JP2014092768A

JP2014092768A - 吸着プレート

Info

Publication number: JP2014092768A
Application number: JP2012245104A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Kobayashi; 林淳小
Original assignee: Adtec Engineering Co Ltd
Current assignee: Adtec Engineering Co Ltd
Priority date: 2012-11-07
Filing date: 2012-11-07
Publication date: 2014-05-19

Abstract

【課題】塵埃除去の容易な吸着プレートを提供する。
【解決手段】吸着プレート１には２つの平面４角形の吸着溝２が形成され、この吸着溝２に連結する吸引装置３によりプリント配線基板９を吸着固定するように構成されている。吸着溝２は、断面半円形状の溝になっており、従来のように溝底部に角が形成されないように構成され、吸着溝２の深さは溝幅の２分の１以上とする。
【選択図】図３

Description

この発明は、吸着プレートに関する。

プリント配線基板や半導体ウエハ基板に回路パターンなど露光するための露光装置には、基板を搬送したり固定したりするために、吸着プレートが用いられている。吸着プレートは、プレート上に吸着溝を設け、該溝に吸引口を設けて、吸引源により吸引することにより、プレート上に基板を吸着する構造になっている。
該吸着口周囲には吸引によりごみが集まりやすく、レジストのような粘着性のものも付着することがあり、これらのごみを放置しておくと、基板やマスクに傷をつけたり、未露光部を発生させるなど、製品不良の原因になるため、従来からこれらのごみを除去するための除塵方法が種々提案されている。
たとえば、下記特許文献１のでは、粘着性のローラを用いて除塵を行う除塵装置が提案されている。また、特別な除塵装置を用いずに、塵埃除去マットを定期的に装置内に流すことによりクリーニングする方法なども提案されている（特許文献２）。

特開２００８−２１６４３３号公報特開２００２−３４４１１０号公報

しかし、粘着ローラを用いた除塵装置では、吸着溝のクリーニングができず、また塵埃除去マットを用いる方法の場合、吸着溝の底部のごみは排除が困難であるという問題があった。
そのため、半導体分野では、吸着溝専用のクリーニング機構も実用化されているが、装置が複雑となりコストも高くなる欠点がある。
そのため、一般的には作業者が手作業でクリーニングを行っているが、この場合でも、吸着溝底部の角にごみがはさまり、除去を困難にしていた。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、基板を吸着固定する吸着プレートであって、該基板を吸着固定する面に形成された吸着溝と、該吸着溝に連通して、該吸着溝を負圧にする吸引装置と、を備え、前記吸着溝の側面と底面の境界が円弧形状になっている、ことを特徴とする。前記吸着溝の幅方向断面形状が半円形状であり、その深さが溝幅の２分の１以上である、とすることが望ましい。また、該吸着プレートは、プリント配線基板用の露光装置に好適である。

本発明の吸着プレートによれば、塵埃の除去が容易に行える効果がある。

本発明の一実施形態を示す露光装置の概略図。本発明の一実施形態を示す吸着プレートの平面図。本発明の一実施形態を示す吸着プレートの側面図。本発明の一実施形態を示す吸着プレートの部分拡大側面図。本発明の他の実施形態を示す吸着プレートの部分拡大側面図。

以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１はプリント配線基板を製造するための露光装置であり、ここに本発明に係る吸着プレート１が装備されている。
吸着プレート１はＸＹＺ及びθ方向に移動可能な基台５上に配置されており、プリント配線基板９を吸着固定して、露光光源７からの露光光によりフィルムマスク６に描かれたパターンをプリント配線基板９上に露光するように構成されている。

吸着プレート１には図２と図３に示すように、プリント配線基板９を吸着固定する面に、２つの平面４角形の吸着溝２、２が形成され、この吸着溝２，２に連結する吸引装置３により吸着溝２，２の内部を負圧にして、プリント配線基板９を吸着固定するように構成されている。

吸着溝２は、図４に示すように、吸着溝２の幅方向の断面形状（図２におけるＸ−Ｘ断面形状）が半円形状の溝になっており、溝の底面と側面及びその境界が一体化された半円底部１５を形成している。即ち従来のように溝底部に角が形成されないようになっている。
吸着溝２の深さｄは溝幅ｗの２分の１以上とするのが望ましい。

図５に示す実施例では、吸着溝２’は底面１０と側面１１及び底面１０と側面１１の境界である角部１２を有する形状になっており、角部１２の断面形状は所定の曲率を有する円の一部の形状になっている。
このように溝全体を円形状にしなくても、角部１２のみを円形状にすることにより、所定の効果を得られる。

以上の構成において、吸着プレート１上の塵埃を除去する際に、吸着溝２は半円形になっているため、塵埃が角部に残存することなく、塵埃を完全に且つ簡単に除去できる。また吸着溝２’では角部１２が円形状になっているため、同様に塵埃を完全に且つ簡単に除去できる。

１：吸着プレート、２：吸着溝、３：吸引装置、５：基台、６：フィルムマスク、７：露光光源、９：プリント配線基板、１０：底面、１１：側面、１２：角部、１５：半円底部。

Claims

基板を吸着固定する吸着プレートであって、
該基板を吸着固定する面に形成された吸着溝と、
該吸着溝に連通して、該吸着溝を負圧にする吸引装置と、を備え、
前記吸着溝の側面と底面の境界が円弧形状になっている、
ことを特徴とする吸着プレート。
前記吸着溝の幅方向断面形状が半円形状であり、その深さが溝幅の２分の１以上である、
請求項１の吸着プレート
請求項１又は２の吸着プレートを備えた、プリント配線基板用の露光装置。