、本発明の有機EL発光デバイスを製造する。本発明の有機LE発光デバイスでは、有機EL発光素子において光ファイバーの原理と同様にして有機EL層で光が伝播され、有機EL層の側面に設けられた光出射部から光が出射される。したがって、本発明の有機LE発光デバイス及びその製造方法は、有機EL発光素子デバイスの光出射面積あたりの発光光量を増加させることができる。   An organic LE light emitting device of the present invention includes an organic EL light emitting element having a reflective film on a side surface of an organic EL layer and a light emitting portion composed of a side surface portion of the organic EL layer on which the reflective film is not disposed. Yes. The manufacturing method of the organic LE light emitting device of the present invention manufactures the organic EL light emitting device of the present invention. In the organic LE light emitting device of the present invention, light is propagated in the organic EL layer in the organic EL light emitting element in the same manner as the principle of the optical fiber, and light is emitted from the light emitting portion provided on the side surface of the organic EL layer. Therefore, the organic LE light emitting device and the manufacturing method thereof according to the present invention can increase the amount of emitted light per light emitting area of the organic EL light emitting element device.

有機EL発光デバイスの一実施例を説明するための概略的な平面図及び断面図である。It is the schematic plan view and sectional drawing for demonstrating one Example of an organic electroluminescent light emitting device. 発光層厚と出射光の光量との関係を計算した結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having calculated the relationship between the light emitting layer thickness and the light quantity of emitted light. 光量の計算方法を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the calculation method of light quantity. 有機EL発光デバイスの製造方法の一実施例を説明するための概略的な正面断面図及び側面断面図である。It is the schematic front sectional drawing and side sectional drawing for demonstrating one Example of the manufacturing method of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスの他の実施例を説明するための概略的な平面図及び断面図である。It is the schematic plan view and sectional drawing for demonstrating the other Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例及び製造方法の他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。It is a rough front sectional view for explaining other examples of an organic EL light emitting device and other examples of a manufacturing method. 有機EL発光デバイスの製造方法のさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。It is a rough front sectional view for explaining other examples of a manufacturing method of an organic EL light emitting device. 図7の続きの工程と、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。FIG. 8 is a schematic front cross-sectional view for explaining the subsequent process of FIG. 7 and still another example of the organic EL light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例及び製造方法のさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。It is a schematic front sectional view for explaining another embodiment of the organic EL light emitting device and another embodiment of the manufacturing method. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。It is a schematic side sectional view for explaining another example of the organic EL light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。It is a schematic side sectional view for explaining another example of the organic EL light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な斜視図及び断面図である。It is the schematic perspective view and sectional drawing for demonstrating the further another Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the further another Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な斜視図及び断面図である。It is the schematic perspective view and sectional drawing for demonstrating the further another Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。It is a schematic side sectional view for explaining another example of the organic EL light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例の光出射部の配列を説明するための概略的な正面図である。It is a schematic front view for demonstrating the arrangement | sequence of the light emission part of the further another Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有有機EL発光デバイスのさらに他の実施例の光出射部の配列を説明するための概略的な正面図である。It is a schematic front view for demonstrating the arrangement | sequence of the light emission part of other Example of an organic electroluminescent light emitting device. 有機EL発光デバイスのさらに他の実施例の光出射部の配列を説明するための概略的な正面図である。It is a schematic front view for demonstrating the arrangement | sequence of the light emission part of the further another Example of an organic electroluminescent light emitting device.

図1は、有機EL発光デバイスの一実施例を説明するための概略的な平面図及び断面図である。   FIG. 1 is a schematic plan view and cross-sectional view for explaining an embodiment of an organic EL light emitting device.

基材1の一表面に金属材料からなる反射層3が形成されている。基材1は例えばシリコン基板である。ただし、基材1は有機EL発光素子の製造工程に耐え得るものであれば材料は問われず、例えば、ガラス基板、樹脂基板、樹脂シートなどであってもよい。反射層3の材料は例えばアルミニウムである。ただし、反射層3の材料は、他の金属や合金、例えば金や銀であってもよい。反射層3の最上層に絶縁膜(図示は省略)が形成されている。その絶縁膜は、例えば二酸化珪素膜である。   A reflective layer 3 made of a metal material is formed on one surface of the substrate 1. The base material 1 is a silicon substrate, for example. However, the material is not ask | required if the base material 1 can endure the manufacturing process of an organic EL light emitting element, For example, a glass substrate, a resin substrate, a resin sheet etc. may be sufficient. The material of the reflective layer 3 is, for example, aluminum. However, the material of the reflective layer 3 may be another metal or alloy, such as gold or silver. An insulating film (not shown) is formed on the uppermost layer of the reflective layer 3. The insulating film is, for example, a silicon dioxide film.

反射層3の表面に、下層側から順に陽極5、正孔輸送層7、発光層9、電子注入層11、陰極13が形成されている。正孔輸送層7、発光層9及び電子注入層11は有機EL層15を構成する。   On the surface of the reflective layer 3, an anode 5, a hole transport layer 7, a light emitting layer 9, an electron injection layer 11, and a cathode 13 are formed in this order from the lower layer side. The hole transport layer 7, the light emitting layer 9 and the electron injection layer 11 constitute an organic EL layer 15.

陽極5の材料は例えば膜厚が150nm(ナノメートル)、シート抵抗が15Ω/□以下、表面粗さ(P−V)が60nm以下)のITO(酸化インジウム錫)である。正孔輸送層7の材料は例えば膜厚が500nmのα−NPD(4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル)である。発光層9の材料は膜厚が500nmの例えばAlq3(トリス(8−-キノリノラト)アルミニウム)である。電子注入層11は例えば膜厚が0.7nmのLiF(フッ化リチウム)である。陰極13の材料は例えばアルミニウムである。   The material of the anode 5 is, for example, ITO (indium tin oxide) having a film thickness of 150 nm (nanometers), a sheet resistance of 15 Ω / □ or less, and a surface roughness (P-V) of 60 nm or less. The material of the hole transport layer 7 is, for example, α-NPD (4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl) having a film thickness of 500 nm. The material of the light emitting layer 9 is, for example, Alq3 (tris (8-quinolinolato) aluminum) having a thickness of 500 nm. The electron injection layer 11 is, for example, LiF (lithium fluoride) having a thickness of 0.7 nm. The material of the cathode 13 is, for example, aluminum.

陽極5の材料は、ITO以外の透明酸化物導電膜、例えばIZO(酸化インジウム亜鉛)であってもよい。陰極13の材料は、アルミニウム以外の仕事関数の低い金属や合金であってもよい。   The material of the anode 5 may be a transparent oxide conductive film other than ITO, for example, IZO (indium zinc oxide). The material of the cathode 13 may be a metal or alloy having a low work function other than aluminum.

有機EL層15は正孔輸送層7、発光層9及び電子注入層11で構成されているが、本発明において有機EL層はこれに限定されない。本発明において、有機EL層は、少なくとも発光層を含み、発光層以外に正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のうちいずれか又は複数を含んでいてもよい。また、これらの層の材料は特に限定されない。有機EL層の成膜物質と膜厚は、いろいろ提案されている。本実施例では、上記の材料で実施したが、本発明の有機EL発光デバイスは本明細書に示した有機EL材料に限定されるものではない。リン発光材料や蛍光発光材料など有機EL発光素子の構成であれば、本発明は同様に応用することが可能である。同様に、陽極及び陰極の材料についても本実施例のものに限定されるものではない。   The organic EL layer 15 includes the hole transport layer 7, the light emitting layer 9, and the electron injection layer 11, but the organic EL layer is not limited to this in the present invention. In the present invention, the organic EL layer includes at least a light emitting layer, and may include one or more of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in addition to the light emitting layer. Moreover, the material of these layers is not specifically limited. Various materials and film thicknesses for the organic EL layer have been proposed. In this example, the above materials were used, but the organic EL light emitting device of the present invention is not limited to the organic EL materials shown in this specification. The present invention can be similarly applied to any configuration of an organic EL light emitting device such as a phosphor light emitting material or a fluorescent light emitting material. Similarly, the materials of the anode and the cathode are not limited to those of the present embodiment.

陽極5、有機EL層15、陰極13の積層体の側面及び上面に、その積層体の側面の一部の領域を除いて、反射膜17が形成されている。反射膜17は、好ましくは有機EL発光層9の屈折率よりも低い屈折率をもつものである。反射膜17は、有機EL層15の発光光を全反射するものであってもよいし、有機EL層15の発光光の一部を反射するものであってもよい。反射膜17が配置されていない陽極5及び有機EL層15の側面部分は光出射部19を形成している。反射膜17の側面及び上面に金属材料からなる反射部材21が形成されている。   A reflective film 17 is formed on the side surface and top surface of the laminate of the anode 5, the organic EL layer 15, and the cathode 13 except for a part of the side surface of the laminate. The reflective film 17 preferably has a refractive index lower than that of the organic EL light emitting layer 9. The reflection film 17 may totally reflect the light emitted from the organic EL layer 15, or may reflect a part of the light emitted from the organic EL layer 15. A side surface portion of the anode 5 and the organic EL layer 15 where the reflection film 17 is not disposed forms a light emitting portion 19. A reflection member 21 made of a metal material is formed on the side surface and the upper surface of the reflection film 17.

反射膜17は、例えば膜厚が100〜500nmの二酸化珪素膜である。反射膜17の材料は、二酸化珪素以外の材料、例えばフッ化マグネシウム等の絶縁性材料であってもよい。
反射部材21は、例えば膜厚が100〜1000nmの金膜である。反射部材21の材料は、金以外の金属や合金、例えばアルミニウムや銀であってもよい。
The reflective film 17 is a silicon dioxide film having a thickness of 100 to 500 nm, for example. The material of the reflective film 17 may be a material other than silicon dioxide, for example, an insulating material such as magnesium fluoride.
The reflecting member 21 is a gold film having a film thickness of 100 to 1000 nm, for example. The material of the reflecting member 21 may be a metal or alloy other than gold, such as aluminum or silver.

図示は省略されているが、陰極13上に配置された反射膜17及び反射部材21に、陰極13の電位をとるための開口が形成されている。なお、反射膜17及び反射部材21は、光出射部19を除く陽極5及び有機EL層15の側面に少なくとも配置されていればよい。   Although not shown, an opening for taking the potential of the cathode 13 is formed in the reflecting film 17 and the reflecting member 21 disposed on the cathode 13. The reflective film 17 and the reflective member 21 may be disposed at least on the side surfaces of the anode 5 and the organic EL layer 15 excluding the light emitting portion 19.

反射層3、陽極5、陰極13、有機EL層15、反射膜17、光出射部19及び反射部材21は有機EL発光素子23を形成している。   The reflective layer 3, the anode 5, the cathode 13, the organic EL layer 15, the reflective film 17, the light emitting portion 19, and the reflective member 21 form an organic EL light emitting element 23.

有機EL発光素子23の光出射部19に対向する位置に光学体25が配置されている。光学体25は、光出射部19から出射される光の進行方向を変更する(一点鎖線の矢印参照。)。光学体25は反射層3上に配置されている。ただし、光学体25は基材1上に配置されていてもよいし、基材1に一体成形されたものであってもよい。なお、本発明の有機EL発光デバイスにおいて光学体25は配置されていなくてもよい。   An optical body 25 is disposed at a position facing the light emitting portion 19 of the organic EL light emitting element 23. The optical body 25 changes the traveling direction of the light emitted from the light emitting unit 19 (see the dashed line arrow). The optical body 25 is disposed on the reflective layer 3. However, the optical body 25 may be disposed on the substrate 1 or may be integrally formed with the substrate 1. In addition, the optical body 25 does not need to be arrange | positioned in the organic electroluminescent light emitting device of this invention.

光学体25の材料は例えば光学ガラスや金属、樹脂などである。ただし、光学体25の材料は、光学体25が光出射部19から出射される光の進行方向を変更できる材料であれば特に限定されない。   The material of the optical body 25 is, for example, optical glass, metal, resin, or the like. However, the material of the optical body 25 is not particularly limited as long as the optical body 25 can change the traveling direction of the light emitted from the light emitting portion 19.

基材1は基板27上に配置されている。基板27の材料は、例えばガラスや樹脂、金属などであり、特に限定されない。光学体25は基板27上に配置されていてもよい。   The base material 1 is disposed on the substrate 27. The material of the board | substrate 27 is glass, resin, a metal etc., for example, and is not specifically limited. The optical body 25 may be disposed on the substrate 27.

有機EL発光素子23の陽極5及び陰極13に電圧が印加されると、発光層9は発光する。発光層9が発光した光は、陽極5及び有機EL層15を伝播する(例えば非特許文献1を参照。)。陽極5及び有機EL層15の側面には反射膜17が形成されているので、光ファイバーの原理と同様にして、発光層9が発光した光は、陽極5及び有機EL層15で光出射部19側へ伝播され、光出射部19から出射される。   When a voltage is applied to the anode 5 and the cathode 13 of the organic EL light emitting device 23, the light emitting layer 9 emits light. The light emitted from the light emitting layer 9 propagates through the anode 5 and the organic EL layer 15 (see, for example, Non-Patent Document 1). Since the reflection film 17 is formed on the side surfaces of the anode 5 and the organic EL layer 15, the light emitted from the light emitting layer 9 is emitted from the light emitting portion 19 by the anode 5 and the organic EL layer 15 in the same manner as the principle of the optical fiber. Propagated to the side and emitted from the light emitting part 19.

有機EL発光素子23は光出射部19の面積に対して発光層9の面積(発光面積)を大きくすることができる。したがって、この実施例の有機LE発光デバイスは、有機EL発光素子デバイスの光出射面積あたりの発光光量を増加させることができる。   The organic EL light emitting device 23 can increase the area (light emitting area) of the light emitting layer 9 with respect to the area of the light emitting portion 19. Therefore, the organic LE light emitting device of this embodiment can increase the amount of emitted light per light emitting area of the organic EL light emitting element device.

また、有機EL発光素子23は、反射膜17の有機EL層15とは反対側の面に反射部材21を備えているので、発光層9で発光した光を有機EL層15側に反射することができる。   In addition, since the organic EL light emitting element 23 includes the reflective member 21 on the surface of the reflective film 17 opposite to the organic EL layer 15, the light emitted from the light emitting layer 9 is reflected to the organic EL layer 15 side. Can do.

また、有機EL発光素子23は、透明導電膜である陽極5の有機EL層15とは反対側の面に反射層3を備えているので、発光層9で発光した光を有機EL層15側に反射することができる。   Moreover, since the organic EL light emitting element 23 includes the reflective layer 3 on the surface opposite to the organic EL layer 15 of the anode 5 which is a transparent conductive film, the light emitted from the light emitting layer 9 is transmitted to the organic EL layer 15 side. Can be reflected.

ところで、有機EL発光素子において、透明導電膜や有機EL層を伝播する光の伝播効率はそれらの膜厚によって変化する(例えば非特許文献1を参照。)。   By the way, in the organic EL light emitting element, the propagation efficiency of light propagating through the transparent conductive film or the organic EL layer varies depending on the film thickness thereof (see, for example, Non-Patent Document 1).

図2は、発光層厚と出射光の光量との関係を計算した結果を示す図である。図2において縦軸は光量(単位無し)、横軸は発光層厚(単位はnm)を示す。光量の計算にはFDTD法(Finite Difference Time Domain method)を用いた。図3は光量の計算方法を説明するための概念図である。まず、図3を参照して光量の計算方法について説明する。   FIG. 2 is a diagram showing the result of calculating the relationship between the light emitting layer thickness and the amount of emitted light. In FIG. 2, the vertical axis represents the light amount (no unit), and the horizontal axis represents the light emitting layer thickness (unit: nm). The FDTD method (Finite Difference Time Domain method) was used for the calculation of the amount of light. FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining a light amount calculation method. First, a light amount calculation method will be described with reference to FIG.

発光層を想定した屈折率2.0の領域31の3辺が、理想ミラーを想定したPEC(完全導体)領域33で囲まれている。屈折率2.0の領域31に対向する位置に、空気層を想定した屈折率1.0の領域35を介してレシーバ37が配置されている。FDTD計算領域39は一点鎖線で示されている。屈折率2.0の領域31の長さLは20μm(マイクロメートル)である。発光層厚を想定した屈折率2.0の領域31の幅Wは25〜400nmの範囲において25nm間隔で変化された。屈折率1.0の領域35の長さSは1μmである。光源は屈折率2.0の領域31の中央に点光源として配置された。光源から出射する光は波長が550nmの球面波かつ連続波である。計算される光量はレシーバ37の受光強度を経過時間で積分した数値である。   Three sides of a region 31 having a refractive index of 2.0 assuming a light emitting layer are surrounded by a PEC (perfect conductor) region 33 assuming an ideal mirror. A receiver 37 is arranged at a position facing the region 31 having a refractive index of 2.0 via a region 35 having a refractive index of 1.0 assuming an air layer. The FDTD calculation area 39 is indicated by a one-dot chain line. The length L of the region 31 having a refractive index of 2.0 is 20 μm (micrometer). The width W of the region 31 having a refractive index of 2.0 assuming the light emitting layer thickness was changed at 25 nm intervals in the range of 25 to 400 nm. The length S of the region 35 having a refractive index of 1.0 is 1 μm. The light source was arranged as a point light source in the center of the region 31 having a refractive index of 2.0. The light emitted from the light source is a spherical wave having a wavelength of 550 nm and a continuous wave. The calculated light quantity is a numerical value obtained by integrating the received light intensity of the receiver 37 with the elapsed time.

図2に示されるように、発光層厚(図3の屈折率2.0の領域31の幅W)が変化すると、光量が変化することがわかった。したがって、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、光出射部から出射される光の光量が増加するように、発光層を含む有機EL層の各層厚及び透明導電膜厚を適宜設定することが好ましい。   As shown in FIG. 2, it was found that the amount of light changes when the light emitting layer thickness (the width W of the region 31 having a refractive index of 2.0 in FIG. 3) changes. Therefore, in the organic EL light emitting device of the present invention, it is preferable to appropriately set each layer thickness and the transparent conductive film thickness of the organic EL layer including the light emitting layer so that the amount of light emitted from the light emitting portion is increased.

図4は、有機EL発光デバイスの製造方法の一実施例を説明するための概略的な正面断面図及び側面断面図である。図4に示された正面断面及び側面断面の位置は図1に対応している。図4におけるカッコ数字(1)〜(4)は以下に説明される工程(1)〜(4)に対応している。この実施例において、陽極5及び有機EL層15の各層の層厚は上述のように伝播効率を考慮して決定される。なお、本発明の製造方法はこれに限定されるものではない。   FIG. 4 is a schematic front sectional view and side sectional view for explaining one embodiment of a method for manufacturing an organic EL light emitting device. The positions of the front cross section and the side cross section shown in FIG. 4 correspond to FIG. The parenthesized numerals (1) to (4) in FIG. 4 correspond to the steps (1) to (4) described below. In this embodiment, the layer thicknesses of the anode 5 and the organic EL layer 15 are determined in consideration of the propagation efficiency as described above. In addition, the manufacturing method of this invention is not limited to this.

(1)基材1上に反射層3を形成する。反射層3の最上層には、例えば二酸化珪素からなる絶縁膜(図示は省略)を成膜する。真空装置内で、スパッタリング法により、メタルマスクを使用して反射層3上の所定の領域にITO膜からなる陽極5を成膜する。同時に、陽極5に繋がる、ITO膜からなる電極用のパターン配線(図示は省略)も形成しておく。なお、反射層3の形成工程を省略して、陽極5の下地膜を基材1としてもよい。また、反射層3の最上層の絶縁膜の形成を省略して、反射膜3を陽極5の電極用のパターン配線として用いてもよい。 (1) The reflective layer 3 is formed on the substrate 1. An insulating film (not shown) made of, for example, silicon dioxide is formed on the uppermost layer of the reflective layer 3. In a vacuum apparatus, an anode 5 made of an ITO film is formed in a predetermined region on the reflective layer 3 by a sputtering method using a metal mask. At the same time, an electrode pattern wiring (not shown) made of an ITO film connected to the anode 5 is also formed. In addition, the formation process of the reflective layer 3 may be omitted, and the base film of the anode 5 may be used as the substrate 1. Further, the formation of the uppermost insulating film of the reflective layer 3 may be omitted, and the reflective film 3 may be used as a pattern wiring for the electrode of the anode 5.

次いで、真空装置から基材1を取り出してグローボックス中でメタルマスクを交換する。再度、真空装置中に基材1を挿入する。真空装置内で、抵抗加熱法で成膜物質を蒸着する真空蒸着法により、陽極5上の所定の領域に正孔輸送層7、発光層9、電子注入層11、陰極13を順番に成膜する。この間、メタルマスクは変更しない。メタルマスクに覆われた部位に飛翔した成膜物質は、基材1側への移動を遮られて、陽極5又はその上に成膜された層には到達できない。このようにして、メタルマスクでパターニングができる。   Next, the base material 1 is taken out from the vacuum apparatus, and the metal mask is exchanged in the glow box. Again, the substrate 1 is inserted into the vacuum apparatus. In a vacuum apparatus, a hole transport layer 7, a light emitting layer 9, an electron injection layer 11, and a cathode 13 are sequentially formed in a predetermined region on the anode 5 by a vacuum evaporation method in which a film forming material is evaporated by a resistance heating method. To do. During this time, the metal mask is not changed. The film-forming substance that has jumped to the portion covered with the metal mask is blocked from moving toward the base material 1 and cannot reach the anode 5 or the layer formed thereon. In this way, patterning can be performed with a metal mask.

(2)基材1をグローボックス中に取り出し、予め設計しておいた目的の形状に基材1を割る。例えば基材1がシリコン基板の場合は壁開を利用して基材1を目的の形状にする。目的の形状にした基材1を裏打ち用の別の基板27に貼り付ける。 (2) The base material 1 is taken out into the glow box, and the base material 1 is divided into a target shape designed in advance. For example, when the base material 1 is a silicon substrate, the base material 1 is made into a target shape by utilizing the wall opening. The base material 1 having a desired shape is attached to another backing substrate 27.

(3)メタルマスクを変更して、光出射部19に対応する部分をマスクでカバーして成膜物質が飛翔していかないようにする。この状態で真空装置に基板27を挿入し、例えば真空蒸着法によって二酸化珪素(屈折率:1.45)からなる反射膜17を成膜する。反射膜17は陽極5、有機EL層15及び陰極からなる積層体の上面及び光出射部19を除く側面に形成される。なお、反射膜17は、この積層体の周囲の反射層3表面にも成膜されてもよい。 (3) The metal mask is changed so that the portion corresponding to the light emitting portion 19 is covered with the mask so that the film-forming substance does not fly. In this state, the substrate 27 is inserted into the vacuum apparatus, and the reflective film 17 made of silicon dioxide (refractive index: 1.45) is formed by, for example, vacuum deposition. The reflective film 17 is formed on the upper surface of the laminate composed of the anode 5, the organic EL layer 15, and the cathode and on the side surface excluding the light emitting portion 19. Note that the reflective film 17 may also be formed on the surface of the reflective layer 3 around the laminate.

(4)メタルマスクを変更することなく、例えば真空蒸着法によって金からなる反射部材21を形成する。反射部材21は反射膜17の側面及び上面に形成され、光出射部19には形成されない。 (4) Without changing the metal mask, the reflecting member 21 made of gold is formed by, for example, a vacuum deposition method. The reflecting member 21 is formed on the side surface and the upper surface of the reflecting film 17 and is not formed on the light emitting portion 19.

光出射部19に対向する位置に光学体25を配置する。なお、光学体25は基材1上に予め製作しておいてもよいし、又は基板27上に予め製作しておいてもよい。例えば、凸形状の光学体25の製作は、シリコンからなる基材1上に製作する場合や、ガラスからなる基板27上に製作する場合は、ナノインプリント工法を使用する。つまり、予め設計した光学体25の形状に対応する凹形状をもつ金型に製作し、その金型を用いて凸形状の転写用樹脂を基材1上又は基板27上に形成する。その後、転写用樹脂と基材又は基板をドライエッチング工法で選択比を制御しながら一体でドライエッチングする。これにより、転写用樹脂の三次元形状が基材又は基板上に転写されて、光学体25が形成される。例えば、光学体25上に必要に応じて、金属反射膜を形成する。金属反射膜上には耐環境性を向上させるためのオーバーコート膜を成膜する。ここでは転写法による光学体25の製作方法を説明したが、光学体25の製作方法はこれに限定されない。例えば、光学体25は基材1及び基板27とは別途形成されたものであってもよい。   The optical body 25 is disposed at a position facing the light emitting unit 19. The optical body 25 may be manufactured in advance on the base material 1 or may be manufactured in advance on the substrate 27. For example, the production of the convex optical body 25 uses the nanoimprint method when it is produced on the substrate 1 made of silicon or the substrate 27 made of glass. That is, a mold having a concave shape corresponding to the shape of the optical body 25 designed in advance is manufactured, and a convex transfer resin is formed on the substrate 1 or the substrate 27 using the mold. Thereafter, the transfer resin and the base material or the substrate are integrally dry etched while controlling the selection ratio by a dry etching method. Thereby, the three-dimensional shape of the transfer resin is transferred onto the base material or the substrate, and the optical body 25 is formed. For example, a metal reflective film is formed on the optical body 25 as necessary. An overcoat film for improving the environmental resistance is formed on the metal reflective film. Although the manufacturing method of the optical body 25 by the transfer method has been described here, the manufacturing method of the optical body 25 is not limited to this. For example, the optical body 25 may be formed separately from the base material 1 and the substrate 27.

図5は、有機EL発光デバイスの他の実施例を説明するための概略的な平面図及び断面図である。図5において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 5 is a schematic plan view and cross-sectional view for explaining another example of the organic EL light emitting device. In FIG. 5, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機EL発光デバイスは、図1に示された実施例と比較して、光出射部19の面に配置された、光出射部19から出射される光の取り出し効率を向上させるための屈折率分布構造体41を備えている。屈折率分布構造体41は、図5では平板状に記載されているが、例えば、中央が凸の曲面形状を備えている。例えば、屈折率分布構造体41は2層構造となっている。光出射部19の面に近い第1層は、例えば、インクジェット法で形成される凸の曲面形状をもつ、屈折率1.64のエポキシ系又はアクリル系の透明樹脂である。光出射部19とは反対側の第1層の面に形成された第2層は、例えば、インクジェット法で形成される凸の曲面形状をもつ、屈折率1.45のシリコン系の透明樹脂である。ただし、第2層は反射防止機能をもつものであってもよい。反射防止機能をもつ第2層の一例は、真空蒸着で製作された3層構造の反射防止薄膜である。第2層は屈折率分布構造体41において最も表面側に形成される層なので真空蒸着法でも製作できる。なお、例えば転写法によって形成される光学体25は、屈折率分布構造体41の形成後に製作される。屈折率分布構造体41の機能によって、光出射部19から出射される光の取り出し効率が向上する。   The organic EL light emitting device of this embodiment is for improving the extraction efficiency of light emitted from the light emitting portion 19 disposed on the surface of the light emitting portion 19 as compared with the embodiment shown in FIG. The refractive index distribution structure 41 is provided. Although the refractive index distribution structure 41 is described in a flat plate shape in FIG. 5, for example, it has a curved surface shape with a convex center. For example, the refractive index distribution structure 41 has a two-layer structure. The first layer close to the surface of the light emitting portion 19 is, for example, an epoxy or acrylic transparent resin having a refractive index of 1.64 and having a convex curved surface formed by an ink jet method. The second layer formed on the surface of the first layer opposite to the light emitting portion 19 is, for example, a silicon-based transparent resin with a refractive index of 1.45 having a convex curved surface formed by an inkjet method. is there. However, the second layer may have an antireflection function. An example of the second layer having an antireflection function is an antireflection thin film having a three-layer structure manufactured by vacuum deposition. Since the second layer is a layer formed on the most surface side in the gradient index structure 41, it can also be manufactured by a vacuum deposition method. For example, the optical body 25 formed by the transfer method is manufactured after the refractive index distribution structure 41 is formed. The function of the refractive index distribution structure 41 improves the extraction efficiency of light emitted from the light emitting unit 19.

屈折率分布構造体41は、例えば、図4を参照して説明された上記工程(4)の後にメタルマスクを用いた真空成膜法によって成膜される。ただし、屈折率分布構造体41の形成時期はこれに限定されず、例えば、反射膜17が形成される前であってもよいし、反射部材21が形成される前であってもよい。   The refractive index distribution structure 41 is formed by, for example, a vacuum film forming method using a metal mask after the step (4) described with reference to FIG. However, the formation time of the refractive index distribution structure 41 is not limited to this, and may be, for example, before the reflection film 17 is formed or before the reflection member 21 is formed.

また、屈折率分布構造体41は少なくとも光出射部19を覆う位置に配置されていればよい。屈折率分布構造体41は、光出射部19の面と、光出射部19以外の位置、例えば反射層3上や、反射部材21の側面や上面などに成膜されていてもよい。   Moreover, the refractive index distribution structure 41 should just be arrange | positioned in the position which covers the light emission part 19 at least. The refractive index distribution structure 41 may be formed on the surface of the light emitting unit 19 and a position other than the light emitting unit 19, for example, on the reflective layer 3, the side surface or the upper surface of the reflective member 21, and the like.

図6は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例及び製造方法の他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。図6において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。まず、図6(3)を参照して有機EL発光デバイスの構造について説明する。   FIG. 6 is a schematic front sectional view for explaining still another embodiment of the organic EL light emitting device and another embodiment of the manufacturing method. In FIG. 6, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted. First, the structure of the organic EL light emitting device will be described with reference to FIG.

この実施例の有機EL発光デバイスは複数の有機EL発光素子23を備えている。各有機EL発光素子23は反射層3、陽極5、有機EL層15、陰極13及び反射膜17を備えている。有機EL層15は正孔輸送層7、発光層9及び電子注入層11によって形成されている。反射膜17は隣り合う有機EL発光素子23で共用されている。ただし、反射膜17は隣り合う有機EL発光素子23ごとに設けられていてもよい。また、反射層3及び陰極13は、隣り合う有機EL発光素子23で連続して形成されているが、隣り合う有機EL発光素子23ごとに設けられていてもよい。   The organic EL light emitting device of this embodiment includes a plurality of organic EL light emitting elements 23. Each organic EL light emitting element 23 includes a reflective layer 3, an anode 5, an organic EL layer 15, a cathode 13, and a reflective film 17. The organic EL layer 15 is formed by the hole transport layer 7, the light emitting layer 9, and the electron injection layer 11. The reflective film 17 is shared by the adjacent organic EL light emitting elements 23. However, the reflective film 17 may be provided for each adjacent organic EL light emitting element 23. Further, the reflective layer 3 and the cathode 13 are continuously formed by the adjacent organic EL light emitting elements 23, but may be provided for each adjacent organic EL light emitting element 23.

各有機EL発光素子23は、紙面垂直方向に延びる陽極5及び有機EL層15の積層体の一方の端面に光出射部を備えている。陽極5及び有機EL層15の他方の端面は反射膜17で覆われている。反射膜17は櫛歯形状に形成されている。反射膜17は例えば永久レジスト又は光硬化性樹脂で形成されている。   Each organic EL light-emitting element 23 includes a light emitting portion on one end face of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 extending in the direction perpendicular to the paper surface. The other end surfaces of the anode 5 and the organic EL layer 15 are covered with a reflective film 17. The reflective film 17 is formed in a comb shape. The reflective film 17 is made of, for example, a permanent resist or a photocurable resin.

複数の有機EL発光素子23の各光出射部はライン状に配列されている。この実施例の有機EL発光デバイスは例えば電子写真方式の光プリンタの光源として使用される。1200dpi(dots per inch)を実現するには、複数の有機EL発光素子23の各光出射部のドット間ピッチは20μmである。   Each light emission part of the some organic EL light emitting element 23 is arranged in the shape of a line. The organic EL light emitting device of this embodiment is used as a light source of an electrophotographic optical printer, for example. In order to realize 1200 dpi (dots per inch), the dot-to-dot pitch of each light emitting portion of the plurality of organic EL light emitting elements 23 is 20 μm.

この実施例の有機EL発光デバイスは、図1を参照して説明された有機EL発光デバイスと比較して、反射部材21が配置されていない。この実施例の有機EL発光デバイスでは、低屈折材料部材17の存在によって、有機EL発光素子23において光ファイバーの原理と同様にして陽極5及び有機EL層15で光が伝播され、陽極5及び有機EL層15の側面に設けられた光出射部から光が出射される。したがって、この実施例の有機LE発光デバイスは、図1を参照して説明された有機EL発光デバイスと同様に、光出射面積あたりの発光光量を増加させることができる。   In the organic EL light emitting device of this example, the reflecting member 21 is not disposed as compared with the organic EL light emitting device described with reference to FIG. In the organic EL light emitting device of this embodiment, the presence of the low refractive material member 17 causes light to propagate through the anode 5 and the organic EL layer 15 in the organic EL light emitting element 23 in the same manner as the optical fiber principle. Light is emitted from the light emitting portion provided on the side surface of the layer 15. Therefore, the organic LE light emitting device of this embodiment can increase the amount of emitted light per light emitting area, similarly to the organic EL light emitting device described with reference to FIG.

図6を参照して、製造方法の実施例について説明する。図6におけるカッコ数字(1)〜(3)は以下に説明される工程(1)〜(3)に対応している。この実施例において、陽極5及び有機EL層15の各層の層厚は上述のように伝播効率を考慮して決定される。なお、本発明の製造方法はこれに限定されるものではない。   With reference to FIG. 6, the Example of a manufacturing method is described. The parenthesized numerals (1) to (3) in FIG. 6 correspond to the steps (1) to (3) described below. In this embodiment, the layer thicknesses of the anode 5 and the organic EL layer 15 are determined in consideration of the propagation efficiency as described above. In addition, the manufacturing method of this invention is not limited to this.

(1)基材1上に反射層3を形成する。 (1) The reflective layer 3 is formed on the substrate 1.

(2)例えば、レジストを使用したフォトリソグラフィー法、又は光硬化性樹脂を使用して、反射層3上に櫛歯形状の低屈折材料部材17を形成する。低屈折材料部材17の断面形状は逆テーパー状に形成される。ただし、低屈折材料部材17の断面形状は特に限定されず、例えば長方形であってもよいし、順テーパー形状であってもよい。ここで紹介する方法は、反射膜17を構成するレジスト又は光硬化性樹脂を後工程で除去せずに製品に使用する方法である。有機EL発光デバイスを電子写真方式の光プリンタの光源として使用する場合、1200dpiを実現するにはドット間ピッチを20μmとして、反射膜17を形成する。 (2) The comb-shaped low-refractive material member 17 is formed on the reflective layer 3 using, for example, a photolithography method using a resist or a photocurable resin. The cross-sectional shape of the low refractive material member 17 is formed in a reverse taper shape. However, the cross-sectional shape of the low refractive material member 17 is not particularly limited, and may be, for example, a rectangular shape or a forward tapered shape. The method introduced here is a method in which the resist or photocurable resin constituting the reflective film 17 is used in a product without being removed in a subsequent process. When the organic EL light emitting device is used as a light source of an electrophotographic optical printer, the reflection film 17 is formed with a dot-to-dot pitch of 20 μm in order to realize 1200 dpi.

(3)反射膜17をパターンマスクとして、以下の工程を進める。スパッタリング法で陽極5を構成するITO膜を成膜する。陽極5の膜厚は上述のように伝播効率を考慮して決定される。陽極5には電極用のパターン配線も同時に形成しておく。 (3) The following steps are performed using the reflective film 17 as a pattern mask. An ITO film constituting the anode 5 is formed by sputtering. The film thickness of the anode 5 is determined in consideration of the propagation efficiency as described above. A pattern wiring for an electrode is also formed on the anode 5 at the same time.

陽極5上に順次有機EL層15を成膜する。有機EL層15の形成方法は、例えば、インクジェット法である。最終層には陰極13を100nm〜1000nm成膜する。この段階で、陽極5及び有機EL層15の積層体の側面において光出射部のみが反射膜17で覆われていない構造を実現できる。なお、反射膜17の高さと陽極5及び有機EL層15の膜厚を調整して、陰極13も反射膜17で囲まれた領域の内側に形成するようにしてもよい。   An organic EL layer 15 is sequentially formed on the anode 5. A method for forming the organic EL layer 15 is, for example, an inkjet method. On the final layer, a cathode 13 is formed to a thickness of 100 nm to 1000 nm. At this stage, it is possible to realize a structure in which only the light emitting portion is not covered with the reflective film 17 on the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15. The cathode 13 may also be formed inside the region surrounded by the reflective film 17 by adjusting the height of the reflective film 17 and the film thickness of the anode 5 and the organic EL layer 15.

その後、製品用途に応じて、基材1を所定の形状に分割したり、基材1を基板27(図1を参照。)に貼り付けたり、光学体25や屈折率分布構造体41(図5を参照。)を配置したりしてもよい。ここでも、光学体25は、基材1や基板27に予め配置されていてもよい。   Thereafter, the base material 1 is divided into a predetermined shape, the base material 1 is attached to the substrate 27 (see FIG. 1), or the optical body 25 or the refractive index distribution structure 41 (see FIG. 1). 5) may be arranged. Also here, the optical body 25 may be arranged in advance on the base material 1 or the substrate 27.

図7及び図8は、有機EL発光デバイスの製造方法のさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。図8(7)は有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。図7及び図8において、図1と同じ機能を果たす部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。まず、図8(7)を参照して有機EL発光デバイスの構造について説明する。   7 and 8 are schematic front sectional views for explaining still another embodiment of the method for manufacturing the organic EL light emitting device. FIG. 8 (7) is a schematic front sectional view for explaining still another embodiment of the organic EL light emitting device. 7 and 8, parts having the same functions as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted. First, the structure of the organic EL light emitting device will be described with reference to FIG.

この実施例の有機EL発光デバイスは複数の有機EL発光素子23を備えている。各有機EL発光素子23は、陽極5、有機EL層15、陰極13、反射膜17、反射部材21、低屈折率材料層43及び反射層45を備えている。有機EL層15は正孔輸送層7、発光層9及び電子注入層11によって形成されている。   The organic EL light emitting device of this embodiment includes a plurality of organic EL light emitting elements 23. Each organic EL light emitting element 23 includes an anode 5, an organic EL layer 15, a cathode 13, a reflective film 17, a reflective member 21, a low refractive index material layer 43, and a reflective layer 45. The organic EL layer 15 is formed by the hole transport layer 7, the light emitting layer 9, and the electron injection layer 11.

反射膜17、反射部材21、低屈折率材料層43及び反射層45は、隣り合う有機EL発光素子23で連続して形成されているが、隣り合う有機EL発光素子23ごとに設けられていてもよい。   The reflective film 17, the reflective member 21, the low refractive index material layer 43, and the reflective layer 45 are continuously formed by the adjacent organic EL light emitting elements 23, but are provided for each adjacent organic EL light emitting element 23. Also good.

低屈折率材料層43は、陽極5の屈折率よりも低い屈折率をもつ材料、例えば二酸化珪素やフッ化マグネシウムなどで形成されている。
反射層45は金属材料、例えばアルミニウム、金、銀などの金属や、合金などで形成されている。
The low refractive index material layer 43 is formed of a material having a refractive index lower than that of the anode 5, for example, silicon dioxide or magnesium fluoride.
The reflective layer 45 is formed of a metal material, for example, a metal such as aluminum, gold, silver, or an alloy.

各有機EL発光素子23は、紙面垂直方向に延びる陽極5及び有機EL層15の積層体の一方の端面に光出射部を備えている。陽極5及び有機EL層15の積層体の他方の端面は反射膜17及び反射部材21で覆われている。   Each organic EL light-emitting element 23 includes a light emitting portion on one end face of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 extending in the direction perpendicular to the paper surface. The other end face of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 is covered with a reflective film 17 and a reflective member 21.

複数の有機EL発光素子23の各光出射部はライン状に配列されている。この実施例の有機EL発光デバイスは例えば電子写真方式の光プリンタの光源として使用される。1200dpi(dots per inch)を実現するには、複数の有機EL発光素子23の各光出射部のドット間ピッチは20μmである。   Each light emission part of the some organic EL light emitting element 23 is arranged in the shape of a line. The organic EL light emitting device of this embodiment is used as a light source of an electrophotographic optical printer, for example. In order to realize 1200 dpi (dots per inch), the dot-to-dot pitch of each light emitting portion of the plurality of organic EL light emitting elements 23 is 20 μm.

有機EL発光素子23は、反射層45に接着された接着剤47を介して基材49上に配置されている。   The organic EL light emitting element 23 is disposed on the base material 49 through an adhesive 47 bonded to the reflective layer 45.

この実施例の有機EL発光デバイスは、陽極5及び有機EL層15の積層体の側面に光出射部が形成されている。光出射部以外の陽極5及び有機EL層15の積層体の側面は、反射膜17及び反射部材21で覆われている。したがって、有機EL発光素子23において光ファイバーの原理及び光学ミラーの原理と同様にして陽極5及び有機EL層15の積層体で光が伝播及び反射され、陽極5及び有機EL層15の積層体の側面に設けられた光出射部から光が出射される。これにより、この実施例の有機LE発光デバイスは、図1を参照して説明された有機EL発光デバイスと同様に、光出射面積あたりの発光光量を増加させることができる。   In the organic EL light emitting device of this embodiment, a light emitting portion is formed on the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15. The side surfaces of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 other than the light emitting portion are covered with the reflective film 17 and the reflective member 21. Therefore, in the organic EL light emitting element 23, light is propagated and reflected by the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 in the same manner as the principle of the optical fiber and the optical mirror, and the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 is obtained. Light is emitted from the light emitting portion provided in the. Thereby, the organic LE light-emitting device of this Example can increase the emitted light amount per light emission area similarly to the organic EL light-emitting device described with reference to FIG.

また、陽極5の有機EL層15とは反対側の面に低屈折率材料層43が配置され、さらに第2反射層45が配置されているので、陽極5内で基材49側へ向かう光は有機EL層15側へ反射される。   In addition, since the low refractive index material layer 43 is disposed on the surface of the anode 5 opposite to the organic EL layer 15 and the second reflective layer 45 is disposed, the light traveling toward the base material 49 in the anode 5 is provided. Is reflected to the organic EL layer 15 side.

図7及び図8を参照して、製造方法の実施例について説明する。図7及び図8におけるカッコ数字(1)〜(8)は以下に説明される工程(1)〜(8)に対応している。この実施例において、陽極5及び有機EL層15の各層の層厚は上述のように伝播効率を考慮して決定される。この実施例は、有機EL発光素子を型基板上に形成した後、別基板に転写する工法である。なお、本発明の製造方法はこれに限定されるものではない。   With reference to FIG.7 and FIG.8, the Example of a manufacturing method is described. The parenthesized numerals (1) to (8) in FIGS. 7 and 8 correspond to the steps (1) to (8) described below. In this embodiment, the layer thicknesses of the anode 5 and the organic EL layer 15 are determined in consideration of the propagation efficiency as described above. In this embodiment, an organic EL light-emitting element is formed on a mold substrate and then transferred to another substrate. In addition, the manufacturing method of this invention is not limited to this.

(1)例えば厚みが200μmの石英基板からなる型基板51上にフォトリソグラフィー法によってレジスト膜53を形成する。レジスト膜53は陰極13及び有機EL層15の積層体に対応する開口をもつ凸形状に形成される。レジスト膜53の断面は例えば順テーパー形状に形成される。例えば、有機EL発光デバイスを電子写真方式の光プリンタの光源として使用する場合、1200dpiを実現するにはドット間ピッチを20μmとして、レジスト膜53を形成する。 (1) For example, a resist film 53 is formed on a mold substrate 51 made of a quartz substrate having a thickness of 200 μm by photolithography. The resist film 53 is formed in a convex shape having an opening corresponding to the laminate of the cathode 13 and the organic EL layer 15. The cross section of the resist film 53 is formed in a forward tapered shape, for example. For example, when an organic EL light emitting device is used as a light source of an electrophotographic optical printer, the resist film 53 is formed with a dot-to-dot pitch of 20 μm in order to realize 1200 dpi.

(2)レジスト膜53のパターンを型基板51に転写する。例えば、ドライエッチング工法を使用して、レジスト膜53と型基板51とをエッチング選択比1でエッチングする。エッチング深さは、陰極13及び有機EL層15の積層体の厚みとほぼ同じ深さとする。ここでは型基板51の材料は石英基板であるが、型基板51の材料は樹脂シートやシリコン材料やガラス材料なども使用できる。 (2) The pattern of the resist film 53 is transferred to the mold substrate 51. For example, the resist film 53 and the mold substrate 51 are etched with an etching selection ratio of 1 using a dry etching method. The etching depth is approximately the same as the thickness of the stacked body of the cathode 13 and the organic EL layer 15. Here, the material of the mold substrate 51 is a quartz substrate, but the material of the mold substrate 51 may be a resin sheet, a silicon material, a glass material, or the like.

(3)型基板51表面にフッ素化表面処理を行なって改質面55を形成する。フッ素化表面処理は、例えば、オプツールDSX(ダイキン工業社製)を用いたウエット方式処理や、6−ジブチルアミノ−1,3,5−トリアジンチオールを用いたドライフッ素化蒸着膜の成膜によって行なわれる。この処理によって型基板51の改質面55は表面エネルギーが大きくなり、密着性が著しく低下する。 (3) A modified surface 55 is formed by performing a fluorinated surface treatment on the surface of the mold substrate 51. The fluorinated surface treatment is performed by, for example, a wet process using OPTOOL DSX (manufactured by Daikin Industries) or a dry fluorinated vapor-deposited film using 6-dibutylamino-1,3,5-triazinethiol. It is. As a result of this treatment, the surface energy of the modified surface 55 of the mold substrate 51 is increased, and the adhesion is remarkably reduced.

(4)真空蒸着法又はスパッタリング法によって、例えばアルミニウムからなる陰極13を成膜する。型基板51の凸部に成膜された陰極13の材料は、低真空状態での逆スパッタリング法などによって除去する。例えばインクジェット法によって、型基板51の凹部内に有機EL層15を形成する。次に、型基板51の凹部内にITO膜からなる陽極5を形成する。例えば二酸化珪素からなる低屈折率材料層43と、例えばアルミニウムからなる反射層45を真空蒸着法によって、陽極5上から改質面55上にまたがって、順次成膜する。陰極13、有機EL層15、陽極5、低屈折率材料層43及び反射層45の積層体は、フッ素化表面処理された改質面55の存在によって型基板51との密着性が低い。なお、型基板51の凸部の高さと陰極13及び有機EL層15の膜厚を調整して、低屈折率材料層43又は低屈折率材料層43及び反射層45も凹部内に形成するようにしてもよい。 (4) The cathode 13 made of, for example, aluminum is formed by vacuum deposition or sputtering. The material of the cathode 13 formed on the convex portion of the mold substrate 51 is removed by a reverse sputtering method in a low vacuum state. For example, the organic EL layer 15 is formed in the concave portion of the mold substrate 51 by an inkjet method. Next, the anode 5 made of an ITO film is formed in the recess of the mold substrate 51. For example, a low refractive index material layer 43 made of, for example, silicon dioxide and a reflective layer 45 made of, for example, aluminum are sequentially formed on the modified surface 55 from the anode 5 by vacuum deposition. The laminate of the cathode 13, the organic EL layer 15, the anode 5, the low refractive index material layer 43, and the reflective layer 45 has low adhesion to the mold substrate 51 due to the presence of the modified surface 55 that has been fluorinated. Note that the low refractive index material layer 43 or the low refractive index material layer 43 and the reflective layer 45 are also formed in the concave portion by adjusting the height of the convex portion of the mold substrate 51 and the film thickness of the cathode 13 and the organic EL layer 15. It may be.

(5)型基板51を反転させ、型基板51に形成された陰極13、有機EL層15、陽極5、低屈折率材料層43及び反射層45の積層体を別途用意した基材49上に転写する。このとき、基材49と反射層45との間に接着剤47を配置し、接着剤47を硬化させる。型基板51と基材49は、それぞれ並行平板として製作されているようにすれば、この反転及び転写工程は、接着剤47を介在させた2基板の接合と同様に容易に実施可能である。 (5) The mold substrate 51 is inverted, and the laminate of the cathode 13, the organic EL layer 15, the anode 5, the low refractive index material layer 43 and the reflective layer 45 formed on the mold substrate 51 is separately prepared on a base material 49. Transcript. At this time, the adhesive 47 is disposed between the base material 49 and the reflective layer 45, and the adhesive 47 is cured. If the mold substrate 51 and the base material 49 are each manufactured as a parallel plate, this reversal and transfer process can be easily performed in the same manner as the joining of the two substrates with the adhesive 47 interposed.

(6)型基板51を剥離する。これにより、基材49への、陰極13、有機EL層15、陽極5、低屈折率材料層43及び反射層45の積層体の転写が完了する。基材49の材料は特に限定されず、例えばシリコン基板、ガラス基板、樹脂基板、樹脂シートなどを挙げることができる。 (6) The mold substrate 51 is peeled off. Thereby, transfer of the laminated body of the cathode 13, the organic EL layer 15, the anode 5, the low refractive index material layer 43, and the reflective layer 45 to the base material 49 is completed. The material of the base material 49 is not specifically limited, For example, a silicon substrate, a glass substrate, a resin substrate, a resin sheet etc. can be mentioned.

(7)陰極13から所望の電気配線を確保した後に、予め用意しておいたメタルマスクを装着して光出射部の形成予定位置をメタルマスクで覆う。光出射部以外の有機EL層15の側面、及び陰極13の上面及び側面に、例えば二酸化珪素又はフッ化マグネシウムからなる反射膜47を100〜500nmの厚みで成膜する。反射膜47の表面に、例えば金、銀、アルミニウムなどの金属材料からなる反射部材21を100〜1000nmの厚みで成膜する。 (7) After securing a desired electrical wiring from the cathode 13, a metal mask prepared in advance is attached, and the formation planned position of the light emitting portion is covered with the metal mask. A reflective film 47 made of, for example, silicon dioxide or magnesium fluoride is formed to a thickness of 100 to 500 nm on the side surface of the organic EL layer 15 other than the light emitting portion and the upper surface and side surfaces of the cathode 13. On the surface of the reflective film 47, a reflective member 21 made of a metal material such as gold, silver, or aluminum is formed with a thickness of 100 to 1000 nm.

その後、製品用途に応じて、基材49を所定の形状に分割したり、基材49を基板27(図1を参照。)に貼り付けたり、光学体25や屈折率分布構造体41(図5を参照。)を配置したりしてもよい。ここで、光学体25は、基材49や基板27に予め配置されていてもよい。   Thereafter, the base material 49 is divided into a predetermined shape, the base material 49 is attached to the substrate 27 (see FIG. 1), or the optical body 25 or the refractive index distribution structure 41 (see FIG. 1). 5) may be arranged. Here, the optical body 25 may be arranged in advance on the base material 49 or the substrate 27.

図9は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例及び製造方法のさらに他の実施例を説明するための概略的な正面断面図である。図9において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。まず、図9(5)を参照して有機EL発光デバイスの構造について説明する。   FIG. 9 is a schematic front sectional view for explaining still another embodiment of the organic EL light emitting device and still another embodiment of the manufacturing method. 9, parts that are the same as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted. First, the structure of the organic EL light emitting device will be described with reference to FIG.

この実施例の有機EL発光デバイスは複数の有機EL発光素子23を備えている。各有機EL発光素子23は、陽極5、有機EL層15、陰極13、反射膜17、反射部材21、低屈折率材料層43及び反射層45を備えている。有機EL層15は正孔輸送層7、発光層9及び電子注入層11によって形成されている。反射部材21は隣り合う有機EL発光素子23で共用されている。ただし、反射部材21は隣り合う有機EL発光素子23ごとに設けられていてもよい。また、低屈折率材料層43及び反射層45は、隣り合う有機EL発光素子23で連続して形成されているが、隣り合う有機EL発光素子23ごとに設けられていてもよい。   The organic EL light emitting device of this embodiment includes a plurality of organic EL light emitting elements 23. Each organic EL light emitting element 23 includes an anode 5, an organic EL layer 15, a cathode 13, a reflective film 17, a reflective member 21, a low refractive index material layer 43, and a reflective layer 45. The organic EL layer 15 is formed by the hole transport layer 7, the light emitting layer 9, and the electron injection layer 11. The reflecting member 21 is shared by the adjacent organic EL light emitting elements 23. However, the reflecting member 21 may be provided for each adjacent organic EL light emitting element 23. In addition, the low refractive index material layer 43 and the reflective layer 45 are continuously formed by the adjacent organic EL light emitting elements 23, but may be provided for each adjacent organic EL light emitting element 23.

各有機EL発光素子23は、紙面垂直方向に延びる陽極5及び有機EL層15の積層体の一方の端面に光出射部を備えている。陽極5及び有機EL層15の積層体の他方の端面は反射膜17で覆われている。反射膜17及び反射部材21は櫛歯形状に形成されている。   Each organic EL light-emitting element 23 includes a light emitting portion on one end face of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 extending in the direction perpendicular to the paper surface. The other end face of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 is covered with a reflective film 17. The reflective film 17 and the reflective member 21 are formed in a comb-teeth shape.

複数の有機EL発光素子23の各光出射部はライン状に配列されている。この実施例の有機EL発光デバイスは例えば電子写真方式の光プリンタの光源として使用される。1200dpi(dots per inch)を実現するには、複数の有機EL発光素子23の各光出射部のドット間ピッチは20μmである。   Each light emission part of the some organic EL light emitting element 23 is arranged in the shape of a line. The organic EL light emitting device of this embodiment is used as a light source of an electrophotographic optical printer, for example. In order to realize 1200 dpi (dots per inch), the dot-to-dot pitch of each light emitting portion of the plurality of organic EL light emitting elements 23 is 20 μm.

この実施例の有機EL発光デバイスは、陽極5及び有機EL層15の積層体の側面に光出射部が形成されている。光出射部以外の陽極5及び有機EL層15の積層体の側面には、反射膜17及び反射部材21が配置されている。したがって、有機EL発光素子23において光ファイバーの原理及び光学ミラーの原理と同様にして陽極5及び有機EL層15の積層体で光が伝播及び反射され、陽極5及び有機EL層15の積層体の側面に設けられた光出射部から光が出射される。これにより、この実施例の有機LE発光デバイスは、図1を参照して説明された有機EL発光デバイスと同様に、光出射面積あたりの発光光量を増加させることができる。   In the organic EL light emitting device of this embodiment, a light emitting portion is formed on the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15. A reflective film 17 and a reflective member 21 are disposed on the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 other than the light emitting portion. Therefore, in the organic EL light emitting element 23, light is propagated and reflected by the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 in the same manner as the principle of the optical fiber and the optical mirror, and the side surface of the laminate of the anode 5 and the organic EL layer 15 is obtained. Light is emitted from the light emitting portion provided in the. Thereby, the organic LE light-emitting device of this Example can increase the emitted light amount per light emission area similarly to the organic EL light-emitting device described with reference to FIG.

また、陽極5の有機EL層15とは反対側の面に低屈折率材料層43が配置され、さらに第2反射層45が配置されているので、陽極5内で基材49側へ向かう光は有機EL層15側へ反射される。   In addition, since the low refractive index material layer 43 is disposed on the surface of the anode 5 opposite to the organic EL layer 15 and the second reflective layer 45 is disposed, the light traveling toward the base material 49 in the anode 5 is provided. Is reflected to the organic EL layer 15 side.

図9を参照して、製造方法の実施例について説明する。図9におけるカッコ数字(1)〜(5)は以下に説明される工程(1)〜(5)に対応している。この実施例において、陽極5及び有機EL層15の各層の層厚は上述のように伝播効率を考慮して決定される。量産工程としては、この製造方法がもっとも安価な量産性に優れた工法である。なお、本発明の製造方法はこれに限定されるものではない。   With reference to FIG. 9, the Example of a manufacturing method is described. The parenthesized numerals (1) to (5) in FIG. 9 correspond to the steps (1) to (5) described below. In this embodiment, the layer thicknesses of the anode 5 and the organic EL layer 15 are determined in consideration of the propagation efficiency as described above. As a mass production process, this manufacturing method is the most inexpensive method of mass production. In addition, the manufacturing method of this invention is not limited to this.

(1)基材1上に、例えば真空蒸着法又はスパッタリング法によって、金、銀、アルミニウムなどの金属材料からなる反射層45、二酸化珪素又はフッ化マグネシウムからなる低屈折率材料層43、ITO膜からなる陽極5を順次成膜する。フォトリソグラフィー法によって、陽極5上に、有機EL層15の形成予定位置に対応する位置にレジスト膜57を形成する。例えば、ウエットエッチング法によって、レジスト膜57をマスクにして陽極5をパターニングする。 (1) A reflective layer 45 made of a metal material such as gold, silver or aluminum, a low refractive index material layer 43 made of silicon dioxide or magnesium fluoride, an ITO film on the substrate 1 by, for example, vacuum deposition or sputtering. The anode 5 made of is sequentially formed. A resist film 57 is formed on the anode 5 at a position corresponding to a position where the organic EL layer 15 is to be formed by photolithography. For example, the anode 5 is patterned by the wet etching method using the resist film 57 as a mask.

(2)例えば、低真空条件の真空蒸着法によって、真空槽内で、反射機能を有する金属材料を500〜800nmの厚みで成膜して反射部材21を成膜する。反射部材21は、レジスト膜57上とレジスト膜57の開口に位置する低屈折率材料層43上に成膜される。レジスト膜57の開口において、反射部材21はレジスト膜57及び陽極5とは間隔をもって形成される。 (2) For example, the reflective member 21 is formed by depositing a metal material having a reflective function in a thickness of 500 to 800 nm in a vacuum chamber by a vacuum deposition method under a low vacuum condition. The reflecting member 21 is formed on the resist film 57 and the low refractive index material layer 43 located in the opening of the resist film 57. In the opening of the resist film 57, the reflecting member 21 is formed with a gap from the resist film 57 and the anode 5.

(3)例えば、高真空条件の真空蒸着法によって、真空槽内で、反射膜17を800nmの厚みで成膜する。反射膜17により、反射部材21とレジスト膜57及び陽極5との間の空間は埋め込まれる。反射膜17の表面を平坦化するために、例えばプラズマ雰囲気中で逆スパッタリングを行なう。逆スパッタリングを行なった後の状態において、レジスト膜57の上には、反射部材21と極薄い反射膜17が形成されている。 (3) For example, the reflective film 17 is formed to a thickness of 800 nm in a vacuum chamber by a vacuum deposition method under high vacuum conditions. The space between the reflective member 21, the resist film 57, and the anode 5 is embedded by the reflective film 17. In order to planarize the surface of the reflective film 17, for example, reverse sputtering is performed in a plasma atmosphere. In a state after the reverse sputtering is performed, the reflection member 21 and the extremely thin reflection film 17 are formed on the resist film 57.

(4)リフトオフ法によってレジスト膜57を除去する。これにより、低屈折率材料層43上に、反射部材21と反射部材21を覆う反射膜17からなる凸パターンが形成される。この凸パターンは櫛歯形状に形成されている。 (4) The resist film 57 is removed by a lift-off method. Thereby, a convex pattern composed of the reflective member 21 and the reflective film 17 covering the reflective member 21 is formed on the low refractive index material layer 43. This convex pattern is formed in a comb-teeth shape.

(5)上記凸パターンの内部で陽極5上に有機EL層15と陰極13をその順に形成する。陰極13は上記凸パターンの上部を覆わないように形成される。これにより有機EL発光素子23が形成される。 (5) The organic EL layer 15 and the cathode 13 are formed in this order on the anode 5 inside the convex pattern. The cathode 13 is formed so as not to cover the top of the convex pattern. Thereby, the organic EL light emitting element 23 is formed.

その後、製品用途に応じて、基材1を所定の形状に分割したり、基材1を基板27(図1を参照。)に貼り付けたり、光学体25や屈折率分布構造体41(図5を参照。)を配置したりしてもよい。ここで、光学体25は、基材1や基板27に予め配置されていてもよい。   Thereafter, the base material 1 is divided into a predetermined shape, the base material 1 is attached to the substrate 27 (see FIG. 1), or the optical body 25 or the refractive index distribution structure 41 (see FIG. 1). 5) may be arranged. Here, the optical body 25 may be disposed in advance on the base material 1 or the substrate 27.

図10は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。図10において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 10 is a schematic side cross-sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. 10, parts that are the same as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

この実施例の有機EL発光デバイスでは、光学体25は基材1に一体成形されている。光学体25の光出射部19に対向する面は、例えば平面、球面、自由曲面のいずれかであり、この実施例では自由曲面である。光学体25の光出射部19に対向する面の形状は、例えば光出射部19から出射された光を集光させる形状に形成されている。   In the organic EL light emitting device of this embodiment, the optical body 25 is formed integrally with the substrate 1. The surface of the optical body 25 facing the light emitting portion 19 is, for example, any one of a flat surface, a spherical surface, and a free curved surface, and in this embodiment is a free curved surface. The shape of the surface facing the light emitting portion 19 of the optical body 25 is formed, for example, in a shape for condensing the light emitted from the light emitting portion 19.

基材1及び光学体25の材料は、光学体25が光出射部19から出射された光を反射できる材料であれば特に問われない。上述のように、材料がシリコンやガラスなどの場合は、ナノインプリント工法によって基材1に光学体25を形成できる。ただし、光学体25の形成方法はナノインプリント工法に限定されない。   The material of the base material 1 and the optical body 25 is not particularly limited as long as the optical body 25 can reflect the light emitted from the light emitting portion 19. As described above, when the material is silicon or glass, the optical body 25 can be formed on the substrate 1 by the nanoimprint method. However, the method of forming the optical body 25 is not limited to the nanoimprint method.

図11は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。図11において、図10と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 11 is a schematic side cross-sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. In FIG. 11, the same parts as those in FIG. 10 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機EL発光デバイスでは、光学体25は、光出射部19に対向する面に反射ミラー59を備えている。反射ミラー59の材料は金属材料であり、例えば金、銀、アルミニウムなどである。また、反射ミラー59は、光学誘電体多層膜で構成される反射ミラー層であってもよい。反射ミラー59の光出射部19に対向する面は例えば平面、球面、自由曲面のいずれかであり、この実施例では自由曲面である。反射ミラー59の光出射部19に対向する面の形状は、例えば光出射部19から出射された光を集光させる形状に形成されている。なお、反射ミラー59は、光学体25の光出射部19に対向する面に少なくとも配置されていればよい。   In the organic EL light emitting device of this embodiment, the optical body 25 includes a reflection mirror 59 on the surface facing the light emitting portion 19. The material of the reflection mirror 59 is a metal material, such as gold, silver, or aluminum. Further, the reflection mirror 59 may be a reflection mirror layer composed of an optical dielectric multilayer film. The surface of the reflecting mirror 59 that faces the light emitting portion 19 is, for example, any one of a flat surface, a spherical surface, and a free curved surface, and in this embodiment is a free curved surface. The shape of the surface of the reflecting mirror 59 that faces the light emitting portion 19 is formed, for example, in a shape that collects the light emitted from the light emitting portion 19. The reflection mirror 59 may be disposed at least on the surface of the optical body 25 that faces the light emitting portion 19.

また、反射ミラー59の表面に、耐環境性を向上させるためのオーバーコート膜が成膜されていてもよい。オーバーコート膜は反射ミラー表面に一般に形成されるものでよい。オーバーコート膜の材料は例えば二酸化ケイ素(SiO2)である。 Further, an overcoat film for improving the environmental resistance may be formed on the surface of the reflection mirror 59. The overcoat film may be generally formed on the reflection mirror surface. The material of the overcoat film is, for example, silicon dioxide (SiO 2 ).

図12は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な斜視図及び断面図である。図11において、図1と同じ機能を果たす部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 12 is a schematic perspective view and cross-sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. 11, parts having the same functions as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機LE発光デバイスにおいて、有機EL発光素子23は環状形状に形成されている。陽極5、有機EL層15及び陰極13の積層体は環状形状に配置されている。反射膜17は、上記積層体の環状形状の外周側面に配置されている。また、反射膜17は陰極13の上面にも配置されている。反射膜17の外面に反射部材21が配置されている。光出射部19は上記積層体の環状形状の内周側面に配置されている。   In the organic LE light emitting device of this embodiment, the organic EL light emitting element 23 is formed in an annular shape. The laminated body of the anode 5, the organic EL layer 15, and the cathode 13 is arranged in an annular shape. The reflective film 17 is disposed on the outer peripheral side surface of the annular shape of the laminate. The reflective film 17 is also disposed on the upper surface of the cathode 13. A reflective member 21 is disposed on the outer surface of the reflective film 17. The light emission part 19 is arrange | positioned at the cyclic | annular inner peripheral side surface of the said laminated body.

上記積層体の環状形状の内側に光学体25が配置されている。光学体25は、有機EL発光素子23の光出射部19から出射された光の進行方向を略同一方向に変更する。つまり、光学体25の反射面は、光出射部19から出射された光の進行方向を略同一方向に変更するように設計されている。なお、図12における光学体25の形状は必ずしも正確ではない。ここでは環状形状の内側に配置されている光学体25は1つであるが、複数の光学体25が環状形状の内側に配置されていてもよい。   An optical body 25 is disposed inside the annular shape of the laminate. The optical body 25 changes the traveling direction of the light emitted from the light emitting portion 19 of the organic EL light emitting element 23 to substantially the same direction. That is, the reflecting surface of the optical body 25 is designed so as to change the traveling direction of the light emitted from the light emitting unit 19 to substantially the same direction. Note that the shape of the optical body 25 in FIG. 12 is not necessarily accurate. Here, there is one optical body 25 arranged inside the annular shape, but a plurality of optical bodies 25 may be arranged inside the annular shape.

図13は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な断面図である。この実施例の斜視図は図12に示された斜視図と同様である。図13において、図12と同じ機能を果たす部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 13 is a schematic cross-sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. The perspective view of this embodiment is the same as the perspective view shown in FIG. In FIG. 13, parts having the same functions as those in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機LE発光デバイスにおいて、光学体25は、有機EL発光素子23の光出射部19から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更する。つまり、光学体25の反射面は、光出射部19から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更するように設計されている。なお、図13における光学体25の形状は必ずしも正確ではない。ここでは環状形状の内側に配置されている光学体25は1つであるが、複数の光学体25が環状形状の内側に配置されていてもよい。   In the organic LE light emitting device of this embodiment, the optical body 25 changes the traveling direction of the light emitted from the light emitting portion 19 of the organic EL light emitting element 23 to a substantially inverted conical shape. That is, the reflecting surface of the optical body 25 is designed to change the traveling direction of the light emitted from the light emitting portion 19 to a substantially inverted conical shape. Note that the shape of the optical body 25 in FIG. 13 is not necessarily accurate. Here, there is one optical body 25 arranged inside the annular shape, but a plurality of optical bodies 25 may be arranged inside the annular shape.

図14は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な斜視図及び断面図である。図14において、図12と同じ機能を果たす部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 14 is a schematic perspective view and sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. 14, parts having the same functions as those in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機LE発光デバイスは、図12に示された有機LE発光デバイスと比較して、有機EL発光素子23が例えば4つに分割されている。各有機EL発光素子23において、円周方向で隣り合う有機EL発光素子23で互いに対向する面に、反射膜17及び反射部材21が配置されている。
4つ有機LE発光素子は、同一領域に向けて光出射部19から光を出射する。その同一領域には光学体25が配置されている。
In the organic LE light emitting device of this embodiment, the organic EL light emitting element 23 is divided into, for example, four parts as compared with the organic LE light emitting device shown in FIG. In each organic EL light-emitting element 23, the reflective film 17 and the reflective member 21 are arranged on surfaces facing each other in the organic EL light-emitting elements 23 adjacent in the circumferential direction.
The four organic LE light emitting elements emit light from the light emitting unit 19 toward the same region. An optical body 25 is disposed in the same region.

4つ有機LE発光素子は、同じ波長の光を発光するものであってもよいし、互いに異なる波長の光を発光するものであってもよい。例えば4つ有機LE発光素子は、赤色の光を出射するもの、緑色の光を出射するもの、青色の光を出射するもの、白色の光を出射するようにしてもよい。
この実施例では上記同一領域に配置されている光学体25は1つであるが、複数の光学体25が上記同一領域に配置されていてもよい。
The four organic LE light emitting elements may emit light having the same wavelength, or may emit light having different wavelengths. For example, the four organic LE light emitting elements may emit red light, emit green light, emit blue light, or emit white light.
In this embodiment, there is one optical body 25 arranged in the same area, but a plurality of optical bodies 25 may be arranged in the same area.

同一領域に向けて光出射部19から光を出射する複数の有機EL発光素子23について、その個数は特に限定されない。例えば、同一領域に向けて、光出射部19から赤色、緑色、青色の光を出射する3つの有機EL発光素子23を配置してもよい。   The number of the plurality of organic EL light emitting elements 23 that emit light from the light emitting portion 19 toward the same region is not particularly limited. For example, three organic EL light emitting elements 23 that emit red, green, and blue light from the light emitting unit 19 may be disposed toward the same region.

図15は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な側面断面図である。図15において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIG. 15 is a schematic side cross-sectional view for explaining still another example of the organic EL light emitting device. In FIG. 15, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

この実施例の有機EL発光デバイスは、基材1の表面と裏面にそれぞれ有機EL発光素子23及び光学体25を備えている。基材1の表面に配置された光学体25からの光の進行方向と、基材1の裏面に配置された光学体25からの光の進行方向は互いに逆方向になっている。   The organic EL light emitting device of this example includes an organic EL light emitting element 23 and an optical body 25 on the front surface and the back surface of the substrate 1, respectively. The traveling direction of light from the optical body 25 disposed on the surface of the substrate 1 and the traveling direction of light from the optical body 25 disposed on the back surface of the substrate 1 are opposite to each other.

また、基材1の一表面のみに有機EL発光素子23及び光学体25が形成された2つの基材1の裏面同士を直接又は他の基材を介して貼り付けることにより、図15に示された構造と同様の構造を形成することができる。   Moreover, by pasting the back surfaces of the two base materials 1 on which the organic EL light emitting element 23 and the optical body 25 are formed only on one surface of the base material 1 directly or via another base material, FIG. 15 shows. A similar structure can be formed.

図12、図13、図14に示された各実施例において、光学体25は有機EL発光素子23から出射された光の進行方向を略同一方向又は略逆円錐形状に変更しているが、光学体25が光の進行方向を変更する方向はこれらに限定されない。光学体25が光の進行方向を変更する方向は特に限定されない。   In each of the examples shown in FIGS. 12, 13, and 14, the optical body 25 changes the traveling direction of the light emitted from the organic EL light emitting element 23 to substantially the same direction or a substantially inverted conical shape. The direction in which the optical body 25 changes the light traveling direction is not limited to these. The direction in which the optical body 25 changes the light traveling direction is not particularly limited.

例えば、光学体25は、有機EL発光素子23から出射された光の進行方向を、例えば2方向や3方向など、複数の方向に分割するようにしてもよい。光の進行方向を分割する光学体25は、1つの光学体で形成されていてもよいし、複数の光学体で形成されていてもよい。なお、これらの構成は、図1に示された実施例など、1つの有機EL発光素子23の光出射部19に対向して配置された光学体25をもつ上記の各実施例に対しても有効である。   For example, the optical body 25 may divide the traveling direction of the light emitted from the organic EL light emitting element 23 into a plurality of directions such as two directions and three directions. The optical body 25 that divides the traveling direction of light may be formed by one optical body or may be formed by a plurality of optical bodies. Note that these configurations also apply to each of the above embodiments having the optical body 25 disposed to face the light emitting portion 19 of one organic EL light emitting element 23, such as the embodiment shown in FIG. It is valid.

また、1つの有機EL発光素子23の光出射部19に対向して配置された光学体25は1つであってもよいし、複数個であってもよい。   Moreover, the optical body 25 arrange | positioned facing the light emission part 19 of one organic EL light emitting element 23 may be one, and plural may be sufficient as it.

図16、図17及び図18は、有機EL発光デバイスのさらに他の実施例を説明するための概略的な正面図である。これらの図面は光出射部の配列を簡略化して図示している。図16、図17及び図18において、図1と同じ部分には同じ符号が付され、それらの部分の説明は省略される。   FIGS. 16, 17 and 18 are schematic front views for explaining still another example of the organic EL light emitting device. In these drawings, the arrangement of the light emitting portions is simplified. 16, 17, and 18, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of those parts is omitted.

図16に示された実施例では、基材1上に複数の有機EL発光素子が配置され、それらの有機EL発光素子の光出射部19は2次元アレイ状に配列されている。   In the embodiment shown in FIG. 16, a plurality of organic EL light emitting elements are arranged on the substrate 1, and the light emitting portions 19 of these organic EL light emitting elements are arranged in a two-dimensional array.

図17及び図18に示された実施例では、基材1上に複数の有機EL発光素子が水平方向及び高さ方向に配置され、それらの有機EL発光素子の光出射部19は3次元アレイ状に配列されている。図17に示された実施例では、水平方向に配列された各光出射部19の上にそれぞれ光出射部19が積層されて光出射部19が配列されている。図17に示された実施例では、光出射部19は千鳥状に配列されている。   In the embodiment shown in FIGS. 17 and 18, a plurality of organic EL light emitting elements are arranged on the substrate 1 in the horizontal direction and the height direction, and the light emitting portion 19 of these organic EL light emitting elements is a three-dimensional array. Are arranged in a shape. In the embodiment shown in FIG. 17, the light emitting portions 19 are arranged by laminating the light emitting portions 19 on the light emitting portions 19 arranged in the horizontal direction. In the embodiment shown in FIG. 17, the light emitting portions 19 are arranged in a staggered pattern.

本発明の有機EL発光デバイスの用途は任意である。例えば、有機EL発光デバイスは、固体光源用発光デバイス、表示デバイス、指示器、照明用光源、光源として使用される。   The use of the organic EL light emitting device of the present invention is arbitrary. For example, the organic EL light emitting device is used as a light emitting device for a solid light source, a display device, an indicator, a light source for illumination, and a light source.

以上、本発明の実施例が説明されたが本発明はこれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種々の変更が可能である。   As mentioned above, although the Example of this invention was described, this invention is not limited to these, A various change is possible within the range of this invention described in the claim.

例えば、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、有機EL発光素子の光出射部の形状は特に限定されない。光出射部の形状は、例えば、図1に示されるように平坦面であってもよいし、図14に示されるように曲面であってもよい。また、上方から見た光出射部の形状は、例えば、L字型やC字型であってもよい。   For example, in the organic EL light emitting device of the present invention, the shape of the light emitting portion of the organic EL light emitting element is not particularly limited. The shape of the light emitting part may be, for example, a flat surface as shown in FIG. 1 or a curved surface as shown in FIG. Moreover, the shape of the light emission part seen from the top may be L-shaped or C-shaped, for example.

また、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、有機EL発光素子の平面形状は特に限定されない。例えば、有機EL発光素子の平面形状は、図1に示されるように矩形形状であってもよいし、図12に示されるように環状形状であってもよいし、図14に示されるように扇形形状であってもよい。また、有機EL発光素子の平面形状は、例えば、L字型やC字型であってもよい。   In the organic EL light emitting device of the present invention, the planar shape of the organic EL light emitting element is not particularly limited. For example, the planar shape of the organic EL light emitting element may be a rectangular shape as shown in FIG. 1, an annular shape as shown in FIG. 12, or as shown in FIG. A sector shape may be sufficient. Further, the planar shape of the organic EL light emitting element may be, for example, L-shaped or C-shaped.

また、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、有機EL発光素子の陽極と陰極の上下関係は特に問われない。例えば、上記実施例では、基材1側から順に、陽極5、有機EL層15、陰極13が積層されているが、本発明の有機EL発光デバイスは、基材側から順に陰極、有機EL層、陽極が積層されている構造であってもよい。   In the organic EL light emitting device of the present invention, the vertical relationship between the anode and the cathode of the organic EL light emitting element is not particularly limited. For example, in the said Example, although the anode 5, the organic EL layer 15, and the cathode 13 are laminated | stacked in order from the base material 1 side, the organic EL light-emitting device of this invention is a cathode, an organic EL layer in order from the base material side. A structure in which anodes are stacked may be used.

また、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、陰極は透明導電膜で形成されていてもよい。さらに、透明導電膜からなる陰極の有機EL層とは反対側の面に金属材料からなる反射層が配置されているようにしてもよい。また、透明導電膜からなる陰極の有機EL層とは反対側の面に、その透明導電膜の屈折率よりも低い屈折率をもつ低屈折率材料層が配置されているようにしてもよい。さらに、低屈折率材料層の透明導電膜とは反対側の面に金属材料からなる反射層を備えているようにしてもよい。   In the organic EL light emitting device of the present invention, the cathode may be formed of a transparent conductive film. Furthermore, a reflective layer made of a metal material may be disposed on the surface opposite to the cathode organic EL layer made of a transparent conductive film. Further, a low refractive index material layer having a refractive index lower than the refractive index of the transparent conductive film may be arranged on the surface opposite to the organic EL layer of the cathode made of the transparent conductive film. Furthermore, a reflective layer made of a metal material may be provided on the surface of the low refractive index material layer opposite to the transparent conductive film.

また、本発明の有機EL発光デバイスにおいて、陽極は、例えば金や銀などの金属材料からなる導電膜であってもよい。   In the organic EL light emitting device of the present invention, the anode may be a conductive film made of a metal material such as gold or silver.

1 基材
3 反射層
5 陽極
9 発光層
13 陰極
15 有機EL層
17 反射膜
19 光出射部
21 反射部材
23 有機EL発光素子
25 光学体
43 低屈折率材料層
45 反射層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 3 Reflective layer 5 Anode 9 Light emitting layer 13 Cathode 15 Organic EL layer 17 Reflective film 19 Light emitting part 21 Reflecting member 23 Organic EL light emitting element 25 Optical body 43 Low refractive index material layer 45 Reflective layer

Claims (36)

陽極と、
陰極と、
前記陽極と前記陰極の間に配置され、少なくとも発光層を含む有機EL層と、
前記有機EL層の側面の一部分の領域を除いて前記有機EL層の側面に配置された反射膜と、
前記反射膜が配置されていない前記有機EL層の側面部分で構成される光出射部と、をもつ有機EL発光素子を備えた有機EL発光デバイス。
The anode,
A cathode,
An organic EL layer that is disposed between the anode and the cathode and includes at least a light emitting layer;
A reflective film disposed on a side surface of the organic EL layer excluding a partial region of the side surface of the organic EL layer;
An organic EL light emitting device comprising: an organic EL light emitting element having a light emitting portion constituted by a side surface portion of the organic EL layer on which the reflective film is not disposed.
前記陽極及び前記陰極のうち少なくとも一方は透明導電膜で形成されており、
前記反射膜は、前記有機EL層と前記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて前記積層体の側面に配置されており、
前記光出射部は前記反射膜が配置されていない前記積層体の側面部分で構成されている請求項1に記載の有機EL発光デバイス。
At least one of the anode and the cathode is formed of a transparent conductive film,
The reflective film is disposed on a side surface of the stacked body except for a partial region of the side surface of the stacked body of the organic EL layer and the transparent conductive film,
The organic EL light emitting device according to claim 1, wherein the light emitting portion is configured by a side surface portion of the stacked body on which the reflective film is not disposed.
前記有機EL発光素子は、前記透明導電膜の前記有機EL層とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射層を備えている請求項2に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to claim 2, wherein the organic EL light emitting element includes a reflective layer made of a metal material disposed on a surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer. 前記有機EL発光素子は、前記透明導電膜の前記有機EL層とは反対側の面に配置された、前記透明導電膜の屈折率よりも低い屈折率をもつ低屈折率材料層を備えている請求項2に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device includes a low refractive index material layer having a refractive index lower than that of the transparent conductive film, disposed on a surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer. The organic EL light-emitting device according to claim 2. 前記有機EL発光素子は、前記低屈折率材料層の前記透明導電膜とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射層を備えている請求項4に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to claim 4, wherein the organic EL light emitting element includes a reflective layer made of a metal material disposed on a surface of the low refractive index material layer opposite to the transparent conductive film. 前記有機EL発光素子は、前記反射膜の前記有機EL層とは反対側の面に配置された金属材料からなる反射部材を備えている請求項1から5のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。   6. The organic EL device according to claim 1, wherein the organic EL light-emitting element includes a reflective member made of a metal material disposed on a surface of the reflective film opposite to the organic EL layer. Light emitting device. 前記有機EL発光素子は、前記光出射部の面に配置された、前記光出射部から出射される光の取り出し効率を向上させるための屈折率分布構造体を備えている請求項1から6のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。   7. The organic EL light emitting device includes a refractive index distribution structure disposed on a surface of the light emitting portion for improving the extraction efficiency of light emitted from the light emitting portion. The organic EL light-emitting device according to any one of the above. 前記光出射部に対向する位置に、前記光出射部から出射された光の進行方向を変更するための光学体をさらに備えている請求項1から7のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to any one of claims 1 to 7, further comprising an optical body for changing a traveling direction of light emitted from the light emitting unit at a position facing the light emitting unit. device. 前記光学体の前記光出射部に対向する面は、平面、球面、自由曲面のいずれかである請求項8に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to claim 8, wherein a surface of the optical body that faces the light emitting portion is any one of a flat surface, a spherical surface, and a free-form surface. 前記光学体は、前記光出射部から出射された光を集光させる機能を有する請求項8又は9に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light-emitting device according to claim 8 or 9, wherein the optical body has a function of condensing light emitted from the light emitting portion. 前記光学体は、前記光出射部に対向する面に、全反射する構造体又は反射ミラーを備えている請求項8から10のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。   11. The organic EL light-emitting device according to claim 8, wherein the optical body includes a totally reflecting structure or a reflecting mirror on a surface facing the light emitting portion. 前記陽極、前記有機EL層及び前記陰極の積層体は環状形状に配置されており、
前記反射膜は前記環状形状の外周側面に配置され、
前記光出射部は前記環状形状の内周側面に配置され、
前記環状形状の内側に1つ又は複数の前記光学体が配置されている請求項8から11のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。
The laminate of the anode, the organic EL layer, and the cathode is arranged in an annular shape,
The reflective film is disposed on the outer peripheral side surface of the annular shape,
The light emitting portion is disposed on the inner peripheral side surface of the annular shape,
The organic EL light-emitting device according to claim 8, wherein one or a plurality of the optical bodies are disposed inside the annular shape.
同一領域に向けて前記光出射部から光を出射する複数の前記有機EL発光素子と、
前記同一領域に配置された1つ又は複数の前記光学体と、を備えている請求項8から11のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。
A plurality of the organic EL light emitting elements that emit light from the light emitting portion toward the same region;
The organic EL light-emitting device according to claim 8, further comprising one or a plurality of the optical bodies arranged in the same region.
前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略同一方向に変更する請求項12又は13に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to claim 12, wherein the optical body changes a traveling direction of light emitted from the organic EL light emitting element to substantially the same direction. 前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を複数の方向に分割する請求項12又は13に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light emitting device according to claim 12 or 13, wherein the optical body divides a traveling direction of light emitted from the organic EL light emitting element into a plurality of directions. 前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更する請求項12又は13に記載の有機EL発光デバイス。   The organic EL light-emitting device according to claim 12 or 13, wherein the optical body changes a traveling direction of light emitted from the organic EL light-emitting element into a substantially inverted conical shape. 複数の前記有機EL発光素子を備え、
それらの有機EL発光素子の前記光出射部は二次元又は三次元にアレイ状に配列されている請求項1から11のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイス。
A plurality of the organic EL light emitting elements,
The organic light emitting device according to any one of claims 1 to 11, wherein the light emitting portions of the organic EL light emitting elements are arranged in an array in two dimensions or three dimensions.
請求項1に記載された有機EL発光デバイスの製造方法であって、
前記陽極、前記有機EL層、前記陰極を形成した後、前記有機EL層の側面に前記反射膜及び前記光出射部を形成して前記有機EL発光素子を形成する有機EL発光デバイスの製造方法。
A method for producing an organic EL light-emitting device according to claim 1,
A method of manufacturing an organic EL light emitting device, wherein after forming the anode, the organic EL layer, and the cathode, the reflective film and the light emitting portion are formed on a side surface of the organic EL layer to form the organic EL light emitting element.
前記陽極及び前記陰極のうち少なくとも一方を透明導電膜で形成し、
前記反射膜を、前記有機EL層と前記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて前記積層体の側面に配置し、
前記光出射部を前記反射膜が配置されていない前記積層体の側面部分で形成する請求項18に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。
At least one of the anode and the cathode is formed of a transparent conductive film,
The reflective film is disposed on a side surface of the multilayer body excluding a partial region of a side surface of the multilayer body of the organic EL layer and the transparent conductive film,
The method for manufacturing an organic EL light-emitting device according to claim 18, wherein the light emitting portion is formed by a side surface portion of the stacked body on which the reflective film is not disposed.
請求項1に記載された有機EL発光デバイスの製造方法であって、
前記光出射部の形成予定位置に開口をもつ枠状の前記反射膜を形成した後、前記反射膜で囲まれた領域内に前記有機EL層を形成して前記光出射部をもつ前記有機EL発光素子を形成する有機EL発光デバイスの製造方法。
A method for producing an organic EL light-emitting device according to claim 1,
After forming the frame-shaped reflective film having an opening at a position where the light emitting part is to be formed, the organic EL layer is formed in a region surrounded by the reflective film, and the organic EL having the light emitting part The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting device which forms a light emitting element.
前記陽極及び前記陰極のうち少なくとも一方を透明導電膜で形成し、
前記透明導電膜を前記反射膜で囲まれた領域内に形成して、前記反射膜を前記有機EL層と前記透明導電膜の積層体の側面の一部分の領域を除いて前記積層体の側面に配置し、
前記光出射部を前記反射膜が配置されていない前記積層体の側面部分で形成する請求項20に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。
At least one of the anode and the cathode is formed of a transparent conductive film,
The transparent conductive film is formed in a region surrounded by the reflective film, and the reflective film is formed on a side surface of the stacked body except for a partial region of a side surface of the stacked body of the organic EL layer and the transparent conductive film. Place and
21. The method of manufacturing an organic EL light emitting device according to claim 20, wherein the light emitting portion is formed by a side surface portion of the stacked body on which the reflective film is not disposed.
前記透明導電膜の前記有機EL層とは反対側の面に金属材料からなる反射層を配置するための工程を含む請求項19又は21に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method for producing an organic EL light-emitting device according to claim 19 or 21, further comprising a step of disposing a reflective layer made of a metal material on a surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer. 前記透明導電膜の前記有機EL層とは反対側の面に前記透明導電膜の屈折率よりも低い屈折率をもつ低屈折率材料層を配置するための工程を含む請求項19又は21に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method for disposing a low refractive index material layer having a refractive index lower than a refractive index of the transparent conductive film on a surface of the transparent conductive film opposite to the organic EL layer. Manufacturing method of organic EL light-emitting device. 前記低屈折率材料層の前記透明導電膜とは反対側の面に金属材料からなる反射層を配置するための工程を含む請求項23に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   24. The method of manufacturing an organic EL light emitting device according to claim 23, further comprising a step of disposing a reflective layer made of a metal material on a surface of the low refractive index material layer opposite to the transparent conductive film. 前記反射膜の前記有機EL層とは反対側の面に金属材料からなる反射部材を配置するための工程を含む請求項18から24のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method for manufacturing an organic EL light-emitting device according to any one of claims 18 to 24, further comprising a step of disposing a reflective member made of a metal material on a surface of the reflective film opposite to the organic EL layer. 前記有機EL発光素子は、前記光出射部の面に、前記光出射部から出射される光の取り出し効率を向上させるための屈折率分布構造体を形成するための工程を含む請求項18から25のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   26. The organic EL light emitting device includes a step for forming a refractive index distribution structure for improving extraction efficiency of light emitted from the light emitting part on a surface of the light emitting part. The manufacturing method of the organic electroluminescent light emitting device as described in any one of these. 前記光出射部に対向する位置に、前記光出射部から出射された光の進行方向を変更するための光学体を配置するための工程を含む請求項18から26のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   27. The method according to any one of claims 18 to 26, further comprising a step for arranging an optical body for changing a traveling direction of the light emitted from the light emitting unit at a position facing the light emitting unit. Manufacturing method of organic electroluminescent light emitting device. 前記光学体の前記光出射部に対向する面は、平面、球面、自由曲面のいずれかである請求項27に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   28. The method of manufacturing an organic EL light-emitting device according to claim 27, wherein a surface of the optical body that faces the light emitting portion is any one of a flat surface, a spherical surface, and a free-form surface. 前記光学体は、前記光出射部から出射された光を集光させる機能を有する請求項27又は28に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   29. The method of manufacturing an organic EL light emitting device according to claim 27 or 28, wherein the optical body has a function of condensing light emitted from the light emitting portion. 前記光学体は、前記光出射部に対向する面に、全反射する構造体又は反射ミラーを備えている請求項27から29のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   30. The method of manufacturing an organic EL light-emitting device according to claim 27, wherein the optical body includes a structure or a reflective mirror that totally reflects on a surface facing the light emitting portion. 前記陽極、前記有機EL層及び前記陰極の積層体を環状形状に配置され、
前記反射膜は前記環状形状の外周側面に配置され、
前記光出射部は前記環状形状の内周側面に配置され、
前記環状形状の内側に1つ又は複数の前記光学体が配置される請求項27から30のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。
A laminate of the anode, the organic EL layer and the cathode is arranged in an annular shape,
The reflective film is disposed on the outer peripheral side surface of the annular shape,
The light emitting portion is disposed on the inner peripheral side surface of the annular shape,
The method for manufacturing an organic EL light-emitting device according to any one of claims 27 to 30, wherein one or a plurality of the optical bodies are arranged inside the annular shape.
同一領域に向けて前記光出射部から光を出射する複数の前記有機EL発光素子と、
前記同一領域に配置された1つ又は複数の前記光学体と、を配置する請求項27から30のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。
A plurality of the organic EL light emitting elements that emit light from the light emitting portion toward the same region;
The method for manufacturing an organic EL light emitting device according to any one of claims 27 to 30, wherein one or a plurality of the optical bodies arranged in the same region are arranged.
前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略同一方向に変更するものである請求項31又は32に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method of manufacturing an organic EL light-emitting device according to claim 31 or 32, wherein the optical body changes a traveling direction of light emitted from the organic EL light-emitting element to substantially the same direction. 前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を複数の方向に分割するものである請求項31又は32に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method of manufacturing an organic EL light-emitting device according to claim 31 or 32, wherein the optical body divides a traveling direction of light emitted from the organic EL light-emitting element into a plurality of directions. 前記光学体は、前記有機EL発光素子から出射された光の進行方向を略逆円錐形状に変更するものである請求項31又は32に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。   The method of manufacturing an organic EL light emitting device according to claim 31 or 32, wherein the optical body changes a traveling direction of light emitted from the organic EL light emitting element into a substantially inverted conical shape. 複数の前記有機EL発光素子が配置され、
それらの有機EL発光素子の前記光出射部は二次元又は三次元にアレイ状に配列される請求項18から30のいずれか一項に記載の有機EL発光デバイスの製造方法。
A plurality of the organic EL light emitting elements are arranged,
The method for manufacturing an organic EL light emitting device according to any one of claims 18 to 30, wherein the light emitting portions of the organic EL light emitting elements are arranged in an array form two-dimensionally or three-dimensionally.
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