JP2013228371A - Rotation angle detection device - Google Patents

Rotation angle detection device Download PDF

Info

Publication number
JP2013228371A
JP2013228371A JP2013038365A JP2013038365A JP2013228371A JP 2013228371 A JP2013228371 A JP 2013228371A JP 2013038365 A JP2013038365 A JP 2013038365A JP 2013038365 A JP2013038365 A JP 2013038365A JP 2013228371 A JP2013228371 A JP 2013228371A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic shield
magnet
conversion element
magnetoelectric conversion
rotation angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013038365A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6134941B2 (en
Inventor
Tsutomu Nakamura
中村　　勉
Yasuyuki Okuda
泰行 奥田
Takashi Ishikawa
貴士 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Soken Inc
Original Assignee
Denso Corp
Nippon Soken Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp, Nippon Soken Inc filed Critical Denso Corp
Priority to JP2013038365A priority Critical patent/JP6134941B2/en
Priority to DE201311001757 priority patent/DE112013001757T5/en
Priority to PCT/JP2013/001889 priority patent/WO2013145644A1/en
Publication of JP2013228371A publication Critical patent/JP2013228371A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6134941B2 publication Critical patent/JP6134941B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/40—Position sensors comprising arrangements for concentrating or redirecting magnetic flux

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rotation angle detection device including a magnetoelectric conversion element, a magnet and a magnetic shield, capable of improving a degree of freedom in a structure of the magnetoelectric conversion element or a substrate on which the magnetoelectric conversion element is placed, while suppressing noise due to the influence of a disturbance magnetic field.SOLUTION: In a rotation angle detection device, a magnetoelectric conversion element and a magnet are arranged separately and opposed to each other, and a magnetic shield is composed of a first magnetic shield and a second magnetic shield. In the arrangement direction of the magnetoelectric conversion element and the magnet, the first magnetic shield is arranged on the magnet side of an opposing face of the magnetoelectric conversion element and the magnet and also arranged so as to surround at least a part of the magnet. Further, in the arrangement direction, the second magnetic shield is arranged, while providing a predetermined inter-shield space with the first magnetic shield, on the opposite side to the first magnetic shield with respect to the magnetoelectric conversion element and arranged so as to rectify a disturbance magnetic field in a direction at which the magnetic field does not change due to rotation of the magnet.

Description

本発明は、磁電変換素子と磁石を用いて、被検出体の回転角を検出する回転角検出装置に関する。   The present invention relates to a rotation angle detection device that detects a rotation angle of a detection object using a magnetoelectric conversion element and a magnet.

自動車のアクセル開度やスロットル開度等、被検出体の回転角を検出する回転角検出装置が知られている。この回転角検出装置は、例えば、回転するシャフトの端部に取り付けられ、シャフトとともに回転する磁石の磁場を、磁電変換素子により検出し、シャフトの回転角を得るものである。このような回転角検出装置には、磁石による磁場ではない外乱磁場の影響により、検出精度が低下するという問題があった。   2. Description of the Related Art A rotation angle detection device that detects a rotation angle of an object to be detected such as an accelerator opening degree and a throttle opening degree of an automobile is known. This rotation angle detection device is attached to the end of a rotating shaft, for example, and detects the magnetic field of a magnet rotating with the shaft by a magnetoelectric conversion element to obtain the rotation angle of the shaft. Such a rotation angle detection device has a problem that detection accuracy is lowered due to an influence of a disturbance magnetic field that is not a magnetic field generated by a magnet.

この問題を解決するため、特許文献１では、磁電変換素子の周囲に、複数の磁石と、磁石と一体化され、磁石とともに筒状をなす磁性体（磁気シールド）と、を備えた回転角検出装置が提案されている。この磁気シールドは外乱磁場を遮蔽する機能を有する。   In order to solve this problem, Patent Document 1 discloses a rotation angle detection that includes a plurality of magnets and a magnetic body (magnetic shield) that is integrated with the magnets and forms a cylindrical shape with the magnets around the magnetoelectric conversion element. A device has been proposed. This magnetic shield has a function of shielding a disturbance magnetic field.

特開２００７−１１４０４５号公報JP 2007-1104045 A

ところで、特許文献１に提案されたような筒状の磁気シールドでは、磁気シールドの重心付近で外乱磁場が最小となる。すなわち、外乱磁場の影響を低減する観点から、磁気シールドの重心近傍に磁電変換素子を配置することが望ましい。しかしながら、中空とされた磁気シールドの内部空間に磁電変換素子を配置すると、磁電変換素子もしくは磁電変換素子が配置される基板の体格、形状、配線など、構造の自由度が、磁気シールドにより制限されるという問題がある。   By the way, in the cylindrical magnetic shield as proposed in Patent Document 1, the disturbance magnetic field is minimized near the center of gravity of the magnetic shield. That is, from the viewpoint of reducing the influence of the disturbance magnetic field, it is desirable to arrange the magnetoelectric conversion element in the vicinity of the center of gravity of the magnetic shield. However, when a magnetoelectric conversion element is arranged in the hollow space inside the magnetic shield, the degree of freedom of the structure such as the physique, shape and wiring of the magnetoelectric conversion element or the substrate on which the magnetoelectric conversion element is arranged is limited by the magnetic shield. There is a problem that.

特許文献１では、この自由度の制限を緩和するために、筒の開口端近傍に磁電変換素子を配置している。しかしながら、筒の開口端近傍では、外乱磁場を十分に遮蔽できないという問題がある。   In Patent Document 1, in order to relax the restriction on the degree of freedom, a magnetoelectric conversion element is arranged in the vicinity of the opening end of the cylinder. However, there is a problem that the disturbance magnetic field cannot be sufficiently shielded near the open end of the cylinder.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、磁電変換素子と磁石と磁気シールドとを有する回転角検出装置において、外乱磁場の影響によるノイズを抑制しつつ、磁電変換素子もしくは磁電変換素子が配置される基板の構造の自由度を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in a rotation angle detection device having a magnetoelectric conversion element, a magnet, and a magnetic shield, while suppressing noise due to the influence of a disturbance magnetic field, the magnetoelectric conversion element or the magnetoelectric conversion The object is to improve the degree of freedom of the structure of the substrate on which the element is arranged.

上記目的を達成するために、本発明は、
被検出体に取り付けられ、該被検出体の回転にともなって回転する磁石（１２）と、該磁石の、回転による磁場の変化を検出する磁電変換素子（１４）と、外乱磁場を遮断する磁気シールド（１６）と、を有する回転角検出装置であって、
磁電変換素子と磁石とは、互いに離間しつつ対向配置され、磁気シールドは、第１磁気シールド（１６ａ）と、第２磁気シールド（１６ｂ）と、を有し、
第１磁気シールドは、磁電変換素子と磁石の並び方向において、磁電変換素子の磁石との対向面（１４ａ）よりも磁石側、且つ、磁石の少なくとも一部を囲むように配置され、
第２磁気シールドは、並び方向において、第１磁気シールドとの間に、所定のシールド間距離を有するとともに、磁電変換素子に対して、第１磁気シールドと反対側であって、磁石の回転により磁場が変化しない方向に、外乱磁場を整流するように配置されることを特徴としている。 In order to achieve the above object, the present invention provides:
A magnet (12) that is attached to the detected object and rotates as the detected object rotates, a magnetoelectric conversion element (14) that detects a change in the magnetic field due to the rotation of the magnet, and a magnet that blocks the disturbance magnetic field A rotation angle detection device having a shield (16),
The magnetoelectric conversion element and the magnet are arranged to face each other while being separated from each other, and the magnetic shield includes a first magnetic shield (16a) and a second magnetic shield (16b),
The first magnetic shield is disposed so as to surround at least a part of the magnet on the magnet side with respect to the facing surface (14a) of the magnetoelectric conversion element in the direction in which the magnetoelectric conversion element and the magnet are arranged,
The second magnetic shield has a predetermined distance between the first magnetic shield and the first magnetic shield in the arrangement direction, and is opposite to the first magnetic shield with respect to the magnetoelectric conversion element. It is arranged to rectify the disturbance magnetic field in a direction in which the magnetic field does not change.

この回転角検出装置は、特許文献１と同様に、磁気シールドとして、外乱磁場を遮蔽すべき領域を囲む第１磁気シールドを有している。第１磁気シールドは、磁石の少なくとも一部を囲むように配置されているため、第１磁気シールドの外部における、外乱磁場の磁路として働く。とくに、外乱磁場のうち、上記並び方向に略直交する成分を効率よく遮蔽することができる。本発明では、上述の第１磁気シールドに加えて、第２磁気シールドを有している。第２磁気シールドは、第１磁気シールドのうち、磁電変換素子が配置される側の開口端近傍における外乱磁場の磁路として機能する。具体的には、第２磁気シールドに侵入した磁場のうち、磁石と磁電変換素子の並び方向の成分は該方向に進む。また、並び方向に直交する成分は第２磁気シールドに沿って進む。すなわち、第２磁気シールドは、侵入した磁場を並び方向と並び方向に直交する成分とに分解する。換言すると、第２磁気シールドは、第２磁気シールドに侵入した磁場を並び方向に整流する。これにより、磁電変換素子が配置される側の開口端近傍の磁場が小さくされる。さらに、侵入磁場が整流されることにより、第２シールドから出た磁場の、並び方向の成分の一部は、第１磁気シールドに導かれやすい。したがって、第１磁気シールドと第２磁気シールドとの間の隙間に印加される外乱磁場を、第２磁気シールドがない構成に較べて小さくすることができる。   Similar to Patent Document 1, this rotation angle detection device has a first magnetic shield that surrounds a region where a disturbance magnetic field should be shielded, as a magnetic shield. Since the first magnetic shield is disposed so as to surround at least a part of the magnet, it acts as a magnetic path for a disturbance magnetic field outside the first magnetic shield. In particular, components of the disturbance magnetic field that are substantially orthogonal to the arrangement direction can be efficiently shielded. In the present invention, in addition to the first magnetic shield described above, the second magnetic shield is provided. The second magnetic shield functions as a magnetic path of a disturbance magnetic field in the vicinity of the opening end on the side where the magnetoelectric conversion element is arranged in the first magnetic shield. Specifically, in the magnetic field that has entered the second magnetic shield, the component in the direction in which the magnet and the magnetoelectric transducer are arranged proceeds in that direction. In addition, the component orthogonal to the arrangement direction travels along the second magnetic shield. That is, the second magnetic shield decomposes the invading magnetic field into a line-up direction and a component orthogonal to the line-up direction. In other words, the second magnetic shield rectifies the magnetic field that has entered the second magnetic shield in the alignment direction. Thereby, the magnetic field in the vicinity of the opening end on the side where the magnetoelectric conversion element is disposed is reduced. Furthermore, by rectifying the penetrating magnetic field, a part of the components in the arrangement direction of the magnetic field emitted from the second shield is easily guided to the first magnetic shield. Therefore, the disturbance magnetic field applied to the gap between the first magnetic shield and the second magnetic shield can be reduced as compared with the configuration without the second magnetic shield.

このように、第２磁気シールドを有していることにより、第１磁気シールドと第２磁気シールドの間における外乱磁場を抑制することができる。このため、本発明における、外乱磁場が最小となる位置は、第２磁気シールドを有さない従来構造に較べて、第１磁気シールドの重心よりも、第２磁気シールドが配置される側に偏る。具体的には、外乱磁場が最小となる位置は、第１磁気シールドと第２磁気シールドとの間の隙間の領域となる。したがって、磁電変換素子が第１磁気シールドに囲まれた領域よりも外側に配置させることができる。   Thus, by having the 2nd magnetic shield, the disturbance magnetic field between the 1st magnetic shield and the 2nd magnetic shield can be controlled. For this reason, in the present invention, the position where the disturbance magnetic field is minimized is more biased toward the side where the second magnetic shield is disposed than the center of gravity of the first magnetic shield, as compared with the conventional structure having no second magnetic shield. . Specifically, the position where the disturbance magnetic field is minimized is a gap region between the first magnetic shield and the second magnetic shield. Therefore, the magnetoelectric conversion element can be arranged outside the region surrounded by the first magnetic shield.

とくに、第１磁気シールドは、磁電変換素子と磁石との対向領域の少なくとも一部を囲むように配置され、第２磁気シールドは、磁電変換素子の対向面と反対の面（１４ｂ）の全域に亘ってオーバーラップするように配置されると効果的である。   In particular, the first magnetic shield is disposed so as to surround at least a part of the facing region between the magnetoelectric conversion element and the magnet, and the second magnetic shield is disposed over the entire surface (14b) opposite to the facing surface of the magnetoelectric conversion element. It is effective if they are arranged so as to overlap each other.

第１磁気シールドが磁電変換素子と磁石との対向領域の少なくとも一部を囲むことにより、磁電変換素子により近い空間の磁場を小さくすることができる。また、第２磁気シールドが磁電変換素子の対向面と反対の面の全域に亘ってオーバーラップする。これにより、少なくとも磁電変換素子が配置された空間においては、外乱磁場を、磁電変換素子の不感方向に整流することができる。したがって、第１磁気シールドと第２磁気シールドとの間の隙間に印加される外乱磁場を小さくすることができる。   Since the first magnetic shield surrounds at least a part of the facing region between the magnetoelectric conversion element and the magnet, the magnetic field in the space closer to the magnetoelectric conversion element can be reduced. Further, the second magnetic shield overlaps over the entire area of the surface opposite to the facing surface of the magnetoelectric conversion element. Thereby, at least in the space where the magnetoelectric conversion element is arranged, the disturbance magnetic field can be rectified in the insensitive direction of the magnetoelectric conversion element. Therefore, the disturbance magnetic field applied to the gap between the first magnetic shield and the second magnetic shield can be reduced.

上記したように、本発明では、外乱磁場を抑制しつつ、磁電変換素子の配置が容易となり、磁電変換素子もしくは磁電変換素子が配置される基板の構造の自由度を向上させることができる。   As described above, in the present invention, the arrangement of the magnetoelectric conversion element is facilitated while suppressing the disturbance magnetic field, and the degree of freedom of the structure of the magnetoelectric conversion element or the substrate on which the magnetoelectric conversion element is arranged can be improved.

第１実施形態に係る回転角検出装置を含む、アクセル位置検出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the accelerator position detection apparatus containing the rotation angle detection apparatus which concerns on 1st Embodiment. 従来構成における、並び方向に直交する外乱磁場中の、磁場の強度分布図である。It is an intensity distribution map of the magnetic field in the disturbance magnetic field orthogonal to the arrangement direction in the conventional configuration. 従来構成における、外乱磁場遮蔽率の、並び方向の位置依存性を示す図である。It is a figure which shows the position dependence of the arrangement direction of the disturbance magnetic field shielding rate in a conventional structure. 第１実施形態における、並び方向に直交する外乱磁場中の、磁場の強度分布図である。It is an intensity distribution map of the magnetic field in the disturbance magnetic field orthogonal to the arrangement direction in the first embodiment. 第１実施形態における、外乱磁場遮蔽率の、並び方向の位置依存性を示す図である。It is a figure which shows the position dependence of the arrangement direction of the disturbance magnetic field shielding rate in 1st Embodiment. 並び方向に印加された外乱磁場中の、磁場の方向を示す概略図である。It is the schematic which shows the direction of the magnetic field in the disturbance magnetic field applied to the arrangement direction. 並び方向の成分と並び方向に直交する成分とを含む外乱磁場中の、磁場の方向を示す概略図である。It is the schematic which shows the direction of a magnetic field in the disturbance magnetic field containing the component of a row direction, and the component orthogonal to a row direction. 第２実施形態に係る回転角検出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the rotation angle detection apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る回転角検出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the rotation angle detection apparatus which concerns on 3rd Embodiment. 第４実施形態に係る回転角検出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the rotation angle detection apparatus which concerns on 4th Embodiment. 第５実施形態に係る電流検出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the electric current detection apparatus which concerns on 5th Embodiment. その他の実施形態における第１磁気シールドの形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of the 1st magnetic shield in other embodiment. その他の実施形態における第１磁気シールドの形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of the 1st magnetic shield in other embodiment. その他の実施形態における第１磁気シールドの形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of the 1st magnetic shield in other embodiment.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分に、同一符号を付与する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same reference numerals are given to the same or equivalent parts.

（第１実施形態）
最初に、図１を参照して、本実施形態における回転角検出装置１０の概略構成を説明する。 (First embodiment)
First, a schematic configuration of the rotation angle detection device 10 in the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態では、その一例として、回転角検出装置１０を備えたアクセル位置検出装置１００について説明する。アクセル位置検出装置１００は、自動車のアクセルペダル２００の踏み込み量を検出する。すなわち、アクセルペダル２００の踏み込みとともに回転する被検出体としてのシャフト２０の回転角を検出する。   In the present embodiment, as an example, an accelerator position detection device 100 including the rotation angle detection device 10 will be described. The accelerator position detection device 100 detects the amount of depression of the accelerator pedal 200 of the automobile. That is, the rotation angle of the shaft 20 as the detected body that rotates as the accelerator pedal 200 is depressed is detected.

このアクセル位置検出装置１００は、回転角検出装置１０と、エポキシ樹脂等から成り、回転角検出装置１０が収納されるパッケージ３００と、アクセルペダル２００が取り付けられ、回転角検出装置１０と機械的に接続されたシャフト２０と、を有している。シャフト２０には、回転軸２２を支点として、シャフト２０に力のモーメントが印加されるようにアクセルペダル２００が配置されている。そして、シャフト２０の回転軸２２に沿う方向の先端部に、後述する磁石１２が配置され、アクセルペダル２００の踏み込みとともに、磁石１２が回転するようになっている。   The accelerator position detection device 100 is made of a rotation angle detection device 10 and an epoxy resin. A package 300 in which the rotation angle detection device 10 is housed and an accelerator pedal 200 are attached, and mechanically connected to the rotation angle detection device 10. And a connected shaft 20. An accelerator pedal 200 is disposed on the shaft 20 so that a moment of force is applied to the shaft 20 with the rotating shaft 22 as a fulcrum. And the magnet 12 mentioned later is arrange | positioned in the front-end | tip part of the direction in alignment with the rotating shaft 22 of the shaft 20, and the magnet 12 rotates with depression of the accelerator pedal 200. FIG.

回転角検出装置１０は、シャフト２０に固定された磁石１２と、磁石１２と対向配置された磁電変換素子１４と、磁電変換素子１４に印加される外乱磁場を遮蔽する磁気シールド１６と、を有している。   The rotation angle detection device 10 includes a magnet 12 fixed to a shaft 20, a magnetoelectric conversion element 14 disposed opposite to the magnet 12, and a magnetic shield 16 that shields a disturbance magnetic field applied to the magnetoelectric conversion element 14. doing.

磁石１２は、例えば、回転軸２２に沿う方向に略直交する円板形状の磁石を採用することができる。本実施形態における磁石１２は、径方向（回転軸２２に沿う方向に略直交する方向に同じ）に磁極を有するとともに、厚さ方向（回転軸２２に沿う方向に同じ）にも磁極を有する、所謂、両面４極磁石である。すなわち、シャフト２０の回転軸２２に略垂直な方向および回転軸２２に沿う方向に磁極を有している。シャフト２０の回転軸２２に略垂直な方向の磁極により形成される磁場が、シャフト２０の回転に伴って回転する。そして、この磁場の変化が、磁電変換素子１４により検出される。   As the magnet 12, for example, a disc-shaped magnet that is substantially orthogonal to the direction along the rotation shaft 22 can be adopted. The magnet 12 in the present embodiment has magnetic poles in the radial direction (same as the direction substantially perpendicular to the direction along the rotation axis 22) and also has magnetic poles in the thickness direction (same as the direction along the rotation axis 22). This is a so-called double-sided quadrupole magnet. That is, the magnetic poles are provided in a direction substantially perpendicular to the rotation axis 22 of the shaft 20 and a direction along the rotation axis 22. A magnetic field formed by magnetic poles in a direction substantially perpendicular to the rotation axis 22 of the shaft 20 rotates as the shaft 20 rotates. The change in the magnetic field is detected by the magnetoelectric conversion element 14.

磁電変換素子１４は、基板１８に実装され、磁石１２と対向配置されている。磁電変換素子１４としては、例えば、ホール素子を採用することができる。本実施形態では、磁石１２と磁電変換素子１４との並び方向（回転軸２２に沿う方向に同じ。以下、単に並び方向と示す）に略直交する方向に感度を有するように配置されている。   The magnetoelectric conversion element 14 is mounted on the substrate 18 and disposed opposite to the magnet 12. As the magnetoelectric conversion element 14, for example, a Hall element can be adopted. In the present embodiment, the magnets 12 and the magnetoelectric transducers 14 are arranged so as to have sensitivity in a direction substantially orthogonal to the direction in which the magnets 12 and the magnetoelectric conversion elements 14 are arranged (the same as the direction along the rotation axis 22, hereinafter simply referred to as the arrangement direction).

磁気シールド１６は、鉄などの磁性体から成り、第１磁気シールド１６ａと、第２磁気シールド１６ｂとを有する。   The magnetic shield 16 is made of a magnetic material such as iron, and includes a first magnetic shield 16a and a second magnetic shield 16b.

本実施形態において、第１磁気シールド１６ａは、磁石１２とともに、磁石１２と磁電変換素子１４との間の対向領域の一部を囲むように配置されている。具体的には、第１磁気シールド１６ａは、無底の円筒状とされ、円筒の中心軸が回転軸２２と一致するように配置されている。また、第１磁気シールド１６ａは、磁電変換素子１４における、磁石１２と対向する対向面１４ａよりも磁石１２側に配置されている。なお、第１磁気シールド１６ａは、上記した対向領域の全部を取り囲むように配置されてもよい。また、磁石１２は、第１磁気シールド１６ａに必ずしも取り囲まれている必要はない。   In this embodiment, the 1st magnetic shield 16a is arrange | positioned so that a part of opposing area | region between the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 may be enclosed with the magnet 12. FIG. Specifically, the first magnetic shield 16 a has a bottomless cylindrical shape, and is arranged so that the central axis of the cylinder coincides with the rotation axis 22. In addition, the first magnetic shield 16 a is disposed on the magnet 12 side of the facing surface 14 a facing the magnet 12 in the magnetoelectric conversion element 14. Note that the first magnetic shield 16a may be disposed so as to surround the entire facing region. Further, the magnet 12 is not necessarily surrounded by the first magnetic shield 16a.

第２磁気シールド１６ｂは、第１磁気シールド１６ａと同一半径とされ、中心軸も第１磁気シールド１６ａと一致する円板状であり、並び方向において、第１磁気シールド１６ａと離間して設けられている。そして、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂにより形成される隙間に、磁電変換素子１４の実装された基板１８、および、磁電変換素子１４が配置される。換言すれば、第２磁気シールド１６ｂは、並び方向において、磁電変換素子１４に対して第１磁気シールド１６ａと反対側に配置されている。また、第２磁気シールド１６ｂは、磁電変換素子１４の、磁石１２との対向面１４ａと反対の面１４ｂと、全域に亘ってオーバーラップしている。本実施形態において、基板１８は、第２磁気シールド１６ｂと接して配置され、基板１８のうち、第２磁気シールド１６ｂと反対の面に磁電変換素子１４が実装されている。   The second magnetic shield 16b has the same radius as that of the first magnetic shield 16a, has a disk shape whose center axis also coincides with the first magnetic shield 16a, and is provided apart from the first magnetic shield 16a in the arrangement direction. ing. And the board | substrate 18 in which the magnetoelectric conversion element 14 was mounted, and the magnetoelectric conversion element 14 are arrange | positioned in the clearance gap formed by the 1st magnetic shield 16a and the 2nd magnetic shield 16b. In other words, the second magnetic shield 16b is disposed on the side opposite to the first magnetic shield 16a with respect to the magnetoelectric conversion element 14 in the arrangement direction. The second magnetic shield 16b overlaps the entire surface of the magnetoelectric conversion element 14 with the surface 14b opposite to the surface 14a facing the magnet 12. In the present embodiment, the substrate 18 is disposed in contact with the second magnetic shield 16b, and the magnetoelectric conversion element 14 is mounted on the surface of the substrate 18 opposite to the second magnetic shield 16b.

上記構成によれば、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂの間のシールド間距離は、並び方向における、基板１８の厚さと磁電変換素子１４の厚さとを合わせた厚さ以上とされている。   According to the above configuration, the distance between the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b is equal to or greater than the total thickness of the substrate 18 and the magnetoelectric transducer 14 in the alignment direction. Yes.

次に、図２〜図７を参照して、本実施形態に係る回転角検出装置１０の作用効果を説明する。発明者は、磁気シールド１６による外乱磁場の遮蔽効果について、コンピュータを用いてシミュレーションを実施した。   Next, with reference to FIGS. 2-7, the effect of the rotation angle detection apparatus 10 which concerns on this embodiment is demonstrated. The inventor performed a simulation on the shielding effect of the disturbance magnetic field by the magnetic shield 16 using a computer.

まず、従来構成におけるシミュレーション結果について説明する。発明者は、従来構成における磁気シールド１６として、円筒状の磁気シールド１６を想定してシミュレーションを実施し、図２および図３に示す結果を得た。これは、本実施形態における、第１磁気シールド１６ａのみで磁気シールド１６が構成された状態を想定したものである。シミュレーションの条件は以下の通りである。鉄製であり、厚さ１ｍｍ、直径１８ｍｍ、長さ２０ｍｍの円筒状とされた磁気シールド１６に対し、外乱磁場として、軸方向に垂直な方向（図２において、紙面右から左に向かう方向）に磁場を印加した状態における磁場の強度をシミュレーションした。なお、図２および図３において、円筒の軸方向をＺ方向と示し、Ｚ方向に垂直な方向をＸ方向と示す。すなわち、外乱磁場はＸ方向に印加されている。また、Ｚ方向は、円筒の長さ方向における中点をＺ＝０ｍｍとした相対位置として示す。   First, a simulation result in the conventional configuration will be described. The inventor carried out a simulation assuming a cylindrical magnetic shield 16 as the magnetic shield 16 in the conventional configuration, and obtained the results shown in FIGS. This assumes a state in which the magnetic shield 16 is configured by only the first magnetic shield 16a in the present embodiment. The simulation conditions are as follows. The magnetic shield 16 made of iron and having a cylindrical shape with a thickness of 1 mm, a diameter of 18 mm, and a length of 20 mm has a disturbance magnetic field in a direction perpendicular to the axial direction (a direction from the right to the left in FIG. 2). The strength of the magnetic field in the state where the magnetic field was applied was simulated. 2 and 3, the axial direction of the cylinder is indicated as the Z direction, and the direction perpendicular to the Z direction is indicated as the X direction. That is, the disturbance magnetic field is applied in the X direction. Further, the Z direction is shown as a relative position where the middle point in the length direction of the cylinder is Z = 0 mm.

図２に示すように、磁場の強度は、磁気シールド１６の外周近傍で高く、内部空間で低い。とくに、磁気シールド１６の内部空間において、磁気シールド１６の軸上であって、Ｚ＝０ｍｍとなる位置において、外乱磁場の強度が最小となる。定量的なシミュレーション結果を図３に示す。図３は、磁気シールド１６の軸上における外乱磁場遮蔽率を、磁気シールド１６の外部を０％として表している。図３に示すように、Ｚ＝０において、外乱磁場をほぼ１００％遮蔽できている。したがって、図示しない磁石１２の磁場の変化を検出するための磁電変換素子１４は、磁気シールド１６の軸上であって、Ｚ＝０ｍｍとなる位置に配置されることが好ましい。すなわち、磁電変換素子１４は磁気シールド１６の重心部に配置されることが好ましい。しかしながら、上記のように、円筒とされた磁気シールド１６の内部空間に磁電変換素子１４を配置すると、磁電変換素子１４もしくは磁電変換素子が配置される基板１８の体格、形状、配線など、構造の自由度が、磁気シールド１６により制限されるという問題がある。また、この自由度の制限を緩和するために、特許文献１のように、円筒の開口端近傍に磁電変換素子１４を配置すると、外乱磁場を十分に遮蔽できないという問題がある。具体的には、図３に示すように、Ｚ＝０において、外乱磁場をほぼ１００％遮蔽できているのに対して、磁気シールド１６の開口であるＺ＝±１０では、７０％程度の遮蔽率にとどまっている。すなわち、外乱磁場を十分に遮蔽できないという問題がある。   As shown in FIG. 2, the strength of the magnetic field is high near the outer periphery of the magnetic shield 16 and low in the internal space. In particular, in the internal space of the magnetic shield 16, the intensity of the disturbance magnetic field is minimized at a position on the axis of the magnetic shield 16 where Z = 0 mm. The quantitative simulation results are shown in FIG. FIG. 3 shows the disturbance magnetic field shielding rate on the axis of the magnetic shield 16 with the outside of the magnetic shield 16 being 0%. As shown in FIG. 3, when Z = 0, the disturbance magnetic field can be shielded almost 100%. Therefore, the magnetoelectric conversion element 14 for detecting a change in the magnetic field of the magnet 12 (not shown) is preferably disposed on the axis of the magnetic shield 16 at a position where Z = 0 mm. That is, the magnetoelectric conversion element 14 is preferably disposed at the center of gravity of the magnetic shield 16. However, as described above, when the magnetoelectric conversion element 14 is arranged in the internal space of the magnetic shield 16 that is cylindrical, the structure, shape, wiring, etc. of the magnetoelectric conversion element 14 or the substrate 18 on which the magnetoelectric conversion element is arranged are arranged. There is a problem that the degree of freedom is limited by the magnetic shield 16. Further, if the magnetoelectric conversion element 14 is disposed near the opening end of the cylinder as in Patent Document 1 in order to relax the restriction on the degree of freedom, there is a problem that the disturbance magnetic field cannot be sufficiently shielded. Specifically, as shown in FIG. 3, the disturbance magnetic field can be shielded almost 100% at Z = 0, whereas the shield of about 70% is shielded at Z = ± 10 which is the opening of the magnetic shield 16. It remains at the rate. That is, there is a problem that the disturbance magnetic field cannot be sufficiently shielded.

次いで、本実施形態の構成におけるシミュレーション結果について説明する。本実施形態では、磁気シールド１６が、第１磁気シールド１６ａに加えて、第２磁気シールド１６ｂを有している。発明者は、本実施形態における磁気シールド１６の構成を想定してシミュレーションを実施し、図４および図５に示す結果を得た。シミュレーションの条件は以下の通りである。第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂがともに鉄製とされた磁気シールド１６に対し、外乱磁場として、軸方向に垂直な方向（図４において、紙面右から左に向かう方向）に磁場を印加した状態における磁場の強度をシミュレーションした。第１磁気シールド１６ａを、厚さ１ｍｍ、直径１８ｍｍ、長さ５ｍｍの円筒状とした。また、第２磁気シールドを、第１磁気シールド１６ａの中心軸を中心とした円板状とし、直径１８ｍｍ、厚さ（第１磁気シールド１６ａの軸方向の長さに相当）１ｍｍとした。そして、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂとを、並び方向において、５ｍｍだけ離間して配置した。   Next, simulation results in the configuration of the present embodiment will be described. In the present embodiment, the magnetic shield 16 has a second magnetic shield 16b in addition to the first magnetic shield 16a. The inventor performed simulation assuming the configuration of the magnetic shield 16 in the present embodiment, and obtained the results shown in FIGS. 4 and 5. The simulation conditions are as follows. A magnetic field is applied to the magnetic shield 16 in which both the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b are made of iron as a disturbance magnetic field in a direction perpendicular to the axial direction (a direction from the right to the left in FIG. 4). The strength of the magnetic field in the simulated state was simulated. The first magnetic shield 16a was cylindrical with a thickness of 1 mm, a diameter of 18 mm, and a length of 5 mm. The second magnetic shield was disk-shaped around the central axis of the first magnetic shield 16a, and had a diameter of 18 mm and a thickness (corresponding to the axial length of the first magnetic shield 16a) of 1 mm. And the 1st magnetic shield 16a and the 2nd magnetic shield 16b were arrange | positioned and spaced apart only 5 mm in the row direction.

なお、図４および図５において、円筒（第１磁気シールド１６ａ）の軸方向をＺ方向と示し、Ｚ方向に垂直な方向をＸ方向と示す。すなわち、外乱磁場はＸ方向に印加されている。また、Ｚ方向は、第１磁気シールド１６ａの長さ方向における、第２磁気シールド１６ｂと対向する面をＺ＝０ｍｍとした相対位置として示す。図４に示すように、Ｚ＝０ｍｍの位置に対して、第２磁気シールド１６ｂが配置される方向をＺ方向における負方向としている。すなわち、第２磁気シールド１６ｂにおける、第１磁気シールド１６ａと対向する面がＺ＝−５ｍｍとなっている。   4 and 5, the axial direction of the cylinder (first magnetic shield 16a) is indicated as the Z direction, and the direction perpendicular to the Z direction is indicated as the X direction. That is, the disturbance magnetic field is applied in the X direction. The Z direction is shown as a relative position in which the surface facing the second magnetic shield 16b in the length direction of the first magnetic shield 16a is Z = 0 mm. As shown in FIG. 4, the direction in which the second magnetic shield 16b is arranged with respect to the position of Z = 0 mm is the negative direction in the Z direction. That is, the surface of the second magnetic shield 16b facing the first magnetic shield 16a is Z = -5 mm.

図４に示すように、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂの外周において、磁場の強度が高くなっている。さらに、Ｚ方向（すなわち、並び方向）において、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂの隙間である−５ｍｍ＜Ｚ＜０ｍｍの範囲においても、磁気シールド１６の外周に相当する部分で磁場の強度が高くなっている。これに対して、−５ｍｍ＜Ｚ＜０ｍｍの範囲において、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂの中心軸近傍では、磁場の強度が低くなっている。定量的なシミュレーション結果を図５に示す。図５は、第１磁気シールド１６ａの軸上における外乱磁場遮蔽率を、磁気シールド１６の外部を０％として表している。図５に示すように、本実施形態における磁気シールド１６は、−５ｍｍ＜Ｚ＜０ｍｍの範囲において、外乱磁場を略９０％遮蔽できている。すなわち、従来構成における円筒の重心部と、ほぼ同程度の遮蔽効果を発揮させることができる。そして、本実施形態では、−５ｍｍ＜Ｚ＜０ｍｍの範囲が磁気シールド１６により囲まれていない。したがって、外乱磁場を最も遮蔽可能な領域に、磁電変換素子１４もしくは磁電変換素子１４が配置される基板１８の構造の自由度に制限を受けることなく、磁電変換素子１４および基板１８を配置することができる。なお、特許文献１では、磁電変換素子１４の設置を容易にするため、円筒状の磁気シールド１６の開口近傍に、磁電変換素子１４を配置している。上記したように、磁気シールド１６の開口近傍では、外乱磁場遮蔽率は７０％程度であり、これと比較すると、本実施形態において、磁電変換素子１４が配置される位置では、外乱磁場遮蔽率を２０ポイント程度向上させることができる。このように、本実施形態における磁気シールド１６の構成を採用することにより、外乱磁場を抑制しつつ、磁電変換素子１４の配置が容易となり、磁電変換素子１４もしくは基板１８の構造の自由度を向上させることができる。   As shown in FIG. 4, the strength of the magnetic field is high on the outer periphery of the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b. Further, in the Z direction (that is, in the arrangement direction), even in the range of −5 mm <Z <0 mm, which is the gap between the first magnetic shield 16 a and the second magnetic shield 16 b, the magnetic field is applied at the portion corresponding to the outer periphery of the magnetic shield 16. Strength is high. On the other hand, in the range of −5 mm <Z <0 mm, the strength of the magnetic field is low in the vicinity of the central axes of the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b. The quantitative simulation results are shown in FIG. FIG. 5 shows the disturbance magnetic field shielding rate on the axis of the first magnetic shield 16a with the outside of the magnetic shield 16 being 0%. As shown in FIG. 5, the magnetic shield 16 in the present embodiment can shield the disturbance magnetic field by approximately 90% in the range of −5 mm <Z <0 mm. That is, it is possible to exhibit a shielding effect substantially equal to that of the center of gravity of the cylinder in the conventional configuration. In the present embodiment, the range of −5 mm <Z <0 mm is not surrounded by the magnetic shield 16. Therefore, the magnetoelectric conversion element 14 and the substrate 18 are disposed in the region where the disturbance magnetic field can be shielded most without being limited by the degree of freedom of the structure of the substrate 18 on which the magnetoelectric conversion element 14 or the magnetoelectric conversion element 14 is disposed. Can do. In Patent Document 1, the magnetoelectric conversion element 14 is arranged in the vicinity of the opening of the cylindrical magnetic shield 16 in order to facilitate the installation of the magnetoelectric conversion element 14. As described above, in the vicinity of the opening of the magnetic shield 16, the disturbance magnetic field shielding rate is about 70%. Compared with this, in the present embodiment, the disturbance magnetic field shielding rate is reduced at the position where the magnetoelectric transducer 14 is disposed. About 20 points can be improved. As described above, by adopting the configuration of the magnetic shield 16 in the present embodiment, it is easy to arrange the magnetoelectric conversion element 14 while suppressing the disturbance magnetic field, and the degree of freedom of the structure of the magnetoelectric conversion element 14 or the substrate 18 is improved. Can be made.

また、本実施形態における磁気シールド１６は、Ｚ方向（並び方向／円筒の軸方向）と略直交する円板状とされた第２磁気シールド１６ｂを有する。第２磁気シールド１６ｂは、第１磁気シールド１６ａのうち、磁電変換素子１４が配置される側の開口端近傍における外乱磁場の磁路として機能する。具体的には、図６および図７に示すように、第２磁気シールド１６ｂに侵入した磁場のうち、磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向の成分は該方向に進む。また、並び方向に直交する成分は第２磁気シールド１６ｂに沿って進む。すなわち、第２磁気シールド１６ｂは、侵入した磁場を並び方向と並び方向に直交する成分とに分解する。換言すると、第２磁気シールド１６ｂは、第２磁気シールド１６ｂに侵入した磁場を並び方向に整流する。さらに、侵入磁場が整流されることにより、第２シールド１６ｂから排出された磁場の、並び方向の成分の一部は、第１磁気シールド１６ａに導かれやすい状態になる。これにより、磁電変換素子１４が配置される側の開口端近傍の磁場が小さくされる。なお、本実施形態における磁電変換素子１４は、並び方向に略直交する方向に感度を有するように配置されている。このため、Ｚ方向成分を含んだ外乱磁場が、磁電変換素子１４の配置箇所に浸入した場合でも、磁電変換素子１４が外乱磁場の影響を受けにくい。また、図７に示すように、任意の方向から外乱磁場が侵入した場合であっても、外乱磁場が第２磁気シールド１６ｂによって、磁電変換素子１４の不感方向であるＺ方向に整流されるため、磁電変換素子１４が外乱磁場の影響を受けにくくすることができる。   In addition, the magnetic shield 16 in the present embodiment includes a second magnetic shield 16b having a disk shape substantially orthogonal to the Z direction (alignment direction / cylinder axial direction). The second magnetic shield 16b functions as a magnetic path of a disturbance magnetic field in the vicinity of the opening end on the side where the magnetoelectric conversion element 14 is arranged in the first magnetic shield 16a. Specifically, as shown in FIGS. 6 and 7, among the magnetic field that has entered the second magnetic shield 16 b, the components in the direction in which the magnet 12 and the magnetoelectric transducer 14 are arranged proceed in that direction. In addition, the component orthogonal to the arrangement direction proceeds along the second magnetic shield 16b. In other words, the second magnetic shield 16b decomposes the invading magnetic field into an arrangement direction and a component orthogonal to the arrangement direction. In other words, the second magnetic shield 16b rectifies the magnetic field that has entered the second magnetic shield 16b in the alignment direction. Further, by rectifying the intrusion magnetic field, a part of the components in the arrangement direction of the magnetic field discharged from the second shield 16b is easily guided to the first magnetic shield 16a. Thereby, the magnetic field in the vicinity of the opening end on the side where the magnetoelectric conversion element 14 is arranged is reduced. In addition, the magnetoelectric conversion element 14 in this embodiment is arrange | positioned so that it may have a sensitivity in the direction substantially orthogonal to an arrangement direction. For this reason, even when the disturbance magnetic field including the Z direction component enters the location where the magnetoelectric conversion element 14 is disposed, the magnetoelectric conversion element 14 is not easily affected by the disturbance magnetic field. Further, as shown in FIG. 7, even when a disturbance magnetic field enters from an arbitrary direction, the disturbance magnetic field is rectified by the second magnetic shield 16 b in the Z direction, which is the insensitive direction of the magnetoelectric transducer 14. The magnetoelectric conversion element 14 can be made less susceptible to the influence of the disturbance magnetic field.

なお、図６および図７においては、磁場の方向（磁力線）を見やすくするため、基板１８およびパッケージ３００の図示を省略している。   6 and 7, the substrate 18 and the package 300 are not shown in order to make the direction of the magnetic field (lines of magnetic force) easy to see.

また、本実施形態における磁気シールド１６は、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂが、ともに、シャフト２０の回転軸２２と中心軸を同一とする回転対称形状を呈している。したがって、回転軸２２に略垂直な方向における遮蔽効果の方向依存性を低減することができる。とくに、本実施形態では、第１磁気シールド１６ａが円筒状であり、第２磁気シールド１６ｂが円板状である。よって、回転軸２２に略垂直な、あらゆる方向に対して、ほぼ均一な遮蔽効果を発揮することができる。   In the magnetic shield 16 in the present embodiment, the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b both have a rotationally symmetric shape in which the central axis is the same as the rotational axis 22 of the shaft 20. Therefore, the direction dependency of the shielding effect in the direction substantially perpendicular to the rotating shaft 22 can be reduced. In particular, in the present embodiment, the first magnetic shield 16a is cylindrical, and the second magnetic shield 16b is disk-shaped. Therefore, a substantially uniform shielding effect can be exhibited in all directions substantially perpendicular to the rotating shaft 22.

なお、上記したシミュレーションにおける磁気シールド１６の寸法は一例であって、上記例に限定されるものではない。本実施形態のような、アクセルの開度を検出するアクセル位置検出装置や、スロットル開度を検出するスロットル位置検出装置など、用途に応じて寸法を任意に設定することができる。本実施形態のように、アクセル位置検出装置１００に用いられる回転角検出装置１０であれば、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂの直径として、例えば、１０ｍｍ〜３０ｍｍとすることができる。また、第１磁気シールド１６ａの長さとして、５ｍｍ〜１５ｍｍとすることができる。また、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂの磁性体の厚さも任意に設定することができ、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍとすることができる。また、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂとの間のシールド間距離も、２ｍｍ〜１０ｍｍとすることができる。   In addition, the dimension of the magnetic shield 16 in the above simulation is an example, and is not limited to the above example. The dimensions can be arbitrarily set according to the application, such as an accelerator position detection device that detects the accelerator opening, and a throttle position detection device that detects the throttle opening as in the present embodiment. In the case of the rotation angle detection device 10 used in the accelerator position detection device 100 as in this embodiment, the diameters of the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b can be set to, for example, 10 mm to 30 mm. The length of the first magnetic shield 16a can be 5 mm to 15 mm. Moreover, the thickness of the magnetic body of the 1st magnetic shield 16a and the 2nd magnetic shield 16b can also be set arbitrarily, for example, can be 0.5 mm-1 mm. Moreover, the distance between shields between the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b can also be set to 2 mm to 10 mm.

（第２実施形態）
図８を参照して、本実施形態における回転角検出装置１０について説明する。本実施形態において、上記実施形態に示した回転角検出装置１０と共通する部分についての説明は割愛する。また、図８は、回転角検出装置１０の主要部分を図示しており、アクセルペダル２００、パッケージ３００、および、シャフト２０の一部を省略している。 (Second Embodiment)
With reference to FIG. 8, the rotation angle detection apparatus 10 in this embodiment is demonstrated. In the present embodiment, description of portions common to the rotation angle detection device 10 shown in the above embodiment is omitted. FIG. 8 illustrates a main part of the rotation angle detection device 10, and a part of the accelerator pedal 200, the package 300, and the shaft 20 is omitted.

本実施形態の第１の特徴は、磁気シールド１６が、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂに加えて、第３磁気シールド１６ｃを有している点である。また、第２の特徴は、シールド間距離について、磁電変換素子１４とオーバーラップする領域を含む中央部分１６ｂ１よりも、該中央部分１６ｂ１を取り囲む周辺部分１６ｂ２が大きくされている点である。   The first feature of this embodiment is that the magnetic shield 16 has a third magnetic shield 16c in addition to the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b. The second feature is that the peripheral portion 16b2 surrounding the central portion 16b1 is made larger than the central portion 16b1 including the region overlapping the magnetoelectric transducer 14 with respect to the distance between the shields.

まず、第１の特徴について説明する。図８に示すように、本実施形態では、第１実施形態に対して、磁石１２における、第２磁気シールドと反対側の一面１２ａの全面を覆うように、第３磁気シールド１６ｃが配置されている。本実施形態では、例えば、磁石１２の一面１２ａに対し、図示しない接着剤を介して第３磁気シールド１６ｃが固定されている。第３磁気シールド１６ｃの構成材料は、例えば、第１磁気シールド１６ａおよび第２磁気シールド１６ｂと同様に、鉄製の磁性体とすることができる。   First, the first feature will be described. As shown in FIG. 8, in the present embodiment, the third magnetic shield 16c is arranged so as to cover the entire surface of the one surface 12a opposite to the second magnetic shield in the magnet 12 in the first embodiment. Yes. In the present embodiment, for example, the third magnetic shield 16c is fixed to the one surface 12a of the magnet 12 via an adhesive (not shown). The constituent material of the third magnetic shield 16c can be, for example, an iron magnetic body, similarly to the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b.

この第３磁気シールド１６ｃにより、磁石１２が形成する磁場のうち、磁石１２に対して磁電変換素子１４と反対側への磁場の広がりを抑制することができる。このため、磁石１２が形成する磁場のうち、磁電変換素子１４側に広がる磁場の強度を大きくすることができる。これにより、第３磁気シールド１６ｃの無い構成に較べて、回転角の検出感度を向上させることができる。また、第３磁気シールド１６ｃは、第２磁気シールドと同様に、外乱磁場を磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向（シャフト２０の回転角２２に沿う方向）に整流する効果も奏することができる。このため、磁電変換素子１４が、外乱磁場によるノイズの影響を受けにくくすることができる。   The third magnetic shield 16c can suppress the spreading of the magnetic field formed by the magnet 12 to the opposite side of the magnet 12 from the magnetoelectric conversion element 14. For this reason, it is possible to increase the strength of the magnetic field spreading toward the magnetoelectric conversion element 14 among the magnetic fields formed by the magnet 12. Thereby, the detection sensitivity of a rotation angle can be improved compared with the structure without the 3rd magnetic shield 16c. Moreover, the 3rd magnetic shield 16c can also show the effect which rectifies | straightens a disturbance magnetic field to the arrangement direction (direction along the rotation angle 22 of the shaft 20) of the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 similarly to a 2nd magnetic shield. . For this reason, the magnetoelectric conversion element 14 can be made less susceptible to the influence of noise due to the disturbance magnetic field.

なお、本実施形態では、第３磁気シールド１６ｃが、磁石１２における、第２磁気シールドと反対側の一面１２ａの全面を覆うように配置された例を示した。しかしながら、上記例に限定されるものではない。第３磁気シールド１６ｃは、一面１２ａの少なくとも一部を覆うように配置されていれば、上記効果を奏することができる。すなわち、第３磁気シールド１６ｃの一面１２ａと対向する面の面積は、一面１２ａよりも大きくてもよいし、小さくてもよい。ただし、第３磁気シールド１６ｃが一面１２ａの全面を覆うように配置されることによって、より効果的に上記効果を発揮させることができる。   In the present embodiment, the example in which the third magnetic shield 16c is disposed so as to cover the entire surface of the one surface 12a opposite to the second magnetic shield in the magnet 12 is shown. However, it is not limited to the above example. If the 3rd magnetic shield 16c is arrange | positioned so that at least one part of the one surface 12a may be covered, the said effect can be show | played. That is, the area of the surface facing the one surface 12a of the third magnetic shield 16c may be larger or smaller than the one surface 12a. However, by arranging the third magnetic shield 16c so as to cover the entire surface 12a, the above-described effects can be more effectively exhibited.

次いで、第２の特徴について説明する。第１実施形態では、第２磁気シールド１６ｂが平板とされた例を示した。これに対して、本実施形態における第２磁気シールド１６ｂは、図８に示すように、第２磁気シールド１６ｂが磁電変換素子１４とオーバーラップする領域を含む中央部分１６ｂ１よりも、該中央部分１６ｂ１を取り囲む周辺部分１６ｂ２において、シールド間距離が小さくされている。具体的には、図８に示す第２磁気シールド１６ｂのうち破線の内側が中央部分１６ｂ１であり、中央部分１６ｂ１におけるシールド間距離は一定とされている。そして、第２磁気シールド１６ｂのうち破線の外側が周辺部分１６ｂ２であり、周辺部分１６ｂ２は、中央部分１６ｂ１との境界から外周方向に向かう一部の範囲で、シールド間距離が小さくされている。換言すれば、第２磁気シールド１６ｂは、周辺部分１６ｂ２の一部が、中央部分１６ｂ２に向かって、次第にシールド間距離が大きくなるように成形され、第２磁気シールド１６ｂの、磁石１２と対向する面が凹んだ皿形状とされている。   Next, the second feature will be described. In the first embodiment, an example in which the second magnetic shield 16b is a flat plate has been described. On the other hand, as shown in FIG. 8, the second magnetic shield 16b in the present embodiment has a central portion 16b1 that is more than the central portion 16b1 that includes a region where the second magnetic shield 16b overlaps the magnetoelectric transducer 14. The distance between the shields is reduced in the peripheral portion 16b2 that surrounds. Specifically, the inside of the broken line in the second magnetic shield 16b shown in FIG. 8 is the center portion 16b1, and the distance between the shields in the center portion 16b1 is constant. In the second magnetic shield 16b, the outer side of the broken line is the peripheral portion 16b2, and the peripheral portion 16b2 has a small distance between the shields in a partial range from the boundary with the central portion 16b1 toward the outer peripheral direction. In other words, the second magnetic shield 16b is shaped such that a part of the peripheral portion 16b2 gradually increases the distance between the shields toward the central portion 16b2, and faces the magnet 12 of the second magnetic shield 16b. It has a dish shape with a concave surface.

これによれば、磁電変換素子１４の近傍から、磁石１２が形成する磁場をトラップする可能性のある第２磁気シールド１６ｂの一部を、遠ざけることができる。このため、磁石１２により磁電変換素子１４側に形成される磁場が、磁性体である第２磁気シールド１６ｂにトラップされにくくすることができる。したがって、磁石１２が形成する磁場の、磁電変換素子１４による検出感度を向上させることができる。   According to this, a part of the second magnetic shield 16 b that may trap the magnetic field formed by the magnet 12 can be moved away from the vicinity of the magnetoelectric conversion element 14. For this reason, the magnetic field formed on the magnetoelectric conversion element 14 side by the magnet 12 can be made difficult to be trapped by the second magnetic shield 16b which is a magnetic body. Therefore, the detection sensitivity of the magnetic field formed by the magnet 12 by the magnetoelectric conversion element 14 can be improved.

なお、第２磁気シールド１６ｂの形状は、本実施形態のような皿形状に限定されるものではなく、例えば、平板状とされた第２磁気シールド１６ｂのうち、磁石１２と対向する面に凹部を設けてもよい。   The shape of the second magnetic shield 16b is not limited to the dish shape as in the present embodiment. For example, in the flat plate-shaped second magnetic shield 16b, a concave portion is formed on the surface facing the magnet 12. May be provided.

（第３実施形態）
上記した各実施形態では、磁電変換素子１４が基板１８上に配置された例を示した。これに対して、本実施形態では、図９に示すように、磁電変換素子１４が基板１８内部に埋め込まれて配置される例を示す。本実施形態において、上記実施形態に示した回転角検出装置１０と共通する部分についての説明は割愛する。 (Third embodiment)
In each of the above-described embodiments, an example in which the magnetoelectric conversion element 14 is disposed on the substrate 18 has been described. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 9, an example is shown in which the magnetoelectric conversion element 14 is embedded and disposed inside the substrate 18. In the present embodiment, description of portions common to the rotation angle detection device 10 shown in the above embodiment is omitted.

本実施形態において、基板１８は、例えば、磁電変換素子１４を保護するために樹脂を成形してなるモールド樹脂とすることができる。また、基板１８は、プリント基板であってもよく、例えば、ＰＡＬＡＰ（登録商標）のように、磁電変換素子１４を含む電子部品内蔵型のプリント基板とすることもできる。本実施形態でも、上記した各実施形態と同様に、第２磁気シールド１６ｂが、並び方向において、第１磁気シールド１６ａとの間に、所定のシールド間距離を有して配置されている。具体的には、シールド間距離が、基板１８の並び方向の厚さと同一とされている。このため、構造の自由度に制限を受けることなく、基板１８を第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂとの隙間に配置することができる。したがって、外乱磁場を遮蔽しつつ、基板１８の構造の自由度を向上させることができる。   In the present embodiment, the substrate 18 can be, for example, a mold resin formed by molding a resin to protect the magnetoelectric conversion element 14. Further, the substrate 18 may be a printed circuit board, and may be a printed circuit board with a built-in electronic component including the magnetoelectric conversion element 14 such as PALAP (registered trademark). Also in the present embodiment, the second magnetic shield 16b is disposed with a predetermined inter-shield distance between the second magnetic shield 16b and the first magnetic shield 16a in the arrangement direction, as in the above-described embodiments. Specifically, the distance between the shields is the same as the thickness in the direction in which the substrates 18 are arranged. For this reason, the board | substrate 18 can be arrange | positioned in the clearance gap between the 1st magnetic shield 16a and the 2nd magnetic shield 16b, without being restrict | limited to the freedom degree of a structure. Therefore, the degree of freedom of the structure of the substrate 18 can be improved while shielding the disturbance magnetic field.

（第４実施形態）
上記した各実施形態では、磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向と、シャフト２０の回転軸２２が同一の方向を向いている例を示した。これに対して、本実施形態では、図１０に示すように、回転軸２４が並び方向と略垂直とされた例を示す。本実施形態において、上記実施形態に示した回転角検出装置１０と共通する部分についての説明は割愛する。 (Fourth embodiment)
In each of the above-described embodiments, an example in which the arrangement direction of the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 and the rotation shaft 22 of the shaft 20 are directed in the same direction has been described. On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 10, the example in which the rotating shaft 24 was made substantially perpendicular to the arrangement direction is shown. In the present embodiment, description of portions common to the rotation angle detection device 10 shown in the above embodiment is omitted.

図１０に示すように、本実施形態では、シャフト２０が磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向に略垂直な方向を回転軸２４として回転し、シャフト２０とともに回転する磁石１２のまわりの磁場を変化させる。この磁場の変化が磁電変換素子１４により検出される。   As shown in FIG. 10, in the present embodiment, the shaft 20 rotates about a rotation axis 24 in a direction substantially perpendicular to the arrangement direction of the magnet 12 and the magnetoelectric transducer 14, and the magnetic field around the magnet 12 rotating with the shaft 20 is changed. Change. This change in the magnetic field is detected by the magnetoelectric transducer 14.

本実施形態では、シャフト２０および磁石１２の配置方向および回転方向を除いて、第１実施形態と同様の構成である。したがって、磁気シールド１６による外乱磁場の遮蔽効果、および、磁電変換素子１４と磁電変換素子１４が配置される基板１８の構造の自由度を向上させる効果として、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。   In the present embodiment, the configuration is the same as that of the first embodiment except for the arrangement direction and the rotation direction of the shaft 20 and the magnet 12. Therefore, the same effect as that of the first embodiment is achieved as an effect of shielding the disturbance magnetic field by the magnetic shield 16 and an effect of improving the degree of freedom of the structure of the substrate 18 on which the magnetoelectric conversion element 14 and the magnetoelectric conversion element 14 are arranged. be able to.

（第５実施形態）
上記した各実施形態では、被検出体に取り付けられ、磁電変換素子１４により検出する磁場を形成する磁場発生手段が磁石１２である例を示した。しかしながら、磁場を形成する磁場発生手段として、電流が流れる導線を採用することもできる。なお、本実施形態において、上記実施形態に示した回転角検出装置１０と共通する部分についての説明は割愛する。 (Fifth embodiment)
In each of the above-described embodiments, the example in which the magnetic field generating means that is attached to the detection target and forms the magnetic field detected by the magnetoelectric conversion element 14 is the magnet 12 has been described. However, it is also possible to employ a conducting wire through which a current flows as a magnetic field generating means for forming a magnetic field. In addition, in this embodiment, the description about the part which is common in the rotation angle detection apparatus 10 shown in the said embodiment is omitted.

本実施形態では、図１１に示すように、導線１３が、円筒状とされた第１磁気シールド１６ａと電気的に分離されつつ、電流の流れる方向が円筒の中心軸と略垂直になるように、第１磁気シールド１６ａを貫通して配置されている。この導線１３に電流が流れると、アンペールの法則に従って、導線１３に垂直な方向に磁場が生じる。この磁場を磁電変換素子１４により検出することで、電流値を検出することができる。すなわち、本実施形態の構成とすることにより、電流検出装置を構成することができる。なお、導線１３と磁電変換素子１４の並び方向において、第２磁気シールド１６ｂは、上記した各実施形態と同様に、第１磁気シールド１６ａと離間して配置されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 11, the conducting wire 13 is electrically separated from the cylindrical first magnetic shield 16a, and the direction of current flow is substantially perpendicular to the central axis of the cylinder. The first magnetic shield 16a is disposed through. When a current flows through the conductor 13, a magnetic field is generated in a direction perpendicular to the conductor 13 according to Ampere's law. A current value can be detected by detecting this magnetic field by the magnetoelectric transducer 14. That is, the current detection device can be configured by using the configuration of the present embodiment. Note that, in the arrangement direction of the conducting wire 13 and the magnetoelectric transducer 14, the second magnetic shield 16 b is disposed away from the first magnetic shield 16 a as in the above-described embodiments.

本実施形態における磁気シールド１６、磁電変換素子１４、および、磁場発生手段の構成は、磁場発生手段として、磁石１２を導線１３に置き換えたことを除き、第１実施形態と同様の構成である。このため、磁気シールド１６による外乱磁場の遮蔽効果、および、磁電変換素子１４と磁電変換素子１４が配置される基板１８の構造の自由度を向上させる効果として、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。したがって、外乱磁場によるノイズの影響を抑制しつつ、導線１３を流れる電流の電流値を検出することができる。   The configuration of the magnetic shield 16, the magnetoelectric conversion element 14, and the magnetic field generation unit in the present embodiment is the same as that of the first embodiment except that the magnet 12 is replaced with a conducting wire 13 as the magnetic field generation unit. For this reason, the effect similar to 1st Embodiment as an effect which improves the shielding effect of the disturbance magnetic field by the magnetic shield 16, and the structure of the board | substrate 18 in which the magnetoelectric conversion element 14 and the magnetoelectric conversion element 14 are arrange | positioned. Can play. Therefore, the current value of the current flowing through the conducting wire 13 can be detected while suppressing the influence of noise due to the disturbance magnetic field.

（その他の実施形態）
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。 (Other embodiments)
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

上記した各実施形態では、シャフト２０の回転軸２２，２４の方向として、磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向に沿う方向、あるいは略垂直な方向である例を示した。しかしながら、シャフトの回転軸の方向は、上記例に限定されるものではない。回転軸２２，２４は、シャフト２０の回転とともに回転する磁石１２が形成する磁場が、磁電変換素子１４の配置される位置において変化するように構成されていればよい。   In each of the above-described embodiments, an example in which the direction of the rotation axes 22 and 24 of the shaft 20 is a direction along the arrangement direction of the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 or a substantially vertical direction has been described. However, the direction of the rotation axis of the shaft is not limited to the above example. The rotating shafts 22 and 24 may be configured such that the magnetic field formed by the magnet 12 rotating with the rotation of the shaft 20 changes at the position where the magnetoelectric conversion element 14 is disposed.

また、上記した各実施形態では、磁石１２として、両面４極磁石を例に示したが、上記例に限定されるものではない。例えば、両端に磁極を有する棒磁石であってもよい。すなわち、シャフト２０の回転に伴って、磁電変換素子１４の位置において磁場が変化するように構成されていればよい。   Moreover, in each above-mentioned embodiment, although the double-sided quadrupole magnet was shown as an example as the magnet 12, it is not limited to the said example. For example, a bar magnet having magnetic poles at both ends may be used. In other words, it is only necessary that the magnetic field is changed at the position of the magnetoelectric conversion element 14 as the shaft 20 rotates.

また、上記した各実施形態では、第１磁気シールド１６ａとして、円筒状の磁性体が用いられる例を示した。すなわち、第１磁気シールド１６ａの長さ方向に垂直な断面が円形状となっている例を示した。しかしながら、上記例に限定されるものではない。第１磁気シールド１６ａは、磁石１２と磁電変換素子１４の対向領域を覆うように形成されていればよい。例えば、図１２に示すように、上記断面がＣ字形状となっていてもよいし、図１３に示すように多角形となっていてもよい。なお、図１３では、上記断面として正六角形を採用している。ただし、上記断面が、図１２に示すＣ字形状のような開いた構成に較べて、例えば、図１１に示すように閉じた形状とされるほうが、外乱磁場の遮蔽効果を高めることができる。さらに言えば、図１３に示すように、上記断面が回転対称形状を呈することにより、第１磁気シールド１６ａによる外乱磁場の、遮蔽効果の方位依存性を低減することができる。さらに、上記した各実施形態のように、上記断面が真円とされていることにより、遮蔽効果の方位依存性を無くすことができる。   In each of the above embodiments, an example in which a cylindrical magnetic body is used as the first magnetic shield 16a has been described. That is, the example in which the cross section perpendicular to the length direction of the first magnetic shield 16a is circular is shown. However, it is not limited to the above example. The 1st magnetic shield 16a should just be formed so that the opposing area | region of the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 may be covered. For example, as shown in FIG. 12, the cross section may be C-shaped, or may be polygonal as shown in FIG. In FIG. 13, a regular hexagon is used as the cross section. However, the shielding effect of the disturbance magnetic field can be enhanced if the cross section is closed as shown in FIG. 11, for example, as compared with the open configuration such as C-shape shown in FIG. Furthermore, as shown in FIG. 13, the cross section exhibits a rotationally symmetric shape, thereby reducing the azimuth dependence of the shielding effect of the disturbance magnetic field by the first magnetic shield 16a. Furthermore, since the cross section is a perfect circle as in each of the embodiments described above, the orientation dependency of the shielding effect can be eliminated.

また、第１磁気シールド１６ａは、上記断面の形状が、磁石１２と磁電変換素子１４の並び方向（すなわち、円筒の長さ方向）に沿って同一となっていなくともよい。例えば、図１４に示すように、第１磁気シールド１６ａの、並び方向における開口の大きさが、磁石１２側と磁電変換素子１４側で互いに異なるようになっていてもよい。   The first magnetic shield 16a may not have the same cross-sectional shape along the alignment direction of the magnet 12 and the magnetoelectric conversion element 14 (that is, the length direction of the cylinder). For example, as shown in FIG. 14, the size of the openings of the first magnetic shields 16a in the arrangement direction may be different between the magnet 12 side and the magnetoelectric conversion element 14 side.

また、上記した各実施形態では、第１磁気シールド１６ａが、磁電変換素子１４と磁石１２の並び方向において、磁電変換素子１４の磁石１２との対向面１４ａよりも磁石１２側、且つ、磁電変換素子１４と磁石１２との対向領域の少なくとも一部を囲むように配置されている。すなわち、磁石１２は、一部が第１磁気シールド１６ａに囲まれるか、あるいは、磁電変換素子１４と磁石１２の並び方向において、第１磁気シールド１６ａに対して、磁電変換素子１４の反対側に配置されている。しかしながら、第１磁気シールド１６ａと第２磁気シールド１６ｂの間のシールド間距離が、外乱磁場を遮蔽可能な距離であれば（シールド間距離が小さければ）、磁石１２は、磁電変換素子１４と磁石１２の並び方向において、第１磁気シールド１６ａに対して、磁電変換素子１４が配置された側に配置されていてもよい。   Further, in each of the above-described embodiments, the first magnetic shield 16a is on the magnet 12 side with respect to the facing surface 14a of the magnetoelectric conversion element 14 and the magnet 12 in the arrangement direction of the magnetoelectric conversion element 14 and the magnet 12, and magnetoelectric conversion is performed. It arrange | positions so that at least one part of the opposing area | region of the element 14 and the magnet 12 may be enclosed. That is, the magnet 12 is partially surrounded by the first magnetic shield 16a, or on the opposite side of the magnetoelectric conversion element 14 with respect to the first magnetic shield 16a in the arrangement direction of the magnetoelectric conversion element 14 and the magnet 12. Has been placed. However, if the distance between the shields between the first magnetic shield 16a and the second magnetic shield 16b is a distance that can shield the disturbance magnetic field (if the distance between the shields is small), the magnet 12 is composed of the magnetoelectric transducer 14 and the magnet. In the twelve arrangement directions, the first magnetic shield 16a may be disposed on the side where the magnetoelectric conversion element 14 is disposed.

１０・・・回転角検出装置
１２・・・磁石
１４・・・磁電変換素子
１６ａ・・・第１磁気シールド
１６ｂ・・・第２磁気シールド
１８・・・基板
２０・・・シャフト
２２・・・回転軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Rotation angle detector 12 ... Magnet 14 ... Magnetoelectric conversion element 16a ... 1st magnetic shield 16b ... 2nd magnetic shield 18 ... Board | substrate 20 ... Shaft 22 ... Axis of rotation

Claims (9)

被検出体に取り付けられ、該被検出体の回転にともなって回転する磁石（１２）と、
該磁石の、回転による磁場の変化を検出する磁電変換素子（１４）と、
外乱磁場を遮断する磁気シールド（１６）と、を有する回転角検出装置であって、
前記磁電変換素子と前記磁石とは、互いに離間しつつ対向配置され、
前記磁気シールドは、第１磁気シールド（１６ａ）と、第２磁気シールド（１６ｂ）と、を有し、
前記第１磁気シールドは、
前記磁電変換素子と前記磁石の並び方向において、前記磁電変換素子の前記磁石との対向面（１４ａ）よりも前記磁石側、且つ、前記磁石の少なくとも一部を囲むように配置され、
前記第２磁気シールドは、
前記並び方向において、前記第１磁気シールドとの間に、所定のシールド間距離を有するとともに、
前記磁電変換素子に対して、前記第１磁気シールドと反対側であって、前記磁石の回転により磁場が変化しない方向に、外乱磁場を整流するように配置されることを特徴とする回転角検出装置。 A magnet (12) attached to the detected body and rotating with the rotation of the detected body;
A magnetoelectric transducer (14) for detecting a change in magnetic field due to rotation of the magnet;
A rotation angle detector having a magnetic shield (16) for blocking a disturbance magnetic field,
The magnetoelectric conversion element and the magnet are arranged to face each other while being separated from each other,
The magnetic shield has a first magnetic shield (16a) and a second magnetic shield (16b),
The first magnetic shield is
In the arrangement direction of the magnetoelectric conversion element and the magnet, the magnet side of the magnetoelectric conversion element is arranged so as to surround at least a part of the magnet and the magnet side of the facing surface (14a),
The second magnetic shield is
In the arrangement direction, between the first magnetic shield and a predetermined distance between the shields,
Rotational angle detection characterized in that it is arranged so as to rectify a disturbance magnetic field in a direction opposite to the first magnetic shield with respect to the magnetoelectric conversion element and in a direction in which the magnetic field does not change due to rotation of the magnet. apparatus. 前記第１磁気シールドは、
前記磁電変換素子と前記磁石との対向領域の少なくとも一部を囲むように配置され、
前記第２磁気シールドは、
前記磁電変換素子の前記対向面と反対の面（１４ｂ）の全域に亘ってオーバーラップするように配置されることを特徴とする請求項１に記載の回転角検出装置。 The first magnetic shield is
It is arranged so as to surround at least a part of a facing region between the magnetoelectric conversion element and the magnet,
The second magnetic shield is
The rotation angle detection device according to claim 1, wherein the rotation angle detection device is disposed so as to overlap the entire surface of the magnetoelectric conversion element opposite to the facing surface (14 b). 前記磁電変換素子は、基板（１８）に固定され、
前記シールド間距離が、前記基板の前記並び方向の厚さ以上とされることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回転角検出装置。 The magnetoelectric transducer is fixed to a substrate (18),
The rotation angle detection device according to claim 1, wherein the distance between the shields is greater than or equal to the thickness of the substrates in the arrangement direction. 前記第２磁気シールドは、前記磁電変換素子とオーバーラップする領域を含む中央部分（１６ｂ１）における前記シールド間距離が、該中央部分を取り囲む周辺部分（１６ｂ２）における前記シールド間距離よりも、大きくされることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の回転角検出装置。   In the second magnetic shield, a distance between the shields in a central portion (16b1) including a region overlapping with the magnetoelectric transducer is made larger than a distance between the shields in a peripheral portion (16b2) surrounding the central portion. The rotation angle detection device according to claim 1, wherein the rotation angle detection device is a rotation angle detection device. 前記第２磁気シールドの前記周辺部分は、前記中央部分との境界から外周方向に向けての少なくとも一部が、前記外周方向に向かうほど、前記シールド間距離が小さくされることを特徴とする請求項４に記載の回転角検出装置。   The distance between the shields of the peripheral portion of the second magnetic shield is reduced as at least a part of the peripheral portion from the boundary with the central portion toward the outer peripheral direction goes to the outer peripheral direction. Item 5. The rotation angle detection device according to Item 4. 前記第１磁気シールドおよび第２磁気シールドは、中心軸を同一とする回転対称形状を呈することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の回転角検出装置。   The rotation angle detection device according to any one of claims 1 to 5, wherein the first magnetic shield and the second magnetic shield have a rotationally symmetric shape having the same central axis. 前記第１磁気シールドが円筒状であることを特徴とする請求項６に記載の回転角検出装置。   The rotation angle detection device according to claim 6, wherein the first magnetic shield is cylindrical. 前記磁気シールドは、
前記磁石における、前記第２磁気シールドと反対側の一面のうち、少なくとも一部を覆うように配置された第３磁気シールド（１６ｃ）を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の回転角検出装置。 The magnetic shield is
The third magnet shield (16c) disposed so as to cover at least a part of one surface of the magnet on the side opposite to the second magnetic shield. The rotation angle detection device according to item. 前記磁電変換素子は、前記並び方向に直交する方向に感度を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の回転角検出装置。   The rotation angle detection device according to claim 1, wherein the magnetoelectric conversion element has sensitivity in a direction orthogonal to the arrangement direction.
JP2013038365A 2012-03-29 2013-02-28 Rotation angle detector Expired - Fee Related JP6134941B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013038365A JP6134941B2 (en) 2012-03-29 2013-02-28 Rotation angle detector
DE201311001757 DE112013001757T5 (en) 2012-03-29 2013-03-20 Rotation angle detection device
PCT/JP2013/001889 WO2013145644A1 (en) 2012-03-29 2013-03-20 Rotation angle detection device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012077237 2012-03-29
JP2012077237 2012-03-29
JP2013038365A JP6134941B2 (en) 2012-03-29 2013-02-28 Rotation angle detector

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013228371A true JP2013228371A (en) 2013-11-07
JP6134941B2 JP6134941B2 (en) 2017-05-31

Family

ID=49258957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013038365A Expired - Fee Related JP6134941B2 (en) 2012-03-29 2013-02-28 Rotation angle detector

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6134941B2 (en)
DE (1) DE112013001757T5 (en)
WO (1) WO2013145644A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015141121A (en) * 2014-01-29 2015-08-03 株式会社デンソー magnetic sensor
WO2019054172A1 (en) * 2017-09-13 2019-03-21 株式会社東海理化電機製作所 Shift device

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3516759B1 (en) * 2016-09-23 2022-11-16 Suzhou Littelfuse OVS Co., Ltd. Rotary position sensor with dual magnet arrangement
DE102017106479A1 (en) * 2017-03-27 2018-09-27 Fritz Kübler GmbH Shielding system for magnetic encoder sensor system
JP7462133B2 (en) 2018-12-14 2024-04-05 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Magnetic Sensor Unit
US11046423B2 (en) 2019-07-18 2021-06-29 Pratt & Whitney Canada Corp. Blade angle position feedback system with magnetic shield

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06249608A (en) * 1993-02-18 1994-09-09 Kearney Natl Inc Rotating magnetism sensor
JPH0849575A (en) * 1994-08-08 1996-02-20 Nippondenso Co Ltd Operational quantity detection device for acceleration pedal
JP2000074613A (en) * 1998-08-31 2000-03-14 Toyota Motor Corp Rotational angle sensor
JP2001004405A (en) * 1999-06-22 2001-01-12 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Magnetic encoder device
JP2004257894A (en) * 2003-02-26 2004-09-16 Hitachi Unisia Automotive Ltd Rotation angle detection device
JP2010139351A (en) * 2008-12-11 2010-06-24 Tokyo Cosmos Electric Co Ltd Rotation angle sensor
JP2010169652A (en) * 2008-12-26 2010-08-05 Nippon Seiki Co Ltd Rotation angle detector

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06249608A (en) * 1993-02-18 1994-09-09 Kearney Natl Inc Rotating magnetism sensor
JPH0849575A (en) * 1994-08-08 1996-02-20 Nippondenso Co Ltd Operational quantity detection device for acceleration pedal
JP2000074613A (en) * 1998-08-31 2000-03-14 Toyota Motor Corp Rotational angle sensor
JP2001004405A (en) * 1999-06-22 2001-01-12 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Magnetic encoder device
JP2004257894A (en) * 2003-02-26 2004-09-16 Hitachi Unisia Automotive Ltd Rotation angle detection device
JP2010139351A (en) * 2008-12-11 2010-06-24 Tokyo Cosmos Electric Co Ltd Rotation angle sensor
JP2010169652A (en) * 2008-12-26 2010-08-05 Nippon Seiki Co Ltd Rotation angle detector

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015141121A (en) * 2014-01-29 2015-08-03 株式会社デンソー magnetic sensor
WO2019054172A1 (en) * 2017-09-13 2019-03-21 株式会社東海理化電機製作所 Shift device
JP2019051747A (en) * 2017-09-13 2019-04-04 株式会社東海理化電機製作所 Shift device
US11287030B2 (en) 2017-09-13 2022-03-29 Kabushiki Kaisha Tokai-Rika-Denki-Seisakusho Shift device

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013145644A1 (en) 2013-10-03
DE112013001757T5 (en) 2015-02-26
JP6134941B2 (en) 2017-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6134941B2 (en) Rotation angle detector
JP5558182B2 (en) Heat dissipation structure of electrical equipment
US20080164866A1 (en) Angle sensor
JP2010276422A (en) Current sensor
JP2011058870A (en) Rotation angle detection sensor
TWI691701B (en) Encoder
JP2020535406A (en) Module for detecting the rotating handle of a motor vehicle
CN104897182B (en) Magnetic testi type encoder magnetic shielding cover and Magnetic testi type encoder
JP6430043B2 (en) Rotation angle detection device and electric motor
US9817095B2 (en) Method for electromagnetic shielding for a magnetic resonance system and correspondingly shielded device
JP5082473B2 (en) Rotary encoder
MX2007011998A (en) Sensor assembly.
JP2017003283A (en) Current sensor
US10564003B2 (en) Measuring system for determining the angle of rotation
JP2008039632A (en) Rotation sensor device, and adjustment method of rotation sensor device
JP2005201898A (en) Displacement detector
KR101370122B1 (en) Potentiometers for minimizing of noise
JP2021076468A (en) Current sensor
JP2010169652A (en) Rotation angle detector
JP2015116115A (en) Rotary electric machine integrated controller
JP2013029437A (en) Surface current probe
JPH0723530Y2 (en) Engine oil level detector
TW201400420A (en) Eco-friendly magnetizer with strong thick iron wall transmission
WO2013160640A1 (en) A magnetic field sensing probe
JP6349500B2 (en) Resolver

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160830

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170321

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170403

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6134941

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees