JP2014038284A - 撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】前ピンセンサと後ピンセンサが検出するサンプルの領域が異なる場合においても、サンプルの合焦精度を向上し、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
【解決手段】光学系は、サンプル101の像を第1平面に結像し、サンプル101の一部の前ピン像を第2平面に投影し、サンプル101の一部の後ピン像を第3平面に投影する。コントラスト値算出部112は、第2平面に入射された光の第1コントラスト値と第3平面に入射された光の第2コントラスト値とを出力する。合焦部は、第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、第1合焦点候補および第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出する。
【選択図】図1
【解決手段】光学系は、サンプル101の像を第1平面に結像し、サンプル101の一部の前ピン像を第2平面に投影し、サンプル101の一部の後ピン像を第3平面に投影する。コントラスト値算出部112は、第2平面に入射された光の第1コントラスト値と第3平面に入射された光の第2コントラスト値とを出力する。合焦部は、第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、第1合焦点候補および第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出する。
【選択図】図1
Description
本発明は、撮像装置に関する。
従来、顕微鏡等の光学機器では、生物標本等のサンプルからの光を受光素子へ照射し、その受光素子から出力される信号からサンプルのコントラスト値を検出し、その検出したコントラスト値に基づいてサンプルの合焦点を算出するコントラストAF(Autofocus、オートフォーカス)制御が用いられている。
例えば、コントラストAFの方式の一つとして、光軸方向にレンズを移動させながら、撮像素子で取得した画像信号のコントラスト値を検出し、そのコントラスト値が最大となる位置を合焦点と判定する山登りサーボ方式が知られている(例えば、特許文献1参照)。山登りサーボ方式では、合焦点に向けたレンズの駆動方向が分からず、コントラスト値の増加や減少を検出しながら、そのコントラスト値が最大となる位置を検出しなければならないために、合焦点を検出するまでに時間がかかる。
一方、山登りサーボ方式の弱点を改善したコントラストAFの方式として知られている光路差方式は、検出したコントラスト値により合焦点に向けたレンズの駆動方向を常に判定しながら合焦制御を行うことができる(例えば、特許文献2参照)。光路差方式では、予定合焦点に対して光軸方向の共役な前後2ヶ所に前ピンセンサと後ピンセンサの受光素子を配置し、前ピンセンサと後ピンセンサに投影されたサンプルのコントラスト値の差分を検出し、検出したコントラスト値の差分値が0となる位置を合焦点として検出する。ここで、前ピンセンサとは、サンプルの前ピン像が投影され、予定合焦点に対して後側に配置されたセンサである。一方、後ピンセンサとは、サンプルの後ピン像が投影され、予定合焦点に対して前側の位置に配置されたセンサである。
上述した光路差方式について、図7と図8とを用いて説明する。図7は、従来知られている前ピンセンサと後ピンセンサとが検出したサンプルのコントラスト値の特性を示したグラフである。図示するグラフの横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はコントラスト値を示す。曲線701は、デフォーカス量と前ピンセンサのコントラスト値との関係を示す。また、曲線702は、デフォーカス量と後ピンセンサのコントラスト値との関係を示す。
図8は、従来知られている、前ピンセンサが検出したコントラスト値から後ピンセンサが検出したコントラスト値を差分した特性を示したグラフである。図示するグラフの横軸はデフォーカス量を示し、縦軸は前ピンセンサが検出したコントラスト値から後ピンセンサが検出したコントラスト値を差分した値(以下、「差分コントラスト値」という)を示す。曲線801は、デフォーカス量と差分コントラスト値との関係を示す。
図7に示すように、前ピンセンサが検出したコントラスト値は合焦点からマイナス方向へ離れた位置で最大となり、後ピンセンサが検出したコントラスト値は合焦点からプラス方向へ離れた位置で最大となる。このとき、前ピンセンサと後ピンセンサの位置を予定合焦点から等距離に配置すると、前ピンセンサが検出したコントラスト値と後ピンセンサが検出したコントラスト値が最大となる位置はそれぞれ合焦点から等距離の位置となる。よって、前ピンセンサと後ピンセンサが検出したコントラスト値が一致する位置は合焦点となる。
すなわち、図8に示すように、前ピンセンサが検出したコントラスト値から後ピンセンサが検出したコントラスト値を差分した値(差分コントラスト値)が0となる位置は合焦点となる。また、サンプルが合焦点より対物レンズ側に近い場合には、差分コントラスト値が正となる。一方、サンプルが合焦点より反対物レンズ側へ離れている場合には、差分コントラスト値が負となる。従って、光路差方式による合焦制御では、差分コントラスト値を検出し、その差分コントラスト値の極性に応じた方向に基づいて対物レンズもしくはステージを移動させる。そして、上述した動作を差分コントラスト値が0に最接近するまで繰り返し行うことによって、合焦点を検出する。
上述した光路差方式を用いて、サンプル全体を高解像度のデジタル画像で取得できる顕微鏡装置が知られている(例えば、特許文献3参照)。図9は、従来知られている顕微鏡装置の構成を示した概略図である。図示する例では、顕微鏡装置900は、ステージ902と、光源903と、コンデンサレンズ904と、対物レンズ905と、光路分割装置906と、第1の結像レンズ907と、第2の結像レンズ908と、分割プリズム909と、撮像素子910と、ラインセンサ911と、コントラスト値算出部912と、差分コントラスト値算出部913と、水平駆動信号生成部914とを備えている。また、ラインセンサ911は、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112とを備えている。なお、図示する例では、光源903と、コンデンサレンズ904と、対物レンズ905と、光路分割装置906と、第1の結像レンズ907と、撮像素子910とが並んでいる方向、すなわち光源903の発した光が撮像素子910に入射する方向(光軸方向)をZ軸方向とし、ステージ902の平面をXY平面とする。
ステージ902に設置されているサンプル901には、光源903からの照明光がコンデンサレンズ904を通して照射されている。サンプル901の透過光は、対物レンズ905を通して、光路分割装置906に入射される。光路分割装置906に入射したサンプル901の透過光は、一部は光路分割装置906で透過して、第1の結像レンズ907により撮像素子910に入射される。撮像素子910は、合焦動作完了後に、第1の結像レンズ907により結像されたサンプル901の透過光の像を撮像する。
一方、光路分割装置906で反射した光は、第2の結像レンズ908に導かれる。第2の結像レンズ908を通過した光は分割プリズム909で2分割され、これら2つの光が平行な状態でラインセンサ911に入射される。ラインセンサ911に入射する2つの光は、第2の結像レンズ908の出射面からラインセンサ911に至るまでの光路長が異なる。この時、ラインセンサ911の受光面には、予定合焦点に対して光軸方向に共役な2つの光像(前ピン像、後ピン像)が投影される。
ラインセンサ911は、投影された光像(前ピン像と後ピン像)の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出する。ラインセンサ911により検出された信号は、コントラスト値算出部912に送信される。コントラスト値算出部912は、ラインセンサ911より出力された信号から前ピン像と後ピン像のコントラスト値を算出する。コントラスト値算出部912により算出された前ピン像と後ピン像のコントラスト値は、差分コントラスト値算出部913に送信される。
差分コントラスト値算出部913は、コントラスト値算出部912より出力された前ピン像と後ピン像のコントラスト値を用いて、差分コントラスト値を算出する。そして、その算出結果より、光軸方向における対物レンズ905の移動量と方向を算出し、駆動信号を生成する。差分コントラスト値算出部913により生成された駆動信号は、対物レンズ905に送信される。対物レンズ905は、差分コントラスト値算出部913により生成された駆動信号に基づいて、光軸方向に所定の距離だけ移動する。
例えば、算出された差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内の場合、差分コントラスト値算出部913は合焦状態であると判定し、駆動信号を生成せず、合焦動作を完了する。一方、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以上の場合、差分コントラスト値算出部913は非合焦状態であると判定し、差分コントラスト値の極性に基づいて、光軸方向における対物レンズ905の移動量と方向を算出し、駆動信号を生成する。そして、対物レンズ1005が光軸方向に移動した後、再びラインセンサ911は前ピン像と後ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出する。次に、ラインセンサ911により検出された信号は、コントラスト値算出部912にて前ピン像と後ピン像のコントラスト値が算出され、差分コントラスト値算出部913にて差分コントラスト値を算出し、合焦状態であるかを判定する。そして、上述した動作を差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内になるまで繰り返し行い、合焦点を検出する。
撮像素子910は、合焦動作が完了した後に、サンプル901の所定の領域を撮像する。撮像素子910がサンプル901の所定の領域を撮像した後、水平駆動信号生成部914から送信された水平信号により、ステージ902を水平方向に所定量だけ移動させる。このときのステージ902の水平方向の移動間隔は、撮像素子910で撮影されるサンプル901の撮像領域同士が重なり合うか、もしくは隣り合うように調整される。
ステージ902を水平方向に移動させた後、サンプル901の合焦点を検出し、撮像素子910によりサンプル901の所定の領域を撮像する。そして、撮像素子910により撮像されたそれぞれの分割画像を合成することによって、サンプル901全体を含む一枚のデジタル画像を生成する。
例えば、図10に示すようなサンプル901全体を含む一枚のデジタル画像を生成する方法について示す。図10は、従来知られているサンプル901全体を含む一枚のデジタル画像を示した概略図である。図示する例では、9つの分割画像からサンプル901の全体を含む一枚のデジタル画像を生成する場合の例を示している。
初めに、観察対象のサンプル901の全体を含む領域は、撮像素子910によって撮像される9つの小領域X1Y1、X2Y1、・・・X3Y3に分割される。次に、それぞれの小領域ごとに合焦制御を行いながら、撮像素子910がX1Y1、X2Y1、X3Y1、X3Y2、X2Y2、X1Y2、X1Y3、X2Y3、X3Y3と順次撮像する。ここで、撮像素子910がn番目の領域を撮像する動作を「第nショット目」とする。すなわち、撮像素子910がX1Y1、X2Y1の領域を撮像する動作を第1ショット目、第2ショット目と呼ぶ。そして、ソフトウェアによる画像合成技術を用いることによって、撮像素子910が撮像した9枚の分割画像から、サンプル901の全体を高解像度に撮像した1枚のデジタル画像を生成する。
光路差方式では、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112とのそれぞれが、等しいXY領域のサンプル901の前ピン像と後ピン像を検出するように光学調整を行う必要がある。しかしながら、光路分割装置906や分割プリズム909の角度などを高精度に調整し、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112とが検出するサンプル901のXY領域が完全に同領域となるように合わせることは困難である。そして、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112が検出するサンプル901のXY領域が異なった場合、AF精度が低下し、ピントが合った鮮明な撮影画像を取得することができない場合がある。
上記課題について図11と図12とを用いて具体的に説明する。図11は、従来知られている前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112が検出するサンプル901のXY領域が異なる場合における、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112が検出するサンプル901のXY領域の一例を示した概略図である。図11において、撮像領域1101は、撮像素子910が撮像するサンプル901のXY領域を示す。また、前ピンセンサ9111の検出領域1102は、前ピンセンサ9111が検出するサンプル901のXY領域を示す。また、後ピンセンサ9112の検出領域1103は、後ピンセンサ9112が検出するサンプル901のXY領域を示す。また、領域1104は、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112が共に検出するサンプル901のXY領域を示す。また、領域1105は、前ピンセンサ9111のみが検出するサンプル901のXY領域を示す。また、領域1106は、後ピンセンサ9112のみが検出するサンプル901のXY領域を示す。また、組織1107は、大きさが約5umである細胞核などのようなコントラスト値が高い組織を示す。図示する例では、組織1107は前ピンセンサ9111のみが検出するサンプル901の領域1105に存在する。
図12は、従来知られている前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112とが検出した、図11に示したサンプル901のコントラスト値の特性を示したグラフである。図示するグラフの横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はコントラスト値を示す。曲線1211は、デフォーカス量と前ピンセンサ9111のコントラスト値との関係を示す。また、曲線1212は、デフォーカス量と後ピンセンサ9112のコントラスト値との関係を示す。
図12において、サンプル901の真の合焦点1201は、前ピンセンサ9111のコントラスト値がピーク値をもつ位置1202と、後ピンセンサ9112のコントラスト値がピーク値をもつ位置1203との中間地点である。ここで、顕微鏡装置900では、対物レンズ905を真の合焦点1201より光軸方向の前後に駆動したとしても、撮影画像にピントが合っている範囲(被写界深度)が存在する。したがって、図12において、撮影画像にピントが合う範囲は合焦範囲1204となる。
しかしながら、図11に示すように、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112が検出するサンプル901のXY領域が異なり、前ピンセンサ9111のみが検出するサンプル901の領域1105、もしくは後ピンセンサ9112のみが検出する領域1106にのみコントラスト値の高い組織が分布する場合、前ピンセンサ9111のコントラスト値の特性と後ピンセンサ9112のコントラスト値の特性が大きく異なる。そのため、合焦動作により検出される合焦点1205が合焦範囲1204より外れた位置となり、図12に示した例では、検出される合焦点1205となる。この場合、検出される合焦点1205は合焦範囲1204に含まれていないため、ピントが合った鮮明な撮影画像を取得することができないという問題がある。
このように、光路差方式を用いた顕微鏡装置900では、前ピンセンサ9111と後ピンセンサ9112とが検出するサンプル901のXY領域が異なる場合、分割画像を撮像する際に精度良く合焦点を検出することができない可能性がある。そのため、ピントが合った撮影画像を取得することができない可能性があるという問題がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、前ピンセンサと後ピンセンサが検出するサンプルの領域が異なる場合においても、サンプルの合焦精度を向上し、ピントが合った撮影画像を取得することが可能な撮像装置を提供することを目的とする。
本発明は、サンプルの像を第1平面に結像し、前記サンプルの少なくとも一部の前ピン像を第2平面に投影し、前記サンプルの少なくとも一部の後ピン像を第3平面に投影する光学系と、前記第1平面に入射された光に基づいた像を撮像する撮像部と、前記第2平面に入射された光の第1コントラスト値と前記第3平面に入射された光の第2コントラスト値とを出力するコントラスト検出部と、前記第1コントラスト値と前記第2コントラスト値とに基づいて、前記サンプルと前記光学系との相対位置を順次変化させ、前記第1コントラスト値と前記第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、前記第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と前記第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、前記第1合焦点候補および前記第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出する合焦部と、を備えることを特徴とする撮像装置である。
また、本発明の撮像装置において、前記合焦部は、前記第1コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第1コントラスト特性を予測し、前記第2コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第2コントラスト特性を予測し、前記第1コントラスト特性がピーク値をもつ第1デフォーカス量と前記第2コントラスト特性がピーク値をもつ第2デフォーカス量との中間位置を、前記第2合焦点候補として算出することを特徴とする。
また、本発明の撮像装置において、前記合焦部は、前記第1コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第1コントラスト特性を予測し、前記第2コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第2コントラスト特性を予測し、前記第1コントラスト特性のピーク値と前記第2コントラスト特性のピーク値とが揃うように前記第1コントラスト特性と前記第2コントラスト特性との少なくとも一方を調整し、調整後の前記第1コントラスト特性と前記第2コントラスト特性との差が所定の値になる位置を前記第2合焦点候補として算出することを特徴とする。
また、本発明は、前記サンプルを設置するステージと、前記ステージと前記光学系との相対位置を順次変化させ、前記撮像装置に前記サンプルの異なる部分を順次撮影させる駆動制御部と、を備え、前記合焦部は、前記第1合焦点候補と前記第2合焦点候補のうち、直前の撮影時に設定された前記合焦点に近いいずれか一方を前記合焦点とすることを特徴とする撮像装置である。
本発明によれば、光学系は、サンプルの像を第1平面に結像し、サンプルの少なくとも一部の前ピン像を第2平面に投影し、サンプルの少なくとも一部の後ピン像を第3平面に投影する。また、撮像部は、第1平面に入射された光に基づいた像を撮像する。また、コントラスト検出部は、第2平面に入射された光の第1コントラスト値と第3平面に入射された光の第2コントラスト値とを出力する。また、合焦部は、第1コントラスト値と第2コントラスト値とに基づいて、サンプルと光学系との相対位置を順次変化させ、第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、第1合焦点候補および第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出する。
この構成により、第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、第1合焦点候補および第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出することができる。従って、第2平面に結像されるサンプルの領域と第3平面に結像されるサンプルの領域が異なる場合においても、サンプルの合焦精度を向上し、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態における顕微鏡装置100の構成を示した概略図である。図示する例では、顕微鏡装置100は、ステージ102と、光源103と、コンデンサレンズ104と、対物レンズ105と、光路分割装置106と、第1の結像レンズ107と、第2の結像レンズ108と、分割プリズム109と、撮像素子110(撮像部)と、AF信号検出素子111と、コントラスト値算出部112(コントラスト検出部)と、差分コントラスト値算出部113と、位置情報検出部114と、第1の合焦点検出部115と、メモリ部116と、第2の合焦点検出部117と、判定部118と、水平駆動信号生成部119と、画像処理部120とを備えている。
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態における顕微鏡装置100の構成を示した概略図である。図示する例では、顕微鏡装置100は、ステージ102と、光源103と、コンデンサレンズ104と、対物レンズ105と、光路分割装置106と、第1の結像レンズ107と、第2の結像レンズ108と、分割プリズム109と、撮像素子110(撮像部)と、AF信号検出素子111と、コントラスト値算出部112(コントラスト検出部)と、差分コントラスト値算出部113と、位置情報検出部114と、第1の合焦点検出部115と、メモリ部116と、第2の合焦点検出部117と、判定部118と、水平駆動信号生成部119と、画像処理部120とを備えている。
なお、図示する例では、光源103と、コンデンサレンズ104と、対物レンズ105と、光路分割装置106と、第1の結像レンズ107と、撮像素子110とが並んでいる方向、すなわち光源103の発した光が撮像素子110に入射する方向(光軸方向)をZ軸方向とし、ステージ102の平面をXY平面とする。
また、例えば、コンデンサレンズ104と、対物レンズ105と、光路分割装置106と、第1の結像レンズ107と、第2の結像レンズ108と、分割プリズム109とが、請求項における光学系に相当する。また、例えば、第1の合焦点検出部115と、メモリ部116と、第2の合焦点検出部117と、判定部118とが、請求項における合焦部に相当する。
ステージ102は、サンプル101を載置するための台であり、水平駆動信号生成部119が出力する水平信号に基づいて、水平方向(図中の直交するX軸方向とY軸方向)に移動する。光源103は照明光を発する。コンデンサレンズ104は、光源103が発した光を集光してサンプル101に照射する。これにより、ステージ102に設置されているサンプル101には、光源103からの照明光がコンデンサレンズ104を通して照射される。
対物レンズ105は、サンプル101に対向するように配置されている。また、対物レンズ105はサンプル101からの光束を集光させ、光路分割装置106に照射する。これにより、サンプル101の透過光は光路分割装置106に照射される。光路分割装置106はハーフミラーなどであり、照射されたサンプル101の透過光の一部を第2の結像レンズ108の方向に反射し、一部を第1の結像レンズ107の方向に透過する。
第1の結像レンズ107は、光路分割装置106が透過したサンプル101からの光を撮像素子110の撮像面(第1平面)上に結像させる。これにより、サンプル101からの透過光の一部は、対物レンズ105と、光路分割装置106と、第1の結像レンズ107とを介して撮像素子110に入射される。撮像素子110は、合焦動作完了後に、第1の結像レンズ107により撮像面上に結像されたサンプル101の所定の領域の部分画像を撮像する。なお、撮像素子110が撮像した部分画像(画像信号)は、画像処理部120に入力される。
第2の結像レンズ108は、対物レンズ105が集光した光のうち、光路分割装置106が反射した光を分割プリズム109に照射する。これにより、サンプル101からの光は、分割プリズム109に導かれる。
分割プリズム109は、照射されたサンプル101からの光の一部を透過し、一部を分割プリズム109内で反射させることで、サンプル101からの光を2分割し、分割した光を平行な状態でAF信号検出素子111の前ピンセンサ1111の受光面(第2平面)と、後ピンセンサ1112の受光面(第3平面)とに照射する。なお、分割プリズム109が透過した光の光路を光路Aとし、分割プリズム109が反射した光の光路を光路Bとする。なお、光路Bは分割プリズム109内で光を反射する光路であるため、光路Bの光路長は光路Aの光路長よりも長い。
また、AF信号検出素子111が備える画素のうち、光路Aに導かれた光が入射する画素の集合を後ピンセンサ1112とし、光路Bに導かれた光が入射する画素の集合を前ピンセンサ1111とする。従って、AF信号検出素子111の受光面である前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とには、予定合焦点に対して光軸方向に共役な2つの光像(前ピン像、後ピン像)が投影される。前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とはそれぞれ、投影された前ピン像と後ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を出力する。なお、AF信号検出素子111が出力した信号は、コントラスト値算出部112に入力される。
コントラスト値算出部112は、AF信号検出素子111が出力した信号を解析し、前ピン像のコントラスト値(第1コントラスト値)と後ピン像のコントラスト値(第2コントラスト値)とを算出する。コントラスト値算出部112は、算出した前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値を、差分コントラスト値算出部113とメモリ部116とに対して出力する。
差分コントラスト値算出部113は、前ピン像のコントラスト値から後ピン像のコントラスト値を差分し、差分コントラスト値を算出する。また、差分コントラスト値算出部113は、差分コントラスト値に基づいて、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点であるか否かを判定し、第1の合焦点ではないと判定した場合には対物レンズ105を駆動させる駆動信号を生成する。そして、差分コントラスト値算出部113は、生成した駆動信号を対物レンズ105に対して出力する。また、差分コントラスト値算出部113は、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点であると判定した場合には駆動信号を生成しない。なお、差分コントラスト値算出部113が判定する第1の合焦点は、従来の光路差方式と同様に、差分コントラスト値を解析することによって検出されたサンプル101の仮の合焦点である。
例えば、差分コントラスト値算出部113は、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以上の場合、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点ではないと判定し、光軸方向における対物レンズ105の移動量と方向を算出し、駆動信号を生成する。一方、差分コントラスト値算出部113は、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内の場合、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点であると判定し、駆動信号を生成しない。
対物レンズ105は、差分コントラスト値算出部113が生成した駆動信号に基づいて、光軸方向(図中のZ軸方向)に所定の距離だけ移動する。ここで、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点でないと判定され、対物レンズ105が光軸方向に移動した場合、再びAF信号検出素子111は前ピン像と後ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出する。そして、コントラスト値算出部112が前ピン像と後ピン像のコントラスト値を算出し、差分コントラスト値算出部113が差分コントラスト値を算出し第1の合焦点を検出したかを判定する。上述した動作を第1の合焦点が検出されるまで、繰り返し行う。
位置情報検出部114は、対物レンズ105の位置情報を検出する。位置情報検出部114は、検出した対物レンズ105の位置情報を、第1の合焦点検出部115とメモリ部116とに対して出力する。第1の合焦点検出部115は、差分コントラスト値算出部113が第1の合焦点を検出したと判定したときに、位置情報検出部114が検出した対物レンズ105の位置情報を第1の合焦点として検出する。第1の合焦点検出部115は、検出した第1の合焦点を示す情報を判定部118に対して出力する。
メモリ部116は、コントラスト値算出部112が出力した前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値と、位置情報検出部114が出力した対物レンズ105の位置情報とを記憶する。また、メモリ部116は、記憶している前ピン像のコントラスト値と、後ピン像のコントラスト値と、対物レンズ105の位置情報とを第2の合焦点検出部117に対して出力する。
第2の合焦点検出部117は、メモリ部116が出力した前ピン像のコントラスト値と、後ピン像のコントラスト値と、対物レンズ105の位置情報とを解析することによって、第2の合焦点を検出する。第2の合焦点検出部117は、検出した第2の合焦点を示す情報を、判定部118に対して出力する。ここで、第2の合焦点は、前ピン像のコントラスト値と、後ピン像のコントラスト値と、対物レンズ105の位置情報とを解析することによって検出された、サンプル101の仮の合焦点である。なお、第2の合焦点検出部117が第2の合焦点を検出する詳細手順に関しては後述する。
判定部118は、第1の合焦点検出部115が出力する第1の合焦点を示す情報と、第2の合焦点検出部117が出力する第2の合焦点を示す情報とに基づいて、第1の合焦点と第2の合焦点のうち、どちらが真の合焦点であるかを判定する。また、判定部118は、真の合焦点の判定結果に基づいて、対物レンズ105の焦点が真の合焦点となる位置に移動するように補正用駆動信号を生成する。なお、判定部118が第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを判定する詳細手順に関しては後述する。また、判定部118は、生成した補正用駆動信号を対物レンズ105に対して出力する。
対物レンズ105は、判定部118が出力した補正用駆動信号に基づいて、光軸方向に所定の距離だけ移動する。このときの対物レンズ105の焦点が真の合焦点である。そして、判定部118は、合焦動作が完了したときの対物レンズ105の位置を記憶する。撮像素子110は、対物レンズ105の焦点が真の合焦点に移動した後、すなわち合焦動作が完了した後、第1の結像レンズ107により撮像面上に結像されたサンプル101の所定の領域を撮像する。
水平駆動信号生成部119は、撮像素子110がサンプル101の所定の領域を撮像した後、水平信号を出力する。ステージ102は、水平信号に基づいて水平方向に所定量だけ移動する。このときのステージ102の水平方向の移動間隔は、撮像素子110で撮影されるサンプル101の撮像領域同士が重なり合うか、もしくは隣り合うように調整される。ステージ102が水平方向に移動した後、上述した処理によりサンプル101の合焦点を検出し、撮像素子110は、サンプル101の所定の領域を撮像する。そして、画像処理部120は、撮像素子110が撮像した複数の分割画像を合成することによって、サンプル101全体の一枚のデジタル画像を生成する。
次に、第2の合焦点検出部117が第2の合焦点を検出する方法について、図2と図3を用いて示す。図2は、本実施形態において、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合における、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出するサンプル101のXY領域の一例を示した概略図である。撮像領域201は、撮像素子110が撮像するサンプル101のXY領域を示す。前ピンセンサの検出領域202は、前ピンセンサ1111が検出するサンプル101のXY領域を示す。後ピンセンサの検出領域203は、後ピンセンサ1112が検出するサンプル101のXY領域を示す。領域204は、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが共に検出するサンプル101のXY領域を示す。領域205は、前ピンセンサ1111のみが検出するサンプル101のXY領域を示す。領域206は、後ピンセンサ1112のみが検出するサンプル101のXY領域を示す。組織207は、細胞核などのようなコントラスト値が高い組織である。図示する例では、組織207は、前ピンセンサ1111のみが検出する領域205に存在している。
図3は、前ピンセンサ1111が検出するサンプル101のXY領域と、後ピンセンサ1112が検出するサンプル101のXY領域とが異なる場合において、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値の特性を示したグラフである。図示するグラフの横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はコントラスト値を示す。
図3において、a1、a2、およびa3は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値を示す。b1、b2、およびb3は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値を示す。なお、a1とb1、a2とb2、およびa3とb3は、デフォーカス量が等しい時に、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値である。また、曲線301は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値a1、a2、およびa3に対してガウス分布で近似した曲線であり、デフォーカス量と前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値との関係を示す。また、曲線302は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値b1、b2、およびb3に対してガウス分布で近似した曲線であり、デフォーカス量と後ピンセンサ1112のコントラスト値との関係を示す。
また、前ピンセンサの合焦点303は、曲線301のコントラスト値がピーク値をもつ位置であり、曲線301に基づいて検出された前ピンセンサの合焦点である。また、後ピンセンサの合焦点304は、曲線302のコントラスト値がピーク値をもつ位置であり、曲線302に基づいて検出された後ピンセンサの合焦点である。また、第1の合焦点305は、前ピンセンサ1111が検出するコントラスト値と後ピンセンサ1112が検出するコントラスト値が一致する位置であり、従来の光路差方式によって検出される合焦点である。また、第2の合焦点306は、第2の合焦点検出部117が検出する合焦点である。
図3において、サンプル101の真の合焦点は、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304との中間地点である第2の合焦点306である。しかし、前ピンセンサと後ピンセンサが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合、従来の光路差方式によって検出される第1の合焦点305は、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304との中間地点である第2の合焦点306とは異なる位置となる。そこで、本実施形態では、第2の合焦点検出部117は、第1の合焦点305を検出するときに、前ピンセンサ1111が検出した前ピン像のコントラスト値と、後ピンセンサ1112が検出した後ピン像のコントラスト値と、位置情報検出部114が検出した対物レンズ105の位置情報とを解析することによって、真の合焦点である第2の合焦点306を検出する。
具体的には、第2の合焦点検出部117は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、曲線301を算出する(第1コントラスト特性を予測する)。また、第2の合焦点検出部117は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、曲線302を算出する(第2コントラスト特性を予測する)。ここで、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とは、サンプル101の異なるXY領域を検出しているが、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出するコントラスト値の特性グラフは互いに独立しており、ガウス分布に近似される。対物レンズ105を光軸方向に駆動し、対物レンズ105とサンプル101との距離すなわちデフォーカス量が変化するに伴って、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112に結像されるサンプル101の被写体像のコントラスト値はガウス分布のように変化する。
続いて、第2の合焦点検出部117は、算出した曲線301と曲線302とに基づいて、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304とを検出する。そして、第2の合焦点検出部117は、検出した前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304との中間地点を算出し、この位置を第2の合焦点306として検出する。ここで、第2の合焦点検出部117は、検出したコントラスト値をガウス分布で近似することにより第2の合焦点306を検出する。従って、第2の合焦点306を精度良く検出するためには、3つ以上の異なるデフォーカス量でコントラスト値を検出する必要がある。
上述した手順により、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合においても、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304とを検出し、その中間地点を算出することによって、真の合焦点を第2の合焦点306として検出することができる。
次に、判定部118が、第1の合焦点305と第2の合焦点306とのどちらが、nショット目の撮像領域の真の合焦点であるかを判定する方法について図4を参照して説明する。図4は、本実施形態において、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点と、第1の合焦点と、第2の合焦点との関係を示した概略図である。図示する例では、第1の合焦点305は、第1の合焦点検出部115が検出した合焦点である。また、第2の合焦点306は、第2の合焦点検出部117が検出した合焦点である。また、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401は、第nショット目の直前の撮影時に設定した合焦点である。また、d1は、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第1の合焦点305との光軸方向の距離を示す。また、d2は、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第2の合焦点306との光軸方向の距離を示す。
判定部118は、直前の撮影時に設定した合焦点である第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と、第1の合焦点305と、第2の合焦点306との位置関係を比較することによって、第1の合焦点305と第2の合焦点306のどちらが真の合焦点であるかを判定する。具体的には、判定部118は、第1の合焦点305と第2の合焦点306とのうち、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401に近いいずれか一方を、真の合焦点として検出する。すなわち、d1とd2の大小関係を比較し、第1の合焦点305と第2の合焦点306のどちらが真の合焦点であるかを検出する。
例えば、d1<d2の場合には、判定部118は、第1の合焦点305が真の合焦点であると判定する。また、d1>d2の場合には、判定部118は、第2の合焦点306が真の合焦点であると判定する。これは、サンプル101の部分画像の撮像領域においては、隣接する撮像領域の合焦点がほぼ等しいために、第1の合焦点305と第2の合焦点306とのうち、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401に近い方を選択することによって、高精度に合焦点を検出することができる確率を向上させるためである。図4に示した例では、d1>d2であり、第1の合焦点305よりも第2の合焦点306の方が第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401に近い。従って、この場合、判定部118は、第nショット目の撮像領域の合焦点(真の合焦点)を、第2の合焦点306であると判定する。
上述したように、第1の合焦点305と第2の合焦点306とのうち、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401に近いいずれか一方を、nショット目の撮像領域の真の合焦点として選択することによって、第nショット目の撮像領域の合焦点をより正確に検出することができる。
次に、顕微鏡装置100の合焦動作の処理手順について図5を参照して説明する。図5は、本実施形態における顕微鏡装置100の合焦動作の処理手順を示したフローチャートである。図示するフローチャートは、顕微鏡装置100が第nショット目の合焦動作を行う際の手順を示している。なお、顕微鏡装置100は、サンプル101の合焦動作を完了した後、サンプル101の分割画像を撮像する。また、顕微鏡装置100の判定部118は、合焦動作を完了したときの対物レンズ105の位置を記憶する。
(ステップS1)撮像素子110が第n−1ショット目の撮像を行った後、水平駆動信号生成部119は、水平信号をステージ102に対して出力する。ステージ102は、水平信号に基づいて第nショット目の撮像を行う位置に水平移動する。ステージ102の水平移動が完了した後、顕微鏡装置100は、合焦動作を開始する。その後、ステップS2の処理に進む。
(ステップS2)AF信号検出素子111の受光面である前ピンセンサ1111にはサンプル101の前ピン像が投影され、後ピンセンサ1112にはサンプル101の後ピン像が投影される。前ピンセンサ1111は、投影された前ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出して出力する。また、後ピンセンサ1112は、投影された後ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出して出力する。コントラスト値算出部112は、前ピンセンサ1111が出力した信号と後ピンセンサ1112が出力した信号を解析し、前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを算出し、メモリ部116に対して出力する。メモリ部116は、コントラスト値算出部112が出力した前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを記憶する。その後、ステップS3の処理に進む。
(ステップS3)差分コントラスト値算出部113は、前ピン像のコントラスト値から後ピン像のコントラスト値を差分し、差分コントラスト値を算出する。続いて、差分コントラスト値算出部113は、算出した差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内であるかを判定する。差分コントラスト値算出部113が、算出した差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内であると判定した場合にはステップS5の処理に進み、それ以外の場合にはステップS4の処理に進む。
(ステップS4)差分コントラスト値算出部113は、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内ではないため、第1の合焦点を検出していないと判定する。そして、差分コントラスト値算出部113は、光軸方向における対物レンズ105の移動量と方向を算出し、駆動信号を生成して出力する。対物レンズ105は、差分コントラスト値算出部113が出力した駆動信号に基づいて、光軸方向に所定の距離だけ移動する。その後、ステップS2の処理に戻る。本実施形態では、上述したステップS2〜ステップS4の処理を、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内になるまで繰り返し行う。
(ステップS5)差分コントラスト値算出部113は、差分コントラスト値の絶対値が基準値α以内であるため、第1の合焦点を検出したと判定する。そして、差分コントラスト値算出部113は、このときの対物レンズ105の焦点を、第1の合焦点として検出する。その後、ステップS6の処理に進む。
(ステップS6)差分コントラスト値算出部113は、3つ以上の異なるデフォーカス量で検出したコントラスト値のデータがメモリ部116に記憶されているか否かを判定する。3つ以上の異なるデフォーカス量で検出したコントラスト値のデータがメモリ部116に記憶されていると差分コントラスト値算出部113が判定した場合にはステップS9の処理に進み、それ以外の場合にはステップS7の処理に進む。
(ステップS7)3つ以上の異なるデフォーカス量で検出したコントラスト値のデータがメモリ部116に保存されていないため、差分コントラスト値算出部113は、第2の合焦点を精度良く検出するために、再び対物レンズ105を光軸方向に所定の距離だけ移動させる。具体的には、差分コントラスト値算出部113は、光軸方向における対物レンズ105の移動量と方向を算出し、駆動信号を生成して出力する。このとき、差分コントラスト値算出部113は、メモリ部116に記憶されていない位置に対物レンズ105が移動するように駆動信号を生成する。対物レンズ105は、差分コントラスト値算出部113が出力した駆動信号に基づいて、光軸方向に所定の距離だけ移動する。その後、ステップS8の処理に進む。
(ステップS8)前ピンセンサ1111は、投影された前ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出して出力する。また、後ピンセンサ1112は、投影された後ピン像の入射光量と蓄積時間に応じた信号を検出して出力する。コントラスト値算出部112は、前ピンセンサ1111が出力した信号と後ピンセンサ1112が出力した信号を解析し、前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを算出し、メモリ部116に対して出力する。メモリ部116は、コントラスト値算出部112が出力した前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを記憶する。その後、ステップS6の処理に戻る。本実施形態では、上述したステップS6〜ステップS8の処理を、メモリ部116が3つ以上の異なるデフォーカス量で検出したコントラスト値のデータを記憶するまで繰り返し行う。
(ステップS9)3つ以上の異なるデフォーカス量で検出したコントラスト値のデータがメモリ部116に保存されているため、第2の合焦点検出部117は、位置情報検出部114は、前ピン像のコントラスト値をガウス分布で近似して近似曲線を算出し、後ピン像のコントラスト値をガウス分布で近似して近似曲線を算出する。そして、第2の合焦点検出部117は、算出した近似曲線に基づいて、前ピンセンサの合焦点と後ピンセンサの合焦点を検出する。そして、第2の合焦点検出部117は、検出した前ピンセンサの合焦点と後ピンセンサの合焦点の中間地点を算出し、この位置を第2の合焦点として検出する。その後、ステップS10の処理に進む。
(ステップS10)判定部118は、ステップS5の処理で検出した第1の合焦点と、ステップS9の処理で検出した第2の合焦点とのうち、どちらが真の合焦点かを判定する。判定方法は、上述したように、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第1の合焦点305との距離であるd1と、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第2の合焦点306との距離であるd2の大小関係を比較することによって、第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを判定する。そして、判定部118は、対物レンズ105の位置が真の合焦点と判定した位置となるように、補正用駆動信号を生成して出力する。例えば、判定部118は、d1>d2であるため第1の合焦点が真の合焦点であると判定した場合、対物レンズ105の焦点が第1の合焦点となるように、補正用駆動信号を生成する。また、判定部118は、d1>d2であるため第2の合焦点が真の合焦点であると判定した場合、対物レンズ105の焦点が第2の合焦点となるように、補正用駆動信号を生成する。対物レンズ105は、判定部118が出力した補正用駆動信号に基づいて真の合焦点となる位置に移動する。その後、ステップS11の処理に進む。
(ステップS11)顕微鏡装置100は、合焦動作を終了する。
(ステップS11)顕微鏡装置100は、合焦動作を終了する。
上述したとおり、本実施形態によれば、光路差方式を用いて、第1の合焦点305を検出することができる。また、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304とを検出し、その中間地点を算出する。これにより、前ピンセンサ1111が検出するサンプル101のXY領域と、後ピンセンサ1112が検出するサンプル101のXY領域とが異なる場合においても、第2の合焦点306を検出することができる。
そして、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第1の合焦点305との距離であるd1と、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第2の合焦点306との距離であるd2の大小関係を比較することによって、第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを判定する。これにより、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合においても、サンプル101の真の合焦点を算出し、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
例えば、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる時においても、第1の合焦点検出部115は偽合焦点である第1の合焦点を検出するが、第2の合焦点検出部117が真の合焦点である第2の合焦点を検出することができる。そして、判定部118が、第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを精度良く判定することができるために、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態における顕微鏡装置100の構成と第1の実施形態における顕微鏡装置100の構成とは同様の構成である。本実施形態と第1の実施形態とでは、第2の合焦点検出部117が第2の合焦点を検出する方法が異なる。なお、第1の実施形態で示した顕微鏡装置100の構成や、合焦動作の手順に関して共通する部分については、同一符号を付けて示し、説明を一部省略する。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態における顕微鏡装置100の構成と第1の実施形態における顕微鏡装置100の構成とは同様の構成である。本実施形態と第1の実施形態とでは、第2の合焦点検出部117が第2の合焦点を検出する方法が異なる。なお、第1の実施形態で示した顕微鏡装置100の構成や、合焦動作の手順に関して共通する部分については、同一符号を付けて示し、説明を一部省略する。
以下、第2の合焦点検出部117が第2の合焦点を検出する方法について、図6を用いて説明する。図6は、前ピンセンサ1111が検出するサンプル101のXY領域と、後ピンセンサ1112が検出するサンプル101のXY領域とが異なる場合において、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値の特性を示したグラフである。図示するグラフの横軸はデフォーカス量を示し、縦軸はコントラスト値を示す。
図6において、a1、a2、およびa3は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値を示す。b1、b2、およびb3は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値を示す。なお、a1とb1、a2とb2、およびa3とb3は、デフォーカス量が等しい時に、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値である。また、曲線301は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値a1、a2、およびa3に対してガウス分布で近似した曲線であり、デフォーカス量と前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値との関係を示す。また、曲線302は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値b1、b2、およびb3に対してガウス分布で近似した曲線であり、デフォーカス量と後ピンセンサ1112のコントラスト値との関係を示す。また、曲線601は、曲線301のピーク値と曲線302のピーク値とが等しくなるように、曲線302を補正した曲線である。
また、前ピンセンサの合焦点303は、曲線301のコントラスト値がピーク値をもつ位置であり、曲線301に基づいて検出された前ピンセンサの合焦点である。また、後ピンセンサの合焦点304は、曲線302もしくは曲線601のコントラスト値がピーク値をもつ位置であり、曲線302もしくは曲線601に基づいて検出された後ピンセンサの合焦点である。また、第1の合焦点305は、前ピンセンサ1111が検出するコントラスト値と後ピンセンサ1112が検出するコントラスト値が一致する位置であり、従来の光路差方式によって検出される合焦点である。また、第2の合焦点306は、曲線301のコントラスト値と曲線601のコントラスト値とが一致する位置であり、第2の合焦点検出部117が検出する第2の合焦点である。
図6において、サンプル101の真の合焦点は、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304との中間地点である第2の合焦点306である。しかし、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合、従来の光路差方式によって検出される第1の合焦点305は、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304との中間地点である第2の合焦点306とは異なる位置となる。そこで、本実施形態では、第1の実施形態と同様に、第2の合焦点検出部117は、第1の合焦点305を検出するときに、前ピンセンサ1111が検出した前ピン像のコントラスト値と、後ピンセンサ1112が検出した後ピン像のコントラスト値と、位置情報検出部114が検出した対物レンズ105の位置情報とを解析することによって、真の合焦点である第2の合焦点306を検出する。
具体的には、第2の合焦点検出部117は、前ピンセンサ1111が検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、曲線301を算出する。また、第2の合焦点検出部117は、後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、曲線302を算出する。ここで、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とは、サンプル101の異なるXY領域を検出しているが、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出するコントラスト値の特性グラフは互いに独立しており、ガウス分布に近似される。対物レンズ105を光軸方向に駆動し、対物レンズ105とサンプル101との距離すなわちデフォーカス量が変化するに伴って、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112に結像されるサンプル101の被写体像のコントラスト値はガウス分布のように変化する。
続いて、第2の合焦点検出部117は、算出した曲線301と曲線302とに基づいて、前ピンセンサの合焦点303と後ピンセンサの合焦点304とを検出する。そして、第2の合焦点検出部117は、前ピンセンサの合焦点303における曲線301のコントラスト値と、後ピンセンサの合焦点304における曲線302のコントラスト値とが等しくなるように、曲線301と曲線302とのうち、少なくとも一方の曲線を補正する。
図6に示す例では、前ピンセンサの合焦点303における曲線301のコントラスト値と、後ピンセンサの合焦点304における曲線302のコントラスト値とが一致するように、曲線302を補正して曲線601を生成している。そして、曲線301のコントラスト値と曲線601のコントラスト値とが一致する位置を算出し、この位置を第2の合焦点306として検出している。
このように、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112が検出したコントラスト値をガウス分布で近似し、前ピンセンサのコントラスト値のピーク値と後ピンセンサのコントラスト値のピーク値が等しくなるように、前ピンセンサの近似曲線もしくは後ピンセンサの近似曲線の少なくとも一方を補正する。これにより、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合においても、真の合焦点を第2の合焦点306として検出することができる。
また、本実施形態では、第1の実施形態と同様に、光路差方式を用いて、第1の合焦点305を検出する。そして、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第1の合焦点305との距離であるd1と、第n−1ショット目の撮像領域の合焦点401と第2の合焦点306との距離であるd2の大小関係を比較することによって、第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを判定する。これにより、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる場合においても、サンプル101の真の合焦点を算出し、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
例えば、前ピンセンサ1111と後ピンセンサ1112とが検出するサンプル101のXY領域が異なる時においても、第1の合焦点検出部115は偽合焦点である第1の合焦点を検出するが、第2の合焦点検出部117が真の合焦点である第2の合焦点を検出することができる。そして、判定部118が、第1の合焦点と第2の合焦点のどちらが真の合焦点であるかを精度良く判定することができるために、ピントが合った撮影画像を取得することができる。
以上、この発明の第1の実施形態および第2の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
例えば、上述した第1の実施形態および第2の実施形態では、対物レンズ105の駆動によりサンプル101に対する合焦動作を行っているが、これに限らない。例えば、ステージ102の移動により合焦動作を行ってもよい。
100,900・・・顕微鏡装置、101,901・・・サンプル、102,902・・・ステージ、103,903・・・光源、104,904・・・コンデンサレンズ、105,905・・・対物レンズ、106,906・・・光路分割装置、107,907・・・第1の結像レンズ、108,908・・・第2の結像レンズ、109,909・・・分割プリズム、110,910・・・撮像素子、111・・・AF信号検出素子、112,912・・・コントラスト値算出部、113,913・・・差分コントラスト値算出部、114・・・位置情報検出部、115・・・第1の合焦点検出部、116・・・メモリ部、117・・・第2の合焦点検出部、118・・・判定部、119,914・・・水平駆動信号生成部、120・・・画像処理部、201,1101・・・撮像領域、202,1102・・・前ピンセンサの検出領域、203,1103・・・後ピンセンサの検出領域、204〜206,1104〜1106・・・領域、207,1107・・・組織、301,302,601,701,801,1211,1212・・・曲線、303・・・前ピンセンサの合焦点、304・・・後ピンセンサの合焦点、305・・・第1の合焦点、306・・・第2の合焦点、401・・・n−1ショット目の撮像領域の合焦点、911・・・ラインセンサ、1111,9111・・・前ピンセンサ、1112,9112・・・後ピンセンサ、1201・・・真の合焦点、1202・・・前ピンコントラスト値がピーク値をもつ位置、1203・・・後ピンコントラスト値がピーク値をもつ位置、1204・・・合焦範囲、1205・・・検出される合焦点、
Claims (4)
- サンプルの像を第1平面に結像し、前記サンプルの少なくとも一部の前ピン像を第2平面に投影し、前記サンプルの少なくとも一部の後ピン像を第3平面に投影する光学系と、
前記第1平面に入射された光に基づいた像を撮像する撮像部と、
前記第2平面に入射された光の第1コントラスト値と前記第3平面に入射された光の第2コントラスト値とを出力するコントラスト検出部と、
前記第1コントラスト値と前記第2コントラスト値とに基づいて、前記サンプルと前記光学系との相対位置を順次変化させ、前記第1コントラスト値と前記第2コントラスト値との差が所定の値になる位置を第1合焦点候補として算出し、前記第1コントラスト値から予測される第1コントラスト特性と前記第2コントラスト値から予測される第2コントラスト特性とに基づいて第2合焦点候補を算出し、前記第1合焦点候補および前記第2合焦点候補の少なくとも一方を用いて合焦点を検出する合焦部と、
を備えることを特徴とする撮像装置。 - 前記合焦部は、前記第1コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第1コントラスト特性を予測し、前記第2コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第2コントラスト特性を予測し、前記第1コントラスト特性がピーク値をもつ第1デフォーカス量と前記第2コントラスト特性がピーク値をもつ第2デフォーカス量との中間位置を、前記第2合焦点候補として算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記合焦部は、前記第1コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第1コントラスト特性を予測し、前記第2コントラスト値を用いたガウスフィッティングで前記第2コントラスト特性を予測し、前記第1コントラスト特性のピーク値と前記第2コントラスト特性のピーク値とが揃うように前記第1コントラスト特性と前記第2コントラスト特性との少なくとも一方を調整し、調整後の前記第1コントラスト特性と前記第2コントラスト特性との差が所定の値になる位置を前記第2合焦点候補として算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記サンプルを設置するステージと、
前記ステージと前記光学系との相対位置を順次変化させ、前記撮像装置に前記サンプルの異なる部分を順次撮影させる駆動制御部と、
を備え、
前記合焦部は、前記第1合焦点候補と前記第2合焦点候補のうち、直前の撮影時に設定された前記合焦点に近いいずれか一方を前記合焦点とする
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181710A JP2014038284A (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181710A JP2014038284A (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014038284A true JP2014038284A (ja) | 2014-02-27 |
Family
ID=50286447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012181710A Pending JP2014038284A (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2014038284A (ja) |
-
2012
- 2012-08-20 JP JP2012181710A patent/JP2014038284A/ja active Pending
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