JP2013247181A - 金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板に金属ナノ粒子ペーストを印刷した後、不活性ガス雰囲気中で前記ペーストにレーザ光を照射し、前記基板上に金属ナノ粒子焼結体の機能性膜を形成する方法において、前記ペーストを取り囲む雰囲気の酸素濃度を測定し、測定された酸素濃度に応じて不活性ガスの噴射量を決定し、前記ペーストを取り囲む雰囲気に当該量の不活性ガスを噴射して、前記酸素濃度を、予め求めた前記基板が劣化しない値、例えば0.1容量%以下に調整する。
【選択図】図1
Description
最初に、ステージ12上の所定の位置に、金属ナノ粒子ペースト膜2が印刷された基板1が配置される。コンピュータ100からの指令により、制御弁9が開放され、不活性ガスが不活性ガスタンク8から不活性ガス供給ノズル10を介して、焼結部に常時供給される。その後、レーザ光照射装置3から照射されるレーザ光によって金属ナノ粒子ペースト膜2が焼結される。焼結時には、酸素濃度計4によって、前記レーザ光が照射されている金属ナノ粒子ペーストを取り囲む雰囲気の酸素濃度が雰囲気ガス定量吸入管5を介して測定され、その測定値が所定のサンプリング間隔でコンピュータ100に取り込まれる。同時に、赤外線放射温度計6によって、レーザ光が照射されている金属ナノ粒子ペースト膜2の局所的温度が赤外線放射温度測定プローブ7を介して測定され、同様に、その測定値が所定のサンプリング間隔でコンピュータ100に取り込まれる。これらのサンプリング間隔は、焼結速度を考慮して設定されるが、両者のサンプリング間隔はかならずしも同じである必要はない。
〔比較例〕
2・・・金属ナノ粒子ペースト膜
3・・・レーザ光照射装置
4・・・酸素濃度計
5・・・雰囲気ガス定量吸入管
6・・・赤外線放射温度計
7・・・赤外線放射温度測定プローブ
8・・・不活性ガスタンク
9・・・制御弁
10・・・不活性ガス供給ノズル
11・・・カバー
12・・・ステージ
15・・・不活性ガス
30・・・パンチ
31・・・ダイス
32・・・接着剤付テープ
100・・・コンピュータ
200・・・温度範囲説明用矢印
Claims (4)
- 基板に金属ナノ粒子ペーストを印刷した後、前記金属ナノ粒子ペーストにレーザ光を照射し、前記基板上に金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜を形成する方法において、
前記レーザ光が照射されている前記金属ナノ粒子ペーストを取り囲む雰囲気に常時不活性ガスを供給すると同時に、前記雰囲気の酸素濃度を測定し、
測定された酸素濃度に応じて前記不活性ガスの前記雰囲気への供給量を制御して、前記酸素濃度を予め求めた前記基板が劣化しない値以下に調整する、
ことを特徴とする金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜の形成方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記酸素濃度を予め求めた前記基板が劣化しない値以下に調整するための、前記酸素濃度と前記不活性ガスの前記雰囲気への供給量との関係を予め求め、それらの関係を記憶しておき、前記測定された酸素濃度を基に前記記憶された関係に基づいて前記不活性ガスの供給量を制御することを特徴とする金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜の形成方法。
- 請求項1又は2に記載の方法において、前記酸素濃度を0.1容量%以下に調整することを特徴とする金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜の形成方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の方法において、前記レーザ光が照射されている金属ナノ粒子ペーストの局所的温度を測定し、測定された温度に基づいて前記レーザ光の出力を調整することを特徴とする金属ナノ粒子焼結体から成る機能性膜の形成方法。
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