JP2014134771A - Optical film, image display unit, exposure member, and exposure mask holding member - Google Patents

Optical film, image display unit, exposure member, and exposure mask holding member Download PDF

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JP2014134771A JP2013241982A JP2013241982A JP2014134771A JP 2014134771 A JP2014134771 A JP 2014134771A JP 2013241982 A JP2013241982 A JP 2013241982A JP 2013241982 A JP2013241982 A JP 2013241982A JP 2014134771 A JP2014134771 A JP 2014134771A
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Akira Narizumi
顕 成住
Norihiko Omura
徳彦 大村
Takeshi Nakamura
中村  剛
Masaya Tsukazaki
雅也 塚崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical film capable of reducing streaks caused by exposure range deviation.SOLUTION: An optical film includes: a transparent film base material 1; an optical alignment layer 2 formed on the transparent film base material 1; and a retardation layer 3 formed on the optical alignment layer 2 and aligned by alignment regulatory force of the optical alignment layer 2. The optical alignment layer 2 has an alignment region A and a region B with different alignment directions. A width of the border between the region A and the region B is 4.7-8.0 μm. A deviation σ of the width is 0.7 μm or smaller.

Description

本発明は、パターン位相差フィルム、画像表示装置、露光用部材、露光マスクの保持部材に関する。   The present invention relates to a pattern retardation film, an image display device, an exposure member, and an exposure mask holding member.

近年、3次元表示可能なフラットパネルディスプレイが提供されている。ここでフラットパネルディスプレイにおいて3次元表示をするには、通常、何らかの方式で右目用の画像と、左目用の画像とを、それぞれ選択的に視聴者の右目及び左目に提供することが必要である。右目用の画像と左目用の画像とを選択的に提供する方法としては、例えば、パッシブ方式が知られている。このパッシブ方式の3次元表示方式について図を参照しながら説明する。   In recent years, flat panel displays capable of three-dimensional display have been provided. Here, in order to perform three-dimensional display on a flat panel display, it is usually necessary to selectively provide a right-eye image and a left-eye image to the viewer's right eye and left eye in some manner. . As a method for selectively providing a right-eye image and a left-eye image, for example, a passive method is known. This passive three-dimensional display method will be described with reference to the drawings.

図7は、液晶表示パネルを使用したパッシブ方式の3次元表示の一例を示す概略図である。この図7の例では、液晶表示パネルの垂直方向に連続する画素を、順次交互に、右目用の画像を表示する右目用画素、左目用の画像を表示する左目用画素に振り分け、それぞれ右目用及び左目用の画像データで駆動し、これにより右目用の画像と左目用の画像とを同時に表示する。なおこれにより液晶表示パネルの画面は、例えば短辺が垂直方向で長辺が水平方向となる帯状の領域により、右目用の画像を表示する領域と左目用の画像を表示する領域とに交互に区分される。   FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of a passive three-dimensional display using a liquid crystal display panel. In the example of FIG. 7, pixels that are consecutive in the vertical direction of the liquid crystal display panel are sequentially and alternately assigned to a right-eye pixel that displays a right-eye image and a left-eye pixel that displays a left-eye image. And driving with the image data for the left eye, thereby displaying the image for the right eye and the image for the left eye simultaneously. As a result, the screen of the liquid crystal display panel is alternately switched into a region for displaying an image for the right eye and a region for displaying an image for the left eye, for example, by a band-shaped region in which the short side is vertical and the long side is horizontal. It is divided.

さらにパッシブ方式では、液晶表示パネルのパネル面にパターン位相差フィルムを配置し、右目用及び左目用の画素からの直線偏光による出射光を、右目用及び左目用で回転方向の異なる円偏光に変換する。このためパターン位相差フィルムは、液晶表示パネルにおける領域の設定に対応して、遅相軸方向(屈折率が最大となる方向)が直交する2種類の帯状領域が順次交互に形成される。これによりパッシブ方式では、対応する偏光フィルタを備えてなる眼鏡を装着して、右目用の画像と左目用の画像とをそれぞれ選択的に視聴者の右目及び左目に提供する。なお、ここでこの隣接する帯状領域の遅相軸方向は、通常、水平方向に対して、+45度と−45度の組み合わせ、又は0度と+90度の組み合わせが採用される。なおこの図7の例では、通常の画像表示装置における呼称に習って画面の長辺方向を水平方向として示す。   Furthermore, in the passive method, a pattern retardation film is placed on the panel surface of the liquid crystal display panel, and light emitted from the linearly polarized light from the right-eye and left-eye pixels is converted into circularly polarized light with different rotation directions for the right-eye and left-eye. To do. Therefore, in the pattern retardation film, two types of band-like regions in which the slow axis direction (direction in which the refractive index is maximum) are orthogonal to each other are sequentially formed corresponding to the setting of the region in the liquid crystal display panel. Thus, in the passive method, glasses equipped with corresponding polarizing filters are worn, and a right-eye image and a left-eye image are selectively provided to the viewer's right eye and left eye, respectively. Here, as the slow axis direction of the adjacent strip region, a combination of +45 degrees and −45 degrees or a combination of 0 degrees and +90 degrees with respect to the horizontal direction is usually employed. In the example of FIG. 7, the long side direction of the screen is shown as the horizontal direction in accordance with the name in the normal image display apparatus.

このパッシブ方式は、応答速度の遅い液晶表示装置でも適用することができ、さらにパターン位相差フィルムと円偏光メガネとを用いた簡易な構成で3次元表示することができる。   This passive method can also be applied to a liquid crystal display device with a slow response speed, and can also display three-dimensionally with a simple configuration using a pattern retardation film and circularly polarized glasses.

このパッシブ方式に係るパターン位相差フィルムは、画素の割り当てに対応して透過光に位相差を与えるパターン状の位相差層が必要である。このパターン位相差フィルムに関して、特許文献1には、配向規制力を制御した光配向層をガラス基板上に形成し、この光配向層により液晶の配列をパターンニングして位相差層を作成する方法が開示されている。また特許文献2には、全面を露光処理した後、露光マスクを使用して露光処理することにより光配向層を作製し、この光配向層の配向規制力により液晶層を配向させて硬化させることにより、パターン位相差フィルムを作製する方法が開示されている。   The pattern phase difference film according to this passive method requires a pattern-like phase difference layer that gives a phase difference to transmitted light corresponding to the allocation of pixels. With respect to this pattern retardation film, Patent Document 1 discloses a method of forming a retardation layer by forming a photo-alignment layer on a glass substrate with controlled alignment regulating force and patterning the alignment of liquid crystals with this photo-alignment layer. Is disclosed. Further, in Patent Document 2, a photo-alignment layer is prepared by exposing the entire surface and then exposing using an exposure mask, and aligning and curing the liquid crystal layer by the alignment regulating force of the photo-alignment layer. Discloses a method for producing a patterned retardation film.

このパターン位相差フィルムにおいて、光配向層は、対応する配向規制力を備えた領域であって、右目用の画像を視聴者の右目に与える領域(以下、「領域A」と記す)と、領域Aとは異なる方向に配向した領域であって、左目用の画像を視聴者の左目に与える領域(以下、「領域B」と記す)とを順次交互に密接して作製することが必要になる。これら領域A及び領域Bは、複数のスリットを有する露光マスクを介して光配向層材料に活性エネルギー線の1つである紫外線を照射し、露光を行うことによって形成される。   In this pattern retardation film, the photo-alignment layer is a region having a corresponding alignment regulating force, a region that gives an image for the right eye to the right eye of the viewer (hereinafter referred to as “region A”), a region A region oriented in a direction different from A and giving a left-eye image to the viewer's left eye (hereinafter, referred to as “region B”) needs to be alternately and closely formed. . These regions A and B are formed by irradiating the photo-alignment layer material with ultraviolet rays, which is one of active energy rays, through an exposure mask having a plurality of slits.

図8、図9は、この領域Aと領域Bとを形成するために行われる露光を説明するための図である。図8は、露光に使用される紫外線の光源71を示し、図9は、露光中の光源71、露光マスク72、透明フィルム基材74、ロール73の位置関係を模式的に示している。露光工程では、ロール73により光配向膜材料を塗布した透明フィルム基材74(トリアセテートセルロース(TAC)、アクリル等)を搬送しながら、ロール73に対向するように配置された露光マスク72を介して光源71より紫外線を照射する。なお光源71は、露光処理に必要な紫外線の光量を確保するために、それぞれ紫外線照射ランプを備えた光源ユニット71aが複数設けられ、この図8の例ではこの複数の光源ユニット71aが水平方向に2列の千鳥配置により設けられる。   FIG. 8 and FIG. 9 are diagrams for explaining the exposure performed to form the region A and the region B. FIG. FIG. 8 shows an ultraviolet light source 71 used for exposure, and FIG. 9 schematically shows a positional relationship among the light source 71, the exposure mask 72, the transparent film substrate 74, and the roll 73 during exposure. In the exposure process, the transparent film substrate 74 (triacetate cellulose (TAC), acrylic, etc.) coated with the photo-alignment film material by the roll 73 is conveyed through an exposure mask 72 arranged to face the roll 73. Ultraviolet rays are emitted from the light source 71. The light source 71 is provided with a plurality of light source units 71a each provided with an ultraviolet irradiation lamp in order to secure the amount of ultraviolet light necessary for the exposure processing. In the example of FIG. 8, the plurality of light source units 71a are arranged in the horizontal direction. Provided in a two-row staggered arrangement.

特開2005−49865号公報JP 2005-49865 A 特開2012−42530号公報JP 2012-42530 A

ところで図8に示すように、この種の露光装置では、光源ユニットから照射された光線がコリメーション角を持っており、複数の光源ユニットからの光線が照射されるスリットではそれぞれの光線のコリメーション角により、スリットを通過する光線が透明フィルム基材74上の光配向材料膜に照射される範囲(露光範囲)が、各光源ユニットでずれることになる。   As shown in FIG. 8, in this type of exposure apparatus, the light beam emitted from the light source unit has a collimation angle, and in the slit irradiated with the light beam from a plurality of light source units, the collimation angles of the respective light beams are used. The range (exposure range) in which the light alignment material film on the transparent film substrate 74 is irradiated with the light beam passing through the slit is shifted in each light source unit.

図10は、この露光範囲の位置ずれの説明に供する図である。図10中に示したΔ2は、光源ユニット71aが横方向(図9中に示したTD方向)に複数列配置されていることによって生じたズレである。また、図10中に示したΔ1は、光源ユニット71aが縦方向(図9中に示したTD方向と直交するMD方向)に複数列配置されていることによって生じたズレである。   FIG. 10 is a diagram for explaining the positional deviation of the exposure range. Δ2 shown in FIG. 10 is a deviation caused by a plurality of rows of light source units 71a arranged in the horizontal direction (TD direction shown in FIG. 9). Further, Δ1 shown in FIG. 10 is a shift caused by arranging a plurality of light source units 71a in the vertical direction (MD direction orthogonal to the TD direction shown in FIG. 9).

パターン位相差フィルムによる画像表示装置では、領域A及びBの延長方向である水平方向に延長するスジが見て取られる場合がある。より具体的に、このスジは、スジの延長方向と直交する方向である垂直方向に、表示画面の輝度レベルが徐々に変化する濃淡により観察され、これにより水平方向に延長するスジにより観察される。種々に検討した結果、このスジは、上述した露光範囲のずれが、領域A及びBの繰り返し方向で変化することにより、領域A及びBの境界の幅が領域A及びBの繰り返し方向で変化して発生することが判った。なおこのような領域A及びBの境界は、配向層が十分な光量により露光されていない領域であり、配向層が十分に配向規制力を備えていない領域であることにより、液晶層(位相差層)は未配向の領域となる。   In the image display device using the pattern retardation film, a stripe extending in the horizontal direction, which is the extending direction of the regions A and B, may be observed. More specifically, this streak is observed by a gradation in which the luminance level of the display screen gradually changes in the vertical direction, which is a direction orthogonal to the extension direction of the streak, and is thereby observed by a streak extending in the horizontal direction. . As a result of various investigations, this streak is caused by the above-described shift in the exposure range changing in the repeating direction of the regions A and B, so that the boundary width of the regions A and B changes in the repeating direction of the regions A and B. Was found to occur. Note that the boundary between such regions A and B is a region where the alignment layer is not exposed with a sufficient amount of light, and the alignment layer is a region where the alignment regulating force is not sufficiently provided. Layer) is an unoriented region.

図10に示した露光範囲の位置ズレは、露光マスク72とロール73とを近接させることによって低減することができる。従ってこのようにすれば、露光範囲のずれによるスジの発生も低減できると考えられる。しかしながら、紫外線露光の工程では、露光の過程で露光マスク72を保持する保持部材が過熱されて撓み、露光マスク72とロール73との距離を一定に保つことができないことが知られている。このため、現状では、露光マスク72とロール73との距離が規制されてしまい、このような露光範囲のずれにより発生するスジを十分に抑圧することができなかった。   The positional deviation of the exposure range shown in FIG. 10 can be reduced by bringing the exposure mask 72 and the roll 73 close to each other. Therefore, it can be considered that the occurrence of streaks due to the deviation of the exposure range can be reduced in this way. However, it is known that in the ultraviolet exposure process, the holding member that holds the exposure mask 72 is heated and bent during the exposure process, and the distance between the exposure mask 72 and the roll 73 cannot be kept constant. For this reason, at present, the distance between the exposure mask 72 and the roll 73 is restricted, and streaks caused by such a shift in the exposure range cannot be sufficiently suppressed.

本発明は、上記の点に鑑みて行われたものであって、露光範囲のずれにより発生するスジを低減することができる光学フィルム、光学フィルムを備える画像表示装置、光学フィルムの作成に用いられる露光用部材、露光マスクの保持部材を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and is used for the production of an optical film capable of reducing streaks caused by a shift in an exposure range, an image display device including the optical film, and an optical film. It is an object of the present invention to provide an exposure member and an exposure mask holding member.

本発明の発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、光配向層を形成するための露光マスクの撓みを抑制する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。   The inventors of the present invention have made extensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and have come to the idea of suppressing the deflection of the exposure mask for forming the photo-alignment layer, thereby completing the present invention. .

(1) フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、
第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記第1領域と前記第2領域との境界の幅が4.7μm以上、8.0μm以下であって、かつ、前記幅の偏差σが、0.7μm以下であることを特徴とする光学フィルム。
(1)によれば、第1領域と第2領域との境界幅の変化により発生するスジを抑圧してなる光学フィルムを提供することができる。
(2) (1)に記載の光学フィルムを画像表示パネルの表面に配置したことを特徴とする
画像表示装置。
(2)によれば、第1領域と第2領域との境界幅の変化により発生するスジを抑圧してなる光学フィルムを備えた画像表示装置を提供することができる。
(3) 光学フィルムの生産に使用される露光用部材であって、
前記光学フィルムは、
フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記露光用部材は、
前記活性エネルギー線の照射に供する露光マスクと、当該露光マスクを保持するための露光マスクの保持部材と、を含み、
前記保持部材は、
前記露光マスクを固定する枠体であり、
前記露光マスクを固定した状態の前記枠体を65℃、120分で加熱した場合、当該加熱の前と後とにおいて、前記フィルム基材と前記露光マスクの前記フィルム基材と対向する側の面との距離の最小値と最大値との差で表される反り量の変化を、40μm以内に保持することを特徴とする露光用部材。
(3)によれば、露光工程における露光マスクの反り量の変化を小さくし、露光マスク表面とフィルム基材表面との距離を一定に保つことができる。その結果、この距離を小さくして露光範囲のずれを小さくすることができ、その結果、第1領域と第2領域との境界幅の変化を小さくし、この境界幅の変化により発生するスジを低減することができる。またこのように距離を小さくすることによりスリット端部の光散乱を抑止でき、これによっても第1領域と第2領域との境界幅の変化を小さくし、この境界幅の変化により発生するスジを低減することができる。
(4) 光学フィルムの生産に使用される露光マスクの保持部材であって、
前記光学フィルムは、
フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記露光マスクは、
前記活性エネルギー線の照射に供する露光マスクであり、
前記保持部材は、
前記露光マスクを固定する枠体であり、
前記露光マスクを固定した状態の前記枠体を65℃、120分で加熱した場合、当該加熱の前と後とにおいて、前記フィルム基材と前記露光マスクの前記フィルム基材と対向する側の面との距離の最小値と最大値との差で表される反り量の変化を、40μm以内に保持することを特徴とする露光マスクの保持部材。
(4)によれば、露光工程における露光マスクの反り量の変化を小さくし、露光マスク表面とフィルム基材表面との距離を一定に保つことができる。その結果、露光マスクをフィルム基材に十分近づけて露光することができ、露光範囲のずれを小さくすることができ、1領域と第2領域との境界幅の変化を小さくし、この境界幅の変化により発生するスジを低減することができる。またこのように露光マスクをフィルム基材に充分に近づけて露光することによりスリット端部の光散乱を抑止でき、これによっても第1領域と第2領域との境界幅の変化を小さくし、この境界幅の変化により発生するスジを低減することができる。
(5) 前記枠体は、線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃以下の材料により作製されたことを特徴とする(4)に記載の露光マスクの保持部材。
(5)によれば、枠体の材料を線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃以下の材料とすることによって露光工程における露光マスクの反り量の変化を小さくし、露光マスク表面とフィルム基材表面との距離を一定に保つことができる。
(6) 前記枠体の材料が、グラナイト、インバー、スーパーインバー、コバルト、石英ガラス、セラミック、超低熱膨張鋳鉄の何れかであることを特徴とする(5)に記載の露光マスクの保持部材。
(6)によれば、枠体の材料が、マイクログラナイト、インバー、スーパーインバー、コバルト、石英ガラス、セラミック、超低熱膨張鋳鉄の何れかであることによって露光工程における露光マスクの反り量の変化を小さくし、露光マスク表面とフィルム基材表面との距離を一定に保つことができる。
(1) a film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer is
A first region formed by irradiation with active energy rays linearly polarized in the first polarization direction; and formed by irradiation with active energy rays linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region, and the first region and the second region have a band-like shape in plan view, and are alternately arranged.
The optical film, wherein a width of a boundary between the first region and the second region is 4.7 μm or more and 8.0 μm or less, and a deviation σ of the width is 0.7 μm or less. .
According to (1), it is possible to provide an optical film that suppresses streaks generated by a change in the boundary width between the first region and the second region.
(2) An image display device comprising the optical film according to (1) disposed on a surface of an image display panel.
According to (2), it is possible to provide an image display device including an optical film that suppresses streaks generated by a change in the boundary width between the first region and the second region.
(3) An exposure member used for production of an optical film,
The optical film is
A film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer includes a first region formed by irradiation of active energy rays linearly polarized in a first polarization direction, and an active energy linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region formed by irradiation of a line, and the first region and the second region have a belt-like shape in plan view, and are alternately arranged.
The exposure member is:
An exposure mask used for irradiation with the active energy ray, and an exposure mask holding member for holding the exposure mask,
The holding member is
A frame for fixing the exposure mask;
When the frame with the exposure mask fixed is heated at 65 ° C. for 120 minutes, the surface of the film base and the side of the exposure mask facing the film base before and after the heating An exposure member characterized in that a change in the amount of warpage represented by the difference between the minimum value and the maximum value of the distance between the two is kept within 40 μm.
According to (3), the change in the amount of warp of the exposure mask in the exposure process can be reduced, and the distance between the exposure mask surface and the film substrate surface can be kept constant. As a result, the distance can be reduced to reduce the deviation of the exposure range. As a result, the change in the boundary width between the first area and the second area is reduced, and the streak caused by the change in the boundary width is reduced. Can be reduced. In addition, by reducing the distance in this way, light scattering at the slit end can be suppressed, which also reduces the change in the boundary width between the first region and the second region, and reduces the streak generated by the change in the boundary width. Can be reduced.
(4) An exposure mask holding member used for production of an optical film,
The optical film is
A film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer includes a first region formed by irradiation of active energy rays linearly polarized in a first polarization direction, and an active energy linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region formed by irradiation of a line, and the first region and the second region have a belt-like shape in plan view, and are alternately arranged.
The exposure mask is
An exposure mask for irradiation with the active energy ray,
The holding member is
A frame for fixing the exposure mask;
When the frame with the exposure mask fixed is heated at 65 ° C. for 120 minutes, the surface of the film base and the side of the exposure mask facing the film base before and after the heating A holding member for an exposure mask, characterized in that a change in the amount of warpage represented by a difference between a minimum value and a maximum value of the distance to the distance is held within 40 μm.
According to (4), the change in the amount of warp of the exposure mask in the exposure process can be reduced, and the distance between the exposure mask surface and the film substrate surface can be kept constant. As a result, the exposure mask can be exposed sufficiently close to the film substrate, the deviation of the exposure range can be reduced, the change in the boundary width between the first area and the second area can be reduced, and this boundary width can be reduced. It is possible to reduce the streak caused by the change. In addition, by exposing the exposure mask sufficiently close to the film substrate in this way, light scattering at the slit end can be suppressed, and this also reduces the change in the boundary width between the first region and the second region. It is possible to reduce streaks caused by changes in the boundary width.
(5) The exposure mask holding member according to (4), wherein the frame is made of a material having a linear expansion coefficient of 0 to 12.4 × 10 −6 / ° C. or less.
According to (5), the change in the amount of curvature of the exposure mask in the exposure process is reduced by using a material of the frame body having a linear expansion coefficient of 0 to 12.4 × 10 −6 / ° C. or less, and the exposure mask The distance between the surface and the film substrate surface can be kept constant.
(6) The exposure mask holding member according to (5), wherein the material of the frame is any one of granite, invar, super invar, cobalt, quartz glass, ceramic, and ultra-low thermal expansion cast iron.
According to (6), the change in the amount of warpage of the exposure mask in the exposure process can be achieved by the fact that the material of the frame is any one of microgranite, invar, superinvar, cobalt, quartz glass, ceramic, and ultra-low thermal expansion cast iron. The distance between the exposure mask surface and the film substrate surface can be kept constant.

本発明は、露光範囲のずれにより発生するスジを低減することができる光学フィルム、光学フィルムを備える画像表示装置、光学フィルムの作成に用いられる露光マスクの保持部材、露光マスクを提供することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can provide an optical film that can reduce streaks caused by deviations in the exposure range, an image display device that includes the optical film, an exposure mask holding member that is used to create the optical film, and an exposure mask. .

本発明の第1実施形態の光学フィルムによって形成されたパターン位相差フィルムを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the pattern phase difference film formed with the optical film of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態のパターン位相差フィルムの製造工程を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the manufacturing process of the pattern phase difference film of 1st Embodiment of this invention. 図2に示したフローチャートに示したステップS202の工程を説明するための模式的な図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the process of step S202 shown in the flowchart shown in FIG. 図3に示した露光マスクを保持するための保持部材を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the holding member for hold | maintaining the exposure mask shown in FIG. 第1実施形態の効果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the effect of 1st Embodiment. 図4に示したマイクログラナイト製の保持部材で露光マスクを保持して露光した場合の境界幅を示した図である。It is the figure which showed the boundary width at the time of holding and exposing an exposure mask with the holding member made from a microgranite shown in FIG. 液晶表示パネルを使用したパッシブ方式の3次元表示の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the three-dimensional display of a passive system using a liquid crystal display panel. 領域Aと領域Bとを形成するために行われる露光を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the exposure performed in order to form the area | region A and the area | region B. FIG. 配向層を形成するための露光に使用される光源を示した図である。It is the figure which showed the light source used for the exposure for forming an alignment layer. 露光の位置ずれの説明に供する図である。It is a figure where it uses for description of the position shift of exposure.

以下、本発明の第1実施形態ないし第3実施形態を説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態の光学フィルムとして形成されたパターン位相差フィルム10を説明するための図である。図1において、画像表示装置100は、パターン位相差フィルム10が液晶表示パネル11のパネル面(視聴者側面)に図示しない粘着剤により貼り付けて保持される。
Hereinafter, the first to third embodiments of the present invention will be described.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram for explaining a patterned retardation film 10 formed as an optical film according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the image display device 100 is held by attaching a pattern retardation film 10 to a panel surface (viewer side surface) of a liquid crystal display panel 11 with an adhesive (not shown).

画像表示装置100は、垂直方向(図1においては左右方向が対応する方向である)に連続する液晶表示パネル11の画素が、順次交互に、右目用の画像を表示する右目用画素、左目用の画像を表示する左目用画素に振り分けられて、それぞれ右目用及び左目用の画像データで駆動される。これにより画像表示装置は、右目用の画像を表示する帯状の領域と、左目用の画像を表示する帯状の領域とに表示画面が交互に区分され、右目用の画像と左目用の画像とを同時に表示する。画像表示装置100は、液晶表示パネル11のパネル面に、パターン位相差フィルム10が配置され、パターン位相差フィルム10により右目用及び左目用の画素からの出射光にそれぞれ対応する位相差を与える。これにより画像表示装置100は、パッシブ方式により所望の立体画像を表示する。   In the image display device 100, the pixels of the liquid crystal display panel 11 that are continuous in the vertical direction (the left and right directions are the corresponding directions in FIG. 1) are alternately displayed. Are distributed to the left-eye pixels for displaying the image, and are driven by the right-eye image data and the left-eye image data, respectively. As a result, the image display device alternately divides the display screen into a band-like region for displaying an image for the right eye and a band-like region for displaying an image for the left eye, so that the image for the right eye and the image for the left eye are divided. Display at the same time. In the image display device 100, the pattern phase difference film 10 is disposed on the panel surface of the liquid crystal display panel 11, and the pattern phase difference film 10 gives a phase difference corresponding to light emitted from the right eye pixel and the left eye pixel, respectively. Thereby, the image display apparatus 100 displays a desired stereoscopic image by a passive method.

ここで、パターン位相差フィルム10は、TAC(トリアセチルセルロース)、アクリル等の透明フィルムからなる透明フィルム基材1の一方の面上に、光配向層2、位相差層3、粘着剤層(図示せず)が順次作成され、この粘着剤等により画像表示パネルのパネル面に保持される。パターン位相差フィルム10は、屈折率異方性を保持した状態で固化(硬化)された液晶材料により位相差層3が形成され、この液晶材料の配向を光配向層2の配向規制力によりパターンニングする。なお、この液晶分子の配向を図1では細長い楕円により誇張して示す。この配向層2の配向規制力によるパターンニングにより、パターン位相差フィルム10は、液晶表示パネルにおける画素の割り当てに対応して、一定の幅により、右目用の領域Aと左目用の領域Bとが順次交互に帯状に形成され、右目用及び左目用の画素からの出射光にそれぞれ対応する位相差を与える。   Here, the pattern retardation film 10 has a photo-alignment layer 2, a retardation layer 3, and an adhesive layer (on the one surface of a transparent film substrate 1 made of a transparent film such as TAC (triacetyl cellulose) and acrylic. (Not shown) are sequentially formed and held on the panel surface of the image display panel by this adhesive or the like. In the pattern retardation film 10, the retardation layer 3 is formed of a liquid crystal material that is solidified (cured) while maintaining the refractive index anisotropy, and the alignment of the liquid crystal material is patterned by the alignment regulating force of the photo-alignment layer 2. Ning. In FIG. 1, the orientation of the liquid crystal molecules is exaggerated by an elongated ellipse. By patterning by the alignment regulating force of the alignment layer 2, the pattern retardation film 10 has a right width region A and a left eye region B with a certain width corresponding to the pixel assignment in the liquid crystal display panel. It is formed in a strip shape alternately and sequentially, and gives a phase difference corresponding to light emitted from the right-eye and left-eye pixels.

パターン位相差フィルム10は、光配向材料により光配向材料膜が作成された後、いわゆる光配向の手法により、この光配向材料膜に直線偏光による紫外線を照射して光配向層2が形成される。ここでこの光配向材料膜に照射する紫外線は、その偏光の方向が右目用の領域Aと左目用の領域Bとで90度異なるように設定され、これにより位相差層3に設けられる液晶材料に関して、右目用の領域A及び左目用の領域Bとで対応する向きに液晶分子を配向させ、透過光に対応する位相差を与える。なお光配向材料は、光配向の手法を適用可能な各種の材料を適用することができるものの、この実施形態では、一旦配向した後には、紫外線の照射によって配向が変化しない、例えば光2量化型の材料を使用する。   In the pattern retardation film 10, after the photo-alignment material film is formed of the photo-alignment material, the photo-alignment layer 2 is formed by irradiating the photo-alignment material film with ultraviolet rays by linearly polarized light by a so-called photo-alignment technique . Here, the ultraviolet light applied to the photo-alignment material film is set so that the direction of polarization differs between the right-eye region A and the left-eye region B by 90 degrees, whereby the liquid crystal material provided in the retardation layer 3 , Liquid crystal molecules are aligned in the corresponding directions in the right-eye region A and the left-eye region B, and a phase difference corresponding to transmitted light is given. In addition, although various materials to which the photo-alignment technique can be applied can be applied as the photo-alignment material, in this embodiment, the alignment is not changed by ultraviolet irradiation after the alignment, for example, a light dimerization type. Use materials.

この光2量化型の材料については、「M.Schadt, K.Schmitt, V. Kozinkov and V. Chigrinov : Jpn. J. Appl.Phys., 31, 2155 (1992)」、「M. Schadt, H. Seiberle and A. Schuster : Nature, 381, 212(1996)」等に開示されており、例えば「ROP-103」の商品名により既に市販されている。   For this light dimerization type material, see “M. Schadt, K. Schmitt, V. Kozinkov and V. Chigrinov: Jpn. J. Appl. Phys., 31, 2155 (1992)”, “M. Schadt, H Seiberle and A. Schuster: Nature, 381, 212 (1996) "and the like, and already marketed under the trade name" ROP-103 ", for example.

また、位相差層3に係る液晶材料としては、従来公知の位相差層の材料を用いることができる。このような材料としては、例えば、ネマチック液晶相を発現する液晶材料が挙げられる。ネマチック液晶相を発現する液晶材料は、従来公知の液晶材料を用いれば良く、例えば、棒状の液晶分子、ポリマー液晶及び重合性液晶化合物等が挙げられる。   Further, as the liquid crystal material related to the retardation layer 3, a conventionally known retardation layer material can be used. An example of such a material is a liquid crystal material that exhibits a nematic liquid crystal phase. As a liquid crystal material that exhibits a nematic liquid crystal phase, a conventionally known liquid crystal material may be used, and examples thereof include rod-like liquid crystal molecules, polymer liquid crystals, and polymerizable liquid crystal compounds.

[光学フィルムの製造工程]
図2は、第1実施形態のパターン位相差フィルムの製造工程を説明するためのフローチャートである。パターン位相差フィルムの製造工程では、ロールより透明フィルム基材1が順次引き出され、光配向材料膜が順次形成される(ステップS201)。光配向材料膜は、各種の製造方法を適用することができる。第1実施形態では、光配向材料をベンゼン等の溶媒に分散させた成膜用液体をダイにより塗布した後、乾燥して作成される。
[Manufacturing process of optical film]
FIG. 2 is a flowchart for explaining the manufacturing process of the pattern retardation film of the first embodiment. In the manufacturing process of the pattern retardation film, the transparent film substrate 1 is sequentially drawn from the roll, and the photo-alignment material film is sequentially formed (step S201). Various manufacturing methods can be applied to the photo-alignment material film. In the first embodiment, a film-forming liquid in which a photo-alignment material is dispersed in a solvent such as benzene is applied by a die and then dried.

続いて、第1実施形態の製造工程では、領域Aまたは領域B(図2では領域Aとする)に偏光紫外線が照射され、領域Aまたは領域Bが露光される(ステップS202)。次に、領域A、領域Bを含む光配向材料膜の全面が露光される(ステップS203)。ステップS202、S203により、光配向層2が作成される。ステップS202において照射される偏光紫外線とステップS203において照射される偏光紫外線とは、それぞれ第1偏光方向及び第2偏光方向である偏光方向が互いに90度異なる直線偏光された紫外線である。なおパターン位相差フィルムは、光配向材料によって始めに全面を偏光紫外線により露光した後、マスクを使用して露光する場合もあり、この場合は、ステップS202とステップS203との順序が入れ替えられる。
続いて、第1実施形態では、光配向層2上にダイ等によって液晶材料が塗布された後(ステップS204)、液晶材料を加熱することによって乾燥させる(ステップS205)。さらに、乾燥の後、紫外線の照射によって液晶材料を硬化させ(ステップS206)、液晶でなる位相差層3が作成される。以上の処理がされたフィルムは、必要に応じて反射防止膜の作成処理等が施された後、切断工程において、所望の大きさに切り出されてパターン位相差フィルム10となる。
Subsequently, in the manufacturing process of the first embodiment, the region A or the region B (referred to as the region A in FIG. 2) is irradiated with polarized ultraviolet rays, and the region A or the region B is exposed (step S202). Next, the entire surface of the photo-alignment material film including the regions A and B is exposed (step S203). The photo-alignment layer 2 is created by steps S202 and S203. The polarized ultraviolet rays irradiated in step S202 and the polarized ultraviolet rays irradiated in step S203 are linearly polarized ultraviolet rays whose polarization directions, which are the first polarization direction and the second polarization direction, differ from each other by 90 degrees. In some cases, the pattern retardation film is first exposed with polarized ultraviolet rays after the entire surface is exposed to a photo-alignment material, and then exposed using a mask. In this case, the order of step S202 and step S203 is switched.
Subsequently, in the first embodiment, after a liquid crystal material is applied on the photo-alignment layer 2 by a die or the like (step S204), the liquid crystal material is dried by heating (step S205). Further, after drying, the liquid crystal material is cured by ultraviolet irradiation (step S206), and the retardation layer 3 made of liquid crystal is formed. The film subjected to the above-described processing is subjected to an antireflection film forming process or the like as necessary, and then cut into a desired size in the cutting step to become the pattern retardation film 10.

図3は、図2に示したフローチャートに示したステップS202の工程を説明するための模式的な図である。この工程では、大径のロール17に巻き付けて透明フィルム基材1を搬送するようにして、ロール17に対向するように露光マスク16が配置され、直線偏光による紫外線が露光マスク16を介し、図1に示した領域Aに照射される。また露光マスク16は、透明フィルム基材1の搬送方向であるMD方向に延長するスリットSが、延長方向と直交するTD方向に一定のピッチにより繰り返し形成され、このスリットSを介して透明フィルム基材1に紫外線が照射される。なお、露光マスク16は、片面にクロム膜による遮光膜を形成した合成石英製であり、この遮光膜にスリットSが形成さる。また、スリットSの延長方向の長さは5〜100mmである。   FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the process of step S202 shown in the flowchart shown in FIG. In this process, the exposure mask 16 is disposed so as to face the roll 17 so as to be wound around the roll 17 having a large diameter and transport the transparent film substrate 1, and ultraviolet rays due to linearly polarized light pass through the exposure mask 16. The region A shown in FIG. In the exposure mask 16, slits S extending in the MD direction, which is the transport direction of the transparent film substrate 1, are repeatedly formed at a constant pitch in the TD direction orthogonal to the extending direction. The material 1 is irradiated with ultraviolet rays. The exposure mask 16 is made of synthetic quartz having a light shielding film made of a chromium film on one side, and a slit S is formed in this light shielding film. The length of the slit S in the extending direction is 5 to 100 mm.

露光マスク16は、スリットSの長手方向のほぼ中央部において、露光マスク16の表面からの鉛直線が、ロール17の回転軸とほぼ交差するように配置される。この第1実施形態では、ステップS202の工程開始前、この鉛直線に係る露光マスク16とロール17表面との距離(ロール17の表面が最も露光マスク16に接近する部位の、ロール17表面と露光マスク16表面との距離)が略150μmとなる位置に、保持部材により露光マスク16を保持するものとした。なお露光マスク16とロール17表面との距離は、100μm以上、200μm以下に設定して、実用上十分な精度により露光処理することができる。なおここでこの工程開始前の状態は、紫外線の照射を開始していない状態であり、各部材が室温(約20度)に保持された状態である。   The exposure mask 16 is arranged so that the vertical line from the surface of the exposure mask 16 substantially intersects with the rotation axis of the roll 17 at substantially the center in the longitudinal direction of the slit S. In the first embodiment, before the start of the process of step S202, the distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 related to this vertical line (the surface of the roll 17 and the exposure at the part where the surface of the roll 17 is closest to the exposure mask 16). The exposure mask 16 is held by a holding member at a position where the distance from the surface of the mask 16 is approximately 150 μm. The distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 can be set to 100 μm or more and 200 μm or less, and exposure processing can be performed with practically sufficient accuracy. Here, the state before the start of this step is a state in which the irradiation of ultraviolet rays has not started, and each member is kept at room temperature (about 20 degrees).

図4(a)、(b)は、図3に示した露光マスク16を保持するための保持部材20を説明するための図である。図4(a)は、保持部材20の上面図、図4(b)は、図4(a)中に示した矢線A−A’に沿う保持部材20の端面図である。
保持部材20は、透明フィルム基材1上に形成された光配向層材料の露光に使用される露光マスク16を保持するための露光マスク16の保持部材である。保持部材20は、露光マスク16を固定する枠体21を備えている。
枠体21は、露光マスク16のロール17と対向する側の表面に接する部材21aと、表面に対する裏面に接する部材21bとを有し、これら部材21a及び21bにより露光マスク16の上下端に透明フィルム基材1の幅方向に対応する方向に延長する凹溝が形成され、この凹溝により露光マスク16を表裏で保持している。
4A and 4B are views for explaining the holding member 20 for holding the exposure mask 16 shown in FIG. 4A is a top view of the holding member 20, and FIG. 4B is an end view of the holding member 20 along the arrow AA ′ shown in FIG. 4A.
The holding member 20 is a holding member for the exposure mask 16 for holding the exposure mask 16 used for exposure of the photo-alignment layer material formed on the transparent film substrate 1. The holding member 20 includes a frame body 21 that fixes the exposure mask 16.
The frame 21 has a member 21a that contacts the surface of the exposure mask 16 facing the roll 17, and a member 21b that contacts the back surface of the exposure mask 16. A transparent film is formed on the upper and lower ends of the exposure mask 16 by these members 21a and 21b. A concave groove extending in a direction corresponding to the width direction of the substrate 1 is formed, and the exposure mask 16 is held on the front and back by the concave groove.

ところで、枠体21に露光マスク16を保持して露光を行った場合、紫外線の照射によって枠体21が加熱されて温度上昇することが知られている。この加熱による温度上昇は、露光時間が長くなるにつれて高くなる。このとき、枠体21は、露光マスク16を、その中央部分がロール17の表面から遠ざかる方向に撓ませて、露光マスク16とロール17表面との距離が変化することになる。より具体的には、スリットの連続する方向の両端部で、露光マスク16とロール17表面との距離が最も小さくなり(上述した150μm)、このスリットの連続する方向の中央部でこの距離が最も大きくなる。   By the way, it is known that when exposure is performed while holding the exposure mask 16 on the frame body 21, the frame body 21 is heated by the irradiation of ultraviolet rays and the temperature rises. The temperature rise due to this heating increases as the exposure time increases. At this time, the frame body 21 bends the exposure mask 16 in a direction in which the central portion moves away from the surface of the roll 17, and the distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 changes. More specifically, the distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 is the smallest at both ends in the continuous direction of the slit (150 μm described above), and this distance is the largest in the central portion in the continuous direction of the slit. growing.

第1実施形態では、露光マスク16を固定した状態の枠体21を65度、120分で加熱した場合、この加熱(以下、「予備加熱」と記す)の前と後とにおいて、露光マスク16の透明フィルム基材1(第1実施形態では、ロール17表面と同じとする)と対向する側の面(以下、「露光マスク表面」と記す)と透明フィルム基材1の表面との距離の最大値と最小値の差(以下、「反り量」と記す)を、22%以内にした。
具体的には、第1実施形態は、枠体21を、線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃以下の材料である、マイクログラナイトで構成した。
In the first embodiment, when the frame body 21 with the exposure mask 16 fixed is heated at 65 degrees for 120 minutes, the exposure mask 16 before and after this heating (hereinafter referred to as “preheating”). The distance between the surface of the transparent film substrate 1 (hereinafter referred to as “exposure mask surface”) and the surface of the transparent film substrate 1 facing the transparent film substrate 1 (which is the same as the surface of the roll 17 in the first embodiment). The difference between the maximum value and the minimum value (hereinafter referred to as “warping amount”) was set within 22%.
Specifically, 1st Embodiment comprised the frame 21 with the microgranite which is a material whose linear expansion coefficient is 0-12.4 * 10 < -6 > / degrees C or less.

図5は、第1実施形態の効果を説明するための図であって、予備加熱の前後で枠体21及び露光マスク16の反り量が変化することを示している。図5のグラフに示したデータは、マイクログラナイトの枠体21に石英ガラス製の露光マスク16を固定したものである。図5の縦軸は露光マスク16表面とロール17表面との距離(ギャップ)を示していて、横軸は、露光マスク16の一方の端部を基準にした、露光マスク16の幅方向の長さを示している。
図5中に示したプロットのうち、黒い菱形のプロットは露光マスク16の予備加熱前のデータを示し、黒い四角形のプロットは露光マスク16の予備加熱後のデータを示している。
FIG. 5 is a diagram for explaining the effect of the first embodiment, and shows that the warpage amounts of the frame body 21 and the exposure mask 16 change before and after the preheating. The data shown in the graph of FIG. 5 is obtained by fixing an exposure mask 16 made of quartz glass to a frame body 21 of microgranite. The vertical axis in FIG. 5 indicates the distance (gap) between the surface of the exposure mask 16 and the surface of the roll 17, and the horizontal axis indicates the length in the width direction of the exposure mask 16 with reference to one end of the exposure mask 16. It shows.
Among the plots shown in FIG. 5, the black rhombus plot indicates data before the preheating of the exposure mask 16, and the black square plot indicates data after the preheating of the exposure mask 16.

また、図5中に示したプロットのうち、白丸のプロット及び×形状のプロットは、第1実施形態と比較するための既存技術のデータを示している。既存技術は、超々ジェラルミン(JIS規格では「A7075」)製の保持部材を用いて露光マスク16を保持して行われる露光であって、白丸のプロットは予備加熱前、×形状のプロットは予備加熱後のデータを示している。   In addition, among the plots shown in FIG. 5, the white circle plot and the X-shaped plot indicate data of the existing technology for comparison with the first embodiment. In the existing technology, exposure is performed by holding the exposure mask 16 using a holding member made of extra super duralumin (JIS standard “A7075”). The white circle plot is preheated, and the x-shaped plot is preheated. The latter data is shown.

図5に示したように、第1実施形態の露光マスク16の予備加熱前の反り量は232μmであるのに対し、予備加熱後の反り量は272μmである。つまり、第1実施形態の保持部材20は、線膨張係数が8.3×10-6/℃の部材であり、予備加熱の前後で反り量の変化は40μmとなる。このため、第1実施形態は、65度、120分の予備加熱の前後で反り量の変化が40μm以内になる、との条件を満たしている。
一方、既存技術のように、超々ジェラルミン製の保持部材を使って露光マスク16を保持した場合、露光マスクの反り量は、予備加熱の前で第1実施形態と同様に214μmであるのに対し、予備加熱後は494μmになっている。したがって、既存技術の保持部材は、予備加熱の前後で露光マスク16の反り量を、280μmも変化させるものであることが分かる。
As shown in FIG. 5, the warp amount before preheating of the exposure mask 16 of the first embodiment is 232 μm, whereas the warp amount after preheating is 272 μm. That is, the holding member 20 of the first embodiment is a member having a linear expansion coefficient of 8.3 × 10 −6 / ° C., and the change in the warpage amount before and after the preheating is 40 μm. For this reason, 1st Embodiment satisfy | fills the conditions that the change of the curvature amount will be less than 40 micrometers before and after preheating for 65 degree | times and 120 minutes.
On the other hand, when the exposure mask 16 is held using a holding member made of ultra-geraldine as in the existing technology, the amount of warp of the exposure mask is 214 μm as in the first embodiment before the preheating. After preheating, the thickness is 494 μm. Therefore, it can be seen that the holding member of the existing technology changes the amount of warp of the exposure mask 16 by 280 μm before and after the preheating.

以上のことから、第1実施形態の保持部材20は、既存技術よりも露光工程中に発生する露光マスクの反りを軽減することができる。このため、露光工程中の露光マスク16とロール17表面との距離の変化が小さくなるから、露光マスク16をロール17に近接させて配置することができる。そして、露光マスク16をロール17に近接させることにより、図10について上述した露光範囲のずれを小さくし、域Aと領域Bとの間の境界幅の変化を小さくすることができ、その結果、この境界幅の変化により発生するスジを低減することができる。またこのように近接させることにより、スリット端部の光散乱を抑止し、これによっても境界幅の変化を低減してスジを抑圧することができる。   As described above, the holding member 20 according to the first embodiment can reduce the warpage of the exposure mask that occurs during the exposure process as compared with the existing technology. For this reason, since the change in the distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 during the exposure process is small, the exposure mask 16 can be arranged close to the roll 17. Then, by bringing the exposure mask 16 close to the roll 17, the deviation of the exposure range described above with reference to FIG. 10 can be reduced, and the change in the boundary width between the area A and the area B can be reduced. It is possible to reduce streaks caused by the change in the boundary width. Moreover, by making it approach in this way, the light scattering of a slit edge part can be suppressed, and also by this, the change of a boundary width can be reduced and a streak can be suppressed.

図6は、図4に示したマイクログラナイト製の保持部材20で露光マスク16を保持して露光した光配向層2の領域Aと領域Bの境界に現れる境界の幅を示した図である。この境界の幅は、直交ニコル配置による直交偏光板間にパターン位相差フィルムを配置して、領域A及びBが消光位になるようにパターン位相差フィルムを回転させた状態で、境界の部位で測定される透過光量のピーク値を計測し、このピーク値の5%の光量が検出される部位間の距離を計測して求められる。図6の縦軸は境界の幅を実測した長さであり、横軸はパターン端部を基準にした透明フィルム基材1の幅方向の長さを示している。
なお、図6に示したデータは、図5に示したように、露光マスク16とロール17表面との距離の最小値が150μmになるように保持部材20が露光マスク16を保持して取得したものである。図示するように、第1実施形態によれば、境界の幅を、4.7μm以上、8μm以下の範囲にすることができ、その結果、境界幅の変化を低減し、スジの発生を充分に抑圧することができた。
具体的に図6に示したデータを、標準偏差σを表す式(1)に代入することにより、σ=0.7μmを得た。しかして標準偏差σが大きい場合には、境界幅が大きくばらつく場合であり、標準偏差σが0.7μm以下であるようにして、確実にスジの発生を防止することができる。
なお、式(1)中の「n」はデータ数、「x」は各データの値であり、「x」のバーは、平均値である。
FIG. 6 is a diagram showing the width of the boundary appearing at the boundary between the region A and the region B of the photo-alignment layer 2 exposed by holding the exposure mask 16 with the holding member 20 made of microgranite shown in FIG. The width of this boundary is determined by arranging the pattern retardation film between the orthogonal polarizing plates in the orthogonal Nicol arrangement and rotating the pattern retardation film so that the regions A and B are in the extinction position. The peak value of the transmitted light amount to be measured is measured, and the distance between the parts where the light amount of 5% of the peak value is detected is measured. The vertical axis in FIG. 6 is the length obtained by actually measuring the width of the boundary, and the horizontal axis indicates the length in the width direction of the transparent film substrate 1 with reference to the pattern end.
The data shown in FIG. 6 was obtained by holding the exposure mask 16 by the holding member 20 so that the minimum distance between the exposure mask 16 and the surface of the roll 17 was 150 μm, as shown in FIG. Is. As shown in the figure, according to the first embodiment, the boundary width can be in the range of 4.7 μm or more and 8 μm or less. As a result, the change in the boundary width is reduced, and the generation of streaks is sufficiently achieved. I was able to suppress it.
Specifically, σ = 0.7 μm was obtained by substituting the data shown in FIG. 6 into the equation (1) representing the standard deviation σ. Therefore, when the standard deviation σ is large, the boundary width varies widely, and the standard deviation σ is 0.7 μm or less, so that streaks can be reliably prevented.
In equation (1), “n” is the number of data, “x” is the value of each data, and the bar of “x” is the average value.

なお、線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃以下の材料としては、マイクログラナイトの他、インバー、スーパーインバー、コバルト、石英ガラス、セラミックスを適用することができる。インバー、スーパーインバー、コバルト、石英ガラス、セラミックス、超低熱膨張鋳鉄の線膨張係数は、以下の通りである。
・インバー 1.2×10-6/℃
・スーパーインバー 0.0×10-6/℃
・コバルト 12.4×10-6/℃
・石英ガラス 0.56×10-6/℃
・セラミックス 7.1×10-6/℃
・超低熱膨張鋳鉄 0〜3.5×10-6/℃
また保持部材は、線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃であれば、上記した材料の他、どのような材料を使っても保持部材を作成することが可能である。
In addition, as a material having a linear expansion coefficient of 0 to 12.4 × 10 −6 / ° C. or lower, invar, super invar, cobalt, quartz glass, and ceramics can be applied in addition to microgranite. The linear expansion coefficients of Invar, Super Invar, Cobalt, Quartz Glass, Ceramics, and Ultra Low Thermal Expansion Cast Iron are as follows.
・ Invar 1.2 × 10 -6 / ℃
・ Super Invar 0.0 × 10 -6 / ℃
・ Cobalt 12.4 × 10 -6 / ℃
・ Quartz glass 0.56 × 10 -6 / ℃
・ Ceramics 7.1 × 10 -6 / ℃
・ Ultra low thermal expansion cast iron 0-3.5 × 10 -6 / ℃
In addition, the holding member can be made of any material other than the above materials as long as the linear expansion coefficient is 0 to 12.4 × 10 −6 / ° C.

[他の実施形態]
なお、本発明の実施形態は、以上説明した構成に限定されるものではない。例えば、第1実施形態では、紫外線を照射して光配向層及び位相差層を形成しているが、本実施形態は、このような構成に限定されるものではない。例えば、活性エネルギー線として電子線を使用し、電子線の照射によって硬化する材料を使って光配向層または位相差層を形成するものであってもよい。
[Other Embodiments]
Note that the embodiment of the present invention is not limited to the configuration described above. For example, in the first embodiment, the photo-alignment layer and the retardation layer are formed by irradiating ultraviolet rays, but the present embodiment is not limited to such a configuration. For example, the photo-alignment layer or the retardation layer may be formed using a material that uses an electron beam as the active energy ray and is cured by irradiation with the electron beam.

また露光マスクを使用して領域A又はBを選択的に露光した後、全面を露光する代わりに、全面を露光した後、露光マスクを使用して領域A又はBを選択的に露光する場合、領域A及びBをそれぞれ露光マスクを使用して順次露光する場合にも広く適用することができる。   Alternatively, after selectively exposing the region A or B using an exposure mask, instead of exposing the entire surface, after exposing the entire surface, the region A or B is selectively exposed using the exposure mask. The present invention can also be widely applied when the regions A and B are sequentially exposed using an exposure mask.

1:透明フィルム基材
2:光配向層
3:位相差層
3a:液晶材料
10:パターン位相差フィルム
11:液晶表示パネル
16:露光マスク
17:ロール
20:保持部材
21:枠体
21a、21b:部材
100 :画像表示装置
1: Transparent film substrate 2: Photo-alignment layer 3: Retardation layer 3a: Liquid crystal material 10: Pattern retardation film 11: Liquid crystal display panel 16: Exposure mask 17: Roll 20: Holding member 21: Frame body 21a, 21b: Member 100: Image display device

Claims (6)

フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、
第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記第1領域と前記第2領域との境界の幅が4.7μm以上、8.0μm以下であって、かつ、前記幅の偏差σが、0.7μm以下であることを特徴とする光学フィルム。
A film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer is
A first region formed by irradiation with active energy rays linearly polarized in the first polarization direction; and formed by irradiation with active energy rays linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region, and the first region and the second region have a band-like shape in plan view, and are alternately arranged.
An optical film, wherein a width of a boundary between the first region and the second region is 4.7 μm or more and 8.0 μm or less, and a deviation σ of the width is 0.7 μm or less. .
請求項1に記載の光学フィルムを画像表示パネルの表面に配置したことを特徴とする
画像表示装置。
An image display device comprising the optical film according to claim 1 disposed on a surface of an image display panel.
光学フィルムの生産に使用される露光用部材であって、
前記光学フィルムは、
フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記露光用部材は、
前記活性エネルギー線の照射に供する露光マスクと、当該露光マスクを保持するための露光マスクの保持部材と、を含み、
前記保持部材は、
前記露光マスクを固定する枠体であり、
前記露光マスクを固定した状態の前記枠体を65℃、120分で加熱した場合、当該加熱の前と後とにおいて、前記フィルム基材と前記露光マスクの前記フィルム基材と対向する側の面との距離の最小値と最大値との差で表される反り量の変化を、40μm以内に保持することを特徴とする露光用部材。
An exposure member used for production of an optical film,
The optical film is
A film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer includes a first region formed by irradiation of active energy rays linearly polarized in a first polarization direction, and an active energy linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region formed by irradiation of a line, and the first region and the second region have a belt-like shape in plan view, and are alternately arranged.
The exposure member is:
An exposure mask used for irradiation with the active energy ray, and an exposure mask holding member for holding the exposure mask,
The holding member is
A frame for fixing the exposure mask;
When the frame with the exposure mask fixed is heated at 65 ° C. for 120 minutes, the surface of the film base and the side of the exposure mask facing the film base before and after the heating An exposure member characterized in that a change in the amount of warpage represented by the difference between the minimum value and the maximum value of the distance between the two is kept within 40 μm.
光学フィルムの生産に使用される露光マスクの保持部材であって、
前記光学フィルムは、
フィルム基材と、
前記フィルム基材上に形成された光配向層と、
前記光配向層上に形成され、前記光配向層の配向規制力によって配向する位相差層と、を含み、
前記光配向層は、第1偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第1領域と、前記第1偏光方向と偏光方向が90度異なる第2偏光方向に直線偏光した活性エネルギー線の照射により形成される第2領域と、を備え、前記第1領域及び前記第2領域が平面視において帯状の形状を有し、かつ交互に配置され、
前記露光マスクは、
前記活性エネルギー線の照射に供する露光マスクであり、
前記保持部材は、
前記露光マスクを固定する枠体であり、
前記露光マスクを固定した状態の前記枠体を65℃、120分で加熱した場合、当該加熱の前と後とにおいて、前記フィルム基材と前記露光マスクの前記フィルム基材と対向する側の面との距離の最小値と最大値との差で表される反り量の変化を、40μm以内に保持することを特徴とする露光マスクの保持部材。
An exposure mask holding member used for production of an optical film,
The optical film is
A film substrate;
A photo-alignment layer formed on the film substrate;
A retardation layer formed on the photo-alignment layer and oriented by an orientation regulating force of the photo-alignment layer,
The photo-alignment layer includes a first region formed by irradiation of active energy rays linearly polarized in a first polarization direction, and an active energy linearly polarized in a second polarization direction that is 90 degrees different from the first polarization direction. A second region formed by irradiation of a line, and the first region and the second region have a belt-like shape in plan view, and are alternately arranged.
The exposure mask is
An exposure mask for irradiation with the active energy ray,
The holding member is
A frame for fixing the exposure mask;
When the frame with the exposure mask fixed is heated at 65 ° C. for 120 minutes, the surface of the film base and the side of the exposure mask facing the film base before and after the heating A holding member for an exposure mask, characterized in that a change in the amount of warpage represented by a difference between a minimum value and a maximum value of the distance to the distance is held within 40 μm.
前記枠体は、線膨張係数が0〜12.4×10-6/℃以下の材料により作製されたことを特徴とする請求項4に記載の露光マスクの保持部材。 5. The exposure mask holding member according to claim 4, wherein the frame is made of a material having a linear expansion coefficient of 0 to 12.4 × 10 −6 / ° C. or less. 前記枠体の材料が、グラナイト、インバー、スーパーインバー、コバルト、石英ガラス、セラミック、超低熱膨張鋳鉄の何れかであることを特徴とする請求項5に記載の露光マスクの保持部材。   6. The exposure mask holding member according to claim 5, wherein the material of the frame is any one of granite, invar, super invar, cobalt, quartz glass, ceramic, and ultra-low thermal expansion cast iron.
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