JP2014049586A - Leaf spring pressing member used to fix semiconductor module and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a leaf spring pressing member capable of downsizing the whole semiconductor device, including a structure for fixing a circuit board for control.SOLUTION: A leaf spring pressing member (spring presser bracket 50) is used to fix a semiconductor module. The spring presser bracket 50 comprises bosses 61 to 68 for fixing a circuit board for control to the spring presser bracket 50 on an upper surface 50a. This bracket also includes leaf spring pressing parts 57 to 60 for pressing a leaf spring 40 on a lower surface 50b.

Description

本発明は半導体装置に関し、とくに、半導体モジュールを固定するために用いられる板バネ押圧部材に関する。   The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to a leaf spring pressing member used to fix a semiconductor module.

半導体装置において、板バネを用いて半導体モジュールを冷却器等に押し付け、固定する構造が知られている。たとえば、特許文献1に記載される半導体装置では、補強梁が板バネを介して半導体モジュールをヒートシンクに押し付け、これによって半導体モジュールを固定する。
また、このような半導体装置を挟んで、冷却器と反対側に制御用回路基板等の基板が配置される場合がある。この場合には、半導体装置に制御用回路基板が固定される。
In a semiconductor device, a structure is known in which a semiconductor module is pressed against a cooler or the like by using a leaf spring. For example, in the semiconductor device described in Patent Document 1, the reinforcing beam presses the semiconductor module against the heat sink via a leaf spring, thereby fixing the semiconductor module.
In some cases, a substrate such as a control circuit board is disposed on the opposite side of the cooler across the semiconductor device. In this case, the control circuit board is fixed to the semiconductor device.

特開2007−329167号公報JP 2007-329167 A

しかしながら、従来の構成では、半導体装置に外部の構造(たとえば制御用回路基板)を固定するための構造を別途設ける必要があり、全体が大型化するという問題があった。たとえば、特許文献1には制御用回路基板を固定する構造が記載されておらず、そのような構造を別途取り付ける必要がある。   However, in the conventional configuration, it is necessary to separately provide a structure for fixing an external structure (for example, a control circuit board) to the semiconductor device, and there is a problem that the whole is increased in size. For example, Patent Document 1 does not describe a structure for fixing a control circuit board, and it is necessary to attach such a structure separately.

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、制御用回路基板を固定するための構造まで含め、半導体装置の全体を小型化できる板バネ押圧部材を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a leaf spring pressing member capable of downsizing the entire semiconductor device including a structure for fixing a control circuit board. And

上述の問題を解決するため、この発明に係る板バネ押圧部材は、半導体モジュールを固定するために用いられる、板バネ押圧部材であって、板バネ押圧部材は、両面を有する形状であり、両面のうち一方の面に、外部の構造を板バネ押圧部材に固定するための突起を備え、両面のうち他方の面に、板バネを押圧する押圧領域を備える。   In order to solve the above-mentioned problem, a leaf spring pressing member according to the present invention is a leaf spring pressing member used for fixing a semiconductor module, and the leaf spring pressing member has a shape having both sides, One of the surfaces is provided with a protrusion for fixing the external structure to the leaf spring pressing member, and the other surface of the both surfaces is provided with a pressing region for pressing the leaf spring.

このような構成によれば、板バネ押圧部材が、板バネを押圧するとともに制御用回路基板を固定する。   According to such a configuration, the leaf spring pressing member presses the leaf spring and fixes the control circuit board.

3個以上の突起を備え、一方の面において、中央寄りに配置される突起の上端の高さは、周辺に配置される突起の上端の高さよりも低いものであってもよい。
板バネ押圧部材が半導体モジュールを固定している状態において、すべての突起の上端の高さが同一となってもよい。
所定の方向に配列される2個以上の押圧領域を備え、押圧領域は、それぞれ、所定の方向における両端に押圧縁を有し、板バネ押圧部材は、押圧縁において板バネを押圧してもよい。
板バネ押圧部材および半導体モジュールを厚さ方向に投影した場合に、板バネ押圧部材は、半導体モジュールに含まれるすべてのスイッチング素子に対応する位置に延在してもよい。
板バネは、半導体モジュールを冷却器に向けて付勢してもよい。
周縁部において、板バネ押圧部材を冷却器に固定するための固定構造を備えてもよい。
Three or more protrusions are provided, and on one surface, the height of the upper end of the protrusion disposed closer to the center may be lower than the height of the upper end of the protrusion disposed near the periphery.
In the state where the leaf spring pressing member fixes the semiconductor module, the heights of the upper ends of all the protrusions may be the same.
Two or more pressing areas arranged in a predetermined direction are provided, each of the pressing areas has a pressing edge at both ends in the predetermined direction, and the leaf spring pressing member presses the leaf spring at the pressing edge. Good.
When the leaf spring pressing member and the semiconductor module are projected in the thickness direction, the leaf spring pressing member may extend to positions corresponding to all the switching elements included in the semiconductor module.
The leaf spring may bias the semiconductor module toward the cooler.
You may provide the fixing structure for fixing a leaf | plate spring press member to a cooler in a peripheral part.

また、この発明に係る半導体装置は、上述の板バネ押圧部材と、半導体モジュールと、板バネとを備える。   A semiconductor device according to the present invention includes the above-described leaf spring pressing member, a semiconductor module, and a leaf spring.

本発明の板バネ押圧部材によれば、単一の部材が、板バネを押圧するとともに制御用回路基板を固定するので、半導体装置の全体を小型化することができる。   According to the leaf spring pressing member of the present invention, since the single member presses the leaf spring and fixes the control circuit board, the entire semiconductor device can be miniaturized.

本発明の実施の形態1に係る半導体装置の上面図である。1 is a top view of a semiconductor device according to a first embodiment of the present invention. 図1の半導体装置の正面部分断面図である。FIG. 2 is a front partial cross-sectional view of the semiconductor device of FIG. 1. 図1の半導体装置の、締結前の正面部分断面図である。It is a front fragmentary sectional view of the semiconductor device of FIG. 1 before fastening. 図1の冷却器の上面図である。It is a top view of the cooler of FIG. 図1の冷却器の上に半導体モジュールが配置された状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which the semiconductor module was arrange | positioned on the cooler of FIG. バネ押えブラケットを取り外した状態での、半導体装置の上面図である。It is a top view of a semiconductor device in the state where a spring retainer bracket was removed. (a)(b)(c)はそれぞれ、図1の板バネの構成を示す上面図、正面図および右側面図である。(A) (b) (c) is the top view, front view, and right view which respectively show the structure of the leaf | plate spring of FIG. (a)(b)はそれぞれ、図1のバネ押えブラケットの構成を示す正面断面図および底面図である。(A) and (b) are the front sectional view and bottom view which show the structure of the spring clamp bracket of FIG. 1, respectively.

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態1.
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
Embodiment 1 FIG.

図1および図2に、本発明の実施の形態1に係る半導体装置10の構成を示す。図1は上面図であり、図2は正面部分断面図である。半導体装置10は、たとえばインバータである。半導体装置10は、冷却器20と、複数の半導体モジュール30〜32と、板バネ40と、バネ押えブラケット50(板バネ押圧部材)とを備えている。バネ押えブラケット50は厚さ方向を有する。本実施形態では厚さ方向を上下方向にとり、添付図面では厚さ方向と平行にZ軸を置く。Z軸の正方向が上方向であり、負方向が下方向である。さらに、Z軸と垂直かつ互いに垂直な2方向にそれぞれX軸およびY軸を置く。本実施形態では、X軸はバネ押えブラケット50の長手方向すなわち左右方向と平行であり、Y軸はバネ押えブラケット50の幅方向すなわち奥行き方向と平行である。   1 and 2 show a configuration of a semiconductor device 10 according to the first embodiment of the present invention. 1 is a top view, and FIG. 2 is a partial front sectional view. The semiconductor device 10 is an inverter, for example. The semiconductor device 10 includes a cooler 20, a plurality of semiconductor modules 30 to 32, a leaf spring 40, and a spring retainer bracket 50 (leaf spring pressing member). The spring retainer bracket 50 has a thickness direction. In the present embodiment, the thickness direction is the vertical direction, and in the accompanying drawings, the Z-axis is placed in parallel with the thickness direction. The positive direction of the Z axis is the upward direction, and the negative direction is the downward direction. Further, an X axis and a Y axis are placed in two directions perpendicular to the Z axis and perpendicular to each other. In the present embodiment, the X-axis is parallel to the longitudinal direction of the spring retainer bracket 50, that is, the left-right direction, and the Y-axis is parallel to the width direction of the spring retainer bracket 50, that is, the depth direction.

半導体モジュール30〜32は、冷却器20の上に配置される。板バネ40は、半導体モジュール30〜32の上に配置され、半導体モジュール30〜32を冷却器20に向けて付勢し、これによって冷却器20に圧接するためのものである。バネ押えブラケット50は、板バネ40の上側に配置される。板バネ40およびバネ押えブラケット50は、半導体モジュール30〜32を固定するために用いられる。
なお、バネ押えブラケット50は理想剛体ではないため、実際には図2のように組み付けると中央部分が上側に反るが、図2ではこの反りは示さない。図3以降についても同様である。
The semiconductor modules 30 to 32 are disposed on the cooler 20. The leaf spring 40 is disposed on the semiconductor modules 30 to 32, and biases the semiconductor modules 30 to 32 toward the cooler 20, thereby pressing the semiconductor modules 30 to 32 against the cooler 20. The spring retainer bracket 50 is disposed on the upper side of the leaf spring 40. The leaf spring 40 and the spring retainer bracket 50 are used for fixing the semiconductor modules 30 to 32.
Since the spring retainer bracket 50 is not an ideal rigid body, the center portion warps upward when actually assembled as shown in FIG. 2, but this warpage is not shown in FIG. The same applies to FIG.

図3に、半導体装置10が締結される前の正面部分断面図を示す。バネ押えブラケット50は、図3に示す状態から、締結手段としてのネジ70により、図2に示すように冷却器20に締結固定される。バネ押えブラケット50と冷却器20との間には板バネ40および半導体モジュール30〜32が配置されているので、バネ押えブラケット50が板バネ押圧部材として板バネ40を下方向に押圧し、さらに板バネ40が半導体モジュール30〜32を下方向に付勢する。   FIG. 3 shows a partial front sectional view before the semiconductor device 10 is fastened. The spring retainer bracket 50 is fastened and fixed to the cooler 20 as shown in FIG. 2 by screws 70 as fastening means from the state shown in FIG. Since the plate spring 40 and the semiconductor modules 30 to 32 are disposed between the spring holding bracket 50 and the cooler 20, the spring holding bracket 50 presses the plate spring 40 downward as a plate spring pressing member. The leaf spring 40 biases the semiconductor modules 30 to 32 downward.

図4に、冷却器20の上面図を示す。冷却器20は長方形状をなし、その長辺がX軸方向に延びるとともに短辺がY軸方向に延びている。冷却器20は、図3に示すように薄く形成され、扁平型をなしている。図4に示すように、冷却器20の上面においてX軸方向での両端部に冷却水入口パイプ21と冷却水出口パイプ22が取り付けられている。   FIG. 4 shows a top view of the cooler 20. The cooler 20 has a rectangular shape, and its long side extends in the X-axis direction and its short side extends in the Y-axis direction. The cooler 20 is formed thin as shown in FIG. 3 and has a flat shape. As shown in FIG. 4, a cooling water inlet pipe 21 and a cooling water outlet pipe 22 are attached to both ends in the X-axis direction on the upper surface of the cooler 20.

冷却水入口パイプ21の付け根部位と冷却水出口パイプ22の付け根部位の間のX軸方向における長さは、200mm〜250mmに設定されている。また、冷却器20は、Y軸方向の寸法(幅)が50〜70mmであり、Z軸方向の寸法(厚さ)が6〜15mmである。なお、冷却器20の内部にはフィン部材が配置されており、このフィン部材によって冷媒流路が形成されている。   The length in the X-axis direction between the root portion of the cooling water inlet pipe 21 and the root portion of the cooling water outlet pipe 22 is set to 200 mm to 250 mm. The cooler 20 has a Y-axis dimension (width) of 50 to 70 mm and a Z-axis dimension (thickness) of 6 to 15 mm. A fin member is disposed inside the cooler 20, and a refrigerant flow path is formed by the fin member.

冷却器20の四隅にはブラケット取付部23が形成され、各ブラケット取付部23の上面にはボス(突起)24が形成されている。各ボス24にはネジ孔24aが形成されている。   Bracket mounting portions 23 are formed at the four corners of the cooler 20, and bosses (projections) 24 are formed on the upper surface of each bracket mounting portion 23. Each boss 24 is formed with a screw hole 24a.

図5に、冷却器20の上に半導体モジュール30〜32が配置された状態を示す。冷却器20の上部には、3個の半導体モジュール30〜32がX軸方向に並べて配置される。各半導体モジュール30〜32は、図2および図3等にも示すように、シリコーングリース33を介して冷却器20上に載置される。各半導体モジュール30〜32は、X軸方向の寸法(長さ)が40mm〜60mmであり、Y軸方向の寸法(幅)が50〜70mmである。各半導体モジュール30〜32の載置面を有する冷却器20の寸法は、載置する半導体モジュール30〜32の寸法および個数に応じて設定される。つまり、冷却器20の寸法は、冷却器20の上部に全ての半導体モジュール30〜32を平面的に搭載した時の領域(搭載領域)の寸法を基準に設定される。   FIG. 5 shows a state where the semiconductor modules 30 to 32 are arranged on the cooler 20. Three semiconductor modules 30 to 32 are arranged side by side in the X-axis direction above the cooler 20. Each of the semiconductor modules 30 to 32 is placed on the cooler 20 via the silicone grease 33 as shown in FIGS. Each of the semiconductor modules 30 to 32 has a dimension (length) in the X-axis direction of 40 mm to 60 mm and a dimension (width) in the Y-axis direction of 50 to 70 mm. The size of the cooler 20 having the mounting surface for each of the semiconductor modules 30 to 32 is set according to the size and the number of the semiconductor modules 30 to 32 to be mounted. That is, the size of the cooler 20 is set on the basis of the size of the region (mounting region) when all the semiconductor modules 30 to 32 are mounted on the top of the cooler 20 in a plane.

半導体モジュール30〜32は、たとえば直流を三相交流に変換するために用いられる。半導体モジュール30には、U相における上アーム構成用パワートランジスタと下アーム構成用パワートランジスタが内蔵(樹脂封止)されている。半導体モジュール31には、V相における上アーム構成用パワートランジスタと下アーム構成用パワートランジスタが内蔵(樹脂封止)されている。半導体モジュール32には、W相における上アーム構成用パワートランジスタと下アーム構成用パワートランジスタが内蔵(樹脂封止)されている。パワートランジスタは、たとえばMOSFETやIGBT等である。各半導体モジュール30〜32において、上アーム構成用パワートランジスタと下アーム構成用パワートランジスタとは直列に接続(結線)される。直列回路の一端(正極入力)と他端(負極入力)と両パワートランジスタ間(出力)が外部に接続されることになる。   The semiconductor modules 30 to 32 are used, for example, to convert direct current into three-phase alternating current. The semiconductor module 30 incorporates (resin-sealed) an upper arm configuration power transistor and a lower arm configuration power transistor in the U phase. The semiconductor module 31 incorporates (resin-sealed) an upper arm configuration power transistor and a lower arm configuration power transistor in the V phase. The semiconductor module 32 incorporates (resin-sealed) an upper arm configuration power transistor and a lower arm configuration power transistor in the W phase. The power transistor is, for example, a MOSFET or IGBT. In each of the semiconductor modules 30 to 32, the upper arm configuration power transistor and the lower arm configuration power transistor are connected (connected) in series. One end (positive input) and the other end (negative input) of the series circuit and between both power transistors (output) are connected to the outside.

各半導体モジュール30〜32の一辺には、板状の正極端子34と、板状の負極端子35と、板状の出力端子36とが設けられる。また、正極端子34、負極端子35および出力端子36と対向する一辺には、制御信号用ピン37が設けられる。これにより、半導体装置10では、電源ライン側の端子(正極端子34、負極端子35および出力端子36)が片方に集約配置される一方で、電源ライン側の端子と対向した状態で反対側の片方に制御信号用ピン37が集約配置されることになる。   A plate-like positive electrode terminal 34, a plate-like negative electrode terminal 35, and a plate-like output terminal 36 are provided on one side of each of the semiconductor modules 30 to 32. A control signal pin 37 is provided on one side facing the positive terminal 34, the negative terminal 35 and the output terminal 36. Thereby, in the semiconductor device 10, the terminals on the power supply line side (the positive terminal 34, the negative terminal 35, and the output terminal 36) are collectively arranged on one side, while the other side is opposed to the terminal on the power supply line side. Thus, the control signal pins 37 are collectively arranged.

図6に、バネ押えブラケット50を取り外した状態での、半導体装置10の上面図を示す。また、図7に板バネ40の構成を示す。図7(a)(b)(c)はそれぞれ板バネ40の上面図、正面図および右側面図である。板バネ40はたとえばバネ鋼板によって構成される。本実施形態では、板バネ40の長手方向はX軸と平行であり、バネ押えブラケット50の長手方向と一致する。   FIG. 6 shows a top view of the semiconductor device 10 with the spring retainer bracket 50 removed. FIG. 7 shows the configuration of the leaf spring 40. FIGS. 7A, 7B, and 7C are a top view, a front view, and a right side view of the leaf spring 40, respectively. The leaf spring 40 is made of, for example, a spring steel plate. In the present embodiment, the longitudinal direction of the leaf spring 40 is parallel to the X axis and coincides with the longitudinal direction of the spring retainer bracket 50.

板バネ40は、X軸方向に配列される複数の本体部を備える。図6および図7の例では、本体部43a〜43cは、半導体モジュール30〜32のそれぞれに対応する位置に設けられる。本体部43a〜43cは、それぞれ、水平に配置される平面状の中央部41a〜41cと、各中央部から幅方向両側下方に延びる両側部42a〜42cとを含む。両側部42a〜42cは半導体モジュールに接触し、冷却器20に向けて付勢する。   The leaf spring 40 includes a plurality of main body portions arranged in the X-axis direction. In the example of FIGS. 6 and 7, the main body portions 43 a to 43 c are provided at positions corresponding to the semiconductor modules 30 to 32, respectively. Each of the main body portions 43a to 43c includes a planar central portion 41a to 41c arranged horizontally, and both side portions 42a to 42c extending downward from each central portion in the width direction. Both side portions 42 a to 42 c are in contact with the semiconductor module and urged toward the cooler 20.

また、板バネ40は、X軸方向に配列される複数の延伸部を備える。図6および図7の例では、4つの延伸部44〜47が設けられている。延伸部44〜47は平面状であり、水平に配置される。延伸部44〜47および本体部43a〜43cは、X軸方向に交互に配置される。すなわち、板バネ40の長手方向両端は延伸部44および48によって構成され、中間の延伸部45および47はそれぞれ2つの本体部を連結する。板バネ40におけるX軸方向での両端部には取付用貫通孔48が形成されている。   The leaf spring 40 includes a plurality of extending portions arranged in the X-axis direction. In the example of FIGS. 6 and 7, four extending portions 44 to 47 are provided. The extending portions 44 to 47 are planar and are arranged horizontally. The extending portions 44 to 47 and the main body portions 43a to 43c are alternately arranged in the X-axis direction. That is, both ends in the longitudinal direction of the leaf spring 40 are constituted by the extending portions 44 and 48, and the intermediate extending portions 45 and 47 respectively connect the two main body portions. Mounting through holes 48 are formed at both ends of the plate spring 40 in the X-axis direction.

図8に、バネ押えブラケット50の構成を示す。図8(b)はバネ押えブラケット50の底面図であり、図8(a)は図8(b)のA−Aに沿った断面による正面断面図である。なおバネ押えブラケット50の上面図は図1に含まれる。
バネ押えブラケット50は、アルミ等の金属製板材よりなり、上面50aおよび下面50bを有する形状である。なお、ここで上面50aおよび下面50bは平面状のものに限らず、曲面を含んでもよいし、本実施形態のように凹凸を含んでもよい。
FIG. 8 shows the configuration of the spring retainer bracket 50. FIG. 8B is a bottom view of the spring retainer bracket 50, and FIG. 8A is a front cross-sectional view taken along a line AA in FIG. 8B. A top view of the spring retainer bracket 50 is included in FIG.
The spring retainer bracket 50 is made of a metal plate material such as aluminum and has a shape having an upper surface 50a and a lower surface 50b. Here, the upper surface 50a and the lower surface 50b are not limited to being planar, and may include a curved surface, or may include irregularities as in the present embodiment.

上面50aは、半導体装置10の外部の構造(たとえば図2および図3に示す制御用回路基板80)に対向して配置される面であり、下面50bは、板バネ40に対向して配置される面である。上面50aは、バネ押えブラケット50に制御用回路基板80を固定するための突起を備える。本実施形態では、この突起は8つのボス61〜68として構成される。ボス61〜68にはネジ溝が形成され、ネジ90(図3等参照)によって制御用回路基板80がバネ押えブラケット50に固定される。   The upper surface 50a is a surface disposed opposite to the external structure of the semiconductor device 10 (for example, the control circuit board 80 shown in FIGS. 2 and 3), and the lower surface 50b is disposed opposite the leaf spring 40. It is a surface. The upper surface 50 a includes a protrusion for fixing the control circuit board 80 to the spring retainer bracket 50. In the present embodiment, this protrusion is configured as eight bosses 61-68. Screw holes are formed in the bosses 61 to 68, and the control circuit board 80 is fixed to the spring pressing bracket 50 by screws 90 (see FIG. 3 and the like).

図8(a)に示すように、ボス61〜68のうち、上面50aにおいて中央寄りに配置されるもの(ボス62、63、66、67)の上端の高さは、周辺に配置されるもの(ボス61、64、65、68)の上端の高さよりもΔHだけ低い。ここで、「中央寄り」および「周辺」の意味は当業者であれば理解することができるが、たとえば、「中央寄りに配置されるボス」とは、バネ押えブラケット50を厚さ方向に投影した場合に、投影された図形の重心からの距離が所定値未満となるボスを意味してもよい。また、たとえば、「周辺に配置されるボス」とは、投影された図形の重心からの距離が所定値を超えるボスを意味してもよい。   As shown in FIG. 8 (a), among the bosses 61-68, the height of the upper ends (bosses 62, 63, 66, 67) of the bosses 61-68 that are arranged closer to the center are those arranged in the periphery. It is lower by ΔH than the height of the upper end of (bosses 61, 64, 65, 68). Here, the meaning of “center side” and “periphery” can be understood by those skilled in the art. For example, “boss arranged near the center” means that the spring retainer bracket 50 is projected in the thickness direction. In this case, it may mean a boss whose distance from the center of gravity of the projected figure is less than a predetermined value. Further, for example, “a boss arranged around” may mean a boss whose distance from the center of gravity of a projected figure exceeds a predetermined value.

バネ押えブラケット50は、周縁部において、バネ押えブラケット50を冷却器20に固定するための固定構造を備える。なお、周縁部とは、たとえばZ軸方向から見て半導体モジュール30〜32のいずれとも重複しない部分を意味する。本実施形態では、この固定構造は、四隅において外方向に延びるフランジ52として構成される。フランジ52にはそれぞれ貫通孔52aが形成される。バネ押えブラケット50は、冷却器20のボス24のネジ孔24aに対しネジ70を螺入することにより(図3、図6等参照)、冷却器20に締結固定される。
また、上述のボス61〜68の位置を表す「中央寄り」および「周辺」の意味は、周縁部に設けられる固定構造であるフランジ52に関して定義されてもよい。たとえば、「周辺に配置されるボス」とは、いずれかのフランジ52に比較的近い位置に配置されるボスを意味してもよく、また、「中央寄りに配置されるボス」とは、いずれのフランジ52からも比較的離れた位置に配置されるボスを意味してもよい。バネ押えブラケット50がフランジ52でもって冷却器20に固定されると、バネ押えブラケット50のうちフランジ52から離れた部位ほど上側に反るように変形するからである。
The spring retainer bracket 50 includes a fixing structure for fixing the spring retainer bracket 50 to the cooler 20 at the periphery. In addition, a peripheral part means the part which does not overlap with any of the semiconductor modules 30-32 seeing from a Z-axis direction, for example. In the present embodiment, this fixing structure is configured as a flange 52 that extends outward at the four corners. Each of the flanges 52 is formed with a through hole 52a. The spring retainer bracket 50 is fastened and fixed to the cooler 20 by screwing a screw 70 into the screw hole 24a of the boss 24 of the cooler 20 (see FIGS. 3 and 6).
In addition, the meanings of “center side” and “periphery” representing the positions of the bosses 61 to 68 described above may be defined with respect to the flange 52 that is a fixing structure provided at the peripheral edge. For example, the “boss arranged in the periphery” may mean a boss arranged in a position relatively close to any of the flanges 52, and the “boss arranged near the center” The boss | hub arrange | positioned in the position comparatively distant from the flange 52 of this may also be meant. This is because when the spring retainer bracket 50 is fixed to the cooler 20 with the flange 52, the portion of the spring retainer bracket 50 that is farther from the flange 52 is deformed to warp upward.

また、図8等に示すように、バネ押えブラケット50の下面50bには、板バネ40を保持するための板バネ保持部53が形成されている。
板バネ保持部53は、板バネ40の本体部43a〜43cにそれぞれ対応する位置に凹部54〜56を有するとともに延伸部44〜47にそれぞれ対応する位置に板バネ押圧部57〜60を有し、これらによって板バネ40を収容する。凹部54〜56および板バネ押圧部57〜60は、図8(a)に示すようにいずれも下面50bに窪みとして形成されるが、板バネ押圧部57〜60の深さは凹部54〜56よりも浅い。
Further, as shown in FIG. 8 and the like, a leaf spring holding portion 53 for holding the leaf spring 40 is formed on the lower surface 50b of the spring retainer bracket 50.
The leaf spring holding portion 53 has concave portions 54 to 56 at positions corresponding to the main body portions 43 a to 43 c of the leaf spring 40 and has leaf spring pressing portions 57 to 60 at positions corresponding to the extending portions 44 to 47, respectively. Thus, the leaf spring 40 is accommodated. The recesses 54 to 56 and the leaf spring pressing portions 57 to 60 are all formed as depressions in the lower surface 50b as shown in FIG. 8A, but the depth of the leaf spring pressing portions 57 to 60 is the recesses 54 to 56. Shallower than.

板バネ押圧部57〜60は、X軸方向に配列される。板バネ押圧部57〜60は、それぞれ平面からなる押圧領域を備え(本実施形態では板バネ押圧部57〜60それぞれの全体が押圧領域を構成する)、この押圧領域が板バネ40を押圧する。板バネ押圧部57〜60のX軸方向の長さは、それぞれW1〜W4である。   The leaf spring pressing portions 57 to 60 are arranged in the X-axis direction. Each of the leaf spring pressing portions 57 to 60 includes a flat pressing area (in this embodiment, each of the leaf spring pressing sections 57 to 60 constitutes a pressing area), and the pressing area presses the leaf spring 40. . The lengths of the leaf spring pressing portions 57 to 60 in the X-axis direction are W1 to W4, respectively.

板バネ押圧部57〜60はそれぞれ、X軸方向の一端または両端に、板バネ40と接触する押圧縁を有する。板バネ押圧部57は一端に押圧縁E1を有し、板バネ押圧部58は両端に押圧縁E2およびE3を有し、板バネ押圧部59は両端に押圧縁E4およびE5を有し、板バネ押圧部60は一端に押圧縁E6を有する。板バネ押圧部57〜60はいずれも平面であるが、押圧により板バネ40が下側に反るので、結果として、板バネ押圧部57〜60が板バネ40に接触する部位は押圧縁E1〜E6のみとなり、バネ押えブラケット50はこれらの押圧縁E1〜E6において板バネ40を押圧する。   Each of the leaf spring pressing portions 57 to 60 has a pressing edge that contacts the leaf spring 40 at one end or both ends in the X-axis direction. The leaf spring pressing portion 57 has a pressing edge E1 at one end, the leaf spring pressing portion 58 has pressing edges E2 and E3 at both ends, and the leaf spring pressing portion 59 has pressing edges E4 and E5 at both ends. The spring pressing portion 60 has a pressing edge E6 at one end. The plate spring pressing portions 57 to 60 are all flat, but the plate spring 40 is warped downward by pressing. As a result, the portion where the plate spring pressing portions 57 to 60 are in contact with the plate spring 40 is the pressing edge E1. The spring holding bracket 50 presses the leaf spring 40 at the pressing edges E1 to E6.

バネ押えブラケット50の下面50bにおいて、X軸方向での両端部には板バネ40の取付ピン69が形成されている。そして、取付ピン69に板バネ40の取付用貫通孔48(図7等参照)が挿入されて板バネ40が位置決めされる。   On the lower surface 50b of the spring retainer bracket 50, attachment pins 69 of the leaf spring 40 are formed at both ends in the X-axis direction. Then, a mounting through hole 48 (see FIG. 7 or the like) of the plate spring 40 is inserted into the mounting pin 69 to position the plate spring 40.

このようなバネ押えブラケット50の構成によれば、半導体モジュール30〜32の上側に配置される板バネ40は、バネ押えブラケット50の下面50bに形成した板バネ保持部53によって保持される。このとき、板バネ40は、バネ押えブラケット50が冷却器20に締結固定されることにより、上方から押し付けられ、変形させられる。また、これにより、各半導体モジュール30〜32は、板バネ40から受ける下方への付勢力によって下方に押し付けられることで、固定される。   According to such a configuration of the spring pressing bracket 50, the plate spring 40 disposed on the upper side of the semiconductor modules 30 to 32 is held by the plate spring holding portion 53 formed on the lower surface 50 b of the spring pressing bracket 50. At this time, the leaf spring 40 is pressed and deformed from above by the spring retainer bracket 50 being fastened and fixed to the cooler 20. Thereby, each of the semiconductor modules 30 to 32 is fixed by being pressed downward by the downward urging force received from the leaf spring 40.

図1等に示すように、バネ押えブラケット50の板バネ押圧部57の押圧縁E1と、板バネ40の中央部41aの中心との距離はL1である。以下同様に、板バネ押圧部58の一方の押圧縁E2と中央部41aの中心との距離はL2であり、板バネ押圧部58の他方の押圧縁E3と中央部41bの中心との距離はL3であり、板バネ押圧部59の一方の押圧縁E4と中央部41bの中心との距離はL4であり、板バネ押圧部59の他方の押圧縁E5と中央部41cの中心との距離はL5であり、板バネ押圧部60の押圧縁E6と中央部41cの中心との距離はL6である。   As shown in FIG. 1 etc., the distance between the pressing edge E1 of the leaf spring pressing portion 57 of the spring holding bracket 50 and the center of the central portion 41a of the leaf spring 40 is L1. Similarly, the distance between one pressing edge E2 of the leaf spring pressing portion 58 and the center of the central portion 41a is L2, and the distance between the other pressing edge E3 of the leaf spring pressing portion 58 and the center of the central portion 41b is as follows. L3, the distance between one pressing edge E4 of the leaf spring pressing portion 59 and the center of the central portion 41b is L4, and the distance between the other pressing edge E5 of the leaf spring pressing portion 59 and the center of the central portion 41c is L5, and the distance between the pressing edge E6 of the leaf spring pressing portion 60 and the center of the central portion 41c is L6.

バネ押えブラケット50は、半導体モジュール30〜32に対して板バネ40を介して押圧力を付与するから、その寸法は冷却器20と同様に、半導体モジュール30〜32の寸法および個数に応じて設定される。また、制御用回路基板80は、半導体モジュール30〜32の制御信号用ピン37と電気的に接続される。制御用回路基板80と半導体モジュール30〜32との間にはアルミ等の金属製板材よりなるバネ押えブラケット50が位置しており、バネ押えブラケット50がシールド材として機能する。即ち、バネ押えブラケット50は、シールド材を兼ねている。とくに、本実施形態では、図1等に示すように、バネ押えブラケット50が実質的に半導体モジュール30〜32の全体を覆うので、シールド効果が強力なものとなる。   Since the spring retainer bracket 50 applies a pressing force to the semiconductor modules 30 to 32 via the leaf springs 40, the dimensions thereof are set according to the dimensions and the number of the semiconductor modules 30 to 32 in the same manner as the cooler 20. Is done. The control circuit board 80 is electrically connected to the control signal pins 37 of the semiconductor modules 30 to 32. A spring retainer bracket 50 made of a metal plate such as aluminum is positioned between the control circuit board 80 and the semiconductor modules 30 to 32, and the spring retainer bracket 50 functions as a shield material. That is, the spring retainer bracket 50 also serves as a shield material. In particular, in this embodiment, as shown in FIG. 1 and the like, the spring retainer bracket 50 substantially covers the entire semiconductor modules 30 to 32, so that the shielding effect is strong.

半導体装置10は、下側から、冷却器20、半導体モジュール30〜32、板バネ40、バネ押えブラケット50の順に積層するように組み付けられ、バネ押えブラケット50の上に制御用回路基板80が取り付けられる。そして、半導体装置10は、板バネ40とバネ押えブラケット50の作用により、半導体モジュール30〜32が冷却器20の上面に圧接された状態で固定される。また、半導体装置10では、冷却器20の作用により、半導体モジュール30〜32が冷却される。   The semiconductor device 10 is assembled so that the cooler 20, the semiconductor modules 30 to 32, the leaf spring 40, and the spring retainer bracket 50 are stacked in this order from below, and the control circuit board 80 is mounted on the spring retainer bracket 50. It is done. The semiconductor device 10 is fixed in a state where the semiconductor modules 30 to 32 are pressed against the upper surface of the cooler 20 by the action of the leaf spring 40 and the spring holding bracket 50. In the semiconductor device 10, the semiconductor modules 30 to 32 are cooled by the action of the cooler 20.

次に、このように構成した半導体装置10の作用を説明する。
ネジ70によりバネ押えブラケット50が冷却器20に締結されると、半導体モジュール30〜32に荷重が発生する。バネ押えブラケット50では、押圧縁E1〜E6が、板バネ40に荷重を加える力点となる。押圧縁E1〜E6と、板バネ40の中央部41a〜41cの中心との距離L1〜L6を変更することにより、各半導体モジュール30〜32への荷重を調整することができる。たとえば、板バネ押圧部57〜60それぞれの中心位置を変更せずにX軸方向の長さW1〜W4を長くすると、距離L1〜L6がすべて減少するので、板バネ40が上側に反る余裕が全体的に減少し、荷重が増大する。
Next, the operation of the semiconductor device 10 configured as described above will be described.
When the spring retainer bracket 50 is fastened to the cooler 20 by the screw 70, a load is generated in the semiconductor modules 30 to 32. In the spring retainer bracket 50, the press edges E <b> 1 to E <b> 6 serve as force points for applying a load to the leaf spring 40. By changing the distances L1 to L6 between the pressing edges E1 to E6 and the centers of the central portions 41a to 41c of the leaf spring 40, the load on each of the semiconductor modules 30 to 32 can be adjusted. For example, if the lengths W1 to W4 in the X-axis direction are increased without changing the center positions of the leaf spring pressing portions 57 to 60, the distances L1 to L6 are all reduced, so that the leaf spring 40 can be warped upward. Decreases overall and the load increases.

また、板バネ40のX軸方向両端の延伸部44および47はそれぞれ単一の押圧縁E1およびE6からのみ荷重を受けるので片持ち梁状態となり、中央寄りの延伸部45および46はそれぞれ両側の押圧縁E2、E3およびE4、E5から荷重を受けるので両持ち梁状態となる。この場合、片持ち梁状態の押圧縁E1およびE6では比較的荷重が小さくなるが、荷重に応じて距離L1、L2、L5およびL6を距離L3,L4よりも小さく設計することにより、片持ち梁状態となることによる荷重減少を補償することができる。   Further, the extending portions 44 and 47 at both ends in the X-axis direction of the leaf spring 40 receive a load only from the single pressing edges E1 and E6, respectively, so that they are in a cantilever state. Since the load is received from the pressing edges E2, E3 and E4, E5, the beam is in a doubly supported state. In this case, the load is relatively small at the pressing edges E1 and E6 in the cantilever state, but by designing the distances L1, L2, L5 and L6 to be smaller than the distances L3 and L4 according to the load, the cantilever It is possible to compensate for the load reduction due to the state.

また、板バネ40を介して半導体モジュール30〜32に発生する荷重を、バネ押えブラケット50の形状変更により調整する必要がある場合、バネ押えブラケット50全体的形状を設計しなおす必要はなく、押圧縁E1〜E6の軸方向位置のみを変更することで容易に可能となる。これは、押圧部57〜60が配列方向の端部(一端または両端)において押圧縁E1〜E6を備えるので、押圧縁E1〜E6の軸方向位置を変更することにより、押圧縁E1〜E6と、板バネ40の中央部41a〜41cの中心との距離L1〜L6とが変化し、これに伴って板バネ40を介して発生する荷重が規則的に変化するからである。   In addition, when it is necessary to adjust the load generated in the semiconductor modules 30 to 32 via the leaf spring 40 by changing the shape of the spring retainer bracket 50, it is not necessary to redesign the overall shape of the spring retainer bracket 50. This can be easily achieved by changing only the axial positions of the edges E1 to E6. This is because the pressing portions 57 to 60 are provided with pressing edges E1 to E6 at end portions (one end or both ends) in the arrangement direction, and by changing the axial positions of the pressing edges E1 to E6, the pressing edges E1 to E6 and This is because the distances L1 to L6 with respect to the centers of the central portions 41a to 41c of the leaf spring 40 change, and the load generated via the leaf spring 40 regularly changes accordingly.

また、図8等に示すように、中央寄りのボス62、63、66、67の上端の高さは、周辺のボス61、64、65、68の上端の高さよりもΔHだけ低い。これによってバネ押えブラケット50の上側への反りを吸収し、組み付け時に制御用回路基板80の平面度を確保することができる。なお、中央寄りのボス62、63、66、67の上端と周辺のボス61、64、65、68の上端との高さの差ΔHは、半導体装置10および制御用回路基板80の組み付け時におけるバネ押えブラケット50の反りを考慮して当業者が適宜決定することができる。   Further, as shown in FIG. 8 and the like, the heights of the upper ends of the bosses 62, 63, 66, 67 closer to the center are lower than the heights of the upper ends of the peripheral bosses 61, 64, 65, 68 by ΔH. As a result, the upward warping of the spring retainer bracket 50 can be absorbed, and the flatness of the control circuit board 80 can be ensured during assembly. The difference in height ΔH between the upper ends of the central bosses 62, 63, 66, 67 and the upper ends of the peripheral bosses 61, 64, 65, 68 is determined when the semiconductor device 10 and the control circuit board 80 are assembled. A person skilled in the art can appropriately determine the warp of the spring retainer bracket 50.

なお、高さの差ΔHの調整を考慮しても、両端の半導体モジュール30および32と中央の半導体モジュール31とで押圧力がアンバランスになる場合がある。このような場合には、距離L1〜L6を変更することによって荷重を均一化することができる。   Even if the adjustment of the height difference ΔH is taken into consideration, the pressing force may be unbalanced between the semiconductor modules 30 and 32 at both ends and the semiconductor module 31 at the center. In such a case, the load can be made uniform by changing the distances L1 to L6.

また、バネ押えブラケット50は、冷却器20に対し、周縁部に設けられたフランジ52の貫通孔52aを介して固定されるため、冷却器20の中央部分や、半導体モジュール30〜32にボスや貫通孔等を設ける必要がなく、冷却器20および半導体モジュール30〜32の構成の自由度が高まる。たとえば、冷却器20が水冷式である場合には、冷却水が流動するための空洞を備えるので、中央部分にボスを設ける場合には強度の点で追加の考慮が必要となり、自由度が制限される。   Moreover, since the spring retainer bracket 50 is fixed to the cooler 20 through the through hole 52a of the flange 52 provided at the peripheral portion, a boss or a boss or the like is provided on the central portion of the cooler 20 or the semiconductor modules 30 to 32. There is no need to provide a through hole or the like, and the degree of freedom of the configuration of the cooler 20 and the semiconductor modules 30 to 32 is increased. For example, when the cooler 20 is a water-cooled type, it is provided with a cavity for the flow of cooling water. Therefore, when a boss is provided in the central portion, additional consideration is required in terms of strength, and the degree of freedom is limited. Is done.

上述の実施の形態1において、以下のような変形を施すことができる。   In the first embodiment described above, the following modifications can be made.

実施の形態1では半導体モジュールは3個用いたが、その数量については限定されず半導体装置の仕様(用途)に応じて適宜変更可能である。板バネ40についても同様であり、半導体モジュールの数に応じた数の本体部が形成されていればよい。   In the first embodiment, three semiconductor modules are used. However, the number of the semiconductor modules is not limited and can be changed as appropriate according to the specification (use) of the semiconductor device. The same applies to the leaf spring 40, as long as the number of body portions corresponding to the number of semiconductor modules is formed.

冷却器20は水冷式のものに限らず、空冷式のヒートシンクや放熱板(ブロック)等でもよい。
実施の形態1では半導体モジュール30〜32と冷却器20との間にシリコーングリース33を用いているが、放熱シート等の他の熱伝導部材でもよい。
The cooler 20 is not limited to a water-cooled type, and may be an air-cooled heat sink, a heat sink (block), or the like.
In the first embodiment, the silicone grease 33 is used between the semiconductor modules 30 to 32 and the cooler 20, but other heat conducting members such as a heat radiating sheet may be used.

実施の形態1ではバネ押えブラケット50は冷却器20に締結固定されるが、固定するための構造はこれに限らない。例えば、冷却器をケースに固定し、当該ケースにバネ押えブラケット50を固定してもよい。また、ネジ止めでなくカシメ等により固定してもよい。   In the first embodiment, the spring retainer bracket 50 is fastened and fixed to the cooler 20, but the structure for fixing is not limited thereto. For example, the cooler may be fixed to the case, and the spring holding bracket 50 may be fixed to the case. Moreover, you may fix by caulking etc. instead of screwing.

その他、構成部品の材質、形状等については、半導体装置の仕様(用途)に応じて適宜変更可能である。また、半導体装置の全体構成は、半導体装置の仕様(用途)に応じて適宜変更可能である。   In addition, the material, shape, and the like of the component can be appropriately changed according to the specification (use) of the semiconductor device. Further, the overall configuration of the semiconductor device can be changed as appropriate according to the specifications (uses) of the semiconductor device.

実施の形態1では8個のボス61〜68が設けられるが、ボスの数は3個以上であればよい。   Although eight bosses 61 to 68 are provided in the first embodiment, the number of bosses may be three or more.

実施の形態1では8個のボス61〜68のうち4個(ボス62、63、66、67)は中央寄りに配置され、他の4個(ボス61、64、65、68)は周辺に配置されているが、ボスの個数および配置はこれとは異なってもよい。どのような配置であっても、中央寄りのボスそれぞれの上端の高さが、周辺のボスの上端のうち最も高い位置にあるものより低ければ、実施の形態1と同様に制御用回路基板80の平面度を確保できる。
より好ましくは、バネ押えブラケット50が半導体モジュール30〜32を固定している状態において、すべてのボス61〜68の上端の高さが同一となるように構成される。または、バネ押えブラケット50が半導体モジュール30〜32を固定している状態において、すべてのボス61〜68の上端の高さが所定の範囲内に収まるように構成されてもよい。
In the first embodiment, four of the eight bosses 61 to 68 (bosses 62, 63, 66, 67) are arranged closer to the center, and the other four (bosses 61, 64, 65, 68) are arranged around Although arranged, the number and arrangement of the bosses may be different. Regardless of the arrangement, if the height of the upper end of each of the bosses near the center is lower than that at the highest position among the upper ends of the peripheral bosses, the control circuit board 80 as in the first embodiment. Flatness can be ensured.
More preferably, the upper ends of all the bosses 61 to 68 are configured to be the same in the state where the spring pressing bracket 50 fixes the semiconductor modules 30 to 32. Or, in a state where the spring retainer bracket 50 fixes the semiconductor modules 30 to 32, the heights of the upper ends of all the bosses 61 to 68 may be configured to fall within a predetermined range.

実施の形態1では4個の板バネ押圧部57〜60(または4個の押圧領域)が設けられるが、板バネ押圧部は2個以上であればよい。とくに、半導体モジュールの数に1を加えたものとすると、長手方向に配列される半導体モジュールの両端および各間隙に配置できるので好適である。   In the first embodiment, four leaf spring pressing portions 57 to 60 (or four pressing regions) are provided, but the number of leaf spring pressing portions may be two or more. In particular, when one is added to the number of semiconductor modules, it is preferable because the semiconductor modules can be arranged at both ends and in the gaps of the semiconductor modules arranged in the longitudinal direction.

実施の形態1ではバネ押えブラケット50が半導体モジュール30〜32の全体を覆っているが、必ずしも全体を覆わないものであってもよい。ノイズの主な発生源はスイッチング素子であるので、半導体モジュールのうち少なくともスイッチング素子が配置された位置または領域を覆う形状であれば、相応のシールド機能を得ることができる。すなわち、バネ押えブラケット50および半導体モジュール30〜32を厚さ方向(Z軸方向)に投影した場合に、半導体モジュール30〜32に含まれるすべてのスイッチング素子に対応する位置にバネ押えブラケット50延在する形状であればよい。   In the first embodiment, the spring retainer bracket 50 covers the whole of the semiconductor modules 30 to 32, but may not necessarily cover the whole. Since the main source of noise is a switching element, a corresponding shielding function can be obtained if the shape covers at least the position or region where the switching element is arranged in the semiconductor module. That is, when the spring retainer bracket 50 and the semiconductor modules 30 to 32 are projected in the thickness direction (Z-axis direction), the spring retainer bracket 50 extends to positions corresponding to all the switching elements included in the semiconductor modules 30 to 32. Any shape can be used.

10 半導体装置、20 冷却器、30〜32 半導体モジュール、33 シリコーングリース、40 板バネ(41a〜41c 中央部、42a〜42c 両側部、43a〜43c 本体部、44〜47 延伸部、48 取付用貫通孔)、50 ブラケット(板バネ押圧部材)、50a 上面(一方の面)、50b 下面(他方の面)、52 フランジ(板バネ押圧部材を冷却器に固定するための固定構造)、52a 貫通孔、53 板バネ保持部、54〜56 凹部、57〜60 板バネ押圧部(押圧領域)、61〜68 ボス(突起)、69 取付ピン、70 ネジ、80 制御用回路基板(外部の構造)、90 ネジ、E1〜E6 押圧縁。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Semiconductor device, 20 Cooler, 30-32 Semiconductor module, 33 Silicone grease, 40 Leaf spring (41a-41c center part, 42a-42c both sides, 43a-43c main body part, 44-47 extending | stretching part, 48 Through for attachment Hole), 50 bracket (plate spring pressing member), 50a upper surface (one surface), 50b lower surface (the other surface), 52 flange (fixing structure for fixing the leaf spring pressing member to the cooler), 52a through hole 53, leaf spring holding portion, 54-56 recess, 57-60 leaf spring pressing portion (pressing area), 61-68 boss (projection), 69 mounting pin, 70 screw, 80 control circuit board (external structure), 90 screws, E1-E6 pressing edges.

Claims (8)

半導体モジュールを固定するために用いられる、板バネ押圧部材であって、
前記板バネ押圧部材は、両面を有する形状であり、
前記両面のうち一方の面に、外部の構造を前記板バネ押圧部材に固定するための突起を備え、
前記両面のうち他方の面に、板バネを押圧する押圧領域を備える
板バネ押圧部材。
A leaf spring pressing member used for fixing a semiconductor module,
The leaf spring pressing member is a shape having both sides,
A projection for fixing an external structure to the leaf spring pressing member is provided on one of the two surfaces,
A leaf spring pressing member comprising a pressing area for pressing the leaf spring on the other surface of the both surfaces.
3個以上の前記突起を備え、
前記一方の面において、中央寄りに配置される前記突起の上端の高さは、周辺に配置される前記突起の上端の高さよりも低い、請求項1に記載の板バネ押圧部材。
Comprising three or more of the protrusions;
2. The leaf spring pressing member according to claim 1, wherein the height of the upper end of the protrusion disposed closer to the center is lower than the height of the upper end of the protrusion disposed near the one surface.
前記板バネ押圧部材が前記半導体モジュールを固定している状態において、すべての前記突起の上端の高さが同一となる、請求項2に記載の板バネ押圧部材。   3. The leaf spring pressing member according to claim 2, wherein heights of upper ends of all the protrusions are the same in a state where the leaf spring pressing member fixes the semiconductor module. 所定の方向に配列される2個以上の前記押圧領域を備え、
前記押圧領域は、それぞれ、前記所定の方向における両端に押圧縁を有し、
前記板バネ押圧部材は、前記押圧縁において前記板バネを押圧する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の板バネ押圧部材。
Comprising two or more pressing areas arranged in a predetermined direction;
Each of the pressing areas has pressing edges at both ends in the predetermined direction,
The leaf spring pressing member according to any one of claims 1 to 3, wherein the leaf spring pressing member presses the leaf spring at the pressing edge.
前記板バネ押圧部材および前記半導体モジュールを厚さ方向に投影した場合に、前記板バネ押圧部材は、前記半導体モジュールに含まれるすべてのスイッチング素子に対応する位置に延在する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の板バネ押圧部材。   The said leaf | plate spring press member and the said semiconductor module are extended in the position corresponding to all the switching elements contained in the said semiconductor module when the said semiconductor module is projected in the thickness direction. The leaf | plate spring press member as described in any one of these. 前記板バネは、前記半導体モジュールを冷却器に向けて付勢する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の板バネ押圧部材。   The said leaf | plate spring is a leaf | plate spring press member as described in any one of Claims 1-5 which urges | biases the said semiconductor module toward a cooler. 周縁部において、前記板バネ押圧部材を前記冷却器に固定するための固定構造を備える、請求項6に記載の板バネ押圧部材。   The leaf spring pressing member according to claim 6, further comprising a fixing structure for fixing the leaf spring pressing member to the cooler at a peripheral portion. 請求項1〜7のいずれか一項に記載の板バネ押圧部材と、前記半導体モジュールと、前記板バネとを備える、半導体装置。   A semiconductor device comprising the leaf spring pressing member according to claim 1, the semiconductor module, and the leaf spring.
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