JP2014009138A - Holding device of support road for optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber preform - Google Patents

Holding device of support road for optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber preform Download PDF

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    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a holding device holding a support rod for an optical fiber preform and an optical fiber preform capable of preventing swing and backlash of a starting material and capable of acquiring a favorable optical fiber preform free from eccentricity.SOLUTION: A holding device 1 has a chuck 2 in which an opening part 4 is provided, and a support rod 6 is retained in such a manner that when a tip part 61 of the support rod 6 is protruded from the opening part 4, a head part 62 is engaged with the bottom of the chuck 2. Also, it has a clamp 5 which presses the head part 62 of the support rod 6 retained in the chuck 2 against the bottom (the opening part 4 side) of the chuck 2. If the head part 62 of the support rod 6 is pressed on a reference surface 63 side by a press bar 51 of the clamp 5, the reference surface 63 of the support rod 6 is firmly fixed on the bottom of the chuck 2.

Description

本発明は、VAD法あるいはOVD法等において用いる支持棒の把持装置およびそれを用いた光ファイバ母材の製造方法に関する。   The present invention relates to a support rod gripping device used in a VAD method, an OVD method, or the like, and an optical fiber preform manufacturing method using the same.

従来、光ファイバ母材を製造する方法として、VAD法(Vapor phase axial deposition method;気相軸付法)やOVD法(Outside Vapor Deposition method;外付け法)等が知られている。VAD法およびOVD法は、珪素を含むガラス原料(たとえばSiCl)を可燃性ガス、助燃性ガス等の燃焼ガスとともにバーナに導入し、火炎中でガラス原料を加水分解反応または酸化反応させることにより、ガラス微粒子を生成し、これを回転する棒(出発材)に堆積させてガラス微粒子堆積体を形成する方法である。なお、OVD法においては、回転出発材の外周にガラス微粒子を堆積させるのに対し、VAD法は、出発材の下端にガラス微粒子を堆積させ、出発材を軸方向に徐々に上昇移動させていく方法である。 Conventionally, as a method for manufacturing an optical fiber preform, a VAD method (Vapor phase axial deposition method), an OVD method (Outside Vapor deposition method), and the like are known. In the VAD method and the OVD method, a glass raw material containing silicon (for example, SiCl 4 ) is introduced into a burner together with a combustion gas such as a flammable gas and an auxiliary combustion gas, and the glass raw material is subjected to a hydrolysis reaction or an oxidation reaction in a flame. In this method, glass fine particles are generated and deposited on a rotating rod (starting material) to form a glass fine particle deposit. In the OVD method, glass particles are deposited on the outer periphery of the rotating starting material, whereas in the VAD method, glass particles are deposited on the lower end of the starting material, and the starting material is gradually moved upward in the axial direction. Is the method.

図11は、VAD法で用いられるガラス微粒子堆積体の製造装置100の断面図である。図11に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置100は、出発材108と、出発材108に接続された支持棒106と、支持棒106を把持する把持装置101とを備える。さらに、出発材108の下方に配置されたガラス微粒子を生成する2本のバーナ104,105と、出発材108、バーナ104,105および把持装置101等を内包する反応容器110と、この反応容器110のバーナ104,105と反対側に配置された排気管111と、を有する。   FIG. 11 is a cross-sectional view of the glass fine particle deposit manufacturing apparatus 100 used in the VAD method. As shown in FIG. 11, the glass particle deposit manufacturing apparatus 100 includes a starting material 108, a support bar 106 connected to the starting material 108, and a gripping device 101 that grips the support bar 106. Further, two burners 104 and 105 that generate glass particles arranged below the starting material 108, a reaction vessel 110 containing the starting material 108, the burners 104 and 105, the gripping device 101, and the like, and the reaction vessel 110 , And an exhaust pipe 111 disposed on the opposite side of the burners 104 and 105.

バーナ104,105には水素ガス、酸素ガスの燃焼ガスおよび四塩化珪素などのガラスの原料が供給され、加水分解反応によりガラス微粒子が生成される。生成されたガラス微粒子は、出発材108の下端に付着・堆積し、これにより、ガラス微粒子堆積体が形成される。   The burners 104 and 105 are supplied with hydrogen gas, oxygen gas combustion gas, and glass raw materials such as silicon tetrachloride, and generate glass fine particles by a hydrolysis reaction. The generated glass particles adhere to and deposit on the lower end of the starting material 108, whereby a glass particle deposit is formed.

出発材108は、出発材108に接続された支持棒106によって支持され、その上端が把持装置101によって把持されている。また、把持装置101は主軸109により図示しない回転引き上げ装置に接続されている。   The starting material 108 is supported by a support bar 106 connected to the starting material 108, and the upper end thereof is gripped by the gripping device 101. The gripping device 101 is connected to a rotation pulling device (not shown) by a main shaft 109.

図12(a)は、図11の製造装置100で用いられる従来の把持装置101の詳細を示す図である。支持棒106は、先端部より拡径した頭部107を有するものを使用している。また、把持装置101は、略円筒で底部に開口部104を有するチャック102を備え、チャック102により支持棒106の頭部107を把持する。開口部104の径は、支持棒106の頭部107の径より小さく、先端部の径より大きく設定されている。また、チャック102は側部にも開口部を有しており、これにより、支持棒106は脱着可能であり、また、支持棒106の先端部を開口部104から突出させた際に、支持棒106の頭部107がチャック102の開口部104の周囲に係止し、支持棒106がチャック102に把持される。   FIG. 12A is a diagram showing details of a conventional gripping device 101 used in the manufacturing apparatus 100 of FIG. The support rod 106 has a head 107 having a diameter larger than that of the tip. The gripping device 101 includes a chuck 102 having a substantially cylindrical shape and an opening 104 at the bottom, and grips the head 107 of the support bar 106 with the chuck 102. The diameter of the opening 104 is set smaller than the diameter of the head 107 of the support rod 106 and larger than the diameter of the tip. Further, the chuck 102 also has an opening on the side, so that the support bar 106 can be detached, and when the tip of the support bar 106 protrudes from the opening 104, the support bar 106 can be removed. A head 107 of 106 is locked around the opening 104 of the chuck 102, and the support rod 106 is gripped by the chuck 102.

図12(b)は、図11の製造装置100で用いられ、把持装置101とは異なる従来の把持装置101bを示す図である。把持装置101bにおいては、支持棒106bの外径は略一定であり、上部に貫通孔113を有するものを使用している。また、把持装置101bは、略円筒で下部に貫通孔112を有するチャック102bを備え、チャック102bと支持棒106bの貫通孔112,113に石英または金属等からなるピン120を通すことで支持棒106bを把持する。   FIG. 12B is a diagram showing a conventional gripping device 101 b that is used in the manufacturing apparatus 100 of FIG. 11 and is different from the gripping device 101. In the gripping device 101b, an outer diameter of the support bar 106b is substantially constant, and one having a through hole 113 in the upper part is used. The gripping device 101b is provided with a chuck 102b having a substantially cylindrical shape and a through hole 112 in the lower part. By passing a pin 120 made of quartz or metal through the chuck 102b and the through holes 112 and 113 of the support bar 106b, the support bar 106b is provided. Grip.

ところで、把持装置101(101b)は図示外の回転引き上げ装置等により軸回転する。また、出発材108へのガラス微粒子の堆積に伴い軸方向へ移動する。そして、チャック102内や開口部104、貫通孔112,113とピン120等は、支持棒106(106b)が収納された状態で、ある程度のクリアランスが生じる。そのため、軸回転させたときにガタつきが生じたり、芯ずれが生じたりしてしまい、出発材108が振れ回るという問題があった。出発材108が振れ回ると、合成されたガラス微粒子堆積体は中心から偏芯した形となり、光ファイバプリフォームとして使用する際、コアの偏芯の原因となり問題であった。   By the way, the gripping device 101 (101b) is axially rotated by an unillustrated rotary pulling device or the like. Further, it moves in the axial direction with the deposition of the glass fine particles on the starting material 108. A certain amount of clearance is generated in the chuck 102, the opening 104, the through holes 112 and 113, the pin 120, and the like in a state where the support rod 106 (106b) is accommodated. Therefore, there is a problem that when the shaft is rotated, rattling occurs or misalignment occurs, and the starting material 108 swings around. When the starting material 108 is swung around, the synthesized glass fine particle deposit is decentered from the center, which causes a problem of core decentering when used as an optical fiber preform.

また、このような支持棒のガタつきや芯ずれを抑える技術として、例えば、特許文献1には、支持棒または出発材の一方側の先端に錐状突起を設け、他方側の先端に錐状凹部を設けて、該錐状突起を該錐状凹部に挿入固定することによって、支持棒の中心軸と出発材の中心軸とを合わせるようにすることが記載されている。   In addition, as a technique for suppressing such backlash and misalignment of the support rod, for example, in Patent Document 1, a conical protrusion is provided at the tip of one side of the support rod or the starting material, and a cone-like shape is provided at the tip of the other side. It is described that the central axis of the support bar and the central axis of the starting material are aligned by providing a concave portion and inserting and fixing the conical protrusion into the conical concave portion.

また、特許文献2には、チャックに把持された支持棒の先端の嵌合部を、中心軸を通り中心軸に直交する貫通穴を有するパイプ状とし、同様の貫通穴を有する出発ロッドを挿入して両者の貫通穴に耐熱性ピンを貫通させて、出発ロッドおよび合成されるガラス母材の重量を支持するものが記載されている。そして、該嵌合部に該貫通穴を挟んで中心軸方向の2断面に嵌合部中心軸に向かってネジ穴を設け、該ネジ穴から耐熱性ネジをネジ込んで出発ロッドを固定するようにしている。   Further, in Patent Document 2, the fitting portion at the tip of the support rod gripped by the chuck is formed into a pipe shape having a through hole passing through the central axis and orthogonal to the central axis, and a starting rod having a similar through hole is inserted. Then, a heat-resistant pin is passed through both through holes to support the weight of the starting rod and the glass base material to be synthesized. Then, a screw hole is provided in the two cross sections in the central axis direction across the through hole in the fitting portion, and a heat resistant screw is screwed through the screw hole to fix the starting rod. I have to.

また、特許文献3には、回転引上棒の他端にホルダ穴を形成し、該ホルダ穴に光ファイバ母材製造用の出発棒を嵌入し、回転引上棒と出発棒とに差込ビンを貫通させて、出発棒を回転引上棒に取り付けるものが記載されている。そして、出発棒が嵌入されたホルダ穴の内周面と出発棒の外周面との間に、ガラス微粒子をペースト状にしたものを介在させて出発棒をホルダ穴に固定するようにしている。   Further, in Patent Document 3, a holder hole is formed at the other end of the rotating pull-up bar, a starting rod for manufacturing an optical fiber preform is inserted into the holder hole, and the rotating pull-up bar and the starting bar are inserted. It is described that a starting rod is attached to a rotating pull-up bar through a bottle. Then, between the inner peripheral surface of the holder hole in which the starting bar is inserted and the outer peripheral surface of the starting bar, a glass fine particle-like paste is interposed to fix the starting bar to the holder hole.

また、特許文献4には、締付けリングをホルダに対して相対回転させて螺合を進行させることで把持爪部材の内側に挿入されたダミー棒を把持する把持装置において、締付けリング内に弾性付勢手段を設け、把持爪部材をホルダへ弾性付勢することが記載されている。   Further, Patent Document 4 discloses that in a gripping device that grips a dummy rod inserted inside a gripping claw member by rotating a tightening ring relative to a holder and advancing screwing, the fastening ring is elastically attached. It is described that a biasing means is provided to elastically bias the gripping claw member to the holder.

特開2000−086269号公報JP 2000-086269 A 特開平05−043255号公報Japanese Patent Laid-Open No. 05-043255 特開昭62−256735号公報JP-A-62-256735 特開2008−178956号公報JP 2008-178906 A

しかしながら、上述の特許文献1、2の構造を用いた場合は、支持棒を何度か使用することにより摩耗が生じ、やはりガタつきが生じるおそれがある。また、特許文献3の技術を用いた場合は、ペースト状のガラス微粒子を所望量介在させることが困難である上、次工程や、次のロッドで用いる場合に、上述のペースト状のガラス微粒子を完全に除去することが困難であるため、取扱いが難しい。また、特許文献4に記載される把持装置は構造が複雑であるため、コスト高となる。   However, when the structures of the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 are used, wear is caused by using the support rod several times, and there is a possibility that rattling may occur. In addition, when the technique of Patent Document 3 is used, it is difficult to interpose a desired amount of paste-like glass fine particles, and the paste-like glass fine particles described above are used when used in the next step or the next rod. It is difficult to handle because it is difficult to remove completely. Moreover, since the structure of the gripping device described in Patent Document 4 is complicated, the cost increases.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、出発材の振れまわりやガタつきを防ぎ、偏芯のない良好な光ファイバ母材を得ることが可能な、光ファイバ母材用支持棒を把持する把持装置および光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and supports for an optical fiber preform that can prevent a starting material from swinging and rattling and obtain a good optical fiber preform without eccentricity. It is an object of the present invention to provide a gripping device for gripping a rod and a method for manufacturing an optical fiber preform.

前述した目的を達成するため、第1の発明は、光ファイバ母材用の支持棒の把持装置であって、前記支持棒を保持するチャックと、前記チャック内に保持された前記支持棒の頭部を前記チャックの開口部に向かって押圧するクランプと、
を具備することを特徴とする把持装置である。
In order to achieve the above-described object, a first invention is a gripping device for a support rod for an optical fiber preform, the chuck holding the support rod, and the head of the support rod held in the chuck. A clamp that presses the portion toward the opening of the chuck;
It is a holding device characterized by comprising.

クランプによって支持棒の頭部を押圧することにより、チャックに支持棒がしっかりと固定される。支持棒がチャックに固定されることで、回転時のガタつきを減らし、支持棒の先端において支持される出発材の振れまわりを抑えることができる。これにより、偏芯のない光ファイバ母材を製造できる。   The support bar is firmly fixed to the chuck by pressing the head of the support bar with the clamp. By fixing the support bar to the chuck, it is possible to reduce backlash at the time of rotation and to suppress the swing of the starting material supported at the tip of the support bar. Thereby, an optical fiber preform without eccentricity can be manufactured.

前記クランプは、弾性材料から成る押さえ部材を介して前記支持棒の頭部を押圧することが望ましい。押さえ部材の弾性力とクランプによる押圧力とにより、更に支持棒がチャックにしっかりと固定される。   It is desirable that the clamp presses the head of the support rod through a pressing member made of an elastic material. Further, the support bar is firmly fixed to the chuck by the elastic force of the pressing member and the pressing force by the clamp.

また、前記クランプは、前記支持棒の頭部を押圧する押さえ棒と、前記押さえ棒の位置を調整する移動機構とを有するものとする。移動機構により押さえ棒の位置を変更して押圧力を調節できるため、例えば、摩耗や欠け等の程度に応じてロッドごとに押圧力を調整できる。   Further, the clamp includes a pressing bar that presses the head of the support bar and a moving mechanism that adjusts the position of the pressing bar. Since the pressing force can be adjusted by changing the position of the pressing bar by the moving mechanism, for example, the pressing force can be adjusted for each rod according to the degree of wear or chipping.

また、前記クランプは、トグルクランプとしてもよい。トグルクランプにより小さな力で大きな荷重を与えることが可能となる。   The clamp may be a toggle clamp. A toggle clamp can apply a large load with a small force.

また、前記チャックは、金属製であることが望ましい。金属製とするにより、チャックの強度が増し、長期使用に耐えるものとなる。   The chuck is preferably made of metal. By making it metal, the strength of the chuck increases and it can withstand long-term use.

なお、前記クランプの押荷重を0.5kgf以上とすることが望ましい。   It is desirable that the pressing load of the clamp be 0.5 kgf or more.

また、前記支持棒は、先端部に拡径した頭部を有し、前記チャックは、前記支持棒の頭部より小さく、かつ前記支持棒の先端部より大きい径の開口部を有し、前記支持棒の先端部を前記開口部から外部へ通した際に、前記頭部が前記開口部の周囲に係止されるように前記支持棒を保持することが望ましい。   Further, the support rod has a head having a diameter enlarged at a tip portion, and the chuck has an opening having a diameter smaller than the head of the support rod and larger than the tip portion of the support rod, It is desirable to hold the support bar so that the head is locked around the opening when the tip of the support bar is passed through the opening to the outside.

第2の発明は、第1の発明の把持装置を光ファイバ母材製造装置から取り外した状態で、前記把持装置に支持棒を把持させ、前記支持棒と出発材とを接続する工程と、前記把持装置に前記出発材を接続した前記支持棒を把持させたまま、前記把持装置を前記光ファイバ母材製造装置に取り付ける工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。   In a second aspect of the invention, the gripping device of the first invention is detached from the optical fiber preform manufacturing apparatus, the gripping device grips the support bar, and the support bar and the starting material are connected, and Attaching the gripping device to the optical fiber preform manufacturing apparatus while gripping the support rod with the starting material connected to the gripping device. .

第2の発明によって、把持装置に支持棒を把持させて支持棒と出発材とを接続した後に、把持装置を光ファイバ母材製造装置に取り付けることにより、コア曲りの発生頻度が小さく、また曲がり量も平均して小さくすることが可能となる。   According to the second invention, the gripping device grips the support rod and connects the support rod and the starting material, and then the gripping device is attached to the optical fiber preform manufacturing apparatus, so that the frequency of occurrence of core bending is small and the bending is performed. The amount can be reduced on average.

また、前記支持棒と前記出発材とを接続した後に、前記出発材の先端部の振れ回りを測定する工程をさらに含むことが望ましい。これにより、偏芯のない光ガラス母材を製造できる。   In addition, it is preferable that the method further includes a step of measuring a whirling of a tip portion of the starting material after connecting the support bar and the starting material. Thereby, the optical glass base material without eccentricity can be manufactured.

本発明によれば、出発材の振れまわりやガタつきを防ぎ、偏芯が抑制された良好な光ファイバ母材を得ることが可能な、光ファイバ母材用支持棒を把持する把持装置および光ファイバ母材の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, a gripping device for gripping a support rod for an optical fiber preform and an optical device capable of preventing a whirling and rattling of the starting material and obtaining a good optical fiber preform with suppressed eccentricity. A method for manufacturing a fiber preform can be provided.

本発明に係る光ファイバ母材支持棒用の把持装置1を示す図。The figure which shows the holding | grip apparatus 1 for the optical fiber preform | base_material support rod which concerns on this invention. 支持棒と出発材とを接続する工程および検査工程について説明する図。The figure explaining the process and inspection process which connect a support bar and a starting material. VAD法で用いられるガラス微粒子堆積体の製造装置90を示す図。The figure which shows the manufacturing apparatus 90 of the glass fine particle deposit body used by VAD method. 本発明に係る光ファイバ母材支持棒用の把持装置1aを示す図。The figure which shows the holding | grip apparatus 1a for optical fiber preform | base_material support bars which concerns on this invention. 本発明に係る光ファイバ母材支持棒用の把持装置1bを示す図。The figure which shows the holding | grip apparatus 1b for optical fiber preform | base_material support bars which concerns on this invention. 把持装置1bにおいて、トグルクランプ8によって支持棒を固定した状態を示す図。The figure which shows the state which fixed the support rod with the toggle clamp 8 in the holding | grip apparatus 1b. 本発明に係る光ファイバ母材支持棒用の把持装置1cを示す図。The figure which shows the holding | grip apparatus 1c for optical fiber preform | base_material support bars which concerns on this invention. 押さえのない状態でのコア曲りの発生頻度を示すグラフ。The graph which shows the frequency of occurrence of core bending in the state where there is no press. クランプを使用した場合のコア曲りの発生頻度を示すグラフ。The graph which shows the frequency of occurrence of core bending when a clamp is used. 光ファイバ母材の製造工程において、支持棒と出発材の接続から本発明の把持装置を用いた場合のコア曲りの発生頻度を示すグラフ。The graph which shows the generation | occurrence | production frequency of the core bending at the time of using the holding | grip apparatus of this invention from the connection of a support bar and a starting material in the manufacturing process of an optical fiber preform | base_material. VAD法で用いられる従来のガラス微粒子堆積体の製造装置100を示す図。The figure which shows the manufacturing apparatus 100 of the conventional glass fine particle deposit body used by VAD method. (a)は、図11の製造装置100で用いられる従来の把持装置101部分の詳細を示す図、(b)は、他の把持装置101bの詳細を示す図。(A) is a figure which shows the detail of the conventional holding | grip apparatus 101 part used with the manufacturing apparatus 100 of FIG. 11, (b) is a figure which shows the detail of the other holding | gripping apparatus 101b.

以下、本発明の実施の形態にかかる光ファイバ母材支持棒用の把持装置1について説明する。図1は、把持装置1の概略構成を示す断面図である。把持装置1は主に、チャック2、クランプ5、支持棒6、支持棒押さえ部材3等から構成される。   Hereinafter, a gripping device 1 for an optical fiber preform support rod according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the gripping device 1. The gripping device 1 mainly includes a chuck 2, a clamp 5, a support bar 6, a support bar pressing member 3, and the like.

支持棒6は、ガラス微粒子堆積体の出発材等を支持する棒であり、その頭部62が棒状の部分(以下、先端部61という)より拡径したものを用いる。図1の例では、支持棒6の頭部62は円筒形状であり、上面および底面が支持棒6の軸に対して垂直となっている。以下の説明では、支持棒6の頭部62の底面を基準面63と呼ぶ。支持棒6は基準面63が主軸9と直交するようにチャック2により把持される。また、支持棒6の先端部61は、チャック2の開口部4から突出し、その先端において出発材(不図示)と接続される。出発材は、ガラス微粒子を堆積させるターゲットである。   The support rod 6 is a rod that supports the starting material and the like of the glass fine particle deposit, and the head 62 has a diameter larger than that of the rod-like portion (hereinafter referred to as the tip portion 61). In the example of FIG. 1, the head 62 of the support bar 6 has a cylindrical shape, and the upper surface and the bottom surface are perpendicular to the axis of the support bar 6. In the following description, the bottom surface of the head 62 of the support bar 6 is referred to as a reference surface 63. The support bar 6 is gripped by the chuck 2 so that the reference surface 63 is orthogonal to the main shaft 9. Moreover, the front-end | tip part 61 of the support bar 6 protrudes from the opening part 4 of the chuck | zipper 2, and is connected with the starting material (not shown) in the front-end | tip. The starting material is a target on which glass particulates are deposited.

チャック2は、主軸9側を上部とした場合に底部に開口部4を有する略円筒形の部材であり、支持棒6を把持するものである。開口部4の径は、支持棒6の頭部62の径より小さく、かつ支持棒6の先端部61の径より大きく設定されている。支持棒6の頭部62が先端部61より拡径しているため、チャック2の内部に支持棒6の頭部62を収納し、開口部4から支持棒6の先端部61を突出させた際に、チャック2の開口部4の周囲に支持棒6の頭部62が係止される。なお、チャック2の底部内壁には支持棒6の頭部62を嵌合する嵌合部22が設けられることが望ましい。嵌合部22の径は、支持棒6の頭部62の径と略一致するように設定される。
なお、チャック2は側部にも図示しない開口部を有し、この側部の開口部から支持棒6を脱着することができる。
The chuck 2 is a substantially cylindrical member having an opening 4 at the bottom when the main shaft 9 side is at the top, and holds the support bar 6. The diameter of the opening 4 is set smaller than the diameter of the head 62 of the support bar 6 and larger than the diameter of the tip 61 of the support bar 6. Since the head 62 of the support rod 6 has a diameter larger than that of the tip 61, the head 62 of the support rod 6 is accommodated inside the chuck 2, and the tip 61 of the support rod 6 protrudes from the opening 4. At this time, the head 62 of the support bar 6 is locked around the opening 4 of the chuck 2. It is desirable that a fitting portion 22 for fitting the head 62 of the support rod 6 is provided on the inner wall of the bottom of the chuck 2. The diameter of the fitting portion 22 is set so as to substantially match the diameter of the head 62 of the support rod 6.
The chuck 2 also has an opening (not shown) on the side, and the support bar 6 can be detached from the opening on the side.

クランプ5は、押さえ棒51と押さえ棒51の移動機構を有する。移動機構は、一対の回転体52、回転体52の一方に固定されるリング53、およびレバー54等により構成される。押さえ棒51は、支持棒6の基準面63と平行に設けられ、その両端が一対の回転体52に接続されて支持される。回転体52は、チャック2の側壁の互いに向かい合う位置に設けられた貫通孔に通され、一対の回転体52のうち一方はチャック2外部に突出し、リング53に嵌められる。リング53にはレバー54が設けられており、レバー54を用いてリング53を回転させると、回転体52を回転させることができる。押さえ棒51は回転体52の回転中心からオフセットした位置に設けられており、レバー54を用いて回転体52が回転されると、押さえ棒51が支持棒6の軸方向に移動し、支持棒押さえ部材3を図1中矢印Aの方向に押圧する。   The clamp 5 has a pressing bar 51 and a moving mechanism for the pressing bar 51. The moving mechanism includes a pair of rotating bodies 52, a ring 53 fixed to one of the rotating bodies 52, a lever 54, and the like. The presser bar 51 is provided in parallel with the reference surface 63 of the support bar 6, and both ends thereof are connected to and supported by the pair of rotating bodies 52. The rotating body 52 is passed through through holes provided at positions facing each other on the side wall of the chuck 2, and one of the pair of rotating bodies 52 protrudes outside the chuck 2 and is fitted into the ring 53. The ring 53 is provided with a lever 54. When the ring 53 is rotated using the lever 54, the rotating body 52 can be rotated. The presser bar 51 is provided at a position offset from the rotation center of the rotating body 52. When the rotating body 52 is rotated using the lever 54, the presser bar 51 moves in the axial direction of the support bar 6, thereby supporting the support bar. The pressing member 3 is pressed in the direction of arrow A in FIG.

このように、クランプ5が押さえ棒51と押さえ棒51の移動機構を有するため、押さえ棒の位置を調整して押圧力を調節できる。このため、例えば、各支持棒の摩耗や欠け等の程度に応じて把持するロッドごとに押圧力を調整できる。   Thus, since the clamp 5 has the moving mechanism of the pressing bar 51 and the pressing bar 51, the pressing force can be adjusted by adjusting the position of the pressing bar. Therefore, for example, the pressing force can be adjusted for each rod to be gripped according to the degree of wear or chipping of each support rod.

支持棒押さえ部材3は、クランプ5の押さえ棒51と支持棒6の頭部62との間に介在される。支持棒押さえ部材3は、例えばフッ化樹脂等の弾性材料により形成されることが好ましい。また、支持棒押さえ部材3の形状は、上面および底面が平行な、例えば円筒形とすることが好ましい。クランプ5の押圧力によって支持棒押さえ部材3が弾性変形し、弾性力によって支持棒6の頭部62(基準面63)がチャック2の底部に押し付けられる。これにより、支持棒6がチャック2に更にしっかりと固定される。   The support bar pressing member 3 is interposed between the press bar 51 of the clamp 5 and the head 62 of the support bar 6. The support bar pressing member 3 is preferably formed of an elastic material such as a fluorinated resin. The shape of the support bar pressing member 3 is preferably a cylindrical shape whose upper surface and bottom surface are parallel, for example. The support bar pressing member 3 is elastically deformed by the pressing force of the clamp 5, and the head 62 (reference surface 63) of the support bar 6 is pressed against the bottom of the chuck 2 by the elastic force. Thereby, the support bar 6 is more firmly fixed to the chuck 2.

また、チャック2およびクランプ5は、金属材料を用いることが好ましい。金属製とするにより、チャックの強度が増し、長期使用に耐えるものとなる。チャック2は、耐熱性、耐久性、耐腐食性等を考慮し、例えば、チタンやニッケル等とすることが好ましいが、その他の金属としてもよい。特に、チャック2は、ガラス製のものを用いることが多いが、金属製とすることで、回転による摩耗や開口部4の周囲の欠け、歪みを減らすことができる。   The chuck 2 and the clamp 5 are preferably made of a metal material. By making it metal, the strength of the chuck increases and it can withstand long-term use. The chuck 2 is preferably made of, for example, titanium or nickel in consideration of heat resistance, durability, corrosion resistance, and the like, but may be made of other metals. In particular, the chuck 2 is often made of glass, but by using a metal, wear due to rotation, chipping around the opening 4 and distortion can be reduced.

次に、把持装置1を用いた光ファイバ母材製造方法について説明する。図1に示す把持装置1は、光ファイバ母材の製造装置から着脱できる構成とする。まず、光ファイバ母材製造装置から把持装置1が取り外された状態で、把持装置1のチャック2に支持棒6を把持させる。この状態で、支持棒6と出発材7とを接続し、出発材7を接続した支持棒6を把持装置1にて把持したまま、その把持装置1を光ファイバ母材製造装置(例えば、図2(c)に示す検査装置77や図3に示すガラス微粒子堆積体の製造装置90等)に取り付ける。   Next, an optical fiber preform manufacturing method using the gripping device 1 will be described. The gripping device 1 shown in FIG. 1 is configured to be detachable from the optical fiber preform manufacturing apparatus. First, the support bar 6 is gripped by the chuck 2 of the gripping device 1 with the gripping device 1 removed from the optical fiber preform manufacturing apparatus. In this state, the support rod 6 and the starting material 7 are connected, and the holding device 6 connected to the starting material 7 is held by the holding device 1 while the holding device 1 is held by an optical fiber preform manufacturing apparatus (for example, FIG. 2 (c) and the glass fine particle deposit manufacturing apparatus 90 shown in FIG.

図2は、支持棒6と出発材7との接続工程および出発材7の振れ検査工程を説明する図である。この接続工程および検査工程は、出発材7にガラス微粒子を堆積する工程の前に行われる。把持装置1は、上述したように、はじめにガラス微粒子堆積体の製造装置90等の光ファイバ母材の製造装置から取り外されており、図2(a)に示す出発材接続装置70に取り付けられる。   FIG. 2 is a diagram for explaining the connecting step between the support bar 6 and the starting material 7 and the run-out inspection step of the starting material 7. This connection step and inspection step are performed before the step of depositing glass particles on the starting material 7. As described above, the gripping device 1 is first removed from the optical fiber preform manufacturing apparatus such as the glass particulate deposit manufacturing apparatus 90 and attached to the starting material connecting apparatus 70 shown in FIG.

出発材接続装置70は、上部に把持装置1を把持する把持部72を有するとともに、下部に出発材7を支持する支持部73を有する。把持部72には把持装置1の例えば主軸9が取り付けられるようになっている。また、把持装置1のチャック2に把持された支持棒6はクランプ5によって押圧固定される。把持装置1が把持する支持棒6の先端と、支持部73に支持された出発材7の先端とは中心軸が合うように位置合わせされ、この状態でバーナ74によって接着される。   The starting material connecting device 70 has a gripping portion 72 that grips the gripping device 1 in the upper portion and a support portion 73 that supports the starting material 7 in the lower portion. For example, the main shaft 9 of the gripping device 1 is attached to the gripping portion 72. Further, the support bar 6 held by the chuck 2 of the holding device 1 is pressed and fixed by a clamp 5. The tip end of the support bar 6 gripped by the gripping device 1 and the tip end of the starting material 7 supported by the support portion 73 are aligned so that the center axis is aligned, and in this state, are bonded by the burner 74.

支持棒6に出発材7が接続されると、図2(b)に示すように、把持装置1ごと出発材接続装置70から取り外されて、図2(c)に示す検査装置77に接続される。検査装置77は、出発材7の振れを検査する装置である。検査装置77は、把持装置1に把持された支持棒6に接続された状態の出発材7aを把持する把持部791と、支持棒6を軸回転させる回転装置79と、振れ測定装置78が設けられている。振れ測定装置78は、把持装置1が把持部791に把持された状態で出発材7の先端位置に設けられ、支持棒6を軸回転させたときの出発材7の先端の振れ回りの大きさを測定する。検査装置77による出発材7の振れ検査において、振れ回りの大きさが所定値以下である合格した出発材7a(支持棒6に接続された出発材7)は、検査装置77から把持装置1ごと取り外されて、次工程(出発材7にガラス微粒子を堆積する工程)に移行する。なお、不合格であったものは、出発材接続装置70を用いて再度支持棒6と出発材7の接続部を加熱して軟化させ、出発材7の先端の振れ回りが小さくなるように調整した後、再度振れ測定を行うことができる。   When the starting material 7 is connected to the support rod 6, as shown in FIG. 2 (b), the holding device 1 is removed from the starting material connecting device 70 and connected to the inspection device 77 shown in FIG. 2 (c). The The inspection device 77 is a device that inspects the shake of the starting material 7. The inspection device 77 is provided with a gripping portion 791 for gripping the starting material 7a connected to the support rod 6 gripped by the gripping device 1, a rotating device 79 for rotating the support rod 6 and a shake measuring device 78. It has been. The shake measuring device 78 is provided at the tip position of the starting material 7 in a state where the gripping device 1 is gripped by the gripping portion 791, and the swinging magnitude of the tip of the starting material 7 when the support rod 6 is rotated about the axis is provided. Measure. In the run-out inspection of the starting material 7 by the inspection device 77, the passed starting material 7 a (starting material 7 connected to the support bar 6) whose swing size is a predetermined value or less is transferred from the inspection device 77 to the gripping device 1. After being removed, the process proceeds to the next step (step of depositing glass fine particles on the starting material 7). In addition, what was rejected is adjusted so that the swivel of the tip of the starting material 7 becomes small by heating and softening the connecting portion of the support rod 6 and the starting material 7 again using the starting material connecting device 70. After that, the shake measurement can be performed again.

図3は、VAD法で用いられるガラス微粒子堆積体の製造装置90の断面図である。図3に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置90は、出発材7と、出発材7が接続された支持棒6と、支持棒6を把持する把持装置1とを備える。さらに、ガラス微粒子堆積体の製造装置90は、出発材7の下方に配置されたガラス微粒子を生成する2本のバーナ94,95と、出発材7、バーナ94,95および把持装置1等を内包する反応容器91と、この反応容器91のバーナ94,95と反対側に配置された排気管92と、を有する。   FIG. 3 is a cross-sectional view of a glass fine particle deposit manufacturing apparatus 90 used in the VAD method. As shown in FIG. 3, the glass fine particle deposit manufacturing apparatus 90 includes a starting material 7, a support bar 6 to which the starting material 7 is connected, and a gripping device 1 that grips the support bar 6. Further, the glass fine particle deposit manufacturing apparatus 90 includes two burners 94 and 95 for generating glass fine particles arranged below the starting material 7, the starting material 7, the burners 94 and 95, the gripping device 1, and the like. A reaction vessel 91 and an exhaust pipe 92 disposed on the opposite side of the reaction vessel 91 from the burners 94 and 95.

バーナ94,95には水素ガス、酸素ガスの燃焼ガスおよび四塩化珪素などのガラスの原料が供給され、加水分解反応によりガラス微粒子が生成される。生成されたガラス微粒子は、出発材7の下端に付着・堆積し、これにより、ガラス微粒子堆積体が形成される。   Glass materials such as hydrogen gas, oxygen gas combustion gas and silicon tetrachloride are supplied to the burners 94 and 95, and glass fine particles are generated by a hydrolysis reaction. The generated glass fine particles adhere to and deposit on the lower end of the starting material 7, thereby forming a glass fine particle deposit.

なお、バーナ94は、中心に位置するコア部を形成するためのコア用バーナであり、バーナ95はコア部の外周に位置するクラッド部を形成するためのクラッド用バーナである。コア用バーナ94には、ガラス原料ガスである四塩化珪素ガスに加えて、屈折率制御用のドーパント原料ガスである四塩化ゲルマニウムガス等が供給される。   The burner 94 is a core burner for forming a core portion located at the center, and the burner 95 is a clad burner for forming a clad portion located on the outer periphery of the core portion. The core burner 94 is supplied with germanium tetrachloride gas, which is a dopant material gas for controlling the refractive index, in addition to silicon tetrachloride gas, which is a glass material gas.

このガラス微粒子堆積体を形成する工程は、反応容器91内で行われ、反応容器91内のガスや出発材7に付着しなかったガラス微粒子は、排気管92より、図示しない吸引装置により吸引されて排気される。   The step of forming the glass fine particle deposit is performed in the reaction vessel 91, and the gas in the reaction vessel 91 and the glass fine particles not attached to the starting material 7 are sucked from the exhaust pipe 92 by a suction device (not shown). Exhausted.

出発材7は、支持棒6に接続され、支持棒6の上端が把持装置1によって把持されている。また、把持装置1は主軸9により図示しない回転引き上げ装置に接続されている。   The starting material 7 is connected to the support bar 6, and the upper end of the support bar 6 is gripped by the gripping device 1. The gripping device 1 is connected to a rotation pulling device (not shown) by a main shaft 9.

把持装置1は図示外の回転引き上げ装置等により軸回転する。また、出発材7へのガラス微粒子の堆積に伴い軸方向へ移動する。本発明の把持装置1を用いれば、クランプ5によって支持棒6がしっかりとチャック2に固定されているため、軸回転させたときのガタつきや芯ずれが生じにくい。そのため、出発材7の振れが減り、ガラス微粒子堆積体の偏芯を抑制することが可能である。また、上述したように、支持棒6に出発材7を接続する工程から把持装置1を用いて支持棒6を押圧固定すれば、更に出発材7の振れまわりを抑制できるようになる。   The gripping device 1 is rotated by an unillustrated rotary pulling device or the like. Further, it moves in the axial direction as the glass fine particles are deposited on the starting material 7. If the gripping device 1 of the present invention is used, the support bar 6 is firmly fixed to the chuck 2 by the clamp 5, so that rattling and misalignment are less likely to occur when the shaft is rotated. Therefore, the shake of the starting material 7 is reduced, and the eccentricity of the glass fine particle deposit can be suppressed. In addition, as described above, if the support bar 6 is pressed and fixed using the gripping device 1 from the step of connecting the starting material 7 to the support bar 6, the swinging of the starting material 7 can be further suppressed.

以上説明したように、本発明の実施形態に係る把持装置1は、開口部4を設けたチャック2を有し、支持棒6の先端部61を開口部4から突出させた際に頭部62がチャック2の底部に係止するように支持棒6を保持する。また、チャック2内に保持された支持棒6の頭部62をチャック2の底部(開口部4側)に押圧するクランプ5を有する。クランプ5は支持棒6の基準面63に平行に設けられる押さえ棒51と、押さえ棒51を移動する移動機構(回転体52、リング53、およびレバー54)とを有し、押さえ棒51の位置を変更して押圧力を調節可能となっている。このようにして、クランプ5の押さえ棒51により支持棒6の頭部62を基準面63側に押圧すれば、チャック2の底部に支持棒6の基準面63がしっかりと固定される。   As described above, the gripping device 1 according to the embodiment of the present invention has the chuck 2 provided with the opening 4, and the head 62 when the tip 61 of the support bar 6 protrudes from the opening 4. Holds the support bar 6 so as to engage with the bottom of the chuck 2. In addition, a clamp 5 is provided that presses the head 62 of the support rod 6 held in the chuck 2 against the bottom (opening 4 side) of the chuck 2. The clamp 5 includes a pressing bar 51 provided in parallel to the reference surface 63 of the support bar 6 and a moving mechanism (rotating body 52, ring 53, and lever 54) that moves the pressing bar 51. The pressing force can be adjusted by changing. In this manner, when the head 62 of the support bar 6 is pressed toward the reference surface 63 by the pressing bar 51 of the clamp 5, the reference surface 63 of the support bar 6 is firmly fixed to the bottom of the chuck 2.

なお、クランプの押荷重は0.5kgf以上とすることが望ましい。このようにすることで、確実に支持棒6の頭部62を固定することができる。なお、クランプの押荷重の上限は、例えば頭部62の圧縮強度に対して低い荷重であればよい。   Note that the pressing force of the clamp is desirably 0.5 kgf or more. By doing in this way, the head 62 of the support bar 6 can be fixed reliably. Note that the upper limit of the clamp pressing load may be a load that is lower than the compressive strength of the head 62, for example.

また、クランプ5の押さえ棒51と支持棒6の頭部62との間に弾性材料からなる支持棒押さえ部材3を介在させることで、支持棒押さえ部材3の弾性力とクランプ5による押圧力とにより、更に支持棒6の基準面63がチャック2の底部にしっかりと固定される。   Further, by interposing the support bar pressing member 3 made of an elastic material between the pressing bar 51 of the clamp 5 and the head 62 of the support bar 6, the elastic force of the support bar pressing member 3 and the pressing force by the clamp 5 can be reduced. Thus, the reference surface 63 of the support bar 6 is firmly fixed to the bottom of the chuck 2.

このように、支持棒6の頭部62の基準面63がチャック2の底部からずれないようにしっかり固定することで、回転時のガタつきを減らし、支持棒6の先端において支持される出発材の振れまわりを抑えることができる。これにより、偏芯のない光ファイバ母材を製造できる。   In this way, by firmly fixing the reference surface 63 of the head 62 of the support bar 6 so as not to be displaced from the bottom of the chuck 2, the starting material supported at the tip of the support bar 6 is reduced. Can suppress the swinging of. Thereby, an optical fiber preform without eccentricity can be manufactured.

また、チャック2の底部内壁に、支持棒6の頭部62と略同径の嵌合部22を設けることにより、チャック2の主軸9と支持棒6との芯ずれを防ぎ、回転時の偏心をなくすことができる。   Further, by providing a fitting portion 22 having substantially the same diameter as the head 62 of the support bar 6 on the inner wall of the bottom of the chuck 2, misalignment between the main shaft 9 of the chuck 2 and the support bar 6 is prevented, and eccentricity during rotation is achieved. Can be eliminated.

また、チャック2を金属製とすることにより、従来のガラスチャックを用いた場合と比較して、欠けや摩耗を防ぐことができ、長期使用にも耐えるものとなる。   Further, by making the chuck 2 made of metal, it is possible to prevent chipping and wear as compared with the case where a conventional glass chuck is used, and it can withstand long-term use.

なお、図1の把持装置1は、支持棒6の形状が、先端部61と頭部62とで異なる径の支持棒6を用いる例について説明したが、他の形状の支持棒6を把持する場合にも有効である。図4は、先端部61と頭部62との間にテーパ部65を有する支持棒6を把持する把持装置1aを示す図である。なお、図4の把持装置1aにおいて、図1の把持装置1と同一の各部には、図1と同一の符号を付している。   In the gripping device 1 in FIG. 1, the example in which the support bar 6 has different diameters for the tip 61 and the head 62 has been described. However, the support bar 6 is gripped with other shapes. It is also effective in some cases. FIG. 4 is a diagram illustrating a gripping device 1 a that grips the support rod 6 having the tapered portion 65 between the tip portion 61 and the head portion 62. In the gripping device 1a in FIG. 4, the same parts as those in the gripping device 1 in FIG.

図4に示すように、把持装置1aは、図1に示す把持装置1と比較して、支持棒6にテーパ部65が設けられている。支持棒6のテーパ部65は、先端部61から頭部62に向かって徐々に拡径するようになっている。また、頭部62とテーパ部65とは、その境界において、異なる径となっている。   As shown in FIG. 4, the gripping device 1 a is provided with a taper portion 65 on the support bar 6 as compared with the gripping device 1 shown in FIG. 1. The taper portion 65 of the support rod 6 gradually increases in diameter from the tip portion 61 toward the head portion 62. The head 62 and the tapered portion 65 have different diameters at the boundary.

また、チャック2aの底部に設けられた開口部4aも、支持棒6のテーパ部65の形状に合う傾斜が設けられている。すなわち、開口部4aは、チャック2aの内部(上方)から外部(下方)へ向かって徐々に縮径している。これにより、チャック2と支持棒6とを容易かつ正確に芯合わせできる。   Further, the opening 4 a provided at the bottom of the chuck 2 a is also provided with an inclination that matches the shape of the tapered portion 65 of the support rod 6. That is, the opening 4a is gradually reduced in diameter from the inside (upper side) to the outside (lower side) of the chuck 2a. Thereby, the chuck 2 and the support rod 6 can be easily and accurately aligned.

クランプ5は、図1と同様であり、レバー54を締めることにより、押さえ棒51の位置を移動し、図4中矢印A方向の押圧力を調整できる。   The clamp 5 is the same as in FIG. 1, and by tightening the lever 54, the position of the pressing bar 51 can be moved, and the pressing force in the direction of arrow A in FIG. 4 can be adjusted.

図4に示す把持装置1aによれば、図1の把持装置1と同様に、支持棒6の頭部62はチャック2の底部に設けられた嵌合部22に嵌められ、支持されるとともに、チャック2の底部側面の傾斜によって支持されるため、図1の把持装置1と比較して、更に芯ずれやガタつきを減らすことができる。これにより支持棒6が支持する出発材の振れまわりを防ぐことが可能となる。   According to the gripping device 1a shown in FIG. 4, the head 62 of the support bar 6 is fitted and supported by the fitting portion 22 provided at the bottom of the chuck 2, as in the gripping device 1 of FIG. Since it is supported by the inclination of the bottom side surface of the chuck 2, misalignment and backlash can be further reduced as compared with the gripping device 1 of FIG. 1. This makes it possible to prevent the starting material supported by the support bar 6 from swinging.

更に、クランプ5は、図1および図4に示すものに限定されず、他の種類のクランプを用いるようにしてもよい。図5および図6は、図1の把持装置1におけるクランプ5に代えて、トグルクランプ8を用いた把持装置1bを示す図である。図5は、トグルクランプ8を緩めた状態、図6は、トグルクランプ8を締めた状態である。   Furthermore, the clamp 5 is not limited to that shown in FIGS. 1 and 4, and other types of clamps may be used. 5 and 6 are views showing a gripping device 1b using a toggle clamp 8 in place of the clamp 5 in the gripping device 1 of FIG. FIG. 5 shows a state in which the toggle clamp 8 is loosened, and FIG. 6 shows a state in which the toggle clamp 8 is tightened.

図5および図6に示すように、トグルクランプ8は、チャック2の側壁等に固定具87により固定される。また、トグルクランプ8は、固定具87に一端が軸支される第1リンク81と、第1リンク81の他端に一端が軸止される第2リンク82と、第2リンク82の他端に角部が軸止されるL字形状の第3リンク83とを有する。第3リンク83の一端は固定具87に軸止される。また第3リンク83の他端には、押さえ部84が設けられている。押さえ部84には板バネ85が設けられており、図6に示すように、トグルクランプ8が締められたときに、板バネ85が支持棒6の頭部を押圧する。   As shown in FIGS. 5 and 6, the toggle clamp 8 is fixed to the side wall of the chuck 2 by a fixing tool 87. The toggle clamp 8 includes a first link 81 whose one end is pivotally supported by the fixture 87, a second link 82 whose one end is pivotally fixed to the other end of the first link 81, and the other end of the second link 82. And an L-shaped third link 83 whose corners are axially fixed. One end of the third link 83 is fixed to the fixture 87. A pressing portion 84 is provided at the other end of the third link 83. A plate spring 85 is provided on the holding portion 84, and the plate spring 85 presses the head of the support bar 6 when the toggle clamp 8 is tightened as shown in FIG. 6.

トグルクランプ8の第1リンク81、第2リンク82、第3リンク83は上述の各軸止点において、互いに回動する。第2リンク82はレバー86を有し、レバー86により第2リンク82の角度が調整される。   The first link 81, the second link 82, and the third link 83 of the toggle clamp 8 rotate with respect to each other at the above-described shaft stopping points. The second link 82 has a lever 86, and the angle of the second link 82 is adjusted by the lever 86.

レバー86が下方へ動かされ、図6に示すように、第1リンク81と第2リンク82との角度が180度に近づくと、第2リンク82と第3リンク83との軸止点(第3リンク83の角部)がチャック2の内側方向へ移動される。これに伴って第3リンク83が固定具87との軸止点を中心に回動し、押さえ部84が移動し、支持棒6の頭部62を押圧する。これにより、支持棒6の基準面がチャック2の底部にしっかり固定される。   When the lever 86 is moved downward and the angle between the first link 81 and the second link 82 approaches 180 degrees, as shown in FIG. The corners of the three links 83 are moved inward of the chuck 2. Along with this, the third link 83 rotates around the axial stop point with the fixture 87, the pressing portion 84 moves, and the head 62 of the support bar 6 is pressed. As a result, the reference surface of the support bar 6 is firmly fixed to the bottom of the chuck 2.

更に、トグルクランプ8の押さえ部84には板バネ85が設けられているため、板バネ85の弾性付勢力によって押圧力を高めることができる。また、板バネ85に代えて、図1に示すような支持棒押さえ部材3を、押さえ部84と支持棒との間に介在させるようにしてもよい。   Further, since the leaf spring 85 is provided on the pressing portion 84 of the toggle clamp 8, the pressing force can be increased by the elastic biasing force of the leaf spring 85. Further, instead of the leaf spring 85, a support bar pressing member 3 as shown in FIG. 1 may be interposed between the pressing portion 84 and the support bar.

図5、図6に示すように、トグルクランプ8を用いることにより、小さな力で大きな押荷重を与えることができる。   As shown in FIGS. 5 and 6, by using the toggle clamp 8, a large pressing load can be applied with a small force.

なお、上述の実施形態では、支持棒6として、頭部62が拡径したものを用い、チャック2の開口部4の周囲に支持棒6の頭部62を係止させて保持する構造の把持装置について説明したが、支持棒6およびチャック2の形状と、保持構造はこれに限定されない。例えば、図7に示すように、支持棒6cとして、外径が略一定で上部に貫通孔13を有するものを使用してもよい。この場合、把持装置1cは、略円筒で下部に貫通孔12を有するチャック2cを備え、チャック2cと支持棒6cの各貫通孔12,13に石英または金属等からなるピン20を通すことで支持棒6cを把持する。このような、ピン20を用いて支持棒6cを把持する構造の把持装置1cにおいて、図1の把持装置1と同様にクランプ5によって支持棒6cの頭部を押圧するようにしてもよい。また、弾性材料からなる支持棒押さえ部材3を介して、支持棒6cの頭部をクランプ5によって押圧するようにしてもよい。更に、図7の把持装置1cにおいて、クランプ5に代えて、図5、図6に示すトグルクランプ8を使用してもよい。   In the above-described embodiment, the support rod 6 having an enlarged head 62 is used, and the grip 62 has a structure in which the head 62 of the support rod 6 is locked and held around the opening 4 of the chuck 2. Although the apparatus has been described, the shapes of the support bar 6 and the chuck 2 and the holding structure are not limited thereto. For example, as shown in FIG. 7, a support rod 6c having a substantially constant outer diameter and having a through hole 13 at the top may be used. In this case, the gripping device 1c is provided with a chuck 2c having a substantially cylindrical shape and having a through-hole 12 in the lower portion, and is supported by passing pins 20 made of quartz or metal through the through-holes 12 and 13 of the chuck 2c and the support rod 6c. Hold the rod 6c. In such a gripping device 1c configured to grip the support bar 6c using the pin 20, the head of the support bar 6c may be pressed by the clamp 5 similarly to the gripping device 1 of FIG. Further, the head of the support bar 6c may be pressed by the clamp 5 through the support bar pressing member 3 made of an elastic material. Further, in the gripping device 1c of FIG. 7, a toggle clamp 8 shown in FIGS. 5 and 6 may be used instead of the clamp 5.

クランプによる押さえのない従来の把持装置101(図12)と、本発明に係る把持装置1(図1)とを用いて、それぞれ同様の方法で、ガラス微粒子堆積体を製造し、コア曲がりの発生頻度を調べた。図8は、クランプによる押さえのない従来の把持装置101(図12)を用いた場合の、コア曲がりの発生頻度を示すグラフである。また、図9は、本発明に係る把持装置1を使用し、クランプにより支持棒6を押圧固定した場合の、コア曲がりの発生頻度を示すグラフである。クランプによる押荷重は、0.7[kgf]とした。いずれも51本の光ファイバ母材を測定対象としている。   Using a conventional gripping device 101 (FIG. 12) that is not pressed by a clamp and the gripping device 1 (FIG. 1) according to the present invention, a glass particle deposit is produced in the same manner, and the occurrence of core bending occurs. The frequency was examined. FIG. 8 is a graph showing the frequency of occurrence of core bending when the conventional gripping device 101 (FIG. 12) that is not pressed by a clamp is used. FIG. 9 is a graph showing the frequency of occurrence of core bending when the holding device 1 according to the present invention is used and the support bar 6 is pressed and fixed by a clamp. The pressing load by the clamp was 0.7 [kgf]. In each case, 51 optical fiber preforms are to be measured.

なお、ここでコア曲がりは以下のようにして測定した値である。
まず、製造したガラス微粒子堆積体を高温である炉に入れてガラス化する。ガラス化後のコアを、ガラス微粒子堆積体の製造装置とは別に用意したコア曲がり測定装置のチャックにセットする。
コア曲がり測定装置は、支持棒の先端部をコアの中心軸を中心として回転可能に把持することが可能である。なお、コア曲がり測定装置の把持装置は、前述したガラス微粒子堆積体の製造装置と同様のものを用いることができる。
Here, the core bending is a value measured as follows.
First, the produced glass particulate deposit is vitrified by placing it in a high temperature furnace. The vitrified core is set on a chuck of a core bending measuring device prepared separately from the glass fine particle deposit manufacturing apparatus.
The core bending measuring device can grip the distal end portion of the support rod so as to be rotatable about the central axis of the core. Note that the gripping device of the core bending measuring device can be the same as the above-described glass particle deposit manufacturing device.

次に、コア曲がり測定装置にセットしたガラス化後のコアを、コアの中心軸を中心として回転させ、種棒の先端に相当する位置での振れ回り幅と、コアの先端での振れ回り幅を測定する。得られた測定結果から、(コアの先端での振れ回り幅−種棒の先端に相当する位置での振れ回り幅)/2を計算し、コア曲がりとした。   Next, the vitrified core set in the core bending measuring device is rotated around the center axis of the core, and the swing width at the position corresponding to the tip of the seed bar and the swing width at the tip of the core Measure. From the obtained measurement result, (swinging width at the tip of the core−swinging width at the position corresponding to the tip of the seed rod) / 2 was calculated to be the core bending.

従来のように支持棒6をクランプにより押さえない場合、図8に示すようにコア曲がりの発生頻度は、1.1[mm]〜1.6[mm]で多く、平均1.22[mm]のコア曲がりが発生した。コア曲がりの最大値は2[mm]と大きく、標準偏差は0.29である。   When the support rod 6 is not pressed by the clamp as in the conventional case, the occurrence frequency of the core bending is large from 1.1 [mm] to 1.6 [mm] as shown in FIG. 8, and the average is 1.22 [mm]. A core bend occurred. The maximum value of the core bending is as large as 2 [mm], and the standard deviation is 0.29.

一方、クランプによる押荷重を0.7[kgf]とした場合は、図9に示すようにコア曲がりの発生頻度は、0.5[mm]〜1.0[mm]付近で多く、平均0.80[mm]のコア曲がりが発生した。コア曲りの最大値は、1.3[mm]で標準偏差は0.23である。   On the other hand, when the pressing load by the clamp is 0.7 [kgf], as shown in FIG. 9, the frequency of occurrence of the core bending is large in the vicinity of 0.5 [mm] to 1.0 [mm], and the average is 0. .80 [mm] core bending occurred. The maximum value of the core bending is 1.3 [mm] and the standard deviation is 0.23.

このように、クランプを用いて支持棒6を押圧した場合は、クランプによる押圧がない場合と比較して、コア曲りの発生頻度が小さく、また曲がり量も平均して小さく、ばらつきも小さくなる結果を得た。   As described above, when the support rod 6 is pressed using the clamp, the frequency of occurrence of the core bending is lower and the amount of the bending is smaller and the variation is smaller than the case where there is no pressing by the clamp. Got.

また、本発明に係る把持装置1を光ファイバ製造装置から取り外し可能な構成とし、図2に示すように、支持棒6と出発材7とを接続する工程から本発明に係る把持装置1に把持して行うことが好ましい。   Further, the gripping device 1 according to the present invention is configured to be removable from the optical fiber manufacturing apparatus, and the gripping device 1 according to the present invention grips from the step of connecting the support bar 6 and the starting material 7 as shown in FIG. It is preferable to do so.

図10は、本発明に係る把持装置1を光ファイバ製造装置から取り外し可能な構成とし、光ファイバ製造装置から取り外した状態で、把持装置1に支持棒6を把持し、支持棒6と出発材7を接続し、把持装置1に出発材7を接続した支持棒6を把持したまま、把持装置1を光ファイバ製造装置に取り付けてコア合成工程を行った場合のコア曲がりの発生頻度を示すグラフである。   FIG. 10 shows a configuration in which the gripping device 1 according to the present invention is detachable from the optical fiber manufacturing apparatus, and the support rod 6 is gripped by the gripping device 1 in a state of being detached from the optical fiber manufacturing device. 7 is a graph showing the frequency of occurrence of core bending when the core synthesizing process is performed by attaching the gripping device 1 to the optical fiber manufacturing apparatus while gripping the support rod 6 in which the starting material 7 is connected to the gripping device 1. It is.

なお、支持棒6と出発材7を接続した後に、把持装置1を回転させ、出発材7の回転軸の振れ回りを測定する工程や、さらに支持棒6と出発材7の中心軸を合わせる工程をさらに有することが好ましい。
このようにすることで、支持棒6と出発材7の中心軸をより合わせることができ、また、中心軸を合わせた状態で、把持装置1から支持棒6を外すことなく、製造装置に設置できるので、支持棒6と出発材7の中心軸が合っている状態を維持できる。
クランプによる押荷重は、0.6[kgf]とした。52本の光ファイバ母材を測定対象としている。
In addition, after connecting the support bar 6 and the starting material 7, the process of rotating the holding | grip apparatus 1 and measuring the whirling of the rotating shaft of the starting material 7, and the process of aligning the center axis | shaft of the supporting bar 6 and the starting material 7 further It is preferable to further have.
By doing so, the center axis of the support bar 6 and the starting material 7 can be more aligned, and the center axis is aligned and installed in the manufacturing apparatus without removing the support bar 6 from the gripping device 1. As a result, it is possible to maintain a state where the central axes of the support rod 6 and the starting material 7 are aligned.
The pressing load by the clamp was 0.6 [kgf]. The measurement target is 52 optical fiber preforms.

この場合、図10に示すようにコア曲がりの発生頻度は、0.5[mm]〜0.8[mm]付近で多く、平均0.60[mm]のコア曲がりが発生した。コア曲りの最大値は、1.1[mm]で標準偏差は0.18である。   In this case, as shown in FIG. 10, the frequency of occurrence of core bending is high in the vicinity of 0.5 [mm] to 0.8 [mm], and an average core bending of 0.60 [mm] occurred. The maximum value of the core bending is 1.1 [mm] and the standard deviation is 0.18.

このように、支持棒6と出発材7を接続する工程から共通して本発明の把持装置1を用いる場合は、更に、コア曲りの発生頻度が小さく、また曲がり量も平均して小さく、ばらつきも小さくなる結果を得た。   As described above, when the gripping device 1 of the present invention is used in common from the process of connecting the support rod 6 and the starting material 7, the occurrence frequency of the core bending is small, and the bending amount is also small on average, resulting in variations. Also obtained a smaller result.

以上のように、本発明の把持装置は、チャックの底部開口部から外部へ支持棒の先端部を通した際に、支持棒の頭部がチャックの底部に係止されるように把持し、クランプによって支持棒の頭部を押圧することにより、支持棒の基準面を底部にしっかりと固定し、出発材の振れまわりを防ぎ、偏芯のない良好な光ファイバ母材を得ることが可能となる。これにより、光ファイバ母材の生産性を高めることができる。   As described above, the gripping device of the present invention grips the head of the support bar so that the head of the support bar is locked to the bottom of the chuck when the tip of the support bar passes from the bottom opening of the chuck to the outside. By pressing the head of the support rod with the clamp, the reference surface of the support rod is firmly fixed to the bottom, and it is possible to prevent the starting material from swinging and to obtain a good optical fiber preform without eccentricity. Become. Thereby, the productivity of the optical fiber preform can be increased.

以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。例えば、図1〜図7に示す把持装置1、1a、1b、1cは、ガラス微粒子堆積体が鉛直に保持される縦型の製造装置であるが、ガラス微粒子堆積体を横方向に保持する横型の製造装置に用いるようにしてもよい。その他、当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, the technical scope of this invention is not influenced by embodiment mentioned above. For example, the gripping devices 1, 1 a, 1 b, and 1 c shown in FIGS. 1 to 7 are vertical manufacturing apparatuses in which the glass particulate deposits are held vertically, but are horizontal types that hold the glass particulate deposits in the lateral direction. You may make it use for this manufacturing apparatus. In addition, it is obvious for those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea described in the scope of claims. It is understood that it belongs to the range.

1、1a、1b、1c………把持装置
12、13………貫通孔
2、2c………チャック
20………ピン
22………嵌合部
3………支持棒押さえ部材
4、4a………開口部
5………クランプ
51………押さえ棒
52………回転体
53………リング
54………レバー
6………支持棒
61………支持棒先端部
62………支持棒頭部
63………基準面
65………テーパ部
7………出発材
70………出発材接続装置
77………検査装置
78………振れ測定装置
79………回転駆動装置
8………トグルクランプ
81………第1リンク
82………第2リンク
83………第3リンク
84………押さえ部
85………板バネ
86………レバー
9………主軸
90………ガラス微粒子堆積体の製造装置
91………反応容器
92………排気管
94,95………バーナ
1, 1 a, 1 b, 1 c... Gripping device 12, 13... Through-hole 2, 2 c. ......... Opening 5 ......... Clamp 51 ......... Presser bar 52 ......... Rotating body 53 ......... Ring 54 ...... Lever 6 ......... Support bar 61 ...... Support bar tip 62 ......... Support rod head 63 ......... Reference surface 65 ......... Tapered portion 7 ... Starting material 70 ...... Starting material connecting device 77 ...... Inspection device 78 ...... Runout measuring device 79 ......... Rotation drive device 8 ......... Toggle clamp 81 ......... First link 82 ......... Second link 83 ......... Third link 84 ......... Pressing portion 85 ......... Plate spring 86 ......... Lever 9 ......... Main shaft 90 ... …… Production apparatus 91 for glass particulate deposits ... …… Reaction vessel 92 ………… Exhaust pipes 94, 95 ……… Burner

Claims (9)

光ファイバ母材用の支持棒の把持装置であって、
前記支持棒を保持するチャックと、
前記チャック内に保持された前記支持棒の頭部を前記チャックの開口部に向かって押圧するクランプと、
を具備することを特徴とする把持装置。
A holding device for a support rod for an optical fiber preform,
A chuck for holding the support rod;
A clamp that presses the head of the support rod held in the chuck toward the opening of the chuck;
A gripping device comprising:
前記クランプは、弾性材料から成る押さえ部材を介して前記支持棒の頭部を押圧することを特徴とする請求項1に記載の把持装置。   The gripping device according to claim 1, wherein the clamp presses the head of the support rod through a pressing member made of an elastic material. 前記クランプは、前記支持棒の頭部を押圧する押さえ棒と、前記押さえ棒の位置を調整する移動機構とを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の把持装置。   The gripping device according to claim 1, wherein the clamp includes a pressing bar that presses the head of the support bar, and a moving mechanism that adjusts the position of the pressing bar. 前記クランプは、トグルクランプであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の把持装置。   The gripping device according to claim 1 or 2, wherein the clamp is a toggle clamp. 前記チャックは、金属製であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の把持装置。   The gripping device according to any one of claims 1 to 4, wherein the chuck is made of metal. 前記クランプの押荷重を0.5kgf以上としたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の把持装置。   The gripping device according to any one of claims 1 to 5, wherein a pressing load of the clamp is 0.5 kgf or more. 前記支持棒は、先端部に拡径した頭部を有し、
前記チャックは、前記支持棒の頭部より小さく、かつ前記支持棒の先端部より大きい径の開口部を有し、前記支持棒の先端部を前記開口部から外部へ通した際に、前記頭部が前記開口部の周囲に係止されるように前記支持棒を保持することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の把持装置。
The support rod has a head that has an enlarged diameter at the tip,
The chuck has an opening having a diameter smaller than that of the head of the support rod and larger than the tip of the support rod, and the head when the tip of the support rod is passed through the opening to the outside. The gripping device according to any one of claims 1 to 6, wherein the support rod is held so that a portion is locked around the opening.
請求項1から請求項7のいずれかに記載の把持装置を光ファイバ母材製造装置から取り外した状態で、前記把持装置に支持棒を把持させ、前記支持棒と出発材とを接続する工程と、
前記把持装置に前記出発材を接続した前記支持棒を把持させたまま、前記把持装置を前記光ファイバ母材製造装置に取り付ける工程と、
を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
A step of causing the gripping device to grip a support bar and connecting the support bar and the starting material in a state where the gripping device according to any one of claims 1 to 7 is detached from the optical fiber preform manufacturing apparatus. ,
Attaching the gripping device to the optical fiber preform manufacturing apparatus while gripping the support rod to which the starting material is connected to the gripping device;
An optical fiber preform manufacturing method comprising:
前記支持棒と前記出発材とを接続した後に、前記出発材の先端部の振れ回りを測定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の光ファイバ母材の製造方法。   9. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 8, further comprising a step of measuring a whirling of a tip portion of the starting material after connecting the support bar and the starting material.
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