JP2014058971A - 翼形部を製造するためのシステム及び方法 - Google Patents

翼形部を製造するためのシステム及び方法 Download PDF

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Abstract

【課題】より大きなアスペクト比を可能にした翼形部を製造するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】翼形部を製造するためのシステムは、翼形部の外側表面と、翼形部内部のキャビティと、翼形部の外部にあるコリメータと、を含む。本システムは更に、コリメータから翼形部の外側表面に向けて流れる流体コラムと、流体コラムの内部にて翼形部の外側表面に配向される限局的レーザビームを生成するレーザビームと、を含む。翼形部を製造する方法は、流体コラムの内部にレーザビームを閉じ込めて限局的レーザビームを生成する段階と、翼形部の外側表面に限局的レーザビームを配向する段階と、限局的レーザビームを用いて翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する段階と、を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、全体的に、翼形部を製造するためのシステム及び方法に関する。
タービンは、産業用及び商用運転において幅広く使用されている。電力を生成するのに使用される典型的な商用蒸気又はガスタービンは、固定及び回転翼形部の交互する段を含む。例えば、固定ベーンは、タービンを囲むケーシングのような固定構成要素に取り付けることができ、回転ブレードは、タービンの軸方向中心線に沿って位置するロータに取り付けることができる。限定ではないが、蒸気、燃焼ガス、又は空気などの加圧作動流体がタービンを通って流れ、固定ベーンは、この加圧作動流体を加速して後続の回転ブレードの段に配向し、回転ブレードに対し運動を与え、すなわち、ロータを転回させて仕事を行う。
タービンの効率は一般に、加圧作動流体の温度の上昇に伴って増大する。しかしながら、タービン内の過剰な温度は、タービンの翼形部の寿命を縮め、従って、タービンに関する補修、保守、及び運転停止期間が増大する可能性がある。その結果、翼形部に冷却を提供する様々な設計及び方法が開発されてきた。例えば、冷却媒体を翼形部内部のキャビティに供給し、翼形部から対流及び/又は伝導的に熱を除去することができる。特定の実施形態において、冷却媒体は、翼形部の冷却通路を通ってキャビティから流出し、翼形部の外側表面にわたってフィルム冷却をもたらすことができる。
温度及び/又は性能基準が引き続き高くなっているので、翼形部に使用される材料は次第に薄くなり、翼形部の信頼性のある製造が益々難しくなっている。例えば、翼形部は、高合金金属から鋳造することができ、熱保護を強化するために翼形部の外側表面に熱障壁コーティングを施すことができる。ウォータージェット加工又は放電加工(EDM)を用いて、熱障壁コーティング及び外側表面を貫通する冷却通路を作成することができるが、ウォータージェット又はEDMは、熱障壁コーティングの一部を剥離させる可能性がある。代替として、熱障壁コーティングは、ウォータージェット又はEDMにより冷却通路を作成した後に翼形部の外側表面に施工してもよいが、これには、新しく形成された冷却通路を覆うあらゆる熱障壁コーティングを除去する追加の処理を必要となる。
また、集束レーザビームを用いて、熱障壁コーティングの剥離のリスクを低減して翼形部を貫通する冷却通路を作成することができる。しかしながら、集束レーザビームは、レーザビームの集束点が翼形部の外側表面と一致するように正確な位置決めを必要とし、更に、翼形部の外側表面に関連する法曲率及び製造公差によって、外側表面に対する集束点の正確な位置決めを達成するのが困難になる。その結果として、集束レーザビームが外側表面を完全に貫通しない場合があり、改修又は廃棄しなければならない翼形部損傷をもたらすことになる。加えて、従来の集束レーザビームは、達成できるアスペクト比に限界がある。具体的には、従来の集束レーザビームで作成される冷却通路の深さと幅の比は、通常は3未満である(すなわち、冷却通路の深さは、冷却通路の幅の少なくとも3倍でなければならない)。3未満のアスペクト比は、翼形部のより肥厚の部分を貫通する過度に広い冷却通路を必要とする可能性がある。従って、翼形部の正確な位置決めを必要とせず、及び/又はより大きなアスペクト比を可能にする改善された翼形部の製造システム及び方法が有用となる。
米国特許第7,728,258号明細書
本発明の態様及び利点は、以下の説明において部分的に記載され、又は、本説明から明らかになることができ、或いは、本発明を実施することによって理解することができる
本発明の1つの実施形態は、翼形部を製造するためのシステムである。本システムは、翼形部の外側表面と、翼形部内部のキャビティと、翼形部の外部にあるコリメータと、を含む。本システムは更に、コリメータから翼形部の外側表面に向けて流れる流体コラムと、流体コラムの内部にて翼形部の外側表面に配向される限局的レーザビームを生成するレーザビームと、を含む。
本発明の別の実施形態は、翼形部を製造する方法であって、本方法は、翼形部の外側表面を形成する段階と、翼形部内部にキャビティを形成する段階と、流体コラムの内部にレーザビームを閉じ込めて限局的レーザビームを生成する段階と、を含む。本方法は更に、翼形部の外側表面に限局的レーザビームを配向する段階と、限局的レーザビームを用いて翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する段階と、を含む。
本発明の更に別の実施形態において、翼形部を製造する方法は、流体コラムの内部にレーザビームを閉じ込めて限局的レーザビームを生成する段階と、翼形部の外側表面に限局的レーザビームを配向する段階と、限局的レーザビームを用いて翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する段階と、を含む。
当業者であれば、本明細書を精査するとこのような実施形態の特徴及び態様、並びにその他がより理解されるであろう。
添付図の参照を含む本明細書の残りの部分において、当業者にとって最良の形態を含む本発明の完全且つ有効な開示をより詳細に説明する。
本発明の1つの実施形態による、例示的な翼形部の斜視図。 図1に示す翼形部を鋳造するのに用いることができるコアの平面図。 本発明の1つの実施形態による、図1に示す翼形部を製造するためのシステムの斜視図。 本発明の1つの実施形態による、図1に示す翼形部を製造するための方法のフロー図。
ここで、その1つ又はそれ以上の実施例が添付図面に例示されている本発明の実施形態について詳細に説明する。詳細な説明では、図面中の特徴部を示すために参照符号及び文字表示を使用している。本発明の同様の又は類似した要素を示すために、図面及び説明において同様の又は類似した表示を使用している。本明細書で使用される用語「第1」、「第2」、及び「第3」は、ある構成要素を別の構成要素と区別するために同義的に用いることができ、個々の構成要素の位置又は重要性を意味することを意図したものではない。加えて、用語「上流側」及び「下流側」は、流体経路における構成要素の相対的位置を示している。例えば、流体が構成要素Aから構成要素Bに流れる場合、構成要素Aは、構成要素Bの上流側にある。逆に、構成要素Bが構成要素Aから流体を受け取る場合、構成要素Bは構成要素Aの下流側にある。
各実施例は、本発明の限定ではなく、例証として提供される。実際に、本発明の範囲又は技術的思想から逸脱することなく、種々の修正形態及び変形形態を本発明において実施できることは、当業者であれば理解されるであろう。例えば、1つの実施形態の一部として例示され又は説明される特徴は、別の実施形態と共に使用して更に別の実施形態を得ることができる。従って、本発明は、そのような修正及び変形を特許請求の範囲及びその均等物の技術的範囲内に属するものとして保護することを意図している。
本発明の種々の実施形態は、翼形部を製造するためのシステム及び方法を含む。本システムは一般に、流体コラムによって閉じ込められたレーザビームを含み、この限局的レーザビームを用いて、翼形部の外側表面を通って特定の角度で正確な孔を作成することができる。特定の実施形態において、本システムは更に、翼形部と動作可能に接続されて、限局的レーザビームが翼形部の外側表面を貫通した後に信号を発生するよう構成されたセンサを含むことができる。センサと通信するコントローラが、信号を受信して、メモリ内に記憶されたロジックを実行することができ、該ロジックは、外側表面をレーザビームに対して移動させる必要があることを示し、所定の条件が存在するときにレーザビームの作動を無効にする。所定の条件は、例えば、レーザビームが翼形部の外側表面を通って翼形部内部のキャビティまで貫通する時間を含むことができる。本発明の例示的な実施形態は、全体的にタービンに組み込まれた翼形部に関連して説明されるが、本発明の実施形態は、請求項に別途記載のない限り、タービンに限定されない点は当業者であれば本明細書の教示から容易に理解されるであろう。
次に、幾つかの図全体を通して同じ参照符号が同様の要素を表す図面を参照すると、図1は、タービン又は他の空力的装置に組み込むことができるような、例示的な翼形部10の斜視図を示す。図1に示すように、翼形部10は一般に、正圧側面14及び負圧側面16を有する外側表面12を含む。正圧側面14は凹状曲率を有し、負圧側面16は、正圧側面14に対向する凸状曲率を有する。正圧側面14及び負圧側面16は、互いに離隔されて翼形部10内部にキャビティ18を定める。キャビティ18は、冷却媒体が翼形部10内部を流れて該翼形部10から伝導的及び/又は対流的に熱を除去するための蛇行又は曲がりくねった経路を提供することができる。加えて、正圧側面14及び負圧側面16は更に、翼形部10の上流側部分にて前縁20と、翼形部10の下流側部分にてキャビティ18から下流側に後縁22とを形成するよう継ぎ合わされる。正圧側面14、負圧側面16、前縁20、及び/又は後縁22における複数の冷却通路24は、キャビティ18から翼形部10を通る流体連通を提供し、翼形部10の外側表面12にわたって冷却媒体を供給することができる。例えば、図1に示すように、冷却通路24は、前縁20及び後縁22及び/又は正圧側面14及び負圧側面16の一方又は両方に沿って配置することができる。冷却通路24の数及び/又は位置は、特定の実施形態に応じて変わることができ、本発明は、請求項に別途記載のない限り、冷却通路24の特定の数及び/又は位置に限定されない点は当業者であれば本明細書の教示から容易に理解されるであろう。
図1に示す例示的な翼形部10は、当該技術分野で公知の何らかのプロセスを用いて製造することができる。例えば、翼形部10は、当該技術分野で周知の鍛造、機械加工、溶接、押し出し、及び/又は鋳造方法によって製造することができる。図2は、インベストメント鋳造によって図1に示す翼形部10を製造するのに用いることができるコア30の平面図を示す。図2に示すように、コア30は、蛇行部分32と、該蛇行部分32から延びる複数の長細の分岐部又は突出部34とを含むことができる。蛇行部分32は全体的に、翼形部10のキャビティ18のサイズ及び位置に対応し、突出部34は全体的に、翼形部10の後縁22を通るより大きな冷却通路24のサイズ及び位置に対応する。コア30は、鋳造中にコア30に必要とされる緊密な位置決めを維持しながら、鋳造材料(例えば、高合金金属)に伴う高温に耐えるのに十分な強度を有するあらゆる材料から製造することができる。例えば、コア30は、セラミック材料、セラミック複合材、又は他の好適な材料から鋳造することができる。鋳造又は他の方法で製造されると、レーザ、放電加工機、ドリル、ウォータージェット、又は他の好適な装置を用いて、図2に示す蛇行部分32及び/又は突出部34を精製又は形成することができる。
次いで、コア30は、当該技術分野で公知のロストワックスプロセス又は他の鋳造プロセスで利用することができる。例えば、コア30は、翼形部10の所望の厚み及び曲率に容易に成形されるワックス又は他の好適な材料でコーティングすることができる。次に、ワックスで覆われたコア30は、液体セラミック溶液に繰り返し浸漬され、ワックス表面を覆ってセラミックシェルを生成することができる。次に、ワックスを加熱して、コア30及びセラミックシェル間からワックスを除去し、コア30とセラミックシェルとの間に翼形部10の型として機能を果たす空隙を形成することができる。
次いで、溶融高合金金属を型に注入して翼形部を形成することができる。高合金金属は、例えば、GTD−111、GED−222、Rene 80、Rene 41、Rene 125、Rene 77、Rene N5、Rene N6、PWA 1484、PWA 1480、第4世代単結晶超合金、MX−4、Hastelloy X、コバルト基HS−188、及び同様の合金のような、ニッケル、コバルト、及び/又は鉄超合金を含むことができる。高合金金属が冷却及び固化された後、セラミックシェルを破断して取り外し、ワックスの除去によって生成された空隙形状を有する高合金金属を露出させることができる。コア30は、当該技術分野で公知の方法を用いて翼形部10内部から取り外すことができる。例えば、コア30は、浸出プロセスによって溶解してコア30を除去し、翼形部10内にキャビティ18及び冷却通路24を残すことができる。図3は、翼形部10を通って追加の冷却通路24を作成するシステム40の斜視図を示す。図3に示すように、熱障壁コーティング36は、翼形部10の外側表面12の少なくとも一部にわたって施工することができる。熱障壁コーティング36は、熱に対する低放射率又は高反射率、滑らかな表面仕上げ、及び/又は下にある外側表面12に対する良好な接着力を含むことができる。例えば、当該技術分野で公知の熱障壁コーティングは、ジルコニア(ZrO2)、イットリアにより部分的又は完全に安定化された酸化物(Y23)、マグネシア(MgO)、又は他の貴金属酸化物のような金属酸化物を含む。選択した熱障壁コーティング36は、空気プラズマ溶射(APS)、低圧プラズマ溶射(LPPS)、又は電子ビーム物理蒸着(EBPVD)などの物理蒸着(PVD)法を用いて従来の方法により堆積することができ、歪み耐性柱状粒構造を生じる。選択した熱障壁コーティング36はまた、前述の方法の何れかの組合せを用いて施工し、例えば、本発明と同一出願人に付与された米国特許第6,165,600号において記載するように、下層の基板に施工するために後で転写されるテープを形成することができる。
システム40の種々の実施形態は、一般に、レーザ42、コリメータ44、及びコントローラ46を含むことができる。レーザ42は、非集束レーザビーム48を発生することができるあらゆるデバイスを含むことができる。例えば、レーザ42は、光励起型Nd:YAGレーザとすることができ、パルス周波数が約10〜50kHz、波長が約500〜550nm、及び平均出力が約10〜100Wの非集束レーザビームを生成することができる。
図3に示す詳細な実施形態において、レーザ42は、レンズ50を通してコリメータ44に非集束レーザビーム48を配向する。本明細書で使用されるように、コリメータ44は、粒子又は波のビームを狭め及び/又は整列させてビームの空間断面をより小さくするあらゆるデバイスを含む。例えば、図3に示すように、コリメータ44は、脱イオン水又はろ過水のような流体54と共に非集束レーザビーム48を受けるチャンバ52を含むことができる。約20〜150ミクロンの直径を有するアパーチャ又はノズル56は、流体コラム58内部の非集束レーザビーム48を翼形部10に向けて配向する。流体コラム58は、約700〜1,500ポンド/平方インチの圧力を有することができるが、本発明は、請求項に別途記載のない限り、流体コラム58におけるあらゆる特定の圧力に限定されない。図3において拡大図で示すように、流体コラム58は、空気によって囲まれ、非集束レーザビーム48の光ガイドとして働き、翼形部10に配向される集束又は限局的レーザビーム60を生成する。
限局的レーザビーム60は、翼形部10の外側表面12を扁平化し、最終的に翼形部10を通る所望の冷却通路24を生成する。流体コラム58及び結果として得られる限局的レーザビーム60の円筒形幾何形状は、冷却通路24においてほぼ平行の側部を生成する。結果として、本システム40によって生成される冷却通路24のアスペクト比は、従来の集束レーザビームを用いてこれまで得られたものよりも大きくすることができる。例えば、図3に示すシステム40は、翼形部10の特性の組成に応じて、10又はそれ以上の大きさのアスペクト比を有する、翼形部10の外側表面12を貫通した冷却通路24を生成することができる。
コントローラ46は、何らかの好適なプロセッサベースのコンピュータデバイスとすることができる。例えば、好適なコントローラ46は、パーソナルコンピュータ、移動電話(スマートフォンを含む)、パーソナルデジタルアシスタント、タブレット、ラップトップ、デスクトップ、ワークステーション、ゲーム機、サーバ、他のコンピュータ、及び/又は他の何れかの好適なコンピュータデバイスを含むことができる。図3に示すように、コントローラ46は、1つ又はそれ以上のプロセッサ62と関連するメモリ64とを含むことができる。プロセッサ62は、一般に、当該技術分野で公知のあらゆる好適なプロセッシングデバイスとすることができる。同様に、メモリ64は、一般に、限定ではないが、RAM、ROM、ハードドライブ、フラッシュドライブ、又は他のメモリデバイスを含む、何れかの好適なコンピュータ可読媒体とすることができる。一般的に理解されるように、メモリ64は、プロセッサ62によって実行できる命令又はロジックを含む、プロセッサ62がアクセス可能な情報を記憶するよう構成することができる。命令又はロジックは、プロセッサ62によって実行されたときに、該プロセッサ62が所望の機能を提供するようにする何らかの命令セットとすることができる。例えば、命令又はロジックは、コンピュータ可読形式にレンダーされたソフトウェア命令とすることができる。ソフトウェアの使用時には、あらゆる好適なプログラミング、スクリプト、又は他のタイプの言語もしくは言語の組み合わせを用いて、本明細書に含まれる教示を実施することができる。或いは、限定ではないが、特定用途向け回路を含む、ハードワイヤードロジック又は他の回路構成によって命令を実施することができる。
図3に示すように、センサ66は、翼形部10と動作可能に接続され、限局的レーザビーム60が翼形部10の外側表面12を貫通した後に信号68を発生するよう構成することができる。センサ66は、フォトダイオード、流体センサ、又は、限局的レーザビーム60が翼形部10の外側表面12を完全に貫通した時点を検出できる他の何れかの好適なセンサとすることができる。コントローラ46は、信号68を受け取るようにセンサ66と通信状態にある。コントローラ46は、メモリ64内に格納されたロジック70を実行して、所定条件が存在することの有無に基づきレーザビーム42の動作を命令することができる。例えば、所定条件は、限局的レーザビーム60が翼形部10の外側表面12を貫通する所定の時間間隔とすることができる。所定の時間間隔を超過するまでに限局的レーザビーム60が翼形部10の外側表面12を貫通したことを示す信号68をコントローラ46が受け取らなかった場合には、これは、外側表面12に対するシステム40の問題又は不整合を示すことができる。その結果、コントローラ46によって実行されるロジック70は、システム40を検査又は調査できるまでレーザビーム42の作動を無効にするようコントローラ46に命令することができる。或いは、又はこれに加えて、コントローラ46は、翼形部10の外側表面12をレーザビーム42に対して移動させてシステム40の作動を向上させるよう、ユーザに対する指示を提供することができる。
図3に関して説明され例示されるシステム40は、翼形部10を製造する方法を提供することができ、図4は、本発明の1つの実施形態による、図1に示す翼形部を製造する方法のフロー図を示していることは、当業者であれば本明細書の教示から容易に理解されるであろう。ブロック80及び82において、本方法は、図1及び2に示す翼形部10及びコア30に関して上記で説明したように、翼形部10の外側表面12を形成する段階と、翼形部10内部にキャビティ18を形成する段階とを含むことができる。ブロック84において、本方法は、任意選択的に、図3に示すように熱障壁コーティング36を翼形部10の外側表面12に施工する段階を含むことができる。或いは、本方法は、図3に示され、ブロック86で示すような、レーザビーム48を発生させて流体コラム58内部に該レーザビーム48を閉じ込め、限局的レーザビーム60を生成する段階に進むことができる。ブロック88において、本方法は、翼形部10の外側表面12に限局的レーザビーム60を配向させ、該限局的レーザビーム60によって翼形部10の外側表面12を通る冷却通路24を生成する。特定の実施形態において、本方法は、3よりも大きい、場合によっては10よりも大きいアスペクト比(すなわち、幅に対する深さの比)を有する冷却通路24を生成することができる。
本方法は更に、ブロック90で表される、限局的レーザビーム60が翼形部10の外側表面12を完全に貫通した時点を検出する段階を含むことができる。この検出段階は、翼形部10のキャビティ18内部の光又は流体の少なくとも一方を検知する段階を含むことができる。加えて、本方法は、ダイアモンド92で示すように、限局的レーザビーム60が外側表面12に配向された時点と、限局的レーザビーム60が外側表面12を貫通した時点との間の時間間隔を測定することができる。この時間間隔が所定の時間間隔を超過した場合、本方法は、ライン94で示すように、レーザビーム42の作動を無効にすることができる。代替として、又はこれに加えて、本方法は、ブロック96で示すように、時間間隔が所定の時間間隔を超過した場合に、レーザビーム42に対して翼形部10の外側表面12を移動させ、作動を強化する段階を含むことができる。
本明細書で記載される本システム40及び方法は、従来の集束レーザよりも優れた1つ又はそれ以上の恩恵又は利点を提供することができる。例えば、流体コラム58は、外側表面12に冷却をもたらし、従来の集束レーザで生じる可能性がある熱的損傷を低減又は排除する。加えて、流体コラム58の円筒形状及び限局的レーザビーム60により、レーザビーム42からの種々の距離で外側表面12の効率的なアブレーションが可能になる。その結果、システム40が翼形部10の外側表面12を通る冷却通路24の生成に必要な時間は、レーザビーム42に対する外側表面12の正確な位置決めにもはや依存しなくなる。加えて、流体コラム58の円筒形状及び限局的レーザビーム60により、平行切り溝壁が生成され、従来の集束レーザでこれまで利用可能であったアスペクト比よりも大きなアスペクト比が可能になる。
本明細書は、最良の形態を含む実施例を用いて本発明を開示し、更に、あらゆる当業者があらゆるデバイス又はシステムを実施及び利用すること並びにあらゆる包含の方法を実施することを含む本発明を実施することを可能にする。本発明の特許保護される範囲は、請求項によって定義され、当業者であれば想起される他の実施例を含むことができる。このような他の実施例は、請求項の文言と差違のない構造要素を有する場合、或いは、請求項の文言と僅かな差違を有する均等な構造要素を含む場合には、本発明の範囲内にあるものとする。
10 翼形部
12 外側表面
14 正圧側面
16 負圧側面
18 キャビティ
20 前縁
22 後縁
24 冷却通路
30 コア
32 蛇行部分
34 突出部
36 熱障壁コーティング
40 システム
42 レーザ
44 コリメータ
46 コントローラ
48 非集束レーザビーム
50 レンズ
52 チャンバ
54 流体
56 ノズル
58 流体コラム
60 限局的 レーザビーム
62 プロセッサ
64 メモリ
66 センサ
68 信号
70 ロジック
80 翼形部の外側表面を形成する
82 翼形部内部にキャビティを形成する
84 熱障壁コーティングを施工する
86 レーザビームを生成し閉じ込める
88 外側表面に限局的レーザビームを配向する
90 外側表面を貫通するレーザビームを検出する
92 時間を測定する
94 レーザビームの作動を無効にする
96 外側表面の位置を調整する

Claims (20)

  1. 翼形部を製造するためのシステムであって、
    前記翼形部の外側表面と、
    前記翼形部内部のキャビティと、
    前記翼形部の外部にあるコリメータと、
    前記コリメータから前記翼形部の外側表面に向けて流れる流体コラムと、
    前記流体コラムの内部にて前記翼形部の外側表面に配向される限局的レーザビームを生成するレーザビームと、
    を備える、システム。
  2. 前記翼形部に動作可能に接続され、前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を貫通した後に信号を発生するよう構成されたセンサを更に備える、請求項1に記載のシステム。
  3. 前記センサが、フォトダイオード又は流体センサの少なくとも一方を含む、請求項2に記載のシステム。
  4. 前記センサと通信して前記信号を受けるようになるコントローラを更に備え、前記コントローラが、メモリ内に記憶されて、所定の条件が存在するときに前記レーザの作動を無効にするロジックを実行するよう構成されている、請求項2に記載のシステム。
  5. 前記所定の条件が、前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を貫通した時間を含む、請求項4に記載のシステム。
  6. 翼形部を製造する方法であって、
    前記翼形部の外側表面を形成する段階と、
    前記翼形部内部にキャビティを形成する段階と、
    流体コラムの内部にレーザビームを閉じ込めて限局的レーザビームを生成する段階と、
    前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向する段階と、
    前記限局的レーザビームを用いて前記翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する段階と、
    を含む、方法。
  7. 前記翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する前記段階が、幅の大きさの少なくとも3倍の深さを有する通路を生成する段階を含む、請求項6に記載の方法。
  8. 前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向する段階の前に、前記翼形部の外側表面に熱障壁コーティングを施工する段階を更に含む、請求項6に記載の方法。
  9. 前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を完全に貫通した時点を検出する段階を更に含む、請求項6に記載の方法。
  10. 前記検出段階が、前記キャビティ内部の光又は流体の少なくとも一方を検知する段階を含む、請求項9に記載の方法。
  11. 前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向してから、前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を完全に貫通した時点を検出するまでの時間間隔を測定する段階を更に含む、請求項9に記載の方法。
  12. 前記時間間隔が所定限度を超過した場合には、前記翼形部の外側表面を前記レーザビームに対して移動させる段階を更に含む、請求項11に記載の方法。
  13. 前記時間間隔が所定限度を超過した場合には、前記レーザビームの作動を無効にする段階を更に含む、請求項11に記載の方法。
  14. 翼形部を製造する方法であって、
    流体コラムの内部にレーザビームを閉じ込めて限局的レーザビームを生成する段階と、
    前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向する段階と、
    前記限局的レーザビームを用いて前記翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する段階と、
    を含む、方法。
  15. 前記翼形部の外側表面を貫通する通路を生成する前記段階が、幅の大きさの少なくとも3倍の深さを有する通路を生成する段階を含む、請求項14に記載の方法。
  16. 前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向する段階の前に、前記翼形部の外側表面に熱障壁コーティングを施工する段階を更に含む、請求項14に記載の方法。
  17. 前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を完全に貫通した時点を検出する段階を更に含む、請求項14に記載の方法。
  18. 前記翼形部の外側表面に前記限局的レーザビームを配向してから、前記限局的レーザビームが前記翼形部の外側表面を完全に貫通した時点を検出するまでの時間間隔を測定する段階を更に含む、請求項17に記載の方法。
  19. 前記時間間隔が所定限度を超過した場合には、前記翼形部の外側表面を前記レーザビームに対して移動させる段階を更に含む、請求項17に記載の方法。
  20. 前記時間間隔が所定限度を超過した場合には、前記レーザビームの作動を無効にする段階を更に含む、請求項18に記載の方法。
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