JP2013209238A - Method for manufacturing ceramic sheet, and laminated structure used for manufacturing ceramic sheet - Google Patents

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幸二 工藤
Kengo Nishiyama
研吾 西山
Hiroyuki Tazaki
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a ceramic sheet at excellent yield, especially an electrolyte sheet for a solid oxide-type fuel cell.SOLUTION: A method for manufacturing a ceramic sheet includes (I) a step of manufacturing a laminated structure including a setter 1 and a sheet laminate 2 by placing the sheet laminate 2 including a ceramic green sheet on the setter 1, and (II) a step of firing the ceramic green sheet in the state of the laminated structure. The setter 1 includes a rectangular placing region 16 where the sheet laminate 2 can be placed. In the laminated structure, a visible outline A appearing when the sheet laminate 2 is projected on a virtual plane vertical to the stacking direction of setter 1 and sheet laminate 2 is positioned on the furthermore inside than a visible outline B appearing when a placing region 12 of the setter 1 is projected on the virtual plane, and the shortest distance d from each side forming the visible outline B to the visible outline A is ≤3.0 mm, respectively.

Description

本発明は、セラミックシートの製造方法と、セラミックシートの製造に用いられる積層構造体とに関する。   The present invention relates to a method for producing a ceramic sheet and a laminated structure used for producing a ceramic sheet.

セラミックシートは、優れた機械的強度、電気絶縁性、靭性、耐摩耗性、耐薬品性、及び耐食性等を有することから、各種電子材料、各種構造材料、刃物、及び焼成用のセッター等に利用されている。その中で、アルミナを主体とするセラミックシートは優れた電気絶縁性を有することから厚膜印刷基板及び薄膜回路基板として、窒化アルミニウムを主体とするセラミックシートは優れた熱伝導性と絶縁性とを有することからパワーモジュール向け放熱・絶縁基板及び回路基板として、さらにまた、ジルコニアを主体とするセラミックシートは高い酸素イオン伝導性を有することから燃料電池の電解質膜として、活用されている。   Ceramic sheets have excellent mechanical strength, electrical insulation, toughness, wear resistance, chemical resistance, corrosion resistance, etc., so they are used for various electronic materials, various structural materials, blades, firing setters, etc. Has been. Among them, ceramic sheets mainly composed of alumina have excellent electrical insulation, so that ceramic sheets mainly composed of aluminum nitride have excellent thermal conductivity and insulation as thick film printed boards and thin film circuit boards. Therefore, the ceramic sheet mainly composed of zirconia is utilized as an electrolyte membrane of a fuel cell because it has high oxygen ion conductivity.

セラミックシートを電子基板として利用する場合、基板上に導体回路を形成したり電子素子を搭載したりするので、基板となるセラミックシートに反りやウネリがあったり、また、キズ等の表面欠陥があると、導体回路や電子素子の実装が困難になるという不具合が生じる。   When a ceramic sheet is used as an electronic substrate, a conductor circuit is formed on the substrate or an electronic element is mounted. Therefore, the ceramic sheet serving as the substrate is warped or undulated, and has surface defects such as scratches. As a result, it becomes difficult to mount a conductor circuit or an electronic element.

また、近年、燃料電池はクリーンエネルギー源として注目されている。燃料電池のうち、電解質に固体のセラミックを使用している固体酸化物形燃料電池(以下、SOFCと記載する。)は、作動温度が高いため排熱を利用でき、さらに高効率で電力を得ることができる等の長所を有しており、家庭用電源から大規模発電まで幅広い分野での活用が期待されている。   In recent years, fuel cells have attracted attention as clean energy sources. Among fuel cells, a solid oxide fuel cell (hereinafter referred to as SOFC) that uses a solid ceramic as an electrolyte can use exhaust heat because of its high operating temperature, and obtains electric power with higher efficiency. It is expected to be used in a wide range of fields from household power sources to large-scale power generation.

SOFCのセルは、基本構造として、カソード(空気極)とアノード(燃料極)との間にセラミックからなる電解質が配置された構造を有する。例えば平型のSOFCは、カソード、電解質シート及びアノードを重ね合わせたものを単セルとする。この単セルがインターコネクタを挟んで複数積み重ねられることによって、高出力が得られる。このような電解質シートには、高い寸法精度及び高い平坦性(反り及びうねりの抑制)等が要求される。したがって、電解質シートの生産コストの低減及び生産性の向上等のために、高い寸法安定性を実現でき、反り及びうねりの発生を抑制でき、且つ、割れ及び欠けの発生を抑制できる製造方法の確立が求められている。   The SOFC cell has a basic structure in which an electrolyte made of ceramic is disposed between a cathode (air electrode) and an anode (fuel electrode). For example, a flat SOFC has a single cell in which a cathode, an electrolyte sheet, and an anode are stacked. High output can be obtained by stacking a plurality of the single cells with the interconnector interposed therebetween. Such an electrolyte sheet is required to have high dimensional accuracy, high flatness (suppression of warpage and undulation), and the like. Therefore, establishment of a manufacturing method capable of realizing high dimensional stability, suppressing the occurrence of warpage and waviness, and suppressing the occurrence of cracks and chipping, in order to reduce the production cost of the electrolyte sheet and improve the productivity. Is required.

SOFCの電解質には、ジルコニア系、セリア系及びランタンガレート系のセラミック材料が好適に用いられる。ジルコニア系セラミック材料としては、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)及びスカンジア安定化ジルコニア(ScSZ)等が挙げられる。セリア系セラミック材料としては、イットリア、サマリア及び/又はガドリア等がドープされたセリアが挙げられる。ランタンガレート系セラミック材料としては、ランタンガレート、及び、ランタンガレートのランタン及び/又はガリウムの一部がストロンチウム、カルシウム、バリウム、マグネシウム、アルミニウム、インジウム、コバルト、鉄、ニッケル及び/又は銅等で置換されたものが挙げられる。したがって、これらのセラミック系電解質材料からなるシートが、高い寸法安定性を実現でき、反り及びうねりの発生を抑制でき、且つ、割れ及び欠けの発生を抑制できる方法によって、歩留まり良く製造されることが求められる。   For the SOFC electrolyte, zirconia-based, ceria-based, and lanthanum gallate-based ceramic materials are preferably used. Examples of the zirconia ceramic material include yttria stabilized zirconia (YSZ) and scandia stabilized zirconia (ScSZ). Examples of the ceria-based ceramic material include ceria doped with yttria, samaria and / or gadria. As lanthanum gallate ceramic materials, lanthanum gallate and a part of lanthanum gallium and / or gallium are replaced with strontium, calcium, barium, magnesium, aluminum, indium, cobalt, iron, nickel, and / or copper, etc. Can be mentioned. Therefore, a sheet made of these ceramic electrolyte materials can be manufactured with a high yield by a method that can realize high dimensional stability, suppress the occurrence of warpage and waviness, and suppress the occurrence of cracks and chips. Desired.

セラミックシートは、通常、セラミック原料粉末、バインダー及び溶剤等を混合及び粉砕して得られるスラリーをドクターブレード法等によりテープ状に成形してグリーンテープを作製し、このグリーンテープを所定形状に切断・打ち抜きしたグリーンシートを焼成することによって作製できる。通常、グリーンシートを焼成する際は、生産性を上げるため、さらにシートの高い平坦性を実現するため等の目的で、セラミックセッターの上にセラミック多孔質スペーサとグリーンシートとを交互に積み重ねてシート積層体とし、このシート積層体の状態でグリーンシートが焼成される(例えば、特許文献1参照)。   A ceramic sheet is usually formed into a tape shape by a slurry obtained by mixing and pulverizing ceramic raw material powder, a binder, a solvent and the like into a tape shape by a doctor blade method or the like, and the green tape is cut into a predetermined shape. It can be produced by firing a punched green sheet. Normally, when firing green sheets, ceramic porous spacers and green sheets are alternately stacked on the ceramic setter for the purpose of increasing productivity and achieving high flatness of the sheet. A green sheet is fired in the state of the sheet laminate (see, for example, Patent Document 1).

シート積層体が配置されるセラミックセッターは、シート積層体が載置される載置面を備えている。セッターは、例えば、載置面のうちシート積層体が配置されない領域(例えば四隅)に支柱が設けられた構成を有することもできる。この支柱によって、シート積層体が載置されたセッターを、複数段積み重ねることが可能となる(例えば特許文献2)。   The ceramic setter on which the sheet laminate is disposed includes a placement surface on which the sheet laminate is placed. For example, the setter may have a configuration in which support columns are provided in regions (for example, four corners) of the placement surface where the sheet stack is not disposed. With this support column, it is possible to stack a plurality of setters on which the sheet laminate is placed (for example, Patent Document 2).

特開2007−302515号公報JP 2007-302515 A 特開2011−116617号公報JP 2011-116617 A

しかし、セラミックシート、特にSOFC用の電解質シートに要求される寸法精度等が高くなってきている。したがって、従来の方法では、そのような高い要求を満たすセラミックシートを歩留まり良く製造することが困難になってきている。   However, the dimensional accuracy required for ceramic sheets, particularly electrolyte sheets for SOFC, is increasing. Therefore, in the conventional method, it has become difficult to produce a ceramic sheet satisfying such high requirements with a high yield.

そこで、本発明は、セラミックシート、特にSOFC用の電解質シートを歩留まり良く製造できる方法を提供することを目的とする。さらに、本発明は、その方法において用いられる、セラミックグリーンシートを含む積層構造体を提供することも目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the method which can manufacture a ceramic sheet, especially the electrolyte sheet for SOFC with a sufficient yield. Furthermore, this invention also aims at providing the laminated structure containing the ceramic green sheet used in the method.

本発明者は、セラミックシート用のグリーンシートの積層工程及び焼成工程について検討を行い、セッターとシート積層体との位置関係と、製造されるセラミックシートの歩留まりとの関係を見出した。   This inventor examined the lamination process and baking process of the green sheet for ceramic sheets, and discovered the relationship between the positional relationship between a setter and a sheet laminated body, and the yield of the ceramic sheet manufactured.

本発明のセラミックシートの製造方法は、
(I)セッター上に、セラミックグリーンシートを含むシート積層体を載置して、前記セッターと前記シート積層体とを含む積層構造体を作製する工程と、
(II)前記積層構造体の状態で、前記セラミックグリーンシートを焼成する工程と、
を含み、
前記セッターは、前記シート積層体が載置され得る矩形状の載置領域を備えており、
前記積層構造体において、前記セッターと前記シート積層体との積み重ね方向に垂直な仮想面に前記シート積層体を投影したときに現れる外形線Aが、前記仮想面に前記セッターの前記載置領域を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置し、且つ、前記外形線Bを形成する各辺から前記外形線Aまでの最短距離がそれぞれ3.0mm以下である。
The method for producing the ceramic sheet of the present invention comprises:
(I) A step of placing a sheet laminate including a ceramic green sheet on a setter to produce a laminate structure including the setter and the sheet laminate;
(II) firing the ceramic green sheet in the state of the laminated structure;
Including
The setter includes a rectangular placement region on which the sheet laminate can be placed,
In the laminated structure, the outline A that appears when the sheet laminated body is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter and the sheet laminated body has the placement area of the setter on the virtual plane. The shortest distance from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less, which is located inside the outline B that appears when projected.

本発明の積層構造体は、
セッターと、
前記セッター上に載置された、セラミックグリーンシートを含むシート積層体と、
を含み、
前記セッターは、前記シート積層体が載置され得る矩形状の載置領域を備えており、
前記セッターと前記シート積層体との積み重ね方向に垂直な仮想面に前記シート積層体を投影したときに現れる外形線Aが、前記仮想面に前記セッターの前記載置領域を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置し、且つ、前記外形線Bを形成する各辺から前記外形線Aまでの最短距離がそれぞれ3.0mm以下である。
The laminated structure of the present invention is
Setter,
A sheet laminate including a ceramic green sheet placed on the setter;
Including
The setter includes a rectangular placement region on which the sheet laminate can be placed,
The outline A that appears when the sheet laminate is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter and the sheet laminate, and the outline that appears when the placement area of the setter is projected onto the virtual plane The shortest distance from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less.

本発明の製造方法では、セラミックグリーンシートを焼成する工程において、当該グリーンシートを含むシート積層体と、当該シート積層体が載置されたセッターとの位置関係が、上記のような特定の範囲内に限定されている。このような位置関係が満たされることにより、セラミックシートを高い歩留りで製造することができる。また、本発明の積層構造体を用いることにより、高い歩留りでのセラミックシートの製造が可能となる。   In the production method of the present invention, in the step of firing the ceramic green sheet, the positional relationship between the sheet laminate including the green sheet and the setter on which the sheet laminate is placed is within the specific range as described above. It is limited to. By satisfying such a positional relationship, the ceramic sheet can be manufactured with a high yield. Moreover, by using the laminated structure of the present invention, it becomes possible to produce a ceramic sheet with a high yield.

(a)は、本発明の製造方法の工程(I)において用いられるセッターの上面図であり、(b)は、(a)のI−I線断面図である。(A) is a top view of the setter used in process (I) of the manufacturing method of this invention, (b) is the II sectional view taken on the line of (a). 本発明の製造方法の工程(I)において用いられる、セッターと、当該セッター上に載置された、セラミックグリーンシートを含むシート積層体とで構成された積層構造体を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure comprised by the setter used in the process (I) of the manufacturing method of this invention, and the sheet | seat laminated body containing the ceramic green sheet mounted on the said setter. 比較例1で用いられた、セッターと、当該セッター上に載置された、セラミックグリーンシートを含むシート積層体とで構成された積層構造体を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure comprised by the setter used by the comparative example 1, and the sheet laminated body containing the ceramic green sheet mounted on the said setter.

以下、本発明の実施の形態について、具体的に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described.

本実施の形態のセラミックシートの製造方法は、
(I)セッター上に、セラミックグリーンシートを含むシート積層体を載置して、前記セッターと前記シート積層体とを含む積層構造体を作製する工程と、
(II)前記積層構造体の状態で、前記セラミックグリーンシートを焼成する工程と、
を含む。
The method for producing the ceramic sheet of the present embodiment is as follows:
(I) A step of placing a sheet laminate including a ceramic green sheet on a setter to produce a laminate structure including the setter and the sheet laminate;
(II) firing the ceramic green sheet in the state of the laminated structure;
including.

まず、工程(I)で用いられるセラミックグリーンシートについて、SOFC用の電解質シート用のグリーンシートを例に挙げて説明する。本実施の形態の製造方法において用いられるSOFC用の電解質シート用のグリーンシートは、例えば、セラミック系電解質原料粉末に、バインダー及び溶剤を添加し、さらに必要に応じて分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤等を添加してスラリーを調製し、このスラリーをテープ状に成形して乾燥させたグリーンテープを所定形状に切断・打ち抜きすることによって得ることができる。   First, the ceramic green sheet used in step (I) will be described by taking as an example a green sheet for an electrolyte sheet for SOFC. The green sheet for the electrolyte sheet for SOFC used in the manufacturing method of the present embodiment includes, for example, a binder and a solvent added to the ceramic electrolyte raw material powder, and further, a dispersant, a plasticizer, and a lubricant as necessary. And an antifoaming agent or the like is added to prepare a slurry, and the green tape obtained by forming the slurry into a tape shape and drying it is cut and punched into a predetermined shape.

セラミック系電解質原料粉末としては、MgO、CaO、SrO及びBaO等のアルカリ土類金属酸化物;Sc23、Y23、La23、CeO2、Pr23、Nd23、Sm23、Eu23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、Er23及びYb23等の希土類元素酸化物;及び、Bi23及びIn23等の酸化物、から選択される1種もしくは2種以上を、安定化剤として含有するジルコニアの粉末を例示できる。さらに、その他の添加剤として、SiO2、Ge23、B23、SnO2、Ta25及びNb25から選択される何れかの酸化物が含まれていてもよい。これらの中でも、より高レベルの酸素イオン伝導性、強度及び靭性を確保する上で望ましいのは、スカンジア、イットリア、セリア及びイッテルビアからなる群から選択される少なくとも何れか1種を安定化剤として含む、安定化ジルコニアである。安定化ジルコニア全体における安定化剤の含有量は、スカンジアで4〜12モル%、イットリアで3〜10モル%、セリアで0.5〜2モル%、イッテルビアで4〜15モル%である。結晶系は正方晶系であってもよいし立方晶系であってもよいが、スカンジアを含むジルコニアの場合、スカンジアの含有量が多くなると結晶系が菱面体晶に転移することがあるので、結晶系を立方晶系に安定化するために、第三成分としてセリア及び/又はアルミナ等を加えてもよい。以下、例えば、4モル%のスカンジアで安定化されたジルコニア(「4モル%のスカンジアを安定化剤として含むジルコニア」という意味。以下、同様の表現を同様の意味で用いる。)を4ScSZ、10モル%のスカンジア及び1モル%のセリアで安定化されたジルコニアを10Sc1CeSZ、8モル%のイットリアで安定化されたジルコニアを8YSZと表記する。 Examples of the ceramic electrolyte raw material powder include alkaline earth metal oxides such as MgO, CaO, SrO and BaO; Sc 2 O 3 , Y 2 O 3 , La 2 O 3 , CeO 2 , Pr 2 O 3 , Nd 2 O 3 , rare earth element oxides such as Sm 2 O 3 , Eu 2 O 3 , Gd 2 O 3 , Tb 2 O 3 , Dy 2 O 3 , Ho 2 O 3 , Er 2 O 3 and Yb 2 O 3 ; Examples thereof include zirconia powder containing one or more selected from oxides such as Bi 2 O 3 and In 2 O 3 as a stabilizer. Further, as other additives, any oxide selected from SiO 2 , Ge 2 O 3 , B 2 O 3 , SnO 2 , Ta 2 O 5 and Nb 2 O 5 may be contained. Among these, in order to ensure a higher level of oxygen ion conductivity, strength and toughness, at least one selected from the group consisting of scandia, yttria, ceria and ytterbia is included as a stabilizer. , Stabilized zirconia. The content of the stabilizer in the entire stabilized zirconia is 4 to 12 mol% for scandia, 3 to 10 mol% for yttria, 0.5 to 2 mol% for ceria, and 4 to 15 mol% for ytterbia. The crystal system may be a tetragonal system or a cubic system, but in the case of zirconia containing scandia, if the scandia content increases, the crystal system may transition to rhombohedral crystals. In order to stabilize the crystal system into a cubic system, ceria and / or alumina may be added as a third component. Hereinafter, for example, zirconia stabilized with 4 mol% of scandia (meaning “zirconia containing 4 mol% of scandia as a stabilizer”. Hereinafter, the same expression is used in the same sense.) 4ScSZ, 10 Zirconia stabilized with mol% scandia and 1 mol% ceria is denoted as 10Sc1CeSZ, and zirconia stabilized with 8 mol% yttria is denoted as 8YSZ.

セラミック系電解質原料粉末としては、他に、セリア系セラミック材料の粉末及びランタンガレート系セラミック材料の粉末を用いることもできる。セリア系セラミック材料としては、イットリア、サマリア及び/又はガドリア等がドープされたセリアが挙げられる。ランタンガレート系セラミック材料としては、ランタンガレート、及び、ランタンガレートのランタン及び/又はガリウムの一部がストロンチウム、カルシウム、バリウム、マグネシウム、アルミニウム、インジウム、コバルト、鉄、ニッケル及び/又は銅等で置換されたものが挙げられる。   As the ceramic electrolyte raw material powder, ceria-based ceramic material powder and lanthanum gallate-based ceramic material powder can also be used. Examples of the ceria-based ceramic material include ceria doped with yttria, samaria and / or gadria. As lanthanum gallate ceramic materials, lanthanum gallate and a part of lanthanum gallium and / or gallium are replaced with strontium, calcium, barium, magnesium, aluminum, indium, cobalt, iron, nickel, and / or copper, etc. Can be mentioned.

本実施の形態で用いられるSOFC用の電解質シート用のグリーンシートは、以上のようなセラミック系電解質原料粉末を用いて作製されるものである。   The green sheet for the SOFC electrolyte sheet used in the present embodiment is produced using the ceramic electrolyte raw material powder as described above.

なお、SOFC用の電解質シート以外のセラミックシートの主要素材となるセラミック粉末としては、アルミナ系粉末、チタニア系粉末、マグネシア系粉末、窒化アルミニウム系粉末、ホウ珪酸ガラス系粉末、コージェライト系粉末、ムライト系粉末、及びこれら2種以上からなる複合粉末等を挙げることができる。また、セラミック粉末として、ジルコニア系粉末、セリア系粉末及びランタンガレート系粉末を用いることも可能である。   The ceramic powder that is the main material of the ceramic sheet other than the electrolyte sheet for SOFC includes alumina powder, titania powder, magnesia powder, aluminum nitride powder, borosilicate glass powder, cordierite powder, mullite. And a composite powder composed of two or more of these. In addition, zirconia powder, ceria powder, and lanthanum gallate powder can be used as the ceramic powder.

回路を形成したり電子素子を搭載したりするための電子基板用セラミックシートの素材として特に望ましいのはアルミナ系粉末であり、放熱・絶縁基板として特に望ましいのは窒化アルミニウム系粉末である。アルミナ系粉末としては、アルミナのみ、並びに、MgO、CaO、SrO及びBaO等のアルカリ土類金属の酸化物、Y23、La23及びCeO2等の希土類元素の酸化物、Y23、La23及びCeO2等の希土類元素の酸化物で安定化されたジルコニア、焼結時にガラス質を形成し易いSiO2、K2O及びB23等の酸化物、Na23−SiO2−MgO系ガラス等のガラス成分等を、1種又は2種以上含むアルミナ系セラミックからなる粉末が挙げられる。窒化アルミニウム系粉末としては、窒化アルミニウムのみ、並びに、MgO、CaO、SrO及びBaO等のアルカリ土類金属の酸化物、Y23、La23及びCeO2等の希土類元素の酸化物等を、1種又は2種以上含む窒化アルミニウム系セラミックからなる粉末が挙げられる。 An alumina-based powder is particularly desirable as a material for a ceramic sheet for an electronic substrate for forming a circuit or mounting an electronic element, and an aluminum nitride-based powder is particularly desirable as a heat dissipation / insulating substrate. Examples of the alumina-based powder include alumina alone, oxides of alkaline earth metals such as MgO, CaO, SrO and BaO, oxides of rare earth elements such as Y 2 O 3 , La 2 O 3 and CeO 2 , Y 2 Zirconia stabilized with oxides of rare earth elements such as O 3 , La 2 O 3 and CeO 2 , oxides such as SiO 2 , K 2 O and B 2 O 3 that easily form glass during sintering, Na Examples thereof include powders made of alumina ceramics containing one or more glass components such as 2 O 3 —SiO 2 —MgO glass. Examples of the aluminum nitride powder include only aluminum nitride, oxides of alkaline earth metals such as MgO, CaO, SrO and BaO, oxides of rare earth elements such as Y 2 O 3 , La 2 O 3 and CeO 2 May be a powder made of an aluminum nitride-based ceramic containing one kind or two or more kinds.

グリーンシートの作製に用いられるバインダーの種類には制限がなく、従来の電解質シートの製造方法で公知となっている有機バインダーの中から適宜選択できる。有機バインダーとしては、エチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレート系及びメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルアセタール系樹脂、ビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ビニルアルコール系樹脂、エチルセルロース等のセルロース類及びワックス類等が例示される。これらの中でもグリーンシートの成形性や強度、特に量産のために大量焼成するときの熱分解性等の点から、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレート、ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート等の炭素数10以下のアルキル基を有するアルキルアクリレート類;メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート等の炭素数20以下のアルキル基を有するアルキルメタクリレート類;ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート等のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキルアクリレート又はヒドロキシアルキルメタクリレート類;ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート等のアミノアルキルアクリレート又はアミノアルキルメタクリレート類;(メタ)アクリル酸、マレイン酸、モノイソプロピルマレート等のマレイン酸半エステル等のカルボキシル基含有モノマー等の中から少なくとも1種を重合又は共重合させることによって得られるポリマーが好ましく使用される。   There is no restriction | limiting in the kind of binder used for preparation of a green sheet, It can select suitably from the organic binders well-known with the manufacturing method of the conventional electrolyte sheet. Organic binders include ethylene copolymers, styrene copolymers, acrylate and methacrylate copolymers, vinyl acetate copolymers, maleic acid copolymers, vinyl acetal resins, vinyl formal resins, polyvinyl Examples include butyral resin, vinyl alcohol resin, celluloses such as ethyl cellulose, and waxes. Among these, green acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl from the viewpoint of green sheet moldability and strength, especially thermal decomposability when mass-baking for mass production. Alkyl acrylates having an alkyl group having 10 or less carbon atoms such as acrylates; 20 or less carbon atoms such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, dodecyl methacrylate, lauryl methacrylate Alkyl methacrylates having various alkyl groups; hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acetate Hydroxyalkyl acrylates or hydroxyalkyl methacrylates having a hydroxyalkyl group such as rate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate; aminoalkyl acrylates or aminoalkyl methacrylates such as dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate; (meth) acrylic acid A polymer obtained by polymerizing or copolymerizing at least one of monomers containing a carboxyl group such as maleic acid half ester such as maleic acid and monoisopropylmalate is preferably used.

グリーンシートの作製に用いられる溶剤の種類には制限がなく、従来の電解質シートの製造方法で公知となっている溶剤の中から適宜選択できる。例えば、炭素数が2〜4のエタノール、イソプロパノール、n−ブタノール等のアルキルアルコール;1−ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、2−ブタノン等のケトン類;ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エステル類、等の中から適宜選択した溶剤を使用できる。これらの溶剤は、単独で使用してもよいし、2種以上を適宜混合して使用してもよい。   There is no restriction | limiting in the kind of solvent used for preparation of a green sheet, It can select suitably from the solvents well-known with the manufacturing method of the conventional electrolyte sheet. For example, alkyl alcohols having 2 to 4 carbon atoms such as ethanol, isopropanol and n-butanol; alcohols such as 1-hexanol; ketones such as acetone and 2-butanone; aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane and heptane Solvents appropriately selected from: aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethylbenzene; acetic esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate can be used. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

必要に応じて用いられる分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤には、従来の製造方法で電解質シートを製造する際に用いられる公知の分散剤、可塑剤、潤滑剤及び消泡剤を、それぞれ用いることができる。   Dispersants, plasticizers, lubricants and antifoaming agents used as necessary include known dispersants, plasticizers, lubricants and antifoaming agents used in the production of electrolyte sheets by conventional production methods. , Can be used respectively.

セラミック原料粉末、バインダー及び溶剤等を混合して作製されたスラリーを、通常の方法、例えばドクターブレード法、押出成形法又はカレンダーロール法等によりテープ状に成形し、乾燥させたグリーンテープを、所定の形状に切断することによって、セラミックシート用のグリーンシートを作製できる。なお必要に応じて、グリーンシートの表面を粗化する工程が含まれていてもよい。グリーンシートの大きさ及び厚さは、目的とするセラミックシートの形状、大きさ及び厚さと、焼成による収縮率とから求められる。   A slurry prepared by mixing ceramic raw material powder, binder, solvent, etc., is formed into a tape shape by a usual method, for example, a doctor blade method, an extrusion molding method or a calender roll method, etc. The green sheet for ceramic sheets is producible by cut | disconnecting to the shape of this. In addition, the process of roughening the surface of a green sheet may be included as needed. The size and thickness of the green sheet are determined from the shape, size and thickness of the target ceramic sheet and the shrinkage rate due to firing.

SOFC用の電解質シートの場合は、本実施の形態の製造方法で用いられるグリーンシートは、最終的に得られる電解質シートが50〜1000cm2の面積を有し、且つ0.05〜0.5mmの厚さを有するような、大きさ及び厚さを有することが望ましい。 In the case of an electrolyte sheet for SOFC, the green sheet used in the manufacturing method of the present embodiment is such that the finally obtained electrolyte sheet has an area of 50 to 1000 cm 2 and 0.05 to 0.5 mm. It is desirable to have a size and thickness, such as having a thickness.

グリーンシートの形状は、用途に応じて、例えば電解質シートの場合はその電解質シートが適用されるSOFCの形状に応じて、適宜決定されればよいため、特に制限されない。   The shape of the green sheet is not particularly limited because it may be appropriately determined according to the use, for example, in the case of an electrolyte sheet, according to the shape of the SOFC to which the electrolyte sheet is applied.

セッター上に、グリーンシートを含むシート積層体を配置する。シート積層体は、例えば、複数のグリーンシートをセラミック多孔質スペーサを介して互いに重ね合わせることによって形成できる。例えば、セッター上に、最下層及び最上層にセラミック多孔質スペーサが配置されるように、グリーンシートとセラミック多孔質スペーサとを交互に積み重ねて、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとからなるシート積層体を配置する。   A sheet laminate including a green sheet is disposed on the setter. The sheet laminate can be formed, for example, by superposing a plurality of green sheets on each other via a ceramic porous spacer. For example, a sheet laminate comprising a ceramic porous spacer and a green sheet, in which green sheets and ceramic porous spacers are alternately stacked so that ceramic porous spacers are disposed on the lowermost layer and the uppermost layer on the setter. Place.

シート積層体において、グリーンシートとセラミック多孔質スペーサとは、例えばセラミック多孔質スペーサが矩形又は円形の形状を有している場合、次のように配置されていてもよい。   In the sheet laminate, the green sheet and the ceramic porous spacer may be arranged as follows when the ceramic porous spacer has a rectangular or circular shape, for example.

まず、セラミック多孔質スペーサが矩形の形状を有する場合について、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとの位置関係の例を説明する。セラミック多孔質スペーサの外縁上の任意の点Aからグリーンシートの外縁までの最短距離をXとする。点Aがセラミック多孔質スペーサの長辺上に位置するときは短辺の長さをYとし、点Aが前記セラミック多孔質スペーサの短辺上に位置するときは長辺の長さをYとする。このとき、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとは、X及びYが(X/Y)×100=0.2〜4.0を満たすように配置されてもよい。(X/Y)×100の値をこのような範囲に設定することにより、セラミックシートの歩留まりを向上させることができる。セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとは、X及びYが(X/Y)×100=0.3〜3.5を満たすように配置されることが望ましく、0.4〜3.0を満たすように配置されることがより望ましい。   First, an example of the positional relationship between the ceramic porous spacer and the green sheet will be described in the case where the ceramic porous spacer has a rectangular shape. Let X be the shortest distance from any point A on the outer edge of the ceramic porous spacer to the outer edge of the green sheet. When the point A is located on the long side of the ceramic porous spacer, the length of the short side is Y, and when the point A is located on the short side of the ceramic porous spacer, the length of the long side is Y. To do. At this time, the ceramic porous spacer and the green sheet may be arranged so that X and Y satisfy (X / Y) × 100 = 0.2 to 4.0. By setting the value of (X / Y) × 100 in such a range, the yield of the ceramic sheet can be improved. The ceramic porous spacer and the green sheet are desirably arranged so that X and Y satisfy (X / Y) × 100 = 0.3 to 3.5, and satisfy 0.4 to 3.0. It is more desirable to be arranged in

セラミック多孔質スペーサが円形の形状を有する場合について、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとの位置関係の一例を説明する。セラミック多孔質スペーサの外縁上の任意の点Aからグリーンシートの外縁までの最短距離をXとする。セラミック多孔質スペーサの直径をYとする。この場合も、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとは、X及びYが(X/Y)×100=0.2〜4.0を満たすように配置されてもよい。(X/Y)×100の値をこのような範囲に設定することにより、セラミックシートの歩留まりを向上させることができる。セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとは、X及びYが(X/Y)×100=0.3〜3.5を満たすように配置されることが望ましく、0.4〜3.0を満たすように配置されることがより望ましい。   An example of the positional relationship between the ceramic porous spacer and the green sheet will be described in the case where the ceramic porous spacer has a circular shape. Let X be the shortest distance from any point A on the outer edge of the ceramic porous spacer to the outer edge of the green sheet. Let Y be the diameter of the ceramic porous spacer. Also in this case, the ceramic porous spacer and the green sheet may be arranged so that X and Y satisfy (X / Y) × 100 = 0.2 to 4.0. By setting the value of (X / Y) × 100 in such a range, the yield of the ceramic sheet can be improved. The ceramic porous spacer and the green sheet are desirably arranged so that X and Y satisfy (X / Y) × 100 = 0.3 to 3.5, and satisfy 0.4 to 3.0. It is more desirable to be arranged in

積み重ねられるグリーンシートの枚数は、その寸法にもよるが、例えば2〜20枚であり、好ましくは4〜12枚である。   The number of green sheets to be stacked is, for example, 2 to 20 sheets, preferably 4 to 12 sheets, depending on the dimensions.

本実施の形態の製造方法において用いられるセラミック多孔質スペーサは、アルミナ、ジルコニア及びムライトからなる群から選択される少なくともいずれか1種を含む多孔質体からなることが望ましい。これらは、耐クリープ性及び耐スポーリング性に優れているからである。さらに、これらは、高温雰囲気下でジルコニアとの反応性が低いので、ジルコニア系グリーンシートを焼成する際のスペーサとして適している。   The ceramic porous spacer used in the manufacturing method of the present embodiment is preferably made of a porous body containing at least one selected from the group consisting of alumina, zirconia, and mullite. This is because these are excellent in creep resistance and spalling resistance. Furthermore, since these have low reactivity with zirconia in a high temperature atmosphere, they are suitable as spacers when firing zirconia green sheets.

セラミック多孔質スペーサの気孔率は、30%以上70%以下が望ましい。セラミック多孔質スペーサがこのような気孔率を有することにより、セラミック多孔質スペーサとグリーンシートとを交互に積み重ねた状態でグリーンシートを焼成する際に、バインダー、可塑剤及び分散剤等の有機成分の熱分解によって生成するガス成分を速やかに外部に放出させて脱脂効果を促進できるからである。気孔率が30%未満である多孔質スペーサを使用すると、通気性の低下によって有機成分の燃焼及び有機成分分解ガスの放出が不十分となり、積層体上に重しを載置しても、電解質シートに発生するうねり及び反りの高さが大きく、且つ多くなり、クラックや割れが生じる原因になる。一方、気孔率が70%を超える多孔質スペーサを使用すると、有機成分の燃焼及び有機成分分解ガスの効率的な放出が行われてうねり及び反りの発生は低減されるが、多孔質スペーサ自体の強度が不十分となるため、ハンドリング性が著しく低下して複数回の使用に耐えられなくなる他、多孔質スペーサ表面の平滑性も悪くなって電解質シートにクラックや割れが生じやすくなる等の問題が生じる。多孔質スペーサのより望ましい気孔率は35%以上65%以下であり、さらに望ましい気孔率は40%以上60%以下である。   The porosity of the ceramic porous spacer is preferably 30% or more and 70% or less. When the ceramic porous spacer has such a porosity, when the green sheet is fired in a state where the ceramic porous spacer and the green sheet are alternately stacked, the organic porous component such as a binder, a plasticizer, and a dispersing agent This is because the degreasing effect can be promoted by quickly releasing the gas component generated by the thermal decomposition to the outside. When a porous spacer having a porosity of less than 30% is used, combustion of organic components and release of organic component decomposition gas become insufficient due to a decrease in air permeability, and even if a weight is placed on the laminate, the electrolyte The height of waviness and warpage generated in the sheet is large and large, which causes cracks and cracks. On the other hand, when a porous spacer having a porosity of more than 70% is used, combustion of the organic component and efficient release of the organic component decomposition gas are performed to reduce the occurrence of swell and warp. Since the strength is insufficient, the handling property is remarkably lowered and it cannot be used multiple times, and the smoothness of the surface of the porous spacer is also deteriorated so that the electrolyte sheet is likely to be cracked or cracked. Arise. The more desirable porosity of the porous spacer is 35% or more and 65% or less, and the more desirable porosity is 40% or more and 60% or less.

なお、ここでいう気孔率とは、JIS R2205の「耐火れんがの見掛気孔率の測定方法」に準拠して求められる気孔率のことである。試料の見掛気孔率(P0)は、乾燥試料の質量(W1)、飽水試料の水中の質量(W2)、飽水試料の質量(W3)から、下記式(1)で算出される。
0={(W3−W1)/(W3−W2)}×100 ・・・(1)
In addition, the porosity here is the porosity calculated | required based on "The measuring method of the apparent porosity of a refractory brick" of JISR2205. The apparent porosity (P 0 ) of the sample is expressed by the following formula (1) from the mass of the dry sample (W 1 ), the mass of the saturated sample in water (W 2 ), and the mass of the saturated sample (W 3 ). Calculated.
P 0 = {(W 3 −W 1 ) / (W 3 −W 2 )} × 100 (1)

また、多孔質スペーサの厚さが100μm未満では、気孔率が上記の望ましい範囲内であっても多孔質スペーサ自体のハンドリング強度が十分でなく、一方、厚さが500μmを超えると、ハンドリング強度は十分であるがグリーンシートからの有機成分分解ガスが効率良く放散されにくくなり、電解質シートにうねり及び反りが発生しやすくなる。多孔質スペーサのより望ましい厚さは120μm以上400μm以下であり、さらに望ましい厚さは150μm以上350μm以下である。   In addition, when the thickness of the porous spacer is less than 100 μm, the handling strength of the porous spacer itself is not sufficient even if the porosity is within the above desired range. On the other hand, when the thickness exceeds 500 μm, the handling strength is Although sufficient, the organic component decomposition gas from the green sheet is less likely to be efficiently diffused, and undulation and warpage tend to occur in the electrolyte sheet. A more desirable thickness of the porous spacer is 120 μm or more and 400 μm or less, and a more desirable thickness is 150 μm or more and 350 μm or less.

多孔質スペーサの面積及び形状は、目的とする電解質シートの面積及び形状から特定されるグリーンシートの面積及び形状に基づいて決定される。したがって、多孔質スペーサの形状は、焼成するグリーンシートの形状と相似形であることが好ましく、円形、楕円形、角形又はR(アール)を持った角形等、いずれでもよく、これらの形状内に円形、楕円形、角形又はR(アール)を持った角形等の穴を有するものであってもよい。   The area and shape of the porous spacer are determined based on the area and shape of the green sheet specified from the area and shape of the target electrolyte sheet. Accordingly, the shape of the porous spacer is preferably similar to the shape of the green sheet to be fired, and may be any of a circular shape, an elliptical shape, a square shape, a square shape having R (R), and the like. It may have a hole such as a circle, an ellipse, a square, or a square having R (R).

本実施の形態の製造方法において用いられるセッターは、一般に、主に電子部品やガラスの焼成に使用されるセラミック製の焼成用治具のことであり、棚板や敷板とも呼ばれる。図1(a)は、セッターの一例の上面図を示す。図1(b)は、図1(a)のI−I線断面図を示す。図1(a)及び(b)に示すように、セッター1は、シート積層体が載置される載置面11を有する。載置面11の周端部に支柱12が設けられている。この支柱12は、複数のセッター1を互いに積み重ねるために用いられる。支柱12の上面には、積み重ねられる他のセッター1の裏面(載置面11と反対側の面)15に形成された凸状の係合部13と篏合する、凹状の係合部14が形成されている。下段に配置されるセッター1の係合部14に、上段に配置されるセッター1の係合部13を嵌め合わせることにより、複数のセッター1を積み重ねることができる。載置面11は、シート積層体が載置され得る矩形状の載置領域16を備えている。セッター1の場合、載置面11のうち、支柱12が配置されている領域を避けた矩形の領域が載置領域16となる。   The setter used in the manufacturing method of the present embodiment is generally a ceramic firing jig mainly used for firing electronic parts and glass, and is also called a shelf board or a floor board. FIG. 1A shows a top view of an example of a setter. FIG.1 (b) shows the II sectional view taken on the line of Fig.1 (a). As shown in FIGS. 1A and 1B, the setter 1 has a placement surface 11 on which the sheet laminate is placed. A support column 12 is provided at the peripheral end of the mounting surface 11. The support column 12 is used to stack a plurality of setters 1 on each other. On the upper surface of the support column 12, there is a concave engaging portion 14 that mates with a convex engaging portion 13 formed on the back surface (surface opposite to the mounting surface 11) 15 of another setter 1 to be stacked. Is formed. A plurality of setters 1 can be stacked by fitting the engaging portion 13 of the setter 1 arranged in the upper stage to the engaging portion 14 of the setter 1 arranged in the lower stage. The placement surface 11 includes a rectangular placement region 16 on which the sheet laminate can be placed. In the case of the setter 1, a rectangular area that avoids the area where the support column 12 is disposed in the placement surface 11 is the placement area 16.

図2は、セッター1上にシート積層体2が配置された状態(積層構造体)の上面図を示す。シート積層体2は、セッター1とシート積層体2との積み重ね方向に垂直な仮想面にシート積層体2を投影したときに現れる外形線Aが、前記仮想面にセッター1の載置領域16を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置する。さらに、外形線Bを形成する各辺から外形線Aまでの最短距離dは、それぞれ3.0mm以下である。図2に示す上面図は、セッター1とシート積層体2との積み重ね方向から見た状態を示している。すなわち、前記仮想面に投影されたシート積層体2の外形線Aとセッター1の載置領域16の外形線Bとの関係は、図2に示されたシート積層体2の周縁とセッター1の載置領域16の周縁との関係と同じである。本実施の形態において、外形線Bを形成する各辺から外形線Aまでの最短距離dは、3.0mm以下であり、好ましくは2.0mm以下であり、より好ましくは1.5mm以下である。シート積層体2とセッター1の載置領域16とがこのような関係を満たす状態でグリーンシートが焼成されることにより、製造されるセラミックシートの歩留りが大幅に向上する。これは、シート積層体1とセッター1の載置領域16とがこのような関係を満たすことで、焼成時にシート積層体2におけるグリーンシートのズレが効果的に抑制されることが、理由の1つであると考えられる。一方、距離dは、0を超えていればよいが、シート積層体2をセッター1に適切な状態で載置しやすくするためには、1.5mm以上が好ましく、2.0mm以上がより望ましい。シート積層体2をセッター1に適切な状態で載置しやすくすることにより、製造されるセラミックシートの歩留りをより向上させることができる。   FIG. 2 shows a top view of a state in which the sheet laminate 2 is arranged on the setter 1 (laminated structure). In the sheet laminate 2, the outline A that appears when the sheet laminate 2 is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter 1 and the sheet laminate 2 has the placement area 16 of the setter 1 on the virtual plane. It is located inside the outline B that appears when projected. Further, the shortest distance d from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less. The top view shown in FIG. 2 has shown the state seen from the stacking direction of the setter 1 and the sheet | seat laminated body 2. FIG. That is, the relationship between the outline A of the sheet laminate 2 projected onto the virtual plane and the outline B of the placement area 16 of the setter 1 is such that the periphery of the sheet laminate 2 and the setter 1 shown in FIG. This is the same as the relationship with the periphery of the placement area 16. In the present embodiment, the shortest distance d from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less, preferably 2.0 mm or less, more preferably 1.5 mm or less. . By firing the green sheet in a state where the sheet laminate 2 and the placement region 16 of the setter 1 satisfy such a relationship, the yield of the ceramic sheet to be manufactured is greatly improved. This is because the sheet laminate 1 and the placement region 16 of the setter 1 satisfy such a relationship, so that the deviation of the green sheet in the sheet laminate 2 during firing is effectively suppressed. It is thought that it is one. On the other hand, the distance d only needs to exceed 0, but in order to easily place the sheet laminate 2 on the setter 1 in an appropriate state, the distance d is preferably 1.5 mm or more, and more preferably 2.0 mm or more. . By making it easy to place the sheet laminate 2 on the setter 1 in an appropriate state, the yield of the produced ceramic sheets can be further improved.

本実施の形態では、シート積層体2が載置されたセッター1を、複数段積み重ねることが可能である。セッター1を複数段積み重ねる場合、下段のセッター1に載置されたシート積層体2の上面と、上段のセッター1の裏面15との間の距離は、5.0〜25.0mmの範囲が好ましく、10.0〜20.0mmの範囲がより望ましい。下段のセッター1に載置されたシート積層体2の上面と、上段のセッター1の裏面15との間の距離を、このような範囲内に設定することにより、有機成分の熱分解によって生成するガス成分を速やかに外部に放出することができる。   In the present embodiment, the setter 1 on which the sheet laminate 2 is placed can be stacked in a plurality of stages. When the setter 1 is stacked in a plurality of stages, the distance between the upper surface of the sheet laminate 2 placed on the lower setter 1 and the back surface 15 of the upper setter 1 is preferably in the range of 5.0 to 25.0 mm. A range of 10.0 to 20.0 mm is more desirable. By setting the distance between the upper surface of the sheet laminate 2 placed on the lower setter 1 and the back surface 15 of the upper setter 1 within such a range, it is generated by thermal decomposition of organic components. The gas component can be quickly released to the outside.

セッター1の形状及び大きさは、上記の関係を満たすことができるように、シート積層体1の形状及び大きさを考慮して適宜設定するとよい。また、セッター1は、アルミナ、シリカ、マグネシア及びジルコニア等の酸化物、及び/又は、コージェライト、ジルコン及びムライト等の複合酸化物を含む材料によって作製されることが望ましい。   The shape and size of the setter 1 may be appropriately set in consideration of the shape and size of the sheet laminate 1 so that the above relationship can be satisfied. The setter 1 is preferably made of a material containing an oxide such as alumina, silica, magnesia and zirconia and / or a composite oxide such as cordierite, zircon and mullite.

次に、前記積層構造体の状態で、シート積層体2に含まれるグリーンシートを焼成する(工程(II))。具体的な焼成の条件は、特に制限されない。したがって、グリーンシートを焼成する通常の方法を用いることが可能である。例えば、グリーンシートからバインダー及び可塑剤等の有機成分を除去するために、150〜600℃、好ましくは250〜500℃で5〜80時間程度処理する。次いで、酸化性雰囲気下もしくは非酸化性雰囲気下、1000〜1800℃、好ましくは1200〜1600℃で2〜10時間保持して焼成することによって、電解質シートが得られる。   Next, the green sheet contained in the sheet laminate 2 is fired in the state of the laminated structure (step (II)). Specific firing conditions are not particularly limited. Therefore, it is possible to use a normal method for firing the green sheet. For example, in order to remove organic components such as a binder and a plasticizer from the green sheet, the treatment is performed at 150 to 600 ° C., preferably 250 to 500 ° C. for about 5 to 80 hours. Next, an electrolyte sheet is obtained by firing at 1000 to 1800 ° C., preferably 1200 to 1600 ° C. for 2 to 10 hours in an oxidizing atmosphere or a non-oxidizing atmosphere.

なお、本実施の形態では電解質シートを例に挙げて説明したが、本実施の形態で説明した方法が他のセラミックシートの製造にも適用できることはいうまでもない。   In this embodiment, the electrolyte sheet has been described as an example, but it goes without saying that the method described in this embodiment can also be applied to the manufacture of other ceramic sheets.

本実施の形態の製造方法によって得られるセラミックシートは、反り及びうねり異常、外観異常(キズ、割れ及び欠けの発生)が抑制され、例えばSOFC用の電解質シートとしての厳しい要求を満たすものである。すなわち、本実施の形態の製造方法は、セラミックシートを歩留まり良く製造できる方法である。   The ceramic sheet obtained by the manufacturing method of the present embodiment is capable of suppressing warpage, undulation abnormality, and appearance abnormality (occurrence of scratches, cracks, and chips), and satisfies strict requirements as an electrolyte sheet for SOFC, for example. That is, the manufacturing method of the present embodiment is a method capable of manufacturing a ceramic sheet with a high yield.

なお、本実施の形態では、シート積層体が矩形の場合を例に挙げて本発明の製造方法を説明したが、シート積層体の形状はこれに限定されない。シート積層体が例えば円形又は楕円形の場合であっても、セッターとシート積層体との位置関係が本発明で特定された条件を満たすことによって、同様の効果が得られる。   In the present embodiment, the manufacturing method of the present invention has been described by taking the case where the sheet laminate is rectangular as an example, but the shape of the sheet laminate is not limited to this. Even if the sheet laminate is, for example, circular or elliptical, the same effect can be obtained by satisfying the positional relationship between the setter and the sheet laminate satisfying the conditions specified in the present invention.

次に、本発明について、実施例を用いて具体的に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施例によって何ら限定されない。   Next, the present invention will be specifically described using examples. In addition, this invention is not limited at all by the Example shown below.

(実施例1)
本実施例では、SOFC用の電解質シートとして、ジルコニア系電解質シートを製造した。
Example 1
In this example, a zirconia-based electrolyte sheet was manufactured as an SOFC electrolyte sheet.

(1)ジルコニア系グリーンシートの製造
原料粉末として、8モル%酸化イットリウム安定化ジルコニア粉末(第一希元素化学社製、商品名「8YSZ」、d50(メジアン径):0.4μm)100質量部に対し、メタクリル系共重合体からなるバインダー(数平均分子量:100,000、ガラス転移温度:−8℃、固形分濃度:50%)を固形分換算で18質量部、分散剤として脂肪酸エステル系界面活性剤2質量部、可塑剤としてジブチルフタレート3質量部、溶剤としてトルエン50質量部を、ジルコニアボールが装入されたナイロンミルに入れ、40時間ミリングしてスラリーを調製した。得られたスラリーを、碇型の攪拌機を備えた内容積50Lのジャケット付丸底円筒型減圧脱泡容器へ移し、攪拌機を30rpmの速度で回転させながら、ジャケット温度:40℃で減圧(約4〜21kPa)下に濃縮脱泡し、25℃での粘度を3Pa・sに調整して塗工用スラリーとした。この塗工用スラリーをドクターブレード法によりポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に連続的に塗工し、次いで、40℃、80℃、110℃と乾燥させることによって、長尺の固体電解質用未処理グリーン体(グリーンテープ)を得た。このグリーンテープを、PETフィルムから剥がし、平均表面粗さRaが3.5μm、厚さが0.3mmの厚紙を装着した1000KN4柱式試験プレス機(株式会社大阪ジャッキ製作所製)を用いて、350KNで2秒間加圧した。その後、このグリーンテープを打ち抜き金型で打ち抜いて、一辺が133mmの正方形のグリーンシートを得た。得られたグリーンシートの厚さは、0.225mmであった。
(1) Production of zirconia-based green sheet As raw material powder, 8 parts by mass of yttrium oxide stabilized zirconia powder (manufactured by Daiichi Elemental Chemical Co., Ltd., trade name “8YSZ”, d 50 (median diameter): 0.4 μm) 100 parts by mass On the other hand, a binder composed of a methacrylic copolymer (number average molecular weight: 100,000, glass transition temperature: −8 ° C., solid content concentration: 50%) is 18 parts by mass in terms of solid content, and fatty acid ester as a dispersant. 2 parts by weight of a surfactant, 3 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, and 50 parts by weight of toluene as a solvent were placed in a nylon mill charged with zirconia balls and milled for 40 hours to prepare a slurry. The obtained slurry was transferred to a jacketed round bottom cylindrical vacuum degassing vessel equipped with a bowl-shaped stirrer and having an internal volume of 50 L. While rotating the stirrer at a speed of 30 rpm, the jacket temperature was reduced to 40 ° C. (about 4 ° C.). To 21 kPa), and the viscosity at 25 ° C. was adjusted to 3 Pa · s to obtain a coating slurry. The slurry for coating is continuously coated on a polyethylene terephthalate (PET) film by a doctor blade method, and then dried at 40 ° C., 80 ° C., and 110 ° C., thereby making untreated green for a long solid electrolyte. A body (green tape) was obtained. The green tape is peeled off from the PET film and 350 KN using a 1000 KN 4-column test press machine (manufactured by Osaka Jack Mfg. Co., Ltd.) equipped with a cardboard having an average surface roughness Ra of 3.5 μm and a thickness of 0.3 mm. For 2 seconds. Thereafter, this green tape was punched with a punching die to obtain a square green sheet having a side of 133 mm. The thickness of the obtained green sheet was 0.225 mm.

(2)セラミック多孔質スペーサの準備
セラミック多孔質スペーサには、一辺が約140mmである正方形のアルミナスペーサを用いた。このアルミナスペーサは、厚さが0.28mm、気孔率が45%であった。
(2) Preparation of Ceramic Porous Spacer A square alumina spacer having a side of about 140 mm was used as the ceramic porous spacer. This alumina spacer had a thickness of 0.28 mm and a porosity of 45%.

(3)セッターの準備
図1(a)及び(b)に示したセッター1と同じ形状を有する、アルミナ製のセッターを準備した。セッター1の横の長さは142.5mm(内寸)であり、縦の長さは144mm(内寸)であった。すなわち、セッター1の載置領域16の形状は、142.5mm×144mmの矩形であった。また、支柱12の高さは19.5mmであった。
(3) Preparation of setter An alumina setter having the same shape as the setter 1 shown in FIGS. 1 (a) and (b) was prepared. The horizontal length of the setter 1 was 142.5 mm (internal dimension), and the vertical length was 144 mm (internal dimension). That is, the shape of the placement area 16 of the setter 1 was a rectangle of 142.5 mm × 144 mm. Moreover, the height of the support | pillar 12 was 19.5 mm.

(4)シート積層体の作製
上記のように製造されたジルコニア系グリーンシート10枚と、上記アルミナスペーサ11枚とを準備した。下層及び最上層にアルミナスペーサが配置されるように、アルミナスペーサとジルコニア系グリーンシートとを交互に積み重ねた。
(4) Production of Sheet Laminate 10 sheets of zirconia green sheets manufactured as described above and 11 sheets of alumina spacers were prepared. Alumina spacers and zirconia green sheets were alternately stacked so that the alumina spacers were disposed in the lower layer and the uppermost layer.

(5)焼成
シート積層体の上に、厚さ1.6mmのセラミック多孔体(重し)を別途載置した。これを、上記(3)で準備したセッター1に載置して、図2に示したような積層構造体を作製した。セッター1とシート積層体2との積み重ね方向に垂直な仮想面にシート積層体2を投影したときに現れる外形線Aは、前記仮想面にセッター1の載置領域16を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置していた。さらに、外形線Bを形成する4つの辺のうち、セッター1の横の辺から外形線Aまでの最短距離はそれぞれ2mmであり、縦の辺から外形線Aまでの最短距離はそれぞれ1.25mmであった。また、下段のセッター1に載置されたシート積層体2の上面と、上段のセッター1の裏面15との間の距離は、12.57mmであった(19.5mm(支柱12の高さ)−6.93mm(シート積層体2の厚さ+重しの厚さ))。このように作製された積層構造体を同一平面上に4個並べ、さらにその上にそれぞれ11段積み重ねて、合計44個の積層構造体を準備した。これらを、連続脱脂炉を有する連続トンネル焼成炉(白石電機工業株式会社製)で、最高温度1400℃で3時間保持して焼成した。
(5) Firing A ceramic porous body (weight) having a thickness of 1.6 mm was separately placed on the sheet laminate. This was placed on the setter 1 prepared in the above (3) to produce a laminated structure as shown in FIG. An outline A that appears when the sheet laminate 2 is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter 1 and the sheet laminate 2 is an outline that appears when the placement area 16 of the setter 1 is projected onto the virtual plane. It was located inside the line B. Further, among the four sides forming the outline B, the shortest distance from the horizontal side of the setter 1 to the outline A is 2 mm, and the shortest distance from the vertical side to the outline A is 1.25 mm. Met. Moreover, the distance between the upper surface of the sheet | seat laminated body 2 mounted in the lower setter 1 and the back surface 15 of the upper setter 1 was 12.57 mm (19.5 mm (height of the support | pillar 12). -6.93 mm (the thickness of the sheet laminate 2 + the thickness of the weight)). Four stacked structures prepared in this way were arranged on the same plane, and 11 layers were stacked on each of the stacked structures to prepare a total of 44 stacked structures. These were fired in a continuous tunnel firing furnace having a continuous degreasing furnace (manufactured by Shiraishi Electric Industry Co., Ltd.) at a maximum temperature of 1400 ° C. for 3 hours.

焼成後に得られたセラミックシートは440枚であった。これら全シートに対して各種検査を行った。本実施例では、治具検査として、CCD検査装置を用いたうねり検査及び反り治具を用いた反り治具検査が行われた。うねり歩留り及び反り歩留りの結果は、表1に示すとおりである。治具検査に合格したセラミックシートに対して、さらに目視による外観検査が行われた。なお外観検査としては、割れ(クラック)および/欠けが確認されたものを不可とした。外観検査の各項目の評価基準は以下のとおりである。   The number of ceramic sheets obtained after firing was 440 sheets. Various inspections were performed on all these sheets. In this example, as the jig inspection, a swell inspection using a CCD inspection apparatus and a warpage jig inspection using a warpage jig were performed. The results of the swell yield and the warp yield are as shown in Table 1. Visual inspection was further performed on the ceramic sheet that passed the jig inspection. In addition, as the appearance inspection, those in which cracks (cracks) and / or chips were confirmed were prohibited. The evaluation criteria for each item of appearance inspection are as follows.

焼成枚数に対する、うねり、反りおよび外観のいずれの検査にも合格した枚数の割合を算出し、得られた値を総合歩留とした。総合歩留も、表1に示されている。   The ratio of the number of sheets that passed any of the inspections of swell, warpage, and appearance to the number of fired sheets was calculated, and the obtained value was taken as the overall yield. The overall yield is also shown in Table 1.

(比較例1)
用いたセッター、さらに焼成時のセッターの積み重ね段数が異なる点以外は、実施例1と同様の方法でセラミックシートを作製した。
(Comparative Example 1)
A ceramic sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the setter used and the number of stacked setters during firing were different.

セッターには、従来用いられていた、1つのセッターに4個のシート積層体を載置するものを使用した。図3に、本比較例で用いたセッター101と、その上に配置されたシート積層体102とを示す。セッター101には、セッター101を複数段積み重ねるために、その周端部に支柱103が設けられていた。セッター101の載置領域104の形状は、290mm×295mmの矩形であり、この載置領域104内にシート積層体102が図3に示すように配置されていた。すなわち、本比較例では、セッター101とシート積層体との積み重ね方向に垂直な仮想面に載置領域104を投影したときに現れる外形線Bを形成する各辺から、前記仮想面にシート積層体102を投影したときに現れる外形線Aまでの最短距離が、3.0mmを超えていた。なお、セッター101には、裏面にも支柱が設けられており、積み重ねられた状態では、下段のセッター101の載置面に設けられた支柱103と、上段のセッター101の裏面に設けられた支柱とによって、支柱が形成される。このセッター101において、積み重ねられた状態における支柱の高さは20.5mmであった。   As the setter, a conventional setter in which four sheet laminates are placed on one setter was used. FIG. 3 shows the setter 101 used in this comparative example and the sheet laminate 102 disposed thereon. The setter 101 was provided with a support column 103 at the peripheral end thereof in order to stack a plurality of setters 101. The setting area 104 of the setter 101 has a rectangular shape of 290 mm × 295 mm, and the sheet laminate 102 is arranged in the setting area 104 as shown in FIG. That is, in this comparative example, the sheet laminate is formed on the virtual plane from each side forming the outline B that appears when the placement area 104 is projected onto the virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter 101 and the sheet laminate. The shortest distance to the outline A that appears when 102 was projected was over 3.0 mm. The setter 101 is also provided with a support on the back surface, and in the stacked state, the support 103 provided on the mounting surface of the lower setter 101 and the support provided on the back of the upper setter 101. And a column is formed. In the setter 101, the height of the support in the stacked state was 20.5 mm.

一段に4個のシート積層体102が配置されたセッター101を8段積み重ねて、合計で320枚のグリーンシートを焼成した。焼成方法は、実施例1の場合と同じであった。また、下段のセッター101に載置されたシート積層体102の上面と、上段のセッター101の裏面との間の距離は、13.57mmであった(20.5mm(支柱の高さ)−6.93mm(シート積層体102の厚さ+重しの厚さ))。得られたセラミックシートについて、実施例1と同様に、治具検査及び外観検査を行った。これらの結果は表1に示されている。   Eight stages of setters 101 each having four sheet laminates 102 arranged thereon were stacked, and a total of 320 green sheets were fired. The firing method was the same as in Example 1. Moreover, the distance between the upper surface of the sheet | seat laminated body 102 mounted in the lower setter 101, and the back surface of the upper setter 101 was 13.57 mm (20.5 mm (height of support | pillar) -6) .93 mm (the thickness of the sheet laminate 102 + the thickness of the weight)). The obtained ceramic sheet was subjected to jig inspection and appearance inspection in the same manner as in Example 1. These results are shown in Table 1.

Figure 2013209238
Figure 2013209238

表1に示すように、セッターとシート積層体との位置関係が本発明で特定した条件を満たす方法(実施例1)によって製造されたセラミックシートは、この条件を満たさない方法(比較例1)によって製造されたセラミックシートと比較して、うねり歩留りが約10%上昇し、総合歩留りも13%も上昇した。   As shown in Table 1, the ceramic sheet manufactured by the method (Example 1) in which the positional relationship between the setter and the sheet laminate satisfies the conditions specified in the present invention does not satisfy this condition (Comparative Example 1). Compared with the ceramic sheet manufactured by, the swell yield increased by about 10% and the overall yield also increased by 13%.

本発明のセラミックシートの製造方法は、良質なセラミックシートを歩留り良く製造できるので、SOFC用の電解質シート等の特に高価格材料からなる電解質シートの製造にも好適に利用できる。   Since the method for producing a ceramic sheet of the present invention can produce a high-quality ceramic sheet with good yield, it can be suitably used for producing an electrolyte sheet made of a particularly expensive material such as an electrolyte sheet for SOFC.

1 セッター
2 シート積層体
11 載置面
12 支柱
13,14 係合部
15 裏面
16 載置領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Setter 2 Sheet laminated body 11 Mounting surface 12 Support | pillar 13,14 Engagement part 15 Back surface 16 Mounting area | region

Claims (2)

(I)セッター上に、セラミックグリーンシートを含むシート積層体を載置して、前記セッターと前記シート積層体とを含む積層構造体を作製する工程と、
(II)前記積層構造体の状態で、前記セラミックグリーンシートを焼成する工程と、
を含み、
前記セッターは、前記シート積層体が載置され得る矩形状の載置領域を備えており、
前記積層構造体において、前記セッターと前記シート積層体との積み重ね方向に垂直な仮想面に前記シート積層体を投影したときに現れる外形線Aが、前記仮想面に前記セッターの前記載置領域を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置し、且つ、前記外形線Bを形成する各辺から前記外形線Aまでの最短距離がそれぞれ3.0mm以下である、
セラミックシートの製造方法。
(I) A step of placing a sheet laminate including a ceramic green sheet on a setter to produce a laminate structure including the setter and the sheet laminate;
(II) firing the ceramic green sheet in the state of the laminated structure;
Including
The setter includes a rectangular placement region on which the sheet laminate can be placed,
In the laminated structure, the outline A that appears when the sheet laminated body is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter and the sheet laminated body has the placement area of the setter on the virtual plane. The shortest distance from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less, located inside the outline B that appears when projected.
Manufacturing method of ceramic sheet.
セッターと、
前記セッター上に載置された、セラミックグリーンシートを含むシート積層体と、
を含み、
前記セッターは、前記シート積層体が載置され得る矩形状の載置領域を備えており、
前記セッターと前記シート積層体との積み重ね方向に垂直な仮想面に前記シート積層体を投影したときに現れる外形線Aが、前記仮想面に前記セッターの前記載置領域を投影したときに現れる外形線Bよりも内側に位置し、且つ、前記外形線Bを形成する各辺から前記外形線Aまでの最短距離がそれぞれ3.0mm以下である、
積層構造体。
Setter,
A sheet laminate including a ceramic green sheet placed on the setter;
Including
The setter includes a rectangular placement region on which the sheet laminate can be placed,
The outline A that appears when the sheet laminate is projected onto a virtual plane perpendicular to the stacking direction of the setter and the sheet laminate, and the outline that appears when the placement area of the setter is projected onto the virtual plane The shortest distance from each side forming the outline B to the outline A is 3.0 mm or less, located on the inner side of the line B.
Laminated structure.
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