JP2014122893A - フォースリバランス型加速度計におけるバイアス低減 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスと、対向する側面においてプルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極とを有し、システムは、フォースリバランスサーボと、負の静電ばねサーボとを含み、フォースリバランスサーボは、加速度計ハウジングに対するプルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号に応答して、制御信号をプルーフマスに提供し、負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を1対の負の静電フォーサ電極に印加して、フォースリバランスサーボの出力内の時間変動信号をゼロにすることに応答して、プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力を打ち消す。
【選択図】図1
Description
本発明は、概して慣性センサに関し、特に、フォースリバランス型(force rebalanced)加速度計におけるバイアス低減に関する。
フォースリバランス型加速度計におけるバイアスの主要な起源のうちの1つは、ピックオフ電気的ヌル(null)と、プルーフマス(proofmass)屈曲サスペンション数値的ヌルとの空間分離に起因する。閉ループ動作において、フォースリバランスサーボは、ピックオフヌルにおいて加速度計プルーフマスを維持する。たわんだ屈曲サスペンションの機械的かつ静電ばね(spring)の結合力に対してピックオフヌルにおいてプルーフマスを保持するために必要とされる力は、加速度計の出力におけるバイアス誤差として見られる。現在の最先端技術において、加速度計バイアスは、測定され、最終校正中に温度に対してモデル化される。その後、モデルは、温度に対するバイアスに対して、測定された加速度を修正するために使用される。熱的モデルに対する残差は、慣性システムの性能能力への制限のうちの1つを示す誤差である。この残余誤差は、加速度計の機械的、電気的および熱的性質のヒステリシスまたは不安定性に起因し得る。それ故、加速度バイアスおよびバイアス変動を最小にすることにより、慣性システム性能を向上させ、産出量を増大させ、コストを低減することが望ましい。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
加速度計のバイアスを低減するシステムであって、該加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスと、対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極とを有し、該システムは、
フォースリバランスサーボと、
負の静電ばねサーボと
を含み、
該フォースリバランスサーボは、該加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号に応答して、制御信号を該プルーフマスに提供し、時間変動外乱信号は、該フォースリバランスサーボ内に注入され、該時間変動外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する時間変動信号の生成を該フォースリバランスサーボの出力において生じさせ、
該負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極に印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消す、システム。
(項目2)
上記ピックオフ信号は、上記加速度計ハウジングに対する上記プルーフマスの運動と、第1の容量性ピックオフ電極に印加される第1のAC励起信号および第2の容量性ピックオフ電極に印加される第2のAC励起信号との相互作用とによって引き起こされるキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号であり、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、該プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、上記項目に記載のシステム。
(項目3)
第1のDC電圧は、第1の静電フォーサ電極に印加され、第2のDC電圧は、第2の静電フォーサ電極に印加され、該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、上記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される上記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目4)
第1のDC電圧は、上記第1の容量性ピックオフ電極に印加され、第2のDC電圧は、上記第2の容量性ピックオフ電極に印加され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、上記プルーフマスに印加される上記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目5)
上記フォースリバランスサーボは、上記ピックオフ信号を増幅するゲイン増幅器と、上記第1のAC励起信号に対して増幅されたピックオフを誤差電圧に復調する復調器と含む、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目6)
上記フォースリバランスサーボは、サーボ補償増幅器を含み、該サーボ補償増幅器は、上記誤差電圧を積分し、上記プルーフマスを上記電気的ピックオフヌルへフォースリバランスさせるために印加される制御電圧を提供する、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目7)
時間変動外乱信号は、上記誤差電圧と共に合計ノード内に注入され、上記サーボ補償増幅器に提供される、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目8)
上記負の静電ばねサーボは、上記フォースリバランスサーボの出力に連結されているキャパシタンスを増幅する増幅器と、上記時間変動外乱信号に対してフォースリバランスサーボ信号を復調する復調器とを含む、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目9)
サーボ補償増幅器をさらに含み、該サーボ補償増幅器は、上記復調されたフォースリバランス信号を積分して、負のばねDC電圧を提供する、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目10)
加速度計システムであって、該システムは、
屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマス、および対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極と、
フォースリバランスサーボと、
負の静電ばねサーボと
を含み、
該フォースリバランスサーボは、該加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号に応答して、制御信号を該プルーフマスに提供し、時間変動外乱信号は、該フォースリバランスサーボの合計ノード内に注入され、該外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する時間変動信号の生成を該フォースリバランスサーボの出力において生じさせ、
該負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消す、システム。
(項目11)
上記ピックオフ信号は、上記加速度計ハウジングに対する上記プルーフマスの運動と、第1の容量性ピックオフ電極に印加される第1のAC励起信号および第2の容量性ピックオフ電極に印加される第2のAC励起信号との相互作用とによって引き起こされるキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号であり、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、該プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目12)
第1のDC電圧は、第1の静電フォーサ電極に印加され、第2のDC電圧は、第2の静電フォーサ電極に印加され、該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、上記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される上記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用して、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目13)
第1のDC電圧は、上記第1の容量性ピックオフ電極に印加され、第2のDC電圧は、上記第2の容量性ピックオフ電極に印加され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、上記プルーフマスに印加される上記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目14)
上記フォースリバランスサーボは、
上記ピックオフ信号を増幅するゲイン増幅器と、
上記第1のAC励起信号に基づいて、増幅されたピックオフを誤差電圧に復調する復調器と、
サーボ補償増幅器と
を含み、
該サーボ補償増幅器は、該誤差電圧を積分して、上記プルーフマスに印加される制御電圧を提供し、時間変動外乱信号は、該誤差電圧と共に合計ノード内に注入され、該サーボ補償増幅器に提供される、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目15)
上記負の静電ばねサーボは、
上記フォースリバランスサーボの出力に連結されるキャパシタンスを増幅する増幅器と、
上記時間変動外乱信号に対して該増幅されたフォースリバランス信号を復調する復調器と、
サーボ補償増幅器と
を含み、
該サーボ補償増幅器は、上記増幅された復調されたフォースリバランス信号を積分して、負のばねDC電圧を提供する、上記項目のいずれかに記載のシステム。
(項目16)
加速度計のバイアスを低減する方法であって、該加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスと、対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極とを有し、該方法は、
時間変動外乱信号をフォースリバランスサーボ内に注入することであって、該時間変動外乱信号は、該外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する出力電圧の生成を生じさせる、ことと、
負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消すことと
を含む、方法。
(項目17)
第1のAC励起信号を第1の容量性ピックオフ電極に印加することと、
第2のAC励起信号を第2の容量性ピックオフ電極に印加することであって、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、上記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、ことと、
上記加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動と、該第1のAC励起信号および該第2のAC励起信号との相互作用とに起因するキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号を捕獲および復調して、誤差信号を生成することと、
該誤差信号を積分して、上記フォースリバランス信号に対応する制御電圧を生成することと
をさらに含む、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目18)
第1のDC電圧を第1の静電フォーサ電極に印加することと、
第2のDC電圧を第2の静電フォーサ電極に印加することと
をさらに含み、
該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、上記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される上記制御電圧は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目19)
第1のDC電圧を上記第1の容量性ピックオフ電極に印加することと、
第2のDC電圧を上記第2の容量性ピックオフ電極に印加することであって、その結果、上記プルーフマスに印加される上記制御電圧は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、ことと
をさらに含む、上記項目のいずれかに記載の方法。
(項目20)
上記時間変動外乱信号に対して上記フォースリバランス信号を復調することと、
該復調されたフォースリバランス信号を積分して、負の静電ばねDC電圧を提供することと、
該負の静電ばねDC電圧を上記1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、上記フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、上記プルーフマスに作用する、上記組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの上記正味の正のばね力を打ち消すことと
をさらに含む、上記項目のいずれかに記載の方法。
(摘要)
フォースリバランス型加速度計におけるバイアスのリアルタイムでの連続的減少のためのシステムが提供され、加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスを有する。システムは、閉ループのフォースリバランスサーボを含み、フォースリバランスサーボは、加速度計ハウジングに対するプルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号をゼロにするように、制御電圧をプルーフマスに提供し、時間変動外乱信号は、フォースリバランスサーボ内に注入され、プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションと静電ばねとの正味の正のばねの大きさに対応する時間変動電圧の生成をフォースリバランスサーボの出力において生じさせる。システムは、負の静電ばねサーボも含み、負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加する。
本発明は、プルーフマスを支持する屈曲ばねの数値的ヌルと、フォースリバランスサーボにおける機械的許容差と電子的オフセットとに起因するピックオフヌルとの間のオフセットに関連付けられるフォースリバランス型加速度計の連続的なリアルタイムバイアス減少を対象としている。フォースリバランス型加速度計におけるバイアスの主要な起源のうちの1つは、ピックオフ電気的ヌルと、屈曲サスペンション数値的ヌルとの空間分離に起因する。閉ループ動作において、フォースリバランスサーボは、ピックオフヌルにおいて加速度計プルーフマスを維持する。屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる負の静電ばねとの正の機械的ばねに対してピックオフ電気的ヌルにおいてプルーフマスを保持するために必要とされる力は、加速度計の出力におけるバイアス誤差として見られる。
Claims (20)
- 加速度計のバイアスを低減するシステムであって、該加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスと、対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極とを有し、該システムは、
フォースリバランスサーボと、
負の静電ばねサーボと
を含み、
該フォースリバランスサーボは、該加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号に応答して、制御信号を該プルーフマスに提供し、時間変動外乱信号は、該フォースリバランスサーボ内に注入され、該時間変動外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する時間変動信号の生成を該フォースリバランスサーボの出力において生じさせ、
該負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極に印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消す、システム。 - 前記ピックオフ信号は、前記加速度計ハウジングに対する前記プルーフマスの運動と、第1の容量性ピックオフ電極に印加される第1のAC励起信号および第2の容量性ピックオフ電極に印加される第2のAC励起信号との相互作用とによって引き起こされるキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号であり、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、該プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、請求項1に記載のシステム。
- 第1のDC電圧は、第1の静電フォーサ電極に印加され、第2のDC電圧は、第2の静電フォーサ電極に印加され、該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、前記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される前記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、請求項2に記載のシステム。
- 第1のDC電圧は、前記第1の容量性ピックオフ電極に印加され、第2のDC電圧は、前記第2の容量性ピックオフ電極に印加され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、前記プルーフマスに印加される前記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、請求項2に記載のシステム。
- 前記フォースリバランスサーボは、前記ピックオフ信号を増幅するゲイン増幅器と、前記第1のAC励起信号に対して増幅されたピックオフを誤差電圧に復調する復調器と含む、請求項2に記載のシステム。
- 前記フォースリバランスサーボは、サーボ補償増幅器を含み、該サーボ補償増幅器は、前記誤差電圧を積分し、前記プルーフマスを前記電気的ピックオフヌルへフォースリバランスさせるために印加される制御電圧を提供する、請求項5に記載のシステム。
- 時間変動外乱信号は、前記誤差電圧と共に合計ノード内に注入され、前記サーボ補償増幅器に提供される、請求項6に記載のシステム。
- 前記負の静電ばねサーボは、前記フォースリバランスサーボの出力に連結されているキャパシタンスを増幅する増幅器と、前記時間変動外乱信号に対してフォースリバランスサーボ信号を復調する復調器とを含む、請求項1に記載のシステム。
- サーボ補償増幅器をさらに含み、該サーボ補償増幅器は、前記復調されたフォースリバランス信号を積分して、負のばねDC電圧を提供する、請求項8に記載のシステム。
- 加速度計システムであって、該システムは、
屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマス、および対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極と、
フォースリバランスサーボと、
負の静電ばねサーボと
を含み、
該フォースリバランスサーボは、該加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動を示す電気的ピックオフ信号に応答して、制御信号を該プルーフマスに提供し、時間変動外乱信号は、該フォースリバランスサーボの合計ノード内に注入され、該外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する時間変動信号の生成を該フォースリバランスサーボの出力において生じさせ、
該負の静電ばねサーボは、負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消す、システム。 - 前記ピックオフ信号は、前記加速度計ハウジングに対する前記プルーフマスの運動と、第1の容量性ピックオフ電極に印加される第1のAC励起信号および第2の容量性ピックオフ電極に印加される第2のAC励起信号との相互作用とによって引き起こされるキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号であり、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、該プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、請求項10に記載のシステム。
- 第1のDC電圧は、第1の静電フォーサ電極に印加され、第2のDC電圧は、第2の静電フォーサ電極に印加され、該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、前記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される前記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用して、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、請求項11に記載のシステム。
- 第1のDC電圧は、前記第1の容量性ピックオフ電極に印加され、第2のDC電圧は、前記第2の容量性ピックオフ電極に印加され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、前記プルーフマスに印加される前記フォースリバランスサーボの制御信号出力は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、請求項11に記載のシステム。
- 前記フォースリバランスサーボは、
前記ピックオフ信号を増幅するゲイン増幅器と、
前記第1のAC励起信号に基づいて、増幅されたピックオフを誤差電圧に復調する復調器と、
サーボ補償増幅器と
を含み、
該サーボ補償増幅器は、該誤差電圧を積分して、前記プルーフマスに印加される制御電圧を提供し、時間変動外乱信号は、該誤差電圧と共に合計ノード内に注入され、該サーボ補償増幅器に提供される、請求項12に記載のシステム。 - 前記負の静電ばねサーボは、
前記フォースリバランスサーボの出力に連結されるキャパシタンスを増幅する増幅器と、
前記時間変動外乱信号に対して該増幅されたフォースリバランス信号を復調する復調器と、
サーボ補償増幅器と
を含み、
該サーボ補償増幅器は、前記増幅された復調されたフォースリバランス信号を積分して、負のばねDC電圧を提供する、請求項10に記載のシステム。 - 加速度計のバイアスを低減する方法であって、該加速度計は、屈曲サスペンションによって加速度計ハウジングに連結されたプルーフマスと、対向する側面において該プルーフマスから離間された1対の負の静電フォーサ電極とを有し、該方法は、
時間変動外乱信号をフォースリバランスサーボ内に注入することであって、該時間変動外乱信号は、該外乱信号に応答して該プルーフマスが移動する場合の該プルーフマスに作用する、組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの正味の正のばね力の大きさに対応する出力電圧の生成を生じさせる、ことと、
負の静電ばねDC電圧を該1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、該フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、該プルーフマスに作用する、該組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの該正味の正のばね力を打ち消すことと
を含む、方法。 - 第1のAC励起信号を第1の容量性ピックオフ電極に印加することと、
第2のAC励起信号を第2の容量性ピックオフ電極に印加することであって、該第1の容量性ピックオフ電極と該第2の容量性ピックオフ電極とは、前記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のAC励起信号は、該第2のAC励起信号から180°位相がずれている、ことと、
前記加速度計ハウジングに対する該プルーフマスの運動と、該第1のAC励起信号および該第2のAC励起信号との相互作用とに起因するキャパシタンス変化に応答して、該プルーフマスにおいて生成される位相差信号を捕獲および復調して、誤差信号を生成することと、
該誤差信号を積分して、前記フォースリバランス信号に対応する制御電圧を生成することと
をさらに含む、請求項16に記載の方法。 - 第1のDC電圧を第1の静電フォーサ電極に印加することと、
第2のDC電圧を第2の静電フォーサ電極に印加することと
をさらに含み、
該第1の静電フォーサ電極と該第2の静電フォーサ電極とは、前記プルーフマスの対向する側面に配置され、該第1のDC電圧は、該第2のDC電圧と反対の極性であり、その結果、該プルーフマスに印加される前記制御電圧は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、請求項17に記載の方法。 - 第1のDC電圧を前記第1の容量性ピックオフ電極に印加することと、
第2のDC電圧を前記第2の容量性ピックオフ電極に印加することであって、その結果、前記プルーフマスに印加される前記制御電圧は、該第1のDC電圧および該第2のDC電圧と相互作用し、静電力を生成することにより、該プルーフマスをピックオフ電気的ヌルに移動させる、ことと
をさらに含む、請求項17に記載の方法。 - 前記時間変動外乱信号に対して前記フォースリバランス信号を復調することと、
該復調されたフォースリバランス信号を積分して、負の静電ばねDC電圧を提供することと、
該負の静電ばねDC電圧を前記1対の負の静電フォーサ電極のそれぞれに印加して、前記フォースリバランスサーボの出力内の該時間変動信号をゼロにすることに応答して、前記プルーフマスに作用する、前記組み合わせられた屈曲サスペンションとバイアス電圧に関連付けられる静電ばねとの前記正味の正のばね力を打ち消すことと
をさらに含む、請求項16に記載の方法。
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