JP2014001130A - Cutting method of belt-like glass - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem peculiar to online-cutting of belt-like glass (glass ribbon) using a laser beam.SOLUTION: In a cutting method of belt-like glass 10, an interval between a scribe position and a division position is set so that at least one scribe line 11a exists in the belt-like glass 10 conveyed between the scribe position and the division position over a period after the belt-like glass 10 starts to be displaced from a reference conveying surface 60a until it is divided at a scribe line 11x and returned to the reference conveying surface 60a. The scribe line 11a existing in the belt-like glass 10 between the scribe position and the division position relaxes vibration of the belt-like glass 10 generated at the time of cutting.

Description

本発明は、帯状ガラス(ガラスリボン)の切断方法に関する。   The present invention relates to a method for cutting strip glass (glass ribbon).

板状ガラス(ガラス板)の切断は、通常、カッターを用いて実施される。カッターにより形成されたガラス表面のスクライブラインに機械的な応力を加えると、板状ガラスがスクライブラインに沿って分断される。   The cutting of the plate glass (glass plate) is usually performed using a cutter. When mechanical stress is applied to the scribe line on the glass surface formed by the cutter, the plate glass is divided along the scribe line.

カッターを用いた切断を板状ガラスの製造ラインに適用することが提案されている。製造ラインで実施される切断は、製造ラインから取り出された板状ガラスの切断と区別するために「オンライン切断」と呼ばれることがある(製造ライン外での切断は「オフライン切断」と呼ばれる)。オンライン切断では、成形装置において所定の厚さへと成形され、製造ライン上を流れる帯状ガラスが切断の対象となる。帯状ガラスは、成形装置(例えばフロートバス)から搬出され、製造ライン上を搬送されながら、所定の位置において少なくともその幅方向にスクライブラインが形成され、さらにその下流側においてスクライブラインに沿って所定の大きさの板状ガラス(ガラス板)へと分断される。一例では、カッターを用いてスクライブラインを形成し、移動ローラによってスクライブラインが形成された領域を厚さ方向に移動させて帯状ガラスを撓ませることによりスクライブラインに機械的な応力を加え、帯状ガラスをスクライブラインに沿って分断している。   It has been proposed to apply cutting using a cutter to a sheet glass production line. The cutting performed on the production line is sometimes referred to as “online cutting” to distinguish it from the cutting of the glass sheet taken out of the manufacturing line (cutting outside the manufacturing line is called “offline cutting”). In on-line cutting, a strip-shaped glass that is formed into a predetermined thickness in a forming apparatus and flows on a production line is a cutting target. The band-shaped glass is unloaded from a forming apparatus (for example, a float bath), and while being conveyed on the production line, a scribe line is formed at least in the width direction at a predetermined position, and further, a predetermined scribe line is formed along the scribe line on the downstream side. Divided into plate glass (glass plate) of size. In one example, a scribing line is formed by using a cutter, and a mechanical stress is applied to the scribing line by bending the band-shaped glass by moving a region where the scribe line is formed by a moving roller in the thickness direction. Is divided along the scribe line.

オンライン切断では、搬送に伴う振動が原因で、スクライブラインに沿って帯状ガラスを分断すべき位置(分断位置)よりも搬送方向の上流側において、帯状ガラスがスクライブラインにおいて自然に分離することがある。帯状ガラスの搬送時に比べると、帯状ガラスが分断されて形成されたガラス板の搬送時にはガラスが損傷し易い(特にエッジ)ため、この現象は避けられるべきである。この現象は、スクライブラインを形成する位置(スクライブ位置)と分断位置との間隔が大きくなる程現れやすくなるため、通常は、スクライブ位置と分断位置との間隔は、スクライブ位置と分断位置との間にスクライブラインが存在しない程度に小さく設定される。   In online cutting, the strip glass may be naturally separated at the scribe line upstream of the position in the transport direction from the position where the strip glass is to be divided along the scribe line (dividing position) due to vibration caused by the conveyance. . This phenomenon should be avoided because the glass tends to be damaged (especially an edge) when the glass plate formed by dividing the band glass is compared with the time when the band glass is conveyed. This phenomenon is more likely to occur as the distance between the position where the scribe line is formed (scribe position) and the dividing position becomes larger. Therefore, the distance between the scribe position and the divided position is usually between the scribe position and the divided position. Is set small enough that no scribe line exists.

また、レーザ光を用いたオフライン切断も提案されている。この方法では、板状ガラスの表面の初期クラックをレーザ光の照射と冷媒の噴射とによって伸長させる手法が採用される。レーザ光の照射により加熱された領域に冷媒を吹き付けて急冷すると、その領域に引っ張り応力が生じる。この引っ張り応力をクラックの先端近傍に発生させるとクラックが伸長する。レーザ光を照射する領域と冷媒を吹きつける領域とをこの順にクラックを伸長させたい方向へと板状ガラスの表面上を走査すると、板状ガラスにスクライブラインが形成される。その後は上記と同様、スクライブラインに機械的な応力が加えられ、板状ガラスがスクライブラインに沿って分断される(例えば、特許文献1参照)。レーザ光を用いた切断方法の利点としては、厚さがごく薄いガラスであっても支障なく切断できること、ガラスの切断面の平滑性に優れていること、などが挙げられる。   Further, off-line cutting using a laser beam has also been proposed. In this method, a method of extending the initial crack on the surface of the sheet glass by laser light irradiation and refrigerant injection is employed. When a coolant is sprayed onto a region heated by laser light irradiation and rapidly cooled, tensile stress is generated in the region. When this tensile stress is generated near the tip of the crack, the crack extends. When the surface where the laser light is irradiated and the region where the coolant is blown are scanned in this order in the direction in which the crack is to be extended, a scribe line is formed in the plate glass. Thereafter, mechanical stress is applied to the scribe line in the same manner as described above, and the plate glass is divided along the scribe line (see, for example, Patent Document 1). Advantages of a cutting method using laser light include that even a very thin glass can be cut without any problem, and that the smoothness of the cut surface of the glass is excellent.

特開2008−142979号公報JP 2008-142979 A

レーザ光を用いた切断をオンライン切断に適用すると、スクライブラインの深さが一定とならず、切断面の平滑性が却って劣化することがある。オンライン切断では、搬送に伴って帯状ガラスが振動するため、スクライブ位置において、帯状ガラスの厚さ方向の位置がレーザ光により効率的に加熱され得る位置から外れる(焦点深度外となる)ことがあるためである。   When cutting using laser light is applied to online cutting, the depth of the scribe line may not be constant, and the smoothness of the cut surface may deteriorate instead. In online cutting, the strip glass vibrates with conveyance, and therefore the position in the thickness direction of the strip glass may be out of the position where it can be efficiently heated by the laser beam (out of the depth of focus) at the scribe position. Because.

搬送に伴う振動の振幅を考慮に入れて、スクライブ位置における帯状ガラスの厚さ方向の位置がレーザ光の焦点深度内に収まるようにレーザ光の光学系を設計すれば、上記の課題は解決するようにも思われる。しかし、本発明者らの検討によると、このようにレーザ光の光学系を設計しても、上記の課題は解決しないことがある。分断位置において分断時に生じる帯状ガラスの振動が、スクライブ位置にまで伝搬するためである。すなわち、分断時に生じたパルス状の大きな振動がスクライブ位置へと伝搬し、帯状ガラスにおけるレーザ光によって走査されている領域が厚さ方向にパルス状に大きく移動し、レーザ光によって与えられる熱量(すなわち、当該領域が有することとなる単位体積当たりの熱量)が急激に変動する結果、スクライブラインの深さが不安定となったり、スクライブラインの形成が途中で中断されたりすることがある。   The above problem can be solved by designing the optical system of the laser light so that the position in the thickness direction of the strip glass at the scribe position is within the focal depth of the laser light, taking into account the amplitude of vibration accompanying the conveyance. Seems like. However, according to the study by the present inventors, the above problem may not be solved even if the laser light optical system is designed in this way. This is because the vibration of the band-shaped glass generated at the time of the division at the division position propagates to the scribe position. That is, a large pulse-like vibration generated at the time of division propagates to the scribe position, and the region scanned by the laser beam in the belt-like glass moves greatly in a pulse shape in the thickness direction. As a result, the depth of the scribe line may become unstable or the formation of the scribe line may be interrupted in the middle.

分断時に生じるパルス状の振動も考慮に入れて、レーザ光の光学系を設計することも考えられる。しかし、本発明者らの検討によると、分断時に生じる振動の振幅は、搬送に伴う振動の振幅よりも大きく、分断時に生じる振動を考慮して焦点深度を設定すると、レーザ光の損失が増大する。さらに、長い光路を確保する必要があるため、装置を大型化し、遠い位置から冷媒を噴射しなければならなくなる。したがって、分断時に生じる振動に由来する問題の解決のためには、別の解決策を適用することが望ましい。   It is also conceivable to design an optical system of laser light in consideration of pulse-like vibration generated at the time of division. However, according to the study by the present inventors, the amplitude of the vibration generated at the time of the division is larger than the amplitude of the vibration caused by the conveyance. . Furthermore, since it is necessary to ensure a long optical path, the apparatus must be enlarged and the refrigerant must be injected from a distant position. Therefore, it is desirable to apply another solution in order to solve the problem caused by the vibration generated at the time of division.

なお、カッターを用いたオンライン切断では、帯状ガラスを抑えつけながら帯状ガラスにスクライブラインを形成するため、搬送および分断に由来する振動に伴うスクライブ位置における帯状ガラスの変位は問題とならない。   In online cutting using a cutter, a scribe line is formed in the belt-like glass while suppressing the belt-like glass. Therefore, the displacement of the belt-like glass at the scribe position due to the vibration derived from the conveyance and division does not matter.

以上に鑑み、本発明は、レーザ光を用いたオンライン切断の特有の課題を解決できるように、レーザ光を用いた帯状ガラスの切断方法を改良することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to improve a method for cutting a strip glass using a laser beam so as to solve a problem specific to online cutting using a laser beam.

本発明は、
成形装置から搬出され、帯状ガラスを基準搬送面に沿って搬送方向へと搬送しながら、前記帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給することにより、前記帯状ガラスに形成された初期クラックを前記帯状ガラスの幅方向へと伸長させて前記帯状ガラスにスクライブラインを形成するレーザスクライブ工程と、
前記スクライブラインが形成された帯状ガラスを前記搬送方向に搬送しながら、前記スクライブラインが形成されるスクライブ位置よりも前記搬送方向の下流側に所定間隔離れた分断位置において、前記スクライブラインを跨ぐ領域において前記帯状ガラスを前記基準搬送面から変位させて前記スクライブラインにおいて前記帯状ガラスを分断するガラス分断工程と、を具備し、
前記ガラス分断工程において前記帯状ガラスが前記基準搬送面から変位し始めてから前記スクライブラインにおいて分断されて前記基準搬送面へと戻るまでの期間にわたって、前記スクライブ位置と前記分断位置との間において搬送されている前記帯状ガラスに少なくとも1本の前記スクライブラインが存在するように、前記所定間隔を定める、
帯状ガラスの切断方法を提供する。
The present invention
The initial cracks formed in the band glass are removed from the forming apparatus by supplying a laser beam and a coolant to the band glass while conveying the band glass along the reference conveyance surface in the conveyance direction. A laser scribing step for forming a scribe line in the strip glass by extending in the width direction of
A region that straddles the scribe line at a dividing position that is separated from the scribe position where the scribe line is formed at a predetermined distance away from the scribe position where the scribe line is formed while conveying the glass strip formed with the scribe line. A glass cutting step of displacing the belt-like glass in the scribe line by displacing the belt-like glass from the reference transport surface,
In the glass cutting step, the strip glass is transported between the scribing position and the cutting position over a period from when it starts to be displaced from the reference transport surface until it is split at the scribe line and returns to the reference transport surface. The predetermined interval is determined so that at least one scribe line is present in the belt-shaped glass.
A method for cutting a strip glass is provided.

スクライブ位置と分断位置との間において搬送されている帯状ガラスに存在するスクライブラインは、切断時に生じた帯状ガラスの振動を緩和する。したがって、本発明によれば、スクライブ位置における帯状ガラスの振動が緩和された状態で帯状ガラスにレーザ光を照射できる。   The scribe line existing in the strip glass conveyed between the scribe position and the dividing position alleviates the vibration of the strip glass generated at the time of cutting. Therefore, according to the present invention, it is possible to irradiate the strip glass with the laser light in a state where the vibration of the strip glass at the scribe position is relaxed.

本発明の実施形態を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating embodiment of this invention. 図1のII-II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図2のヘッド近傍の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view near the head of FIG. 2. クラックが伸長する領域を示す帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass which shows the area | region where a crack expand | extends. スクライブラインの拡大図である。It is an enlarged view of a scribe line. 帯状ガラスの分断工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the division | segmentation process of a strip glass. 各スクライブラインの部分拡大図である。It is the elements on larger scale of each scribe line. 傾斜した状態にある帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給して分断したガラス板の端面を示す図である。It is a figure which shows the end surface of the glass plate divided | segmented by supplying a laser beam and a refrigerant | coolant to the strip-shaped glass in the inclined state. 水平な状態にある帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給して分断したガラス板の端面を示す図である。It is a figure which shows the end surface of the glass plate divided | segmented by supplying a laser beam and a refrigerant | coolant to the strip glass in a horizontal state. 参考実施形態A1を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating reference embodiment A1. 図10のII-II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図11のヘッド近傍の部分拡大図である。FIG. 12 is a partially enlarged view near the head of FIG. 11. クラックが伸長する領域を示す帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass which shows the area | region where a crack expand | extends. ガラス分断ステップの一例を示すための図である。It is a figure for showing an example of a glass parting step. 参考実施形態A2を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating reference embodiment A2. 実験A1において初期クラックが伸長する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that an initial stage crack expands in experiment A1. 板状ガラスの厚さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブルの移動速度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the thickness of plate glass, and the moving speed of a conveyance table when a scribe line is formed. 想定される帯状ガラスの搬送速度と、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブルの移動速度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the conveyance speed of the strip | belt-shaped glass assumed, and the movement speed of a conveyance table when a scribe line is formed. 参考実施形態B1を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating reference embodiment B1. 帯状ガラスの厚さ方向の位置が変動している様子の一例を表すための図である。It is a figure for showing an example of a mode that the position of the thickness direction of strip glass changes. 図19のII-II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図21のヘッド近傍の部分拡大図である。It is the elements on larger scale near the head of FIG. レーザ光および冷媒が帯状ガラスの表面に供給される様子を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a mode that a laser beam and a refrigerant | coolant are supplied to the surface of a strip glass. クラックが伸長する領域を示す帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass which shows the area | region where a crack expand | extends. 光学システム通過後のレーザ光の形状を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the shape of the laser beam after passing an optical system. ガラス分断ステップの一例を示すための図である。It is a figure for showing an example of a glass parting step. レーザ光および冷媒が帯状ガラスの表面に供給される様子を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a mode that a laser beam and a refrigerant | coolant are supplied to the surface of a strip glass. 実験B1において初期クラックが伸長する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that an initial stage crack expands in experiment B1. 光学システムおよびノズルの高さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブルの移動速度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the height of an optical system and a nozzle, and the moving speed of a conveyance table when a scribe line is formed. オフラインにおける実験において、板状ガラスにレーザ光および冷媒が供給される様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that a laser beam and a refrigerant | coolant are supplied to plate-like glass in the experiment in offline. オフラインにおける実験において、板状ガラスにレーザ光および冷媒が供給される様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that a laser beam and a refrigerant | coolant are supplied to plate-like glass in the experiment in offline. オフラインにおける実験において、板状ガラスにレーザ光および冷媒が供給される様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that a laser beam and a refrigerant | coolant are supplied to plate-like glass in the experiment in offline. 参考実施形態C1を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating reference embodiment C1. 図33のII-II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 図34のヘッド近傍の部分拡大図である。FIG. 35 is a partially enlarged view of the vicinity of the head of FIG. 34. クラックが伸長する領域を示す帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass which shows the area | region where a crack expand | extends. ガウシアン型のエネルギー密度プロファイルを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a Gaussian type energy density profile. リング型のエネルギー密度プロファイルを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a ring type energy density profile. トップハット型のエネルギー密度プロファイルを説明するための図である。It is a figure for demonstrating an energy density profile of a top hat type. ガラス分断ステップの一例を示すための図である。It is a figure for showing an example of a glass parting step. 参考実施形態C2を説明するための帯状ガラスの上面図である。It is a top view of the strip glass for demonstrating reference embodiment C2. 参考実施形態C2におけるガラス分断ステップの一例を示すための図である。It is a figure for showing an example of the glass cutting step in reference embodiment C2. 実験C1において初期クラックが伸長する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that an initial stage crack expands in experiment C1. 実験C1におけるレーザ光により加熱されたアクリル板の断面を示す写真である。It is a photograph which shows the cross section of the acrylic board heated with the laser beam in experiment C1. 光学システムおよびノズルの高さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブルの移動速度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the height of an optical system and a nozzle, and the moving speed of a conveyance table when a scribe line is formed.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、ガラス成形装置から搬出され、水平面である基準搬送面に沿って搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)10を上方から観察した状態を示している。帯状ガラス10は、搬送方向40の上流側(図1に示す領域よりも上流側)に設置されたガラス成形装置(図示省略;例えばフロートバス)において所定の厚さへと成形され、搬送方向40に一定の速度で搬送されている。帯状ガラス10の搬送は、帯状ガラス10を下方から支持する搬送ローラ21によって行われる。本実施形態では、搬送ローラ21によって構成される搬送面を基準搬送面と呼ぶ。なお、帯状ガラス10が薄い場合には搬送ローラ21のピッチを細かくすることが好ましい。また、搬送ローラ21に代えて搬送ベルトを用いてもよい。   FIG. 1 shows a state in which a band-like glass (glass ribbon) 10 that is unloaded from a glass forming apparatus and is transported along a reference transport surface that is a horizontal surface is observed from above. The strip glass 10 is formed to a predetermined thickness in a glass forming apparatus (not shown; for example, float bath) installed on the upstream side in the transport direction 40 (upstream side of the region shown in FIG. 1). Are transported at a constant speed. The belt-shaped glass 10 is transported by a transport roller 21 that supports the belt-shaped glass 10 from below. In the present embodiment, the conveyance surface constituted by the conveyance rollers 21 is referred to as a reference conveyance surface. In addition, when the strip | belt-shaped glass 10 is thin, it is preferable to make the pitch of the conveyance roller 21 fine. Further, a conveyance belt may be used instead of the conveyance roller 21.

帯状ガラス10には、その上方を横断するスクライブライン形成ヘッド(以下、単に「ヘッド」という)51によってスクライブライン11が形成される。スクライブライン11は、搬送方向40と直交する帯状ガラス10の幅方向41に平行に伸び、かつ搬送方向40について所定の間隔が保たれるように形成される。帯状ガラス10は、搬送方向40の下流側に配置された分断装置(移動ローラ25)によりスクライブライン11において分割され、ガラス板100となる。   A scribe line 11 is formed on the belt-like glass 10 by a scribe line forming head (hereinafter simply referred to as “head”) 51 that traverses the glass strip 10. The scribe line 11 is formed so as to extend in parallel to the width direction 41 of the strip glass 10 orthogonal to the transport direction 40 and to maintain a predetermined interval in the transport direction 40. The band-shaped glass 10 is divided at the scribe line 11 by the cutting device (moving roller 25) arranged on the downstream side in the transport direction 40 to become a glass plate 100.

帯状ガラス10の幅方向41に平行なスクライブライン11を形成するために、ヘッド51は幅方向41に対して斜行して走行する。ヘッド51の斜行走行方向42と幅方向41とは、帯状ガラス10の搬送速度およびヘッド51の走行速度に依存して定まる角度θを形成する。ヘッド51は、斜行走行方向42に平行に帯状ガラス10の上方を横断するガイド(図示省略)に導かれて一定の速度で走行する。便宜上、ヘッド51が走行するラインをヘッド走行ライン50として図1に示す。   In order to form the scribe line 11 parallel to the width direction 41 of the glass strip 10, the head 51 runs obliquely with respect to the width direction 41. The oblique traveling direction 42 and the width direction 41 of the head 51 form an angle θ that is determined depending on the conveyance speed of the belt-like glass 10 and the traveling speed of the head 51. The head 51 travels at a constant speed by being guided by a guide (not shown) that crosses the upper portion of the glass strip 10 in parallel with the oblique traveling direction 42. For convenience, the line on which the head 51 travels is shown in FIG.

ヘッド走行ライン50に沿った図1の断面図を図2として、図2の部分拡大図を図3として示す。ヘッド51は、レーザ光を帯状ガラス10に集光させるための光学システム70と、冷媒を噴射して帯状ガラス10を局部的に冷却するための噴射ノズル80とを備えている。ヘッド51は、帯状ガラス10に初期クラックを形成するクラック形成装置であるカッター19をさらに備えている。   1 along the head travel line 50 is shown in FIG. 2, and a partially enlarged view of FIG. 2 is shown in FIG. The head 51 includes an optical system 70 for condensing laser light on the strip glass 10 and an injection nozzle 80 for locally cooling the strip glass 10 by ejecting a coolant. The head 51 further includes a cutter 19 that is a crack forming device that forms an initial crack in the belt-like glass 10.

カッター19は、典型的にはホイールカッターであるが、帯状ガラス10に伸長可能なクラックを形成できる限り、その種類に特段の制限はない。カッター19は、スクライブライン11の起点となる初期クラックを帯状ガラス10に形成する役割を担う。初期クラックは、帯状ガラス10の端部(図1に示した帯状ガラス10の場合には図示右側端部)またはその近傍に形成される。   The cutter 19 is typically a wheel cutter, but there is no particular limitation on the type thereof as long as it can form a stretchable crack in the strip glass 10. The cutter 19 plays a role of forming an initial crack, which is a starting point of the scribe line 11, in the strip glass 10. The initial crack is formed at the end of the strip glass 10 (in the case of the strip glass 10 shown in FIG. 1, the right end in the drawing) or in the vicinity thereof.

カッター19は、初期クラックの形成時には図示を省略するカッター押圧装置により、帯状ガラス10の表面(上面)へと押圧される。ヘッド走行ライン50に沿う位置において支持体22が帯状ガラス10を支持しているため、この押圧によりカッター19から帯状ガラス10に反力が加わる。ただし、この押圧は初期クラックの形成後に解放され、その結果、図3に示したように、カッター19は、典型的には帯状ガラス10に対して非接触となる。   The cutter 19 is pressed against the surface (upper surface) of the strip glass 10 by a cutter pressing device (not shown) when the initial crack is formed. Since the support 22 supports the glass strip 10 at a position along the head travel line 50, a reaction force is applied from the cutter 19 to the glass strip 10 by this pressing. However, this pressure is released after the formation of the initial crack, and as a result, as shown in FIG. 3, the cutter 19 is typically not in contact with the strip glass 10.

スクライブライン11を形成するための初期クラックの伸長は、ヘッド51から供給されるレーザ光17および冷媒18によって実施される。すなわち、クラックの端部に重複させて、レーザ光17による加熱と冷媒18による急冷とを引き続いて適用すると、クラック近傍のガラス表面に引っ張り応力が発生し、この引っ張り応力によりクラックが伸長する。ヘッド51は、クラックを伸長させながらヘッド走行ライン50上を(図示した形態では図示左方へと)進んでいく。本実施形態では、ヘッド走行ライン50がスクライブ位置に対応する。   The initial crack extension for forming the scribe line 11 is performed by the laser beam 17 and the coolant 18 supplied from the head 51. In other words, if heating by the laser beam 17 and rapid cooling by the refrigerant 18 are successively applied to the end of the crack, a tensile stress is generated on the glass surface in the vicinity of the crack, and the crack extends due to this tensile stress. The head 51 advances on the head travel line 50 (to the left in the illustrated form) while extending the crack. In the present embodiment, the head travel line 50 corresponds to the scribe position.

図4に示すように、ヘッド51の走行に伴い、帯状ガラス10において、光学システム70を経由してレーザ光17が照射される被照射領域27、噴射ノズル80から冷媒18が供給される被冷却領域28は、この順にヘッド走行ライン50上を進んでいく。換言すれば、被冷却領域28は被照射領域27に追随しながら、これらの領域はヘッド走行ライン50上を進行する。ヘッド51は、被照射領域27を形成するレーザ光集光装置(光学システム70)、および被冷却領域28を形成する冷却装置(噴射ノズル80)を、各装置の相対的な位置関係を保持したまま、移動させる役割を担う。ヘッド51の走行により、図5に示すようなスクライブライン11が形成される。   As shown in FIG. 4, as the head 51 travels, the belt-shaped glass 10 is irradiated with the laser beam 17 via the optical system 70, and the coolant 18 is supplied from the injection nozzle 80. The region 28 proceeds on the head travel line 50 in this order. In other words, these regions travel on the head travel line 50 while the cooled region 28 follows the irradiated region 27. The head 51 maintains the relative positional relationship between the laser beam condensing device (optical system 70) that forms the irradiated region 27 and the cooling device (jet nozzle 80) that forms the cooled region 28. The role to move is left. As the head 51 travels, a scribe line 11 as shown in FIG. 5 is formed.

図3に戻って、レーザ光の照射システムおよび冷媒の供給システムについて簡単に説明しておく。ただし、これらのシステムは既に公知のものを特に制限なく使用できる。レーザ光17は、レーザ光発生装置71からレーザビーム拡大装置72およびヘッド51内の集光装置(光学システム70)を経由して帯状ガラス10の被照射領域27へと集光される。光学システム70は、ミラーその他の光学素子73,74,75により構成されている。レーザ光17としては、CO2レーザ、YAGレーザなどを使用できる。冷媒18は、図示を省略する冷媒供給装置からヘッド51に備え付けられた噴射ノズル80を経由して、被冷却領域28へと供給される。冷媒としては、例えば空気、窒素、ヘリウム、水を使用すればよい。 Returning to FIG. 3, the laser light irradiation system and the refrigerant supply system will be briefly described. However, these systems can be used without any particular limitation. The laser beam 17 is condensed from the laser beam generator 71 to the irradiated region 27 of the strip glass 10 via the laser beam expanding device 72 and the condensing device (optical system 70) in the head 51. The optical system 70 includes mirrors and other optical elements 73, 74, and 75. As the laser beam 17, a CO 2 laser, a YAG laser, or the like can be used. The refrigerant 18 is supplied from a refrigerant supply device (not shown) to the area to be cooled 28 via an injection nozzle 80 provided in the head 51. For example, air, nitrogen, helium, or water may be used as the refrigerant.

図6(a)〜(c)に示すように、スクライブライン11が形成された帯状ガラス10は、搬送方向40の下流側でスクライブライン11x(搬送方向最下流側のスクライブライン11)に沿って分断される。具体的に、帯状ガラス10のスクライブライン11xが近づいてくると、移動ローラ25は帯状ガラス10をその厚さ方向に持ち上げる(図6(a)(b))。持ち上げられた帯状ガラス10の自重により生じた応力によってスクライブライン11xを構成するクラックに沿って帯状ガラス10が割断され、その下流側がガラス板100へと分断される。より具体的に述べると、移動ローラ25は、移動ローラ25と接している部分の変位量が最大となるように帯状ガラス10を持ち上げ、スクライブライン11xでの分断を進行させる。分断が完了した後、移動ローラ25は下方へと引き下がって次の分断に備える(図6(c))。   As shown in FIGS. 6A to 6C, the band-like glass 10 on which the scribe line 11 is formed is along the scribe line 11 x (the scribe line 11 on the most downstream side in the conveyance direction) on the downstream side in the conveyance direction 40. Divided. Specifically, when the scribe line 11x of the strip glass 10 approaches, the moving roller 25 lifts the strip glass 10 in the thickness direction (FIGS. 6A and 6B). The strip glass 10 is cleaved along the cracks constituting the scribe line 11x by the stress generated by the weight of the lifted strip glass 10, and the downstream side thereof is divided into the glass plate 100. More specifically, the moving roller 25 lifts the belt-like glass 10 so that the amount of displacement of the portion in contact with the moving roller 25 is maximized, and advances the division at the scribe line 11x. After the division is completed, the moving roller 25 is pulled down to prepare for the next division (FIG. 6C).

スクライブライン11xに応力が加わるように、移動ローラ25は、スクライブライン11xを跨ぐ領域、すなわちその上流側(図示左方)および下流側(図示右方)の両方において、帯状ガラス10をその裏面を支持しながら上方へと持ち上げて、基準搬送面から変位させる(図6(b))。その後、移動ローラ25の下降に伴い、一旦上方へと移動した帯状ガラス10の下流端10eが下方へと戻ることになる(図6(c))。本実施形態では、移動ローラ25が設けられる位置が、分断位置に相当する。   In order to apply stress to the scribe line 11x, the moving roller 25 has the back surface of the glass strip 10 on the back surface in the region straddling the scribe line 11x, that is, both the upstream side (left side in the figure) and the downstream side (right side in the figure). While being supported, it is lifted upward and displaced from the reference transport surface (FIG. 6B). Thereafter, as the moving roller 25 descends, the downstream end 10e of the strip glass 10 once moved upward returns to the lower side (FIG. 6C). In the present embodiment, the position where the moving roller 25 is provided corresponds to the dividing position.

なお、本実施形態では、自重により生じた応力によりスクライブライン11での分断を進行させているが、移動ローラ25の上昇時に、移動ローラ25の搬送方向40上流側または下流側において帯状ガラス10の表面を上方から押さえつけることにより分断を進行させてもよい。このようにすれば、薄く、軽い帯状ガラス10を分断する場合であっても、分断に要する応力を確保し易い。   In this embodiment, the cutting at the scribe line 11 is caused to proceed by the stress generated by its own weight. However, when the moving roller 25 is raised, the strip glass 10 is moved upstream or downstream in the conveying direction 40 of the moving roller 25. The cutting may be advanced by pressing the surface from above. If it does in this way, even if it is a case where the thin and light strip glass 10 is parted, it is easy to ensure the stress required for parting.

本実施形態では、ガラス分断工程において帯状ガラス10が基準搬送面(搬送高さ60a)から変位し始めてからスクライブライン11xにおいて分断されて(分断高さ60bに達し)基準搬送面へと戻るまでの期間にわたって、スクライブ位置と分断位置との間において搬送されている帯状ガラス10にスクライブライン11が存在するように、スクライブ位置と分断位置との間隔が定められている。スクライブライン11を構成するクラックは、その幅の変動により、分断工程時に生じた振動を吸収し得る。したがって、本実施形態の構成によれば、スクライブ位置における帯状ガラス10の振動が緩和する。   In the present embodiment, in the glass cutting step, the strip glass 10 starts to be displaced from the reference conveyance surface (conveyance height 60a) and then is divided at the scribe line 11x (reaches the division height 60b) until it returns to the reference conveyance surface. The interval between the scribe position and the dividing position is determined so that the scribe line 11 exists in the belt-shaped glass 10 being conveyed between the scribe position and the dividing position over the period. The cracks constituting the scribe line 11 can absorb vibrations generated during the dividing process due to fluctuations in the width thereof. Therefore, according to the configuration of the present embodiment, the vibration of the strip glass 10 at the scribe position is reduced.

図6(a)〜(c)に示す例では、スクライブ位置と分断位置との間において基準搬送面(搬送高さ60a)に沿って搬送されている帯状ガラス10に2本のスクライブライン11b,11cが存在し、これにより、スクライブ位置における帯状ガラス10の振動を効果的に緩和させている。   In the example shown in FIGS. 6A to 6C, two scribe lines 11b are formed on the belt-like glass 10 being conveyed along the reference conveyance surface (conveyance height 60a) between the scribe position and the dividing position. 11c exists, thereby effectively mitigating vibration of the glass strip 10 at the scribe position.

上記構成により振動が効果的に緩和されるのは、スクライブ位置と分断位置との間において搬送高さ60aに沿って搬送されている帯状ガラス10に存在する2本のスクライブライン11b,11cのうち、搬送方向上流側に位置するスクライブライン11cを構成するクラックの幅が、移動ローラ25の上昇時に狭まり難いためである。この点について、図6(b)の部分拡大図である図7(a)〜(c)を参照しながら説明する。スクライブライン11xに搬送方向上流側で隣接するスクライブライン11aを構成するクラックの幅は、移動ローラ25が上昇すると狭まる(図7(a))。スクライブライン11aの搬送方向下流側で帯状ガラス10が持ち上げられ、帯状ガラス10が撓むためである。この状態のスクライブライン11aでは、振動により帯状ガラス10がスクライブライン11aにおいて上方(撓みが解消される方向)に変位するときにクラックの幅が広がることにより、振動抑制作用が発揮され、振動の増大が防止される。スクライブライン11aに搬送方向上流側で隣接するスクライブライン11bを構成するクラックの幅も、移動ローラ25が上昇すると狭まる(図7(b))。スクライブライン11b自体は搬送高さ60aを搬送されている帯状ガラス10上に存在するものの、スクライブライン11aとスクライブライン11bとの間で帯状ガラス10が搬送高さ60aから持ち上げられるためである。これに対し、スクライブライン11bに搬送方向上流側で隣接するスクライブライン11cの幅は、移動ローラ25が上昇しても影響を受け難い。このように、スクライブライン11cを構成するクラックの幅は移動ローラ25の上昇時においても維持されるため、スクライブライン11cでは、振動により帯状ガラス10がスクライブライン11cにおいて上方に変位するときにクラックの幅が広がるのみならず、下方に変位するときにクラックの幅が狭まることにより、振動抑制作用がより効果的に発揮され、振動の増大がより効果的に防止される。   Of the two scribe lines 11b and 11c existing in the belt-like glass 10 conveyed along the conveyance height 60a between the scribe position and the dividing position, the vibration is effectively mitigated by the above configuration. This is because the width of the cracks constituting the scribe line 11c located on the upstream side in the transport direction is difficult to narrow when the moving roller 25 is raised. This point will be described with reference to FIGS. 7A to 7C which are partially enlarged views of FIG. The width of the crack constituting the scribe line 11a adjacent to the scribe line 11x on the upstream side in the transport direction is narrowed when the moving roller 25 is raised (FIG. 7A). This is because the strip glass 10 is lifted on the downstream side of the scribe line 11a in the conveying direction, and the strip glass 10 is bent. In the scribe line 11a in this state, when the band-like glass 10 is displaced upward (in the direction in which the bending is eliminated) in the scribe line 11a due to vibration, the width of the crack is widened, so that the vibration suppressing action is exhibited and the vibration is increased. Is prevented. The width of the crack constituting the scribe line 11b adjacent to the scribe line 11a on the upstream side in the conveying direction is also reduced when the moving roller 25 is raised (FIG. 7B). This is because the scribe line 11b itself exists on the belt-shaped glass 10 being transported at the transport height 60a, but the strip-shaped glass 10 is lifted from the transport height 60a between the scribe line 11a and the scribe line 11b. On the other hand, the width of the scribe line 11c adjacent to the scribe line 11b on the upstream side in the transport direction is hardly affected even when the moving roller 25 is raised. As described above, since the width of the crack constituting the scribe line 11c is maintained even when the moving roller 25 is raised, the scribe line 11c causes cracks when the strip glass 10 is displaced upward in the scribe line 11c due to vibration. Not only does the width increase, but the width of the crack is reduced when it is displaced downward, whereby the vibration suppressing action is more effectively exhibited and the increase in vibration is more effectively prevented.

スクライブ位置と分断位置との間において搬送高さ60aを搬送されている帯状ガラス10におけるスクライブライン11の本数が2本よりも多い場合にも、上記と同様の効果を得ることができる。   Even when the number of the scribe lines 11 in the belt-like glass 10 being conveyed at the conveyance height 60a between the scribe position and the dividing position is more than two, the same effect as described above can be obtained.

本発明者らの検討によれば、レーザ光を用いたオンライン切断では、帯状ガラスがスクライブラインにおいて自然に分離する現象は発生し難い。すなわち、レーザ光を用いたオンライン切断では、分断位置とスクライブ位置との間隔の上限に関する制限が緩和される。これは、レーザ光を用いてスクライブラインを形成する場合は、カッターを用いてスクライブラインを形成する場合に比べると、帯状ガラスに水平クラックが形成され難いことが理由である可能性が高い。   According to the study by the present inventors, in the on-line cutting using a laser beam, the phenomenon that the strip glass naturally separates along the scribe line hardly occurs. That is, in online cutting using laser light, the restriction on the upper limit of the interval between the dividing position and the scribe position is relaxed. This is likely due to the fact that when a scribe line is formed using a laser beam, horizontal cracks are less likely to be formed in the belt-like glass than when a scribe line is formed using a cutter.

ただし、スクライブ位置と分断位置との間において搬送されている帯状ガラス10におけるスクライブライン11の本数が過剰に多い場合、すなわちスクライブ位置と分断位置との間隔が過大である場合は、レーザ光を用いてスクライブラインを形成しても、搬送に伴う振動により帯状ガラス10が分断位置に到達する前に自然に分断されてガラス板100が形成されることがある。したがって、スクライブ位置と分断位置との間において搬送されている帯状ガラス10におけるスクライブライン11の本数の上限は、例えば20本、好ましくは10本、より好ましくは5本とすればよい。   However, when the number of the scribe lines 11 in the belt-like glass 10 conveyed between the scribe position and the dividing position is excessively large, that is, when the interval between the scribe position and the dividing position is excessively large, laser light is used. Even if the scribe line is formed, the glass plate 100 may be formed by being naturally divided before the band-like glass 10 reaches the dividing position due to vibration accompanying conveyance. Therefore, the upper limit of the number of the scribe lines 11 in the belt-like glass 10 conveyed between the scribe position and the dividing position may be set to 20, for example, preferably 10, and more preferably 5.

また、本実施形態では、図6(a)〜(c)に示すように、帯状ガラス10が分断位置において搬送高さ60aから上方へと移動を始めて分断され搬送高さ60aへと戻るまでの期間にわたって、スクライブ位置と分断位置との間において帯状ガラス10の下面のみが支持される。したがって、この間において、帯状ガラス10は、上面から押さえつけられず、その表面が傷つくことがない。   Moreover, in this embodiment, as shown to Fig.6 (a)-(c), until the strip glass 10 begins to move upward from conveyance height 60a in a dividing position, it is divided and returns to conveyance height 60a. Over the period, only the lower surface of the glass strip 10 is supported between the scribe position and the split position. Accordingly, during this period, the glass strip 10 is not pressed from the upper surface, and the surface thereof is not damaged.

また、図8(a)に示すように、傾斜した状態にある帯状ガラス10にレーザ光17を照射し、さらに冷媒18を噴射して形成されたスクライブライン11は、ガラスの表面に垂直とはならない。表面から斜行して内部へと進むスクライブライン11で帯状ガラス10を分断して形成されたガラス板100の端面は、平坦にならず、屈曲した形状となる。スクライブライン11で分断する応力は、ガラスの表面に垂直に加わるため(図8(b)参照)、クラックが途中で屈曲しながら伸長するためである。これに対し、本実施形態では、スクライブ位置と分断位置とは十分に離間しているため、分断位置における移動に伴ってスクライブ位置における帯状ガラス10が上方に持ち上げられて傾斜することがない。すなわち、帯状ガラス10が分断位置において搬送高さ60aから上方へと移動を始めて分断高さ60bで分断されて搬送高さ60aへと戻るまでの期間にわたって、スクライブ位置において帯状ガラスが基準搬送面に沿った状態が維持されるため、スクライブ位置における帯状ガラス10が、レーザ光17照射時および冷媒18噴射時において確実に水平となる(図9(a))。したがって、ガラスの表面に垂直なスクライブライン11を形成することが容易となり、ガラス板100の端面を平坦とし易くなる(図9(b))。このように、本実施形態によれば、ガラス板100の端面の品質が確保され易い。   Further, as shown in FIG. 8 (a), the scribe line 11 formed by irradiating the belt-shaped glass 10 in an inclined state with the laser light 17 and injecting the refrigerant 18 is perpendicular to the glass surface. Don't be. The end surface of the glass plate 100 formed by dividing the strip glass 10 by the scribe line 11 that runs obliquely from the surface to the inside does not become flat but has a bent shape. This is because the stress that is divided by the scribe line 11 is applied perpendicularly to the surface of the glass (see FIG. 8B), and the crack is elongated while being bent in the middle. On the other hand, in this embodiment, since the scribe position and the dividing position are sufficiently separated from each other, the glass strip 10 at the scribe position is not lifted upward and tilted with the movement at the dividing position. That is, the strip glass is moved to the reference transport surface at the scribe position over a period from when the strip glass 10 starts to move upward from the transport height 60a to the transport height 60a and returns to the transport height 60a. Since the state along is maintained, the glass strip 10 at the scribe position is surely leveled when the laser beam 17 is irradiated and when the refrigerant 18 is injected (FIG. 9A). Therefore, it becomes easy to form the scribe line 11 perpendicular to the surface of the glass, and the end surface of the glass plate 100 can be easily flattened (FIG. 9B). Thus, according to this embodiment, the quality of the end surface of the glass plate 100 is easy to be ensured.

なお、帯状ガラス10の厚さは、特に制限されないが、例えば0.1mm〜5mmである。特に、0.1mm〜1.1mmの厚さの場合には、振動がガラスの切断面に及ぼす影響が大きくなるため、本発明を適用することによる効果も大きくなる。   In addition, the thickness of the strip glass 10 is not particularly limited, but is, for example, 0.1 mm to 5 mm. In particular, when the thickness is 0.1 mm to 1.1 mm, the influence of vibration on the cut surface of the glass is increased, so the effect of applying the present invention is also increased.

スクライブ位置と分断位置との間隔は特に制限されないが、例えば2m〜10mであり、また例えば2m〜5mである。   The distance between the scribe position and the dividing position is not particularly limited, but is, for example, 2 m to 10 m, and for example, 2 m to 5 m.

スクライブライン11を帯状ガラス10を横断する方向(幅方向41)へと形成する場合には、ヘッド51の移動速度を高く設定する必要がある。したがって、振動がスクライブライン11の形成に及ぼす影響が大きくなるため、スクライブライン11をスクライブ位置と分断位置との間に介在させる効果が大きくなる。   When the scribe line 11 is formed in a direction (width direction 41) crossing the strip glass 10, the moving speed of the head 51 needs to be set high. Therefore, since the influence of vibration on the formation of the scribe line 11 is increased, the effect of interposing the scribe line 11 between the scribe position and the dividing position is increased.

(参考実施形態A1)
ところで、特許文献X(特表2010−526014号公報)に開示されている装置は、帯状ガラスの搬送経路を横断するように取り付けられた直線スライド部材に沿って移動するキャリッジ(ヘッド)を備えている。このヘッドは、帯状ガラスを横断しながら、帯状ガラスへとレーザ光を照射し、レーザ光が照射された領域に引き続き冷媒を供給する。こうして、帯状ガラスの幅方向に沿ってスクライブラインが形成される。
(Reference Embodiment A1)
By the way, an apparatus disclosed in Patent Document X (Japanese Patent Publication No. 2010-526014) includes a carriage (head) that moves along a linear slide member that is attached so as to cross the transport path of the belt-like glass. Yes. This head irradiates the strip glass with laser light while traversing the strip glass, and continuously supplies the coolant to the region irradiated with the laser light. Thus, a scribe line is formed along the width direction of the strip glass.

特許文献Xの直線スライド部材では、直線スライド部材が延びる方向が、帯状ガラスの幅方向との間に所定の角度θ(角度α)を形成する方向に設定されている。角度θは、スクライブラインが帯状ガラスの幅方向に延びるように(ヘッドの移動速度Vhにおける帯状ガラスの搬送方向成分Vhxと帯状ガラスの搬送速度Vgとが一致するように)、帯状ガラスの搬送速度Vgおよびヘッドの移動速度Vhとともに調整される。 In the linear slide member of Patent Document X, the direction in which the linear slide member extends is set to a direction that forms a predetermined angle θ (angle α) with the width direction of the strip glass. The angle θ is such that the scribe line extends in the width direction of the strip glass (so that the transport direction component V hx of the strip glass at the head moving speed V h matches the transport speed V g of the strip glass). Are adjusted together with the transport speed V g of the head and the moving speed V h of the head.

採板されるガラス板の用途は多岐にわたり、各ユーザーからは各用途に応じた各厚さのガラス板を提供することが要求される。製造ラインへの設備投資を抑えつつ上記要求に応える観点からは、各厚さのガラス板を単一の切断装置により採板することが好ましい。しかし、単一の切断装置により各厚さの帯状ガラスにスクライブラインを形成することは必ずしも容易ではない。   There are various uses of the glass plate to be sampled, and each user is required to provide a glass plate having a thickness corresponding to each application. From the viewpoint of meeting the above requirements while suppressing the capital investment on the production line, it is preferable to sample the glass plates of each thickness with a single cutting device. However, it is not always easy to form a scribe line in each thickness of glass strip with a single cutting device.

本発明者らの検討によると、レーザ光により帯状ガラスに与えるべき熱量は、帯状ガラスの厚さによって異なる。したがって、単一の切断装置によって各厚さの帯状ガラスにスクライブラインを形成するには、厚さに応じた熱量を帯状ガラスに与えるための調整を要する。帯状ガラスに与える熱量を調整するためには、レーザ光の出力を調整することが考えられる。しかし、本発明者らの検討によると、レーザ光の出力の調整のみでは各厚さの帯状ガラスにスクライブラインを形成することは難しい。   According to the study by the present inventors, the amount of heat to be given to the strip glass by the laser beam varies depending on the thickness of the strip glass. Therefore, in order to form a scribe line in each thickness of strip glass with a single cutting device, adjustment is required to give the strip glass a heat quantity corresponding to the thickness. In order to adjust the amount of heat given to the strip glass, it is conceivable to adjust the output of the laser beam. However, according to the study by the present inventors, it is difficult to form a scribe line in each thickness of glass strip only by adjusting the output of the laser beam.

次に、本発明者らは、ヘッドの移動速度Vhにおける帯状ガラスの幅方向成分Vhyの調整により、帯状ガラスに与える熱量を調整することを検討した。そして、検討の結果、幅方向成分Vhyには、スクライブラインの形成に適した範囲が存在すること、および、この範囲は帯状ガラスの厚さによって異なることを見出した。この見地からは、角度θおよびヘッドの移動速度Vhを帯状ガラスの厚さ毎に調整することが考えられる。しかし、このような調整、特に角度θの調整は煩雑である。特に、フロート法が採用された製造ラインにおいては、切断の対象となる帯状ガラスの厚さの範囲が広く、煩雑さが顕著になる。 Next, the present inventors examined adjusting the amount of heat given to the strip glass by adjusting the width direction component V hy of the strip glass at the moving speed V h of the head. As a result of the investigation, it was found that the width direction component V hy has a range suitable for forming a scribe line, and that this range varies depending on the thickness of the strip glass. From this viewpoint, it is conceivable to adjust the angle θ and the moving speed V h of the head for each thickness of the strip glass. However, such adjustment, particularly the adjustment of the angle θ, is complicated. In particular, in a production line that employs the float method, the range of the thickness of the strip glass to be cut is wide, and the complexity becomes significant.

以上の事情を鑑み、本発明者らは、設定可能な角度θの数が2つ以下に制限された簡易な構成によって、各厚さの帯状ガラスにスクライブラインを形成できる、切断方法を開示する。   In view of the above circumstances, the present inventors disclose a cutting method in which a scribe line can be formed on each glass strip with a simple configuration in which the number of settable angles θ is limited to two or less. .

以下、参考実施形態A1について図面を参照しながら説明する。なお、以下では同じ部材には各図面において同じ符号を付し、説明の重複を避けることがある。   Hereinafter, Reference Embodiment A1 will be described with reference to the drawings. In the following description, the same member is denoted by the same reference numeral in each drawing, and the description may be omitted.

図10は、ガラス成形装置から搬出され、水平方向に搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)110を上方から観察した状態を示している。帯状ガラス110は、搬送方向140の上流側(図10に示す領域よりも上流側)に設置されたガラス成形装置(図示省略)において所定の厚さへと成形され、搬送方向140に一定の速度で搬送されている。   FIG. 10 shows a state in which a strip glass (glass ribbon) 110 carried out from the glass forming apparatus and conveyed in the horizontal direction is observed from above. The band-shaped glass 110 is formed to a predetermined thickness in a glass forming apparatus (not shown) installed on the upstream side in the transport direction 140 (upstream side of the region shown in FIG. It is being conveyed by.

具体的に、帯状ガラス110はフロート法における帯状ガラスであり、フロートバスにおいて成形される。フロート法においては、帯状ガラス110の搬送速度Vgは、成形されるべき帯状ガラス110の厚さに対応して決定される。本実施形態の対象となる帯状ガラス110の厚さの範囲は0.4mmを跨ぐTmin以上Tmax以下の範囲であり、例えば0.28〜1.1mmである。 Specifically, the strip glass 110 is a strip glass in the float process, and is molded in a float bath. In the float process, the conveyance speed V g of the strip glass 110 is determined in accordance with the thickness of the strip glass 110 to be formed. The range of the thickness of the band-shaped glass 110 that is the object of the present embodiment is a range of T min or more and T max or less over 0.4 mm, for example, 0.28 to 1.1 mm.

また、本実施形態の帯状ガラス110はソーダライムガラスであり、質量%により表示して下記の範囲の各成分を有する。   Moreover, the strip | belt-shaped glass 110 of this embodiment is soda-lime glass, and displays each mass% and has each component of the following range.

SiO2:65〜80%
Al23:0〜5%
MgO:1〜10%
CaO:5〜15%
Na2O:10〜18%
2O:0〜5%
23:0〜5%
MgO+CaO:6〜15%
Na2O+K2O:10〜20%
SiO 2 : 65-80%
Al 2 O 3 : 0 to 5%
MgO: 1-10%
CaO: 5 to 15%
Na 2 O: 10 to 18%
K 2 O: 0 to 5%
B 2 O 3: 0~5%
MgO + CaO: 6-15%
Na 2 O + K 2 O: 10 to 20%

帯状ガラス110の搬送は、帯状ガラス110を下方から支持する搬送ローラ121によって行われる。なお、帯状ガラス110が薄い場合には搬送ローラ121のピッチを細かくすることが好ましい。また、搬送ローラ121に代えて搬送ベルトを用いてもよい。   The belt-shaped glass 110 is transported by a transport roller 121 that supports the belt-shaped glass 110 from below. In addition, when the strip | belt-shaped glass 110 is thin, it is preferable to make the pitch of the conveyance roller 121 fine. Further, instead of the transport roller 121, a transport belt may be used.

帯状ガラス110には、その上方を横断するスクライブライン形成ヘッド(以下、単に「ヘッド」という)151またはスクライブライン形成ヘッド(以下、単に「ヘッド」という)251によってスクライブライン111が形成される。スクライブライン111は、搬送方向140と直交する帯状ガラス110の幅方向141に平行に伸び、かつ搬送方向140について所定の間隔が保たれるように形成される。帯状ガラス110は、搬送方向140の下流側に配置された分断装置(移動ローラ125)によりスクライブライン111において分割され、ガラス板200となる。   A scribe line 111 is formed on the belt-like glass 110 by a scribe line forming head (hereinafter simply referred to as “head”) 151 or a scribe line forming head (hereinafter simply referred to as “head”) 251 traversing the glass strip 110. The scribe line 111 is formed so as to extend in parallel to the width direction 141 of the strip glass 110 orthogonal to the transport direction 140 and to maintain a predetermined interval in the transport direction 140. The band-shaped glass 110 is divided at the scribe line 111 by the dividing device (moving roller 125) disposed on the downstream side in the transport direction 140 to become the glass plate 200.

帯状ガラス110の幅方向141に平行なスクライブライン111を形成するために、ヘッド151およびヘッド251は幅方向141に対して斜行して走行する。ヘッド151の斜行走行方向142と幅方向141とは、帯状ガラス110の搬送速度Vgおよびヘッド151の走行速度Vh1に依存して定まる角度θ1を形成し、斜行走行方向242と幅方向141とは、帯状ガラス110の搬送速度Vgおよびヘッド251の走行速度Vh2に依存して定まる角度θ2を形成する。斜行走行方向142は厚さがTminである帯状ガラス110にスクライブライン111を形成できるように定められた方向であり、斜行走行方向242はθ2がθ1未満となるように定められた方向である。本実施形態では、斜行走行方向142および斜行走行方向242は、横断方向設定ステップによって設定される(後述)。 In order to form the scribe line 111 parallel to the width direction 141 of the strip glass 110, the head 151 and the head 251 run obliquely with respect to the width direction 141. The oblique traveling direction 142 and the width direction 141 of the head 151 form an angle θ1 determined depending on the transport speed V g of the belt-like glass 110 and the traveling speed V h1 of the head 151, and the oblique traveling direction 242 and the width direction. 141 forms an angle θ2 that is determined depending on the conveyance speed V g of the belt-like glass 110 and the traveling speed V h2 of the head 251. The oblique traveling direction 142 is a direction determined so that the scribe line 111 can be formed on the belt-like glass 110 having a thickness T min , and the oblique traveling direction 242 is a direction determined so that θ2 is less than θ1. It is. In the present embodiment, the oblique traveling direction 142 and the oblique traveling direction 242 are set by a transverse direction setting step (described later).

ヘッド151は、斜行走行方向142に平行に帯状ガラス110の上方を横断するガイド(図示省略)に導かれて一定の速度で走行し、ヘッド251は、斜行走行方向242に平行に帯状ガラス110の上方を横断するガイド(図示省略)に導かれて一定の速度で走行する。便宜上、ヘッド151が走行するラインをヘッド走行ライン150として、ヘッド251が走行するラインをヘッド走行ライン250として、それぞれ図10に示す。ヘッド151および対応するガイドは、クラック伸長装置を構成する。ヘッド251および対応するガイドもまた、クラック伸長装置を構成する。なお、本実施形態では、クラック伸長装置が2つ存在するが、クラック伸長装置の数は1つであってもよい。クラック伸長装置の数を1つとする場合、例えば、ガイドの一端を軸に旋回可能に設けることにより、ヘッドの斜行走行方向を、斜行走行方向142と斜行走行方向242とから選択的に設定可能とすればよい。   The head 151 is guided by a guide (not shown) that traverses the upper portion of the strip glass 110 in parallel to the skew travel direction 142 and travels at a constant speed. The head 251 is parallel to the skew travel direction 242 and travels at the strip glass. The vehicle travels at a constant speed while being guided by a guide (not shown) that crosses over 110. For convenience, the line on which the head 151 travels is shown as a head travel line 150 and the line on which the head 251 travels is shown as a head travel line 250 in FIG. The head 151 and the corresponding guide constitute a crack extension device. The head 251 and the corresponding guide also constitute a crack extension device. In this embodiment, there are two crack extension devices, but the number of crack extension devices may be one. In the case where the number of crack extension devices is one, for example, by providing one end of the guide so as to be pivotable, the head traveling direction is selectively selected from the oblique traveling direction 142 and the oblique traveling direction 242. It can be set.

ヘッド走行ライン150に沿った図10の断面図を図11として、図11の部分拡大図を図12として示す(ヘッド走行ライン250に沿った図10の断面図も同様)。ヘッド151およびヘッド251は、レーザ光を帯状ガラス110に集光させるための光学システム170と、冷媒を噴射して帯状ガラス110を局部的に冷却するための噴射ノズル180とを備えている。ヘッド151およびヘッド251は、帯状ガラス110に初期クラックを形成するクラック形成装置であるカッター119をさらに備えている。   FIG. 11 is a cross-sectional view of FIG. 10 along the head travel line 150, and FIG. 12 is a partially enlarged view of FIG. 11 (the same is true of the cross-sectional view of FIG. 10 along the head travel line 250). The head 151 and the head 251 include an optical system 170 for condensing the laser light on the strip glass 110, and an injection nozzle 180 for locally cooling the strip glass 110 by jetting a coolant. The head 151 and the head 251 further include a cutter 119 that is a crack forming device that forms an initial crack in the belt-like glass 110.

カッター119は、典型的にはホイールカッターであるが、帯状ガラス110に伸長可能なクラックを形成できる限り、その種類に特段の制限はない。カッター119は、スクライブライン111の起点となる初期クラックを帯状ガラス110に形成する役割を担う。初期クラックは、帯状ガラス110の端部(図10に示した帯状ガラス110の場合には図示右側端部)またはその近傍に形成される。   The cutter 119 is typically a wheel cutter, but there is no particular limitation on the type of the cutter 119 as long as it can form a stretchable crack in the strip glass 110. The cutter 119 plays a role of forming an initial crack serving as a starting point of the scribe line 111 in the strip glass 110. The initial crack is formed at or near the end of the strip glass 110 (in the case of the strip glass 110 shown in FIG. 10, the right end in the figure).

カッター119は、初期クラックの形成時には図示を省略するカッター押圧装置により、帯状ガラス110の表面(上面)へと押圧される。ヘッド走行ライン150に沿う位置においては支持体122が、ヘッド走行ライン250に沿う位置においては支持体222が、それぞれ帯状ガラス110を支持しているため、この押圧によりカッター119から帯状ガラス110に反力が加わる。ただし、この押圧は初期クラックの形成後に解放され、その結果、図12に示したように、カッター119は、典型的には帯状ガラス110に対して非接触となる。   The cutter 119 is pressed against the surface (upper surface) of the strip glass 110 by a cutter pressing device (not shown) when the initial crack is formed. The support body 122 supports the glass strip 110 at a position along the head travel line 150 and the support body 222 supports the glass strip 110 at a position along the head travel line 250. Power is added. However, this pressure is released after the formation of the initial crack, and as a result, as shown in FIG. 12, the cutter 119 is typically not in contact with the strip glass 110.

スクライブライン111を形成するための初期クラックの伸長は、ヘッド151またはヘッド251から供給されるレーザ光117および冷媒118によって実施される。すなわち、クラックの端部に重複させて、レーザ光117による加熱と冷媒118による急冷とを引き続いて適用すると、クラック近傍のガラス表面に引っ張り応力が発生し、この引っ張り応力によりクラックが伸長する。ヘッド151は、クラックを伸長させながらヘッド走行ライン150上を(図示した形態では図示左方へと)進んでいき、ヘッド251も、ヘッド151と同様にして、クラックを伸長させながらヘッド走行ライン250上を進んでいく(クラック伸長ステップ)。なお、本実施形態では、初期クラックが伸長して形成されたクラックであって、ガラス分断ステップにおいて該クラックに沿って帯状ガラス110を分断可能なクラックをスクライブライン111と呼ぶ。   The initial crack extension for forming the scribe line 111 is performed by the laser beam 117 and the coolant 118 supplied from the head 151 or the head 251. That is, if heating by the laser beam 117 and rapid cooling by the refrigerant 118 are applied successively at the end of the crack, a tensile stress is generated on the glass surface in the vicinity of the crack, and the crack extends due to this tensile stress. The head 151 advances on the head travel line 150 (in the illustrated form, to the left in the figure) while extending the crack, and the head 251 also performs the head travel line 250 while extending the crack in the same manner as the head 151. Go up (crack extension step). In the present embodiment, a crack that is formed by extending an initial crack and that can cut the glass strip 110 along the crack in the glass cutting step is referred to as a scribe line 111.

図13に示すように、ヘッド151の走行に伴い、帯状ガラス110において、光学システム170を経由してレーザ光117が照射される被照射領域127、噴射ノズル180から冷媒118が供給される被冷却領域128は、この順にヘッド走行ライン150上を進んでいく。換言すれば、被冷却領域128は被照射領域127に追随しながら、これらの領域はヘッド走行ライン150上を進行する。ヘッド151は、被照射領域127を形成するレーザ光集光装置(光学システム170)、および被冷却領域128を形成する冷却装置(噴射ノズル180)を、各装置の相対的な位置関係を保持したまま、移動させる役割を担う。ヘッド251が担う役割も同様である。   As shown in FIG. 13, as the head 151 travels, the belt-shaped glass 110 is irradiated with the laser beam 117 via the optical system 170, and the coolant 118 is supplied from the injection nozzle 180. The region 128 proceeds on the head travel line 150 in this order. In other words, the region to be cooled 128 follows the irradiated region 127 while these regions travel on the head travel line 150. The head 151 maintains the relative positional relationship between the laser beam condensing device (optical system 170) that forms the irradiated region 127 and the cooling device (jet nozzle 180) that forms the cooled region 128. The role to move is left. The role played by the head 251 is the same.

図12に戻って、レーザ光の照射システムおよび冷媒の供給システムについて簡単に説明しておく。ただし、これらのシステムは既に公知のものを特に制限なく使用できる。レーザ光117は、レーザ光発生装置171からレーザビーム拡大装置172およびヘッド151(ヘッド251)内の集光装置(光学システム170)を経由して帯状ガラス110の被照射領域127へと集光される。光学システム170は、ミラーその他の光学素子173,174,175により構成されている。レーザ光117としては、CO2レーザ、YAGレーザなどを使用できる。冷媒118は、図示を省略する冷媒供給装置からヘッド151(ヘッド251)に備え付けられた噴射ノズル180を経由して、被冷却領域128へと供給される。冷媒としては、例えば空気、窒素、ヘリウム、水を使用すればよい。 Returning to FIG. 12, the laser light irradiation system and the refrigerant supply system will be briefly described. However, these systems can be used without any particular limitation. The laser beam 117 is condensed from the laser beam generator 171 to the irradiated region 127 of the belt-like glass 110 via the laser beam expanding device 172 and the condensing device (optical system 170) in the head 151 (head 251). The The optical system 170 includes mirrors and other optical elements 173, 174, and 175. As the laser beam 117, a CO 2 laser, a YAG laser, or the like can be used. The refrigerant 118 is supplied from a refrigerant supply device (not shown) to the cooled region 128 via the injection nozzle 180 provided in the head 151 (head 251). For example, air, nitrogen, helium, or water may be used as the refrigerant.

なお、レーザ光の出力は特に限定されないが、典型的には30W以上60W以下である。レーザ光の出力が過度に大きい場合には、帯状ガラス110が完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、所望の方向以外の方向に伸長するクラック)が生じたりすることがある。一方、過度に小さい場合には初期クラックの伸長が難しくなる。   Note that the output of the laser beam is not particularly limited, but is typically 30 W or more and 60 W or less. When the output of the laser beam is excessively large, the strip glass 110 may be completely divided or an unintended crack (for example, a crack extending in a direction other than a desired direction) may occur. On the other hand, if it is too small, it is difficult to extend the initial crack.

被照射領域127の長さは、例えば、15mm以上30mm以下である。また、被照射領域127の幅は、例えば、0.1mm以上3.0mm以下である。   The length of the irradiated region 127 is, for example, 15 mm or more and 30 mm or less. Further, the width of the irradiated region 127 is, for example, not less than 0.1 mm and not more than 3.0 mm.

スクライブライン111が形成された帯状ガラス110は、搬送方向140の下流側でスクライブライン111に沿って分断される(ガラス分断ステップ)。図14(a)(b)に示すように、帯状ガラス110のスクライブライン111が近づいてくると、移動ローラ125は帯状ガラス110をその厚さ方向に持ち上げる。持ち上げられた帯状ガラス110の自重により生じた応力によってスクライブライン111を構成するクラックが伸長して帯状ガラス110が割断される。より具体的に述べると、ガラス分断装置である移動ローラ125は、移動ローラ125と接している部分の変位量が最大となるように帯状ガラス110を持ち上げ、スクライブライン111での分断を進行させる。図14(c)に示すように、分断が完了した後、移動ローラ125は下方へと引き下がって次の分断に備える。   The strip glass 110 on which the scribe line 111 is formed is divided along the scribe line 111 on the downstream side in the transport direction 140 (glass cutting step). As shown in FIGS. 14A and 14B, when the scribe line 111 of the strip glass 110 approaches, the moving roller 125 lifts the strip glass 110 in the thickness direction. Cracks constituting the scribe line 111 are extended by the stress generated by the weight of the raised glass strip 110, and the glass strip 110 is cleaved. More specifically, the moving roller 125, which is a glass cutting device, lifts the strip glass 110 so that the amount of displacement of the portion in contact with the moving roller 125 is maximized, and advances the cutting along the scribe line 111. As shown in FIG. 14C, after the division is completed, the moving roller 125 is pulled down to prepare for the next division.

スクライブライン111に応力が加わるように、移動ローラ125は、スクライブライン111を跨ぐ上流側(図示左方)および下流側(図示右方)の両方において、帯状ガラス110をその裏面を支持しながら上方へと持ち上げる(図14(b))。その後の移動ローラ125の下降に伴い、一旦上方へと移動した帯状ガラス110の下流端110eは下方へと戻ることになる(図14(c))。   In order to apply stress to the scribe line 111, the moving roller 125 moves upward while supporting the back surface of the glass strip 110 on both the upstream side (left side in the figure) and the downstream side (right side in the figure) across the scribe line 111. Lifted up (FIG. 14B). As the moving roller 125 subsequently descends, the downstream end 110e of the strip glass 110 once moved upward returns to the lower side (FIG. 14C).

なお、本実施形態では、自重により生じた応力によりスクライブライン111での分断を進行させているが、移動ローラ125の上昇時に、移動ローラ125の搬送方向140上流側または下流側において帯状ガラス110の表面を上方から押さえつけることにより分断を進行させてもよい。このようにすれば、薄く、軽い帯状ガラス110を分断する場合であっても、分断に要する応力を確保し易い。   In the present embodiment, the cutting at the scribe line 111 is advanced by the stress generated by its own weight. However, when the moving roller 125 is raised, the strip glass 110 is moved upstream or downstream in the conveying direction 140 of the moving roller 125. The cutting may be advanced by pressing the surface from above. In this way, even when the thin and light strip glass 110 is divided, it is easy to ensure the stress required for the division.

本実施形態では、クラック伸長ステップにおいて、帯状ガラス110の厚さが0.4mm未満である場合には、斜行走行方向142(第1横断方向)に移動するヘッド151(クラック伸長装置)から帯状ガラス110にレーザ光および冷媒を供給し、帯状ガラス110の厚さが0.4mm以上である場合には、斜行走行方向242(第2横断方向)に移動するヘッド251(クラック伸長装置)から帯状ガラス110にレーザ光および冷媒を供給して帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する。その後、ガラス分断ステップにおいて、スクライブライン111に沿って帯状ガラス110を分断する。また、本実施形態では、斜行走行方向142および斜行走行方向242は、クラック伸長ステップの前に実施される横断方向設定ステップにおいて設定される。以下、横断方向設定ステップについて具体的に説明する。   In this embodiment, in the crack extension step, when the thickness of the strip glass 110 is less than 0.4 mm, the strip 151 is moved from the head 151 (crack stretcher) that moves in the oblique traveling direction 142 (first transverse direction). When a laser beam and a coolant are supplied to the glass 110 and the thickness of the belt-like glass 110 is 0.4 mm or more, from the head 251 (crack stretching device) that moves in the oblique running direction 242 (second transverse direction). A laser beam and a coolant are supplied to the strip glass 110 to form a scribe line 111 on the strip glass 110. Then, in the glass cutting step, the strip glass 110 is cut along the scribe line 111. In the present embodiment, the oblique traveling direction 142 and the oblique traveling direction 242 are set in the transverse direction setting step that is performed before the crack extension step. Hereinafter, the transverse direction setting step will be specifically described.

横断方向設定ステップは、特定サブステップA1、特定サブステップB1、決定サブステップC1および決定サブステップC2を具備している。本実施形態では、これらのサブステップはこの順で実施される。ただし、特定サブステップA1は特定サブステップB1の後に実施されてもよい。   The transverse direction setting step includes a specific sub-step A1, a specific sub-step B1, a determination sub-step C1, and a determination sub-step C2. In this embodiment, these substeps are performed in this order. However, the specific substep A1 may be performed after the specific substep B1.

特定サブステップA1では、厚さがTminの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成可能なヘッド151の移動速度Vh1の幅方向成分Vhy1の上限値Vhy1MAXを特定する。特定サブステップA1は、例えば、レーザ光を厚さがTminの板状ガラスに対して相対速度VR1で相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスに照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VR1の上限値を測定することにより実施してもよい。 In the specifying sub-step A1, an upper limit value V hy1MAX of the width direction component V hy1 of the moving speed V h1 of the head 151 capable of forming the scribe line 111 on the strip glass 110 having a thickness of T min is specified. The specific sub-step A1 irradiates the plate glass with the laser beam while moving the laser beam at a relative speed V R1 relative to the plate glass having a thickness of T min , for example. In an off-line experiment in which a scribe line is formed on glass, the upper limit value of the relative speed V R1 at which the scribe line can be formed may be measured.

特定サブステップB1では、厚さがTminの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成可能なヘッド151の移動速度Vh1の幅方向成分Vhy1の下限値Vhy1MINを特定する。特定サブステップA1と同様、特定サブステップB1は、例えば、レーザ光を厚さがTminの板状ガラスに対して相対速度VR1で相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスに照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VR1の下限値を測定することにより実施してもよい。 In the specifying sub-step B1, the lower limit value V hy1MIN of the width direction component V hy1 of the moving speed V h1 of the head 151 capable of forming the scribe line 111 on the strip glass 110 having a thickness of T min is specified. Similar to the specific sub-step A1, the specific sub-step B1, for example, moves the laser light to the plate glass while moving the laser light relative to the plate glass having a thickness of T min at a relative speed V R1. In an off-line experiment in which irradiation is performed and a scribe line is formed on the sheet glass, the lower limit of the relative speed V R1 at which the scribe line can be formed may be measured.

決定サブステップC1では、厚さがTminの帯状ガラスの搬送速度Vg1、上限値Vhy1MAXおよび下限値Vhy1MINから、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MIN)}を満たすように、角度θ1を決定する。本実施形態では、フロート法により帯状ガラス110を成形しているため、厚さがTminの帯状ガラス110の搬送速度Vg1は厚さTminに対応して決定される。 In decision sub-step C1, conveying thickness of the ribbon of T min speed V g1, the upper limit value V Hy1MAX and the lower limit value V hy1MIN, arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX)} ≦ θ1 ≦ arctan {(V The angle θ1 is determined so as to satisfy g1 ) / ( Vhy1MIN )}. In the present embodiment, since the molded glass ribbon 110 by the float process, the thickness of the conveying speed V g1 of the ribbon 110 of T min is determined in accordance with the thickness T min.

さらに、本実施形態では、θ1を、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX×K)}を満たす範囲内の値に決定する。ここで、Kは、例えば0.6,0.7,0.8または0.9である。 Further, in the present embodiment, θ1 is determined to be a value within a range satisfying arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX )} ≦ θ1 ≦ arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX × K)}. Here, K is, for example, 0.6, 0.7, 0.8, or 0.9.

決定サブステップC2では、θ2<arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}を満たすように、角度θ2を決定する。 In the determination substep C2, the angle θ2 is determined so as to satisfy θ2 <arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX )}.

なお、決定サブステップC2では、θ2が過小となることが防止されるように、θ2が決定されることが好ましい。このために、例えば、レーザ光を厚さが0.4mmの板状ガラスに対して相対速度VR2で相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスに照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VR2の上限値を測定し、厚さが0.4mmの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成可能なヘッド251の移動速度Vh2の幅方向成分Vhy2の上限値Vhy2MAXを特定し、厚さが0.4mmの帯状ガラスの搬送速度Vg2、上限値Vhy2MAXから、θ2≧arctan{(Vg2)/(Vhy2MAX)}を満たすように、角度θ2を決定してもよい。 In the determination sub-step C2, it is preferable to determine θ2 so that θ2 is prevented from becoming too small. For this purpose, for example, the plate glass is irradiated with the laser light while moving the laser light at a relative speed V R2 relative to the plate glass having a thickness of 0.4 mm. moving in an off-line experiment of forming a scribe line, the said scribe line was measured the upper limit of formable relative speed V R2 the thickness can form a scribe line 111 on the ribbon 110 of 0.4mm head 251 The upper limit value V hy2MAX of the width direction component V hy2 of the speed V h2 is specified, and from the conveyance speed V g2 and the upper limit value V hy2MAX of the strip glass having a thickness of 0.4 mm, θ2 ≧ arctan {(V g2 ) / (V hy2MAX )} may be determined so as to satisfy.

各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成可能とするためには、幅方向141と斜行走行方向との間の角度θを、各下限値以上かつ各上限値以下とする必要がある。後述の検討により把握されるように、厚さがTminの帯状ガラス110にスクライブライン111が形成され得るように角度θを設定すれば、厚さがTmin〜Tmaxの帯状ガラスにスクライブライン111を形成できる。すなわち、本実施形態の切断方法によれば、単一の切断装置によって各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を確実に形成できる。 In order to be able to form the scribe line 111 on the strip-shaped glass 110 of each thickness, the angle θ between the width direction 141 and the oblique running direction needs to be not less than each lower limit and not more than each upper limit. . As will be understood from the following discussion, if the angle θ is set so that the scribe line 111 can be formed on the strip glass 110 having a thickness of T min , the scribe line is formed on the strip glass having a thickness of T min to T max. 111 can be formed. That is, according to the cutting method of this embodiment, the scribe line 111 can be reliably formed on the strip-shaped glass 110 of each thickness by a single cutting device.

ところで、スクライブライン111が形成された帯状ガラス110は、搬送に伴う振動によって、ガラス分断ステップが実施される前に自然に分断されることがある。これを防止する観点からは、スクライブライン111を過度に深く形成することを避けること、換言すると、ヘッド151の移動速度Vh1の幅方向成分Vhy1を高めに設定できるように角度θ1を低めに設定することが好ましい。すなわち、θ1を、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX×K)}を満たす範囲内の値に決定することは、上記の観点から有利である。なお、θ1を小さく設定することは、装置の設計自由度が低下する事態を招き難い(例えば、搬送ローラ121のピッチを狭くし易い)点でも有利である。 By the way, the band-like glass 110 on which the scribe line 111 is formed may be naturally divided by the vibration accompanying the conveyance before the glass dividing step is performed. From the viewpoint of preventing this, avoid forming the scribe line 111 excessively deep, in other words, lower the angle θ1 so that the width direction component V hy1 of the moving speed V h1 of the head 151 can be set higher. It is preferable to set. That is, it is determined from the above viewpoint that θ1 is determined to be a value satisfying arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX )} ≦ θ1 ≦ arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX × K)}. It is advantageous. Note that setting θ1 small is also advantageous in that it is difficult to cause a situation in which the degree of freedom in designing the apparatus is reduced (for example, it is easy to narrow the pitch of the conveying rollers 121).

また、カッターを用いて帯状ガラスを切断する場合はカッターの移動速度における帯状ガラスの幅方向成分がスクライブラインの形成に及ぼす影響は限定的であるため、カッターを用いた帯状ガラスの切断においては、装置の設計自由度を高める観点から、角度θが小さく設定されていることが多い。この点を考慮すると、角度θ1を低めに設定することは、カッターを用いて帯状ガラスを切断する切断装置をレーザ光を用いて帯状ガラスを切断するように改造して利用する場合に設計変更を要する箇所を少なくできる点で有利である。   In addition, when cutting the strip glass using a cutter, since the influence of the width direction component of the strip glass on the movement speed of the cutter on the formation of the scribe line is limited, in cutting the strip glass using the cutter, From the viewpoint of increasing the degree of design freedom of the apparatus, the angle θ is often set small. Considering this point, setting the angle θ1 to be low is a design change when using a cutting device that cuts the glass ribbon using a cutter and is modified to cut the glass ribbon using a laser beam. This is advantageous in that the number of necessary parts can be reduced.

本実施形態では、厚さが0.4mm以上の場合の角度θの下限値が厚さが0.4mm未満の場合の角度θの下限値よりも小さいこと(詳細は後述)を考慮して、厚さが0.4mm以上の場合の角度θとして設定する角度θ2を、厚さが0.4mm未満の場合の角度θとして設定する角度θ1が採り得る最小値よりも小さく設定している。このこともまた、帯状ガラス110の自然分断の防止という上記の観点に適合している。   In the present embodiment, considering that the lower limit value of the angle θ when the thickness is 0.4 mm or more is smaller than the lower limit value of the angle θ when the thickness is less than 0.4 mm (details will be described later), The angle θ2 set as the angle θ when the thickness is 0.4 mm or more is set smaller than the minimum value that can be taken by the angle θ1 set as the angle θ when the thickness is less than 0.4 mm. This also conforms to the above viewpoint of preventing the natural division of the strip glass 110.

(参考実施形態A2)
図15は、図10と同様、図示を省略するガラス成形装置から搬出され、水平方向に搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)110を上方から観察した状態を示している。各部材は図10を参照して上記で既に説明したので、ここでは説明を省略する。
(Reference embodiment A2)
FIG. 15 shows a state in which a strip-shaped glass (glass ribbon) 110 that is unloaded from a glass forming apparatus (not shown) and transported in the horizontal direction is observed from above, as in FIG. Since each member has already been described above with reference to FIG. 10, the description thereof is omitted here.

図15に示すように、参考実施形態A2では、クラック伸長装置として、ヘッド151を有するクラック伸長装置のみが存在する。すなわち、斜行走行方向(横断方向)が、斜行走行方向142のみである。斜行走行方向142は、参考実施形態A1で説明した特定サブステップA1、特定サブステップB1および決定サブステップC1により決定される。   As shown in FIG. 15, in the reference embodiment A2, there is only a crack stretching device having a head 151 as the crack stretching device. That is, the oblique traveling direction (transverse direction) is only the oblique traveling direction 142. The oblique traveling direction 142 is determined by the specific sub-step A1, the specific sub-step B1, and the determination sub-step C1 described in the reference embodiment A1.

本実施形態によれば、各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を確実に形成できる。また、本実施形態では、クラック伸長装置として、ヘッド151を有するクラック伸長装置のみが存在するため、参考実施形態A1よりも装置の設計自由度の観点から有利である。本実施形態は、帯状ガラスの振動が少なく、自然分断のおそれが小さい場合に特に好適である。   According to this embodiment, the scribe line 111 can be reliably formed on the strip-shaped glass 110 having each thickness. Further, in the present embodiment, only the crack stretching device having the head 151 exists as the crack stretching device, which is more advantageous than the reference embodiment A1 from the viewpoint of design freedom of the device. This embodiment is particularly suitable when the band-like glass is less vibrated and the risk of natural separation is small.

以下、帯状ガラス110の厚さと、幅方向成分Vhyの上限値および下限値との関係を確認するために行った実験について、図16を参照しながら説明する。 Hereinafter, an experiment conducted for confirming the relationship between the thickness of the strip glass 110 and the upper limit value and the lower limit value of the width direction component V hy will be described with reference to FIG.

(実験A1)
板状ガラス410として、厚さ0.28mm、短辺長100mm、長辺長200mmの寸法を有し、質量%により表示して下記の各成分を有するソーダライムガラス板を準備した。
(Experiment A1)
A soda-lime glass plate having a thickness of 0.28 mm, a short side length of 100 mm, and a long side length of 200 mm as a plate-like glass 410 and indicated by mass% and having the following components was prepared.

SiO2:71.9%
Al23:1.7%
MgO:4.0%
CaO:8.0%
Na2O:13.5%
2O:0.9%
SiO 2 : 71.9%
Al 2 O 3 : 1.7%
MgO: 4.0%
CaO: 8.0%
Na 2 O: 13.5%
K 2 O: 0.9%

板状ガラス410の長辺に沿う方向が搬送用テーブル490の搬送方向442に一致するように、板状ガラス410を搬送用テーブル490に固定した。   The plate glass 410 was fixed to the transfer table 490 so that the direction along the long side of the plate glass 410 coincided with the transfer direction 442 of the transfer table 490.

搬送用テーブル490を静止させた状態で、板状ガラス410に初期クラック461を形成した。具体的には、板状ガラス410の一方の短辺410a上の一点を始端とし、短辺410bに向かって延びる、長さが10mmの初期クラック461を形成した。初期クラック461は、焼結ダイヤモンドカッターホイール(外径φ2.5mm、厚み1.0mm、内径φ1.1mm、刃先角度135度)を用いて形成した。   An initial crack 461 was formed in the sheet glass 410 with the transfer table 490 being stationary. Specifically, an initial crack 461 having a length of 10 mm extending from the one point on one short side 410a of the plate glass 410 toward the short side 410b was formed. The initial crack 461 was formed using a sintered diamond cutter wheel (outer diameter φ2.5 mm, thickness 1.0 mm, inner diameter φ1.1 mm, blade edge angle 135 degrees).

次に、搬送用テーブル490を移動させながら、板状ガラス410にレーザ光を照射し、さらに水(冷媒)を噴射した。具体的には、まず、被照射領域427および被冷却領域428が短辺410aよりも搬送方向442前方の位置に初期設定され、初期クラック461の長軸と被照射領域427の長軸とが一致して両長軸に間隔が形成されないように搬送テーブル490の位置を初期設定した。次に、被照射領域427が長さ24mm、幅1mmの寸法を有し、被冷却領域428が被照射領域427の長さ方向の一端に接するようにレーザ光集光装置および冷却装置を調整した(図16(a))。次に、被照射領域427および被冷却領域428の位置が固定された状態を維持しつつ、これらの位置が短辺410bの搬送方向442下流側となるまで搬送テーブル490を搬送方向442に120mm/sの速度で移動させた(図16(b)(c))。このときに形成されたスクライブライン(クラック462)の深さを調べた。   Next, while moving the transfer table 490, the plate-like glass 410 was irradiated with laser light, and water (refrigerant) was further injected. Specifically, first, the irradiated region 427 and the cooled region 428 are initially set at positions ahead of the short side 410a in the transport direction 442, and the major axis of the initial crack 461 and the major axis of the irradiated region 427 are the same. Then, the position of the transport table 490 was initially set so that no gap was formed between the two long axes. Next, the laser beam condensing device and the cooling device were adjusted so that the irradiated region 427 had a length of 24 mm and a width of 1 mm, and the cooled region 428 was in contact with one end of the irradiated region 427 in the length direction. (FIG. 16A). Next, while maintaining the positions of the irradiated region 427 and the cooled region 428 fixed, the conveying table 490 is moved 120 mm / min in the conveying direction 442 until these positions are downstream of the short side 410b in the conveying direction 442. It was moved at a speed of s (FIGS. 16B and 16C). The depth of the scribe line (crack 462) formed at this time was examined.

具体的に、CO2レーザ発振器(UNIVERSAL LASER SYSTEMS製 ULC−100)から出力された30Wのレーザ光を、2枚のアキシコンレンズ、シリンドリカルレンズおよびミラーを用いて屈折および反射させて被照射領域427を設定した。また、ノズル(エバーロイ製 ミニミスト04−10−13)から噴射量1.5ml/minの水を噴射することにより被冷却領域428を設定した。 Specifically, a 30 W laser beam output from a CO 2 laser oscillator (ULC-100 manufactured by UNIVERSAL LASER SYSTEMS) is refracted and reflected by using two axicon lenses, a cylindrical lens, and a mirror to be irradiated region 427. It was set. Moreover, the to-be-cooled area | region 428 was set by injecting the water of 1.5 ml / min of injection quantity from a nozzle (Everloy minimist 04-10-13).

次に、搬送テーブル490の移動速度を順次変更して、同様の実験を繰り返し行った。また、レーザ光の出力を順次変更して、同様の実験(実験A1)を行った。実験A1の結果を表1に示す。なお、表1中の、移動速度および出力以外の数値は、形成されたスクライブラインを構成するクラック(垂直クラック)462の深さ(μm)を示す(例えば、表1は、搬送テーブル490の移動速度が216mm/s、レーザ光の出力が30Wのときに、深さが70μmのスクライブラインが形成されたことを示す)。また、Fは板状ガラス410が完全に分断されたことを、Nは初期クラック461が全く伸長しなかったことを、それぞれ示す。   Next, the same experiment was repeated by sequentially changing the moving speed of the transfer table 490. Further, the same experiment (Experiment A1) was performed by sequentially changing the output of the laser beam. The results of Experiment A1 are shown in Table 1. In Table 1, the numerical values other than the moving speed and the output indicate the depth (μm) of the crack (vertical crack) 462 constituting the formed scribe line (for example, Table 1 shows the movement of the transfer table 490). This indicates that a scribe line having a depth of 70 μm was formed when the speed was 216 mm / s and the laser beam output was 30 W). F indicates that the plate-like glass 410 is completely divided, and N indicates that the initial crack 461 does not extend at all.

(実験A2)
厚さが0.33mmの板状ガラス410を用いて、同様の実験(実験A2)を行った。実験A2の結果を表2に示す。
(Experiment A2)
A similar experiment (Experiment A2) was performed using a plate-like glass 410 having a thickness of 0.33 mm. The results of Experiment A2 are shown in Table 2.

(実験A3)
厚さが0.4mmの板状ガラス410を用いて、同様の実験(実験A3)を行った。実験A3の結果を表3に示す。
(Experiment A3)
A similar experiment (Experiment A3) was performed using a plate-like glass 410 having a thickness of 0.4 mm. The results of Experiment A3 are shown in Table 3.

(実験A4)
厚さが0.7mmの板状ガラス410を用いて、同様の実験(実験A4)を行った。実験A4の結果を表4に示す。
(Experiment A4)
A similar experiment (Experiment A4) was performed using a sheet glass 410 having a thickness of 0.7 mm. The results of Experiment A4 are shown in Table 4.

(実験A5)
厚さが1.1mmの板状ガラス410を用いて、同様の実験(実験A5)を行った。実験A5の結果を表5に示す。
(Experiment A5)
A similar experiment (Experiment A5) was performed using a plate-like glass 410 having a thickness of 1.1 mm. The results of Experiment A5 are shown in Table 5.

実験A1〜A5の結果には、スクライブラインが形成される場合の搬送テーブル490の移動速度には最小値および最大値が存在することが表れている。最小値が存在するのは、搬送テーブル490の移動速度が過度に遅い場合には、板状ガラス410に供給される単位面積当たりの熱量が過大となり、板状ガラスが完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、所望の方向以外の方向に伸長するクラック)が生じたりするためである。一方、最大値が存在するのは、搬送テーブル490の移動速度が過度に速い場合には、板状ガラス410に供給される単位面積当たりの熱量が過小となり、スクライブラインの伸長に必要な応力が生じないためである。   The results of Experiments A1 to A5 indicate that there are a minimum value and a maximum value for the moving speed of the transfer table 490 when a scribe line is formed. The minimum value exists because when the moving speed of the transfer table 490 is excessively low, the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 410 becomes excessive, and the sheet glass is completely divided, This is because a crack that does not occur (for example, a crack extending in a direction other than the desired direction) may occur. On the other hand, the maximum value exists when the moving speed of the transfer table 490 is excessively high, the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 410 is too small, and the stress necessary for the extension of the scribe line is present. This is because it does not occur.

また、実験A1〜A5の結果から、スクライブラインが形成されるための条件は、板状ガラス410の厚さによって異なることが把握される。表6および図17に、板状ガラス410の厚さと、レーザ光の出力が30〜60Wのときのスクライブラインが形成された場合の搬送テーブル490の移動速度(最小値および最大値)との関係を示す。なお、図17中の直線は、各厚さの板状ガラス410にスクライブラインが形成されたときの搬送テーブル490の移動速度を示す。   Further, from the results of Experiments A1 to A5, it is understood that the conditions for forming the scribe line differ depending on the thickness of the plate glass 410. Table 6 and FIG. 17 show the relationship between the thickness of the plate-like glass 410 and the moving speed (minimum value and maximum value) of the transfer table 490 when a scribe line is formed when the laser beam output is 30 to 60 W. Indicates. In addition, the straight line in FIG. 17 shows the moving speed of the conveyance table 490 when a scribe line is formed on the plate-like glass 410 of each thickness.

表6および図17に示されるように、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル490の移動速度の最大値は、板状ガラス410の厚さに対して単調増加または単調減少するわけではない。より詳細には、板状ガラス410の厚さが0.4mm以下の範囲においては、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル490の移動速度の最大値は、板状ガラス410が厚くなると増加し、板状ガラス410の厚さが0.4mm以上の範囲においては、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル490の移動速度の最大値は、板状ガラス410が厚くなると減少する。すなわち、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル490の移動速度の最大値は、板状ガラス410の厚さが0.4mmの場合にピークとなり、厚さが0.4mmから離れるに従って低下する。   As shown in Table 6 and FIG. 17, the maximum value of the moving speed of the transfer table 490 that can form a scribe line does not monotonously increase or monotonously decrease with respect to the thickness of the sheet glass 410. More specifically, in the range where the thickness of the plate glass 410 is 0.4 mm or less, the maximum moving speed of the transfer table 490 capable of forming a scribe line increases as the plate glass 410 becomes thicker. In the range where the thickness of the glass sheet 410 is 0.4 mm or more, the maximum value of the moving speed of the transfer table 490 capable of forming a scribe line decreases as the glass sheet 410 becomes thicker. That is, the maximum value of the moving speed of the transfer table 490 capable of forming a scribe line becomes a peak when the thickness of the plate glass 410 is 0.4 mm, and decreases as the thickness is separated from 0.4 mm.

この現象は、下記のように説明される。すなわち、スクライブラインの形成には、ある程度の大きさの応力を板状ガラスに発生させる必要があり、このためには、板状ガラスの表面と裏面との間の温度変化率(℃/mm)がある程度高いことを要する。所定以上の厚さの範囲内で板状ガラスの厚さを変更して各厚さの板状ガラスに所定のレーザ光を照射しても、各厚さの板状ガラスで表面温度および裏面温度に大きな相違は生じない(すなわち、各厚さの板状ガラスで表面−裏面間の温度差に大きな相違は生じない)。したがって、板状ガラスが厚くなる程、表面−裏面間の温度変化率(℃/mm)が小さくなり、スクライブラインが形成され難くなる。厚さの範囲が0.4mm以上の板状ガラスにおいては、この影響が支配的に現れているものと考えられる。一方、所定以下の厚さを有する板状ガラスでは、板状ガラスの表面をレーザ光により加熱すると、表面の熱がすぐに裏面に到達する傾向にあり、この傾向は板状ガラスが薄くなる程顕著になる。すなわち、板状ガラスが薄くなる程、表面−裏面間の温度差が小さくなり、表面−裏面間の温度変化率(℃/mm)が小さくなり、スクライブラインが形成され難くなる。厚さの範囲が0.4mm以下の板状ガラスにおいては、この影響が支配的に現れているものと考えられる。   This phenomenon is explained as follows. That is, in order to form the scribe line, it is necessary to generate a certain amount of stress in the sheet glass, and for this purpose, the rate of temperature change (° C./mm) between the front and back surfaces of the sheet glass. Need to be high to some extent. Even if the thickness of the glass sheet is changed within a predetermined thickness range and the laser beam is irradiated to the glass sheet of each thickness, the surface temperature and the back surface temperature of the glass sheet of each thickness (That is, there is no significant difference in the temperature difference between the front and back surfaces of each thickness of glass sheet). Therefore, the thicker the plate-like glass, the smaller the temperature change rate (° C./mm) between the front surface and the back surface, and it becomes difficult to form a scribe line. It is considered that this influence appears dominantly in the sheet glass having a thickness range of 0.4 mm or more. On the other hand, in a sheet glass having a predetermined thickness or less, when the surface of the sheet glass is heated with a laser beam, the heat of the surface tends to reach the back surface immediately, and this tendency is such that the sheet glass becomes thinner. Become prominent. That is, the thinner the glass sheet, the smaller the temperature difference between the front surface and the back surface, and the lower the temperature change rate (° C./mm) between the front surface and the back surface, making it difficult to form a scribe line. This influence is considered to be dominant in the sheet glass having a thickness range of 0.4 mm or less.

表6および図17に示すように、厚さの範囲が0.4mm未満の板状ガラス410においては、一般的に、板状ガラス410が薄くなる程、スクライブライン111が形成される場合の搬送テーブル490の移動速度の最大値が低下する。一方、フロート法においては、形成すべき帯状ガラス110が薄くなる程、帯状ガラス110の搬送速度Vg(すなわちヘッド151の移動速度Vhの搬送方向成分Vhx)を増大させる。これらの関係を考慮すると、厚さの範囲が0.4mm未満の帯状ガラス110においては、スクライブライン111が適切に形成される場合のヘッド151の移動速度Vhの幅方向成分Vhyの上限値VhyMAXに対する搬送速度Vgの比率(Vg/VhyMAX)およびこの比率の逆正接(θ=arctan(Vg/VhyMAX))が、帯状ガラス110が薄くなるにしたがって大きくなる(図18参照)。すなわち、0.4mm未満の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における各幅方向成分Vhyの各上限値VhyMAXに基づいた角度θは、0.4mm未満の想定される最薄の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における幅方向成分Vhyの上限値VhyMAXに基づいた角度θ以下となる。したがって、フロート法により成形された帯状ガラス110のオンライン切断において、厚さの範囲が0.4mm未満の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合は、帯状ガラス110の厚さが想定される最薄値のときに幅方向成分Vhyが上限値となる程度に角度θを小さく設定すれば、0.4mm未満の各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する際の各幅方向成分Vhyが確実に各上限値VhyMAX以内となることが把握される。さらに、図18を考慮すると、このように設定された角度θ(≒θ1MIN程度)によれば、厚さが0.4mm以上の帯状ガラス110も含めた各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を確実に形成できることが分かる。 As shown in Table 6 and FIG. 17, in the sheet glass 410 having a thickness range of less than 0.4 mm, the conveyance when the scribe line 111 is generally formed as the sheet glass 410 becomes thinner. The maximum value of the moving speed of the table 490 decreases. On the other hand, in the float process, the transport speed V g of the strip glass 110 (that is, the transport direction component V hx of the moving speed V h of the head 151) is increased as the strip glass 110 to be formed becomes thinner. Considering these relationships, in the band-like glass 110 having a thickness range of less than 0.4 mm, the upper limit value of the width direction component V hy of the moving speed V h of the head 151 when the scribe line 111 is appropriately formed. the ratio of the conveyance speed V g for V hyMAX (V g / V hyMAX ) and arctangent of the ratio (θ = arctan (V g / V hyMAX)) becomes larger as the ribbon 110 is thinner (see FIG. 18 ). That is, the angle θ based on each upper limit value V hyMAX of each width direction component V hy in the case where the scribe line 111 is formed on the strip glass 110 of less than 0.4 mm is assumed to be the thinnest strip that is assumed to be less than 0.4 mm. When the scribe line 111 is formed on the glass 110, the angle θ is equal to or less than the upper limit value V hyMAX of the width direction component V hy . Therefore, when the scribe line 111 is formed on the strip glass 110 having a thickness range of less than 0.4 mm in online cutting of the strip glass 110 formed by the float process, the thickness of the strip glass 110 is assumed to be the maximum. If the angle θ is set so small that the width direction component V hy becomes an upper limit value at a thin value, each width direction component when forming the scribe line 111 on the strip glass 110 having a thickness of less than 0.4 mm. It is understood that V hy is surely within the respective upper limit values V hyMAX . Further, in consideration of FIG. 18, according to the angle θ set in this way (approximately θ1 MIN or so), the scribe lines are formed on the glass strips 110 of various thicknesses including the glass ribbon 110 having a thickness of 0.4 mm or more. It can be seen that 111 can be reliably formed.

また、表6および図17に示すように、板状ガラス410においては、一般的に、板状ガラス410が薄くなる程、スクライブライン111が形成される場合の搬送テーブル490の移動速度の最小値が増大する。一方、フロート法においては、形成すべき帯状ガラス110が薄くなる程、帯状ガラス110の搬送速度Vgを増大させる。これらの関係を考慮すると、帯状ガラス110においては、スクライブライン111が適切に形成される場合のヘッド151の移動速度Vhの幅方向成分Vhyの下限値VhyMINに対する搬送速度Vgの比率(Vg/VhyMIN)およびこの比率の逆正接(θ=arctan(Vg/VhyMIN))が概ね一定となる。すなわち、帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における幅方向成分Vhyの下限値VhyMINに基づいた角度(θ=arctan(Vg/VhyMIN))は、想定される最薄の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における幅方向成分Vhyの下限値VhyMINに基づいた角度θに概ね一致する。したがって、フロート法により成形された帯状ガラス110のオンライン切断において、帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合は、帯状ガラス110が想定される最薄の厚さを有する場合に幅方向成分Vhyが下限値となるように角度θを設定すれば、各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する際の各幅方向成分Vhyが概ね各下限値付近となることが把握される。さらに、形成すべき帯状ガラス110の厚さと帯状ガラス110の搬送速度Vgとの関係を詳細に考慮すれば、このように設定された角度θ(≒θ1MAX程度)によれば、各幅方向成分Vhyが、各下限値VhyMIN以上かつ各下限値付近となることが把握される(図18参照)。 Moreover, as shown in Table 6 and FIG. 17, in the sheet glass 410, generally, as the sheet glass 410 becomes thinner, the minimum value of the moving speed of the transport table 490 when the scribe line 111 is formed. Will increase. On the other hand, in the float process, the conveyance speed V g of the strip glass 110 is increased as the strip glass 110 to be formed becomes thinner. In view of these relationships, in the glass ribbon 110, the ratio of the conveying speed V g with respect to the lower limit value V HyMIN the width direction component V hy the moving velocity V h of the head 151 when the scribe lines 111 are properly formed ( V g / V hyMIN ) and the arc tangent (θ = arctan (V g / V hyMIN )) of this ratio are substantially constant. That is, the angle (θ = arctan (V g / V hyMIN )) based on the lower limit value V hyMIN of the width direction component V hy when the scribe line 111 is formed on the belt-like glass 110 is the thinnest belt glass assumed. When the scribe line 111 is formed at 110, the angle θ substantially coincides with the lower limit value V hyMIN of the width direction component V hy . Therefore, when the scribe line 111 is formed on the strip glass 110 in online cutting of the strip glass 110 formed by the float process, the width direction component V hy is obtained when the strip glass 110 has the thinnest thickness expected. If the angle θ is set so that becomes the lower limit value, it is understood that each width direction component V hy when the scribe line 111 is formed on the strip-shaped glass 110 of each thickness is approximately near the lower limit value. Further, if the relationship between the thickness of the strip glass 110 to be formed and the conveyance speed V g of the strip glass 110 is considered in detail, according to the angle θ thus set (approximately θ1 MAX ), each width direction It is understood that the component V hy is equal to or greater than each lower limit value V hyMIN and near each lower limit value (see FIG. 18).

また、表6および図17に示すように、厚さの範囲が0.4mm以上の板状ガラス410においては、板状ガラス410が厚くなる程、スクライブラインが形成される場合の搬送テーブル490の移動速度の最大値が低下する。一方、フロート法においては、一般的に、形成すべき帯状ガラス110が厚くなる程、帯状ガラス110の搬送速度Vg(すなわちヘッド251の移動速度Vhの搬送方向成分Vhx)を低下させる。これらの関係を考慮すると、厚さの範囲が0.4mm以上の帯状ガラス110においては、スクライブライン111が適切に形成される場合のヘッド151の移動速度Vhの幅方向成分Vhyの上限値VhyMAXに対する搬送速度Vgの比率(Vg/VhyMAX)が、帯状ガラス110が厚くなっても概ね一定となる。すなわち、0.4mm超の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における幅方向成分Vhyの上限値VhyMAXに基づいた角度(θ=arctan(Vg/VhyMAX))は、0.4mmの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合における幅方向成分Vhyの上限値VhyMAXに基づいた角度θに概ね一致する。したがって、フロート法により成形された帯状ガラス110のオンライン切断において、厚さの範囲が0.4mm以上の帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する場合は、帯状ガラス110が0.4mmのときに幅方向成分Vhyが上限値となるように角度θを設定すれば、0.4mm以上の各厚さの帯状ガラス110にスクライブライン111を形成する際の各幅方向成分Vhyが概ね各上限値付近となることが把握される。さらに、形成すべき帯状ガラス110の厚さと帯状ガラス110の搬送速度Vgとの関係を詳細に考慮すれば、このように設定された角度θ(≒θ2MIN程度)によれば、各幅方向成分Vhyが、各上限値VhyMAX以内かつ各上限値付近となることが把握される(図18参照)。 Moreover, as shown in Table 6 and FIG. 17, in the plate-like glass 410 having a thickness range of 0.4 mm or more, the thicker the plate-like glass 410 is, the more the scribe line is formed. The maximum value of the moving speed decreases. On the other hand, in the float process, generally, the thicker the strip glass 110 to be formed, the lower the transport speed V g of the strip glass 110 (that is, the transport direction component V hx of the moving speed V h of the head 251). Considering these relationships, in the band-shaped glass 110 having a thickness range of 0.4 mm or more, the upper limit value of the width direction component V hy of the moving speed V h of the head 151 when the scribe line 111 is appropriately formed. the ratio of the conveyance speed V g for V hyMAX (V g / V hyMAX ) is approximately constant even when thick ribbon 110. That is, the angle (θ = arctan (V g / V hyMAX )) based on the upper limit value V hyMAX of the width direction component V hy when the scribe line 111 is formed on the strip glass 110 exceeding 0.4 mm is 0.4 mm. When the scribe line 111 is formed on the belt-like glass 110, the angle θ substantially coincides with the upper limit value V hyMAX of the width direction component V hy . Therefore, when the scribe line 111 is formed on the strip glass 110 having a thickness range of 0.4 mm or more in online cutting of the strip glass 110 formed by the float process, the width is obtained when the strip glass 110 is 0.4 mm. If the angle θ is set so that the direction component V hy becomes the upper limit value, each width direction component V hy when the scribe line 111 is formed on the strip-shaped glass 110 having a thickness of 0.4 mm or more is substantially set to each upper limit value. It is understood that it will be near. Further, if the relationship between the thickness of the strip glass 110 to be formed and the conveyance speed V g of the strip glass 110 is considered in detail, according to the angle θ thus set (approximately θ2 MIN ), each width direction It is understood that the component V hy is within each upper limit value V hyMAX and near each upper limit value (see FIG. 18).

参考実施形態A1およびA2を併せて参照することにより、下記の発明を導くことができる。   By referring to the reference embodiments A1 and A2 together, the following invention can be derived.

(参考発明A1)
フロートバスから搬出され、所定の搬送方向へと搬送され、想定される厚さの最大値がTmaxであり、最小値がTminであり、Tmin<0.4mm<Tmaxである帯状ガラスを、前記帯状ガラスを横断しながら前記帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給して前記帯状ガラスに前記搬送方向に直交する幅方向に延びるスクライブラインを形成するクラック伸長装置を用いて切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの厚さが0.4mm未満である場合に前記クラック伸長装置が移動するべき第1横断方向であって、前記帯状ガラスを横断し、前記幅方向との間に角度θ1を形成する第1横断方向と、前記帯状ガラスの厚さが0.4mm以上である場合に前記クラック伸長装置が移動するべき第2横断方向であって、前記帯状ガラスを横断し、前記幅方向との間に角度θ1未満である角度θ2を形成する第2横断方向と、を設定する横断方向設定ステップと、
前記帯状ガラスの厚さが0.4mm未満である場合には前記第1横断方向に移動し、前記帯状ガラスの厚さが0.4mm以上である場合には前記第2横断方向に移動する、前記クラック伸長装置から前記帯状ガラスに前記レーザ光および前記冷媒を供給して前記スクライブラインを形成する、クラック伸長ステップと、
前記スクライブラインに沿って前記帯状ガラスを分断するガラス分断ステップと、を具備し、
前記横断方向設定ステップは、
厚さがTminの前記帯状ガラスに前記スクライブラインを形成可能な前記クラック伸長装置の移動速度の前記幅方向成分の上限値Vhy1MAXを特定する特定サブステップA1と、
厚さがTminの前記帯状ガラスに前記スクライブラインを形成可能な前記クラック伸長装置の移動速度の前記幅方向成分の下限値Vhy1MINを特定する特定サブステップB1と、
厚さがTminの前記帯状ガラスの搬送速度Vg1、上限値Vhy1MAXおよび下限値Vhy1MINから、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MIN)}を満たすように、前記角度θ1を決定する決定サブステップC1と、
θ2<arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}を満たすように、前記角度θ2を決定する決定サブステップC2と、を具備する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A1)
Strip glass that is unloaded from the float bath and transported in a predetermined transport direction, where the maximum thickness is assumed to be T max , the minimum value is T min , and T min <0.4 mm <T max The belt-shaped glass is cut using a crack stretching device that forms a scribe line extending in the width direction perpendicular to the transport direction by supplying laser light and a coolant to the belt-shaped glass while traversing the belt-shaped glass. A method of cutting glass,
When the thickness of the glass strip is less than 0.4 mm, the crack elongating device should move in a first transverse direction, crossing the glass ribbon, and forming an angle θ1 with the width direction. A first transverse direction and a second transverse direction in which the crack stretcher should move when the thickness of the strip glass is 0.4 mm or more, between the strip glass and the width direction A transverse direction setting step for setting a second transverse direction to form an angle θ2 that is less than the angle θ1;
When the thickness of the strip glass is less than 0.4 mm, it moves in the first transverse direction, and when the thickness of the strip glass is 0.4 mm or more, it moves in the second transverse direction. A crack extension step of forming the scribe line by supplying the laser beam and the coolant from the crack extension device to the strip glass;
A glass cutting step for cutting the strip glass along the scribe line, and
The transverse direction setting step includes:
A specific sub-step A1 for specifying an upper limit value V hy1MAX of the width direction component of the moving speed of the crack extension device capable of forming the scribe line in the strip glass having a thickness of T min ;
A specific sub-step B1 for specifying a lower limit value V hy1MIN of the width direction component of the moving speed of the crack extension device capable of forming the scribe line in the strip glass having a thickness of T min ;
Thickness of the glass ribbon T min carrying speed V g1, the upper limit value V Hy1MAX and the lower limit value V hy1MIN, arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX)} ≦ θ1 ≦ arctan {(V g1) / (V hy1MIN )} to determine the angle θ1 so as to satisfy,
determination sub-step C2 for determining the angle θ2 so as to satisfy θ2 <arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX )}.
A method for cutting strip glass.

(参考発明A2)
フロートバスから搬出され、所定の搬送方向へと搬送され、想定される厚さの最大値がTmaxであり、最小値がTminであり、Tmin<0.4mm<Tmaxである帯状ガラスを、前記帯状ガラスを横断しながら前記帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給して前記帯状ガラスに前記搬送方向に直交する幅方向に延びるスクライブラインを形成するクラック伸長装置を用いて切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記クラック伸長装置が移動するべき横断方向であって、前記帯状ガラスを横断し、前記幅方向との間に角度θ1を形成する横断方向を設定する横断方向設定ステップと、
前記横断方向に移動する前記クラック伸長装置から前記帯状ガラスに前記レーザ光および前記冷媒を供給して前記スクライブラインを形成する、クラック伸長ステップと、
前記スクライブラインに沿って前記帯状ガラスを分断するガラス分断ステップと、を具備し、
前記横断方向設定ステップは、
厚さがTminの前記帯状ガラスに前記スクライブラインを形成可能な前記クラック伸長装置の移動速度の前記幅方向成分の上限値Vhy1MAXを特定する特定サブステップA1と、
厚さがTminの前記帯状ガラスに前記スクライブラインを形成可能な前記クラック伸長装置の移動速度の前記幅方向成分の下限値Vhy1MINを特定する特定サブステップB1と、
厚さがTminの前記帯状ガラスの搬送速度Vg1、上限値Vhy1MAXおよび下限値Vhy1MINから、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MIN)}を満たすように、前記角度θ1を決定する決定サブステップC1と、を具備する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A2)
Strip glass that is unloaded from the float bath and transported in a predetermined transport direction, where the maximum thickness is assumed to be T max , the minimum value is T min , and T min <0.4 mm <T max The belt-shaped glass is cut using a crack stretching device that forms a scribe line extending in the width direction perpendicular to the transport direction by supplying laser light and a coolant to the belt-shaped glass while traversing the belt-shaped glass. A method of cutting glass,
A transverse direction setting step for setting a transverse direction in which the crack stretching device is to move, which intersects the glass ribbon and forms an angle θ1 with the width direction;
A crack extension step of forming the scribe line by supplying the laser beam and the coolant to the strip glass from the crack extension device moving in the transverse direction;
A glass cutting step for cutting the strip glass along the scribe line, and
The transverse direction setting step includes:
A specific sub-step A1 for specifying an upper limit value V hy1MAX of the width direction component of the moving speed of the crack extension device capable of forming the scribe line in the strip glass having a thickness of T min ;
A specific sub-step B1 for specifying a lower limit value V hy1MIN of the width direction component of the moving speed of the crack extension device capable of forming the scribe line in the strip glass having a thickness of T min ;
Thickness of the glass ribbon T min carrying speed V g1, the upper limit value V Hy1MAX and the lower limit value V hy1MIN, arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX)} ≦ θ1 ≦ arctan {(V g1) / (V hy1MIN )}, and a determination sub-step C1 for determining the angle θ1.
A method for cutting strip glass.

(参考発明A3)
参考発明A1またはA2に加え、前記決定サブステップC1において、arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX)}≦θ1≦arctan{(Vg1)/(Vhy1MAX×0.6)}を満たすように、角度θ1を決定する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A3)
In addition to the reference invention A1 or A2, the decision sub-step C1 satisfies arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX )} ≦ θ1 ≦ arctan {(V g1 ) / (V hy1MAX × 0.6)}. The method for cutting the strip glass to determine the angle θ1.

(参考発明A4)
参考発明A1〜A3のいずれか1つに加え、レーザ光を厚さがTminの板状ガラスに対して相対速度VR1で相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスに照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VR1の上限値を測定することにより、前記特定サブステップA1を実施する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A4)
In addition to any one of the reference inventions A1 to A3, the laser beam is irradiated to the plate glass while moving the laser beam relative to the plate glass having a thickness of T min at a relative speed V R1. Te, in an off-line experiment of forming a scribe line on the plate-like glass, by measuring the upper limit value of the scribe line can be formed relative velocity V R1, the cutting process of the glass ribbon to implement the specific sub-step A1.

(参考発明A5)
参考発明A1〜A4のいずれか1つに加え、前記クラック伸長ステップにおいて照射する前記レーザ光の出力は、30W以上60W以下である帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A5)
In addition to any one of the reference inventions A1 to A4, the output of the laser light irradiated in the crack extension step is a method for cutting a strip glass that is 30 W or more and 60 W or less.

(参考発明A6)
参考発明A1〜A5のいずれか1つに加え、前記クラック伸長ステップにおいて、前記帯状ガラスにおける前記レーザ光が照射される領域である被照射領域の長さが15mm以上30mm以下となり、前記被照射領域の幅が0.1mm以上3.0mm以下となるように、前記レーザ光を照射する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A6)
In addition to any one of the reference inventions A1 to A5, in the crack extension step, the length of the irradiated region that is the region irradiated with the laser light in the strip glass is 15 mm or more and 30 mm or less, and the irradiated region The method for cutting the strip glass in which the laser beam is irradiated so that the width of the glass is 0.1 mm or more and 3.0 mm or less.

(参考発明A7)
参考発明A1〜A6のいずれか1つに加え、Tminは0.28mmであり、Tmaxは1.1mmである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A7)
In addition to any one of the reference inventions A1 to A6, T min is 0.28 mm and T max is 1.1 mm.

(参考発明A8)
参考発明A1〜A7のいずれか1つに加え、前記帯状ガラスは、ソーダライムガラスである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A8)
In addition to any one of the reference inventions A1 to A7, the strip glass is a soda-lime glass cutting method.

(参考発明A9)
参考発明A8に加え、質量%により表示して、前記帯状ガラスは、
SiO2:65〜80%
Al23:0〜5%
MgO:1〜10%
CaO:5〜15%
Na2O:10〜18%
2O:0〜5%
23:0〜5%
MgO+CaO:6〜15%
Na2O+K2O:10〜20%
の成分を有する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention A9)
In addition to Reference Invention A8, indicated by mass%, the band glass is
SiO 2 : 65-80%
Al 2 O 3 : 0 to 5%
MgO: 1-10%
CaO: 5 to 15%
Na 2 O: 10 to 18%
K 2 O: 0 to 5%
B 2 O 3: 0~5%
MgO + CaO: 6-15%
Na 2 O + K 2 O: 10 to 20%
The cutting method of the strip glass which has the component of.

(参考実施形態B1)
特許文献Xの直線スライド部材では、スクライブラインが帯状ガラスの幅方向に延びるように、ヘッドの移動速度が、帯状ガラスの搬送速度およびヘッドの移動方向とともに設定されている。
(Reference Embodiment B1)
In the linear slide member of Patent Document X, the moving speed of the head is set together with the conveying speed of the belt-shaped glass and the moving direction of the head so that the scribe line extends in the width direction of the belt-shaped glass.

ところで、冷媒を噴射するための噴射ノズルの外周壁は、所定の厚さを有している。このため、噴射ノズルの開口を帯状ガラスの表面に垂直な方向に向けて冷媒を噴射すると、被冷却領域が被照射領域からこの厚さ分程度離間し、帯状ガラスに十分な引っ張り応力が発生せず、スクライブラインの形成が困難となることがある。この点を考慮して、冷媒を帯状ガラスの厚さ方向から傾斜した方向に噴射することが行われている。   By the way, the outer peripheral wall of the injection nozzle for injecting the refrigerant has a predetermined thickness. For this reason, if the coolant is injected with the opening of the injection nozzle directed in the direction perpendicular to the surface of the strip glass, the cooled region is separated from the irradiated region by this thickness, and sufficient tensile stress is generated in the strip glass. Therefore, it may be difficult to form a scribe line. In consideration of this point, the refrigerant is jetted in a direction inclined from the thickness direction of the strip glass.

帯状ガラスの厚さ方向の位置が帯状ガラスの振動等により変動した場合に、スクライブラインが形成されないことがある。   When the position in the thickness direction of the strip glass changes due to the vibration of the strip glass, the scribe line may not be formed.

本発明者らの検討によれば、ヘッドの移動速度における帯状ガラスの幅方向成分(すなわち、帯状ガラスとヘッドの相対速度VR)には、スクライブラインの形成に適した範囲が存在する。本発明者らは、この点に着目すれば、スクライブラインをより確実に形成できると考えた。 According to the study by the present inventors, there is a range suitable for forming a scribe line in the width direction component of the strip glass at the moving speed of the head (that is, the relative speed V R between the strip glass and the head). The present inventors considered that a scribe line can be formed more reliably by paying attention to this point.

以下、参考実施形態B1について図面を参照しながら説明する。なお、以下では同じ部材には各図面において同じ符号を付し、説明の重複を避けることがある。   Hereinafter, Reference Embodiment B1 will be described with reference to the drawings. In the following description, the same member is denoted by the same reference numeral in each drawing, and the description may be omitted.

図19は、ガラス成形装置から搬出され、水平面である基準搬送面に沿って搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)510を上方から観察した状態を示している。帯状ガラス510は、搬送方向540の上流側(図19に示す領域よりも上流側)に設置されたガラス成形装置(例えばフロートバス)において所定の厚さへと成形され、搬送方向540に一定の速度で搬送されている。本実施形態の対象となる帯状ガラス510の厚さの範囲は、レーザ光によりスクライブラインを形成可能であれば特に限定されないが、例えば0.1〜5mmである。   FIG. 19 shows a state in which a strip glass (glass ribbon) 510 carried out from a glass forming apparatus and conveyed along a reference conveyance surface which is a horizontal surface is observed from above. The band-shaped glass 510 is formed to a predetermined thickness in a glass forming apparatus (for example, a float bath) installed on the upstream side in the transport direction 540 (upstream side of the region shown in FIG. 19), and constant in the transport direction 540. Transported at speed. The range of the thickness of the belt-like glass 510 that is the subject of the present embodiment is not particularly limited as long as a scribe line can be formed by laser light, but is, for example, 0.1 to 5 mm.

帯状ガラス510の搬送は、搬送装置によって行われる。搬送装置としては、搬送ローラ、搬送ベルト等が挙げられる。本実施形態では、搬送装置は、帯状ガラス510を下方から支持する搬送ローラ521であり、搬送ローラ521によって構成される搬送面を基準搬送面と呼ぶ。本実施形態では、基準搬送面を基準にしたときに想定される帯状ガラスの厚さ方向の変動量の絶対値の最大値を幅Wと記載する。幅Wは、帯状ガラス510の振動、撓み等に依存する値である(図20参照)。帯状ガラス510の厚さが0.1〜5mmであり、搬送装置として搬送ローラ521を用いる場合は、幅W(絶対値)は例えば、10mmである。なお、帯状ガラス510が薄い場合には搬送ローラ521のピッチを細かくすることが好ましい。   The belt-shaped glass 510 is transported by a transport device. Examples of the transport device include a transport roller and a transport belt. In this embodiment, the conveyance device is a conveyance roller 521 that supports the belt-like glass 510 from below, and a conveyance surface constituted by the conveyance rollers 521 is referred to as a reference conveyance surface. In the present embodiment, the maximum value of the absolute value of the fluctuation amount in the thickness direction of the belt-shaped glass assumed when the reference transport surface is used as a reference is described as a width W. The width W is a value that depends on vibration, deflection, and the like of the strip glass 510 (see FIG. 20). When the thickness of the belt-like glass 510 is 0.1 to 5 mm and the transport roller 521 is used as the transport device, the width W (absolute value) is, for example, 10 mm. In addition, when the strip | belt-shaped glass 510 is thin, it is preferable to make the pitch of the conveyance roller 521 fine.

帯状ガラス510には、その上方を横断するスクライブライン形成ヘッド(以下、単に「ヘッド」という)551によってスクライブライン511が形成される(スクライブライン形成ステップ)。スクライブライン511は、搬送方向540と直交する帯状ガラス510の幅方向541に平行に伸び、かつ搬送方向540について所定の間隔が保たれるように形成される。帯状ガラス510は、搬送方向540の下流側に配置された分断装置(移動ローラ525)によりスクライブライン511において分割され、ガラス板600となる(ガラス分断ステップ)。   A scribe line 511 is formed on the belt-like glass 510 by a scribe line forming head (hereinafter simply referred to as “head”) 551 traversing the glass strip 510 (scribe line forming step). The scribe line 511 is formed so as to extend in parallel with the width direction 541 of the belt-like glass 510 orthogonal to the transport direction 540 and to maintain a predetermined interval in the transport direction 540. The band-shaped glass 510 is divided at the scribe line 511 by a cutting device (moving roller 525) disposed on the downstream side in the transport direction 540 to become a glass plate 600 (glass cutting step).

帯状ガラス510の幅方向541に平行なスクライブライン511を形成するために、ヘッド551は幅方向541に対して斜行して走行する。ヘッド551の斜行走行方向542と幅方向541とは、帯状ガラス510の搬送速度およびヘッド551の走行速度に依存して定まる角度θを形成する。ヘッド551は、斜行走行方向542に平行に帯状ガラス510の上方を横断するガイド(図示省略)に導かれて一定の速度で走行する。便宜上、ヘッド551が走行するラインをヘッド走行ライン550として図19に示す。ヘッド551およびガイドは、クラック伸長装置を構成する。   In order to form a scribe line 511 parallel to the width direction 541 of the belt-like glass 510, the head 551 runs obliquely with respect to the width direction 541. The oblique traveling direction 542 and the width direction 541 of the head 551 form an angle θ that is determined depending on the conveyance speed of the belt-like glass 510 and the traveling speed of the head 551. The head 551 travels at a constant speed by being guided by a guide (not shown) that crosses the upper side of the belt-like glass 510 in parallel with the oblique traveling direction 542. For convenience, a line on which the head 551 travels is shown as a head travel line 550 in FIG. The head 551 and the guide constitute a crack extension device.

ヘッド走行ライン550に沿った図19の断面図を図21として、図21の部分拡大図を図22として示す。ヘッド551は、レーザ光を帯状ガラス510に集光させるための光学システム570と、冷媒を噴射して帯状ガラス510を局部的に冷却するための噴射ノズル580とを備えている。レーザ光および冷媒が帯状ガラス510へ供給される様子を図23に示す。ヘッド551は、帯状ガラス510に初期クラックを形成するクラック形成装置であるカッター519をさらに備えている。   A sectional view of FIG. 19 along the head travel line 550 is shown in FIG. 21, and a partially enlarged view of FIG. 21 is shown in FIG. The head 551 includes an optical system 570 for condensing the laser light on the belt-like glass 510 and an injection nozzle 580 for jetting a coolant to locally cool the belt-like glass 510. A state in which the laser beam and the coolant are supplied to the belt-like glass 510 is shown in FIG. The head 551 further includes a cutter 519 that is a crack forming device that forms an initial crack in the belt-like glass 510.

カッター519は、典型的にはホイールカッターであるが、帯状ガラス510に伸長可能なクラックを形成できる限り、その種類に特段の制限はない。カッター519は、スクライブライン511の起点となる初期クラックを帯状ガラス510に形成する役割を担う。初期クラックは、帯状ガラス510の端部(図19に示した帯状ガラス510の場合には図示右側端部)またはその近傍に形成される。   The cutter 519 is typically a wheel cutter, but there is no particular limitation on the type of the cutter 519 as long as a stretchable crack can be formed in the belt-like glass 510. The cutter 519 plays a role of forming an initial crack, which is a starting point of the scribe line 511, in the belt-like glass 510. The initial crack is formed at or near the end of the strip glass 510 (in the case of the strip glass 510 shown in FIG. 19, the right end in the figure).

スクライブライン511を形成するための初期クラックの伸長は、ヘッド551から供給されるレーザ光517および冷媒518によって実施される。すなわち、クラックの端部に重複させて、レーザ光517による加熱と冷媒518による急冷とを引き続いて適用すると、クラック近傍のガラス表面510fに引っ張り応力が発生し、この引っ張り応力によりクラックが伸長する。ヘッド551は、クラックを伸長させながらヘッド走行ライン550上を(図示した形態では図示左方へと)進んでいく。なお、本実施形態では、初期クラックが伸長して形成されたクラックであって、ガラス分断ステップにおいて該クラックに沿って帯状ガラス510を分断可能なクラックをスクライブライン511と呼ぶ。   Extension of the initial crack for forming the scribe line 511 is performed by the laser beam 517 and the refrigerant 518 supplied from the head 551. In other words, if heating by the laser beam 517 and rapid cooling by the refrigerant 518 are applied successively at the end of the crack, a tensile stress is generated on the glass surface 510f in the vicinity of the crack, and the crack extends due to this tensile stress. The head 551 advances on the head travel line 550 (to the left in the illustrated form) while extending the crack. In the present embodiment, a crack that is formed by extending an initial crack and that can cut the glass strip 510 along the crack in the glass cutting step is referred to as a scribe line 511.

図24に示すように、ヘッド551の走行に伴い、帯状ガラス510において、光学システム570を経由してレーザ光517が照射される被照射領域527、噴射ノズル580から冷媒518が供給される被冷却領域528は、この順にヘッド走行ライン550上を進んでいく。換言すれば、被冷却領域528は被照射領域527に追随しながら、これらの領域はヘッド走行ライン550上を進行する。ヘッド551は、被照射領域527を形成するレーザ光集光装置(光学システム570)、および被冷却領域528を形成する冷却装置(噴射ノズル580)を、各装置の相対的な位置関係を保持したまま、移動させる役割を担う。   As shown in FIG. 24, as the head 551 travels, the belt-like glass 510 is irradiated with the laser beam 517 via the optical system 570, and the coolant 518 is supplied from the injection nozzle 580. The region 528 proceeds on the head travel line 550 in this order. In other words, the region to be cooled 528 follows the irradiated region 527, and these regions travel on the head travel line 550. The head 551 maintains the relative positional relationship between the laser beam condensing device (optical system 570) that forms the irradiated region 527 and the cooling device (jet nozzle 580) that forms the cooled region 528. The role to move is left.

図22に戻って、レーザ光の照射システムおよび冷媒の供給システムについて簡単に説明しておく。ただし、これらのシステムは既に公知のものを特に制限なく使用できる。レーザ光517は、レーザ光発生装置571からレーザビーム拡大装置572およびヘッド551内の集光装置(光学システム570)を経由して帯状ガラス510の被照射領域527へと集光される。光学システム570は、ミラーその他の光学素子573,574,575により構成されている。レーザ光517としては、CO2レーザ、YAGレーザ等を使用できる。冷媒518は、図示を省略する冷媒供給装置からヘッド551に備え付けられた噴射ノズル580を経由して、被冷却領域528へと供給される。冷媒としては、例えば空気、窒素、ヘリウム、水を使用すればよい。 Returning to FIG. 22, the laser light irradiation system and the refrigerant supply system will be briefly described. However, these systems can be used without any particular limitation. The laser beam 517 is condensed from the laser beam generator 571 to the irradiated region 527 of the belt-like glass 510 via the laser beam expanding device 572 and the condensing device (optical system 570) in the head 551. The optical system 570 includes mirrors and other optical elements 573, 574, and 575. As the laser beam 517, a CO 2 laser, a YAG laser, or the like can be used. The refrigerant 518 is supplied from a refrigerant supply device (not shown) to the area to be cooled 528 via an injection nozzle 580 provided in the head 551. For example, air, nitrogen, helium, or water may be used as the refrigerant.

図25に示すように、光学素子573,574,575は、光学素子573,574,575よりもレーザ光517の進行方向側において、レーザ光517がビームウエスト517wを形成するように構成されている(なお、図25は、光学素子573,574,575よりもレーザ光517の進行方向側に部材を配置しない場合のレーザ光517の光路を示す)。本実施形態では、基準搬送面561からみて搬送装置(搬送ローラ521)と反対側に帯状ガラス510の厚さtだけ離れた基準位置562にレーザ光517のビームウエスト517wが設定されるようにレーザ光を照射する(図23参照)。また、本実施形態では、噴射ノズル580の延伸方向(冷媒を噴射するための開口方向)と、基準搬送面561に垂直な方向との間に角度φが形成されている。これにより、幅方向541の上流側から被冷却領域528へと、帯状ガラス510の厚さ方向に対して傾斜した方向に沿って冷媒518を噴射でき、被冷却領域528が被照射領域527から離間することを防止できる。角度φは、例えば0〜60°である。   As shown in FIG. 25, the optical elements 573, 574, and 575 are configured such that the laser beam 517 forms a beam waist 517w on the traveling direction side of the laser beam 517 relative to the optical elements 573, 574, and 575. (Note that FIG. 25 shows the optical path of the laser beam 517 when no member is disposed on the traveling direction side of the laser beam 517 relative to the optical elements 573, 574, and 575). In the present embodiment, the laser beam 517w is set so that the beam waist 517w of the laser beam 517 is set at a reference position 562 that is separated from the transport device (transport roller 521) by the thickness t of the belt-like glass 510 on the side opposite the transport device 561. Irradiate light (see FIG. 23). In the present embodiment, an angle φ is formed between the extending direction of the injection nozzle 580 (the opening direction for injecting the refrigerant) and the direction perpendicular to the reference transport surface 561. Accordingly, the coolant 518 can be injected from the upstream side in the width direction 541 to the cooled region 528 along the direction inclined with respect to the thickness direction of the strip glass 510, and the cooled region 528 is separated from the irradiated region 527. Can be prevented. The angle φ is, for example, 0 to 60 °.

レーザ光の出力は特に限定されないが、典型的には30W以上100W以下である。レーザ光の出力が過度に大きい場合には、帯状ガラス510が完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、所望の方向以外の方向に伸長するクラック)が生じたりすることがある。一方、過度に小さい場合には初期クラックの伸長が難しくなる。   The output of the laser beam is not particularly limited, but is typically 30 W or more and 100 W or less. When the output of the laser beam is excessively large, the strip glass 510 may be completely divided or an unintended crack (for example, a crack extending in a direction other than a desired direction) may occur. On the other hand, if it is too small, it is difficult to extend the initial crack.

被照射領域527の長さは、例えば、10mm以上200mm以下であり、また例えば、10mm以上100mm以下である。また、被照射領域527の幅は、例えば、0.1mm以上3mm以下である。   The length of the irradiated region 527 is, for example, not less than 10 mm and not more than 200 mm, and for example, not less than 10 mm and not more than 100 mm. Further, the width of the irradiated region 527 is, for example, not less than 0.1 mm and not more than 3 mm.

スクライブライン511が形成された帯状ガラス510は、搬送方向540の下流側でスクライブライン511に沿って分断される。図26(a)(b)に示すように、帯状ガラス510のスクライブライン511が近づいてくると、移動ローラ525は帯状ガラス510をその厚さ方向に持ち上げる。持ち上げられた帯状ガラス510の自重により生じた応力によってスクライブライン511を構成するクラックが伸長して帯状ガラス510が割断される。より具体的に述べると、ガラス分断装置である移動ローラ525は、移動ローラ525と接している部分の変位量が最大となるように帯状ガラス510を持ち上げ、スクライブライン511での分断を進行させる。図26(c)に示すように、分断が完了した後、移動ローラ525は下方へと引き下がって次の分断に備える。   The band-like glass 510 on which the scribe line 511 is formed is divided along the scribe line 511 on the downstream side in the transport direction 540. As shown in FIGS. 26A and 26B, when the scribe line 511 of the belt-like glass 510 approaches, the moving roller 525 lifts the belt-like glass 510 in the thickness direction. Cracks constituting the scribe line 511 extend due to the stress generated by the weight of the raised glass strip 510, and the glass strip 510 is broken. More specifically, the moving roller 525, which is a glass cutting device, lifts the belt-like glass 510 so that the displacement amount of the portion in contact with the moving roller 525 is maximized, and advances the cutting along the scribe line 511. As shown in FIG. 26C, after the division is completed, the moving roller 525 is pulled down to prepare for the next division.

スクライブライン511に応力が加わるように、移動ローラ525は、スクライブライン511を跨ぐ上流側(図示左方)および下流側(図示右方)の両方において、帯状ガラス510をその裏面を支持しながら上方へと持ち上げる(図26(b))。その後の移動ローラ525の下降に伴い、一旦上方へと移動した帯状ガラス510の下流端510eは下方へと戻ることになる(図26(c))。   The moving roller 525 supports the belt-like glass 510 while supporting the back surface thereof on both the upstream side (the left side in the figure) and the downstream side (the right side in the figure) across the scribe line 511 so that stress is applied to the scribe line 511. (Fig. 26 (b)). As the moving roller 525 subsequently descends, the downstream end 510e of the strip glass 510 once moved upward returns to the lower side (FIG. 26 (c)).

なお、本実施形態では、自重により生じた応力によりスクライブライン511での分断を進行させているが、移動ローラ525の上昇時に、移動ローラ525の搬送方向540上流側または下流側において帯状ガラス510の表面510fを上方から押さえつけることにより分断を進行させてもよい。このようにすれば、薄く、軽い帯状ガラス510を分断する場合であっても、分断に要する応力を確保し易い。   In this embodiment, the cutting at the scribe line 511 is caused to proceed by the stress generated by its own weight. However, when the moving roller 525 is raised, the strip glass 510 is moved upstream or downstream in the conveying direction 540 of the moving roller 525. The cutting may be advanced by pressing the surface 510f from above. In this way, even when the thin and light strip glass 510 is divided, it is easy to ensure the stress required for the division.

本実施形態のスクライブライン形成ステップでは、帯状ガラス510の表面510fに、レーザ光517が照射される被照射領域527および冷媒518が噴射される被冷却領域528を設定するとともに、被冷却領域528が被照射領域527に追随するように被照射領域527および被冷却領域528を帯状ガラス510に対して所定方向(幅方向541)へと相対速度VRで相対的に移動させながら被冷却領域528へと初期クラックを伸長させることにより、スクライブライン511を形成する。その後、ガラス分断ステップにおいて、スクライブライン511に沿って帯状ガラス510を分断する。また、本実施形態では、相対速度VRは、スクライブライン形成ステップの前に実施される相対速度設定ステップにおいて設定される。以下、相対速度設定ステップについて具体的に説明する。 In the scribe line forming step of the present embodiment, the irradiated region 527 irradiated with the laser beam 517 and the cooled region 528 injected with the coolant 518 are set on the surface 510f of the belt-like glass 510, and the cooled region 528 is The irradiated region 527 and the cooled region 528 are moved relative to the belt-like glass 510 in a predetermined direction (width direction 541) at a relative speed V R so as to follow the irradiated region 527, to the cooled region 528. The scribe line 511 is formed by extending the initial crack. Then, in the glass cutting step, the strip glass 510 is cut along the scribe line 511. In the present embodiment, the relative speed V R is set in a relative speed setting step that is performed before the scribe line forming step. Hereinafter, the relative speed setting step will be specifically described.

相対速度設定ステップは、第1特定サブステップ、第2特定サブステップおよび決定サブステップを具備している。本実施形態では、これらのサブステップはこの順で実施される。ただし、第1特定サブステップは第2特定サブステップの後に実施されてもよい。   The relative speed setting step includes a first specific substep, a second specific substep, and a determination substep. In this embodiment, these substeps are performed in this order. However, the first specific substep may be performed after the second specific substep.

第1特定サブステップでは、帯状ガラス510の裏面510bが基準搬送面561に接した状態で帯状ガラス510が搬送されているときに、スクライブライン511を形成可能な被照射領域527と帯状ガラス510との相対速度の下限値V1を特定する。第1特定サブステップは、例えば、板状ガラスの表面の位置にレーザ光のビームウエストを設定した状態で、該レーザ光を該板状ガラスに対して相対速度VRPで相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスの表面に照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VRPの下限値を測定することにより実施してもよい。 In the first specific sub-step, when the strip glass 510 is transported in a state where the back surface 510b of the strip glass 510 is in contact with the reference transport surface 561, the irradiated region 527 and the strip glass 510 that can form the scribe line 511 The lower limit value V 1 of the relative speed is specified. First specific sub-step, for example, while setting the beam waist of the laser beam on the position of the surface of the plate-like glass, while relatively moving at a relative speed V RP said laser beam to said plate glass and irradiating the laser beam on the surface of the plate-like glass, in an off-line experiment of forming a scribe line on the plate-like glass, was performed by measuring the lower limit of formable relative velocity V RP said scribe line May be.

第2特定サブステップでは、帯状ガラス510の裏面510bが基準搬送面561からみて帯状ガラス510の裏面510bから表面510fに向かう厚さ方向に幅W変動したときに、スクライブライン511を形成可能な被照射領域527と帯状ガラス510との相対速度の上限値V2を特定する。第2特定サブステップは、例えば、板状ガラスの表面の位置からみて該板状ガラスの表面から裏面に向かう該板状ガラスの厚さ方向に幅W移動した位置にビームウエストを設定した状態で、該レーザ光を該板状ガラスに対して相対速度VRPで相対的に移動させながら該レーザ光を該板状ガラスの表面に照射して、該板状ガラスにスクライブラインを形成するオフライン実験において、該スクライブラインを形成可能な相対速度VRPの上限値を測定することにより実施してもよい。 In the second specific sub-step, the scribe line 511 can be formed when the back surface 510b of the belt-like glass 510 changes in the width W in the thickness direction from the back surface 510b of the belt-like glass 510 to the front surface 510f when viewed from the reference transport surface 561. The upper limit value V 2 of the relative speed between the irradiation region 527 and the strip glass 510 is specified. The second specific sub-step is, for example, in a state where the beam waist is set at a position where the width W is moved in the thickness direction of the sheet glass from the surface of the sheet glass toward the back surface as viewed from the position of the surface of the sheet glass. offline experiments while relatively moving at a relative speed V RP of the laser beam relative to the plate-like glass is irradiated with the laser beam on the surface of the plate-like glass, forming a scribe line on the plate-like glass in may be performed by measuring the upper limit of formable relative velocity V RP the scribe line.

決定サブステップでは、V1≦VR≦V2を満たすように、相対速度VRを決定する。 In the determination substep, the relative speed V R is determined so as to satisfy V 1 ≦ V R ≦ V 2 .

後述の検討により把握されるように、帯状ガラス510にスクライブライン511を形成可能とするためには、相対速度VRを、所定の範囲内に設定する必要がある。この所定の範囲は、振動等により帯状ガラス510の表面510fが基準位置562から離れるに従い低い側にシフトする。より詳細には、この所定の範囲は、帯状ガラス510の表面510fが裏面510bから表面510fに向かう方向に変動した場合には、表面510fから裏面510bに向かう方向に変動した場合に比べて、より顕著に低い側にシフトする傾向がある。本実施形態では、この傾向を考慮して、帯状ガラス510の表面510fが基準位置562からみて裏面510bから表面510fに向かう方向に幅W変動したときであってもスクライブライン511が形成され得るように、相対速度VRの範囲の上限をV2に設定している。これにより、帯状ガラス510の表面510fの基準位置562からの位置変動が幅W以内であれば、帯状ガラス510の厚さ方向のいずれの向きに変動しても、相対速度VRが速過ぎてスクライブライン511が形成されなくなる事態を回避できる。また、帯状ガラス510の表面510fが基準位置562に存在するときにもスクライブライン511が形成され得るように、相対速度VRの範囲の下限をV1に設定している。これにより、帯状ガラス510の表面510fの基準位置562からの位置変動が幅W以内である場合において、相対速度VRが遅過ぎてスクライブライン511が形成されなくなる事態を回避できる。すなわち、本実施形態によれば、帯状ガラス510の表面510fの基準位置562からの位置変動が幅W以内である場合において、確実にスクライブライン511を形成できる。 As understood by consideration of the later, in order to enable a scribe line 511 to the ribbon 510, the relative speed V R, it is necessary to set within a predetermined range. This predetermined range shifts to a lower side as the surface 510f of the glass strip 510 moves away from the reference position 562 due to vibration or the like. More specifically, this predetermined range is more when the front surface 510f of the belt-like glass 510 changes in the direction from the back surface 510b to the front surface 510f than when it changes in the direction from the front surface 510f to the back surface 510b. There is a tendency to shift to a significantly lower side. In the present embodiment, in consideration of this tendency, the scribe line 511 can be formed even when the front surface 510f of the belt-like glass 510 changes in the width W in the direction from the back surface 510b to the front surface 510f when viewed from the reference position 562. In addition, the upper limit of the range of the relative speed V R is set to V 2 . Thus, if the position change is within the width W from the reference position 562 of the surface 510f of the ribbon 510, be varied in any direction in the thickness direction of the ribbon 510, the relative speed V R is too fast A situation in which the scribe line 511 is not formed can be avoided. Further, the lower limit of the range of the relative speed V R is set to V 1 so that the scribe line 511 can be formed even when the surface 510 f of the belt-like glass 510 exists at the reference position 562. Thus, in the case the position change from the reference position 562 of the surface 510f of the ribbon 510 is within a width W, it can avoid a situation where scribe lines 511 relative velocity V R is too late can not be formed. That is, according to the present embodiment, the scribe line 511 can be reliably formed when the position fluctuation of the surface 510f of the belt-like glass 510 from the reference position 562 is within the width W.

なお、相対速度VRの範囲の下限を、帯状ガラス510の表面510fが基準位置562に存在するときにスクライブライン511を形成するための相対速度の最小値であるV1よりも大きな値、例えば(V1+V2)/2に設定してもよい。このように相対速度VRを設定すれば、斜行走行方向542と幅方向541との間に形成される角度θを比較的小さな値に設定できるため、切断装置の設計の自由度が向上する。 Note that the lower limit of the range of the relative speed V R is set to a value larger than V 1, which is the minimum value of the relative speed for forming the scribe line 511 when the surface 510f of the strip glass 510 exists at the reference position 562, for example, It may be set to (V 1 + V 2 ) / 2. If the relative speed V R is set in this way, the angle θ formed between the oblique traveling direction 542 and the width direction 541 can be set to a relatively small value, so that the degree of freedom in designing the cutting device is improved. .

また、相対速度設定ステップの前に、搬送装置により帯状ガラス510を搬送する際の、帯状ガラス510の厚さ方向の変動量の絶対値の最大値を測定し、幅Wを該最大値とする変動量評価ステップを実施してもよい。変動量評価ステップを実施すれば、幅Wを正確に特定できる。ただし、幅Wとして、搬送装置の仕様等に基づいて定められた値を採用してもよく、経験則によって定められた値を採用してもよい。   Further, before the relative speed setting step, the maximum value of the absolute value of the amount of variation in the thickness direction of the strip glass 510 when the strip glass 510 is transported by the transport device is measured, and the width W is set as the maximum value. A fluctuation amount evaluation step may be performed. If the variation amount evaluation step is performed, the width W can be accurately specified. However, as the width W, a value determined based on the specifications of the transfer device or the like may be employed, or a value determined by an empirical rule may be employed.

(参考実施形態B2)
参考実施形態B2における各部材は図19を参照して上記で既に説明したので、ここでは説明を省略する。
(Reference embodiment B2)
Each member in the reference embodiment B2 has already been described above with reference to FIG.

参考実施形態B2では、相対速度設定ステップが省略されている。ただし、参考実施形態B2では、基準搬送面561からみて搬送装置と反対側に帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置562に対し、レーザ光517のビームウエスト517wが帯状ガラス510の裏面510bから表面510fに向かう方向に(すなわち、搬送装置とは反対側に)離間するようにレーザ光517を照射する(図27参照)。後述の検討により把握されるように、帯状ガラス510にスクライブライン511を形成可能な相対速度VRの範囲は、帯状ガラス510の表面510fが裏面510bから表面510fに向かう方向に変動した場合には、表面510fから裏面510bに向かう方向に変動した場合に比べて、より顕著に低い側にシフトする(すなわち、帯状ガラス510の表面510fが裏面510bから表面510fに向かう方向に変動した場合と、表面510fから裏面510bに向かう方向に変動した場合とで、帯状ガラス510にスクライブライン511を形成可能な相対速度VRの範囲は非対称にシフトする)。本実施形態のように、基準位置562に対し、レーザ光517のビームウエスト517wが帯状ガラス510の裏面510bから表面510fに向かう方向に離間するようにレーザ光517を照射すれば、上記の非対称性が緩和され、結果的にスクライブライン511が形成されない事態が生じ難くなる。 In the reference embodiment B2, the relative speed setting step is omitted. However, in the reference embodiment B2, the beam waist 517w of the laser beam 517 is from the back surface 510b of the strip glass 510 with respect to the reference position 562 that is separated from the transport device by the thickness t of the strip glass as viewed from the reference transport surface 561. The laser beam 517 is irradiated so as to be separated in the direction toward the surface 510f (that is, on the side opposite to the conveying device) (see FIG. 27). As will be understood from the following discussion, the range of the relative speed V R at which the scribe line 511 can be formed on the belt-like glass 510 is when the surface 510f of the belt-like glass 510 changes in the direction from the back surface 510b toward the surface 510f. Compared with the case where the surface changes from the front surface 510f toward the back surface 510b, the surface shifts to a significantly lower side (that is, when the surface 510f of the belt-like glass 510 changes from the back surface 510b toward the surface 510f, The range of the relative speed V R at which the scribe line 511 can be formed on the belt-like glass 510 is shifted asymmetrically when it fluctuates in the direction from 510f toward the back surface 510b). If the laser beam 517 is irradiated with respect to the reference position 562 so that the beam waist 517w of the laser beam 517 is separated from the back surface 510b of the belt-like glass 510 toward the front surface 510f as in the present embodiment, the above asymmetry is achieved. As a result, a situation in which the scribe line 511 is not formed is less likely to occur.

レーザ光517のビームウエスト517wと基準位置562との間隔は、帯状ガラス510の表面510fが裏面510bから表面510fに向かう方向に変動した場合にスクライブライン511が形成されない事態が生じ難くなり、かつ、帯状ガラス510が表面510fから裏面510bに向かう方向に変動した場合にスクライブライン511が形成されないおそれが過度に大きくならないように設定することが好ましい。例えば、レーザ光517のビームウエスト517wと基準位置562との間隔を0mmよりも大きく5mm以下とすればよく、また例えば0.5mm以上4mm以下とすればよい。   The interval between the beam waist 517w of the laser beam 517 and the reference position 562 is less likely to occur when the front surface 510f of the belt-like glass 510 changes in the direction from the back surface 510b to the front surface 510f, and the scribe line 511 is not formed. It is preferable to set so that the risk that the scribe line 511 is not formed is not excessively increased when the band-like glass 510 changes in the direction from the front surface 510f toward the back surface 510b. For example, the distance between the beam waist 517w of the laser beam 517 and the reference position 562 may be greater than 0 mm and not greater than 5 mm, and may be, for example, not less than 0.5 mm and not greater than 4 mm.

なお、参考実施形態B2では、相対速度設定ステップが省略されているが、相対速度設定ステップを実施してもよい。この場合、第1特定サブステップにおいて、基準位置562にビームウエストが設定されたと仮定した場合に、帯状ガラス510の裏面510bが基準搬送面561に接した状態で帯状ガラス510が搬送されているときに、スクライブライン511を形成可能な被照射領域527と帯状ガラス510との相対速度の下限値V1を特定し、第2特定サブステップにおいて、基準位置562にビームウエストが設定されたと仮定した場合に、帯状ガラス510の裏面510bが基準搬送面561からみて帯状ガラス510の裏面510bから表面510fに向かう厚さ方向に幅W変動したときに、スクライブライン511を形成可能な被照射領域527と帯状ガラス510との相対速度の上限値V2を特定すればよい。 In the reference embodiment B2, the relative speed setting step is omitted, but the relative speed setting step may be performed. In this case, when it is assumed that the beam waist is set at the reference position 562 in the first specific sub-step, the strip-shaped glass 510 is transported with the back surface 510b of the strip-shaped glass 510 in contact with the reference transport surface 561. When the lower limit V 1 of the relative velocity between the irradiated region 527 capable of forming the scribe line 511 and the belt-like glass 510 is specified, and it is assumed that the beam waist is set at the reference position 562 in the second specifying substep. Furthermore, when the back surface 510b of the belt-like glass 510 changes in the width W in the thickness direction from the back surface 510b of the belt-like glass 510 toward the front surface 510f when viewed from the reference transport surface 561, the irradiated region 527 capable of forming the scribe line 511 and the belt-like shape. What is necessary is just to identify the upper limit V 2 of the relative speed with the glass 510.

以下、帯状ガラス510の厚さ方向の位置と、相対速度VRの上限値および下限値との関係を確認するために行ったオフライン実験について、図28を参照しながら説明する。 Hereinafter, the position in the thickness direction of the ribbon 510, the off-line experiments conducted to confirm the relationship between the upper limit and the lower limit of the relative speed V R, will be described with reference to FIG. 28.

(実験B1)
板状ガラス810として、厚さ0.33mm、短辺長100mm、長辺長200mmの寸法を有し、質量%により表示して下記の各成分を有するソーダライムガラス板を準備した。
(Experiment B1)
As the plate glass 810, a soda lime glass plate having a thickness of 0.33 mm, a short side length of 100 mm, and a long side length of 200 mm, expressed in mass% and having the following components was prepared.

SiO2:71.9%
Al23:1.7%
MgO:4.0%
CaO:8.0%
Na2O:13.5%
2O:0.9%
SiO 2 : 71.9%
Al 2 O 3 : 1.7%
MgO: 4.0%
CaO: 8.0%
Na 2 O: 13.5%
K 2 O: 0.9%

板状ガラス810の長辺に沿う方向が搬送用テーブル890の搬送方向842に一致するように、板状ガラス810を搬送用テーブル890に固定した。   The plate glass 810 was fixed to the transfer table 890 so that the direction along the long side of the plate glass 810 coincided with the transfer direction 842 of the transfer table 890.

搬送用テーブル890を静止させた状態で、板状ガラス810に初期クラック861を形成した。具体的には、板状ガラス810の一方の短辺810a上の一点を始端とし、短辺810bに向かって延びる、長さが10mmの初期クラック861を形成した。初期クラック861は、焼結ダイヤモンドカッターホイール(外径φ2.5mm、厚み1.0mm、内径φ1.1mm、刃先角度135度)を用いて形成した。   An initial crack 861 was formed in the sheet glass 810 while the transfer table 890 was stationary. Specifically, an initial crack 861 having a length of 10 mm extending from the one point on one short side 810a of the plate glass 810 to the short side 810b was formed. The initial crack 861 was formed using a sintered diamond cutter wheel (outer diameter φ2.5 mm, thickness 1.0 mm, inner diameter φ1.1 mm, blade edge angle 135 degrees).

次に、搬送用テーブル890を移動させながら、板状ガラス810の表面にレーザ光817を照射し、さらに水(冷媒)818を噴射した。具体的には、まず、被照射領域827および被冷却領域828が短辺810aよりも搬送方向842前方の位置に初期設定され、初期クラック861の長軸と被照射領域827の長軸とが一致して両長軸の間隔Δxが0μmとなるように搬送テーブル890の位置を初期設定した。次に、被照射領域827が長さ24mm、幅1mmの寸法を有し、板状ガラス810の表面上にレーザ光817のビームウエスト817wが形成されるとともに、被冷却領域828が被照射領域827の長さ方向の一端に接するようにレーザ光集光装置および冷却装置を調整した(図28(a))。次に、被照射領域827および被冷却領域828の位置が固定された状態を維持しつつ、これらの位置が短辺810bの搬送方向842下流側となるまで搬送テーブル890を搬送方向842に384mm/sの速度(相対速度VRP)で移動させた(図28(b)(c))。このときに形成されたスクライブライン(クラック862)の深さを調べた。 Next, while moving the transfer table 890, the surface of the plate glass 810 was irradiated with laser light 817 and water (refrigerant) 818 was jetted. Specifically, first, the irradiated region 827 and the cooled region 828 are initially set at positions ahead of the short side 810a in the transport direction 842, and the major axis of the initial crack 861 and the major axis of the irradiated region 827 are equal. Then, the position of the transfer table 890 was initially set so that the distance Δx between the two long axes was 0 μm. Next, the irradiated region 827 has a length of 24 mm and a width of 1 mm, a beam waist 817 w of the laser light 817 is formed on the surface of the plate glass 810, and the cooled region 828 is the irradiated region 827. The laser beam condensing device and the cooling device were adjusted so as to be in contact with one end in the length direction (FIG. 28A). Next, while maintaining the positions of the irradiated region 827 and the cooled region 828 fixed, the transport table 890 is moved to 384 mm / second in the transport direction 842 until these positions are downstream of the short side 810b in the transport direction 842. It was moved at a speed of s (relative speed V RP ) (FIGS. 28B and 28C ). The depth of the scribe line (crack 862) formed at this time was examined.

具体的に、CO2レーザ発振器(UNIVERSAL LASER SYSTEMS製 ULC−100)から出力された60Wのレーザ光を、2枚のアキシコンレンズ、シリンドリカルレンズ(焦点深度F=5mm)およびミラーを用いて屈折および反射させて被照射領域827を設定した(以下、CO2レーザ発振器、2枚のアキシコンレンズ、シリンドリカルレンズおよびミラーをまとめて光学システムと呼ぶことがある)。また、ノズル(エバーロイ製 ミニミスト04−10−13)から噴射量5.0ml/minの水を噴射することにより被冷却領域828を設定した。ノズルは、搬送テーブル890の主面に垂直な方向からみて、搬送方向842の上流側から下流側に向かう方向にφ=20°傾斜した方向に開口するように設置した。また、搬送テーブル890の主面との間に10.5mmの間隔が形成されるように、ノズルを配置した。 Specifically, a 60 W laser beam outputted from a CO 2 laser oscillator (ULC-100 manufactured by UNIVERSAL LASER SYSTEMS) is refracted and reflected using two axicon lenses, a cylindrical lens (depth of focus F = 5 mm) and a mirror. The irradiated region 827 was set by reflection (hereinafter, a CO 2 laser oscillator, two axicon lenses, a cylindrical lens, and a mirror may be collectively referred to as an optical system). Moreover, the to-be-cooled area | region 828 was set by injecting the water of the injection amount 5.0 ml / min from a nozzle (Everloy minimist 04-10-13). The nozzles were installed so as to open in a direction inclined by φ = 20 ° in the direction from the upstream side to the downstream side in the conveyance direction 842 when viewed from the direction perpendicular to the main surface of the conveyance table 890. Further, the nozzles were arranged so that a gap of 10.5 mm was formed between the main surface of the transfer table 890.

次に、搬送テーブル890の移動速度を順次変更して、同様の実験を繰り返し行った。また、光学システムおよびノズルを搬送テーブル890の主面に垂直な方向に順次移動させて(光学システムおよびノズルの高さを順次変更して)、同様の実験を行った。結果を表7に示す。なお、表7では、高さが0mmであることは搬送テーブル890の主面とノズルとの間に10.5mmの間隔が形成された状態を示し、高さが正であることは光学システムおよびノズルが板状ガラス810から遠ざかっている状態を示し、高さが負であることは光学システムおよびノズルが板状ガラス810に近づいている状態を示す。また、表7中の、移動速度および高さ以外の数値は、形成されたスクライブラインを構成するクラック(垂直クラック)862の深さ(μm)を示す(例えば、表7は、搬送テーブル890の移動速度が192mm/s、高さが−3.8mmのときに、深さが120μmのスクライブラインが形成されたことを示す)。なお、数値に括弧が付されていることは、所定の深さを有するクラックが形成されたものの、形成されたクラックに沿った板状ガラス810の分断が不可能であったこと(つまり、形成されたクラックが、本発明で特定しているような分断ステップの実施に足りるスクライブラインではないこと)を示す。Nは、初期クラック861が全く伸長しなかったことを示す。Fは、板状ガラス810が完全に分断されたことを示す。   Next, the moving speed of the transfer table 890 was sequentially changed, and the same experiment was repeated. The same experiment was performed by sequentially moving the optical system and the nozzle in a direction perpendicular to the main surface of the transfer table 890 (by sequentially changing the height of the optical system and the nozzle). The results are shown in Table 7. In Table 7, a height of 0 mm indicates a state in which a space of 10.5 mm is formed between the main surface of the transfer table 890 and the nozzle, and a height of positive indicates that the optical system and A state in which the nozzle is moving away from the sheet glass 810 and a negative height indicates a state in which the optical system and the nozzle are approaching the sheet glass 810. The numerical values other than the moving speed and the height in Table 7 indicate the depth (μm) of the crack (vertical crack) 862 constituting the formed scribe line (for example, Table 7 shows the transfer table 890). This indicates that a scribe line having a depth of 120 μm was formed when the moving speed was 192 mm / s and the height was −3.8 mm). It should be noted that the parentheses attached to the numerical values indicate that although a crack having a predetermined depth was formed, it was impossible to divide the sheet glass 810 along the formed crack (that is, formation) The cracks made are not scribe lines sufficient to perform the cutting step as specified in the present invention). N indicates that the initial crack 861 did not expand at all. F indicates that the glass sheet 810 is completely divided.

実験B1の結果には、スクライブライン(初期クラック861が伸長して形成されたクラックのうち、自身に沿って板状ガラス810を分断可能なもの。以下同じ)が形成される場合の搬送テーブル890の移動速度には最小値および最大値が存在することが表れている。最小値が存在するのは、搬送テーブル890の移動速度が過度に遅い場合には、板状ガラス810に供給される単位面積当たりの熱量が過大となり、板状ガラス810が完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、水平クラック)が生じたりするためである。一方、最大値が存在するのは、搬送テーブル890の移動速度が過度に速い場合には、板状ガラス810に供給される単位面積当たりの熱量が過小となり、スクライブラインの伸長に必要な応力が生じないためである。表7において数値に括弧が付されたケースにおいて板状ガラス810の分断が不可能であった理由は定かではないが、板状ガラス810に供給される単位面積当たりの熱量が過大となり、冷媒818が到達する前にクラックが伸長した結果、クラックの断面の平滑性が不十分となったり、クラックの伸長方向が所定の方向からわずかに逸れたりしていた可能性がある。   The result of Experiment B1 is a transfer table 890 in the case where a scribe line (a crack formed by extending the initial crack 861 that can sever the glass sheet 810 along itself, hereinafter the same) is formed. It can be seen that there is a minimum value and a maximum value in the moving speed of. The minimum value exists because when the moving speed of the transfer table 890 is excessively low, the amount of heat per unit area supplied to the plate glass 810 becomes excessive, and the plate glass 810 is completely divided, This is because unintended cracks (for example, horizontal cracks) may occur. On the other hand, the maximum value exists when the moving speed of the transfer table 890 is excessively high, the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 810 becomes too small, and the stress necessary for the extension of the scribe line is present. This is because it does not occur. In Table 7, the reason why the sheet glass 810 could not be divided in the cases where the numerical values are parenthesized is not clear, but the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 810 becomes excessive, and the refrigerant 818 As a result of the elongation of the crack before reaching, there is a possibility that the smoothness of the cross section of the crack becomes insufficient, or the elongation direction of the crack is slightly deviated from the predetermined direction.

また、実験B1の結果から、スクライブラインが形成されるための条件は、光学システムおよびノズルの高さによって異なることが把握される。表8および図29に、光学システムおよびノズルの高さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブル890の移動速度(最小値および最大値)との関係を示す。   Further, from the result of Experiment B1, it is understood that the conditions for forming the scribe line differ depending on the height of the optical system and the nozzle. Table 8 and FIG. 29 show the relationship between the height of the optical system and the nozzle and the moving speed (minimum value and maximum value) of the transfer table 890 when a scribe line is formed.

表8および図29に示されるように、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル890の移動速度の最小値および最大値は、光学システムおよびノズルの高さが0mmから離れるに従って低下する傾向がある。これは、実験B1においては、高さが0mmの場合にレーザ光817のビームウエスト817wが板状ガラス810の表面に形成されるようにレーザ光を照射しているためである。   As shown in Table 8 and FIG. 29, the minimum value and the maximum value of the moving speed of the transfer table 890 that can form a scribe line tend to decrease as the height of the optical system and the nozzle moves away from 0 mm. This is because in Experiment B1, when the height is 0 mm, the laser beam is irradiated so that the beam waist 817w of the laser beam 817 is formed on the surface of the plate glass 810.

より詳細には、高さが0mmから低くなる場合には、0mmから高くなる場合に比べて最小値および最大値の低下率が大きい。この現象は、下記のように説明される。すなわち、光学システムおよびノズルの高さが0mmのときには、冷却領域828が被照射領域827の長さ方向の一端に接する(図30)。これに対し、0mmから高くなると、被冷却領域828と被照射領域827とが重複した重複領域829が生じる(図31)。重複領域829が生じると、レーザ光817が板状ガラス810に与える熱量が低下するため、板状ガラス810に生じる応力が低下し、スクライブラインが形成され難くなる。一方、0mmから低くなると、被冷却領域828と被照射領域827との間に隙間830が生じる(図32)。隙間830が生じると、板状ガラス810がレーザ光817によって加熱されてから、冷媒818によって冷却されるまでの間に時間的なブランクが生じるため、板状ガラス810に生じる応力が低下し、スクライブラインが形成され難くなる。隙間830が生じた場合の方が、重複領域829が生じた場合よりも応力の低下量が大きいため、高さが0mmから低くなる場合には、0mmから高くなる場合に比べて最小値および最大値の低下率が大きくなっていると考えられる。   More specifically, when the height is reduced from 0 mm, the reduction rate of the minimum value and the maximum value is larger than when the height is increased from 0 mm. This phenomenon is explained as follows. That is, when the height of the optical system and the nozzle is 0 mm, the cooling region 828 is in contact with one end in the length direction of the irradiated region 827 (FIG. 30). On the other hand, when it becomes high from 0 mm, the overlapping area | region 829 where the to-be-cooled area | region 828 and the to-be-irradiated area | region 827 overlapped will arise (FIG. 31). When the overlapping region 829 occurs, the amount of heat that the laser beam 817 gives to the plate glass 810 decreases, so that the stress generated in the plate glass 810 decreases and it becomes difficult to form a scribe line. On the other hand, when it is lowered from 0 mm, a gap 830 is generated between the cooled region 828 and the irradiated region 827 (FIG. 32). When the gap 830 is generated, a time blank is generated between the time when the plate glass 810 is heated by the laser light 817 and until it is cooled by the refrigerant 818. Therefore, the stress generated in the plate glass 810 is reduced, and the scribe is performed. Lines are difficult to form. When the gap 830 is generated, the amount of decrease in stress is larger than when the overlap region 829 is generated. Therefore, when the height is reduced from 0 mm, the minimum value and the maximum value are increased as compared with the case where the height is increased from 0 mm. It is thought that the rate of decrease in the value has increased.

表8および図29に示す結果から、搬送中の帯状ガラス510が、レーザ光517および冷媒518が供給される表面510f側に変動した場合には、裏面510b側に変動した場合よりもスクライブライン511が形成されない事態が発生し易いと言える。これを考慮すると、基準位置562よりもややレーザ光517の照射側にレーザ光517のビームウエスト517wを設定すれば、帯状ガラス510が、表面510f側に変動した場合と裏面510b側に変動した場合との非対称性が緩和され、結果的にスクライブライン511が形成されない事態を招き難くなると言える。また、帯状ガラス510が表面510f側に想定される最大量変動した場合に合わせて相対速度VRを設定すれば、裏面510b側に同程度変動しても、スクライブライン511が形成されない事態を回避できると言える。 From the results shown in Table 8 and FIG. 29, when the belt-like glass 510 being conveyed fluctuates toward the front surface 510f to which the laser beam 517 and the refrigerant 518 are supplied, the scribe line 511 is more than when fluctuated toward the back surface 510b. It can be said that the situation where no is formed is likely to occur. Considering this, when the beam waist 517w of the laser beam 517 is set slightly on the irradiation side of the laser beam 517 from the reference position 562, the band-shaped glass 510 changes to the front surface 510f side and the back surface 510b side. As a result, it can be said that it is difficult to invite a situation in which the scribe line 511 is not formed. Further, by setting the relative speed V R in accordance with the case where the maximum amount of variation ribbon 510 is assumed on the surface 510f side, even if the same level fluctuation on the back surface 510b side, avoid a situation in which the scribe lines 511 are not formed I can say that.

参考実施形態B1およびB2を併せて参照することにより、下記の発明を導くことができる。   By referring to the reference embodiments B1 and B2 together, the following invention can be derived.

(参考発明B1)
成形装置から搬出された帯状ガラスを、搬送装置によって定まる基準搬送面を基準にしたときの前記帯状ガラスの厚さ方向の変動量の絶対値が幅W以下である状態で、前記基準搬送面に沿った方向へと前記搬送装置を用いて搬送しながら切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの表面に、レーザ光が照射される被照射領域および冷媒が噴射される被冷却領域を設定するとともに、前記被冷却領域が前記被照射領域に追随するように前記被照射領域および前記被冷却領域を前記帯状ガラスに対して所定方向へと相対速度VRで相対的に移動させながら前記被冷却領域へと初期クラックを伸長させることにより、スクライブラインを形成するスクライブライン形成ステップと、
前記スクライブラインに沿って前記帯状ガラスを分断するガラス分断ステップと、
前記スクライブライン形成ステップの前に、相対速度VRを設定する相対速度設定ステップと、を具備し、
前記スクライブライン形成ステップにおいて、I)前記基準搬送面からみて前記搬送装置と反対側に前記帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置に前記レーザ光のビームウエストが設定されるように前記レーザ光を照射し、II)前記所定方向の上流側から前記被冷却領域へと前記厚さ方向に対して傾斜した方向に沿って前記冷媒を噴射し、
前記相対速度設定ステップは、
前記帯状ガラスの裏面が前記基準搬送面に接した状態で前記帯状ガラスが搬送されているときに、前記スクライブラインを形成可能な前記被照射領域と前記帯状ガラスとの相対速度の下限値V1を特定する第1特定サブステップと、
前記帯状ガラスの裏面が前記基準搬送面からみて前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう前記厚さ方向に幅W変動したときに、前記スクライブラインを形成可能な前記被照射領域と前記帯状ガラスとの相対速度の上限値V2を特定する第2特定サブステップと、
1≦VR≦V2を満たすように、相対速度VRを決定する決定サブステップと、を具備する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B1)
In the state where the absolute value of the amount of variation in the thickness direction of the strip glass when the strip glass unloaded from the forming device is based on the reference transport surface determined by the transport device is equal to or less than the width W, It is a cutting method of a strip-shaped glass, which is cut while being transported in the direction along the transport device,
On the surface of the belt-shaped glass, an irradiated region to be irradiated with laser light and a cooled region to which a coolant is jetted are set, and the irradiated region and the irradiated region so that the cooled region follows the irradiated region A scribe line forming step for forming a scribe line by extending an initial crack to the cooled region while moving the cooled region relative to the belt-shaped glass in a predetermined direction at a relative speed V R ;
A glass cutting step for cutting the strip glass along the scribe line;
A relative speed setting step for setting a relative speed V R before the scribe line forming step;
In the scribe line forming step, I) the laser beam so that a beam waist of the laser beam is set at a reference position separated from the reference conveying surface by a thickness t of the strip glass on the side opposite to the conveying device. II) Injecting the refrigerant along a direction inclined with respect to the thickness direction from the upstream side in the predetermined direction to the cooled region,
The relative speed setting step includes:
A lower limit value V 1 of a relative speed between the irradiated region and the belt-shaped glass where the scribe line can be formed when the belt-shaped glass is transported in a state where the back surface of the belt-shaped glass is in contact with the reference transport surface. A first identification sub-step for identifying
When the back surface of the belt-shaped glass has a width W variation in the thickness direction from the back surface of the belt-shaped glass toward the surface as viewed from the reference transport surface, the irradiated region that can form the scribe line and the belt-shaped glass A second specifying sub-step for specifying an upper limit value V 2 of the relative speed;
A determination substep for determining a relative speed V R so as to satisfy V 1 ≦ V R ≦ V 2 .
A method for cutting strip glass.

(参考発明B2)
参考発明B1に加え、前記決定サブステップにおいて、(V1+V2)/2≦VR≦V2を満たすように、相対速度VRを決定する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B2)
In addition to the reference invention B1, in the determining sub-step, the method for cutting the strip glass, wherein the relative speed V R is determined so as to satisfy (V 1 + V 2 ) / 2 ≦ V R ≦ V 2 .

(参考発明B3)
参考発明B1またはB2に加え、前記相対速度設定ステップの前に、前記搬送装置により前記帯状ガラスを搬送する際の、前記帯状ガラスの厚さ方向の変動量の絶対値の最大値を測定し、幅Wを前記最大値とする変動量評価ステップを具備する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B3)
In addition to the reference invention B1 or B2, before the relative speed setting step, when transporting the strip glass by the transport device, the maximum value of the absolute value of the variation amount in the thickness direction of the strip glass, A strip glass cutting method comprising a fluctuation amount evaluating step in which the width W is the maximum value.

(参考発明B4)
参考発明B1〜B3のいずれか1つに加え、前記スクライブライン形成ステップにおいて、前記被照射領域の長さを10mm以上200mm以下とする帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B4)
In addition to any one of the reference inventions B1 to B3, in the scribe line forming step, a method for cutting the strip glass in which the length of the irradiated region is 10 mm or more and 200 mm or less.

(参考発明B5)
成形装置から搬出された帯状ガラスを、搬送装置によって定まる基準搬送面を基準にしたときの前記帯状ガラスの厚さ方向の変動量の絶対値が幅W以下である状態で、前記基準搬送面に沿った方向へと前記搬送装置を用いて搬送しながら切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの表面に、レーザ光が照射される被照射領域および冷媒が噴射される被冷却領域を設定するとともに、前記被冷却領域が前記被照射領域に追随するように前記被照射領域および前記被冷却領域を前記帯状ガラスに対して所定方向へと相対速度VRで相対的に移動させながら前記被冷却領域へと初期クラックを伸長させることにより、スクライブラインを形成するスクライブライン形成ステップと、
前記スクライブラインに沿って前記帯状ガラスを分断するガラス分断ステップと、
前記スクライブライン形成ステップの前に、相対速度VRを設定する相対速度設定ステップと、を具備し、
前記スクライブライン形成ステップにおいて、I)前記基準搬送面からみて前記搬送装置と反対側に前記帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置に対し、前記レーザ光のビームウエストが前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう方向に離間するように前記レーザ光を照射し、II)前記所定方向の上流側から前記被冷却領域へと前記厚さ方向に対して傾斜した方向に沿って前記冷媒を噴射し、
前記相対速度設定ステップは、
前記基準位置に前記ビームウエストが設定されたと仮定した場合に、前記帯状ガラスの裏面が前記基準搬送面に接した状態で前記帯状ガラスが搬送されているときに、前記スクライブラインを形成可能な前記被照射領域と前記帯状ガラスとの相対速度の下限値V1を特定する第1特定サブステップと、
前記基準位置に前記ビームウエストが設定されたと仮定した場合に、前記帯状ガラスの裏面が前記基準搬送面からみて前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう前記厚さ方向に幅W変動したときに、前記スクライブラインを形成可能な前記被照射領域と前記帯状ガラスとの相対速度の上限値V2を特定する第2特定サブステップと、
1≦VR≦V2を満たすように、相対速度VRを決定する決定サブステップと、を具備する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B5)
In the state where the absolute value of the amount of variation in the thickness direction of the strip glass when the strip glass unloaded from the forming device is based on the reference transport surface determined by the transport device is equal to or less than the width W, It is a cutting method of a strip-shaped glass, which is cut while being transported in the direction along the transport device,
On the surface of the belt-shaped glass, an irradiated region to be irradiated with laser light and a cooled region to which a coolant is jetted are set, and the irradiated region and the irradiated region so that the cooled region follows the irradiated region A scribe line forming step for forming a scribe line by extending an initial crack to the cooled region while moving the cooled region relative to the belt-shaped glass in a predetermined direction at a relative speed V R ;
A glass cutting step for cutting the strip glass along the scribe line;
A relative speed setting step for setting a relative speed V R before the scribe line forming step;
In the scribe line forming step, I) a beam waist of the laser beam from the back surface of the belt-shaped glass with respect to a reference position separated from the transport device by the thickness t of the belt-shaped glass as viewed from the reference transport surface. Irradiating the laser beam so as to be separated in a direction toward the surface, and II) jetting the refrigerant along a direction inclined with respect to the thickness direction from the upstream side in the predetermined direction to the cooled region,
The relative speed setting step includes:
Assuming that the beam waist is set at the reference position, the scribe line can be formed when the strip glass is transported in a state where the back surface of the strip glass is in contact with the reference transport surface. A first specifying substep for specifying a lower limit value V 1 of a relative speed between the irradiated region and the belt-like glass;
Assuming that the beam waist is set at the reference position, when the back surface of the strip glass has a width W variation in the thickness direction from the back surface of the strip glass toward the surface when viewed from the reference transport surface, A second specifying sub-step for specifying an upper limit value V 2 of a relative speed between the irradiated region capable of forming a scribe line and the strip glass;
A determination substep for determining a relative speed V R so as to satisfy V 1 ≦ V R ≦ V 2 .
A method for cutting strip glass.

(参考発明B6)
参考発明B5に加え、前記決定サブステップにおいて、(V1+V2)/2≦VR≦V2を満たすように、相対速度VRを決定する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B6)
In addition to the reference invention B5, in the determination sub-step, the method for cutting the strip glass, wherein the relative speed V R is determined so as to satisfy (V 1 + V 2 ) / 2 ≦ V R ≦ V 2 .

(参考発明B7)
参考発明B5またはB6に加え、前記相対速度設定ステップの前に、前記搬送装置により前記帯状ガラスを搬送する際の、前記帯状ガラスの厚さ方向の変動量の絶対値の最大値を測定し、幅Wを前記最大値とする変動量評価ステップを具備する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B7)
In addition to the reference invention B5 or B6, before the relative speed setting step, the maximum value of the absolute value of the variation amount in the thickness direction of the strip glass when the strip glass is transported by the transport device, A strip glass cutting method comprising a fluctuation amount evaluating step in which the width W is the maximum value.

(参考発明B8)
参考発明B5〜B7のいずれか1つに加え、前記スクライブライン形成ステップにおいて、前記レーザ光の前記ビームウエストと前記基準位置との間隔を0mmより大きく5mm以下とする帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B8)
In addition to any one of the reference inventions B5 to B7, in the scribe line forming step, a method for cutting a strip-shaped glass in which an interval between the beam waist of the laser beam and the reference position is larger than 0 mm and not larger than 5 mm.

(参考発明B9)
参考発明B5〜B8のいずれか1つに加え、前記スクライブライン形成ステップにおいて、前記被照射領域の長さを10mm以上200mm以下とする帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B9)
In addition to any one of the reference inventions B5 to B8, in the scribe line forming step, a method for cutting the strip glass in which the length of the irradiated region is 10 mm or more and 200 mm or less.

(参考発明B10)
成形装置から搬出された帯状ガラスを、搬送装置によって定まる基準搬送面に沿って前記搬送装置を用いて搬送しながら切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの表面に、レーザ光が照射される被照射領域および冷媒が噴射される被冷却領域を設定するとともに、前記被冷却領域が前記被照射領域に追随するように前記被照射領域および前記被冷却領域を前記帯状ガラスに対して所定方向へと相対的に移動させながら前記被冷却領域へと初期クラックを伸長させることにより、スクライブラインを形成するスクライブライン形成ステップと、
前記スクライブラインに沿って前記帯状ガラスを分断するガラス分断ステップと、を具備し、
前記スクライブライン形成ステップにおいて、I)前記基準搬送面からみて前記搬送装置と反対側に前記帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置に対し、前記レーザ光のビームウエストが前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう方向に離間するように前記レーザ光を照射し、II)前記所定方向の上流側から前記被冷却領域へと、前記帯状ガラスの厚さ方向に対して傾斜した方向に沿って前記冷媒を噴射する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B10)
A strip glass cutting method for cutting the strip glass carried out of the molding apparatus while transporting the strip glass using the transport device along a reference transport surface determined by the transport device,
On the surface of the belt-shaped glass, an irradiated region to be irradiated with laser light and a cooled region to which a coolant is jetted are set, and the irradiated region and the irradiated region so that the cooled region follows the irradiated region A scribe line forming step for forming a scribe line by extending an initial crack to the cooled region while moving the cooled region relative to the strip glass in a predetermined direction;
A glass cutting step for cutting the strip glass along the scribe line, and
In the scribe line forming step, I) a beam waist of the laser beam from the back surface of the belt-shaped glass with respect to a reference position separated from the transport device by the thickness t of the belt-shaped glass as viewed from the reference transport surface. The laser beam is irradiated so as to be separated in a direction toward the surface, and II) the refrigerant along a direction inclined with respect to the thickness direction of the strip glass from the upstream side in the predetermined direction to the cooled region. Inject,
A method for cutting strip glass.

(参考発明B11)
参考発明B10に加え、前記スクライブライン形成ステップにおいて、前記レーザ光の前記ビームウエストと前記基準位置との間隔を0mmより大きく5mm以下とする帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B11)
In addition to the reference invention B10, in the scribe line forming step, a method for cutting a strip glass in which an interval between the beam waist of the laser beam and the reference position is greater than 0 mm and not greater than 5 mm.

(参考発明B12)
参考発明B10またはB11に加え、前記スクライブライン形成ステップにおいて、前記被照射領域の長さを10mm以上200mm以下とする帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention B12)
In addition to the reference invention B10 or B11, in the scribe line forming step, the length of the irradiated region is 10 mm or more and 200 mm or less.

(参考実施形態C1) (Reference Embodiment C1)

ところで、レーザ光を用いた切断をオンライン切断に適用すると、スクライブラインの深さが一定とならず切断面の平滑性が却って劣化したり、スクライブラインの形成が途中で中断されたりすることがある。オンライン切断では、搬送に伴って帯状ガラスが振動するため、スクライブ位置において、帯状ガラスの厚さ方向の位置がレーザ光により効率的に加熱され得る位置から外れ、帯状ガラスに十分な熱量を与えることができなくなるためである。熱量不足に伴う切断不良は、スクライブラインをガラスの厚さ方向の深くにまで形成することにより、機械的な応力を加えることを省略する切断方式を採用する場合にも生じ得る。   By the way, when cutting using laser light is applied to online cutting, the depth of the scribe line may not be constant, and the smoothness of the cut surface may be deteriorated, or the formation of the scribe line may be interrupted in the middle. . In online cutting, the strip glass vibrates as it is conveyed, so that the position in the thickness direction of the strip glass deviates from the position where it can be efficiently heated by the laser beam at the scribe position, and a sufficient amount of heat is given to the strip glass. It is because it becomes impossible. Cutting failure due to lack of heat can occur even when a cutting method is adopted in which the mechanical stress is not applied by forming the scribe line deep in the thickness direction of the glass.

ガラスのオフライン切断に適したレーザ光については、従来から種々の検討がなされている。しかし、帯状ガラスのオンライン切断に適したレーザ光については、十分には検討がなされていない。本発明者らは、帯状ガラスのオンライン切断に適したレーザ光のエネルギー密度プロファイルを検討した。本発明者らの検討によれば、急峻なエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光を帯状ガラスのオンライン切断に適用すると、スクライブラインの深さが一定とならず切断面の平滑性が劣化したり、スクライブラインの形成が途中で中断されたりする問題が顕在化する。この理由の詳細は今後の解析を待つ必要があるが、搬送に伴って帯状ガラスが振動して帯状ガラスの部分毎に与えられる熱量に相違が生じ、この相違が急峻なエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光の採用により拡大していることが考えられる。ガラスのオフライン切断においてはガラスは振動しないため、急峻なエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光の採用に伴う問題は小さい。すなわち、本発明は、上記のようなオンライン切断特有の問題を解消するものである。   Various studies have been made on laser light suitable for off-line cutting of glass. However, a laser beam suitable for on-line cutting of glass strip has not been sufficiently studied. The present inventors examined an energy density profile of laser light suitable for on-line cutting of strip glass. According to the study by the present inventors, when laser light having a steep energy density profile is applied to on-line cutting of a glass ribbon, the depth of the scribe line is not constant, and the smoothness of the cut surface is deteriorated, or the scribe line is deteriorated. The problem that the formation of the line is interrupted becomes apparent. The details of this reason need to wait for future analysis, but the laser beam having a steep energy density profile due to the difference in the amount of heat given to each part of the glass ribbon due to vibration of the glass ribbon as it is conveyed It is thought that it is expanding due to the adoption of light. In the off-line cutting of glass, the glass does not vibrate, so the problems associated with the use of laser light having a steep energy density profile are small. That is, the present invention solves the above-mentioned problems unique to online disconnection.

以下、参考実施形態C1について図面を参照しながら説明する。なお、以下では同じ部材には各図面において同じ符号を付し、説明の重複を避けることがある。   Hereinafter, reference embodiment C1 will be described with reference to the drawings. In the following description, the same member is denoted by the same reference numeral in each drawing, and the description may be omitted.

図33は、ガラス成形装置から搬出され、水平面である基準搬送面に沿って搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)910を上方から観察した状態を示している。帯状ガラス910は、搬送方向940の上流側(図33に示す領域よりも上流側)に設置されたガラス成形装置(例えばフロートバス)において所定の厚さへと成形され、搬送方向940に一定の速度で搬送されている。   FIG. 33 shows a state in which a strip-shaped glass (glass ribbon) 910 that is unloaded from the glass forming apparatus and is transported along a reference transport surface that is a horizontal surface is observed from above. The band-shaped glass 910 is formed to a predetermined thickness in a glass forming apparatus (for example, a float bath) installed on the upstream side in the transport direction 940 (upstream side of the region shown in FIG. 33), and constant in the transport direction 940. Transported at speed.

帯状ガラス910の搬送は、帯状ガラス910を下方から支持する搬送ローラ921によって行われる。本実施形態では、搬送ローラ921によって構成される搬送面を基準搬送面と呼ぶ。なお、帯状ガラス910が薄い場合には搬送ローラ921のピッチを細かくすることが好ましい。また、搬送ローラ921に代えて搬送ベルトを用いてもよい。   The strip glass 910 is transported by a transport roller 921 that supports the strip glass 910 from below. In the present embodiment, a conveyance surface constituted by the conveyance rollers 921 is referred to as a reference conveyance surface. Note that when the belt-like glass 910 is thin, it is preferable to make the pitch of the transport rollers 921 fine. Further, a conveyance belt may be used instead of the conveyance roller 921.

帯状ガラス910には、その上方を横断するスクライブライン形成ヘッド(以下、単に「ヘッド」という)951によってスクライブライン911が形成される(スクライブライン形成ステップ)。スクライブライン911は、帯状ガラス910を横断する横断方向に延びる横断ラインに沿って形成されるものである。スクライブライン911は、搬送方向940と直交する帯状ガラス910の幅方向941に平行に伸び、かつ搬送方向940について所定の間隔が保たれるように形成される。帯状ガラス910は、搬送方向940の下流側に配置された分断装置(移動ローラ925)によりスクライブライン911において分割され、ガラス板1000となる(ガラス分断ステップ)。   A scribe line 911 is formed on the band-shaped glass 910 by a scribe line forming head (hereinafter simply referred to as “head”) 951 traversing the glass strip 910 (scribe line forming step). The scribe line 911 is formed along a transverse line extending in the transverse direction across the strip glass 910. The scribe line 911 is formed so as to extend in parallel to the width direction 941 of the strip glass 910 orthogonal to the transport direction 940 and to maintain a predetermined interval in the transport direction 940. The band-shaped glass 910 is divided at the scribe line 911 by the dividing device (moving roller 925) disposed on the downstream side in the transport direction 940 to become the glass plate 1000 (glass cutting step).

帯状ガラス910の幅方向941に平行なスクライブライン911を形成するために、ヘッド951は幅方向941に対して斜行して走行する。ヘッド951の斜行走行方向942と幅方向941とは、帯状ガラス910の搬送速度およびヘッド951の走行速度に依存して定まる角度θを形成する。ヘッド951は、斜行走行方向942に平行に帯状ガラス910の上方を横断するガイド(図示省略)に導かれて一定の速度で走行する。便宜上、ヘッド951が走行するラインをヘッド走行ライン950として図33に示す。ヘッド951およびガイドは、クラック伸長装置を構成する。   In order to form a scribe line 911 parallel to the width direction 941 of the band-shaped glass 910, the head 951 runs obliquely with respect to the width direction 941. The oblique traveling direction 942 and the width direction 941 of the head 951 form an angle θ that is determined depending on the conveyance speed of the strip glass 910 and the traveling speed of the head 951. The head 951 is guided at a constant speed by being guided by a guide (not shown) that traverses the upper portion of the strip glass 910 in parallel with the oblique traveling direction 942. For convenience, a line on which the head 951 travels is shown as a head travel line 950 in FIG. The head 951 and the guide constitute a crack extension device.

ヘッド走行ライン950に沿った図33の断面図を図34として、図34の部分拡大図を図35として示す。ヘッド951は、レーザ光を帯状ガラス910に集光させるための光学システム970と、冷媒を噴射して帯状ガラス910を局部的に冷却するための噴射ノズル980とを備えている。ヘッド951は、帯状ガラス910に初期クラックを形成するクラック形成装置であるカッター919をさらに備えている。   33 is a cross-sectional view of FIG. 33 along the head travel line 950, and FIG. 35 is a partially enlarged view of FIG. The head 951 includes an optical system 970 for condensing laser light on the belt-shaped glass 910 and an injection nozzle 980 for locally cooling the belt-shaped glass 910 by spraying a coolant. The head 951 further includes a cutter 919 that is a crack forming device that forms an initial crack in the belt-like glass 910.

カッター919は、典型的にはホイールカッターであるが、帯状ガラス910に伸長可能なクラックを形成できる限り、その種類に特段の制限はない。カッター919は、スクライブライン911の起点となる初期クラックを帯状ガラス910に形成する役割を担う。初期クラックは、帯状ガラス910の端部(図33に示した帯状ガラス910の場合には図示右側端部)またはその近傍に形成される。   The cutter 919 is typically a wheel cutter, but there is no particular limitation on the type thereof as long as a stretchable crack can be formed in the strip glass 910. The cutter 919 plays a role of forming an initial crack serving as a starting point of the scribe line 911 in the strip glass 910. The initial crack is formed at or near the end of the strip-shaped glass 910 (in the case of the strip-shaped glass 910 shown in FIG. 33, the right end in the figure).

スクライブライン911を形成するための初期クラックの伸長は、ヘッド951から供給されるレーザ光917および冷媒918によって実施される。すなわち、クラックの端部に重複させて、レーザ光917による加熱と冷媒918による急冷とを引き続いて適用すると、クラック近傍のガラス表面(帯状ガラス910の表面910f)に引っ張り応力が発生し、この引っ張り応力によりクラックが伸長する。ヘッド951は、クラックを伸長させながらヘッド走行ライン950上を(図示した形態では図示左方へと)進んでいく。なお、本実施形態では、初期クラックが伸長して形成されたクラックであって、ガラス分断ステップにおいて該クラックに沿って帯状ガラス910を分断可能なクラックをスクライブライン911と呼ぶ。   The initial crack extension for forming the scribe line 911 is performed by the laser beam 917 and the coolant 918 supplied from the head 951. In other words, when heating by the laser beam 917 and rapid cooling by the refrigerant 918 are successively applied so as to overlap with the end of the crack, tensile stress is generated on the glass surface in the vicinity of the crack (surface 910f of the strip glass 910). Cracks extend due to stress. The head 951 advances on the head travel line 950 (to the left in the illustrated form) while extending the crack. In the present embodiment, a crack that is formed by extending an initial crack and is capable of dividing the strip glass 910 along the crack in the glass dividing step is referred to as a scribe line 911.

図36に示すように、ヘッド951の走行に伴い、帯状ガラス910において、光学システム970を経由してレーザ光917が照射される被照射領域927、噴射ノズル980から冷媒918が供給される被冷却領域928は、この順にヘッド走行ライン950に沿って進んでいく。換言すれば、被冷却領域928は被照射領域927に追随しながら、これらの領域はヘッド走行ライン950に沿って進行する。ヘッド951は、被照射領域927を形成するレーザ光集光装置(光学システム970)、および被冷却領域928を形成する冷却装置(噴射ノズル980)を、各装置の相対的な位置関係を保持したまま、移動させる役割を担う。本実施形態では、このようにして、帯状ガラス910の表面910fにおけるレーザ光917の被照射領域927が横断ラインの一端側から他端側へと移動するように、レーザ光917を照射する照射ステップと、横断ラインにおける被照射領域927に追随する被冷却領域928に冷媒918を供給する冷却ステップと、を実施する。本実施形態における照射ステップおよび冷却ステップは、スクライブライン形成ステップを構成する。   As shown in FIG. 36, as the head 951 travels, the belt-shaped glass 910 is irradiated with the laser light 917 via the optical system 970, and the coolant 918 is supplied from the injection nozzle 980. The region 928 proceeds along the head travel line 950 in this order. In other words, the cooled region 928 follows the irradiated region 927, and these regions travel along the head travel line 950. The head 951 maintains the relative positional relationship between the laser beam condensing device (optical system 970) that forms the irradiated region 927 and the cooling device (jet nozzle 980) that forms the cooled region 928. The role to move is left. In the present embodiment, the irradiation step of irradiating the laser beam 917 so that the irradiated region 927 of the laser beam 917 on the surface 910f of the strip glass 910 moves from one end side to the other end side of the transverse line in this way. And a cooling step of supplying the coolant 918 to the cooled region 928 that follows the irradiated region 927 in the crossing line. The irradiation step and the cooling step in the present embodiment constitute a scribe line forming step.

図35に戻って、レーザ光の照射システムおよび冷媒の供給システムについて簡単に説明しておく。ただし、これらのシステムは既に公知のものを特に制限なく使用できる。レーザ光917は、レーザ光発生装置971からレーザビーム拡大装置972およびヘッド951内の集光装置である光学システム970を経由して帯状ガラス910の被照射領域927へと集光される。光学システム970は、光学素子973,974,975により構成されている。レーザビーム拡大装置972は、例えば、エクスパンダーにより構成される。光学素子973は、例えば一対のアキシコンレンズであり、光学素子974はミラーであり、光学素子975は例えばシリンドリカルレンズである。レーザ光917としては、CO2レーザ、YAGレーザ等を使用できる。 Returning to FIG. 35, the laser light irradiation system and the refrigerant supply system will be briefly described. However, these systems can be used without any particular limitation. The laser beam 917 is condensed from the laser beam generator 971 to the irradiated region 927 of the strip glass 910 via the laser beam expanding device 972 and the optical system 970 which is a condensing device in the head 951. The optical system 970 includes optical elements 973, 974, and 975. The laser beam expanding device 972 is configured by, for example, an expander. The optical element 973 is, for example, a pair of axicon lenses, the optical element 974 is a mirror, and the optical element 975 is, for example, a cylindrical lens. As the laser light 917, a CO 2 laser, a YAG laser, or the like can be used.

本実施形態では、帯状ガラス910の搬送経路の外側に固定されたレーザ光発生装置971から出射光が出射する。出射光は、帯状ガラス910の搬送経路の外側に固定されたエクスパンダー972により基準搬送面961に沿って進むように屈折し、一対のアキシコンレンズ973を通過後、ヘッド951が有するミラー974およびシリンドリカルレンズ975により帯状ガラス910に向かって進むレーザ光917に変換される。エクスパンダー972を通過した直後の出射光は、ガウシアン型のエネルギー密度プロファイルを有する(図37)。次に、一対のアキシコンレンズ973によりリング型のエネルギー密度プロファイルを有するように変換される(図38)。ミラー974およびシリンドリカルレンズ975によってレーザ光917に変換された後には、トップハット型のエネルギー密度プロファイルを有するに至る(図39)。   In the present embodiment, the emitted light is emitted from the laser beam generator 971 fixed outside the conveyance path of the strip glass 910. The emitted light is refracted so as to travel along the reference transport surface 961 by an expander 972 fixed outside the transport path of the belt-shaped glass 910, and after passing through a pair of axicon lenses 973, a mirror 974 included in the head 951 and It is converted into a laser beam 917 traveling toward the strip glass 910 by the cylindrical lens 975. The outgoing light immediately after passing through the expander 972 has a Gaussian energy density profile (FIG. 37). Next, it is converted to have a ring-type energy density profile by a pair of axicon lenses 973 (FIG. 38). After being converted into the laser light 917 by the mirror 974 and the cylindrical lens 975, it has a top hat type energy density profile (FIG. 39).

冷媒918は、図示を省略する冷媒供給装置からヘッド951に備え付けられた噴射ノズル980を経由して、被冷却領域928へと供給される。冷媒としては、例えば空気、窒素、ヘリウム、水を使用すればよい。なお、本実施形態では、図35に示すように、噴射ノズル980の延伸方向(冷媒を噴射するための開口方向)と、基準搬送面961に垂直な方向との間に角度φが形成されている。これにより、幅方向941の上流側から被冷却領域928へと、帯状ガラス910の厚さ方向に対して傾斜した方向に沿って冷媒918を噴射でき、被冷却領域928が被照射領域927から離間することを防止できる。角度φは、例えば0〜60°である。   The refrigerant 918 is supplied from a refrigerant supply device (not shown) to the cooled region 928 via an injection nozzle 980 provided in the head 951. For example, air, nitrogen, helium, or water may be used as the refrigerant. In this embodiment, as shown in FIG. 35, an angle φ is formed between the extending direction of the injection nozzle 980 (the opening direction for injecting the refrigerant) and the direction perpendicular to the reference transport surface 961. Yes. Accordingly, the refrigerant 918 can be injected from the upstream side in the width direction 941 to the cooled region 928 along the direction inclined with respect to the thickness direction of the strip glass 910, and the cooled region 928 is separated from the irradiated region 927. Can be prevented. The angle φ is, for example, 0 to 60 °.

図33に示す例では、基準搬送面961からみて帯状ガラス910の裏面910bから表面910fに向かう厚さ方向に帯状ガラス910の厚さtだけ離れた基準位置962におけるレーザ光917の扁平な(楕円形の)断面の長軸方向917lが幅方向941に一致するように、レーザ光917を照射する。これにより、被照射領域927の長軸方向が幅方向941に一致するため、帯状ガラス910における熱量を与えるべき部分(横断ライン;スクライブライン911が形成されるべき部分)に効率よく熱量を与えることができる。ただし、基準位置962におけるレーザ光917が、横断ラインに沿って拡がるトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有していれば、長軸方向917lが幅方向941に一致していなくてもよい。なお、本実施形態では「基準位置962におけるレーザ光917が横断ラインに沿って拡がる」とは、搬送中の帯状ガラス910からみたときに、レーザ光917の基準位置962における断面形状がヘッド951の移動方向と平行な方向に拡がることを指す。   In the example shown in FIG. 33, the flat (elliptical) shape of the laser light 917 at the reference position 962 that is apart from the back surface 910b of the strip glass 910 by the thickness t of the strip glass 910 in the thickness direction from the back surface 910b of the strip glass 910 as viewed from the reference transport surface 961. The laser beam 917 is irradiated so that the long axis direction 9171 of the cross section coincides with the width direction 941. Thereby, since the major axis direction of the irradiated region 927 coincides with the width direction 941, the amount of heat in the strip glass 910 (the crossing line; the portion where the scribe line 911 is to be formed) can be efficiently given heat. Can do. However, if the laser beam 917 at the reference position 962 has a top-hat type energy density profile that spreads along a transverse line, the major axis direction 9171 may not coincide with the width direction 941. In the present embodiment, “the laser beam 917 at the reference position 962 spreads along the transverse line” means that the cross-sectional shape of the laser beam 917 at the reference position 962 is that of the head 951 when viewed from the belt-like glass 910 being conveyed. It means spreading in a direction parallel to the moving direction.

また、本実施形態では、トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、基準位置962におけるエネルギー密度(W/m2)のピーク値をWmaxとしたときに、エネルギー密度が0.8Wmax以上であるフラット部917fが少なくとも全体の1/2を占める領域に拡がるものである。このようなトップハット型のエネルギー密度プロファイルによれば、帯状ガラス910が搬送に伴って振動したり局所的にうねったりしても、ヘッド走行ライン950上の各地点に供給される熱量が均一になり易くなり、スクライブライン911を安定して形成できる。スクライブライン911の形成をより安定させる観点からは、トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、フラット部917fが少なくとも横断方向の両端917の各1/6の領域(図39の両端部917e)を除いた2/3を占める領域に拡がるものであることが好ましい。フロート法を採用する場合には、搬送に伴う振動が生じ易いため、スクライブライン911を安定して形成できるという効果が特に有効となる。 In this embodiment, the top hat type energy density profile is a flat having an energy density of 0.8 W max or more when the peak value of the energy density (W / m 2 ) at the reference position 962 is W max. The portion 917f extends to an area that occupies at least half of the whole. According to such a top-hat type energy density profile, even if the belt-like glass 910 vibrates or locally swells during conveyance, the amount of heat supplied to each point on the head travel line 950 is uniform. The scribe line 911 can be formed stably. From the viewpoint of making the formation of the scribe line 911 more stable, the energy density profile of the top hat type excludes at least one-sixth region (both ends 917e in FIG. 39) of the flat portions 917f at both ends 917 in the transverse direction. It is preferable to extend to a region occupying 2/3. In the case where the float method is employed, since the vibration accompanying the conveyance is likely to occur, the effect that the scribe line 911 can be stably formed is particularly effective.

本実施形態では、エネルギー密度がピーク値の5%となる位置をエネルギー密度プロファイルの両端として取り扱い、この両端に挟まれる領域がエネルギー密度プロファイルの全体を構成するものとして取り扱う。両端部917eは、エネルギー密度プロファイルの両端側に存する部位であり、フラット部917fは両端部917eに挟まれる部位である。また、本実施形態では、基準位置962におけるレーザ光917の横断方向(長軸方向917l)の各点におけるエネルギー密度として、当該各点の横断方向に直交する方向(短軸方向917s)についてのエネルギー密度の平均値を採用することとし、「基準位置962におけるエネルギー密度のピーク値」とは、当該平均値の最大値を指すこととする。本実施形態のトップハット型のエネルギー密度プロファイルでは、フラット部917fにエネルギー密度が最大となる点が存在し、フラット部917fを挟む両端部917eにおいては中心から離れるにしたがってエネルギー密度が低くなる。   In the present embodiment, a position where the energy density is 5% of the peak value is handled as both ends of the energy density profile, and a region sandwiched between both ends is handled as constituting the entire energy density profile. Both end portions 917e are portions existing on both end sides of the energy density profile, and the flat portion 917f is a portion sandwiched between both end portions 917e. In the present embodiment, as energy density at each point in the transverse direction (major axis direction 9171) of the laser beam 917 at the reference position 962, energy in a direction (minor axis direction 917s) orthogonal to the transverse direction of each point. The average value of the density is adopted, and the “peak value of the energy density at the reference position 962” indicates the maximum value of the average value. In the top hat type energy density profile of the present embodiment, there is a point where the flat portion 917f has the maximum energy density, and at both end portions 917e sandwiching the flat portion 917f, the energy density decreases as the distance from the center increases.

本実施形態では、フラット部917fの横断ライン(長軸方向917l)に沿う長さは10〜150mmであり、好ましくは20〜100mmである。   In the present embodiment, the length of the flat portion 917f along the crossing line (long axis direction 9171) is 10 to 150 mm, and preferably 20 to 100 mm.

本実施形態では、一対のアキシコンレンズおよびシリンドリカルレンズによりレーザ光発生装置971から出射した出射光をレーザ光917に変換しているため、この変換の際のエネルギー損失は小さい。DOE(回折型光学素子)等を用いてレーザ光のエネルギー密度プロファイルを調整する場合にはエネルギー損失が比較的大きくなることを考慮すると、本実施形態における光学システムは、エネルギー効率の観点からも有利であるといえる。また、一対のアキシコンレンズおよびシリンドリカルレンズを採用することは、振動により帯状ガラス910の表面910fが基準位置962から離れても(表面910fがレーザ光917の焦点から離れても)フラット部917fが維持され易い点でも有利である。   In the present embodiment, since the emitted light emitted from the laser light generator 971 is converted into the laser light 917 by the pair of axicon lenses and cylindrical lenses, the energy loss at the time of this conversion is small. Considering that energy loss is relatively large when adjusting the energy density profile of laser light using a DOE (diffractive optical element) or the like, the optical system in this embodiment is advantageous from the viewpoint of energy efficiency. You can say that. In addition, the adoption of a pair of axicon lenses and cylindrical lenses means that even if the surface 910f of the strip glass 910 is separated from the reference position 962 by vibration (even if the surface 910f is separated from the focal point of the laser light 917), the flat portion 917f is formed. It is also advantageous in that it is easily maintained.

また、本実施形態では、レーザ光917のエネルギー密度プロファイルが横断ラインの一端側から他端側へと移動する期間(ヘッド951が帯状ガラス910を横断する期間)にわたって維持されるように、レーザ光917を照射する。したがって、ヘッド走行ライン950の広い領域にわたってスクライブライン911を安定して形成できる。本実施形態では、具体的には、エクスパンダー972を用いることにより、レーザ光発生装置971から出射した出射光を平行光に調整して、レーザ光917のエネルギー密度プロファイルを維持している。   In the present embodiment, the laser beam 917 is maintained so that the energy density profile of the laser beam 917 is maintained over a period (a period in which the head 951 crosses the strip glass 910) moving from one end side to the other end side of the transverse line. Irradiate 917. Therefore, the scribe line 911 can be stably formed over a wide area of the head travel line 950. Specifically, in this embodiment, by using the expander 972, the emitted light emitted from the laser light generator 971 is adjusted to parallel light, and the energy density profile of the laser light 917 is maintained.

また、本実施形態における冷却ステップでは、基準位置962におけるレーザ光917のフラット部917fと、基準位置962における冷媒918とが隣接するように、帯状ガラス910の表面910fから裏面910bに向かう厚さ方向に対して横断方向の上流側から下流側へと傾斜した方向に沿って冷媒918を噴射している。これにより、被照射領域927のうち供給される熱量が大きい部分が急激に冷却されるため、スクライブライン911がより形成され易くなる。   In the cooling step in the present embodiment, the thickness direction from the front surface 910f of the strip glass 910 toward the back surface 910b is such that the flat portion 917f of the laser light 917 at the reference position 962 and the refrigerant 918 at the reference position 962 are adjacent to each other. In contrast, the refrigerant 918 is injected along a direction inclined from the upstream side to the downstream side in the transverse direction. As a result, the portion of the irradiated region 927 where the amount of heat supplied is large is rapidly cooled, so that the scribe line 911 is more easily formed.

上述のトップハット型のエネルギー密度プロファイルにはエネルギー密度が突出した部分が存在しないため、被照射領域927において局所的に過度に高温となる部分が生じるおそれは低い。したがって、熱量不足で初期クラックが伸長されない事態を回避するために、レーザ光の出力を大きく設定しても、熱量過剰で帯状ガラスが完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、所望の方向以外の方向に伸長するクラック)が生じたりするおそれが低い。このため、一般的なガウシアン型等のエネルギー密度プロファイルを有している場合に比べると、レーザ光の出力を高めに設定でき、これにより、ヘッドの移動速度の幅方向成分を高めることができる。レーザ光917の出力は、例えば30〜300Wである。   Since there is no portion where the energy density protrudes in the above-mentioned top hat type energy density profile, there is a low possibility that a portion that is excessively heated locally in the irradiated region 927 is generated. Therefore, in order to avoid a situation where the initial crack is not extended due to insufficient heat, even if the laser beam output is set to a large value, the glass strip is completely divided due to excessive heat, or unintended cracks (for example, other than the desired direction) There is a low risk that cracks extending in the direction of For this reason, compared with the case where it has an energy density profile of a general Gaussian type or the like, the output of the laser beam can be set higher, and thereby the width direction component of the moving speed of the head can be increased. The output of the laser beam 917 is 30 to 300 W, for example.

熱量過剰で帯状ガラスが完全に分断されたり、意図しないクラックが生じたりする現象は、帯状ガラス910が薄い場合に現れ易いことを考慮すると、帯状ガラス910の厚さが例えば0.1〜5mmの場合に、上述のトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光が特に有効であると言える。   Considering that the phenomenon that the strip glass is completely divided or an unintentional crack is generated due to an excessive amount of heat is likely to appear when the strip glass 910 is thin, the thickness of the strip glass 910 is, for example, 0.1 to 5 mm. In this case, it can be said that the laser beam having the above-mentioned top hat type energy density profile is particularly effective.

スクライブライン911が形成された帯状ガラス910は、搬送方向940の下流側でスクライブライン911に沿って分断される。図40(a)(b)に示すように、帯状ガラス910のスクライブライン911が近づいてくると、移動ローラ925は帯状ガラス910をその厚さ方向に持ち上げる。持ち上げられた帯状ガラス910の自重により生じた応力によってスクライブライン911を構成するクラックが伸長して帯状ガラス910が割断される。より具体的に述べると、ガラス分断装置である移動ローラ925は、移動ローラ925と接している部分の変位量が最大となるように帯状ガラス910を持ち上げ、スクライブライン911での分断を進行させる。図40(c)に示すように、分断が完了した後、移動ローラ925は下方へと引き下がって次の分断に備える。   The band-shaped glass 910 on which the scribe line 911 is formed is divided along the scribe line 911 on the downstream side in the transport direction 940. As shown in FIGS. 40A and 40B, when the scribe line 911 of the strip glass 910 approaches, the moving roller 925 lifts the strip glass 910 in the thickness direction. Cracks constituting the scribe line 911 extend due to the stress generated by the weight of the raised glass strip 910, and the glass strip 910 is cut. More specifically, the moving roller 925, which is a glass cutting device, lifts the glass strip 910 so that the amount of displacement of the portion in contact with the moving roller 925 is maximized, and advances the cutting along the scribe line 911. As shown in FIG. 40C, after the division is completed, the moving roller 925 is pulled down to prepare for the next division.

スクライブライン911に応力が加わるように、移動ローラ925は、スクライブライン911を跨ぐ上流側(図示左方)および下流側(図示右方)の両方において、帯状ガラス910をその裏面910bを支持しながら上方へと持ち上げる(図40(b))。その後の移動ローラ925の下降に伴い、一旦上方へと移動した帯状ガラス910の下流端910eは下方へと戻ることになる(図40(c))。   The moving roller 925 supports the glass strip 910 on the back surface 910b on both the upstream side (left side in the figure) and the downstream side (right side in the figure) across the scribe line 911 so that stress is applied to the scribe line 911. It is lifted upward (FIG. 40 (b)). As the moving roller 925 subsequently descends, the downstream end 910e of the strip glass 910 once moved upward returns to the lower side (FIG. 40C).

なお、本実施形態では、自重により生じた応力によりスクライブライン911での分断を進行させているが、移動ローラ925の上昇時に、移動ローラ925の搬送方向940上流側または下流側において帯状ガラス910の表面910fを上方から押さえつけることにより分断を進行させてもよい。このようにすれば、薄く、軽い帯状ガラス910を分断する場合であっても、分断に要する応力を確保し易い。   In this embodiment, the cutting at the scribe line 911 is caused to proceed by the stress generated by its own weight. However, when the moving roller 925 is lifted, the strip glass 910 is moved upstream or downstream in the conveying direction 940 of the moving roller 925. The cutting may be advanced by pressing the surface 910f from above. In this way, even when the thin and light strip glass 910 is divided, it is easy to ensure the stress required for the division.

(参考実施形態C2)
参考実施形態C1では、帯状ガラス910を横断するスクライブライン911の形成について説明したが、参考実施形態C1で説明した技術は、帯状ガラス910の搬送方向940に平行にスクライブラインを形成する場合にも適用が可能である。
(Reference Embodiment C2)
In the reference embodiment C1, the formation of the scribe line 911 traversing the strip glass 910 has been described. However, the technique described in the reference embodiment C1 is also applicable to the case where the scribe line is formed in parallel with the transport direction 940 of the strip glass 910. Applicable.

図41は、図33等と同様、図示を省略するガラス成形装置から搬出され、水平面である基準搬送面961に沿って搬送される帯状ガラス(ガラスリボン)910を上方から観察した状態を示している。   FIG. 41 shows a state in which a strip-shaped glass (glass ribbon) 910 that is unloaded from a glass forming apparatus (not shown) and transported along a reference transport surface 961 that is a horizontal surface is observed from above, as in FIG. 33 and the like. Yes.

帯状ガラス910の上方には、ヘッド953a,953bが配置されている。各ヘッド953a,953bは、ヘッド951と同様の部材を備えており、上述したように、カッターで初期クラックを形成した後、帯状ガラス910にレーザ光と冷媒とを順次供給してスクライブライン915a,915bを形成していく。ただし、各ヘッド953a,953bは、帯状ガラス910上の所定位置に固定されている。このため、ヘッド953a,953bは、帯状ガラス910の搬送方向940への移動に伴って、帯状ガラス910上をその長さ方向に沿って帯状ガラス910に対して相対的に移動しながら、スクライブライン915a,915bを形成していく。スクライブライン915a,915bは、レーザ光が照射される被照射領域および冷媒が供給される被冷却領域を通過するとともに搬送方向940に平行に伸びるライン(縦走帯)945a,945b上に形成される。すなわち、本実施形態では、帯状ガラス910の表面におけるレーザ光の被照射領域および被冷却領域が縦断ライン(ライン945a,945b)上に設定されるように、固定位置からレーザ光を照射する照射ステップと、縦断ラインにおける被照射領域に追随する被冷却領域に冷媒を供給する冷却ステップとを実施する。   Heads 953a and 953b are arranged above the strip glass 910. Each head 953a, 953b includes the same member as the head 951. As described above, after forming an initial crack with a cutter, a laser beam and a coolant are sequentially supplied to the strip glass 910 to scribe lines 915a, 915b is formed. However, each of the heads 953a and 953b is fixed at a predetermined position on the strip glass 910. For this reason, the heads 953a and 953b move along the length direction of the band-shaped glass 910 relative to the band-shaped glass 910 along with the movement of the band-shaped glass 910 in the transport direction 940. 915a and 915b are formed. The scribe lines 915a and 915b are formed on lines (longitudinal belts) 945a and 945b that pass through the irradiated region to which the laser light is irradiated and the cooled region to which the coolant is supplied and extend in parallel with the transport direction 940. That is, in the present embodiment, the irradiation step of irradiating the laser beam from the fixed position so that the irradiated region and the cooled region of the laser beam on the surface of the belt-like glass 910 are set on the vertical lines (lines 945a and 945b). And a cooling step of supplying the coolant to the cooled region following the irradiated region in the longitudinal line.

参考実施形態C2は、耳と呼ばれることがある帯状ガラス910の側端部の除去に適用できる。また、製造するべきガラス板の幅寸法が帯状ガラス910の幅寸法に比べて小さいために、帯状ガラス910をその長さ方向に沿って分断するべき場合にも好ましく適用できる。図42(a)(b)に示した例では、帯状ガラス910の耳部(側端部)902が除去され、所定の厚さに成形された中央部901が、搬送方向下流側においてその幅方向941に分断されて板状ガラスとして採板される。成形するべき板状ガラスの厚さが薄い場合には、図示したように耳部902の厚さと中央部901の厚さとの相違が顕著になりやすい。   The reference embodiment C2 can be applied to the removal of the side edge of the band-shaped glass 910 that may be called an ear. Moreover, since the width dimension of the glass plate which should be manufactured is small compared with the width dimension of the strip glass 910, it can apply preferably also when the strip glass 910 should be divided along the length direction. In the example shown in FIGS. 42 (a) and 42 (b), the edge portion (side end portion) 902 of the belt-like glass 910 is removed, and the center portion 901 formed to a predetermined thickness has a width on the downstream side in the transport direction. Divided in the direction 941 and sampled as a sheet glass. When the thickness of the sheet glass to be formed is thin, the difference between the thickness of the ear portion 902 and the thickness of the central portion 901 tends to be remarkable as shown in the figure.

図42(b)に示したように、長さ方向に沿った分断も、スクライブライン915a,915bを跨ぐ図示左右両側において帯状ガラス910を持ち上げることにより実施することができる。図示した形態では、移動ローラ929により帯状ガラス910を持ち上げ、スクライブライン915a,915bに応力が加えられる。ただし、帯状ガラス910の分断は、図42(b)に示す形態に限らず、例えば、中央部901を帯状ガラス910の厚さ方向に変位させることなく、耳部902のみをガラス厚さ方向に押し下げることによっても実施できる。   As shown in FIG. 42B, the division along the length direction can also be performed by lifting the strip glass 910 on the left and right sides in the figure across the scribe lines 915a and 915b. In the illustrated form, the belt-shaped glass 910 is lifted by the moving roller 929, and stress is applied to the scribe lines 915a and 915b. However, the division of the strip-shaped glass 910 is not limited to the form shown in FIG. 42B. For example, the center portion 901 is not displaced in the thickness direction of the strip-shaped glass 910, and only the ear portion 902 is moved in the glass thickness direction. It can also be implemented by pushing down.

なお、帯状ガラス910には、横断するスクライブライン911を形成してから縦走するスクライブライン915a,915bを形成してもよく、この逆の順序でスクライブラインを形成してもよい。帯状ガラス910の分断ステップは、形成するべきすべてのスクライブラインを形成してからまとめて実施してもよく、スクライブラインを形成するスクライブライン形成ステップと交互に実施してもよい。例えば、帯状ガラス910にスクライブライン915a,915bを形成し、これらのラインで帯状ガラス910を分割して耳部902を除外し、その後、製品とする中央部901にスクラインライン911を形成し、このラインでの分割を行うこととしてもよい。   In addition, after forming the scribe line 911 which crosses, you may form the scribe lines 915a and 915b which run vertically in the strip | belt-shaped glass 910, and you may form a scribe line in the reverse order. The step of dividing the strip glass 910 may be performed collectively after forming all the scribe lines to be formed, or may be performed alternately with the scribe line forming step of forming the scribe lines. For example, the scribing lines 915a and 915b are formed on the band-shaped glass 910, the band-shaped glass 910 is divided by these lines to exclude the ear part 902, and then the scline line 911 is formed on the center part 901 as a product. It is good also as dividing by a line.

本実施形態では、基準搬送面961からみて帯状ガラス910の裏面910bから表面910fに向かう厚さ方向に帯状ガラス910の厚さtだけ離れた基準位置962におけるレーザ光917が縦断ライン(ライン945a,945b)に沿って拡がるトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有するように、レーザ光917を照射する。図41等に示す例では、基準位置962におけるレーザ光の断面の長軸方向が搬送方向940に一致するようにレーザ光を照射し、被照射領域の長軸方向を搬送方向940に一致させることにより、帯状ガラス910における熱量を与えるべき部分(縦断ライン;スクライブライン915a,915bが形成されるべき部分)に効率よく熱量を与えている。   In the present embodiment, the laser beam 917 at the reference position 962 separated from the back surface 910b of the belt-like glass 910 by the thickness t of the belt-like glass 910 in the thickness direction from the back surface 910b of the belt-like glass 910 as viewed from the reference transport surface 961 is a vertical line (line 945a, The laser beam 917 is irradiated so as to have a top-hat type energy density profile extending along 945b). In the example shown in FIG. 41 and the like, the laser beam is irradiated so that the long axis direction of the cross section of the laser beam at the reference position 962 matches the transport direction 940, and the long axis direction of the irradiated region is matched with the transport direction 940. Thus, heat is efficiently applied to a portion (longitudinal line; portions where the scribe lines 915a and 915b are to be formed) to which heat is to be applied in the strip glass 910.

また、本実施形態では、トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、基準位置962におけるエネルギー密度のピーク値をWmaxとしたときに、エネルギー密度が0.8Wmax以上であるフラット部917fが少なくとも全体の1/2を占める領域に拡がるものである。これにより、ライン945a,945b上の各地点に供給される熱量が均一になり易くなり、スクライブライン915a,915bを安定して形成できる。スクライブライン911の形成をより安定させる観点から、トップハット型のエネルギー密度プロファイルを、フラット部917fが少なくとも搬送方向の両端の各1/6の領域を除いた2/3を占める領域に拡がるものとしてもよい。 In the present embodiment, the top hat type energy density profile has at least the entire flat portion 917f having an energy density of 0.8 W max or more when the peak value of the energy density at the reference position 962 is W max . It extends to an area occupying 1/2. Accordingly, the amount of heat supplied to each point on the lines 945a and 945b is likely to be uniform, and the scribe lines 915a and 915b can be stably formed. From the viewpoint of making the formation of the scribe line 911 more stable, the top hat type energy density profile is extended to an area that occupies 2/3 of the flat portion 917f excluding at least 1/6 of each area at both ends in the transport direction. Also good.

フラット部917fの縦断ライン(長軸方向)に沿う長さは10〜150mmであり、好ましくは20〜100mmである。また、レーザ光の出力は、例えば30〜300Wである。帯状ガラス910の厚さは例えば0.1〜5mmである。   The length along the vertical line (long axis direction) of the flat portion 917f is 10 to 150 mm, preferably 20 to 100 mm. Moreover, the output of a laser beam is 30-300W, for example. The thickness of the strip glass 910 is, for example, 0.1 to 5 mm.

また、基準位置962におけるレーザ光のフラット部と、基準位置962における冷媒とが隣接するように、帯状ガラス910の表面910fから裏面910bに向かう厚さ方向に対して搬送方向940の下流側から上流側へと傾斜した方向に沿って冷媒を噴射してもよい。   Further, upstream from the downstream side in the transport direction 940 with respect to the thickness direction from the front surface 910f of the strip glass 910 to the back surface 910b so that the flat portion of the laser beam at the reference position 962 and the refrigerant at the reference position 962 are adjacent to each other. You may inject a refrigerant | coolant along the direction inclined to the side.

以下、搬送時に帯状ガラスが振動する場合に、レーザ光が上述のエネルギー密度プロファイルを有していることが有利であることを確認するために行ったオフライン実験について、図43を参照しながら説明する。   Hereinafter, an off-line experiment conducted to confirm that it is advantageous that the laser beam has the above-described energy density profile when the glass strip vibrates during conveyance will be described with reference to FIG. .

(実験C1)
板状ガラス1210として、厚さ0.33mm、短辺長100mm、長辺長200mmの寸法を有し、質量%により表示して下記の各成分を有するソーダライムガラス板を準備した。
(Experiment C1)
As the plate glass 1210, a soda lime glass plate having a thickness of 0.33 mm, a short side length of 100 mm, and a long side length of 200 mm, expressed in mass% and having the following components was prepared.

SiO2:71.9%
Al23:1.7%
MgO:4.0%
CaO:8.0%
Na2O:13.5%
2O:0.9%
SiO 2 : 71.9%
Al 2 O 3 : 1.7%
MgO: 4.0%
CaO: 8.0%
Na 2 O: 13.5%
K 2 O: 0.9%

板状ガラス1210の長辺に沿う方向が搬送用テーブル1290の搬送方向1242に一致するように、板状ガラス1210を搬送用テーブル1290に固定した。   The plate glass 1210 was fixed to the transfer table 1290 so that the direction along the long side of the plate glass 1210 coincided with the transfer direction 1242 of the transfer table 1290.

搬送用テーブル1290を静止させた状態で、板状ガラス1210に初期クラック1261を形成した。具体的には、板状ガラス1210の一方の短辺1210aから他方の短辺1210bの方向に50mm離れた位置を始端とし、短辺1210bに向かって延びる、長さが10mmの初期クラック1261を形成した。初期クラック1261は、焼結ダイヤモンドカッターホイール(外径φ2.5mm、厚み1.0mm、内径φ1.1mm、刃先角度135度)を用いて形成した。   An initial crack 1261 was formed in the sheet glass 1210 with the transfer table 1290 stationary. Specifically, an initial crack 1261 having a length of 10 mm is formed, starting from a position 50 mm away from one short side 1210a of the glass sheet 1210 in the direction of the other short side 1210b and extending toward the short side 1210b. did. The initial crack 1261 was formed using a sintered diamond cutter wheel (outer diameter φ2.5 mm, thickness 1.0 mm, inner diameter φ1.1 mm, blade edge angle 135 degrees).

次に、搬送用テーブル1290を移動させながら、板状ガラス1210の表面にレーザ光を照射し、さらに水(冷媒)を噴射した。具体的には、まず、被照射領域1227および被冷却領域1228が短辺1210aよりも搬送方向1242前方の位置に初期設定され、初期クラック1261の長軸と被照射領域1227の長軸とが一致して両長軸間に間隔が形成されないように搬送テーブル1290の位置を初期設定した。次に、被照射領域1227が長さ24mm、幅0.2mmの寸法(ビームウエスト(焦点)における寸法)を有し、板状ガラス1210の表面上にレーザ光のビームウエストが形成されるとともに、被冷却領域1228が被照射領域1227の長さ方向の一端に接するようにレーザ光集光装置および冷却装置を調整した(図43(a))。次に、被照射領域1227および被冷却領域1228の位置が固定された状態を維持しつつ、これらの位置が短辺1210bの搬送方向1242下流側となるまで搬送テーブル1290を搬送方向1242に384mm/sの速度(相対速度VRP)で移動させた(図43(b)(c))。このときに形成されたスクライブライン(クラック1262)の深さを調べた。 Next, while moving the transfer table 1290, the surface of the plate glass 1210 was irradiated with laser light, and water (refrigerant) was jetted. Specifically, first, the irradiated region 1227 and the cooled region 1228 are initially set at positions ahead of the short side 1210a in the transport direction 1242, and the major axis of the initial crack 1261 and the major axis of the irradiated region 1227 are the same. Then, the position of the transfer table 1290 was initially set so that no gap was formed between the two long axes. Next, the irradiated region 1227 has a length of 24 mm and a width of 0.2 mm (dimension at the beam waist (focal point)), and a laser beam beam waist is formed on the surface of the sheet glass 1210. The laser beam condensing device and the cooling device were adjusted so that the cooled region 1228 was in contact with one end in the length direction of the irradiated region 1227 (FIG. 43A). Next, while maintaining the positions of the irradiated region 1227 and the cooled region 1228 fixed, the transfer table 1290 is moved in the transfer direction 1242 to 384 mm / mm until these positions are downstream of the short side 1210b in the transfer direction 1242. It was moved at a speed of s (relative speed V RP ) (FIGS. 43B and 43C). The depth of the scribe line (crack 1262) formed at this time was examined.

具体的に、CO2レーザ発振器(UNIVERSAL LASER SYSTEMS製 ULC−100)から出力された60Wのレーザ光を、2枚のアキシコンレンズ、シリンドリカルレンズ(焦点深度F=5mm)およびミラーを用いて屈折および反射させて被照射領域1227を設定した(以下、CO2レーザ発振器、2枚のアキシコンレンズ、シリンドリカルレンズおよびミラーをまとめて光学システムと呼ぶことがある)。図44に、この光学システムを経由して板状ガラス1210に照射されるレーザ光が有するトップハット型のエネルギー密度プロファイルを示す。図44は、厚さ5mmのアクリル板にこのレーザ光を照射した後に、同アクリル板の断面を撮影した写真である。この写真から、フラット部の長さが24mmであり、両端部の長さがそれぞれ2mmであることが把握される。また、ノズル(エバーロイ製 ミニミスト04−10−13)から噴射量1.5ml/minの水を噴射することにより被冷却領域1228を設定した。ノズルは、搬送テーブル1290の主面に垂直な方向からみて、搬送方向1242の下流側から上流側に向かう方向にφ=10°傾斜した方向に開口するように設置した。また、搬送テーブル1290の主面との間に5.5mmの間隔が形成されるように、ノズルを配置した。 Specifically, a 60 W laser beam outputted from a CO 2 laser oscillator (ULC-100 manufactured by UNIVERSAL LASER SYSTEMS) is refracted and reflected using two axicon lenses, a cylindrical lens (depth of focus F = 5 mm) and a mirror. The irradiated region 1227 was set by reflection (hereinafter, a CO 2 laser oscillator, two axicon lenses, a cylindrical lens, and a mirror may be collectively referred to as an optical system). FIG. 44 shows a top hat type energy density profile possessed by laser light irradiated onto the sheet glass 1210 via this optical system. FIG. 44 is a photograph of a cross section of the acrylic plate after irradiating the acrylic plate with a thickness of 5 mm with this laser beam. From this photograph, it is understood that the length of the flat portion is 24 mm and the length of both end portions is 2 mm. Moreover, the to-be-cooled area | region 1228 was set by injecting the water of 1.5 ml / min of injection quantity from a nozzle (Everloy minimist 04-10-13). The nozzles were installed so as to open in a direction inclined by φ = 10 ° in the direction from the downstream side to the upstream side in the transport direction 1242 when viewed from the direction perpendicular to the main surface of the transport table 1290. In addition, the nozzles were arranged so that an interval of 5.5 mm was formed between the main surface of the transfer table 1290.

次に、搬送テーブル1290の移動速度を順次変更して、同様の実験を繰り返し行った。また、光学システムおよびノズルを搬送テーブル1290の主面に垂直な方向に順次移動させて(光学システムおよびノズルの高さを順次変更して)、同様の実験を行った。結果を表9に示す。なお、表9では、高さが0mmであることは搬送テーブル1290の主面とノズルとの間に5.5mmの間隔が形成された状態を示し、高さが正であることは光学システムおよびノズルが板状ガラス1210から遠ざかっている状態を示し、高さが負であることは光学システムおよびノズルが板状ガラス1210に近づいている状態を示す。また、表9中の、移動速度および高さ以外の数値は、形成されたスクライブラインを構成するクラック(垂直クラック)1262の深さ(μm)を示す(例えば、表9は、搬送テーブル1290の移動速度が192mm/s、高さが−3.8mmのときに、深さが120μmのスクライブラインが形成されたことを示す)。なお、数値に括弧が付されていることは、クラックが形成されたものの、形成されたクラックに沿った板状ガラス1210の分断が不可能であったこと(つまり、形成されたクラックが、本発明で特定しているような分断ステップの実施に足りるスクライブラインではないこと)を示す。Nは、初期クラック1261が全く伸長しなかったことを示す。Fは、板状ガラス1210が完全に分断されたことを示す。   Next, the moving speed of the transfer table 1290 was sequentially changed, and the same experiment was repeated. Further, the same experiment was performed by sequentially moving the optical system and the nozzle in a direction perpendicular to the main surface of the transfer table 1290 (by sequentially changing the height of the optical system and the nozzle). The results are shown in Table 9. In Table 9, a height of 0 mm indicates a state in which a gap of 5.5 mm is formed between the main surface of the transfer table 1290 and the nozzle, and a height of positive indicates that the optical system and A state in which the nozzle is moving away from the glass sheet 1210 is shown, and a negative height indicates a state in which the optical system and the nozzle are approaching the glass sheet 1210. The numerical values other than the moving speed and the height in Table 9 indicate the depth (μm) of the crack (vertical crack) 1262 constituting the formed scribe line (for example, Table 9 shows the transfer table 1290). This indicates that a scribe line having a depth of 120 μm was formed when the moving speed was 192 mm / s and the height was −3.8 mm). It should be noted that the parentheses in the numerical values indicate that although a crack was formed, it was impossible to divide the sheet glass 1210 along the formed crack (that is, the formed crack was It is not a scribe line sufficient to carry out the dividing step as specified in the invention. N indicates that the initial crack 1261 did not expand at all. F indicates that the sheet glass 1210 is completely divided.

実験C1の結果には、スクライブライン(初期クラック1261が伸長して形成されたクラックのうち、自身に沿って板状ガラス1210を分断可能なもの。以下同じ)が形成される場合の搬送テーブル1290の移動速度には最小値および最大値が存在することが表れている。最小値が存在するのは、搬送テーブル1290の移動速度が過度に遅い場合には、板状ガラス1210に供給される単位面積当たりの熱量が過大となり、板状ガラス1210が完全に分断されたり、意図しないクラック(例えば、水平クラック)が生じたりするためである。一方、最大値が存在するのは、搬送テーブル1290の移動速度が過度に速い場合には、板状ガラス1210に供給される単位面積当たりの熱量が過小となり、スクライブラインの伸長に必要な応力が生じないためである。表9において数値に括弧が付されたケースにおいて板状ガラス1210の分断が不可能であった理由は定かではないが、板状ガラス1210に供給される単位面積当たりの熱量が過大となり、冷媒が到達する前にクラックが伸長した結果、クラックの断面の平滑性が不十分となったり、クラックの伸長方向が所定の方向からわずかに逸れたりしていた可能性がある。   The result of Experiment C1 is a conveyance table 1290 in the case where a scribe line (a crack formed by extending the initial crack 1261 that can cut the glass sheet 1210 along itself, the same applies hereinafter) is formed. It can be seen that there is a minimum value and a maximum value in the moving speed of. The minimum value exists when the moving speed of the transfer table 1290 is excessively slow, the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 1210 becomes excessive, and the sheet glass 1210 is completely divided, This is because unintended cracks (for example, horizontal cracks) may occur. On the other hand, the maximum value exists when the moving speed of the transfer table 1290 is excessively high, the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 1210 is too small, and the stress necessary for the extension of the scribe line is present. This is because it does not occur. In Table 9, the reason why the sheet glass 1210 could not be divided in the case where the numerical values are parenthesized is not clear, but the amount of heat per unit area supplied to the sheet glass 1210 is excessive, and the refrigerant is As a result of the crack extending before reaching, the smoothness of the cross section of the crack may be insufficient, or the extension direction of the crack may be slightly deviated from the predetermined direction.

また、実験C1の結果から、スクライブラインが形成されるための条件は、光学システムおよびノズルの高さによって異なることが把握される。詳細には、スクライブラインを形成可能な搬送テーブル1290の移動速度の最小値および最大値は、光学システムおよびノズルの高さが0mmから離れるに従って低下する傾向がある。これは、実験C1においては、高さが0mmの場合にレーザ光のビームウエストが板状ガラス1210の表面に形成されるようにレーザ光を照射し、かつこの場合に冷却領域1228が被照射領域1227の長さ方向の一端に接するように冷媒を噴射しているためである。表10に、光学システムおよびノズルの高さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブル1290の移動速度(最小値および最大値)との関係を示す。また、同関係を、図45の実線により示す。   Further, from the result of Experiment C1, it is understood that the conditions for forming the scribe line differ depending on the height of the optical system and the nozzle. Specifically, the minimum value and the maximum value of the moving speed of the transfer table 1290 capable of forming a scribe line tend to decrease as the height of the optical system and the nozzle moves away from 0 mm. This is because, in Experiment C1, when the height is 0 mm, the laser beam is irradiated so that the beam waist of the laser beam is formed on the surface of the sheet glass 1210, and in this case, the cooling region 1228 is the irradiated region. This is because the refrigerant is injected so as to come into contact with one end of the length direction 1227. Table 10 shows the relationship between the height of the optical system and the nozzle and the moving speed (minimum value and maximum value) of the transfer table 1290 when the scribe line is formed. The relationship is indicated by a solid line in FIG.

(実験C2)
実験C2では、リング型のエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光が形成されるように、光学システムを変更した。これにより、リング型のエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光を形成した。それ以外は、実験C1と同様に実験を行った。結果を表11に示す。表11において、「A」は、初期クラック1261が伸長したことを示す。また、表12に、光学システムおよびノズルの高さと、スクライブラインが形成された場合の搬送テーブル1290の移動速度(最小値および最大値)との関係を示す。また、同関係を、図45の点線により示す。
(Experiment C2)
In Experiment C2, the optical system was changed so that laser light having a ring-shaped energy density profile was formed. As a result, a laser beam having a ring-type energy density profile was formed. Otherwise, the experiment was performed in the same manner as Experiment C1. The results are shown in Table 11. In Table 11, “A” indicates that the initial crack 1261 has expanded. Table 12 shows the relationship between the height of the optical system and nozzles and the moving speed (minimum value and maximum value) of the transport table 1290 when a scribe line is formed. The relationship is shown by the dotted line in FIG.

図45から、実験C1の光学システムを用いた場合も、実験C2の光学システムを用いた場合も、スクライブラインを形成可能とするためには、光学システムおよびノズルの高さを一定の範囲内としなければならないことが把握される。また、図45から、この範囲の幅は、実験C1の光学システムを用いた場合の方が、実験C2の光学システムを用いた場合よりも広いことが把握される。すなわち、実験C1および実験C2から、搬送時に帯状ガラス910が振動するオンライン切断においてレーザ光を用いてスクライブライン911を形成する場合には、上述のトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有するレーザ光917を用いることが有利であると言える。   From FIG. 45, the height of the optical system and the nozzle are set within a certain range in order to make it possible to form a scribe line both in the case of using the optical system of Experiment C1 and in the case of using the optical system of Experiment C2. It is understood that there is a need. 45, it is understood that the width of this range is wider when the optical system of Experiment C1 is used than when the optical system of Experiment C2 is used. That is, from Experiment C1 and Experiment C2, when the scribe line 911 is formed using laser light in online cutting in which the strip glass 910 vibrates during conveyance, the laser light 917 having the above-mentioned top hat type energy density profile is used. It can be said that it is advantageous to use it.

また、実験C1の光学系を採用した場合には、実験2の光学系を採用した場合よりも、クラックの発生を防止しつつレーザ光の出力を大きくし易いことが分かる。   Further, it can be seen that when the optical system of Experiment C1 is employed, the output of the laser beam can be easily increased while preventing the generation of cracks, compared with the case of employing the optical system of Experiment 2.

参考実施形態C1およびC2を併せて参照することにより、下記の発明を導くことができる。   By referring to the reference embodiments C1 and C2 together, the following invention can be derived.

(参考発明C1)
成形装置から搬出され、基準搬送面に沿って所定の搬送方向へと搬送されている帯状ガラスにレーザ光を照射することにより、前記帯状ガラスの横断方向に延びる横断ラインに沿って前記帯状ガラスを切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの表面における前記レーザ光の被照射領域が前記横断ラインの一端側から他端側へと移動するように、前記レーザ光を照射する照射ステップと、
前記横断ラインにおける前記被照射領域に追随する被冷却領域に冷媒を供給する冷却ステップと、を備え、
前記基準搬送面からみて前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう厚さ方向に前記帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置における前記レーザ光は、前記横断ラインに沿って拡がるトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有し、
前記トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、前記基準位置におけるエネルギー密度のピーク値をWmaxとしたときに、エネルギー密度が0.8Wmax以上であるフラット部が少なくとも全体の1/2を占める領域に拡がるものであり、
前記照射ステップにおいて、前記レーザ光の前記エネルギー密度プロファイルが前記被照射領域が前記横断ラインの一端側から他端側へと移動する期間にわたって維持されるように、前記レーザ光を照射する、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C1)
By irradiating the strip-shaped glass unloaded from the forming apparatus and being transported in a predetermined transport direction along the reference transport surface, the strip-shaped glass is moved along a transverse line extending in the transverse direction of the strip-shaped glass. A method for cutting a strip glass,
An irradiation step of irradiating the laser beam so that the irradiated region of the laser beam on the surface of the belt-shaped glass moves from one end side to the other end side of the transverse line;
A cooling step of supplying a refrigerant to a cooled region following the irradiated region in the crossing line, and
The top hat type energy density in which the laser beam at the reference position separated by the thickness t of the strip glass in the thickness direction from the back surface to the front surface of the strip glass as viewed from the reference transport surface spreads along the transverse line. Have a profile,
In the top hat type energy density profile, when the peak value of the energy density at the reference position is W max , a flat portion having an energy density of 0.8 W max or more occupies at least a half of the whole. It ’s something that expands,
In the irradiation step, the laser beam is irradiated so that the energy density profile of the laser beam is maintained over a period in which the irradiated region moves from one end side to the other end side of the transverse line.
A method for cutting strip glass.

(参考発明C2)
参考発明1に加え、前記トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、前記フラット部が少なくとも前記横断方向の両端の各1/6の領域を除いた2/3を占める領域に拡がるものである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C2)
In addition to the reference invention 1, the energy density profile of the top hat type is a band-shaped glass in which the flat portion extends to an area occupying 2/3 excluding each 1/6 area at both ends in the transverse direction. Cutting method.

(参考発明C3)
参考発明C1またはC2に加え、前記フラット部の前記横断ラインに沿う長さは、10〜150mmである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C3)
In addition to the reference invention C1 or C2, the length of the flat portion along the crossing line is 10 to 150 mm.

(参考発明C4)
参考発明C1〜C3のいずれか1つに加え、前記冷却ステップにおいて、前記基準位置における前記レーザ光の前記フラット部と、前記基準位置における前記冷媒とが隣接するように、前記帯状ガラスの表面から裏面に向かう厚さ方向に対して前記横断方向の上流側から下流側へと傾斜した方向に沿って前記冷媒を噴射する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C4)
In addition to any one of the reference inventions C1 to C3, in the cooling step, the flat portion of the laser light at the reference position and the refrigerant at the reference position are adjacent to each other from the surface of the strip glass. A method for cutting strip glass in which the refrigerant is injected along a direction inclined from the upstream side to the downstream side in the transverse direction with respect to the thickness direction toward the back surface.

(参考発明C5)
参考発明C1〜C4のいずれか1つに加え、前記帯状ガラスの厚さが0.1mm〜5mmである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C5)
In addition to any one of the reference inventions C1 to C4, a method for cutting a strip glass, wherein the strip glass has a thickness of 0.1 mm to 5 mm.

(参考発明C6)
成形装置から搬出され、基準搬送面に沿って所定の搬送方向へと搬送されている帯状ガラスにレーザ光を照射することにより、前記搬送方向に延びる縦断ラインに沿って前記帯状ガラスを切断する、帯状ガラスの切断方法であって、
前記帯状ガラスの表面における前記レーザ光の被照射領域が前記縦断ライン上に設定されるように、固定位置から前記レーザ光を照射する照射ステップと、
前記縦断ラインにおける前記被照射領域に追随する被冷却領域に冷媒を供給する冷却ステップと、を備え、
前記基準搬送面からみて前記帯状ガラスの裏面から表面に向かう厚さ方向に前記帯状ガラスの厚さtだけ離れた基準位置における前記レーザ光は、前記縦断ラインに沿って拡がるトップハット型のエネルギー密度プロファイルを有し、
前記トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、前記基準位置におけるエネルギー密度のピーク値をWmaxとしたときに、エネルギー密度が0.8Wmax以上であるフラット部が少なくとも全体の1/2を占める領域に拡がるものである、
帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C6)
Cutting the glass strip along a longitudinal line extending in the transport direction by irradiating the laser beam onto the glass strip that is unloaded from the molding apparatus and transported in a predetermined transport direction along the reference transport surface; A method for cutting strip glass,
An irradiation step of irradiating the laser beam from a fixed position so that an irradiation region of the laser beam on the surface of the belt-shaped glass is set on the longitudinal line;
A cooling step of supplying a coolant to a cooled region following the irradiated region in the longitudinal line,
The top-hat type energy density in which the laser beam at the reference position separated by the thickness t of the strip glass in the thickness direction from the back surface to the front surface of the strip glass as viewed from the reference transport surface spreads along the vertical line. Have a profile,
In the top hat type energy density profile, when the peak value of the energy density at the reference position is W max , a flat portion having an energy density of 0.8 W max or more occupies at least a half of the whole. It is something that expands
A method for cutting strip glass.

(参考発明C7)
参考発明C6に加え、前記トップハット型のエネルギー密度プロファイルは、前記フラット部が少なくとも前記搬送方向の両端の各1/6の領域を除いた2/3を占める領域に拡がるものである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C7)
In addition to Reference Invention C6, the energy density profile of the top hat type is a band-shaped glass in which the flat portion extends to an area that occupies 2/3 excluding at least 1/6 of each end of the transport direction. Cutting method.

(参考発明C8)
参考発明C6またはC7に加え、前記フラット部の前記縦断ラインに沿う長さは、10〜150mmである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C8)
In addition to the reference invention C6 or C7, the length along the longitudinal line of the flat portion is a cutting method of the strip glass having a length of 10 to 150 mm.

(参考発明C9)
参考発明C6〜C8のいずれか1つに加え、前記冷却ステップにおいて、前記基準位置における前記レーザ光の前記フラット部と、前記基準位置における前記冷媒とが隣接するように、前記帯状ガラスの表面から裏面に向かう厚さ方向に対して前記搬送方向の下流側から上流側へと傾斜した方向に沿って前記冷媒を噴射する帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C9)
In addition to any one of the reference inventions C6 to C8, in the cooling step, from the surface of the strip glass, the flat portion of the laser light at the reference position and the refrigerant at the reference position are adjacent to each other. A method for cutting strip glass in which the refrigerant is injected along a direction inclined from the downstream side to the upstream side in the transport direction with respect to the thickness direction toward the back surface.

(参考発明C10)
参考発明C6〜C9のいずれか1つに加え、前記帯状ガラスの厚さが0.1mm〜5mmである帯状ガラスの切断方法。
(Reference Invention C10)
In addition to any one of Reference Inventions C6 to C9, a method for cutting strip glass, wherein the strip glass has a thickness of 0.1 mm to 5 mm.

10 帯状ガラス
10e 帯状ガラスの下流端
11,11a,11b,11c,11d,11x スクライブライン
17 レーザ光
18 冷媒
19 カッター
21 搬送ローラ
22 支持体
25 移動ローラ
27 被照射領域
28 被冷却領域
40 (帯状ガラスの)搬送方向
41 (帯状ガラスの)幅方向
42 斜行走行方向
50 ヘッド走行ライン
51 ヘッド
60a 搬送高さ
60b 分断高さ
70 光学システム
71 レーザ光発生装置
72 レーザビーム拡大装置
73,74,75 光学素子
80 噴射ノズル(冷却装置)
100 ガラス板
110 帯状ガラス
110e 帯状ガラスの下流端
111 スクライブライン
117 レーザ光
118 冷媒
119 カッター
121 搬送ローラ
122,222 支持体
125 移動ローラ
127,427 被照射領域
128,428 被冷却領域
140 (帯状ガラスの)搬送方向
141 (帯状ガラスの)幅方向
142,242, 斜行走行方向
150,250, ヘッド走行ライン
151,251 ヘッド
170 光学システム
171 レーザ光発生装置
172 レーザビーム拡大装置
173,174,175 光学素子
180 噴射ノズル(冷却装置)
200 ガラス板
461 初期クラック
462 クラック
410a,410b 短辺
442 (搬送用テーブルの)搬送方向
490 搬送テーブル
510 帯状ガラス(ガラスリボン)
510b (帯状ガラスの)裏面
510e 帯状ガラスの下流端
510f (帯状ガラスの)表面
511 スクライブライン
517,817 レーザ光
517w,817w ビームウエスト
518.818 冷媒
519 カッター
521 搬送ローラ
525 移動ローラ
527,827 被照射領域
528,828 被冷却領域
540 (帯状ガラスの)搬送方向
541 (帯状ガラスの)幅方向
542 斜行走行方向
550 ヘッド走行ライン
551 ヘッド
561 基準搬送面
562 基準位置
570 光学システム
571 レーザ光発生装置
572 レーザビーム拡大装置
573,574,575 光学素子
580 噴射ノズル(冷却装置)
600 ガラス板
810 板状ガラス
810a,810b 短辺
829 重複領域
830 隙間
842 (搬送用テーブルの)搬送方向
861 初期クラック
862 クラック
890 搬送テーブル
901 (帯状ガラスの)中央部
902 (帯状ガラスの)側端部または耳部
910 帯状ガラス(ガラスリボン)
910b (帯状ガラスの)裏面
910e 帯状ガラスの下流端
910f (帯状ガラスの)表面
911,915a,915b スクライブライン
917 レーザ光
917e 両端部
917f フラット部
917l 長軸方向
917s 短軸方向
918 冷媒
919 カッター
921 搬送ローラ
925,929 移動ローラ
927,1227 被照射領域
928,1228 被冷却領域
940 (帯状ガラスの)搬送方向
941 (帯状ガラスの)幅方向
942 斜行走行方向
945a,945b 縦走帯
950 ヘッド走行ライン
951,953a,953b ヘッド
961 基準搬送面
962 基準位置
970 光学システム
971 レーザ光発生装置
972 レーザビーム拡大装置
973,974,975 光学素子
980 噴射ノズル(冷却装置)
1000 ガラス板
1210 板状ガラス
1210a,1210b 短辺
1242 (搬送用テーブルの)搬送方向
1261 初期クラック
1262 クラック
1290 搬送テーブル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Strip glass 10e Downstream end 11, 11a, 11b, 11c, 11d, 11x of strip glass 17 Scribe line 17 Laser beam 18 Refrigerant 19 Cutter 21 Transport roller 22 Support body 25 Moving roller 27 Irradiated area 28 Cooled area 40 (Strip glass) ) Transport direction 41 (Strip-shaped glass) Width direction 42 Skew travel direction 50 Head travel line 51 Head 60a Transport height 60b Dividing height 70 Optical system 71 Laser light generator 72 Laser beam expansion device 73, 74, 75 Optics Element 80 Injection nozzle (cooling device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Glass plate 110 Strip glass 110e Downstream end 111 of strip glass 117 Scribe line 117 Laser beam 118 Refrigerant 119 Cutter 121 Transport roller 122,222 Support body 125 Moving roller 127,427 Irradiated area 128,428 Cooled area 140 ) Conveying direction 141 Width direction 142, 242 (Strip glass) Slant running direction 150, 250, Head running line 151, 251 Head 170 Optical system 171 Laser light generator 172 Laser beam expander 173, 174, 175 Optical element 180 Injection nozzle (cooling device)
200 Glass plate 461 Initial crack 462 Crack 410a, 410b Short side 442 Conveying direction 490 (conveying table) Conveying table 510 Band-shaped glass (glass ribbon)
510b Back surface 510e (Strip glass) Downstream end 510f of strip glass 511 Scribe line 517, 817 Laser beam 517w, 817w Beam waist 518.818 Refrigerant 519 Cutter 521 Transport roller 525 Moving roller 527, 827 Irradiated Areas 528 and 828 Cooled area 540 (Strip glass) transport direction 541 (Strip glass) width direction 542 Skew travel direction 550 Head travel line 551 Head 561 Reference transport surface 562 Reference position 570 Optical system 571 Laser light generator 572 Laser beam expanding device 573, 574, 575 Optical element 580 Injection nozzle (cooling device)
600 glass plate 810 plate glass 810a, 810b short side 829 overlap region 830 gap 842 (direction of conveyance table) conveyance direction 861 initial crack 862 crack 890 conveyance table 901 (portion of glass) central portion 902 (edge of band-like glass) side edge Or ear 910 Band glass (glass ribbon)
910b Back surface 910e of strip glass 910f Downstream end 910f of strip glass 911, 915a, 915b Scribe line 917 Laser beam 917e Both ends 917f Flat portion 917l Long axis direction 917s Short axis direction 918 Refrigerant 919 Cutter 921 Transport Roller 925, 929 Moving roller 927, 1227 Irradiated area 928, 1228 Cooled area 940 Transport direction 941 (for strip glass) Width direction 942 Skew travel direction 945 a, 945 b Longitudinal belt 950 Head travel line 951 953a, 953b Head 961 Reference transport surface 962 Reference position 970 Optical system 971 Laser light generator 972 Laser beam expander 973, 974, 975 Optical element 980 Injection nozzle (cooling device)
1000 Glass plate 1210 Sheet glass 1210a, 1210b Short side 1242 Transport direction 1261 (for transport table) Initial crack 1262 Crack 1290 Transport table

Claims (6)

成形装置から搬出され、帯状ガラスを基準搬送面に沿って搬送方向へと搬送しながら、前記帯状ガラスにレーザ光および冷媒を供給することにより、前記帯状ガラスに形成された初期クラックを前記帯状ガラスの幅方向へと伸長させて前記帯状ガラスにスクライブラインを形成するレーザスクライブ工程と、
前記スクライブラインが形成された帯状ガラスを前記搬送方向に搬送しながら、前記スクライブラインが形成されるスクライブ位置よりも前記搬送方向の下流側に所定間隔離れた分断位置において、前記スクライブラインを跨ぐ領域において前記帯状ガラスを前記基準搬送面から変位させて前記スクライブラインにおいて前記帯状ガラスを分断するガラス分断工程と、を具備し、
前記ガラス分断工程において前記帯状ガラスが前記基準搬送面から変位し始めてから前記スクライブラインにおいて分断されて前記基準搬送面へと戻るまでの期間にわたって、前記スクライブ位置と前記分断位置との間において搬送されている前記帯状ガラスに少なくとも1本の前記スクライブラインが存在するように、前記所定間隔を定める、
帯状ガラスの切断方法。
The initial cracks formed in the band glass are removed from the forming apparatus by supplying a laser beam and a coolant to the band glass while conveying the band glass along the reference conveyance surface in the conveyance direction. A laser scribing step for forming a scribe line in the strip glass by extending in the width direction of
A region that straddles the scribe line at a dividing position that is separated from the scribe position where the scribe line is formed at a predetermined distance away from the scribe position where the scribe line is formed while conveying the glass strip formed with the scribe line. A glass cutting step of displacing the belt-like glass in the scribe line by displacing the belt-like glass from the reference transport surface,
In the glass cutting step, the strip glass is transported between the scribing position and the cutting position over a period from when it starts to be displaced from the reference transport surface until it is split at the scribe line and returns to the reference transport surface. The predetermined interval is determined so that at least one scribe line is present in the belt-shaped glass.
A method for cutting strip glass.
前記期間にわたって、前記スクライブ位置と前記分断位置との間において前記基準搬送面に沿って搬送されている前記帯状ガラスに少なくとも2本の前記スクライブラインが存在するように、前記所定間隔を定める、請求項1に記載の帯状ガラスの切断方法。   The predetermined interval is determined such that at least two of the scribe lines are present in the band-shaped glass being conveyed along the reference conveyance surface between the scribe position and the dividing position over the period. Item 2. A method for cutting strip glass according to Item 1. 前記期間にわたって、前記スクライブ位置と前記分断位置との間において搬送されている前記帯状ガラスに10本以下の前記スクライブラインが存在するように、前記所定間隔を定める、請求項1または2に記載の帯状ガラスの切断方法。   The said predetermined space | interval is defined so that the said scribe line may exist in the said strip shaped glass currently conveyed between the said scribe position and the said dividing position over the said period. A method for cutting strip glass. 前記基準搬送面は水平面であり、
前記期間にわたって、前記スクライブ位置と前記分断位置との間において前記帯状ガラスの下面のみを支持する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の帯状ガラスの切断方法。
The reference transport surface is a horizontal surface;
The cutting method of the strip glass as described in any one of Claims 1-3 which supports only the lower surface of the strip glass between the said scribe position and the said cutting position over the said period.
前記スクライブ位置と前記分断位置との間隔を2m〜5mに設定する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の帯状ガラスの切断方法。   The strip glass cutting method according to any one of claims 1 to 4, wherein an interval between the scribe position and the dividing position is set to 2 m to 5 m. 前記帯状ガラスの厚さが0.1mm〜1.1mmである、請求項1〜5のいずれか一項に記載の帯状ガラスの切断方法。   The cutting method of the strip glass as described in any one of Claims 1-5 whose thickness of the said strip glass is 0.1 mm-1.1 mm.
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