JP2013237750A - Light thiol generator, and photosensitive resin composition containing the light thiol generator - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a light thiol generator in which reaction efficiency is excellent and practicality is high, that is excellent in storage stability even if being used as a radiation curing material, and in which carbon dioxide gas does not occur at thiol generation; and a photosensitive resin composition that contains the light thiol generator.SOLUTION: In a light thiol generator, since photocyclization reaction is caused by irradiation of light and thiol is generated, progress of the reaction can be controlled by the irradiation of light. Moreover, a group of an α position of a carbonyl group adjacent to an S group does not become a hydrogen atom. By presence of such group, even if the light thiol generator is used to be combined with a thiol reaction compound as a radiation curing material, pot life is long, storage stability is excellent, reaction efficiency is excellent, and practicality is high. Thus a carboxylic acid compound is produced in which generation of carbon dioxide gas does not occur at generation of thiol.

Description

本発明は、光チオール発生剤及び当該光チオール発生剤を含有する感光性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、光等の活性エネルギー線によってチオールを発生する光チオール発生剤及び当該光チオール発生剤を含有する感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photothiol generator and a photosensitive resin composition containing the photothiol generator. More specifically, the present invention relates to a photothiol generator that generates thiol by active energy rays such as light and a photosensitive resin composition containing the photothiol generator.

硫黄原子を含む樹脂組成物は高い屈折率を示し、また、優れた透明性を有することが知られている。−SHで表されるチオール基は、エポキシ基等の種々の官能基との高い反応性を有しているため、硬化性樹脂組成物の硬化官能基として使用することができる官能基であり、かかるチオール基を含んだ種々のチオール化合物が提供されている(例えば、特許文献1または特許文献2を参照。)。   It is known that a resin composition containing a sulfur atom exhibits a high refractive index and has excellent transparency. Since the thiol group represented by —SH has high reactivity with various functional groups such as an epoxy group, it is a functional group that can be used as a curing functional group of the curable resin composition, Various thiol compounds containing such a thiol group are provided (see, for example, Patent Document 1 or Patent Document 2).

しかし、チオール基は高い反応性を有するので、チオール化合物とエポキシ系化合物を混合すると硬化反応が進行しすぎてしまって粘度が高くなりすぎてしまうことになっていた。加えて、チオール基を含有する化合物は、チオール基同士が反応することによってジスルフィド結合を形成することが知られているが、チオール基の反応性が高いため、反応の制御が困難となってしまい、保存安定性(貯蔵安定性)を有する硬化型樹脂組成物とすることは困難であった。   However, since the thiol group has high reactivity, when the thiol compound and the epoxy compound are mixed, the curing reaction proceeds too much and the viscosity becomes too high. In addition, compounds containing thiol groups are known to form disulfide bonds when thiol groups react with each other, but the reactivity of the thiol groups is high, making it difficult to control the reaction. It has been difficult to obtain a curable resin composition having storage stability (storage stability).

また、ラジカル重合を利用したUV硬化材料は、実用されているUV硬化材料の大半を占めるが、空気中の酸素により重合が停止する重合阻害(酸素阻害)を顕著に受けることが問題になっていた。この問題を解決する手法として、チオール−エン反応の利用が提案されている。   In addition, UV curable materials using radical polymerization occupy most of the UV curable materials in practical use, but there is a problem that they are significantly affected by polymerization inhibition (oxygen inhibition) in which polymerization is stopped by oxygen in the air. It was. As a technique for solving this problem, use of a thiol-ene reaction has been proposed.

チオールとオレフィンとに光照射することで起こるチオール−エン反応(エン−チオール反応とも呼ばれる。)は、光重合開始剤を用いなくとも反応が可能であり、酸素阻害を受けにくい、硬化収縮がわずかである等、非常に有用な反応である。一方、アクリルモノマーやメタクリルモノマーとチオール化合物を混合すると、徐々に重合が進行して粘度が高くなってしまうため、ここでも保存安定性が問題となっており、アクリルモノマー等とチオール化合物を反応させる場合にあっては、使用する直前に両者を混合して使用せざるを得ないのが現状であった。   The thiol-ene reaction (also referred to as ene-thiol reaction) that occurs by irradiating thiol and olefin with light can be reacted without using a photopolymerization initiator, is less susceptible to oxygen inhibition, and has little cure shrinkage. It is a very useful reaction. On the other hand, when an acrylic monomer or methacrylic monomer and a thiol compound are mixed, the polymerization gradually proceeds to increase the viscosity, so that storage stability is also a problem here, and the acrylic monomer and the thiol compound are reacted. In some cases, it was necessary to mix the two before use.

そのため、光照射によりチオールを発生する光チオール発生剤(PTG)の開発が必要とされており、光の照射によってチオールを発生する光チオール発生剤含有する感光性樹脂組成物が、フォトレジスト材料や光硬化材料等として適用されている(例えば、特許文献3を参照)。   Therefore, development of a photothiol generator (PTG) that generates thiol by light irradiation is required, and a photosensitive resin composition containing a photothiol generator that generates thiol by light irradiation is a photoresist material or It is applied as a photo-curing material or the like (see, for example, Patent Document 3).

特開2006−154774号公報JP 2006-154774 A 国際公開WO2007/086461号パンフレットInternational Publication WO2007 / 084661 Pamphlet 特開2007−241144号公報JP 2007-241144 A

しかしながら、従来提供されている光チオール発生剤にあっては、光の作用でチオールを発生する反応が迅速に行われない等の問題があるため実用性に乏しく、改善が求められていた。加えて、従来の光チオール発生剤は、チオールを発生する際に分解物として炭酸ガス(CO)の発生を伴っていたが、かかる炭酸ガスは、感光性樹脂組成物を製膜した場合にあっては気泡となり、硬化膜に凸凹を生じさせる原因となっていた。ここで、感光性樹脂組成物を製膜した場合において、硬化膜中に気泡が残ると硬化膜の強度を低下させることになり、また、接着剤として用いる場合には接着強度を低下させる、封止材やコーティング材に用いる場合には水やチオール化合物等空気中の不純物に対するバリア性が低下する等の問題が生じるため、好ましくなかった。 However, the conventionally provided photothiol generators have problems such as the fact that the reaction of generating thiols by the action of light is not performed rapidly, and thus are not practical and have been required to be improved. In addition, the conventional photothiol generator was accompanied by the generation of carbon dioxide (CO 2 ) as a decomposition product when generating thiol, but such carbon dioxide is used when a photosensitive resin composition is formed into a film. In that case, bubbles were formed, which was a cause of unevenness in the cured film. Here, in the case where the photosensitive resin composition is formed, if bubbles remain in the cured film, the strength of the cured film is reduced, and when used as an adhesive, the adhesive strength is reduced. In the case of using it as a stopping material or a coating material, problems such as deterioration of barrier properties against impurities in the air such as water and thiol compounds occur, which is not preferable.

本発明は、前記の課題に鑑みてなされたものであり、反応効率が良好で実用性も高いとともに、光硬化材料として使用しても保存安定性に優れ、チオール発生時に炭酸ガスの発生もない光チオール発生剤及び当該光チオール発生剤を含有する感光性樹脂組成物を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has good reaction efficiency and high practicality, is excellent in storage stability even when used as a photocuring material, and does not generate carbon dioxide when thiol is generated. The object is to provide a photothiol generator and a photosensitive resin composition containing the photothiol generator.

前記の課題を解決するために、本発明の第1発明に係る光チオール発生剤は、下記式(X)で表されることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the photothiol generator according to the first invention of the present invention is represented by the following formula (X).

(式(X)中、Rは有機基であり、直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにRにはシリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。Rは、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基であり、Rは水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基である。さらにR及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。R、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、アンモニオ基、または有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。さらに、R、R、R及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。またR、R、R及びRは、それら2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。) (In Formula (X), R 1 is an organic group, which may be a linear structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a hetero atom. Further, R 1 includes a silyl group, an acryl group, and a methacryl group. R 2 may be a halogen, a hydroxyl group, a sulfide group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, or a sulfonate group. Group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group, or organic group R 3 is a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, Rufo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group Furthermore, R 2 and R 3 may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group, or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them. 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, Phosphono group, phosphonato group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group Alkoxy group, an amino group, an amide group, an aryl group, an allyl group, an ammonio group or an organic group, and may be be the same or different. Furthermore, the R 4, R 5, R 6 and R 7 , A silyl group, an acryl group, a methacryl group, or a monomer or a polymer obtained by polymerizing them, and R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are those represented by 2 Two or more may be bonded to form a cyclic structure, and may include a heteroatom bond.)

本発明の第2発明に係る光チオール発生剤は、下記式(X−a)で表されることを特徴とする。   The photothiol generator according to the second aspect of the present invention is represented by the following formula (Xa).

(式(X−a)中、l、mは0〜8の整数、nは1〜6の整数、Yは4価の炭素、芳香環、トリアジン環、または有機基であり、有機基は直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにYにはシリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。R、R、R、R、R、R及びRは前記式(X)と共通し、Rは、官能基であるエステル基、アミド基、アミノ基、カルボニル基、アルキル基、またはヘテロ原子である酸素、硫黄を示す。) (In the formula (Xa), l and m are integers of 0 to 8, n is an integer of 1 to 6, Y is a tetravalent carbon, aromatic ring, triazine ring, or organic group, and the organic group is straight It may be a chain structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a heteroatom, and Y may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group, or a methacryl group, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same as those in the above formula (X), and R 8 is an ester group or amide which is a functional group. And represents oxygen, sulfur which is a group, amino group, carbonyl group, alkyl group, or hetero atom.)

本発明に係る光チオール発生剤は、前記した第1発明または第2発明において、前記Rが炭素数1〜12のアルキル基であり、前記R、R、R、R及びRが水素原子であることを特徴とする。 In the photothiol generator according to the present invention, in the first invention or the second invention, the R 2 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and the R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 is a hydrogen atom.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、前記した本発明の光チオール発生剤と、チオール反応性化合物とを含有することを特徴とする。   The photosensitive resin composition according to the present invention includes the above-described photothiol generator of the present invention and a thiol-reactive compound.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、前記した本発明において、前記チオール反応性化合物がエポキシ系化合物、エピスルフィド系化合物、アクリル系化合物、メタクリル系化合物及びマレイミド系化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする。   In the photosensitive resin composition according to the present invention, in the above-described present invention, the thiol-reactive compound is at least one selected from the group consisting of an epoxy compound, an episulfide compound, an acrylic compound, a methacrylic compound and a maleimide compound. It is a seed.

本発明に係る光チオール発生剤は、光の照射により光環化反応を起こしてチオールが発生するため、光の照射により反応の進行を制御できるので、チオール反応性化合物と組み合わせて光硬化材料として使用してもポットライフが長く保存安定性に優れ、反応効率が良好で実用性も高いとともに、チオールの発生時に炭酸ガスの発生もないカルボン酸化合物となる。   Since the photothiol generator according to the present invention generates a thiol by generating a photocyclization reaction by light irradiation, the progress of the reaction can be controlled by light irradiation, so it is used as a photo-curing material in combination with a thiol-reactive compound Even so, the carboxylic acid compound has a long pot life, excellent storage stability, good reaction efficiency, high practicality, and no generation of carbon dioxide when thiol is generated.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、本発明の光チオール発生剤とチオール反応性化合物とを含有するので、光チオール発生剤から発生するチオールとエポキシ系化合物等のチオール反応性化合物との反応により硬化が十分になされることになる。加えて、添加される光チオール発生剤がチオールの発生時に炭酸ガスの発生を伴わないため、硬化膜に炭酸ガスの気泡による凸凹を生じさせることもなく、製品特性及び製品価値の高い硬化膜を提供することができる。そして、光の照射により反応の進行を制御できるので、光硬化材料として使用してもポットライフが長く保存安定性に優れる感光性樹脂組成物となる。   Since the photosensitive resin composition according to the present invention contains the photothiol generator of the present invention and a thiol reactive compound, the reaction between the thiol generated from the photothiol generator and a thiol reactive compound such as an epoxy compound. Thus, the curing is sufficiently performed. In addition, since the added photothiol generator does not generate carbon dioxide when thiol is generated, it does not cause unevenness due to carbon dioxide bubbles in the cured film, and a cured film with high product characteristics and product value can be obtained. Can be provided. And since progress of reaction can be controlled by irradiation of light, even if it uses as a photocuring material, it becomes a photosensitive resin composition which has a long pot life and is excellent in storage stability.

光チオール発生剤の有機溶剤に対する溶解性を示した図である。It is the figure which showed the solubility with respect to the organic solvent of a photothiol generator. 実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤における、波長254nm光での光分解挙動を比較した図である。It is the figure which compared the photodegradation behavior in wavelength 254nm light in the photothiol generator of Example 2 thru | or Example 5. 実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤における、波長313nm光での光分解挙動を比較した図である。It is the figure which compared the photolysis behavior in wavelength 313nm light in the photothiol generator of Example 2 thru | or Example 5. 実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤における、波長365nm光での光分解挙動を比較した図である。It is the figure which compared the photolysis behavior in wavelength 365nm light in the photothiol generator of Example 2 thru | or Example 5. 実施例6で得られた感光性樹脂組成物の感度評価結果(露光量と残膜率との関係)を示した図である。It is the figure which showed the sensitivity evaluation result (relationship between exposure amount and remaining film rate) of the photosensitive resin composition obtained in Example 6. 実施例7で得られた感光性樹脂組成物の感度評価結果(露光量と残膜率との関係)を示した図である。It is the figure which showed the sensitivity evaluation result (relationship between exposure amount and remaining film rate) of the photosensitive resin composition obtained in Example 7. 試験例10における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the exposure amount in Test Example 10, and pencil hardness. 試験例11における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 11. 実施例8と実施例9の感光性樹脂組成物の露光量と残膜率の関係を比較した図であるIt is the figure which compared the relationship between the exposure amount of the photosensitive resin composition of Example 8 and Example 9, and a residual film rate. 光照射により得られた硬化膜について、添加量と透過率との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between addition amount and the transmittance | permeability about the cured film obtained by light irradiation. 試験例12におけるミクロチューブの外観写真を示した図である。14 is a view showing an appearance photograph of a microtube in Test Example 12. FIG. 試験例13における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図(光重合開始剤を添加していないもの)である。It is the figure (what does not add the photoinitiator) which showed the relationship between the exposure amount in the test example 13, and pencil hardness. 試験例13における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図(光重合開始剤を添加したもの)である。It is the figure (what added the photoinitiator) which showed the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 13. 試験例14における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 14. 露光量とC=Cのピーク(810cm−1)面積の変化率の関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the exposure amount and the change rate of the peak (810 cm < -1 >) area of C = C.

以下、本発明の一態様を説明する。本発明に係る光チオール発生剤は、下記式(X)で表される化合物である。   Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described. The photothiol generator according to the present invention is a compound represented by the following formula (X).

なお、式(X)中、Rは有機基であり、直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにRにはシリル基、アクリル基、メタクリル基などの重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。 In formula (X), R 1 is an organic group, which may have a linear structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a hetero atom. Furthermore, R 1 may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acrylic group, or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them.

有機基としては、特に制限はなく、従来公知の有機基を使用することができるが、例えば、炭素数1〜20のアルキル基(好ましくは炭素数1〜12のアルキル基)、炭素数2〜12のアルケニル基、アルキニル基、炭素数6〜12の芳香族基等を挙げることができる。かかる有機基は、下記R〜R及び後記する式(X−a)のYを構成する有機基(並びに式(X−a)のR〜R)も共通である。 There is no restriction | limiting in particular as an organic group, Although a conventionally well-known organic group can be used, For example, C1-C20 alkyl group (preferably C1-C12 alkyl group), C2-C2 Examples include 12 alkenyl groups, alkynyl groups, and aromatic groups having 6 to 12 carbon atoms. Such organic group, (R 2 ~R 7 of and formula (X-a)) organic group constituting Y below R 2 to R 7 and below for formula (X-a) are also common.

また、有機基は、直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよい。直鎖構造としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル等が挙げられる。直鎖構造の炭素数としては1〜12が好ましく、炭素数1〜6が特に好ましい。   The organic group may have a linear structure, a branched structure, or a cyclic structure. Examples of the linear structure include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl and the like. As carbon number of a linear structure, 1-12 are preferable and C1-C6 is especially preferable.

枝分かれ構造としては、例えば、炭素原子数3〜12個の分岐状のアルキル基等が挙げられ、具体的には、i−プロピル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、i−アミル基、t−アミル基、3−オクチル、t−オクチル等が好ましい。これらの中でも、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基等がさらに好ましく、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基等が特に好ましい。   Examples of the branched structure include a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms, specifically, i-propyl group, i-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, An isopentyl group, neopentyl group, 2-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, i-amyl group, t-amyl group, 3-octyl, t-octyl and the like are preferable. Among these, i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group and the like are more preferable, and i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group and the like are particularly preferable.

環状構造としては、例えば、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基が挙げられ、具体的には、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基、及びトリシクロペンタニル基等並びにこれらを有する基が好ましい。これらの中でも、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基等がより好ましく、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロペンテニル基等がさらに好ましく、ジシクロペンテニル基、トリシクロペンテニル基が特に好ましい   Examples of the cyclic structure include an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms, specifically, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, An adamantyl group, a tricyclodecyl group, a dicyclopentenyl group, a dicyclopentanyl group, a tricyclopentenyl group, a tricyclopentanyl group, and the like, and groups having these are preferable. Among these, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl group, isobornyl group, adamantyl group, tricyclodecyl group, tricyclopentenyl group, tricyclopentanyl group and the like are more preferable, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl Group, isobornyl group, tricyclopentenyl group and the like are more preferable, and dicyclopentenyl group and tricyclopentenyl group are particularly preferable.

は、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基である。 R 2 is halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, A formyl group, an acyl group, a cyano group, an alkoxy group, an amino group, an amide group, an aryl group, an allyl group, or an organic group.

は水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。さらにR及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基などの重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。 R 3 is a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, carboxyl group, carbonyl group, ester Group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group, or organic group, which may be the same or different. Furthermore, R 2 and R 3 may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group, or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them.

、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、アンモニオ基、または有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。さらに、R、R、R及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基などの重合性の基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。またR、R、R及びRは、それら2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。 R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group , Phosphono group, phosphonate group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group, ammonio group, or organic group, the same Or different. Furthermore, R 4 , R 5 , R 6 and R 7 may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them. . Two or more of R 4 , R 5 , R 6 and R 7 may be bonded to form a cyclic structure, and may include a hetero atom bond.

なお、式(X)にあっては、Rを炭素数1〜12のアルキル基、R、R、R、R及びRを水素原子とするようにしてもよい。 In the formula (X), R 2 may be an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 may be hydrogen atoms.

また、本発明の光チオール発生剤は、下記(X−a)のようにしてもよい。   Further, the photothiol generator of the present invention may be as shown in (Xa) below.

なお、式(X−a)中、l、mは0〜8の整数、nは1〜6の整数、Yは4価の炭素、芳香環、トリアジン環、または有機基である。lは1〜3が好ましく、mは1〜3が好ましい。   In the formula (Xa), l and m are integers of 0 to 8, n is an integer of 1 to 6, and Y is a tetravalent carbon, aromatic ring, triazine ring, or organic group. l is preferably 1 to 3, and m is preferably 1 to 3.

Yの有機基は直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにYにはシリル基、アクリル基、メタクリル基などの重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。R、R、R、R、R、R及びRは前記した式(X)と共通する。 The organic group for Y may have a straight chain structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a hetero atom. Furthermore, Y may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them. R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are in common with the formula (X) described above.

本発明の光チオール発生剤は、式(X)及び式(X−a)の構造において、S基に隣接するカルボニル基のα位のR基が水素原子とならず、前記した基となる。かかる基の存在により、光照射によりチオールを発生することになる。一方、かかるR基が存在しないと(水素原子になると)、光照射しなくても、環化反応が進行し、チオールを生成することとなり、熱的に不安定であり、硬化材料と組み合わせて使用した場合の保存安定性に劣ることになる)。 In the photothiol generator of the present invention, in the structures of the formulas (X) and (Xa), the R 2 group at the α-position of the carbonyl group adjacent to the S group is not a hydrogen atom, but the above-described group. . Due to the presence of such groups, thiols are generated by light irradiation. On the other hand, if such an R 2 group does not exist (when it becomes a hydrogen atom), the cyclization reaction proceeds and thiols are generated without irradiation with light, which is thermally unstable and combined with a curable material. It is inferior in storage stability when used.)

は、官能基であるエステル基、アミド基、アミノ基、カルボニル基、アルキル基、またはヘテロ原子である酸素、硫黄等とすればよい。 R 8 may be a functional group such as an ester group, an amide group, an amino group, a carbonyl group, an alkyl group, or a hetero atom such as oxygen or sulfur.

式(X−a)において、下記(X−a’)に示すY基と結合する部分は、Y基の価数(他の基と結合可能な数)によりその数nが決定される。例えば、Yが4価の炭素の場合はn=4、芳香環の場合はn=1〜6、1,3,5−トリアジン−2,4,6−トリオン等のトリアジン環の場合はn=3、有機基であるアルキレンの場合はn=2、有機基である下記式(A)の化合物の場合はn=6、のようにnが決定される。Y基と結合する部分は、Yに複数が結合される場合には、構造が共通するようにしてもよい。また、前記した式(X)と同様、Rを炭素数1〜12のアルキル基、R、R、R、R及びRを水素原子とするようにしてもよい。 In the formula (Xa), the number n of the portion bonded to the Y group shown in the following (Xa ′) is determined by the valence of the Y group (the number that can be bonded to other groups). For example, when Y is tetravalent carbon, n = 4, when aromatic, n = 1 to 6, and when triazine rings such as 1,3,5-triazine-2,4,6-trione, n = 3. n is determined in the case of alkylene which is an organic group, n = 2, and n = 6 in the case of a compound of the following formula (A) which is an organic group. The part which couple | bonds with Y group may be made to have a common structure, when two or more couple | bonds with Y. Similarly to the above formula (X), R 2 may be an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 may be hydrogen atoms.

本発明の光チオール発生剤は、下記スキームに示すように、光の照射によってカルボン酸誘導体が光環化反応し、チオール(−SH)を発生する。本発明に係る光チオール発生剤は、かかるスキーム1に示すように、光の照射によりカルボン酸誘導体の光環化反応によりチオールを発生するため、光の照射により反応の進行を制御できるので、チオール反応性化合物と組み合わせて光硬化材料として使用してもポットライフが長く保存安定性に優れるチオール化合物となる。なお下記スキーム1では、光チオール発生剤の構造を簡略化して示している。   In the photothiol generator of the present invention, as shown in the following scheme, a carboxylic acid derivative undergoes a photocyclization reaction by light irradiation to generate thiol (-SH). Since the photothiol generator according to the present invention generates thiol by photocyclization reaction of a carboxylic acid derivative by light irradiation as shown in Scheme 1, the progress of the reaction can be controlled by light irradiation. Even if it is used as a photo-curing material in combination with a functional compound, it becomes a thiol compound having a long pot life and excellent storage stability. In the following scheme 1, the structure of the photothiol generator is simplified.

(スキーム1)
(Scheme 1)

本発明の光チオール発生剤は、チオールを発生する際に分解物として炭酸ガス(CO)を発生することもない。かかる炭酸ガスは、感光性樹脂組成物を製膜した場合にあっては気泡となって、硬化膜に凸凹が生じたり、硬化膜の強度を低下させる等硬化膜の性能に悪影響を及ぼし、製品価値を低下させることになっていたが、本発明に係る光チオール発生剤をエポキシ系化合物等のチオール反応性化合物に適用した場合には、反応効率が良好であるとともに、チオール発生時に炭酸ガスの発生もなく、製品特性及び製品価値が優れた硬化膜を提供することができる。なお、反応により副生成物としてクマリン(クマリン系化合物)を生成するが、かかるクマリンはラジカル重合性であり、かつマイケル付加反応も受けやすいので、チオール/エポキシ化合物系やチオール−エン系の組成物に取り込まれることになる。 The photothiol generator of the present invention does not generate carbon dioxide (CO 2 ) as a decomposition product when generating thiols. Such carbon dioxide gas becomes bubbles when the photosensitive resin composition is formed, and the cured film has irregularities, and the strength of the cured film is lowered. However, when the photothiol generator according to the present invention was applied to a thiol-reactive compound such as an epoxy compound, the reaction efficiency was good and the carbon dioxide gas It is possible to provide a cured film having no product characteristics and product value. In addition, coumarin (coumarin compound) is produced as a by-product by the reaction, but since such coumarin is radically polymerizable and also susceptible to Michael addition reaction, a thiol / epoxy compound-based or thiol-ene-based composition. Will be taken in.

式(X)で表される光チオール発生剤を製造するには、例えば、下記の合成スキームに従い製造することができる。例として式(X)のスキームを示しているが、合成は基本的に多官能チオールとカルボン酸との反応であり、チオールの多官能性だけが異なるだけであるので、チオールの他官能性以外のステップはすべて共通である。   In order to produce the photothiol generator represented by the formula (X), for example, it can be produced according to the following synthesis scheme. The scheme of formula (X) is shown as an example, but the synthesis is basically a reaction between a polyfunctional thiol and a carboxylic acid, and only the polyfunctionality of the thiol is different. The steps are all the same.

(合成スキーム)
(Synthesis scheme)

以下、式(X)に対応する本発明の光チオール発生剤を式(X−1)に、式(X−a)に対応する本発明の光チオール発生剤を式(X−2)、式(X−3)、式(X−4)、式(X−5)及び式(X−6)にそれぞれ示す。   Hereinafter, the photothiol generator of the present invention corresponding to Formula (X) is represented by Formula (X-1), and the photothiol generator of the present invention corresponding to Formula (Xa) is represented by Formula (X-2), Formula (X-3), Formula (X-4), Formula (X-5) and Formula (X-6) are shown respectively.

本発明の光チオール発生剤、及び当該光チオール発生剤を含有した感光性樹脂組成物における照射光の波長及び露光量の範囲としては、光チオール発生剤の種類や量、及び感光性樹脂組成物を構成するチオール反応性化合物の種類等に応じて適宜決定すればよいが、例えば、波長として190〜400nm、露光量として100〜30000mJ/cm(好ましくは100〜10000mJ/cm)の範囲内から選択して適用すればよく、後記する増感剤を用いることによりさらに長波長域を使用することも可能である。照射光の照射時間は、数秒でも可能な場合もあるが、概ね10秒以上とすればよく、1.5〜60分とすることが好ましい。 The photothiol generator of the present invention, and the range of the irradiation light wavelength and exposure amount in the photosensitive resin composition containing the photothiol generator, the type and amount of the photothiol generator, and the photosensitive resin composition May be appropriately determined according to the type of the thiol-reactive compound constituting, for example, within the range of 190 to 400 nm as the wavelength and 100 to 30000 mJ / cm 2 (preferably 100 to 10000 mJ / cm 2 ) as the exposure amount. The long wavelength region can be used by using a sensitizer described later. Although irradiation time of irradiation light may be possible even for several seconds, it may be about 10 seconds or more, and is preferably 1.5 to 60 minutes.

次に、本発明の感光性樹脂組成物を説明する。本発明の感光性樹脂組成物は、光の照射によって光環化反応を起こし、チオールを発生する前記した光チオール発生剤と、チオール反応性化合物を必須成分として含有する。   Next, the photosensitive resin composition of the present invention will be described. The photosensitive resin composition of the present invention contains the above-mentioned photothiol generator that generates a thiol by causing a photocyclization reaction by light irradiation and a thiol-reactive compound as essential components.

本発明の感光性樹脂組成物を構成するチオール反応性化合物は、光チオール発生剤により発生したチオールの作用により反応して、架橋等により硬化する化合物であれば特に制限はないが、例えば、エポキシ系化合物、エピスルフィド系化合物、アクリル系化合物、メタクリル系化合物、マレイミド系化合物等を使用することができる。また、炭素−炭素三重結合を備えた基(C≡C基)を有する樹脂ないし化合物を用いてもよい。かかるチオール反応性化合物は、その1種類を単独で用いるようにしてもよく、また、2種類以上を組み合わせて使用するようにしてもよい。また、感光性樹脂組成物に含有される光チオール発生剤も、その1種類を単独で用いるようにしてもよく、また、2種類以上を組み合わせて使用するようにしてもよい。   The thiol-reactive compound constituting the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound that reacts by the action of a thiol generated by a photothiol generator and cures by crosslinking or the like. A compound, an episulfide compound, an acrylic compound, a methacrylic compound, a maleimide compound, or the like can be used. Further, a resin or compound having a group (C≡C group) having a carbon-carbon triple bond may be used. One of these thiol-reactive compounds may be used alone, or two or more of them may be used in combination. Moreover, the photothiol generator contained in the photosensitive resin composition may be used alone or in combination of two or more.

なお、前記したチオール反応性化合物のうち、エポキシ系化合物やエピスルフィド系化合物等は、チオールとイオン反応により硬化する。また、アクリル系化合物、メタクリル系化合物、マレイミド系化合物等は、チオールとラジカル反応(チオール−エン反応)により硬化する。   Of the thiol-reactive compounds described above, epoxy compounds, episulfide compounds, and the like are cured by ionic reaction with thiols. In addition, acrylic compounds, methacrylic compounds, maleimide compounds, and the like are cured by radical reaction (thiol-ene reaction) with thiols.

エポキシ系化合物やエピスルフィド系化合物等と光チオール発生剤との反応スキームを以下に示す。発生するチオールとエポキシ系化合物等が反応し3次元架橋体(Cross−linked networks)を生成することになる。下記スキーム中、R、Rは任意の有機基であり、nも1以上の任意の整数である。 A reaction scheme of an epoxy compound, an episulfide compound and the like with a photothiol generator is shown below. The generated thiol reacts with an epoxy compound and the like to generate a three-dimensional cross-linked network. In the following scheme, R and R 2 are arbitrary organic groups, and n is an arbitrary integer of 1 or more.

(反応スキーム)
(Reaction scheme)

また、一般的なチオール−エン反応は、下記の開始反応、生長反応、停止反応、酸素との反応により形成されるが、発生するチイルラジカルが、チオール反応性化合物と反応し3次元体(Cross−linked networks)を生成することになる。ここで、I・は光開始剤(Initiator)が分解して生じたラジカル活性種、Mはモノマーまたはその重合体をそれぞれ示す。また、Rは任意の有機基である。   In addition, a general thiol-ene reaction is formed by the following initiation reaction, growth reaction, termination reaction, and reaction with oxygen. The generated thiyl radical reacts with a thiol-reactive compound to form a three-dimensional body (Cross- linked networks). Here, I · represents a radical active species generated by decomposition of a photoinitiator, and M represents a monomer or a polymer thereof. R is an arbitrary organic group.

(開始反応、生長反応)
(Initiation reaction, growth reaction)

(停止反応)
(Stop reaction)

(酸素(O)との反応)
(Reaction with oxygen (O 2 ))

以下、本発明に係る感光性樹脂組成物に使用可能なチオール反応性化合物の一例を挙げる。なお、これらのチオール反応性化合物は常法により合成されてもよく、また、市販品を用いてもよい。   Hereinafter, an example of the thiol reactive compound which can be used for the photosensitive resin composition concerning this invention is given. These thiol-reactive compounds may be synthesized by a conventional method, or commercially available products may be used.

エポキシ系化合物としては、分子内に1個以上のエポキシ基を有するものであれば特に制限なく、従来公知のものを使用できる。分子内に1個以上のエポキシ基を有する高分子としては、例えば、エポキシ樹脂が挙げられ、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンから誘導されるビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールFとエピクロルヒドリンから誘導されるビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ジフェニルエーテル型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、3官能型エポキシ樹脂や4官能型エポキシ樹脂等の多官能型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂等があり、これらのエポキシ樹脂はハロゲン化されていてもよく、水素添加されていてもよい。市販されているエポキシ樹脂製品としては、例えばジャパンエポキシレジン株式会社製のJERコート828、1001、801N、806、807、152、604、630、871、YX8000、YX8034、YX4000、DIC株式会社製のエピクロン830、EXA835LV、HP4032D、HP820、株式会社ADEKA製のEP4100シリーズ、EP4000シリーズ、EPUシリーズ、ダイセル化学株式会社製のセロキサイドシリーズ(2021、2021P、2083、2085、3000等)、エポリードシリーズ、EHPEシリーズ、東都化成社製のYDシリーズ、YDFシリーズ、YDCNシリーズ、YDBシリーズ、ナガセケムテックス社製のデナコールシリーズ、共栄社化学社製のエポライトシリーズ等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらのエポキシ樹脂は、2種以上を併用してもよい。これらの中で、他の各種のエポキシ化合物と比較すると分子量の異なるグレードが広く入手可能で、接着性や反応性等を任意に設定できる点から、ビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましい。   The epoxy compound is not particularly limited as long as it has one or more epoxy groups in the molecule, and conventionally known compounds can be used. Examples of the polymer having one or more epoxy groups in the molecule include epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins derived from bisphenol A and epichlorohydrin, bisphenol F type epoxy derived from bisphenol F and epichlorohydrin. Resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, bisphenol F novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, diphenyl ether type epoxy resin, hydroquinone type epoxy resin, Polyfunctional epoxy resins such as naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, trifunctional type epoxy resin and tetrafunctional type epoxy resin, There are lysidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, hydantoin type epoxy resins, isocyanurate type epoxy resins, aliphatic chain epoxy resins, etc. These epoxy resins may be halogenated and hydrogenated. It may be. As commercially available epoxy resin products, for example, JER Coat 828, 1001, 801N, 806, 807, 152, 604, 630, 871, YX8000, YX8034, YX4000 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epicron manufactured by DIC Corporation 830, EXA835LV, HP4032D, HP820, EP4100 series, EP4000 series, EPU series, manufactured by ADEKA Co., Ltd., Celoxide series (2021, 2021P, 2083, 2085, 3000, etc.) manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., Eporide series, EHPE Series, YD series, YDF series, YDFN series, YDB series by Toto Kasei Co., Ltd., Denacol series by Nagase ChemteX, Epolite series by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Although's etc. but the invention is not limited thereto. Two or more of these epoxy resins may be used in combination. Among these, bisphenol-type epoxy resins are preferable because grades having different molecular weights are widely available as compared with other various epoxy compounds, and adhesiveness and reactivity can be arbitrarily set.

分子内に1個以上のエポキシ基を有する化合物または分子内に2個以上のエポキシ基を有する高分子(エポキシ樹脂)を用いる場合は、エポキシ基との反応性を有する官能基を分子内に2つ以上有する化合物を併用してもよい。ここでエポキシ基との反応性を有する官能基とは、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、メルカプト基、1級又は2級の芳香族アミノ基等が挙げられる。これらの官能基は、3次元硬化性を考慮して、一分子中に2つ以上有することが特に好ましい。   When using a compound having one or more epoxy groups in the molecule or a polymer having two or more epoxy groups in the molecule (epoxy resin), 2 functional groups having reactivity with the epoxy group are present in the molecule. Two or more compounds may be used in combination. Here, examples of the functional group having reactivity with an epoxy group include a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a mercapto group, a primary or secondary aromatic amino group, and the like. It is particularly preferable to have two or more of these functional groups in one molecule in consideration of three-dimensional curability.

また、重量平均分子量3,000〜100,000のポリマー側鎖に上記官能基を導入したものを用いることが好ましい。3,000未満では膜強度の低下及び硬化膜表面にタック性が生じ、不純物等が付着しやすくなる場合があり、また、100,000より大きいと粘度が増大する場合があり好ましくない。   Moreover, it is preferable to use what introduce | transduced the said functional group into the polymer side chain of weight average molecular weight 3,000-100,000. If it is less than 3,000, the film strength is lowered and tackiness occurs on the surface of the cured film, and impurities and the like are likely to adhere. On the other hand, if it exceeds 100,000, the viscosity may increase, which is not preferable.

その他、使用可能なエポキシ系化合物としては、例えば、ジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、フエニルグリシジルエーテル、アルキルフェノールグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンポリグリシジルエーテル、ジグリセリンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、脂肪族ジグリシジルエーテル、多官能グリシジルエーテル、3級脂肪酸モノグリシジルエーテル、スピログリコールジグリシジルエーテル、グリシジルプロポキシトリメトキシシラン等が挙げられる。これらのエポキシ系化合物はハロゲン化されていてもよく、水素添加されていてもよく、また、これらのエポキシ系化合物は誘導体も含む。そして、これらのエポキシ系化合物は、その1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Other usable epoxy compounds include, for example, diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, Diglycerol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, allyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, alkylphenol glycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, tripropylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1, 6-hexanediol diglycidyl ester Tellurium, glycerin polyglycidyl ether, diglycerin polyglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, cresyl glycidyl ether, aliphatic diglycidyl ether, polyfunctional glycidyl ether, tertiary fatty acid monoglycidyl ether, spiroglycol diglycidyl ether, glycidyl Examples include propoxytrimethoxysilane. These epoxy compounds may be halogenated or hydrogenated, and these epoxy compounds include derivatives. And these epoxy compounds may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

また、ポリグリシジルメタクリレート、メチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、ベンジルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、n−ブチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体及びスチレン−グリシジルメタクリレート共重合体のエポキシ基含有重合体等を使用するようにしてもよい。これらのエポキシ系化合物は、その1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Also, polyglycidyl methacrylate, methyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, benzyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, n-butyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer and styrene-glycidyl An epoxy group-containing polymer of a methacrylate copolymer may be used. These epoxy compounds may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

エピスルフィド系化合物としては、分子内に2つ以上のエピスルフィド基を有する化合物を使用することが好ましく、例えば、ビス(2,3−エピチオプロピル)スルフィド、ビス(2,3−エピチオプロピル)ジスルフィド、ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)メタン、1,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)エタン、1,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)プロパン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)プロパン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2−メチルプロパン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ブタン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2−メチルブタン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ブタン、1,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ペンタン、1,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2−メチルペンタン、1,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−3−チアペンタン、1,6−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ヘキサン、1,6−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2−メチルヘキサン、3,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−3,6−ジチアオクタン、1,2,3−トリス(2,3−エピチオプロピルチオ)プロパン、2,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)プロパン、2,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−1−(2,3ーエピチオプロピルチオ)ブタン、1,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2−(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3−チアペンタン、1,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3−チアペンタン、1−(2,3−エピチオプロピルチオ)−2,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−4−チアヘキサン、1,5,6−トリス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4−(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3−チアヘキサン、1,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4−(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6−ジチアオクタン、1,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6−ジチアオクタン、1,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6−ジチアオクタン、1,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6−ジチアオクタン、1,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−2,4,5−トリス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6−ジチアオクタン、1,1,1−トリス[{2−(2,3−エピチオプロピルチオ)エチル}チオメチル]−2−(2,3−エピチオプロピルチオ)エタン、1,1,2,2−テトラキス[{2−(2,3−エピチオプロピルチオ)エチル}チオメチル]エタン、1,11−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4,8−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6,9−トリチアウンデカン、1,11−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−4,7−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6,9−トリチアウンデカン、1,11−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)−5,7−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−3,6,9−トリチアウンデカン等の鎖状脂肪族の2,3−エピチオプロピルチオ化合物、及び、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)シクロヘキサン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)シクロヘキサン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)シクロヘキサン、2,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−1,4−ジチアン、2,5−ビス[{2−(2,3−エピチオプロピルチオ)エチル}チオメチル]−1,4−ジチアン、2,5−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)−2,5−ジメチル−1,4−ジチアン等の環状脂肪族の2,3−エピチオプロピルチオ化合物、及び、1,2−ビス(2、3−エピチオプロピルチオ)ベンゼン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ベンゼン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ベンゼン、1,2−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)ベンゼン、1,3−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)ベンゼン、1,4−ビス(2,3−エピチオプロピルチオメチル)ベンゼン、ビス{4−(2,3−エピチオプロピルチオ)フェニル}メタン、2,2−ビス{4−(2、3−エピチオプロピルチオ)フェニル}プロパン、ビス{4−(2,3−エピチオプロピルチオ)フェニル}スルフィド、ビス{4−(2,3−エピチオプロピルチオ)フェニル}スルフォン、4,4’−ビス(2,3−エピチオプロピルチオ)ビフェニル等の芳香族2,3−エピチオプロピルチオ化合物等が挙げられる。これらのエピスルフィド系化合物は、その1種を単独で使用してもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   As the episulfide compound, a compound having two or more episulfide groups in the molecule is preferably used. For example, bis (2,3-epithiopropyl) sulfide, bis (2,3-epithiopropyl) disulfide Bis (2,3-epithiopropylthio) methane, 1,2-bis (2,3-epithiopropylthio) ethane, 1,2-bis (2,3-epithiopropylthio) propane, 1, 3-bis (2,3-epithiopropylthio) propane, 1,3-bis (2,3-epithiopropylthio) -2-methylpropane, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthio) ) Butane, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthio) -2-methylbutane, 1,3-bis (2,3-epithiopropylthio) butane, 1,5-bis (2,3- D Thiopropylthio) pentane, 1,5-bis (2,3-epithiopropylthio) -2-methylpentane, 1,5-bis (2,3-epithiopropylthio) -3-thiapentane, 1,6 -Bis (2,3-epithiopropylthio) hexane, 1,6-bis (2,3-epithiopropylthio) -2-methylhexane, 3,8-bis (2,3-epithiopropylthio) -3,6-dithiaoctane, 1,2,3-tris (2,3-epithiopropylthio) propane, 2,2-bis (2,3-epithiopropylthio) -1,3-bis (2, 3-epithiopropylthiomethyl) propane, 2,2-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -1- (2,3-epithiopropylthio) butane, 1,5-bis (2,3 -Epithiopropylthio) -2- (2 3-epithiopropylthiomethyl) -3-thiapentane, 1,5-bis (2,3-epithiopropylthio) -2,4-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3-thiapentane, 1- (2,3-epithiopropylthio) -2,2-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -4-thiahexane, 1,5,6-tris (2,3-epithiopropylthio) ) -4- (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3-thiahexane, 1,8-bis (2,3-epithiopropylthio) -4- (2,3-epithiopropylthiomethyl)- 3,6-dithiaoctane, 1,8-bis (2,3-epithiopropylthio) -4,5-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3,6-dithiaoctane, 1,8-bis (2,3-epithiopropylthio E) -4,4-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3,6-dithiaoctane, 1,8-bis (2,3-epithiopropylthio) -2,5-bis (2, 3-epithiopropylthiomethyl) -3,6-dithiaoctane, 1,8-bis (2,3-epithiopropylthio) -2,4,5-tris (2,3-epithiopropylthiomethyl)- 3,6-dithiaoctane, 1,1,1-tris [{2- (2,3-epithiopropylthio) ethyl} thiomethyl] -2- (2,3-epithiopropylthio) ethane, 1,1, 2,2-tetrakis [{2- (2,3-epithiopropylthio) ethyl} thiomethyl] ethane, 1,11-bis (2,3-epithiopropylthio) -4,8-bis (2,3 -Epithiopropylthiomethyl) -3,6,9-tri Aundecane, 1,11-bis (2,3-epithiopropylthio) -4,7-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3,6,9-trithiaundecane, 1,11-bis Chain aliphatic 2,3-epithio such as (2,3-epithiopropylthio) -5,7-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -3,6,9-trithiaundecane Propylthio compounds, 1,3-bis (2,3-epithiopropylthio) cyclohexane, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthio) cyclohexane, 1,3-bis (2,3- Epithiopropylthiomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) cyclohexane, 2,5-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -1,4-dithiane, 2 , 5- [{2- (2,3-epithiopropylthio) ethyl} thiomethyl] -1,4-dithiane, 2,5-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) -2,5-dimethyl-1 Cycloaliphatic 2,3-epithiopropylthio compounds such as 1,4-dithiane, 1,2-bis (2,3-epithiopropylthio) benzene, 1,3-bis (2,3-epi Thiopropylthio) benzene, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthio) benzene, 1,2-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) benzene, 1,3-bis (2,3 -Epithiopropylthiomethyl) benzene, 1,4-bis (2,3-epithiopropylthiomethyl) benzene, bis {4- (2,3-epithiopropylthio) phenyl} methane, 2,2-bis {4- (2,3-epithiop Ropylthio) phenyl} propane, bis {4- (2,3-epithiopropylthio) phenyl} sulfide, bis {4- (2,3-epithiopropylthio) phenyl} sulfone, 4,4′-bis (2 , 3-epithiopropylthio) biphenyl, and the like. One of these episulfide compounds may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

マレイミド系化合物は、分子構造中にマレイミド構造を有する化合物であり、マレイミド構造を1分子中に2つ以上有するもの(例えば、ビスマレイミド化合物)を使用することが好ましい。マレイミド構造を1分子中に2つ以上有する(ビスマレイミド化合物)としては、例えば、1−メチル−2,4−ビスマレイミドベンゼン、N,N’−m−フェニレンビスマレイミド、N,N’−p−フェニレンビスマレイミド、N,N’−m−トルイレンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ビフェニレンビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジメチル−ビフェニレン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジメチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−〔3,3’−ジエチルジフェニルメタン〕ビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルプロパンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N’−3,3’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、N,N’−4,4’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−t−ブチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−s−ブチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、1,1−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕デカン、1,1−ビス〔2−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)−5−t−ブチルフェニル〕−2−メチルプロパン、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−メチレン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2,6−ビス(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−メチレン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2,6−ジ−s−ブチルベンゼン〕、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−シクロヘキシルベンゼン〕、4,4’−メチレンビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−2−ノニルベンゼン〕、4,4’−(1−メチルエチリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−2,6−ビス(1,1−ジメチルエチル)ベンゼン〕、4,4’−(2−エチルヘキシリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−ベンゼン〕、4,4’−(1−メチルヘプチリデン)−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−ベンゼン〕、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス〔1−(マレイミドフェノキシ)−3−メチルベンゼン〕、2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス〔3−エチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔3−エチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ビス〔3−メチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3,5−ジメチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、ビス〔3−エチル−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メタン、3,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、4,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、3,9−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、4,9−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕−トリシクロ〔5.2.1.02,6〕デカン、1,8−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタン、1,8−ビス〔3−メチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタン、1,8−ビス〔3,5−ジメチル−4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕メンタンなどを挙げることができる。これらのマレイミド系化合物は、その1種を単独で使用してもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。なお、これらのマレイミド系化合物の中で、有害物質の生成を一層抑制する観点からは、分子内にハロゲン原子を有しない化合物を使用することが好ましい。また、マレイミド系化合物は、単独で使用してもよいが、他のチオール反応性化合物と併用して使用することが好ましい。   The maleimide compound is a compound having a maleimide structure in the molecular structure, and a compound having two or more maleimide structures in one molecule (for example, a bismaleimide compound) is preferably used. Examples of the bismaleimide compound having two or more maleimide structures in one molecule include 1-methyl-2,4-bismaleimide benzene, N, N′-m-phenylenebismaleimide, N, N′-p. -Phenylene bismaleimide, N, N'-m-toluylene bismaleimide, N, N'-4,4'-biphenylene bismaleimide, N, N'-4,4 '-[3,3'-dimethyl-biphenylene Bismaleimide, N, N′-4,4 ′-[3,3′-dimethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N′-4,4 ′-[3,3′-diethyldiphenylmethane] bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenylpropane bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenyl ether bismale N, N′-3,3′-diphenylsulfone bismaleimide, N, N′-4,4′-diphenylsulfone bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-tert-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-s-butyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] decane, 1,1-bis [2-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) -5-t-butylphenyl] -2-methylpropane, 4, 4′-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2- (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4′-methylene-bis [1- (4-ma Imidophenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4′-methylene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2,6-di-s-butylbenzene], 4,4′-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2-cyclohexylbenzene], 4,4′-methylenebis [1- (maleimidophenoxy) -2-nonylbenzene], 4,4 ′ -(1-Methylethylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -2,6-bis (1,1-dimethylethyl) benzene], 4,4 '-(2-ethylhexylidene) -bis [1 -(Maleimidophenoxy) -benzene], 4,4 '-(1-methylheptylidene) -bis [1- (maleimidophenoxy) -benzene], 4,4'-cyclohexylidene-bi [1- (maleimidophenoxy) -3-methylbenzene], 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4- Maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-methyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) ) Phenyl] propane, 2,2-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [3-ethyl-4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [3 Methyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [3,5-dimethyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, bis [3-ethyl- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, 3,8- Bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2. 1.02,6] decane, 3,9-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 4,9-bis [4- (4- Maleimidophenoxy) phenyl] -tricyclo [5.2.1.02,6] decane, 1,8-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] menthane, 1,8-bi [3-methyl-4- (4-maleimide phenoxy) phenyl] menthane, 1,8-bis [3,5-dimethyl-4- (4-maleimide phenoxy) phenyl] menthane and the like. These maleimide compounds may be used alone or in combination of two or more. Of these maleimide compounds, it is preferable to use a compound having no halogen atom in the molecule from the viewpoint of further suppressing the generation of harmful substances. The maleimide compound may be used alone, but is preferably used in combination with other thiol-reactive compounds.

アクリル系化合物やメタクリル系化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、アクリル変成アルキッド、メタクリル変性アルキッド、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエステルメタクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエーテルメタクリレート等を挙げることができる。これらのアクリル系化合物やメタクリル系化合物は、その1種を単独で使用してもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of acrylic compounds and methacrylic compounds include pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, acrylic modified alkyd, methacryl modified alkyd, epoxy acrylate, epoxy methacrylate, urethane acrylate, urethane methacrylate, polyester acrylate, polyester methacrylate, and polyether. Examples thereof include acrylate and polyether methacrylate. One of these acrylic compounds and methacrylic compounds may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

なお、チオール反応性化合物としてアクリル系化合物やメタクリル系化合物等を採用した場合にあっては、選択した材料によっては、光照射により得られる硬化膜が透明となるので、透明性を必要する用途にも適用することができる。   In addition, when an acrylic compound or a methacrylic compound is employed as the thiol-reactive compound, depending on the selected material, the cured film obtained by light irradiation becomes transparent. Can also be applied.

以下、チオール反応性化合物の具体例を挙げる。   Hereinafter, specific examples of the thiol-reactive compound will be given.

本発明の感光性樹脂組成物における光チオール発生剤の含有量は、チオール反応性化合物100質量部に対して1〜1000質量部とすることが好ましい。光チオール発生剤の含有量が1質量部より少ないと、チオール反応性化合物を迅速に反応させることができなくなる場合がある一方、光チオール発生剤の含有量が1000質量部を超えると、光チオール発生剤の存在がチオール反応性化合物の溶媒に対する溶解性に悪影響を与える場合があり、また、過剰量の光チオール発生剤の存在はコスト高に繋がることになる。光チオール発生剤の含有量は、チオール反応性化合物100質量部に対して5〜300質量部とすることがなお好ましく、10〜100質量部とすることがさらに好ましい。   It is preferable that content of the photothiol generator in the photosensitive resin composition of this invention shall be 1-1000 mass parts with respect to 100 mass parts of thiol reactive compounds. If the content of the photothiol generator is less than 1 part by mass, the thiol-reactive compound may not be allowed to react rapidly. On the other hand, if the content of the photothiol generator exceeds 1000 parts by mass, The presence of the generator may adversely affect the solubility of the thiol-reactive compound in the solvent, and the presence of an excessive amount of the photothiol generator leads to high costs. The content of the photothiol generator is preferably 5 to 300 parts by mass, more preferably 10 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thiol-reactive compound.

本発明の感光性樹脂組成物は、チオール反応性化合物としてエポキシ系化合物を使用する場合、前記したNo.4−1〜No.4−12等の重合反応性を示すエポキシ系化合物(重合性エポキシ系化合物)とすることが好ましい。このような感光性樹脂組成物は、光または熱の作用により、重合し、重合体を与えることとなる。中でも、光により重合反応を開始する光重合性エポキシ系化合物を含む感光性樹脂組成物とすることが好ましい。   When using the epoxy compound as the thiol-reactive compound, the photosensitive resin composition of the present invention has the above-mentioned No. 4-1. It is preferable to use an epoxy compound (polymerizable epoxy compound) exhibiting polymerization reactivity such as 4-12. Such a photosensitive resin composition is polymerized by the action of light or heat to give a polymer. Especially, it is preferable to set it as the photosensitive resin composition containing the photopolymerizable epoxy-type compound which starts a polymerization reaction with light.

本発明に係る感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成するには、例えば、当該樹脂組成物を有機溶媒に溶解して塗布液を調製し、調製された塗布液を基板等の適当な固体表面に塗布し、乾燥して塗膜を形成するようにする。そして、形成された塗膜に対して、パターン露光を行ってチオールを発生させた後、所定の条件で加熱処理を行って、感光性樹脂組成物に含有されるチオール反応性化合物の重合反応を促すようにする。   In order to form a pattern using the photosensitive resin composition according to the present invention, for example, the resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a coating solution, and the prepared coating solution is used as an appropriate solid such as a substrate. It is applied to the surface and dried to form a coating film. And after performing pattern exposure with respect to the formed coating film and generating thiol, it heat-processes on predetermined conditions, The polymerization reaction of the thiol reactive compound contained in the photosensitive resin composition is carried out. To encourage.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要により、光重合開始剤を含有させることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物に重合開始剤を含有させることにより、重合がスムースに効率よく開始され、反応効率が向上する。光重合開始剤の添加は、ラジカル反応で硬化する、アクリル系化合物、メタクリル系化合物、マレイミド系化合物をチオール反応性化合物として使用する場合に好ましい。   If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a photopolymerization initiator. By containing the polymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention, the polymerization is smoothly started efficiently and the reaction efficiency is improved. Addition of a photopolymerization initiator is preferable when an acrylic compound, a methacrylic compound, or a maleimide compound that cures by a radical reaction is used as the thiol-reactive compound.

使用できる光重合開始剤としては、特に制限はないが、例えば、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフォンオキサイド等のラジカル系光重合開始剤等や、特開2009−58582号公報に記載される光重合開始剤等を使用することができる。光重合開始剤の添加量は、使用する光チオール発生剤やチオール反応性化合物等により適宜決定すればよいが、感光性樹脂組成物全体に対して0.1〜10質量%の範囲であることが好ましく、0.5〜5質量%の範囲内であることが特に好ましい。   The photopolymerization initiator that can be used is not particularly limited, and examples thereof include radical photopolymerization initiators such as bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenyl phosphooxide, and JP2009-58582A. Can be used. Although the addition amount of a photoinitiator should just be suitably determined with the photothiol generator to be used, a thiol reactive compound, etc., it is the range of 0.1-10 mass% with respect to the whole photosensitive resin composition. Is preferable, and it is particularly preferable to be within the range of 0.5 to 5% by mass.

本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の光チオール発生剤を含有するため、室温でも重合反応は進行するが、重合反応を効率よく進行させるべく、加熱処理を施すことが好ましい。加熱処理は、イオン反応で硬化する、エポキシ系化合物やエピスルフィド系化合物をチオール反応性化合物として使用する場合に好ましい。   Since the photosensitive resin composition of the present invention contains the photothiol generator of the present invention, the polymerization reaction proceeds even at room temperature, but it is preferable to perform a heat treatment so that the polymerization reaction proceeds efficiently. The heat treatment is preferable when an epoxy compound or an episulfide compound that cures by an ionic reaction is used as the thiol reactive compound.

加熱処理の条件は、露光エネルギー、使用する光チオール発生剤から発生するチオールの種類、チオール反応性化合物の種類によって適宜決定すればよいが、加熱温度は50℃〜150℃の範囲内とすることが好ましく、60℃〜130℃の範囲内とすることが特に好ましい。また、加熱時間は10秒〜60分とすることが好ましく、60秒〜30分とすることが特に好ましい。これを露光部と未露光部とで溶解度に差を生じる溶媒中に浸漬して現像を行ってパターンを得ることができる。   The heat treatment conditions may be appropriately determined depending on the exposure energy, the type of thiol generated from the photothiol generator used, and the type of thiol-reactive compound, but the heating temperature should be in the range of 50 ° C to 150 ° C. Is preferable, and it is particularly preferable to set the temperature within the range of 60 ° C to 130 ° C. The heating time is preferably 10 seconds to 60 minutes, particularly preferably 60 seconds to 30 minutes. The pattern can be obtained by immersing this in a solvent that causes a difference in solubility between the exposed part and the unexposed part and developing.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要により、光等の活性エネルギー線によって塩基を発生する塩基発生剤(光塩基発生剤)や、塩基の作用で増殖的に塩基を発生する塩基増殖剤を含有させることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物に塩基発生剤や塩基増殖剤を含有させることにより、当該樹脂組成物の感度をさらに向上させることができる。特に、光が樹脂膜深部に到達しない場合(感光層が厚い場合や多量の染料や顔料を含む場合等。)には、表面層で光化学的に発生した塩基の作用、及び塩基増殖剤による塩基増殖反応が開始されることにより、熱化学的に、かつ連鎖的に塩基が生成するので、膜深部の塩基触媒反応を起こすことが期待できる。塩基発生剤や塩基増殖剤の添加は、イオン反応で硬化する、エポキシ系化合物やエピスルフィド系化合物をチオール反応性化合物として使用する場合に好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, a base generator that generates a base by an active energy ray such as light (photobase generator) or a base proliferator that generates a base proliferatively by the action of a base It is preferable to contain. The sensitivity of the resin composition can be further improved by adding a base generator or a base proliferating agent to the photosensitive resin composition of the present invention. In particular, when the light does not reach the deep part of the resin film (when the photosensitive layer is thick or contains a large amount of dye or pigment, etc.), the action of the photochemically generated base in the surface layer and the base by the base proliferating agent When the growth reaction is started, bases are generated thermochemically and in a chain manner, so that a base-catalyzed reaction in the deep part of the membrane can be expected. The addition of a base generator or a base proliferating agent is preferable when an epoxy compound or an episulfide compound that cures by an ionic reaction is used as a thiol reactive compound.

使用できる塩基発生剤としては、特に制限はなく、所定のカルボン酸と第1級アミン、第2級アミン、第3級アミン等のアミン、ピリジル基を含有する化合物、ヒドラジン化合物、アミド化合物、水酸化四級アンモニウム塩、メルカプト化合物、スルフィド化合物、ホスフィン化合物等の塩基からなるカルボン酸化合物等を使用することができ、例えば、特開2011−236416号公報等に記載される塩基発生剤等を使用することができる。塩基発生剤の添加量は、使用する光チオール発生剤やチオール反応性化合物等により適宜決定すればよいが、感光性樹脂組成物全体に対して0.1〜20質量%の範囲であることが好ましく、1〜10質量%の範囲内であることが特に好ましい。   The base generator that can be used is not particularly limited, and is a predetermined carboxylic acid and an amine such as a primary amine, secondary amine, or tertiary amine, a compound containing a pyridyl group, a hydrazine compound, an amide compound, water. Carboxylic acid compounds composed of bases such as quaternary ammonium oxide salts, mercapto compounds, sulfide compounds, and phosphine compounds can be used. For example, base generators described in JP 2011-236416 A are used. can do. Although the addition amount of a base generator should just be suitably determined with the photothiol generator to be used, a thiol reactive compound, etc., it is the range of 0.1-20 mass% with respect to the whole photosensitive resin composition. A range of 1 to 10% by mass is particularly preferable.

また、使用できる塩基増殖剤としては、特に制限はないが、例えば、特開2000−330270号公報、特開2002−128750号公報や、K.Arimitsu、M.Miyamoto and K.Ichimura,Angew.Chem.Int.Ed.,39,3425(2000)、等に開示される塩基増殖剤が挙げられる。塩基増殖剤の添加量は、使用する光チオール発生剤やチオール反応性化合物等により適宜決定すればよいが、感光性樹脂組成物全体に対して1〜40質量%の範囲であることが好ましく、5〜20質量%の範囲内であることが特に好ましい。   Further, the base proliferating agent that can be used is not particularly limited, and examples thereof include JP-A No. 2000-330270 and JP-A No. 2002-128750. Arimitsu, M.M. Miyamoto and K.M. Ichimura, Angew. Chem. Int. Ed. , 39, 3425 (2000), and the like. The addition amount of the base proliferating agent may be appropriately determined depending on the photothiol generator or thiol-reactive compound to be used, but is preferably in the range of 1 to 40% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition. A range of 5 to 20% by mass is particularly preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、感光波長領域を拡大し、感度を高めるべく、増感剤を添加することができる。使用できる増感剤としては、特に限定はないが、例えば、ベンゾフェノン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、p,p’−テトラエチルアミノベンゾフェノン、2−クロロチオキサントン、アントロン、9−エトキシアントラセン、アントラセン、ピレン、ペリレン、フェノチアジン、ベンジル、アクリジンオレンジ、ベンゾフラビン、セトフラビン−T、9,10−ジフェニルアントラセン、9−フルオレノン、アセトフェノン、フェナントレン、2−ニトロフルオレン、5−ニトロアセナフテン、ベンゾキノン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、N−アセチル−p−ニトロアニリン、p−ニトロアニリン、N−アセチル−4−ニトロ−1−ナフチルアミン、ピクラミド、アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、3−メチル−1,3−ジアザ−1,9−ベンズアンスロン、ジベンザルアセトン、1,2−ナフトキノン、3,3’−カルボニル−ビス(5,7−ジメトキシカルボニルクマリン)またはコロネン等が挙げられる。これらの増感剤は、1種類を単独で用いるようにしてもよく、また、2種類以上を組み合わせて使用するようにしてもよい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a sensitizer can be added in order to expand the photosensitive wavelength region and increase the sensitivity. The sensitizer that can be used is not particularly limited. For example, benzophenone, p, p′-tetramethyldiaminobenzophenone, p, p′-tetraethylaminobenzophenone, 2-chlorothioxanthone, anthrone, 9-ethoxyanthracene, anthracene. , Pyrene, perylene, phenothiazine, benzyl, acridine orange, benzoflavin, cetoflavin-T, 9,10-diphenylanthracene, 9-fluorenone, acetophenone, phenanthrene, 2-nitrofluorene, 5-nitroacenaphthene, benzoquinone, 2-chloro -4-nitroaniline, N-acetyl-p-nitroaniline, p-nitroaniline, N-acetyl-4-nitro-1-naphthylamine, picramide, anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2 tert-butylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 3-methyl-1,3-diaza-1,9-benzanthrone, dibenzalacetone, 1,2-naphthoquinone, 3,3′-carbonyl-bis (5 , 7-dimethoxycarbonylcoumarin) or coronene. These sensitizers may be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物において、増感剤の添加量は、使用する光チオール発生剤やチオール反応性化合物、及び必要とされる感度等により適宜決定すればよいが、感光性樹脂組成物全体に対して1〜30質量%の範囲であることが好ましい。増感剤が1質量%より少ないと、感度が十分に高められないことがある一方、増感剤が30質量%を超えると、感度を高めるのに過剰となることがある。増感剤の添加量は、感光性樹脂組成物全体に対して5〜20質量%の範囲であることが特に好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the addition amount of the sensitizer may be appropriately determined depending on the photothiol generator and thiol-reactive compound used, the required sensitivity, etc., but the photosensitive resin composition It is preferable that it is the range of 1-30 mass% with respect to the whole. If the sensitizer is less than 1% by mass, the sensitivity may not be sufficiently increased. On the other hand, if the sensitizer exceeds 30% by mass, the sensitivity may be excessive. The addition amount of the sensitizer is particularly preferably in the range of 5 to 20% by mass with respect to the entire photosensitive resin composition.

本発明の感光性樹脂組成物を所定の基材に塗布等する場合にあっては、必要により、溶媒を適宜含有するようにしてもよい。感光性樹脂組成物に溶媒を含有させることにより、塗布能力を高めることができ、作業性が良好となる。溶媒としては、特に限定はないが、例えば、ベンゼン、キシレン、トルエン、エチルベンゼン、スチレン、トリメチルベンゼン、ジエチルベンゼン等の芳香族炭化水素化合物;シクロヘキサン、シクロヘキセン、ジペンテン、n−ペンタン、イソペンタン、n−ヘキサン、イソヘキサン、n−ヘプタン、イソヘプタン、n−オクタン、イソオクタン、n−ノナン、イソノナン、n−デカン、イソデカン、テトラヒドロナフタレン、スクワラン等の飽和または不飽和炭化水素化合物;ジエチルエーテル、ジ−n−プロピルエーテル、ジ−イソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、エチルプロピルエーテル、ジフェニルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、p−メンタン、o−メンタン、m−メンタン;ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケトン、ジプロピルケトン、メチルアミルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸シクロヘキシル、酢酸メチルセロソルブ、酢酸エチルセロソルブ、酢酸ブチルセロソルブ、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、乳酸イソアミル、ステアリン酸ブチル等のエステル類等が挙げられる。これらの溶媒は、1種類を単独で用いるようにしてもよく、また、2種類以上を組み合わせて使用するようにしてもよい。   When the photosensitive resin composition of the present invention is applied to a predetermined substrate, a solvent may be appropriately contained as necessary. By including a solvent in the photosensitive resin composition, the coating ability can be increased, and workability is improved. The solvent is not particularly limited. For example, aromatic hydrocarbon compounds such as benzene, xylene, toluene, ethylbenzene, styrene, trimethylbenzene, and diethylbenzene; cyclohexane, cyclohexene, dipentene, n-pentane, isopentane, n-hexane, Saturated or unsaturated hydrocarbon compounds such as isohexane, n-heptane, isoheptane, n-octane, isooctane, n-nonane, isononane, n-decane, isodecane, tetrahydronaphthalene, squalane; diethyl ether, di-n-propyl ether, Di-isopropyl ether, dibutyl ether, ethyl propyl ether, diphenyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibuty Ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dibutyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dipropyl ether, ethylene glycol methyl ethyl Ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylcyclohexane, methylcyclohexane, p-menthane, o- Ethers such as dipropyl ether and dibutyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, diethyl ketone, dipropyl ketone, methyl amyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone and cycloheptanone; Examples thereof include esters such as ethyl acetate, methyl acetate, butyl acetate, propyl acetate, cyclohexyl acetate, methyl cellosolve, ethyl acetate cellosolve, butyl cellosolve, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, isoamyl lactate, and butyl stearate. One of these solvents may be used alone, or two or more of these solvents may be used in combination.

本発明の感光性樹脂組成物において、溶媒の含有量は、例えば、所定の基材上に感光性樹脂組成物を塗布し、感光性樹脂組成物による層を形成する際に、均一に塗工されるように適宜選択すればよい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent is, for example, uniformly applied when a photosensitive resin composition is applied on a predetermined substrate to form a layer of the photosensitive resin composition. The selection may be made as appropriate.

なお、本発明の感光性樹脂組成物には、本発明の目的及び効果を妨げない範囲において、添加剤を適宜添加するようにしてもよい。使用することができる添加剤としては、例えば、充填剤、顔料、染料、レベリング剤、消泡剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、pH調整剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、可塑剤、可塑促進剤、タレ防止剤、硬化促進剤、充填剤等が挙げられ、これらの1種類を単独で用いるようにしてもよく、2種類以上を組み合わせて使用するようにしてもよい。   In addition, you may make it add an additive suitably to the photosensitive resin composition of this invention in the range which does not inhibit the objective and effect of this invention. Examples of additives that can be used include fillers, pigments, dyes, leveling agents, antifoaming agents, antistatic agents, ultraviolet absorbers, pH adjusters, dispersants, dispersion aids, surface modifiers, Examples thereof include a plasticizer, a plastic accelerator, an anti-sagging agent, a curing accelerator, and a filler. One of these may be used alone, or two or more may be used in combination.

以上説明した本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の光チオール発生剤とチオール反応性化合物を含有することにより、硬化速度及び反応効率に優れたものとなり、硬化が速やかに実施され、硬化が十分になされる感光性樹脂組成物となる。また、含有される光チオール発生剤が、光環化反応によりチオールを発生するため、分解物として炭酸ガス(CO)の発生を伴うこともなく、凸凹のない、製品特性及び製品価値に優れた硬化膜を簡便に提供することができる。かかる効果を奏する本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、高感度の光硬化材料やレジスト材料(パターン形成材料)等に好適に用いることができる。 The photosensitive resin composition of the present invention described above contains a photothiol generator and a thiol-reactive compound of the present invention, so that it has excellent curing speed and reaction efficiency, and curing is carried out quickly and cured. It becomes the photosensitive resin composition which is made sufficiently. In addition, since the contained photothiol generator generates thiol by a photocyclization reaction, carbon dioxide gas (CO 2 ) is not generated as a decomposition product, and there is no unevenness, and product characteristics and product value are excellent. A cured film can be provided simply. The photosensitive resin composition of the present invention exhibiting such effects can be suitably used for, for example, a highly sensitive photocuring material, resist material (pattern forming material), and the like.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、揮発性有機化合物(Volatile Organic Compounds:VOC)も極めて少ないUV硬化系樹脂となり、環境適応性にも優れるものとなる。そして、光の照射により反応の進行を制御できるので、光硬化材料として使用してもポットライフが長く保存安定性に優れる感光性樹脂組成物となる。   In addition, the photosensitive resin composition of the present invention is a UV curable resin with extremely low volatile organic compounds (VOC), and is excellent in environmental adaptability. And since progress of reaction can be controlled by irradiation of light, even if it uses as a photocuring material, it becomes a photosensitive resin composition which has a long pot life and is excellent in storage stability.

光硬化材料として適用された成形体は、耐熱性、寸法安定性、絶縁性等の特性が有効とされる分野の部材等として、例えば、塗料または印刷インキ、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材または建築材料の構成部材として広く用いられ、印刷物、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材または建築部材等が提供される。また、形成されたパターン等は、耐熱性や絶縁性を備え、例えば、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、電子部品、半導体装置、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、その他の光学部材または電子部材として有利に使用することができる。   The molded body applied as a photo-curing material can be used as a member in a field where characteristics such as heat resistance, dimensional stability, and insulation are effective, for example, paint or printing ink, color filter, film for flexible display, semiconductor, etc. Widely used as equipment, electronic parts, interlayer insulation films, wiring coating films, optical circuits, optical circuit parts, antireflection films, holograms, optical members or building materials, printed materials, color filters, films for flexible displays, A semiconductor device, an electronic component, an interlayer insulating film, a wiring coating film, an optical circuit, an optical circuit component, an antireflection film, a hologram, an optical member, a building member, or the like is provided. In addition, the formed pattern has heat resistance and insulation, for example, color filters, flexible display films, electronic components, semiconductor devices, interlayer insulating films, wiring coating films, optical circuits, optical circuit components, reflective It can be advantageously used as a protective film, other optical member or electronic member.

以下、実施例に基づき本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、かかる実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further in detail based on an Example, this invention is not limited to this Example at all.

[実施例1]
光チオール発生剤の製造(1):
下記(1)〜(3)の操作を用いて、式(X−1)に示す光チオール発生剤を製造した。
[Example 1]
Production of photothiol generator (1):
Using the operations (1) to (3) below, a photothiol generator represented by the formula (X-1) was produced.

(1)中間体(1)の製造:
100mlナスフラスコに2−(トリフェニルホスホラニリデン)プロピオン酸エチル21.0g(58×10−3mol)を溶媒である脱水ベンゼン200mlに入れ、常温で溶解させた。溶解させた後、サリチルアルデヒド10.0g(82×10−3mol)を加え、常温で6時間攪拌して溶解させた。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムで希釈した。飽和食塩水で3回洗浄後、無水硫酸マグネシウムで有機層を乾燥させた。溶媒留去後、酢酸エチルとn−ヘキサンを酢酸エチル/ヘキサン=1/4の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、減圧乾燥後、下記式(H−1)に示した中間体(1)の白色固体を収量11.0g、収率94%で得た。
(1) Production of intermediate (1):
In a 100 ml eggplant flask, 21.0 g (58 × 10 −3 mol) of ethyl 2- (triphenylphosphoranylidene) propionate was placed in 200 ml of dehydrated benzene as a solvent and dissolved at room temperature. After dissolution, 10.0 g (82 × 10 −3 mol) of salicylaldehyde was added and dissolved by stirring for 6 hours at room temperature. After completion of the reaction, the solvent was distilled off and diluted with chloroform. After washing three times with saturated saline, the organic layer was dried over anhydrous magnesium sulfate. After evaporation of the solvent, ethyl acetate and n-hexane were separated by column chromatography using a developing solvent of ethyl acetate / hexane = 1/4, dried under reduced pressure, and then an intermediate represented by the following formula (H-1) ( The white solid of 1) was obtained in a yield of 11.0 g and a yield of 94%.

(2)中間体(2)の製造:
500mlナスフラスコに(1)で得られた中間体(1)11.0g(53×10−3mol)を入れ、エタノール150mlを加えて溶解させた。溶解後、水60ml、水酸化カリウム(KOH)14.0g(250×10−3mol)を加え、5時間還流加熱した。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムで希釈し、5質量%の塩酸水溶液でpHが3〜5になるまで洗浄した。溶媒留去、減圧乾燥後、下記式(H−2)に示した中間体(2)の白色固体を収量10.0g、収率98%で得た。
(2) Production of intermediate (2):
11.0 g (53 × 10 −3 mol) of the intermediate (1) obtained in (1) was placed in a 500 ml eggplant flask, and 150 ml of ethanol was added and dissolved. After dissolution, 60 ml of water and 14.0 g (250 × 10 −3 mol) of potassium hydroxide (KOH) were added and heated at reflux for 5 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled off, diluted with chloroform, and washed with a 5 mass% hydrochloric acid aqueous solution until the pH reached 3-5. After distilling off the solvent and drying under reduced pressure, a white solid of the intermediate (2) represented by the following formula (H-2) was obtained in a yield of 10.0 g and a yield of 98%.

(3)光チオール発生剤(1)の製造:
100mlナスフラスコに(2)で得られた中間体(2)0.48g(2.7×10−3mol)、脱水テトラヒドロフラン(THF)20mlを入れ常温で溶解させた。溶解後、1−エチル−3−(3−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(EDAC)0.60g(3.17×10−3mol)を加え攪拌した後、下記式(T−1)の多官能チオールである2−エチルヘキシルチオグリコレート0.60g(2.9×10−3mol)を入れて常温で3時間攪拌した。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムとアセトンをクロロホルム/アセトン=40/1の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、前記式(X−1)で表される光チオール発生剤の黄色粘性液体を収量0.69g、全収率64%で得た。
(3) Production of photothiol generator (1):
In a 100 ml eggplant flask, 0.48 g (2.7 × 10 −3 mol) of the intermediate (2) obtained in (2) and 20 ml of dehydrated tetrahydrofuran (THF) were added and dissolved at room temperature. After dissolving, 0.60 g (3.17 × 10 −3 mol) of 1-ethyl-3- (3-dimethylaminopropyl) carbodiimide hydrochloride (EDAC) was added and stirred, and then a mixture of the following formula (T-1) was added. 0.60 g (2.9 × 10 −3 mol) of 2-ethylhexyl thioglycolate, which is a functional thiol, was added and stirred at room temperature for 3 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled off, and chloroform and acetone were separated by column chromatography using a developing solvent of chloroform / acetone = 40/1. The yellow viscosity of the photothiol generator represented by the formula (X-1) A liquid was obtained with a yield of 0.69 g and a total yield of 64%.

[実施例2]
光チオール発生剤の製造(2):
500mlナスフラスコに実施例1(2)で得られた中間体(2)4.1g(23×10−3mol)、脱水テトラヒドロフラン(THF)100mlを入れ常温で溶解させた。溶解後、1−エチル−3−(3−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(EDAC)4.5g(23×10−3mol)を加え攪拌した後、下記式(T−2)の多官能チオールである1,4−ビス(メルカプトメチル)ベンゼン1.9g(11×10−3mol)を入れて常温で4時間攪拌した。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムとアセトンをクロロホルム/アセトン=40/1の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、前記式(X−2)で表される光チオール発生剤の黄色粘性液体を収量2.0g、全収率32%で得た。
[Example 2]
Production of photothiol generator (2):
In a 500 ml eggplant flask, 4.1 g (23 × 10 −3 mol) of intermediate (2) obtained in Example 1 (2) and 100 ml of dehydrated tetrahydrofuran (THF) were added and dissolved at room temperature. After dissolution, 4.5 g (23 × 10 −3 mol) of 1-ethyl-3- (3-dimethylaminopropyl) carbodiimide hydrochloride (EDAC) was added and stirred, and then the polyfunctional thiol of the following formula (T-2) 1,4-bis (mercaptomethyl) benzene 1.9 g (11 × 10 −3 mol) was added and stirred at room temperature for 4 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled off, and chloroform and acetone were separated by column chromatography using a developing solvent of chloroform / acetone = 40/1. The yellow viscosity of the photothiol generator represented by the formula (X-2) A liquid was obtained in a yield of 2.0 g and a total yield of 32%.

[実施例3]
光チオール発生剤の製造(3):
300mlナスフラスコに実施例1(2)で得られた中間体(2)2.0g(11×10−3mol)、脱水テトラヒドロフラン(THF)50mlを入れ常温で溶解させた。溶解後、1−エチル−3−(3−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(EDAC)2.2g(11×10−3mol)を加え攪拌した後、下記式(T−3)の多官能チオールである3,6−ジオキサ−1,8−オクタンジチオール1.0g(5.5×10−3mol)を入れて常温で4時間攪拌した。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムとアセトンをクロロホルム/アセトン=13/1の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、前記式(X−3)で表される光チオール発生剤の白色固体を収量0.55g、全収率18%で得た。
[Example 3]
Production of photothiol generator (3):
A 300 ml eggplant flask was charged with 2.0 g (11 × 10 −3 mol) of the intermediate (2) obtained in Example 1 (2) and 50 ml of dehydrated tetrahydrofuran (THF) and dissolved at room temperature. After dissolution, 2.2 g (11 × 10 −3 mol) of 1-ethyl-3- (3-dimethylaminopropyl) carbodiimide hydrochloride (EDAC) was added and stirred, and then the polyfunctional thiol represented by the following formula (T-3) 3,6-dioxa-1,8-octanedithiol 1.0 g (5.5 × 10 −3 mol) was added and stirred at room temperature for 4 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled off, and chloroform and acetone were separated by column chromatography using a developing solvent of chloroform / acetone = 13/1, and a white solid of the photothiol generator represented by the formula (X-3) Was obtained in a yield of 0.55 g and a total yield of 18%.

[実施例4]
光チオール発生剤の製造(4):
500mlナスフラスコに実施例1(2)で得られた中間体(2)4.0g(22×10−3mol)、脱水テトラヒドロフラン(THF)100mlを入れ常温で溶解させた。溶解後、1−エチル−3−(3−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(EDAC)4.5g(23×10−3mol)を加え攪拌した後、下記式(T−4)の多官能チオールであるトリス−[(3−メルカプトプロピオニルオキシ)−エチル]−イソシアヌレート3.9g(7.4×10−3mol)を入れて室温で7時間攪拌した。反応終了後、溶媒留去しクロロホルムとアセトンをクロロホルム/アセトン=20/1の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、前記式(X−4)で表される光チオール発生剤の白色固体を収量2.5g、全収率31%で得た。
[Example 4]
Production of photothiol generator (4):
In a 500 ml eggplant flask, 4.0 g (22 × 10 −3 mol) of intermediate (2) obtained in Example 1 (2) and 100 ml of dehydrated tetrahydrofuran (THF) were added and dissolved at room temperature. After dissolution, 4.5 g (23 × 10 −3 mol) of 1-ethyl-3- (3-dimethylaminopropyl) carbodiimide hydrochloride (EDAC) was added and stirred, and then the polyfunctional thiol of the following formula (T-4) 3.9 g (7.4 × 10 −3 mol) of tris-[(3-mercaptopropionyloxy) -ethyl] -isocyanurate was added and stirred at room temperature for 7 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled off, and chloroform and acetone were separated by column chromatography using a developing solvent of chloroform / acetone = 20/1, and a white solid of the photothiol generator represented by the formula (X-4) Was obtained in a yield of 2.5 g and a total yield of 31%.

[実施例5]
光チオール発生剤の製造(5):
300mlナスフラスコに実施例1(2)で得られた中間体(2)2.9g(16×10−3mol)、脱水テトラヒドロフラン(THF)50mlを入れ常温で溶解させた。溶解後、1−エチル−3−(3−ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(EDAC)2.8g(17×10−3mol)及び下記式(T−5)の多官能チオールであるペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)1.9g(3.8×10−3mol)を入れて常温で24時間攪拌した後、溶媒留去しクロロホルムとアセトンをクロロホルム/アセトン=10/1の展開溶媒を用いてカラムクロマトグラフィーにより分離し、前記式(X−5)で表される光チオール発生剤の白色固体を収量0.56g、全収率12%で得た。
[Example 5]
Production of photothiol generator (5):
In a 300 ml eggplant flask, 2.9 g (16 × 10 −3 mol) of the intermediate (2) obtained in Example 1 (2) and 50 ml of dehydrated tetrahydrofuran (THF) were added and dissolved at room temperature. After dissolution, 2.8 g (17 × 10 −3 mol) of 1-ethyl-3- (3-dimethylaminopropyl) carbodiimide hydrochloride (EDAC) and pentaerythritol tetrakis which is a polyfunctional thiol of the following formula (T-5) 1.9 g (3.8 × 10 −3 mol) of (3-mercaptopropionate) was added and stirred at room temperature for 24 hours, and then the solvent was distilled off to remove chloroform and acetone from chloroform / acetone = 10/1. Was used for separation by column chromatography to obtain a white solid of the photothiol generator represented by the formula (X-5) in a yield of 0.56 g and a total yield of 12%.

[試験例1]
有機溶剤に対する溶解性の確認:
実施例2ないし実施例5で得られた光チオール発生剤の有機溶剤に対する溶解性を確認した。結果を図1に示す。溶解性は、光チオール発生剤0.01gに対して溶解する溶媒量を確認した。図1中、溶解量の結果を、溶媒量が1ml未満の場合「++」、1ml以上5ml未満の場合「+」、5ml以上10ml未満の場合「−」、10ml以上の場合「−−」として示した。
[Test Example 1]
Confirmation of solubility in organic solvents:
The solubility of the photothiol generator obtained in Examples 2 to 5 in an organic solvent was confirmed. The results are shown in FIG. The solubility confirmed the amount of solvent melt | dissolved with respect to 0.01 g of photothiol generators. In FIG. 1, the result of the dissolution amount is expressed as “++” when the amount of solvent is less than 1 ml, “+” when it is 1 ml or more and less than 5 ml, “−” when it is 5 ml or more and less than 10 ml, and “−” when it is 10 ml or more. Indicated.

図1は、実施例2ないし実施例5で得られた光チオール発生剤の有機溶剤に対する溶解性を示した図である。図1に示すように、得られた全ての光チオール発生剤は、テトラヒドロフラン(THF)にも良好な溶解性を示した。また、実施例3の光チオール発生剤は、シクロヘキサンやMEKにも溶解性を示し、実施例2、実施例4及び実施例5の光チオール発生剤は良好な溶解性を示す有機溶剤が他にもいくつかあることが確認できた。   FIG. 1 is a graph showing the solubility of the photothiol generator obtained in Examples 2 to 5 in an organic solvent. As shown in FIG. 1, all the obtained photothiol generators also showed good solubility in tetrahydrofuran (THF). In addition, the photothiol generator of Example 3 is soluble in cyclohexane and MEK, and the photothiol generators of Examples 2, 4 and 5 are organic solvents that exhibit good solubility. There were also some confirmed.

[試験例2]
光分解挙動の確認(UVスペクトル測定):
実施例2ないし実施例5で得られた光チオール発生剤について、溶媒としてメタノールを用いて、下記の測定法を用いて光分解挙動の確認を行った。
[Test Example 2]
Confirmation of photodegradation behavior (UV spectrum measurement):
About the photothiol generator obtained in Example 2 thru | or Example 5, methanol was used as a solvent and the photodegradation behavior was confirmed using the following measuring method.

(測定方法)
2.0×10−5mol/lとした実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤のメタノール溶液に波長が254nm、313nm及び365nmの光を照射し、紫外可視分光光度計(MultiSpec−1500/(株)島津製作所製)を用いてUVスペクトルの経時変化を確認した。
(Measuring method)
A methanol solution of the photothiol generator of Example 2 to Example 5 at 2.0 × 10 −5 mol / l was irradiated with light having wavelengths of 254 nm, 313 nm, and 365 nm, and an ultraviolet-visible spectrophotometer (MultiSpec-1500). (Manufactured by Shimadzu Corporation) was used to confirm the change with time of the UV spectrum.

UVスペクトルの経時変化を確認したところ、実施例2ないし実施例5で得られた光チオール発生剤は、光照射の露光量に伴って吸収が変化して、光分解挙動が確認できた。なお、実施例2では277nm及び318nm、実施例3では272nm及び317nm、実施例4及び実施例5では277nm及び322nmにピークが確認できるが、実施例2における318nm、実施例3における317nm、実施例4及び実施例5における322nm付近のピークは、環化反応を起こすときに発生するピークであり、実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤は露光により光環化反応が行われていることが確認できた。   When the time-dependent change of the UV spectrum was confirmed, the photothiol generator obtained in Example 2 to Example 5 was changed in absorption with the exposure amount of light irradiation, and the photodegradation behavior was confirmed. In Example 2, peaks can be confirmed at 277 nm and 318 nm, in Example 3 at 272 nm and 317 nm, and in Examples 4 and 5, the peaks at 277 nm and 322 nm can be confirmed, but at 318 nm in Example 2, 317 nm in Example 3, The peak near 322 nm in 4 and Example 5 is a peak generated when a cyclization reaction occurs, and the photothiol generators of Examples 2 to 5 are subjected to a photocyclization reaction by exposure. It could be confirmed.

なお、図2ないし図4は、実施例2ないし実施例5の光チオール発生剤における、波長254nm光、313nm光及び365nm光での光分解挙動を比較した図である(図2は254nm光、図3は313nm光、図4は365nm光の結果である。)。   2 to 4 are diagrams comparing the photodegradation behaviors of the photothiol generators of Examples 2 to 5 with wavelengths of 254 nm light, 313 nm light, and 365 nm light (FIG. 2 shows 254 nm light, FIG. 3 shows the result of 313 nm light, and FIG. 4 shows the result of 365 nm light.

光分解挙動の確認(光環化物の特定):
前記の光分解挙動に際して生成される光環化物を特定した。50mlバイアルに実施例2の光チオール発生剤を0.10g、テトラヒドロフラン(THF)を30ml入れ、波長が365nmの光を照射し、露光後の光環化物をカラムクロマトグラフィーにより単離して、白色固体を収量0.060g、収率92%で得た。単離した化合物H−NMRスペクトル及びその帰属結果より、実施例2の光チオール発生剤は光の照射により環化反応を起こし、その環化物は3−メチルクマリンであることが確認できた。
Confirmation of photodegradation behavior (identification of photocyclized product):
The photocyclized product produced during the photodegradation behavior was identified. 0.10 g of the photothiol generator of Example 2 and 30 ml of tetrahydrofuran (THF) were placed in a 50 ml vial, irradiated with light having a wavelength of 365 nm, and the photocyclized product after exposure was isolated by column chromatography to obtain a white solid. The yield was 0.060 g and the yield was 92%. From the isolated compound 1 H-NMR spectrum and the results of its assignment, it was confirmed that the photothiol generator of Example 2 caused a cyclization reaction by irradiation with light, and the cyclized product was 3-methylcoumarin.

[試験例3]
高分子固体中の光分解挙動の確認:
ポリテトラヒドロフラン(ポリテトラメチレンエーテルグリコール)(PTMG)0.10gに対して、実施例2で得られた光チオール発生剤0.04g(PTMG100質量部に対して40質量部)(8.2×10−5mol)を含有させることにより感光性樹脂組成物とした。かかる感光性樹脂組成物を、テトラヒドロフラン(THF)1.0gに溶解させて試料溶液とし、この試料溶液を1000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、
1.0μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を、露光量を0〜20480mJ/cm2として照射し、反応をFT−IRで反応追跡した。実施例3及び実施例4の光チオール発生剤についても同様な操作を行い、反応をFT−IRで追跡した。なお、実施例3の光チオール発生剤は0.041g(PTMG100質量部に対して41質量部)、実施例4の光チオール発生剤は0.082g(PTMG100質量部に対して82質量部)とした。
[Test Example 3]
Confirmation of photodegradation behavior in polymer solids:
0.04 g of photothiol generator obtained in Example 2 (40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PTMG) with respect to 0.10 g of polytetrahydrofuran (polytetramethylene ether glycol) (PTMG) (8.2 × 10 −5 mol) was added to obtain a photosensitive resin composition. Such a photosensitive resin composition is dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF) to form a sample solution. This sample solution is spin-coated on a silicon wafer at 1000 rpm for 30 seconds, and prebaked at 80 ° C. for 30 seconds on a hot plate. By doing
A 1.0 μm film was prepared. This film was irradiated with 365 nm monochromatic light at an exposure amount of 0-20480 mJ / cm 2, and the reaction was monitored by FT-IR. The same operation was performed for the photothiol generators of Example 3 and Example 4, and the reaction was followed by FT-IR. The photothiol generator of Example 3 was 0.041 g (41 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PTMG), and the photothiol generator of Example 4 was 0.082 g (82 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PTMG). did.

なお、追跡したのは、実施例2ないし実施例4の光チオール発生剤の分解によるカルボニル基(C=O)とヒドロキシ基(−OH)のピークの減少、また、生成すると予想される環化物(クマリン)のカルボニル基(C=O)とチオールのメルカプト基(−SH)のピークの増加である。   In addition, what was traced was a decrease in the peaks of the carbonyl group (C═O) and the hydroxy group (—OH) due to the decomposition of the photothiol generator of Examples 2 to 4, and the cyclized product expected to be produced. It is an increase in the peak of the carbonyl group (C = O) of (coumarin) and the mercapto group (-SH) of thiol.

IRスペクトルを追跡した結果、波長365nm光により実施例2ないし実施例4が分解し、前記した予想される環化物とチオールが発生していることが確認できた。また、発生した光環化物のカルボニル基のピークが露光量を多くすることで減少した。これは、365nm光によってクマリン環が二量化したためであると考えられる。なお、実施例2ないし実施例4の光チオール発生剤はどれも約1000mJ/cmで分解が完了した。 As a result of tracking the IR spectrum, it was confirmed that Example 2 to Example 4 were decomposed by light having a wavelength of 365 nm, and the expected cyclized product and thiol were generated. In addition, the peak of the carbonyl group of the generated photocyclized product decreased as the exposure amount was increased. This is probably because the coumarin ring was dimerized by 365 nm light. The decomposition of all the photothiol generators of Examples 2 to 4 was completed at about 1000 mJ / cm 2 .

[実施例6]
感光性樹脂組成物の製造(1):
式(No.4−12)に表されるエポキシ系化合物であるポリグリシジルメタクリレート(PGMA,M=11000g/mol、M/M=1.8)0.10gに対して、実施例2で得られた光チオール発生剤を0.01g(実施例6−1)、0.02g(実施例6−2)、0.03g(実施例6−3)、0.04g(実施例6−4)(順に、PGMA100質量部に対して10.0、20.0、30.0、40.0質量部)(PGMAのモノマーユニットに対して3.0、6.0、9.0、12.0mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。
[Example 6]
Production of photosensitive resin composition (1):
Example 2 with respect to 0.10 g of polyglycidyl methacrylate (PGMA, M W = 11000 g / mol, M W / M n = 1.8) which is an epoxy compound represented by the formula (No. 4-12) 0.01 g (Example 6-1), 0.02 g (Example 6-2), 0.03 g (Example 6-3), 0.04 g (Example 6) 4) (Sequentially 10.0, 20.0, 30.0, 40.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PGMA) (3.0, 6.0, 9.0, 12 with respect to the monomer unit of PGMA) (0.0 mol%), the photosensitive resin composition of the present invention was obtained.

[実施例7]
感光性樹脂組成物の製造(2):
式(No.4−12)に表されるエポキシ系化合物であるポリグリシジルメタクリレート(PGMA,M=11000g/mol、M/M=1.8)0.10gに対して、実施例3で得られた光チオール発生剤を0.01g(実施例7−1)、0.02g(実施例7−2)、0.03g(実施例7−3)、0.04g(実施例7−4)(順に、PGMA100質量部に対して10.0、20.0、30.0、40.0質量部)(PGMAのモノマーユニットに対して3.0、6.0、9.0、12.0mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。
[Example 7]
Production of photosensitive resin composition (2):
Example 3 with respect to 0.10 g of polyglycidyl methacrylate (PGMA, M W = 11000 g / mol, M W / M n = 1.8) which is an epoxy compound represented by the formula (No. 4-12) 0.01 g (Example 7-1), 0.02 g (Example 7-2), 0.03 g (Example 7-3), 0.04 g (Example 7-) 4) (Sequentially 10.0, 20.0, 30.0, 40.0 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PGMA) (3.0, 6.0, 9.0, 12 with respect to the monomer unit of PGMA) (0.0 mol%), the photosensitive resin composition of the present invention was obtained.

[試験例4]
光不溶化挙動の確認(1)(加熱時間依存性):
実施例6−3で得られた感光性樹脂組成物を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ0.5μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を100℃として30分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。なお、照度は10mW/cmとした(以下、試験例5〜試験例9について同じ。)。そして、同様な操作を、ポストベイクの時間を45分間、及び60分間に変化させて実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図5(A)に示す。
[Test Example 4]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (1) (depending on heating time):
The photosensitive resin composition obtained in Example 6-3 was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds, and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to produce a film having a thickness of 0.5 μm. This film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 100 ° C. for 30 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. The illuminance was 10 mW / cm 2 (the same applies to Test Examples 5 to 9 below). The same operation was performed with the post-baking time changed to 45 minutes and 60 minutes, and the relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film ratio was created for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG.

[試験例5]
光不溶化挙動の確認(2)(添加量依存性):
実施例6−1で得られた感光性樹脂組成物(PGMAのモノマーユニットに対して3.0mol%のもの)を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ0.5μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を100℃として60分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。そして、同様な操作を、実施例6−2(同様に6.0mol%のもの)、実施例6−3(同様に9.0mol%のもの)、実施例6−4(同様に12.0mol%のもの)で得られた感光性樹脂組成物に対して実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図5(B)に示す。
[Test Example 5]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (2) (depending on addition amount):
The photosensitive resin composition obtained in Example 6-1 (3.0 mol% with respect to the monomer unit of PGMA) was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds, and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to produce a film having a thickness of 0.5 μm. The film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 100 ° C. for 60 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. Then, the same operations were performed as in Example 6-2 (similarly 6.0 mol%), Example 6-3 (similarly 9.0 mol%), and Example 6-4 (similarly 12.0 mol%). %)), And the relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film ratio was prepared for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG.

[試験例6]
光不溶化挙動の確認(3)(加熱温度依存性):
実施例6−3で得られた感光性樹脂組成物を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ約0.5
μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を90℃として60分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。そして、同様な操作を、ポストベイクの温度100℃及び110℃に変化させて実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図5(C)に示す。
[Test Example 6]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (3) (depending on heating temperature):
The photosensitive resin composition obtained in Example 6-3 was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to obtain a thickness of about 0.5
A μm film was prepared. This film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 90 ° C. for 60 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. The same operation was performed while changing the post-baking temperature to 100 ° C. and 110 ° C., and the relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film ratio was created for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG.

[試験例7]
光不溶化挙動の確認(4)(加熱時間依存性):
実施例7−3で得られた感光性樹脂組成物を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ0.5μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を100℃として30分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。そして、同様な操作を、ポストベイクの時間を45分間、及び60分間に変化させて実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図6(A)に示す。図6(A)に示すように、露光量が0〜100mJ/cmの範囲では、露光量を大きくし、加熱時間を増加させるにつれてポリグリシジルメタクリレート(PGMA)の不溶化効率が向上することが確認できた。
[Test Example 7]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (4) (depending on heating time):
The photosensitive resin composition obtained in Example 7-3 was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds, and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to produce a film having a thickness of 0.5 μm. This film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 100 ° C. for 30 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. The same operation was performed with the post-baking time changed to 45 minutes and 60 minutes, and the relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film ratio was created for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG. As shown in FIG. 6 (A), it is confirmed that the insolubilization efficiency of polyglycidyl methacrylate (PGMA) is improved as the exposure amount is increased and the heating time is increased in the range of 0 to 100 mJ / cm 2. did it.

[試験例8]
光不溶化挙動の確認(5)(添加量依存性):
実施例7−2で得られた感光性樹脂組成物(PGMAのモノマーユニットに対して3.0mol%のもの)を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ0.5μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を100℃として60分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。そして、同様な操作を、実施例7−3(同様に9.0mol%のもの)、実施例7−4(同様に12.0mol%のもの)で得られた感光性樹脂組成物に対して実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図6(B)に示す。図6(B)に示すように、露光量が0〜100mJ/cmの範囲では、露光量を大きくし、光チオール発生剤の添加量を増加させるにつれてポリグリシジルメタクリレート(PGMA)の不溶化効率が向上することが確認できた。
[Test Example 8]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (5) (depending on addition amount):
The photosensitive resin composition (3.0 mol% based on the monomer unit of PGMA) obtained in Example 7-2 was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds, and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to produce a film having a thickness of 0.5 μm. The film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 100 ° C. for 60 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. The same operation was performed on the photosensitive resin composition obtained in Example 7-3 (similarly 9.0 mol%) and Example 7-4 (similarly 12.0 mol%). The relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film rate was prepared for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG. As shown in FIG. 6 (B), in the range of 0 to 100 mJ / cm 2 , the insolubilization efficiency of polyglycidyl methacrylate (PGMA) increases as the exposure amount is increased and the addition amount of the photothiol generator is increased. It was confirmed that it improved.

[試験例9]
光不溶化挙動の確認(6)(加熱温度依存性):
実施例7−3で得られた感光性樹脂組成物を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液を3000rpmで30秒間シリコンウェハ上にスピンコートし、ホットプレート上にて80℃で30秒間プリベイクすることにより、厚さ約0.5μmの膜を作製した。この膜に365nmの単色光を照射し、ポストベイクの温度を90℃として60分間実施し、テトラヒドロフラン(THF)で30秒間現像し、残っている膜の厚さを測定した。そして、同様な操作を、ポストベイクの温度100℃及び110℃に変化させて実施し、それぞれについて露光量と残膜率との関係(感度曲線)を作成した。得られた感度曲線を図6(C)に示す。図6(C)に示すように、露光量が0〜100mJ/cmの範囲では、露光量を大きくし、加熱温度を増加させるにつれてポリグリシジルメタクリレート(PGMA)の不溶化効率が向上することが確認できた。
[Test Example 9]
Confirmation of photoinsolubilization behavior (6) (depending on heating temperature):
The photosensitive resin composition obtained in Example 7-3 was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). This sample solution was spin-coated on a silicon wafer at 3000 rpm for 30 seconds, and prebaked on a hot plate at 80 ° C. for 30 seconds to produce a film having a thickness of about 0.5 μm. This film was irradiated with 365 nm monochromatic light, post-baked at 90 ° C. for 60 minutes, developed with tetrahydrofuran (THF) for 30 seconds, and the thickness of the remaining film was measured. The same operation was performed while changing the post-baking temperature to 100 ° C. and 110 ° C., and the relationship (sensitivity curve) between the exposure amount and the remaining film ratio was created for each. The obtained sensitivity curve is shown in FIG. As shown in FIG. 6 (C), it is confirmed that the insolubilization efficiency of polyglycidyl methacrylate (PGMA) increases as the exposure amount is increased and the heating temperature is increased in the range of 0 to 100 mJ / cm 2. did it.

[実施例8]
感光性樹脂組成物の製造(3):
エポキシ系化合物であるソルビトールポリグリシジルエーテル(デナコールEX−622:ナガセケムテック(株)製)0.10gに対して、実施例2で得られた光チオール発生剤を0.096g(実施例8−1)、0.24g(実施例8−2)、0.36g(実施例8−3)(順に、EX−622の100質量部に対して96、240、360質量部)(EX−622に対して150、200、300mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。
[Example 8]
Production of photosensitive resin composition (3):
0.096 g (Example 8-) of the photothiol generator obtained in Example 2 with respect to 0.10 g of sorbitol polyglycidyl ether (Denacol EX-622: manufactured by Nagase ChemteX Corp.) which is an epoxy compound. 1), 0.24 g (Example 8-2), 0.36 g (Example 8-3) (in order, 96, 240, 360 parts by mass with respect to 100 parts by mass of EX-622) (in EX-622 The photosensitive resin composition of the present invention was obtained by containing 150, 200, and 300 mol%).

[実施例9]
感光性樹脂組成物の製造(4):
エポキシ系化合物であるソルビトールポリグリシジルエーテル(デナコールEX−622:ナガセケムテック(株)製)0.10gに対して、実施例4で得られた光チオール発生剤を0.37g(実施例9−1)、0.50g(実施例9−2)、0.74g(実施例9−3)(順に、EX−622の100質量部に対して370、500、740質量部)(PGMAのモノマーユニットに対して150、200、300mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。
[Example 9]
Production of photosensitive resin composition (4):
0.37 g (Example 9-) of the photothiol generator obtained in Example 4 with respect to 0.10 g of sorbitol polyglycidyl ether (Denacol EX-622: manufactured by Nagase ChemteX Corp.) which is an epoxy compound. 1), 0.50 g (Example 9-2), 0.74 g (Example 9-3) (in order, 370, 500, 740 parts by mass with respect to 100 parts by mass of EX-622) (monomer unit of PGMA) The photosensitive resin composition of the present invention was obtained by adding 150, 200, and 300 mol%).

[試験例10]
硬化試験(添加量依存性)(1):
実施例8−1で得られた感光性樹脂組成物(エポキシ系化合物のモノマーユニットに対して150mol%のもの)を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液フッ化カルシウム(CaF)上にバーコートして製膜し、80℃で30秒分間加熱してプリベイクし、厚さ15μmの塗膜を調製した。この塗膜に365nmの単色光を、露光量を0(ブランク)、10、100、500、1000及び10000mJ/cmとして、120℃で60分間加熱後の塗膜の硬度をJIS K5600−5−4に準拠して鉛筆硬度測定を行い、比較・評価した。そして、同様な操作を、実施例8−2(同様に200mol%のもの)、実施例8−3(同様に300mol%のもの)で得られた感光性樹脂組成物に対して実施した。結果を図7に示す。
[Test Example 10]
Curing test (addition amount dependency) (1):
The photosensitive resin composition obtained in Example 8-1 (150 mol% with respect to the monomer unit of the epoxy compound) was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). A film was formed by bar coating on this sample solution calcium fluoride (CaF 2 ), and prebaked by heating at 80 ° C. for 30 seconds to prepare a coating film having a thickness of 15 μm. The coating film was heated to 120 ° C. for 60 minutes at JIS K5600-5 with a monochromatic light of 365 nm applied to this coating film with an exposure amount of 0 (blank), 10, 100, 500, 1000 and 10000 mJ / cm 2. The pencil hardness was measured according to 4 and compared and evaluated. And the same operation was implemented with respect to the photosensitive resin composition obtained in Example 8-2 (similarly 200 mol% thing) and Example 8-3 (similarly 300 mol% thing). The results are shown in FIG.

図7は、試験例10における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。0〜100mJ/cmの範囲では、露光量を大きくし、添加量を多くするに従って硬化が進行することが確認できた。 FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 10. In the range of 0 to 100 mJ / cm 2 , it was confirmed that the curing progressed as the exposure amount was increased and the addition amount was increased.

[試験例11]
硬化試験(添加量依存性)(2):
実施例9−1で得られた感光性樹脂組成物(エポキシ系化合物のモノマーユニットに対して150mol%のもの)を1.0gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させた。この試料溶液フッ化カルシウム(CaF)上にバーコートして製膜し、80℃で30秒間加熱してプリベイクし、厚さ15μmの塗膜を調製した。この塗膜に365nmの単色光を、露光量を0(ブランク)、10、100、500、1000及び10000mJ/cmとして、120℃で60分間加熱後の塗膜の硬度をJIS K5600−5−4に準拠して鉛筆硬度測定を行い、比較・評価した。そして、同様な操作を、実施例9−2(同様に200mol%のもの)、実施例9−3(同様に300mol%のもの)で得られた感光性樹脂組成物に対して実施した。結果を図8に示す。
[Test Example 11]
Curing test (addition amount dependency) (2):
The photosensitive resin composition obtained in Example 9-1 (150 mol% with respect to the monomer unit of the epoxy compound) was dissolved in 1.0 g of tetrahydrofuran (THF). A film was formed by bar coating on this sample solution calcium fluoride (CaF 2 ) and prebaked by heating at 80 ° C. for 30 seconds to prepare a coating film having a thickness of 15 μm. The coating film was heated to 120 ° C. for 60 minutes at JIS K5600-5 with a monochromatic light of 365 nm applied to this coating film with an exposure amount of 0 (blank), 10, 100, 500, 1000 and 10000 mJ / cm 2. The pencil hardness was measured according to 4 and compared and evaluated. And the same operation was implemented with respect to the photosensitive resin composition obtained in Example 9-2 (similarly 200 mol% thing) and Example 9-3 (similarly 300 mol% thing). The results are shown in FIG.

図8は、試験例11における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。0〜100mJ/cmの範囲では、露光量を大きくし、添加量を多くするに従って硬化が進行することが確認できた。 FIG. 8 is a diagram showing the relationship between the exposure amount and pencil hardness in Test Example 11. In the range of 0 to 100 mJ / cm 2 , it was confirmed that the curing progressed as the exposure amount was increased and the addition amount was increased.

図9は、試験例10と試験例11の結果より、実施例8(実施例8−3)と実施例9(実施例9−3)の感光性樹脂組成物の露光量と残膜率の関係を比較した図である(加熱温度は100℃、加熱時間は60分とした。)。図9に示すように、全体的に実施例8(実施例8−3)の方が実施例9(実施例9−3)より高残膜率であった。なお、露光量が100mJ/cmを超えると残膜率が減少する傾向が見られた。 FIG. 9 shows the exposure amount and the remaining film ratio of the photosensitive resin compositions of Example 8 (Example 8-3) and Example 9 (Example 9-3) from the results of Test Example 10 and Test Example 11. It is the figure which compared the relationship (The heating temperature was 100 degreeC and the heating time was 60 minutes.). As shown in FIG. 9, as a whole, Example 8 (Example 8-3) had a higher residual film ratio than Example 9 (Example 9-3). In addition, when the exposure amount exceeded 100 mJ / cm 2 , there was a tendency for the remaining film rate to decrease.

また、図10は、光照射により得られた硬化膜について、添加量と透過率との関係を示した図である(露光量は100mJ/cmとした。)。図10に示すように、得られた硬化膜はいずれの添加量でも高い透過率を示し、透明性に優れた硬化膜が得られたことが確認できた。 FIG. 10 is a view showing the relationship between the addition amount and the transmittance of the cured film obtained by light irradiation (the exposure amount was 100 mJ / cm 2 ). As shown in FIG. 10, the obtained cured film showed a high transmittance at any addition amount, and it was confirmed that a cured film having excellent transparency was obtained.

なお、実施例6〜実施例9の感光性樹脂組成物に関し、[試験例1]〜[試験例11]で得られた膜については、炭酸ガス発生による凸凹も見られなかった。   In addition, regarding the photosensitive resin compositions of Examples 6 to 9, the film obtained in [Test Example 1] to [Test Example 11] did not show unevenness due to the generation of carbon dioxide gas.

[実施例10]
感光性樹脂組成物の製造(5):
アクリル系化合物であるペンタエリスリトールテトラアクリレート(PETA)(PETA)0.04gに対して、実施例4で得られた光チオール発生剤を0.15g(PETA100質量部に対して375質量部)(PETAに対して133.0mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。なお、少量のテトラヒドロフラン(THF)と光チオール発生剤あらかじめ混合した上でPETAに含有させた後、THFは減圧乾燥により留去した。
[Example 10]
Production of photosensitive resin composition (5):
0.15 g (375 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PETA) of the photothiol generator obtained in Example 4 with respect to 0.04 g of pentaerythritol tetraacrylate (PETA) (PETA) which is an acrylic compound (PETA The photosensitive resin composition of this invention was obtained by making it contain 133.0 mol%). A small amount of tetrahydrofuran (THF) and a photothiol generator were mixed in advance and contained in PETA, and then THF was distilled off by drying under reduced pressure.

[参考例1]
感光性樹脂組成物の製造(6):
アクリル系化合物であるペンタエリスリトールテトラアクリレート(PETA)0.04gに対して、チオール化合物(多官能チオール)である下記式(T−6)で表されるトリス−[(3−メルカプトプロピオニルオキシ)−エチル]−イソシアヌレート(TEMPIC)を0.08g(PETA100質量部に対して200質量部)(PETAに対して133.0mol%)含有させることにより感光性樹脂組成物を得た。
[Reference Example 1]
Production of photosensitive resin composition (6):
Tris-[(3-mercaptopropionyloxy)-represented by the following formula (T-6), which is a thiol compound (polyfunctional thiol), with respect to 0.04 g of pentaerythritol tetraacrylate (PETA), which is an acrylic compound. A photosensitive resin composition was obtained by containing 0.08 g of ethyl] -isocyanurate (TEMPIC) (200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PETA) (133.0 mol% with respect to PETA).

[参考例2]
感光性樹脂組成物の製造(7):
アクリル系化合物であるペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)(PETA)0.04gに対して、多官能チオールである下記式(T−7)で表される1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(NR−1)を0.085g(PETA100質量部に対して213質量部)(PETAに対して133.0mol%)含有させることにより感光性樹脂組成物を得た。
[Reference Example 2]
Production of photosensitive resin composition (7):
1,3,5-tris (3-mercapto) represented by the following formula (T-7), which is a polyfunctional thiol, with respect to 0.04 g of pentaerythritol triacrylate (PETA) (PETA), which is an acrylic compound (Butyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (NR-1) 0.085 g (213 parts by mass relative to 100 parts by mass of PETA) The photosensitive resin composition was obtained by containing 133.0 mol%).

[試験例12]
保存安定性の確認:
実施例10及び参考例1、参考例2の感光性樹脂組成物をそれぞれ1.0mlミクロチューブに入れ、「製造直後」、「製造1時間後」、「製造1月後」の状態を観察して、保存安定性を比較・評価した。評価基準は、製造直後のものはチューブを横にした直後の状態、製造1時間後、製造1月後のものはチューブを横にして5分後の状態を観察し、粘性が増加しているかを目視で観察した。外観写真を図11に示す。
[Test Example 12]
Check storage stability:
The photosensitive resin compositions of Example 10 and Reference Example 1 and Reference Example 2 were put in 1.0 ml microtubes, respectively, and the states of “immediately after production”, “1 hour after production” and “after 1 month after production” were observed. The storage stability was compared and evaluated. As for the evaluation criteria, the viscosity immediately after the production is in the state immediately after the tube is laid down, the one hour after the production, and the one month after the production is observed after observing the state after 5 minutes with the tube lying down. Was visually observed. An appearance photograph is shown in FIG.

図11は試験例12におけるミクロチューブの外観写真((A)は製造直後、(B)は製造1時間後、(C)は製造1月後))を示した図である。図11に示すように、参考例1の感光性樹脂組成物は製造後1時間、参考例2の感光性樹脂組成物は製造1月後で粘性が増加(チューブを横にしても試料が流れない)していることが確認できた。一方、実施例10の感光性樹脂組成物は、製造1月後でも粘性が増加せず、保存安定性に優れる材料であることが確認できた。   FIG. 11 is a view showing an appearance photograph of a microtube in Test Example 12 ((A) is immediately after manufacture, (B) is one hour after manufacture, and (C) is one month after manufacture)). As shown in FIG. 11, the viscosity of the photosensitive resin composition of Reference Example 1 increased 1 hour after production, and that of the photosensitive resin composition of Reference Example 2 increased after 1 month of production (the sample flowed even when the tube was placed sideways). I was able to confirm. On the other hand, the photosensitive resin composition of Example 10 did not increase in viscosity even after 1 month of production, and it was confirmed that the material was excellent in storage stability.

[実施例11]
感光性樹脂組成物の製造(8):
アクリル系化合物であるペンタエリスリトールテトラアクリレート(PETA)(PETA)0.1gに対して、実施例4で得られた光チオール発生剤を0.38g(PETA100質量部に対して380質量部)(PETAに対して133.0mol%)含有させることにより本発明の感光性樹脂組成物を得た。
[Example 11]
Production of photosensitive resin composition (8):
0.38 g of the photothiol generator obtained in Example 4 (380 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PETA) with respect to 0.1 g of pentaerythritol tetraacrylate (PETA) (PETA), which is an acrylic compound (PETA) The photosensitive resin composition of this invention was obtained by making it contain 133.0 mol%).

[参考例3]
感光性樹脂組成物の製造(9):
アクリル系化合物であるペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)(PETA)0.1gに対して、多官能チオールである前記式(T−7)で表される1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(NR−1)を0.22g(PETA100質量部に対して220質量部)(PETAに対して133.0mol%)含有させることにより感光性樹脂組成物を得た。
[Reference Example 3]
Production of photosensitive resin composition (9):
1,3,5-tris (3-mercapto) represented by the formula (T-7) which is a polyfunctional thiol with respect to 0.1 g of pentaerythritol triacrylate (PETA) (PETA) which is an acrylic compound 0.22 g of butyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (NR-1) (220 parts by mass relative to 100 parts by mass of PETA) The photosensitive resin composition was obtained by containing 133.0 mol%).

なお、前記した実施例11及び参考例3の感光性樹脂組成物は、ラジカル系光重合開始剤ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフォンオキサイド(イルガキュア819:長瀬産業(株)製)を、感光性樹脂組成物を100質量部に対して1.0質量部添加したものもあわせて製造した。   In addition, the photosensitive resin composition of above-mentioned Example 11 and Reference Example 3 is a radical photopolymerization initiator bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenyl phosphooxide (Irgacure 819: manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd.). ) Was also prepared by adding 1.0 part by mass of the photosensitive resin composition to 100 parts by mass.

[試験例13]
硬化試験(加熱温度依存性):
実施例11及び参考例3で得られた感光性樹脂組成物を0.5gのテトラヒドロフラン(THF)に溶解させて試料溶液とした。この試料溶液をガラス基板上にバーコートして製膜し、80℃で1分間加熱してプリベイクし、厚さ15μmの塗膜を調製した。この塗膜に、254nm(光重合開始剤を添加していないもの)及び365nm(光重合開始剤を添加したもの)の単色光を、露光量を0.01、0.1、0.5、1、2、5、10J/cm(光重合開始剤を添加していないもの)及び0.01、0.1、0.5、1、5、10、15、20、30J/cm(光重合開始剤を添加したもの)として、室温での塗膜の硬度をJIS K5600−5−4に準拠して鉛筆硬度測定を行い、比較・評価した。結果を図12(光重合開始剤を添加していないもの)、図13(光重合開始剤を添加したもの)に示す。
[Test Example 13]
Curing test (heating temperature dependence):
The photosensitive resin composition obtained in Example 11 and Reference Example 3 was dissolved in 0.5 g of tetrahydrofuran (THF) to obtain a sample solution. This sample solution was bar-coated on a glass substrate to form a film, heated at 80 ° C. for 1 minute and prebaked to prepare a coating film having a thickness of 15 μm. Monochromatic light of 254 nm (not added with a photopolymerization initiator) and 365 nm (added with a photopolymerization initiator) was applied to this coating film with an exposure amount of 0.01, 0.1, 0.5, 1, 2, 5, 10 J / cm 2 (without addition of a photopolymerization initiator) and 0.01, 0.1, 0.5, 1, 5, 10, 15, 20, 30 J / cm 2 ( As a sample to which a photopolymerization initiator was added, the hardness of the coating film at room temperature was measured by pencil hardness in accordance with JIS K5600-5-4, and compared and evaluated. The results are shown in FIG. 12 (without addition of photopolymerization initiator) and FIG. 13 (with addition of photopolymerization initiator).

図12及び図13は、試験例13における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図であり、露光量を大きくし、加熱温度を高くするに従って硬化が進行することが確認できた。また、実施例11の感光性樹脂組成物は、感度が良好であり、露光量が大きい範囲(光重合開始剤を添加しない場合で15J/cm以上、添加したもので10J/cmでは多官能チオールを添加した参考例3とほぼ同等の硬度を示し、最高では3H(光重合開始剤を添加しないもの)及びH(添加したもの)の硬度が得られた。 12 and 13 are diagrams showing the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 13, and it was confirmed that curing progressed as the exposure amount was increased and the heating temperature was increased. In addition, the photosensitive resin composition of Example 11 has a good sensitivity and a large exposure amount (when no photopolymerization initiator is added, it is 15 J / cm 2 or more, and when 10 J / cm 2 is added, the amount is large. The hardness was almost the same as in Reference Example 3 to which a functional thiol was added, and the hardnesses of 3H (not added with a photopolymerization initiator) and H (added) were obtained at the maximum.

[試験例14]
UV硬化膜の作製(酸素阻害の確認):
実施例11、参考例3(それぞれ光重合開始剤を添加したもの)の感光性樹脂組成物、及びPETA単体(実施例11等と同様、100質量部に対してラジカル系光重合開始剤を1質量部添加)を、それぞれテトラヒドロフラン(THF)0.05gに溶解させて試料溶液とし、この試料溶液をガラス基板上にバーコートして製膜し、80℃で1分間加熱してプリベイクし、厚さ15μmの塗膜を調製した。かかる塗膜を空気中または窒素雰囲気下で365nmの単色光を、露光量15J/cmとして、室温での塗膜の硬度をJIS K5600−5−4に準拠して鉛筆硬度測定を行って、比較・評価した。結果を図14に示す。
[Test Example 14]
Preparation of UV cured film (confirmation of oxygen inhibition):
A photosensitive resin composition of Example 11 and Reference Example 3 (each added with a photopolymerization initiator) and PETA alone (similar to Example 11 and the like, 1 radical photopolymerization initiator was added to 100 parts by mass). The sample solution was dissolved in 0.05 g of tetrahydrofuran (THF) to prepare a sample solution, and this sample solution was bar coated on a glass substrate to form a film, heated at 80 ° C. for 1 minute, pre-baked, A coating film having a thickness of 15 μm was prepared. The coating film hardness at room temperature is measured in accordance with JIS K5600-5-4 by measuring 365 nm monochromatic light in an air or nitrogen atmosphere with an exposure amount of 15 J / cm 2 , and the coating film hardness at room temperature, Comparison and evaluation. The results are shown in FIG.

図14は、試験例14における露光量と鉛筆硬度との関係を示した図である。PETA単体は、空気中ではほとんど硬化せず、酸素阻害の影響が確認された。一方、実施例11の感光性樹脂組成物は、酸素阻害の影響が低いと考えられる多官能チオールを含む参考例3の感光性樹脂組成物と同様、空気中の硬度は窒素雰囲気下の硬度と相違なく、酸素阻害の影響は認められなかった。   FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the exposure amount and the pencil hardness in Test Example 14. PETA alone was hardly cured in air, and the influence of oxygen inhibition was confirmed. On the other hand, the photosensitive resin composition of Example 11 is similar to the photosensitive resin composition of Reference Example 3 containing a polyfunctional thiol that is considered to have a low influence of oxygen inhibition. There was no difference and no effect of oxygen inhibition was observed.

また、光照射後の塗膜について、反応をFT−IRで反応追跡し、C=Cのピーク(810cm−1)面積の変化を確認した。C=Cのピーク面積の変化は、光照射前のピーク面積を測定し、光照射前を1とした場合の光照射後のピーク面積を計算して、変化率を確認した。結果を図15に示す。 Moreover, reaction was traced by FT-IR about the coating film after light irradiation, and the change of the peak (810 cm < -1 >) area of C = C was confirmed. The change in the peak area of C = C was measured by measuring the peak area before light irradiation, calculating the peak area after light irradiation when the pre-light irradiation was 1, and confirming the rate of change. The results are shown in FIG.

図15は、露光量とC=Cのピーク(810cm−1)面積の変化率の関係を示した図((A)は実施例11、(B)は参考例3、(C)はPETA単体)である。図15(A)に示すように、本発明の光チオール発生剤を含有する実施例11の感光性樹脂組成物は、酸素阻害の影響が低いと考えられる多官能チオールを含む参考例3の感光性樹脂組成物(図15(B))と同様、空気中と窒素雰囲気中の変化率は大差なく、また、照射後のC=Cの2重結合は照射前の0.3〜0.4程度となり、反応が効率よくなされていることが確認された。一方、図15(C)に示すように、PETA単体については、照射後のC=Cの2重結合は、空気中にあっては照射前の0.8程度であり、窒素雰囲気下のそれが0.4程度であるのに比較して大きい。これは、空気中では酸素の存在により重合阻害(酸素阻害)されてしまい反応が効率よく進行していないためと考えられる。 FIG. 15 is a graph showing the relationship between the exposure amount and the change rate of the C = C peak (810 cm −1 ) area ((A) is Example 11, (B) is Reference Example 3, and (C) is PETA alone. ). As shown in FIG. 15 (A), the photosensitive resin composition of Example 11 containing the photothiol generator of the present invention has the photosensitivity of Reference Example 3 containing a polyfunctional thiol considered to have a low influence of oxygen inhibition. As in the case of the conductive resin composition (FIG. 15B), the rate of change between the air and the nitrogen atmosphere is not much different, and the C = C double bond after irradiation is 0.3 to 0.4 before irradiation. It was confirmed that the reaction was carried out efficiently. On the other hand, as shown in FIG. 15C, for PETA alone, the C = C double bond after irradiation is about 0.8 before irradiation in the air, and that in a nitrogen atmosphere. Is larger than about 0.4. This is presumably because the polymerization is inhibited (oxygen inhibition) due to the presence of oxygen in the air and the reaction does not proceed efficiently.

なお、実施例10、実施例11の感光性樹脂組成物について、[試験例12]〜[試験例14]で得られた膜については、炭酸ガス発生による凸凹も見られなかった。   In addition, about the photosensitive resin composition of Example 10 and Example 11, the unevenness | corrugation by carbon dioxide gas generation | occurrence | production was not seen about the film | membrane obtained by [Test Example 12]-[Test Example 14].

本発明は、高感度の光硬化材料やレジスト材料(パターン形成材料)等を提供する感光
性樹脂材料として有利に使用することができる。
The present invention can be advantageously used as a photosensitive resin material that provides a highly sensitive photocuring material, resist material (pattern forming material), and the like.

Claims (5)

下記式(X)で表されることを特徴とする光チオール発生剤。
(式(X)中、Rは有機基であり、直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにRにはシリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。Rは、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基であり、Rは水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、または有機基である。さらにR及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。R、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン、水酸基、スルフィド基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、カルボキシル基、カルボニル基、エステル基、ホルミル基、アシル基、シアノ基、アルコキシ基、アミノ基、アミド基、アリール基、アリル基、アンモニオ基、または有機基であり、同一であっても異なっていてもよい。さらに、R、R、R及びRには、シリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。またR、R、R及びRは、それら2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。)
The photothiol generator characterized by being represented by following formula (X).
(In Formula (X), R 1 is an organic group, which may be a linear structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a hetero atom. Further, R 1 includes a silyl group, an acryl group, and a methacryl group. R 2 may be a halogen, a hydroxyl group, a sulfide group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, or a sulfonate group. Group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group, or organic group R 3 is a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, Rufo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group, alkoxy group, amino group, amide group, aryl group, allyl group Furthermore, R 2 and R 3 may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group, or a methacryl group, and may be a monomer or a polymer obtained by polymerizing them. 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, halogen, hydroxyl group, sulfide group, silanol group, nitro group, nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, Phosphono group, phosphonato group, carboxyl group, carbonyl group, ester group, formyl group, acyl group, cyano group Alkoxy group, an amino group, an amide group, an aryl group, an allyl group, an ammonio group or an organic group, and may be be the same or different. Furthermore, the R 4, R 5, R 6 and R 7 , A silyl group, an acryl group, a methacryl group, or a monomer or a polymer obtained by polymerizing them, and R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are those represented by 2 Two or more may be bonded to form a cyclic structure, and may include a heteroatom bond.)
下記式(X−a)で表されることを特徴とする光チオール発生剤。
(式(X−a)中、l、mは0〜8の整数、nは1〜6の整数、Yは4価の炭素、芳香環、トリアジン環、または有機基であり、有機基は直鎖構造、枝分かれ構造、あるいは環状構造でもよく、ヘテロ原子を含んでいてもよい。さらにYにはシリル基、アクリル基、メタクリル基といった重合性基を含んでいてもよく、モノマーであってもそれらが重合した重合体でもよい。R、R、R、R、R、R及びRは前記式(X)と共通し、Rは、官能基であるエステル基、アミド基、アミノ基、カルボニル基、アルキル基、またはヘテロ原子である酸素、硫黄を示す。)
A photothiol generator represented by the following formula (X-a):
(In the formula (Xa), l and m are integers of 0 to 8, n is an integer of 1 to 6, Y is a tetravalent carbon, aromatic ring, triazine ring, or organic group, and the organic group is straight It may be a chain structure, a branched structure, or a cyclic structure, and may contain a heteroatom, and Y may contain a polymerizable group such as a silyl group, an acryl group, or a methacryl group, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same as those in the above formula (X), and R 8 is an ester group or amide which is a functional group. And represents oxygen, sulfur which is a group, amino group, carbonyl group, alkyl group, or hetero atom.)
前記Rが炭素数1〜12のアルキル基であり、前記R、R、R、R及びRが水素原子であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光チオール発生剤。 The R 2 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and the R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are hydrogen atoms. Photothiol generator. 前記請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の光チオール発生剤と、チオール反応性化合物とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。   A photosensitive resin composition comprising the photothiol generator according to any one of claims 1 to 3 and a thiol-reactive compound. 前記チオール反応性化合物がエポキシ系化合物、エピスルフィド系化合物、アクリル系化合物、メタクリル系化合物及びマレイミド系化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項4に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin according to claim 4, wherein the thiol-reactive compound is at least one selected from the group consisting of an epoxy compound, an episulfide compound, an acrylic compound, a methacrylic compound, and a maleimide compound. Composition.
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009518535A (en) * 2005-12-12 2009-05-07 イノーバ・バイオサイエンシズ・リミテッド Complex generation
JP2011052214A (en) * 2009-08-07 2011-03-17 Dainippon Printing Co Ltd Base generator, photosensitive resin composition, material for forming pattern including the photosensitive resin composition, and method for forming pattern, and article using the photosensitive resin composition

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