JP2014134227A

JP2014134227A - Valve

Info

Publication number: JP2014134227A
Application number: JP2013001415A
Authority: JP
Inventors: Tomohiro Fujikawa; 智宏藤川
Original assignee: Sumitomo Riko Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Riko Co Ltd
Priority date: 2013-01-08
Filing date: 2013-01-08
Publication date: 2014-07-24
Anticipated expiration: 2033-01-08
Also published as: JP6047405B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a valve which is simply constructed and easily downsized.SOLUTION: A valve 1 includes an elastomer diaphragm 3 having a protruded part 30 protruded in the direction of a flow path F in which fluid L flows, and a pair of electrodes 51a and 51b which are layered directly or indirectly on the diaphragm 3 and to which voltage is applied. The valve 1 opens/closes the flow path F with the protruded part 30 elastically deformed depending on the voltage. The elastomer diaphragm 3 is flexible, so that it has high sealing performance in the closing state of closing the flow path F. A trouble hardly occurs in a member adjacent thereto.

Description

本発明は、流路を開閉する際に用いられるバルブに関する。 The present invention relates to a valve used when opening and closing a flow path.

特許文献１には、マイクロＴＡＳ（ＴｏｔａｌＡｎａｌｙｓｉｓＳｙｓｔｅｍｓ）チップ用の静電マイクロバルブが開示されている。同文献の図２に示すように、同文献記載の静電マイクロバルブは、試料流路と駆動槽と加圧槽とを備えている。駆動槽と加圧槽とは連通している。駆動槽および加圧槽には、作動流体が封入されている。駆動槽と試料流路とは、流路開閉用の弾性膜により、仕切られている。流路開閉用の弾性膜は、上側（駆動槽側）に突出する凸状を呈している。加圧槽の上壁には、作動流体加圧用の弾性膜と電極とが配置されている。一方、加圧槽の下壁には、電極が配置されている。作動流体加圧用の弾性膜と作動流体とは、上下一対の電極間に介在している。 Patent Document 1 discloses an electrostatic microvalve for a micro TAS (Total Analysis Systems) chip. As shown in FIG. 2 of the document, the electrostatic microvalve described in the document includes a sample channel, a drive tank, and a pressure tank. The driving tank and the pressurizing tank communicate with each other. A working fluid is sealed in the driving tank and the pressurizing tank. The drive tank and the sample channel are partitioned by an elastic film for opening and closing the channel. The elastic film for opening and closing the flow path has a convex shape protruding upward (drive tank side). On the upper wall of the pressurizing tank, an elastic film for pressurizing the working fluid and an electrode are arranged. On the other hand, an electrode is disposed on the lower wall of the pressurizing tank. The elastic membrane for working fluid pressurization and the working fluid are interposed between a pair of upper and lower electrodes.

一対の電極間に電圧を印加すると、静電引力が発生する。このため、作動流体加圧用の弾性膜が、下側に突出するように、つまり加圧槽の容積を縮小するように、変形する。ここで、駆動槽および加圧槽には、作動流体が封入されている。このため、作動流体加圧用の弾性膜が下側に突出した分だけ、流路開閉用の弾性膜は、加圧槽の容積を拡張するように、下側（試料流路側）に変形する。すなわち、流路開閉用の弾性膜は、試料流路を閉じる。このように、同文献記載の静電マイクロバルブによると、静電引力を用いて加圧槽の容積を変化させることにより、試料流路を開閉することができる。 When a voltage is applied between the pair of electrodes, electrostatic attraction is generated. For this reason, the elastic film for pressurizing the working fluid is deformed so as to protrude downward, that is, to reduce the volume of the pressurizing tank. Here, working fluid is sealed in the driving tank and the pressurizing tank. For this reason, the elastic film for opening and closing the flow path is deformed to the lower side (sample flow path side) so as to expand the volume of the pressurizing tank by the amount that the elastic film for pressurizing the working fluid protrudes downward. That is, the elastic film for opening and closing the channel closes the sample channel. Thus, according to the electrostatic microvalve described in the same document, the sample channel can be opened and closed by changing the volume of the pressurizing tank using electrostatic attraction.

特開２００４−２９１１８７号公報JP 2004-291187 A 特開平５−１８０２０６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-180206

しかしながら、特許文献１に記載の静電マイクロバルブによると、試料流路を開閉するのに、作動流体、駆動槽、加圧槽、流路開閉用の弾性膜、作動流体加圧用の弾性膜が必要である。このため、構造が複雑である。また、静電マイクロバルブ、延いてはマイクロＴＡＳチップが大型化しやすい。 However, according to the electrostatic microvalve described in Patent Document 1, a working fluid, a drive tank, a pressurizing tank, an elastic film for opening and closing the flow path, and an elastic film for pressurizing the working fluid are used to open and close the sample flow path. is necessary. For this reason, the structure is complicated. In addition, the electrostatic microvalve, and hence the micro TAS chip, tends to increase in size.

この点、特許文献２には、自走型マイクロマシンが開示されている。同文献記載の自走型マイクロマシンは、走行制御用のマイクロバルブを備えている。同文献の図３、図４に示すように、マイクロバルブは、圧電素子の電歪効果により、駆動される。特許文献２には、圧電素子として、水晶素子、ＬｉＴａＯ_３素子、ＬｉＮｂＯ_３素子などの単結晶圧電素子、チタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン鉛系、ニオブ酸塩系などのセラミック系圧電素子が例示されている。 In this regard, Patent Document 2 discloses a self-propelled micromachine. The self-propelled micromachine described in the same document includes a microvalve for traveling control. As shown in FIGS. 3 and 4 of the document, the microvalve is driven by the electrostrictive effect of the piezoelectric element. Patent Document 2 exemplifies piezoelectric elements such as single crystal piezoelectric elements such as crystal elements, LiTaO ₃ elements, and LiNbO ₃ elements, and ceramic piezoelectric elements such as barium titanate-based, zirconate titanate-based, and niobate-based elements. Has been.

仮に、特許文献２に記載のマイクロバルブを、マイクロＴＡＳチップ用として転用する場合、作動流体、駆動槽、加圧槽などが不要な分だけ、マイクロＴＡＳチップの構造を単純化することができる。また、マイクロＴＡＳチップを小型化することができる。ところが、圧電素子は硬質である。このため、流路を閉じる閉弁状態において、シール性を確保しにくい。また、隣接する部材（例えば流路壁）に不具合が生じるおそれがある。 If the microvalve described in Patent Document 2 is diverted for use in a micro TAS chip, the structure of the micro TAS chip can be simplified as much as the working fluid, the driving tank, the pressurizing tank, and the like are unnecessary. In addition, the micro TAS chip can be reduced in size. However, the piezoelectric element is hard. For this reason, it is difficult to ensure the sealing performance in the closed valve state in which the flow path is closed. Moreover, there is a possibility that a problem occurs in an adjacent member (for example, a channel wall).

本発明のバルブは、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、構造が簡単で、小型化が容易なバルブを提供することを目的とする。 The valve of the present invention has been completed in view of the above problems. An object of the present invention is to provide a valve that is simple in structure and easy to downsize.

（１）上記課題を解決するため、本発明のバルブは、流体が流れる流路の方向に突出する凸部を有するエラストマー製のダイヤフラムと、該ダイヤフラムに直接または間接的に積層され、電圧が印加される一対の電極と、を備え、該電圧に応じて該凸部が弾性変形することにより該流路を開閉することを特徴とする。 (1) In order to solve the above-mentioned problem, the valve of the present invention has an elastomeric diaphragm having a convex portion protruding in the direction of a flow path through which a fluid flows, and is laminated directly or indirectly on the diaphragm to apply a voltage. And the channel is opened and closed by elastic deformation of the convex portion according to the voltage.

ここで、電極がダイヤフラムに「間接的に」積層されるとは、電極とダイヤフラムとの間に別の部材（単一でも複数でもよい）が介在している状態で、電極がダイヤフラムに積層されていることをいう。また、「凸部」の形状は、ダイヤフラム自体の形状保持力により、確保されている。 Here, “indirectly” the electrode is laminated on the diaphragm means that the electrode is laminated on the diaphragm with another member (single or plural) interposed between the electrode and the diaphragm. It means that Further, the shape of the “convex portion” is ensured by the shape holding force of the diaphragm itself.

本発明のバルブは、エラストマー製のダイヤフラムを備えている。圧電素子と比較して、ダイヤフラムは柔軟である（例えば、ヤング率が小さい）。このため、流路を閉じる閉弁状態において、シール性が高い。また、隣接する部材（例えば流路壁）に不具合が生じにくい。 The valve of the present invention includes an elastomeric diaphragm. Compared to the piezoelectric element, the diaphragm is flexible (eg, has a small Young's modulus). For this reason, in the valve closing state which closes a flow path, the sealing performance is high. Moreover, it is hard to produce a malfunction in an adjacent member (for example, channel wall).

また、本発明のバルブによると、作動流体、駆動槽、加圧槽などが不要である。このため、構造が簡単である。また、小型化が容易である。また、作動流体（例えば、液体、気体など）を用いて弾性膜を駆動するバルブと比較して、本発明のバルブは、駆動時の応答性が高い。 Further, according to the valve of the present invention, a working fluid, a driving tank, a pressurizing tank, and the like are unnecessary. For this reason, the structure is simple. Further, it is easy to reduce the size. In addition, the valve of the present invention has high responsiveness during driving as compared with a valve that drives an elastic membrane using a working fluid (for example, liquid, gas, etc.).

また、本発明のバルブのダイヤフラムは、凸部を備えている。一対の電極間に電圧が印加されると、マクスウェル応力により、凸部は、ダイヤフラムの膜厚方向から圧縮される。このため、凸部の表面積は大きくなる。したがって、凸部は、ダイヤフラムの面方向に伸張しようとする。しかしながら、凸部は、凸部収容部に収容されている。このため、凸部の面方向の変形は規制されている。一方、ダイヤフラムに荷重が加わっていない状態（無荷重状態）において、凸部は、流路側に突出している。このため、凸部は、面方向の代わりに、凸部の突出方向に、言い換えると流路側に変形する。 Moreover, the diaphragm of the valve of the present invention includes a convex portion. When a voltage is applied between the pair of electrodes, the convex portion is compressed from the film thickness direction of the diaphragm by Maxwell stress. For this reason, the surface area of a convex part becomes large. Therefore, the convex portion tends to extend in the surface direction of the diaphragm. However, the convex part is accommodated in the convex part accommodating part. For this reason, the deformation in the surface direction of the convex portion is restricted. On the other hand, in a state where no load is applied to the diaphragm (no load state), the convex portion protrudes toward the flow path. For this reason, a convex part deform | transforms into the protrusion direction of a convex part instead of a surface direction, ie, the flow path side.

これに対して、一対の電極間から電圧が除去されると、マクスウェル応力が作用しなくなる。このため、凸部は、自身の有する弾性復元力により、元の形状に復元する。すなわち、凸部は、凸部の突出方向と逆方向に、言い換えると流路側と逆側に変形する。 On the other hand, when the voltage is removed between the pair of electrodes, Maxwell stress does not act. For this reason, the convex portion is restored to its original shape by its own elastic restoring force. That is, the convex portion is deformed in a direction opposite to the protruding direction of the convex portion, in other words, in the direction opposite to the flow path side.

このように、本発明のバルブは、予め形状付与された凸部を備えている。並びに、凸部は、凸部収容部に収容されている。このため、電圧印加時の凸部の変形方向を、流路側に誘導することができる。したがって、電圧印加時に流路を閉じることができる。反対に、電圧除去時に流路を開くことができる。よって、ダイヤフラムの変形方向を流路側に誘導する部材（例えばスプリングなど）は不要である。この点においても、本発明のバルブは、構造が簡単である。また、小型化が容易である。 Thus, the valve | bulb of this invention is equipped with the convex part previously shape-fitted. And the convex part is accommodated in the convex part accommodating part. For this reason, the deformation direction of the convex part at the time of voltage application can be induced to the channel side. Therefore, the flow path can be closed when a voltage is applied. On the contrary, the flow path can be opened when the voltage is removed. Therefore, a member (for example, a spring) that guides the deformation direction of the diaphragm to the flow path side is unnecessary. Also in this point, the valve of the present invention has a simple structure. Further, it is easy to reduce the size.

（１−１）好ましくは、上記（１）の構成において、一対の前記電極は、前記凸部の表裏両側に積層されている構成とする方がよい。本構成によると、一対の電極により、凸部を直接駆動することができる。このため、凸部と、凸部駆動用のアクチュエータと、を別々に配置する場合と比較して、構造が簡単である。また、小型化が容易である。 (1-1) Preferably, in the configuration of (1) above, the pair of electrodes is preferably stacked on both front and back sides of the convex portion. According to this configuration, the convex portion can be directly driven by the pair of electrodes. For this reason, compared with the case where a convex part and the actuator for convex part drive are arrange | positioned separately, a structure is simple. Further, it is easy to reduce the size.

（２）好ましくは、上記（１）の構成において、エラストマー製の誘電層と、該誘電層の表裏両面に積層される一対の前記電極と、を有し、前記ダイヤフラムの前記凸部に積層されるアクチュエータを備える構成とする方がよい。 (2) Preferably, in the configuration of (1), the dielectric layer made of an elastomer and the pair of electrodes laminated on both front and back surfaces of the dielectric layer are laminated on the convex portion of the diaphragm. It is better to have a configuration including an actuator.

本構成によると、凸部は、アクチュエータにより駆動される。このため、凸部を、流路開閉用の機能に特化させることができる。並びに、アクチュエータを、凸部駆動用の機能に特化させることができる。したがって、アクチュエータおよびダイヤフラムの設計自由度が高くなる。 According to this configuration, the convex portion is driven by the actuator. For this reason, a convex part can be specialized in the function for channel opening and closing. In addition, the actuator can be specialized in the function for driving the convex portion. Therefore, the degree of freedom in designing the actuator and the diaphragm is increased.

（３）好ましくは、上記（２）の構成において、前記電極と、前記誘電層と、が積層される方向を積層方向として、前記アクチュエータは、該積層方向両端に、エラストマー製の保護層を有する構成とする方がよい。本構成によると、アクチュエータと、当該アクチュエータに隣接する部材と、の間の絶縁性を確保しやすい。 (3) Preferably, in the configuration of (2) above, the direction in which the electrode and the dielectric layer are stacked is a stacking direction, and the actuator has an elastomer protective layer at both ends of the stacking direction. It is better to have a configuration. According to this configuration, it is easy to ensure insulation between the actuator and a member adjacent to the actuator.

（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記ダイヤフラムは、前記凸部を囲み、電圧印加時に表側から支持されている環状の平坦部を有する構成とする方がよい。本構成によると、電圧印加時に、平坦部が表側から支持されている。このため、電圧印加時の凸部の変形方向を、流路側に安定化させることができる。また、電圧印加、除去時の凸部の変形量（ストローク）のばらつきを、小さくすることができる。 (4) Preferably, in any one of the constitutions (1) to (3), the diaphragm has an annular flat portion that surrounds the convex portion and is supported from the front side when a voltage is applied. Is good. According to this configuration, the flat portion is supported from the front side when a voltage is applied. For this reason, the deformation direction of the convex part at the time of voltage application can be stabilized to the flow path side. Further, the variation in the deformation amount (stroke) of the convex portion at the time of voltage application and removal can be reduced.

本発明によると、構造が簡単で、小型化が容易なバルブを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a valve that is simple in structure and easy to downsize.

第一実施形態のバルブが配置されたマイクロＴＡＳチップの透過上面図である。It is a permeation | transmission top view of the micro TAS chip | tip with which the valve | bulb of 1st embodiment is arrange | positioned. 図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図である。It is the II-II direction sectional drawing of FIG. 同バルブの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the valve. 図２の枠ＩＶ内の拡大図である。It is an enlarged view in the frame IV of FIG. 図４の円Ｖ内の拡大図である。It is an enlarged view in the circle V of FIG. 図４の円ＶＩ内の拡大図である。It is an enlarged view in the circle | round | yen VI of FIG. 図４の円ＶＩＩ内の拡大図である。It is an enlarged view in the circle VII of FIG. 同バルブのダイヤフラム付近の上下方向断面図である。It is an up-down direction sectional view near the diaphragm of the valve. 第二実施形態のバルブの左右方向断面図である。It is a left-right direction sectional view of a valve of a second embodiment.

＜第一実施形態＞
本実施形態のバルブは、マイクロＴＡＳチップに配置されている。 <First embodiment>
The valve of this embodiment is arranged on a micro TAS chip.

［マイクロＴＡＳチップの構成］
まず、本実施形態のバルブが配置されているマイクロＴＡＳチップの構成について説明する。なお、以下の図において、上下方向は、本発明の「積層方向」に対応している。図１に、本実施形態となるバルブが配置されたマイクロＴＡＳチップの透過上面図を示す。図１に示すように、マイクロＴＡＳチップ９は、三つのバルブ１と、基板９０と、一対の試料導入部９１と、反応部９２と、流路９３と、を備えている。 [Configuration of micro TAS chip]
First, the configuration of the micro TAS chip in which the valve of this embodiment is arranged will be described. In the following drawings, the vertical direction corresponds to the “stacking direction” of the present invention. FIG. 1 is a transparent top view of a micro TAS chip on which a valve according to the present embodiment is arranged. As shown in FIG. 1, the micro TAS chip 9 includes three valves 1, a substrate 90, a pair of sample introduction parts 91, a reaction part 92, and a flow path 93.

三つのバルブ１のうち、二つのバルブ１は、各々、試料導入部９１の下流側に配置されている。また、残りの一つのバルブ１は、反応部９２の上流側に配置されている。三つのバルブ１の構成は同じである。 Of the three valves 1, two valves 1 are respectively arranged on the downstream side of the sample introduction portion 91. The remaining one valve 1 is arranged on the upstream side of the reaction unit 92. The configuration of the three valves 1 is the same.

［バルブの構成］
図２に、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図を示す。すなわち、本実施形態のバルブの上下方向断面図を示す。図３に、同バルブの分解斜視図を示す。図４に、図２の枠ＩＶ内の拡大図を示す。図５に、図４の円Ｖ内の拡大図を示す。図６に、図４の円ＶＩ内の拡大図を示す。図７に、図４の円ＶＩＩ内の拡大図を示す。 [Valve configuration]
FIG. 2 shows a cross-sectional view in the II-II direction of FIG. That is, a vertical sectional view of the valve of the present embodiment is shown. FIG. 3 shows an exploded perspective view of the valve. FIG. 4 shows an enlarged view in the frame IV of FIG. FIG. 5 shows an enlarged view in the circle V of FIG. FIG. 6 shows an enlarged view in the circle VI of FIG. FIG. 7 shows an enlarged view in a circle VII in FIG.

図２〜図７に示すように、バルブ１は、ベース２と、ダイヤフラム３と、アクチュエータ５と、一対の配線６ａ、６ｂと、駆動回路７と、を備えている。 As shown in FIGS. 2 to 7, the valve 1 includes a base 2, a diaphragm 3, an actuator 5, a pair of wires 6 a and 6 b, and a drive circuit 7.

（ベース２）
ベース２は、図１に示す基板９０の一部を構成している。ベース２は、第一層２０と、第二層２１と、第三層２２と、第四層２３と、流路Ｆと、を備えている。流路Ｆは、図１に示す流路９３の一部を構成している。 (Base 2)
The base 2 constitutes a part of the substrate 90 shown in FIG. The base 2 includes a first layer 20, a second layer 21, a third layer 22, a fourth layer 23, and a flow path F. The flow path F constitutes a part of the flow path 93 shown in FIG.

第一層２０は、ガラス製であって、平板状を呈している。 The first layer 20 is made of glass and has a flat plate shape.

第二層２１は、ガラス製であって、平板状を呈している。第二層２１は、第一層２０の上面に積層されている。第二層２１は、上流側孔２１０ａと、下流側孔２１０ｂと、上流側溝２１１ａと、下流側溝２１１ｂと、を備えている。上流側溝２１１ａおよび下流側溝２１１ｂは、各々、第二層２１の下面（裏面）に凹設されている。上流側溝２１１ａおよび下流側溝２１１ｂは、各々、左右方向に延在する直線状を呈している。上流側溝２１１ａおよび下流側溝２１１ｂは、第一層２０の上面（表面）により、覆われている。上流側溝２１１ａは、第二層２１の下面の左側部分に配置されている。上流側溝２１１ａは、図１に示す試料導入部９１に連通している。下流側溝２１１ｂは、第二層２１の下面の右側部分に配置されている。下流側溝２１１ｂは、図１に示す別のバルブ１を介して、反応部９２に連通している。 The second layer 21 is made of glass and has a flat plate shape. The second layer 21 is laminated on the upper surface of the first layer 20. The second layer 21 includes an upstream hole 210a, a downstream hole 210b, an upstream groove 211a, and a downstream groove 211b. The upstream groove 211 a and the downstream groove 211 b are each recessed in the lower surface (back surface) of the second layer 21. The upstream groove 211a and the downstream groove 211b each have a linear shape extending in the left-right direction. The upstream groove 211 a and the downstream groove 211 b are covered with the upper surface (surface) of the first layer 20. The upstream groove 211 a is disposed on the left side portion of the lower surface of the second layer 21. The upstream groove 211a communicates with the sample introduction part 91 shown in FIG. The downstream groove 211 b is disposed on the right side portion of the lower surface of the second layer 21. The downstream groove 211b communicates with the reaction unit 92 via another valve 1 shown in FIG.

上流側孔２１０ａは、上流側溝２１１ａの溝底面と第二層２１の上面とを、上下方向（層厚方向）に貫通している。同様に、下流側孔２１０ｂは、下流側溝２１１ｂの溝底面と第二層２１の上面とを、上下方向に貫通している。上流側孔２１０ａの下端開口（上流側開口）は、上流側溝２１１ａの右端（下流側端）に連なっている。下流側孔２１０ｂの下端開口（下流側開口）は、下流側溝２１１ｂの左端（上流側端）に連なっている。 The upstream hole 210a penetrates the groove bottom surface of the upstream groove 211a and the upper surface of the second layer 21 in the vertical direction (layer thickness direction). Similarly, the downstream hole 210b penetrates the groove bottom surface of the downstream groove 211b and the upper surface of the second layer 21 in the vertical direction. The lower end opening (upstream opening) of the upstream hole 210a is connected to the right end (downstream end) of the upstream groove 211a. The lower end opening (downstream opening) of the downstream hole 210b is continuous with the left end (upstream end) of the downstream groove 211b.

第三層２２は、ガラス製であって、平板状を呈している。第三層２２は、第二層２１の上面に積層されている。第三層２２は、凸部収容部２２０と、一対の配線収容溝２２１ａ、２２１ｂと、を備えている。凸部収容部２２０は、第三層２２を上下方向に貫通している。上側から見て、凸部収容部２２０は、真円状を呈している。凸部収容部２２０の下端開口は、第二層２１の上面により、覆われている。上側から見て、凸部収容部２２０の径方向中央部分には、上流側孔２１０ａの上端開口（下流側開口）、下流側孔２１０ｂの上端開口（上流側開口）が、配置されている。配線収容溝２２１ａ、２２１ｂは、各々、第三層２２の上面に凹設されている。配線収容溝２２１ａ、２２１ｂは、各々、左右方向に延在する直線状を呈している。配線収容溝２２１ａは、第三層２２の上面の左側部分に配置されている。配線収容溝２２１ａは、第三層２２の左端と凸部収容部２２０とを連通している。配線収容溝２２１ｂは、第三層２２の上面の右側部分に配置されている。配線収容溝２２１ｂは、第三層２２の右端と凸部収容部２２０とを連通している。 The third layer 22 is made of glass and has a flat plate shape. The third layer 22 is laminated on the upper surface of the second layer 21. The third layer 22 includes a convex portion accommodating portion 220 and a pair of wiring accommodating grooves 221a and 221b. The convex portion accommodating portion 220 penetrates the third layer 22 in the vertical direction. When viewed from above, the convex portion accommodating portion 220 has a perfect circle shape. The lower end opening of the convex portion accommodating portion 220 is covered with the upper surface of the second layer 21. When viewed from the upper side, an upper end opening (downstream opening) of the upstream hole 210a and an upper end opening (upstream opening) of the downstream hole 210b are disposed in the central portion in the radial direction of the convex portion accommodating portion 220. The wiring receiving grooves 221 a and 221 b are recessed in the upper surface of the third layer 22. Each of the wiring receiving grooves 221a and 221b has a linear shape extending in the left-right direction. The wiring accommodating groove 221 a is disposed on the left side portion of the upper surface of the third layer 22. The wiring housing groove 221 a communicates the left end of the third layer 22 and the convex portion housing portion 220. The wiring receiving groove 221 b is disposed on the right side portion of the upper surface of the third layer 22. The wiring housing groove 221 b communicates the right end of the third layer 22 and the convex portion housing portion 220.

第四層２３は、ガラス製であって、平板状を呈している。第四層２３は、第三層２２の上面に積層されている。配線収容溝２２１ａ、２２１ｂは、第四層２３の下面により、覆われている。凸部収容部２２０の上端開口は、第四層２３の下面により、覆われている。第四層２３は、連通孔２３０を備えている。連通孔２３０は、第四層２３を上下方向に貫通している。 The fourth layer 23 is made of glass and has a flat plate shape. The fourth layer 23 is laminated on the upper surface of the third layer 22. The wiring receiving grooves 221 a and 221 b are covered with the lower surface of the fourth layer 23. The upper end opening of the convex portion accommodating portion 220 is covered with the lower surface of the fourth layer 23. The fourth layer 23 includes a communication hole 230. The communication hole 230 penetrates the fourth layer 23 in the vertical direction.

流路Ｆは、上流側流路Ｆａと、下流側流路Ｆｂと、容積調整室Ｆｃと、を備えている。流路Ｆには、試料である液体Ｌが流動可能である。液体Ｌは、本発明の「流体」の概念に含まれる。 The flow path F includes an upstream flow path Fa, a downstream flow path Fb, and a volume adjustment chamber Fc. In the flow path F, the liquid L which is a sample can flow. The liquid L is included in the concept of “fluid” of the present invention.

図２に示すように、容積調整室Ｆｃは、後述するダイヤフラム３の内面と、第二層２１の上面と、の間に区画されている。ダイヤフラム３の凸部３０の弾性変形に伴って、容積調整室Ｆｃの容積は変化する。上流側流路Ｆａは、上流側溝２１１ａと上流側孔２１０ａとを備えている。上流側流路Ｆａは、容積調整室Ｆｃの上流側に配置されている。下流側流路Ｆｂは、下流側溝２１１ｂと下流側孔２１０ｂとを備えている。下流側流路Ｆｂは、容積調整室Ｆｃの下流側に配置されている。このように、図１に示す試料導入部９１の下流側には、流路Ｆが配置されている。 As shown in FIG. 2, the volume adjustment chamber Fc is partitioned between the inner surface of a diaphragm 3 described later and the upper surface of the second layer 21. The volume of the volume adjustment chamber Fc changes with the elastic deformation of the convex part 30 of the diaphragm 3. The upstream channel Fa includes an upstream groove 211a and an upstream hole 210a. The upstream channel Fa is disposed on the upstream side of the volume adjustment chamber Fc. The downstream flow path Fb includes a downstream groove 211b and a downstream hole 210b. The downstream channel Fb is disposed on the downstream side of the volume adjustment chamber Fc. Thus, the flow path F is arrange | positioned in the downstream of the sample introduction part 91 shown in FIG.

（ダイヤフラム３）
ダイヤフラム３は、シリコーンゴム製であって、下方に開口する有底円筒状（カップ状）を呈している。ダイヤフラム３は、凸部収容部２２０に収容されている。ダイヤフラム３は、弾性変形可能である。ダイヤフラム３は、凸部３０と、平坦部３１と、支持部３２と、を備えている。支持部３２は、短軸円筒状を呈している。支持部３２は、第四層２３と第二層２１とにより、上下方向から、挟持、固定されている。平坦部３１は、円環状を呈している。平坦部３１は、支持部３２の上端から、径方向内側に張り出している。ダイヤフラム３に荷重が加わっていない状態（無荷重状態）において、凸部３０は、下側に突出する部分球壁状を呈している。すなわち、図４に示すように、凸部３０の上下方向断面形状は、上側に開口するＣ字状を呈している。凸部３０は、平坦部３１の開口に配置されている。上側から見て、凸部３０の径方向中心部分（下端部、頂部）は、上流側孔２１０ａの上端開口、下流側孔２１０ｂの上端開口と重複している。 (Diaphragm 3)
The diaphragm 3 is made of silicone rubber and has a bottomed cylindrical shape (cup shape) that opens downward. The diaphragm 3 is accommodated in the convex portion accommodating portion 220. The diaphragm 3 can be elastically deformed. The diaphragm 3 includes a convex portion 30, a flat portion 31, and a support portion 32. The support part 32 has a short-axis cylindrical shape. The support portion 32 is sandwiched and fixed from above and below by the fourth layer 23 and the second layer 21. The flat portion 31 has an annular shape. The flat portion 31 projects radially inward from the upper end of the support portion 32. In a state where no load is applied to the diaphragm 3 (no load state), the convex portion 30 has a partial spherical wall shape protruding downward. That is, as shown in FIG. 4, the vertical cross-sectional shape of the protrusion 30 has a C-shape that opens upward. The convex portion 30 is disposed in the opening of the flat portion 31. When viewed from the upper side, the radial center portion (lower end portion, top portion) of the convex portion 30 overlaps with the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b.

（アクチュエータ５）
アクチュエータ５は、ダイヤフラム３と共に、凸部収容部２２０に収容されている。アクチュエータ５は、ダイヤフラム３の上面に積層されている。アクチュエータ５のうち、平坦部３１の上面に積層されている部分は、第四層２３の下面に当接している。アクチュエータ５のうち、凸部３０の上面に積層されている部分は、凸部３０の上面の形状（具体的には、部分裏球面状）に倣って、下側に突出している。アクチュエータ５は、誘電層５０と、一対の電極５１ａ、５１ｂと、一対の保護層５２ａ、５２ｂと、を備えている。 (Actuator 5)
The actuator 5 is accommodated in the convex portion accommodating portion 220 together with the diaphragm 3. The actuator 5 is laminated on the upper surface of the diaphragm 3. A portion of the actuator 5 that is stacked on the upper surface of the flat portion 31 is in contact with the lower surface of the fourth layer 23. A portion of the actuator 5 that is stacked on the upper surface of the convex portion 30 protrudes downward along the shape of the upper surface of the convex portion 30 (specifically, a partially spherical surface). The actuator 5 includes a dielectric layer 50, a pair of electrodes 51a and 51b, and a pair of protective layers 52a and 52b.

図３に示すように、誘電層５０は、Ｈ−ＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）製であって、フィルム状を呈している。Ｈ−ＮＢＲは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。誘電層５０は、絶縁性を有している。誘電層５０は、誘電層本体５００を備えている。 As shown in FIG. 3, the dielectric layer 50 is made of H-NBR (hydrogenated nitrile rubber) and has a film shape. H-NBR is included in the concept of “elastomer” of the present invention. The dielectric layer 50 has an insulating property. The dielectric layer 50 includes a dielectric layer body 500.

電極５１ａ、５１ｂは、各々、アクリルゴム中にカーボン粉末が充填された電極材料製であって、フィルム状を呈している。電極５１ａ、５１ｂは、各々、導電性を有している。電極５１ａは、誘電層５０の上面に積層されている。電極５１ａは、電極本体５１０ａと、延在部５１１ａと、を備えている。電極本体５１０ａは、誘電層本体５００の上面に配置されている。電極５１ｂは、誘電層５０の下面に積層されている。電極５１ｂは、電極本体５１０ｂと、延在部５１１ｂと、を備えている。電極本体５１０ｂは、誘電層本体５００の下面に配置されている。 Each of the electrodes 51a and 51b is made of an electrode material in which an acrylic rubber is filled with carbon powder, and has a film shape. Each of the electrodes 51a and 51b has conductivity. The electrode 51 a is stacked on the upper surface of the dielectric layer 50. The electrode 51a includes an electrode body 510a and an extending portion 511a. The electrode body 510 a is disposed on the upper surface of the dielectric layer body 500. The electrode 51 b is stacked on the lower surface of the dielectric layer 50. The electrode 51b includes an electrode body 510b and an extending portion 511b. The electrode body 510 b is disposed on the lower surface of the dielectric layer body 500.

保護層５２ａ、５２ｂは、各々、Ｈ−ＮＢＲ製であって、フィルム状を呈している。保護層５２ａ、５２ｂは、各々、絶縁性を有している。保護層５２ａは、電極５１ａの上面に積層されている。保護層５２ａは、保護層本体５２０ａを備えている。保護層本体５２０ａは、電極本体５１０ａの上面を覆っている。保護層５２ｂは、電極５１ｂの下面に積層されている。保護層５２ｂは、保護層本体５２０ｂを備えている。保護層本体５２０ｂは、電極本体５１０ｂの下面を覆っている。 The protective layers 52a and 52b are each made of H-NBR and have a film shape. Each of the protective layers 52a and 52b has an insulating property. The protective layer 52a is laminated on the upper surface of the electrode 51a. The protective layer 52a includes a protective layer body 520a. The protective layer body 520a covers the upper surface of the electrode body 510a. The protective layer 52b is laminated on the lower surface of the electrode 51b. The protective layer 52b includes a protective layer body 520b. The protective layer body 520b covers the lower surface of the electrode body 510b.

（配線６ａ、６ｂ）
一対の配線６ａ、６ｂは、各々、Ｃｕ（銅）テープ製であって、直線帯状を呈している。配線６ａは、第三層２２の配線収容溝２２１ａの溝底面に貼着されている。配線６ａは、配線収容溝２２１ａに収容されている。図６に示すように、配線６ａの右端と、第四層２３の下面と、の間には、電極５１ａの延在部５１１ａの左端が挟み込まれている。当該挟み込みにより、配線６ａと電極５１ａとの間の導通が確保されている。 (Wiring 6a, 6b)
Each of the pair of wirings 6a and 6b is made of Cu (copper) tape and has a straight strip shape. The wiring 6 a is adhered to the groove bottom surface of the wiring housing groove 221 a of the third layer 22. The wiring 6a is accommodated in the wiring accommodation groove 221a. As shown in FIG. 6, the left end of the extending portion 511a of the electrode 51a is sandwiched between the right end of the wiring 6a and the lower surface of the fourth layer 23. By the sandwiching, conduction between the wiring 6a and the electrode 51a is ensured.

配線６ｂは、第三層２２の配線収容溝２２１ｂの溝底面に貼着されている。配線６ｂは、配線収容溝２２１ｂに収容されている。図７に示すように、配線６ｂの左端と、第四層２３の下面と、の間には、電極５１ｂの延在部５１１ｂの右端が挟み込まれている。当該挟み込みにより、配線６ｂと電極５１ｂとの間の導通が確保されている。 The wiring 6b is adhered to the bottom surface of the wiring housing groove 221b of the third layer 22. The wiring 6b is accommodated in the wiring accommodation groove 221b. As shown in FIG. 7, the right end of the extending part 511 b of the electrode 51 b is sandwiched between the left end of the wiring 6 b and the lower surface of the fourth layer 23. By the sandwiching, conduction between the wiring 6b and the electrode 51b is secured.

（駆動回路７）
図２に示すように、駆動回路７は、電源７０とスイッチ７１とを備えている。電源７０の正極側は、配線６ａに電気的に接続されている。電源７０の負極側は、スイッチ７１を介して、配線６ｂに電気的に接続されている。電源７０は、図４に示す上下一対の電極５１ａ、５１ｂ間（具体的には、図３に示す上下一対の電極本体５１０ａ、５１０ｂ間）に、電圧を印加することができる。 (Drive circuit 7)
As shown in FIG. 2, the drive circuit 7 includes a power supply 70 and a switch 71. The positive electrode side of the power supply 70 is electrically connected to the wiring 6a. The negative side of the power supply 70 is electrically connected to the wiring 6b via the switch 71. The power supply 70 can apply a voltage between the pair of upper and lower electrodes 51a and 51b shown in FIG. 4 (specifically, between the pair of upper and lower electrode bodies 510a and 510b shown in FIG. 3).

［バルブの動き］
次に、本実施形態のバルブの動きについて説明する。図８に、本実施形態のバルブのダイヤフラム付近の上下方向断面図を示す。なお、図８は、図４に対応している。また、図４は開弁状態を、図８は閉弁状態を、各々示している。 [Valve movement]
Next, the movement of the valve of this embodiment will be described. FIG. 8 is a vertical sectional view of the vicinity of the diaphragm of the valve of this embodiment. FIG. 8 corresponds to FIG. FIG. 4 shows a valve open state, and FIG. 8 shows a valve closed state.

図４に示すように、開弁状態においては、ダイヤフラム３の凸部３０の頂部が、第二層２１の上面から離間している。このため、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口は、開放されている。したがって、開弁状態においては、上流側流路Ｆａ、容積調整室Ｆｃ、下流側流路Ｆｂを経由して、液体Ｌが流動する。 As shown in FIG. 4, the top of the convex portion 30 of the diaphragm 3 is separated from the upper surface of the second layer 21 in the valve open state. For this reason, the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b are open. Therefore, in the valve open state, the liquid L flows via the upstream flow path Fa, the volume adjustment chamber Fc, and the downstream flow path Fb.

図２に示すスイッチ７１を閉じると、電源７０から、配線６ａ、６ｂを介して、アクチュエータ５に、電圧が印加される。具体的には、図４に示す電極５１ａと電極５１ｂとの間に、電圧が印加される。このため、電極５１ａと電極５１ｂとの間に、マクスウェル応力が発生する。したがって、図５に示すように、誘電層５０は、上下方向から圧縮される。並びに、誘電層５０は、圧縮された分だけ、水平方向（面方向）に伸張しようとする。すなわち、アクチュエータ５は、拡径方向に伸張しようとする。 When the switch 71 shown in FIG. 2 is closed, a voltage is applied from the power source 70 to the actuator 5 via the wirings 6a and 6b. Specifically, a voltage is applied between the electrode 51a and the electrode 51b shown in FIG. Therefore, Maxwell stress is generated between the electrode 51a and the electrode 51b. Therefore, as shown in FIG. 5, the dielectric layer 50 is compressed from above and below. In addition, the dielectric layer 50 tends to stretch in the horizontal direction (plane direction) by the amount of compression. That is, the actuator 5 tends to extend in the diameter expansion direction.

しかしながら、図４に示すように、アクチュエータ５は、ダイヤフラム３に固定されている。また、ダイヤフラム３の拡径方向の変形は、凸部収容部２２０の内周面により規制されている。また、ダイヤフラム３の支持部３２は、第四層２３と第二層２１とにより、上下方向から、挟持、固定されている。このため、アクチュエータ５つまりダイヤフラム３の変形方向は、上下方向に誘導される。 However, as shown in FIG. 4, the actuator 5 is fixed to the diaphragm 3. Further, the deformation in the diameter increasing direction of the diaphragm 3 is restricted by the inner peripheral surface of the convex portion accommodating portion 220. The support portion 32 of the diaphragm 3 is sandwiched and fixed from above and below by the fourth layer 23 and the second layer 21. For this reason, the deformation direction of the actuator 5, that is, the diaphragm 3 is guided in the vertical direction.

ここで、ダイヤフラム３の凸部３０は、下側（上流側孔２１０ａの上端開口側および下流側孔２１０ｂの上端開口側）に突出している。並びに、ダイヤフラム３の平坦部３１は、アクチュエータ５を介して、上側から第四層２３の下面により、押さえられている。このため、アクチュエータ５つまりダイヤフラム３の変形方向は、上下方向のうち、下側に誘導される。 Here, the convex part 30 of the diaphragm 3 protrudes downward (the upper end opening side of the upstream hole 210a and the upper end opening side of the downstream hole 210b). In addition, the flat portion 31 of the diaphragm 3 is pressed by the lower surface of the fourth layer 23 from above through the actuator 5. For this reason, the deformation direction of the actuator 5, that is, the diaphragm 3 is guided downward in the vertical direction.

よって、図８に示すように、ダイヤフラム３の凸部３０は、下側に突出する。閉弁状態においては、凸部３０の頂部が、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口を封止している。このため、上流側流路Ｆａと容積調整室Ｆｃとの連通が遮断される。並びに、容積調整室Ｆｃと下流側流路Ｆｂとの連通が遮断される。 Therefore, as shown in FIG. 8, the convex part 30 of the diaphragm 3 protrudes downward. In the valve closed state, the top of the convex portion 30 seals the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b. For this reason, the communication between the upstream flow path Fa and the volume adjustment chamber Fc is blocked. In addition, the communication between the volume adjustment chamber Fc and the downstream flow path Fb is blocked.

このように、本実施形態のバルブ１によると、凸部３０を上下方向に変形させることにより、図４に示す開弁状態と、図８に示す閉弁状態と、の間で、流路Ｆを流れる液体Ｌの流量を調整することができる。 Thus, according to the valve 1 of the present embodiment, by deforming the convex portion 30 in the vertical direction, the flow path F between the valve open state shown in FIG. 4 and the valve closed state shown in FIG. It is possible to adjust the flow rate of the liquid L flowing through the.

［作用効果］
次に、本実施形態のバルブの作用効果について説明する。本実施形態のバルブ１は、エラストマー製のダイヤフラム３を備えている。圧電素子と比較して、ダイヤフラム３は柔軟である。このため、図８に示すように、流路Ｆを閉じる閉弁状態において、ダイヤフラム３は、第二層２１の上面の面形状に沿って、着座することができる。したがって、シール性が高い。また、隣接する部材（例えば第二層２１の上面）に不具合が生じにくい。 [Function and effect]
Next, the effect of the valve of this embodiment will be described. The valve 1 of the present embodiment includes an elastomer diaphragm 3. Compared to the piezoelectric element, the diaphragm 3 is flexible. Therefore, as shown in FIG. 8, the diaphragm 3 can be seated along the surface shape of the upper surface of the second layer 21 in the valve closing state in which the flow path F is closed. Therefore, the sealing performance is high. Moreover, it is hard to produce a malfunction in an adjacent member (for example, the upper surface of the second layer 21).

また、本実施形態のバルブ１によると、作動流体、駆動槽、加圧槽などが不要である。このため、構造が簡単である。また、小型化が容易である。また、本実施形態のバルブ１は、作動流体（例えば、液体、気体など）を介さずに、アクチュエータ５により、直接ダイヤフラム３を駆動している。このため、駆動時の応答性が高い。 Further, according to the valve 1 of the present embodiment, a working fluid, a driving tank, a pressurizing tank, and the like are unnecessary. For this reason, the structure is simple. Further, it is easy to reduce the size. Further, the valve 1 of the present embodiment directly drives the diaphragm 3 by the actuator 5 without using a working fluid (for example, liquid, gas, etc.). For this reason, the responsiveness at the time of drive is high.

また、本実施形態のバルブ１のダイヤフラム３は、予め形状付与された凸部３０を備えている。並びに、凸部３０は、凸部収容部２２０に収容されている。このため、図８に示すように、電圧印加時の凸部３０の変形方向を、上流側孔２１０ａの上端開口側および下流側孔２１０ｂの上端開口側に誘導することができる。したがって、電圧印加時に流路Ｆを閉じることができる。反対に、電圧除去時に流路Ｆを開くことができる。よって、ダイヤフラム３の変形方向を上流側孔２１０ａの上端開口側および下流側孔２１０ｂの上端開口側に誘導する部材（例えばスプリングなど）は不要である。この点においても、本実施形態のバルブ１は、構造が簡単である。また、小型化が容易である。 Moreover, the diaphragm 3 of the valve 1 of the present embodiment is provided with a convex portion 30 which has been given a shape in advance. In addition, the convex portion 30 is accommodated in the convex portion accommodating portion 220. For this reason, as shown in FIG. 8, the deformation direction of the convex part 30 at the time of voltage application can be guide | induced to the upper end opening side of the upstream hole 210a, and the upper end opening side of the downstream hole 210b. Therefore, the flow path F can be closed when a voltage is applied. On the contrary, the flow path F can be opened at the time of voltage removal. Therefore, a member (for example, a spring) that guides the deformation direction of the diaphragm 3 to the upper end opening side of the upstream hole 210a and the upper end opening side of the downstream hole 210b is unnecessary. Also in this point, the structure of the valve 1 of the present embodiment is simple. Further, it is easy to reduce the size.

また、図４、図８に示すように、ダイヤフラム３の凸部３０は、アクチュエータ５により駆動される。このため、凸部３０を、流路Ｆ開閉用の機能に特化させることができる。並びに、アクチュエータ５を、凸部３０駆動用の機能に特化させることができる。したがって、アクチュエータ５およびダイヤフラム３の設計自由度が高くなる。また、ダイヤフラム３により、アクチュエータ５を、容積調整室Ｆｃの液体Ｌから、隔離することができる。 Further, as shown in FIGS. 4 and 8, the convex portion 30 of the diaphragm 3 is driven by the actuator 5. For this reason, the convex part 30 can be specialized in the function for channel F opening and closing. In addition, the actuator 5 can be specialized in the function for driving the convex portion 30. Therefore, the design freedom of the actuator 5 and the diaphragm 3 is increased. Further, the diaphragm 3 can isolate the actuator 5 from the liquid L in the volume adjustment chamber Fc.

また、本実施形態のバルブ１によると、図３に示すように、電極５１ａの電極本体５１０ａは、上側から保護層本体５２０ａにより、下側から誘電層本体５００により、覆われている。このため、電極本体５１０ａを保護することができる。 Further, according to the valve 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 3, the electrode body 510a of the electrode 51a is covered with the protective layer body 520a from the upper side and the dielectric layer body 500 from the lower side. For this reason, the electrode main body 510a can be protected.

同様に、電極５１ｂの電極本体５１０ｂは、下側から保護層本体５２０ｂにより、上側から誘電層本体５００により、覆われている。このため、電極本体５１０ｂを保護することができる。 Similarly, the electrode body 510b of the electrode 51b is covered with the protective layer body 520b from the lower side and with the dielectric layer body 500 from the upper side. For this reason, the electrode main body 510b can be protected.

また、図８に示すように、閉弁状態において、凸部３０は、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口だけを封止している。このため、上流側孔２１０ａの上端開口と下流側孔２１０ｂの上端開口とを互いに近接して配置することにより、凸部３０の頂面（シール面）の面積を小さくすることができる。また、本実施形態のバルブ１によると、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口のうち、少なくとも一方を封止できれば、上流側孔２１０ａから下流側孔２１０ｂへの液体Ｌの流れを遮断することができる。このため、シール性が高い。 Further, as shown in FIG. 8, in the valve closed state, the convex portion 30 seals only the upper end opening of the upstream side hole 210a and the upper end opening of the downstream side hole 210b. For this reason, by arranging the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b close to each other, the area of the top surface (seal surface) of the convex portion 30 can be reduced. Further, according to the valve 1 of the present embodiment, if at least one of the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b can be sealed, the liquid L from the upstream hole 210a to the downstream hole 210b can be sealed. The flow can be cut off. For this reason, the sealing performance is high.

また、図８に示すように、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口に対して、凸部３０は、上側から離接する。このため、上流側孔２１０ａの上端開口および下流側孔２１０ｂの上端開口に対して、凸部３０が左側や右側から離接する場合と比較して、流路断面積を迅速に変えることができる。 Moreover, as shown in FIG. 8, the convex part 30 is separated from the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b from the upper side. For this reason, compared with the case where the convex part 30 is separated from the upper end opening of the upstream hole 210a and the upper end opening of the downstream hole 210b from the left side or the right side, the flow path cross-sectional area can be changed quickly.

また、本実施形態のバルブ１によると、第四層２３が、平坦部３１を上側から覆っている。このため、図４、図８に示すように、開弁状態から閉弁状態に切り替わる際に、凸部３０の変形方向を、下側（上流側孔２１０ａの上端開口側および下流側孔２１０ｂの上端開口側）に安定化させることができる。また、電圧印加、除去時の凸部３０の頂部の上下方向のストロークのばらつきを、小さくすることができる。 Further, according to the valve 1 of the present embodiment, the fourth layer 23 covers the flat portion 31 from the upper side. For this reason, as shown in FIGS. 4 and 8, when the valve opening state is switched to the valve closing state, the deformation direction of the convex portion 30 is changed to the lower side (the upper end opening side of the upstream side hole 210a and the downstream side hole 210b. It can be stabilized on the upper opening side. Further, it is possible to reduce the variation in the vertical stroke of the top of the convex portion 30 at the time of voltage application and removal.

＜第二実施形態＞
本実施形態のバルブと第一実施形態のバルブとの相違点は、液体ではなく、気体の流量を制御している点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図９に、本実施形態のバルブの左右方向断面図を示す。なお、図２、図４と対応する部位については、同じ符号で示す。 <Second embodiment>
The difference between the valve of this embodiment and the valve of the first embodiment is that the flow rate of gas is controlled rather than liquid. Here, only differences will be described. FIG. 9 shows a cross-sectional view in the left-right direction of the valve of this embodiment. 2 and 4 are denoted by the same reference numerals.

図９に示すように、ケース４０は、ケース本体４００と、蓋４０１と、を備えている。ケース本体４００は、上側に開口する有底円筒状（カップ状）を呈している。ケース本体４００は、上流側孔４００ａと、下流側孔４００ｂと、凸部収容部４００ｃと、を備えている。上流側孔４００ａは、ケース本体４００の側壁を貫通している。下流側孔４００ｂは、ケース本体４００の底壁の径方向中央を貫通している。凸部収容部４００ｃは、ケース本体４００の内部に区画されている。凸部収容部４００ｃは、上流側孔４００ａの径方向内端（下流端）および下流側孔４００ｂの上端（上流端）に、接続されている。蓋４０１は、円板状を呈している。蓋４０１は、ケース本体４００の開口を封止している。蓋４０１は、連通孔４０１ａを備えている。連通孔４０１ａは、蓋４０１の径方向中央を貫通している。 As shown in FIG. 9, the case 40 includes a case main body 400 and a lid 401. The case main body 400 has a bottomed cylindrical shape (cup shape) that opens upward. The case main body 400 includes an upstream hole 400a, a downstream hole 400b, and a convex portion accommodating portion 400c. The upstream hole 400 a passes through the side wall of the case body 400. The downstream hole 400 b passes through the center in the radial direction of the bottom wall of the case body 400. The convex portion accommodating portion 400 c is partitioned inside the case main body 400. The convex portion accommodating portion 400c is connected to the radially inner end (downstream end) of the upstream side hole 400a and the upper end (upstream end) of the downstream side hole 400b. The lid 401 has a disk shape. The lid 401 seals the opening of the case main body 400. The lid 401 includes a communication hole 401a. The communication hole 401 a passes through the center of the lid 401 in the radial direction.

ケース本体４００には、上流側流路Ｆａ（上流側孔４００ａ）→容積調整室Ｆｃ（凸部収容部４００ｃにおけるダイヤフラム３下側の部分）→下流側流路Ｆｂ（下流側孔４００ｂ）と連なる流路Ｆが配置されている。流路Ｆには、気体Ｇが流れている。気体Ｇは、本発明の「流体」の概念に含まれる。 The case main body 400 is connected to the upstream flow path Fa (upstream hole 400a) → the volume adjustment chamber Fc (the lower portion of the diaphragm 3 in the convex portion accommodating portion 400c) → the downstream flow path Fb (downstream hole 400b). A flow path F is arranged. A gas G flows through the flow path F. The gas G is included in the concept of “fluid” of the present invention.

スイッチ７１を閉じると、電源７０から、配線６ａ、６ｂを介して、アクチュエータ５に、電圧が印加される。具体的には、電極５１ａと電極５１ｂとの間に、電圧が印加される。このため、電極５１ａと電極５１ｂとの間に、マクスウェル応力が発生する。したがって、誘電層５０は、上下方向から圧縮される。並びに、誘電層５０は、圧縮された分だけ、水平方向（面方向）に伸張しようとする。すなわち、アクチュエータ５は、拡径方向に伸張しようとする。 When the switch 71 is closed, a voltage is applied from the power source 70 to the actuator 5 via the wires 6a and 6b. Specifically, a voltage is applied between the electrode 51a and the electrode 51b. Therefore, Maxwell stress is generated between the electrode 51a and the electrode 51b. Therefore, the dielectric layer 50 is compressed from above and below. In addition, the dielectric layer 50 tends to stretch in the horizontal direction (plane direction) by the amount of compression. That is, the actuator 5 tends to extend in the diameter expansion direction.

しかしながら、アクチュエータ５は、ダイヤフラム３に固定されている。また、平坦部３１は、アクチュエータ５に貼り付けられている。言い換えると、平坦部３１は、アクチュエータ５を介して、蓋４０１の下面に固定されている。このため、アクチュエータ５つまりダイヤフラム３の変形方向は、上下方向に誘導される。 However, the actuator 5 is fixed to the diaphragm 3. Further, the flat portion 31 is attached to the actuator 5. In other words, the flat portion 31 is fixed to the lower surface of the lid 401 via the actuator 5. For this reason, the deformation direction of the actuator 5, that is, the diaphragm 3 is guided in the vertical direction.

ここで、ダイヤフラム３の凸部３０は、下側に突出している。並びに、ダイヤフラム３の平坦部３１は、アクチュエータ５を介して、上側から蓋４０１の下面により、押さえられている。このため、アクチュエータ５つまりダイヤフラム３の変形方向は、上下方向のうち、下側に誘導される。 Here, the convex part 30 of the diaphragm 3 protrudes downward. In addition, the flat portion 31 of the diaphragm 3 is pressed by the lower surface of the lid 401 from above through the actuator 5. For this reason, the deformation direction of the actuator 5, that is, the diaphragm 3 is guided downward in the vertical direction.

よって、ダイヤフラム３の凸部３０は、下側に突出する。閉弁状態においては、凸部３０の頂部が、下流側孔４００ｂの上端開口を封止する。このため、容積調整室Ｆｃと下流側流路Ｆｂとの連通が遮断される。 Therefore, the convex part 30 of the diaphragm 3 protrudes downward. In the valve closed state, the top of the convex part 30 seals the upper end opening of the downstream hole 400b. For this reason, the communication between the volume adjustment chamber Fc and the downstream flow path Fb is blocked.

このように、本実施形態のバルブ１によると、凸部３０を上下方向に変形させることにより、図９に示す開弁状態と、閉弁状態と、の間で、流路Ｆを流れる気体Ｇの流量を調整することができる。 Thus, according to the valve 1 of the present embodiment, the gas G flowing through the flow path F between the valve open state and the valve closed state shown in FIG. The flow rate can be adjusted.

本実施形態のバルブは、構成が共通する部分に関しては、第一実施形態のバルブと同様の作用効果を有する。また、本実施形態のバルブ１によると、ダイヤフラム３に支持部が配置されていない。このため、ダイヤフラム３の構成が簡単である。本実施形態のように、平坦部３１が隣接する部材に固定されていれば、電圧印加時の凸部３０の拡径方向の変形を規制することができる。このため、支持部を配置しなくても、凸部３０の変形方向を下側に誘導することができる。また、本実施形態のように、流体として気体Ｇを用いてもよい。また、本実施形態のように、閉弁状態において、上流側孔４００ａおよび下流側孔４００ｂのうち、どちらが一方を、凸部３０で封止してもよい。 The valve of the present embodiment has the same function and effect as the valve of the first embodiment with respect to the parts having the same configuration. Further, according to the valve 1 of the present embodiment, the support portion is not disposed on the diaphragm 3. For this reason, the structure of the diaphragm 3 is simple. If the flat part 31 is being fixed to the adjacent member like this embodiment, the deformation | transformation of the diameter expansion direction of the convex part 30 at the time of a voltage application can be controlled. For this reason, even if it does not arrange | position a support part, the deformation | transformation direction of the convex part 30 can be guide | induced to the down side. Moreover, you may use gas G as a fluid like this embodiment. Further, as in the present embodiment, in the valve closing state, either one of the upstream hole 400 a and the downstream hole 400 b may be sealed with the convex portion 30.

＜その他＞
以上、本発明のバルブの実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。 <Others>
The embodiment of the valve of the present invention has been described above. However, the embodiment is not particularly limited to the above embodiment. Various modifications and improvements that can be made by those skilled in the art are also possible.

例えば、図３に示すアクチュエータ５の「電極５１ａ−誘電層５０−電極５１ｂ」の繰り返し積層数は特に限定しない。電極５１ａ、５１ｂと誘電層５０とが交互に配置され、かつ最上層および最下層が電極５１ａ、５１ｂであればよい。繰り返し積層数を多くすると、アクチュエータ５の振幅、つまり凸部３０の頂部の上下方向のストロークを大きくすることができる。 For example, the number of repeated stacks of “electrode 51a−dielectric layer 50−electrode 51b” of the actuator 5 shown in FIG. 3 is not particularly limited. The electrodes 51a and 51b and the dielectric layer 50 may be alternately arranged, and the uppermost layer and the lowermost layer may be the electrodes 51a and 51b. When the number of repeated layers is increased, the amplitude of the actuator 5, that is, the vertical stroke of the top of the convex portion 30 can be increased.

誘電層５０に対する電極５１ａ、５１ｂの配置方法は特に限定しない。例えば、電極５１ａ、５１ｂを、誘電層５０に塗布（例えば、スクリーン印刷など）、または接着してもよい。また、電極５１ａ、５１ｂを、保護層５２ａ、５２ｂに塗布、または接着してもよい。 The arrangement method of the electrodes 51a and 51b with respect to the dielectric layer 50 is not particularly limited. For example, the electrodes 51a and 51b may be applied (for example, screen printing) or adhered to the dielectric layer 50. The electrodes 51a and 51b may be applied or bonded to the protective layers 52a and 52b.

また、図４に示す凸部３０の上下両面にアクチュエータ５を配置してもよい。また、凸部３０の下面（容積調整室Ｆｃ側の面）にだけ、アクチュエータ５を配置してもよい。また、凸部３０を誘電層５０と兼用してもよい。すなわち、凸部３０の上下両面に、一対の電極５１ａ、５１ｂを、塗布、接着などにより、積層してもよい。こうすると、アクチュエータ５が不要である。また、図２に示す電源７０は、直流電源でも交流電源でもよい。 Moreover, you may arrange | position the actuator 5 on the upper and lower surfaces of the convex part 30 shown in FIG. Further, the actuator 5 may be disposed only on the lower surface of the convex portion 30 (the surface on the volume adjustment chamber Fc side). The convex portion 30 may also be used as the dielectric layer 50. That is, a pair of electrodes 51a and 51b may be laminated on the upper and lower surfaces of the convex portion 30 by coating, bonding, or the like. In this way, the actuator 5 is unnecessary. 2 may be a DC power supply or an AC power supply.

また、上記実施形態においては、本発明の「表裏方向」、「積層方向」を上下方向に設定したが、左右方向、前後方向などに設定してもよい。すなわち、バルブの配置方向は特に限定しない。また、上記実施形態においては、本発明の「流体」として液体Ｌ、気体Ｇを用いたが、ゾルなどを用いてもよい。 In the above embodiment, the “front and back direction” and “stacking direction” of the present invention are set in the up and down direction, but may be set in the left and right direction and the front and rear direction. That is, the arrangement direction of the valve is not particularly limited. In the above embodiment, the liquid L and the gas G are used as the “fluid” of the present invention, but a sol or the like may be used.

誘電層５０の材質は特に限定しない。エラストマー（ゴム、熱可塑性エラストマー）製であればよい。例えば、誘電率の高いエラストマーを用いることが好ましい。具体的には、常温における比誘電率（１００Ｈｚ）が２以上、さらには５以上のエラストマーが好ましい。例えば、エステル基、カルボキシル基、水酸基、ハロゲン基、アミド基、スルホン基、ウレタン基、ニトリル基等の極性官能基を有するエラストマー、あるいは、これらの極性官能基を有する極性低分子量化合物を添加したエラストマーを採用するとよい。Ｈ−ＮＢＲ以外の好適なエラストマーとしては、シリコーンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン等が挙げられる。保護層５２ａ、５２ｂ、ダイヤフラム３の材質は特に限定しない。上記誘電層５０と同様の材質としてもよい。また、誘電層５０の材質と、保護層５２ａ、５２ｂの材質と、ダイヤフラム３の材質とは、同一でも異なっていてもよい。 The material of the dielectric layer 50 is not particularly limited. It may be made of an elastomer (rubber, thermoplastic elastomer). For example, it is preferable to use an elastomer having a high dielectric constant. Specifically, an elastomer having a relative dielectric constant (100 Hz) at room temperature of 2 or more, and more preferably 5 or more is preferable. For example, an elastomer having a polar functional group such as an ester group, a carboxyl group, a hydroxyl group, a halogen group, an amide group, a sulfone group, a urethane group, or a nitrile group, or an elastomer added with a polar low molecular weight compound having these polar functional groups Should be adopted. Suitable elastomers other than H-NBR include silicone rubber, acrylonitrile-butadiene rubber (NBR), ethylene-propylene-diene rubber (EPDM), acrylic rubber, urethane rubber, epichlorohydrin rubber, chlorosulfonated polyethylene, and chlorinated polyethylene. Etc. The materials of the protective layers 52a and 52b and the diaphragm 3 are not particularly limited. The same material as that of the dielectric layer 50 may be used. The material of the dielectric layer 50, the material of the protective layers 52a and 52b, and the material of the diaphragm 3 may be the same or different.

電極５１ａ、５１ｂの材質は、特に限定しない。例えば、シリコーンゴム、アクリルゴム、Ｈ−ＮＢＲ中に銀粉末、カーボンが充填された柔軟導電材料製としてもよい。電極５１ａ、５１ｂを金属や炭素材料から形成してもよい。伸縮性を付与するという観点から、例えば、金属等をメッシュ状に編むことにより、電極５１ａ、５１ｂを形成することができる。また、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等の導電性高分子から、電極５１ａ、５１ｂを形成してもよい。また、電極５１ａ、５１ｂの材料として、バインダーと導電材とを含む柔軟導電材料を採用する場合、バインダーには、エラストマーを用いることが好ましい。エラストマーとしては、例えば、シリコーンゴム、ＮＢＲ、ＥＰＤＭ、天然ゴム、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリルゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン等が好適である。また、導電材としては、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等の金属材料、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）や、酸化チタン、酸化亜鉛にアルミニウム、アンチモン等の他金属をドーピングしたもの等の導電性酸化物の中から、適宜選択すればよい。導電材は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。配線６ａ、６ｂの材質は特に限定しない。上記電極５１ａ、５１ｂと同様の材質としてもよい。また、電極５１ａ、５１ｂの材質と、配線６ａ、６ｂの材質とは、同一でも異なっていてもよい。 The material of the electrodes 51a and 51b is not particularly limited. For example, silicone rubber, acrylic rubber, or a flexible conductive material filled with silver powder or carbon in H-NBR may be used. The electrodes 51a and 51b may be formed from a metal or a carbon material. From the viewpoint of imparting stretchability, for example, the electrodes 51a and 51b can be formed by knitting metal or the like into a mesh shape. Alternatively, the electrodes 51a and 51b may be formed from a conductive polymer such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT). Further, when a flexible conductive material including a binder and a conductive material is employed as the material of the electrodes 51a and 51b, it is preferable to use an elastomer for the binder. Suitable examples of the elastomer include silicone rubber, NBR, EPDM, natural rubber, styrene-butadiene rubber (SBR), acrylic rubber, urethane rubber, epichlorohydrin rubber, chlorosulfonated polyethylene, and chlorinated polyethylene. In addition, as the conductive material, carbon materials such as carbon black, carbon nanotube, and graphite, metal materials such as silver, gold, copper, nickel, rhodium, palladium, chromium, titanium, platinum, iron, and alloys thereof, indium oxide What is necessary is just to select suitably from electroconductive oxides, such as what doped other metals, such as tin (ITO), titanium oxide, and zinc oxide, aluminum, antimony. A conductive material may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for it. The material of the wirings 6a and 6b is not particularly limited. The same material as the electrodes 51a and 51b may be used. The material of the electrodes 51a and 51b and the material of the wirings 6a and 6b may be the same or different.

また、ベース２の材質は特に限定しない。ガラスの他、硬質樹脂（ポリカーボネート、アクリル、ポリエステルなど）であってもよい。また、ケース４０の材質は特に限定しない。例えば、樹脂、金属などであってもよい。また、第一実施形態における支持部３２の固定方法は特に限定しない。例えば、凸部収容部２２０の内周面に当接させてもよい。 The material of the base 2 is not particularly limited. In addition to glass, it may be a hard resin (polycarbonate, acrylic, polyester, etc.). The material of the case 40 is not particularly limited. For example, resin, metal, etc. may be used. Moreover, the fixing method of the support part 32 in 1st embodiment is not specifically limited. For example, you may make it contact | abut to the internal peripheral surface of the convex part accommodating part 220. FIG.

第一実施形態においては、第二層２１の下面に上流側溝２１１ａ、下流側溝２１１ｂを配置した。しかしながら、第一層２０の上面に上流側溝２１１ａ、下流側溝２１１ｂを配置してもよい。 In the first embodiment, the upstream groove 211 a and the downstream groove 211 b are disposed on the lower surface of the second layer 21. However, the upstream groove 211a and the downstream groove 211b may be disposed on the upper surface of the first layer 20.

また、バルブ１を、ポンプとして用いてもよい。具体的には、上流側流路Ｆａ、下流側流路Ｆｂに、各々、上流側から下流側に向かってのみ液体Ｌ、気体Ｇの流動を許容する、流動方向規制弁を配置してもよい。こうすると、閉弁状態（図８）から開弁状態（図４、図９）に切り替わる際、上流側流路Ｆａから容積調整室Ｆｃへの液体Ｌ、気体Ｇの流動は許容される。一方、下流側流路Ｆｂから容積調整室Ｆｃへの液体Ｌ、気体Ｇの流動は禁止される。このため、上流側流路Ｆａから容積調整室Ｆｃへ、液体Ｌ、気体Ｇを送ることができる。また、開弁状態（図４、図９）から閉弁状態（図８）に切り替わる際、容積調整室Ｆｃから下流側流路Ｆｂへの液体Ｌ、気体Ｇの流動は許容される。一方、容積調整室Ｆｃから上流側流路Ｆａへの液体Ｌ、気体Ｇの流動は禁止される。このため、容積調整室Ｆｃから下流側流路Ｆｂへ、液体Ｌ、気体Ｇを送ることができる。このように、開弁状態（図４、図９）と閉弁状態（図８）とを切り替えることにより、液体Ｌ、気体Ｇを下流側に送ることができる。 The valve 1 may be used as a pump. Specifically, a flow direction regulating valve that allows the flow of the liquid L and the gas G only from the upstream side toward the downstream side may be arranged in the upstream side channel Fa and the downstream side channel Fb, respectively. . In this way, when the valve closed state (FIG. 8) is switched to the valve open state (FIGS. 4 and 9), the flow of the liquid L and gas G from the upstream flow path Fa to the volume adjustment chamber Fc is allowed. On the other hand, the flow of the liquid L and the gas G from the downstream side flow path Fb to the volume adjustment chamber Fc is prohibited. For this reason, the liquid L and the gas G can be sent from the upstream flow path Fa to the volume adjustment chamber Fc. Further, when switching from the open state (FIGS. 4 and 9) to the closed state (FIG. 8), the flow of the liquid L and gas G from the volume adjustment chamber Fc to the downstream flow path Fb is allowed. On the other hand, the flow of the liquid L and the gas G from the volume adjustment chamber Fc to the upstream channel Fa is prohibited. For this reason, the liquid L and the gas G can be sent from the volume adjustment chamber Fc to the downstream flow path Fb. Thus, the liquid L and the gas G can be sent to the downstream side by switching between the valve open state (FIGS. 4 and 9) and the valve closed state (FIG. 8).

１：バルブ。
２：ベース、２０：第一層、２１１ａ：上流側溝、２１１ｂ：下流側溝、２１：第二層、２１０ａ：上流側孔、２１０ｂ：下流側孔、２２：第三層、２２０：凸部収容部、２２１ａ：配線収容溝、２２１ｂ：配線収容溝、２３：第四層、２３０：連通孔。
３：ダイヤフラム、３０：凸部、３１：平坦部、３２：支持部。
４０：ケース、４００：ケース本体、４００ａ：上流側流路、４００ｂ：下流側流路、４００ｃ：凸部収容部、４０１：蓋、４０１ａ：連通孔。
５：アクチュエータ、５０：誘電層、５００：誘電層本体、５１ａ：電極、５１０ａ：電極本体、５１１ａ：延在部、５１ｂ：電極、５１０ｂ：電極本体、５１１ｂ：延在部、５２ａ：保護層、５２０ａ：保護層本体、５２ｂ：保護層、５２０ｂ：保護層本体。
６ａ：配線、６ｂ：配線。
７：駆動回路、７０：電源、７１：スイッチ。
９：マイクロＴＡＳチップ、９０：基板、９１：試料導入部、９２：反応部、９３：流路。
Ｆ：流路、Ｆａ：上流側流路、Ｆｂ：下流側流路、Ｆｃ：容積調整室、Ｇ：気体（流体）、Ｌ：液体（流体）。 1: Valve.
2: base, 20: first layer, 211a: upstream groove, 211b: downstream groove, 21: second layer, 210a: upstream hole, 210b: downstream hole, 22: third layer, 220: convex portion accommodating portion 221a: wiring receiving groove, 221b: wiring receiving groove, 23: fourth layer, 230: communication hole.
3: Diaphragm, 30: Convex part, 31: Flat part, 32: Support part.
40: Case, 400: Case main body, 400a: Upstream flow path, 400b: Downstream flow path, 400c: Convex part accommodating part, 401: Cover, 401a: Communication hole.
5: Actuator, 50: Dielectric layer, 500: Dielectric layer body, 51a: Electrode, 510a: Electrode body, 511a: Extension part, 51b: Electrode, 510b: Electrode body, 511b: Extension part, 52a: Protective layer, 520a: protective layer body, 52b: protective layer, 520b: protective layer body.
6a: wiring, 6b: wiring.
7: drive circuit, 70: power supply, 71: switch.
9: Micro TAS chip, 90: Substrate, 91: Sample introduction part, 92: Reaction part, 93: Flow path.
F: channel, Fa: upstream channel, Fb: downstream channel, Fc: volume adjustment chamber, G: gas (fluid), L: liquid (fluid).

Claims

An elastomeric diaphragm having a protrusion protruding in the direction of the flow path through which the fluid flows;
A pair of electrodes laminated directly or indirectly to the diaphragm and applied with a voltage;
And a valve that opens and closes the flow path when the convex portion is elastically deformed according to the voltage.

2. The valve according to claim 1, further comprising an actuator having an dielectric layer made of an elastomer and a pair of the electrodes laminated on both front and back surfaces of the dielectric layer, the actuator being laminated on the convex portion of the diaphragm.

The direction in which the electrode and the dielectric layer are laminated is defined as a lamination direction.
The valve according to claim 2, wherein the actuator has an elastomer protective layer at both ends in the stacking direction.

The valve according to any one of claims 1 to 3, wherein the diaphragm has an annular flat portion that surrounds the convex portion and is supported from the front side when a voltage is applied.