JP2014130878A - Temperature control device for head part of substrate support pin - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は液晶表示装置や有機EL表示装置などに使用されるガラス製又は樹脂製の被処理基板を熱処理等する場合において被処理基板を載置・支持するために使用される支持ピンの頭部(先端部)の温度調整装置に関する。 The present invention relates to a head of a support pin used for mounting and supporting a substrate to be processed when a glass or resin substrate to be used for a liquid crystal display device or an organic EL display device is subjected to heat treatment or the like. The present invention relates to a temperature adjusting device for (tip).
従来より、例えばレジスト液が塗布された基板などの被処理基板Wを熱処理するときは、例えば図3(a)に示すように、被処理基板Wを複数の基板支持ピン2(被処理基板Wの下方に配置されたホットプレート1に形成された複数の貫通孔1aの中に昇降可能に設けられた複数の基板支持ピン2)により支持しながら(被処理基板Wとその下方のホットプレート1との間を所望の間隔に保持した状態で載置・支持しながら)、被処理基板Wをその下方のホットプレート1により加熱することが行われている。また、被処理基板Wを熱処理するときは、例えば図3(b)に示すように、被処理基板Wを複数の基板支持ピン2(被処理基板Wの下方に配置された基板支持部3から突出する複数の基板支持ピン2)により支持しながら(被処理基板Wとその上方のホットプレート4との間を所望の間隔に保持した状態で載置・支持しながら)、被処理基板Wをその上方のホットプレート4により加熱する場合もある。
Conventionally, when a target substrate W such as a substrate coated with a resist solution is heat-treated, for example, as shown in FIG. 3A, the target substrate W is made up of a plurality of substrate support pins 2 (target substrate W). The substrate to be processed W and the
ところで、前述のように基板支持ピン2で被処理基板Wを支持しながらその下方又は上方からホットプレート1又は4で加熱する場合においては、支持ピン2が被処理基板Wに接触する部分(箇所)にピン跡(ピン転写)が生じてしまうことがある。このようなピン跡(ピン転写)は、例えば、被処理基板Wをその下方のホットプレート1で加熱する場合(図3(a)参照)、特に、外部から熱処理装置内に順次搬入されてくる常温の被処理基板Wを支持ピン2上に載置・支持しながら加熱する場合に、被処理基板W(常温)と比較して支持ピン2が既にホットプレート1により高温となっているため、被処理基板W中の前記支持ピン2が接触する部分だけが他の部分よりも高温になってしまうことから生じてしまう。また、例えば、被処理基板Wをその上方のホットプレート4で加熱する場合(図3(b)参照)に、被処理基板Wをその下方から支持する支持ピン2が前記上方のホットプレート4で加熱される被処理基板Wよりも低温になってしまう場合があり、その場合は、被処理基板W中の前記支持ピン2が接触する部分だけが他の部分よりも低温になってしまうことからピン跡(ピン転写)が生じてしまう。
By the way, in the case where the substrate W is supported by the
従来は、このようなピン跡(ピン転写)の問題に対しては、主として、支持ピンの被処理基板への接触位置を被処理基板(例えば液晶表示パネル用基板)の有効画素領域外に変更・配置することで対処するようにしていた(有効画素領域外ならばピン跡が生じても問題ないため。例えば、特許文献2参照)。しかしながら、このような支持ピンの接触位置を被処理基板の有効画素領域外に変更・配置する方法によるときは、被処理基板の有効画素領域が変更される毎にホットプレートに対する支持ピンの位置を変更する必要があること等から製造コストが増大化してしまい効率も悪いという問題があった。 Conventionally, for such a pin mark (pin transfer) problem, the contact position of the support pin to the substrate to be processed is mainly changed outside the effective pixel area of the substrate to be processed (for example, a substrate for a liquid crystal display panel). The problem is dealt with by arranging (because there is no problem even if pin marks are generated outside the effective pixel region. For example, refer to Patent Document 2). However, when the contact position of the support pin is changed and arranged outside the effective pixel area of the substrate to be processed, the position of the support pin with respect to the hot plate is changed every time the effective pixel area of the substrate to be processed is changed. There is a problem that the manufacturing cost increases due to the need to change, and the efficiency is poor.
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、支持ピンの接触位置を被処理基板の有効画素領域外に変更・配置する必要がなく、極めて低コストで且つ効率的に被処理基板中の支持ピン頭部が接触する部分(箇所)にピン跡(ピン転写)が発生してしまうことを防止することができる、基板支持ピン頭部の温度調整装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made paying attention to such a problem of the prior art, and it is not necessary to change / place the contact position of the support pin outside the effective pixel region of the substrate to be processed, which is extremely low cost and Provided is a temperature control device for a substrate support pin head, which can efficiently prevent pin marks (pin transfer) from occurring at a portion (location) where the support pin head contacts the substrate to be processed. The purpose is to do.
以上のような課題を解決するための本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置は、被処理基板を支持する支持ピン中の被処理基板と接触する頭部の温度を調整するための装置であって、前記支持ピンは、その頭部と側壁部とが閉塞され且つその下端部が開口されるように、その内部に空洞部が形成されており又はその内部が空洞部となっている筒状体により構成されており、前記支持ピンの下端部の開口から前記空洞部内に挿入され、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触又は近接する位置に配置されることにより、前記支持ピンの頭部を直接に冷却又は加熱する温度調整部が備えられている、ことを特徴とするものである。 A temperature adjusting device for a substrate support pin head according to the present invention for solving the problems as described above is a device for adjusting the temperature of a head in contact with a substrate to be processed in a support pin that supports the substrate to be processed. The support pin has a hollow portion formed therein so that a head portion and a side wall portion thereof are closed and a lower end portion thereof is opened, or the inside thereof is a hollow portion. It is comprised by the cylindrical body, is inserted in the said cavity from the opening of the lower end part of the said support pin, and at least one part is arrange | positioned in the position which contacts or adjoins the said head in the cavity of the said support pin. Accordingly, a temperature adjusting unit for directly cooling or heating the head of the support pin is provided.
また、本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置においては、前記温度調整部は、その先端のガス放出口が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と近接する位置に配置され、前記先端のガス放出口から冷却用又は加熱用ガスを放出するガス供給管を含んでおり、前記ガス供給管は、その先端のガス放出口から前記ガスを前記支持ピンの頭部に向けて直接に吹き付けるものであってもよい。 Further, in the temperature adjusting device for a substrate support pin head according to the present invention, the temperature adjusting unit is disposed at a position where a gas discharge port at a tip thereof is close to the head in the cavity of the support pin, and the tip A gas supply pipe for discharging cooling or heating gas from the gas discharge port of the gas, and the gas supply pipe blows the gas directly from the gas discharge port at the tip thereof toward the head of the support pin. It may be a thing.
また、本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置においては、前記温度調整部は、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触する位置に配置される棒状ヒーターを含んでおり、前記棒状ヒーターは前記支持ピンの頭部を直接に加熱するものであってもよい。 In the substrate support pin head temperature adjustment device according to the present invention, the temperature adjustment unit includes a rod-shaped heater at least a part of which is arranged at a position in contact with the head in the cavity of the support pin. And the said rod-shaped heater may heat the head of the said support pin directly.
また、本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置においては、前記支持ピン中の前記頭部を除く部分は金属材料、前記頭部は樹脂材料により形成されており、前記樹脂製頭部の前記空洞部側の底部は凹状に形成されており、前記ガス供給管の先端のガス放出口が前記支持ピンの樹脂製頭部の凹状部分の内部又はその近傍に配置されて、前記ガス供給管の先端のガス放出口からの前記ガスが前記支持ピンの樹脂製頭部の凹状内壁面に直接に吹き付けられるようになっているものでもよい。 Further, in the temperature control device for a substrate support pin head according to the present invention, the portion of the support pin excluding the head is formed of a metal material, and the head is formed of a resin material. The bottom of the cavity portion side is formed in a concave shape, and a gas discharge port at the tip of the gas supply tube is disposed in or near the concave portion of the resin head of the support pin, and the gas supply tube The gas from the gas discharge port at the tip of the support pin may be blown directly onto the concave inner wall surface of the resin head of the support pin.
さらに、本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置においては、前記支持ピン中の前記頭部を除く部分は金属材料、前記頭部は樹脂材料により形成されており、前記樹脂製の頭部の前記空洞部側の底部は凹状に形成されており、前記棒状ヒーターの少なくとも一部が前記樹脂製頭部の凹状内壁面に接触するように配置されて、前記樹脂製頭部の凹状内壁面が直接に前記棒状ヒーターにより加熱されるようになっているものでもよい。 Furthermore, in the temperature control device for a substrate support pin head according to the present invention, a portion of the support pin excluding the head is made of a metal material, and the head is made of a resin material, and the resin head The cavity-side bottom is formed in a concave shape, and at least a part of the rod-shaped heater is disposed so as to contact the concave inner wall surface of the resin head, and the concave inner wall surface of the resin head May be directly heated by the rod heater.
以上のように、本発明においては、前記支持ピンの内部を頭部(支持ピン中の被処理基板に接触する上端部)が閉塞した中空に形成し、その中空の部分(空洞部)の前記頭部と接触又は近接する位置に温度調整部(温度調整部の少なくとも一部)を配置するようにしている。よって、本発明によれば、前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触又は近接する位置から、前記温度調整部により、前記頭部を直接に冷却又は加熱することができるので、前記支持ピンの頭部を極めて効率的に短時間内に冷却又は加熱して、前記被処理基板中の前記支持ピン頭部が接触する部分だけが他の部分よりも高温又は低温となる事態を回避できるようになり、その結果、極めて低コストで且つ効率的に前記接触部分にピン跡が発生してしまうことを防止できるようになる。 As described above, in the present invention, the inside of the support pin is formed into a hollow with the head (the upper end contacting the substrate to be processed in the support pin) closed, and the hollow portion (cavity) of the hollow pin A temperature adjustment unit (at least a part of the temperature adjustment unit) is arranged at a position in contact with or close to the head. Therefore, according to the present invention, since the temperature adjusting unit can directly cool or heat the head from a position in contact with or close to the head in the cavity of the support pin, the support pin The head of the substrate can be cooled or heated very efficiently within a short period of time so that only the portion of the substrate to be contacted by the support pin head can be hotter or colder than the other portions. As a result, pin marks can be prevented from being generated at the contact portion efficiently and at a very low cost.
特に、本発明において、前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と近接する位置に、冷却用又は加熱用ガスを放出するガス供給管を配置し、このガス供給管から前記頭部に向けて冷却又は加熱用ガスを直接に吹き付けるようにしたときは、前記支持ピンの頭部を極めて効率的に短時間内に冷却又は加熱して、前記被処理基板中の前記支持ピン頭部が接触する部分だけが他の部分よりも高温又は低温となる事態を回避できるようになり、その結果、極めて低コストで且つ効率的に前記接触部分にピン跡が発生してしまうことを防止できるようになる。 In particular, in the present invention, a gas supply pipe that discharges cooling or heating gas is disposed at a position close to the head in the cavity of the support pin, and cooling is performed from the gas supply pipe toward the head. Alternatively, when the heating gas is directly blown, the head of the support pin is cooled or heated within a short time very efficiently, and the support pin head in the substrate to be processed comes into contact As a result, it becomes possible to avoid the situation where only the temperature becomes higher or lower than that of the other portions, and as a result, pin marks can be prevented from being generated at the contact portion at an extremely low cost and efficiently.
また、特に、本発明において、前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触する位置に、前記空洞部(前記支持ピン内部の上下方向に細長く形成されている空洞部)内でも挿入可能な棒状ヒーターの少なくとも一部を挿入・配置し、この棒状ヒーターにより前記頭部を直接に加熱するようにしたときは、前記支持ピンの頭部を極めて効率的に短時間内に加熱して、前記被処理基板中の前記支持ピン頭部が接触する部分だけが他の部分よりも高温又は低温となる事態を回避できるようになり、その結果、極めて低コストで且つ効率的に前記接触部分にピン跡が発生してしまうことを防止できるようになる。 Further, in particular, in the present invention, a rod-like shape that can be inserted into the cavity portion (a cavity portion that is elongated in the vertical direction inside the support pin) at a position in contact with the head portion in the cavity portion of the support pin. When at least a part of the heater is inserted and arranged, and the head is directly heated by the rod heater, the head of the support pin is heated extremely efficiently within a short time, and It is possible to avoid a situation in which only the portion of the processing substrate where the support pin head comes into contact is hotter or colder than the other portions, and as a result, the pin trace on the contact portion is extremely low cost and efficient. Can be prevented from occurring.
また、特に、本発明において、前記樹脂製の頭部の前記空洞部側部分を凹状(前記空洞部側に対して凹状)に形成し、この凹状部分の内部又はその近傍に、冷却用又は加熱用ガスを放出するガス供給管を配置し、このガス供給管から前記頭部の凹状部分の内壁面(凹状内壁面)に向けて冷却又は加熱用ガスを直接に吹き付けるようにしたときは、前記支持ピンの頭部を極めて効率的に短時間内に冷却又は加熱して、前記被処理基板中の前記支持ピン頭部が接触する部分だけが他の部分よりも高温又は低温となる事態を回避できるようになり、その結果、極めて低コストで且つ効率的に前記接触部分にピン跡が発生してしまうことを防止できるようになる。 In particular, in the present invention, the cavity portion side portion of the resin head is formed in a concave shape (concave shape with respect to the cavity portion side), and is used for cooling or heating in or near the concave portion. When a gas supply pipe that discharges a working gas is arranged and cooling or heating gas is directly blown from the gas supply pipe toward the inner wall surface (concave inner wall surface) of the concave portion of the head, The head of the support pin is cooled or heated very efficiently within a short time to avoid a situation where only the portion of the substrate to be contacted with the support pin head is hotter or colder than other portions. As a result, pin marks can be prevented from being generated at the contact portion efficiently at a very low cost.
さらに、特に、本発明において、前記樹脂製の頭部の前記空洞部側部分を凹状(前記空洞部側に対して凹状)に形成し、この凹状部分の内壁面(凹状内壁面)と接触する位置に、前記空洞部(前記支持ピン内部の上下方向に細長く形成されている空洞部)内でも挿入可能な棒状ヒーターの少なくとも一部を挿入・配置し、この棒状ヒーターにより前記頭部の凹状内壁面を直接に加熱するようにしたときは、前記支持ピンの頭部を極めて効率的に短時間内に加熱して、前記被処理基板中の前記支持ピン頭部が接触する部分だけが他の部分よりも高温又は低温となる事態を回避できるようになり、その結果、極めて低コストで且つ効率的に前記接触部分にピン跡が発生してしまうことを防止できるようになる。 Furthermore, in particular, in the present invention, the hollow portion side portion of the resin head is formed in a concave shape (concave shape with respect to the hollow portion side), and is in contact with the inner wall surface (concave inner wall surface) of the concave portion. At least a part of a rod-shaped heater that can be inserted even in the hollow portion (the hollow portion formed in the up-and-down direction inside the support pin) is inserted and arranged at a position. When the wall surface is directly heated, the head of the support pin is heated very efficiently within a short time, and only the portion of the substrate to be contacted by the support pin head is the other It becomes possible to avoid a situation where the temperature is higher or lower than that of the portion, and as a result, pin marks can be prevented from being generated at the contact portion at an extremely low cost and efficiently.
〔第1の実施形態〕
以下、本発明の実施形態1を図面を用いて説明する。図1は、本実施形態1に係る基板支持ピン頭部の温度調整装置を説明するための側断面図である。図1において、11は、被処理基板の熱処理工程において被処理基板の下面が載置される支持ピン(被処理基板をその下方から加熱するホットプレート(図示せず。図3(a)の符号1参照)中の複数の貫通孔にそれぞれ昇降可能に設けられている支持ピン)である。前記支持ピン11は、被処理基板をホットプレートと所望の間隔を介した状態で支持するために、図示しない公知の昇降機構により図示上下方向に昇降されるようになっている。
[First Embodiment]
また、前記支持ピン11は、金属製(例えばステンレス製)の胴体部12と、この胴体部12の上側端面に固定された樹脂製の頭部(支持ピン上端部)13とにより構成されている。前記胴体部12は筒状体により構成され、その内部が空洞部12a、その下端が開口部12bとなっている。また前記頭部13はその前記空洞部12a側の部分(底部)13aが図示のように凹状に形成されている。
The
また、本実施形態1においては、前記支持ピン11の胴体部12内の空洞部12aに、ガス供給管14が前記開口部12bから挿入されている。前記ガス供給管14のガスが噴出される先端部14aは、前記頭部13の凹状部分13aの凹状内壁面13bと近接・対向するように(例えば前記凹状内壁面13bと数mm程度の距離、より望ましくは1〜3mm程度の距離を介して近接・対向するように)配置されている。
In the first embodiment, the
また、前記ガス供給管14の他方の端部14bには公知のコンプレッサなどから構成されるガス供給装置15が接続されている。本実施形態1では、前記ガス供給装置15からの冷却ガスが、前記ガス供給管14の先端部14aから、前記頭部13の凹状部分13aの凹状内壁面13bに向けて直接に噴出可能となっている。なお、図1において符号16は前記ガス供給管14を支持する支持部である。
A
次に本実施形態1の動作を説明する。例えば常温の被処理基板をその下方に配置されたホットプレートから突出する支持ピン11で支持しながら、前記ホットプレートにより加熱処理する場合、そのままでは支持ピン11がホットプレートにより高温に加熱されているため、被処理基板中の前記支持ピン11が接触する部分が他の部分よりも高温になって、前記支持ピン11が接触する部分にピン跡が発生してしまう。 Next, the operation of the first embodiment will be described. For example, when the substrate to be processed at normal temperature is supported by the support pins 11 protruding from the hot plate disposed below the substrate and heated by the hot plate, the support pins 11 are heated to a high temperature by the hot plate as they are. For this reason, the portion of the substrate to be processed that comes into contact with the support pins 11 becomes hotter than the other portions, and pin marks are generated in the portions with which the support pins 11 come into contact.
そこで、本実施形態1では、前記支持ピン11が前記被処理基板の下面に接触する前に、前記ガス供給装置15から所望の冷却用ガスを供給し、この冷却用ガスを、前記ガス供給管14の先端部14aから前記支持ピン11の頭部13の凹状内壁面13bに直接に強く吹き付けて(図1の矢印A参照)、前記頭部13(特に前記頭部13中の被処理基板と接触する部分)を効率的に短時間内に所望の温度まで冷却させる(なお、前記凹状内壁面13bに吹き付けられたガスは、凹状内壁面13bに衝突した後に反転して下降し(矢印B参照)、前記空洞部12a内(前記胴体部12の内壁側面と前記ガス供給管14の外壁側面との間の隙間内)を下降し、前記胴体部12の下端の開口部12bから外部に排出される(矢印C参照))。
Therefore, in the first embodiment, before the
以上のように、本実施形態1により被処理基板を熱処理する場合は、前述のようにして冷却した後の支持ピン頭部13を被処理基板の下面に接触させて支持するようにしたので、ホットプレートによる加熱中に、被処理基板中の前記支持ピン11の頭部13が接触する部分だけが他の部分よりも高温となってピン跡が生じてしまうという不都合を有効に防止することができる。
As described above, when the substrate to be processed is heat-treated according to the first embodiment, the
〔第2の実施形態〕
次に本発明の実施形態2による基板支持ピン頭部の温度調整装置を図2の側断面図を参照して説明する。図2において、21は被処理基板の下面が載置される支持ピン(被処理基板の下方に配置された基板支持部(図示せず。図3(b)の符号3参照)の複数の貫通孔にそれぞれ昇降可能に設けられている支持ピン)である。前記支持ピン21は、被処理基板を、その上方に配置されているホットプレート(図示せず。図3(b)の符号4参照)に対して所望の間隔を介した状態で支持するために、図示しない公知の昇降装置により図示上下方向に昇降されるようになっている。
[Second Embodiment]
Next, a substrate support pin head temperature adjusting device according to
また、前記支持ピン21は、金属製(例えばステンレス製)の胴体部22と、この胴体部22の上側端面に固定された樹脂製の頭部(支持ピン上端部)23とにより構成されている。前記胴体部22は筒状体により構成され、その内部が空洞部22a、その下端が開口部22bとなっている。また前記頭部23はその前記空洞部22a側の部分(底部)23aが図示のように凹状に形成されている。
The
また、本実施形態2においては、前記支持ピン21内の前記胴体部22内の空洞部22aと前記頭部23の凹状部分23aに、棒状ヒーター24が挿入・配置されている。すなわち、前記棒状ヒーター24は、その上端部24aが前記頭部23の凹状部分23aの凹状内壁面23bに接触するように配置されている。これにより、前記棒状ヒーター24は、前記頭部13の凹状内壁面23bに対して直接に加熱することが可能となっている。なお、図2において、25は前記棒状ヒーター24に電力を供給する商用電源、26は前記棒状ヒーター24と商用電源25を接続する電線である。
In the second embodiment, a rod-shaped
次に本実施形態2の動作を説明する。被処理基板をその下方に配置された基板支持部から突出する支持ピン21で支持しながら、被処理基板の上方に配置されたホットプレートにより加熱処理する場合、そのままでは支持ピン21が前記上方のホットプレートにより加熱される被処理基板と比較して低温となっているため、被処理基板中の前記支持ピン21が接触する部分だけが他の部分よりも低温となって、前記支持ピン21が接触する部分にピン跡が発生してしまう。
Next, the operation of the second embodiment will be described. When the substrate to be processed is supported by the support pins 21 protruding from the substrate support portion disposed below the substrate and heat-treated by the hot plate disposed above the substrate to be processed, the support pins 21 remain on the upper side as they are. Since the temperature is lower than that of the substrate to be processed heated by the hot plate, only the portion of the substrate to be contacted with the
そこで、本実施形態2では、前記支持ピン21が前記被処理基板に接触する前に、前記棒状ヒーター24により前記支持ピン21の頭部23の凹状内壁面23bを直接に加熱して、前記頭部23(特に前記頭部23中の被処理基板と接触する部分)を効率的に短時間内に所望の温度まで加熱させるようにしている。
Therefore, in the second embodiment, the concave
以上のように、本実施形態2により被処理基板を加熱処理する場合は、前述のようにして加熱した後の支持ピン頭部23を被処理基板に接触させて支持するようにしたので、ホットプレートによる加熱中に、被処理基板中の前記支持ピン21の頭部23が接触する部分だけが他の部分よりも低温となってピン跡が生じてしまうという不都合を有効に防止することができる。
As described above, when the substrate to be processed is heat-treated according to the second embodiment, the
以上、本発明の各実施形態を説明してきたが、本発明はこれらに限定されるものではなく様々な変更が可能である。例えば、前記実施形態1においては、ガス供給装置15からの冷却用ガスをガス供給管14を介して支持ピン11の頭部13の凹状内壁面13bに吹き付けて前記頭部13を冷却するようにしているが、本発明においては、これに限られるものではなく、例えば、前記ガス供給装置15から(冷却用ガスではなく)加熱用ガスをガス供給管14を介して支持ピン11の頭部13の凹状内壁面13bに吹き付けて前記頭部13を加熱することも可能である。
As mentioned above, although each embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to these, A various change is possible. For example, in the first embodiment, the
また、前記実施形態1,2においては、前記支持ピン11,21の樹脂製頭部13,23の前記胴体部12,22の空洞部12a,22a側の部分を凹状に形成するようにしたが、本発明においては、これに限られるものではなく、例えば、前記支持ピン11,21の樹脂製頭部13,23に前述のような凹状部分を形成しないようにすることも可能である(この場合は、前記ガス供給管14は、その先端部14aが前記樹脂製頭部13の下面の近傍に位置するように配置し、前記棒状ヒーター24は、その上端部24aが前記樹脂製頭部23の下面に接触するように配置する)。
In the first and second embodiments, the resin heads 13 and 23 of the support pins 11 and 21 are formed in a concave shape on the
また、前記実施形態1,2においては、前記各支持ピン11,21の前記各胴体部12,22を金属材料により構成すると共に前記各頭部13,23を樹脂材料により構成するようにしたが、本発明においては、これに限られるものではなく、例えば、前記各頭部13,23を前記各胴体部12,22と同じ材料により一体成形するようにしてもよい。また、前記実施形態1,2においては、前記各支持ピン11,21を上下方向に昇降可能なものとしたが、本発明においては「基板支持ピン」はホットプレートや基板支持部に固定的に配置される固定ピンであってもよい。
In the first and second embodiments, the
11,21 支持ピン
12,22 胴体部
12a,22a 空洞部
12b,22b 開口部
13,23 頭部(支持ピン上端部)
13a,23a 凹状部分
13b,23b 凹状内壁面
14 ガス供給管
14a ガス供給管の先端部
15 ガス供給装置
24 棒状ヒーター
24a 棒状ヒーターの上端部
25 電源
W 被処理基板
11, 21 Support pins 12, 22
13a,
以上のような課題を解決するための本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置は、被処理基板を支持する支持ピン中の被処理基板と接触する頭部の温度を調整するための装置であって、前記頭部と反対側の下端部が開口されており、内部に前記下端部の開口から前記頭部又はその近傍部分まで延びる空洞部が形成されており、前記下端部の開口以外の部分が閉塞されている支持ピンと、前記支持ピンの前記下端部の開口から前記空洞部内に挿入され、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触又は近接する位置に配置されることにより、前記支持ピンの頭部を直接に冷却又は加熱する温度調整部と、を備えたことを特徴とするものである。また、本発明による基板支持ピン頭部の温度調整装置は、被処理基板を支持する支持ピン中の被処理基板と接触する頭部の温度を調整するための装置であって、前記頭部と反対側の下端部が開口されており、内部に前記下端部の開口から前記頭部又はその近傍部分まで延びる空洞部が形成されている支持ピンと、前記支持ピンの前記下端部の開口から前記空洞部内に挿入され、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触又は近接する位置に配置されることにより、被処理基板を直接にガスなどにより冷却又は直接にヒーターなどにより加熱することなく、前記支持ピンの頭部を前記空洞部側から直接に冷却又は加熱する温度調整部と、を備えたことを特徴とするものである。
A temperature adjusting device for a substrate support pin head according to the present invention for solving the problems as described above is a device for adjusting the temperature of a head in contact with a substrate to be processed in a support pin that supports the substrate to be processed. The lower end on the side opposite to the head is opened, and a cavity extending from the opening at the lower end to the head or the vicinity thereof is formed inside, except for the opening at the lower end. A support pin that is closed, and is inserted into the cavity from the opening at the lower end of the support pin, and at least a part of the support pin is arranged in contact with or close to the head in the cavity of the support pin Thus, a temperature adjusting unit that directly cools or heats the head of the support pin is provided. The substrate support pin head temperature adjusting device according to the present invention is a device for adjusting the temperature of the head in contact with the substrate to be processed in the support pins for supporting the substrate to be processed, the head and The lower end of the opposite side is opened, and a support pin in which a cavity extending from the opening of the lower end to the head or the vicinity thereof is formed, and the cavity from the opening of the lower end of the support pin The substrate to be processed is placed in a position in contact with or close to the head in the cavity of the support pin, and the substrate to be processed is directly cooled by a gas or heated directly by a heater or the like. And a temperature adjusting unit that cools or heats the head of the support pin directly from the cavity side.
Claims (5)
前記支持ピンは、その頭部と側壁部とが閉塞され且つその下端部が開口されるように、その内部に空洞部が形成されており又はその内部が空洞部となっている筒状体により構成されており、
前記支持ピンの下端部の開口から前記空洞部内に挿入され、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触又は近接する位置に配置されることにより、前記支持ピンの頭部を直接に冷却又は加熱する温度調整部が備えられている、
ことを特徴とする基板支持ピン頭部の温度調整装置。 An apparatus for adjusting the temperature of the head in contact with the substrate to be processed in the support pins that support the substrate to be processed,
The support pin is formed of a cylindrical body in which a hollow portion is formed or a hollow portion is formed therein so that a head portion and a side wall portion thereof are closed and a lower end portion thereof is opened. Configured,
The head of the support pin is inserted into the cavity from the opening at the lower end of the support pin, and at least a part thereof is disposed at a position in contact with or close to the head in the cavity of the support pin. Is equipped with a temperature adjustment unit that directly cools or heats
A temperature control device for a substrate support pin head.
前記温度調整部は、その先端のガス放出口が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と近接する位置に配置され、前記先端のガス放出口から冷却用又は加熱用ガスを放出するガス供給管を含んでおり、
前記ガス供給管は、その先端のガス放出口から前記ガスを前記支持ピンの頭部に向けて直接に吹き付けるものである、ことを特徴とする基板支持ピン頭部の温度調整装置。 In claim 1,
The temperature adjusting unit is arranged at a position where a gas discharge port at the tip thereof is close to the head in the cavity of the support pin, and a gas supply pipe that discharges cooling or heating gas from the gas discharge port at the tip Contains
The temperature supply device for a substrate support pin head, wherein the gas supply pipe blows the gas directly from a gas discharge port at a tip thereof toward the head of the support pin.
前記温度調整部は、少なくともその一部が前記支持ピンの空洞部内の前記頭部と接触する位置に配置される棒状ヒーターを含んでおり、
前記棒状ヒーターは前記支持ピンの頭部を直接に加熱するものである、ことを特徴とする基板支持ピン頭部の温度調整装置。 In claim 1,
The temperature adjusting unit includes a rod heater disposed at a position at least a part of which is in contact with the head in the cavity of the support pin,
The temperature adjusting device for a substrate support pin head, wherein the rod heater directly heats the head of the support pin.
前記支持ピン中の前記頭部を除く部分は金属材料、前記頭部は樹脂材料により形成されており、
前記樹脂製の頭部の前記空洞部側の底部は凹状に形成されており、
前記ガス供給管の先端のガス放出口が前記支持ピンの樹脂製頭部の凹状部分の内部又はその近傍に配置されて、前記ガス供給管の先端のガス放出口からの前記ガスが前記支持ピンの樹脂製の頭部の凹状内壁面に直接に吹き付けられるようになっている、ことを特徴とする基板支持ピン頭部の温度調整装置。 In claim 2,
A portion excluding the head in the support pin is a metal material, the head is formed of a resin material,
The bottom of the hollow portion side of the resin head is formed in a concave shape,
The gas discharge port at the tip of the gas supply pipe is disposed in or near the concave portion of the resin head of the support pin, and the gas from the gas discharge port at the tip of the gas supply pipe is transferred to the support pin. A temperature adjusting device for a substrate support pin head, characterized in that it is sprayed directly onto the concave inner wall surface of the resin head.
前記支持ピン中の前記頭部を除く部分は金属材料、前記頭部は樹脂材料により形成されており、
前記樹脂製頭部の前記空洞部側の底部は凹状に形成されており、
前記棒状ヒーターの少なくとも一部が前記樹脂製頭部の凹状内壁面に接触するように配置されて、前記樹脂製頭部の凹状内壁面が直接に前記棒状ヒーターにより加熱されるようになっている、ことを特徴とする基板支持ピン頭部の温度調整装置。 In claim 3,
A portion excluding the head in the support pin is a metal material, the head is formed of a resin material,
The bottom of the resin head on the cavity side is formed in a concave shape,
At least a part of the rod-shaped heater is disposed so as to contact the concave inner wall surface of the resin head, and the concave inner wall surface of the resin head is directly heated by the rod heater. A temperature adjusting device for a substrate support pin head characterized by the above.
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