JP2014002339A - Electro-optic device and electronic apparatus - Google Patents

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浩孝 川田
Keiji Fukuhara
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electro-optic device and an electronic apparatus capable of improving display qualities.SOLUTION: The electro-optic device includes a pixel 40 which includes: a plurality of sub-pixels 41R, 41G, 41B having pixel electrodes 27R, 27G, 27B and a counter electrode 31, disposed opposing to each other, and emitting light in different colors; and a sub-pixel 41W having a pixel electrode 27W and the counter electrode 31 disposed opposing to each other and emitting white light different from the light from all of the sub-pixels 41R, 41G, 41B. The thickness of the pixel electrode 27W and the counter electrode 31 is controlled to be different from at least either the pixel electrodes 27R, 27G, 27B or the counter electrode 31 so as to substantially equalize the color of the white light W1 constituted by the plurality of sub-pixels 41R, 41G, 41B with the white light W2 displayed by the sub-pixel 41W.

Description

本発明は、電気光学装置、及び電子機器に関する。   The present invention relates to an electro-optical device and an electronic apparatus.

上記電気光学装置として、例えば、画素電極をスイッチング制御する素子としてトランジスターを画素ごとに備えたアクティブ駆動方式の液晶装置が知られている。液晶装置は、例えば、直視型ディスプレイやライトバルブなどにおいて用いられている。   As the electro-optical device, for example, an active drive type liquid crystal device including a transistor for each pixel as an element for controlling switching of a pixel electrode is known. Liquid crystal devices are used in, for example, direct view displays and light valves.

液晶装置は、例えば、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の画素により1つの表示要素が構成されている。また、特許文献1には、画面を明るくするため、赤色、緑色、青色、及び白色(W)の画素により構成された液晶装置が開示されている。   In the liquid crystal device, for example, one display element is configured by red (R), green (G), and blue (B) pixels. Patent Document 1 discloses a liquid crystal device including red, green, blue, and white (W) pixels in order to brighten the screen.

米国特許第7286136号明細書U.S. Pat. No. 7,286,136

しかしながら、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)で構成された白色光と、単独の白色(W)で構成された白色光との色が異なることによって、色ムラが生じたりざらつきを感じたりするなど、表示品質が劣化するという課題がある。   However, when the white light composed of red (R), green (G), and blue (B) and the white light composed of a single white (W) are different in color, color unevenness occurs or is rough. There is a problem that display quality deteriorates.

本発明の態様は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。   An aspect of the present invention has been made to solve at least a part of the above problems, and can be realized as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例に係る電気光学装置は、対向配置された第1画素電極及び第1対向電極を備えると共に赤色光、緑色光、青色光を射出する複数の第1サブ画素と、対向配置された第2画素電極及び第2対向電極を備えると共に、白色光を射出する第2サブ画素と、を有する画素を備え、前記複数の第1サブ画素によって構成される第1白色光と前記第2サブ画素によって表示される第2白色光との色が略同じになるように、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の厚みと、少なくとも前記第1画素電極及び前記第1対向電極の一方の厚みとが異なることを特徴とする。   Application Example 1 An electro-optical device according to this application example includes a first pixel electrode and a first counter electrode arranged to face each other, and a plurality of first sub-pixels that emit red light, green light, and blue light, A first white light comprising a pixel having a second pixel electrode and a second counter electrode arranged opposite to each other, and a second sub-pixel that emits white light; and configured by the plurality of first sub-pixels; The thickness of the second pixel electrode and the second counter electrode and at least the first pixel electrode and the first counter so that the color of the second white light displayed by the second sub-pixel is substantially the same. The thickness of one of the electrodes is different.

本適用例によれば、第2画素電極及び第2対向電極の膜厚に対し、第1画素電極及び第1対向電極の少なくとも一方の膜厚を変えて、第1白色光と第2白色光とが略同じ色になるようにするので、1つのサブ画素で構成される第2サブ画素と、複数のサブ画素で構成される第1サブ画素との色のバラツキを抑えることができる。よって、白ムラが抑えられ滑らかな画像になるなど表示品質を向上させることができる。   According to this application example, the first white light and the second white light are changed by changing the film thickness of at least one of the first pixel electrode and the first counter electrode with respect to the film thickness of the second pixel electrode and the second counter electrode. Are substantially the same color, it is possible to suppress color variations between the second sub-pixel formed by one sub-pixel and the first sub-pixel formed by a plurality of sub-pixels. Therefore, it is possible to improve display quality, for example, white unevenness can be suppressed and a smooth image can be obtained.

[適用例2]上記適用例に係る電気光学装置において、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の厚みに対し、前記第1画素電極及び前記第1対向電極の少なくとも一方の厚みを、厚くする又は薄くすることが好ましい。   Application Example 2 In the electro-optical device according to the application example described above, the thickness of at least one of the first pixel electrode and the first counter electrode is larger than the thickness of the second pixel electrode and the second counter electrode. It is preferable to make it thin or thin.

本適用例によれば、第2サブ画素(第2画素電極、第2対向電極)に対し第1サブ画素(第1画素電極、第1対向電極)の膜厚を薄くすると、例えば、緑の色調より青の色調を強くすることができる。また、第2サブ画素に対し第1サブ画素の膜厚を厚くすると、例えば、緑の色調より赤の色調を強くすることができる。これらの調整により白色の色調を合わせることができる。   According to this application example, when the film thickness of the first sub-pixel (first pixel electrode, first counter electrode) is reduced with respect to the second sub-pixel (second pixel electrode, second counter electrode), for example, green The blue color tone can be made stronger than the color tone. Further, when the film thickness of the first sub-pixel is increased with respect to the second sub-pixel, for example, the red color tone can be made stronger than the green color tone. The white color tone can be adjusted by these adjustments.

[適用例3]上記適用例に係る電気光学装置において、前記第1画素電極と前記第1対向電極との間隔と、前記第2画素電極と前記第2対向電極との間隔とが同じであることが好ましい。   Application Example 3 In the electro-optical device according to the application example described above, the interval between the first pixel electrode and the first counter electrode is the same as the interval between the second pixel electrode and the second counter electrode. It is preferable.

本適用例によれば、各々の一対の電極間の間隔が同じであるので、第1サブ画素の白色光と第2サブ画素の白色光とを合わせるために膜厚を変えた場合でも、各々の電極間(言い換えれば、液晶層の厚み)を同じにすることが可能となり、より色ムラの発生を抑えることができる。   According to this application example, since the distance between each pair of electrodes is the same, even when the film thickness is changed to match the white light of the first subpixel and the white light of the second subpixel, Between the electrodes (in other words, the thickness of the liquid crystal layer) can be made the same, and the occurrence of color unevenness can be further suppressed.

[適用例4]上記適用例に係る電気光学装置において、前記第2白色光と比較して前記第1白色光の色調が青色に寄っている場合、前記第1画素電極及び前記第1対向電極のうち少なくとも一方の膜厚を、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚と比較して厚くすることが好ましい。   Application Example 4 In the electro-optical device according to the application example, when the color tone of the first white light is closer to blue than the second white light, the first pixel electrode and the first counter electrode Of these, it is preferable that at least one of the thicknesses is thicker than the thicknesses of the second pixel electrode and the second counter electrode.

本適用例によれば、第2サブ画素の各電極の膜厚と比較して、第1サブ画素の各電極の膜厚を厚くすることにより、青色の波長領域の透過率を小さくすることができる。言い換えれば、青色の色調から赤色の色調に変えることが可能となる。よって、青色の色調の第1白色光を白色に近づけることができ、第2白色光と第1白色光との色ムラを抑えることができる。   According to this application example, the transmittance in the blue wavelength region can be reduced by increasing the film thickness of each electrode of the first sub-pixel compared to the film thickness of each electrode of the second sub-pixel. it can. In other words, it is possible to change from a blue color tone to a red color tone. Therefore, the first white light having a blue color tone can be brought close to white, and color unevenness between the second white light and the first white light can be suppressed.

[適用例5]上記適用例に係る電気光学装置において、前記第2白色光と比較して前記第1白色光の色調が黄色に寄っている場合、前記第1画素電極及び前記第1対向電極のうち少なくとも一方の膜厚を、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚と比較して薄くすることが好ましい。   Application Example 5 In the electro-optical device according to the application example, when the color tone of the first white light is closer to yellow compared to the second white light, the first pixel electrode and the first counter electrode Of these, it is preferable to make at least one of the film thicknesses thinner than the film thicknesses of the second pixel electrode and the second counter electrode.

本適用例によれば、第2サブ画素の各電極の膜厚と比較して、第1サブ画素の各電極の膜厚を薄くすることにより、青色の波長領域の透過率を大きくすることができる。言い換えれば、黄色の色調から青色の色調に変えることが可能となる。よって、黄色の色調の第1白色光を白色に近づけることができ、第2白色光と第1白色光との色ムラを抑えることができる。   According to this application example, it is possible to increase the transmittance in the blue wavelength region by reducing the film thickness of each electrode of the first subpixel compared to the film thickness of each electrode of the second subpixel. it can. In other words, it is possible to change from a yellow color tone to a blue color tone. Therefore, the first white light having a yellow color tone can be brought close to white, and color unevenness between the second white light and the first white light can be suppressed.

[適用例6]上記適用例に係る電気光学装置において、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚は、緑色の可視光波長域で透過率の極大点を含む膜厚であることが好ましい。   Application Example 6 In the electro-optical device according to the application example described above, the film thickness of the second pixel electrode and the second counter electrode is a film thickness including a maximum point of transmittance in a green visible light wavelength region. Is preferred.

本適用例によれば、可視光波長域で透過率の極大点を含む膜厚に第2画素電極及び第2対向電極を設定することにより、照射された光をよりそのままの状態で透過させることが可能となり、白色光の基準とすることができる。   According to this application example, by setting the second pixel electrode and the second counter electrode to a film thickness including the maximum point of transmittance in the visible light wavelength region, the irradiated light can be transmitted as it is. Can be used as a reference for white light.

[適用例7]上記適用例に係る電気光学装置において、前記複数の第1サブ画素は、赤色、緑色、青色であり、前記第2サブ画素は、白色であることが好ましい。   Application Example 7 In the electro-optical device according to the application example, it is preferable that the plurality of first sub-pixels are red, green, and blue, and the second sub-pixel is white.

本適用例によれば、赤色と緑色と青色とによって構成された第1白色光と、白色によって構成された第2白色光との色調を近づけることにより、第1白色光と第2白色光との色ムラを抑えることが可能となり、表示品質を向上させることができる。   According to this application example, the first white light and the second white light can be obtained by bringing the first white light composed of red, green, and blue and the second white light composed of white close to each other. Color unevenness can be suppressed, and display quality can be improved.

[適用例8]本適用例に係る電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする。   Application Example 8 An electronic apparatus according to this application example includes the electro-optical device described above.

本適用例によれば、色ムラが抑えられ表示品質を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。   According to this application example, it is possible to provide an electronic apparatus that can suppress color unevenness and improve display quality.

第1実施形態の液晶装置の構成を示す模式平面図。1 is a schematic plan view illustrating a configuration of a liquid crystal device according to a first embodiment. 図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line H-H ′ of the liquid crystal device illustrated in FIG. 1. 液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram illustrating an electrical configuration of the liquid crystal device. 液晶装置の構造を示す模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of a liquid crystal device. 画素を構成するサブ画素の配列を示す模式平面図。The schematic plan view which shows the arrangement | sequence of the sub pixel which comprises a pixel. 図5に示す画素のA−A’線に沿う模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the pixel shown in FIG. 5. 図5に示す画素のA−A’線に沿う模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along the line A-A ′ of the pixel shown in FIG. 5. 各サブ画素における画素電極の膜厚を変えた場合の分光透過率を示すグラフ。The graph which shows the spectral transmittance at the time of changing the film thickness of the pixel electrode in each sub pixel. 液晶装置を備えた電子機器としての投射型表示装置の構成を示す概略図。Schematic which shows the structure of the projection type display apparatus as an electronic device provided with the liquid crystal device. 第2実施形態のサブ画素の構成を示す模式断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a sub pixel according to a second embodiment. サブ画素の構成を示す模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a sub pixel. 第3実施形態のサブ画素の構成を示す模式断面図。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a sub pixel according to a third embodiment. サブ画素の構成を示す模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a sub pixel. 画素電極及び対向電極の膜厚を変えた場合の分光透過率を示すグラフ。The graph which shows the spectral transmittance at the time of changing the film thickness of a pixel electrode and a counter electrode.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings to be used are appropriately enlarged or reduced so that the part to be described can be recognized.

なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。   In the following embodiments, for example, when “on the substrate” is described, the substrate is disposed so as to be in contact with the substrate, or is disposed on the substrate via another component, or the substrate. It is assumed that a part is arranged so as to be in contact with each other and a part is arranged via another component.

本実施形態では、電気光学装置として、薄膜トランジスター(TFT:Thin Film Transistor)を画素のスイッチング素子として備えたアクティブマトリックス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば、投射型表示装置(液晶プロジェクター)の光変調素子(液晶ライトバルブ)として好適に用いることができるものである。   In the present embodiment, an active matrix liquid crystal device including a thin film transistor (TFT) as a pixel switching element will be described as an example of an electro-optical device. This liquid crystal device can be suitably used, for example, as a light modulation element (liquid crystal light valve) of a projection display device (liquid crystal projector).

(第1実施形態)
<液晶装置の構成>
図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
(First embodiment)
<Configuration of liquid crystal device>
FIG. 1 is a schematic plan view showing the configuration of the liquid crystal device. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line HH ′ of the liquid crystal device shown in FIG. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing an electrical configuration of the liquid crystal device. Hereinafter, the configuration of the liquid crystal device will be described with reference to FIGS.

図1及び図2に示すように、本実施形態の液晶装置100は、対向配置された素子基板10および対向基板20と、これら一対の基板によって挟持された液晶層15とを有する。素子基板10を構成する第1基材10a、および対向基板20を構成する第2基材20aは、例えば、ガラス基板、石英基板などの透明基板が用いられている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid crystal device 100 according to the present embodiment includes an element substrate 10 and a counter substrate 20 that are disposed to face each other, and a liquid crystal layer 15 that is sandwiched between the pair of substrates. As the first base material 10a constituting the element substrate 10 and the second base material 20a constituting the counter substrate 20, for example, a transparent substrate such as a glass substrate or a quartz substrate is used.

素子基板10は対向基板20よりも大きく、両基板は、対向基板20の外周に沿って配置されたシール材14を介して接合されている。その隙間に正または負の誘電異方性を有する液晶が封入されて液晶層15を構成している。シール材14は、例えば熱硬化性又は紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール材14には、一対の基板の間隔を一定に保持するためのスペーサー(図示省略)が混入されている。   The element substrate 10 is larger than the counter substrate 20, and both the substrates are bonded via a sealing material 14 disposed along the outer periphery of the counter substrate 20. Liquid crystal layer 15 is configured by sealing liquid crystal having positive or negative dielectric anisotropy in the gap. For the sealing material 14, for example, an adhesive such as a thermosetting or ultraviolet curable epoxy resin is employed. Spacers (not shown) are mixed in the sealing material 14 to keep the distance between the pair of substrates constant.

シール材14の内側には、複数の画素Pが配列した画素領域E(表示領域)が設けられている。画素領域Eは、表示に寄与する複数の画素Pに加えて、複数の画素Pを囲むように配置されたダミー画素を含むとしてもよい。また、図1及び図2では図示を省略したが、画素領域Eにおいて複数の画素Pをそれぞれ平面的に区分する遮光部(ブラックマトリックス;BM)が対向基板20に設けられている。   A pixel region E (display region) in which a plurality of pixels P are arranged is provided inside the sealing material 14. The pixel region E may include dummy pixels arranged so as to surround the plurality of pixels P in addition to the plurality of pixels P contributing to display. Although not shown in FIGS. 1 and 2, a light shielding portion (black matrix; BM) that divides a plurality of pixels P in the pixel area E in a plane is provided on the counter substrate 20.

素子基板10の1辺部に沿ったシール材14と該1辺部との間に、データ線駆動回路22が設けられている。また、該1辺部に対向する他の1辺部に沿ったシール材14と画素領域Eとの間に、検査回路25が設けられている。さらに、該1辺部と直交し互いに対向する他の2辺部に沿ったシール材14と画素領域Eとの間に走査線駆動回路24が設けられている。該1辺部と対向する他の1辺部に沿ったシール材14と検査回路25との間には、2つの走査線駆動回路24を繋ぐ複数の配線29が設けられている。   A data line driving circuit 22 is provided between the sealing material 14 along one side of the element substrate 10 and the one side. In addition, an inspection circuit 25 is provided between the sealing material 14 and the pixel region E along the other one side facing the one side. Further, a scanning line driving circuit 24 is provided between the sealing material 14 and the pixel region E along the other two sides orthogonal to the one side and facing each other. A plurality of wirings 29 connecting the two scanning line driving circuits 24 are provided between the sealing material 14 and the inspection circuit 25 along the other one side facing the one side.

対向基板20側における額縁状に配置されたシール材14の内側には、同じく額縁状に遮光部18(見切り部)が設けられている。遮光部18は、例えば、遮光性の金属あるいは金属酸化物などからなり、遮光部18の内側が複数の画素Pを有する画素領域Eとなっている。なお、図3では図示を省略したが、画素領域Eにおいても複数の画素Pを平面的に区分する遮光部が設けられている。   Inside the sealing material 14 arranged in a frame shape on the counter substrate 20 side, a light shielding portion 18 (parting portion) is also provided in the same frame shape. The light shielding portion 18 is made of, for example, a light shielding metal or metal oxide, and the inside of the light shielding portion 18 is a pixel region E having a plurality of pixels P. Although not shown in FIG. 3, the pixel region E is also provided with a light-shielding portion that divides a plurality of pixels P in a plane.

これらデータ線駆動回路22、走査線駆動回路24に繋がる配線は、該1辺部に沿って配列した複数の外部接続用端子61に接続されている。以降、該1辺部に沿った方向をX方向とし、該1辺部と直交し互いに対向する他の2辺部に沿った方向をY方向として説明する。なお、検査回路25の配置はこれに限定されず、データ線駆動回路22に沿ったシール材14と画素領域Eとの間に設けてもよい。   Wirings connected to the data line driving circuit 22 and the scanning line driving circuit 24 are connected to a plurality of external connection terminals 61 arranged along the one side. Hereinafter, the direction along the one side will be referred to as the X direction, and the direction along the other two sides orthogonal to the one side and facing each other will be described as the Y direction. The arrangement of the inspection circuit 25 is not limited to this, and the inspection circuit 25 may be provided between the sealing material 14 along the data line driving circuit 22 and the pixel region E.

図2に示すように、第1基材10aの液晶層15側の表面には、画素Pごとに設けられた透光性の画素電極27およびスイッチング素子である薄膜トランジスター(TFT:Thin Film Transistor、以降、「TFT30」と呼称する)と、信号配線と、これらを覆う第1配向膜28とが形成されている。   As shown in FIG. 2, on the surface of the first base material 10a on the liquid crystal layer 15 side, a transparent pixel electrode 27 provided for each pixel P and a thin film transistor (TFT: Thin Film Transistor, which is a switching element) are provided. Hereinafter, the TFT is referred to as “TFT 30”), signal wirings, and a first alignment film 28 covering them.

また、TFT30における半導体層に光が入射してスイッチング動作が不安定になることを防ぐ遮光構造が採用されている。本発明における素子基板10は、少なくとも画素電極27、TFT30、信号配線、第1配向膜28を含むものである。   In addition, a light shielding structure is employed that prevents light from entering the semiconductor layer in the TFT 30 to make the switching operation unstable. The element substrate 10 in the present invention includes at least the pixel electrode 27, the TFT 30, the signal wiring, and the first alignment film 28.

対向基板20の液晶層15側の表面には、遮光部18と、これを覆うように成膜された平坦化層33と、平坦化層33を覆うように設けられた対向電極31と、対向電極31を覆う第2配向膜32とが設けられている。本発明における対向基板20は、少なくとも遮光部18、対向電極31、第2配向膜32を含むものである。   On the surface of the counter substrate 20 on the liquid crystal layer 15 side, a light shielding portion 18, a planarizing layer 33 formed so as to cover the light shielding portion 18, a counter electrode 31 provided so as to cover the planarizing layer 33, A second alignment film 32 covering the electrode 31 is provided. The counter substrate 20 in the present invention includes at least the light shielding portion 18, the counter electrode 31, and the second alignment film 32.

遮光部18は、図1に示すように画素領域Eを取り囲むと共に、平面的に走査線駆動回路24、検査回路25と重なる位置に設けられている(図示簡略)。これにより対向基板20側からこれらの駆動回路を含む周辺回路に入射する光を遮蔽して、周辺回路が光によって誤動作することを防止する役目を果たしている。また、不必要な迷光が画素領域Eに入射しないように遮蔽して、画素領域Eの表示における高いコントラストを確保している。   As shown in FIG. 1, the light shielding unit 18 surrounds the pixel region E and is provided at a position where it overlaps the scanning line driving circuit 24 and the inspection circuit 25 in plan view (illustration is simplified). Thus, the light incident on the peripheral circuit including these drive circuits from the counter substrate 20 side is shielded, and the peripheral circuit is prevented from malfunctioning due to the light. Further, unnecessary stray light is shielded from entering the pixel region E to ensure high contrast in the display of the pixel region E.

平坦化層33は、例えば酸化シリコンなどの無機材料からなり、光透過性を有して遮光部18を覆うように設けられている。このような平坦化層33の形成方法としては、例えばプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法などを用いて成膜する方法が挙げられる。   The planarization layer 33 is made of, for example, an inorganic material such as silicon oxide, and is provided so as to cover the light shielding portion 18 with light transmittance. As a method for forming such a planarization layer 33, for example, a method of forming a film by using a plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) method or the like can be cited.

対向電極31は、例えばITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電膜からなり、平坦化層33を覆うと共に、図1に示すように対向基板20の四隅に設けられた上下導通部26により素子基板10側の配線に電気的に接続している。   The counter electrode 31 is made of a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide), for example, covers the planarization layer 33, and includes an element substrate by vertical conduction portions 26 provided at the four corners of the counter substrate 20 as shown in FIG. It is electrically connected to the wiring on the 10 side.

画素電極27を覆う第1配向膜28および対向電極31を覆う第2配向膜32は、液晶装置100の光学設計に基づいて選定される。例えば、ポリイミドなどの有機材料を成膜して、その表面をラビングすることにより、正の誘電異方性を有する液晶分子に対して略水平配向処理が施された有機配向膜や、気相成長法を用いてSiOx(酸化シリコン)などの無機材料を成膜して、負の誘電異方性を有する液晶分子に対して略垂直配向させた無機配向膜が挙げられる。本実施形態では、第1配向膜28および第2配向膜32として上記無機配向膜が採用されている。   The first alignment film 28 that covers the pixel electrode 27 and the second alignment film 32 that covers the counter electrode 31 are selected based on the optical design of the liquid crystal device 100. For example, by depositing an organic material such as polyimide and rubbing the surface, an organic alignment film obtained by subjecting liquid crystal molecules having positive dielectric anisotropy to a substantially horizontal alignment process, or vapor phase growth Examples thereof include an inorganic alignment film formed by depositing an inorganic material such as SiOx (silicon oxide) using a method and substantially vertically aligning liquid crystal molecules having negative dielectric anisotropy. In the present embodiment, the inorganic alignment film is employed as the first alignment film 28 and the second alignment film 32.

このような液晶装置100は、例えば透過型であって、画素Pが非駆動時に明表示となるノーマリーホワイトモードや、非駆動時に暗表示となるノーマリーブラックモードの光学設計が採用される。光の入射側と射出側とにそれぞれ偏光素子が光学設計に応じて配置されて用いられる。本実施形態ではノーマリーブラックモードが採用されている。   Such a liquid crystal device 100 is, for example, a transmissive type, and adopts an optical design of a normally white mode in which the pixel P is brightly displayed when not driven and a normally black mode in which the pixel P is darkly displayed when not driven. Polarizing elements are arranged and used according to the optical design on the light incident side and the light exit side, respectively. In this embodiment, a normally black mode is employed.

図3に示すように、液晶装置100は、少なくとも画素領域Eにおいて互いに絶縁されて直交する複数の走査線3aおよび複数のデータ線6aと、容量線3bとを有する。走査線3aが延在する方向がX方向であり、データ線6aが延在する方向がY方向である。   As shown in FIG. 3, the liquid crystal device 100 includes a plurality of scanning lines 3 a and a plurality of data lines 6 a that are insulated and orthogonal to each other at least in the pixel region E, and a capacitor line 3 b. The direction in which the scanning line 3a extends is the X direction, and the direction in which the data line 6a extends is the Y direction.

走査線3aとデータ線6aならびに容量線3bと、これらの信号線類により区分された領域に、画素電極27と、TFT30と、容量素子16とが設けられ、これらが画素Pの画素回路を構成している。   A pixel electrode 27, a TFT 30, and a capacitive element 16 are provided in a region divided by the scanning line 3a, the data line 6a, the capacitive line 3b, and these signal lines, and these constitute a pixel circuit of the pixel P. doing.

走査線3aはTFT30のゲートに電気的に接続され、データ線6aはTFT30のデータ線側ソースドレイン領域(ソース領域)に電気的に接続されている。画素電極27は、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域(ドレイン領域)に電気的に接続されている。   The scanning line 3 a is electrically connected to the gate of the TFT 30, and the data line 6 a is electrically connected to the data line side source / drain region (source region) of the TFT 30. The pixel electrode 27 is electrically connected to the pixel electrode side source / drain region (drain region) of the TFT 30.

データ線6aは、データ線駆動回路22(図1参照)に接続されており、データ線駆動回路22から供給される画像信号D1,D2,…,Dnを画素Pに供給する。走査線3aは、走査線駆動回路24(図1参照)に接続されており、走査線駆動回路24から供給される走査信号SC1,SC2,…,SCmを各画素Pに供給する。   The data line 6a is connected to the data line driving circuit 22 (see FIG. 1), and supplies image signals D1, D2,..., Dn supplied from the data line driving circuit 22 to the pixels P. The scanning line 3a is connected to the scanning line driving circuit 24 (see FIG. 1), and supplies the scanning signals SC1, SC2,..., SCm supplied from the scanning line driving circuit 24 to each pixel P.

データ線駆動回路22からデータ線6aに供給される画像信号D1〜Dnは、この順に線順次で供給してもよく、互いに隣り合う複数のデータ線6a同士に対してグループごとに供給してもよい。走査線駆動回路24は、走査線3aに対して、走査信号SC1〜SCmを所定のタイミングでパルス的に線順次で供給する。   The image signals D1 to Dn supplied from the data line driving circuit 22 to the data lines 6a may be supplied line-sequentially in this order, or may be supplied for each of a plurality of adjacent data lines 6a for each group. Good. The scanning line driving circuit 24 supplies the scanning signals SC1 to SCm to the scanning line 3a in a pulse-sequential manner at a predetermined timing.

液晶装置100は、スイッチング素子であるTFT30が走査信号SC1〜SCmの入力により一定期間だけオン状態とされることで、データ線6aから供給される画像信号D1〜Dnが所定のタイミングで画素電極27に書き込まれる構成となっている。そして、画素電極27を介して液晶層15に書き込まれた所定レベルの画像信号D1〜Dnは、画素電極27と液晶層15を介して対向配置された対向電極31との間で一定期間保持される。   In the liquid crystal device 100, the TFT 30 as a switching element is turned on for a certain period by the input of the scanning signals SC1 to SCm, so that the image signals D1 to Dn supplied from the data line 6a are supplied to the pixel electrode 27 at a predetermined timing. It is the structure written in. The predetermined level of the image signals D1 to Dn written to the liquid crystal layer 15 through the pixel electrode 27 is held for a certain period between the pixel electrode 27 and the counter electrode 31 disposed to face the liquid crystal layer 15. The

保持された画像信号D1〜Dnがリークするのを防止するため、画素電極27と対向電極31との間に形成される液晶容量と並列に容量素子16が接続されている。容量素子16は、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域と容量線3bとの間に設けられている。容量素子16は、2つの容量電極の間に誘電体層を有するものである。   In order to prevent the held image signals D1 to Dn from leaking, the capacitive element 16 is connected in parallel with the liquid crystal capacitance formed between the pixel electrode 27 and the counter electrode 31. The capacitive element 16 is provided between the pixel electrode side source / drain region of the TFT 30 and the capacitive line 3b. The capacitive element 16 has a dielectric layer between two capacitive electrodes.

図4は、液晶装置の構造を示す模式断面図である。以下、液晶装置の構造を、図4を参照しながら説明する。なお、図4は、各構成要素の断面的な位置関係を示すものであり、明示可能な尺度で表されている。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the liquid crystal device. Hereinafter, the structure of the liquid crystal device will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows the cross-sectional positional relationship of each component and is expressed on a scale that can be clearly shown.

図4に示すように、液晶装置100は、一対の基板のうち一方の素子基板10と、これに対向配置される他方の対向基板20とを備えている。素子基板10を構成する第1基材10a、及び対向基板20を構成する第2基材20aは、上記したように、例えば、石英基板等によって構成されている。   As shown in FIG. 4, the liquid crystal device 100 includes one element substrate 10 out of a pair of substrates and the other counter substrate 20 disposed to face the element substrate 10. As described above, the first base material 10a configuring the element substrate 10 and the second base material 20a configuring the counter substrate 20 are configured by, for example, a quartz substrate or the like.

第1基材10a上には、チタン(Ti)やクロム(Cr)等からなる下側遮光膜3cが形成されている。下側遮光膜3cは、平面的に格子状にパターニングされており、各画素の開口領域を規定している。なお、下側遮光膜3cは、走査線3aの一部として機能するようにしてもよい。第1基材10a及び下側遮光膜3c上には、シリコン酸化膜等からなる下地絶縁層11aが形成されている。   A lower light-shielding film 3c made of titanium (Ti), chromium (Cr), or the like is formed on the first base material 10a. The lower light-shielding film 3c is planarly patterned in a lattice shape and defines an opening area of each pixel. The lower light shielding film 3c may function as a part of the scanning line 3a. A base insulating layer 11a made of a silicon oxide film or the like is formed on the first base material 10a and the lower light shielding film 3c.

下地絶縁層11a上には、TFT30及び走査線3a等が形成されている。TFT30は、例えば、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有しており、ポリシリコン等からなる半導体層30aと、半導体層30a上に形成されたゲート絶縁膜11gと、ゲート絶縁膜11g上に形成されたポリシリコン膜等からなるゲート電極30gとを有する。上記したように、走査線3aは、ゲート電極30gとしても機能する。   On the base insulating layer 11a, the TFT 30, the scanning line 3a, and the like are formed. The TFT 30 has, for example, an LDD (Lightly Doped Drain) structure, and is formed on the semiconductor layer 30a made of polysilicon, the gate insulating film 11g formed on the semiconductor layer 30a, and the gate insulating film 11g. And a gate electrode 30g made of a polysilicon film or the like. As described above, the scanning line 3a also functions as the gate electrode 30g.

半導体層30aは、例えば、リン(P)イオン等のN型の不純物イオンが注入されることにより、N型のTFT30として形成されている。具体的には、半導体層30aは、チャネル領域30cと、データ線側LDD領域30s1と、データ線側ソースドレイン領域30sと、画素電極側LDD領域30d1と、画素電極側ソースドレイン領域30dとを備えている。   The semiconductor layer 30a is formed as an N-type TFT 30 by implanting N-type impurity ions such as phosphorus (P) ions. Specifically, the semiconductor layer 30a includes a channel region 30c, a data line side LDD region 30s1, a data line side source / drain region 30s, a pixel electrode side LDD region 30d1, and a pixel electrode side source / drain region 30d. ing.

チャネル領域30cには、ボロン(B)イオン等のP型の不純物イオンがドープされている。その他の領域(30s1,30s,30d1,30d)には、リン(P)イオン等のN型の不純物イオンがドープされている。このように、TFT30は、N型のTFTとして形成されている。   The channel region 30c is doped with P-type impurity ions such as boron (B) ions. The other regions (30s1, 30s, 30d1, 30d) are doped with N-type impurity ions such as phosphorus (P) ions. Thus, the TFT 30 is formed as an N-type TFT.

ゲート電極30g、下地絶縁層11a、及び走査線3a上には、シリコン酸化膜等からなる第1層間絶縁層11bが形成されている。第1層間絶縁層11b上には、容量素子16が設けられている。具体的には、TFT30の画素電極側ソースドレイン領域30d及び画素電極27に電気的に接続された画素電位側容量電極としての第1容量電極16aと、固定電位側容量電極としての容量線3b(第2容量電極16b)の一部とが、誘電体膜16cを介して対向配置されることにより、容量素子16が形成されている。   A first interlayer insulating layer 11b made of a silicon oxide film or the like is formed on the gate electrode 30g, the base insulating layer 11a, and the scanning line 3a. A capacitive element 16 is provided on the first interlayer insulating layer 11b. Specifically, the first capacitor electrode 16a as the pixel potential side capacitor electrode electrically connected to the pixel electrode side source / drain region 30d and the pixel electrode 27 of the TFT 30, and the capacitor line 3b (as the fixed potential side capacitor electrode). A part of the second capacitor electrode 16b) is disposed to face the dielectric film 16c, whereby the capacitor element 16 is formed.

容量線3b(第2容量電極16b)は、例えば、Ti(チタン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)等の高融点金属のうち少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの等からなる。或いは、Al(アルミニウム)膜から形成することも可能である。   The capacitor line 3b (second capacitor electrode 16b) includes at least one of refractory metals such as Ti (titanium), Cr (chromium), W (tungsten), Ta (tantalum), and Mo (molybdenum). , Metal simple substance, alloy, metal silicide, polysilicide, and a laminate of these. Alternatively, it can be formed from an Al (aluminum) film.

第1容量電極16aは、例えば、導電性のポリシリコン膜からなり容量素子16の画素電位側容量電極として機能する。ただし、第1容量電極16aは、容量線3bと同様に、金属又は合金を含む単一層膜又は多層膜から構成してもよい。第1容量電極16aは、画素電位側容量電極としての機能のほか、コンタクトホールCNT52、中継層55、コンタクトホールCNT53、CNT51を介して、画素電極27とTFT30の画素電極側ソースドレイン領域30d(ドレイン領域)とを中継接続する機能を有する。   The first capacitor electrode 16 a is made of, for example, a conductive polysilicon film and functions as a pixel potential side capacitor electrode of the capacitor element 16. However, the first capacitor electrode 16a may be composed of a single layer film or a multilayer film containing a metal or an alloy, like the capacitor line 3b. The first capacitor electrode 16a functions as a pixel potential side capacitor electrode, and in addition to the pixel electrode 27 and the pixel electrode side source / drain region 30d (drain) via the contact hole CNT52, the relay layer 55, and the contact holes CNT53 and CNT51. A region).

容量素子16上には、第2層間絶縁層11cを介してデータ線6aが形成されている。データ線6aは、第1層間絶縁層11b及び第2層間絶縁層11cに開孔されたコンタクトホールCNT54を介して、半導体層30aのデータ線側ソースドレイン領域30s(ソース領域)に電気的に接続されている。   A data line 6a is formed on the capacitive element 16 via the second interlayer insulating layer 11c. The data line 6a is electrically connected to the data line side source / drain region 30s (source region) of the semiconductor layer 30a through the contact hole CNT54 formed in the first interlayer insulating layer 11b and the second interlayer insulating layer 11c. Has been.

データ線6a上には、第3層間絶縁層11dを介して画素電極27が形成されている。画素電極27は、第2層間絶縁層11c及び第3層間絶縁層11dに開孔されたコンタクトホールCNT52、CNT53、中継層55を介して第1容量電極16aに接続されることにより、半導体層30aの画素電極側ソースドレイン領域30d(ドレイン領域)に電気的に接続されている。なお、画素電極27は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の透明導電性膜から形成されている。   A pixel electrode 27 is formed on the data line 6a via a third interlayer insulating layer 11d. The pixel electrode 27 is connected to the first capacitor electrode 16a via the contact holes CNT52, CNT53, and the relay layer 55 that are opened in the second interlayer insulating layer 11c and the third interlayer insulating layer 11d, whereby the semiconductor layer 30a. The pixel electrode side source / drain region 30d (drain region) is electrically connected. The pixel electrode 27 is formed of a transparent conductive film such as an ITO (Indium Tin Oxide) film.

画素電極27及び第3層間絶縁層11d上には、第4層間絶縁層11eを介して、酸化シリコン(SiO2)などの無機材料を斜方蒸着した第1配向膜28が設けられている。第1配向膜28上には、シール材14(図2参照)により囲まれた空間に液晶等が封入された液晶層15が設けられている。 On the pixel electrode 27 and the third interlayer insulating layer 11d, a first alignment film 28 in which an inorganic material such as silicon oxide (SiO 2 ) is obliquely deposited is provided via the fourth interlayer insulating layer 11e. On the first alignment film 28, the liquid crystal layer 15 in which liquid crystal or the like is sealed in a space surrounded by the sealing material 14 (see FIG. 2) is provided.

一方、第2基材20a上には、その全面に渡って対向電極31が設けられている。対向電極31上(図4では下側)には、酸化シリコン(SiO2)などの無機材料を斜方蒸着した第2配向膜32が設けられている。対向電極31は、上述の画素電極27と同様に、例えばITO膜等の透明導電性膜からなる。 On the other hand, the counter electrode 31 is provided on the entire surface of the second base material 20a. On the counter electrode 31 (on the lower side in FIG. 4), a second alignment film 32 is formed by obliquely depositing an inorganic material such as silicon oxide (SiO 2 ). The counter electrode 31 is made of a transparent conductive film such as an ITO film, for example, like the pixel electrode 27 described above.

液晶層15は、画素電極27からの電界が印加されていない状態で第1配向膜28及び第2配向膜32によって所定の配向状態をとる。シール材14は、素子基板10及び対向基板20をそれらの周辺で貼り合わせるための、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のスペーサーが混入されている。   The liquid crystal layer 15 takes a predetermined alignment state by the first alignment film 28 and the second alignment film 32 in a state where an electric field from the pixel electrode 27 is not applied. The sealing material 14 is an adhesive made of, for example, a photocurable resin or a thermosetting resin, for bonding the element substrate 10 and the counter substrate 20 around them, and a distance between the two substrates is set to a predetermined value. Spacers such as glass fiber or glass beads are mixed.

<サブ画素の構造>
図5は、画素を構成するサブ画素の配列を示す模式平面図である。図6及び図7は、図5に示す画素のA−A’線に沿う模式断面図である。図8は、各サブ画素における画素電極の膜厚を変えた場合の分光透過率を示すグラフである。以下、サブ画素における画素電極の膜厚と対向電極の膜厚との関係について、図5〜図8を参照しながら説明する。
<Sub-pixel structure>
FIG. 5 is a schematic plan view showing an array of sub-pixels constituting the pixel. 6 and 7 are schematic cross-sectional views taken along the line AA ′ of the pixel shown in FIG. FIG. 8 is a graph showing the spectral transmittance when the film thickness of the pixel electrode in each sub-pixel is changed. Hereinafter, the relationship between the film thickness of the pixel electrode and the film thickness of the counter electrode in the sub-pixel will be described with reference to FIGS.

図5に示すように、画素Pは、例えば、複数のサブ画素(41R,41G,41B,41W)がマトリックス状に配置されている。具体的には、画素40は、赤色(R)のサブ画素41R、緑色(G)のサブ画素41G、青色(B)のサブ画素41B、白色(W)のサブ画素41W(第2サブ画素)の4つのサブ画素で構成されている。また、バックライト(図示せず)は、例えば、蛍光ランプや白色発光ダイオード(白色LED)などの白色光源を用いたものである。   As shown in FIG. 5, in the pixel P, for example, a plurality of sub-pixels (41R, 41G, 41B, 41W) are arranged in a matrix. Specifically, the pixel 40 includes a red (R) sub-pixel 41R, a green (G) sub-pixel 41G, a blue (B) sub-pixel 41B, and a white (W) sub-pixel 41W (second sub-pixel). These four sub-pixels. The backlight (not shown) uses a white light source such as a fluorescent lamp or a white light emitting diode (white LED).

図6に示すように、液晶装置100における赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各サブ画素(41R,41G,41B)は、カラーフィルター42における赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のフィルター層(透過領域)を含み、それぞれ対応するように配置されている。   As shown in FIG. 6, the red (R), green (G), and blue (B) sub-pixels (41R, 41G, 41B) in the liquid crystal device 100 are red (R) and green (G ) And blue (B) filter layers (transmission regions), which are arranged so as to correspond to each other.

各サブ画素41は、白色のバックライトから発生された白色光の中で、該当波長域の光を選択的に透過させ、他の波長域の光は吸収する。また、白色(W)のサブ画素41Wは、基本的にはカラーフィルター42において対応する吸収フィルター層を有しない。すなわち、サブ画素41Wを透過する光は、カラーフィルター42による吸収を受けることなく、白色光のまま液晶装置100から出射される。   Each sub-pixel 41 selectively transmits light in a corresponding wavelength region among white light generated from a white backlight, and absorbs light in other wavelength regions. In addition, the white (W) sub-pixel 41 </ b> W basically has no corresponding absorption filter layer in the color filter 42. That is, the light that passes through the sub-pixel 41 </ b> W is emitted from the liquid crystal device 100 as white light without being absorbed by the color filter 42.

なお、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3つのサブ画素41R,41G,41Bを透過した光は、観察者には、白色光として視認される。よって、3つのサブ画素41R,41G,41Bによって構成される白色光W1(第1白色光)と、1つのサブ画素41Wによって表示される白色光W2(第2白色光)とは、色ムラを抑え画像の滑らかさを向上させる点で、同等の白色であることが重要となる。   Note that light transmitted through the three sub-pixels 41R, 41G, and 41B of red (R), green (G), and blue (B) is visually recognized as white light by an observer. Therefore, the white light W1 (first white light) configured by the three sub-pixels 41R, 41G, and 41B and the white light W2 (second white light) displayed by the one sub-pixel 41W cause color unevenness. In order to improve the smoothness of the suppressed image, it is important to have the same white color.

カラーフィルター42は、赤色透過領域42Rと、緑色透過領域42Gと、青色透過領域42Bと、無着色領域42Wと、これら各領域42R,42G,42B,42Wを囲む遮光部(ブラックマトリックス)とを備える。サブ画素41Rを透過した白色光(W)は、赤色透過領域42Rを透過することにより色純度が高められる。サブ画素41Gを透過した白色光(W)は、緑色透過領域42Gを透過することにより色純度が高められる。サブ画素41Bを透過した白色光(W)は、青色透過領域42Bを透過することにより色純度が高められる。   The color filter 42 includes a red transmissive region 42R, a green transmissive region 42G, a blue transmissive region 42B, a non-colored region 42W, and a light shielding portion (black matrix) surrounding each of the regions 42R, 42G, 42B, and 42W. . The white light (W) transmitted through the sub-pixel 41R is transmitted through the red transmission region 42R, so that the color purity is improved. The white light (W) transmitted through the sub-pixel 41G is transmitted through the green transmission region 42G, so that the color purity is improved. The white light (W) transmitted through the sub-pixel 41B is transmitted through the blue transmission region 42B, so that the color purity is improved.

これら赤色光(R)と緑色光(G)と青色光(B)とが合わさって白色光W1となる。また、サブ画素41Wを透過した白色光(W)は、無色透明な無着色領域42Wを透過することによりそのままの白色光W2となる。   These red light (R), green light (G), and blue light (B) are combined to form white light W1. Further, the white light (W) transmitted through the sub-pixel 41W becomes the white light W2 as it is by passing through the colorless and transparent uncolored region 42W.

サブ画素41Wの画素電極27W(第2画素電極)の厚みt1は、例えば、146nmである。なお、白色光を透過させるための膜厚の範囲としては、緑色の可視光波長域で透過率の極大点を含む膜厚であり、140nm〜160nmである。   The thickness t1 of the pixel electrode 27W (second pixel electrode) of the sub-pixel 41W is, for example, 146 nm. In addition, as a range of the film thickness for transmitting white light, it is a film thickness including the maximum point of the transmittance | permeability in a green visible light wavelength range, and is 140 nm-160 nm.

サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B(第1画素電極)の厚みt2は、サブ画素41Wを透過した白色光W2の色調を基準にして、青色の色調を強くして白色光W2の色調に調整する場合、又は、赤色の色調を強くして白色光W2の色調に調整する場合によって、厚みを変える。   The thickness t2 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B (first pixel electrodes) of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is white with a blue color tone strengthened with reference to the color tone of the white light W2 that has passed through the sub-pixel 41W. The thickness is changed depending on the color tone of the light W2 or the case where the red color tone is increased and adjusted to the color tone of the white light W2.

例えば、図6に示すように、青色を強めて白色にする場合、画素電極27R,27G,27Bの厚みt2を、例えば127nmに調整する。なお、画素電極27R,27G,27Bの厚みt2の範囲としては、透明電極の青色領域の透過率が一番高くなる、例えば、100nm〜140nm未満にすることが好ましい。対向電極31の厚みは、例えば146nmであり、各色とも同様である。   For example, as shown in FIG. 6, when increasing the blue color to white, the thickness t2 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B is adjusted to 127 nm, for example. The range of the thickness t2 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B is preferably set to the highest transmittance of the blue region of the transparent electrode, for example, 100 nm to less than 140 nm. The thickness of the counter electrode 31 is, for example, 146 nm and is the same for each color.

また、図7に示すように、赤色を強めて白色にする場合、画素電極27R,27G,27Bの厚みt3を、例えば182nmに調整する。なお、画素電極27R,27G,27Bの厚みt3の範囲としては、160nmより大きく200nmの範囲であることが好ましい。対向電極31の厚みは、例えば146nmであり、各色とも同様である。   Also, as shown in FIG. 7, when red is strengthened to become white, the thickness t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B is adjusted to, for example, 182 nm. The range of the thickness t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B is preferably greater than 160 nm and 200 nm. The thickness of the counter electrode 31 is, for example, 146 nm and is the same for each color.

図8に示すグラフは、第1実施形態における分光透過率を示すグラフである。横軸は、波長λ(nm)を示しており、図示右側にいくに従って波長が高くなっている。縦軸は、透過率(%)を示しており、図示上側にいくに従って透過率が高くなっている。   The graph shown in FIG. 8 is a graph showing the spectral transmittance in the first embodiment. The horizontal axis indicates the wavelength λ (nm), and the wavelength increases as it goes to the right side in the figure. The vertical axis indicates the transmittance (%), and the transmittance increases toward the upper side in the figure.

曲線A,B,Cは、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準に、サブ画素41R,41G,41Bの色調を青色又は赤色を強めて白色に調整する場合において、サブ画素41Wの透明電極の膜厚に対しサブ画素41R,41G,41Bの膜厚を、薄くする又は厚くしたときの光の波長ごとの透過率を示している。   Curves A, B, and C are transparent electrodes of the sub-pixel 41W when the color tone of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is adjusted to white by intensifying blue or red based on the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W. The transmittance for each wavelength of light when the film thickness of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is reduced or increased with respect to the film thickness is shown.

具体的には、対向電極31の膜厚、及びサブ画素41Wの画素電極27Wの膜厚t1は、上記したように、146nmである。このときの光の波長と透過率のグラグが曲線Bとなる。   Specifically, the film thickness of the counter electrode 31 and the film thickness t1 of the pixel electrode 27W of the sub-pixel 41W are 146 nm as described above. At this time, the wavelength of light and the transmittance gag become curve B.

また、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27Bの厚みt2を127nmにしたときの光の波長と透過率のグラフが曲線Aとなる。具体的には、サブ画素41Wの白色光W2に対して、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調が黄色く見える場合、上記膜厚t2に設定することにより、グラフに示すような青色の波長を強くすることができる。言い換えれば、青色の波長領域の透過率を大きくすることができる。   In addition, a curve of light wavelength and transmittance when the thickness t2 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is set to 127 nm is a curve A. Specifically, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B looks yellow with respect to the white light W2 of the sub-pixel 41W, the blue color as shown in the graph is set by setting the film thickness t2. The wavelength of can be increased. In other words, the transmittance in the blue wavelength region can be increased.

また、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27Bの厚みt3を182nmにしたときの光の波長と透過率のグラフが曲線Cとなる。例えば、サブ画素41Wの白色光W2に対して、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調が青く見える場合、上記膜厚t3に設定することにより、グラフに示すような赤色の波長を強くすることができる。言い換えれば、青色の波長領域の透過率を小さくすることができる。   A graph of the wavelength and transmittance of light when the thickness t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is 182 nm is a curve C. For example, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B looks blue with respect to the white light W2 of the sub-pixel 41W, the red wavelength as shown in the graph is set by setting the film thickness t3. Can be strong. In other words, the transmittance in the blue wavelength region can be reduced.

このように、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準に、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27Bの膜厚を調整することにより、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調と白色光W2の色調とを近づけることができる。これにより、白色光の色ずれを小さくすることが可能となり、表示品質を向上させることができる。   In this way, by adjusting the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B based on the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W, the white color of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is adjusted. The color tone of the light W1 and the color tone of the white light W2 can be brought close to each other. As a result, the color shift of white light can be reduced, and the display quality can be improved.

<電子機器の構成>
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図9を参照して説明する。図9は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。図9(a)は概略側断面図であり、図9(b)は上面から見た概略断面図である。
<Configuration of electronic equipment>
Next, a projection display device as an electronic apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic diagram showing a configuration of a projection display device including the above-described liquid crystal device. FIG. 9A is a schematic sectional side view, and FIG. 9B is a schematic sectional view seen from above.

図9(a)及び(b)に示すように、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置1000は、照明装置1100と、光変調手段としての液晶ライトバルブ1500と、投射光学系としての投射レンズ1601とを備えている。液晶ライトバルブ1500は、上述した液晶装置100が適用されたものである。液晶ライトバルブ1500は、照明装置1100から射出された照明光を画像情報に基づいて変調し表示光に変換する。変換された表示光が液晶ライトバルブ1500から射出され投射レンズ1601によって例えばスクリーンなどに映し出される。   As shown in FIGS. 9A and 9B, a projection display device 1000 as an electronic apparatus according to this embodiment includes an illumination device 1100, a liquid crystal light valve 1500 as a light modulation unit, and a projection optical system. A projection lens 1601. The liquid crystal light valve 1500 is applied with the liquid crystal device 100 described above. The liquid crystal light valve 1500 modulates the illumination light emitted from the illumination device 1100 based on image information and converts it into display light. The converted display light is emitted from the liquid crystal light valve 1500 and projected onto a screen or the like by the projection lens 1601.

本実施形態における照明装置1100は、発光素子1110、第1集光レンズ1120、反射部材1105の各構成に加えて、第2集光レンズ1300と、偏光ビームスプリッター1400と、液晶ライトバルブ1500に外部からの光が入射しないように、第1集光レンズ1120及び第2集光レンズ1300並びに偏光ビームスプリッター1400を収納する遮光ボックス1150とを含んで構成されている。   The illumination device 1100 according to this embodiment includes a second condenser lens 1300, a polarization beam splitter 1400, and a liquid crystal light valve 1500 in addition to the components of the light emitting element 1110, the first condenser lens 1120, and the reflecting member 1105. The first condensing lens 1120, the second condensing lens 1300, and the light shielding box 1150 that houses the polarization beam splitter 1400 are configured so that the light from the light does not enter.

発光素子1110における固体光源としてのLED1101、第1集光レンズ1120、第2集光レンズ1300、偏光ビームスプリッター1400、液晶ライトバルブ1500、投射レンズ1601は、同一光学軸(光軸)上に配置されている。   The LED 1101, the first condenser lens 1120, the second condenser lens 1300, the polarizing beam splitter 1400, the liquid crystal light valve 1500, and the projection lens 1601 as a solid light source in the light emitting element 1110 are disposed on the same optical axis (optical axis). ing.

第2集光レンズ1300は、第1集光レンズ1120の入射面1120aに比べて開口径が大きい平坦な入射面1301と入射面1301に対して凸のレンズ部1302とを有する。また、第2集光レンズ1300は光軸方向から見たときに真円ではなく上下がそれぞれ切断された切断面1303を有している。当該切断面1303が上記遮光ボックス1150と接している。   The second condenser lens 1300 includes a flat incident surface 1301 having a larger aperture diameter than the incident surface 1120 a of the first condenser lens 1120 and a lens portion 1302 that is convex with respect to the incident surface 1301. In addition, the second condenser lens 1300 has a cut surface 1303 that is not a perfect circle when viewed from the optical axis direction, but is cut at the top and bottom. The cut surface 1303 is in contact with the light shielding box 1150.

第2集光レンズ1300は光の入射面1301が第1集光レンズ1120のレンズ部1120bと対向するように光軸上に配置されている。また、発光素子1110から射出され第1集光レンズ1120によって集光された光のうち、第2集光レンズ1300の入射面1301に入射しない非有効光を第1集光レンズ1120のレンズ部1120bに向けて再帰反射させる反射部材1305を有している。   The second condenser lens 1300 is arranged on the optical axis so that the light incident surface 1301 faces the lens portion 1120b of the first condenser lens 1120. In addition, out of the light emitted from the light emitting element 1110 and collected by the first condenser lens 1120, ineffective light that does not enter the incident surface 1301 of the second condenser lens 1300 is converted into the lens portion 1120 b of the first condenser lens 1120. A reflection member 1305 for retroreflecting toward the screen.

反射部材1305の構成は反射部材1105と同じであり、反射面に複数の再帰反射体を有している。また、再帰反射体の配置ピッチは5μm以上100μm以下である。図9(b)に示すように、反射部材1305は光軸方向から見たときに第2集光レンズ1300の左右の外縁に接して設けられている。なお、反射部材1305は、入射面1301に入射する光を妨げず、第1集光レンズ1120と第2集光レンズ1300との間において、入射面1301に入射しない非有効光の少なくとも一部を第1集光レンズ1120のレンズ部1120bに再帰反射させる位置に反射部材1305を配置すればよい。   The configuration of the reflecting member 1305 is the same as that of the reflecting member 1105, and has a plurality of retroreflectors on the reflecting surface. The arrangement pitch of the retroreflectors is 5 μm or more and 100 μm or less. As shown in FIG. 9B, the reflecting member 1305 is provided in contact with the left and right outer edges of the second condenser lens 1300 when viewed from the optical axis direction. The reflecting member 1305 does not block the light incident on the incident surface 1301, and at least part of the ineffective light that does not enter the incident surface 1301 between the first condenser lens 1120 and the second condenser lens 1300. The reflection member 1305 may be disposed at a position where the lens part 1120b of the first condenser lens 1120 is retroreflected.

偏光ビームスプリッター1400は、第2集光レンズ1300によって集光された光を偏光(S波)に変換するものである。光の入射側に偏光ビームスプリッター1400が配置されると共に、光の射出側に偏光素子1561が配置されている。   The polarization beam splitter 1400 converts the light collected by the second condenser lens 1300 into polarized light (S wave). A polarizing beam splitter 1400 is disposed on the light incident side, and a polarizing element 1561 is disposed on the light exit side.

このような投射型表示装置1000によれば、液晶ライトバルブ1500として、白色光の色ずれを小さくした液晶装置100を用いているので、高い表示品質を実現することができる。   According to such a projection type display device 1000, since the liquid crystal device 100 in which the color shift of white light is reduced is used as the liquid crystal light valve 1500, high display quality can be realized.

以上詳述したように、第1実施形態の液晶装置100によれば、以下に示す効果が得られる。   As described above in detail, according to the liquid crystal device 100 of the first embodiment, the following effects can be obtained.

(1)第1実施形態の液晶装置100によれば、画素電極27Wの膜厚t1に対し、画素電極27R,27G,27Bの膜厚t2やt3を厚くしたり薄くしたりして波長の分散を変えることによって、白色光W2と白色光W1との色調が同等になるように調整するので、1つのサブ画素41Wで表示される白色光W2と、複数のサブ画素41R,41G,41Bで構成される白色光W1との色のバラツキを抑えることができる。よって、白ムラが抑えられ画像が滑らかになるなど表示品質を向上させることができる。   (1) According to the liquid crystal device 100 of the first embodiment, the wavelength dispersion is achieved by increasing or decreasing the film thicknesses t2 and t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B with respect to the film thickness t1 of the pixel electrode 27W. Since the white light W2 and the white light W1 are adjusted to have the same color tone, the white light W2 displayed by one subpixel 41W and a plurality of subpixels 41R, 41G, and 41B are configured. The variation in color with the white light W <b> 1 that is generated can be suppressed. Therefore, display quality can be improved, for example, white unevenness is suppressed and an image is smoothed.

(2)第1実施形態の液晶装置100によれば、画素電極27Wの膜厚t1に対し、画素電極27R,27G,27Bの膜厚t3を厚くすることにより、青色の色調から赤色の色調の方向に変えることが可能となる。また、画素電極27Wの膜厚t1に対し、画素電極27R,27G,27Bの膜厚t2を薄くすることにより、黄色の色調から青色の色調の方向に変えることが可能となる。よって、白色光W1を白色光W2に近づけることができ、白色光W1と白色光W2との色ムラを抑えることができる。   (2) According to the liquid crystal device 100 of the first embodiment, by increasing the film thickness t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B with respect to the film thickness t1 of the pixel electrode 27W, the blue color tone is changed to the red color tone. It becomes possible to change the direction. Further, by reducing the film thickness t2 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B with respect to the film thickness t1 of the pixel electrode 27W, it is possible to change from the yellow color tone to the blue color tone. Therefore, the white light W1 can be brought close to the white light W2, and color unevenness between the white light W1 and the white light W2 can be suppressed.

(3)第1実施形態の電子機器によれば、色ムラが抑えられ表示品質を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。   (3) According to the electronic apparatus of the first embodiment, it is possible to provide an electronic apparatus that can suppress color unevenness and improve display quality.

(第2実施形態)
<サブ画素の構成>
図10及び図11は、第2実施形態の画素(サブ画素)の構成を示す模式断面図である。以下、第2実施形態のサブ画素の構成(画素電極の膜厚と対向電極の膜厚との関係)について、図10及び図11を参照しながら説明する。なお、画素の平面的な構成は、例えば、図5と同様である。
(Second Embodiment)
<Sub-pixel configuration>
10 and 11 are schematic cross-sectional views illustrating the configuration of the pixel (sub-pixel) of the second embodiment. Hereinafter, the configuration of the sub-pixel according to the second embodiment (the relationship between the film thickness of the pixel electrode and the film thickness of the counter electrode) will be described with reference to FIGS. 10 and 11. The planar configuration of the pixel is the same as that shown in FIG. 5, for example.

第2実施形態のサブ画素41R,41G,41Bは、第1実施形態のように画素電極27R,27G,27Bの膜厚を変えることにより白色光の色調を調整していることに対し、対向電極31側の膜厚を変えることにより白色光の色調を調整している部分が異なっており、その他の構成については概ね同様である。このため第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。   The sub-pixels 41R, 41G, and 41B of the second embodiment adjust the color tone of white light by changing the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B as in the first embodiment, whereas the counter electrodes The portion where the color tone of white light is adjusted by changing the film thickness on the 31 side is different, and the other configurations are generally the same. Therefore, in the second embodiment, portions different from the first embodiment will be described in detail, and descriptions of other overlapping portions will be omitted as appropriate.

第2実施形態の画素40は、上記した図5のように、複数のサブ画素41R,41G,41B,41Wがマトリックス状に配置されている。図10は、対向電極の膜厚を調整し、青色を強めて白色に調整する場合の構造を示している。図11は、対向電極の膜厚を調整し、赤色を強めて白色に調整する場合の構造を示している。   In the pixel 40 of the second embodiment, a plurality of sub-pixels 41R, 41G, 41B, and 41W are arranged in a matrix as shown in FIG. FIG. 10 shows a structure in which the thickness of the counter electrode is adjusted to increase the blue color to white. FIG. 11 shows a structure in the case of adjusting the film thickness of the counter electrode and adjusting the white color by increasing the red color.

図10に示すように、サブ画素41R,41G,41B及びサブ画素41Wの画素電極27R,27G,27B,27Wの膜厚t1は、例えば、146nmである。なお、白色光を透過させるための膜厚の範囲としては、140nm〜160nmである。また、サブ画素41Wの対向電極31W(第2対向電極)の膜厚も同様に、146nmである。   As shown in FIG. 10, the film thickness t1 of the pixel electrodes 27R, 27G, 27B, and 27W of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B and the sub-pixel 41W is, for example, 146 nm. The film thickness range for transmitting white light is 140 nm to 160 nm. Similarly, the thickness of the counter electrode 31W (second counter electrode) of the sub-pixel 41W is 146 nm.

図10に示すように、青色を強めて白色に調整する場合、対向電極31RGB(第1対向電極)の厚みt11を、例えば127nmに変更する。なお、対向電極31RGBの厚みt11の範囲としては、100nm〜140nm未満にすることが好ましい。   As shown in FIG. 10, when adjusting the white color by increasing the blue color, the thickness t11 of the counter electrode 31RGB (first counter electrode) is changed to, for example, 127 nm. The range of the thickness t11 of the counter electrode 31RGB is preferably 100 nm to less than 140 nm.

図11に示すように、赤色を強めて白色に調整する場合、対向電極31RGBの厚みt13を、例えば182nmに変更する。なお、対向電極31RGBの厚みt13の範囲としては、160nmを超え200nm以下の範囲にすることが好ましい。   As shown in FIG. 11, when adjusting the white color by increasing the red color, the thickness t13 of the counter electrode 31RGB is changed to, for example, 182 nm. The range of the thickness t13 of the counter electrode 31RGB is preferably in the range of more than 160 nm and not more than 200 nm.

なお、本実施形態の対向電極側の膜厚を変えたときの分光透過率のグラフは、図8で示したグラフと同様である。   In addition, the graph of the spectral transmittance when changing the film thickness on the counter electrode side in this embodiment is the same as the graph shown in FIG.

このように、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準に、サブ画素41R,41G,41Bの対向電極31RGBの膜厚を調整することにより、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調と白色光W2の色調とを近づけることができる。これにより、白色光の色ずれを小さくすることが可能となり、表示品質を向上させることができる。   As described above, the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is adjusted by adjusting the film thickness of the counter electrode 31RGB of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B based on the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W. And the color tone of the white light W2. As a result, the color shift of white light can be reduced, and the display quality can be improved.

以上詳述したように、第2実施形態の液晶装置100によれば、上記に記載の(2)、(3)の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。   As described above in detail, according to the liquid crystal device 100 of the second embodiment, in addition to the effects (2) and (3) described above, the following effects can be obtained.

(4)第2実施形態の液晶装置100によれば、対向電極31Wの膜厚t12に対し、対向電極31RGBの膜厚t11を厚くしたり薄くしたりして波長の分散を変えることによって、白色光W2と白色光W1との色調が略同じになるように調整するので、1つのサブ画素41Wで表示される白色光W2と、複数のサブ画素41R,41G,41Bで構成される白色光W1との色のバラツキを抑えることができる。よって、白ムラが抑えられ画像が滑らかになるなど表示品質を向上させることができる。   (4) According to the liquid crystal device 100 of the second embodiment, the wavelength dispersion is changed by increasing or decreasing the film thickness t11 of the counter electrode 31RGB with respect to the film thickness t12 of the counter electrode 31W. Since the color tone of the light W2 and the white light W1 is adjusted to be substantially the same, the white light W2 displayed by one sub pixel 41W and the white light W1 including a plurality of sub pixels 41R, 41G, and 41B. And color variation can be suppressed. Therefore, display quality can be improved, for example, white unevenness is suppressed and an image is smoothed.

(第3実施形態)
<サブ画素の構成>
図12及び図13は、第3実施形態の画素(サブ画素)の構成を示す模式断面図である。図14は、画素電極及び対向電極の膜厚を変えた場合の分光透過率を示すグラフである。以下、第3実施形態のサブ画素の構成と、画素電極の膜厚と対向電極の膜厚との関係について、図12〜図14を参照しながら説明する。なお、画素の平面的な構成は、例えば、図5と同様である。
(Third embodiment)
<Sub-pixel configuration>
12 and 13 are schematic cross-sectional views illustrating the configuration of the pixel (sub-pixel) of the third embodiment. FIG. 14 is a graph showing the spectral transmittance when the film thickness of the pixel electrode and the counter electrode is changed. Hereinafter, the configuration of the sub pixel according to the third embodiment and the relationship between the film thickness of the pixel electrode and the film thickness of the counter electrode will be described with reference to FIGS. The planar configuration of the pixel is the same as that shown in FIG. 5, for example.

第3実施形態のサブ画素41R,41G,41Bは、第1実施形態のように画素電極27R,27G,27Bの膜厚を変えることにより白色光の色調を調整していることに対し、画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの両方の膜厚を変えることにより白色光の色調を調整している部分が異なっており、その他の構成については概ね同様である。このため第3実施形態では、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。   The sub-pixels 41R, 41G, and 41B of the third embodiment adjust the color tone of white light by changing the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B as in the first embodiment. The portions where the color tone of white light is adjusted by changing the film thicknesses of both 27R, 27G, 27B and the counter electrode 31RGB are different, and the other configurations are generally the same. Therefore, in the third embodiment, portions different from the first embodiment will be described in detail, and description of other overlapping portions will be omitted as appropriate.

第3実施形態の画素40は、上記した図5のように、複数のサブ画素41R,41G,41B,41Wがマトリックス状に配置されている。図12は、画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの膜厚を調整し、青色を強めて白色に調整する場合の構造を示している。図13は、画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの膜厚を調整し、赤色を強めて白色に調整する場合の構造を示している。   In the pixel 40 of the third embodiment, a plurality of sub-pixels 41R, 41G, 41B, and 41W are arranged in a matrix as shown in FIG. FIG. 12 shows a structure in the case where the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, 27B and the counter electrode 31RGB is adjusted to increase the blue color and adjust the white color. FIG. 13 shows a structure in the case where the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, 27B and the counter electrode 31RGB is adjusted, and the red color is increased to adjust the white color.

図12に示すように、サブ画素41Wの画素電極27W及び対向電極31Wの膜厚t1,t12は、例えば、146nmである。なお、白色光を透過させるための膜厚の範囲としては、上記したように、140nm〜160nmである。   As shown in FIG. 12, the film thicknesses t1 and t12 of the pixel electrode 27W and the counter electrode 31W of the sub-pixel 41W are, for example, 146 nm. In addition, as mentioned above, the range of the film thickness for transmitting white light is 140 nm to 160 nm.

図12に示すように、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準にして、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調を、青色を強めて白色光W2に近づける場合、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの膜厚を、例えば、127nmにする。なお、青色を強くする場合の膜厚の範囲としては、上記したように、100nm以上140nm未満にすることが好ましい。   As shown in FIG. 12, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is made closer to the white light W2 by enhancing the blue color with reference to the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W, the sub-pixel 41R , 41G, 41B, the pixel electrodes 27R, 27G, 27B and the counter electrode 31RGB have a film thickness of 127 nm, for example. In addition, as mentioned above, it is preferable that the range of the film thickness when increasing blue is 100 nm or more and less than 140 nm.

図13に示すように、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準にして、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調を、赤色を強めて白色光W2に近づける場合、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの膜厚t3,t13を、例えば、182nmにする。なお、赤色を強くする場合の膜厚の範囲としては、上記したように、160nmを超え200nm以下の範囲にすることが好ましい。   As illustrated in FIG. 13, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is made closer to the white light W2 by enhancing red, using the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W as a reference, the sub-pixel 41R , 41G, 41B, the film thicknesses t3, t13 of the pixel electrodes 27R, 27G, 27B and the counter electrode 31RGB are, for example, 182 nm. In addition, as above-mentioned, as the range of the film thickness when making red strong, it is preferable to set it as the range of more than 160 nm and 200 nm or less.

また、図14に示すグラフは、第3実施形態における分光透過率を示すグラフである。具体的には、図5と同様に、横軸は、波長λ(nm)を示しており、図示右側にいくに従って波長が高くなっている。縦軸は、透過率(%)を示しており、図示上側にいくに従って透過率が高くなっている。   Moreover, the graph shown in FIG. 14 is a graph which shows the spectral transmittance in 3rd Embodiment. Specifically, as in FIG. 5, the horizontal axis indicates the wavelength λ (nm), and the wavelength increases toward the right side of the figure. The vertical axis indicates the transmittance (%), and the transmittance increases toward the upper side in the figure.

図14に示す曲線A,B,Cは、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準に、サブ画素41R,41G,41Bの色調を青色又は赤色を強めて白色に調整する場合において、サブ画素41Wの透明電極の膜厚に対しサブ画素41R,41G,41Bの透明電極を、薄くする又は厚くしたときの光の波長ごとの透過率を示している。   Curves A, B, and C shown in FIG. 14 are sub-pixels when the color tone of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B is adjusted to white by increasing the color tone of blue or red, based on the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W. The transmittance for each wavelength of light when the transparent electrodes of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B are made thinner or thicker than the film thickness of the transparent electrode of 41W is shown.

具体的には、図12に示すように、サブ画素41Wの画素電極27W及び対向電極31Wの膜厚t1,t12は、上記したように、146nmである。このときの光の波長と透過率のグラグが曲線Bとなる。   Specifically, as shown in FIG. 12, the film thicknesses t1 and t12 of the pixel electrode 27W and the counter electrode 31W of the sub-pixel 41W are 146 nm as described above. At this time, the wavelength of light and the transmittance gag become curve B.

また、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの厚みt2,t11を127nmにしたときの光の波長と透過率のグラフが曲線Aとなる。具体的には、サブ画素41Wの白色光W2に対して、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調が黄色く見える場合、上記膜厚t2,t11に設定することにより、グラフに示すような青色の波長を強くすることができる。   Further, a graph of the light wavelength and transmittance when the thicknesses t2 and t11 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B and the counter electrode 31RGB of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B are set to 127 nm is a curve A. Specifically, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B looks yellow with respect to the white light W2 of the sub-pixel 41W, as shown in the graph by setting the film thicknesses t2 and t11. Blue wavelength can be strengthened.

また、図14に示すように、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B及び対向電極31の厚みt3,t13を182nmにしたときの光の波長と透過率のグラフが曲線Cとなる。例えば、サブ画素41Wの白色光W2に対して、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調が青く見える場合、上記膜厚t3,t13に設定することにより、グラフに示すような赤色の波長を強くすることができる。   Further, as shown in FIG. 14, the graph of the wavelength and transmittance of light when the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B and the thicknesses t3 and t13 of the counter electrode 31 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B are 182 nm is a curve C. It becomes. For example, when the color tone of the white light W1 of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B looks blue with respect to the white light W2 of the sub-pixel 41W, by setting the film thicknesses t3 and t13, a red color as shown in the graph is obtained. The wavelength can be increased.

このように、サブ画素41Wの白色光W2の色調を基準に、サブ画素41R,41G,41Bの画素電極27R,27G,27B及び対向電極31RGBの膜厚を調整することにより、サブ画素41R,41G,41Bの白色光W1の色調と白色光W2の色調とを近づけることができる。これにより、白色光の色ずれを小さくすることが可能となり、表示品質を向上させることができる。   In this way, by adjusting the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B and the counter electrode 31RGB of the sub-pixels 41R, 41G, and 41B based on the color tone of the white light W2 of the sub-pixel 41W, the sub-pixels 41R and 41G are adjusted. , 41B, the color tone of the white light W1 and the color tone of the white light W2 can be brought close to each other. As a result, the color shift of white light can be reduced, and the display quality can be improved.

以上詳述したように、第3実施形態の液晶装置100によれば、上記に記載の(2)、(3)の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。   As described above in detail, according to the liquid crystal device 100 of the third embodiment, in addition to the effects (2) and (3) described above, the following effects can be obtained.

(5)第3実施形態の液晶装置100によれば、画素電極27Wの膜厚t1及び対向電極31Wの膜厚t12に対し、画素電極27R,27G,27Bの膜厚t2、t3及び対向電極31RGBの膜厚t11,t13を厚くしたり薄くしたりして波長の分散を変えることによって、白色光W2と白色光W1との色調が略同じになるように調整するので、1つのサブ画素41Wで構成される白色光W2と、複数のサブ画素41R,41G,41Bで構成される白色光W1との色のバラツキを抑えることができる。よって、白ムラが抑えられ画像が滑らかになるなど表示品質を向上させることができる。   (5) According to the liquid crystal device 100 of the third embodiment, the film thicknesses t2 and t3 of the pixel electrodes 27R, 27G, and 27B and the counter electrode 31RGB with respect to the film thickness t1 of the pixel electrode 27W and the film thickness t12 of the counter electrode 31W. By adjusting the wavelength dispersion by increasing or decreasing the film thickness t11, t13, the white light W2 and the white light W1 are adjusted to have substantially the same color tone. It is possible to suppress color variation between the configured white light W2 and the white light W1 including the plurality of sub-pixels 41R, 41G, and 41B. Therefore, display quality can be improved, for example, white unevenness is suppressed and an image is smoothed.

なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。   The aspect of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification. It is included in the range. Moreover, it can also implement with the following forms.

(変形例1)
上記したように、サブ画素41R,41G,41B,41Wがマトリックス状に配置されていることに限定されず、例えば、ストライプ状やその他の配列になるようにしてもよい。また、各画素電極27R,27G,27B,27Wの面積が同じであることに限定されず、各画素電極27の面積が異なるようにしてもよい。また、画素電極27の配置が図5に示す配置と異なるような配置にしてもよい。
(Modification 1)
As described above, the sub-pixels 41R, 41G, 41B, and 41W are not limited to being arranged in a matrix, and may be, for example, a stripe or other arrangement. The area of each pixel electrode 27R, 27G, 27B, 27W is not limited to be the same, and the area of each pixel electrode 27 may be different. Further, the arrangement of the pixel electrode 27 may be different from the arrangement shown in FIG.

(変形例2)
上記したように、カラーフィルター42は、対向基板20側に配置することに限定されず、例えば、素子基板10側に配置するようにしてもよい。
(Modification 2)
As described above, the color filter 42 is not limited to being disposed on the counter substrate 20 side, and may be disposed on the element substrate 10 side, for example.

(変形例3)
上記したように、液晶装置100は、透過型に限定されず、反射型に適用するようにしてもよい。
(Modification 3)
As described above, the liquid crystal device 100 is not limited to the transmission type, and may be applied to a reflection type.

(変形例4)
上記したように、画素電極27や対向電極31などの透明電極の膜厚を調整して白色光W1と白色光W2との色調を合わせることに加えて、例えば、セル厚を変えることによって白色光W1と白色光W2との色調を合わせるようにしてもよい。
(Modification 4)
As described above, in addition to adjusting the film thickness of the transparent electrodes such as the pixel electrode 27 and the counter electrode 31 to match the color tone of the white light W1 and the white light W2, white light can be obtained by changing the cell thickness, for example. You may make it match | combine the color tone of W1 and white light W2.

(変形例5)
上記したように、画素電極27R,27G,27B,27W及び対向電極31RGB,31Wの膜厚を調整した際、セル厚が変わる。これを、膜厚を調整してもセル厚が一定の間隔になるように、例えば、素子基板10側や対向基板20側に凹凸を設けて、画素電極27や対向電極31の表面に段差が生じないようにしてもよい。
(Modification 5)
As described above, when the film thickness of the pixel electrodes 27R, 27G, 27B, 27W and the counter electrodes 31RGB, 31W is adjusted, the cell thickness changes. For example, unevenness is provided on the element substrate 10 side or the counter substrate 20 side so that the cell thickness becomes a constant interval even if the film thickness is adjusted. It may be prevented from occurring.

(変形例6)
上記したように、液晶装置100を投射型表示装置1000に用いることに限定されず、例えば、ヘッドアップディスプレイ、スマートフォン、携帯電話機、ヘッドマウントディスプレイ、EVF(Electrical View Finder)、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、ディスプレイ、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
(Modification 6)
As described above, the liquid crystal device 100 is not limited to being used for the projection display device 1000. For example, a head-up display, a smartphone, a mobile phone, a head-mounted display, an EVF (Electrical View Finder), a mobile computer, a digital camera, It can be used in various electronic devices such as digital video cameras, displays, in-vehicle devices, audio devices, exposure apparatuses and lighting devices.

3a…走査線、3b…容量線、3c…下側遮光膜、6a…データ線、10…素子基板、10a…第1基材、11a…下地絶縁層、11b…第1層間絶縁層、11c…第2層間絶縁層、11d…第3層間絶縁層、11e…第4層間絶縁層、11g…ゲート絶縁膜、14…シール材、15…液晶層、16…容量素子、16a…第1容量電極、16b…第2容量電極、16c…誘電体膜、18…遮光部、20…対向基板、20a…第2基材、22…データ線駆動回路、24…走査線駆動回路、25…検査回路、26…上下導通部、27,27R,27G,27B…第1画素電極としての画素電極、27W…第1画素電極としての画素電極、28…第1配向膜、29…配線、30…TFT、30a…半導体層、30c…チャネル領域、30d…画素電極側ソースドレイン領域、30d1…画素電極側LDD領域、30g…ゲート電極、30s…データ線側ソースドレイン領域、30s1…データ線側LDD領域、31…対向電極、31RGB…第1対向電極としての対向電極、31W…第2対向電極としての対向電極、32…第2配向膜、33…平坦化層、40…画素、41,41R,41G,41B…第1サブ画素としてのサブ画素、41W…第2サブ画素としてのサブ画素、42…カラーフィルター、42B…青色透過領域、42G…緑色透過領域、42R…赤色透過領域、42W…無着色領域、CNT51,52,53,54…コンタクトホール、55…中継層、61…外部接続用端子、100…液晶装置、1000…投射型表示装置、1100…照明装置、1101…LED、1105…反射部材、1110…発光素子、1120…第1集光レンズ、1120a…入射面、1120b…レンズ部、1150…遮光ボックス、1300…第2集光レンズ、1301…入射面、1302…凸のレンズ部、1303…切断面、1305…反射部材、1400…偏光ビームスプリッター、1500…液晶ライトバルブ、1561…偏光素子、1601…投射レンズ。   3a ... scanning line, 3b ... capacitance line, 3c ... lower light shielding film, 6a ... data line, 10 ... element substrate, 10a ... first substrate, 11a ... underlying insulating layer, 11b ... first interlayer insulating layer, 11c ... 2nd interlayer insulation layer, 11d ... 3rd interlayer insulation layer, 11e ... 4th interlayer insulation layer, 11g ... Gate insulation film, 14 ... Sealing material, 15 ... Liquid crystal layer, 16 ... Capacitance element, 16a ... 1st capacitance electrode, 16b ... second capacitor electrode, 16c ... dielectric film, 18 ... light shielding part, 20 ... counter substrate, 20a ... second substrate, 22 ... data line drive circuit, 24 ... scan line drive circuit, 25 ... inspection circuit, 26 ... vertical conduction part, 27, 27R, 27G, 27B ... pixel electrode as first pixel electrode, 27W ... pixel electrode as first pixel electrode, 28 ... first alignment film, 29 ... wiring, 30 ... TFT, 30a ... Semiconductor layer, 30c... Channel region, 30d. Side source / drain region, 30d1 ... Pixel electrode side LDD region, 30g ... Gate electrode, 30s ... Data line side source / drain region, 30s1 ... Data line side LDD region, 31 ... Counter electrode, 31RGB ... Counter electrode as first counter electrode , 31W ... counter electrode as second counter electrode, 32 ... second alignment film, 33 ... flattening layer, 40 ... pixel, 41, 41R, 41G, 41B ... sub-pixel as first sub-pixel, 41W ... second Sub-pixel as sub-pixel, 42 ... color filter, 42B ... blue transmission region, 42G ... green transmission region, 42R ... red transmission region, 42W ... non-coloration region, CNT 51, 52, 53, 54 ... contact hole, 55 ... relay 61, external connection terminal, 100 ... liquid crystal device, 1000 ... projection display device, 1100 ... lighting device, 1101 ... LED, 11 DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 ... Reflective member, 1110 ... Light emitting element, 1120 ... 1st condensing lens, 1120a ... Incident surface, 1120b ... Lens part, 1150 ... Shading box, 1300 ... 2nd condensing lens, 1301 ... Incident surface, 1302 ... Convex Lens part, 1303 ... cut surface, 1305 ... reflecting member, 1400 ... polarizing beam splitter, 1500 ... liquid crystal light valve, 1561 ... polarizing element, 1601 ... projection lens.

Claims (8)

対向配置された第1画素電極及び第1対向電極を備えると共に赤色光、緑色光、青色光を射出する複数の第1サブ画素と、
対向配置された第2画素電極及び第2対向電極を備えると共に、白色光を射出する第2サブ画素と、
を有する画素を備え、
前記複数の第1サブ画素によって構成される第1白色光と前記第2サブ画素によって表示される第2白色光との色が略同じになるように、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の厚みと、少なくとも前記第1画素電極及び前記第1対向電極の一方の厚みとが異なることを特徴とする電気光学装置。
A plurality of first sub-pixels each including a first pixel electrode and a first counter electrode arranged to face each other and emitting red light, green light, and blue light;
A second sub-pixel having a second pixel electrode and a second counter electrode arranged opposite to each other and emitting white light;
A pixel having
The second pixel electrode and the second counter electrode are arranged so that the first white light composed of the plurality of first sub-pixels and the second white light displayed by the second sub-pixel have substantially the same color. An electro-optical device, wherein the thickness of the electrode is different from at least one thickness of the first pixel electrode and the first counter electrode.
請求項1に記載の電気光学装置であって、
前記第2画素電極及び前記第2対向電極の厚みに対し、前記第1画素電極及び前記第1対向電極の少なくとも一方の厚みを、厚くする又は薄くすることを特徴とする電気光学装置。
The electro-optical device according to claim 1,
An electro-optical device, wherein the thickness of at least one of the first pixel electrode and the first counter electrode is increased or decreased with respect to the thickness of the second pixel electrode and the second counter electrode.
請求項1又は請求項2に記載の電気光学装置であって、
前記第1画素電極と前記第1対向電極との間隔と、前記第2画素電極と前記第2対向電極との間隔とが同じであることを特徴とする電気光学装置。
The electro-optical device according to claim 1 or 2,
An electro-optical device, wherein an interval between the first pixel electrode and the first counter electrode is the same as an interval between the second pixel electrode and the second counter electrode.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記第2白色光と比較して前記第1白色光の色調が青色に寄っている場合、前記第1画素電極及び前記第1対向電極のうち少なくとも一方の膜厚を、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚と比較して厚くすることを特徴とする電気光学装置。
An electro-optical device according to any one of claims 1 to 3,
When the color tone of the first white light is closer to blue than the second white light, the film thickness of at least one of the first pixel electrode and the first counter electrode is set to the second pixel electrode and An electro-optical device characterized in that it is thicker than the film thickness of the second counter electrode.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記第2白色光と比較して前記第1白色光の色調が黄色に寄っている場合、前記第1画素電極及び前記第1対向電極のうち少なくとも一方の膜厚を、前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚と比較して薄くすることを特徴とする電気光学装置。
An electro-optical device according to any one of claims 1 to 3,
When the color tone of the first white light is closer to yellow than the second white light, the film thickness of at least one of the first pixel electrode and the first counter electrode is set to the second pixel electrode and An electro-optical device, wherein the electro-optical device is made thinner than a thickness of the second counter electrode.
請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記第2画素電極及び前記第2対向電極の膜厚は、緑色の可視光波長域で透過率の極大点を含む膜厚であることを特徴とする電気光学装置。
The electro-optical device according to any one of claims 1 to 5,
2. The electro-optical device according to claim 1, wherein the second pixel electrode and the second counter electrode have a thickness including a maximum point of transmittance in a green visible light wavelength region.
請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記複数の第1サブ画素は、赤色、緑色、青色であり、
前記第2サブ画素は、白色光であることを特徴とする電気光学装置。
The electro-optical device according to any one of claims 1 to 6,
The plurality of first sub-pixels are red, green, and blue,
The electro-optical device, wherein the second sub-pixel is white light.
請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
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