JP6144586B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject and record liquid droplets on a recording medium.

近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。   In recent years, an ink jet type liquid ejecting head has been used in which ink droplets are ejected onto recording paper or the like to record characters and figures, or a liquid material is ejected onto the surface of an element substrate to form a functional thin film. In this method, a liquid such as ink or a liquid material is guided from a liquid tank to a channel via a supply pipe, pressure is applied to the liquid filled in the channel, and the liquid is discharged from a nozzle communicating with the channel. When discharging the liquid, the liquid ejecting head or the recording medium is moved to record characters and figures, or a functional thin film having a predetermined shape is formed.

この種の液体噴射ヘッドとして、チャンネルを構成する壁に圧電素子を用い、チャンネル内の液体を常時循環させるスルーフロータイプが知られている。スルーフロータイプは、液体中に気泡や異物が混入した場合でもチャンネル外に迅速に排出することができる。そのため、キャップ構造やサービスステーションを用いずにメンテナンスを実施することができ、メンテナンス時の液体の消費量が減少し、ランニングコストを抑えることができる。更に、吐出不良によって被記録媒体を無駄に消費するのを最小限に抑えることができる。   As this type of liquid ejecting head, a through-flow type is known in which a piezoelectric element is used on a wall constituting a channel and the liquid in the channel is constantly circulated. The through-flow type can be quickly discharged out of the channel even when bubbles or foreign substances are mixed in the liquid. Therefore, maintenance can be performed without using a cap structure or a service station, the amount of liquid consumed during maintenance can be reduced, and running costs can be suppressed. Furthermore, wasteful consumption of the recording medium due to ejection failure can be minimized.

特許文献１には液体循環型の液体噴射ヘッドが記載される。図９は特許文献１に示される液体噴射ヘッドの分解斜視図である。液体噴射ヘッドは、２枚の圧電素子を重ねて３つの流路９０、９２、９４を構成するＰＺＴウエハ８８、８９と、流路９０と流路９４に連通する開口が形成され、流路９２を閉塞するマスクプレート１００と、流路９２を跨いで流路９０と流路９４を連通させる開口部が形成される開口プレート６６と、開口プレート６６の開口部に連通するノズル１０２が形成されるノズルプレート６４とを備える。液体は、矢印５２で示すように流路９０から開口プレート６６の開口部を経て流路９４に流れる。つまり、液体は流路９２の周りを循環する。２つの壁９６、９８の流路９２側の側面にはライン電極が、流路９０、９４側の側面にはアース電極が設けられ、これらの電極により壁９６、９８を駆動することにより、ノズル１０２から小液滴を吐出する。   Patent Document 1 describes a liquid circulation type liquid jet head. FIG. 9 is an exploded perspective view of the liquid jet head disclosed in Patent Document 1. In FIG. In the liquid jet head, two piezoelectric elements are overlapped to form PZT wafers 88 and 89 constituting three flow paths 90, 92, and 94, and openings that communicate with the flow paths 90 and 94 are formed. A mask plate 100 that closes the flow path, an opening plate 66 that has an opening that communicates the flow path 90 and the flow path 94 across the flow path 92, and a nozzle 102 that communicates with the opening of the opening plate 66 are formed. And a nozzle plate 64. The liquid flows from the flow path 90 to the flow path 94 through the opening of the opening plate 66 as indicated by the arrow 52. That is, the liquid circulates around the flow path 92. A line electrode is provided on the side surface of the two walls 96, 98 on the flow channel 92 side, and a ground electrode is provided on the side surface on the flow channel 90, 94 side. By driving the walls 96, 98 with these electrodes, the nozzles are provided. A small droplet is discharged from 102.

特許文献２には他の液体循環型の液体噴射ヘッドが記載される。液体噴射ヘッドは、表面に複数の溝が設置される圧電プレートと、圧電プレートの表面に接合され、各溝の上部開口を覆うカバープレートと、圧電プレートの側面に設置され、各溝に連通する複数のノズルを有するノズルプレートとを備える。カバープレートは液体供給孔を備え、液体供給孔を介して各溝に液体が供給される。ノズルプレートの圧電プレート側の表面には各溝に対応する排出路が複数形成される。液体噴射ヘッドは、更に圧電プレートの裏面に液体排出室を備える流路部材が設置される。ノズルプレートに形成される排出路は、圧電プレートの表面に設置される溝と裏面に設置される液体排出室とを連通する。液体は、液体供給孔から各溝に分流し、各溝から対応する排出路を通って液体排出室で合流する。   Patent Document 2 discloses another liquid circulation type liquid jet head. The liquid ejecting head has a piezoelectric plate having a plurality of grooves on the surface, a cover plate that is bonded to the surface of the piezoelectric plate and covers an upper opening of each groove, and is disposed on a side surface of the piezoelectric plate and communicates with each groove. A nozzle plate having a plurality of nozzles. The cover plate includes a liquid supply hole, and the liquid is supplied to each groove through the liquid supply hole. A plurality of discharge paths corresponding to the respective grooves are formed on the surface of the nozzle plate on the piezoelectric plate side. The liquid ejecting head is further provided with a flow path member having a liquid discharge chamber on the back surface of the piezoelectric plate. The discharge path formed in the nozzle plate communicates a groove installed on the surface of the piezoelectric plate and a liquid discharge chamber installed on the back surface. The liquid is diverted from the liquid supply hole to each groove, and merges from each groove through the corresponding discharge path in the liquid discharge chamber.

特表２００３−５０５２８１号公報Japanese translation of PCT publication No. 2003-505281 特開２０１１−１３１５３３号公報JP 2011-131533 A

特許文献１に記載される液体噴射ヘッドは、２枚のＰＺＴウエハを重ねて３つの流路９０、９２、９４を単位とする複数の流路を構成し、その端面にマスクプレート１００、その上面に開口プレート６６、更にその上面にノズルプレート６４を設置し、その他図示されない流路部材等を必要とする。そのため、部品点数が多く、組み立ての際に高度な位置合わせを必要とする複雑な構造を備える。特許文献２に記載される液体噴射ヘッドは、ノズルプレートの圧電プレート側の表面に、ノズルと同じピッチでノズルと同数の排出路を形成しなければならず、構造が複雑で製造が極めて難しい。   The liquid ejecting head described in Patent Document 1 forms a plurality of flow paths in units of three flow paths 90, 92, and 94 by stacking two PZT wafers. In addition, an opening plate 66 and a nozzle plate 64 are installed on the upper surface thereof, and other flow path members not shown are required. Therefore, it has a complicated structure that requires a high number of parts and requires a high degree of alignment during assembly. The liquid ejecting head described in Patent Document 2 must have the same number of discharge paths as the nozzles at the same pitch as the nozzles on the surface of the nozzle plate on the piezoelectric plate side, and has a complicated structure and is extremely difficult to manufacture.

本発明の液体噴射ヘッドは、液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが表面に平行な基準方向に並列して交互に配列し、前記吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、前記吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、前記圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、前記吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、前記圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、基準方向に配列する複数のノズルを有し、前記ノズルが前記吐出溝に連通し、前記圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備え、前記吐出溝は並列に配列する往吐出溝と復吐出溝を含み、前記液体供給孔が前記往吐出溝に連通し、前記液体排出孔が前記復吐出溝に連通し、前記往吐出溝と前記復吐出溝は溝方向の両端部において連通することとした。   The liquid jet head according to the present invention includes a piezoelectric plate in which a discharge groove for discharging a liquid and a dummy groove for not discharging a liquid are alternately arranged in parallel in a reference direction parallel to the surface, and one side of the discharge groove opens on a side surface A liquid supply hole for supplying a liquid to the discharge groove, a liquid supply plate joined to one surface of the piezoelectric plate, a liquid discharge hole for discharging the liquid from the discharge groove, A liquid discharge plate that is joined to the other surface, and a nozzle plate that has a plurality of nozzles arranged in a reference direction, the nozzle communicating with the ejection groove and joining to the side surface of the piezoelectric plate, and the ejection groove Includes a forward discharge groove and a backward discharge groove arranged in parallel, the liquid supply hole communicates with the forward discharge groove, the liquid discharge hole communicates with the backward discharge groove, and the forward discharge groove and the backward discharge groove Is both ends in the groove direction It was decided to communicate with Oite.

また、前記液体供給プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側とは反対側の端部を連通させるバイパス路を備えることとした。   In addition, the liquid supply plate includes a bypass passage that communicates the end of the forward discharge groove and the reverse discharge groove on the opposite side of the nozzle plate.

また、前記液体排出プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側とは反対側の端部を連通させるバイパス路を備えることとした。   In addition, the liquid discharge plate includes a bypass path that communicates the end of the forward discharge groove and the reverse discharge groove on the opposite side of the nozzle plate.

また、前記液体供給孔と前記液体排出孔は溝方向の位置が略一致することとした。   Further, the liquid supply hole and the liquid discharge hole are substantially aligned in the groove direction.

また、前記ノズルプレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の端部を連通させる第一連通路を備えることとした。   Further, the nozzle plate includes a first series passage that communicates the end portions of the forward discharge groove and the reverse discharge groove.

また、前記ノズルプレートは、前記ノズルを有する第一ノズルプレートと、前記第一連通路を有する第二ノズルプレートとが積層することとした。   The nozzle plate includes a first nozzle plate having the nozzle and a second nozzle plate having the first series passage.

また、前記圧電プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側の端部を連通させる第二連通路を有することとした。   In addition, the piezoelectric plate has a second communication path for communicating the end portion of the forward discharge groove and the reverse discharge groove on the nozzle plate side.

また、複数の前記液体供給孔に連通する液体供給路を有し、前記液体供給プレートに接合する液体供給流路部材を備えることとした。   In addition, a liquid supply passage that communicates with the plurality of liquid supply holes and includes a liquid supply passage member that is joined to the liquid supply plate is provided.

また、前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させるダンパー膜により形成されることとした。   In addition, a part of the liquid supply path is formed by a damper film that alleviates liquid pressure fluctuations.

本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。   The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention includes the liquid ejecting head, a moving mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium, a liquid supply pipe that supplies liquid to the liquid ejecting head, and the liquid And a liquid tank for supplying the liquid to the supply pipe.

本発明による液体噴射ヘッドは、液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが表面に平行な基準方向に並列して交互に配列し、吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、基準方向に配列する複数のノズルを有し、ノズルが吐出溝に連通し、圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備え、吐出溝は並列に配列する往吐出溝と復吐出溝を含み、液体供給孔が往吐出溝に連通し、液体排出孔が復吐出溝に連通し、往吐出溝と復吐出溝は溝方向の両端部において連通する。これにより、吐出溝に気泡が混入しても直ちに外部に排出することができ、メンテナンスが容易となる。また、液体噴射ヘッドの構造が単純となり、組み立てが容易となってコストを削減することができる。   The liquid ejecting head according to the present invention includes a piezoelectric plate in which a discharge groove for discharging a liquid and a dummy groove for not discharging a liquid are alternately arranged in parallel in a reference direction parallel to the surface, and one side of the discharge groove opens on a side surface. The liquid supply plate has a liquid supply hole for supplying liquid to the discharge groove and is bonded to one surface of the piezoelectric plate, and the liquid discharge hole for discharging the liquid from the discharge groove is bonded to the other surface of the piezoelectric plate. A liquid discharge plate, and a nozzle plate that has a plurality of nozzles arranged in a reference direction, the nozzles communicate with the discharge grooves and are joined to the side surfaces of the piezoelectric plate, and the discharge grooves are arranged in parallel. Including the backward discharge groove, the liquid supply hole communicates with the forward discharge groove, the liquid discharge hole communicates with the backward discharge groove, and the forward discharge groove and the backward discharge groove communicate at both ends in the groove direction. Thereby, even if bubbles are mixed in the discharge groove, it can be immediately discharged to the outside, and the maintenance becomes easy. In addition, the structure of the liquid ejecting head is simplified, and assembly is facilitated, thereby reducing the cost.

本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの部分分解斜視図である。FIG. 3 is a partially exploded perspective view of the liquid jet head according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a liquid ejecting head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝の長手方向に沿う断面模式図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view along the longitudinal direction of an outward discharge groove of a liquid jet head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電プレート、ノズルプレート及び液体排出プレートの部分分解斜視図である。FIG. 10 is a partial exploded perspective view of a piezoelectric plate, a nozzle plate, and a liquid discharge plate of a liquid jet head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a liquid jet head according to a fourth embodiment of the invention. 本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝の断面模式図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of an outward discharge groove of a liquid jet head according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの基準方向の断面模式図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view in a reference direction of a liquid jet head according to a sixth embodiment of the invention. 本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus according to a seventh embodiment of the invention. 従来公知の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。It is an exploded perspective view of a conventionally known liquid jet head.

（第一実施形態）
図１は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の部分分解斜視図であり、図２は液体噴射ヘッド1の説明図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a partially exploded perspective view of the liquid jet head 1 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram of the liquid jet head 1.

図１及び図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電プレート２と、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３と、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と、圧電プレート２の側面ＳＳに接合するノズルプレート５とを備える。圧電プレート２は、液体を吐出する吐出溝７と液体を吐出しないダミー溝８とが基準方向Ｋに交互に配列し、吐出溝７の一方側が側面ＳＳに開口する。液体供給プレート３は吐出溝７に液体を供給する液体供給孔３ａを有し、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する。液体排出プレート４は吐出溝７から液体を排出する液体排出孔４ａを有し、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する。ノズルプレート５は、基準方向Ｋに配列する複数のノズル９を有し、ノズル９が吐出溝７に連通する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the liquid ejecting head 1 includes a piezoelectric plate 2, a liquid supply plate 3 that is bonded to one surface OS of the piezoelectric plate 2, and a liquid discharge plate that is bonded to the other surface TS of the piezoelectric plate 2. 4 and a nozzle plate 5 joined to the side surface SS of the piezoelectric plate 2. In the piezoelectric plate 2, the ejection grooves 7 that eject liquid and the dummy grooves 8 that do not eject liquid are alternately arranged in the reference direction K, and one side of the ejection groove 7 opens in the side surface SS. The liquid supply plate 3 has a liquid supply hole 3 a for supplying a liquid to the ejection groove 7 and is joined to one surface OS of the piezoelectric plate 2. The liquid discharge plate 4 has a liquid discharge hole 4 a for discharging the liquid from the discharge groove 7 and is joined to the other surface TS of the piezoelectric plate 2. The nozzle plate 5 has a plurality of nozzles 9 arranged in the reference direction K, and the nozzles 9 communicate with the ejection grooves 7.

ここで、吐出溝７は並列に配列する往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを含み、液体供給孔３ａが往吐出溝７ａに連通し、液体排出孔４ａが復吐出溝７ｂに連通し、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂは両端部において連通する。具体的には、ノズルプレート５は、ノズル９を有する第一ノズルプレート５ａと第一連通路１１ａを有する第二ノズルプレート５ｂとが積層する。ノズル９と第一連通路１１ａは連通し、第一連通路１１ａは圧電プレート２の側面ＳＳに開口する往吐出溝７ａとその隣に開口する復吐出溝７ｂを連通する。また、液体供給プレート３は、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂのノズルプレート５の側とは反対側の端部を連通させるバイパス路６を備える。   Here, the discharge groove 7 includes a forward discharge groove 7a and a reverse discharge groove 7b arranged in parallel. The liquid supply hole 3a communicates with the forward discharge groove 7a, and the liquid discharge hole 4a communicates with the backward discharge groove 7b. The discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b communicate with each other at both ends. Specifically, the nozzle plate 5 is formed by laminating a first nozzle plate 5a having nozzles 9 and a second nozzle plate 5b having first series passages 11a. The nozzle 9 and the first series passage 11a communicate with each other, and the first series passage 11a communicates with the forward discharge groove 7a opened on the side surface SS of the piezoelectric plate 2 and the reverse discharge groove 7b opened adjacent thereto. Further, the liquid supply plate 3 includes a bypass path 6 that communicates the ends of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b opposite to the nozzle plate 5 side.

これにより、図２に示すように、液体供給孔３ａから往吐出溝７ａに流入する液体は第一連通路１１ａとバイパス路６の両端に向かって流れ、更に、第一連通路１１ａとバイパス路６の両端から復吐出溝７ｂに流入する液体は液体排出孔４ａで合流して外部に流出する。そのため、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂには液体の滞留箇所が無く、往吐出溝７ａや復吐出溝７ｂ内に外部から気泡が混入する、或いは内部で気泡が発生してもこれらの気泡を直ちに外部に排出することができる。その結果、メンテナンスが容易となり、クリーニング等において無駄に液体を消費することが無い。   Thereby, as shown in FIG. 2, the liquid flowing into the forward discharge groove 7a from the liquid supply hole 3a flows toward both ends of the first series passage 11a and the bypass passage 6, and further, the first series passage 11a and the bypass passage. The liquid flowing into the backward discharge groove 7b from both ends of the liquid 6 joins at the liquid discharge hole 4a and flows out to the outside. Therefore, the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b have no liquid staying place, and even if bubbles are mixed in the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b from the outside, or bubbles are generated inside, these bubbles are generated. Can be immediately discharged to the outside. As a result, maintenance is facilitated, and liquid is not consumed wastefully in cleaning or the like.

具体的に説明する。圧電プレート２は、ＰＺＴセラミックスなどの圧電体セラミックスからなり、予め一方面ＯＳの垂直方向に分極処理が施されている。圧電プレート２には基準方向Ｋに往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂからなる吐出溝７とダミー溝８とが交互に形成され、吐出溝７の一方側（ノズルプレート５側）が側面ＳＳに開口し他方側（ノズルプレート５とは反対側）が一方面ＯＳ及び他方面ＴＳの各面内において終端する。ダミー溝８は一方側及び他方側が圧電プレート２の両側面に開口する。往吐出溝７ａ、復吐出溝７ｂ及びダミー溝８は圧電プレート２の一方面ＯＳから他方面ＴＳに貫通する。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面の上半分（一方面ＯＳから略１／２の深さ）までコモン電極１８が形成され、ダミー溝８の両側面の上半分までアクティブ電極１６が形成される。なお、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側の側面が他方面ＴＳから一方面ＯＳに切り上がる傾斜面を成すが、これは、溝をダイシングブレードの外周歯により切削して形成するためである。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側が垂直な側面であってもよい。   This will be specifically described. The piezoelectric plate 2 is made of piezoelectric ceramics such as PZT ceramics, and is previously polarized in the direction perpendicular to the one surface OS. In the piezoelectric plate 2, discharge grooves 7 and dummy grooves 8 including forward discharge grooves 7 a and reverse discharge grooves 7 b are alternately formed in the reference direction K, and one side (nozzle plate 5 side) of the discharge grooves 7 is formed on the side surface SS. The other side (the side opposite to the nozzle plate 5) is opened and ends in each of the one surface OS and the other surface TS. One side and the other side of the dummy groove 8 are opened on both side surfaces of the piezoelectric plate 2. The forward discharge groove 7a, the reverse discharge groove 7b, and the dummy groove 8 penetrate from the one surface OS of the piezoelectric plate 2 to the other surface TS. The common electrode 18 is formed up to the upper half of the side of the forward discharge groove 7 a and the reverse discharge groove 7 b on the dummy groove 8 side (approximately half the depth from the one surface OS), and up to the upper half of both sides of the dummy groove 8. An active electrode 16 is formed. Note that the other side surfaces of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b form an inclined surface that rises from the other surface TS to the one surface OS. This is because the grooves are formed by cutting the outer peripheral teeth of the dicing blade. It is. The other side of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b may be a vertical side surface.

図２（ａ）は往吐出溝７ａに沿う断面模式図であり、図２（ｂ）は復吐出溝７ｂに沿う断面模式図であり、図２（ｃ）は圧電プレート２の上面模式図であり、液体供給孔３ａ、液体排出孔４ａ及びバイパス路６の位置を破線で示す。液体供給プレート３と液体排出プレート４は圧電プレート２と同じ材料、つまりＰＺＴセラミックスなどの圧電体セラミックスを使用することができる。また、圧電プレート２と同程度の熱膨張係数を有するマシナブルセラミックスを使用してもよい。また、プラスチック材料を使用することもできる。図２に示すように、液体供給プレート３のバイパス路６は往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの一方面ＯＳ側の端部を連通させる。より詳しくは、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの一方面ＯＳ側の端部がバイパス路６の圧電プレート２側の開口領域に含まれるようにする。また、液体排出プレート４の液体排出孔４ａは復吐出溝７ｂの他方面ＴＳ側の端部よりもノズルプレート５側（一方側）に設置する。これにより、液体の滞留領域を最小にすることができる。また、液体供給プレート３の液体供給孔３ａと液体排出プレート４の液体排出孔４ａは溝方向の位置を略一致させて、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂのノズルプレート５側のアクティブ領域を等価にする。なお、液体供給孔３ａはバイパス路６側に、例えばバイパス路６に重ねて設置してもよい。   2A is a schematic cross-sectional view along the forward discharge groove 7a, FIG. 2B is a schematic cross-sectional view along the reverse discharge groove 7b, and FIG. 2C is a schematic top view of the piezoelectric plate 2. FIG. Yes, the positions of the liquid supply hole 3a, the liquid discharge hole 4a, and the bypass path 6 are indicated by broken lines. The liquid supply plate 3 and the liquid discharge plate 4 can use the same material as the piezoelectric plate 2, that is, piezoelectric ceramics such as PZT ceramics. Further, a machinable ceramic having a thermal expansion coefficient comparable to that of the piezoelectric plate 2 may be used. Plastic materials can also be used. As shown in FIG. 2, the bypass path 6 of the liquid supply plate 3 communicates the end portions on the one surface OS side of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b. More specifically, the end portions on the one surface OS side of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b are included in the opening region of the bypass path 6 on the piezoelectric plate 2 side. Further, the liquid discharge hole 4a of the liquid discharge plate 4 is installed on the nozzle plate 5 side (one side) from the end portion on the other surface TS side of the reverse discharge groove 7b. Thereby, the staying area of the liquid can be minimized. Further, the liquid supply hole 3a of the liquid supply plate 3 and the liquid discharge hole 4a of the liquid discharge plate 4 are substantially aligned in the groove direction so that the active region on the nozzle plate 5 side of the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b is defined. Make equal. The liquid supply hole 3 a may be installed on the bypass path 6 side, for example, overlapping the bypass path 6.

なお、図２において往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方側の側面が傾斜しているが、この側面の傾斜角（一方面ＯＳに対する角度）は、ダイシングブレードを圧電プレート２に深く入れる等により容易に大きくすることができる。また、液体供給プレート３や液体排出プレート４としてＰＺＴセラミックスやマシナブルセラミックスを使用する場合でも、液体供給孔３ａ、液体排出孔４ａ及びバイパス路６はダイシングブレードやサンドブラスト等により容易に形成することができる。   In FIG. 2, the other side surfaces of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b are inclined. The inclination angle of this side surface (angle with respect to the one surface OS) is such that the dicing blade is inserted deeply into the piezoelectric plate 2 or the like. Can be easily increased. Even when PZT ceramics or machinable ceramics are used as the liquid supply plate 3 or the liquid discharge plate 4, the liquid supply hole 3a, the liquid discharge hole 4a, and the bypass path 6 can be easily formed by a dicing blade, sandblast, or the like. it can.

更に、図２（ｃ）に示すように、ダミー溝８ａ、８ｂの側面にアクティブ電極１６を備え、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面にコモン電極１８を備える。圧電プレート２の一方面ＯＳに、コモン電極１８と電気的に接続するコモン端子１９を備え、隣接するダミー溝８ａ、８ｂの側面に形成されるアクティブ電極１６を電気的に接続する配線電極２０を備える。なお、本実施形態では配線電極２０がアクティブ端子１７として機能する。   Further, as shown in FIG. 2C, the active electrodes 16 are provided on the side surfaces of the dummy grooves 8a and 8b, and the common electrode 18 is provided on the side surfaces of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b on the dummy groove 8 side. On one surface OS of the piezoelectric plate 2, a common terminal 19 that is electrically connected to the common electrode 18 is provided, and a wiring electrode 20 that electrically connects the active electrode 16 formed on the side surfaces of the adjacent dummy grooves 8 a and 8 b is provided. Prepare. In the present embodiment, the wiring electrode 20 functions as the active terminal 17.

第一ノズルプレート５ａ及び第二ノズルプレート５ｂはポリイミド膜により形成することができる。また、他の高分子材料や金属材料を使用することができる。第一ノズルプレート５ａに形成するノズル９は、第二ノズルプレート５ｂに形成する第一連通路１１ａの、基準方向Ｋにおいて略中央に位置する。なお、ノズルプレート５は第一及び第二ノズルプレート５ａ、５ｂの二層構造に代えて、第三実施形態において説明するように仕切り壁２２ｃの先端部を研削して第二連通路を形成すれば、ノズルプレート５は第一ノズルプレート５ａのみとすることができる。また、第一及び第二ノズルプレート５ａ、５ｂを一体化した単層のノズルプレート５としてもよい。   The first nozzle plate 5a and the second nozzle plate 5b can be formed of a polyimide film. Other polymer materials and metal materials can also be used. The nozzle 9 formed in the first nozzle plate 5a is located substantially in the center in the reference direction K of the first series passage 11a formed in the second nozzle plate 5b. The nozzle plate 5 is formed by grinding the tip of the partition wall 22c to form a second communication path as described in the third embodiment, instead of the two-layer structure of the first and second nozzle plates 5a and 5b. For example, the nozzle plate 5 can be only the first nozzle plate 5a. Moreover, it is good also as the single layer nozzle plate 5 which integrated 1st and 2nd nozzle plate 5a, 5b.

液体噴射ヘッド１は次のように動作する。まず、液体は、矢印ＩＮで示すように液体供給プレート３の液体供給孔３ａから往吐出溝７ａに流入し、第二ノズルプレート５ｂの第一連通路１１ａとバイパス路６を通して復吐出溝７ｂに流入し、矢印ＯＵＴで示すように液体排出プレート４の液体排出孔４ａから排出される。駆動時は液体を上記ルートで常時循環させる。一方、ダミー溝８は液体供給孔３ａ及び液体排出孔４ａのいずれにも連通せず、液体は流入しない。そして、アクティブ端子１７とコモン端子１９に駆動信号を与えて両壁２２ａ、２２ｂの厚さ方向に電界を印加する。つまり、ダミー溝８ａのアクティブ電極１６と往吐出溝７ａのコモン電極１８との間の壁２２ａと、ダミー溝８ｂのアクティブ電極１６と復吐出溝７ｂのコモン電極１８との間の壁２２ｂに駆動信号を与える。すると、壁２２ａ、２２ｂは厚みすべり変形し、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの容積を瞬間的に変化させる。これにより往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの液体に圧力波が発生する。この圧力波がノズル９に到達した時点で電界の印加を解除する。このとき、壁２２ａと壁２２ｂが変形状態から元の状態に戻り、吐出溝７内の圧力が増加してノズル９から液滴が吐出される。その他の往吐出溝７ａ、復吐出溝７ｂ及びダミー溝８も同様に駆動する。   The liquid ejecting head 1 operates as follows. First, the liquid flows into the forward discharge groove 7a from the liquid supply hole 3a of the liquid supply plate 3 as indicated by an arrow IN, and enters the reverse discharge groove 7b through the first series passage 11a and the bypass passage 6 of the second nozzle plate 5b. It flows in and is discharged from the liquid discharge hole 4a of the liquid discharge plate 4 as indicated by an arrow OUT. At the time of driving, the liquid is always circulated through the above route. On the other hand, the dummy groove 8 does not communicate with either the liquid supply hole 3a or the liquid discharge hole 4a, and no liquid flows in. Then, a drive signal is applied to the active terminal 17 and the common terminal 19 to apply an electric field in the thickness direction of both walls 22a and 22b. That is, it is driven to the wall 22a between the active electrode 16 of the dummy groove 8a and the common electrode 18 of the forward discharge groove 7a, and to the wall 22b between the active electrode 16 of the dummy groove 8b and the common electrode 18 of the reverse discharge groove 7b. Give a signal. Then, the walls 22a and 22b are deformed in thickness, and the volumes of the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b are instantaneously changed. As a result, pressure waves are generated in the liquid in the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b. When this pressure wave reaches the nozzle 9, the application of the electric field is released. At this time, the wall 22a and the wall 22b return from the deformed state to the original state, the pressure in the discharge groove 7 increases, and a droplet is discharged from the nozzle 9. The other forward discharge grooves 7a, reverse discharge grooves 7b and dummy grooves 8 are driven in the same manner.

なお、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとを仕切る仕切り壁２２ｃは液体の流れを仕切るために設けている。そのため、壁２２ａや壁２２ｂとは異なり任意の厚さに設定することができる。液体噴射ヘッド１のノズル９のピッチは１つのダミー溝８と１つの吐出溝７により定まる。そして、仕切り壁２２ｃの厚さのみを変更し、ダミー溝８、吐出溝７及び壁２２ａ、２２ｂの幅を変更することなくノズル９のピッチを調整することができる。   A partition wall 22c that partitions the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b is provided to partition the flow of liquid. Therefore, unlike the wall 22a and the wall 22b, it can be set to an arbitrary thickness. The pitch of the nozzles 9 of the liquid jet head 1 is determined by one dummy groove 8 and one ejection groove 7. Then, only the thickness of the partition wall 22c is changed, and the pitch of the nozzles 9 can be adjusted without changing the widths of the dummy grooves 8, the discharge grooves 7, and the walls 22a and 22b.

また、仕切り壁２２ｃは駆動に寄与しない壁なので圧電体である必要はない。そのため、液体供給プレート３又は液体排出プレート４に仕切り壁２２ｃを設け、圧電プレート２の吐出溝７を広く形成し、液体供給プレート３又は液体排出プレート４を圧電プレート２に接合したときに吐出溝７を往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂに分割するように構成してもよい。また、圧電プレート２の全体を圧電体セラミックスから形成することに代えて、壁２２ａ、２２ｂを圧電体セラミックスにより形成し、その他の領域を絶縁体材料により形成してもよい。また、ダミー溝８ａ、８ｂは圧電プレート２の一方側の側面から他方側の側面までストレートに形成したが、これに代えて、ダミー溝８ａ、８ｂの他方端を吐出溝７の他方端と同様に一方面ＯＳ及び他方面ＴＳの面内において終端させてもよい。   The partition wall 22c does not need to be a piezoelectric body because it does not contribute to driving. Therefore, the partition wall 22c is provided on the liquid supply plate 3 or the liquid discharge plate 4, the discharge groove 7 of the piezoelectric plate 2 is formed wide, and the discharge groove is formed when the liquid supply plate 3 or the liquid discharge plate 4 is joined to the piezoelectric plate 2. 7 may be configured to be divided into a forward discharge groove 7a and a reverse discharge groove 7b. Further, instead of forming the entire piezoelectric plate 2 from piezoelectric ceramics, the walls 22a and 22b may be formed of piezoelectric ceramics, and the other regions may be formed of an insulating material. The dummy grooves 8a and 8b are formed straight from one side surface of the piezoelectric plate 2 to the other side surface. Instead, the other ends of the dummy grooves 8a and 8b are the same as the other end of the ejection groove 7. May be terminated in the plane of the one surface OS and the other surface TS.

また、液体を圧電プレート２の一方面ＯＳに接合した液体供給プレート３側から供給し、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合した液体排出プレート４側から排出することに代えて、液体を液体排出プレート４側から供給し、液体供給プレート３側から排出してもよい。この場合は、図１および図２において示す液体排出プレート４が液体供給プレートであり、液体供給プレート３が液体排出プレートとなり、バイパス路６は液体排出プレート４に設置されることになる。この場合でも、液体供給孔３ａと液体排出孔４ａは溝方向の位置が略一致する。更に、コモン端子１９及びアクティブ端子１７は液体排出プレート側の一方面ＯＳに設置されることになる。   Further, instead of supplying the liquid from the liquid supply plate 3 side bonded to the one surface OS of the piezoelectric plate 2 and discharging from the liquid discharge plate 4 side bonded to the other surface TS of the piezoelectric plate 2, the liquid is discharged. It may be supplied from the plate 4 side and discharged from the liquid supply plate 3 side. In this case, the liquid discharge plate 4 shown in FIGS. 1 and 2 is a liquid supply plate, the liquid supply plate 3 is a liquid discharge plate, and the bypass path 6 is installed in the liquid discharge plate 4. Even in this case, the position of the liquid supply hole 3a and the liquid discharge hole 4a in the groove direction substantially coincide. Furthermore, the common terminal 19 and the active terminal 17 are installed on the one surface OS on the liquid discharge plate side.

以上説明したように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド１は、液体を圧電プレート２の一方面ＯＳの側から流入し、圧電プレート２の他方面ＴＳの側に流出するようにしたので、液体供給孔３ａに液体を供給する流路部材や液体排出孔４ａから液体を排出する流路部材の構成を簡素化することができる。また、液体は、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂの溝方向における両端部を循環し、内部液体の滞留箇所が低減するので、液体内に気泡や異物が混入しても直ちに外部に排出することができる。その結果、メンテナンスが容易となり、クリーニング等において無駄に液体を消費することが無くなる。更に、液体噴射ヘッド１の構造が単純となり、高度な加工や位置合わせを必要とせず、組み立てが容易となってコストを削減することができる。   As described above, the liquid ejecting head 1 according to this embodiment is configured such that the liquid flows in from the one surface OS side of the piezoelectric plate 2 and flows out to the other surface TS side of the piezoelectric plate 2. The structure of the flow path member that supplies the liquid to the supply hole 3a and the flow path member that discharges the liquid from the liquid discharge hole 4a can be simplified. In addition, the liquid circulates at both ends in the groove direction of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b, and the staying place of the internal liquid is reduced, so that even if bubbles or foreign matters are mixed in the liquid, it is immediately discharged to the outside. be able to. As a result, maintenance is facilitated, and liquid is not consumed wastefully during cleaning or the like. Furthermore, the structure of the liquid ejecting head 1 is simplified, so that advanced processing and alignment are not required, and assembling becomes easy and the cost can be reduced.

（第二実施形態）
図３は本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの往吐出溝７ａの長手方向に沿う断面模式図である。第一実施形態と異なる点は液体供給流路部材１２ａと液体排出流路部材１２ｂを設置したことであり、その他の構成は第一実施液体と同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。 (Second embodiment)
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view along the longitudinal direction of the forward discharge groove 7a of the liquid jet head according to the second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that a liquid supply flow path member 12a and a liquid discharge flow path member 12b are installed, and other configurations are the same as those of the first embodiment liquid. Therefore, hereinafter, the different part from the first embodiment will be described, and the description of the same part will be omitted. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図３に示すように、液体噴射ヘッド１は、液体供給プレート３の上面に接合する液体供給流路部材１２ａと液体排出プレート４の下面に接合する液体排出流路部材１２ｂを備える。液体供給流路部材１２ａは、複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ａと液体供給路１３ａに連通し外部から液体が供給される供給接続部２１ａを備える。液体排出流路部材１２ｂは、複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂと液体排出路１３ｂに連通し外部に液体を排出する排出接続部２１ｂを備える。つまり、液体は、供給接続部２１ａから供給され、液体供給路１３ａから複数の液体供給孔３ａを介して複数の往吐出溝７ａに流入する。液体は、更に、各往吐出溝７ａのそれぞれに連通する第一連通路１１ａとバイパス路６を介して対応する各復吐出溝７ｂに流入し、複数の液体排出孔４ａを介して液体排出路１３ｂにおいて合流し、排出接続部２１ｂから排出される。その他の構成及び動作は第一実施形態と同様なので説明を省略する。   As shown in FIG. 3, the liquid ejecting head 1 includes a liquid supply flow path member 12 a that is bonded to the upper surface of the liquid supply plate 3 and a liquid discharge flow path member 12 b that is bonded to the lower surface of the liquid discharge plate 4. The liquid supply flow path member 12a includes a liquid supply path 13a that communicates with the plurality of liquid supply holes 3a and a supply connection portion 21a that communicates with the liquid supply path 13a and is supplied with liquid from the outside. The liquid discharge flow path member 12b includes a liquid discharge path 13b that communicates with the plurality of liquid discharge holes 4a and a discharge connection portion 21b that communicates with the liquid discharge path 13b and discharges liquid to the outside. That is, the liquid is supplied from the supply connection portion 21a and flows into the plurality of forward discharge grooves 7a from the liquid supply path 13a through the plurality of liquid supply holes 3a. The liquid further flows into the corresponding reverse discharge grooves 7b through the first series passages 11a communicating with the respective forward discharge grooves 7a and the bypass paths 6, and through the plurality of liquid discharge holes 4a. At 13b, they merge and are discharged from the discharge connection portion 21b. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.

このように、液体供給プレート３の上面に液体供給流路部材１２ａを、液体排出プレート４の下面に液体排出流路部材１２ｂを分離して設けるので、流路部材の構成が簡素化される。また、第一実施形態と同様に、液体は、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂの溝方向における両端部の第一連通路１１ａとバイパス路６を循環して内部液体の滞留箇所が低減するので、液体内に気泡や異物が混入しても直ちに外部に排出することができ、メンテナンスが容易となる。更に、液体噴射ヘッド１の構造が単純となり、高度な加工や位置合わせを必要とせず、組み立てが容易となってコストを削減することができる。   Thus, since the liquid supply channel member 12a is provided separately on the upper surface of the liquid supply plate 3 and the liquid discharge channel member 12b is provided separately on the lower surface of the liquid discharge plate 4, the configuration of the channel member is simplified. Further, as in the first embodiment, the liquid circulates through the first series passages 11a and the bypass passages 6 at both ends in the groove direction of the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b to reduce the staying place of the internal liquid. Therefore, even if bubbles or foreign matters are mixed in the liquid, it can be immediately discharged to the outside, facilitating maintenance. Furthermore, the structure of the liquid ejecting head 1 is simplified, so that advanced processing and alignment are not required, and assembling becomes easy and the cost can be reduced.

（第三実施形態）
図４は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の圧電プレート２、ノズルプレート５及び液体排出プレート４の部分分解斜視図である。第一実施形態と異なる点は、ノズルプレート５と、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂが圧電プレート２の側面ＳＳに開口する開口部の構造であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。従って、以下、第一実施形態と異なる部分について説明し、同一の部分は説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同地の符号を付している。 (Third embodiment)
FIG. 4 is a partially exploded perspective view of the piezoelectric plate 2, the nozzle plate 5, and the liquid discharge plate 4 of the liquid jet head 1 according to the third embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is the structure of the nozzle plate 5 and the opening portion in which the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b open on the side surface SS of the piezoelectric plate 2, and the other configurations are the same as in the first embodiment. It is. Therefore, hereinafter, the different part from the first embodiment will be described, and the description of the same part will be omitted. The same part or the part having the same function is denoted by the same reference numeral.

図４に示すように、圧電プレート２は、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂが側面ＳＳに開口する開口部、つまりノズル９の近傍に往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを連通する第二連通路１１ｂを備える。具体的には、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂに挟まれる仕切り壁２２ｃのノズルプレート５側の先端部を削除する。そして、ノズルプレート５は第一ノズルプレート５ａのみが側面ＳＳに接合される。これにより、往吐出溝７ａの液体は第二連通路１１ｂを介して復吐出溝７ｂに流入する。その結果、ノズルプレート５を単層とすることができ、部品数が減少して組み立てが一層容易となる。その他の構造や作用効果は第一実施形態又は第二実施形態と同様である。   As shown in FIG. 4, the piezoelectric plate 2 has a second opening in which the forward discharge groove 7 a and the backward discharge groove 7 b communicate with each other in the vicinity of the nozzle 9, that is, in the vicinity of the nozzle 9. A communication path 11b is provided. Specifically, the tip portion on the nozzle plate 5 side of the partition wall 22c sandwiched between the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b is deleted. Only the first nozzle plate 5a of the nozzle plate 5 is joined to the side surface SS. As a result, the liquid in the forward discharge groove 7a flows into the reverse discharge groove 7b via the second communication path 11b. As a result, the nozzle plate 5 can be a single layer, the number of parts is reduced, and assembly is further facilitated. Other structures and operational effects are the same as those in the first embodiment or the second embodiment.

（第四実施形態）
図５は本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図５（ａ）は液体噴射ヘッド１の圧電プレート２と液体排出プレート４の部分斜視図である。図５（ｂ）は圧電プレート２にフレキシブル基板２３を接合した部分平面模式図である。第一実施形態における圧電プレート２と異なる点は、圧電プレート２の一方面ＯＳの他方側（ノズルプレートとは反対側）に分離溝２４を有する点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。 (Fourth embodiment)
FIG. 5 is a view for explaining a liquid jet head 1 according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 5A is a partial perspective view of the piezoelectric plate 2 and the liquid discharge plate 4 of the liquid ejecting head 1. FIG. 5B is a partial schematic plan view in which the flexible substrate 23 is joined to the piezoelectric plate 2. The difference from the piezoelectric plate 2 in the first embodiment is that a separation groove 24 is provided on the other side (one side opposite to the nozzle plate) of the one surface OS of the piezoelectric plate 2, and the other configuration is the same as that of the first embodiment. It is the same. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図５に示すように、圧電プレート２の一方面ＯＳには、基準方向Ｋに交互に配列する吐出溝７とダミー溝８が形成される。吐出溝７は往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂとを含む。ダミー溝８は、一方面ＯＳの一方側（ノズルプレート側）の側面ＳＳから他方側の側面まで形成される。往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂは一方側が圧電プレート２の側面ＳＳに開口し、他方側が一方面ＯＳの面内において終端する。ダミー溝８の側面にアクティブ電極１６を備え、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのダミー溝８側の側面にコモン電極１８を備える。   As shown in FIG. 5, ejection grooves 7 and dummy grooves 8 that are alternately arranged in the reference direction K are formed on one surface OS of the piezoelectric plate 2. The discharge groove 7 includes a forward discharge groove 7a and a reverse discharge groove 7b. The dummy groove 8 is formed from the side surface SS on one side (nozzle plate side) of the one surface OS to the side surface on the other side. One side of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b opens in the side surface SS of the piezoelectric plate 2, and the other side ends in the plane of the one surface OS. The active electrode 16 is provided on the side surface of the dummy groove 8, and the common electrode 18 is provided on the side surface of the forward discharge groove 7 a and the reverse discharge groove 7 b on the dummy groove 8 side.

圧電プレート２の一方面ＯＳに、隣接する２つのダミー溝８の側面に形成されるアクティブ電極１６を電気的に接続する配線電極２０を有し、アクティブ端子１７として機能する。更に、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂの他方端近傍の一方面ＯＳに、往吐出溝７ａ及び復吐出溝７ｂのそれぞれの側面に形成されるコモン電極１８と電気的に接続するコモン端子１９を有する。そして、コモン端子１９とアクティブ端子１７の間の一方面ＯＳには分離溝２４が設置される。分離溝２４は基準方向Ｋに直線状に形成され、アクティブ端子１７とコモン端子１９は分離溝２４を介して電気的に分離される。   One surface OS of the piezoelectric plate 2 has a wiring electrode 20 that electrically connects the active electrode 16 formed on the side surface of two adjacent dummy grooves 8, and functions as an active terminal 17. Further, a common terminal 19 electrically connected to a common electrode 18 formed on each side surface of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b on one surface OS near the other end of the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b. Have A separation groove 24 is provided on one surface OS between the common terminal 19 and the active terminal 17. The separation groove 24 is linearly formed in the reference direction K, and the active terminal 17 and the common terminal 19 are electrically separated through the separation groove 24.

フレキシブル基板２３は圧電プレート２のアクティブ端子１７とコモン端子１９の上部に設置される。フレキシブル基板２３は共通電極２３ａと個別電極２３ｂを備え、共通電極２３ａが各コモン端子１９に共通に電気的に接続し、個別電極２３ｂが各アクティブ端子１７に個別に電気的に接続する。共通電極２３ａは、コモン端子１９との接続部を除いて、分離溝２４の上部に配置される。その結果、共通電極２３ａは、ダミー溝８に形成されるアクティブ電極１６との交差部においてアクティブ電極１６から離間し、共通電極２３ａの表面に厚い絶縁膜を形成するなどの絶縁対策が緩和される。その他の構造や作用効果は第一実施形態又は第二実施形態と同様である。   The flexible substrate 23 is installed on the active terminals 17 and the common terminals 19 of the piezoelectric plate 2. The flexible substrate 23 includes a common electrode 23a and an individual electrode 23b. The common electrode 23a is electrically connected to each common terminal 19 in common, and the individual electrode 23b is electrically connected to each active terminal 17 individually. The common electrode 23 a is disposed on the upper part of the separation groove 24 except for the connection portion with the common terminal 19. As a result, the common electrode 23a is separated from the active electrode 16 at the intersection with the active electrode 16 formed in the dummy groove 8, and insulation measures such as forming a thick insulating film on the surface of the common electrode 23a are alleviated. . Other structures and operational effects are the same as those in the first embodiment or the second embodiment.

（第五実施形態）
図６は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の往吐出溝７ａの断面模式図である。第二実施形態と異なる点は液体供給流路部材１２ａと液体排出流路部材１２ｂの構造であり、その他の構成は第二実施形態と同様である。従って、以下、主に異なる部分について説明し、同一の部分については説明を省略する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。 (Fifth embodiment)
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the forward discharge groove 7a of the liquid jet head 1 according to the fifth embodiment of the present invention. The difference from the second embodiment is the structure of the liquid supply flow path member 12a and the liquid discharge flow path member 12b, and the other configurations are the same as those of the second embodiment. Therefore, different parts will be mainly described below, and description of the same parts will be omitted. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図６に示すように、液体噴射ヘッド１は、圧電プレート２と、圧電プレート２の一方面ＯＳに接合する液体供給プレート３と、液体供給プレート３の上面に接合する液体供給流路部材１２ａと、圧電プレート２の他方面ＴＳに接合する液体排出プレート４と、液体排出プレート４の下面に接合する液体排出流路部材１２ｂとを備える。液体供給流路部材１２ａは、複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ａと、液体供給路１３ａに連通し外部から液体が供給される供給接続部２１ａと、液体供給路１３ａの一部を構成し液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜１４ａと、第一ダンパー膜１４ａの上部の空気層２５ａと、空気層２５ａと大気とを連通する連通孔２６ａとを備える。   As shown in FIG. 6, the liquid ejecting head 1 includes a piezoelectric plate 2, a liquid supply plate 3 bonded to one surface OS of the piezoelectric plate 2, and a liquid supply flow path member 12 a bonded to the upper surface of the liquid supply plate 3. The liquid discharge plate 4 bonded to the other surface TS of the piezoelectric plate 2 and the liquid discharge flow path member 12b bonded to the lower surface of the liquid discharge plate 4 are provided. The liquid supply flow path member 12a includes a liquid supply path 13a that communicates with the plurality of liquid supply holes 3a, a supply connection portion 21a that communicates with the liquid supply path 13a and is supplied with liquid from the outside, and a part of the liquid supply path 13a. The first damper film 14a that reduces the pressure fluctuation of the liquid, the air layer 25a above the first damper film 14a, and the communication hole 26a that communicates the air layer 25a with the atmosphere.

液体排出流路部材１２ｂは、複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂと液体排出路１３ｂに連通し外部に液体を排出する排出接続部２１ｂと、液体排出路１３ｂの一部を構成し液体の圧力を緩和させる第二ダンパー膜１４ｂと、第二ダンパー膜１４ｂの下部の空気層２５ｂと、空気層２５ｂと大気とを連通する連通孔２６ｂとを備える。   The liquid discharge flow path member 12b constitutes a part of the liquid discharge path 13b, a liquid discharge path 13b communicating with the plurality of liquid discharge holes 4a, a discharge connection portion 21b communicating with the liquid discharge path 13b and discharging liquid to the outside. And a second damper film 14b for relaxing the pressure of the liquid, an air layer 25b below the second damper film 14b, and a communication hole 26b for communicating the air layer 25b with the atmosphere.

液体は、供給接続部２１ａから供給され、液体供給路１３ａから複数の液体供給孔３ａを介して複数の往吐出溝７ａに流入する。液体は、更に、各往吐出溝７ａのそれぞれに連通する第一連通路１１ａとバイパス路６を通して対応する各復吐出溝７ｂに流入し、複数の液体排出孔４ａを介して液体排出路１３ｂにおいて合流し、排出接続部２１ｂから排出される。   The liquid is supplied from the supply connection portion 21a and flows into the plurality of forward discharge grooves 7a from the liquid supply path 13a through the plurality of liquid supply holes 3a. The liquid further flows into the corresponding return discharge grooves 7b through the first series passages 11a communicating with the respective forward discharge grooves 7a and the bypass paths 6, and in the liquid discharge paths 13b through the plurality of liquid discharge holes 4a. It merges and is discharged from the discharge connection portion 21b.

液体供給路１３ａは一部が第一ダンパー膜１４ａにより形成され、液体排出路１３ｂは一部が第二ダンパー膜１４ｂにより形成されるので、液体噴射ヘッド１の移動に伴って流路内の液体の慣性により発生する圧力変動や、他の吐出溝７の液体が吐出される際に発生する圧力波が液体供給孔３ａや液体排出孔４ａに伝達される場合でも、この圧力変動は第一ダンパー膜１４ａや第二ダンパー膜１４ｂにより緩衝され、往吐出溝７ａや復吐出溝７ｂへのクロストークやセルフトークを軽減する。連通孔２６ａ、２６ｂは空気層２５ａ、２５ｂが密閉されるのを防ぎ、第一及び第二ダンパー膜１４ａ、１４ｂが自由に振動できるようにするために設けてある。なお、ノズルプレート５や圧電プレート２について、第三実施形態や第四実施形態のノズルプレート５や圧電プレート２を適用することができることは説明するまでもない。   A part of the liquid supply path 13a is formed by the first damper film 14a and a part of the liquid discharge path 13b is formed by the second damper film 14b. Even when the pressure fluctuation generated due to the inertia of the pressure or the pressure wave generated when the liquid in the other discharge groove 7 is discharged is transmitted to the liquid supply hole 3a or the liquid discharge hole 4a, the pressure fluctuation Buffered by the film 14a and the second damper film 14b, the crosstalk and self-talk to the forward discharge groove 7a and the backward discharge groove 7b are reduced. The communication holes 26a and 26b are provided to prevent the air layers 25a and 25b from being sealed and to allow the first and second damper films 14a and 14b to freely vibrate. Needless to say, the nozzle plate 5 and the piezoelectric plate 2 of the third embodiment and the fourth embodiment can be applied to the nozzle plate 5 and the piezoelectric plate 2.

（第六実施形態）
図７は本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド１の基準方向Ｋの断面模式図である。液体噴射ヘッド１は第一液体噴射ヘッド１ａ、第二液体噴射ヘッド１ｂ及び第三液体噴射ヘッド１ｃが流路部材１２、１２’を挟んで積層する構造を備える。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。 (Sixth embodiment)
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view in the reference direction K of the liquid jet head 1 according to the sixth embodiment of the present invention. The liquid ejecting head 1 has a structure in which a first liquid ejecting head 1a, a second liquid ejecting head 1b, and a third liquid ejecting head 1c are stacked with the flow path members 12 and 12 ′ interposed therebetween. The same portions or portions having the same function are denoted by the same reference numerals.

図７に示すように、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれは第一実施形態と同様の構造を有する。第一液体噴射ヘッド１ａの液体供給プレート３の上面には液体供給流路部材１２ａが設置される。第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４と第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３の間に流路部材１２が設置される。第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４と液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３の間に流路部材１２’が設置される。液体噴射ヘッド１ｃの液体排出プレート４の下面には液体排出流路部材１２ｂが設置される。なお、液体供給流路部材１２ａ及び液体排出流路部材１２ｂの基本構成は第五実施形態の液体供給流路部材１２ａ及び液体排出流路部材１２ｂと同じである。また、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ〜１ｃは、いずれも液体供給プレート３から液体を排出し、液体排出プレート４から液体を供給してもよく、上下を反転させても等価である。また、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ〜１ｃは、いずれも、吐出溝が並列に配列する往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを含み、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂは溝方向の両端部において連通する。   As shown in FIG. 7, each of the first to third liquid ejecting heads 1a, 1b, and 1c has the same structure as that of the first embodiment. A liquid supply channel member 12a is installed on the upper surface of the liquid supply plate 3 of the first liquid ejecting head 1a. A flow path member 12 is installed between the liquid discharge plate 4 of the first liquid ejecting head 1a and the liquid supply plate 3 of the second liquid ejecting head 1b. A flow path member 12 'is installed between the liquid discharge plate 4 of the second liquid ejecting head 1b and the liquid supply plate 3 of the liquid ejecting head 1c. A liquid discharge channel member 12b is installed on the lower surface of the liquid discharge plate 4 of the liquid jet head 1c. The basic configurations of the liquid supply flow path member 12a and the liquid discharge flow path member 12b are the same as the liquid supply flow path member 12a and the liquid discharge flow path member 12b of the fifth embodiment. In addition, the first to third liquid ejecting heads 1a to 1c may discharge the liquid from the liquid supply plate 3 and supply the liquid from the liquid discharge plate 4, and are equivalent even if they are turned upside down. Each of the first to third liquid ejecting heads 1a to 1c includes a forward discharge groove 7a and a reverse discharge groove 7b in which discharge grooves are arranged in parallel. The forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b are arranged in the groove direction. It communicates at both ends.

第一液体噴射ヘッド１ａのノズル９ａは基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列する。第二液体噴射ヘッド１ｂのノズル９ｂは、基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列し、第一液体噴射ヘッド１ａのノズル９ａに対して基準方向ＫにＰ／３ずれて配列する。第三液体噴射ヘッド１ｃのノズル９ｃは、基準方向ＫにピッチＰの等間隔で配列し、第二液体噴射ヘッド１ｂのノズル９ｂに対して基準方向ＫにＰ／３ずれて配列する。従って、基準方向Ｋに対する記録密度は一台の液体噴射ヘッドの３倍に向上する。   The nozzles 9a of the first liquid ejecting head 1a are arranged in the reference direction K at equal intervals of the pitch P. The nozzles 9b of the second liquid ejecting head 1b are arranged at equal intervals with a pitch P in the reference direction K, and are arranged with a shift of P / 3 in the reference direction K with respect to the nozzles 9a of the first liquid ejecting head 1a. The nozzles 9c of the third liquid ejecting head 1c are arranged at equal intervals of the pitch P in the reference direction K, and are arranged with a shift of P / 3 in the reference direction K with respect to the nozzles 9b of the second liquid ejecting head 1b. Accordingly, the recording density with respect to the reference direction K is improved to three times that of one liquid jet head.

流路部材１２は、第一液体噴射ヘッド１ａの複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｄを有する液体排出流路部材１２ｄと、第二液体噴射ヘッド１ｂの複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ｃを有する液体供給流路部材１２ｃとを備える。流路部材１２は、更に、液体排出流路部材１２ｄと液体供給流路部材１２ｃとの間にスペーサ１５を備える。液体供給路１３ｃはその一部が液体の圧力変動を緩和させる第一ダンパー膜１４ｃにより形成され、液体排出路１３ｄはその一部が液体の圧力変動を緩和させる第二ダンパー膜１４ｄにより形成され、第一ダンパー膜１４ｃと第二ダンパー膜１４ｄとは、スペーサ１５を介し、空気層２５を挟んで対面する。流路部材１２’も流路部材１２と同様の構造を有する。なお、空気層２５は外気に連通する。   The flow path member 12 passes through a liquid discharge flow path member 12d having a liquid discharge path 13d communicating with the plurality of liquid discharge holes 4a of the first liquid jet head 1a, and a plurality of liquid supply holes 3a of the second liquid jet head 1b. A liquid supply flow path member 12c having a liquid supply path 13c in communication therewith. The flow path member 12 further includes a spacer 15 between the liquid discharge flow path member 12d and the liquid supply flow path member 12c. A part of the liquid supply path 13c is formed by the first damper film 14c that reduces the pressure fluctuation of the liquid, and a part of the liquid discharge path 13d is formed by the second damper film 14d that reduces the pressure fluctuation of the liquid, The first damper film 14 c and the second damper film 14 d face each other with the air layer 25 interposed therebetween via the spacer 15. The channel member 12 ′ has the same structure as the channel member 12. The air layer 25 communicates with the outside air.

液体は、第一液体噴射ヘッド１ａには矢印で示すように液体供給流路部材１２ａから流入し液体排出流路部材１２ｄから流出し、第二液体噴射ヘッド１ｂには矢印で示すように液体供給流路部材１２ｃから流入し液体排出流路部材１２ｄ’から流出し、第三液体噴射ヘッド１ｃには矢印で示すように液体供給流路部材１２ｃ’から流入し液体排出流路部材１２ｂから流出する。つまり、液体は各液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃに並列に流入し並列に流出する。これにより、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃにおいて液体の条件を同一に揃えることができる。また、各流路部材の流路にダンパー膜を設けたので、流路内の液体の慣性により発生する圧力変動や、吐出溝７から液体を吐出する際に発生する圧力波が緩衝される。また、流路部材１２は空気層２５を挟んで液体排出流路部材１２ｄと液体供給流路部材１２ｃが積層し、流路部材１２’は空気層２５’を挟んで液体排出流路部材１２ｄ’と液体供給流路部材１２ｃ’が積層する。そのため、第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体の圧力変動や圧力波が、第二液体噴射ヘッド１ｂに流入する液体に伝達されず、第二液体噴射ヘッド１ｂに流入する液体の圧力変動や圧力波が第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体に伝達されない。第二液体噴射ヘッド１ｂと第三液体噴射ヘッド１ｃの間においても同様である。その結果、第一〜第三液体噴射ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃは同一条件で液滴を吐出することができる。   The liquid flows into the first liquid ejecting head 1a from the liquid supply flow path member 12a and flows out from the liquid discharge flow path member 12d as shown by the arrow, and the liquid is supplied to the second liquid ejecting head 1b as shown by the arrow. Flows from the flow path member 12c and flows out from the liquid discharge flow path member 12d ′, and flows into the third liquid ejecting head 1c from the liquid supply flow path member 12c ′ and flows out from the liquid discharge flow path member 12b as indicated by arrows. . That is, the liquid flows into and out of the liquid jet heads 1a, 1b, and 1c in parallel. Thereby, the liquid conditions can be made uniform in the first to third liquid ejecting heads 1a, 1b, and 1c. In addition, since the damper film is provided in the flow path of each flow path member, pressure fluctuations generated due to the inertia of the liquid in the flow path and pressure waves generated when the liquid is discharged from the discharge groove 7 are buffered. Further, the flow path member 12 includes the liquid discharge flow path member 12d and the liquid supply flow path member 12c stacked with the air layer 25 interposed therebetween, and the flow path member 12 ′ has the liquid discharge flow path member 12d ′ sandwiched with the air layer 25 ′. And the liquid supply flow path member 12c ′ are stacked. Therefore, the pressure fluctuation or pressure wave of the liquid discharged from the first liquid ejecting head 1a is not transmitted to the liquid flowing into the second liquid ejecting head 1b, and the pressure fluctuation of the liquid flowing into the second liquid ejecting head 1b or The pressure wave is not transmitted to the liquid discharged from the first liquid ejecting head 1a. The same applies between the second liquid ejecting head 1b and the third liquid ejecting head 1c. As a result, the first to third liquid ejecting heads 1a, 1b, and 1c can eject droplets under the same conditions.

本実施形態では、第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４と第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３が対向し、第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４と第三液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３が対向する構成であるが、これに代えて、第一液体噴射ヘッド１ａの液体排出プレート４に第二液体噴射ヘッド１ｂの液体排出プレート４を対向させ、第二液体噴射ヘッド１ｂの液体供給プレート３に第三液体噴射ヘッド１ｃの液体供給プレート３を対向する構成としてもよい。つまり、流路部材１２は２層の液体排出流路部材１２ｄがスペーサ１５と空気層２５を挟んで積層し、流路部材１２’は２層の液体供給流路部材１２ｃ’がスペーサ１５’と空気層２５’を挟んで積層する構成とする。これにより、流路部材１２においては第一液体噴射ヘッド１ａから排出される液体と第二液体噴射ヘッド１ｂから排出される液体が合流する一つの排出接続部（図６を参照）を設置すればよい。流路部材１２’においても同様に、第二液体噴射ヘッド１ｂに供給する液体と第三液体噴射ヘッド１ｃに供給する液体に分割される一つの供給接続部（図６を参照）を設置すればよい。その結果、各流路部材１２、１２’の構成を簡素化することができる。   In the present embodiment, the liquid discharge plate 4 of the first liquid jet head 1a and the liquid supply plate 3 of the second liquid jet head 1b face each other, and the liquid discharge plate 4 of the second liquid jet head 1b and the third liquid jet head 1c. However, instead of this, the liquid discharge plate 4 of the second liquid jet head 1b is opposed to the liquid discharge plate 4 of the first liquid jet head 1a, and the second liquid jet head is arranged. The liquid supply plate 3 of the third liquid ejecting head 1c may be opposed to the liquid supply plate 3 of 1b. That is, the flow path member 12 is formed by laminating the two layers of the liquid discharge flow path member 12d with the spacer 15 and the air layer 25 interposed therebetween, and the flow path member 12 ′ is formed of the two layers of the liquid supply flow path member 12c ′ and the spacer 15 ′. It is set as the structure laminated | stacked on both sides of air layer 25 '. Thus, in the flow path member 12, if one discharge connection portion (see FIG. 6) where the liquid discharged from the first liquid ejecting head 1a and the liquid discharged from the second liquid ejecting head 1b merge is installed. Good. Similarly, in the flow path member 12 ′, if one supply connection part (see FIG. 6) divided into the liquid supplied to the second liquid ejecting head 1b and the liquid supplied to the third liquid ejecting head 1c is installed. Good. As a result, the configuration of each flow path member 12, 12 'can be simplified.

なお、本実施形態では液体噴射ヘッド１を３層に積層したが、更に多数の液体噴射ヘッド１を積層することができる。即ち、液体噴射ヘッドを第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッド（ｎは２以上の整数）が流路部材１２を挟んで積層する構成とすることができる。この場合、第１液体噴射ヘッド〜第ｎ液体噴射ヘッドは、基準方向Ｋと同一方向であり同一のノズルピッチＰを有し、第ｋ液体噴射ヘッド（ｋは１≦ｋ＜ｎを満たす整数）のノズルと第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドのノズルとは基準方向Ｋに対して（Ｐ／ｎ）ピッチずらして設置することができる。これにより、一個の液体噴射ヘッドに対して基準方向Ｋの記録密度をｎ倍とすることができる。   In the present embodiment, the liquid ejecting heads 1 are stacked in three layers, but a larger number of liquid ejecting heads 1 can be stacked. That is, the liquid ejecting heads can be configured such that the first liquid ejecting head to the nth liquid ejecting head (n is an integer of 2 or more) are stacked with the flow path member 12 interposed therebetween. In this case, the first liquid ejecting head to the nth liquid ejecting head have the same nozzle pitch P as the reference direction K, and the kth liquid ejecting head (k is an integer satisfying 1 ≦ k <n). The nozzles of the (k + 1) th liquid ejecting head can be installed with a (P / n) pitch shift with respect to the reference direction K. Thereby, the recording density in the reference direction K can be increased by a factor of n with respect to one liquid ejecting head.

また、流路部材１２は、第ｋ液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔４ａに連通する液体排出路１３ｂを有する液体排出流路部材１２ｄと、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体排出孔４ａに連通する他の液体排出路１３ｄを有する他の液体排出流路部材１２ｄとを備えるようにできる。流路部材１２’は、第（ｋ＋１）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔３ａに連通する液体供給路１３ｃを有する液体供給流路部材１２ｃと、第（ｋ＋２）液体噴射ヘッドの複数の液体供給孔３ａに連通する他の液体供給路１３ｃを有する他の液体供給流路部材１２ｃとを備えるようにできる。   The flow path member 12 includes a liquid discharge flow path member 12d having a liquid discharge path 13b communicating with the plurality of liquid discharge holes 4a of the kth liquid ejecting head, and a plurality of liquid discharge holes of the (k + 1) th liquid ejecting head. It is possible to provide another liquid discharge flow path member 12d having another liquid discharge path 13d communicating with 4a. The flow path member 12 ′ includes a liquid supply flow path member 12c having a liquid supply path 13c communicating with the plurality of liquid supply holes 3a of the (k + 1) th liquid ejecting head, and a plurality of liquid supplies of the (k + 2) th liquid ejecting head. Another liquid supply flow path member 12c having another liquid supply path 13c communicating with the hole 3a can be provided.

（第七実施形態）
図８は本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に連通する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は、圧電プレート２と、ノズルプレート５と、流路部材１２とを備える。液体ポンプ３３、３３’として、流路部３５、３５’に液体を供給する供給ポンプとそれ以外に液体を排出する排出ポンプのいずれかもしくは両方を設置し、液体を循環させる。また、図示しない圧力センサーや流量センサーを設置し、液体の流量を制御することもある。液体噴射ヘッド１、１’は、吐出溝７とダミー溝８が交互に配列し、各吐出溝７は往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂを含み、往吐出溝７ａと復吐出溝７ｂはノズル９の近傍において連通し、液体が循環可能に構成されている。液体噴射ヘッド１、１’は、既に説明した第一〜第六実施形態のいずれかを使用することができる。 (Seventh embodiment)
FIG. 8 is a schematic perspective view of a liquid ejecting apparatus 30 according to the seventh embodiment of the present invention. The liquid ejecting apparatus 30 includes a moving mechanism 40 that reciprocates the liquid ejecting heads 1 and 1 ′, and a flow path unit that supplies the liquid to the liquid ejecting heads 1 and 1 ′ and discharges the liquid from the liquid ejecting heads 1 and 1 ′. 35, 35 ′, liquid pumps 33, 33 ′ and liquid tanks 34, 34 ′ communicating with the flow path portions 35, 35 ′. Each liquid jet head 1, 1 ′ includes a piezoelectric plate 2, a nozzle plate 5, and a flow path member 12. As the liquid pumps 33 and 33 ′, either or both of a supply pump that supplies the liquid to the flow path portions 35 and 35 ′ and a discharge pump that discharges the liquid are installed, and the liquid is circulated. In addition, a pressure sensor and a flow rate sensor (not shown) may be installed to control the liquid flow rate. In the liquid jet heads 1 and 1 ', the discharge grooves 7 and the dummy grooves 8 are alternately arranged. Each discharge groove 7 includes a forward discharge groove 7a and a reverse discharge groove 7b, and the forward discharge groove 7a and the reverse discharge groove 7b are nozzles. It communicates in the vicinity of 9 so that the liquid can be circulated. Any one of the first to sixth embodiments described above can be used for the liquid jet heads 1 and 1 ′.

液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。   The liquid ejecting apparatus 30 includes a pair of conveying units 41 and 42 that convey a recording medium 44 such as paper in the main scanning direction, liquid ejecting heads 1 and 1 ′ that eject liquid onto the recording medium 44, and a liquid ejecting head. 1, 1 ′ carriage unit 43, liquid tanks 34, 34 ′ and liquid pumps 33, 33 ′ that supply the liquid stored in the liquid tanks 34, 34 ′ to the flow path portions 35, 35 ′, the liquid jet head 1, And a moving mechanism 40 that scans 1 ′ in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction. A control unit (not shown) controls and drives the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the moving mechanism 40, and the conveying units 41 and 42.

一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。   The pair of conveying means 41 and 42 includes a grid roller and a pinch roller that extend in the sub-scanning direction and rotate while contacting the roller surface. A grid roller and a pinch roller are moved around the axis by a motor (not shown), and the recording medium 44 sandwiched between the rollers is conveyed in the main scanning direction. The moving mechanism 40 couples a pair of guide rails 36 and 37 extending in the sub-scanning direction, a carriage unit 43 slidable along the pair of guide rails 36 and 37, and the carriage unit 43 to move in the sub-scanning direction. An endless belt 38 is provided, and a motor 39 that rotates the endless belt 38 via a pulley (not shown) is provided.

キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。   The carriage unit 43 mounts a plurality of liquid jet heads 1, 1 ′, and ejects, for example, four types of liquid droplets of yellow, magenta, cyan, and black. The liquid tanks 34 and 34 'store liquids of corresponding colors and supply them to the liquid jet heads 1 and 1' via the liquid pumps 33 and 33 'and the flow path portions 35 and 35'. Each liquid ejecting head 1, 1 ′ ejects droplets of each color according to the drive signal. An arbitrary pattern is recorded on the recording medium 44 by controlling the timing at which liquid is ejected from the liquid ejecting heads 1, 1 ′, the rotation of the motor 39 that drives the carriage unit 43, and the conveyance speed of the recording medium 44. I can.

なお、本実施形態は、移動機構４０がキャリッジユニット４３と被記録媒体４４を移動させて記録する液体噴射装置３０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を２次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。   In this embodiment, the moving mechanism 40 moves the carriage unit 43 and the recording medium 44 to perform recording, but instead, the carriage unit is fixed and the moving mechanism is the recording medium. It may be a liquid ejecting apparatus that records the image by moving it two-dimensionally. That is, the moving mechanism may be any mechanism that relatively moves the liquid ejecting head and the recording medium.

１ 液体噴射ヘッド、１ａ 第一液体噴射ヘッド、１ｂ 第二液体噴射ヘッド、１ｃ 第三液体噴射ヘッド
２ 圧電プレート
３ 液体供給プレート、３ａ 液体供給孔
４ 液体排出プレート、４ａ 液体排出孔
５ ノズルプレート、５ａ 第一ノズルプレート、５ｂ 第二ノズルプレート
６ バイパス路
７ 吐出溝、７ａ 往吐出溝、７ｂ 復吐出溝
８、８ａ、８ｂ ダミー溝
９、９ａ、９ｂ、９ｃ ノズル
１１ａ 第一連通路、１１ｂ 第二連通路
１２、１２’ 流路部材、１２ａ、１２ｃ、１２ｃ’ 液体供給流路部材、１２ｂ、１２ｄ、１２ｄ’ 液体排出流路部材
１３ａ、１３ｃ 液体供給路、１３ｂ、１３ｄ 液体排出路
１４ａ、１４ｃ、１４ｃ’ 第一ダンパー膜、１４ｂ、１４ｄ、１４ｄ’ 第二ダンパー膜
１５、１５’ スペーサ
１６ アクティブ電極
１７ アクティブ端子
１８ コモン電極
１９ コモン端子
２０ 配線電極
２１ａ 供給接続部、２１ｂ 排出接続部
２２ａ、２２ｂ 壁、２２ｃ 仕切り壁
２３ フレキシブル基板、２３ａ 共通電極、２３ｂ 個別電極
２４ 分離溝
２５、２５’、２５ａ、２５ｂ 空気層
２６ａ、２６ｂ 連通孔
ＳＳ 側面、ＯＳ 一方面、ＴＳ 他方面、Ｋ 基準方向、Ｐ ピッチ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejecting head, 1a 1st liquid ejecting head, 1b 2nd liquid ejecting head, 1c 3rd liquid ejecting head 2 Piezoelectric plate 3 Liquid supply plate, 3a Liquid supply hole 4 Liquid discharge plate, 4a Liquid discharge hole 5 Nozzle plate, 5a 1st nozzle plate, 5b 2nd nozzle plate 6 Bypass path 7 Discharge groove, 7a Forward discharge groove, 7b Reverse discharge groove 8, 8a, 8b Dummy groove 9, 9a, 9b, 9c Nozzle 11a First series path, 11b First Dual communication path 12, 12 ′ flow path member, 12a, 12c, 12c ′ Liquid supply flow path member, 12b, 12d, 12d ′ Liquid discharge flow path member 13a, 13c Liquid supply path, 13b, 13d Liquid discharge path 14a, 14c , 14c ′ first damper film, 14b, 14d, 14d ′ second damper film 15, 15 ′ spacer 16 active electrode 17 active terminal 1 Common electrode 19 Common terminal 20 Wiring electrode 21a Supply connection portion, 21b Discharge connection portion 22a, 22b Wall, 22c Partition wall 23 Flexible substrate, 23a Common electrode, 23b Individual electrode 24 Separation grooves 25, 25 ′, 25a, 25b Air layer 26a , 26b communication hole SS side surface, OS one side, TS other side, K reference direction, P pitch

Claims (10)

液体を吐出する吐出溝と液体を吐出しないダミー溝とが表面に平行な基準方向に並列して交互に配列し、前記吐出溝の一方側が側面に開口する圧電プレートと、
前記吐出溝に液体を供給する液体供給孔を有し、前記圧電プレートの一方面に接合する液体供給プレートと、
前記吐出溝から液体を排出する液体排出孔を有し、前記圧電プレートの他方面に接合する液体排出プレートと、
基準方向に配列する複数のノズルを有し、前記ノズルが前記吐出溝に連通し、前記圧電プレートの側面に接合するノズルプレートと、を備え、
前記吐出溝は並列に配列する往吐出溝と復吐出溝を含み、前記液体供給孔が前記往吐出溝に連通し、前記液体排出孔が前記復吐出溝に連通し、前記往吐出溝と前記復吐出溝は溝方向の両端部において連通する液体噴射ヘッド。 A piezoelectric plate in which ejection grooves for ejecting liquid and dummy grooves for not ejecting liquid are alternately arranged in parallel in a reference direction parallel to the surface, and one side of the ejection groove is open on a side surface;
A liquid supply plate that has a liquid supply hole for supplying liquid to the ejection groove and is joined to one surface of the piezoelectric plate;
A liquid discharge plate having a liquid discharge hole for discharging liquid from the discharge groove, and joined to the other surface of the piezoelectric plate;
A plurality of nozzles arranged in a reference direction, wherein the nozzles communicate with the ejection grooves and are joined to the side surfaces of the piezoelectric plates; and
The discharge groove includes a forward discharge groove and a reverse discharge groove arranged in parallel, the liquid supply hole communicates with the forward discharge groove, the liquid discharge hole communicates with the backward discharge groove, and the forward discharge groove and the The reverse ejection groove is a liquid jet head that communicates at both ends in the groove direction. 前記液体供給プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側とは反対側の端部を連通させるバイパス路を備える請求項１に記載の液体噴射ヘッド。   2. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the liquid supply plate includes a bypass passage that communicates an end of the forward discharge groove and the reverse discharge groove opposite to the nozzle plate. 前記液体排出プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側とは反対側の端部を連通させるバイパス路を備える請求項１に記載の液体噴射ヘッド。   2. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the liquid discharge plate includes a bypass path that communicates an end portion of the forward discharge groove and the reverse discharge groove opposite to the nozzle plate. 前記液体供給孔と前記液体排出孔は溝方向の位置が略一致する請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the liquid supply hole and the liquid discharge hole have substantially the same position in the groove direction. 前記ノズルプレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の端部を連通させる第一連通路を備える請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   5. The liquid jet head according to claim 1, wherein the nozzle plate includes a first series passage that communicates an end portion of the forward discharge groove and the backward discharge groove. 前記ノズルプレートは、前記ノズルを有する第一ノズルプレートと、前記第一連通路を有する第二ノズルプレートとが積層する請求項５に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 5, wherein the nozzle plate includes a first nozzle plate having the nozzle and a second nozzle plate having the first series passage. 前記圧電プレートは、前記往吐出溝と前記復吐出溝の前記ノズルプレートの側の端部を連通させる第二連通路を有する請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the piezoelectric plate has a second communication path that communicates an end portion of the forward discharge groove and the backward discharge groove on the nozzle plate side. 複数の前記液体供給孔に連通する液体供給路を有し、前記液体供給プレートに接合する液体供給流路部材を備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 1, further comprising a liquid supply passage member that has a liquid supply path that communicates with the plurality of liquid supply holes and is joined to the liquid supply plate. 前記液体供給路の一部が液体の圧力変動を緩和させるダンパー膜により形成される請求項８に記載の液体噴射ヘッド。   The liquid ejecting head according to claim 8, wherein a part of the liquid supply path is formed by a damper film that relieves pressure fluctuation of the liquid. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。 A liquid ejecting head according to claim 1;
A moving mechanism for relatively moving the liquid ejecting head and the recording medium;
A liquid supply pipe for supplying a liquid to the liquid ejecting head;
And a liquid tank that supplies the liquid to the liquid supply pipe.
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