JP2014069366A - Printer - Google Patents

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Yasuyuki Wada
康之 和田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printer which allows printing satisfying requested printing accuracy even when pattern transfer is performed to a large transfer object by a printing method.SOLUTION: In a printer which transfers a pattern region PR to be constituted of a projection to a printing object region PT by pressing a tubular plate cylinder 21 for attaching a printing plate PL on the surface of which the pattern region PR is formed to the outer peripheral surface to a substrate W, a stage 10 and the plate cylinder 21 are controlled so that a non-contact region NR of the printing plate PR is located on a region out of a printing object except the printing object region PT of the substrate W prior to transfer of the pattern region PR to the printing object region PT, and position adjustment of the stage 10 is performed during a period in which the non-contact region NR is located on the region out of a printing object.

Description

本発明は、版胴の外周面に装着された印刷版から有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)の発光材料等を基板に転写する印刷装置に関する。   The present invention relates to a printing apparatus for transferring a light emitting material or the like of organic electroluminescence (organic EL) to a substrate from a printing plate mounted on an outer peripheral surface of a plate cylinder.

近年、開発が進められている有機ELの発光材料としては、ポリマー状の分子を用いた高分子材料と、それ以外の分子を用いた低分子材料とがある。何れの発光材料も下地膜上の制約などからフォトリソグラフィー法を用いたパターン形成が困難である。このため、低分子材料については、メタルマスクにより必要な領域に低分子材料を真空蒸着させる方法がパターン形成に用いられるが、蒸着温度によってはメタルマスクが膨張してしまい、特に基板が大サイズ化するほど、成膜村が生じる傾向がある。このため、高分子材料を用いた各種印刷法によるパターン形成が試みられている。   In recent years, organic EL light-emitting materials that are being developed include polymer materials using polymer molecules and low-molecular materials using other molecules. Any of the light emitting materials is difficult to form a pattern using a photolithography method due to restrictions on the base film. For this reason, for low molecular weight materials, the method of vacuum deposition of low molecular weight materials in the required area using a metal mask is used for pattern formation. However, depending on the deposition temperature, the metal mask expands, and the substrate is particularly large. There is a tendency that a film-forming village is generated as it is done. For this reason, pattern formation by various printing methods using a polymer material has been attempted.

このような印刷法のうち、凸版による印刷法では、パターンが形成された印刷版の凸部にインクとしての発光材料を塗布し、被転写体(通常は透明なガラス基板)にそのパターンを転写する。印刷版としては、脆性材料であるガラス基板への印刷という観点から樹脂版(例えば、ポリエステル系の樹脂版)が用いられている。   Among such printing methods, in the printing method using a relief plate, a light emitting material as ink is applied to the projections of the printing plate on which a pattern is formed, and the pattern is transferred to a transfer target (usually a transparent glass substrate). To do. As the printing plate, a resin plate (for example, a polyester-based resin plate) is used from the viewpoint of printing on a glass substrate which is a brittle material.

ここで、有機ELのアプリケーションとして、例えばディスプレイ用途の場合、R(赤)、G(緑)、B(青)それぞれの発光材料を数十から百数十μmレベルの線幅で高精細に塗り分けることが必要となり、その位置精度も±10μm以下が要求される。   Here, as an organic EL application, for example, in the case of a display application, each of R (red), G (green), and B (blue) light emitting materials is coated with high definition with a line width of tens to hundreds of μm. The position accuracy is required to be ± 10 μm or less.

例えば、被転写体である透明なガラス基板には、ストライプ状に複数の隔壁(バンクとも呼ばれる)が並列に配列形成されてディスプレイパターンをなしており、隔壁によって形成される溝にR、G、Bの発光材料を塗布するが、発光材料としてRインクを塗布する場合、ガラス基板の印刷領域に複数配列されたストライプ状の溝(これをセルと呼称)のうち、配列の一端側のRインクを塗布するセル(R用セル)から他端側のR用セルまでのトータルピッチと印刷版によるRインクの印刷結果のトータルピッチとを±10μm以下の精度で一致させる必要がある。   For example, a transparent glass substrate, which is a transfer target, has a plurality of partition walls (also called banks) arranged in parallel to form a display pattern, and R, G, When the B light emitting material is applied, but R ink is applied as the light emitting material, among the plurality of stripe-shaped grooves (called cells) arranged in the printing region of the glass substrate, the R ink on one end side of the array It is necessary to match the total pitch from the cell (R cell) to the R cell on the other end to the total pitch of the R ink printing result by the printing plate with an accuracy of ± 10 μm or less.

印刷結果のトータルピッチが長すぎる場合は、ガラス基板の印刷領域の両端部でインクのはみ出しによる混色が発生し、逆に短すぎる場合は、隣接するGインクやBインクとの混色が発生し、いずれも発光ムラの原因となる。   If the total pitch of the printed result is too long, color mixing due to ink protrusion occurs at both ends of the printing area of the glass substrate. Conversely, if it is too short, color mixing with the adjacent G ink or B ink occurs. Either of these causes uneven light emission.

昨今では、有機ELディスプレイの大型化が進み、46インチサイズの画面を有するものも開発されているが、このような大きなディスプレイにおいても、印刷精度は±10μm以下が要求される。さらに、1枚のガラス基板で1枚のディスプレイパネルを製造するのでは生産効率が悪いため、特許文献1に開示されるように、1枚のガラス基板から複数のディスプレイパネルを得ることが求められ、ガラス基板は大型化している。   In recent years, organic EL displays have been increased in size, and those having a 46-inch screen have been developed. However, even in such a large display, the printing accuracy is required to be ± 10 μm or less. Furthermore, since it is inefficient to produce one display panel with one glass substrate, it is required to obtain a plurality of display panels from one glass substrate as disclosed in Patent Document 1. The glass substrate is getting larger.

例えば、画面が46インチサイズの有機ELディスプレイの場合、第8世代(G8)と呼称されるガラス基板からは8枚のディスプレイパネルが得られるが、第8世代のガラス基板の大きさは2200mm×2500mmとなる。   For example, in the case of a 46-inch size organic EL display, eight display panels can be obtained from a glass substrate called eighth generation (G8), but the size of the eighth generation glass substrate is 2200 mm × It becomes 2500 mm.

このような大きさのガラス基板を処理するには、さらに大きなステージが必要であり、ステージの寸法精度や、ステージの移動精度も考慮しなければ、要求される印刷精度を満足できないという問題が生じる。   In order to process a glass substrate of such a size, a larger stage is required, and there is a problem that the required printing accuracy cannot be satisfied unless the dimensional accuracy of the stage and the moving accuracy of the stage are taken into consideration. .

例えば、特許文献2には、液晶ディスプレイ等の電子回路を印刷法により形成する技術が開示されており、印刷精度を高めるために、印刷処理を行う時点でステージの位置を検出し、目標値とずれがあった場合には、その場でステージの位置調整を行うことが開示されている。   For example, Patent Document 2 discloses a technique for forming an electronic circuit such as a liquid crystal display by a printing method. In order to improve printing accuracy, the position of a stage is detected at the time of performing a printing process, and a target value and It is disclosed that when there is a deviation, the stage position is adjusted on the spot.

特開2006−218684号公報JP 2006-218684 A 特開2011−11500号公報JP 2011-11500 A

特許文献2に開示されるように、印刷処理を行う時点でステージの位置を検出し、その場でステージの位置調整を行うことは印刷精度を高めるために有効ではあるが、特許文献2の方法では印刷ロールに貼付された印刷版が被転写体に接触している状態でステージの位置調整を行うこととなり、ステージの位置調整のために高出力のモータが要求されて、コストアップとなるだけでなく、印刷中にステージの位置を変えることとなって、印刷品質の低下を招く可能性がある。   As disclosed in Patent Document 2, it is effective to detect the position of the stage at the time of performing the printing process and adjust the position of the stage on the spot, but the method of Patent Document 2 is effective. Then, the position of the stage is adjusted while the printing plate affixed to the printing roll is in contact with the transfer target, and a high output motor is required to adjust the position of the stage, which only increases costs. Instead, the position of the stage is changed during printing, which may cause a reduction in print quality.

本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、第8世代のガラス基板のような大型の被転写体に印刷法によりパターン転写を行う場合であっても、要求される印刷精度を満足した印刷が可能な印刷装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and is required even when pattern transfer is performed by a printing method on a large transfer target such as an eighth generation glass substrate. An object of the present invention is to provide a printing apparatus capable of printing satisfying printing accuracy.

本発明に係る印刷装置の第1の態様は、印刷対象領域が予め規定されている基板を水平姿勢にて保持するステージと、凸部で構成されるパターン領域が表面に形成された印刷版を外周面に装着する円筒形状の版胴と、前記印刷版を前記基板に対して押圧することにより、前記パターン領域を前記印刷対象領域に転写する転写機構と、前記転写機構を制御する制御部とを備え、前記転写機構は、前記版胴を回転軸を中心に回転させる回転機構と、前記ステージを、前記回転軸に平行な第1の方向と、前記回転軸に垂直な第2の方向に沿って移動させる平面移動機構と、前記ステージを、その平面の中心軸周りに回転させる面内回転機構とを有し、前記印刷版は、前記パターン領域が形成されておらず、前記凸部よりも低い領域となった非接触領域を有し、前記制御部は、前記パターン領域を前記印刷対象領域に転写するのに先立って、前記基板の、前記印刷対象領域以外の印刷対象外領域上に前記印刷版の非接触領域が位置するように前記ステージおよび前記版胴を制御し、前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間で前記転写機構を制御して、前記ステージの位置調整を行う。   According to a first aspect of the printing apparatus of the present invention, there is provided a printing plate on which a pattern area composed of a convex portion is formed on a surface, and a stage that holds a substrate in which a print target area is defined in advance in a horizontal posture. A cylindrical plate cylinder mounted on the outer peripheral surface, a transfer mechanism for transferring the pattern area to the print target area by pressing the printing plate against the substrate, and a control unit for controlling the transfer mechanism; The transfer mechanism includes: a rotation mechanism that rotates the plate cylinder about a rotation axis; the stage in a first direction parallel to the rotation axis; and a second direction perpendicular to the rotation axis. A plane moving mechanism that moves along the plane, and an in-plane rotation mechanism that rotates the stage around the central axis of the plane. Non-contact territory has become a low area The controller is configured to position the non-contact area of the printing plate on a non-printing area other than the printing area of the substrate prior to transferring the pattern area to the printing area. The stage and the plate cylinder are controlled so that the position of the stage is adjusted by controlling the transfer mechanism during a period in which the non-contact area is located on the non-printable area.

本発明に係る印刷装置の第2の態様は、前記ステージを前記第2の方向に沿って移動させる際の前記ステージの前記第1の方向への変位を予め測定して得た第1の変位データを少なくとも記憶する記憶部を備え、前記制御部は、前記記憶部から前記第1の変位データを読み出し、前記基板の前記印刷対象領域での前記第1の変位データの変動特性を取得し、前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間に、前記転写機構を制御して、前記変動特性を打ち消す方向に前記ステージの位置調整を行う。   According to a second aspect of the printing apparatus of the present invention, the first displacement obtained by measuring in advance the displacement of the stage in the first direction when the stage is moved along the second direction. A storage unit that stores at least data; and the control unit reads the first displacement data from the storage unit, obtains a variation characteristic of the first displacement data in the print target region of the substrate, During the period in which the non-contact area is located on the non-printing area, the transfer mechanism is controlled to adjust the position of the stage in a direction that cancels the variation characteristics.

本発明に係る印刷装置の第3の態様は、前記制御部は、前記第1の変位データの前記変動特性を直線で近似し、得られた直線の変動特性を打ち消す方向に前記ステージの位置調整を行う。   In a third aspect of the printing apparatus according to the present invention, the control unit approximates the variation characteristic of the first displacement data with a straight line, and adjusts the position of the stage in a direction to cancel the obtained variation characteristic of the straight line. I do.

本発明に係る印刷装置の第4の態様は、前記印刷対象領域は、前記基板上に前記第2の方向に沿って間隔を空けて複数設けられて列をなし、前記制御部は、前記印刷対象領域間、および前記印刷対象領域の列の外側の前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間で前記転写機構を制御して、前記ステージの位置調整を行う。   In a fourth aspect of the printing apparatus according to the present invention, the print target area is provided in a plurality in a row along the second direction on the substrate, and is arranged in a row. The position of the stage is adjusted by controlling the transfer mechanism during a period in which the non-contact area is located between the target areas and on the non-print target area outside the row of the print target areas.

本発明に係る印刷装置の第5の態様は、前記記憶部は、前記ステージを前記第2の方向に沿って移動させる際の前記ステージの前記第1および第2の方向に垂直な第3の方向への変位を予め測定して得た第2の変位データを併せて記憶する。   According to a fifth aspect of the printing apparatus of the present invention, the storage unit includes a third unit that is perpendicular to the first and second directions of the stage when the stage is moved along the second direction. Second displacement data obtained by measuring the displacement in the direction in advance is also stored.

本発明に係る印刷装置の第6の態様は、前記転写機構は、前記版胴を前記第3の方向に移動させる垂直移動機構をさらに有し、前記垂直移動機構は、前記版胴の前記回転軸に沿った左右方向においてそれぞれ配設される、第1および第2の垂直移動機構を含み、前記第1および第2の垂直移動機構は、それぞれが独立して動作可能であり、前記制御部は、前記記憶部から前記第2の変位データを読み出し、前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間に、前記垂直移動機構を制御して、前記版胴と前記ステージとの距離を調整する。   According to a sixth aspect of the printing apparatus of the present invention, the transfer mechanism further includes a vertical movement mechanism that moves the plate cylinder in the third direction, and the vertical movement mechanism is configured to rotate the plate cylinder. Including first and second vertical movement mechanisms respectively disposed in the left-right direction along the axis, wherein each of the first and second vertical movement mechanisms can operate independently, and the control unit Reads out the second displacement data from the storage unit, and controls the vertical movement mechanism during a period in which the non-contact area is located on the non-printable area so that the plate cylinder, the stage, Adjust the distance.

本発明に係る印刷装置の第7の態様は、前記印刷対象領域は、前記第2の方向に沿って前記基板表面内に設けられた複数の隔壁によって形成されるストライプ状の溝の形成領域で規定される。   In a seventh aspect of the printing apparatus according to the present invention, the print target area is a stripe-shaped groove forming area formed by a plurality of partition walls provided in the substrate surface along the second direction. It is prescribed.

本発明に係る印刷装置の第1の態様によれば、パターン領域を印刷対象領域に転写するのに先立って、基板の、印刷対象領域以外の印刷対象外領域上に印刷版の非接触領域が位置するようにステージおよび版胴を制御し、印刷対象外領域上に非接触領域が位置している期間で転写機構を制御してステージの位置調整を行う。このため、ステージには版胴による押圧は加わっておらず、ステージの位置調整を行うための機構に高出力のモータは必要ではない。このため、印刷装置の製造コストを低減することができる。また、基板と非接触状態で位置調整を行うので、調整に伴ってパターン領域と印刷対象領域との接触位置がずれることがなく、印刷品質の低下を招くこともない。   According to the first aspect of the printing apparatus of the present invention, prior to transferring the pattern area to the print target area, the non-contact area of the printing plate is formed on the non-print target area other than the print target area of the substrate. The stage and the plate cylinder are controlled so as to be positioned, and the position of the stage is adjusted by controlling the transfer mechanism during the period in which the non-contact area is located on the non-printing area. For this reason, the stage is not pressed by the plate cylinder, and a high output motor is not necessary for the mechanism for adjusting the position of the stage. For this reason, the manufacturing cost of the printing apparatus can be reduced. Further, since the position adjustment is performed in a non-contact state with the substrate, the contact position between the pattern area and the print target area does not shift with the adjustment, and the print quality does not deteriorate.

本発明に係る印刷装置の第2の態様によれば、制御部は、記憶部から第1の変位データを読み出し、基板の印刷対象領域での第1の変位データの変動特性を取得し、印刷対象外領域上に非接触領域が位置している期間に、転写機構を制御して、変動特性を打ち消す方向にステージの位置調整を行うので、印刷精度を高めることができる。   According to the second aspect of the printing apparatus of the present invention, the control unit reads the first displacement data from the storage unit, acquires the fluctuation characteristics of the first displacement data in the print target area of the substrate, and prints During the period in which the non-contact area is located on the non-target area, the transfer mechanism is controlled to adjust the position of the stage in a direction that cancels the fluctuation characteristics, so that the printing accuracy can be improved.

本発明に係る印刷装置の第3の態様によれば、第1の変位データの変動特性を直線で近似し、得られた直線の変動特性を打ち消す方向にステージの位置調整を行うので、位置調整を簡略化できる。   According to the third aspect of the printing apparatus of the present invention, since the variation characteristic of the first displacement data is approximated by a straight line, and the stage position is adjusted in a direction that cancels the obtained linear variation characteristic, the position adjustment is performed. Can be simplified.

本発明に係る印刷装置の第4の態様によれば、印刷対象領域間、および印刷対象領域の列の外側の印刷対象外領域上に非接触領域が位置している期間でステージの位置調整を行うので、複数の印刷対象領域のそれぞれに適応したステージの位置調整が可能となり、全ての印刷対象領域で印刷精度を高めることができる。   According to the fourth aspect of the printing apparatus of the present invention, the stage position is adjusted in a period in which the non-contact area is located between the print target areas and on the non-print target areas outside the columns of the print target areas. Therefore, it is possible to adjust the position of the stage adapted to each of the plurality of print target areas, and it is possible to improve the printing accuracy in all the print target areas.

本発明に係る印刷装置の第5の態様によれば、記憶部に、ステージを第2の方向に沿って移動させる際の第3の方向への変位を予め測定して得た第2の変位データを記憶しているので、第2の変位データに基づいて版胴とステージとの距離を調整することが可能となる。   According to the fifth aspect of the printing apparatus of the present invention, the second displacement obtained by measuring in advance the displacement in the third direction when the stage is moved along the second direction in the storage unit. Since the data is stored, the distance between the plate cylinder and the stage can be adjusted based on the second displacement data.

本発明に係る印刷装置の第6の態様によれば、印刷対象外領域上に非接触領域が位置している期間に、第2の変位データに基づいて垂直移動機構を制御して、版胴とステージとの距離を調整する。このため、ステージを移動させる際のピッチングやローリングによりZ方向の位置が変位するような場合でも、版胴とステージとの距離を適正に保つことができる。   According to the sixth aspect of the printing apparatus of the present invention, the plate cylinder is controlled by controlling the vertical movement mechanism based on the second displacement data during the period in which the non-contact area is located on the non-printing area. Adjust the distance from the stage. For this reason, even when the position in the Z direction is displaced by pitching or rolling when the stage is moved, the distance between the plate cylinder and the stage can be maintained appropriately.

本発明に係る印刷装置の第7の態様によれば、印刷対象領域が、第2の方向に沿って基板表面内に設けられた複数のストライプ状の溝の形成領域で規定されるので、当該溝を発光するセルとして使用するディスプレイ装置を得ることができる。   According to the seventh aspect of the printing apparatus of the present invention, the print target area is defined by the formation areas of the plurality of stripe-shaped grooves provided in the substrate surface along the second direction. A display device used as a cell that emits light from the groove can be obtained.

本発明に係る印刷装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a printing apparatus according to the present invention. 本発明に係る印刷装置の概略構成を示す側面図である。1 is a side view illustrating a schematic configuration of a printing apparatus according to the present invention. 制御部のハードウェア構成を示す図である。It is a figure which shows the hardware constitutions of a control part. 版胴の装着した状態の印刷版を示す側面図である。It is a side view showing a printing plate in a state where a plate cylinder is mounted. ヨーイングにより基板にX方向のずれが生じた状態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the state which the shift | offset | difference of the X direction produced in the board | substrate by yawing. ヨーイングデータの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of yawing data. ステージのX方向の変位の変動特性を示す図である。It is a figure which shows the fluctuation characteristic of the displacement of the stage of the X direction. ステージのX方向の変位量の変動特性を直線で近似した図である。It is the figure which approximated the fluctuation characteristic of the amount of displacement of the X direction of a stage with a straight line. 版胴による基への印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the printing operation to the base by a plate cylinder. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を説明するフローチャートである。6 is a flowchart for explaining a printing operation in the printing apparatus according to the present invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を説明するフローチャートである。6 is a flowchart for explaining a printing operation in the printing apparatus according to the present invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を説明するフローチャートである。6 is a flowchart for explaining a printing operation in the printing apparatus according to the present invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る印刷装置での印刷動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically printing operation | movement with the printing apparatus which concerns on this invention.

<実施の形態>
<装置構成>
図1を用いて本発明に係る実施の形態の印刷装置の構成について説明する。図1は、実施の形態に係る印刷装置100の概略構成を示す斜視図である。なお、図1以下の各図においては、それらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を必要に応じて付している。
<Embodiment>
<Device configuration>
The configuration of the printing apparatus according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a printing apparatus 100 according to an embodiment. 1 and the following drawings, an XYZ orthogonal coordinate system in which the Z-axis direction is the vertical direction and the XY plane is the horizontal plane is attached as necessary to clarify the directional relationship.

図1に示す印刷装置100は、インクとして有機ELの発光材料を基板Wに転写して有機EL素子のパターン形成のための印刷処理を行う装置であり、主たる構成として、ステージ10、版胴21および図示されないインク供給機構および転写機構と、装置の各動作機構を制御して印刷処理を実行させる制御部を備えている。   A printing apparatus 100 shown in FIG. 1 is an apparatus that performs a printing process for forming a pattern of an organic EL element by transferring an organic EL light-emitting material as an ink onto a substrate W. The main configuration is a stage 10 and a plate cylinder 21. In addition, an ink supply mechanism and a transfer mechanism (not shown) and a control unit that controls each operation mechanism of the apparatus to execute a printing process are provided.

図1に示すように、ステージ10は、版胴21の回転軸22の延在方向に平行なX方向と、X方向と垂直をなすY方向に直線移動可能に構成されている。このような直線移動を実現するには、ステージ10を一対の直動ガイド上に載置し、この直動ガイドの間にリニアモータを配設し、リニアモータの駆動力によりステージ10を直動ガイドに沿った方向に直線移動させる第1の直動機構と、第1の直動機構の下に配設され、第1の直動機構ごとステージ10を第1の直動機構の直動方向とは垂直な方向に直線移動する第2の直動機構とを備えていれば良い。第2の直動機構も一対の直動ガイドと、直動ガイドの間に配設されたリニアモータにより構成することができる。なお、第1および第2の直動機構によってX、Y方向の移動が可能となるので、両者を総称して平面移動機構と呼称する。   As shown in FIG. 1, the stage 10 is configured to be linearly movable in the X direction parallel to the extending direction of the rotation shaft 22 of the plate cylinder 21 and in the Y direction perpendicular to the X direction. In order to realize such a linear movement, the stage 10 is placed on a pair of linear motion guides, a linear motor is disposed between the linear motion guides, and the stage 10 is linearly driven by the driving force of the linear motor. A first linear motion mechanism that linearly moves in a direction along the guide, and a linear motion direction of the first linear motion mechanism, which is disposed under the first linear motion mechanism and moves the stage 10 together with the first linear motion mechanism. And a second linear motion mechanism that moves linearly in a vertical direction. The second linear motion mechanism can also be constituted by a pair of linear motion guides and a linear motor disposed between the linear motion guides. Since the first and second linear motion mechanisms enable movement in the X and Y directions, both are collectively referred to as a plane movement mechanism.

また、印刷装置100は、第1および第2の直動機構を搭載し、XY平面に垂直なZ方向に直線移動させる第3の直動機構も備え、ステージ10はZ方向に昇降が可能である。なお、ステージ10は、XY平面の中心軸(Z軸と平行な軸)の周りの方向(θ方向)にも回転可能なように、面内回転機構も備えている。   In addition, the printing apparatus 100 includes the first and second linear motion mechanisms, and also includes a third linear motion mechanism that linearly moves in the Z direction perpendicular to the XY plane, and the stage 10 can be moved up and down in the Z direction. is there. The stage 10 is also provided with an in-plane rotation mechanism so that it can also rotate in the direction (θ direction) around the central axis (axis parallel to the Z axis) of the XY plane.

版胴21は、円筒形状を有するローラであり、X方向に沿って延在する回転軸22に取付けられた版胴モータ(図示せず)によって、回転軸22を中心として回転可能に構成されている。   The plate cylinder 21 is a roller having a cylindrical shape, and is configured to be rotatable around the rotation shaft 22 by a plate cylinder motor (not shown) attached to the rotation shaft 22 extending along the X direction. Yes.

図2は、印刷装置100の版胴21、インク供給機構13および転写機構50の概略構成を示す側面図である。版胴21は、図2の紙面上で時計回りおよび反時計回りの何れの方向にも回転可能であるが、印刷処理時には版胴モータ(図示せず)によって時計回りに回転する。版胴21の外周面には、樹脂製の印刷版PLが装着される。樹脂製の印刷版PLは、例えばポリエステル等の樹脂にて形成され、中空円筒状をなしており、円筒形状の版胴21を挿入することで版胴21の外周面に装着される。なお、印刷版PLは中空円筒状に限定されるものではなく、例えば、板状の印刷版PLを版胴21の外周面に巻設するようにしても良い。   FIG. 2 is a side view illustrating a schematic configuration of the plate cylinder 21, the ink supply mechanism 13, and the transfer mechanism 50 of the printing apparatus 100. The plate cylinder 21 can be rotated clockwise and counterclockwise on the paper surface of FIG. 2, but is rotated clockwise by a plate cylinder motor (not shown) during the printing process. A resin printing plate PL is mounted on the outer peripheral surface of the plate cylinder 21. The resin printing plate PL is formed of, for example, a resin such as polyester and has a hollow cylindrical shape. The cylindrical printing drum 21 is inserted into the outer peripheral surface of the printing drum 21. Note that the printing plate PL is not limited to a hollow cylindrical shape. For example, a plate-like printing plate PL may be wound around the outer peripheral surface of the plate cylinder 21.

また、図1に示すように、版胴21は、版胴モータごとZ方向に昇降可能に構成され、その昇降機構は版胴21の左右にそれぞれ設けられ、両方の昇降機構が同時に同じ方向に動けば版胴21を水平を保った状態でZ方向に昇降させることができ、一方の昇降機構だけを動かせば、版胴21を左右どちらかに傾けることができる。   Further, as shown in FIG. 1, the plate cylinder 21 is configured to be movable up and down in the Z direction together with the plate cylinder motor, and its lifting mechanisms are provided on the left and right sides of the plate cylinder 21, respectively, and both the lifting mechanisms are simultaneously in the same direction. If the plate cylinder 21 is moved, the plate cylinder 21 can be moved up and down in the Z direction, and if only one lifting mechanism is moved, the plate cylinder 21 can be tilted left or right.

インク供給機構13は、版胴21に装着された印刷版PLにインク(印刷材料)として有機ELの高分子発光材料を供給する。インク供給機構13は、スリットノズル11およびインク供給ローラ12を備えて構成される。インク供給ローラ12は版胴21と平行に(つまりX方向に沿って)配置されている。スリットノズル11は、インク供給ローラ12の回転軸方向(X方向)に延びるスリットを有してインク供給ローラ12の表面にインクとして有機ELの高分子発光材料を吐出する。スリットノズル11とインク供給ローラ12の表面との間隔、および、インク供給ローラ12の表面と版胴21上の印刷版PLの表面との間隔は、図示しない調整機構によって調整可能である。   The ink supply mechanism 13 supplies a polymer light emitting material of organic EL as ink (printing material) to the printing plate PL mounted on the plate cylinder 21. The ink supply mechanism 13 includes a slit nozzle 11 and an ink supply roller 12. The ink supply roller 12 is disposed in parallel with the plate cylinder 21 (that is, along the X direction). The slit nozzle 11 has a slit extending in the rotation axis direction (X direction) of the ink supply roller 12, and discharges an organic EL polymer light emitting material as ink onto the surface of the ink supply roller 12. The interval between the slit nozzle 11 and the surface of the ink supply roller 12 and the interval between the surface of the ink supply roller 12 and the surface of the printing plate PL on the plate cylinder 21 can be adjusted by an adjustment mechanism (not shown).

印刷装置100においては、スリットノズル11から回転するインク供給ローラ12の表面にインクが供給され、インク供給ローラ12の表面に発光材料の薄膜が形成される。そして、インク供給ローラ12および版胴21の双方が回転することによって、インク供給ローラ12から版胴21に装着された印刷版PLのパターンにインクが転写され、発光材料のパターンが形成される。さらに、基板Wを保持するステージ10をリニアモータ(図示せず)によってY方向に沿って一定速度で移動させつつ、版胴モータ(図示せず)によって版胴21を回転させ、インクを載せた印刷版PLを基板Wに対して押圧することによって発光材料のパターンが印刷版PLから基板Wに転写される。すなわち、版胴21を回転させる版胴モータ95とステージ10を移動させるリニアモータ群とによって転写機構50が構成される。また、図2に示すように、印刷装置100は、装置の各動作機構を制御して印刷処理を実行させる制御部90を備えている。   In the printing apparatus 100, ink is supplied from the slit nozzle 11 to the surface of the ink supply roller 12 that rotates, and a thin film of light emitting material is formed on the surface of the ink supply roller 12. Then, when both the ink supply roller 12 and the plate cylinder 21 are rotated, the ink is transferred from the ink supply roller 12 to the pattern of the printing plate PL mounted on the plate cylinder 21 to form a pattern of the light emitting material. Further, while the stage 10 holding the substrate W is moved at a constant speed along the Y direction by a linear motor (not shown), the plate cylinder 21 is rotated by a plate cylinder motor (not shown) to place ink. By pressing the printing plate PL against the substrate W, the pattern of the light emitting material is transferred from the printing plate PL to the substrate W. In other words, the transfer mechanism 50 is configured by the plate cylinder motor 95 that rotates the plate cylinder 21 and the linear motor group that moves the stage 10. As illustrated in FIG. 2, the printing apparatus 100 includes a control unit 90 that controls each operation mechanism of the apparatus to execute a printing process.

図3は、制御部90のハードウェア構成を示す図である。制御部90のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部90は、各種演算処理を行うCPU91、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるROM92、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるRAM93および制御用ソフトウェアやデータ、後に説明するステージ10のX方向の変位の実測データなどを記憶しておくメモリ94(記憶部)をバスライン99に接続して構成されている。   FIG. 3 is a diagram illustrating a hardware configuration of the control unit 90. The configuration of the control unit 90 as hardware is the same as that of a general computer. That is, the control unit 90 includes a CPU 91 that performs various arithmetic processes, a ROM 92 that is a read-only memory that stores basic programs, a RAM 93 that is a readable / writable memory that stores various information, control software and data, and a stage described later. A memory 94 (storage unit) for storing measured data of 10 displacements in the X direction is connected to the bus line 99.

また、バスライン99には、版胴21を回転させる版胴モータ95、ステージ10を昇降させる昇降モータ96、ステージ10をX方向に直動移動させるX軸、Y軸リニアモータ97、ステージ10をθ方向に面内回転させる面内回転モータ98、版胴21を昇降させる左右の昇降機構をそれぞれ構成する、左側版胴昇降モータ951、右側版胴昇降モータ952およびインク供給機構13等の要素が電気的に接続されている。さらに、バスライン99には、種々の情報を表示するためのディスプレイ、コマンドやパラメータ等の入力を受け付けるキーボード、DVD等の記録媒体を読み取るディスクドライブを接続するようにしても良い。   The bus line 99 includes a plate cylinder motor 95 that rotates the plate cylinder 21, a lift motor 96 that moves the stage 10 up and down, an X-axis and Y-axis linear motor 97 that moves the stage 10 in the X direction, and the stage 10. Elements such as an in-plane rotation motor 98 for in-plane rotation in the θ direction, and a left and right plate cylinder elevating motor 951, a right plate cylinder elevating motor 952, and an ink supply mechanism 13 that constitute left and right elevating mechanisms for elevating the plate cylinder 21 are provided. Electrically connected. Further, the bus line 99 may be connected to a display for displaying various information, a keyboard for receiving input of commands and parameters, and a disk drive for reading a recording medium such as a DVD.

<印刷動作>
次に、上述の構成を有する印刷装置100における印刷動作について説明する。なお、以下の説明においては、一実施の形態として、基板Wは第8世代のガラス基板(2200mm×2500mm)であり、1枚のガラス基板から8枚のディスプレイパネルを得るために、図1に示すように、基板Wに合計8箇所の印刷領域を形成するものとする。すなわち、基板Wの図1に向かって左側に印刷領域PA1、PA2、PA3およびPA4を互いに間隔を空けてY方向に1列に形成し、基板Wの図1に向かって右側に印刷領域PA5、PA6、PA7およびPA8を互いに間隔を空けてY方向に1列に形成する。なお、印刷領域PA1とPA2との間、印刷領域PA2とPA3との間、および印刷領域PA3とPA4との間に設けられる印刷対象領域以外の領域を、それぞれ非印刷領域NC1、NC2およびNC3と呼称する。また、印刷領域PA5とPA6との間、印刷領域PA6とPA7との間、および印刷領域PA7とPA8との間に設けられる印刷対象外の領域を、それぞれ非印刷領域NC4、NC5およびNC6と呼称する。
<Printing action>
Next, a printing operation in the printing apparatus 100 having the above-described configuration will be described. In the following description, as an embodiment, the substrate W is an 8th generation glass substrate (2200 mm × 2500 mm), and in order to obtain eight display panels from one glass substrate, FIG. As shown, a total of eight print areas are formed on the substrate W. That is, the print areas PA1, PA2, PA3, and PA4 are formed on the left side of the substrate W in FIG. 1 in a row in the Y direction at intervals, and the print areas PA5, PA6, PA7, and PA8 are formed in a line in the Y direction at intervals. It should be noted that areas other than the print target area provided between the print areas PA1 and PA2, between the print areas PA2 and PA3, and between the print areas PA3 and PA4 are respectively designated as non-print areas NC1, NC2, and NC3. Call it. Also, non-printing areas provided between the printing areas PA5 and PA6, between the printing areas PA6 and PA7, and between the printing areas PA7 and PA8 are referred to as non-printing areas NC4, NC5, and NC6, respectively. To do.

上述したような印刷領域を形成するための印刷版PLの構成例を図4に示す。図4は、版胴21の装着した状態の印刷版PLを示す側面図であり、印刷版PLの表面には4つのパターン領域PRが互いに間隔を空けて設けられている。パターン領域PRには凸部が設けられ、凸部の先端にインク供給ローラ12(図2)からインクが転写される。   FIG. 4 shows a configuration example of the printing plate PL for forming the printing area as described above. FIG. 4 is a side view showing the printing plate PL in a state where the plate cylinder 21 is mounted, and four pattern regions PR are provided on the surface of the printing plate PL at intervals. The pattern region PR is provided with a convex portion, and ink is transferred from the ink supply roller 12 (FIG. 2) to the tip of the convex portion.

各パターン領域の間に設けられた間隙は、図1に示すように基板Wに印刷領域を形成した場合の非印刷領域に対応する領域であり、版胴21の軸方向に沿って印刷版PLを所定深さまで切り欠いて凸部より低い領域となっている。この領域は印刷時に基板Wには接触しないので非接触領域NRと呼称する。   The gap provided between the pattern regions is a region corresponding to a non-printing region when the printing region is formed on the substrate W as shown in FIG. 1, and the printing plate PL along the axial direction of the plate cylinder 21. Is cut out to a predetermined depth to form a region lower than the convex portion. Since this area does not contact the substrate W during printing, it is called a non-contact area NR.

基板Wとして、第8世代のガラス基板のような大きな基板に複数の印刷領域を形成する場合、版胴21の長さを基板WのX方向の長さと同程度とし、1回の印刷で2つの印刷領域を形成する構成としても良い。すなわち、図1に示す例であれば、印刷領域PR1とPR5とを同時に形成する構成とすれば、少ない印刷動作で基板Wへの処理を終えることができる。   When a plurality of printing areas are formed on a large substrate such as an 8th generation glass substrate as the substrate W, the length of the plate cylinder 21 is set to be approximately the same as the length of the substrate W in the X direction, and 2 in one printing. A configuration in which two print areas are formed may be employed. In other words, in the example shown in FIG. 1, if the print regions PR1 and PR5 are formed simultaneously, the processing on the substrate W can be completed with a small number of printing operations.

しかし、版胴21の長さを大きくすることは印刷装置100の大型化を招き、また、印刷版PLも大きくなって、版胴21への装着が難しくなる。そこで、図1に示すように版胴21の長さは基板WのX方向の長さの半分程度とし、印刷領域PA1〜PA4を形成した後は、基板WをX方向に移動させて印刷領域PA5〜PA8を形成する構成を採る。   However, increasing the length of the plate cylinder 21 leads to an increase in the size of the printing apparatus 100, and the printing plate PL also increases, making it difficult to mount the plate cylinder 21. Therefore, as shown in FIG. 1, the length of the plate cylinder 21 is about half of the length of the substrate W in the X direction, and after the print areas PA1 to PA4 are formed, the substrate W is moved in the X direction. The structure which forms PA5-PA8 is taken.

ここで、有機ELをディスプレイ用途とする場合、R、G、Bのそれぞれの発光材料を数十から百数十μmレベルの線幅で高精細に塗り分ける必要があり、その位置精度も±10μm以下が要求され、ステージ10の移動にも同程度あるいは、他の誤差要因を考慮すると数分の1程度の精度が要求される。   Here, when organic EL is used as a display, it is necessary to coat each light emitting material of R, G, and B with high-definition with a line width of tens to hundreds of μm level, and the positional accuracy is ± 10 μm. The following is required, and the movement of the stage 10 is required to have the same degree of accuracy or about a fraction of the accuracy considering other error factors.

しかし、第8世代のガラス基板よりも大きなステージ10を精度良く動かすには限界がある。例えば、ステージ10をY方向に直進させる場合、θ方向の変位であるヨーイングと呼称される動作をすることがある。これはX方向に直進させる場合にも起きるが、印刷動作は基板WをY方向に移動させながら行うので、Y方向に直進させる場合のヨーイングが最も影響が大きい。   However, there is a limit to accurately move the stage 10 larger than the eighth generation glass substrate. For example, when the stage 10 is moved straight in the Y direction, an operation called yawing, which is a displacement in the θ direction, may be performed. Although this also occurs when the straight line is moved in the X direction, the printing operation is performed while moving the substrate W in the Y direction. Therefore, yawing when moving straight in the Y direction has the greatest influence.

図5には、ヨーイングにより基板WにX方向のずれが生じる場合を模式的に示している。図5に示すように、基板Wがθ方向にY軸に対して角度αでずれた場合、版胴21の直下(印刷位置)でのX方向の変位ΔXは、ΔX=L・αで表すことができる。ここで、Lは版胴21の中心軸での直下位置から基板Wの回転中心までの距離である。   FIG. 5 schematically shows a case where the substrate W is displaced in the X direction by yawing. As shown in FIG. 5, when the substrate W is displaced in the θ direction by an angle α with respect to the Y axis, the displacement ΔX in the X direction immediately below the printing cylinder 21 (printing position) is represented by ΔX = L · α. be able to. Here, L is the distance from the position directly below the central axis of the plate cylinder 21 to the rotation center of the substrate W.

ヨーイングによる基板WのX方向の変位がこのように定義される場合、基板WのY方向移動距離に対するヨーイング量をレーザー測長器等を用いて実測したヨーイングデータの一例を図6に示す。図6において、横軸にステージ10の移動距離(mm)を示し、縦軸にヨーイング量(μm/m)を示している。   When the displacement in the X direction of the substrate W due to yawing is defined in this way, an example of yawing data obtained by actually measuring the yawing amount with respect to the Y direction movement distance of the substrate W using a laser length measuring device or the like is shown in FIG. In FIG. 6, the horizontal axis indicates the moving distance (mm) of the stage 10, and the vertical axis indicates the yawing amount (μm / m).

図6に示す例では、基板WがY方向に移動するにつれてマイナス方向のヨーイングが大きくなり、移動距離が1500mm程度で最大で−12×10−9(μm/m)のヨーイング量となるが、移動距離が1500mmを超えると、ヨーイング量が減り始め、移動距離が3000mmで0となる。 In the example shown in FIG. 6, the yawing in the minus direction increases as the substrate W moves in the Y direction, and the maximum yawing amount is −12 × 10 −9 (μm / m) when the movement distance is about 1500 mm. When the moving distance exceeds 1500 mm, the yawing amount starts to decrease and becomes zero when the moving distance is 3000 mm.

このようなヨーイングデータから、ステージ10のX方向の変位を計算により求めると、図7に示すような変動特性が得られる。図7において、横軸にステージ10の移動距離(mm)を示し、縦軸にX方向の変位量(μm)を示している。   When the displacement in the X direction of the stage 10 is obtained by calculation from such yawing data, fluctuation characteristics as shown in FIG. 7 are obtained. In FIG. 7, the horizontal axis indicates the moving distance (mm) of the stage 10, and the vertical axis indicates the displacement amount (μm) in the X direction.

図7より、移動開始後からプラス方向に変位し、移動距離が700mm程度で最大で6μm程度の変位量となった後は変位量が減り始め、移動距離が1500mm程度で0となる。そして、移動距離が1500mmを超えると、マイナス方向に変位し、移動距離が2500mm程度で最大で−6μm程度の変位量となった後は変位量が減り始め、移動距離が3000mmで0となる。   As shown in FIG. 7, after the movement is started, the displacement is started in the plus direction. After the movement distance is about 700 mm and the displacement amount is about 6 μm at the maximum, the displacement amount starts to decrease and becomes zero when the movement distance is about 1500 mm. When the moving distance exceeds 1500 mm, it is displaced in the minus direction. After the moving distance reaches about 2500 mm and the maximum amount of displacement is about −6 μm, the amount of displacement starts to decrease and becomes zero when the moving distance is 3000 mm.

このように、ヨーイングデータからステージ10は蛇行するようにヨーイングすることが判るので、予めヨーイングに伴うステージ10のX方向の変位を求めておき、そのデータをメモリ94などに格納し、印刷動作に際してはメモリ94から当該データを読み出して、ヨーイングによるX方向の変位を打ち消すようにステージ10の位置を調整することで、ステージ10の移動の精度を実質的に高めることができる。   In this way, it can be seen from the yawing data that the stage 10 yaws in a meandering manner. Therefore, the displacement in the X direction of the stage 10 accompanying the yawing is obtained in advance, and the data is stored in the memory 94 or the like for the printing operation. Reads out the data from the memory 94 and adjusts the position of the stage 10 so as to cancel the displacement in the X direction due to yawing, so that the accuracy of movement of the stage 10 can be substantially increased.

図8には、図7に示したX方向の変位量の変動特性を直線で近似して、図1に示す印刷領域PA1〜PA4に当てはめて示している。図8より、印刷領域PA1では、X方向の変位は6μm程度で全域でほぼ一定であり、印刷領域PA2では角度α1をなす右下がりの直線となっており、印刷領域PA3では角度α2をなす右下がりの直線となっており、印刷領域PA4では、X方向の変位は−6μm程度で全域でほぼ一定となっている。   In FIG. 8, the variation characteristic of the displacement amount in the X direction shown in FIG. 7 is approximated by a straight line and applied to the printing areas PA1 to PA4 shown in FIG. As shown in FIG. 8, in the printing area PA1, the displacement in the X direction is about 6 μm and is almost constant throughout the printing area PA2. In the printing area PA2, the line is a right-downward straight line having an angle α1, and in the printing area PA3, the right having an angle α2. In the printing area PA4, the displacement in the X direction is about −6 μm and is almost constant over the entire area.

このような近似直線より、印刷領域PA1を形成する際には、マイナス方向に6μm程度ステージ10のX方向の位置を調整することで、ステージ10の移動の精度を実質的に高めることができる。また、印刷領域PA2を形成する際には、印刷領域PA1で調整されたステージ10の位置を考慮しつつ、マイナス方向に角度−α1回転し、回転によって生じるX方向の変位を修正する方向に移動させることで、ステージ10の移動の精度を実質的に高めることができる。同様に印刷領域PA3およびPA4を形成する際にも、直前の印刷領域で調整されたステージ10の位置を考慮して調整することで、ステージ10の移動の精度を実質的に高めることができる。   From such an approximate straight line, when forming the print area PA1, the accuracy of movement of the stage 10 can be substantially increased by adjusting the position of the stage 10 in the X direction in the minus direction by about 6 μm. Further, when forming the print area PA2, the position of the stage 10 adjusted in the print area PA1 is taken into consideration, and the angle −α1 is rotated in the minus direction, and the X direction displacement caused by the rotation is moved in a correction direction. By doing so, the accuracy of movement of the stage 10 can be substantially increased. Similarly, when forming the print areas PA3 and PA4, the accuracy of movement of the stage 10 can be substantially increased by adjusting the position of the stage 10 adjusted in the immediately preceding print area.

ここで、本発明では、ステージ10のX方向の位置調整およびθ方向の角度調整は、基板Wに版胴21の印刷版PLが接触している状態では行わず、版胴21の非接触領域NRが基板Wの非印刷領域NCと向かい合っている領域、すなわち印刷版PLが基板Wに接触していない非接触状態で行うものとする。   Here, in the present invention, the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction of the stage 10 are not performed in a state where the printing plate PL of the plate cylinder 21 is in contact with the substrate W, but the non-contact region of the plate cylinder 21. It is assumed that the process is performed in a non-contact state where the NR faces the non-printing area NC of the substrate W, that is, the printing plate PL is not in contact with the substrate W.

この非接触状態を図9を用いてさらに説明する。図9は、版胴21による基板Wへの印刷動作を模式的に示す図であり、版胴21の印刷版PLに設けられた非接触領域NRが、基板Wの非印刷領域NCに向かい合った状態を示している。印刷版PLに設けられたパターン領域PRには凸部が設けられていることは先に説明したが、基板W側の印刷領域PAには凸部に対応するように複数のセルが形成されている。各セルは、ストライプ状(縞状)の溝をなしており、複数のセルが形成された領域が印刷対象領域となり、この領域以外は印刷対象外領域となる。   This non-contact state will be further described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram schematically showing a printing operation on the substrate W by the plate cylinder 21, and the non-contact area NR provided on the printing plate PL of the plate cylinder 21 faces the non-printing area NC of the substrate W. Indicates the state. As described above, the pattern region PR provided on the printing plate PL is provided with the convex portion. However, the print region PA on the substrate W side is formed with a plurality of cells corresponding to the convex portion. Yes. Each cell forms a stripe-shaped (striped) groove, and a region where a plurality of cells are formed is a print target region, and a region other than this region is a non-print target region.

複数のセルのそれぞれの間は、隔壁(バンク)によって仕切られており、印刷時には、このセルに印刷版PLに設けられたパターン領域PRの凸部が対面し、版胴21の回転と共にステージ10がY方向に移動することで、パターン領域PRの凸部の先端に塗布された発光材料がストライプ状のセルに沿って転写されることでパターン領域PRが転写されることとなる。このため、印刷版PLは、パターン領域PRの凸部の延在方向が版胴21の周方向と一致するように、版胴21に装着されている。   Each of the plurality of cells is partitioned by a partition (bank), and at the time of printing, the convex portion of the pattern region PR provided on the printing plate PL faces this cell, and the stage 10 is rotated along with the rotation of the plate cylinder 21. As a result of the movement in the Y direction, the light emitting material applied to the tip of the convex portion of the pattern region PR is transferred along the stripe-shaped cells, whereby the pattern region PR is transferred. For this reason, the printing plate PL is mounted on the plate cylinder 21 so that the extending direction of the convex portions of the pattern region PR coincides with the circumferential direction of the plate cylinder 21.

図9では、印刷領域PAのストライプ状のセルにパターン領域PRの凸部が対面しつつある状態を示しているが、非接触領域NRは、基板Wの非印刷領域NCに向かい合っており、印刷版PLは基板Wに接触していない。従って、この状態ではステージ10には版胴21による押圧は加わっておらず、ステージ10のX方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行うためのモータに高出力のモータは必要ではない。このため、印刷装置100の製造コストを低減することができる。また、非接触状態でX方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行うので、調整に伴ってパターン領域PRと印刷対象領域との接触位置がずれることがなく、印刷品質の低下を招くこともない。   FIG. 9 shows a state in which the convex portions of the pattern region PR are facing the stripe-shaped cells of the printing area PA, but the non-contact area NR faces the non-printing area NC of the substrate W, and printing is performed. The plate PL is not in contact with the substrate W. Therefore, in this state, the stage 10 is not pressed by the plate cylinder 21, and a motor for adjusting the position of the stage 10 in the X direction and the angle in the θ direction is not required. For this reason, the manufacturing cost of the printing apparatus 100 can be reduced. In addition, since the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction are performed in a non-contact state, the contact position between the pattern region PR and the print target region does not shift with the adjustment, and the print quality may be deteriorated. Absent.

次に、印刷動作を模式的に示す図13〜図20を参照しつつ、図10〜図12に示すフローチャートを用いて、基板Wへの印刷動作について説明する。なお、図10〜図12は連続したフローチャートであり、それぞれに付した番号(1)、(2)どうしで繋がることを表している。   Next, the printing operation on the substrate W will be described using the flowcharts shown in FIGS. 10 to 12 with reference to FIGS. 13 to 20 schematically showing the printing operation. Note that FIGS. 10 to 12 are continuous flowcharts showing that the numbers (1) and (2) attached to each are connected.

まず、図10に示すステップS1において、印刷装置100のオペレータが版胴21の外周面に印刷版PLを装着する。そして、ステージ10上に調整用基板を載置する(ステップS2)。調整用基板とは、ステージ10の予備位置調整に使用するための基板である。この調整用基板を用いたステージ10の予備位置調整については、特開2012−20439号公報に詳しく開示されており、本発明とは関係が薄いので、これ以上の説明は省略する。   First, in step S <b> 1 shown in FIG. 10, the operator of the printing apparatus 100 mounts the printing plate PL on the outer peripheral surface of the plate cylinder 21. Then, an adjustment substrate is placed on the stage 10 (step S2). The adjustment substrate is a substrate used for adjusting the preliminary position of the stage 10. The preliminary position adjustment of the stage 10 using the adjustment substrate is disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-20439, and is not related to the present invention, so further explanation is omitted.

ステージ10の予備位置調整が完了した後は、調整用基板へのダミー印刷を実行する(ステップS3)。ここで、ダミー印刷を実行する段階においては、既にステージ10の予備位置調整が完了しており、印刷版PLと調整用基板との相対的な位置ずれは解消されている。このため、ダミー印刷を実行すれば、パターン領域PRが印刷領域PAに合わせて正確に転写されるはずである。   After the preliminary position adjustment of the stage 10 is completed, dummy printing is performed on the adjustment substrate (step S3). Here, in the stage of performing dummy printing, the preliminary position adjustment of the stage 10 has already been completed, and the relative positional deviation between the printing plate PL and the adjustment substrate has been eliminated. For this reason, if dummy printing is executed, the pattern area PR should be accurately transferred in accordance with the printing area PA.

しかしながら、これは印刷版PLが硬質の素材(例えば、金属材料)にて形成されていて通常の印圧程度では印刷版PLに変形が生じないことを前提としている。すなわち、印刷版PLが変形しなければ、印刷版PLと調整用基板との相対的な位置ずれを解消しさえすれば印刷ずれを防止することができる。ところが、塗布液として有機ELの発光材料を用いる場合の印刷版PLはポリエステル等の樹脂で形成されており、印刷時に印圧によって比較的容易に印刷版PLの変形が発生する。印刷時に印刷版PLの変形が発生すると、印刷版PLと調整用基板との相対的な位置ずれが解消されていたとしても印刷結果にはずれが生じる。   However, this presupposes that the printing plate PL is formed of a hard material (for example, a metal material), and that the printing plate PL is not deformed at a normal printing pressure level. That is, if the printing plate PL is not deformed, it is possible to prevent the printing deviation only by eliminating the relative positional deviation between the printing plate PL and the adjustment substrate. However, the printing plate PL when an organic EL light-emitting material is used as the coating liquid is formed of a resin such as polyester, and the printing plate PL is easily deformed by printing pressure during printing. When the printing plate PL is deformed during printing, the printing result is displaced even if the relative positional deviation between the printing plate PL and the adjustment substrate is eliminated.

そこで、調整用基板に転写されたダミー印刷結果をカメラによって撮像し、その画像を制御部90に送り、制御部90において撮像画像に画像処理を行ってダミー印刷結果のずれ量を測定し、そのずれ量に基づいて印刷版PLに対する調整用基板の位置調整補正量を算出する(ステップS3)。   Therefore, the dummy printing result transferred to the adjustment substrate is picked up by the camera, the image is sent to the control unit 90, and the control unit 90 performs image processing on the picked-up image to measure the deviation amount of the dummy printing result. Based on the deviation amount, a position adjustment correction amount of the adjustment substrate with respect to the printing plate PL is calculated (step S3).

位置調整補正量を算出した後に、ステージ10から調整用基板を取り外し、代わりに処理対象基板である基板Wを載置する(ステップS4)。ここで、調整用基板と基板Wとは構成としては全く同じであり、複数の基板Wのうちの1枚を調整用基板として使用すれば良い。   After the position adjustment correction amount is calculated, the adjustment substrate is removed from the stage 10, and the substrate W that is the substrate to be processed is placed instead (step S4). Here, the adjustment substrate and the substrate W have exactly the same configuration, and one of the plurality of substrates W may be used as the adjustment substrate.

基板Wを載置した後は、調整用基板に対して行ったのと同じ予備位置調整を行った後、ダミー印刷結果に基づいて得られた位置調整補正量に基づいてステージ10のθ方向や、X方向およびY方向の補正を行う(ステップS5)。なお、この補正方法についても特開2012−20439号公報に詳しく開示されており、本発明とは関係が薄いので、これ以上の説明は省略する。   After placing the substrate W, the same preliminary position adjustment as that performed on the adjustment substrate is performed, and then the θ direction of the stage 10 is determined based on the position adjustment correction amount obtained based on the dummy printing result. Then, the X direction and the Y direction are corrected (step S5). This correction method is also disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-20439, and is not related to the present invention.

ステージ10の補正が終了した後は、版胴21に装着された印刷版PLにインク供給ローラ12から再度塗布液を供給し、ステージ10に載置した基板WをY方向に沿って移動させつつ版胴21を回転させて印刷版PLを基板PWに当接させることによって塗布液の転写を行うが、本発明においては、基板Wの印刷領域PAに印刷版PLが非接触状態でステージ10のさらなる位置調整を行う。   After the correction of the stage 10, the coating liquid is again supplied from the ink supply roller 12 to the printing plate PL mounted on the plate cylinder 21, and the substrate W placed on the stage 10 is moved along the Y direction. The coating liquid is transferred by rotating the plate cylinder 21 to bring the printing plate PL into contact with the substrate PW. In the present invention, the printing plate PL is not in contact with the printing area PA of the substrate W. Perform further positioning.

すなわち、先に説明したようにステージ10をY方向に直進させる場合に発生するヨーイングにより基板WにX方向のずれが生じるので、このずれを低減するための位置調整を行う。このためには、予めヨーイングに伴うステージ10のX方向の変位を実測し、そのデータをメモリ94に格納しておく。   That is, as described above, since the deviation in the X direction occurs in the substrate W due to yawing that occurs when the stage 10 moves straight in the Y direction, position adjustment is performed to reduce this deviation. For this purpose, the displacement in the X direction of the stage 10 accompanying yawing is measured in advance, and the data is stored in the memory 94.

また、X方向の変位のデータだけでなく、ステージ10のZ方向の変位のデータも予め実測し、メモリ94に格納しておく。すなわち、ステージ10の平面度はステージ10の製作時の機械加工の精度により厳密に決まっているが、ステージ10を移動させる際のピッチングやローリングによりZ方向の位置が変位する可能性がある。これもステージ10に固有の値となるので、予め実測しておき、Z方向の位置が変位する場合には、版胴21の左右にそれぞれ設けられた左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて対応する。なお、ステップS6ではステージ10の位置調整を行うものとして説明しているが、この際に版胴21のZ方向の調整も合わせて行っても良い。   Further, not only the displacement data in the X direction but also the displacement data in the Z direction of the stage 10 are measured in advance and stored in the memory 94. That is, the flatness of the stage 10 is strictly determined by the accuracy of machining at the time of manufacturing the stage 10, but there is a possibility that the position in the Z direction may be displaced by pitching or rolling when the stage 10 is moved. Since this is also a value specific to the stage 10, when the position in the Z direction is measured in advance and displaced, the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting provided on the left and right sides of the plate cylinder 21 respectively. Using the motor 952, the plate cylinder 21 is moved up and down. In addition, although it demonstrated as what adjusts the position of the stage 10 in step S6, you may also adjust the Z direction of the plate cylinder 21 in this case.

ステージ10のX方向の位置調整は、基板Wの印刷領域PAに印刷版PLが非接触状態で行うが、まず印刷領域PA1への印刷を開始する直前にその状態となるように版胴21およびステージ10を制御する。すなわち、図13において、基板Wを搭載したステージ10は原点位置から版胴21に向けてY方向に移動するが、版胴21には図9に示したように印刷版PLのパターン領域PR間に非接触領域NRが設けられており、まず非接触領域NRを基板Wの余白領域WS上に位置させる。この余白領域WSとは印刷領域の配列の外側に存在する領域であり、パターン領域間の非印刷領域NCと同じでセルは形成されていない領域である。なお、図13では、便宜的に印刷前の印刷対象領域PTを破線で示している。   The position of the stage 10 in the X direction is adjusted while the printing plate PL is not in contact with the printing area PA of the substrate W. First, the printing cylinder 21 and the printing cylinder 21 are set so as to be in the state immediately before printing on the printing area PA1 is started. The stage 10 is controlled. That is, in FIG. 13, the stage 10 on which the substrate W is mounted moves in the Y direction from the origin position toward the plate cylinder 21, but the plate cylinder 21 has an area between the pattern areas PR of the printing plate PL as shown in FIG. 9. Is provided with a non-contact region NR. First, the non-contact region NR is positioned on the blank region WS of the substrate W. This margin area WS is an area that exists outside the array of print areas, and is the same as the non-print area NC between pattern areas in which no cells are formed. In FIG. 13, the printing target area PT before printing is indicated by a broken line for convenience.

非接触領域NRが余白領域WS上に位置した状態では、ステージ10には版胴21による押圧は加わっておらず、非接触領域NRが余白領域WS上に位置している期間に、ステップS6のX方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行う(ステップS6)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   In a state in which the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, the stage 10 is not pressed by the plate cylinder 21, and during the period in which the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, step S6 is performed. Position adjustment in the X direction and angle adjustment in the θ direction are performed (step S6). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

ここで、X方向の位置調整およびθ方向の角度調整の例として、図8に示したX方向の変位量の特性の直線近似値を用いる場合について説明する。図8に示すように、印刷領域PA1ではX方向の変位は6μm程度で全域でほぼ一定であるので、メモリ94から読み出したX方向の変位データに基づいてCPU91で変動特性を算出し、印刷版PLの非接触領域NRが余白領域WS上に位置している期間に、マイナス方向に6μm程度ステージ10のX方向の位置をシフトするように転写機構を制御する。   Here, as an example of position adjustment in the X direction and angle adjustment in the θ direction, a case will be described in which a linear approximate value of the characteristic of the displacement amount in the X direction shown in FIG. 8 is used. As shown in FIG. 8, in the printing area PA1, the displacement in the X direction is about 6 μm and is almost constant over the entire area. Therefore, the CPU 91 calculates the variation characteristic based on the displacement data in the X direction read from the memory 94, and the printing plate The transfer mechanism is controlled so that the position of the stage 10 in the X direction is shifted in the minus direction by about 6 μm during the period in which the non-contact area NR of PL is located on the margin area WS.

位置調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA1への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the position adjustment is finished, the pattern area PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing area PA1 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA1への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC1(第1列1番目の非印刷領域)に近づく。版胴21の回転とステージ10のY方向の移動とは制御部90のCPU91によって連動して制御され、CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC1上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS7)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates, printing on the printing area PA1 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC1 (the first non-printing area in the first row). The rotation of the plate cylinder 21 and the movement of the stage 10 in the Y direction are controlled in conjunction by the CPU 91 of the control unit 90, and the CPU 91 waits for the timing when the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC1 (step). S7).

非接触領域NRが非印刷領域NC1上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA2の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS8)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC1, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released, so that the CPU 91 performs the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA2 during this period and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S8). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

この場合、図8に示すように、印刷領域PA2ではX方向の変位は角度α1をなす右下がりの直線となるので、メモリ94から読み出したX方向の変位データに基づいてCPU91で変動特性を算出し、印刷版PLの非接触領域NRが非印刷領域NC1上に位置している期間に、角度−α1となるようにステージ10のθ方向の角度を調整するとともに、θ方向の角度調整によって生じるX方向の位置も調整する。このとき、印刷領域PA1で調整されたステージ10の位置も考慮しつつX方向の位置も調整する。   In this case, as shown in FIG. 8, in the print area PA2, the displacement in the X direction is a straight line that falls to the right that forms the angle α1, so the CPU 91 calculates the variation characteristic based on the displacement data in the X direction read from the memory 94. Then, during the period in which the non-contact area NR of the printing plate PL is located on the non-printing area NC1, the angle of the stage 10 is adjusted so as to be the angle −α1, and the angle is adjusted by the θ direction. The position in the X direction is also adjusted. At this time, the position in the X direction is also adjusted in consideration of the position of the stage 10 adjusted in the printing area PA1.

角度調整およびX方向の位置調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA2への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。図14には印刷領域PA2の印刷途中の状態を示している。   When the angle adjustment and the position adjustment in the X direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA2 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21. FIG. 14 shows a state in the middle of printing in the print area PA2.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA2への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC2(第1列2番目の非印刷領域)に近づく。CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC2上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS9)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates and printing on the printing area PA2 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC2 (first row, second non-printing area). The CPU 91 waits for the timing at which the non-contact area NR starts to be positioned on the non-print area NC2 (step S9).

非接触領域NRが非印刷領域NC2上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA3の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS10)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC2, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released, so the CPU 91 determines the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA3 during this period and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S10). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

この場合、図8に示すように、印刷領域PA3ではX方向の変位は角度α2をなす右下がりの直線となるので、メモリ94から読み出したX方向の変位データに基づいてCPU91で変動特性を算出し、印刷版PLの非接触領域NRが非印刷領域NC2上に位置している期間に、角度−α2となるようにステージ10のθ方向の角度を調整するとともに、θ方向の角度調整によって生じるX方向の位置も調整する。このとき、印刷領域PA2で調整されたステージ10の位置も考慮しつつX方向の位置も調整する。   In this case, as shown in FIG. 8, in the printing area PA3, the displacement in the X direction is a straight line that falls to the right that forms the angle α2, so the CPU 91 calculates the variation characteristic based on the displacement data in the X direction read from the memory 94. Then, during the period when the non-contact area NR of the printing plate PL is located on the non-printing area NC2, the angle of the stage 10 is adjusted so as to be the angle −α2, and the angle is adjusted by the θ direction. The position in the X direction is also adjusted. At this time, the position in the X direction is also adjusted in consideration of the position of the stage 10 adjusted in the printing area PA2.

角度調整およびX方向の位置調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA3への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the angle adjustment and the position adjustment in the X direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA3 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA3への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC3(第1列3番目の非印刷領域)に近づく。CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC3上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS11)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates and printing on the printing area PA3 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC3 (the third non-printing area in the first row). The CPU 91 waits for the timing when the non-contact area NR starts to be positioned on the non-print area NC3 (step S11).

非接触領域NRが非印刷領域NC3上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA4の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS12)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC3, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released. Therefore, during this period, the CPU 91 determines the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA4 and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S12). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

この場合、図8に示すように、印刷領域PA4ではX方向の変位は−6μm程度で全域でほぼ一定であるので、メモリ94から読み出したX方向の変位データおよび印刷領域PA3におけるステージ10の調整後の位置に基づいてCPU91で変動特性を算出し、印刷版PLの非接触領域NRが余白領域WS上に位置している期間に、プラス方向に6μm程度ステージ10のX方向の位置をシフトさせる。   In this case, as shown in FIG. 8, in the printing area PA4, the displacement in the X direction is about −6 μm and is almost constant over the entire area. Therefore, the displacement data in the X direction read from the memory 94 and the adjustment of the stage 10 in the printing area PA3. The CPU 91 calculates the fluctuation characteristics based on the later position, and shifts the position of the stage 10 in the X direction in the plus direction by about 6 μm during the period in which the non-contact area NR of the printing plate PL is located on the margin area WS. .

位置調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA4への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the position adjustment is completed, the pattern area PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing area PA4 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA4への印刷が進み、次の非接触領域NRが余白領域WSに近づく。非接触領域NRが余白領域WS上に位置した後もステージ10はY方向に移動するが、所定の位置に達することでステージ10を停止する。図15には、印刷領域PA1〜PA4が形成された状態を示している。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates, printing on the printing area PA4 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the blank area WS. Even after the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, the stage 10 moves in the Y direction, but the stage 10 is stopped when it reaches a predetermined position. FIG. 15 shows a state where the print areas PA1 to PA4 are formed.

ステージ10が所定の位置に達した後は、CPU91は図16に示すようにステージ10をY方向を逆進(矢示の方向)するように移動させる(ステップS13)。この時、CPU91は、版胴モータ95を制御し、版胴21に装着された印刷版PLの非接触領域NRを基板Wと対向するように配置することで、版胴21(印刷版PL)は基板Wに非接触なるためステージ10を移動させることができる。なお、版胴21(印刷版PL)と基板Wが非接触であればよく、左側版胴昇降モータ951と右側版胴昇降モータ952を制御し、版胴21を昇降させることで非接触としてもよい。また、昇降モータ96を制御してステージ10を降下させるなどして版胴21が基板Wに接しないようにしても良い。   After the stage 10 reaches a predetermined position, the CPU 91 moves the stage 10 so as to move backward (in the direction of the arrow) in the Y direction as shown in FIG. 16 (step S13). At this time, the CPU 91 controls the plate cylinder motor 95 and arranges the non-contact area NR of the printing plate PL mounted on the plate cylinder 21 so as to face the substrate W, so that the plate cylinder 21 (printing plate PL). Is not in contact with the substrate W, so that the stage 10 can be moved. Note that the plate cylinder 21 (printing plate PL) and the substrate W may be in non-contact, and the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 are controlled to move up and down the plate cylinder 21 so that they are not in contact with each other. Good. Further, the plate cylinder 21 may be prevented from coming into contact with the substrate W by controlling the elevating motor 96 to lower the stage 10.

図17には、ステージ10が原点位置に戻った状態を示している。原点位置に戻ったステージ10は、図18に矢示するようにX方向に移動し、印刷領域PA1〜PA4の配列の隣に第2の配列を形成する態勢を取る。すなわち、版胴21が、印刷領域PA1〜PA4の配列の隣の領域に印刷可能となるようにステージ10を移動する。なお、本実施の形態では、ステージ10がY方向に移動し原点位置に戻った後、X方向に移動し隣の領域に印刷可能となる位置に配置されているが、これに限られるものではない。例えば、ステージ10をY方向およびX方向に同時に移動させるよう制御することで、印刷領域PA4の印刷が完了した位置(図15参照)から、隣の領域に印刷可能となる位置(図18参照)に対角線上にステージ10を移動させることができ、タクトの向上を行うことができる。なお、図18では、便宜的に印刷前の印刷領域対象領域PTを破線で示している。   FIG. 17 shows a state in which the stage 10 has returned to the origin position. The stage 10 having returned to the origin position moves in the X direction as shown by an arrow in FIG. 18 and is ready to form a second array next to the array of the print areas PA1 to PA4. That is, the stage 10 is moved so that the plate cylinder 21 can print in an area adjacent to the arrangement of the printing areas PA1 to PA4. In this embodiment, after the stage 10 moves in the Y direction and returns to the origin position, the stage 10 moves in the X direction and is arranged at a position where printing can be performed in the adjacent area. However, the present invention is not limited to this. Absent. For example, by controlling the stage 10 to move simultaneously in the Y direction and the X direction, a position where printing can be performed in an adjacent area from a position where the printing of the printing area PA4 is completed (see FIG. 15) (see FIG. 18). In addition, the stage 10 can be moved diagonally, and the tact can be improved. In FIG. 18, the print area target area PT before printing is indicated by a broken line for convenience.

ステージ10の移動が完了すると、印刷領域PA5への印刷を開始する直前に、版胴21の印刷版PLに設けた非接触領域NRが基板Wの余白領域WS上に位置した状態となるように版胴21を制御する。   When the movement of the stage 10 is completed, the non-contact area NR provided on the printing plate PL of the plate cylinder 21 is positioned on the blank area WS of the substrate W immediately before printing on the printing area PA5 is started. The plate cylinder 21 is controlled.

非接触領域NRが余白領域WS上に位置した状態では、ステージ10には版胴21による押圧は加わっておらず、非接触領域NRが余白領域WS上に位置している期間に、ステップS14のX方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行う。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   In a state in which the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, the stage 10 is not pressed by the plate cylinder 21, and during the period in which the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, step S14 is performed. The position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction are performed. At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

ここで、X方向の位置調整およびθ方向の角度調整は、印刷領域PA1〜PA4の形成に際しての調整方法と同じであるので、重複する説明は省略する。   Here, the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction are the same as the adjustment method used when forming the print areas PA1 to PA4, and thus redundant description is omitted.

位置調整およびθ方向の角度調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA5への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the position adjustment and the angle adjustment in the θ direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA5 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA5への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC4(第2列1番目の非印刷領域)に近づく。CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC4上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS15)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates and printing on the printing area PA5 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC4 (second non-printing area in the second row). The CPU 91 waits for the timing when the non-contact area NR starts to be positioned on the non-print area NC4 (step S15).

非接触領域NRが非印刷領域NC4上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA6の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS16)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC4, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released. Therefore, during this period, the CPU 91 determines the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA6 and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S16). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

位置調整およびθ方向の角度調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA6への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the position adjustment and the angle adjustment in the θ direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA6 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA6への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC5(第2列2番目の非印刷領域)に近づく。CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC5上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS17)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates and printing on the printing area PA6 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC5 (second non-printing area in the second row). The CPU 91 waits for the timing when the non-contact area NR starts to be positioned on the non-print area NC5 (step S17).

非接触領域NRが非印刷領域NC5上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA7の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS18)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC5, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released. Therefore, during this period, the CPU 91 determines the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA7 and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S18). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

位置調整およびθ方向の角度調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA7への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。図19には印刷領域PA7の印刷途中の状態を示している。   When the position adjustment and the angle adjustment in the θ direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA7 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21. FIG. 19 shows a state in the middle of printing in the printing area PA7.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA7への印刷が進み、次の非接触領域NRが非印刷領域NC6(第1列3番目の非印刷領域)に近づく。CPU91は非接触領域NRが非印刷領域NC6上に位置し始めるタイミングを待っている(ステップS19)。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates and printing on the printing area PA7 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the non-printing area NC6 (the third non-printing area in the first row). The CPU 91 waits for the timing when the non-contact area NR starts to be positioned on the non-print area NC6 (step S19).

非接触領域NRが非印刷領域NC6上に位置し始めると、版胴21による基板Wの押圧が解消されるので、CPU91は、この期間に印刷領域PA8の形成のためのステージ10のX方向およびθ方向の位置調整を行うように、X軸、Y軸リニアモータ97および面内回転モータ98を制御する(ステップS20)。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   When the non-contact area NR starts to be positioned on the non-printing area NC6, the pressing of the substrate W by the plate cylinder 21 is released, so that the CPU 91 performs the X direction of the stage 10 for forming the printing area PA8 during this period and The X-axis, Y-axis linear motor 97 and in-plane rotation motor 98 are controlled so as to adjust the position in the θ direction (step S20). At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

位置調整およびθ方向の角度調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA8への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。   When the position adjustment and the angle adjustment in the θ direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA8 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21.

ステージ10がY方向に移動すると共に版胴21が回転し、印刷領域PA8への印刷が進み、次の非接触領域NRが余白領域WSに近づく。非接触領域NRが余白領域WS上に位置した後もステージ10はY方向に移動するが、所定の位置に達することでステージ10を停止する。図20には、印刷領域PA5〜PA8が形成された状態を示している。   As the stage 10 moves in the Y direction, the plate cylinder 21 rotates, printing on the printing area PA8 proceeds, and the next non-contact area NR approaches the blank area WS. Even after the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, the stage 10 moves in the Y direction, but the stage 10 is stopped when it reaches a predetermined position. FIG. 20 shows a state where the print areas PA5 to PA8 are formed.

ステージ10が所定の位置に達した後は、CPU91はステージ10を原点位置に戻し、印刷動作を終了する。   After the stage 10 reaches a predetermined position, the CPU 91 returns the stage 10 to the origin position and ends the printing operation.

<変形例>
以上説明した印刷動作は、印刷に際してはステージ10を一方向にのみ移動させる、いわゆる片道印刷の形態を説明したが、ステージ10を逆進させる場合にも印刷を行う往復印刷の形態を採っても良い。以下、印刷動作を模式的に示す図21〜図24を用いて往復印刷の動作を説明する。
<Modification>
The printing operation described above has been described as a so-called one-way printing mode in which the stage 10 is moved only in one direction during printing. However, even when the stage 10 is moved backward, a reciprocating printing mode in which printing is performed may be employed. good. The reciprocating printing operation will be described below with reference to FIGS. 21 to 24 schematically showing the printing operation.

図13〜図15を用いて説明した手順を経て印刷領域PA1〜PA4を形成した後、Y方向の所定の位置に達したステージ10を、図21に矢示するようにX方向に移動し、印刷領域PA1〜PA4の配列の隣に第2の配列を形成する態勢を取る。すなわち、版胴21が、印刷領域PA1〜PA4の配列の隣の領域に印刷可能となるようにステージ10を移動する。なお、図21では、便宜的に印刷前の印刷領域PAを破線で示している。   After forming the print areas PA1 to PA4 through the procedure described with reference to FIGS. 13 to 15, the stage 10 that has reached a predetermined position in the Y direction is moved in the X direction as indicated by an arrow in FIG. The second array is formed next to the array of the print areas PA1 to PA4. That is, the stage 10 is moved so that the plate cylinder 21 can print in an area adjacent to the arrangement of the printing areas PA1 to PA4. In FIG. 21, the printing area PA before printing is indicated by a broken line for convenience.

ステージ10の移動が完了すると、印刷領域PA8への印刷を開始する直前に、版胴21の印刷版PLに設けた非接触領域NRが基板Wの余白領域WS上に位置した状態となるように版胴21およびステージ10を制御する。   When the movement of the stage 10 is completed, the non-contact area NR provided on the printing plate PL of the plate cylinder 21 is positioned on the blank area WS of the substrate W immediately before printing on the printing area PA8 is started. The plate cylinder 21 and the stage 10 are controlled.

非接触領域NRが余白領域WS上に位置した状態では、ステージ10には版胴21による押圧は加わっておらず、非接触領域NRが余白領域WS上に位置している期間に、X方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行う。このとき、予め実測したZ方向の位置のデータに基づいて、左側版胴昇降モータ951および右側版胴昇降モータ952を用いて、版胴21を昇降させて、ステージ10のZ方向の変位に対応させても良い。   In a state where the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, the stage 10 is not pressed by the plate cylinder 21, and during the period in which the non-contact area NR is positioned on the blank area WS, Position adjustment and angle adjustment in the θ direction are performed. At this time, the plate cylinder 21 is moved up and down using the left plate cylinder lifting motor 951 and the right plate cylinder lifting motor 952 on the basis of the data of the position in the Z direction measured in advance, so as to cope with the displacement of the stage 10 in the Z direction. You may let them.

ここで、X方向の位置調整およびθ方向の角度調整は、印刷領域PA1〜PA4の形成に際しての調整方法と同じであるので、重複する説明は省略する。   Here, the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction are the same as the adjustment method used when forming the print areas PA1 to PA4, and thus redundant description is omitted.

位置調整およびθ方向の角度調整が終わると、印刷版PLのパターン領域PRが基板Wに接触し、印刷領域PA8への印刷が始まり、版胴21によって基板Wが押圧される。このとき、ステージ10は、印刷領域PA1〜PA4を形成した際とは逆の方向に移動(逆進)し、また版胴21の回転方向も逆となる。   When the position adjustment and the angle adjustment in the θ direction are finished, the pattern region PR of the printing plate PL comes into contact with the substrate W, printing on the printing region PA8 starts, and the substrate W is pressed by the plate cylinder 21. At this time, the stage 10 moves (reverses) in the direction opposite to that when the printing areas PA1 to PA4 are formed, and the rotation direction of the plate cylinder 21 is also reversed.

図22には、逆進により印刷領域PA8、PA7を形成し、印刷領域PA6を形成している途中を示している。   FIG. 22 shows a state in which the print areas PA8 and PA7 are formed by reverse movement and the print area PA6 is being formed.

ステージ10を逆進させながら印刷領域PA8〜PA5を形成した状態を図23に示す。印刷領域PA8〜PA5を形成した後は、CPU91は図24に矢示するようにステージ10をX方向に移動させ、ステージ10を原点位置に戻し、印刷動作を終了する。   FIG. 23 shows a state in which the printing areas PA8 to PA5 are formed while the stage 10 is moved backward. After forming the print areas PA8 to PA5, the CPU 91 moves the stage 10 in the X direction as shown by an arrow in FIG. 24, returns the stage 10 to the origin position, and ends the printing operation.

このように、往復印刷を行う場合には、ステージ10の移動動作を削減できるが、版胴21を逆回転させる際にもインクを供給するために、スリットノズル11およびインク供給ローラ12がもう1組必要となる。   As described above, when reciprocal printing is performed, the moving operation of the stage 10 can be reduced, but the slit nozzle 11 and the ink supply roller 12 are provided in order to supply ink even when the plate cylinder 21 is rotated in the reverse direction. A pair is required.

また、以上説明した印刷装置100においては、印刷版のパターン領域として、4つの印刷領域に対応した4つのパターン領域を有していたので、版胴21を1回転させることで、4つの印刷領域を形成することが可能であったが、印刷版に設けるパターン領域の数はこれに限定されるものではない。例えば、印刷版には2つのパターン領域を設けて、版胴21を2回転させることで、4つの印刷領域を形成する構成としても良いし、1つのパターン領域のみを設けて、版胴21を4回転させることで、4つの印刷領域を形成する構成としても良い。何れの構成であっても、ステージ10のX方向の位置調整およびθ方向の角度調整は、印刷版PLが基板Wに接触していない非接触状態で行うようにすることで、印刷装置100の製造コストを低減することができる。また、非接触状態でX方向の位置調整およびθ方向の角度調整を行うので、調整に伴ってパターン領域PRと印刷領域PAとの接触位置がずれることがなく、印刷品質の低下を招くこともない。   Further, since the printing apparatus 100 described above has four pattern areas corresponding to the four printing areas as the pattern areas of the printing plate, four printing areas can be obtained by rotating the plate cylinder 21 once. However, the number of pattern areas provided on the printing plate is not limited to this. For example, the printing plate may be provided with two pattern areas, and the printing cylinder 21 may be rotated twice to form four printing areas, or only one pattern area may be provided, It is good also as a structure which forms four printing areas by making it rotate 4 times. Regardless of the configuration, the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction of the stage 10 are performed in a non-contact state in which the printing plate PL is not in contact with the substrate W, so that the printing apparatus 100 Manufacturing cost can be reduced. Further, since the position adjustment in the X direction and the angle adjustment in the θ direction are performed in a non-contact state, the contact position between the pattern region PR and the print region PA does not shift with the adjustment, and the print quality may be deteriorated. Absent.

10 ステージ
21 版胴
50 転写機構
90 制御部
PL 印刷板
PR パターン領域
PT 印刷対象領域
NR 非接触領域
W 基板
10 stage 21 plate cylinder 50 transfer mechanism 90 control unit PL printing plate PR pattern region PT printing target region NR non-contact region W substrate

Claims (7)

印刷対象領域が予め規定されている基板を水平姿勢にて保持するステージと、
凸部で構成されるパターン領域が表面に形成された印刷版を外周面に装着する円筒形状の版胴と、
前記印刷版を前記基板に対して押圧することにより、前記パターン領域を前記印刷対象領域に転写する転写機構と、
前記転写機構を制御する制御部と、を備え、
前記転写機構は、前記版胴を回転軸を中心に回転させる回転機構と、
前記ステージを、前記回転軸に平行な第1の方向と、前記回転軸に垂直な第2の方向に沿って移動させる平面移動機構と、
前記ステージを、その平面の中心軸周りに回転させる面内回転機構と、を有し、
前記印刷版は、前記パターン領域が形成されておらず、前記凸部よりも低い領域となった非接触領域を有し、
前記制御部は、
前記パターン領域を前記印刷対象領域に転写するのに先立って、前記基板の、前記印刷対象領域以外の印刷対象外領域上に前記印刷版の非接触領域が位置するように前記ステージおよび前記版胴を制御し、前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間で前記転写機構を制御して、前記ステージの位置調整を行うことを特徴とする、印刷装置。
A stage for holding a substrate in which a print target area is defined in advance in a horizontal position;
A cylindrical plate cylinder on the outer peripheral surface of which a printing plate having a pattern region formed of convex portions formed on the surface;
A transfer mechanism for transferring the pattern area to the print target area by pressing the printing plate against the substrate;
A control unit for controlling the transfer mechanism,
The transfer mechanism includes a rotation mechanism that rotates the plate cylinder about a rotation axis;
A plane moving mechanism for moving the stage along a first direction parallel to the rotation axis and a second direction perpendicular to the rotation axis;
An in-plane rotation mechanism that rotates the stage around a central axis of the plane;
The printing plate is not formed with the pattern region, has a non-contact region that is a region lower than the convex portion,
The controller is
Prior to transferring the pattern area to the print target area, the stage and the plate cylinder are arranged such that a non-contact area of the printing plate is positioned on a non-print target area other than the print target area of the substrate. And the stage is adjusted by controlling the transfer mechanism during a period in which the non-contact area is located on the non-printable area.
前記ステージを前記第2の方向に沿って移動させる際の前記ステージの前記第1の方向への変位を予め測定して得た第1の変位データを少なくとも記憶する記憶部を備え、
前記制御部は、
前記記憶部から前記第1の変位データを読み出し、前記基板の前記印刷対象領域での前記第1の変位データの変動特性を取得し、
前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間に、前記転写機構を制御して、前記変動特性を打ち消す方向に前記ステージの位置調整を行う、請求項1記載の印刷装置。
A storage unit that stores at least first displacement data obtained by measuring in advance the displacement of the stage in the first direction when the stage is moved along the second direction;
The controller is
Read the first displacement data from the storage unit, obtain the fluctuation characteristics of the first displacement data in the print target area of the substrate,
The printing apparatus according to claim 1, wherein during the period in which the non-contact area is located on the non-printing area, the transfer mechanism is controlled to adjust the position of the stage in a direction that cancels the variation characteristic.
前記制御部は、
前記第1の変位データの前記変動特性を直線で近似し、得られた直線の変動特性を打ち消す方向に前記ステージの位置調整を行う、請求項2記載の印刷装置。
The controller is
The printing apparatus according to claim 2, wherein the fluctuation characteristic of the first displacement data is approximated by a straight line, and the position of the stage is adjusted in a direction to cancel the obtained fluctuation characteristic of the straight line.
前記印刷対象領域は、前記基板上に前記第2の方向に沿って間隔を空けて複数設けられて列をなし、
前記制御部は、
前記印刷対象領域間、および前記印刷対象領域の列の外側の前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間で前記転写機構を制御して、前記ステージの位置調整を行う、請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の印刷装置。
A plurality of the print target areas are provided on the substrate at intervals along the second direction to form a row,
The controller is
Adjusting the stage by controlling the transfer mechanism in a period in which the non-contact area is located between the print target areas and on the non-print target areas outside the columns of the print target areas. The printing apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記記憶部は、
前記ステージを前記第2の方向に沿って移動させる際の前記ステージの前記第1および第2の方向に垂直な第3の方向への変位を予め測定して得た第2の変位データを併せて記憶する、請求項2記載の印刷装置。
The storage unit
Combined with the second displacement data obtained by measuring in advance the displacement of the stage in a third direction perpendicular to the first and second directions when the stage is moved along the second direction. The printing apparatus according to claim 2, wherein the printing apparatus is stored.
前記転写機構は、
前記版胴を前記第3の方向に移動させる垂直移動機構をさらに有し、
前記垂直移動機構は、
前記版胴の前記回転軸に沿った左右方向においてそれぞれ配設される、第1および第2の垂直移動機構を含み、
前記第1および第2の垂直移動機構は、それぞれが独立して動作可能であり、
前記制御部は、
前記記憶部から前記第2の変位データを読み出し、
前記印刷対象外領域上に前記非接触領域が位置している期間に、前記第2の変位データに基づいて前記垂直移動機構を制御して、前記版胴と前記ステージとの距離を調整する、請求項5記載の印刷装置。
The transfer mechanism is
A vertical movement mechanism for moving the plate cylinder in the third direction;
The vertical movement mechanism is
Including first and second vertical movement mechanisms respectively disposed in the left-right direction along the rotation axis of the plate cylinder;
Each of the first and second vertical movement mechanisms can be operated independently;
The controller is
Read the second displacement data from the storage unit,
Adjusting the distance between the plate cylinder and the stage by controlling the vertical movement mechanism based on the second displacement data during a period in which the non-contact area is located on the non-printable area; The printing apparatus according to claim 5.
前記印刷対象領域は、前記第2の方向に沿って前記基板表面内に設けられた複数の隔壁によって形成されるストライプ状の溝の形成領域で規定される、請求項1ないし請求項6の何れか一項に記載の印刷装置。   7. The print target area is defined by a stripe-shaped groove forming area formed by a plurality of partition walls provided in the substrate surface along the second direction. A printing apparatus according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113954516A (en) * 2021-12-01 2022-01-21 深圳市卓兴半导体科技有限公司 Partitioned precision printing equipment for substrate

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