JP2014097593A

JP2014097593A - Liquid ejection head, liquid ejection device, and method for manufacturing liquid ejection head

Info

Publication number: JP2014097593A
Application number: JP2012249794A
Authority: JP
Inventors: Toshinobu Yamazaki; 俊信山▲崎▼; Takashi Nakamura; 隆志中村; Hiroyuki Kobayashi; 寛之小林; Shigeki Suzuki; 繁樹鈴木
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2012-11-13
Filing date: 2012-11-13
Publication date: 2014-05-29

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid ejection head which enhances resistance to ink, in particular, aqueous ink, and can extend its lifetime, and to provide a liquid ejection device including the same, and a method for manufacturing the liquid ejection head.SOLUTION: A liquid ejection head 2 is formed by bonding a plurality of substrates, and can eject ink from a nozzle 44 through a flow channel formed therein. At least one adhesive out of adhesives which bond the plurality of substrates each other contains at least a substance produced by at least bisphenol F type epoxy resin and modified aliphatic polyamine as a main component.

Description

本発明は、ノズルからインクを噴射させる液体噴射ヘッド、これを備えた液体噴射装置、及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head that ejects ink from nozzles, a liquid ejecting apparatus including the same, and a method for manufacturing the liquid ejecting head.

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。 The liquid ejecting apparatus includes a liquid ejecting head and ejects various liquids from the ejecting head. As this liquid ejecting apparatus, for example, there is an image recording apparatus such as an ink jet printer or an ink jet plotter, but recently, various types of manufacturing have been made by taking advantage of the ability to accurately land a very small amount of liquid on a predetermined position. It is also applied to devices. For example, a display manufacturing apparatus for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode forming apparatus for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display or FED (surface emitting display), a chip for manufacturing a biochip (biochemical element) Applied to manufacturing equipment. The recording head for the image recording apparatus ejects liquid ink, and the color material ejecting head for the display manufacturing apparatus ejects solutions of R (Red), G (Green), and B (Blue) color materials. The electrode material ejecting head for the electrode forming apparatus ejects a liquid electrode material, and the bioorganic matter ejecting head for the chip manufacturing apparatus ejects a bioorganic solution.

この種の液体噴射ヘッドは、例えば圧力室が形成された流路基板や、ノズルが開口されたノズル基板等の複数の基板を積層して形成されている。そして、これら複数の基板同士は、接着剤によって接着固定されている（例えば、特許文献１参照）。このような液体噴射ヘッドでは、基板同士を接着する接着剤の一部が流路内に露出しており、この部分が流路を流れるインクに晒されている。このため、インクからの影響を受けて、接着剤の接着力が低下する虞があった。接着剤の接着力が低下すると、この接着剤によって接着している基板同士が剥がれる虞があった。このため、従来では、インクに対する耐性を有するビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主成分とする接着剤が用いられていた。 This type of liquid jet head is formed by stacking a plurality of substrates such as a flow path substrate in which a pressure chamber is formed and a nozzle substrate in which nozzles are opened. And these several board | substrates are adhere | attached and fixed with the adhesive agent (for example, refer patent document 1). In such a liquid jet head, a part of the adhesive that bonds the substrates to each other is exposed in the flow path, and this part is exposed to the ink flowing through the flow path. For this reason, there is a possibility that the adhesive strength of the adhesive may be reduced due to the influence of the ink. When the adhesive strength of the adhesive is reduced, there is a possibility that the substrates bonded by the adhesive are peeled off. For this reason, conventionally, an adhesive mainly composed of a bisphenol A type epoxy resin having resistance to ink has been used.

特開２００７−０２１９１１号公報JP 2007-021911 A

しかしながら、上記のような接着剤を用いたとしても十分ではなく、基板の剥がれによる液体噴射ヘッドの寿命の低下が問題になっている。特に、液体噴射ヘッドから水系のインクを噴射する場合、基板の剥がれによる寿命の低下が顕著になっている。これは水系インク内に含まれる水分によって接着剤が加水分解されると共に、水系のインク内に含まれる溶剤によって接着剤が溶解され、接着剤の接着力が低下することが原因であることが分かっている。 However, even if the above-described adhesive is used, it is not sufficient, and there is a problem that the life of the liquid jet head is reduced due to peeling of the substrate. In particular, when water-based ink is ejected from a liquid ejecting head, the lifetime is significantly reduced due to peeling of the substrate. This is because the adhesive is hydrolyzed by water contained in the water-based ink, and the adhesive is dissolved by the solvent contained in the water-based ink, and the adhesive strength of the adhesive is reduced. ing.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、インク、特に水系インクに対する耐性を向上させ、寿命を延ばすことができる液体噴射ヘッド、これを備えた液体噴射装置、及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to improve the resistance to ink, particularly water-based ink, and to extend the life, a liquid ejecting apparatus including the same, And a method of manufacturing a liquid jet head.

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の基板を接着して形成され、内部に形成された流路を通じてノズルからインクを噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
前記複数の基板同士を接着する接着剤のうち少なくとも一部の接着剤が、少なくともビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとから生成される物質を主成分としたものであることを特徴とする。 The present invention has been proposed to achieve the above object, and is a liquid ejecting head formed by adhering a plurality of substrates and capable of ejecting ink from nozzles through a flow path formed therein,
Among the adhesives for adhering the plurality of substrates, at least a part of the adhesive is mainly composed of a substance generated from at least a bisphenol F type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine. .

本発明によれば、基板同士を接着する接着剤の主成分を、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンにしたので、基板間に形成される接着剤層の耐水性を向上させることができると共に、耐溶剤性を向上させることができる。これにより、液体噴射ヘッドに用いられる接着剤の接着力の低下を抑制でき、ひいては、液体噴射ヘッドの寿命を延ばすことができる。 According to the present invention, since the main components of the adhesive for bonding the substrates are the bisphenol F type epoxy resin and the modified aliphatic polyamine, the water resistance of the adhesive layer formed between the substrates can be improved. At the same time, the solvent resistance can be improved. As a result, it is possible to suppress a decrease in the adhesive force of the adhesive used in the liquid ejecting head, thereby extending the life of the liquid ejecting head.

上記構成において、特に前記ノズルから噴射されるインクが水系インクである場合に用いられることが望ましい。 In the above-described configuration, it is desirable that the ink is ejected from the nozzle, particularly when the ink is water-based ink.

この構成によれば、液体噴射ヘッドから水系インクを噴射する場合であっても、接着剤の接着力の低下を抑制でき、ひいては、液体噴射ヘッドの寿命を延ばすことができる。 According to this configuration, even when water-based ink is ejected from the liquid ejecting head, it is possible to suppress a decrease in the adhesive force of the adhesive, and thereby extend the life of the liquid ejecting head.

上記各構成において、前記一の接着剤は、主剤と硬化剤とが混合された接着剤であって、
前記主剤はビスフェノールＦ型エポキシ樹脂を主成分とし、
前記硬化剤は変性脂肪族ポリアミンを主成分とすることが望ましい。 In each of the above configurations, the one adhesive is an adhesive in which a main agent and a curing agent are mixed,
The main agent is mainly composed of bisphenol F type epoxy resin,
The curing agent is preferably composed mainly of a modified aliphatic polyamine.

この構成によれば、主剤と硬化剤とを別個に取り扱うことができ、接着剤の保管期間を延ばすことができる。 According to this configuration, the main agent and the curing agent can be handled separately, and the storage period of the adhesive can be extended.

また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。 According to another aspect of the invention, a liquid ejecting apparatus includes the liquid ejecting head having the above-described configuration.

この構成によれば、液体噴射ヘッドに用いられる接着剤の接着力の低下を抑制でき、ひいては、液体噴射装置の寿命を延ばすことができる。 According to this configuration, it is possible to suppress a decrease in the adhesive force of the adhesive used for the liquid ejecting head, and thereby extend the life of the liquid ejecting apparatus.

さらに、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、複数の基板を接着して形成され、内部に形成された流路を通じてノズルからインクを噴射可能な液体噴射ヘッドの製造方法であって、
ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とする接着剤からなる接着剤層を一の基板に形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層が形成された基板と他の基板とを接着させる接着工程とを含むことを特徴とする。 Furthermore, the method for manufacturing a liquid jet head according to the present invention is a method for manufacturing a liquid jet head formed by adhering a plurality of substrates and capable of jetting ink from nozzles through a flow path formed inside.
An adhesive layer forming step of forming an adhesive layer made of an adhesive mainly composed of a bisphenol F-type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine on one substrate;
A bonding step of bonding the substrate on which the adhesive layer is formed to another substrate.

プリンターの構成を説明する斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a configuration of a printer. 記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the recording head. 記録ヘッドの製造方法を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the manufacturing method of a recording head. 第２実施形態における記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part of a recording head in a second embodiment.

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the following description, an ink jet printer (hereinafter referred to as a printer) equipped with an ink jet recording head (hereinafter referred to as a recording head), which is a kind of liquid ejecting head, is taken as an example of the liquid ejecting apparatus of the present invention.

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３（後述するホルダ１４）に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。
また、上記のインクは、有機溶剤を主成分とする溶剤系インクや水を主成分とする水系インク等があり、顔料又は染料を色材として用いたものを使用する。
ここで、顔料とは、水又は有機溶媒のいずれにも不溶又は難溶であるものをいい、例えば、カラーインデックスにおいて「Ｐｉｇｍｅｎｔ（顔料）」分類される化合物が挙げられる。
染料とは、水又は有機溶剤のいずれかに溶解するものをいい、水溶性の染料と油溶性の染料が知られている。水溶性の染料としては、例えば、カラーインデックスにおいて「ＡｃｉｄＤｙｅ（酸性染料）」、「ＢａｓｉｃＤｙｅ（塩基性染料）」、「ＤｉｒｅｃｔＤｙｅ（直接染料）」、「ＦｏｏｄＤｙｅ（食用色素）」「ＲｅａｃｔｉｖｅＤｙｅ（反応性染料）」に分類される化合物が挙げられる。油溶性の染料としては、例えば、カラーインデックスにおいて、「ＳｏｌｖｅｎｔＤｙｅ（溶剤染料）」、「ＤｉｓｐｅｒｓｅＤｙｅ（分散染料）」、「ＶａｔＤｙｅ（建染染料）」に分類される化合物が挙げられる。
前記有機溶剤としては、γ−ブチロラクトンや２−ピロリドン等の複素環化合物；トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル；１，２−ヘキサンジオール、１，６−ヘキサンジオール、２−エチル−１，３−ヘキサンジオール等のアルカンジオール；オレイン酸エチル等の脂肪酸エステル；等やこれらの混合物が挙げられる。 The configuration of the printer 1 will be described with reference to FIG. The printer 1 is a device that records an image or the like by ejecting liquid ink onto the surface of a recording medium 2 (a kind of landing target) such as recording paper. The printer 1 includes a recording head 3, a carriage 4 to which the recording head 3 is attached, a carriage moving mechanism 5 that moves the carriage 4 in the main scanning direction, a conveyance mechanism 6 that transfers the recording medium 2 in the sub scanning direction, and the like. Yes. Here, the ink is stored in an ink cartridge 7 as a liquid supply source. The ink cartridge 7 is detachably attached to the recording head 3 (a holder 14 described later). It is also possible to employ a configuration in which the ink cartridge 7 is disposed on the main body side of the printer 1 and is supplied from the ink cartridge 7 to the recording head 3 through an ink supply tube.
In addition, the ink includes a solvent-based ink mainly containing an organic solvent and a water-based ink mainly containing water. An ink using a pigment or a dye as a coloring material is used.
Here, the pigment refers to a pigment that is insoluble or hardly soluble in either water or an organic solvent, and examples thereof include compounds classified as “Pigment” in the color index.
The dye is one that dissolves in either water or an organic solvent, and water-soluble dyes and oil-soluble dyes are known. Examples of water-soluble dyes include “Acid Dye (acidic dye)”, “Basic Dye (basic dye)”, “Direct Dye (direct dye)”, “Food Dye (food dye)” and “Reactive” in the color index. And compounds classified as “Dye (reactive dye)”. Examples of the oil-soluble dye include compounds classified in the color index into “Solvent Dye (solvent dye)”, “Disperse Dye (disperse dye)”, and “Vat Dye (vat dye)”.
Examples of the organic solvent include heterocyclic compounds such as γ-butyrolactone and 2-pyrrolidone; glycol ethers such as triethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monohexyl ether, and tetraethylene glycol dimethyl ether; 1,2-hexanediol, 1,6- Examples include alkanediols such as hexanediol and 2-ethyl-1,3-hexanediol; fatty acid esters such as ethyl oleate; and the like and mixtures thereof.

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１１によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部（図示せず）に送信する。キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。 The carriage moving mechanism 5 includes a timing belt 8. The timing belt 8 is driven by a pulse motor 9 such as a DC motor. Accordingly, when the pulse motor 9 is operated, the carriage 4 is guided by the guide rod 10 installed on the printer 1 and reciprocates in the main scanning direction (width direction of the recording medium 2). The position of the carriage 4 in the main scanning direction is detected by a linear encoder 11 which is a kind of position information detecting means, and the detection signal, that is, an encoder pulse (a kind of position information) is sent to a control unit (not shown) of the printer 1. Send to. A home position serving as a base point for scanning of the carriage 4 is set in an end area outside the recording area within the movement range of the carriage 4. The printer 1 performs recording paper in both directions, ie, when the carriage 4 moves from the home position toward the opposite end, and when the carriage 4 returns from the opposite end to the home position. 5 performs so-called bidirectional recording in which characters, images, and the like are recorded.

次に記録ヘッド２について説明する。図２は、記録ヘッド２の要部断面図である。本実施形態における記録ヘッド２は、ヘッドケース１５、コンプライアンス基板１６、保護基板１７、圧電素子１８（圧力発生手段の一種）、振動板１９、流路基板２０、連通基板２１およびノズル基板２２を積層して構成されている。なお、以下の説明では、便宜上、ヘッドケース１５側を上、ノズル基板２２側を下として説明する。また、ヘッドケース１５、コンプライアンス基板１６、保護基板１７、振動板１９、流路基板２０、連通基板２１およびノズル基板２２が本発明における基板に相当する。 Next, the recording head 2 will be described. FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part of the recording head 2. The recording head 2 in the present embodiment includes a head case 15, a compliance substrate 16, a protective substrate 17, a piezoelectric element 18 (a kind of pressure generating means), a diaphragm 19, a flow path substrate 20, a communication substrate 21, and a nozzle substrate 22. Configured. In the following description, for convenience, the head case 15 side is described as the upper side, and the nozzle substrate 22 side is described as the lower side. The head case 15, the compliance substrate 16, the protective substrate 17, the vibration plate 19, the flow path substrate 20, the communication substrate 21, and the nozzle substrate 22 correspond to the substrate in the present invention.

ヘッドケース１５は、インクカートリッジ３からのインクを後述するリザーバー３２に供給するケース流路２４が形成された部材である。ケース流路２４は、下端側がリザーバー３２の上部（天井部分）と連通され、上端側がインクカートリッジ３に接続されるインク導入針（図示せず）と連通されている。また、ヘッドケース１５の下面のうちコンプライアンス基板１６の封止部２９（後述）に対向する部分には、封止膜２６の可撓変形を阻害しない程度の封止空間２５が備えられている。 The head case 15 is a member in which a case flow path 24 for supplying ink from the ink cartridge 3 to a reservoir 32 described later is formed. The case channel 24 communicates with the upper part (ceiling part) of the reservoir 32 at the lower end side and with an ink introduction needle (not shown) connected to the ink cartridge 3 at the upper end side. Further, a portion of the lower surface of the head case 15 facing a sealing portion 29 (described later) of the compliance substrate 16 is provided with a sealing space 25 that does not hinder flexible deformation of the sealing film 26.

コンプライアンス基板１６は、可撓性を有する封止膜２６と金属等の硬質の部材からなる固定基板２７とを積層した基板であり、ヘッドケース１５の下面に接合（接着）されている。このコンプライアンス基板１６には、リザーバー３２にインクを導入するインク導入口２８が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板１６のリザーバー３２に対向する領域のうちインク導入口２８以外の領域は、固定基板２７が除去された封止膜２６のみからなる封止部２９となっている。これにより、リザーバー３２は可撓性を有する封止部２９により封止され、コンプライアンスが得られることになる。 The compliance substrate 16 is a substrate in which a flexible sealing film 26 and a fixed substrate 27 made of a hard member such as metal are laminated, and is bonded (adhered) to the lower surface of the head case 15. In the compliance substrate 16, an ink introduction port 28 for introducing ink into the reservoir 32 is formed penetrating in the thickness direction. In addition, a region other than the ink introduction port 28 in a region facing the reservoir 32 of the compliance substrate 16 is a sealing portion 29 including only the sealing film 26 from which the fixed substrate 27 is removed. As a result, the reservoir 32 is sealed by the flexible sealing portion 29, and compliance is obtained.

保護基板１７は、圧電素子１８に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの圧電素子保持空間３０が形成された基板であり、コンプライアンス基板１６の下面に接合（接着）されている。この保護基板１７には、後述する流路基板２０の連通空部３７に対向する位置に、厚さ方向に貫通した導入空部３１が設けられている。導入空部３１は連通空部３７と連通し、圧力室３５にインクを供給するリザーバー３２（共通液室）を構成する。なお、保護基板１７とコンプライアンス基板１６との接着には、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とした接着剤４０が用いられている。この接着剤４０の詳しい組成に関しては後述する。また、この接着剤４０は、保護基板１７の貫通部分以外の上面であって、コンプライアンス基板１６と重なる部分に塗布され、この部分を接着している。すなわち、図２に示すように、導入空部３１の上側の開口縁に接着剤４０の層が形成され、この部分が流路内に露出し、インクに晒されることになる。 The protective substrate 17 is a substrate in which a piezoelectric element holding space 30 having a size that does not hinder its displacement is formed in a region facing the piezoelectric element 18, and is bonded (adhered) to the lower surface of the compliance substrate 16. The protective substrate 17 is provided with an introduction space 31 that penetrates in the thickness direction at a position facing a communication space 37 of the flow path substrate 20 described later. The introduction empty portion 31 communicates with the communication empty portion 37 and constitutes a reservoir 32 (common liquid chamber) that supplies ink to the pressure chamber 35. Note that an adhesive 40 mainly composed of a bisphenol F-type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine is used for bonding the protective substrate 17 and the compliance substrate 16. The detailed composition of the adhesive 40 will be described later. Further, the adhesive 40 is applied to the upper surface of the protective substrate 17 other than the penetrating portion and overlaps the compliance substrate 16 to bond this portion. That is, as shown in FIG. 2, a layer of the adhesive 40 is formed on the opening edge on the upper side of the introduction empty portion 31, and this portion is exposed in the flow path and exposed to the ink.

振動板１９は、弾性膜および絶縁体膜が積層された弾性基板であり、保護基板１７の下面に接合（接着）されている。この振動板１９の導入空部３１に対応する部分は上下に貫通しており、導入空部３１と連通空部３７とを連通させている。また、振動板１９（絶縁体膜）上であって、後述する流路基板２０の圧力室３５に対向する部分には、下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電素子１８が形成されている。圧電素子１８には、図示しない配線部材が接続されており、この配線部材を通じて制御部からの駆動信号（駆動電圧）が印加される。この駆動信号の印加によって、圧電素子１８が撓み変形し、圧力室３５内の容積を変化させる。 The diaphragm 19 is an elastic substrate in which an elastic film and an insulator film are laminated, and is bonded (adhered) to the lower surface of the protective substrate 17. A portion corresponding to the introduction empty portion 31 of the diaphragm 19 penetrates in the vertical direction, and makes the introduction empty portion 31 and the communication empty portion 37 communicate with each other. Also, a piezoelectric element in which a lower electrode film, a piezoelectric layer, and an upper electrode film are sequentially stacked on a portion of the vibration plate 19 (insulator film) that faces a pressure chamber 35 of a flow path substrate 20 described later. 18 is formed. A wiring member (not shown) is connected to the piezoelectric element 18, and a drive signal (drive voltage) from the control unit is applied through the wiring member. By applying the drive signal, the piezoelectric element 18 is bent and deformed, and the volume in the pressure chamber 35 is changed.

流路基板２０は、振動板１９（弾性膜）の下面に接合（接着）された、シリコン単結晶またはステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる基板である。この流路基板２０には、連通空部３７、圧力室３５、およびインク供給路３６が板厚方向に貫通した状態で形成されている。連通空部３７は、導入空部３１に対応する部分に形成された空部であり、導入空部３１と共にリザーバー３２を構成している。また、圧力室３５は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、各ノズル４４に対応して複数形成されている。そして、圧力室３５は、この圧力室３５よりも狭い幅で形成されたインク供給路３６を介して連通空部３７（リザーバー３２）と連通している。 The flow path substrate 20 is a substrate made of silicon single crystal or stainless steel (SUS) bonded (adhered) to the lower surface of the vibration plate 19 (elastic film). The flow path substrate 20 is formed with a communication space 37, a pressure chamber 35, and an ink supply path 36 penetrating in the thickness direction. The communication empty portion 37 is an empty portion formed in a portion corresponding to the introduction empty portion 31, and constitutes a reservoir 32 together with the introduction empty portion 31. Further, the pressure chamber 35 is a hollow portion that is long in a direction orthogonal to the nozzle row direction, and a plurality of pressure chambers 35 are formed corresponding to each nozzle 44. The pressure chamber 35 communicates with the communication empty portion 37 (reservoir 32) via an ink supply path 36 formed with a narrower width than the pressure chamber 35.

連通基板２１は、流路基板２０の下面に接合（接着）された、シリコン単結晶またはステンレス鋼（ＳＵＳ）からからなる基板である。連通基板２１の圧力室３５に対向する部分のうちインク供給路３６（リザーバー３２）とは反対側の端部には、圧力室３５とノズル４４とを連通させる連通孔３９が板厚方向を貫通した状態で形成されている。ここで、連通基板２１と流路基板２０との接着には、保護基板１７とコンプライアンス基板１６の間と同様に、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とした接着剤４０が用いられている。この接着剤４０は、連通基板２１の貫通部分以外の部分と流路基板２０の貫通部分以外の部分とが重なる部分を接着している。すなわち、図２に示すように、圧力室３５、インク供給路３６、および連通空部３７の下側の開口縁に接着剤４０の層が形成され、この部分が流路内に露出し、インクに晒されることになる。 The communication substrate 21 is a substrate made of silicon single crystal or stainless steel (SUS) bonded (adhered) to the lower surface of the flow path substrate 20. A communication hole 39 that allows the pressure chamber 35 and the nozzle 44 to communicate with each other passes through the plate thickness direction at the end opposite to the ink supply path 36 (reservoir 32) of the portion of the communication substrate 21 that faces the pressure chamber 35. It is formed in the state. Here, the adhesive 40 mainly composed of bisphenol F-type epoxy resin and modified aliphatic polyamine is used for bonding the communication substrate 21 and the flow path substrate 20 in the same manner as between the protective substrate 17 and the compliance substrate 16. It is used. The adhesive 40 bonds a portion where a portion other than the through portion of the communication substrate 21 and a portion other than the through portion of the flow path substrate 20 overlap. That is, as shown in FIG. 2, a layer of the adhesive 40 is formed on the lower opening edge of the pressure chamber 35, the ink supply path 36, and the communication space 37, and this part is exposed in the flow path, and the ink It will be exposed to.

ノズル基板２２は、連通基板２１の下面に接合（接着）された、シリコン単結晶またはステンレス鋼（ＳＵＳ）からからなる基板である。このノズル基板２２には、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル４４が列状に開設されている。例えば、３６０ｄｐｉに対応するピッチで３６０個のノズル４４を列設することでノズル列（ノズル群の一種）が構成されている。なお、本実施形態では、ノズル基板２２と連通基板２１との接着においても、保護基板１７とコンプライアンス基板１６の間と同様に、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とした接着剤４０が用いられている。この接着剤４０は、連通基板２１の貫通部分以外の下面であって、ノズル基板２２と重なる部分に塗布され、この部分を接着している。すなわち、図２に示すように、連通孔３９の下側の開口縁に接着剤４０の層が形成され、この部分が流路内に露出し、インクに晒されることになる。 The nozzle substrate 22 is a substrate made of silicon single crystal or stainless steel (SUS) bonded (adhered) to the lower surface of the communication substrate 21. In the nozzle substrate 22, a plurality of nozzles 44 are opened in a row at a pitch corresponding to the dot formation density. For example, a nozzle row (a kind of nozzle group) is configured by arranging 360 nozzles 44 at a pitch corresponding to 360 dpi. In the present embodiment, also in the adhesion between the nozzle substrate 22 and the communication substrate 21, as in the case between the protective substrate 17 and the compliance substrate 16, the adhesion mainly composed of a bisphenol F-type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine. Agent 40 is used. The adhesive 40 is applied to a lower surface other than the through portion of the communication substrate 21 and is overlapped with the nozzle substrate 22 to bond this portion. That is, as shown in FIG. 2, a layer of adhesive 40 is formed on the lower opening edge of the communication hole 39, and this portion is exposed in the flow path and exposed to ink.

そして、インクカートリッジ３からのインクは、ケース流路２４、インク導入口２８、リザーバー３２、インク供給路３６、を介して圧力室３５に供給される。この状態で圧電素子１８を駆動させると、圧力室３５内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで連通孔３９を介してノズル４４からインクを噴射している。なお、ケース流路２４、インク導入口２８、リザーバー３２、インク供給路３６、圧力室３５、および連通孔３９からなる一連の流路が本発明における流路に相当する。 The ink from the ink cartridge 3 is supplied to the pressure chamber 35 via the case flow path 24, the ink introduction port 28, the reservoir 32, and the ink supply path 36. When the piezoelectric element 18 is driven in this state, pressure fluctuation occurs in the ink in the pressure chamber 35. By utilizing this pressure fluctuation, ink is ejected from the nozzle 44 through the communication hole 39. A series of flow paths including the case flow path 24, the ink introduction port 28, the reservoir 32, the ink supply path 36, the pressure chamber 35, and the communication hole 39 corresponds to the flow path in the present invention.

次に、保護基板１７とコンプライアンス基板１６との接着、連通基板２１と流路基板２０との接着、およびノズル基板２２と連通基板２１との接着に用いられる接着剤４０について、説明する。本実施形態の接着剤４０は、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂を主成分とした主剤と、変性脂肪族ポリアミンを主成分とした硬化剤とが混合された接着剤４０が用いられている。具体的には、主剤は、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂を３０〜４０重量％、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を３０〜４０重量％、その他のエポキシ樹脂を１５〜２５重量％、シリカを５〜１５重量％含有し、これらが全体として１００重量％になるように組成されている。ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、およびその他のエポキシ樹脂は、硬化剤と組み合わせることで硬化が促進され、これにより、接着性を発揮する。また、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂は、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂に比べて、耐溶剤性および耐水性が優れている。なお、シリカは、主に硬化前の接着材の流動性を向上させる。 Next, the adhesive 40 used for bonding the protective substrate 17 and the compliance substrate 16, bonding the communication substrate 21 and the flow path substrate 20, and bonding the nozzle substrate 22 and the communication substrate 21 will be described. As the adhesive 40 of this embodiment, an adhesive 40 in which a main agent mainly composed of bisphenol F-type epoxy resin and a curing agent mainly composed of a modified aliphatic polyamine are mixed is used. Specifically, the main agent is 30 to 40% by weight of bisphenol F type epoxy resin, 30 to 40% by weight of bisphenol A type epoxy resin, 15 to 25% by weight of other epoxy resins, and 5 to 15% by weight of silica. It is contained so that these are 100% by weight as a whole. The bisphenol F-type epoxy resin, bisphenol A-type epoxy resin, and other epoxy resins are cured by combining with a curing agent, thereby exhibiting adhesiveness. Further, the bisphenol F type epoxy resin is superior in solvent resistance and water resistance as compared with the bisphenol A type epoxy resin. Silica mainly improves the fluidity of the adhesive before curing.

ここで、その他のエポキシ樹脂としては、例えば、トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール，テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン，トリグリシジルイソシアヌレート，トリグリシジルウラゾール，トリグリシジルアミノクレゾール，テトラグリシジル−１，３−ジアミノメチルシクロヘキサン，グリセロールトリグリシジルエーテルのほか，フェノールノボラック型エポキシ樹脂，クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が適用可能である。また、これらに限らず、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂およびビスフェノールＡ型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂を、その他のエポキシ樹脂として使用できる。 Here, as other epoxy resins, for example, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, triglycidyl isocyanurate, triglycidylurazole, triglycidylaminocresol, tetraglycidyl-1,3-diaminomethylcyclohexane In addition to glycerol triglycidyl ether, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, and the like are applicable. Moreover, not only these but epoxy resins other than bisphenol F type epoxy resin and bisphenol A type epoxy resin can be used as other epoxy resins.

また、硬化剤は、変性脂肪族ポリアミンを９０〜９５重量％、シリカを５〜１０重量％含有し、これらが全体として１００重量％になるように組成されている。変性脂肪族ポリアミンは、エポキシ樹脂を硬化させるものであり、耐溶剤性に優れている。なお、主剤と硬化剤は、使用（接着）の際に混合した状態（例えば、主剤と硬化剤とを１対１に混合した状態）であればよく、接着剤４０を保管する際に主剤と硬化剤とを混合した状態で保管することもできるし、主剤と硬化剤とを別個に保管することもできる。主剤と硬化剤とを別個に保管する場合、エポキシ樹脂が硬化剤と反応して硬化することを抑制でき、接着剤４０の保管期間を延ばすことができる。また、接着剤４０には、主剤および硬化剤のほかに、弾性を有するフィラーやスペーサーを混合することもできる。例えば、シリカ粒子よりも径が大きいゴムや樹脂等からなるフィラーを接着剤４０に混入することで、接着する基板間の厚みを厚くすることがきると共に、この部分に弾性を持たせることができる。 The curing agent contains 90 to 95% by weight of the modified aliphatic polyamine and 5 to 10% by weight of silica, and is composed so that these are 100% by weight as a whole. A modified aliphatic polyamine cures an epoxy resin and is excellent in solvent resistance. In addition, the main agent and the curing agent may be in a mixed state (for example, a state in which the main agent and the curing agent are mixed in a one-to-one relationship) at the time of use (adhesion), and when the adhesive 40 is stored, The hardener can be stored in a mixed state, and the main agent and the hardener can be stored separately. When the main agent and the curing agent are stored separately, the epoxy resin can be prevented from reacting with the curing agent and cured, and the storage period of the adhesive 40 can be extended. The adhesive 40 can be mixed with an elastic filler or spacer in addition to the main agent and the curing agent. For example, by mixing a filler made of rubber or resin having a diameter larger than that of silica particles into the adhesive 40, the thickness between the substrates to be bonded can be increased, and elasticity can be imparted to this portion. .

このように、保護基板１７とコンプライアンス基板１６との接着、連通基板２１と流路基板２０との接着、およびノズル基板２２と連通基板２１との接着に用いられる接着剤４０の主成分を、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンにしたので、この接着剤４０の耐水性を向上させることができると共に、耐溶剤性を向上させることができる。特にビスフェノールＦ型エポキシ樹脂を接着剤４０に含有させたので、これを含まないビスフェノールＡ型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂を主成分とする接着剤４０と比べて、耐水性および耐溶剤性が向上する。このため、上記したインクに晒される部分の接着剤４０が、インクに含まれる水分によって加水分解したり、インクに含まれる溶剤によって溶解したりすることを抑制できる。これにより、接着剤４０の接着力の低下を抑制でき、基板の剥離を抑制できる。その結果、記録ヘッド２の寿命を延ばすことができ、ひいては、プリンター１の寿命を延ばすことができる。特に、本発明の接着剤４０は耐水性に優れるため、水系インクを噴射する記録ヘッド２に好適である。 As described above, the main component of the adhesive 40 used for adhesion between the protective substrate 17 and the compliance substrate 16, adhesion between the communication substrate 21 and the flow path substrate 20, and adhesion between the nozzle substrate 22 and the communication substrate 21 is bisphenol. Since the F-type epoxy resin and the modified aliphatic polyamine are used, the water resistance of the adhesive 40 can be improved and the solvent resistance can be improved. In particular, since the bisphenol F-type epoxy resin is contained in the adhesive 40, water resistance and solvent resistance are improved as compared with the adhesive 40 mainly containing an epoxy resin such as bisphenol A-type epoxy resin that does not contain the bisphenol F-type epoxy resin. . For this reason, it can suppress that the adhesive 40 of the part exposed to the above-mentioned ink hydrolyzes with the water | moisture content contained in an ink, or melt | dissolves with the solvent contained in an ink. Thereby, the fall of the adhesive force of the adhesive agent 40 can be suppressed, and peeling of a board | substrate can be suppressed. As a result, the life of the recording head 2 can be extended, and as a result, the life of the printer 1 can be extended. In particular, since the adhesive 40 of the present invention is excellent in water resistance, it is suitable for the recording head 2 that ejects water-based ink.

次に、記録ヘッド２の製造方法について説明する。図３（ａ）〜（ｃ）は、記録ヘッド２の製造工程を説明した模式図である。 Next, a method for manufacturing the recording head 2 will be described. 3A to 3C are schematic diagrams illustrating the manufacturing process of the recording head 2.

まず、図３（ａ）に示すように、スクリーン印刷や転写印刷等のほか、ディスペンサ等を用いて、連通基板２１の上面（流路基板２０側の面）のうち圧力室３５、インク供給路３６、および連通空部３７に対向する部分以外の部分に、主剤と硬化剤とを混合した接着剤４０を略均一に塗布（接着剤層を形成）する（第１の接着剤層形成工程）。この状態で、保護基板１７、圧電素子１８、振動板１９および流路基板２０を予め積層してユニット化したアクチュエーターユニット４５を、連通基板２１の上面側から押し当て、接着剤４０を硬化させる（第１の接着工程）。これにより、流路基板２０と連通基板２１とが接着される。なお、接着剤４０は、連通孔３９の縁から垂れ落ちない程度の量に設定されている。 First, as shown in FIG. 3A, in addition to screen printing, transfer printing, and the like, a pressure chamber 35, an ink supply path in the upper surface (surface on the flow path substrate 20 side) of the communication substrate 21 using a dispenser or the like. 36 and the adhesive 40 in which the main agent and the curing agent are mixed are applied substantially uniformly (forms an adhesive layer) to a portion other than the portion facing the communication space 37 (first adhesive layer forming step). . In this state, the actuator unit 45 in which the protective substrate 17, the piezoelectric element 18, the vibration plate 19, and the flow path substrate 20 are stacked in advance to form a unit is pressed from the upper surface side of the communication substrate 21 to cure the adhesive 40 ( First bonding step). Thereby, the flow path substrate 20 and the communication substrate 21 are bonded. The adhesive 40 is set to an amount that does not sag from the edge of the communication hole 39.

次に、図３（ｂ）に示すように、上記と同様の方法で連通基板２１の下面（ノズル基板２２側の面）の全面に、主剤と硬化剤とを混合した接着剤４０を略均一に塗布（接着剤層を形成）する（第２の接着剤層形成工程）。この状態で、ノズル基板２２を、連通基板２１の下面側から押し当て、接着剤４０を硬化させる（第２の接着工程）。これにより、連通基板２１とノズル基板２２とが接着される。なお、この場合も、接着剤４０は、連通孔３９の縁からはみ出ない程度の量に設定されている。 Next, as shown in FIG. 3B, the adhesive 40 in which the main agent and the curing agent are mixed is substantially uniform on the entire lower surface (surface on the nozzle substrate 22 side) of the communication substrate 21 by the same method as described above. (Form an adhesive layer) (second adhesive layer forming step). In this state, the nozzle substrate 22 is pressed from the lower surface side of the communication substrate 21 to cure the adhesive 40 (second bonding step). Thereby, the communication substrate 21 and the nozzle substrate 22 are bonded. In this case as well, the adhesive 40 is set to an amount that does not protrude from the edge of the communication hole 39.

そして、図３（ｃ）に示すように、上記と同様の方法で保護基板１７の上面（ヘッドケース１５側の面）の全面に、主剤と硬化剤とを混合した接着剤４０を略均一に塗布（接着剤層を形成）する（第３の接着剤層形成工程）。この状態で、予めコンプライアンス基板１６が接合されたヘッドケース１５を、保護基板１７の上面側から押し当て、接着剤４０を硬化させる（第３の接着工程）。これにより、保護基板１７とコンプライアンス基板１６とが接着され、上記した記録ヘッド２が作成される。なお、この場合も、接着剤４０は、導入空部３７の縁からはみ出ない程度の量に設定されている。 Then, as shown in FIG. 3C, the adhesive 40 in which the main agent and the curing agent are mixed is substantially uniformly applied to the entire upper surface (the surface on the head case 15 side) of the protective substrate 17 by the same method as described above. Apply (form an adhesive layer) (third adhesive layer forming step). In this state, the head case 15 to which the compliance substrate 16 is bonded in advance is pressed from the upper surface side of the protective substrate 17 to cure the adhesive 40 (third bonding step). As a result, the protective substrate 17 and the compliance substrate 16 are bonded, and the recording head 2 described above is created. In this case as well, the amount of the adhesive 40 is set so as not to protrude from the edge of the introduction hollow portion 37.

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。 By the way, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.

例えば、図４に示す第２の実施形態では、連通基板を設けず、流路基板２０とノズル基板２２とが直接接着剤４０で接着されている。すなわち、圧力室３５、インク供給路３６、および連通空部３７の下側の開口は、ノズル基板２２よって封止されている。また、ノズル４４は、各圧力室３５のインク供給路３６とは反対側に開口されている。そして、接着剤４０は、流路基板２０の貫通部分以外の部分とノズル基板２２の貫通部分以外の部分とが重なる部分を接着している。すなわち、接着剤４０（接着剤層）は、ノズル基板２２の上面（流路基板２０側の面）のうち圧力室３５、インク供給路３６、および連通空部３７に対向する部分以外の部分に塗布（形成）され、この部分を接着している。なお、この接着剤４０の組成は、上記した接着剤４０と同じであるため説明を省略する。また、その他の構成についても、上記した実施形態と同じであるため説明を省略する。 For example, in the second embodiment shown in FIG. 4, the flow path substrate 20 and the nozzle substrate 22 are directly bonded with the adhesive 40 without providing the communication substrate. That is, the lower opening of the pressure chamber 35, the ink supply path 36, and the communication space 37 is sealed by the nozzle substrate 22. The nozzle 44 is opened on the opposite side of each pressure chamber 35 from the ink supply path 36. The adhesive 40 bonds a portion where a portion other than the through portion of the flow path substrate 20 and a portion other than the through portion of the nozzle substrate 22 overlap. That is, the adhesive 40 (adhesive layer) is formed on the upper surface of the nozzle substrate 22 (surface on the flow path substrate 20 side) other than the part facing the pressure chamber 35, the ink supply path 36, and the communication space 37. It is applied (formed) and this part is adhered. Note that the composition of the adhesive 40 is the same as that of the adhesive 40 described above, and thus the description thereof is omitted. Other configurations are also the same as those in the above-described embodiment, and thus the description thereof is omitted.

また、上記した実施形態では、保護基板１７とコンプライアンス基板１６との接着、連通基板２１と流路基板２０との接着、およびノズル基板２２と連通基板２１との接着、または流路基板２０とノズル基板２２との接着に用いられる接着剤を、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とする接着剤としたが、これには限られない。これらの基板間のうち少なくとも一部に本発明の接着剤が用いられていれば良い。例えば、保護基板１７とコンプライアンス基板１６との間、および連通基板２１と流路基板２０との間には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とする接着剤を用い、流路基板２０とノズル基板２２との間には、本発明のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂と変性脂肪族ポリアミンとを主成分とする接着剤を用いてもよい。また、上記した基板間のほか、記録ヘッドを構成する基板と基板との間であれば、本発明の接着剤を使用することができる。例えば、ヘッドケース１５とコンプライアンス基板１６との間、保護基板１７と振動板１９との間、および振動板１９と流路基板２０との間に本発明の接着剤を用いることができる。少なくとも最も接着剤の耐久性が求められる基板間に本発明の接着剤を用いることが望ましい。また、同じ基板間であっても、流路に近くインクに接触する領域に本発明の接着剤を用い、流路から遠い領域には従来の接着剤を用いてもよい。そして、本発明の接着剤を用いた部分の耐水性および耐溶剤性を向上させることができ、インクから影響を受けることによって接着力が低下することを抑制できる。その結果、記録ヘッドの寿命を延ばすことができる。 In the above-described embodiment, the protective substrate 17 and the compliance substrate 16 are bonded, the communication substrate 21 and the flow channel substrate 20 are bonded, and the nozzle substrate 22 and the communication substrate 21 are bonded, or the flow channel substrate 20 and the nozzle. The adhesive used for bonding to the substrate 22 is an adhesive mainly composed of a bisphenol F type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine, but is not limited thereto. It is sufficient that the adhesive of the present invention is used for at least a part of these substrates. For example, an adhesive mainly composed of a bisphenol A type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine is used between the protective substrate 17 and the compliance substrate 16 and between the communication substrate 21 and the flow path substrate 20. An adhesive mainly composed of the bisphenol F type epoxy resin and the modified aliphatic polyamine of the present invention may be used between the road substrate 20 and the nozzle substrate 22. In addition to the above-described substrates, the adhesive of the present invention can be used between the substrates constituting the recording head. For example, the adhesive of the present invention can be used between the head case 15 and the compliance substrate 16, between the protective substrate 17 and the diaphragm 19, and between the diaphragm 19 and the flow path substrate 20. It is desirable to use the adhesive of the present invention between substrates at least requiring the durability of the adhesive. Further, even between the same substrates, the adhesive of the present invention may be used in a region close to the flow channel and in contact with the ink, and a conventional adhesive may be used in a region far from the flow channel. And the water resistance and solvent resistance of the part using the adhesive agent of this invention can be improved, and it can suppress that the adhesive force falls by being influenced by ink. As a result, the life of the recording head can be extended.

さらに、上記した実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電素子１８を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。その他、圧力発生手段としては、発熱によりインクを突沸させることで圧力変動を生じさせる発熱素子や、静電気力により圧力室の区画壁を変位させることで圧力変動を生じさせる静電アクチュエーターなどの圧力発生手段を採用する構成においても本発明を適用することが可能である。 Furthermore, in the above-described embodiment, the so-called flexural vibration type piezoelectric element 18 is exemplified as the pressure generating means. However, the present invention is not limited to this, and for example, a so-called longitudinal vibration type piezoelectric element can be employed. In addition, as pressure generation means, pressure generation such as a heat generating element that causes pressure fluctuation by causing ink to boil by heat generation, an electrostatic actuator that causes pressure fluctuation by displacing the partition wall of the pressure chamber by electrostatic force, etc. The present invention can also be applied to configurations that employ means.

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２を備えたプリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、インク以外でも同様の溶剤を用いている等の接着剤に耐液体性が求められることになる液体を噴射するような、他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備えた液体噴射装置にも本発明を適用することができる。 In the above description, the printer 1 including the ink jet recording head 2 which is a kind of liquid ejecting head has been described as an example. However, the present invention is applicable to an adhesive that uses a similar solvent other than ink. The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including another liquid ejecting head that ejects a liquid that requires liquid resistance. For example, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display, FED (surface emitting display), a biochip (biochemical element) The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a bio-organic matter ejecting head and the like used for manufacturing.

１…プリンター，４…キャリッジ，７…インクカートリッジ，１５…ヘッドケース，１６…コンプライアンス基板，１７…保護基板，１８…圧電素子，１９…振動板，２０…流路基板，２１…連通基板，２２…ノズル基板，２４…ケース流路，２５…封止空間，２６…封止膜，２７…固定基板，２８…インク導入口，２９…封止部，３０…圧電素子保持空間，３１…導入空部，３２…リザーバー，３５…圧力室，３６…インク供給路，３７…連通空部，３９…連通孔，４０…接着剤，４４…ノズル，４５…アクチュエーターユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printer, 4 ... Carriage, 7 ... Ink cartridge, 15 ... Head case, 16 ... Compliance board | substrate, 17 ... Protection board | substrate, 18 ... Piezoelectric element, 19 ... Vibration board, 20 ... Flow path board, 21 ... Communication board, 22 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Nozzle substrate, 24 ... Case flow path, 25 ... Sealing space, 26 ... Sealing film, 27 ... Fixed substrate, 28 ... Ink introduction port, 29 ... Sealing part, 30 ... Piezoelectric element holding space, 31 ... Introduction empty Part, 32 ... reservoir, 35 ... pressure chamber, 36 ... ink supply path, 37 ... communication empty part, 39 ... communication hole, 40 ... adhesive, 44 ... nozzle, 45 ... actuator unit

Claims

A liquid ejecting head formed by adhering a plurality of substrates and capable of ejecting ink from a nozzle through a flow path formed inside,
Among the adhesives for adhering the plurality of substrates, at least a part of the adhesive is mainly composed of a substance generated from at least a bisphenol F type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine. Liquid jet head.

2. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the ink ejected from the nozzle is a water-based ink.

The one adhesive is an adhesive in which a main agent and a curing agent are mixed,
The main agent is mainly composed of bisphenol F type epoxy resin,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the curing agent includes a modified aliphatic polyamine as a main component.

A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to any one of claims 1 to 3.

A method of manufacturing a liquid ejecting head formed by adhering a plurality of substrates and capable of ejecting ink from nozzles through a flow path formed inside,
An adhesive layer forming step of forming an adhesive layer made of an adhesive mainly composed of a bisphenol F-type epoxy resin and a modified aliphatic polyamine on one substrate;
A method of manufacturing a liquid jet head, comprising: a bonding step of bonding a substrate on which the adhesive layer is formed and another substrate.