JP2014000719A

JP2014000719A - Liquid jet head and liquid jet apparatus

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Publication number: JP2014000719A
Application number: JP2012137605A
Authority: JP
Inventors: Jun Kawamura; 潤川村; Takanori Koyano; 高徳小谷野
Original assignee: SII Printek Inc
Current assignee: SII Printek Inc
Priority date: 2012-06-19
Filing date: 2012-06-19
Publication date: 2014-01-09

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a nozzle 8 from shifting in position owing to a thermal expansion difference between an actuator substrate 2 and a cap member 3.SOLUTION: A liquid jet head 1 includes an actuator substrate 2 which has a channel array 7 in which a plurality of channels 6 are arranged in a long direction, the plurality of channels 6 being open on a side face SP; a cap member 3 which has a through window 11 penetrating in a plate thickness direction and is joined with the actuator substrate 2 through an adhesive 5, the side face SP being mounted substantially in parallel with an open surface of the through window 11; a nozzle plate which has a nozzle array 9 in which a plurality of nozzles 8 are arrayed in a long direction, the plurality of nozzles 8 and the plurality of channels 6 being mounted on the side face SP while communicating with each other; and a buffer member 20 installed between an outer surface GP of the actuator substrate 2 and an inner wall surface IS of the through window 11.

Description

本発明は、液滴を吐出して被記録媒体に記録する液体噴射ヘッド、この液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head that ejects liquid droplets to record on a recording medium, and a liquid ejecting apparatus using the liquid ejecting head.

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料（以下、液体という。）を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。 In recent years, an ink jet type liquid ejecting head has been used in which ink droplets are ejected onto recording paper or the like to record characters and figures, or a liquid material is ejected onto the surface of an element substrate to form a functional thin film. In this method, ink or liquid material (hereinafter referred to as liquid) is guided from a liquid tank to a channel via a supply pipe, pressure is applied to the liquid filled in the channel, and the liquid is discharged from a nozzle communicating with the channel. . When discharging the liquid, the liquid ejecting head or the recording medium is moved to record characters and figures, or a functional thin film having a predetermined shape is formed.

図７は、この種の液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド１０１）の分解斜視図である（特許文献１の図１）。インクジェットヘッド１０１は、液滴を吐出するための吐出口１１１を設けたノズルプレート１１２と、液体を押し出すポンプ機能を有するチャンバが複数配列するアクチュエータ１１０と、中央部に貫通窓を備え、アクチュエータ１１０が挿入されて接着剤により固定されるノズルキャップ１１３とを備える。インクジェットヘッド１０１は、更に、アクチュエータ１１０の各チャンバに液体を供給する流路１１６と、アクチュエータ１１０に駆動信号を伝達するフレキシブル基板１１７と、フレキシブル基板１１７に駆動信号を供給する回路基板１１５と、ノズルキャップ１１３及び回路基板１１５を固定するベース部材１１４とを備える。 FIG. 7 is an exploded perspective view of this type of liquid jet head (inkjet head 101) (FIG. 1 of Patent Document 1). The inkjet head 101 includes a nozzle plate 112 provided with an ejection port 111 for ejecting droplets, an actuator 110 in which a plurality of chambers having a pump function for pushing out liquid are arranged, and a through window at the center. And a nozzle cap 113 that is inserted and fixed by an adhesive. The ink jet head 101 further includes a flow path 116 for supplying a liquid to each chamber of the actuator 110, a flexible board 117 for transmitting a drive signal to the actuator 110, a circuit board 115 for supplying a drive signal to the flexible board 117, and a nozzle. And a base member 114 for fixing the cap 113 and the circuit board 115.

図８は、組み立て後のインクジェットヘッド１０１の断面模式図である（特許文献１の図２）。アクチュエータ１１０の液体吐出側がノズルキャップ１１３の開口部に挿入され、ノズルプレート１１２はアクチュエータ１１０の吐出面及びノズルキャップ１１３の吐出側の外表面に接着剤により貼り付けられる。また、ノズルキャップ１１３と流路１１６及びベース部材１１４とは接着剤１１９により接着され、固定される。なお、１２１は弾性部材、１２０は温度センサー、１２２は熱伝導樹脂である。図８において、ノズルキャップ１１３の開口部の内壁面とアクチュエータ１１０の挿入部の外表面との間に隙間が存在するが、この隙間は、通常、接着剤１１９により埋め立てられている。 FIG. 8 is a schematic sectional view of the assembled inkjet head 101 (FIG. 2 of Patent Document 1). The liquid ejection side of the actuator 110 is inserted into the opening of the nozzle cap 113, and the nozzle plate 112 is attached to the ejection surface of the actuator 110 and the outer surface of the nozzle cap 113 on the ejection side with an adhesive. Further, the nozzle cap 113, the flow path 116, and the base member 114 are bonded and fixed by an adhesive 119. Note that 121 is an elastic member, 120 is a temperature sensor, and 122 is a heat conductive resin. In FIG. 8, there is a gap between the inner wall surface of the opening of the nozzle cap 113 and the outer surface of the insertion portion of the actuator 110, and this gap is usually filled with an adhesive 119.

ここで、アクチュエータ１１０は圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）セラミックスが使用され、ノズルキャップ１１３は金属材料、たとえばステンレスやアルミニウムが使用される。接着剤１１９としては硬化後の硬度の高い高硬度材料や硬化後の硬度の低い低硬度材料が使用される。低硬度材料を使用すれば、アクチュエータ１１０とノズルキャップ１１３の熱膨張差に伴う応力がアクチュエータ１１０に加わることを低減させることができる。しかし、硬化後の硬度が低硬度の接着剤１１９を使用すると、液体として溶剤系インクを使用したときに接着剤１１９が溶剤系インクにより溶解してノズルキャップ１１３からアクチュエータ１１０が剥がれてしまう等の不具合が発生する。そこで、ノズルキャップ１１３とアクチュエータ１１０の間は硬化後の硬度の高い高硬度の接着剤１１９を使用し、液体として溶剤系インクを使用しても接着剤１１９が劣化しないようにする。 Here, the actuator 110 uses a lead zirconate titanate (PZT) ceramic that is a piezoelectric material, and the nozzle cap 113 uses a metal material such as stainless steel or aluminum. As the adhesive 119, a high hardness material having high hardness after curing or a low hardness material having low hardness after curing is used. If a low-hardness material is used, it is possible to reduce the stress applied to the actuator 110 due to the difference in thermal expansion between the actuator 110 and the nozzle cap 113. However, when the adhesive 119 having a low hardness after curing is used, when the solvent-based ink is used as the liquid, the adhesive 119 is dissolved by the solvent-based ink and the actuator 110 is peeled off from the nozzle cap 113. A malfunction occurs. Therefore, a high-hardness adhesive 119 having a high hardness after curing is used between the nozzle cap 113 and the actuator 110 so that the adhesive 119 does not deteriorate even when solvent-based ink is used as the liquid.

しかし、高硬度の接着剤１１９を使用してノズルキャップ１１３とアクチュエータ１１０を接着すると、ノズルキャップ１１３とアクチュエータ１１０の熱膨張差による応力がアクチュエータ１１０に直接印加され、アクチュエータ１１０が変形する。アクチュエータ１１０としてＰＺＴセラミックスを使用しノズルキャップ１１３として熱伝導性の高いアルミニウムやステンレスを使用した場合、ＰＺＴセラミックスの線膨張係数は４〜９×１０^-6／℃であり、アルミニウムの線膨張係数は２４×１０^-6／℃であり、ステンレスの線膨張係数は１２〜１９×１０^-6／℃である。そのため、接着剤１１９を加熱して硬化させた後に冷却したときの温度変化や駆動の際の温度変化に伴ってアクチュエータ１１０に応力が印加され、アクチュエータ１１０に接着したノズルプレート１１２の寸法が変化し、ノズルの位置ずれが発生する。また、高硬度の接着剤は高温で硬化するので、冷却後の熱膨張差によりアクチュエータ１１０にクラックが入る、あるいはアクチュエータ１１０が破壊するなどの不具合が発生する。 However, when the nozzle cap 113 and the actuator 110 are bonded using the adhesive 119 having a high hardness, stress due to a difference in thermal expansion between the nozzle cap 113 and the actuator 110 is directly applied to the actuator 110, and the actuator 110 is deformed. When PZT ceramic is used as the actuator 110 and aluminum or stainless steel having high thermal conductivity is used as the nozzle cap 113, the linear expansion coefficient of PZT ceramic is 4 to 9 × 10 ⁻⁶ / ° C., and the linear expansion coefficient of aluminum is It is 24 × 10 ⁻⁶ / ° C., and the linear expansion coefficient of stainless steel is 12 to 19 × 10 ⁻⁶ / ° C. Therefore, stress is applied to the actuator 110 in accordance with a temperature change when the adhesive 119 is heated and cured and then cooled, or a temperature change during driving, and the size of the nozzle plate 112 adhered to the actuator 110 changes. , Nozzle misalignment occurs. In addition, since the high-hardness adhesive is cured at a high temperature, problems such as cracks in the actuator 110 or destruction of the actuator 110 occur due to the difference in thermal expansion after cooling.

特許文献２では、このような不具合を防止するために、ＰＺＴセラミックスの線膨張係数と略同等の線膨張係数を有するスペーサをアクチュエータ基板に積層して接着し、アクチュエータ基板の変形を抑えている。スペーサとして、例えば厚さ０．１ｍｍ〜１．５ｍｍの石英板やアルミナ板（Ａｌ₂Ｏ₃）を使用する。このスペーサをアクチュエータ基板に積層して接着することにより、ノズルキャップとアクチュエータ基板の熱膨張差に基づいてアクチュエータ基板に応力が加わっても、アクチュエータ基板の変形を抑えることができる。そのために、高温で硬化する高硬度の接着剤を使用することができ、溶剤系インクに対する接着剤の耐性を向上させることができる、と記載されている。 In Patent Document 2, in order to prevent such problems, spacers having a linear expansion coefficient substantially equal to that of PZT ceramics are laminated and bonded to the actuator substrate to suppress deformation of the actuator substrate. As the spacer, for example, a quartz plate or an alumina plate (Al ₂ O ₃ ) having a thickness of 0.1 mm to 1.5 mm is used. By laminating and adhering this spacer to the actuator substrate, deformation of the actuator substrate can be suppressed even if stress is applied to the actuator substrate based on the difference in thermal expansion between the nozzle cap and the actuator substrate. Therefore, it is described that a high-hardness adhesive that cures at high temperatures can be used, and the resistance of the adhesive to solvent-based inks can be improved.

特許文献３には、１サイクルで駆動することが可能な液体噴射ヘッドが記載されている。液体噴射ヘッドは、ＰＺＴの圧電材料からなるアクチュエータ基板と、その上に接合されるカバープレート基板と、アクチュエータ基板及びカバープレート基板の端面に接合されるノズルプレートを備えている。アクチュエータ基板の表面には同じ形状の複数の吐出溝が所定のピッチで並列して形成される。各吐出溝はその上部がカバープレート基板により覆われて各チャンネルを構成する。各チャンネルは、液体を吐出するための吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとが交互に所定のピッチで配列し、端部に位置するダミーチャンネルとアクチュエータ基板の端部との間には溝が形成されていない。 Patent Document 3 describes a liquid jet head that can be driven in one cycle. The liquid ejecting head includes an actuator substrate made of a PZT piezoelectric material, a cover plate substrate bonded to the actuator substrate, and a nozzle plate bonded to the end surfaces of the actuator substrate and the cover plate substrate. A plurality of ejection grooves having the same shape are formed in parallel at a predetermined pitch on the surface of the actuator substrate. The upper part of each discharge groove is covered with a cover plate substrate to constitute each channel. In each channel, discharge channels for discharging liquid and dummy channels that do not discharge liquid are alternately arranged at a predetermined pitch, and a groove is formed between the dummy channel positioned at the end and the end of the actuator substrate. Not formed.

特許文献４にはアクチュエータと流路部材の間に緩衝部材を設置した液体噴射ヘッドが記載されている。液体噴射ヘッドは、アクチュエータに形成される溝の容積を圧電体の電歪効果により瞬間的に変化させて溝に充填される液体を吐出する。液体の吐出速度はアクチュエータが持つ固有振動の影響を受け、この固有振動は、アクチュエータと流路部材やベース部材との間に介在する接着剤の硬度の変化や厚さのむらによって変化する。そこで、アクチュエータと流路部材やベース部材との間に緩衝部材を設置してアクチュエータの振動が流路部材やベース部材の影響を受けないようにし、液体の吐出速度のばらつきによる液滴の着弾地点がずれることを防止する。そして、アクチュエータとノズルキャップとして機能するベース部材との間には間隙を設けてアクチュエータの振動がベース部材に伝達されない構造としている。 Patent Document 4 describes a liquid jet head in which a buffer member is installed between an actuator and a flow path member. The liquid ejecting head instantaneously changes the volume of the groove formed in the actuator by the electrostrictive effect of the piezoelectric body, and discharges the liquid filling the groove. The discharge speed of the liquid is affected by the natural vibration of the actuator, and this natural vibration varies depending on the change in the hardness and uneven thickness of the adhesive interposed between the actuator and the flow path member and the base member. Therefore, a buffer member is installed between the actuator and the flow path member or base member so that the vibration of the actuator is not affected by the flow path member or the base member. To prevent slipping. A gap is provided between the actuator and the base member functioning as a nozzle cap so that the vibration of the actuator is not transmitted to the base member.

特開２００９−１４３２１０号公報JP 2009-143210 A 特開２００３−１８２０８０号公報JP 2003-182080 A 特開２０１０−１３１９４１号公報JP 2010-131941 A 特開２０１１−１２６２５４号公報JP 2011-126254 A

溶剤系インクに対して耐性のある高硬度の接着剤は高温での硬化処理を必要とする。そのため、ノズルキャップに使用されるキャップ部材とアクチュエータ基板とをこの種の接着剤により接着すると、アクチュエータ基板の特に長手方向に大きな応力が加わり、ノズルの位置ずれが発生しやすくなる。また、この長手方向の大きな応力によりアクチュエータ基板にクラックや割れが発生しやすくなる。そのため、接着剤の硬化温度を高くすることができない、という課題があった。 High-hardness adhesives that are resistant to solvent-based inks require curing at high temperatures. For this reason, when the cap member used for the nozzle cap and the actuator substrate are bonded with this type of adhesive, a large stress is applied particularly in the longitudinal direction of the actuator substrate, and the nozzle is liable to be displaced. Further, the large stress in the longitudinal direction tends to cause cracks and cracks in the actuator substrate. For this reason, there is a problem that the curing temperature of the adhesive cannot be increased.

特許文献２では、アクチュエータ基板にアクチュエータ基板と同等の線膨張係数を有するスペーサを接着してアクチュエータ基板を補強し、ノズルキャップが膨張してもスペーサによってアクチュエータ基板が変形することを抑制する。これにより、硬化温度の高い高硬度の接着剤を使用することができる。しかし、スペーサを付加することによりアクチュエータ基板周辺の容積が増大し、重量も増加する。更に、部品点数及び製造工数も増加してコスト高となる。 In Patent Document 2, a spacer having a linear expansion coefficient equivalent to that of the actuator substrate is bonded to the actuator substrate to reinforce the actuator substrate, and the actuator substrate is prevented from being deformed by the spacer even when the nozzle cap is expanded. Thereby, a high-hardness adhesive having a high curing temperature can be used. However, the addition of the spacer increases the volume around the actuator substrate and increases the weight. Furthermore, the number of parts and the number of manufacturing steps are increased and the cost is increased.

また、特許文献４の構造のように、ノズルキャップとアクチュエータとの間のノズルプレート側に隙間が存在すると、この隙間に液体が滞留する。ノズルプレートは薄いポリイミド樹脂を使用するので半透明である。そのため、この隙間に滞留する液体が外部から見えてしまい、外観上好ましくない。これを防ぐために隙間に接着剤を充填すると、アクチュエータ基板とキャップ部材が接着剤により固定され、キャップ部材の膨張や収縮に伴ってアクチュエータ基板が変形し、ノズルの位置ずれが発生しやすくなる。 In addition, as in the structure of Patent Document 4, when a gap exists on the nozzle plate side between the nozzle cap and the actuator, the liquid stays in this gap. The nozzle plate is translucent because it uses a thin polyimide resin. Therefore, the liquid staying in the gap is visible from the outside, which is not preferable in appearance. If an adhesive is filled in the gap to prevent this, the actuator substrate and the cap member are fixed by the adhesive, and the actuator substrate is deformed as the cap member expands and contracts, and the nozzle is liable to be displaced.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、アクチュエータ基板が温度変化してもノズルの位置ずれが発生し難い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus in which nozzle displacement is less likely to occur even when the temperature of an actuator substrate changes.

本発明の液体噴射ヘッドは、長手方向に複数のチャンネルが配列するチャンネル列を有し、複数の前記チャンネルが側面に開口するアクチュエータ基板と、板厚方向に貫通する貫通窓を有し、前記貫通窓に前記側面が前記貫通窓の開口面と略平行に装着され、前記アクチュエータ基板と接着剤を介して接合されるキャップ部材と、長手方向に複数のノズルが配列するノズル列を有し、複数の前記ノズルと複数の前記チャンネルとがそれぞれ連通して前記側面に接着されるノズルプレートと、前記アクチュエータ基板の外表面と前記貫通窓の内壁面との間に設置される緩衝部材と、を備えることとした。 The liquid ejecting head according to the aspect of the invention includes a channel row in which a plurality of channels are arranged in the longitudinal direction, an actuator substrate in which the plurality of channels are open on a side surface, and a through window that penetrates in the plate thickness direction. A cap member that is mounted on the window with the side surface substantially parallel to the opening surface of the through window, and is joined to the actuator substrate via an adhesive; and a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged in the longitudinal direction. A nozzle plate in which the nozzle and the plurality of channels communicate with each other and are bonded to the side surface, and a buffer member installed between an outer surface of the actuator substrate and an inner wall surface of the through window. It was decided.

また、前記貫通窓は、前記開口面の法線方向から見る平面視で長方形を有し、前記長方形の角部に前記長方形の外側に膨らむ逃げ部を有することとした。 Further, the through window has a rectangular shape in a plan view when viewed from the normal direction of the opening surface, and has a relief portion that bulges outside the rectangle at a corner portion of the rectangular shape.

また、前記緩衝部材は、前記アクチュエータ基板の長手方向の一方端の外表面と前記貫通窓の内壁面との間に設置されることとした。 Further, the buffer member is installed between the outer surface at one end in the longitudinal direction of the actuator substrate and the inner wall surface of the through window.

また、前記緩衝部材は、前記アクチュエータ基板の長手方向の他方端の外表面と前記貫通窓の内壁面との間に設置されることとした。 The buffer member is installed between the outer surface of the other end in the longitudinal direction of the actuator substrate and the inner wall surface of the through window.

また、前記緩衝部材は、前記アクチュエータ基板の前記側面の周囲の外表面と前記貫通窓の内壁面との間にリング状に設置されることとした。 Further, the buffer member is installed in a ring shape between the outer surface around the side surface of the actuator substrate and the inner wall surface of the through window.

また、前記緩衝部材は、前記アクチュエータ基板の長手方向の一方端又は他方端の外表面と前記内壁面との間の前記長手方向の厚みは、前記アクチュエータ基板の短手方向の一方側又は他方側の外表面と前記内壁面との間の前記短手方向の厚みと異なることとした。 Further, the buffer member may be configured such that the thickness in the longitudinal direction between the outer surface of one end or the other end in the longitudinal direction of the actuator substrate and the inner wall surface is one side or the other side in the short direction of the actuator substrate. The thickness in the lateral direction between the outer surface and the inner wall surface is different.

また、前記緩衝部材は、前記長手方向の厚みが前記短手方向の厚みよりも厚いこととした。 Moreover, the said buffer member decided that the thickness of the said longitudinal direction was thicker than the thickness of the said transversal direction.

また、前記緩衝部材は、前記キャップ部材の厚さ方向の断面が楔形状を有することとした。 Moreover, the said buffer member decided that the cross section of the thickness direction of the said cap member had a wedge shape.

また、前記緩衝部材は、前記キャップ部材の厚さ方向の幅が前記キャップ部材の厚さを超えないこととした。 Moreover, the said buffer member decided that the width | variety of the thickness direction of the said cap member did not exceed the thickness of the said cap member.

また、前記緩衝部材は、多孔質材料からなることとした。 Further, the buffer member is made of a porous material.

また、前記緩衝部材は、弾性体材料からなることとした。 Further, the buffer member is made of an elastic material.

また、前記接着剤はショア硬度が８０°を下回らないこととした。 The adhesive has a Shore hardness of not less than 80 °.

本発明の液体噴射装置は、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。 The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head according to any one of the above, a moving mechanism that reciprocates the liquid ejecting head, a liquid supply pipe that supplies liquid to the liquid ejecting head, and the liquid supply pipe. A liquid tank for supplying the liquid.

本発明の液体噴射ヘッドは、長手方向に複数のチャンネルが配列するチャンネル列を有し、複数のチャンネルが側面に開口するアクチュエータ基板と、板厚方向に貫通する貫通窓を有し、貫通窓に側面が貫通窓の開口面と略平行に装着され、アクチュエータ基板と接着剤を介して接合されるキャップ部材と、長手方向に複数のノズルが配列するノズル列を有し、複数のノズルと複数のチャンネルとがそれぞれ連通して側面に接着されるノズルプレートと、アクチュエータ基板の外表面と貫通窓の内壁面との間に設置される緩衝部材と、を備える。これにより、アクチュエータ基板とキャップ部材との間の熱膨張差によりアクチュエータ基板の長手方向に応力が印加された場合でも緩衝部材がこの応力を緩和し、長手方向に配列するノズルの位置ずれを抑制することができる。 The liquid ejecting head of the present invention has a channel row in which a plurality of channels are arranged in the longitudinal direction, an actuator substrate in which the plurality of channels open on the side surface, and a through window that penetrates in the plate thickness direction. The side surface has a cap member that is mounted substantially parallel to the opening surface of the through window and is bonded to the actuator substrate via an adhesive, and a nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged in the longitudinal direction. A nozzle plate that is in communication with the channel and bonded to the side surface; and a buffer member that is installed between the outer surface of the actuator substrate and the inner wall surface of the through window. Thereby, even when a stress is applied in the longitudinal direction of the actuator substrate due to a difference in thermal expansion between the actuator substrate and the cap member, the buffer member relieves the stress and suppresses the displacement of the nozzles arranged in the longitudinal direction. be able to.

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a liquid ejecting head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドのノズルプレートを除去した吐出側の正面模式図である。FIG. 6 is a schematic front view of a discharge side from which a nozzle plate of a liquid jet head according to a second embodiment of the invention is removed. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドのノズルプレートを除去した吐出側の正面模式図である。FIG. 10 is a schematic front view of a discharge side from which a nozzle plate of a liquid jet head according to a third embodiment of the present invention is removed. 本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分分解斜視図である。FIG. 10 is a partial exploded perspective view of a liquid jet head according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分断面模式図である。FIG. 9 is a partial cross-sectional schematic diagram of a liquid jet head according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus according to a sixth embodiment of the present invention. 従来公知のインクジェットヘッドの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a conventionally well-known inkjet head. 従来公知のインクジェットヘッドの断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of a conventionally well-known inkjet head.

（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図であり、図１（ａ）が液体噴射ヘッド１の模式的な分解斜視図であり、図１（ｂ）がノズルプレート４を除去して液滴が吐出される方向（ｘ方向）から見る正面模式図であり、図１（ｃ）が部分ＡＡの縦断面模式図である。り、図１（ｂ）が液体噴射ヘッド１の上面模式図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is an explanatory diagram of a liquid jet head 1 according to the first embodiment of the present invention, FIG. 1 (a) is a schematic exploded perspective view of the liquid jet head 1, and FIG. 1 (b) is a nozzle plate. 4 is a schematic front view when viewed from a direction (x direction) in which droplets 4 are removed and FIG. 1C is a schematic vertical sectional view of a portion AA. FIG. 1B is a schematic top view of the liquid ejecting head 1.

図１に示すように、液体噴射ヘッド１は、アクチュエータ基板２とキャップ部材３とノズルプレート４と第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂとを備える。アクチュエータ基板２はその長手方向（ｙ方向）に複数のチャンネル６が配列するチャンネル列７を有し、複数のチャンネル６が側面ＳＰに開口する。キャップ部材３は、その板厚方向（ｘ方向）に貫通する貫通窓１１を有し、貫通窓１１にアクチュエータ基板２の側面ＳＰが貫通窓１１の開口面と略平行に装着され、アクチュエータ基板２と接着剤５を介して接合される。ノズルプレート４は、その長手方向（ｙ方向）に複数のノズル８が配列するノズル列９を有し、複数のノズル８と複数のチャンネル６とがそれぞれ連通して側面ＳＰに接着される。 As shown in FIG. 1, the liquid jet head 1 includes an actuator substrate 2, a cap member 3, a nozzle plate 4, and first and second buffer members 20a and 20b. The actuator substrate 2 has a channel row 7 in which a plurality of channels 6 are arranged in the longitudinal direction (y direction), and the plurality of channels 6 open to the side surface SP. The cap member 3 has a through window 11 penetrating in the plate thickness direction (x direction), and the side surface SP of the actuator substrate 2 is mounted on the through window 11 substantially parallel to the opening surface of the through window 11. And bonded through an adhesive 5. The nozzle plate 4 has a nozzle row 9 in which a plurality of nozzles 8 are arranged in the longitudinal direction (y direction), and the plurality of nozzles 8 and the plurality of channels 6 communicate with each other and are bonded to the side surface SP.

第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂは、アクチュエータ基板２の外表面ＧＰ（アクチュエータ基板２の±ｙ側の表面）と貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間に設置される。具体的に、第一緩衝部材２０ａはアクチュエータ基板２の長手方向の一方端Ｔａの外表面ＧＰとキャップ部材３の貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間に、第二緩衝部材２０ｂは他方端Ｔｃの外表面ＧＰと貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間にそれぞれ設置される。 The first and second buffer members 20 a and 20 b are installed between the outer surface GP of the actuator substrate 2 (the surface on the ± y side of the actuator substrate 2) and the inner wall surface IS of the through window 11. Specifically, the first buffer member 20a is between the outer surface GP of one end Ta in the longitudinal direction of the actuator substrate 2 and the inner wall surface IS of the through window 11 of the cap member 3, and the second buffer member 20b is the other end Tc. Between the outer surface GP and the inner wall surface IS of the through window 11.

この構成により、アクチュエータ基板２とキャップ部材３との間の熱膨張差に基づいて、アクチュエータ基板２の長手方向に応力が印加される場合に、この応力は第一及び第二緩衝溝１０ａ、１０ｂにより緩和され、側面ＳＰのｙ方向の位置ずれ、すなわちノズル８の位置ずれが抑制される。なお、第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂは、いずれか一方にのみ設置してもノズル８の位置ずれを抑制する効果を有する。 With this configuration, when stress is applied in the longitudinal direction of the actuator substrate 2 based on the thermal expansion difference between the actuator substrate 2 and the cap member 3, the stress is applied to the first and second buffer grooves 10a and 10b. And the positional deviation of the side surface SP in the y direction, that is, the positional deviation of the nozzle 8 is suppressed. Note that the first and second buffer members 20a and 20b have the effect of suppressing the displacement of the nozzle 8 even if only one of them is installed.

図１（ｃ）に示すように、アクチュエータ基板２はその側面ＳＰとキャップ部材３の外表面（キャップ部材３の＋ｘ側の表面）とを面一にキャップ部材３の貫通窓１１に装着され、ノズルプレート４は側面ＳＰからキャップ部材３の外表面にかけて図示しない接着剤により接着される。内壁面ＩＳのノズルプレート４側と外表面ＧＰとの間には接着剤５が充填され、液体の滞留しやすい空間が除去される。これにより、外観上の不具合の発生が防止される。また、図１（ａ）に示すように、アクチュエータ基板２の上面に供給口１２を設置し、この供給口１２から内部に形成される各チャンネル６に液体が供給される。アクチュエータ基板２の側面ＳＰとは反対側（−ｘ方向側）の後方端Ｔｂには段差部が形成され、この段差部の上面には図示しない電極端子が形成される。 As shown in FIG. 1C, the actuator substrate 2 is mounted on the through window 11 of the cap member 3 so that the side surface SP and the outer surface of the cap member 3 (the surface on the + x side of the cap member 3) are flush with each other. The nozzle plate 4 is bonded from the side surface SP to the outer surface of the cap member 3 with an adhesive (not shown). The space between the inner wall surface IS and the outer surface GP is filled with the adhesive 5 to remove the space where the liquid tends to stay. As a result, occurrence of defects in appearance is prevented. Further, as shown in FIG. 1A, a supply port 12 is provided on the upper surface of the actuator substrate 2, and liquid is supplied from the supply port 12 to each channel 6 formed inside. A step portion is formed at the rear end Tb opposite to the side surface SP of the actuator substrate 2 (−x direction side), and an electrode terminal (not shown) is formed on the upper surface of the step portion.

なお、本発明は、キャップ部材３の外表面とアクチュエータ基板２の側面ＳＰとを面一に装着することや、ノズルプレート４の外形を側面ＳＰよりも大きく形成することに限定されず、側面ＳＰを貫通窓１１の外表面よりも外方（＋ｘ方向）に突出させても、内方（−ｘ方向）に引込めてもよいし、ノズルプレート４が側面ＳＰと同じ外形であっても、また側面ＳＰよりも小さな外形であってもよい。 The present invention is not limited to mounting the outer surface of the cap member 3 and the side surface SP of the actuator substrate 2 flush with each other or forming the outer shape of the nozzle plate 4 larger than the side surface SP. May protrude outward (+ x direction) from the outer surface of the through window 11 or may be retracted inward (−x direction), or the nozzle plate 4 may have the same outer shape as the side surface SP, The outer shape may be smaller than the side surface SP.

アクチュエータ基板２の隣接するチャンネル６の隔壁はＰＺＴ等の圧電体材料が使用される。本実施形態ではアクチュエータ基板２としてＰＺＴセラミックスを使用し、隣接するチャンネル６の隔壁はｚ方向に分極処理が施されている。各チャンネル６はｘ方向に細長い形状を有する。キャップ部材３として金属材料、例えばステンレスやアルミニウムを使用することができる。ノズルプレート４として合成樹脂フィルム、例えばポリイミドフィルムを使用することができる。 A piezoelectric material such as PZT is used for the partition walls of the adjacent channels 6 of the actuator substrate 2. In this embodiment, PZT ceramics is used as the actuator substrate 2, and the partition walls of the adjacent channels 6 are polarized in the z direction. Each channel 6 has an elongated shape in the x direction. A metal material such as stainless steel or aluminum can be used as the cap member 3. A synthetic resin film such as a polyimide film can be used as the nozzle plate 4.

第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂとして多孔質材料を使用することができる。多孔質材料として、内部に多数の気泡や空孔が含まれる有機材料や無機材料を使用することができる。有機材料に発泡剤を混入し、加熱処理を行って発砲させることにより内部に多数の気泡が混入する多孔質材料を形成することができる。有機材料による多孔質材料は弾性係数が小さく、外部からの応力に対して収縮するので、応力緩衝部材として好適である。また、多孔質の無機材料を使用することができる。この場合に、材料自体はアクチュエータ基板２よりも硬度の高い材料を使用することができる。高硬度の無機材料に空孔が存在することにより外部からの応力に対して空孔が潰れて外部応力を吸収することができる。例えば多孔質のセラミックス材料を使用することができる。 A porous material can be used as the first or second buffer member 20a, 20b. As the porous material, an organic material or an inorganic material containing a large number of bubbles or pores inside can be used. By mixing a foaming agent into an organic material and performing a heat treatment to fire, a porous material in which a large number of bubbles are mixed can be formed. A porous material made of an organic material has a small elastic coefficient and contracts with respect to external stress, and thus is suitable as a stress buffer member. Moreover, a porous inorganic material can be used. In this case, a material having a higher hardness than the actuator substrate 2 can be used as the material itself. Due to the presence of pores in the high-hardness inorganic material, the pores are crushed against external stress, and external stress can be absorbed. For example, a porous ceramic material can be used.

また、第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂとしてアクチュエータ基板２よりも弾性係数の小さい弾性体材料を使用することができる。アクチュエータ基板２よりも弾性係数が小さい材料をキャップ部材３とアクチュエータ基板２の間に介在させてアクチュエータ基板２に印加される応力を緩和させることができる。緩衝部材としてゴム材料や合成樹脂材料を使用することができる。また、アクチュエータ基板２よりも弾性係数の小さい無機材料を使用することができる。 Further, an elastic material having an elastic coefficient smaller than that of the actuator substrate 2 can be used as the first or second buffer members 20a and 20b. A material having a smaller elastic coefficient than the actuator substrate 2 can be interposed between the cap member 3 and the actuator substrate 2 to relieve the stress applied to the actuator substrate 2. A rubber material or a synthetic resin material can be used as the buffer member. Further, an inorganic material having a smaller elastic coefficient than that of the actuator substrate 2 can be used.

キャップ部材３とアクチュエータ基板２の間に第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂを設置したのでアクチュエータ基板２に印加される応力が緩和される。これに伴い、高温で硬化する高硬度の接着剤５を使用することができる。例えば温度９０℃〜１００℃で硬化するエポキシ系樹脂を使用することが可能となる。高温で硬化させることが可能となったことに伴い、硬化後の硬度を高くすることができる。本実施形態において、接着剤５の硬化後のショア硬度が８０°を下回らず、例えば８５°〜９０°とすることができ、溶剤系インクに対する接着剤５の耐性を向上させることができる。 Since the first and second buffer members 20a and 20b are installed between the cap member 3 and the actuator substrate 2, the stress applied to the actuator substrate 2 is relieved. Along with this, a high-hardness adhesive 5 that cures at a high temperature can be used. For example, it is possible to use an epoxy resin that cures at a temperature of 90 ° C. to 100 ° C. Along with the fact that it can be cured at a high temperature, the hardness after curing can be increased. In this embodiment, the Shore hardness after hardening of the adhesive 5 does not fall below 80 °, and can be, for example, 85 ° to 90 °, and the resistance of the adhesive 5 to the solvent-based ink can be improved.

なお、接着剤５は、硬化温度の上昇に伴って熱履歴の影響が低減する。アクチュエータ基板２とキャップ部材３とを接合した後に、接着剤５の硬化温度よりも高い温度に晒されると、その熱履歴に応じてアクチュエータ基板２に加わる応力が変化し、ノズル８の位置ずれが発生する。本発明においては接着剤５の硬化温度を高くすることができるので、この熱履歴による影響を除去することができる。また、アクチュエータ基板２の長手方向の応力が緩和されるので、キャップ部材３の材料の選択幅を広げることができる。 In addition, the adhesive 5 reduces the influence of a heat history with a raise of hardening temperature. If the actuator substrate 2 and the cap member 3 are joined and then exposed to a temperature higher than the curing temperature of the adhesive 5, the stress applied to the actuator substrate 2 changes according to the thermal history, and the displacement of the nozzle 8 is displaced. Occur. In the present invention, since the curing temperature of the adhesive 5 can be increased, the influence of this thermal history can be eliminated. In addition, since the stress in the longitudinal direction of the actuator substrate 2 is relaxed, the selection range of the material of the cap member 3 can be widened.

液体噴射ヘッド１は次のように動作する。図示しない液体タンクから液体が図示しない流路を介して供給口１２に供給され、更に、液体は供給口１２から各チャンネル６に供給され充填される。各チャンネルを離隔する隔壁はｚ方向に分極され、隔壁の表面には図示しない駆動電極が形成される。駆動信号が各チャンネル６の駆動電極に供給されると隔壁は厚みすべり変形してチャンネル６の容積が瞬間的に拡張し収縮する。チャンネル６の拡張の際に供給口１２から液体を引き込み、収縮の際にノズル８から液滴を吐出する。なお、図１（ａ）においてアクチュエータ基板２の上面に供給口１２が開口するが、本発明はこの供給口１２の位置や形状には限定されない。また、チャンネル列７やノズル列９がアクチュエータ基板２の側面ＳＰやノズルプレート４の長手方向（ｙ方向）に一列に形成されるが、本発明はこれに限定されず、ｙ方向に２列以上形成されるものであってもよい。 The liquid ejecting head 1 operates as follows. A liquid is supplied from a liquid tank (not shown) to the supply port 12 via a flow path (not shown), and further, the liquid is supplied from the supply port 12 to each channel 6 and filled. The partition walls separating the channels are polarized in the z direction, and drive electrodes (not shown) are formed on the surfaces of the partition walls. When a drive signal is supplied to the drive electrode of each channel 6, the partition wall is caused to slip in thickness, and the volume of the channel 6 is instantaneously expanded and contracted. When the channel 6 is expanded, the liquid is drawn from the supply port 12, and when the channel 6 is contracted, the liquid droplet is discharged from the nozzle 8. 1A, the supply port 12 opens on the upper surface of the actuator substrate 2. However, the present invention is not limited to the position and shape of the supply port 12. In addition, the channel row 7 and the nozzle row 9 are formed in one row in the longitudinal direction (y direction) of the side surface SP of the actuator substrate 2 and the nozzle plate 4, but the present invention is not limited to this, and two or more rows in the y direction. It may be formed.

（第二実施形態）
図２（ａ）は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１のノズルプレート４を除去した吐出側の正面模式図であり、図２（ｂ）は第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の変形例である。第一実施形態と異なる部分は貫通窓１１の形状であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、主に第一実施形態と異なる構成について説明する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。 (Second embodiment)
FIG. 2A is a schematic front view of the ejection side from which the nozzle plate 4 of the liquid jet head 1 according to the second embodiment of the invention is removed, and FIG. 2B is a liquid jet according to the second embodiment. This is a modification of the head 1. A different part from 1st embodiment is the shape of the penetration window 11, and the other structure is the same as that of 1st embodiment. Therefore, the configuration different from the first embodiment will be mainly described below. The same reference numerals are assigned to the same parts or parts having the same function.

キャップ部材３に形成される貫通窓１１は、開口面の法線方向（ｘ方向）から見る平面視で長方形を有し、当該長方形の角部に当該長方形の外側に膨らむ第一逃げ部２１ａ、第二逃げ部２１ｂ、第三逃げ部２１ｃ及び第四逃げ部２１ｄを有する。図２（ａ）は、逃げ部２１が貫通窓１１の短手方向に膨らみ、図２（ｂ）は、逃げ部２１が貫通窓１１の長手方向に膨らむ。 The through window 11 formed in the cap member 3 has a rectangular shape in a plan view when viewed from the normal direction (x direction) of the opening surface, and a first relief portion 21a that swells outside the rectangle at a corner portion of the rectangle. It has the 2nd escape part 21b, the 3rd escape part 21c, and the 4th relief part 21d. In FIG. 2A, the escape portion 21 swells in the short direction of the through window 11, and in FIG. 2B, the escape portion 21 swells in the longitudinal direction of the through window 11.

アクチュエータ基板２の側面ＳＰは貫通窓１１にキャップ部材３の外表面とアクチュエータ基板２の側面ＳＰとが面一に装着される。アクチュエータ基板２の一方端Ｔａの外表面ＧＰと貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間に第一緩衝部材２０ａが設置され、他方端Ｔｃの外表面ＧＰと貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間に第二緩衝部材２０ｂが設置される。第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂは、アクチュエータ基板２の板厚方向（ｚ方向）の長さがアクチュエータ基板２の板厚よりも長く、キャップ部材３の厚さ方向（ｘ方向）の幅がキャップ部材３の厚さを超えない。アクチュエータ基板２の上面（＋ｚ側の外表面ＧＰ）と貫通窓１１の上方（＋ｚ側）の内壁面ＩＳとの間、及びアクチュエータ基板２の下面（−ｚ側の外表面ＧＰ）と貫通窓１１の下方（−ｚ側）の内壁面ＩＳとの間には接着剤５が充填され、アクチュエータ基板２とキャップ部材３とが接合される。また、内壁面ＩＳと第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂとの間、及び第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂとアクチュエータ基板２の外表面ＧＰとの間には図示しない接着剤５が介在し互いを固定する。 The side surface SP of the actuator substrate 2 is mounted on the through window 11 so that the outer surface of the cap member 3 and the side surface SP of the actuator substrate 2 are flush with each other. A first buffer member 20a is installed between the outer surface GP at one end Ta of the actuator substrate 2 and the inner wall surface IS of the through window 11, and between the outer surface GP at the other end Tc and the inner wall surface IS of the through window 11. The second buffer member 20b is installed. In the first and second buffer members 20a and 20b, the length in the thickness direction (z direction) of the actuator substrate 2 is longer than the thickness of the actuator substrate 2, and the width in the thickness direction (x direction) of the cap member 3 Does not exceed the thickness of the cap member 3. Between the upper surface (+ z side outer surface GP) of the actuator substrate 2 and the inner wall surface IS above (+ z side) the through window 11 and the lower surface (−z side outer surface GP) of the actuator substrate 2 and the through window 11. The adhesive 5 is filled between the inner wall IS below (−z side) and the actuator substrate 2 and the cap member 3 are joined. Further, an adhesive 5 (not shown) is provided between the inner wall surface IS and the first or second buffer member 20a, 20b, and between the first or second buffer member 20a, 20b and the outer surface GP of the actuator substrate 2. Intervene and fix each other.

通常、長方形の貫通窓１１を円形切削工具により穿孔するので、内壁面ＩＳの角部を直角に研削することができず、円弧状となる。角部に円弧状の内壁面ＩＳが残っていると、アクチュエータ基板２の角部や第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂの角部がこの円弧状の内壁面ＩＳに近接又は当接し、長手方向（ｙ方向）に印加される応力が第一又は第二緩衝部材２０ａ、２０ｂの端部やアクチュエータ基板２の角部に集中し応力緩衝効果が低下する。そこで、第一〜第四逃げ部２１ａ〜２１ｄを設けることにより、長手方向に印加される応力が第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂの端部やアクチュエータ基板２の角部に集中することを防ぎ、第一及び第二緩衝部材２０ａ、２０ｂの応力緩衝効果を有効に引き出すことができる。また、第一〜第四逃げ部２１ａ〜２１ｄのノズルプレート４側は接着剤５が充填されるので液体が滞留せず、外観上の不具合も発生しない。 Usually, since the rectangular through window 11 is drilled by a circular cutting tool, the corner portion of the inner wall surface IS cannot be ground at a right angle, and has an arc shape. When the arc-shaped inner wall surface IS remains at the corner, the corner of the actuator substrate 2 and the corner of the first or second buffer member 20a, 20b come close to or abut against the arc-shaped inner wall IS. The stress applied in the direction (y direction) is concentrated on the ends of the first or second buffer members 20a and 20b and the corners of the actuator substrate 2, and the stress buffering effect is reduced. Therefore, by providing the first to fourth relief portions 21a to 21d, the stress applied in the longitudinal direction is concentrated on the end portions of the first and second buffer members 20a and 20b and the corner portions of the actuator substrate 2. This can effectively prevent the stress buffering effect of the first and second buffer members 20a and 20b. Moreover, since the adhesive agent 5 is filled on the nozzle plate 4 side of the first to fourth escape portions 21a to 21d, the liquid does not stay and no problem in appearance occurs.

なお、第一緩衝部材２０ａ又は第二緩衝部材２０ｂはいずれか一方のみに設置してもよいし、第一及び第二逃げ部２１ａ、２１ｂと第三及び第四逃げ部２１ｃ、２１ｄの一方側のみに形成してもよい。また、アクチュエータ基板２、キャップ部材３、ノズルプレート４、接着剤５、及び緩衝部材２０の材料等については第一実施形態と同様なので説明を省略する。 In addition, the 1st buffer member 20a or the 2nd buffer member 20b may be installed only in any one, and one side of the 1st and 2nd escape parts 21a and 21b and the 3rd and 4th relief parts 21c and 21d You may form only. Further, the materials of the actuator substrate 2, the cap member 3, the nozzle plate 4, the adhesive 5, and the buffer member 20 are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

（第三実施形態）
図３は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１のノズルプレート４を除去した吐出側の正面模式図である。第二実施形態と異なる部分は、第三緩衝部材２０ｃをアクチュエータ基板２の側面ＳＰの周囲の外表面ＧＰに設置した点であり、その他の構成は第二実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。 (Third embodiment)
FIG. 3 is a schematic front view of the discharge side from which the nozzle plate 4 of the liquid jet head 1 according to the third embodiment of the present invention is removed. The difference from the second embodiment is that the third buffer member 20c is installed on the outer surface GP around the side surface SP of the actuator substrate 2, and the other configurations are the same as in the second embodiment. The same reference numerals are assigned to the same parts or parts having the same function.

図３に示すように、キャップ部材３の中央部には板厚方向（ｘ方向）に貫通する貫通窓１１が穿孔される。貫通窓１１は、その開口面の法線方向（ｘ方向）から見る平面視で長方形を有し、長方形の角部に長方形の短手方向（ｚ方向）に膨らむ第一〜第四逃げ部２１ａ〜２１ｄが形成される。貫通窓１１にはアクチュエータ基板２の側面ＳＰが貫通窓１１の開口面と略平行であり、キャップ部材３の＋ｘ方向の側の外表面と面一に装着される。第三緩衝部材２０ｃは、アクチュエータ基板２の側面ＳＰの周囲の外表面ＧＰと貫通窓１１の内壁面ＩＳとの間にリング状に設置される。第三緩衝部材２０ｃと外表面ＧＰとの間、及び第三緩衝部材２０ｃと内壁面ＩＳとの間には接着剤５が充填され、キャップ部材３とアクチュエータ基板２とを第三緩衝部材２０ｃを介して一体化される。 As shown in FIG. 3, a through window 11 that penetrates in the thickness direction (x direction) is drilled in the center of the cap member 3. The through window 11 has a rectangular shape in a plan view as viewed from the normal direction (x direction) of the opening surface, and the first to fourth escape portions 21a swell in the rectangular short direction (z direction) at the corners of the rectangle. ~ 21d are formed. The side surface SP of the actuator substrate 2 is substantially parallel to the opening surface of the through window 11 and is mounted flush with the outer surface of the cap member 3 on the + x direction side. The third buffer member 20 c is installed in a ring shape between the outer surface GP around the side surface SP of the actuator substrate 2 and the inner wall surface IS of the through window 11. Adhesive 5 is filled between the third buffer member 20c and the outer surface GP, and between the third buffer member 20c and the inner wall surface IS, and the cap member 3 and the actuator substrate 2 are connected to the third buffer member 20c. Integrated.

アクチュエータ基板２、キャップ部材３、ノズルプレート４、接着剤５及び第三緩衝部材２０ｃの材料等については第一又は第二実施形態において説明したものと同様なので、説明を省略する。このように、アクチュエータ基板２の側面ＳＰ側の外表面ＧＰにリング状に第三緩衝部材２０ｃを設置したことにより、キャップ部材３とアクチュエータ基板２との間の熱膨張差によりアクチュエータ基板２に応力が印加される場合でも、この応力は第三緩衝部材２０ｃにより緩衝され、ノズル８の位置ずれやアクチュエータ基板２の変形が抑制される。その結果、例えば９０℃〜１００℃で硬化する高硬度の接着剤５を使用することができ、硬化後の接着剤５のショア硬度を８０°〜１００°、例えば８５°〜９０°として溶剤系インクに対する耐性を向上させることができる。また、貫通窓１１の内壁面ＩＳと第三緩衝部材２０ｃとの間、及び第三緩衝部材２０ｃとアクチュエータ基板２の外表面ＧＰとの間には接着剤５が充填されるので液体が滞留せず、外観上の不具合の発生を防止することができる。 Since the materials of the actuator substrate 2, the cap member 3, the nozzle plate 4, the adhesive 5, and the third buffer member 20c are the same as those described in the first or second embodiment, the description thereof is omitted. As described above, the third buffer member 20c is provided in a ring shape on the outer surface GP on the side surface SP side of the actuator substrate 2, so that stress is applied to the actuator substrate 2 due to a difference in thermal expansion between the cap member 3 and the actuator substrate 2. Even when is applied, this stress is buffered by the third buffer member 20c, and the displacement of the nozzle 8 and the deformation of the actuator substrate 2 are suppressed. As a result, it is possible to use, for example, a high-hardness adhesive 5 that cures at 90 ° C. to 100 ° C., and set the shore hardness of the cured adhesive 5 to 80 ° to 100 °, for example 85 ° to 90 °. Resistance to ink can be improved. Further, since the adhesive 5 is filled between the inner wall surface IS of the through window 11 and the third buffer member 20c and between the third buffer member 20c and the outer surface GP of the actuator substrate 2, the liquid stays there. Therefore, it is possible to prevent occurrence of defects in appearance.

なお、第一〜第四逃げ部２１ａ〜２１ｄを図２（ｂ）に示すように長手方向の側に形成してもよいし、第一〜第四逃げ部２１ａ〜２１ｄの形成を省略してもよい。また、第三緩衝部材２０ｃのｘ方向の幅はキャップ部材３の板厚と同程度であってもよいし、板厚よりも狭く形成してもよい。第三緩衝部材２０ｃの幅がキャップ部材３の板厚よりも狭い場合は、第三緩衝部材２０ｃをノズルプレート４側に寄せて設置するのが好ましい。ノズルプレート４側に液体の滞留する空間が形成されないようにするためである。 The first to fourth relief portions 21a to 21d may be formed on the longitudinal side as shown in FIG. 2B, or the first to fourth relief portions 21a to 21d may be omitted. Also good. Further, the width of the third buffer member 20c in the x direction may be approximately the same as the plate thickness of the cap member 3, or may be formed narrower than the plate thickness. When the width of the third buffer member 20c is narrower than the plate thickness of the cap member 3, it is preferable to install the third buffer member 20c close to the nozzle plate 4 side. This is to prevent formation of a space in which the liquid stays on the nozzle plate 4 side.

（第三実施形態の変形例）
第三実施形態の変形例を説明する。第三実施形態は、第三緩衝部材２０ｃをアクチュエータ基板２の側面ＳＰの周囲の外表面ＧＰに設置し、第三緩衝部材２０ｃの厚み（一方端Ｔａの外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間および他方端Ｔｃと内壁面ＩＳとの間についてはｙ方向（長手方向）の厚み、±ｚ方向（アクチュエータ基板２の短手方向の一方側及び他方側）の外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間についてはｚ方向（短手方向）の厚み）を同一にした。これに対し、第三実施形態の変形例は、第三緩衝部材２０ｃの厚みについて、一方端Ｔａの外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間および他方端Ｔｃと内壁面ＩＳとの間のｙ方向の厚みと、±ｚ方向の外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間のｚ方向の厚みとを異なる厚みにした。 (Modification of the third embodiment)
A modification of the third embodiment will be described. In the third embodiment, the third buffer member 20c is installed on the outer surface GP around the side surface SP of the actuator substrate 2, and the thickness of the third buffer member 20c (between the outer surface GP of the one end Ta and the inner wall surface IS). And between the other end Tc and the inner wall surface IS, the thickness in the y direction (longitudinal direction), the outer surface GP in the ± z direction (one side and the other side in the short direction of the actuator substrate 2) and the inner wall surface IS. The thickness in the z direction (short direction) was made the same. On the other hand, in the modification of the third embodiment, with respect to the thickness of the third buffer member 20c, the y direction between the outer surface GP of the one end Ta and the inner wall surface IS and between the other end Tc and the inner wall surface IS. And the thickness in the z direction between the outer surface GP in the ± z direction and the inner wall surface IS are set to different thicknesses.

好ましくは、一方端Ｔａの外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間および他方端Ｔｃと内壁面ＩＳとの間のｙ方向の厚みを、±ｚ方向の外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間のｚ方向の厚みより厚くすることが可能である。 Preferably, the thickness in the y direction between the outer surface GP of the one end Ta and the inner wall surface IS and between the other end Tc and the inner wall surface IS is set between the outer surface GP and the inner wall surface IS in the ± z direction. It is possible to make it thicker than the thickness in the z direction.

この第三実施形態の変形例を採用することによって、一方端Ｔａの外表面ＧＰと内壁面ＩＳとの間および他方端Ｔｃと内壁面ＩＳとの間の第三緩衝部材２０ｃが、十分な厚みを有することになる。そのため、アクチュエータ基板とキャップ部材との間の熱膨張差によりアクチュエータ基板の長手方向に応力が印加された場合でも、より効果的に緩衝部材がこの応力を緩和し、長手方向に配列するノズルの位置ずれを抑制することができる。 By adopting the modification of the third embodiment, the third buffer member 20c between the outer surface GP of the one end Ta and the inner wall surface IS and between the other end Tc and the inner wall surface IS has a sufficient thickness. Will have. Therefore, even when a stress is applied in the longitudinal direction of the actuator substrate due to a difference in thermal expansion between the actuator substrate and the cap member, the buffer member more effectively relieves this stress and positions the nozzles arranged in the longitudinal direction. Deviation can be suppressed.

（第四実施形態）
図４は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１の部分分解斜視図である。第一実施形態におけるアクチュエータ基板２の具体的な構造の一例を示している。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付した。 (Fourth embodiment)
FIG. 4 is a partially exploded perspective view of the liquid jet head 1 according to the fourth embodiment of the present invention. An example of a specific structure of the actuator substrate 2 in the first embodiment is shown. The same reference numerals are assigned to the same parts or parts having the same function.

液体噴射ヘッド１は、アクチュエータ基板２とキャップ部材３とノズルプレート４と第一緩衝部材２０ａとを備える。アクチュエータ基板２は、チャンネル６に充填される液体に圧力を印加する圧電体基板２ａと、圧電体基板２ａの上面に接合されるカバープレート２ｂとを備える。圧電体基板２ａの上面にはその長手方向（ｙ方向）に配列する複数のチャンネル６からなるチャンネル列７が設置される。各チャンネル６は、圧電体基板２ａのノズルプレート４側の側面ＳＰからノズルプレート４とは反対側の後方端Ｔｂの手前まで形成される。各チャンネル６は、側面ＳＰに開口し、側面ＳＰ側では一定の深さを有し、後方端Ｔｂ側では漸次浅く形成される。隣接するチャンネル６は隔壁１５により離隔され、各隔壁１５の側面には各チャンネル６を駆動するための駆動電極１３が形成される。圧電体基板２ａの後方端Ｔｂ側の上面には電極端子１４が形成され、駆動電極１３に電気的に接続する。 The liquid ejecting head 1 includes an actuator substrate 2, a cap member 3, a nozzle plate 4, and a first buffer member 20a. The actuator substrate 2 includes a piezoelectric substrate 2a that applies pressure to the liquid filled in the channel 6, and a cover plate 2b that is bonded to the upper surface of the piezoelectric substrate 2a. A channel row 7 composed of a plurality of channels 6 arranged in the longitudinal direction (y direction) is provided on the upper surface of the piezoelectric substrate 2a. Each channel 6 is formed from the side surface SP on the nozzle plate 4 side of the piezoelectric substrate 2 a to the front of the rear end Tb on the opposite side to the nozzle plate 4. Each channel 6 opens to the side surface SP, has a certain depth on the side surface SP side, and is gradually shallower on the rear end Tb side. Adjacent channels 6 are separated by partition walls 15, and drive electrodes 13 for driving each channel 6 are formed on the side surfaces of each partition wall 15. Electrode terminals 14 are formed on the upper surface of the piezoelectric substrate 2a on the rear end Tb side, and are electrically connected to the drive electrodes 13.

圧電体基板２ａは例えばＰＺＴセラミックスを使用することができる。カバープレート２ｂはＰＺＴセラミックス、その他のセラミックス、無機材料等を使用することができる。カバープレート２ｂは圧電体基板２ａと同等の線膨張係数を有する材料が好ましい。圧電体基板２ａは板厚方向（ｚ方向）に分極処理が施される。したがって、隔壁１５もｚ方向に分極される。隔壁１５を挟む駆動電極１３に電圧が印加されると隔壁１５は“く”の字状に厚みすべり変形し、チャンネル６の容積を瞬間的に変化させてチャンネル６に充填される液体に圧力を印加する。その結果、チャンネル６に充填される液体がノズルプレート４のノズル８から吐出される。 For example, PZT ceramics can be used for the piezoelectric substrate 2a. For the cover plate 2b, PZT ceramics, other ceramics, inorganic materials, or the like can be used. The cover plate 2b is preferably made of a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the piezoelectric substrate 2a. The piezoelectric substrate 2a is polarized in the thickness direction (z direction). Therefore, the partition wall 15 is also polarized in the z direction. When a voltage is applied to the drive electrode 13 sandwiching the partition wall 15, the partition wall 15 undergoes a thickness-slip deformation in a “<” shape, and the volume of the channel 6 is instantaneously changed to apply pressure to the liquid filled in the channel 6. Apply. As a result, the liquid filling the channel 6 is discharged from the nozzle 8 of the nozzle plate 4.

なお、各チャンネル６を後方端Ｔｂまでストレートに形成される構造であってもよいし、各チャンネル６が液体を吐出する吐出チャンネルと液体を吐出しないダミーチャンネルとがチャンネル配列方向に交互に配置される構成であってもよく、本発明はこれらチャンネルの構造や形状に限定されない。 Each channel 6 may be formed straight up to the rear end Tb, and each channel 6 may alternately arrange a discharge channel for discharging liquid and a dummy channel for not discharging liquid in the channel arrangement direction. The present invention is not limited to the structure and shape of these channels.

（第五実施形態）
図５は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の部分断面模式図であり、図１に示す部分ＢＢのｘｙ平面に平行な断面をｚ方向から見る図である。アクチュエータ基板２はその長手方向（ｙ方向）に複数のチャンネル６が配列するチャンネル列７を有する。ノズルプレート４は長手方向に複数のノズル８が配列するノズル列９を有し、複数のノズル８と複数のチャンネル６とがそれぞれ連通してアクチュエータ基板２の側面ＳＰに接着される。キャップ部材３の内壁面ＩＳとアクチュエータ基板２の外表面ＧＰ（長手方向の端面）との間には緩衝部材２０が設置され、内壁面ＩＳと緩衝部材２０及び緩衝部材２０と外表面ＧＰの間隙には接着剤５が充填される。緩衝部材２０は、キャップ部材３の厚さ方向（ｘ方向）の断面が楔形状を有する。 (Fifth embodiment)
FIG. 5 is a partial cross-sectional schematic view of the liquid jet head 1 according to the fifth embodiment of the present invention, and is a view of a cross section parallel to the xy plane of the portion BB shown in FIG. The actuator substrate 2 has a channel row 7 in which a plurality of channels 6 are arranged in the longitudinal direction (y direction). The nozzle plate 4 has a nozzle row 9 in which a plurality of nozzles 8 are arranged in the longitudinal direction, and the plurality of nozzles 8 and the plurality of channels 6 communicate with each other and are bonded to the side surface SP of the actuator substrate 2. A buffer member 20 is installed between the inner wall surface IS of the cap member 3 and the outer surface GP (longitudinal end surface) of the actuator substrate 2, and the inner wall surface IS and the buffer member 20, and the gap between the buffer member 20 and the outer surface GP. Is filled with an adhesive 5. The buffer member 20 has a wedge-shaped cross section in the thickness direction (x direction) of the cap member 3.

緩衝部材２０の断面を楔形状とすることにより、緩衝部材２０を内壁面ＩＳと外表面ＧＰの間隙に装着することが容易となる。本実施形態では緩衝部材２０の楔形状がノズルプレート４に向けて細くなる。これにより、アクチュエータ基板２の側面ＳＰに、側面ＳＰの外形よりも大きな外形を有するノズルプレート４を接着し、次に、アクチュエータ基板２をキャップ部材３の貫通窓１１に挿入してキャップ部材３の外表面と側面ＳＰとを面一に装着し、次に、貫通窓１１の内壁面ＩＳとアクチュエータ基板２の外表面ＧＰとの間に緩衝部材２０を装着する。緩衝部材２０の断面はノズルプレート４側（＋ｘ方向）が細いので緩衝部材２０を内壁面ＩＳと外表面ＧＰの間隙に容易に装着することができる。 By making the cross section of the buffer member 20 into a wedge shape, the buffer member 20 can be easily mounted in the gap between the inner wall surface IS and the outer surface GP. In this embodiment, the wedge shape of the buffer member 20 becomes narrower toward the nozzle plate 4. As a result, the nozzle plate 4 having an outer shape larger than the outer shape of the side surface SP is bonded to the side surface SP of the actuator substrate 2, and then the actuator substrate 2 is inserted into the through window 11 of the cap member 3. The outer surface and the side surface SP are mounted flush with each other, and then the buffer member 20 is mounted between the inner wall surface IS of the through window 11 and the outer surface GP of the actuator substrate 2. Since the cross section of the buffer member 20 is narrow on the nozzle plate 4 side (+ x direction), the buffer member 20 can be easily mounted in the gap between the inner wall surface IS and the outer surface GP.

また、緩衝部材２０の楔形状をノズルプレート４とは反対側に向けて細くなるようにしてもよい。この場合は、アクチュエータ基板２の側面ＳＰにノズルプレート４を接着した後に、緩衝部材２０をアクチュエータ基板２の外表面ＧＰ及びノズルプレート４の内表面に密着させて装着する。次に、アクチュエータ基板２をキャップ部材３の貫通窓１１に装着する。緩衝部材２０の断面はノズルプレート４とは反対側（−ｘ方向）に向けて細いので緩衝部材２０を装着したアクチュエータ基板２をキャップ部材３の貫通窓１１に容易に装着することができる。 Further, the wedge shape of the buffer member 20 may be narrowed toward the side opposite to the nozzle plate 4. In this case, after the nozzle plate 4 is bonded to the side surface SP of the actuator substrate 2, the buffer member 20 is attached in close contact with the outer surface GP of the actuator substrate 2 and the inner surface of the nozzle plate 4. Next, the actuator substrate 2 is mounted on the through window 11 of the cap member 3. Since the cross section of the buffer member 20 is narrow toward the side opposite to the nozzle plate 4 (−x direction), the actuator substrate 2 on which the buffer member 20 is mounted can be easily mounted on the through window 11 of the cap member 3.

また、本実施形態においては、緩衝部材２０のｘ方向の幅はキャップ部材３の厚みを超えない。緩衝部材２０はアクチュエータ基板２がキャップ部材３の貫通窓１１に装着される部分に設置されていればよい。その他、アクチュエータ基板２、キャップ部材３、ノズルプレート４、接着剤５及び緩衝部材２０の材質等については他の実施形態において説明したと同様なので、説明を省略する。 In the present embodiment, the width of the buffer member 20 in the x direction does not exceed the thickness of the cap member 3. The buffer member 20 only needs to be installed in a portion where the actuator substrate 2 is attached to the through window 11 of the cap member 3. In addition, since the materials of the actuator substrate 2, the cap member 3, the nozzle plate 4, the adhesive 5, and the buffer member 20 are the same as those described in the other embodiments, the description thereof is omitted.

（第六実施形態）
図６は本発明の第六実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に液体を供給する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は複数のヘッドチップを備え、各ヘッドチップは複数のチャンネルを備え、各チャンネルに連通するノズルから液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’は既に説明した第一〜第五実施形態のいずれかを使用する。 (Sixth embodiment)
FIG. 6 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus 30 according to the sixth embodiment of the present invention. The liquid ejecting apparatus 30 includes a moving mechanism 40 that reciprocates the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, and a flow path unit that supplies the liquid to the liquid ejecting heads 1 and 1 ′ and discharges the liquid from the liquid ejecting heads 1 and 1 ′. 35, 35 ', liquid pumps 33, 33' for supplying liquid to the flow path portions 35, 35 ', and liquid tanks 34, 34'. Each liquid jet head 1, 1 ′ includes a plurality of head chips, each head chip includes a plurality of channels, and ejects droplets from nozzles communicating with the respective channels. The liquid ejecting heads 1 and 1 ′ use any one of the first to fifth embodiments already described.

液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。 The liquid ejecting apparatus 30 includes a pair of conveying units 41 and 42 that convey a recording medium 44 such as paper in the main scanning direction, liquid ejecting heads 1 and 1 ′ that eject liquid onto the recording medium 44, and a liquid ejecting head. 1, 1 ′ carriage unit 43, liquid tanks 34, 34 ′ and liquid pumps 33, 33 ′ that supply the liquid stored in the liquid tanks 34, 34 ′ to the flow path portions 35, 35 ′, the liquid jet head 1, And a moving mechanism 40 that scans 1 ′ in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. A control unit (not shown) controls and drives the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the moving mechanism 40, and the conveying units 41 and 42.

一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。 The pair of conveying means 41 and 42 includes a grid roller and a pinch roller that extend in the sub-scanning direction and rotate while contacting the roller surface. A grid roller and a pinch roller are moved around the axis by a motor (not shown), and the recording medium 44 sandwiched between the rollers is conveyed in the main scanning direction. The moving mechanism 40 couples a pair of guide rails 36 and 37 extending in the sub-scanning direction, a carriage unit 43 slidable along the pair of guide rails 36 and 37, and the carriage unit 43 to move in the sub-scanning direction. An endless belt 38 is provided, and a motor 39 that rotates the endless belt 38 via a pulley (not shown) is provided.

キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。 The carriage unit 43 mounts a plurality of liquid jet heads 1, 1 ′, and ejects, for example, four types of liquid droplets of yellow, magenta, cyan, and black. The liquid tanks 34 and 34 'store liquids of corresponding colors and supply them to the liquid jet heads 1 and 1' via the liquid pumps 33 and 33 'and the flow path portions 35 and 35'. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ ejects droplets of each color according to the drive signal. An arbitrary pattern is recorded on the recording medium 44 by controlling the timing at which liquid is ejected from the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the rotation of the motor 39 that drives the carriage unit 43, and the conveyance speed of the recording medium 44. I can.

１液体噴射ヘッド
２アクチュエータ基板
２ａ圧電体基板
２ｂカバープレート
３キャップ部材
４ノズルプレート
５接着剤
６チャンネル
７チャンネル列
８ノズル
９ノズル列
１１貫通窓
１２供給口
１３駆動電極
１４電極端子
１５隔壁
２０緩衝部材、２０ａ第一緩衝部材、２０ｂ第二緩衝部材、２０ｃ第三緩衝部材
２１逃げ部、２１ａ第一逃げ部、２１ｂ第二逃げ部、２１ｃ第三逃げ部、２１ｄ第四逃げ部
３０液体噴射装置
ＳＰ側面、ＧＰ外表面、Ｔａ一方端、Ｔｂ後方端、Ｔｃ他方端、ＩＳ内壁面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejecting head 2 Actuator substrate 2a Piezoelectric substrate 2b Cover plate 3 Cap member 4 Nozzle plate 5 Adhesive 6 Channel 7 Channel row 8 Nozzle 9 Nozzle row 11 Through window 12 Supply port 13 Drive electrode 14 Electrode terminal 15 Partition 20 Buffer member 20a 1st buffer member, 20b 2nd buffer member, 20c 3rd buffer member 21 escape part, 21a 1st relief part, 21b 2nd relief part, 21c 3rd relief part, 21d 4th relief part 30 Liquid ejector SP Side, GP outer surface, Ta one end, Tb rear end, Tc other end, IS inner wall

Claims

An actuator substrate having a channel row in which a plurality of channels are arranged in a longitudinal direction, and a plurality of the channels opening on a side surface;
A cap member having a through window penetrating in the plate thickness direction, the side surface of the through window being mounted substantially parallel to the opening surface of the through window, and being bonded to the actuator substrate via an adhesive;
A nozzle plate in which a plurality of nozzles are arranged in a longitudinal direction, and a plurality of the nozzles and the plurality of channels communicate with each other and are bonded to the side surfaces;
A liquid ejecting head comprising: a buffer member installed between an outer surface of the actuator substrate and an inner wall surface of the through window.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the through window has a rectangular shape in a plan view when viewed from the normal direction of the opening surface, and has a relief portion that swells outside the rectangular shape at a corner portion of the rectangular shape.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member is installed between an outer surface at one end in a longitudinal direction of the actuator substrate and an inner wall surface of the through window.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member is installed between an outer surface at the other end in the longitudinal direction of the actuator substrate and an inner wall surface of the through window.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member is installed in a ring shape between an outer surface around the side surface of the actuator substrate and an inner wall surface of the through window.

In the buffer member, the thickness in the longitudinal direction between the outer surface of one end or the other end in the longitudinal direction of the actuator substrate and the inner wall surface is the outer side on the one side or the other side in the short side direction of the actuator substrate. The liquid ejecting head according to claim 5, wherein the liquid jet head has a thickness different from a thickness in a short direction between a surface and the inner wall surface.

The liquid ejecting head according to claim 6, wherein the buffer member has a thickness in the longitudinal direction that is greater than a thickness in the short direction.

The liquid ejection head according to claim 1, wherein the buffer member has a wedge-shaped cross section in the thickness direction of the cap member.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member has a width in a thickness direction of the cap member that does not exceed a thickness of the cap member.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member is made of a porous material.

The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the buffer member is made of an elastic material.

The liquid jet head according to claim 1, wherein the adhesive does not have a Shore hardness of less than 80 °.

A liquid ejecting head according to claim 1;
A moving mechanism for reciprocating the liquid jet head;
A liquid supply pipe for supplying a liquid to the liquid ejecting head;
And a liquid tank that supplies the liquid to the liquid supply pipe.