JP2014054033A - Vibration wave drive unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、振動波駆動装置に関し、電気−機械エネルギー変換素子により振動体の表面に楕円運動を形成し、振動体と移動体とを相対移動させるカメラ用レンズやOA機器などに用いられるいわゆる超音波モータに関するものである。 The present invention relates to a vibration wave drive device, which forms an elliptical motion on the surface of a vibrating body by an electro-mechanical energy conversion element, and is used in a so-called super lens used for a camera lens or OA device that relatively moves the vibrating body and the moving body. The present invention relates to a sonic motor.
電界や磁界が作用したことに応じて機械的歪みを生じる歪み発生素子によって振動体を振動させ、該振動体の振動を連続的もしくは断続的な機械的運動に変換して出力する振動波アクチュエータ(振動波駆動装置)は現在では種々の分野で使用されている。 A vibration wave actuator that vibrates a vibrating body by a strain generating element that generates mechanical distortion in response to an applied electric field or magnetic field, converts the vibration of the vibrating body into a continuous or intermittent mechanical motion, and outputs the vibration ( The vibration wave driving device) is currently used in various fields.
また、該圧電素子を利用する圧電アクチュエータのうちで、超音波モータと称されるアクチュエータは連続回転式の回転駆動源を構成することができる。 Among the piezoelectric actuators using the piezoelectric element, an actuator called an ultrasonic motor can constitute a continuous rotation type rotational drive source.
このようなことから、これを従来の回転式電磁駆動モータに代わる駆動源として、既にカメラ等の光学機器に搭載されており、このような超音波モータの駆動制御技術もほぼ確立されている。 For this reason, this is already mounted in an optical device such as a camera as a drive source in place of the conventional rotary electromagnetic drive motor, and the drive control technology for such an ultrasonic motor has been almost established.
このように、超音波モータに関する技術はほぼ確立されているが、モータの信頼性を向上させる技術には、更に改善を必要としている。 Thus, although the technique regarding an ultrasonic motor is almost established, the technique which improves the reliability of a motor needs further improvement.
同形の屈曲モードの振動を異なる複数の平面内に励起させる振動波駆動装置(超音波モータ)は、例えば特許文献1などに開示されており、駆動原理等はこれらに詳細に記載されている。これらに開示されている振動体は、電気−機械エネルギー変換素子及び弾性部材で構成されている。振動体は電気−機械エネルギー変換素子を両側から弾性部材で挟持固定している。 A vibration wave driving device (ultrasonic motor) that excites vibrations of the same bending mode in a plurality of different planes is disclosed in, for example, Patent Document 1 and the driving principle and the like are described in detail in these. The vibrator disclosed in these is composed of an electromechanical energy conversion element and an elastic member. The vibrating body has an electro-mechanical energy conversion element sandwiched and fixed by elastic members from both sides.
このような同形の屈曲モードの振動を異なる複数の平面内に励起させる振動波駆動装置は、振動体の表面粒子に楕円運動を発生させ、これに加圧接触した移動体を連続的に駆動することにより、駆動が可能とされている。 Such a vibration wave driving device that excites vibrations of the same shape in bending mode in a plurality of different planes generates an elliptical motion in the surface particles of the vibrating body, and continuously drives the moving body in pressure contact therewith. Thus, driving is possible.
圧電素子にはパターン電極が形成されており、それぞれの電極には、順に時間位相が90°ずつ異なる略サイン波形状の交流電圧が印加される。 A pattern electrode is formed on the piezoelectric element, and a substantially sine wave AC voltage having a time phase of 90 ° is sequentially applied to each electrode.
励起する振動モードの固有振動数付近の周波数で交流電圧を印加すると、圧電素子の伸縮により振動体に加わる曲げモーメントによって振動体が共振する。 When an AC voltage is applied at a frequency near the natural frequency of the vibration mode to be excited, the vibrating body resonates due to a bending moment applied to the vibrating body due to expansion and contraction of the piezoelectric element.
90°ずつ異なる交流電圧に対してそれぞれ励起される振動モードは同形状で、かつ位相が異なり、その合成によって振動体の表面粒子に楕円運動が形成される。同形の屈曲モードの振動を異なる複数の平面内に励起させる振動波駆動装置は、振動モードが同じ変形の分布を持つモードであるために、振動方向による共振周波数の変化が出にくく、2つのモードの共振周波数を一致させるためにほとんど調整を必要としないという特徴がある。 The vibration modes excited with respect to alternating voltages different by 90 ° have the same shape and different phases, and an elliptical motion is formed on the surface particles of the vibrating body by synthesis. Since the vibration wave driving device that excites the vibration of the same bending mode in a plurality of different planes is a mode in which the vibration mode has the same deformation distribution, the resonance frequency hardly changes depending on the vibration direction. There is a feature that almost no adjustment is required to match the resonance frequencies of the two.
図7に従来例の振動体の構成を示す。第1の弾性体101A及び第3の弾性体101Cと第2の弾性体101Bの間に圧電素子103及びフレキシブルプリント基板104が配置されている。第1の弾性体、第2の弾性体、第3の弾性体、圧電素子103及び挟持部104Aの外径はほぼ同じ寸法に加工されている。フレキシブルプリント基板104の圧電素子側のカバーコート部104Dの端部104D1は、圧電素子103の外径部より外側に配置されている。フレキシブルプリント基板104は、振動体100を構成する第2の弾性体101Bと圧電素子103により挟まれて締結挟持される挟持部104Aから導通部104Bが延びている。導通部104Bの延出端部には不図示の導通用コネクタとの接続を行うための接続部104Cを有し、必要箇所を除いてカバーコート部104Dにより覆って電気的絶縁を行うようにしている。 FIG. 7 shows a configuration of a conventional vibrating body. The piezoelectric element 103 and the flexible printed circuit board 104 are disposed between the first elastic body 101A, the third elastic body 101C, and the second elastic body 101B. The outer diameters of the first elastic body, the second elastic body, the third elastic body, the piezoelectric element 103, and the holding portion 104A are processed to substantially the same dimensions. The end portion 104D1 of the cover coat portion 104D on the piezoelectric element side of the flexible printed circuit board 104 is disposed outside the outer diameter portion of the piezoelectric element 103. In the flexible printed circuit board 104, a conducting part 104 </ b> B extends from a clamping part 104 </ b> A that is clamped and clamped between the second elastic body 101 </ b> B constituting the vibrating body 100 and the piezoelectric element 103. The extending end of the conducting portion 104B has a connecting portion 104C for connecting to a not-shown conducting connector, and is covered with the cover coat portion 104D for electrical insulation except for necessary portions. Yes.
従来例の振動体およびフレキシブルプリント基板の構成において、棒状超音波振動体の組立時等にフレキシブルプリント基板の振動体からの突出部の導通部104Bのカバーコート部104Dで覆われていない箇所において切断が生じ、導通不良が発生した。導通部104Bのカバーコート部104Dで覆われていない箇所は、特に矢印で示す方向にフレキシブルプリント基板が直角に曲がり易くなっており、そのため応力集中が発生し、切断してしまう。 In the configuration of the vibrating body and the flexible printed circuit board of the conventional example, cutting is performed at a portion not covered with the cover coat portion 104D of the conductive portion 104B of the protruding portion from the vibrating body of the flexible printed circuit board when assembling the rod-shaped ultrasonic vibrating body. As a result, poor conduction occurred. A portion of the conductive portion 104B that is not covered with the cover coat portion 104D is likely to bend the flexible printed circuit board at a right angle, particularly in the direction indicated by the arrow.
フレキシブルプリント基板の導通部104Bのカバーコート部104Dで覆われていない箇所に曲げ応力等が加わらないように接着剤などの弾性部材で補強することも考えられる。しかし、接着剤を塗布すると、振動体に減衰成分を塗布したことに相当する。この振動体は電気エネルギーを機械的振動エネルギーに変換し、機械的な出力を得るものであるため、振動するためのエネルギーの増加は、振動体の性能低下に繋がってしまうので望ましいものではない。 It is also conceivable to reinforce with an elastic member such as an adhesive so that bending stress or the like is not applied to the portion of the flexible printed circuit board 104B that is not covered with the cover coat portion 104D. However, applying an adhesive corresponds to applying a damping component to the vibrator. Since this vibrating body converts electrical energy into mechanical vibration energy and obtains a mechanical output, an increase in energy for vibration leads to a decrease in performance of the vibrating body, which is not desirable.
本発明は、振動体の性能低下を招くことなく、フレキシブルプリント基板の切損による導通不良を防止し、信頼性の高い棒状超音波振動体の提供を目的とする。 An object of the present invention is to provide a highly reliable rod-shaped ultrasonic vibration body that prevents conduction failure due to breakage of a flexible printed circuit board without degrading the performance of the vibration body.
本発明の振動波駆動装置は、第1の弾性体側に配した第3の弾性体を介し、該第1の弾性体と第2の弾性体との間に電気−機械エネルギー変換素子を設けた振動体と、前記振動体に接触し、前記電気−機械エネルギー変換素子にフレキシブルプリント基板を通して駆動信号を印加することにより前記振動体に励起された進行波によって、前記振動体に対して相対移動する移動体とを有する振動波駆動装置であって、前記振動体の軸方向と直交する方向に延び、前記電気−機械エネルギー変換素子の外径よりも外側に前記移動体が摺動する摺動面を備えた第3の弾性体と、前記電気−機械エネルギー変換素子の外径よりも外側に外径を備えた第2の弾性体を有する振動体において、前記フレキシブルプリント基板の銅箔導通部を絶縁被覆するためのカバーコートの端部を第2の弾性体の外径の内側に配置することを特徴とする。 In the vibration wave driving device of the present invention, an electromechanical energy conversion element is provided between the first elastic body and the second elastic body via a third elastic body disposed on the first elastic body side. The vibrator and the vibrator are brought into contact with each other and moved relative to the vibrator by a traveling wave excited by the vibrator by applying a driving signal to the electromechanical energy conversion element through a flexible printed board. A vibration wave drive device having a moving body, wherein the sliding surface extends in a direction orthogonal to the axial direction of the vibrating body, and the moving body slides outside the outer diameter of the electro-mechanical energy conversion element. And a vibrating body having a second elastic body having an outer diameter outside the outer diameter of the electro-mechanical energy conversion element, wherein the copper foil conduction portion of the flexible printed board is Insulating coating And wherein placing the ends of the cover coat to the inside of the outer diameter of the second elastic body.
前記カバーコートの端部の応力が分散するように切断防止手段を設けたことを特徴とする。 A cutting prevention means is provided so that the stress at the end of the cover coat is dispersed.
前記切断防止手段は、前記カバーコートの端部を曲線形状に構成することを特徴とする。 The cutting prevention means is characterized in that the end portion of the cover coat is formed in a curved shape.
前記曲線形状は、波形形状に構成されていることを特徴とする。 The curved shape is formed in a waveform shape.
前記電気−機械エネルギー変換素子からのフレキシブルプリント基板の延出部を湾曲状に構成していることを特徴とする。 The extending part of the flexible printed circuit board from the electro-mechanical energy conversion element is formed in a curved shape.
本発明によれば、フレキシブルプリント基板に補強部材等を塗布することなく、簡便かつ安価にフレキシブルプリント基板の切損による導通不良を防止し、信頼性の高い振動体を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, without applying a reinforcement member etc. to a flexible printed circuit board, the conduction defect by the cut of a flexible printed circuit board can be prevented simply and cheaply, and a reliable vibrating body can be provided.
本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。 The mode for carrying out the present invention will be described with reference to the following examples.
[実施例1]
実施例1として、振動体の摩擦駆動部に楕円運動を生じさせ、振動体の摩擦駆動部に接触する移動体を相対移動させる振動波駆動装置の構成例について説明する。
[Example 1]
As a first embodiment, a configuration example of a vibration wave driving device that causes an elliptical motion in a friction drive unit of a vibrating body and relatively moves a moving body that contacts the friction drive unit of the vibrating body will be described.
まず、振動型モータ100の構成の一例を、図6を用いて説明する。 First, an example of the configuration of the vibration type motor 100 will be described with reference to FIG.
図6において100は振動波駆動装置(振動型モータ)である。 In FIG. 6, reference numeral 100 denotes a vibration wave driving device (vibration type motor).
第1の弾性体101A、第3の弾性体101C、圧電素子103、フレキシブル基板104、および、第2の弾性体101Bの中心部に設けられた貫通孔にシャフト106を挿入する。シャフト106の途中には段差が設けられており、この段差が第1の弾性体101Aの内壁に設けられた段差に突き当たる。シャフト106の先端(下端)部にはネジが形成され、このネジに締結部材である第1の締め付け部材105Aを嵌合させて締め付ける。これにより、第2の弾性体101B、フレキシブルプリント基板104、圧電素子103、第3の弾性体101Cおよび第1の弾性体101Aを固定することができる。第3の弾性体101Cの圧電素子103と接触する側には、外周で両者が接触するように凹部115が設けてある。 The shaft 106 is inserted into a through hole provided at the center of the first elastic body 101A, the third elastic body 101C, the piezoelectric element 103, the flexible substrate 104, and the second elastic body 101B. A step is provided in the middle of the shaft 106, and this step hits a step provided on the inner wall of the first elastic body 101A. A screw is formed at the tip (lower end) portion of the shaft 106, and the first fastening member 105A, which is a fastening member, is fitted to the screw and tightened. Thereby, the 2nd elastic body 101B, the flexible printed circuit board 104, the piezoelectric element 103, the 3rd elastic body 101C, and the 1st elastic body 101A can be fixed. On the side of the third elastic body 101C that comes into contact with the piezoelectric element 103, a recess 115 is provided so that they are in contact with each other on the outer periphery.
第3の弾性体101Cの圧電素子103と接触していない側の摩擦駆動部112の表面には、移動体102であるロータ107に固定された接触バネ108が加圧接触する。 The contact spring 108 fixed to the rotor 107 that is the moving body 102 is in pressure contact with the surface of the friction drive unit 112 on the side that is not in contact with the piezoelectric element 103 of the third elastic body 101C.
この接触バネ108は弾性を有しており、ロータ107に固定されて一体となって回転する。109は出力手段であるギア(出力部材)であり、ロータ107の回転軸方向の移動を許容し、ロータ107の回転運動の移動に追従するようにロータ107と2箇所の回り止め113にて嵌合している。110はコイルバネ等の加圧手段であり、ロータ107のバネ受け部114Bとギア109のバネ受け部114Aとの間に配置され、ロータ107を第3の弾性体101Cの方向に押し下げるように加圧している。 The contact spring 108 has elasticity, is fixed to the rotor 107 and rotates integrally. Reference numeral 109 denotes a gear (output member) as an output means, which allows the rotor 107 to move in the direction of the rotation axis and is fitted with the rotor 107 and two detents 113 so as to follow the movement of the rotor 107 in the rotational motion. Match. Reference numeral 110 denotes a pressurizing unit such as a coil spring, which is disposed between the spring receiving portion 114B of the rotor 107 and the spring receiving portion 114A of the gear 109, and pressurizes the rotor 107 so as to push it down toward the third elastic body 101C. ing.
ギア109はシャフト106と結合した固定部材111に軸支持されており、その軸方向における位置は固定部材111によって規制されている。 The gear 109 is axially supported by a fixed member 111 coupled to the shaft 106, and the position in the axial direction is regulated by the fixed member 111.
シャフト106の第1の締め付け部材105Aと嵌合しない側の先端(上端)部にもネジが形成されており、このネジに第2の締め付け部材105Bを嵌合させて、固定部材111にシャフト106を固定している。 A screw is also formed at the tip (upper end) portion of the shaft 106 that is not fitted with the first fastening member 105A. The second fastening member 105B is fitted to this screw, and the shaft 106 is fixed to the fixing member 111. Is fixed.
固定部材111にはネジ穴が設けてあり、この固定部材111を所望の個所にネジを用いて固定することで、振動型モータを所望の個所に取り付けることができる。 The fixing member 111 is provided with a screw hole, and the vibration type motor can be attached to a desired location by fixing the fixing member 111 to the desired location using a screw.
圧電素子103は例えば、特許文献(特許第3416233号公報)に記載されているように、1つの圧電体の両面に電極膜が形成されており、片面の電極膜を4つの電極膜に分割し、A(+)、A(−)、B(+)、B(−)相を構成している。 For example, as described in a patent document (Japanese Patent No. 3416233), the piezoelectric element 103 has electrode films formed on both sides of one piezoelectric body, and the electrode film on one side is divided into four electrode films. , A (+), A (−), B (+), and B (−) phases.
電極膜が形成された4つの領域には、A(+)とA(−)及びB(+)とB(−)は互いに逆向きとなるように圧電素子103の厚み方向に分極が施され、A相、B相の2つのグループから構成されている。 The four regions where the electrode films are formed are polarized in the thickness direction of the piezoelectric element 103 so that A (+) and A (−) and B (+) and B (−) are opposite to each other. , A phase, and B phase.
この一方のグループ電極に駆動信号を印加すると、圧電素子103の一方の領域は厚み方向に膨張し、他方の領域は厚み方向に収縮する。 When a drive signal is applied to the one group electrode, one region of the piezoelectric element 103 expands in the thickness direction and the other region contracts in the thickness direction.
また、もう一方のグループの圧電体に時間的に90度位相のずれた駆動信号を印加する。 In addition, a drive signal whose phase is shifted by 90 degrees is applied to the other group of piezoelectric bodies.
すると、振動体には第1の弾性体101Aを左右に振るような2つの屈曲振動(1つは振幅方向がシャフト106の軸方向と垂直な方向、もう1つはもう一方の方向と90度位相がずれた方向)が発生する。 Then, the vibration body has two bending vibrations such that the first elastic body 101A is swung left and right (one is a direction in which the amplitude direction is perpendicular to the axial direction of the shaft 106, and the other is 90 degrees from the other direction. Phase out of phase) occurs.
これらの振動が合成されると、第3の弾性体101Cの表面の摩擦駆動部112には、楕円運動が形成される。 When these vibrations are combined, elliptical motion is formed in the friction drive unit 112 on the surface of the third elastic body 101C.
この楕円運動が励起された第3の弾性体101Cの表面の摩擦駆動部112に接触バネ108を加圧接触させれば、接触バネ108およびロータ107から構成される移動体102がこの楕円運動に押し出されるようにして移動する。 If the contact spring 108 is brought into pressure contact with the friction drive unit 112 on the surface of the third elastic body 101C where the elliptical motion is excited, the moving body 102 including the contact spring 108 and the rotor 107 is subjected to the elliptical motion. Move as if pushed out.
つぎに、図1及び図2を用いて本実施例における振動体の構成について説明する。 Next, the configuration of the vibrator in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
第1の弾性体101A及び第3の弾性体101Cと第2の弾性体101Bの間に圧電素子103及びフレキシブルプリント基板104が配置されている。第2の弾性体101Bの外径寸法は圧電素子103の外径寸法より大きくなるように構成されている。フレキシブルプリント基板104の圧電素子側のカバーコート部104Dの端部104D1は、第2の弾性体の外径部より内側に配置されている。このような構成にするとフレキシブルプリント基板104の振動体から突出している導通部104Bのカバーコート部104Dで覆われていない箇所で組立時に直角に折り曲げることが物理上ほぼ不可能となり、応力集中による切断を防ぐことができる。図2は、図1のフレキシブルプリント基板104の上面図である。カバーコート部104Dの挟持部104A側の端部104D1は、直線形状で構成されている。圧電素子103の外径は点線で示すように、挟持部104Aの外径より小さくなるように加工されている。 The piezoelectric element 103 and the flexible printed circuit board 104 are disposed between the first elastic body 101A, the third elastic body 101C, and the second elastic body 101B. The outer diameter of the second elastic body 101B is configured to be larger than the outer diameter of the piezoelectric element 103. An end portion 104D1 of the cover coat portion 104D on the piezoelectric element side of the flexible printed circuit board 104 is disposed inside the outer diameter portion of the second elastic body. With such a configuration, it is almost impossible to bend at a right angle during assembly at a portion not covered by the cover coat portion 104D of the conductive portion 104B protruding from the vibrating body of the flexible printed circuit board 104, and cutting due to stress concentration. Can be prevented. FIG. 2 is a top view of the flexible printed circuit board 104 of FIG. The end portion 104D1 on the clamping portion 104A side of the cover coat portion 104D is configured in a linear shape. The outer diameter of the piezoelectric element 103 is processed so as to be smaller than the outer diameter of the sandwiching portion 104A as indicated by a dotted line.
[実施例2]
実施例2として、実施例1と異なる形態の構成例について、図3を用いて説明する。
[Example 2]
As a second embodiment, a configuration example different from the first embodiment will be described with reference to FIG.
フレキシブルプリント基板104は、締結挟持される挟持部104Aから導通部104Bが延びている。導通部104Bの延出端部には不図示の導通用コネクタとの接続を行うための接続部104Cを有し、必要箇所を除いてカバーコート部104Dにより覆って電気的絶縁を行うようにしている。カバーコート部104Dの挟持部104A側の端部104D1は、円孤形状で構成されている。このような構成にすることで、直線形状に比べて、カバーコート部104Dの端部104D1での応力集中を緩和することができる。 The flexible printed circuit board 104 has a conducting part 104B extending from a clamping part 104A that is fastened and clamped. The extending end of the conducting portion 104B has a connecting portion 104C for connecting to a not-shown conducting connector, and is covered with the cover coat portion 104D for electrical insulation except for necessary portions. Yes. The end portion 104D1 on the clamping portion 104A side of the cover coat portion 104D is formed in an arc shape. With such a configuration, stress concentration at the end portion 104D1 of the cover coat portion 104D can be reduced as compared with the linear shape.
[実施例3]
実施例3として、実施例1及び2と異なる形態の構成例について、図4を用いて説明する。
[Example 3]
As a third embodiment, a configuration example having a different form from the first and second embodiments will be described with reference to FIG.
フレキシブルプリント基板104は、締結挟持される挟持部104Aから導通部104Bが延びている。導通部104Bの延出端部には不図示の導通用コネクタとの接続を行うための接続部104Cを有し、必要箇所を除いてカバーコート部104Dにより覆って電気的絶縁を行うようにしている。カバーコート部104Dの挟持部104A側の端部104D1は、波形形状で構成されている。このような構成にすることで、円孤形状に比べて、カバーコート部104Dの端部104D1での応力集中を緩和することができる。 The flexible printed circuit board 104 has a conducting part 104B extending from a clamping part 104A that is fastened and clamped. The extending end of the conducting portion 104B has a connecting portion 104C for connecting to a not-shown conducting connector, and is covered with the cover coat portion 104D for electrical insulation except for necessary portions. Yes. The end portion 104D1 on the clamping portion 104A side of the cover coat portion 104D is formed in a waveform shape. By adopting such a configuration, stress concentration at the end portion 104D1 of the cover coat portion 104D can be reduced as compared with the arc shape.
[実施例4]
実施例4として、実施例1、2及び3と異なる形態の構成例について、図5を用いて説明する。
[Example 4]
As a fourth embodiment, a configuration example different from the first, second, and third embodiments will be described with reference to FIG.
第1の弾性体101A及び第3の弾性体101Cと第2の弾性体101Bの間に圧電素子103及びフレキシブルプリント基板104が配置されている。第2の弾性体101Bの外径寸法は圧電素子103の外径寸法より大きくなるように構成されている。そして、フレキシブルプリント基板104は、圧電素子103の外径部と接触する箇所を起点に円孤形状に構成され、第2の弾性体101Bの外径のエッジ部と接触しないように外部部材116にて固定されている。 The piezoelectric element 103 and the flexible printed circuit board 104 are disposed between the first elastic body 101A, the third elastic body 101C, and the second elastic body 101B. The outer diameter of the second elastic body 101B is configured to be larger than the outer diameter of the piezoelectric element 103. Then, the flexible printed circuit board 104 is formed in an arc shape starting from a position where the flexible printed circuit 104 comes into contact with the outer diameter portion of the piezoelectric element 103. Is fixed.
このように構成することで、振動体の振動による第2の弾性体のエッジとフレキシブルプリント基板の接触による応力および振動体の振動による引張応力を緩和することができる。 With this configuration, it is possible to relieve stress caused by contact between the edge of the second elastic body and the flexible printed circuit board due to vibration of the vibrating body and tensile stress caused by vibration of the vibrating body.
100 振動波駆動装置(振動型モータ)
101A、101B、101C 弾性体
102 移動体
103 圧電素子
104 フレキシブルプリント基板
104A 挟持部
104B 導通部
104C 接続部
104D カバーコート部
104D1 カバーコート部端部
105A、105B 締付け部材
106 シャフト
107 ロータ
108 接触バネ
109 ギア(出力部材)
110 バネ
111 固定部材
112 摩擦駆動部(摺動面)
113 回り止め
114A、114B バネ受け部
115 凹部
116 外部部材
100 Vibration wave drive (vibration type motor)
101A, 101B, 101C Elastic body 102 Moving body 103 Piezoelectric element 104 Flexible printed circuit board 104A Nipping part 104B Conducting part 104C Connection part 104D Cover coat part
104D1 Cover coat end 105A, 105B Tightening member 106 Shaft 107 Rotor 108 Contact spring 109 Gear (output member)
110 Spring 111 Fixing member 112 Friction drive part (sliding surface)
113 Detents 114A, 114B Spring receiving portion 115 Recess 116 External member
Claims (5)
前記フレキシブルプリント基板の銅箔導通部を絶縁被覆するためのカバーコートの端部を第2の弾性体の外径の内側に配置することを特徴とする振動波駆動装置。 Via a third elastic body arranged on the first elastic body side, a vibrating body provided with an electromechanical energy conversion element between the first elastic body and the second elastic body, and contact with the vibrating body And a vibration wave drive device having a moving body that moves relative to the vibration body by a traveling wave excited by the vibration body by applying a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element through a flexible printed board. A third elastic body having a sliding surface extending in a direction orthogonal to the axial direction of the vibrating body and on which the moving body slides outside the outer diameter of the electro-mechanical energy conversion element; In the vibrating body having the second elastic body having an outer diameter outside the outer diameter of the electro-mechanical energy conversion element,
An oscillatory wave drive device characterized in that an end portion of a cover coat for insulatingly covering the copper foil conducting portion of the flexible printed board is disposed inside the outer diameter of the second elastic body.
The vibration wave drive device according to any one of claims 1 to 4, wherein an extended portion of the flexible printed circuit board from the electro-mechanical energy conversion element is formed in a curved shape.
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JP2012195630A JP2014054033A (en) | 2012-09-06 | 2012-09-06 | Vibration wave drive unit |
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CN104759400A (en) * | 2015-04-01 | 2015-07-08 | 清华大学 | Capacitive coupling type noncontact rotary ultrasonic vibrating head |
-
2012
- 2012-09-06 JP JP2012195630A patent/JP2014054033A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104759400A (en) * | 2015-04-01 | 2015-07-08 | 清华大学 | Capacitive coupling type noncontact rotary ultrasonic vibrating head |
CN104759400B (en) * | 2015-04-01 | 2017-05-31 | 清华大学 | Capacitively coupled non-contact rotary ultrasonic vibration head |
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