JP2014023976A - 二流体噴霧装置、加圧液体供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧縮気体供給系からの圧縮気体及び加圧液体供給系からの加圧液体を、二流体ノズルに供給して、これで得られる霧化流体を、必要とする箇所に噴射可能な二流体噴霧装置において、前記二流体ノズルが噴霧動作時に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力が、前記加圧液体供給系に印加できるように、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体により前記二流体ノズルに供給する液体の圧力を所望の値に制御する液体圧力制御手段を設けた二流体噴霧装置。
【選択図】図1
Description
(3)ダイヤフラムポンプが用いられてきた。
クリーンルーム01内の温度と湿度を検出器で検出し、これを空調制御盤09に取り込み、これらと目標値との差に応じて、空調機03内に有する冷却コイル04に供給する冷水供給系の比例制御弁011の指令を変更したり、さらには空調機03内に有する加熱コイル05に供給する温水供給系の比例制御弁012の指令を変更したりするようになっている。
Claims (10)
- 圧縮気体供給系からの圧縮気体及び加圧液体供給系からの加圧液体を、二流体ノズルに供給して、これで得られる霧化流体を、必要とする箇所に噴射可能な二流体噴霧装置において、
前記二流体ノズルの噴霧動作時に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力を、前記加圧液体供給系に印加できるようにすると共に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体により前記二流体ノズルに供給する液体の圧力を所望の値に制御する液体圧力制御手段を設けたことを特徴とする二流体噴霧装置。 - 加圧液体供給系からの加圧液体及び圧縮気体供給系からの圧縮気体を、二流体ノズルに供給して、これで得られる霧化流体を、必要とする箇所に噴射可能な二流体噴霧装置において、
前記二流体ノズルの噴霧動作時に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力を、前記加圧液体供給系に印加できるようにすると共に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体により前記二流体ノズルに供給する液体の圧力を所望の値に制御するものであって、前記加圧液体供給系の内部の加圧液体の残量が不足したときに、補給液体を確保する液体補給系からの補給液体を、前記圧縮気体供給系の圧縮気体を用いて、前記加圧液体供給系の加圧液体より高い圧力として前記加圧液体供給系に供給する液体圧力制御手段を設け、前記加圧液体供給系の加圧液体の供給圧力を一定に保ちながら、連続的に噴霧することが可能であることを特徴とする二流体噴霧装置。 - 所定圧力の圧縮気体を供給する圧縮気体供給系と、
加圧液体を供給する加圧液体供給系と、
前記圧縮気体と、前記加圧液体を微粒子化した流体とを同時に供給することで霧化流体を発生させ、この霧化流体を必要とする箇所に噴射可能な二流体ノズル手段と、
前記加圧液体供給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体圧力制御系を設け、前記液体圧力制御系に設け、前記加圧液体供給系の圧力のまま補給液体を取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力をその内部に存在する加圧液体に印加して前記加圧液体を前記二流体ノズル手段に供給可能なバッファタンクと、
液体補給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体補給制御系を設け、前記液体補給制御系に設け、液体供給源の持つ液体の圧力のままで取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を、その内部に存在する液体に印加して前記加圧液体を前記バッファタンクに供給可能な液体供給タンクと、
前記液体圧力制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記バッファタンク内の加圧液体に印加する圧縮気体の圧力を一定にする圧力調整手段と、
前記液体補給制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内に移送するとき前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を印加するように開放状態とする第1の弁と、前記加圧液体供給系であって前記液体供給タンク及び前記バッファタンクの間に設け、前記第1の弁と連動するものであって前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内に移送するとき開放状態とする第2の弁と、
前記バッファタンク内の加圧液体の液位が所定値以下となったとき、前記第1及び第2の弁に対して開放指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送し、かつ前記液体供給タンク内部の液位が所定レベル以下となったとき、前記第1及び第2の弁に対して閉止指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送するのを停止する制御手段と、
を具備したことを特徴とする二流体噴霧装置。 - 所定圧力の圧縮気体を供給する共通の圧縮気体供給系と、
加圧液体を供給する加圧液体供給系と、
前記圧縮気体と、前記加圧液体を微粒子化した流体とを同時に供給することで霧化流体を発生させ、この霧化流体を必要とする箇所に噴射可能な二流体ノズル手段と、
前記加圧液体供給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体圧力制御系を設け、前記液体圧力制御系に設け、前記加圧液体供給系の圧力のまま補給液体を取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を、その内部に存在する加圧液体に印加して前記加圧液体を前記二流体ノズル手段に供給可能なバッファタンクと、
液体補給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体補給制御系を設け、前記液体補給制御系に設け、液体供給源の持つ液体の圧力のままで取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力をその内部に存在する液体に印加して前記加圧液体を前記バッファタンクに供給可能な液体供給タンクと、
前記液体圧力制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記バッファタンク内の加圧液体に印加する圧縮気体の圧力を所望の値に制御する圧力調整手段と、
前記バッファタンクと前記二流体ノズル手段との間における前記加圧液体供給系に設け、前記二流体ノズル手段に供給する加圧液体の圧力を任意に制御可能な比例制御弁と、
前記第1の液体圧力制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記液体供給タンク内の加圧液体を前記バッファタンク内に移送するとき前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を印加するように開放状態とする第1の弁と、
前記バッファタンク内の加圧液体の液位が所定値以下となったとき、前記第1の弁に対して開放指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送し、かつ前記液体供給タンク内部の液位が所定レベル以下となったとき、前記第1の弁に対して閉止指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送するのを停止する制御手段と、
を具備したことを特徴とする二流体噴霧装置。 - 所定圧力の圧縮気体を供給する圧縮気体供給系と、
加圧液体を供給する加圧液体供給系と、
前記圧縮気体と、前記加圧液体を微粒子化した流体とを同時に供給することで霧化流体を発生させ、この霧化流体を必要とする箇所に噴射可能な二流体ノズル手段と、
前記加圧液体供給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体圧力制御系を設け、前記液体圧力制御系に設け、前記液体供給系の圧力のまま補給液体を取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を、その内部に存在する加圧液体に印加して前記加圧液体を前記二流体ノズル手段に供給可能なバッファタンクと、
前記液体圧力制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記バッファタンク内の加圧液体に印加する圧縮気体の圧力を所望の値に制御する圧力調整手段と、
前記加圧液体供給系と前記液体圧力制御系との間における前記バッファタンクの前段側に設け、前記二流体ノズル手段の噴霧中は閉止状態とし、前記バッファタンクの加圧液体の液位が所定値以下となったとき開放状態とし、前記バッファタンク内に液体が満杯となったとき閉止状態とする弁と、
前記弁の閉止状態及び開放状態を制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする二流体噴霧装置。 - 前記液体供給タンク及び前記バッファタンクの少なくとも一方の内部に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体を収納し、かつ前記液体供給系からの加圧液体とを分離する容器を設けたことを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項記載の二流体噴霧装置。
- 液体供給源から供給される液体の圧力を、供給される圧力より加圧して必要とする箇所に供給する加圧液体供給装置において、
加圧液体供給系に、圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力を印加できるように構成し、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体により液体の圧力を一定に制御する液体圧力制御手段を設けたことを特徴とする加圧液体供給装置。 - 液体供給源から供給される液体の圧力を、供給される圧力より加圧して必要とする箇所に供給する加圧液体供給装置において、
加圧液体供給系に、圧縮気体供給系からの圧縮気体の圧力を印加できるように構成し、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体により液体の圧力を一定に制御するものであって、前記加圧液体供給系の内部の加圧液体の残量が不足したときに、補給加圧液体を確保する液体補給系からの補給液体を、前記圧縮気体供給系の圧縮気体を用いて、前記加圧液体供給系の加圧液体より高い圧力として前記加圧液体供給系に供給する液体圧力制御手段を設け、前記加圧液体供給系の加圧液体の供給圧力を一定に保ちながら、連続的に加圧液体を供給することが可能であることを特徴とする加圧液体供給装置。 - 加圧液体供給系からの加圧液体を必要とする箇所に供給する液体供給装置において、
所定圧力の圧縮気体を供給する圧縮気体供給系と、
加圧液体を供給する加圧液体供給系と、
前記加圧液体供給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体圧力制御系を設け、前記液体圧力制御系に設け、前記加圧液体供給系の圧力のまま補給液体を取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力をその内部に存在する加圧液体に印加して前記加圧液体を必要とする箇所に供給可能なバッファタンクと、
液体補給系と前記圧縮気体供給系との間を連通する液体補給制御系を設け、前記液体補給制御系に設け、液体供給源の持つ液体の圧力のままで取り込み可能で、前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を、その内部に存在する液体に印加して前記加圧液体を前記バッファタンクに供給可能な液体供給タンクと、
前記液体圧力制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記バッファタンク内の加圧液体に印加する圧縮気体の圧力を一定にする圧力調整手段と、
前記液体補給制御系の前記圧縮気体供給系側に設け、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内に移送するとき前記圧縮気体供給系の圧縮気体の圧力を印加するように開放状態とする第1の弁と、前記加圧液体供給系であって前記液体供給タンク及び前記バッファタンクの間に設け、前記第1の弁と連動するものであって前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内に移送するとき開放状態とする第2の弁と、
前記バッファタンク内の加圧液体の液位が所定値以下となったとき、前記第1及び第2の弁に対して開放指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送し、かつ前記液体供給タンク内部の液位が所定レベル以下となったとき、前記第1及び第2の弁に対して閉止指令を与え、前記液体供給タンク内の液体を前記バッファタンク内部に移送するのを停止する制御手段と、
を具備したことを特徴とする加圧液体供給装置。 - 前記液体供給タンク及び前記バッファタンクの少なくとも一方の内部に、前記圧縮気体供給系からの圧縮気体を収納し、かつ前記液体供給系からの加圧液体とを分離する容器を設けたことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項記載の加圧液体供給装置。
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