JP2014124923A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2014124923A5
JP2014124923A5 JP2012285449A JP2012285449A JP2014124923A5 JP 2014124923 A5 JP2014124923 A5 JP 2014124923A5 JP 2012285449 A JP2012285449 A JP 2012285449A JP 2012285449 A JP2012285449 A JP 2012285449A JP 2014124923 A5 JP2014124923 A5 JP 2014124923A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protective layer
inkjet head
fuse
common
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012285449A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6143455B2 (en
JP2014124923A (en
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012285449A priority Critical patent/JP6143455B2/en
Priority claimed from JP2012285449A external-priority patent/JP6143455B2/en
Priority to US14/138,287 priority patent/US9096059B2/en
Publication of JP2014124923A publication Critical patent/JP2014124923A/en
Publication of JP2014124923A5 publication Critical patent/JP2014124923A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6143455B2 publication Critical patent/JP6143455B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明は、基体と、前記基体に配置され、通電されることによりインクを加熱するために発熱する複数の発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い、電気を通すことが可能な保護層と、を備えたインクジェットヘッド用基板において、前記保護層は、前記複数の発熱抵抗体をそれぞれ覆う個別部と、複数の前記個別部が共通して接続される共通部と、を備え、前記保護層を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ部形成層で形成されたヒューズ部を介して前記複数の個別部と前記共通部とが接続されていることを特徴とする。   The present invention includes a substrate, a plurality of heating resistors that are disposed on the substrate and generate heat to heat ink when energized, and a protective layer that covers the heating resistor and allows electricity to flow. In the inkjet head substrate, the protective layer includes an individual portion that covers each of the plurality of heating resistors, and a common portion to which the plurality of individual portions are connected in common, and the protective layer The plurality of individual portions and the common portion are connected through a fuse portion formed of a fuse portion forming layer made of a material having a melting point lower than that of the material forming the.

Claims (19)

基体と、
前記基体に配置され、通電されることによりインクを加熱するために発熱する複数の発熱抵抗体と、
前記発熱抵抗体を覆い、電気を通すことが可能な保護層と、
を備えたインクジェットヘッド用基板において、
前記保護層は、前記複数の発熱抵抗体をそれぞれ覆う個別部と、複数の前記個別部が共通して接続される共通部と、を備え、
前記保護層を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ部形成層で形成されたヒューズ部を介して前記複数の個別部と前記共通部とが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド用基板。
A substrate;
A plurality of heating resistors disposed on the substrate and generating heat to heat the ink when energized;
A protective layer covering the heating resistor and capable of conducting electricity;
In an inkjet head substrate comprising:
The protective layer includes individual parts that respectively cover the plurality of heating resistors, and a common part to which the plurality of individual parts are connected in common,
An ink jet head characterized in that the plurality of individual parts and the common part are connected via a fuse part formed of a fuse part forming layer made of a material having a lower melting point than the material forming the protective layer. Substrate.
前記ヒューズ部形成層の融点は、1000℃以上2000℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the melting point of the fuse portion forming layer is 1000 ° C. or more and 2000 ° C. or less. 前記ヒューズ部形成層は、Ni及びCrのうちの少なくともいずれかを含んで形成されていることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to claim 2, wherein the fuse portion forming layer is formed to include at least one of Ni and Cr. 前記保護層は、Ir、Ru、Taのうちの少なくともいずれかを含んで形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   4. The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the protective layer includes at least one of Ir, Ru, and Ta. 5. 前記ヒューズ部形成層は、前記保護層の前記発熱抵抗体の側の面と接していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   5. The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the fuse portion forming layer is in contact with a surface of the protective layer on a side of the heating resistor. 6. 前記ヒューズ部形成層は、前記保護層の前記発熱抵抗体の側の面の裏面と接していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   5. The ink jet head substrate according to claim 1, wherein the fuse portion forming layer is in contact with a back surface of a surface of the protective layer on the heat generating resistor side. 6. 前記発熱抵抗体の表面側には、前記ヒューズ部形成層が形成されていないことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the fuse portion forming layer is not formed on a surface side of the heating resistor. 前記保護層の前記個別部と前記共通部との厚さが等しいことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   8. The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the individual portion and the common portion of the protective layer have the same thickness. 前記共通部は、接地された電極に接続されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to claim 1, wherein the common portion is connected to a grounded electrode. 前記複数の個別部と前記共通部との間で前記保護層は途切れていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to any one of claims 1 to 9, wherein the protective layer is interrupted between the plurality of individual portions and the common portion. 前記ヒューズ部は部分的に幅が細い溶断部を有し、前記溶断部の表面側には他の層が設けられていないことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   11. The fuse part according to claim 1, wherein the fuse part has a fusing part with a narrow width, and no other layer is provided on a surface side of the fusing part. Substrate for inkjet head. 前記ヒューズ部の前記個別部との接続部分および前記共通部との接続部分において、前記保護層と前記ヒューズ部形成層とが重なっていることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   12. The protective layer and the fuse portion forming layer overlap each other at a connection portion of the fuse portion with the individual portion and a connection portion with the common portion. The board | substrate for inkjet heads of description. 前記発熱抵抗体と前記保護層との間に絶縁層を備えることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用基板。   The inkjet head substrate according to claim 1, further comprising an insulating layer between the heating resistor and the protective layer. 基体と、前記基体に配置され、通電されることによりインクを加熱するために発熱する複数の発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体を覆い、電気を通すことが可能な保護層と、を備えたインクジェットヘッド用基板と、
前記インクジェットヘッド用基板の前記保護層が設けられる面の側に取り付けられ、吐出口の形成された流路形成部材と、
前記流路形成部材と前記インクジェットヘッド用基板とで画成され、内部にインクを貯留させることが可能な複数の液室であって、前記発熱抵抗体が前記液室ごとに配置された前記複数の液室と、を有し、
前記液室に貯留されたインクを前記発熱抵抗体によって加熱して、前記吐出口からインク滴を吐出するインクジェットヘッドであって、
前記保護層は、前記複数の発熱抵抗体をそれぞれ覆い、前記液室の内部に露出して設けられた個別部と、複数の前記個別部が共通して接続される共通部と、を備え、
前記保護層を形成する材料よりも融点の低い材料からなるヒューズ部形成層で形成されたヒューズ部を介して前記複数の個別部と前記共通部とが接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
A substrate, a plurality of heating resistors that are disposed on the substrate and generate heat to heat ink when energized, and a protective layer that covers the heating resistor and allows electricity to pass therethrough. An inkjet head substrate;
A flow path forming member attached to the surface of the inkjet head substrate on which the protective layer is provided and having a discharge port;
A plurality of liquid chambers defined by the flow path forming member and the inkjet head substrate and capable of storing ink therein, wherein the plurality of heating resistors are arranged for each liquid chamber. And a liquid chamber of
An ink jet head that heats ink stored in the liquid chamber by the heating resistor and discharges ink droplets from the discharge port,
The protective layer includes a plurality of individual portions that respectively cover the plurality of heating resistors and are exposed in the liquid chamber, and a common portion to which the plurality of individual portions are connected in common.
An ink jet head characterized in that the plurality of individual parts and the common part are connected via a fuse part formed of a fuse part forming layer made of a material having a lower melting point than the material forming the protective layer. .
前記複数の個別部と前記共通部との間で前記保護層は途切れていることを特徴とする請求項14に記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 14, wherein the protective layer is interrupted between the plurality of individual portions and the common portion. 前記ヒューズ部は部分的に幅が細い溶断部を有し、前記溶断部の表面側には他の層が設けられていないことを特徴とする請求項14または15に記載のインクジェットヘッド。   16. The ink jet head according to claim 14, wherein the fuse part has a fusing part with a narrow width, and no other layer is provided on the surface side of the fusing part. 前記ヒューズ部の前記個別部との接続部分および前記共通部との接続部分において、前記保護層と前記ヒューズ部形成層とが重なっていることを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。   17. The protective layer and the fuse portion forming layer overlap each other at a connection portion of the fuse portion with the individual portion and a connection portion with the common portion. The inkjet head described in 1. 前記発熱抵抗体と前記保護層との間に絶縁層を備えることを特徴とする請求項14から17のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 14, further comprising an insulating layer between the heating resistor and the protective layer. 請求項14から18のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドを用いて記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置であって、
前記共通部は、前記インクジェット記録装置を通じて接地されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
An inkjet recording apparatus that performs recording on a recording medium using the inkjet head according to any one of claims 14 to 18,
The inkjet recording apparatus, wherein the common unit is grounded through the inkjet recording apparatus.
JP2012285449A 2012-12-27 2012-12-27 Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus Expired - Fee Related JP6143455B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012285449A JP6143455B2 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus
US14/138,287 US9096059B2 (en) 2012-12-27 2013-12-23 Substrate for inkjet head, inkjet head, and inkjet printing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012285449A JP6143455B2 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014124923A JP2014124923A (en) 2014-07-07
JP2014124923A5 true JP2014124923A5 (en) 2016-02-12
JP6143455B2 JP6143455B2 (en) 2017-06-07

Family

ID=51404823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012285449A Expired - Fee Related JP6143455B2 (en) 2012-12-27 2012-12-27 Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6143455B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7071067B2 (en) 2017-06-21 2022-05-18 キヤノン株式会社 A method for manufacturing a substrate for a liquid discharge head, a liquid discharge head, and a substrate for a liquid discharge head.

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016198908A (en) * 2015-04-08 2016-12-01 キヤノン株式会社 Liquid discharge head
JP2018176697A (en) 2017-04-21 2018-11-15 キヤノン株式会社 Method of disconnecting fuse part of liquid discharge head, and liquid discharge device
US11020966B2 (en) * 2018-04-27 2021-06-01 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head substrate, method of manufacturing liquid ejection head substrate, and liquid ejection head
JP7286349B2 (en) * 2018-04-27 2023-06-05 キヤノン株式会社 LIQUID EJECTION HEAD SUBSTRATE, LIQUID EJECTION HEAD SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD, AND LIQUID EJECTION HEAD
JP7216508B2 (en) 2018-09-18 2023-02-01 キヤノン株式会社 LIQUID EJECTOR AND CONTROL METHOD THEREOF
KR20220126586A (en) 2021-03-09 2022-09-16 삼성전자주식회사 Inkjet printhead

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2816989A (en) * 1954-05-05 1957-12-17 Parmiter Hope & Sugden Ltd Electric fuses
JP3562696B2 (en) * 1997-12-16 2004-09-08 矢崎総業株式会社 Manufacturing method of fuse element
US6361150B1 (en) * 1999-08-30 2002-03-26 Hewlett-Packard Company Electrostatic discharge protection of electrically-inactive components in a thermal ink jet printing system
JP4582724B2 (en) * 2009-11-25 2010-11-17 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 Protective element
JP5552369B2 (en) * 2010-05-26 2014-07-16 内橋エステック株式会社 Thermal fuse and method of manufacturing thermal fuse
JP5106601B2 (en) * 2010-08-26 2012-12-26 キヤノン株式会社 Method for manufacturing liquid discharge head substrate, method for manufacturing liquid discharge head, and method for inspecting liquid discharge head substrate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7071067B2 (en) 2017-06-21 2022-05-18 キヤノン株式会社 A method for manufacturing a substrate for a liquid discharge head, a liquid discharge head, and a substrate for a liquid discharge head.

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2014124923A5 (en)
JP2014124922A5 (en)
JP2014124920A5 (en)
RU2013155622A (en) SUBSTANCE OF THE PRINTING HEAD FOR INKJET PRINTING, PRINTING HEAD FOR INKJET PRINTING, METHOD FOR MAKING A PRINTING HEAD FOR INKJET PRINTING AND INKJET PRINTING
JP2009012223A5 (en)
JP6270358B2 (en) Liquid discharge head
JP2014124921A5 (en)
JP2016210070A5 (en)
JP6439331B2 (en) Method for manufacturing liquid ejection device, and liquid ejection device
JP2010162895A5 (en)
JP2014166728A5 (en) Piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and ultrasonic sensor
KR20100027761A (en) Ink ejection device and method of manufacturing the same
JP2007269011A5 (en)
JP2014024213A5 (en)
CN102947099A (en) Fluid ejection device
JP2008168631A (en) Heat generating structure for ink-jet print head, its manufacturing method, and ink-jet print head having it
JP2013067178A5 (en)
CN110181944A (en) Liquid-discharge-head substrate, liquid discharging head and the method for manufacturing liquid-discharge-head substrate
CN106068186A (en) Fluid injection head structure
WO2017183389A1 (en) Inkjet head, head module, and inkjet recording device
JP2007038672A5 (en)
KR101848575B1 (en) Printhead with plurality of fluid slots
JP2020116843A5 (en)
JP2013043394A5 (en)
JP6222968B2 (en) Liquid discharge head, liquid discharge head cleaning method, and liquid discharge apparatus