JP2014014486A - Laser treatment device, and operation method and therapeutic method of laser treatment device - Google Patents

Laser treatment device, and operation method and therapeutic method of laser treatment device Download PDF

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Yoshihiro Akahane
良啓 赤羽
Takao Nakamura
孝夫 中村
Takashi Matsuura
尚 松浦
Takatoshi Ikegami
隆俊 池上
Kunio Awazu
邦男 粟津
Hisanao Hazama
久直 間
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide technology for determining a suitable irradiation amount of laser beams in a laser treatment device for performing the medical treatment by irradiating a laser beam to an affected part.SOLUTION: A laser treatment device 100 includes: a therapeutic laser light source 10; a monitor laser light source 11; a photo detecting part 12; a control part 2; an optical system 3; an input part 4; and an output part 6. The therapeutic laser light source 10 generates therapeutic laser light. The therapeutic laser light is irradiated to an affected part of a patient's eye 1 through the optical system 3. The monitor laser light source 11 emits monitor laser light for illuminating the interior of the patient's eye 1. The photo detecting part 12 receives the monitor laser light reflected at the ocular fundus of the patient's eye 1 through the optical system 3 to detect the intensity of the reflected light. The control part 2 compares the intensity of the reflected light detected by the photo detecting part with a reference intensity. When the detected intensity reaches the reference intensity, the control part 2 determines the end of medical treatment.

Description

本発明は、レーザ治療装置、レーザ治療装置の動作方法および治療方法に関する。   The present invention relates to a laser treatment apparatus, a method for operating a laser treatment apparatus, and a treatment method.

治療対象に応じて異なる波長の治療レーザ光を選択的に患者眼眼底に導光して、該患部を光凝固するレーザ治療装置が知られている。このようなレーザ治療装置では、患者眼の症例あるいは患者眼の状態に応じてレーザ波長が選択される。通常の治療では、緑〜黄色のレーザ光の照射が繰り返されて、凝固斑に基づいて治療効果が判断される。眼内の中間透光体に混濁がある場合には、治療レーザ光の透過率が低くなる。したがって、緑〜黄色のレーザ光のパワーを上げても所望する治療効果が現われなかった場合には、赤色レーザが選択される。この方法によれば、赤色のレーザ光が選択される前に、緑〜黄色のレーザ出力が過度に上げられてしまう可能性がある。   There is known a laser treatment apparatus that selectively guides treatment laser light having different wavelengths to the fundus of a patient's eye according to a treatment target and photocoagulates the affected area. In such a laser treatment apparatus, the laser wavelength is selected according to the case of the patient's eye or the state of the patient's eye. In normal treatment, irradiation with green to yellow laser light is repeated, and the therapeutic effect is determined based on the coagulation spots. When the intermediate translucent body in the eye is turbid, the transmittance of the treatment laser light is lowered. Accordingly, if the desired therapeutic effect does not appear even when the power of the green to yellow laser light is increased, the red laser is selected. According to this method, there is a possibility that the green to yellow laser output is excessively increased before the red laser beam is selected.

たとえば特開2002−136539号公報(特許文献1)は、レーザ光の波長を適切に選択することを目的としたレーザ治療装置を開示する。このレーザ治療装置は、患者眼に導光するレーザ光の波長を選択する波長選択手段と、選択された波長のレーザ出力を可変設定するレーザ出力設定手段と、眼底から反射されるレーザ光を受光する受光素子を持ち該受光素子の出力に基づいてレーザ光の反射強度を検出する反射強度検出手段と、該検出されたレーザ光の反射強度と予め与えられた基準強度とを比較する比較手段と、該比較結果を術者に報知する報知手段とを備える。   For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-136539 (Patent Document 1) discloses a laser treatment apparatus for the purpose of appropriately selecting the wavelength of laser light. This laser treatment apparatus receives a laser beam reflected from the fundus, a wavelength selection unit that selects a wavelength of the laser beam guided to the patient's eye, a laser output setting unit that variably sets the laser output of the selected wavelength, A reflection intensity detecting means for detecting the reflection intensity of the laser light based on the output of the light receiving element, and a comparison means for comparing the detected reflection intensity of the laser light with a predetermined reference intensity. And an informing means for informing the operator of the comparison result.

特開2002−136539号公報JP 2002-136539 A

レーザ光によって患部を凝固させる治療において、患部の周囲への影響を小さくするためには、凝固部はできるだけ浅く、かつできるだけ小さいことが好ましい。一方で、患部の状態は患者ごとに異なり得る。したがって、従来の方法によれば、レーザ光の適正な照射量を決定することが難しい。このため従来では、たとえば操作者が凝固斑を目視して、レーザ光の照射量を決定していた。しかしながら、従来の治療装置の場合には、操作者が適正な照射量を判断するためには、多くの治療例が必要とされる。   In the treatment of coagulating the affected area with laser light, it is preferable that the coagulated area is as shallow and as small as possible in order to reduce the influence on the periphery of the affected area. On the other hand, the state of the affected area may vary from patient to patient. Therefore, according to the conventional method, it is difficult to determine an appropriate dose of laser light. For this reason, conventionally, for example, an operator visually determines coagulation spots and determines the irradiation amount of laser light. However, in the case of a conventional treatment apparatus, many treatment examples are required for the operator to determine an appropriate dose.

本発明の目的は、レーザ光を患部に照射して治療を行なうレーザ治療装置において、レーザ光の適切な照射量を決定するための技術を提供することである。   An object of the present invention is to provide a technique for determining an appropriate dose of laser light in a laser treatment apparatus that performs treatment by irradiating an affected area with laser light.

本発明のある局面において、レーザ治療装置は、患部の治療のための第1のレーザ光を発する第1のレーザ光源と、患部の照明のための第2のレーザ光を発する第2のレーザ光源と、第2のレーザ光の照射による患部の反射光を受光する受光部と、受光部で受光された反射光の強度と、所定の基準値との比較に基づいて、第1のレーザ光源を制御する制御部とを備える。   In one aspect of the present invention, a laser treatment apparatus includes a first laser light source that emits a first laser beam for treating an affected area, and a second laser light source that emits a second laser beam for illuminating the affected area. The first laser light source based on a comparison between the light receiving unit that receives the reflected light of the affected part due to the irradiation of the second laser light, the intensity of the reflected light received by the light receiving unit, and a predetermined reference value A control unit for controlling.

好ましくは、第2のレーザ光源は、緑色の波長領域内の発振波長を有する半導体レーザを含む。   Preferably, the second laser light source includes a semiconductor laser having an oscillation wavelength in a green wavelength region.

好ましくは、半導体レーザは、半極性面を主面として有する窒化ガリウム基板と、窒化ガリウム基板の主面に形成された発光素子とを有する。   Preferably, the semiconductor laser includes a gallium nitride substrate having a semipolar plane as a main surface and a light emitting element formed on the main surface of the gallium nitride substrate.

好ましくは、半極性面は、極性面に対して63度以上80度以下の範囲内にある角度で傾斜した面である。   Preferably, the semipolar plane is a plane inclined at an angle in the range of 63 degrees to 80 degrees with respect to the polar plane.

好ましくは、制御部は、反射光の強度が基準値に達すると、患部の治療が終了したと判断して、第1のレーザ光源からの第1のレーザ光の出力を停止させる。   Preferably, when the intensity of the reflected light reaches the reference value, the control unit determines that the treatment of the affected part is finished and stops the output of the first laser light from the first laser light source.

好ましくは、患部は、眼底である。
本発明の他の局面において、第1のレーザ光源と、第2のレーザ光源と、受光部と、制御部とを備えるレーザ治療装置の動作方法が提供される。レーザ治療装置の動作方法は、第1のレーザ光源から、患部の治療のための第1のレーザ光を発するステップと、第2のレーザ光源から、患部の照明のための第2のレーザ光を発するステップと、受光部により、第2のレーザ光の照射による患部の反射光を受光するステップと、制御部により、受光部で受光された反射光の強度と、所定の基準値との比較に基づいて、第1のレーザ光を発するか否かを判断するステップとを備える。
Preferably, the affected area is the fundus.
In another aspect of the present invention, a method of operating a laser treatment apparatus including a first laser light source, a second laser light source, a light receiving unit, and a control unit is provided. The operation method of the laser treatment apparatus includes a step of emitting a first laser beam for treatment of an affected area from a first laser light source, and a second laser beam for illumination of the affected area from a second laser light source. The step of emitting, the step of receiving the reflected light of the affected part by the irradiation of the second laser light by the light receiving unit, and the comparison of the intensity of the reflected light received by the light receiving unit by the control unit with a predetermined reference value And determining whether or not to emit the first laser beam.

本発明のさらに他の局面において、治療方法が提供される。治療方法は、第1のレーザ光源から、患部に照射するための第1のレーザ光を発するステップと、第2のレーザ光源から、患部を照明するための第2のレーザ光を発するステップと、受光部により、第2のレーザ光の照射による患部の反射光を受光するステップと、受光部で受光された反射光の強度が、所定の基準値に達した場合に、第1のレーザ光の患部への照射を停止するステップとを備える。   In yet another aspect of the invention, a treatment method is provided. The treatment method includes a step of emitting a first laser light for irradiating the affected area from a first laser light source, a step of emitting a second laser light for illuminating the affected area from a second laser light source, and The step of receiving the reflected light of the affected part by the irradiation of the second laser light by the light receiving unit, and the intensity of the reflected light received by the light receiving unit reaches a predetermined reference value, And stopping irradiation to the affected area.

本発明によれば、レーザ光を患部に照射して治療を行なうレーザ治療装置において、レーザ光の適切な照射量を決定することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the suitable irradiation amount of a laser beam can be determined in the laser treatment apparatus which irradiates a laser beam to an affected part and performs a treatment.

本発明の一実施の形態に従うレーザ治療装置の構成を概略的に示した図である。It is the figure which showed schematically the structure of the laser treatment apparatus according to one embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100を用いた網膜裂孔の治療を説明するための図である。It is a figure for demonstrating treatment of a retinal hiatus using the laser treatment apparatus 100 which concerns on embodiment of this invention. 図2に示された患者眼1の患部1bを示した図である。It is the figure which showed the affected part 1b of the patient's eye 1 shown by FIG. 本実施の形態に係る半導体レーザの構造を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the structure of the semiconductor laser which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係るレーザ治療装置に適用可能な半導体レーザの構造の一例を示した図である。It is the figure which showed an example of the structure of the semiconductor laser applicable to the laser treatment apparatus which concerns on this Embodiment. 屈折率導波型半導体レーザの模式的な構造図である。1 is a schematic structural diagram of a refractive index guided semiconductor laser. FIG. 本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100の動作方法の一例を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating an example of the operation | movement method of the laser treatment apparatus 100 which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100の動作方法の他の例を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the other example of the operation | movement method of the laser treatment apparatus 100 which concerns on embodiment of this invention. 患部に治療レーザ光とモニタレーザ光とを同時に照射する場合の例を説明した、患部の模式断面図である。It is a schematic cross section of an affected part explaining an example in the case of irradiating an affected part with a treatment laser beam and a monitor laser beam simultaneously. 患部の光凝固に伴う正反射光の強度の変化を測定するための測定系の概略を示した図である。It is the figure which showed the outline of the measuring system for measuring the change of the intensity | strength of the regular reflection light accompanying the photocoagulation of the affected part. 図10に示した測定系での実験に用いた光凝固サンプルを示した図である。It is the figure which showed the photocoagulation sample used for experiment with the measurement system shown in FIG. 図10に示した測定系を用いて、反射率の変化を測定した結果を示した図である。It is the figure which showed the result of having measured the change of the reflectance using the measurement system shown in FIG.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

図1は、本発明の一実施の形態に従うレーザ治療装置の構成を概略的に示した図である。図1を参照して、本発明の一実施の形態に従うレーザ治療装置100は、患者眼1の治療のための装置である。レーザ治療装置100は、治療レーザ光源10と、モニタレーザ光源11と、受光部12と、制御部2と、光学系3と、入力部4と、出力部6とを有する。   FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a laser therapy apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, a laser treatment apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is an apparatus for treatment of a patient's eye 1. The laser treatment apparatus 100 includes a treatment laser light source 10, a monitor laser light source 11, a light receiving unit 12, a control unit 2, an optical system 3, an input unit 4, and an output unit 6.

治療レーザ光源10は、治療レーザ光を生成する。治療レーザ光は、光学系3を介して患者眼1の患部に照射される。治療レーザ光源10の種類は特に限定されるものではない。   The treatment laser light source 10 generates treatment laser light. The treatment laser light is irradiated to the affected part of the patient's eye 1 through the optical system 3. The kind of treatment laser light source 10 is not particularly limited.

モニタレーザ光源11は、患者眼1の内部を照明するためのモニタレーザ光を発する。モニタレーザ光は光学系3を介して患者眼1の内部に導入される。モニタレーザ光には、緑色レーザ光を用いるのが好ましい。なお、緑色とは、たとえば488nm〜577nmの波長範囲であると定義される。より好ましくは、本実施の形態では、緑色レーザ光の波長は、488nm〜577nmの波長範囲の中にある。モニタレーザ光源11の強度は治療レーザ光の強度に比べて十分に小さい。   The monitor laser light source 11 emits monitor laser light for illuminating the inside of the patient's eye 1. The monitor laser light is introduced into the patient's eye 1 through the optical system 3. It is preferable to use green laser light as the monitor laser light. Green is defined as a wavelength range of 488 nm to 577 nm, for example. More preferably, in the present embodiment, the wavelength of the green laser light is in the wavelength range of 488 nm to 577 nm. The intensity of the monitor laser light source 11 is sufficiently smaller than the intensity of the treatment laser light.

1つの実施の形態では、治療レーザ光の光軸とモニタレーザ光の光軸とが同一である。これにより、モニタレーザ光を、治療レーザ光の照射位置を決定するためのエーミング光として利用することもできる。ただし、レーザ治療装置100は、モニタレーザ光源とは別にエーミング光源を備えてもよい。   In one embodiment, the optical axis of the treatment laser light and the optical axis of the monitor laser light are the same. Thereby, monitor laser light can also be utilized as aiming light for determining the irradiation position of treatment laser light. However, the laser treatment apparatus 100 may include an aiming light source separately from the monitor laser light source.

受光部12は、患者眼1の眼底で反射したモニタレーザ光を光学系3を介して受光して、その反射光の強度を検出する。受光部12は、たとえばCCD(charge coupled device)イメージセンサあるいはCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の撮像素子である。   The light receiving unit 12 receives the monitor laser light reflected from the fundus of the patient's eye 1 through the optical system 3 and detects the intensity of the reflected light. The light receiving unit 12 is an imaging device such as a CCD (charge coupled device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) image sensor.

制御部2は、レーザ治療装置100の全体の動作を制御する。制御部2は、受光部により検出された反射光の強度を基準強度と比較する。検出された強度が基準強度に達していない場合、制御部2は、治療がまだ終わっていないと判断する。検出された強度が基準強度に達した場合、制御部2は、治療が終了したと判断する。「検出された強度が基準強度に達する」とは、検出された強度が増加して基準強度に達する場合、検出された強度が減少して基準強度に達する場合のいずれであってもよい。   The control unit 2 controls the overall operation of the laser treatment apparatus 100. The control unit 2 compares the intensity of the reflected light detected by the light receiving unit with a reference intensity. When the detected intensity does not reach the reference intensity, the control unit 2 determines that the treatment is not yet finished. When the detected intensity reaches the reference intensity, the control unit 2 determines that the treatment is finished. “The detected intensity reaches the reference intensity” may be either when the detected intensity increases to reach the reference intensity or when the detected intensity decreases to reach the reference intensity.

1つの実施形態では、患者眼1の眼底での散乱反射光を受光部12が受光するようにレーザ治療装置100が構成される。この構成では、患部の光凝固が進むにつれて反射率が上昇する。つまり、散乱反射光の強度が増加する。散乱反射光の強度が増加して、ある基準強度に達した場合に、治療が終了したと判断される。一方、患者眼1の眼底での正反射光を観察するようにレーザ治療装置100を構成することもできる。この構成によれば、患部の光凝固が進むにつれて反射率が上昇する場合と、反射率が低下する場合との両方が考えられる。反射率が上昇する場合には、上記のように、反射光の強度が増加してある基準強度に達したときに治療が終了したと判断される。一方、反射率が低下する場合には、反射光の強度が低下してある基準強度に達したときに治療が終了したと判断される。   In one embodiment, the laser treatment apparatus 100 is configured such that the light receiving unit 12 receives scattered and reflected light from the fundus of the patient's eye 1. In this configuration, the reflectance increases as photocoagulation of the affected area proceeds. That is, the intensity of scattered reflected light increases. When the intensity of the scattered reflected light increases and reaches a certain reference intensity, it is determined that the treatment is finished. On the other hand, the laser treatment apparatus 100 can be configured to observe specularly reflected light from the fundus of the patient's eye 1. According to this configuration, both the case where the reflectance increases as the photocoagulation of the affected area progresses and the case where the reflectance decreases can be considered. When the reflectance increases, as described above, it is determined that the treatment is completed when the intensity of the reflected light reaches a certain reference intensity. On the other hand, when the reflectance decreases, it is determined that the treatment is completed when the intensity of the reflected light reaches a certain reference intensity.

入力部4は、操作者による各種の入力を受け付ける。たとえば入力部4は、操作者による各種の操作(治療レーザ光の照射、モニタレーザ光の照射など)を受け付ける。出力部6は、たとえば、入力部4に入力された情報あるいは指示、治療中あるいは治療を示す情報などを出力する。出力部6は、たとえば表示装置を含む。出力部6は、表示装置に加えて、あるいは表示装置に代えて、プリンタを含んでいてもよい。   The input unit 4 receives various inputs from the operator. For example, the input unit 4 accepts various operations by the operator (irradiation of treatment laser light, irradiation of monitor laser light, etc.). The output unit 6 outputs, for example, information or instructions input to the input unit 4, information indicating that treatment is in progress or treatment, and the like. The output unit 6 includes a display device, for example. The output unit 6 may include a printer in addition to the display device or in place of the display device.

図1に示された構成では、入力部4と出力部6とが独立に示されている。しかし、これらが一体化されていてもよい。たとえばタッチパネルディスプレイのような、入力部と表示部との機能を兼ね備えた装置をレーザ治療装置100に適用することができる。制御部2と入力部4と出力部6とが一体化されていてもよい。   In the configuration shown in FIG. 1, the input unit 4 and the output unit 6 are shown independently. However, these may be integrated. For example, an apparatus having functions of an input unit and a display unit such as a touch panel display can be applied to the laser treatment apparatus 100. The control unit 2, the input unit 4, and the output unit 6 may be integrated.

本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100は、レーザ光凝固治療に用いられる。レーザ光凝固治療は、たとえば糖尿病網膜症、網膜静脈閉塞症および網膜裂孔の治療に適用される。以下では、代表的に網膜裂孔の治療について説明する。   The laser treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention is used for laser photocoagulation treatment. Laser photocoagulation therapy is applied for the treatment of diabetic retinopathy, retinal vein occlusion and retinal tear, for example. Below, treatment of a retinal hiatus is demonstrated typically.

図2は、本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100を用いた網膜裂孔の治療を説明するための図である。図2を参照して、網膜裂孔とは、網膜1aに穴あるいは裂け目ができる症状である。図2に示された患部1bは、網膜裂孔が生じている網膜1aの部分である。網膜裂孔を放置した場合、硝子体1cの液状成分が網膜1aの孔に入り込むことで網膜1aが次第にはがれる可能性がある。網膜剥離を防ぐ観点からは、網膜裂孔の段階で眼の治療を行なうことが重要である。   FIG. 2 is a diagram for explaining treatment of a retinal hiatus using the laser treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the retinal tear is a symptom in which a hole or a tear is formed in the retina 1a. The affected part 1b shown in FIG. 2 is a part of the retina 1a where a retinal tear has occurred. When the retinal hiatus is left, the liquid component of the vitreous body 1c may enter the hole of the retina 1a, and the retina 1a may gradually peel off. From the viewpoint of preventing retinal detachment, it is important to treat the eye at the stage of retinal tear.

図2に示されるように、レーザ光凝固治療では、治療レーザ光10aが患部1bに照射される。図3は、図2に示された患者眼1の患部1bを示した図である。図2および図3を参照して、裂孔部1dの周りに治療レーザ光が照射される。これにより裂孔部1dの周囲が焼き固められる。凝固斑21は、治療レーザ光の照射痕に対応する。   As shown in FIG. 2, in the laser photocoagulation treatment, the treatment laser beam 10a is irradiated to the affected part 1b. FIG. 3 is a view showing an affected area 1b of the patient's eye 1 shown in FIG. With reference to FIG. 2 and FIG. 3, treatment laser light is irradiated around the hiatus 1d. Thereby, the circumference | surroundings of the crack part 1d are baked and hardened. The coagulation spot 21 corresponds to the irradiation trace of the treatment laser beam.

この実施の形態では、治療レーザ光を患部1bに照射した後にモニタレーザ光を患部1bに照射する。モニタレーザ光は患部1bにおいて反射する。受光部12はその反射光を受ける。裂孔部1dの周囲が焼き固められるにつれて反射光の強度が変化(増加あるいは減少)する。この実施の形態では、反射光の強度に基づいて、治療レーザ光の照射量が適切か否かが判断される。   In this embodiment, after irradiating the affected part 1b with the treatment laser light, the affected part 1b is irradiated with the monitor laser light. The monitor laser light is reflected at the affected part 1b. The light receiving unit 12 receives the reflected light. The intensity of the reflected light changes (increases or decreases) as the periphery of the fissure hole portion 1d is baked and hardened. In this embodiment, based on the intensity of the reflected light, it is determined whether or not the irradiation amount of the treatment laser light is appropriate.

上述のように、モニタレーザ光は緑色レーザ光である。生体組織には血管が張り巡らされているため、患部および正常部分のいずれであっても、血液中の赤血球により、生体組織は赤色をしている。そのため、赤色に照明された部分は見えにくいものの、緑色に照明された部分は、好適に際立たせることができる。このことから、モニタレーザ光として緑色レーザ光を使えば、その緑色レーザ光をエーミング光としても利用することができる。一方、光散乱は光の波長が短いほど大きい。したがって反射光を捉える観点からは、モニタレーザ光の波長が短いほうが好ましい。しかしながら青色の光は網膜1aの表層で吸収されやすい。逆に、赤色のモニタレーザ光が使用される場合、レーザ光の波長が長いためにモニタレーザ光は網膜1aの深い部分まで到達する。この場合にも、光の波長が短いほど光散乱が大きいため、網膜1aの表層の散乱光の強度が減少する。これらの観点からも、モニタレーザ光として緑色のレーザ光を用いることが有効である。   As described above, the monitor laser beam is a green laser beam. Since blood vessels are stretched around the living tissue, the living tissue is red due to the red blood cells in the blood regardless of the affected part or the normal part. Therefore, although the portion illuminated in red is difficult to see, the portion illuminated in green can be favorably highlighted. Therefore, if green laser light is used as the monitor laser light, the green laser light can be used as aiming light. On the other hand, light scattering increases as the wavelength of light decreases. Therefore, from the viewpoint of capturing reflected light, it is preferable that the wavelength of the monitor laser light is short. However, blue light is easily absorbed by the surface layer of the retina 1a. Conversely, when red monitor laser light is used, the monitor laser light reaches a deep portion of the retina 1a because the wavelength of the laser light is long. Also in this case, since the light scattering is larger as the light wavelength is shorter, the intensity of the scattered light on the surface layer of the retina 1a is reduced. From these viewpoints, it is effective to use green laser light as the monitor laser light.

この実施の形態では、モニタレーザ光源11は、緑色半導体レーザである。図4は、本実施の形態に係る半導体レーザの構造を概略的に示す図である。なお、負の指数については、結晶学上、”−”(バー)を数字の上に付けることになっているが、本明細書中では、数字の前に負の符号を付けている。   In this embodiment, the monitor laser light source 11 is a green semiconductor laser. FIG. 4 is a diagram schematically showing the structure of the semiconductor laser according to the present embodiment. As for the negative index, “−” (bar) is attached on the number in crystallography, but in this specification, a negative sign is attached before the number.

図4を参照して、モニタレーザ光源(半導体レーザ)11は、基板51と、GaN(窒化ガリウム)系半導体エピタキシャル領域55と、活性層57とを備える。   Referring to FIG. 4, monitor laser light source (semiconductor laser) 11 includes a substrate 51, a GaN (gallium nitride) based semiconductor epitaxial region 55, and an active layer 57.

基板51は、第1のGaN系半導体からなり、例えばGaN、InGaN、AlGaN等であることができる。GaNは、二元化合物であるGaN系半導体であるので、良好な結晶品質と安定した基板主面とを提供できる。また、第1のGaN系半導体は、例えばAlN等からなることができる。   The substrate 51 is made of a first GaN-based semiconductor and can be, for example, GaN, InGaN, AlGaN, or the like. Since GaN is a binary compound GaN-based semiconductor, it can provide good crystal quality and a stable substrate main surface. The first GaN-based semiconductor can be made of, for example, AlN.

基板51のc面は、図4に示された平面Scに沿って延びている。平面Sc上には、座標系CR(c軸、a軸、m軸)が示されている。基板51の主面51aは、半極性面であり、極性面すなわちGaN結晶のc面に対して所定の角度だけ傾いた面である。この実施の形態では、基板51の主面51aは、第1のGaN系半導体のc軸に沿って延びる基準軸Cxに直交する面から該第1のGaN系半導体のm軸の方向に63度以上80度未満の範囲の傾斜角で傾斜している。傾斜角αは、基板51の主面51aの法線ベクトルVNと基準軸Cxとの成す角度によって規定される。この角度は、本実施形態では、ベクトルVC+とベクトルVNとの成す角に等しい。   The c-plane of the substrate 51 extends along the plane Sc shown in FIG. On the plane Sc, a coordinate system CR (c-axis, a-axis, m-axis) is shown. The main surface 51a of the substrate 51 is a semipolar surface, and is a surface inclined by a predetermined angle with respect to the polar surface, that is, the c-plane of the GaN crystal. In this embodiment, the main surface 51a of the substrate 51 is 63 degrees in the direction of the m-axis of the first GaN-based semiconductor from the plane orthogonal to the reference axis Cx extending along the c-axis of the first GaN-based semiconductor. It is inclined at an inclination angle in the range of less than 80 degrees. The inclination angle α is defined by the angle formed between the normal vector VN of the main surface 51a of the substrate 51 and the reference axis Cx. In the present embodiment, this angle is equal to the angle formed by the vector VC + and the vector VN.

GaN系半導体エピタキシャル領域55は、主面51a上に設けられている。活性層57は、少なくとも一つの半導体エピタキシャル層59を含む。半導体エピタキシャル層59は、GaN系半導体エピタキシャル領域55上に設けられている。半導体エピタキシャル層59は第2のGaN系半導体からなる。第2のGaN系半導体は構成元素としてインジウム(In)を含む。半導体エピタキシャル層59の膜厚方向は、基準軸Cxに対して傾斜している。この基準軸Cxは、第1のGaN系半導体の[0001]軸の方向、或いは[000−1]軸の方向に向いていることができる。本実施形態では、基準軸Cxは、ベクトルVC+で示される方向に向いている。この結果、ベクトルVC−は、[000−1]軸の方向に向いている。   The GaN-based semiconductor epitaxial region 55 is provided on the main surface 51a. The active layer 57 includes at least one semiconductor epitaxial layer 59. The semiconductor epitaxial layer 59 is provided on the GaN-based semiconductor epitaxial region 55. The semiconductor epitaxial layer 59 is made of a second GaN-based semiconductor. The second GaN-based semiconductor contains indium (In) as a constituent element. The film thickness direction of the semiconductor epitaxial layer 59 is inclined with respect to the reference axis Cx. The reference axis Cx can be oriented in the direction of the [0001] axis of the first GaN-based semiconductor or the direction of the [000-1] axis. In the present embodiment, the reference axis Cx is oriented in the direction indicated by the vector VC +. As a result, the vector VC- is oriented in the direction of the [000-1] axis.

基板51では、その主面51aは、図4に示されるような幅の狭い複数のテラスを含む表面モフォロジM1からなる。また、基板51上にはGaN系半導体エピタキシャル領域55が設けられている。GaN系半導体エピタキシャル領域55の結晶軸は、基板51の結晶軸を引き継いでいる。これ故に、GaN系半導体エピタキシャル領域55の主面55aも、基準軸Cxに直交する面からm軸の方向に63度以上80度未満の範囲の角度で傾斜している。したがって、GaN系半導体エピタキシャル領域55の主面55aも、幅の狭い複数のテラスを含む表面モフォロジM2を有する。これらのテラスの配列はマイクロステップを構成する。上記の角度範囲のテラスの幅が狭いので、複数のテラスにわたってIn組成の不均一は生じにくい。故に、In偏析による発光特性の低下が抑制される。   In the substrate 51, the main surface 51a is made of a surface morphology M1 including a plurality of narrow terraces as shown in FIG. A GaN-based semiconductor epitaxial region 55 is provided on the substrate 51. The crystal axis of the GaN-based semiconductor epitaxial region 55 inherits the crystal axis of the substrate 51. Therefore, the main surface 55a of the GaN-based semiconductor epitaxial region 55 is also inclined at an angle in the range of 63 degrees or more and less than 80 degrees in the m-axis direction from the plane orthogonal to the reference axis Cx. Therefore, the main surface 55a of the GaN-based semiconductor epitaxial region 55 also has a surface morphology M2 including a plurality of narrow terraces. The arrangement of these terraces constitutes a microstep. Since the terrace in the above angle range is narrow, nonuniformity of the In composition is unlikely to occur over a plurality of terraces. Therefore, a decrease in light emission characteristics due to In segregation is suppressed.

1つの実施形態では、GaN系半導体エピタキシャル領域55は、Ax軸の方向(Z方向)に配列されたn型クラッド層41及び光ガイド層43aを含んでいる。n型クラッド層41は、例えばAlGaNまたはGaNからなることができる。また光ガイド層43aは、例えばアンドープInGaNからなることができる。n型クラッド層41及び光ガイド層43aが、基板51の主面51aにエピタキシャル成長されるので、n型クラッド層41の主面41a及び光ガイド層43aの主面43c(本実施形態では、主面55aと等価)も、それぞれ、テラス構造を有する表面モフォロジを有する。上記の表面モフォロジは、c軸の傾斜方向に配列された複数のマイクロステップを有しており、これらのマイクロステップは、傾斜方向に交差する方向に延びている。マイクロステップの主要な構成面は、少なくともm面、(20−21)面及び(10−11)面等を含む。上記の構成面及びステップ端においては、Inの取り込みが良好である。   In one embodiment, the GaN-based semiconductor epitaxial region 55 includes an n-type cladding layer 41 and a light guide layer 43a arranged in the Ax axis direction (Z direction). The n-type cladding layer 41 can be made of, for example, AlGaN or GaN. The light guide layer 43a can be made of undoped InGaN, for example. Since the n-type clad layer 41 and the light guide layer 43a are epitaxially grown on the main surface 51a of the substrate 51, the main surface 41a of the n-type clad layer 41 and the main surface 43c of the light guide layer 43a (in this embodiment, the main surface) 55a) each have a surface morphology with a terrace structure. The surface morphology has a plurality of microsteps arranged in the c-axis tilt direction, and these microsteps extend in a direction intersecting the tilt direction. The main constituent surfaces of the microstep include at least an m-plane, a (20-21) plane, a (10-11) plane, and the like. In the above configuration surface and step end, In is well taken in.

GaN系半導体領域56は、Z方向に配列された光ガイド層43bと、電子ブロック層45と、クラッド層47と、コンタクト層49とを含む。光ガイド層43bは、例えばアンドープInGaNからなることができる。電子ブロック層45は、例えばAlGaNからなることができる。クラッド層47は、例えばp型AlGaNまたはp型GaNからなることができる。コンタクト層49は、例えばp型GaNまたはp型AlGaNからなることができる。   The GaN-based semiconductor region 56 includes a light guide layer 43b, an electron block layer 45, a cladding layer 47, and a contact layer 49 arranged in the Z direction. The light guide layer 43b can be made of undoped InGaN, for example. The electron block layer 45 can be made of, for example, AlGaN. The clad layer 47 can be made of, for example, p-type AlGaN or p-type GaN. The contact layer 49 can be made of, for example, p-type GaN or p-type AlGaN.

モニタレーザ光源(半導体レーザ)11は、コンタクト層49上に設けられた第1の電極61(例えば、アノード)を含むことができる。第1の電極61は、コンタクト層49を覆う絶縁膜63のストライプ窓を介してコンタクト層49に接続される。第1の電極61としては、例えばNi/Auが用いられる。モニタレーザ光源(半導体レーザ)11は、基板51の裏面51b上に設けられた第2の電極65(例えば、カソード)を含むことができる。第2の電極65は、例えばTi/Alから成る。   The monitor laser light source (semiconductor laser) 11 can include a first electrode 61 (for example, an anode) provided on the contact layer 49. The first electrode 61 is connected to the contact layer 49 through a stripe window of the insulating film 63 covering the contact layer 49. For example, Ni / Au is used as the first electrode 61. The monitor laser light source (semiconductor laser) 11 can include a second electrode 65 (for example, a cathode) provided on the back surface 51 b of the substrate 51. The second electrode 65 is made of, for example, Ti / Al.

活性層57は、電極61、65の両端に印加された外部電圧に応答して光L1を生成する。本実施形態では、半導体レーザは端面発光素子である。この活性層57において、ピエゾ電界のZ成分(所定の軸Axの方向に関する成分)は、GaN系半導体領域56からGaN系半導体エピタキシャル領域55へ向かう方向と逆向きである。この半導体レーザによれば、ピエゾ電界のZ成分が、電極61、65の両端に印加された外部電圧による電界の方向と逆向きであるので、発光波長のシフトが低減される。   The active layer 57 generates light L <b> 1 in response to an external voltage applied to both ends of the electrodes 61 and 65. In the present embodiment, the semiconductor laser is an edge emitting element. In the active layer 57, the Z component of the piezoelectric field (component related to the direction of the predetermined axis Ax) is opposite to the direction from the GaN-based semiconductor region 56 toward the GaN-based semiconductor epitaxial region 55. According to this semiconductor laser, since the Z component of the piezoelectric field is opposite to the direction of the electric field due to the external voltage applied to both ends of the electrodes 61 and 65, the shift of the emission wavelength is reduced.

図4には、オフ角AOFFが示されている。このオフ角AOFFはXZ面内における角度である。基板51におけるa軸方向のオフ角AOFFは有限の値であることが好ましい。a軸方向のオフ角AOFFは、エピタキシャル領域の表面モフォロジを良好にする。オフ角AOFFの範囲が、例えば−3度以上+3度以下の範囲にあることができ、具体的には、オフ角AOFFの範囲は、例えば−3度以上−0.1度以下及び+0.1度以上+3度以下の範囲にあることが好ましい。オフ角AOFFの範囲が例えば−0.4度以上−0.1度以下及び+0.1度以上+0.4度以下の範囲にあるとき、表面モフォロジがさらに良好になる。 FIG. 4 shows the off angle A OFF . This off angle A OFF is an angle in the XZ plane. The off angle A OFF in the a-axis direction of the substrate 51 is preferably a finite value. The off angle A OFF in the a-axis direction improves the surface morphology of the epitaxial region. The range of the off angle A OFF can be, for example, a range of −3 degrees or more and +3 degrees or less. Specifically, the range of the off angle A OFF is, for example, −3 degrees or more and −0.1 degrees or less and +0. It is preferably in the range of 1 degree or more and +3 degree or less. When the range of the off angle A OFF is, for example, in a range of not less than −0.4 degrees and not more than −0.1 degrees and not less than +0.1 degrees and not more than +0.4 degrees, the surface morphology is further improved.

活性層57は600nm以下である発光波長を生成するように設けられていることが好ましい。63度以上80度未満の範囲の傾斜角は、480nm以上で600nm以下の発光波長の範囲において有効である。このぐらいの波長になってくると、だいぶ井戸層のIn組成が大きくなり、c面やm面及び(10−11)面等のIn偏析の大きな面では、発光強度が大きく低下する。一方、この角度範囲では、In偏析が小さいため、480nm以上の長波長領域でも発光強度の低下が小さい。また、井戸層の厚さの範囲は、例えば0.5nm〜10nmであることができる。InGa1−XN井戸層のIn組成Xの範囲は、例えば0.01〜0.50であることができる。 The active layer 57 is preferably provided so as to generate an emission wavelength of 600 nm or less. An inclination angle in a range of 63 degrees or more and less than 80 degrees is effective in a light emission wavelength range of 480 nm to 600 nm. When this wavelength is reached, the In composition of the well layer is considerably increased, and the emission intensity is greatly reduced on the surface with large In segregation such as c-plane, m-plane and (10-11) plane. On the other hand, since the In segregation is small in this angular range, the decrease in emission intensity is small even in the long wavelength region of 480 nm or more. The range of the thickness of the well layer can be, for example, 0.5 nm to 10 nm. The range of the In composition X of the In X Ga 1-X N well layer can be, for example, 0.01 to 0.50.

活性層57は、量子井戸構造31を有することができる。この量子井戸構造31は、所定の軸Axの方向に交互に配置された井戸層33及び障壁層35を含む。この実施の形態では、井戸層33は半導体エピタキシャル層59からなる。井戸層33は例えばInGaN、InAlGaN等からなる。また、障壁層35はGaN系半導体からなる。GaN系半導体は、例えばGaN、InGaN、AlGaN等からなることができる。GaN系半導体エピタキシャル領域55と、活性層57と、GaN系半導体領域56とは、所定の軸Axの方向に配列される。基準軸Cxの方向は所定の軸Axの方向と異なる。   The active layer 57 can have the quantum well structure 31. The quantum well structure 31 includes well layers 33 and barrier layers 35 that are alternately arranged in a direction of a predetermined axis Ax. In this embodiment, the well layer 33 is composed of a semiconductor epitaxial layer 59. The well layer 33 is made of, for example, InGaN, InAlGaN, or the like. The barrier layer 35 is made of a GaN-based semiconductor. The GaN-based semiconductor can be made of, for example, GaN, InGaN, AlGaN, or the like. The GaN-based semiconductor epitaxial region 55, the active layer 57, and the GaN-based semiconductor region 56 are arranged in the direction of a predetermined axis Ax. The direction of the reference axis Cx is different from the direction of the predetermined axis Ax.

図5は、本実施の形態に係るレーザ治療装置に適用可能な半導体レーザの構造の一例を示した図である。図5を参照して、半導体レーザ11Aは、(20−21)面を有するGaN基板120と、エピタキシャル成長によってGaN基板120の主面((20−21)面)上に形成される半導体発光素子とを有する。この半導体発光素子は、以下の層を含む。   FIG. 5 is a diagram showing an example of a semiconductor laser structure applicable to the laser treatment apparatus according to the present embodiment. Referring to FIG. 5, a semiconductor laser 11A includes a GaN substrate 120 having a (20-21) plane, and a semiconductor light emitting element formed on the main surface ((20-21) plane) of the GaN substrate 120 by epitaxial growth. Have This semiconductor light emitting device includes the following layers.

n型バッファ層121a:SiドープGaN、成長温度1050℃、厚さ1.5μm;
n型クラッド層121b:SiドープAlGaN、成長温度1050℃、厚さ500nm、Al組成0.04;
光ガイド層122a:アンドープGaN、成長温度840℃、厚さ50nm;
光ガイド層122b:アンドープInGaN、成長温度840℃、厚さ65nm、In組成0.03;
活性層123;
障壁層123a:アンドープGaN、成長温度870℃、厚さ15nm;
井戸層123b:アンドープInGaN、成長温度750℃、厚さ3nm、In組成0.22;
光ガイド層124b:アンドープInGaN、成長温度840℃、厚さ65nm、In組成0.03;
光ガイド層124a:アンドープGaN、成長温度840℃、厚さ50nm;
電子ブロック層125:MgドープAlGaN、成長温度1000℃、厚さ20nm、Al組成0.12;
p型クラッド層126:MgドープAlGaN、成長温度1000℃、厚さ400nm、Al組成0.06;
p型コンタクト層127:MgドープGaN、成長温度1000℃、厚さ50nm。
n-type buffer layer 121a: Si-doped GaN, growth temperature 1050 ° C., thickness 1.5 μm;
n-type cladding layer 121b: Si-doped AlGaN, growth temperature 1050 ° C., thickness 500 nm, Al composition 0.04;
Optical guide layer 122a: undoped GaN, growth temperature 840 ° C., thickness 50 nm;
Optical guide layer 122b: undoped InGaN, growth temperature 840 ° C., thickness 65 nm, In composition 0.03;
Active layer 123;
Barrier layer 123a: undoped GaN, growth temperature 870 ° C., thickness 15 nm;
Well layer 123b: undoped InGaN, growth temperature 750 ° C., thickness 3 nm, In composition 0.22;
Optical guide layer 124b: undoped InGaN, growth temperature 840 ° C., thickness 65 nm, In composition 0.03;
Optical guide layer 124a: undoped GaN, growth temperature 840 ° C., thickness 50 nm;
Electron blocking layer 125: Mg-doped AlGaN, growth temperature 1000 ° C., thickness 20 nm, Al composition 0.12;
p-type cladding layer 126: Mg-doped AlGaN, growth temperature 1000 ° C., thickness 400 nm, Al composition 0.06;
p-type contact layer 127: Mg-doped GaN, growth temperature 1000 ° C., thickness 50 nm.

p型コンタクト層127上に、シリコン酸化膜といった絶縁膜128が堆積される。絶縁膜128にはストライプ窓が形成される。p−電極(Ni/Au)129aは、このストライプ窓を介してp型コンタクト層127に接触する。GaN基板120の裏面には、n−電極(Ni/Al)129bが形成されるとともにパッド電極(Ti/Au)が蒸着される。   An insulating film 128 such as a silicon oxide film is deposited on the p-type contact layer 127. A stripe window is formed in the insulating film 128. The p-electrode (Ni / Au) 129a is in contact with the p-type contact layer 127 through the stripe window. On the back surface of the GaN substrate 120, an n-electrode (Ni / Al) 129b is formed and a pad electrode (Ti / Au) is deposited.

これらの工程によって作製された基板生産物は、たとえば800μm間隔でa面でへき開される。共振器のためのa面へき開面にSiO/TiO多層膜からなる反射膜が形成される。これにより利得導波型レーザダイオードが作製される。たとえば前端面の反射率は80%であり、後端面の反射率は95%である。 The substrate product produced by these processes is cleaved on the a-plane at intervals of 800 μm, for example. A reflective film made of a SiO 2 / TiO 2 multilayer film is formed on the a-plane cleavage plane for the resonator. Thereby, a gain waveguide laser diode is manufactured. For example, the reflectance of the front end face is 80%, and the reflectance of the rear end face is 95%.

上述の構成を有する半導体レーザすなわちレーザダイオードの発振波長は、たとえば520nmである。ただし、井戸層123bにおけるInとGaとの組成比を変えることにより半導体レーザの発振波長を調整することができる。たとえば、レーザダイオードのしきい値電流は20kA/cmであり、動作電圧(電流値:1600mA)は7.2ボルトである。 The oscillation wavelength of the semiconductor laser having the above-described configuration, that is, a laser diode is, for example, 520 nm. However, the oscillation wavelength of the semiconductor laser can be adjusted by changing the composition ratio of In and Ga in the well layer 123b. For example, the threshold current of the laser diode is 20 kA / cm 2 and the operating voltage (current value: 1600 mA) is 7.2 volts.

なお、図5に示された利得導波型半導体レーザに限定されず、屈折率導波型半導体レーザも本実施の形態に適用することができる。図6は、屈折率導波型半導体レーザの模式的な構造図である。図6を参照して、半導体レーザ11Bは、(20−21)面を有するGaN基板130と、n型クラッド層131と、障壁層および井戸層を含む活性層133と、リッジ導波路状に形成されたp型クラッド層136と、p型コンタクト層137と、絶縁膜138と、p−電極139aと、n−電極139bとを備える。   Note that the present invention is not limited to the gain waveguide semiconductor laser shown in FIG. 5, and a refractive index waveguide semiconductor laser can also be applied to this embodiment. FIG. 6 is a schematic structural diagram of a refractive index guided semiconductor laser. Referring to FIG. 6, a semiconductor laser 11B is formed in the shape of a ridge waveguide, a GaN substrate 130 having a (20-21) plane, an n-type cladding layer 131, an active layer 133 including a barrier layer and a well layer. The p-type cladding layer 136, the p-type contact layer 137, the insulating film 138, the p-electrode 139a, and the n-electrode 139b are provided.

図7は、本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100の動作方法の一例を説明するためのフローチャートである。各ステップでの処理は制御部2によって制御される。レーザ治療装置100の動作とは、レーザ治療装置100を用いた治療と同義である。   FIG. 7 is a flowchart for explaining an example of the operation method of the laser treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention. The processing at each step is controlled by the control unit 2. The operation of the laser treatment apparatus 100 is synonymous with treatment using the laser treatment apparatus 100.

図7を参照して、ステップS1において、治療レーザ光の照射位置が調整される。たとえばモニタレーザ光をエーミング光としても用いる場合、レーザ治療装置100は、モニタレーザ光の光軸の方向を調整する。これにより治療レーザ光の光軸が患部1bに向けられる。ステップS2において、治療レーザ光源10は、治療レーザ光を患部1bに照射する。操作者の操作によって治療レーザ光源10から治療レーザ光が発せられる。   Referring to FIG. 7, in step S1, the irradiation position of the treatment laser light is adjusted. For example, when the monitor laser beam is also used as the aiming beam, the laser treatment apparatus 100 adjusts the direction of the optical axis of the monitor laser beam. As a result, the optical axis of the treatment laser beam is directed to the affected area 1b. In step S2, the treatment laser light source 10 irradiates the affected part 1b with the treatment laser beam. The treatment laser light is emitted from the treatment laser light source 10 by the operation of the operator.

ステップS3において、操作者の操作によって、モニタレーザ光源11は、モニタレーザ光を患者眼1の患部1bに照射する。ステップS4において受光部12は、患部1bからの反射光を受光する。受光部12は、受光した反射光の強度を示す信号を制御部2に出力する。   In step S3, the monitor laser light source 11 irradiates the affected part 1b of the patient's eye 1 with the monitor laser light by the operation of the operator. In step S4, the light receiving unit 12 receives the reflected light from the affected part 1b. The light receiving unit 12 outputs a signal indicating the intensity of the received reflected light to the control unit 2.

ステップS5において、制御部2は、反射光の強度を基準強度(所定の基準値)と比較する。基準強度は、固定されていてもよく、可変であってもよい。基準強度が可変である場合、たとえば操作者が基準強度を決定することができる。   In step S5, the control unit 2 compares the intensity of the reflected light with a reference intensity (predetermined reference value). The reference intensity may be fixed or variable. If the reference intensity is variable, for example, the operator can determine the reference intensity.

ステップS6において、制御部2は、反射光の強度が基準強度に達したか否かを判断する。反射光の強度が基準強度に達した場合(ステップS6においてYES)、処理はステップS7に進む。ステップS7において、制御部2は治療が終了したと判断する。この場合、制御部2は治療が終了したことを示す情報(たとえばメッセージなど)を出力部6に出力してもよい。あるいは制御部2は、治療レーザ光が発せられないように操作者の操作を禁止してもよい。   In step S6, the control unit 2 determines whether or not the intensity of the reflected light has reached the reference intensity. If the intensity of the reflected light has reached the reference intensity (YES in step S6), the process proceeds to step S7. In step S7, the control unit 2 determines that the treatment has ended. In this case, the control unit 2 may output information (for example, a message) indicating that the treatment has ended to the output unit 6. Or the control part 2 may prohibit operation of an operator so that a treatment laser beam may not be emitted.

一方、反射光の強度が基準強度に達していない場合(ステップS6においてNO)、処理はステップS8に進む。ステップS8において、制御部2は治療が終了していないと判断する。この場合には、処理はステップS1に戻される。なお、ステップS6,S7,S8の判断は、操作者によって実行されてもよい。   On the other hand, when the intensity of the reflected light does not reach the reference intensity (NO in step S6), the process proceeds to step S8. In step S8, the control unit 2 determines that the treatment has not ended. In this case, the process returns to step S1. Note that the determinations in steps S6, S7, and S8 may be executed by the operator.

図7に示された動作方法では、治療レーザ光が患部に照射された後にモニタレーザ光が照射される。すなわち、モニタレーザ光は、治療レーザ光と同時には照射されない。しかしながら、本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100の動作方法は、このように限定されるものではない。   In the operation method shown in FIG. 7, the monitor laser beam is irradiated after the treatment laser beam is irradiated to the affected area. That is, the monitor laser beam is not irradiated simultaneously with the treatment laser beam. However, the operation method of the laser treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention is not limited in this way.

図8は、本発明の実施の形態に係るレーザ治療装置100の動作方法の他の例を説明するためのフローチャートである。図7および図8を参照して、ステップS2,S3の処理に代えてステップS2Aの処理が実行される。ステップS2Aにおいて、モニタレーザ光が治療レーザ光と同時に患部に照射される。このように治療レーザ光を照射しながら、同時にモニタレーザ光の反射光によって、患部の凝固の度合いをモニタリングすることも可能である。なお、図8に示された他のステップの処理は、図7に示された、対応するステップの処理と同じであるので以後の説明は繰り返さない。   FIG. 8 is a flowchart for explaining another example of the operation method of the laser treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention. Referring to FIGS. 7 and 8, the process of step S2A is executed instead of the processes of steps S2 and S3. In step S2A, the monitor laser beam is applied to the affected area simultaneously with the treatment laser beam. In this way, it is also possible to monitor the degree of coagulation of the affected area with the reflected light of the monitor laser light while irradiating the treatment laser light. Since the processing of the other steps shown in FIG. 8 is the same as the processing of the corresponding steps shown in FIG. 7, the following description will not be repeated.

治療レーザ光とモニタレーザ光とを同時に照射する場合、治療レーザ光の光軸とモニタレーザ光の光軸とは同一であってもよく、互いにずれていてもよい。両方のレーザ光の光軸を同一にする場合には、たとえば治療レーザ光とモニタレーザ光とで波長を異ならせる。さらに、受光部12がモニタレーザ光のみを受光するようにレーザ治療装置100が構成される。たとえば受光部12で分光してモニタレーザ光のみを受光してもよいし、受光部12の手前に、モニタレーザ光を選択的に透過させる波長フィルターが設けられていてもよい。   When simultaneously irradiating the treatment laser light and the monitor laser light, the optical axis of the treatment laser light and the optical axis of the monitor laser light may be the same or may be shifted from each other. When the optical axes of both laser beams are the same, for example, the wavelengths of the treatment laser beam and the monitor laser beam are made different. Furthermore, the laser treatment apparatus 100 is configured such that the light receiving unit 12 receives only the monitor laser light. For example, only the monitor laser light may be received by performing spectroscopy with the light receiving unit 12, or a wavelength filter that selectively transmits the monitor laser light may be provided in front of the light receiving unit 12.

図9は、患部に治療レーザ光とモニタレーザ光とを同時に照射する場合の例を説明した、患部の模式断面図である。治療レーザ光の光軸とモニタレーザ光の光軸とが互いにずれている場合には、たとえば図9に示されるように治療レーザ光とモニタレーザ光とを照射してもよい。患部の断面を説明するために、図9では、網膜1aおよび脈絡膜1eの断面が模式的に示されている。治療レーザ光が患部に照射されることで凝固部1fが網膜1aの内部に形成される。同時に、凝固部1fでのモニタレーザ光の正反射光によって、患部の凝固の度合いがモニタリングされる。   FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of an affected part, explaining an example in which treatment laser light and monitor laser light are simultaneously irradiated to the affected part. When the optical axis of the treatment laser light and the optical axis of the monitor laser light are shifted from each other, for example, as shown in FIG. 9, the treatment laser light and the monitor laser light may be irradiated. In order to explain the cross section of the affected area, FIG. 9 schematically shows cross sections of the retina 1a and the choroid 1e. By irradiating the affected part with the treatment laser light, the coagulation part 1f is formed inside the retina 1a. At the same time, the degree of coagulation of the affected area is monitored by the regular reflection light of the monitor laser beam at the coagulation part 1f.

図9に示された構成の場合、凝固部1fでのモニタレーザ光の散乱によって、反射率が低下する場合がある。つまり、患部の光凝固が進むにつれて正反射光の強度が減少する場合がある。この場合には、正反射光の強度が減少して、ある基準強度に達した場合に、治療が終了したと判断することができる。   In the case of the configuration shown in FIG. 9, the reflectance may decrease due to the scattering of the monitor laser light at the coagulation portion 1 f. That is, the intensity of specularly reflected light may decrease as photocoagulation of the affected area proceeds. In this case, when the intensity of the specularly reflected light decreases and reaches a certain reference intensity, it can be determined that the treatment has ended.

図10は、患部の光凝固に伴う正反射光の強度の変化を測定するための測定系の概略を示した図である。図10を参照して、測定系は、半導体レーザ210と、レンズ系220と、ハーフミラー230と、対物レンズ240と、光路切替用ミラー250と、CCD260と、レンズ270とパワーメータ280とを備える。半導体レーザ210からのレーザ光は、レンズ系220を通り、ハーフミラー230によって対物レンズ240へと導かれる。対物レンズ240から出たレーザ光は、試料台310に載置された試料300に照射される。試料300からの正反射光は、対物レンズ240およびハーフミラー230を通り、光路切替用ミラー250によってCCD260、あるいはパワーメータ280へと送られる。図10に示された構成では、ハーフミラー230と試料300との間では、半導体レーザ210からのレーザ光の光軸と、試料300からの反射光の光軸とが同じとなっている。すなわち、試料300からの正反射光がCCD260あるいはパワーモニタ280で受光される。   FIG. 10 is a diagram showing an outline of a measurement system for measuring a change in intensity of specularly reflected light accompanying photocoagulation of an affected area. Referring to FIG. 10, the measurement system includes a semiconductor laser 210, a lens system 220, a half mirror 230, an objective lens 240, an optical path switching mirror 250, a CCD 260, a lens 270, and a power meter 280. . Laser light from the semiconductor laser 210 passes through the lens system 220 and is guided to the objective lens 240 by the half mirror 230. The laser beam emitted from the objective lens 240 is applied to the sample 300 placed on the sample table 310. The specularly reflected light from the sample 300 passes through the objective lens 240 and the half mirror 230 and is sent to the CCD 260 or the power meter 280 by the optical path switching mirror 250. In the configuration shown in FIG. 10, the optical axis of the laser light from the semiconductor laser 210 and the optical axis of the reflected light from the sample 300 are the same between the half mirror 230 and the sample 300. That is, the regular reflection light from the sample 300 is received by the CCD 260 or the power monitor 280.

実験では、半導体レーザ210に、発振波長530nm(緑色)の半導体レーザと、発振波長658nm(赤色)の半導体レーザとを用いた。また試料300には、人の網膜を模擬した試料として、人の網膜および脈絡膜に吸収係数が近い鳥レバーを使用した。   In the experiment, a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 530 nm (green) and a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 658 nm (red) were used as the semiconductor laser 210. As the sample 300, a bird lever having an absorption coefficient close to that of the human retina and choroid was used as a sample simulating the human retina.

図11は、図10に示した測定系での実験に用いた光凝固サンプルを示した図である。図11を参照して、発振波長532nmのCWレーザ光源からのレーザ光を用いた。照射時間を30秒から120秒までの間で30秒ずつ変化させながら、試料にレーザ光を照射した。CWレーザ光源の出力は試料照射部で70mWになるように調整され、試料に照射されたレーザ光のビーム径(エネルギーが1/e2になる部分)は2.5mmであり、レーザ光のパワー密度は1.43W/cm2であった。 FIG. 11 is a view showing a photocoagulation sample used in the experiment in the measurement system shown in FIG. Referring to FIG. 11, laser light from a CW laser light source having an oscillation wavelength of 532 nm was used. The sample was irradiated with laser light while changing the irradiation time from 30 seconds to 120 seconds by 30 seconds. The output of the CW laser light source is adjusted to 70 mW at the sample irradiation unit, the beam diameter of the laser light irradiated to the sample (the part where the energy becomes 1 / e 2 ) is 2.5 mm, and the power of the laser light The density was 1.43 W / cm 2 .

図12は、図10に示した測定系を用いて、反射率の変化を測定した結果を示した図である。図12を参照して、発振波長530nm(緑色)の半導体レーザを用いた場合には、120秒間レーザ光を照射した後の反射率が、元の反射率(照射時間0秒)に対して0.014低下した。一方、発振波長658nm(赤色)の半導体レーザを用いた場合には、120秒間レーザ光を照射した後の反射率は、元の反射率(照射時間0秒)に対して0.005低下した。図12は、患部の光凝固が進むにつれて正反射光の強度が低下する場合があることを示している。さらに図12は、赤色レーザ光を試料に照射した場合に比べて、緑色レーザ光を試料に照射した場合のほうが反射率の低下量が大きくなることを示している。このことは、レーザ光の波長が短いほど光散乱が大きくなり、網膜の光凝固部からの正反射光の強度が減少するということを示している。   FIG. 12 is a diagram showing a result of measuring a change in reflectance using the measurement system shown in FIG. Referring to FIG. 12, when a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 530 nm (green) is used, the reflectance after irradiating laser light for 120 seconds is 0 with respect to the original reflectance (irradiation time 0 seconds). .014 decreased. On the other hand, when a semiconductor laser having an oscillation wavelength of 658 nm (red) was used, the reflectivity after irradiation with laser light for 120 seconds decreased by 0.005 with respect to the original reflectivity (irradiation time 0 seconds). FIG. 12 shows that the intensity of specularly reflected light may decrease as photocoagulation of the affected area proceeds. Furthermore, FIG. 12 shows that the amount of decrease in reflectance is greater when the sample is irradiated with green laser light than when the sample is irradiated with red laser light. This indicates that the shorter the wavelength of the laser light, the larger the light scattering, and the less the intensity of the specularly reflected light from the photocoagulation part of the retina.

以上のように、この実施の形態によれば、モニタレーザ光の反射光強度に基づいて、治療を終了するかどうかが判断される。反射光強度は、患部が焼き固められるにつれて増大する。基準強度を適切に設定することによって、患部1bの近傍の浅く小さい領域だけ治療することができる。したがってこの実施の形態によれば、適切なレーザ照射量で患部を治療することができる。   As described above, according to this embodiment, it is determined whether or not to end treatment based on the reflected light intensity of the monitor laser light. The reflected light intensity increases as the affected area is baked. By appropriately setting the reference intensity, it is possible to treat only a shallow and small area near the affected area 1b. Therefore, according to this embodiment, the affected area can be treated with an appropriate laser dose.

なお、この実施の形態は、凝固斑の目視による判断を排除するものではない。ステップS7の処理の後に続けて、凝固斑の目視による、治療終了の判断が行なわれてもよい。   Note that this embodiment does not exclude the visual judgment of coagulation spots. Subsequent to the process of step S7, the end of the treatment may be determined by visual observation of the coagulation spots.

さらに、この実施の形態によれば、緑色レーザ光源がモニタレーザ光源として用いられる。これにより、緑色レーザ光をエーミング光としても利用できる上に、散乱光の強度が大きく感度が高いという点で有利である。   Furthermore, according to this embodiment, the green laser light source is used as the monitor laser light source. This is advantageous in that the green laser light can be used as the aiming light and the intensity of the scattered light is large and the sensitivity is high.

さらに、モニタレーザ光源(すなわち緑色レーザ光源)として半導体レーザを用いる。半導体レーザは、GaNの単結晶上にエピタキシャル成長することで作製した半導体素子を含む。半導体レーザから緑色のレーザ光が発せられることにより、波長変換素子を利用しなくても緑色のレーザ光が生成できる。これにより治療装置のコストの増加を防ぐことができる。   Further, a semiconductor laser is used as a monitor laser light source (that is, a green laser light source). The semiconductor laser includes a semiconductor element fabricated by epitaxial growth on a GaN single crystal. By emitting green laser light from the semiconductor laser, green laser light can be generated without using a wavelength conversion element. Thereby, the increase in the cost of a treatment apparatus can be prevented.

なお、この実施の形態では、患部の一例として患者眼の眼底を例示した。しかし、治療レーザ光を患部に繰り返し照射することによって、その患部におけるモニタレーザ光の反射光強度が増大するという場面において、本発明に係るレーザ治療装置を利用することができる。したがって本発明に係るレーザ治療装置は、特定の患部(たとえば患者眼の眼底)の治療に限定されず、さまざまな患部の治療に適用可能である。   In this embodiment, the fundus of the patient's eye is illustrated as an example of the affected part. However, the laser treatment apparatus according to the present invention can be used in a scene in which the intensity of reflected light of the monitor laser light at the affected part increases by repeatedly irradiating the affected part with the treatment laser light. Therefore, the laser treatment apparatus according to the present invention is not limited to the treatment of a specific affected area (for example, the fundus of a patient's eye), and can be applied to the treatment of various affected areas.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1 患者眼、1a 網膜、1b 患部、1c 硝子体、1d 裂孔部、1e 脈絡膜、1f 凝固部、2 制御部、3 光学系、4 入力部、6 出力部、10 治療レーザ光源、10a 治療レーザ光、11 モニタレーザ光源、11A,11B 半導体レーザ、12 受光部、21 凝固斑、31 量子井戸構造、33,123b 井戸層、35,123a 障壁層、41,121b,131 n型クラッド層、41a,43c,51a,55a 主面、43a,43b,122a,122b,124a,124b 光ガイド層、45,125 電子ブロック層、47 クラッド層、49 コンタクト層、51,120,130 基板、51b 裏面、55 GaN系半導体エピタキシャル領域、56 GaN系半導体領域、57,123,133 活性層、59 半導体エピタキシャル層、61 第1の電極、63,128,138 絶縁膜、65 第2の電極、100 レーザ治療装置、121a n型バッファ層、126,136 p型クラッド層、127,137 p型コンタクト層、210 半導体レーザ、220 レンズ系、230 ハーフミラー、240 対物レンズ、250 光路切替用ミラー、260 CCD、270 レンズ、280 パワーメータ、300 試料、310 試料台。   1 patient eye, 1a retina, 1b affected part, 1c vitreous body, 1d hiatus, 1e choroid, 1f coagulation part, 2 control part, 3 optical system, 4 input part, 6 output part, 10 treatment laser light source, 10a treatment laser light , 11 monitor laser light source, 11A, 11B semiconductor laser, 12 light receiving part, 21 coagulation spot, 31 quantum well structure, 33, 123b well layer, 35, 123a barrier layer, 41, 121b, 131 n-type cladding layer, 41a, 43c , 51a, 55a main surface, 43a, 43b, 122a, 122b, 124a, 124b light guide layer, 45, 125 electron block layer, 47 cladding layer, 49 contact layer, 51, 120, 130 substrate, 51b back surface, 55 GaN system Semiconductor epitaxial region, 56 GaN-based semiconductor region, 57, 123, 133 active layer, DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Semiconductor epitaxial layer, 61 1st electrode, 63,128,138 Insulating film, 65 2nd electrode, 100 Laser treatment apparatus, 121a n-type buffer layer, 126,136 p-type clad layer, 127,137 p-type contact Layer, 210 semiconductor laser, 220 lens system, 230 half mirror, 240 objective lens, 250 optical path switching mirror, 260 CCD, 270 lens, 280 power meter, 300 samples, 310 sample stage.

Claims (8)

患部の治療のための第1のレーザ光を発する第1のレーザ光源と、
前記患部の照明のための第2のレーザ光を発する第2のレーザ光源と、
前記第2のレーザ光の照射による前記患部の反射光を受光する受光部と、
前記受光部で受光された前記反射光の強度と、所定の基準値との比較に基づいて、前記第1のレーザ光源を制御する制御部とを備える、レーザ治療装置。
A first laser light source emitting a first laser beam for treatment of the affected area;
A second laser light source emitting a second laser beam for illuminating the affected area;
A light receiving unit that receives reflected light of the affected part by irradiation of the second laser light;
A laser treatment apparatus comprising: a control unit that controls the first laser light source based on a comparison between an intensity of the reflected light received by the light receiving unit and a predetermined reference value.
前記第2のレーザ光源は、緑色の波長領域内の発振波長を有する半導体レーザを含む、請求項1に記載のレーザ治療装置。   The laser treatment apparatus according to claim 1, wherein the second laser light source includes a semiconductor laser having an oscillation wavelength in a green wavelength region. 前記半導体レーザは、
半極性面を主面として有する窒化ガリウム基板と、
前記窒化ガリウム基板の前記主面に形成された発光素子とを有する、請求項2に記載のレーザ治療装置。
The semiconductor laser is
A gallium nitride substrate having a semipolar surface as a main surface;
The laser treatment apparatus according to claim 2, further comprising: a light emitting element formed on the main surface of the gallium nitride substrate.
前記半極性面は、極性面に対して63度以上80度以下の範囲内にある角度で傾斜した面である、請求項3に記載のレーザ治療装置。   The laser treatment apparatus according to claim 3, wherein the semipolar plane is a plane inclined at an angle within a range of 63 degrees or greater and 80 degrees or less with respect to the polar plane. 前記制御部は、前記反射光の強度が前記基準値に達すると、前記患部の治療が終了したと判断して、前記第1のレーザ光源からの前記第1のレーザ光の出力を停止させる、請求項1〜4のいずれか1項に記載のレーザ治療装置。   When the intensity of the reflected light reaches the reference value, the control unit determines that the treatment of the affected part is finished, and stops the output of the first laser light from the first laser light source. The laser therapy apparatus of any one of Claims 1-4. 前記患部は、眼底である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザ治療装置。   The laser treatment apparatus according to claim 1, wherein the affected part is a fundus. 第1のレーザ光源と、第2のレーザ光源と、受光部と、制御部とを備えるレーザ治療装置の動作方法であって、
前記第1のレーザ光源から、患部の治療のための第1のレーザ光を発するステップと、
前記第2のレーザ光源から、前記患部の照明のための第2のレーザ光を発するステップと、
前記受光部により、前記第2のレーザ光の照射による前記患部の反射光を受光するステップと、
前記制御部により、前記受光部で受光された前記反射光の強度と、所定の基準値との比較に基づいて、前記第1のレーザ光を発するか否かを判断するステップとを備える、レーザ治療装置の動作方法。
An operation method of a laser treatment apparatus including a first laser light source, a second laser light source, a light receiving unit, and a control unit,
Emitting a first laser beam for treating the affected area from the first laser light source;
Emitting a second laser beam for illuminating the affected area from the second laser light source;
Receiving the reflected light of the affected part by the irradiation of the second laser light by the light receiving part;
Determining whether or not to emit the first laser light based on a comparison between an intensity of the reflected light received by the light receiving unit and a predetermined reference value by the control unit. The method of operation of the treatment device.
第1のレーザ光源から、患部に照射するための第1のレーザ光を発するステップと、
第2のレーザ光源から、前記患部を照明するための第2のレーザ光を発するステップと、
受光部により、前記第2のレーザ光の照射による前記患部の反射光を受光するステップと、
前記受光部で受光された前記反射光の強度が、所定の基準値に達した場合に、第1のレーザ光の前記患部への照射を停止するステップとを備える、治療方法。
Emitting a first laser beam for irradiating the affected area from a first laser light source;
Emitting a second laser beam for illuminating the affected area from a second laser light source;
Receiving a reflected light of the affected part by the irradiation of the second laser light by a light receiving part;
And a step of stopping irradiation of the affected part with the first laser beam when the intensity of the reflected light received by the light receiving part reaches a predetermined reference value.
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