JP2014026971A - Conductive particle, conductive material, and connection structure - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive particle which can reduce connection resistance when connecting between electrodes, and a conductive material using the conductive particle.SOLUTION: A conductive particle 1 includes a substrate particle 2 and a conductive layer 3 which is arranged on the surface of the substrate particle 2 so as to be in contact with the substrate particle 2. The substrate particle 2 and the conductive layer 3 are chemically bonded to each other through a pyrrolidone group. The conductive particle 1 has a compressive elasticity modulus, when compressed by 30%, of not less than 1,500 N/mmand not more than 8,000 N/mm, and a compression recovery rate of not less than 20% and not more than 90%. A conductive material comprises the conductive particle 1 and a binder resin.

Description

本発明は、基材粒子の表面上に導電層が配置されている導電性粒子に関し、より詳細には、例えば、電極間の電気的な接続に用いることができる導電性粒子に関する。また、本発明は、上記導電性粒子を用いた導電材料及び接続構造体に関する。   The present invention relates to conductive particles in which a conductive layer is arranged on the surface of base particles, and more particularly to conductive particles that can be used for electrical connection between electrodes, for example. The present invention also relates to a conductive material and a connection structure using the conductive particles.

異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。これらの異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。   Anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive pastes and anisotropic conductive films are widely known. In these anisotropic conductive materials, conductive particles are dispersed in a binder resin.

上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用されている。   In order to obtain various connection structures, the anisotropic conductive material is, for example, a connection between a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)) or a connection between a semiconductor chip and a flexible printed circuit board (COF ( Chip on Film)), connection between a semiconductor chip and a glass substrate (COG (Chip on Glass)), connection between a flexible printed circuit board and a glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)), and the like.

上記異方性導電材料により、例えば、半導体チップの電極とガラス基板の電極とを電気的に接続する際には、ガラス基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、半導体チップを積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して接続構造体を得る。   For example, when the electrode of the semiconductor chip and the electrode of the glass substrate are electrically connected by the anisotropic conductive material, an anisotropic conductive material containing conductive particles is disposed on the glass substrate. Next, the semiconductor chips are stacked, and heated and pressurized. Accordingly, the anisotropic conductive material is cured, and the electrodes are electrically connected through the conductive particles to obtain a connection structure.

上記導電性粒子の一例として、下記の特許文献1には、樹脂微粒子と、該樹脂微粒子の表面に形成された金属被覆層とを有する導電性微粒子が開示されている。上記樹脂微粒子は、芯材微粒子と該芯材微粒子の表面に形成された樹脂被覆層とを有する。上記樹脂被覆層は、金属イオンとの結合能を有する官能基を有する。また、上記金属イオンとの結合能を有する官能基としては、スルホン基、カルボキシル基、アミノ基、アンモニウム基、及びリン酸基が挙げられている。   As an example of the conductive particles, Patent Document 1 below discloses conductive fine particles having resin fine particles and a metal coating layer formed on the surface of the resin fine particles. The resin fine particles include core material fine particles and a resin coating layer formed on the surface of the core material fine particles. The resin coating layer has a functional group having a binding ability with metal ions. Examples of the functional group capable of binding to the metal ion include a sulfone group, a carboxyl group, an amino group, an ammonium group, and a phosphate group.

下記の特許文献2には、非導電性粒子の表面に、金属皮膜を無電解めっきにより形成した導電性粒子が開示されている。ここでは、上記無電解めっきは、非導電性粒子の表面に金属核を付着させる前処理の後に実施されるとともに、ピロリドン基を有する親水性高分子の存在下において、銀により金属皮膜を形成することが記載されている。   Patent Document 2 below discloses conductive particles in which a metal film is formed on the surface of non-conductive particles by electroless plating. Here, the electroless plating is performed after a pretreatment for attaching metal nuclei to the surface of non-conductive particles, and a metal film is formed of silver in the presence of a hydrophilic polymer having a pyrrolidone group. It is described.

特開2003−208813号公報JP 2003-208813 A WO2010/035708A1WO2010 / 035708A1

特許文献1に記載のような従来の導電性粒子では、樹脂微粒子と金属被覆層との密着性が低いことがある。このため、導電性粒子を介して電極間を電気的に接続して接続構造体を得たときに、接続時の加圧などによって、金属被覆層が樹脂微粒子から剥離して浮いたり、金属被覆層に大きな割れが生じたりする。このため、電極間の接続不良が生じたり、接続抵抗が高くなったりするという問題がある。特許文献2に記載の導電性粒子でも、電極間の接続不良が生じたり、接続抵抗が高くなったりするという問題がある。   In the conventional conductive particles as described in Patent Document 1, the adhesion between the resin fine particles and the metal coating layer may be low. For this reason, when the connection structure is obtained by electrically connecting the electrodes via the conductive particles, the metal coating layer may be peeled off from the resin fine particles due to pressurization at the time of connection, etc. Large cracks occur in the layer. For this reason, there is a problem that a connection failure between electrodes occurs or a connection resistance increases. Even the conductive particles described in Patent Document 2 have problems in that poor connection between electrodes occurs or the connection resistance increases.

本発明の目的は、電極間を接続した場合に、接続抵抗を低くすることができる導電性粒子、並びに該導電性粒子を用いた導電材料及び接続構造体を提供することである。   An object of the present invention is to provide conductive particles that can reduce connection resistance when electrodes are connected, and a conductive material and a connection structure using the conductive particles.

本発明の広い局面によれば、基材粒子と、前記基材粒子の表面上に前記基材粒子に接するように配置された導電層とを有し、前記基材粒子と前記導電層とが、ピロリドン基を介して化学結合しており、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、1500N/mm以上、8000N/mm以下であり、圧縮回復率が、20%以上、90%以下である、導電性粒子が提供される。 According to a wide aspect of the present invention, the substrate particle and a conductive layer disposed on the surface of the substrate particle so as to be in contact with the substrate particle, the substrate particle and the conductive layer are provided. , Pyrrolidone group is chemically bonded, the compression elastic modulus when compressed 30% is 1500 N / mm 2 or more and 8000 N / mm 2 or less, and the compression recovery rate is 20% or more and 90% or less Certain conductive particles are provided.

本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、ピロリドン基を表面に有する基材粒子の表面上に、前記導電層を配置することにより得られる。   In a specific aspect of the conductive particle according to the present invention, the conductive particle is obtained by disposing the conductive layer on the surface of the base particle having a pyrrolidone group on the surface.

本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、前記基材粒子が、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、重合反応を行うことで得られるか、前記基材粒子が、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られるか、又は、前記基材粒子が、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られる。   In a specific aspect of the conductive particle according to the present invention, the base particle is obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or the base particle is It can be obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound having a pyrrolidone group, or the substrate particles can be obtained by surface-treating the substrate particle body with a compound having a pyrrolidone group.

前記基材粒子が、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、又はピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られることが好ましい。前記基材粒子が、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られることも好ましい。   It is preferable that the base particle is obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or using a polymerizable compound having a pyrrolidone group. It is also preferable that the base particle is obtained by surface-treating the base particle body with a compound having a pyrrolidone group.

本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、前記基材粒子に接する前記導電層が、前記導電層100重量%中、ニッケルを50重量%以上含む。   On the specific situation with the electroconductive particle which concerns on this invention, the said conductive layer which contact | connects the said base particle contains 50 weight% or more of nickel in 100 weight% of said conductive layers.

本発明の広い局面によれば、上述した導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む、導電材料が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, there is provided a conductive material including the above-described conductive particles and a binder resin.

本発明の広い局面によれば、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部が、上述した導電性粒子により形成されているか、又は前記導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されている、接続構造体が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, the first connection target member, the second connection target member, the connection portion connecting the first connection target member, and the second connection target member; There is provided a connection structure in which the connection part is formed of the above-described conductive particles or is formed of a conductive material containing the conductive particles and a binder resin.

本発明に係る導電性粒子では、基材粒子の表面上に該基材粒子に接するように導電層が配置されており、かつ該基材粒子と該導電層とがピロリドン基を介して化学結合しているので、更に導電性粒子を30%圧縮したときの圧縮弾性率が1500N/mm以上、8000N/mm以下であり、導電性粒子の圧縮回復率が20%以上、90%以下であるので、本発明に係る導電性粒子を用いて電極間を接続した場合に、接続抵抗を低くすることができる。 In the conductive particle according to the present invention, a conductive layer is disposed on the surface of the base particle so as to be in contact with the base particle, and the base particle and the conductive layer are chemically bonded via a pyrrolidone group. Therefore, the compression elastic modulus when the conductive particles are further compressed by 30% is 1500 N / mm 2 or more and 8000 N / mm 2 or less, and the compression recovery rate of the conductive particles is 20% or more and 90% or less. Therefore, when the electrodes are connected using the conductive particles according to the present invention, the connection resistance can be lowered.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第2の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the second embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第3の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the third embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体を模式的に示す正面断面図である。FIG. 4 is a front cross-sectional view schematically showing a connection structure using conductive particles according to the first embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(導電性粒子)
本発明に係る導電性粒子は、基材粒子と、該基材粒子の表面上に該基材粒子に接するように配置された導電層とを有する。該基材粒子と該導電層とがピロリドン基を介して結合している。本発明に係る導電性粒子では、30%圧縮したときの圧縮弾性率が、1500N/mm以上、8000N/mm以下である。本発明に係る導電性粒子では、圧縮回復率が、20%以上、90%以下である。
(Conductive particles)
The conductive particles according to the present invention include base particles and a conductive layer disposed on the surface of the base particles so as to be in contact with the base particles. The substrate particles and the conductive layer are bonded via a pyrrolidone group. In the conductive particles according to the present invention, the compression elastic modulus when compressed by 30% is 1500 N / mm 2 or more and 8000 N / mm 2 or less. In the conductive particles according to the present invention, the compression recovery rate is 20% or more and 90% or less.

本発明に係る導電性粒子の上述した構成の採用によって、基材粒子と導電層との密着性がかなり高くなる。このため、基材粒子と導電層との剥離や、導電層の基材粒子の表面からの浮きが生じ難くなる。この結果、本発明に係る導電性粒子を用いて電極間を接続して接続構造体を得た場合に、電極間の接続不良が生じ難くなり、更に電極間の接続抵抗を効果的に低くすることができる。   By adopting the above-described configuration of the conductive particles according to the present invention, the adhesion between the substrate particles and the conductive layer is considerably increased. For this reason, peeling with a base material particle and a conductive layer and the floating from the surface of the base material particle of a conductive layer become difficult to produce. As a result, when the connection structure is obtained by connecting the electrodes using the conductive particles according to the present invention, the connection failure between the electrodes hardly occurs, and the connection resistance between the electrodes is effectively reduced. be able to.

本発明に係る導電性粒子は、ピロリドン基を表面に有する基材粒子の表面上に、上記導電層を配置することにより得られることが好ましい。このようにして得られる導電性粒子では、基材粒子と導電層とをピロリドン基を介して容易に化学結合させることができる。   It is preferable that the electroconductive particle which concerns on this invention is obtained by arrange | positioning the said electroconductive layer on the surface of the base particle which has a pyrrolidone group on the surface. In the conductive particles thus obtained, the base particles and the conductive layer can be easily chemically bonded via pyrrolidone groups.

基材粒子の表面上にピロリドン基を容易に導入可能であることから、本発明に係る導電性粒子では、上記基材粒子が、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、重合反応を行うことで得られるか、上記基材粒子が、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られるか、又は、上記基材粒子が、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られることが好ましい。   Since the pyrrolidone group can be easily introduced onto the surface of the base particle, the conductive particle according to the present invention uses a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group to perform a polymerization reaction. Or the base material particle is obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound having a pyrrolidone group, or the base material particle is a base material particle main body. It is preferably obtained by surface treatment with a compound having a group.

上記基材粒子は、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、又は、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られることが好ましい。この場合には、基材粒子の表面全体上に均一にピロリドン基を存在させることができ、更に基材粒子の内部にもピロリドン基を存在させることができる。上記基材粒子は、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、重合反応を行うことで得られることが好ましい。上記基材粒子は、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られることが好ましい。   The base particles are preferably obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or using a polymerizable compound having a pyrrolidone group. In this case, pyrrolidone groups can be uniformly present on the entire surface of the substrate particles, and further pyrrolidone groups can be present inside the substrate particles. The substrate particles are preferably obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group. The substrate particles are preferably obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound having a pyrrolidone group.

上記基材粒子は、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られることも好ましい。この場合には、基材粒子の表面に選択的にピロリドン基を存在させることができる。また、ピロリドン基を有する化合物による表面処理量を調整することで、基材粒子の表面上におけるピロリドン基の存在量を調整することができ、ピロリドン基の存在量を多くすることが容易である。上記基材粒子本体は、表面処理前の基材粒子である。   It is also preferable that the base particle is obtained by surface-treating the base particle body with a compound having a pyrrolidone group. In this case, pyrrolidone groups can be selectively present on the surface of the substrate particles. In addition, by adjusting the surface treatment amount with the compound having a pyrrolidone group, the amount of pyrrolidone groups present on the surface of the base particle can be adjusted, and the amount of pyrrolidone groups can be easily increased. The base particle body is a base particle before surface treatment.

接続抵抗を低くし、電極間の接続信頼性を高めるために、上記導電性粒子を30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)は1500N/mm以上、8000N/mm以下である。接続抵抗をより一層低くし、電極間の接続信頼性をより一層高める観点からは、上記導電性粒子を30%圧縮したときの圧縮弾性率(30%K値)は好ましくは3000N/mm以上、好ましくは7000N/mm以下である。 In order to reduce the connection resistance and increase the connection reliability between the electrodes, the compression elastic modulus (30% K value) when the conductive particles are compressed by 30% is 1500 N / mm 2 or more and 8000 N / mm 2 or less. is there. From the viewpoint of further reducing the connection resistance and further improving the connection reliability between the electrodes, the compression elastic modulus (30% K value) when the conductive particles are compressed by 30% is preferably 3000 N / mm 2 or more. , Preferably 7000 N / mm 2 or less.

上記導電性粒子における上記圧縮弾性率(30%K値)は、以下のようにして測定できる。   The compression elastic modulus (30% K value) of the conductive particles can be measured as follows.

微小圧縮試験機を用いて、円柱(直径50μm、ダイヤモンド製)の平滑圧子端面で、25℃、圧縮速度2.6mN/秒、及び最大試験荷重10gfの条件下で導電性粒子を圧縮する。このときの荷重値(N)及び圧縮変位(mm)を測定する。得られた測定値から、上記圧縮弾性率を下記式により求めることができる。上記微小圧縮試験機として、例えば、フィッシャー社製「フィッシャースコープH−100」等が用いられる。   Using a micro-compression tester, the conductive particles are compressed under the conditions of 25 ° C., compression speed of 2.6 mN / sec, and maximum test load of 10 gf on the end face of a cylindrical indenter (diameter 50 μm, made of diamond). The load value (N) and compression displacement (mm) at this time are measured. From the measured value obtained, the compression elastic modulus can be obtained by the following formula. As the micro compression tester, for example, “Fischer Scope H-100” manufactured by Fischer is used.

K値(N/mm)=(3/21/2)・F・S−3/2・R−1/2
F:導電性粒子が30%圧縮変形したときの荷重値(N)
S:導電性粒子が30%圧縮変形したときの圧縮変位(mm)
R:導電性粒子の半径(mm)
K value (N / mm 2 ) = (3/2 1/2 ) · F · S −3 / 2 · R −1/2
F: Load value when the conductive particles are 30% compressively deformed (N)
S: Compression displacement (mm) when conductive particles are 30% compressed and deformed
R: radius of conductive particles (mm)

接続抵抗を低くするために、上記導電性粒子の圧縮回復率は20%以上、90%以下である。接続抵抗をより一層低くする観点からは、上記導電性粒子の圧縮回復率は好ましくは50%以上、好ましくは80%以下である。   In order to reduce the connection resistance, the compression recovery rate of the conductive particles is 20% or more and 90% or less. From the viewpoint of further reducing the connection resistance, the compression recovery rate of the conductive particles is preferably 50% or more, and preferably 80% or less.

上記圧縮回復率は、以下のようにして測定できる。   The compression recovery rate can be measured as follows.

試料台上に導電性粒子を散布する。散布された導電性粒子1個について、25℃で、微小圧縮試験機を用いて、導電性粒子の中心方向に、導電性粒子が30%圧縮変形するまで負荷(反転荷重値)を与える。その後、原点用荷重値(0.40mN)まで除荷を行う。この間の荷重−圧縮変位を測定し、下記式から圧縮回復率を求めることができる。なお、負荷速度は0.33mN/秒とする。上記微小圧縮試験機として、例えば、フィッシャー社製「フィッシャースコープH−100」等が用いられる。   Spread conductive particles on the sample stage. With respect to one dispersed conductive particle, a load (reversal load value) is applied to the central direction of the conductive particle at 25 ° C. until the conductive particle is compressed and deformed by 30% at 25 ° C. Thereafter, unloading is performed up to the origin load value (0.40 mN). The load-compression displacement during this period is measured, and the compression recovery rate can be obtained from the following equation. The load speed is 0.33 mN / sec. As the micro compression tester, for example, “Fischer Scope H-100” manufactured by Fischer is used.

圧縮回復率(%)=[(L1−L2)/L1]×100
L1:負荷を与えるときの原点用荷重値から反転荷重値に至るまでのまでの圧縮変位
L2:負荷を解放するときの反転荷重値から原点用荷重値に至るまでの除荷変位
Compression recovery rate (%) = [(L1-L2) / L1] × 100
L1: Compression displacement from the load value for origin to the reverse load value when applying a load L2: Unloading displacement from the reverse load value to the load value for origin when releasing the load

以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments and examples of the present invention with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the first embodiment of the present invention.

図1に示すように、導電性粒子1は、基材粒子2と、導電層3と、複数の芯物質4と、複数の絶縁性物質5とを有する。   As shown in FIG. 1, the conductive particles 1 include base material particles 2, a conductive layer 3, a plurality of core substances 4, and a plurality of insulating substances 5.

導電層3は、基材粒子2の表面上に基材粒子2に接するように配置されている。導電層3は基材粒子2と接触している。基材粒子2と導電層3とは、ピロリドン基を介して化学結合している。導電性粒子1は、基材粒子2の表面が導電層3により被覆された被覆粒子である。基材粒子2は、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、重合反応を行うことで得られていてもよく、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られていてもよく、更に基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られていてもよい。   The conductive layer 3 is disposed on the surface of the base particle 2 so as to be in contact with the base particle 2. The conductive layer 3 is in contact with the base particle 2. The base particle 2 and the conductive layer 3 are chemically bonded via a pyrrolidone group. The conductive particle 1 is a coated particle in which the surface of the base particle 2 is coated with the conductive layer 3. The base particle 2 may be obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound having a pyrrolidone group. It may be obtained, and may further be obtained by surface-treating the base particle body with a compound having a pyrrolidone group.

導電性粒子1は導電性の表面に、複数の突起1aを有する。導電層3は外表面に、複数の突起3aを有する。複数の芯物質4が、基材粒子2の表面上に配置されている。複数の芯物質4は導電層3内に埋め込まれている。芯物質4は、突起1a,3aの内側に配置されている。導電層3は、複数の芯物質4を被覆している。複数の芯物質4により導電層3の外表面が隆起されており、突起1a,3aが形成されている。   The conductive particle 1 has a plurality of protrusions 1a on a conductive surface. The conductive layer 3 has a plurality of protrusions 3a on the outer surface. A plurality of core substances 4 are arranged on the surface of the base particle 2. A plurality of core materials 4 are embedded in the conductive layer 3. The core substance 4 is disposed inside the protrusions 1a and 3a. The conductive layer 3 covers a plurality of core materials 4. The outer surface of the conductive layer 3 is raised by the plurality of core materials 4 to form protrusions 1a and 3a.

導電性粒子1は、導電層3の外表面上に配置された絶縁性物質5を有する。導電層3の外表面の少なくとも一部の領域が、絶縁性物質5により被覆されている。絶縁性物質5は絶縁性を有する材料により形成されており、絶縁性粒子である。このように、本発明に係る導電性粒子は、導電層の外表面上に配置された絶縁性物質を有していてもよい。但し、本発明に係る導電性粒子は、絶縁性物質を必ずしも有していなくてもよい。   The conductive particles 1 have an insulating substance 5 disposed on the outer surface of the conductive layer 3. At least a part of the outer surface of the conductive layer 3 is covered with the insulating material 5. The insulating substance 5 is made of an insulating material and is an insulating particle. Thus, the electroconductive particle which concerns on this invention may have the insulating substance arrange | positioned on the outer surface of an electroconductive layer. However, the conductive particles according to the present invention do not necessarily have an insulating substance.

図2は、本発明の第2の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the second embodiment of the present invention.

図2に示す導電性粒子11は、基材粒子2と、第1の導電層12と、第2の導電層13と、複数の芯物質4と、複数の絶縁性物質5とを有する。   A conductive particle 11 shown in FIG. 2 includes a base particle 2, a first conductive layer 12, a second conductive layer 13, a plurality of core substances 4, and a plurality of insulating substances 5.

導電性粒子1と導電性粒子11とでは、導電層のみが異なっている。すなわち、導電性粒子1では、1層構造の導電層が形成されているのに対し、導電性粒子11では、2層構造の第1の導電層12及び第2の導電層13が形成されている。   Only the conductive layer is different between the conductive particles 1 and the conductive particles 11. That is, the conductive particle 1 has a single-layered conductive layer, whereas the conductive particle 11 has a two-layered first conductive layer 12 and second conductive layer 13 formed. Yes.

第1の導電層12は、基材粒子2の表面上に基材粒子2に接するように配置されている。基材粒子2と第2の導電層13との間に、第1の導電層12が配置されている。第1の導電層12は、基材粒子2に接する導電層である。従って、基材粒子2の表面上に第1の導電層12が配置されており、第1の導電層12の表面上に第2の導電層13が配置されている。基材粒子2と第1の導電層12とは、ピロリドン基を介して化学結合している。第2の導電層13は外表面に、複数の突起13aを有する。導電性粒子11は導電性の表面に、複数の突起11aを有する。   The first conductive layer 12 is disposed on the surface of the base particle 2 so as to be in contact with the base particle 2. The first conductive layer 12 is disposed between the base particle 2 and the second conductive layer 13. The first conductive layer 12 is a conductive layer in contact with the base particle 2. Therefore, the first conductive layer 12 is disposed on the surface of the base particle 2, and the second conductive layer 13 is disposed on the surface of the first conductive layer 12. The base particle 2 and the first conductive layer 12 are chemically bonded via a pyrrolidone group. The second conductive layer 13 has a plurality of protrusions 13a on the outer surface. The conductive particles 11 have a plurality of protrusions 11a on the conductive surface.

図3は、本発明の第3の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing conductive particles according to the third embodiment of the present invention.

図3に示す導電性粒子21は、基材粒子2と、導電層22とを有する。導電層22は、基材粒子2の表面上に基材粒子2に接するように配置されている。基材粒子2と導電層22とは、ピロリドン基を介して化学結合している。   The conductive particles 21 shown in FIG. 3 have base material particles 2 and a conductive layer 22. The conductive layer 22 is disposed on the surface of the base particle 2 so as to be in contact with the base particle 2. The base particle 2 and the conductive layer 22 are chemically bonded via a pyrrolidone group.

導電性粒子21は、芯物質を有さない。導電性粒子21は表面に突起を有さない。導電性粒子21は球状である。導電層22は表面に突起を有さない。このように、本発明に係る導電性粒子は突起を有していなくてもよく、球状であってもよい。また、導電性粒子21は、絶縁性物質を有さない。但し、導電性粒子21は、導電層22の表面上に配置された絶縁性物質を有していてもよい。   The conductive particles 21 do not have a core substance. The conductive particles 21 do not have protrusions on the surface. The conductive particles 21 are spherical. The conductive layer 22 has no protrusion on the surface. Thus, the electroconductive particle which concerns on this invention does not need to have a processus | protrusion, and may be spherical. Further, the conductive particles 21 do not have an insulating material. However, the conductive particles 21 may have an insulating material disposed on the surface of the conductive layer 22.

また、導電性粒子1,11,21の上記圧縮弾性率(30%K値)及び上記圧縮回復率は上述した範囲内である。   Moreover, the said compression elastic modulus (30% K value) and the said compression recovery factor of the electroconductive particle 1,11,21 are in the range mentioned above.

[基材粒子]
上記基材粒子及び上記基材粒子本体としては、樹脂粒子、金属粒子を除く無機粒子、有機無機ハイブリッド粒子及び金属粒子等が挙げられる。上記基材粒子(基材粒子本体)はコアシェル粒子であってもよい。なかでも、上記基材粒子(基材粒子本体)は、金属粒子を除く基材粒子(基材粒子本体)であることが好ましく、樹脂粒子、金属粒子を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子であることがより好ましい。
[Base material particles]
Examples of the substrate particles and the substrate particle main body include resin particles, inorganic particles excluding metal particles, organic-inorganic hybrid particles, and metal particles. The base particle (base particle main body) may be a core-shell particle. Especially, it is preferable that the said base particle (base particle main body) is a base particle (base particle main body) except a metal particle, and is an inorganic particle or organic-inorganic hybrid particle except a resin particle, a metal particle. It is more preferable.

上記基材粒子及び上記基材粒子本体は、樹脂により形成された樹脂粒子であることが好ましい。上記導電性粒子を用いて電極間を接続する際には、上記導電性粒子を電極間に配置した後、圧着することにより上記導電性粒子を圧縮させる。上記基材粒子及び上記基材粒子本体が樹脂粒子であると、上記圧着の際に上記導電性粒子が変形しやすく、導電性粒子と電極との接触面積が大きくなる。このため、電極間の導通信頼性が高くなる。   The base particle and the base particle body are preferably resin particles formed of a resin. When connecting between electrodes using the said electroconductive particle, after arrange | positioning the said electroconductive particle between electrodes, the said electroconductive particle is compressed by crimping | bonding. When the substrate particles and the substrate particle main body are resin particles, the conductive particles are easily deformed during the pressure bonding, and the contact area between the conductive particles and the electrode is increased. For this reason, the conduction | electrical_connection reliability between electrodes becomes high.

上記樹脂粒子を形成するための樹脂として、種々の有機物が好適に用いられる。上記樹脂粒子を形成するための樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン等のポリオレフィン樹脂;ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂;ポリアルキレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、及び、エチレン性不飽和基を有する種々の重合性単量体を1種もしくは2種以上重合させて得られる重合体等が挙げられる。エチレン性不飽和基を有する種々の重合性単量体を1種もしくは2種以上重合させることにより、導電材料に適した任意の圧縮時の物性を有する樹脂粒子を設計及び合成することができる。   Various organic materials are suitably used as the resin for forming the resin particles. Examples of the resin for forming the resin particles include polyolefin resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyisobutylene, and polybutadiene; acrylic resins such as polymethyl methacrylate and polymethyl acrylate; Alkylene terephthalate, polycarbonate, polyamide, phenol formaldehyde resin, melamine formaldehyde resin, benzoguanamine formaldehyde resin, urea formaldehyde resin, phenol resin, melamine resin, benzoguanamine resin, urea resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, saturated polyester resin, polysulfone, polyphenylene Oxide, polyacetal, polyimide, polyamideimide, polyether ether Tons, polyethersulfone, and polymers such as obtained by a variety of polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated group is polymerized with one or more thereof. By polymerizing one or more of various polymerizable monomers having an ethylenically unsaturated group, it is possible to design and synthesize resin particles having any compression property suitable for a conductive material.

上記樹脂粒子を、エチレン性不飽和基を有する単量体を重合させて得る場合、上記エチレン性不飽和基を有する単量体としては、非架橋性の単量体と架橋性の単量体とが挙げられる。   When the resin particles are obtained by polymerizing a monomer having an ethylenically unsaturated group, the monomer having an ethylenically unsaturated group includes a non-crosslinkable monomer and a crosslinkable monomer. And so on.

上記非架橋性の単量体としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン系単量体;(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基含有単量体;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート類;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレン(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート等の酸素原子含有(メタ)アクリレート類;(メタ)アクリロニトリル等のニトリル含有単量体;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル等のビニルエーテル類;酢酸ビニル、酪酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル等の酸ビニルエステル類;エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン等の不飽和炭化水素;トリフルオロメチル(メタ)アクリレート、ペンタフルオロエチル(メタ)アクリレート、塩化ビニル、フッ化ビニル、クロルスチレン等のハロゲン含有単量体等が挙げられる。   Examples of the non-crosslinkable monomer include styrene monomers such as styrene and α-methylstyrene; carboxyl group-containing monomers such as (meth) acrylic acid, maleic acid, and maleic anhydride; (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl ( Alkyl (meth) acrylates such as meth) acrylate and isobornyl (meth) acrylate; oxygen such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, polyoxyethylene (meth) acrylate and glycidyl (meth) acrylate (Meth) acrylates; nitrile-containing monomers such as (meth) acrylonitrile; vinyl ethers such as methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether; vinyl acids such as vinyl acetate, vinyl butyrate, vinyl laurate, vinyl stearate Esters; Unsaturated hydrocarbons such as ethylene, propylene, isoprene and butadiene; Halogen-containing monomers such as trifluoromethyl (meth) acrylate, pentafluoroethyl (meth) acrylate, vinyl chloride, vinyl fluoride and chlorostyrene Is mentioned.

上記架橋性の単量体としては、例えば、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)テトラメチレンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類;トリアリル(イソ)シアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルアクリルアミド、ジアリルエーテル、γ−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルスチレン、ビニルトリメトキシシラン等のシラン含有単量体等が挙げられる。   Examples of the crosslinkable monomer include tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and dipenta Erythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) Polyfunctional (meth) acrylates such as acrylate, (poly) tetramethylene di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate; triallyl (iso) cyanurate, tria Rutorimeriteto, divinylbenzene, diallyl phthalate, diallyl acrylamide, diallyl ether, .gamma. (meth) acryloxy propyl trimethoxy silane, trimethoxy silyl styrene, include silane-containing monomers such as vinyltrimethoxysilane.

上記エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を、公知の方法により重合させることで、上記樹脂粒子を得ることができる。この方法としては、例えば、ラジカル重合開始剤の存在下で懸濁重合する方法、並びに非架橋の種粒子を用いてラジカル重合開始剤とともに単量体を膨潤させて重合する方法等が挙げられる。この重合の際に、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いてもよく、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物を用いてもよい。上記基材粒子は、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、又は、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られることが好ましい。上記ピロリドン基を有する化合物は、分散安定剤として用いることができる。なお、基材粒子の表面上にピロリドン基が存在しなくなることから、上記基材粒子は、ピロリドン基を有する化合物を含まない組成物(表面処理用組成物)により表面処理されていないことが好ましい。   The resin particles can be obtained by polymerizing the polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated group by a known method. Examples of this method include a method of suspension polymerization in the presence of a radical polymerization initiator, and a method of polymerizing by swelling a monomer together with a radical polymerization initiator using non-crosslinked seed particles. In this polymerization, a polymerizable compound having a pyrrolidone group may be used, or a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group may be used. The base particles are preferably obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or using a polymerizable compound having a pyrrolidone group. The compound having a pyrrolidone group can be used as a dispersion stabilizer. In addition, since the pyrrolidone group does not exist on the surface of the base particle, the base particle is preferably not surface-treated with a composition containing no compound having a pyrrolidone group (surface treatment composition). .

また、上記基材粒子は、上記基材粒子本体の表面上を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られることも好ましい。   Moreover, it is also preferable that the said base particle is obtained by surface-treating the surface of the said base particle main body with the compound which has a pyrrolidone group.

上記ピロリドン基を有する重合性化合物及び上記ピロリドン基を有する化合物としてはN−ビニルピロリドン、ポリビニルピロリドン、ポリ(N−ビニル−2−ピロリドン−g−クエン酸)、ポリ(N−ビニル−2−ピロリドン−co−イタコン酸、及びポリ(N−ビニル−2−ピロリドン−co−スチレン)等が挙げられる。   Examples of the polymerizable compound having a pyrrolidone group and the compound having a pyrrolidone group include N-vinylpyrrolidone, polyvinylpyrrolidone, poly (N-vinyl-2-pyrrolidone-g-citric acid), and poly (N-vinyl-2-pyrrolidone). -Co-itaconic acid, poly (N-vinyl-2-pyrrolidone-co-styrene), and the like.

上記基材粒子が金属を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子である場合には、基材粒子を形成するための無機物としては、シリカ及びカーボンブラック等が挙げられる。上記シリカにより形成された粒子としては特に限定されないが、例えば、加水分解性のアルコキシシル基を2つ以上有するケイ素化合物を加水分解して架橋重合体粒子を形成した後に、必要に応じて焼成を行うことにより得られる粒子が挙げられる。上記有機無機ハイブリッド粒子としては、例えば、架橋したアルコキシシリルポリマーとアクリル樹脂とにより形成された有機無機ハイブリッド粒子等が挙げられる。   In the case where the substrate particles are inorganic particles or organic-inorganic hybrid particles excluding metal, examples of the inorganic material for forming the substrate particles include silica and carbon black. Although it does not specifically limit as the particle | grains formed with the said silica, For example, after hydrolyzing the silicon compound which has two or more hydrolysable alkoxysil groups, and forming a crosslinked polymer particle, it calcinates as needed. The particle | grains obtained by performing are mentioned. Examples of the organic / inorganic hybrid particles include organic / inorganic hybrid particles formed of a crosslinked alkoxysilyl polymer and an acrylic resin.

上記基材粒子本体が金属粒子である場合に、該金属粒子を形成するための金属としては、銀、銅、ニッケル、ケイ素、金及びチタン等が挙げられる。但し、上記基材粒子は金属粒子ではないことが好ましい。   When the base particle body is a metal particle, examples of the metal for forming the metal particle include silver, copper, nickel, silicon, gold, and titanium. However, the substrate particles are preferably not metal particles.

上記基材粒子の粒子径は、好ましくは0.1μm以上、より好ましくは1μm以上、更に好ましくは1.5μm以上、特に好ましくは2μm以上、好ましくは1000μm以下、より好ましくは500μm以下、より一層好ましくは300μm以下、更に好ましくは50μm以下、特に好ましくは30μm以下、最も好ましくは5μm以下である。基材粒子の粒子径が上記下限以上であると、導電性粒子と電極との接触面積が大きくなるため、電極間の導通信頼性がより一層高くなり、導電性粒子を介して接続された電極間の接続抵抗がより一層低くなる。さらに基材粒子の表面に導電層を無電解めっきにより形成する際に凝集し難くなり、凝集した導電性粒子が形成されにくくなる。粒子径が上記上限以下であると、導電性粒子が充分に圧縮されやすく、電極間の接続抵抗がより一層低くなり、更に電極間の間隔が小さくなる。上記基材粒子の粒子径は、基材粒子が真球状である場合には、直径を示し、基材粒子が真球状ではない場合には、最大径を示す。   The particle diameter of the substrate particles is preferably 0.1 μm or more, more preferably 1 μm or more, still more preferably 1.5 μm or more, particularly preferably 2 μm or more, preferably 1000 μm or less, more preferably 500 μm or less, and even more preferably. Is not more than 300 μm, more preferably not more than 50 μm, particularly preferably not more than 30 μm, and most preferably not more than 5 μm. When the particle diameter of the substrate particles is equal to or greater than the above lower limit, the contact area between the conductive particles and the electrodes is increased, so that the conduction reliability between the electrodes is further increased, and the electrodes are connected via the conductive particles. The connection resistance between them becomes even lower. Further, when forming the conductive layer on the surface of the base particle by electroless plating, it becomes difficult to aggregate and it becomes difficult to form the aggregated conductive particles. When the particle diameter is not more than the above upper limit, the conductive particles are easily compressed, the connection resistance between the electrodes is further reduced, and the distance between the electrodes is further reduced. The particle diameter of the base particle indicates a diameter when the base particle is a true sphere, and indicates a maximum diameter when the base particle is not a true sphere.

上記基材粒子の粒子径は、2μm以上、5μm以下であることが特に好ましい。上記基材粒子の粒子径が2〜5μmの範囲内であると、電極間の間隔が小さくなり、かつ導電層の厚みを厚くしても、小さい導電性粒子が得られる。   The particle diameter of the substrate particles is particularly preferably 2 μm or more and 5 μm or less. When the particle diameter of the substrate particles is in the range of 2 to 5 μm, even when the distance between the electrodes is small and the thickness of the conductive layer is increased, small conductive particles can be obtained.

[導電層]
本発明に係る導電性粒子は、基材粒子の表面上に基材粒子に接するように配置されている導電層を有する。
[Conductive layer]
The electroconductive particle which concerns on this invention has an electroconductive layer arrange | positioned so that it may contact | connect a base particle on the surface of a base particle.

上記導電層を形成するための金属は特に限定されない。該金属としては、例えば、金、銀、パラジウム、銅、白金、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、タリウム、ゲルマニウム、カドミウム、ケイ素及びこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属としては、錫ドープ酸化インジウム(ITO)及びはんだ等が挙げられる。なかでも、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができるので、錫を含む合金、ニッケル、パラジウム、銅又は金が好ましく、ニッケル又はパラジウムが好ましい。   The metal for forming the conductive layer is not particularly limited. Examples of the metal include gold, silver, palladium, copper, platinum, zinc, iron, tin, lead, aluminum, cobalt, indium, nickel, chromium, titanium, antimony, bismuth, thallium, germanium, cadmium, silicon, and these. And the like. Examples of the metal include tin-doped indium oxide (ITO) and solder. Especially, since the connection resistance between electrodes can be made still lower, an alloy containing tin, nickel, palladium, copper or gold is preferable, and nickel or palladium is preferable.

導電性粒子1,21のように、上記導電層は、1つの層により形成されていてもよい。導電性粒子11のように、導電層は、複数の層により形成されていてもよい。すなわち、導電層は、2層以上の積層構造を有していてもよい。導電層が複数の層により形成されている場合には、最外層は、金層、ニッケル層、パラジウム層、銅層又は錫と銀とを含む合金層であることが好ましく、金層であることがより好ましい。最外層がこれらの好ましい導電層である場合には、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。また、最外層が金層である場合には、耐腐食性がより一層高くなる。   Like the conductive particles 1 and 21, the conductive layer may be formed of one layer. Like the conductive particles 11, the conductive layer may be formed of a plurality of layers. That is, the conductive layer may have a stacked structure of two or more layers. When the conductive layer is formed of a plurality of layers, the outermost layer is preferably a gold layer, a nickel layer, a palladium layer, a copper layer, or an alloy layer containing tin and silver, and is a gold layer. Is more preferable. When the outermost layer is these preferred conductive layers, the connection resistance between the electrodes is further reduced. Moreover, when the outermost layer is a gold layer, the corrosion resistance is further enhanced.

上記基材粒子に接する上記導電層はニッケルを含むことが好ましい。上記導電層は、ニッケルを主成分として含むことが好ましい。ニッケルを含む導電層は、ピロリドン基を介して基材粒子に強固に化学結合する。ピロリドン基を表面に有する基材粒子の表面上に、導電層を形成すると、基材粒子と導電層とがピロリドン基を介して、強固に化学結合する。このため、導電層がニッケルを含む導電性粒子により電極間を接続した場合に、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。   The conductive layer in contact with the substrate particles preferably contains nickel. The conductive layer preferably contains nickel as a main component. The conductive layer containing nickel is strongly chemically bonded to the base particle through the pyrrolidone group. When the conductive layer is formed on the surface of the base particle having the pyrrolidone group on the surface, the base particle and the conductive layer are strongly chemically bonded via the pyrrolidone group. For this reason, when the conductive layer connects the electrodes with conductive particles containing nickel, the connection resistance between the electrodes is further reduced.

上記基材粒子に接する上記導電層100重量%中のニッケルの含有量が50重量%以上であると、電極間の接続抵抗がかなり低くなる。上記導電層100重量%中のニッケルの含有量は好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記導電層100重量%中のニッケルの含有量は97重量%以上であってもよく、97.5重量%以上であってもよく、98重量%以上であってもよい。上記導電層100重量%中のニッケルの含有量は好ましくは99.85重量%以下、より好ましくは99.7重量%以下、更に好ましくは99.45重量%未満である。上記ニッケルの含有量が上記下限以上であると、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。また、電極や導電層の表面における酸化被膜が少ない場合には、上記ニッケルの含有量が多いほど電極間の接続抵抗が低くなる傾向がある。   When the content of nickel in 100% by weight of the conductive layer in contact with the substrate particles is 50% by weight or more, the connection resistance between the electrodes is considerably reduced. The content of nickel in 100% by weight of the conductive layer is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, and particularly preferably 90% by weight or more. The content of nickel in 100% by weight of the conductive layer may be 97% by weight or more, 97.5% by weight or more, or 98% by weight or more. The content of nickel in 100% by weight of the conductive layer is preferably 99.85% by weight or less, more preferably 99.7% by weight or less, and still more preferably less than 99.45% by weight. When the nickel content is not less than the lower limit, the connection resistance between the electrodes is further reduced. Moreover, when there are few oxide films in the surface of an electrode or a conductive layer, there exists a tendency for the connection resistance between electrodes to become low, so that there is much content of the said nickel.

上記基材粒子に接する上記導電層は、ニッケルと、ボロン及びリンの内の少なくとも1種とを含むことが好ましい。上記導電層では、ニッケルとボロン及びリンの内の少なくとも1種とは合金化していてもよい。また、上記導電層では、ニッケル、ボロン及びリン以外の成分を用いてもよい。   The conductive layer in contact with the substrate particles preferably includes nickel and at least one of boron and phosphorus. In the conductive layer, nickel and at least one of boron and phosphorus may be alloyed. In the conductive layer, components other than nickel, boron, and phosphorus may be used.

上記基材粒子に接する上記導電層100重量%中のボロンとリンとの合計の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、更に好ましくは0.1重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは4重量%以下、更に好ましくは3重量%以下、特に好ましくは2.5重量%以下、最も好ましくは2重量%以下である。ボロンとリンとの合計の含有量が上記下限以上であると、導電層がより一層硬くなり、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜をより一層効果的に除去でき、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。ボロンとリンとの合計の含有量が上記上限以下であると、ニッケルの含有量が相対的に多くなるので、電極間の接続抵抗が低くなる。   The total content of boron and phosphorus in 100% by weight of the conductive layer in contact with the substrate particles is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, and still more preferably 0.1% by weight. % Or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 4% by weight or less, still more preferably 3% by weight or less, particularly preferably 2.5% by weight or less, and most preferably 2% by weight or less. When the total content of boron and phosphorus is not less than the above lower limit, the conductive layer becomes harder, and the oxide film on the surface of the electrode and conductive particles can be more effectively removed, and the connection resistance between the electrodes can be reduced. It can be made even lower. When the total content of boron and phosphorus is not more than the above upper limit, the content of nickel is relatively increased, so that the connection resistance between the electrodes is reduced.

上記基材粒子に接する上記導電層100重量%中のボロンの含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、更に好ましくは0.1重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは4重量%以下、更に好ましくは3重量%以下、特に好ましくは2.5重量%以下、最も好ましくは2重量%以下である。ボロンの含有量が上記下限以上であると、導電層がより一層硬くなり、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜をより一層効果的に除去でき、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。ボロンの含有量が上記上限以下であると、ニッケルの含有量が相対的に多くなるので、電極間の接続抵抗が低くなる。   The content of boron in 100% by weight of the conductive layer in contact with the substrate particles is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, still more preferably 0.1% by weight or more, preferably It is 5% by weight or less, more preferably 4% by weight or less, further preferably 3% by weight or less, particularly preferably 2.5% by weight or less, and most preferably 2% by weight or less. When the boron content is at least the above lower limit, the conductive layer becomes harder, the oxide film on the surface of the electrode and conductive particles can be more effectively removed, and the connection resistance between the electrodes is further reduced. Can do. If the boron content is less than or equal to the above upper limit, the nickel content is relatively increased, so that the connection resistance between the electrodes is reduced.

上記基材粒子に接する上記導電層は、リンを含まないか又は含み、かつ上記導電層100重量%中のリンの含有量が0.5重量%未満であることが好ましい。上記導電層100重量%中のリンの含有量はより好ましくは0.3重量%以下、更に好ましくは0.1重量%以下である。上記導電層はリンを含まないことが特に好ましい。   It is preferable that the conductive layer in contact with the substrate particles does not contain phosphorus or contains phosphorus and the content of phosphorus in 100% by weight of the conductive layer is less than 0.5% by weight. The content of phosphorus in 100% by weight of the conductive layer is more preferably 0.3% by weight or less, and still more preferably 0.1% by weight or less. It is particularly preferable that the conductive layer does not contain phosphorus.

上記導電層におけるニッケル、ボロン及びリンなどの各含有量の測定方法は、既知の種々の分析法を用いることができ特に限定されない。この測定方法として、吸光分析法又はスペクトル分析法等が挙げられる。上記吸光分析法では、フレーム吸光光度計及び電気加熱炉吸光光度計等を用いることができる。上記スペクトル分析法としては、プラズマ発光分析法及びプラズマイオン源質量分析法等が挙げられる。   The measuring method of each content of nickel, boron, phosphorus and the like in the conductive layer is not particularly limited, and various known analytical methods can be used. Examples of this measuring method include absorption spectrometry or spectrum analysis. In the above-mentioned absorption analysis method, a flame absorptiometer, an electric heating furnace absorptiometer or the like can be used. Examples of the spectrum analysis method include a plasma emission analysis method and a plasma ion source mass spectrometry method.

上記導電層におけるニッケル、ボロン及びリンなどの各含有量を測定する際には、ICP発光分析装置を用いることが好ましい。ICP発光分析装置の市販品としては、HORIBA社製のICP発光分析装置等が挙げられる。   When measuring the contents of nickel, boron, phosphorus, etc. in the conductive layer, it is preferable to use an ICP emission spectrometer. Examples of commercially available ICP emission analyzers include ICP emission analyzers manufactured by HORIBA.

上記基材粒子などの表面上に導電層を形成する方法は特に限定されない。導電層を形成する方法としては、例えば、無電解めっきによる方法、電気めっきによる方法、物理的蒸着による方法、並びに金属粉末もしくは金属粉末とバインダーとを含むペーストを基材粒子又は他の導電層の表面にコーティングする方法等が挙げられる。なかでも、導電層の形成が簡便であるので、無電解めっきによる方法が好ましい。上記物理的蒸着による方法としては、真空蒸着、イオンプレーティング及びイオンスパッタリング等の方法が挙げられる。   The method for forming the conductive layer on the surface of the substrate particles or the like is not particularly limited. As a method for forming the conductive layer, for example, a method by electroless plating, a method by electroplating, a method by physical vapor deposition, and a paste containing metal powder or metal powder and a binder is used for base particles or other conductive layers. For example, a method of coating the surface. Especially, since formation of a conductive layer is simple, the method by electroless plating is preferable. Examples of the method by physical vapor deposition include methods such as vacuum vapor deposition, ion plating, and ion sputtering.

上記導電性粒子の粒子径は、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下である。導電性粒子の粒子径が上記下限以上及び上限以下であると、導電性粒子を用いて電極間を接続した場合に、導電性粒子と電極との接触面積が充分に大きくなり、かつ導電層を形成する際に凝集した導電性粒子が形成されにくくなる。また、導電性粒子を介して接続された電極間の間隔が大きくなりすぎず、かつ導電層が基材粒子の表面から剥離し難くなる。   The particle diameter of the conductive particles is preferably 0.5 μm or more, more preferably 1 μm or more, preferably 100 μm or less, more preferably 20 μm or less. When the particle diameter of the conductive particles is not less than the above lower limit and not more than the upper limit, when the electrodes are connected using the conductive particles, the contact area between the conductive particles and the electrode is sufficiently large, and the conductive layer is formed. Aggregated conductive particles are less likely to be formed during formation. Further, the distance between the electrodes connected via the conductive particles does not become too large, and the conductive layer is difficult to peel from the surface of the base material particles.

上記導電性粒子の粒子径は、導電性粒子が真球状である場合には、直径を示し、導電性粒子が真球状ではない場合には、最大径を示す。   The particle diameter of the conductive particles indicates the diameter when the conductive particles are true spherical, and indicates the maximum diameter when the conductive particles are not true spherical.

導電性粒子における導電層全体の厚み及び導電層が単層である場合の導電層の厚みは、好ましくは0.005μm以上、より好ましくは0.01μm以上、更に好ましくは0.05μm以上、好ましくは1μm以下、より好ましくは0.3μm以下である。上記導電層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、充分な導電性が得られ、かつ導電性粒子が硬くなりすぎずに、電極間の接続の際に導電性粒子が充分に変形する。   The total thickness of the conductive layer in the conductive particles and the thickness of the conductive layer when the conductive layer is a single layer are preferably 0.005 μm or more, more preferably 0.01 μm or more, still more preferably 0.05 μm or more, preferably It is 1 μm or less, more preferably 0.3 μm or less. When the thickness of the conductive layer is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, sufficient conductivity is obtained, and the conductive particles do not become too hard, and the conductive particles are sufficiently deformed when connecting the electrodes. To do.

導電層が2層以上の積層構造である場合に、基材粒子に接する導電層の厚みは、好ましくは0.001μm以上、より好ましくは0.01μm以上、更に好ましくは0.05μm以上、好ましくは0.5μm以下、より好ましくは0.3μm以下、更に好ましくは0.1μm以下である。上記導電層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、導電層による被覆を均一にでき、かつ電極間の接続抵抗が充分に低くなる。   When the conductive layer has a laminated structure of two or more layers, the thickness of the conductive layer in contact with the substrate particles is preferably 0.001 μm or more, more preferably 0.01 μm or more, still more preferably 0.05 μm or more, preferably It is 0.5 μm or less, more preferably 0.3 μm or less, and still more preferably 0.1 μm or less. When the thickness of the conductive layer is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the coating with the conductive layer can be made uniform, and the connection resistance between the electrodes becomes sufficiently low.

導電性粒子における導電層全体の厚み及び導電層が単層である場合の導電層の厚みは、0.05μm以上、0.3μm以下であることが特に好ましい。さらに、基材粒子の粒子径が2μm以上、5μm以下であり、かつ、導電性粒子における導電層全体の厚み及び導電層が単層である場合の導電層の厚みが0.05μm以上、0.3μm以下であることが特に好ましい。この場合には、導電性粒子を大きな電流が流れる用途により好適に用いることができる。さらに、導電性粒子を圧縮して電極間を接続した場合に、電極が損傷するのをより一層抑制できる。   The thickness of the entire conductive layer in the conductive particles and the thickness of the conductive layer when the conductive layer is a single layer are particularly preferably 0.05 μm or more and 0.3 μm or less. Furthermore, when the particle diameter of the substrate particles is 2 μm or more and 5 μm or less, and the thickness of the entire conductive layer in the conductive particles and the conductive layer is a single layer, the thickness of the conductive layer is 0.05 μm or more, 0. It is particularly preferable that the thickness is 3 μm or less. In this case, the conductive particles can be suitably used for applications in which a large current flows. Furthermore, when the conductive particles are compressed to connect the electrodes, it is possible to further suppress the electrodes from being damaged.

上記導電層の厚みは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、導電性粒子の断面を観察することにより測定できる。   The thickness of the conductive layer can be measured by observing the cross section of the conductive particles using, for example, a transmission electron microscope (TEM).

上記導電層におけるニッケル、ボロン及びリンの含有量を制御する方法としては、例えば、無電解ニッケルめっきにより導電層を形成する際に、ニッケルめっき液のpHを制御する方法、無電解ニッケルめっきにより導電層を形成する際に、ボロン含有還元剤の濃度を調整する方法、無電解ニッケルめっきにより導電層を形成する際に、リン含有還元剤の濃度を調整する方法、並びにニッケルめっき液中のニッケル濃度を調整する方法等が挙げられる。   As a method for controlling the content of nickel, boron and phosphorus in the conductive layer, for example, when forming a conductive layer by electroless nickel plating, a method for controlling the pH of a nickel plating solution, and by conducting electroless nickel plating A method of adjusting the concentration of the boron-containing reducing agent when forming the layer, a method of adjusting the concentration of the phosphorus-containing reducing agent when forming the conductive layer by electroless nickel plating, and the nickel concentration in the nickel plating solution The method etc. of adjusting are mentioned.

無電解めっきにより形成する方法では、一般的に、触媒化工程と、無電解めっき工程とが行われる。以下、無電解めっきにより、樹脂粒子の表面に、ニッケルとボロンとを含む合金めっき層を形成する方法の一例を説明する。   In the method of forming by electroless plating, generally, a catalyzing step and an electroless plating step are performed. Hereinafter, an example of a method for forming an alloy plating layer containing nickel and boron on the surface of resin particles by electroless plating will be described.

上記触媒化工程では、無電解めっきによりめっき層を形成するための起点となる触媒を、樹脂粒子の表面に形成させる。   In the catalyzing step, a catalyst serving as a starting point for forming a plating layer by electroless plating is formed on the surface of the resin particles.

上記触媒を樹脂粒子の表面に形成させる方法としては、例えば、塩化パラジウムと塩化スズとを含む溶液に、樹脂粒子を添加した後、酸溶液又はアルカリ溶液により樹脂粒子の表面を活性化させて、樹脂粒子の表面にパラジウムを析出させる方法、並びに硫酸パラジウムとアミノピリジンとを含有する溶液に、樹脂粒子を添加した後、還元剤を含む溶液により樹脂粒子の表面を活性化させて、樹脂粒子の表面にパラジウムを析出させる方法等が挙げられる。上記還元剤として、ボロン含有還元剤が好適に用いられる。また、上記還元剤として、リン含有還元剤を用いることで、リンを含む導電層を形成できる。   As a method of forming the catalyst on the surface of the resin particles, for example, after adding the resin particles to a solution containing palladium chloride and tin chloride, the surface of the resin particles is activated with an acid solution or an alkali solution, A method of depositing palladium on the surface of the resin particles, and after adding the resin particles to a solution containing palladium sulfate and aminopyridine, the surface of the resin particles is activated by a solution containing a reducing agent. Examples thereof include a method of depositing palladium on the surface. As the reducing agent, a boron-containing reducing agent is preferably used. In addition, a conductive layer containing phosphorus can be formed by using a phosphorus-containing reducing agent as the reducing agent.

上記無電解めっき工程では、ニッケル含有化合物及び上記ボロン含有還元剤を含むニッケルめっき浴が好適に用いられる。ニッケルめっき浴中に樹脂粒子を浸漬することにより、触媒が表面に形成された樹脂粒子の表面に、ニッケルを析出させることができ、ニッケルとボロンとを含む導電層を形成できる。   In the electroless plating step, a nickel plating bath containing a nickel-containing compound and the boron-containing reducing agent is preferably used. By immersing the resin particles in the nickel plating bath, nickel can be deposited on the surface of the resin particles on which the catalyst is formed, and a conductive layer containing nickel and boron can be formed.

上記ニッケル含有化合物としては、硫酸ニッケル及び塩化ニッケル等が挙げられる。上記ニッケル含有化合物は、ニッケル塩であることが好ましい。   Examples of the nickel-containing compound include nickel sulfate and nickel chloride. The nickel-containing compound is preferably a nickel salt.

上記ボロン含有還元剤としては、ジメチルアミンボラン、水素化ホウ素ナトリウム及び水素化ホウ素カリウム等が挙げられる。上記リン含有還元剤としては、次亜リン酸ナトリウム等が挙げられる。   Examples of the boron-containing reducing agent include dimethylamine borane, sodium borohydride, and potassium borohydride. Examples of the phosphorus-containing reducing agent include sodium hypophosphite.

[芯物質]
本発明に係る導電性粒子は導電性の表面に突起を有することが好ましい。導電層は外表面に突起を有することが好ましい。該突起は複数であることが好ましい。導電性粒子により接続される電極の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。さらに、導電性粒子の導電層の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。突起を有する導電性粒子の使用により、電極間に導電性粒子を配置した後、圧着させることにより、突起により酸化被膜が効果的に排除される。このため、電極と導電性粒子とをより一層確実に接触させることができ、電極間の接続抵抗を低くすることができる。さらに、導電性粒子が表面に絶縁性物質を有する場合、又は導電性粒子が樹脂中に分散されて導電材料として用いられる場合に、導電性粒子の突起によって、導電性粒子と電極との間の樹脂を効果的に排除できる。このため、電極間の導通信頼性を高めることができる。
[Core material]
The conductive particles according to the present invention preferably have protrusions on the conductive surface. The conductive layer preferably has a protrusion on the outer surface. It is preferable that there are a plurality of the protrusions. An oxide film is often formed on the surface of the electrode connected by the conductive particles. Furthermore, an oxide film is often formed on the surface of the conductive layer of the conductive particles. By using the conductive particles having protrusions, the oxide film is effectively eliminated by the protrusions by placing the conductive particles between the electrodes and then pressing them. For this reason, an electrode and electroconductive particle can be contacted still more reliably and the connection resistance between electrodes can be made low. Furthermore, when the conductive particles have an insulating substance on the surface, or when the conductive particles are dispersed in the resin and used as a conductive material, the protrusion between the conductive particles and the electrode is caused by the protrusion of the conductive particles. Resin can be effectively eliminated. For this reason, the conduction | electrical_connection reliability between electrodes can be improved.

上記芯物質が上記導電層中に埋め込まれていることによって、上記導電層が外表面に複数の突起を有するようにすることが容易である。但し、導電性粒子及び導電層の表面に突起を形成するために、芯物質を必ずしも用いなくてもよい。   Since the core substance is embedded in the conductive layer, it is easy for the conductive layer to have a plurality of protrusions on the outer surface. However, in order to form protrusions on the surfaces of the conductive particles and the conductive layer, the core substance is not necessarily used.

上記突起を形成する方法としては、基材粒子の表面に芯物質を付着させた後、無電解めっきにより導電層を形成する方法、並びに基材粒子の表面に無電解めっきにより導電層を形成した後、芯物質を付着させ、更に無電解めっきにより導電層を形成する方法等が挙げられる。上記突起を形成する他の方法としては、基材粒子の表面上に、第1の導電層を形成した後、該第1の導電層上に芯物質を配置し、次に第2の導電層を形成する方法、並びに基材粒子の表面上に導電層を形成する途中段階で、芯物質を添加する方法等が挙げられる。   As the method for forming the protrusions, a core material is attached to the surface of the base particle, and then a conductive layer is formed by electroless plating, and a conductive layer is formed on the surface of the base particle by electroless plating. Thereafter, a method of attaching a core substance and further forming a conductive layer by electroless plating may be used. As another method for forming the protrusion, a first conductive layer is formed on the surface of the base particle, and then a core substance is disposed on the first conductive layer, and then the second conductive layer. And a method of adding a core substance in the middle of forming the conductive layer on the surface of the base particle.

上記導電性粒子1個当たりの上記の突起は、好ましくは3個以上、より好ましくは5個以上である。上記突起の数の上限は特に限定されない。突起の数の上限は導電性粒子の粒子径等を考慮して適宜選択できる。   The number of the protrusions per conductive particle is preferably 3 or more, more preferably 5 or more. The upper limit of the number of protrusions is not particularly limited. The upper limit of the number of protrusions can be appropriately selected in consideration of the particle diameter of the conductive particles.

[絶縁性物質]
本発明に係る導電性粒子は、上記導電層の表面上に配置された絶縁性物質を備えることが好ましい。この場合には、導電性粒子を電極間の接続に用いると、隣接する電極間の短絡をより一層防止できる。具体的には、複数の導電性粒子が接触したときに、複数の電極間に絶縁性物質が存在するので、上下の電極間ではなく横方向に隣り合う電極間の短絡を防止できる。なお、電極間の接続の際に、2つの電極で導電性粒子を加圧することにより、導電性粒子の導電層と電極との間の絶縁性物質を容易に排除できる。導電性粒子が導電層の外表面に複数の突起を有するので、導電性粒子の導電層と電極との間の絶縁性物質を容易に排除できる。
[Insulating material]
The conductive particles according to the present invention preferably include an insulating substance disposed on the surface of the conductive layer. In this case, when the conductive particles are used for connection between the electrodes, a short circuit between adjacent electrodes can be further prevented. Specifically, when a plurality of conductive particles are in contact with each other, an insulating material is present between the plurality of electrodes, so that it is possible to prevent a short circuit between electrodes adjacent in the lateral direction instead of between the upper and lower electrodes. In addition, the insulating substance between the conductive layer of an electroconductive particle and an electrode can be easily excluded by pressurizing electroconductive particle with two electrodes in the case of the connection between electrodes. Since the conductive particles have a plurality of protrusions on the outer surface of the conductive layer, the insulating substance between the conductive layer of the conductive particles and the electrode can be easily excluded.

電極間の圧着時に上記絶縁性物質をより一層容易に排除できることから、上記絶縁性物質は、絶縁性粒子であることが好ましい。   The insulating substance is preferably an insulating particle because the insulating substance can be more easily removed when the electrodes are pressed.

上記絶縁性物質の材料である絶縁性樹脂の具体例としては、ポリオレフィン類、(メタ)アクリレート重合体、(メタ)アクリレート共重合体、ブロックポリマー、熱可塑性樹脂、熱可塑性樹脂の架橋物、熱硬化性樹脂及び水溶性樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the insulating resin that is the material of the insulating material include polyolefins, (meth) acrylate polymers, (meth) acrylate copolymers, block polymers, thermoplastic resins, crosslinked thermoplastic resins, heat Examples thereof include curable resins and water-soluble resins.

(導電材料)
本発明に係る導電材料は、上述した導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む。本発明に係る導電性粒子は、バインダー樹脂中に分散され、導電材料として用いられることが好ましい。上記導電材料は、異方性導電材料であることが好ましい。
(Conductive material)
The conductive material according to the present invention includes the conductive particles described above and a binder resin. The conductive particles according to the present invention are preferably dispersed in a binder resin and used as a conductive material. The conductive material is preferably an anisotropic conductive material.

上記バインダー樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂として、公知の絶縁性の樹脂が用いられる。   The binder resin is not particularly limited. As the binder resin, a known insulating resin is used.

上記バインダー樹脂としては、例えば、ビニル樹脂、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、熱可塑性ブロック共重合体及びエラストマー等が挙げられる。上記バインダー樹脂は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the binder resin include vinyl resins, thermoplastic resins, curable resins, thermoplastic block copolymers, and elastomers. As for the said binder resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記ビニル樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体及びポリアミド樹脂等が挙げられる。上記硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。なお、上記硬化性樹脂は、常温硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂又は湿気硬化型樹脂であってもよい。上記硬化性樹脂は、硬化剤と併用されてもよい。上記熱可塑性ブロック共重合体としては、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体の水素添加物、及びスチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体の水素添加物等が挙げられる。上記エラストマーとしては、例えば、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、及びアクリロニトリル−スチレンブロック共重合ゴム等が挙げられる。   Examples of the vinyl resin include vinyl acetate resin, acrylic resin, and styrene resin. Examples of the thermoplastic resin include polyolefin resins, ethylene-vinyl acetate copolymers, and polyamide resins. Examples of the curable resin include an epoxy resin, a urethane resin, a polyimide resin, and an unsaturated polyester resin. The curable resin may be a room temperature curable resin, a thermosetting resin, a photocurable resin, or a moisture curable resin. The curable resin may be used in combination with a curing agent. Examples of the thermoplastic block copolymer include a styrene-butadiene-styrene block copolymer, a styrene-isoprene-styrene block copolymer, a hydrogenated product of a styrene-butadiene-styrene block copolymer, and a styrene-isoprene. -Hydrogenated product of a styrene block copolymer. Examples of the elastomer include styrene-butadiene copolymer rubber and acrylonitrile-styrene block copolymer rubber.

上記導電材料は、上記導電性粒子及び上記バインダー樹脂の他に、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。   In addition to the conductive particles and the binder resin, the conductive material includes, for example, a filler, an extender, a softener, a plasticizer, a polymerization catalyst, a curing catalyst, a colorant, an antioxidant, a heat stabilizer, and a light stabilizer. Various additives such as an agent, an ultraviolet absorber, a lubricant, an antistatic agent and a flame retardant may be contained.

上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法は、従来公知の分散方法を用いることができ特に限定されない。上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法としては、例えば、上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を添加した後、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法、上記導電性粒子を水又は有機溶剤中にホモジナイザー等を用いて均一に分散させた後、上記バインダー樹脂中に添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法、並びに上記バインダー樹脂を水又は有機溶剤等で希釈した後、上記導電性粒子を添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法等が挙げられる。   The method for dispersing the conductive particles in the binder resin is not particularly limited, and a conventionally known dispersion method can be used. Examples of a method for dispersing the conductive particles in the binder resin include a method in which the conductive particles are added to the binder resin and then kneaded and dispersed with a planetary mixer or the like. The conductive particles are dispersed in water. Alternatively, after uniformly dispersing in an organic solvent using a homogenizer or the like, it is added to the binder resin and kneaded with a planetary mixer or the like, and the binder resin is diluted with water or an organic solvent. Then, the method of adding the said electroconductive particle, kneading with a planetary mixer etc. and disperse | distributing is mentioned.

本発明に係る導電材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。本発明に係る導電材料が、導電フィルムである場合には、導電性粒子を含む導電フィルムに、導電性粒子を含まないフィルムが積層されていてもよい。上記導電ペーストは、異方性導電ペーストであることが好ましい。上記導電フィルムは、異方性導電フィルムであることが好ましい。   The conductive material according to the present invention can be used as a conductive paste and a conductive film. When the conductive material according to the present invention is a conductive film, a film that does not include conductive particles may be laminated on a conductive film that includes conductive particles. The conductive paste is preferably an anisotropic conductive paste. The conductive film is preferably an anisotropic conductive film.

上記導電材料100重量%中、上記バインダー樹脂の含有量は好ましくは10重量%以上、より好ましくは30重量%以上、更に好ましくは50重量%以上、特に好ましくは70重量%以上、好ましくは99.99重量%以下、より好ましくは99.9重量%以下である。上記バインダー樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間に導電性粒子が効率的に配置され、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層高くなる。   In 100% by weight of the conductive material, the content of the binder resin is preferably 10% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, still more preferably 50% by weight or more, particularly preferably 70% by weight or more, preferably 99.% or more. It is 99 weight% or less, More preferably, it is 99.9 weight% or less. When the content of the binder resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the conductive particles are efficiently arranged between the electrodes, and the connection reliability of the connection target member connected by the conductive material is further increased.

上記導電材料100重量%中、上記導電性粒子の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.1重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは20重量%以下、更に好ましくは10重量%以下である。上記導電性粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。   In 100% by weight of the conductive material, the content of the conductive particles is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.1% by weight or more, preferably 40% by weight or less, more preferably 20% by weight or less, More preferably, it is 10 weight% or less. When the content of the conductive particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the conduction reliability between the electrodes is further enhanced.

(接続構造体)
本発明の導電性粒子を用いて、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料を用いて、接続対象部材を接続することにより、接続構造体を得ることができる。
(Connection structure)
A connection structure can be obtained by connecting the connection target members using the conductive particles of the present invention or using a conductive material containing the conductive particles and a binder resin.

上記接続構造体は、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、第1,第2の接続対象部材を接続している接続部とを備え、該接続部が本発明の導電性粒子により形成されているか、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料(異方性導電材料など)により形成されている接続構造体であることが好ましい。導電性粒子が用いられた場合には、接続部自体が導電性粒子である。すなわち、第1,第2の接続対象部材が導電性粒子により接続される。   The connection structure includes a first connection target member, a second connection target member, and a connection portion connecting the first and second connection target members, and the connection portion is a conductive member of the present invention. The connection structure is preferably formed of conductive particles or formed of a conductive material (such as an anisotropic conductive material) containing the conductive particles and a binder resin. In the case where conductive particles are used, the connection portion itself is conductive particles. That is, the first and second connection target members are connected by the conductive particles.

図4に、本発明の第1の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体を模式的に正面断面図で示す。   In FIG. 4, the connection structure using the electroconductive particle which concerns on the 1st Embodiment of this invention is typically shown with front sectional drawing.

図4に示す接続構造体51は、第1の接続対象部材52と、第2の接続対象部材53と、第1,第2の接続対象部材52,53を接続している接続部54とを備える。接続部54は、導電性粒子1を含む導電材料を硬化させることにより形成されている。なお、図4では、導電性粒子1は、図示の便宜上、略図的に示されている。導電性粒子1にかえて、導電性粒子11,21などを用いてもよい。   4 includes a first connection target member 52, a second connection target member 53, and a connection portion 54 that connects the first and second connection target members 52 and 53. Prepare. The connection portion 54 is formed by curing a conductive material including the conductive particles 1. In FIG. 4, the conductive particles 1 are schematically shown for convenience of illustration. Instead of the conductive particles 1, conductive particles 11, 21 and the like may be used.

第1の接続対象部材52は表面52a(上面)に、複数の第1の電極52bを有する。第2の接続対象部材53は表面53a(下面)に、複数の第2の電極53bを有する。第1の電極52bと第2の電極53bとが、1つ又は複数の導電性粒子1により電気的に接続されている。従って、第1,第2の接続対象部材52,53が導電性粒子1により電気的に接続されている。   The first connection target member 52 has a plurality of first electrodes 52b on the surface 52a (upper surface). The second connection target member 53 has a plurality of second electrodes 53b on the surface 53a (lower surface). The first electrode 52 b and the second electrode 53 b are electrically connected by one or a plurality of conductive particles 1. Therefore, the first and second connection target members 52 and 53 are electrically connected by the conductive particles 1.

上記接続構造体の製造方法は特に限定されない。接続構造体の製造方法の一例としては、第1の接続対象部材と第2の接続対象部材との間に上記導電材料を配置し、積層体を得た後、該積層体を加熱及び加圧する方法等が挙げられる。上記加圧の圧力は9.8×10〜4.9×10Pa程度である。上記加熱の温度は、120〜220℃程度である。 The manufacturing method of the connection structure is not particularly limited. As an example of the manufacturing method of the connection structure, the conductive material is disposed between the first connection target member and the second connection target member to obtain a laminate, and then the laminate is heated and pressurized. Methods and the like. The pressure of the said pressurization is about 9.8 * 10 < 4 > -4.9 * 10 < 6 > Pa. The temperature of the said heating is about 120-220 degreeC.

上記接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びにプリント基板、フレキシブルプリント基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板などの電子部品等が挙げられる。上記接続対象部材は電子部品であることが好ましい。上記導電性粒子は、電子部品における電極の電気的な接続に用いられることが好ましい。   Specific examples of the connection target member include electronic components such as semiconductor chips, capacitors, and diodes, and electronic components such as printed boards, flexible printed boards, glass epoxy boards, and glass boards. The connection target member is preferably an electronic component. The conductive particles are preferably used for electrical connection of electrodes in an electronic component.

上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。   Examples of the electrode provided on the connection target member include metal electrodes such as a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, and a tungsten electrode. When the connection object member is a flexible printed board, the electrode is preferably a gold electrode, a nickel electrode, a tin electrode, or a copper electrode. When the connection target member is a glass substrate, the electrode is preferably an aluminum electrode, a copper electrode, a molybdenum electrode, or a tungsten electrode. In addition, when the said electrode is an aluminum electrode, the electrode formed only with aluminum may be sufficient and the electrode by which the aluminum layer was laminated | stacked on the surface of the metal oxide layer may be sufficient. Examples of the material for the metal oxide layer include indium oxide doped with a trivalent metal element and zinc oxide doped with a trivalent metal element. Examples of the trivalent metal element include Sn, Al, and Ga.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited only to the following examples.

(基材粒子A〜Lの作製)
(1)基材粒子Aの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン100重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Aを得た。得られた基材粒子Aの粒子径は、3.0μmであった。
(Preparation of substrate particles A to L)
(1) Preparation of base particle A A mixture of 100 parts by weight of divinylbenzene and 2 parts by weight of benzoyl peroxide was added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone, and the particle size was adjusted by stirring. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base particle A which has the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle A had a particle size of 3.0 μm.

(2)基材粒子Bの作製
ポリビニルアルコールの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン100重量部、N−ビニルピロリドン5重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、N−ビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Bを得た。得られた基材粒子Bの粒子径は、3.0μmであった。
(2) Preparation of base particle B A mixture of 100 parts by weight of divinylbenzene, 5 parts by weight of N-vinylpyrrolidone, and 2 parts by weight of benzoyl peroxide was added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinyl alcohol and stirred. The particle size was adjusted. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base-material particle | grains B which have the pyrrolidone group derived from N-vinyl pyrrolidone on the surface. The obtained base particle B had a particle size of 3.0 μm.

(3)基材粒子Cの作製
粒子径が3.0μmであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子(積水化学工業社製「ミクロパールSP−203」)を用意した。
(3) Preparation of base particle C Divinylbenzene copolymer resin particles (“Micropearl SP-203” manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) having a particle size of 3.0 μm were prepared.

セパラブルフラスコ内に、上記ジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子100重量部、ジメチルスルホキシド200重量部、及びN−ビニルピロリドン50重量部を加え、撹拌した。次に、セパラブルフラスコ内に窒素ガスを導入し、30℃にて3時間撹拌した。その後、セパラブルフラスコ内に1Nの硝酸水溶液で調製した0.1モル/Lの硝酸第二セリウムアンモニウム溶液50重量部を追加し、10時間反応を行い、粒子を得た。反応終了後、得られた粒子をテトラヒドロフランにて洗浄した。その後、乾燥して、N−ビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Cを得た。得られた基材粒子Cの粒子径は、3.0μmであった。   In the separable flask, 100 parts by weight of the divinylbenzene copolymer resin particles, 200 parts by weight of dimethyl sulfoxide, and 50 parts by weight of N-vinylpyrrolidone were added and stirred. Next, nitrogen gas was introduced into the separable flask and stirred at 30 ° C. for 3 hours. Thereafter, 50 parts by weight of a 0.1 mol / L ceric ammonium nitrate solution prepared with a 1N nitric acid aqueous solution was added to the separable flask and reacted for 10 hours to obtain particles. After completion of the reaction, the obtained particles were washed with tetrahydrofuran. Thereafter, drying was performed to obtain base particles C having pyrrolidone groups derived from N-vinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle C had a particle size of 3.0 μm.

(4)基材粒子Dの作製
ポリビニルアルコールの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン100重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して基材粒子Dを得た。得られた基材粒子Dの粒子径は、3.0μmであった。
(4) Preparation of base particle D A mixed solution of 100 parts by weight of divinylbenzene and 2 parts by weight of benzoyl peroxide was added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinyl alcohol, and the particle size was adjusted by stirring. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and the base particle D was obtained. The obtained base particle D had a particle size of 3.0 μm.

(5)基材粒子Eの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン30重量部、メチルメタクリレート70重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Eを得た。得られた基材粒子Eの粒子径は、3.0μmであった。
(5) Preparation of substrate particles E A mixture of 30 parts by weight of divinylbenzene, 70 parts by weight of methyl methacrylate, and 2 parts by weight of benzoyl peroxide is added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone and stirred to obtain a particle size. Adjustments were made. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base particle E which has the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle E had a particle size of 3.0 μm.

(6)基材粒子Fの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン30重量部、イソボロニルメタクリレート70重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Fを得た。得られた基材粒子Fの粒子径は、3.0μmであった。
(6) Preparation of base particle F A mixture of 30 parts by weight of divinylbenzene, 70 parts by weight of isobornyl methacrylate and 2 parts by weight of benzoyl peroxide was added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone and stirred. The particle size was adjusted. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base particle F which has the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle F had a particle size of 3.0 μm.

(7)基材粒子Gの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン80重量部、アクリロニトリル20重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Gを得た。得られた基材粒子Gの粒子径は、3.0μmであった。
(7) Preparation of base particle G A mixture of 80 parts by weight of divinylbenzene, 20 parts by weight of acrylonitrile and 2 parts by weight of benzoyl peroxide is added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone, and the particle size is adjusted by stirring. Went. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base-material particle | grains G which have the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle G had a particle size of 3.0 μm.

(8)基材粒子Hの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン60重量部、アクリロニトリル40重量部、及びパーブチルZ(油脂製品社製)2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら140℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Hを得た。得られた基材粒子Hの粒子径は、3.0μmであった。
(8) Preparation of base particle H To 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinyl pyrrolidone, a mixed liquid of 60 parts by weight of divinylbenzene, 40 parts by weight of acrylonitrile, and 2 parts by weight of perbutyl Z (manufactured by Yushi Co., Ltd.) was added. The particle size was adjusted by stirring. Then, it heated up to 140 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base-material particle | grains H which have the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle H had a particle size of 3.0 μm.

(9)基材粒子Iの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン40重量部、メチルメタクリレート60重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Iを得た。得られた基材粒子Iの粒子径は、3.0μmであった。
(9) Preparation of base particle I A mixture of 40 parts by weight of divinylbenzene, 60 parts by weight of methyl methacrylate, and 2 parts by weight of benzoyl peroxide was added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone and stirred to obtain a particle size. Adjustments were made. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base material particle | grains I which have the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle I had a particle size of 3.0 μm.

(10)基材粒子Jの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン70重量部、アクリロニトリル30重量部、及びパーブチルZ(油脂製品社製)2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら120℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Jを得た。得られた基材粒子Jの粒子径は、3.0μmであった。
(10) Preparation of substrate particles J To 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinyl pyrrolidone, a mixed liquid of 70 parts by weight of divinylbenzene, 30 parts by weight of acrylonitrile, and 2 parts by weight of perbutyl Z (manufactured by Yushi Co., Ltd.) was added. The particle size was adjusted by stirring. Then, it heated up to 120 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours and obtained particle | grains. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base material particle | grains J which have the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle J had a particle size of 3.0 μm.

(11)基材粒子Kの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン40重量部、イソボロニルメタクリレート60重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら80℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Kを得た。得られた基材粒子Kの粒子径は、3.0μmであった。
(11) Preparation of substrate particles K A mixture of 40 parts by weight of divinylbenzene, 60 parts by weight of isobornyl methacrylate and 2 parts by weight of benzoyl peroxide is added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone and stirred. The particle size was adjusted. Then, it heated up to 80 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and particle | grains were obtained. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base particle K which has the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle K had a particle size of 3.0 μm.

(12)基材粒子Lの作製
ポリビニルピロリドンの3重量%水溶液800重量部に、ジビニルベンゼン70重量部、アクリロニトリル30重量部、及び過酸化ベンゾイル2重量部の混合液を加え、撹拌して粒度調整を行った。その後、撹拌しながら100℃まで昇温して、15時間反応を行い、粒子を得た。得られた粒子を熱イオン交換水及びメタノールにて洗浄後、分級操作を行った。その後、乾燥して、ポリビニルピロリドンに由来するピロリドン基を表面に有する基材粒子Lを得た。得られた基材粒子Lの粒子径は、3.0μmであった。
(12) Preparation of base particle L A mixture of 70 parts by weight of divinylbenzene, 30 parts by weight of acrylonitrile and 2 parts by weight of benzoyl peroxide is added to 800 parts by weight of a 3% by weight aqueous solution of polyvinylpyrrolidone, and the particle size is adjusted by stirring. Went. Then, it heated up to 100 degreeC, stirring, and reacted for 15 hours, and obtained particle | grains. The obtained particles were washed with hot ion exchange water and methanol, and then classified. Then, it dried and obtained the base particle L which has the pyrrolidone group derived from polyvinylpyrrolidone on the surface. The obtained base particle L had a particle size of 3.0 μm.

(実施例1)
パラジウム触媒液を5重量%含むアルカリ溶液100重量部に、得られた基材粒子A10重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、基材粒子Aを取り出した。次いで、基材粒子Aをジメチルアミンボラン1重量%溶液100重量部に添加し、基材粒子Aの表面を活性化させた。表面が活性化された基材粒子Aを十分に水洗した後、蒸留水500重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
Example 1
After dispersing 10 parts by weight of the obtained base particle A in 100 parts by weight of an alkaline solution containing 5% by weight of a palladium catalyst solution using an ultrasonic disperser, the base material particle A is obtained by filtering the solution. I took it out. Subsequently, the base particle A was added to 100 parts by weight of a 1% by weight dimethylamine borane solution to activate the surface of the base particle A. The substrate particles A whose surfaces were activated were sufficiently washed with water, and then added to 500 parts by weight of distilled water and dispersed to obtain a suspension.

また、硫酸ニッケル0.23mol/L、ジメチルアミンボラン0.92mol/L、及びクエン酸ナトリウム0.5mol/Lを含むニッケルめっき液(pH8.5)を用意した。   Further, a nickel plating solution (pH 8.5) containing 0.23 mol / L of nickel sulfate, 0.92 mol / L of dimethylamine borane, and 0.5 mol / L of sodium citrate was prepared.

得られた懸濁液を60℃にて攪拌しながら、上記ニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行った。その後、懸濁液を濾過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、基材粒子Aの表面上に基材粒子Aに接するように導電層(厚み0.1μm)が配置された導電性粒子を得た。導電層100重量%中のニッケルの含有量は98.9重量%、ボロンの含有量は1.1重量%であった。   While stirring the obtained suspension at 60 ° C., the nickel plating solution was gradually added dropwise to the suspension to perform electroless nickel plating. Thereafter, by filtering the suspension, the particles are taken out, washed with water, and dried, whereby a conductive layer (thickness 0.1 μm) is disposed on the surface of the base particle A so as to be in contact with the base particle A. Conductive particles were obtained. The content of nickel in 100% by weight of the conductive layer was 98.9% by weight, and the content of boron was 1.1% by weight.

(実施例2)
基材粒子Aを基材粒子Bに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 2)
Conductive particles were obtained in the same manner as in Example 1 except that the base particle A was changed to the base particle B.

(実施例3)
基材粒子Aを基材粒子Cに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 3)
Except having changed the base material particle A into the base material particle C, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(比較例1)
基材粒子Aを基材粒子Dに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Comparative Example 1)
Except having changed the base material particle A into the base material particle D, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(比較例2)
基材粒子Aを基材粒子Eに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Comparative Example 2)
Conductive particles were obtained in the same manner as in Example 1 except that the base particle A was changed to the base particle E.

(比較例3)
基材粒子Aを基材粒子Fに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Comparative Example 3)
Except having changed the base material particle A into the base material particle F, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(比較例4)
基材粒子Aを基材粒子Gに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Comparative Example 4)
Except having changed the base material particle A into the base material particle G, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(比較例5)
基材粒子Aを基材粒子Hに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Comparative Example 5)
Except having changed the base material particle A into the base material particle H, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(実施例4)
(1)パラジウム付着工程
得られた基材粒子Aをエッチングし、水洗した。次に、パラジウム触媒を8重量%含むパラジウム触媒化液100mL中に樹脂粒子を添加し、攪拌した。その後、ろ過し、洗浄した。pH6の0.5重量%ジメチルアミンボラン液に基材粒子Aを添加し、パラジウムが付着された基材粒子Aを得た。
Example 4
(1) Palladium adhesion process The obtained base particle A was etched and washed with water. Next, resin particles were added to 100 mL of a palladium-catalyzed solution containing 8% by weight of a palladium catalyst and stirred. Then, it filtered and wash | cleaned. Substrate particles A were added to 0.5 wt% dimethylamine borane solution at pH 6 to obtain substrate particles A to which palladium was attached.

(2)芯物質付着工程
パラジウムが付着された基材粒子Aをイオン交換水300mL中で3分間攪拌し、分散させ、分散液を得た。次に、金属ニッケル粒子スラリー(平均粒子径100nm)1gを3分間かけて上記分散液に添加し、芯物質が付着された基材粒子Aを得た。
(2) Core substance adhesion process The base particle A to which palladium was adhered was stirred and dispersed in 300 mL of ion-exchanged water for 3 minutes to obtain a dispersion. Next, 1 g of metallic nickel particle slurry (average particle size 100 nm) was added to the dispersion over 3 minutes to obtain substrate particles A to which a core substance was adhered.

(3)無電解ニッケルめっき工程
実施例1と同様にして、パラジウムが付着された基材粒子Aの表面上に導電層(厚み0.1μm)が配置された導電性粒子を得た。得られた導電性粒子は、導電層の外表面に突起を有していた。
(3) Electroless nickel plating step In the same manner as in Example 1, conductive particles in which a conductive layer (thickness: 0.1 μm) was disposed on the surface of the base particle A to which palladium was attached were obtained. The obtained conductive particles had protrusions on the outer surface of the conductive layer.

(比較例6)
基材粒子Aを基材粒子Dに変更したこと以外は実施例4と同様にして、導電性粒子を得た。得られた導電性粒子は、導電層の外表面に突起を有していた。
(Comparative Example 6)
Except having changed the base material particle A into the base material particle D, it carried out similarly to Example 4, and obtained electroconductive particle. The obtained conductive particles had protrusions on the outer surface of the conductive layer.

(実施例5)
基材粒子Aを基材粒子Iに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 5)
Except having changed the base material particle A into the base material particle I, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(実施例6)
基材粒子Aを基材粒子Jに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 6)
Except having changed the base material particle A into the base material particle J, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(実施例7)
基材粒子Aを基材粒子Kに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 7)
Except having changed the base material particle A into the base material particle K, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(実施例8)
基材粒子Aを基材粒子Lに変更したこと以外は実施例1と同様にして、導電性粒子を得た。
(Example 8)
Except having changed the base material particle A to the base material particle L, it carried out similarly to Example 1, and obtained electroconductive particle.

(評価)
(1)圧縮弾性率(30%K値)
得られた導電性粒子の圧縮弾性率(30%K値)を、上述した方法により、微小圧縮試験機(フィッシャー社製「フィッシャースコープH−100」)を用いて測定した。
(Evaluation)
(1) Compression modulus (30% K value)
The compression modulus (30% K value) of the obtained conductive particles was measured by the above-described method using a micro compression tester (“Fischer Scope H-100” manufactured by Fischer).

(2)圧縮回復率
得られた導電性粒子の圧縮回復率を、上述した方法により、微小圧縮試験機(フィッシャー社製「フィッシャースコープH−100」)を用いて測定した。
(2) Compression recovery rate The compression recovery rate of the obtained electroconductive particle was measured by the method mentioned above using the micro compression tester ("Fischer scope H-100" by Fischer).

(3)接続抵抗
接続構造体の作製:
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「エピコート1009」)10重量部と、アクリルゴム(重量平均分子量約80万)40重量部と、メチルエチルケトン200重量部と、マイクロカプセル型硬化剤(旭化成ケミカルズ社製「HX3941HP」)50重量部と、シランカップリング剤(東レダウコーニングシリコーン社製「SH6040」)2重量部とを混合し、導電性粒子を含有量が3重量%となるように添加し、分散させ、樹脂組成物を得た。
(3) Connection resistance Fabrication of connection structure:
10 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (“Epicoat 1009” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 40 parts by weight of acrylic rubber (weight average molecular weight of about 800,000), 200 parts by weight of methyl ethyl ketone, and a microcapsule type curing agent (Asahi Kasei Chemicals) "HX3941HP" manufactured by HX3941) and 2 parts by weight of a silane coupling agent ("SH6040" manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) are mixed, and the conductive particles are added so that the content is 3% by weight. A resin composition was obtained by dispersing.

得られた樹脂組成物を、片面が離型処理された厚さ50μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルムに塗布し、70℃の熱風で5分間乾燥し、異方性導電フィルムを作製した。得られた異方性導電フィルムの厚さは12μmであった。   The obtained resin composition was applied to a 50 μm-thick PET (polyethylene terephthalate) film whose one surface was released from the mold, and dried with hot air at 70 ° C. for 5 minutes to produce an anisotropic conductive film. The thickness of the obtained anisotropic conductive film was 12 μm.

得られた異方性導電フィルムを5mm×5mmの大きさに切断した。切断された異方性導電フィルムを、一方に抵抗測定用の引き回し線を有するアルミニウム電極(高さ0.2μm、L/S=20μm/20μm)を有するガラス基板(幅3cm、長さ3cm)のアルミニウム電極側のほぼ中央に貼り付けた。次いで、同じアルミニウム電極を有する2層フレキシブルプリント基板(幅2cm、長さ1cm)を、電極同士が重なるように位置合わせをしてから貼り合わせた。このガラス基板と2層フレキシブルプリント基板との積層体を、10N、180℃、及び20秒間の圧着条件で熱圧着し、接続構造体を得た。なお、ポリイミドフィルムにアルミニウム電極が直接形成されている2層フレキシブルプリント基板を用いた。   The obtained anisotropic conductive film was cut into a size of 5 mm × 5 mm. The cut anisotropic conductive film is formed of a glass substrate (width 3 cm, length 3 cm) having an aluminum electrode (height 0.2 μm, L / S = 20 μm / 20 μm) having a lead wire for resistance measurement on one side. Affixed almost at the center of the aluminum electrode. Next, a two-layer flexible printed board (width 2 cm, length 1 cm) having the same aluminum electrode was bonded after being aligned so that the electrodes overlap each other. The laminated body of the glass substrate and the two-layer flexible printed circuit board was thermocompression bonded under pressure bonding conditions of 10 N, 180 ° C., and 20 seconds to obtain a connection structure. A two-layer flexible printed board in which an aluminum electrode is directly formed on a polyimide film was used.

接続抵抗の測定:
得られた接続構造体の対向する電極間の接続抵抗を4端子法により測定した。また、接続抵抗を下記の基準で判定した。
Connection resistance measurement:
The connection resistance between the opposing electrodes of the obtained connection structure was measured by the 4-terminal method. Further, the connection resistance was determined according to the following criteria.

[接続抵抗の評価基準]
○○○:接続抵抗が2.0Ω以下
○○:接続抵抗が2.0Ωを超え、3.0Ω以下
○:接続抵抗が3.0Ωを超え、5.0Ω以下
△:接続抵抗が5.0Ωを超え、10Ω以下
×:接続抵抗が10Ωを超える
[Evaluation criteria for connection resistance]
○○○: Connection resistance is 2.0Ω or less ○○: Connection resistance is over 2.0Ω, 3.0Ω or less ○: Connection resistance is over 3.0Ω, 5.0Ω or less Δ: Connection resistance is 5.0Ω Exceeding 10Ω ×: Connection resistance exceeds 10Ω

(4)基材粒子と導電層との密着性
得られた導電性粒子1.0g、直径1mmのジルコニアボール45g、及びトルエン17gを200mLビーカーに入れた。スリーワンモーター攪拌機を用いて6分間400rpmで撹拌した。撹拌終了後、導電性粒子とジルコニアボールとを分別した。走査型電子顕微鏡で1000個の導電性粒子を観察し、基材粒子と導電層との密着性を下記の基準で判定した。
(4) Adhesion between substrate particles and conductive layer 1.0 g of the obtained conductive particles, 45 g of zirconia balls having a diameter of 1 mm, and 17 g of toluene were placed in a 200 mL beaker. The mixture was stirred at 400 rpm for 6 minutes using a three-one motor stirrer. After stirring, the conductive particles and zirconia balls were separated. 1000 conductive particles were observed with a scanning electron microscope, and the adhesion between the substrate particles and the conductive layer was determined according to the following criteria.

[基材粒子と導電層との密着性の判定基準]
○:導電性粒子1000個中、導電層のはがれが生じている導電性粒子が10個未満
△:導電性粒子1000個中、導電層のはがれが生じている導電性粒子が10個以上、50個未満
×:導電性粒子1000個中、導電層のはがれが生じている導電性粒子が50個以上
[Judgment criteria for adhesion between substrate particles and conductive layer]
○: Less than 10 conductive particles in which 1000 conductive particles are peeled. Δ: 10 or more conductive particles in which 1000 conductive particles are peeled. 50 Less than x: 50 or more conductive particles with peeling of the conductive layer in 1000 conductive particles

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 2014026971
Figure 2014026971

1…導電性粒子
1a…突起
2…基材粒子
3…導電層
3a…突起
4…芯物質
5…絶縁性物質
11…導電性粒子
11a…突起
12…第1の導電層
13…第2の導電層
13a…突起
21…導電性粒子
22…導電層
51…接続構造体
52…第1の接続対象部材
52a…表面
52b…第1の電極
53…第2の接続対象部材
53a…表面
53b…第2の電極
54…接続部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conductive particle 1a ... Protrusion 2 ... Base material particle 3 ... Conductive layer 3a ... Protrusion 4 ... Core substance 5 ... Insulating substance 11 ... Conductive particle 11a ... Protrusion 12 ... 1st conductive layer 13 ... 2nd electroconductivity Layer 13a ... Projection 21 ... Conductive particles 22 ... Conductive layer 51 ... Connection structure 52 ... First connection target member 52a ... Surface 52b ... First electrode 53 ... Second connection target member 53a ... Surface 53b ... Second Electrode 54 ... connection part

Claims (8)

基材粒子と、前記基材粒子の表面上に前記基材粒子に接するように配置された導電層とを有し、
前記基材粒子と前記導電層とが、ピロリドン基を介して化学結合しており、
30%圧縮したときの圧縮弾性率が、1500N/mm以上、8000N/mm以下であり、
圧縮回復率が、20%以上、90%以下である、導電性粒子。
Having base material particles and a conductive layer disposed on the surface of the base material particles so as to be in contact with the base material particles,
The base particle and the conductive layer are chemically bonded via a pyrrolidone group,
The compression elastic modulus when compressed by 30% is 1500 N / mm 2 or more and 8000 N / mm 2 or less,
Conductive particles having a compression recovery rate of 20% or more and 90% or less.
ピロリドン基を表面に有する基材粒子の表面上に、前記導電層を配置することにより得られる、請求項1に記載の導電性粒子。   The electroconductive particle of Claim 1 obtained by arrange | positioning the said electroconductive layer on the surface of the base particle which has a pyrrolidone group on the surface. 前記基材粒子が、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、重合反応を行うことで得られるか、
前記基材粒子が、ピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られるか、又は、
前記基材粒子が、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られる、請求項1又は2に記載の導電性粒子。
Whether the substrate particles are obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group,
The substrate particles are obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound having a pyrrolidone group, or
The conductive particles according to claim 1 or 2, wherein the base particles are obtained by surface-treating the base particle main body with a compound having a pyrrolidone group.
前記基材粒子が、重合性化合物とピロリドン基を有する化合物とを用いて、又はピロリドン基を有する重合性化合物を用いて、重合反応を行うことで得られる、請求項1又は2に記載の導電性粒子。   The conductive material according to claim 1 or 2, wherein the substrate particles are obtained by performing a polymerization reaction using a polymerizable compound and a compound having a pyrrolidone group, or using a polymerizable compound having a pyrrolidone group. Sex particles. 前記基材粒子が、基材粒子本体を、ピロリドン基を有する化合物により表面処理することで得られる、請求項1又は2に記載の導電性粒子。   The conductive particles according to claim 1 or 2, wherein the base particles are obtained by surface-treating the base particle main body with a compound having a pyrrolidone group. 前記基材粒子に接する前記導電層が、前記導電層100重量%中、ニッケルを50重量%以上含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性粒子。   The electroconductive particle of any one of Claims 1-5 in which the said electroconductive layer which contact | connects the said base material particle contains 50 weight% or more of nickel in 100 weight% of said electroconductive layers. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む、導電材料。   The electrically-conductive material containing the electroconductive particle of any one of Claims 1-6, and binder resin. 第1の接続対象部材と、
第2の接続対象部材と、
前記第1の接続対象部材と、前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
前記接続部が、請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電性粒子により形成されているか、又は前記導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されている、接続構造体。
A first connection target member;
A second connection target member;
A connecting portion connecting the first connection target member and the second connection target member;
A connection structure in which the connection portion is formed of the conductive particles according to any one of claims 1 to 6, or is formed of a conductive material including the conductive particles and a binder resin.
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