JP2013206683A - Drift tube linear accelerator - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drift tube linear accelerator which allows for reliable positioning of a drift tube for an acceleration cavity, while reducing the time and effort required for the positioning.SOLUTION: The drift tube linear accelerator includes: a rod-like stem 5 having one end connected with a drift tube, and a first positioning face 15A perpendicular to the axial direction; and a cylindrical tank 2 having a wall above which the stem 5 is installed, and a second positioning face 17A perpendicular to the axial direction of the stem 5 and in contact with the first positioning face 15A. The first positioning face 15A or second positioning face 17A is formed, respectively, on the stem 5 or the tank 2 based on the relation of installation positions of the tank 2 and the drift tube in the tank 2.

Description

本発明は、ステムを介して加速空洞部内部にドリフトチューブが設置されるドリフトチューブ型線形加速器に関するものである。   The present invention relates to a drift tube type linear accelerator in which a drift tube is installed inside an acceleration cavity through a stem.

ドリフトチューブ型線形加速器は、円筒形状の加速空洞部（以下「タンク」という。）と、タンク内部に軸方向に沿って配置された複数のドリフトチューブを備える。真空状態に保たれたタンクの中へマイクロ波を供給したときに、マイクロ波の共振によって交流電場が発生する。そして、空洞中心軸にイオンビーム（例えば、陽子ビーム）が打ち込まれ、イオンビームは、隣り合うドリフトチューブ間に存在するときに、加速方向の電場がかかって加速する。一方、減速方向の電場が発生しているとき、イオンビームは、ドリフトチューブ内に位置して電場の影響を受けない。   The drift tube type linear accelerator includes a cylindrical acceleration cavity (hereinafter referred to as “tank”) and a plurality of drift tubes arranged along the axial direction inside the tank. When a microwave is supplied into a tank kept in a vacuum state, an alternating electric field is generated by the resonance of the microwave. An ion beam (for example, a proton beam) is injected into the central axis of the cavity, and the ion beam is accelerated by an electric field in the acceleration direction when it exists between adjacent drift tubes. On the other hand, when an electric field in the deceleration direction is generated, the ion beam is located in the drift tube and is not affected by the electric field.

ドリフトチューブは、棒状部材であるステムを介してタンクの内部に吊り下げられる。加速器において、複数のドリフトチューブは、軸方向が一致するように、タンクの軸方向に沿って高精度に配置される必要がある。また、加速器運転時、タンク内は、高い真空封止が要求される。   The drift tube is suspended inside the tank via a stem that is a rod-shaped member. In the accelerator, the plurality of drift tubes need to be arranged with high accuracy along the axial direction of the tank so that the axial directions coincide with each other. Further, when the accelerator is operated, a high vacuum sealing is required in the tank.

特許文献１では、ステムの先端部に導電性のテーパ部を形成するとともに、タンクにテーパ部と同勾配のテーパ孔を形成し、テーパ部をテーパ孔に嵌入することによってドリフトチューブを固定する技術が開示されている。また、特許文献２では、円筒型加速空洞に形成された貫通孔にステムが設置され、ステムと貫通孔の間には隙間が設けられていることが開示されており、ドリフトチューブの位置決め時にステムを動かして微調整がされる。   In patent document 1, while forming the conductive taper part in the front-end | tip part of a stem, forming the taper hole of the same gradient as a taper part in a tank, and fixing a drift tube by inserting a taper part in a taper hole Is disclosed. Patent Document 2 discloses that a stem is installed in a through hole formed in a cylindrical acceleration cavity, and a gap is provided between the stem and the through hole. Move the to make fine adjustments.

特開平４−１１８９００号公報Japanese Patent Laid-Open No. 4-118900 特許第３３２８０８８号公報Japanese Patent No. 3328088

特許文献１では、軸線方向に対して斜めの形状であるテーパ部とテーパ孔によって、ドリフトチューブの位置決めをするとしている。しかし、各部材を正確なテーパ形状に加工することや、テーパ形状を有する各部材を組み合わせて精度の良い位置決めをすることは困難である。   In Patent Document 1, the drift tube is positioned by a tapered portion and a tapered hole that are oblique with respect to the axial direction. However, it is difficult to process each member into an accurate taper shape and to perform positioning with high accuracy by combining each member having a taper shape.

また、特許文献２のように微調整が可能な構造において、ドリフトチューブは、アライメントテレスコープを用いて位置調整が行われる。しかし、この方法では、例えば１日に４台のドリフトチューブを加速空洞部に取り付けるのがせいぜいであり、１台のタンクに例えば約３０個のドリフトチューブが設けられるような加速器では、組み立てに長時間かかるという問題があった。   Moreover, in the structure which can be finely adjusted like patent document 2, the position adjustment of a drift tube is performed using an alignment telescope. However, in this method, for example, four drift tubes per day are attached to the accelerating cavity, and an accelerator in which one tank is provided with, for example, about 30 drift tubes is long for assembly. There was a problem of taking time.

さらに、真空封止のため、ステムの外周面にエラストマー製Ｏリングが設置されるが、エラストマー製Ｏリングから出るアウトガスによって、超真空状態が阻害されるという問題があった。   Furthermore, an elastomeric O-ring is installed on the outer peripheral surface of the stem for vacuum sealing, but there is a problem in that the super-vacuum state is hindered by the outgas emitted from the elastomeric O-ring.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、加速空洞部に対するドリフトチューブの位置決めが確実になされ、位置調整にかかる時間や手間を低減することが可能なドリフトチューブ型線形加速器を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and the drift tube type linear accelerator is capable of reliably positioning the drift tube with respect to the acceleration cavity and reducing the time and labor required for position adjustment. The purpose is to provide.

上記課題を解決するために、本発明のドリフトチューブ型線形加速器は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明に係るドリフトチューブ型線形加速器は、ドリフトチューブが一端に接続され、軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面が形成された棒状のステムと、前記ステムが壁部上部に設置され、前記ステムの軸線方向に対して垂直な面であり、前記第１位置決め面と接触する第２位置決め面が形成された円筒状の加速空洞部とを備え、前記第１位置決め面、又は前記第２位置決め面は、前記加速空洞部と、前記加速空洞部内部における前記ドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、前記ステム、又は前記加速空洞部にそれぞれ形成される。 In order to solve the above problem, the drift tube type linear accelerator of the present invention employs the following means.
That is, the drift tube type linear accelerator according to the present invention includes a rod-shaped stem in which a drift tube is connected to one end and a first positioning surface which is a surface perpendicular to the axial direction is formed, and the stem is an upper portion of a wall portion. A cylindrical acceleration cavity formed with a second positioning surface that is perpendicular to the axial direction of the stem and is in contact with the first positioning surface, the first positioning surface, Alternatively, the second positioning surface is formed in the stem or the acceleration cavity portion based on the relationship between the acceleration cavity portion and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity portion.

この発明によれば、ステムには、軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面が形成されており、加速空洞部には、第１位置決め面と接触する第２位置決め面が形成されている。そして、第１位置決め面又は第２位置決め面は、加速空洞部と、加速空洞部内部におけるドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、ステム又は加速空洞部にそれぞれ形成されることから、第１位置決め面と第２位置決め面を接触させることによって、ステムは、加速空洞部に対して、鉛直方向、すなわち、上下方向の位置決めがされる。そして、位置決めの際、ステムの位置の微調整は、不要である。また、第１位置決め面及び第２位置決め面は、ステムの軸線方向に対して垂直な面であることから、加工が容易であり、位置決めの精度を向上させることができる。   According to the present invention, the stem is formed with the first positioning surface which is a surface perpendicular to the axial direction, and the acceleration cavity portion is formed with the second positioning surface in contact with the first positioning surface. ing. The first positioning surface or the second positioning surface is formed in the stem or the acceleration cavity portion based on the relationship between the acceleration cavity portion and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity portion. By bringing the positioning surface and the second positioning surface into contact, the stem is positioned in the vertical direction, that is, in the vertical direction with respect to the acceleration cavity. Further, fine adjustment of the position of the stem is not necessary at the time of positioning. Moreover, since the first positioning surface and the second positioning surface are surfaces perpendicular to the axial direction of the stem, the processing is easy and the positioning accuracy can be improved.

上記発明において、前記ステムの外周面は、該外周面上の上下方向が前記ステムの軸線方向に対して平行である第３位置決め面であり、前記加速空洞部は、前記ステムが軸線方向に挿入される開口部を有し、前記開口部の内周面は、該内周面上の上下方向が前記ステムの軸線方向に対して平行な面で、前記第３位置決め面と接触する第４位置決め面であり、前記第３位置決め面、又は前記第４位置決め面は、前記加速空洞部と、前記加速空洞部内部における前記ドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、前記ステム、又は加速空洞部にそれぞれ形成されてもよい。   In the above invention, the outer peripheral surface of the stem is a third positioning surface whose vertical direction on the outer peripheral surface is parallel to the axial direction of the stem, and the acceleration cavity portion has the stem inserted in the axial direction. And an inner peripheral surface of the opening is a surface in which the vertical direction on the inner peripheral surface is parallel to the axial direction of the stem, and is in contact with the third positioning surface. The third positioning surface or the fourth positioning surface is based on the relationship between the acceleration cavity and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity, or the stem or the acceleration cavity May be formed respectively.

この発明によれば、ステムには、軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面が形成されており、加速空洞部には、第３位置決め面と接触する第４位置決め面が形成されている。そして、第３位置決め面又は第４位置決め面は、加速空洞部と、加速空洞部内部におけるドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、ステム又は加速空洞部にそれぞれ形成されることから、第３位置決め面と第４位置決め面を接触させることによって、ステムは、加速空洞部に対して、水平方向、すなわち、横方向の位置決めがされる。そして、位置決めの際、ステムの位置の微調整は、不要である。また、第３位置決め面及び第４位置決め面は、ステムの軸線方向に対して平行な面であることから、加工が容易であり、位置決めの精度を向上させることができる。   According to this invention, the stem is formed with the first positioning surface that is a surface perpendicular to the axial direction, and the acceleration cavity is formed with the fourth positioning surface that contacts the third positioning surface. ing. Then, the third positioning surface or the fourth positioning surface is formed in the stem or the acceleration cavity portion based on the relationship between the acceleration cavity portion and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity portion. By bringing the positioning surface and the fourth positioning surface into contact with each other, the stem is positioned in the horizontal direction, that is, in the lateral direction with respect to the acceleration cavity. Further, fine adjustment of the position of the stem is not necessary at the time of positioning. In addition, since the third positioning surface and the fourth positioning surface are surfaces parallel to the axial direction of the stem, the processing is easy and the positioning accuracy can be improved.

上記発明において、前記第２位置決め面は、前記加速空洞部内部側に形成され、前記第１位置決め面は、前記ステムにおいて前記加速空洞部の外部側向きに形成されてもよい。   In the above invention, the second positioning surface may be formed on the inside of the acceleration cavity, and the first positioning surface may be formed on the stem toward the outside of the acceleration cavity.

この発明によれば、第２位置決め面が形成された加速空洞部内部側にて、加速空洞部の第２位置決め面とステムの第１位置決め面が接触し、ステムは、加速空洞部に対して、鉛直方向、すなわち、上下方向の位置決めがされる。   According to this invention, the second positioning surface of the acceleration cavity and the first positioning surface of the stem are in contact with each other on the inner side of the acceleration cavity where the second positioning surface is formed. In the vertical direction, that is, in the vertical direction, positioning is performed.

上記発明において、前記第２位置決め面は、前記加速空洞部外部側に形成され、前記第１位置決め面は、前記ステムにおいて前記加速空洞部の内部側向きに形成されてもよい。   In the above invention, the second positioning surface may be formed on the outer side of the acceleration cavity, and the first positioning surface may be formed on the stem toward the inner side of the acceleration cavity.

この発明によれば、第２位置決め面が形成された加速空洞部外部側にて、加速空洞部の第２位置決め面とステムの第１位置決め面が接触し、ステムは、加速空洞部に対して、鉛直方向、すなわち、上下方向の位置決めがされる。   According to this invention, the second positioning surface of the acceleration cavity and the first positioning surface of the stem are in contact with each other outside the acceleration cavity where the second positioning surface is formed, and the stem is in contact with the acceleration cavity. In the vertical direction, that is, in the vertical direction, positioning is performed.

上記発明において、前記ステムの周囲に金属製のリング状のシール部材が設置されてもよい。   In the above invention, a metal ring-shaped sealing member may be provided around the stem.

この発明によれば、エラストマー製のシール部材ではなく、金属製のシール部材が使用されていることから、アウトガス量を低減し、高い真空度を確保することができる。上記発明において、位置決めの際に位置の微調整が不要であることから、金属製のシール部材を適用しても、金属製のシール部材表面のめっきの剥がれなどの不具合が生じにくい。   According to this invention, since the seal member made of metal is used instead of the seal member made of elastomer, the outgas amount can be reduced and a high degree of vacuum can be secured. In the above invention, since fine adjustment of the position is unnecessary at the time of positioning, even if a metal seal member is applied, problems such as peeling of plating on the surface of the metal seal member are unlikely to occur.

本発明によれば、加速空洞部とステムに形成されたステムの軸線方向に対して垂直な面を接触させることによって、加速空洞部に対するドリフトチューブの位置決めが確実になされる。また、ステムの位置の微調整が不要であるため、位置調整にかかる時間や手間を低減することができる。   According to the present invention, positioning of the drift tube with respect to the acceleration cavity is ensured by bringing a surface perpendicular to the axial direction of the stem formed in the acceleration cavity and the stem into contact with each other. In addition, since fine adjustment of the position of the stem is unnecessary, time and labor required for position adjustment can be reduced.

本発明の第１実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a tank and a stem of a drift tube type linear accelerator concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクを示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a tank of a drift tube type linear accelerator concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing a tank and a stem of a drift tube type linear accelerator concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第２実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank and stem of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank and stem of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank and stem of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the tank and stem of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器のタンクとステムを示す部分拡大縦断面図である。It is a partial expanded longitudinal cross-sectional view which shows the tank and stem of the drift tube type | mold linear accelerator which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

以下に、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態に係るドリフトチューブ型線形加速器１について、図１から図４を用いて説明する。
ドリフトチューブ型線形加速器１は、円筒形状の空洞共振器であるタンク２と、タンク２内部に軸方向に沿って配置された複数のドリフトチューブ３を備える。真空状態に保たれたタンクの中へマイクロ波を供給したときに、マイクロ波の共振によって交流電場が発生する。そして、空洞中心軸にイオンビーム４（例えば、陽子ビーム）が打ち込まれる。イオンビーム４は、図１（ｂ）に示すように、隣り合うドリフトチューブ３間に来たときに、加速方向の電場がかかって加速する。一方、図１（ａ）に示すように、減速方向の電場が発生しているときは、イオンビーム４はドリフトチューブ３内に位置して電場の影響を受けない。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First Embodiment]
Hereinafter, a drift tube type linear accelerator 1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The drift tube type linear accelerator 1 includes a tank 2 that is a cylindrical cavity resonator, and a plurality of drift tubes 3 that are arranged inside the tank 2 along the axial direction. When a microwave is supplied into a tank kept in a vacuum state, an alternating electric field is generated by the resonance of the microwave. Then, an ion beam 4 (for example, a proton beam) is injected into the central axis of the cavity. As shown in FIG. 1B, the ion beam 4 is accelerated by an electric field in the acceleration direction when it comes between adjacent drift tubes 3. On the other hand, as shown in FIG. 1A, when an electric field in the deceleration direction is generated, the ion beam 4 is located in the drift tube 3 and is not affected by the electric field.

タンク２は、軸方向に長い円筒形状である。タンク２の上部には、ステム５の上端が貫通して設置される。タンク２の内部には、例えば十数個のドリフトチューブ３が１列に配置される。   The tank 2 has a cylindrical shape that is long in the axial direction. The upper end of the stem 5 is installed through the upper portion of the tank 2. For example, dozens of drift tubes 3 are arranged in a row inside the tank 2.

ドリフトチューブ３の上端は、ステム５の下端と接続されており、ドリフトチューブ３は、ステム５を介してタンク２の内部に吊り下げられる。ドリフトチューブ３は、両端が開口した貫通孔を有する円筒形状であり、貫通孔の貫通方向は、タンク２の軸線方向と平行である。複数のドリフトチューブ３は、軸方向が一致するように、高精度に配置される。   The upper end of the drift tube 3 is connected to the lower end of the stem 5, and the drift tube 3 is suspended inside the tank 2 through the stem 5. The drift tube 3 has a cylindrical shape having through holes that are open at both ends, and the through direction of the through holes is parallel to the axial direction of the tank 2. The plurality of drift tubes 3 are arranged with high accuracy so that the axial directions coincide.

ステム５は、棒状部材であって、ステム５の長さは、ドリフトチューブ３の開口方向の軸線がタンク２の軸線と一致するように決定される。ステム５は、タンク２と接続されており、本実施形態では、タンク２とステム５との接続部分の形状によって、ドリフトチューブ３の位置決めが行われる。そして、タンク２とステム５の接続部分の加工精度を高めれば、位置決め精度を向上させることができる。   The stem 5 is a rod-like member, and the length of the stem 5 is determined so that the axis of the drift tube 3 in the opening direction matches the axis of the tank 2. The stem 5 is connected to the tank 2. In this embodiment, the drift tube 3 is positioned by the shape of the connecting portion between the tank 2 and the stem 5. And if the processing precision of the connection part of the tank 2 and the stem 5 is raised, positioning accuracy can be improved.

タンク２、ドリフトチューブ３及びステム５は、例えば、本体が無酸素銅から構成されたり、又は、表面にＰＲ（Periodic Reverse）銅電鋳法によるめっきが施されたりする。   The tank 2, the drift tube 3, and the stem 5 have, for example, a body made of oxygen-free copper, or a surface plated by PR (Periodic Reverse) copper electroforming.

タンク２の上部には、開口部２ａが形成され、開口部２ａにはステム５が貫通して配置される。タンク２の上部の内面側には、開口部２ａの縁に沿ってステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１６が形成される。溝１６内には、ＲＦコンタクタ６が配置される。   An opening 2a is formed in the upper part of the tank 2, and a stem 5 is disposed through the opening 2a. On the inner surface side of the upper portion of the tank 2, a ring-shaped groove 16 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed along the edge of the opening 2a. An RF contactor 6 is disposed in the groove 16.

ＲＦコンタクタ６は、タンク２とステム５に接触するように設置され、ＲＦコンタクタ６によって、タンク２とステム５との間の電気的接触が向上する。ＲＦコンタクタ６は、図２に示すように断面がＬ字形状の銅製の接触部６Ａと、リング形状であって接触部をステム５の半径方向に付勢するＳＵＳ製の弾性部６Ｂなどからなる。   The RF contactor 6 is installed so as to be in contact with the tank 2 and the stem 5, and the RF contactor 6 improves the electrical contact between the tank 2 and the stem 5. As shown in FIG. 2, the RF contactor 6 includes a copper contact portion 6A having an L-shaped cross section and a SUS elastic portion 6B having a ring shape and biasing the contact portion in the radial direction of the stem 5. .

タンク２の上部の外側には、密閉部材７が設置される。密閉部材７は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。   A sealing member 7 is installed outside the upper portion of the tank 2. The sealing member 7 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a.

密閉部材７の下面、すなわち、タンク２と接触する面には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１０が形成される。溝１０内には、Ｏリング１１が配置される。Ｏリング１１は、金属製であり、タンク２と密閉部材７とがねじ止めによって密着固定されたとき、溝１０内部で潰される。その結果、Ｏリング１１及びタンク２、並びにＯリング１１及び密閉部材７が密着し、Ｏリング１１は、タンク２と密閉部材７との間の隙間を封じる。タンク２と密閉部材７とを固定するねじは、ステム５の軸線方向に対して平行である。   A ring-shaped groove 10 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed on the lower surface of the sealing member 7, that is, the surface in contact with the tank 2. An O-ring 11 is disposed in the groove 10. The O-ring 11 is made of metal, and is crushed inside the groove 10 when the tank 2 and the sealing member 7 are firmly fixed by screwing. As a result, the O-ring 11 and the tank 2 and the O-ring 11 and the sealing member 7 are in close contact with each other, and the O-ring 11 seals the gap between the tank 2 and the sealing member 7. A screw for fixing the tank 2 and the sealing member 7 is parallel to the axial direction of the stem 5.

密閉部材７の上部の外側には、固定部材１４が設置される。固定部材１４は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。   A fixing member 14 is installed outside the upper portion of the sealing member 7. The fixing member 14 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a.

密閉部材７の開口部７ａの上部には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１２が形成される。溝１２内には、金属製のメタルリング１３が配置される。メタルリング１３は、図２に示すように、タンク２側の直径が小さく固定部材１４側の直径が大きい円錐台形状であって、皿ばねのような形状を有する。メタルリング１３は、密閉部材７と固定部材１４とがねじ止めによって密着固定されたとき、溝１２内で潰される。その結果、ステム５とメタルリング１３が密着し、メタルリング１３は、ステム５との間の隙間を封じる。密閉部材７と固定部材１４とを固定するねじは、ステム５の軸線方向に対して平行である。
Ｏリング１１やメタルリング１３は、金属製であって、エラストマー製のシール部材に比べてアウトガス量が少ない。 A ring-shaped groove 12 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed in the upper part of the opening 7 a of the sealing member 7. A metal ring 13 made of metal is disposed in the groove 12. As shown in FIG. 2, the metal ring 13 has a truncated cone shape with a small diameter on the tank 2 side and a large diameter on the fixing member 14 side, and has a shape like a disc spring. The metal ring 13 is crushed in the groove 12 when the sealing member 7 and the fixing member 14 are tightly fixed by screwing. As a result, the stem 5 and the metal ring 13 are in close contact with each other, and the metal ring 13 seals the gap between the stem 5. A screw for fixing the sealing member 7 and the fixing member 14 is parallel to the axial direction of the stem 5.
The O-ring 11 and the metal ring 13 are made of metal and have a smaller amount of outgas than an elastomer seal member.

また、固定部材１４には、半径方向に、固定部材１４の外周から開口部１４ａまで貫通するねじ穴（図示せず。）が形成される。ねじ穴に固定ねじ（図示せず。）が挿通され、固定ねじの先端がステム５に押し当たることによって、ステム５が固定部材１４、すなわち、タンク２に対して固定される。   The fixing member 14 is formed with a screw hole (not shown) penetrating from the outer periphery of the fixing member 14 to the opening 14a in the radial direction. A fixing screw (not shown) is inserted into the screw hole, and the tip of the fixing screw is pressed against the stem 5, whereby the stem 5 is fixed to the fixing member 14, that is, the tank 2.

次に、ステム５の位置決め構造について説明する。
ステム５は、図２に示すように、ステム５の外周に鍔１５がステム５の本体と一体形成される。鍔１５の上面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面１５Ａである。 Next, the positioning structure of the stem 5 will be described.
As shown in FIG. 2, the stem 5 has a flange 15 formed integrally with the main body of the stem 5 on the outer periphery of the stem 5. The upper surface of the flange 15 is a first positioning surface 15 </ b> A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

また、タンク２の溝１６よりもタンク２の内面側には、段差部１７が形成される。段差部１７は、リング形状であって溝１６よりも大きな半径を有し、ステム５の軸線と同一の軸を有する。段差部１７の下面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第２位置決め面１７Ａである。   Further, a stepped portion 17 is formed on the inner surface side of the tank 2 relative to the groove 16 of the tank 2. The stepped portion 17 is ring-shaped and has a larger radius than the groove 16 and has the same axis as the axis of the stem 5. The lower surface of the stepped portion 17 is a second positioning surface 17 </ b> A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

第１位置決め面１５Ａと第２位置決め面１７Ａは互いに接触し、両者ともステム５の軸線方向に対して垂直であることから、ステム５のタンク２に対する上下方向の位置が決定される。   Since the first positioning surface 15A and the second positioning surface 17A are in contact with each other and both are perpendicular to the axial direction of the stem 5, the vertical position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined.

第１位置決め面１５Ａ、又は第２位置決め面１７Ａは、タンク２と、タンク２内部におけるドリフトチューブ３の設置位置との関係に基づいて、ステム５、又はタンク２にそれぞれ形成される。   The first positioning surface 15A or the second positioning surface 17A is formed on the stem 5 or the tank 2 based on the relationship between the tank 2 and the installation position of the drift tube 3 inside the tank 2, respectively.

従来、上下方向の位置決めは、位置決め面が設けられることなく、ステム５を保持しながら、アライメントテレスコープを用いて微調整して行っていた。一方、本実施形態では、第１位置決め面１５Ａと第２位置決め面１７Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。   Conventionally, positioning in the vertical direction has been performed by fine adjustment using an alignment telescope while holding the stem 5 without providing a positioning surface. On the other hand, in this embodiment, since the position is determined simply by bringing the first positioning surface 15A and the second positioning surface 17A into contact with each other, fine adjustment is unnecessary, and the time required for assembly can be shortened.

また、本実施形態では、第１位置決め面１５Ａと第２位置決め面１７Ａは、ステム５の軸線方向に対して垂直であって、精度の高い加工を施しやすい。例えば、特許文献１では、テーパ形状によって、位置決めするとしているが、正確なテーパ形状に加工することや、テーパ形状を有する各部材を組み合わせて精度の良い位置決めをすることは困難である。   Further, in the present embodiment, the first positioning surface 15A and the second positioning surface 17A are perpendicular to the axial direction of the stem 5 and can be easily processed with high accuracy. For example, in Patent Document 1, although positioning is performed by a taper shape, it is difficult to process the taper shape accurately or to perform positioning with high accuracy by combining each member having a taper shape.

ステム５の円筒形状の外周面５Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、ステム５の外周面５Ａは第３位置決め面である。また、タンク２における開口部２ａの内周面２Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、開口部２ａの内周面２Ａは第４位置決め面である。ステム５と開口部２ａの嵌め合いは、緩いすきま嵌めの関係であり、ステム５のタンク２に対する横方向の位置が決定される。ステム５及びタンク２における開口部２ａは、高い寸法精度で加工される。   The vertical direction of the cylindrical outer peripheral surface 5A of the stem 5 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 is a third positioning surface. The vertical direction of the inner peripheral surface 2A of the opening 2a in the tank 2 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a is a fourth positioning surface. The fit between the stem 5 and the opening 2a is a loose clearance fit, and the lateral position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined. The opening 2a in the stem 5 and the tank 2 is processed with high dimensional accuracy.

ステム５の外周面５Ａ、又は開口部２ａの内周面２Ａは、タンク２と、タンク２内部におけるドリフトチューブ３の設置位置との関係に基づいて、ステム５、又はタンク２にそれぞれ形成される。   The outer peripheral surface 5A of the stem 5 or the inner peripheral surface 2A of the opening 2a is formed on the stem 5 or the tank 2 based on the relationship between the tank 2 and the installation position of the drift tube 3 inside the tank 2, respectively. .

本実施形態では、第３位置決め面であるステム５の外周面５Ａと第４位置決め面である開口部２ａの内周面２Ａは、ステム５の軸線方向に対して平行であって、精度の高い加工を施しやすい。例えば、特許文献１では、テーパ形状によって、位置決めするとしているが、精度良く加工することが困難である。   In the present embodiment, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 that is the third positioning surface and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a that is the fourth positioning surface are parallel to the axial direction of the stem 5 and have high accuracy. Easy to process. For example, in Patent Document 1, although positioning is performed by a taper shape, it is difficult to process with high accuracy.

また、従来、横方向の位置決めは、位置決め面が設けられることなく、ステム５を保持しながら、アライメントテレスコープを用いて微調整して行っていた。一方、本実施形態では、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。   Conventionally, lateral positioning has been performed by fine adjustment using an alignment telescope while holding the stem 5 without providing a positioning surface. On the other hand, in this embodiment, since the position is determined simply by bringing the outer peripheral surface 5A of the stem 5 into contact with the inner peripheral surface 2A of the opening 2a, fine adjustment is unnecessary, and the time required for assembly can be shortened.

さらに、ステム５の微調整が不要であることから、弾性変形が必要なエラストマー製のリング部材ではなく、金属製のＯリング１１やメタルリング１３を使用して、部材間を封止できる。これにより、エラストマー製のＯリングからのアウトガスによって、超高真空状態が阻害されることもない。本実施形態では、また、位置決めの際に位置の微調整が不要であることから、金属製のＯリング１１やメタルリング１３を適用しても、半潰ししながらの位置調整が行われないため、金属製のＯリング１１やメタルリング１３表面のめっきの剥がれなどの不具合が生じにくい。   Furthermore, since the fine adjustment of the stem 5 is not necessary, the members can be sealed using a metal O-ring 11 or a metal ring 13 instead of an elastomer ring member that requires elastic deformation. Thereby, an ultra-high vacuum state is not inhibited by the outgas from the elastomer O-ring. In the present embodiment, since fine adjustment of the position is unnecessary at the time of positioning, even if the metal O-ring 11 or the metal ring 13 is applied, the position adjustment while being semi-collapsed is not performed. In addition, problems such as peeling of plating on the surfaces of the metal O-ring 11 and the metal ring 13 are less likely to occur.

次に、本実施形態に係る加速器１のタンク２へのステム５の取り付け方法について説明する。
タンク２の上部には、図３に示すように、開口部２ａが形成される。また、タンク２の内面側には、溝１６と段差部１７が形成される。 Next, a method for attaching the stem 5 to the tank 2 of the accelerator 1 according to this embodiment will be described.
As shown in FIG. 3, an opening 2 a is formed in the upper part of the tank 2. Further, a groove 16 and a stepped portion 17 are formed on the inner surface side of the tank 2.

そして、図４に示すように、リング状のＲＦコンタクタ６が溝１６内部に設置され、タンク２の内部側から、鍔１５が一体形成されたステム５が開口部２ａ内に挿通される。鍔１５の第１位置決め面１５Ａが、段差部１７の第２位置決め面１７Ａに当たって接触すると、ステム５の上下方向の位置が決定される。また、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａが接触しており、ステム５の横方向の位置も決定される。   As shown in FIG. 4, the ring-shaped RF contactor 6 is installed inside the groove 16, and the stem 5 integrally formed with the flange 15 is inserted into the opening 2 a from the inside of the tank 2. When the first positioning surface 15A of the flange 15 comes into contact with the second positioning surface 17A of the stepped portion 17, the position of the stem 5 in the vertical direction is determined. Further, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a are in contact with each other, and the lateral position of the stem 5 is also determined.

その後、図２に示すように、タンク２の上部において、密閉部材７と固定部材１４を順にステム５に通して設置する。このとき、Ｏリング１１とメタルリング１３も、それぞれ溝１０、溝１２の内部に同時に設置する。   Thereafter, as shown in FIG. 2, in the upper part of the tank 2, the sealing member 7 and the fixing member 14 are sequentially installed through the stem 5. At this time, the O-ring 11 and the metal ring 13 are also simultaneously installed in the grooves 10 and 12, respectively.

そして、密閉部材７をタンク２に対してねじ止めによって固定し、固定部材１４を密閉部材１４に対してねじ止めによって固定する。また、固定部材１４の外周側から半径方向に固定ねじを挿入して、固定ねじによってステム５の上下位置及び横位置を固定する。この際、位置決め調整は不要である。   Then, the sealing member 7 is fixed to the tank 2 by screwing, and the fixing member 14 is fixed to the sealing member 14 by screwing. Further, a fixing screw is inserted in the radial direction from the outer peripheral side of the fixing member 14, and the vertical position and the lateral position of the stem 5 are fixed by the fixing screw. At this time, positioning adjustment is unnecessary.

以上、本実施形態によれば、第１位置決め面１５Ａと第２位置決め面１７Ａを接触させるだけでステム５の上下方向の位置が決まり、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけでステム５の横方向の位置が決まる。そのため、タンク２とステム５の形状によって、タンク２に対するドリフトチューブ３の位置決めが確実になされ、アライメントテレスコープを用いた微調整が不要であることから、位置調整にかかる時間や手間を低減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the vertical position of the stem 5 is determined simply by bringing the first positioning surface 15A and the second positioning surface 17A into contact with each other, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a. The position of the stem 5 in the lateral direction is determined simply by bringing them into contact. For this reason, the shape of the tank 2 and the stem 5 ensures the positioning of the drift tube 3 with respect to the tank 2 and fine adjustment using an alignment telescope is unnecessary, thereby reducing the time and labor required for position adjustment. Can do.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る加速器について説明する。
タンク２、ドリフトチューブ４及びステム５は、第１実施形態と同様であり、重複する説明は省略する。なお、ステム５の外周面には、図５に示すように、ステム５の軸線方向に対して平行な真空引き用溝２０が形成される。真空引き用溝２０は、真空引きの際、密閉部材７とタンク２との間の隙間や、ステム５とタンク２との間の隙間に存在する空気をタンク２の内部側へ導く。 [Second Embodiment]
Next, an accelerator according to a second embodiment of the present invention will be described.
The tank 2, the drift tube 4 and the stem 5 are the same as those in the first embodiment, and a duplicate description is omitted. As shown in FIG. 5, a vacuum evacuation groove 20 parallel to the axial direction of the stem 5 is formed on the outer peripheral surface of the stem 5. The evacuation groove 20 guides air existing in the gap between the sealing member 7 and the tank 2 and the gap between the stem 5 and the tank 2 to the inside of the tank 2 during evacuation.

タンク２の上部には、開口部２ａが形成され、開口部２ａにはステム５が貫通して配置される。   An opening 2a is formed in the upper part of the tank 2, and a stem 5 is disposed through the opening 2a.

タンク２の上部の外側には、密閉部材７が設置される。密閉部材７は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。密閉部材７の下面、すなわち、タンク２と接触する面には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１０と、開口部２ａの縁に沿って溝１０よりも内側にリング状の溝１８が形成される。溝１０内には、Ｏリング１１が配置され、溝１８内にはＲＦコンタクタ６が配置される。Ｏリング１１は、第１実施形態と同様である。ＲＦコンタクタ６は、タンク２の上面とステム５に接触するように設置される。   A sealing member 7 is installed outside the upper portion of the tank 2. The sealing member 7 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a. On the lower surface of the sealing member 7, that is, the surface in contact with the tank 2, a ring-shaped groove 10 having the same axis as the axis of the stem 5 and a ring shape inside the groove 10 along the edge of the opening 2a. The groove 18 is formed. An O-ring 11 is disposed in the groove 10, and an RF contactor 6 is disposed in the groove 18. The O-ring 11 is the same as that in the first embodiment. The RF contactor 6 is installed in contact with the upper surface of the tank 2 and the stem 5.

密閉部材７の開口部７ａの上部には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１２が形成される。溝１２内には、金属製のメタルリング１３が配置される。メタルリング１３は、第１実施形態と同様である。密閉部材７の上部には、固定部材１４が設置される。固定部材１４は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。   A ring-shaped groove 12 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed in the upper part of the opening 7 a of the sealing member 7. A metal ring 13 made of metal is disposed in the groove 12. The metal ring 13 is the same as that of the first embodiment. A fixing member 14 is installed on the upper portion of the sealing member 7. The fixing member 14 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a.

密閉部材７のタンク２に対する固定、固定部材１４の密閉部材に対する固定、ステム５の固定ねじを用いた固定部材１４に対する固定は、第１実施形態と同様である。   The fixing of the sealing member 7 to the tank 2, the fixing of the fixing member 14 to the sealing member, and the fixing of the stem 5 to the fixing member 14 using the fixing screw are the same as in the first embodiment.

次に、ステム５の位置決め構造について説明する。
ステム５の上部には、図５に示すように、ステム５の外周に、リング状の鍔１９が固定される。ステム５の外周には、雄ねじが形成され、鍔１９の開口部１９ａの内周面には、雌ねじが形成される。鍔１９をステム５の外周に螺合して両者が一体化される。鍔１９の下面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面１９Ａである。 Next, the positioning structure of the stem 5 will be described.
As shown in FIG. 5, a ring-shaped collar 19 is fixed to the outer periphery of the stem 5 at the upper part of the stem 5. A male screw is formed on the outer periphery of the stem 5, and a female screw is formed on the inner peripheral surface of the opening 19 a of the flange 19. The flange 19 is screwed onto the outer periphery of the stem 5 so that both are integrated. The lower surface of the flange 19 is a first positioning surface 19 </ b> A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

固定部材１４の上面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第２位置決め面１４Ａである。   The upper surface of the fixing member 14 is a second positioning surface 14 </ b> A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

第１位置決め面１９Ａと第２位置決め面１４Ａは互いに接触し、両者ともステム５の軸線方向に対して垂直であることから、ステム５のタンク２に対する上下方向の位置が決定される。   Since the first positioning surface 19A and the second positioning surface 14A are in contact with each other and are both perpendicular to the axial direction of the stem 5, the vertical position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined.

第１位置決め面１９Ａ、又は第２位置決め面１４Ａは、密閉部材７及び固定部材１４が設置されたタンク２と、タンク２内部におけるドリフトチューブ３の設置位置との関係に基づいて、ステム５に設けられた鍔１９、又は固定部材１４にそれぞれ形成される。   The first positioning surface 19A or the second positioning surface 14A is provided on the stem 5 based on the relationship between the tank 2 in which the sealing member 7 and the fixing member 14 are installed and the installation position of the drift tube 3 in the tank 2. It is formed on each of the flanges 19 or the fixing member 14 formed.

本実施形態では、第１位置決め面１９Ａと第２位置決め面１４Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。また、本実施形態では、第１位置決め面１９Ａと第２位置決め面１４Ａは、ステム５の軸線方向に対して垂直であって、精度の高い加工を施しやすい。   In the present embodiment, since the position is determined simply by bringing the first positioning surface 19A and the second positioning surface 14A into contact with each other, fine adjustment is unnecessary, and the time required for assembly can be shortened. Further, in the present embodiment, the first positioning surface 19A and the second positioning surface 14A are perpendicular to the axial direction of the stem 5 and can be easily processed with high accuracy.

第２実施形態における第３位置決め面と第４位置決め面は、上述した第１実施形態と同様である。すなわち、ステム５の円筒形状の外周面５Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、ステム５の外周面５Ａが第３位置決め面である。また、タンク２における開口部２ａの内周面２Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、開口部２ａの内周面２Ａが第４位置決め面である。ステム５と開口部２ａの嵌め合いは、すきま嵌めの関係であり、ステム５のタンク２に対する横方向の位置が決定される。   The 3rd positioning surface and the 4th positioning surface in 2nd Embodiment are the same as that of 1st Embodiment mentioned above. That is, the vertical direction of the cylindrical outer peripheral surface 5A of the stem 5 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 is the third positioning surface. The vertical direction of the inner peripheral surface 2A of the opening 2a in the tank 2 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a is the fourth positioning surface. The fitting between the stem 5 and the opening 2a is a clearance fitting relationship, and the lateral position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined.

本実施形態では、第３位置決め面であるステム５の外周面５Ａと第４位置決め面である開口部２ａの内周面２Ａは、ステム５の軸線方向に対して平行であって、精度の高い加工を施しやすい。また、本実施形態では、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。   In the present embodiment, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 that is the third positioning surface and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a that is the fourth positioning surface are parallel to the axial direction of the stem 5 and have high accuracy. Easy to process. In the present embodiment, the position is determined simply by bringing the outer peripheral surface 5A of the stem 5 into contact with the inner peripheral surface 2A of the opening 2a, so that fine adjustment is unnecessary and the time required for assembly can be shortened.

さらに、ステム５の微調整が不要であることから、弾性変形が必要なエラストマーＯリングではなく、塑性変形するメタルリング１３を使用して、ステム５と密閉部材７との間を封止できる。これにより、エラストマーＯリングからのアウトガスによって、超高真空状態が阻害されることもない。   Furthermore, since the fine adjustment of the stem 5 is not required, the metal ring 13 that is plastically deformed, not the elastomer O ring that requires elastic deformation, can be used to seal between the stem 5 and the sealing member 7. Thereby, an ultra-high vacuum state is not inhibited by the outgas from the elastomer O-ring.

次に、本実施形態に係る加速器１のタンク２へのステム５の取り付け方法について説明する。
タンク２の上部には、図６に示すように、開口部２ａが形成される。
そして、図７に示すように、タンク２の内部側から、鍔１９が取り付けられる前のステム５が開口部２ａ内に挿通される。その後、タンク２の上部において、密閉部材７と固定部材１４を順にステム５に通して設置する。このとき、Ｏリング１１、メタルリング１３及びＲＦコンタクタ６も、それぞれ溝１０、溝１２及び溝１８の内部に同時に設置する。 Next, a method for attaching the stem 5 to the tank 2 of the accelerator 1 according to this embodiment will be described.
As shown in FIG. 6, an opening 2 a is formed in the upper part of the tank 2.
Then, as shown in FIG. 7, the stem 5 before the rod 19 is attached is inserted into the opening 2 a from the inside of the tank 2. Thereafter, the sealing member 7 and the fixing member 14 are sequentially passed through the stem 5 in the upper part of the tank 2. At this time, the O-ring 11, the metal ring 13, and the RF contactor 6 are also simultaneously installed inside the groove 10, the groove 12, and the groove 18, respectively.

そして、密閉部材７をタンク２に対してねじ止めによって固定し、固定部材１４を密閉部材１４に対してねじ止めによって固定する。   Then, the sealing member 7 is fixed to the tank 2 by screwing, and the fixing member 14 is fixed to the sealing member 14 by screwing.

次に、図７に示すように、ステム５の上端が固定部材１４よりも上に位置した状態で、鍔１９をステム５の上部の外周に螺合して固定する。そして、ステム５を下方へ移動させて、鍔１９を固定部材１４の上面に設置する。鍔１９の第１位置決め面１９Ａが、固定部材１４の第２位置決め面１４Ａに当たって接触すると、ステム５の上下方向の位置が決定される。また、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａが接触しており、ステム５の横方向の位置も決定される。   Next, as shown in FIG. 7, with the upper end of the stem 5 positioned above the fixing member 14, the flange 19 is screwed and fixed to the outer periphery of the upper portion of the stem 5. Then, the stem 5 is moved downward to install the flange 19 on the upper surface of the fixing member 14. When the first positioning surface 19 </ b> A of the flange 19 hits the second positioning surface 14 </ b> A of the fixing member 14, the vertical position of the stem 5 is determined. Further, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a are in contact with each other, and the lateral position of the stem 5 is also determined.

そして、固定部材１４の外周側から半径方向に固定ねじを挿入して、固定ねじによってステム５の上下位置及び横位置を固定する。この際、位置決め調整は不要である。   Then, a fixing screw is inserted in the radial direction from the outer peripheral side of the fixing member 14, and the vertical position and the lateral position of the stem 5 are fixed by the fixing screw. At this time, positioning adjustment is unnecessary.

以上、本実施形態によれば、第１位置決め面１９Ａと第２位置決め面１４Ａを接触させるだけでステム５の上下方向の位置が決まり、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけでステム５の横方向の位置が決まる。そのため、タンク２とステム５の形状によって、タンク２に対するドリフトチューブ３の位置決めが確実になされ、アライメントテレスコープを用いた微調整が不要であることから、位置調整にかかる時間や手間を低減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the vertical position of the stem 5 is determined simply by bringing the first positioning surface 19A and the second positioning surface 14A into contact with each other, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a. The position of the stem 5 in the lateral direction is determined simply by bringing them into contact. For this reason, the shape of the tank 2 and the stem 5 ensures the positioning of the drift tube 3 with respect to the tank 2 and fine adjustment using an alignment telescope is unnecessary, thereby reducing the time and labor required for position adjustment. Can do.

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る加速器について説明する。
タンク２、ドリフトチューブ４及びステム５は、第１実施形態と同様であり、重複する説明は省略する。 [Third Embodiment]
Next, an accelerator according to a third embodiment of the invention will be described.
The tank 2, the drift tube 4 and the stem 5 are the same as those in the first embodiment, and a duplicate description is omitted.

タンク２の上部には、開口部２ａが形成され、開口部２ａにはステム５が貫通して配置される。タンク２上部の内面側には、開口部２ａの縁に沿ってステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の段差部２１が形成される。段差部２１の下面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第２位置決め面２１Ａである。   An opening 2a is formed in the upper part of the tank 2, and a stem 5 is disposed through the opening 2a. On the inner surface side of the upper portion of the tank 2, a ring-shaped step portion 21 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed along the edge of the opening 2a. The lower surface of the stepped portion 21 is a second positioning surface 21 </ b> A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

タンク２上部の外面側には、密閉部材７が設置される。密閉部材７は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。密閉部材７の下面、すなわち、タンク２と接触する面には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１０と、開口部２ａの縁に沿って溝１０よりも内側にリング状の溝１８が形成される。溝１０内には、Ｏリング１１が配置され、溝１８内には、ＲＦコンタクタ６が配置される。Ｏリング１１は、第１実施形態と同様である。ＲＦコンタクタ６は、タンク２の上面とステム５に接触するように設置される。   A sealing member 7 is installed on the outer surface side of the upper portion of the tank 2. The sealing member 7 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a. On the lower surface of the sealing member 7, that is, the surface in contact with the tank 2, a ring-shaped groove 10 having the same axis as the axis of the stem 5 and a ring shape inside the groove 10 along the edge of the opening 2a. The groove 18 is formed. An O-ring 11 is disposed in the groove 10, and an RF contactor 6 is disposed in the groove 18. The O-ring 11 is the same as that in the first embodiment. The RF contactor 6 is installed in contact with the upper surface of the tank 2 and the stem 5.

密閉部材７の開口部７ａの上部には、ステム５の軸線と同一の軸を有するリング状の溝１２が形成される。溝１２内には、金属製のメタルリング１３が配置される。メタルリング１３は、第１実施形態と同様である。密閉部材７の上部には、固定部材１４が設置される。固定部材１４は、横断面がリング形状の部材であり、中心の開口部７ａにはステム５が貫通して配置される。   A ring-shaped groove 12 having the same axis as the axis of the stem 5 is formed in the upper part of the opening 7 a of the sealing member 7. A metal ring 13 made of metal is disposed in the groove 12. The metal ring 13 is the same as that of the first embodiment. A fixing member 14 is installed on the upper portion of the sealing member 7. The fixing member 14 is a member having a ring-shaped cross section, and the stem 5 is disposed through the central opening 7a.

密閉部材７のタンク２に対する固定、固定部材１４の密閉部材に対する固定、ステム５の固定ねじを用いた固定部材１４に対する固定は、第１実施形態と同様である。   The fixing of the sealing member 7 to the tank 2, the fixing of the fixing member 14 to the sealing member, and the fixing of the stem 5 to the fixing member 14 using the fixing screw are the same as in the first embodiment.

次に、ステム５の位置決め構造について説明する。
ステム５は、図８に示すように、ステム５の外周に段差部２２が形成される。段差部２２の上面は、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面２２Ａである。また、段差部２１が、上述のとおり、タンク２上部の内面側に形成され、第２位置決め面２１Ａは、ステム５の軸線方向に対して垂直な面である。 Next, the positioning structure of the stem 5 will be described.
As shown in FIG. 8, the stem 5 has a step portion 22 formed on the outer periphery of the stem 5. The upper surface of the stepped portion 22 is a first positioning surface 22A that is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5. Further, as described above, the step portion 21 is formed on the inner surface side of the upper portion of the tank 2, and the second positioning surface 21 </ b> A is a surface perpendicular to the axial direction of the stem 5.

第１位置決め面２２Ａと第２位置決め面２１Ａは互いに接触し、両者ともステム５の軸線方向に対して垂直であることから、ステム５のタンク２に対する上下方向の位置が決定される。   Since the first positioning surface 22A and the second positioning surface 21A are in contact with each other and both are perpendicular to the axial direction of the stem 5, the vertical position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined.

第１位置決め面２２Ａ、又は第２位置決め面２１Ａは、タンク２と、タンク２内部におけるドリフトチューブ３の設置位置との関係に基づいて、ステム５、又はタンク２にそれぞれ形成される。   The first positioning surface 22A or the second positioning surface 21A is formed on the stem 5 or the tank 2 based on the relationship between the tank 2 and the installation position of the drift tube 3 inside the tank 2, respectively.

本実施形態では、第１位置決め面２２Ａと第２位置決め面２１Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。また、本実施形態では、第１位置決め面２２Ａと第２位置決め面２１Ａは、ステム５の軸線方向に対して垂直であって、精度の高い加工を施しやすい。   In the present embodiment, since the position is determined simply by bringing the first positioning surface 22A and the second positioning surface 21A into contact with each other, fine adjustment is unnecessary, and the time required for assembly can be shortened. Further, in the present embodiment, the first positioning surface 22A and the second positioning surface 21A are perpendicular to the axial direction of the stem 5 and can be easily processed with high accuracy.

第３実施形態における第３位置決め面と第４位置決め面は、上述した第１実施形態と同様である。すなわち、ステム５の円筒形状の外周面５Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、ステム５の外周面５Ａが第３位置決め面である。また、タンク２における開口部２ａの内周面２Ａの上下方向は、ステム５の軸線方向と平行であって、開口部２ａの内周面２Ａが第４位置決め面である。ステム５と開口部２ａの嵌め合いは、すきま嵌めの関係であり、ステム５のタンク２に対する横方向の位置が決定される。   The third positioning surface and the fourth positioning surface in the third embodiment are the same as those in the first embodiment described above. That is, the vertical direction of the cylindrical outer peripheral surface 5A of the stem 5 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 is the third positioning surface. The vertical direction of the inner peripheral surface 2A of the opening 2a in the tank 2 is parallel to the axial direction of the stem 5, and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a is the fourth positioning surface. The fitting between the stem 5 and the opening 2a is a clearance fitting relationship, and the lateral position of the stem 5 with respect to the tank 2 is determined.

本実施形態では、第３位置決め面であるステム５の外周面５Ａと第４位置決め面である開口部２ａの内周面２Ａは、ステム５の軸線方向に対して平行であって、精度の高い加工を施しやすい。また、本実施形態では、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけで位置が決まるため、微調整が不要であり、組立にかかる時間を短縮できる。   In the present embodiment, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 that is the third positioning surface and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a that is the fourth positioning surface are parallel to the axial direction of the stem 5 and have high accuracy. Easy to process. In the present embodiment, the position is determined simply by bringing the outer peripheral surface 5A of the stem 5 into contact with the inner peripheral surface 2A of the opening 2a, so that fine adjustment is unnecessary and the time required for assembly can be shortened.

さらに、ステム５の微調整が不要であることから、弾性変形が必要なエラストマーＯリングではなく、塑性変形するメタルリング１３を使用して、ステム５と密閉部材７との間を封止できる。これにより、エラストマーＯリングからのアウトガスによって、超高真空状態が阻害されることもない。   Furthermore, since the fine adjustment of the stem 5 is not required, the metal ring 13 that is plastically deformed, not the elastomer O ring that requires elastic deformation, can be used to seal between the stem 5 and the sealing member 7. Thereby, an ultra-high vacuum state is not inhibited by the outgas from the elastomer O-ring.

次に、本実施形態に係る加速器１のタンク２へのステム５の取り付け方法について説明する。
タンク２の上部には、図９に示すように、開口部２ａが形成される。また、タンク２の内面側には、段差部２１が形成される。
そして、図１０に示すように、タンク２の内部側から、段差部２２が形成されたステム５が開口部２ａ内に挿通される。段差部２２の第１位置決め面２２Ａが、段差部２１の第２位置決め面２１Ａに当たって接触すると、ステム５の上下方向の位置が決定される。また、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａが接触しており、ステム５の横方向の位置も決定される。 Next, a method for attaching the stem 5 to the tank 2 of the accelerator 1 according to this embodiment will be described.
As shown in FIG. 9, an opening 2 a is formed in the upper part of the tank 2. Further, a step portion 21 is formed on the inner surface side of the tank 2.
Then, as shown in FIG. 10, the stem 5 in which the step 22 is formed is inserted into the opening 2 a from the inside of the tank 2. When the first positioning surface 22A of the stepped portion 22 hits and contacts the second positioning surface 21A of the stepped portion 21, the position of the stem 5 in the vertical direction is determined. Further, the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a are in contact with each other, and the lateral position of the stem 5 is also determined.

その後、図８に示すように、タンク２の上部において、密閉部材７と固定部材１４を順にステム５に通して設置する。このとき、Ｏリング１１、メタルリング１３及びＲＦコンタクタ６も、それぞれ溝１０、溝１２及び溝１８の内部に同時に設置する。   Thereafter, as shown in FIG. 8, in the upper part of the tank 2, the sealing member 7 and the fixing member 14 are sequentially installed through the stem 5. At this time, the O-ring 11, the metal ring 13, and the RF contactor 6 are also simultaneously installed inside the groove 10, the groove 12, and the groove 18, respectively.

そして、密閉部材７をタンク２に対してねじ止めによって固定し、固定部材１４を密閉部材１４に対してねじ止めによって固定する。また、固定部材１４の外周側から半径方向に固定ねじを挿入して、固定ねじによってステム５の上下位置及び横位置を固定する。この際、位置決め調整は不要である。   Then, the sealing member 7 is fixed to the tank 2 by screwing, and the fixing member 14 is fixed to the sealing member 14 by screwing. Further, a fixing screw is inserted in the radial direction from the outer peripheral side of the fixing member 14, and the vertical position and the lateral position of the stem 5 are fixed by the fixing screw. At this time, positioning adjustment is unnecessary.

以上、本実施形態によれば、第１位置決め面２２Ａと第２位置決め面２１Ａを接触させるだけでステム５の上下方向の位置が決まり、ステム５の外周面５Ａと開口部２ａの内周面２Ａを接触させるだけでステム５の横方向の位置が決まる。そのため、タンク２とステム５の形状によって、タンク２に対するドリフトチューブ３の位置決めが確実になされ、アライメントテレスコープを用いた微調整が不要であることから、位置調整にかかる時間や手間を低減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the vertical position of the stem 5 is determined simply by bringing the first positioning surface 22A and the second positioning surface 21A into contact with each other, and the outer peripheral surface 5A of the stem 5 and the inner peripheral surface 2A of the opening 2a. The position of the stem 5 in the lateral direction is determined simply by bringing them into contact with each other. For this reason, the shape of the tank 2 and the stem 5 ensures the positioning of the drift tube 3 with respect to the tank 2 and fine adjustment using an alignment telescope is unnecessary, thereby reducing the time and labor required for position adjustment. Can do.

なお、上記第３実施形態では、ステム５の段差部２２における第１位置決め面２２Ａが、タンク２の第２位置決め面２１Ａと接触する場合について説明したが、本発明はこの例に限定されない。例えば、段差部２２には、図１１に示すようにリング部材２３が設置されてもよく、リング部材２３の上面が第１位置決め面２３Ａとなって、第１位置決め面２３Ａがタンク２の第２位置決め面２１Ａと接触することによって、タンク２に対するステム５の位置決めがされてもよい。リング部材２３は、例えばＳＵＳ３０４製であり、段差部２２における導電性を低下させ、例えばＲＦコンタクタ６に電気が積極的に流れるようにする。   In the third embodiment, the case where the first positioning surface 22A of the step portion 22 of the stem 5 is in contact with the second positioning surface 21A of the tank 2 has been described, but the present invention is not limited to this example. For example, a ring member 23 may be installed in the step portion 22 as shown in FIG. 11, and the upper surface of the ring member 23 becomes the first positioning surface 23A, and the first positioning surface 23A is the second of the tank 2. The stem 5 may be positioned with respect to the tank 2 by contacting the positioning surface 21A. The ring member 23 is made of, for example, SUS304, and reduces the conductivity in the stepped portion 22 so that, for example, electricity actively flows into the RF contactor 6.

１ ドリフトチューブ型線形加速器
２ タンク（加速空洞部）
２Ａ 内周面（第４位置決め面）
２ａ，７ａ，１４ａ，１９ａ 開口部
３ ドリフトチューブ
４ イオンビーム
５ ステム
５Ａ 外周面（第３位置決め面）
６ ＲＦコンタクタ
７ 密閉部材
１０，１２，１６，１８ 溝
１１ Ｏリング
１３ メタルリング
１４ 固定部材
１４Ａ，１７Ａ，２１Ａ 第２位置決め面
１５，１９ 鍔
１５Ａ，１９Ａ，２２Ａ 第１位置決め面
１７，２１，２２ 段差部
２３ リング部材
1 Drift tube type linear accelerator 2 Tank (acceleration cavity)
2A Inner peripheral surface (fourth positioning surface)
2a, 7a, 14a, 19a Opening 3 Drift tube 4 Ion beam 5 Stem 5A Outer peripheral surface (third positioning surface)
6 RF contactor 7 Sealing member 10, 12, 16, 18 Groove 11 O-ring 13 Metal ring 14 Fixing member 14A, 17A, 21A Second positioning surface 15, 19 鍔 15A, 19A, 22A First positioning surface 17, 21, 22, Step part 23 Ring member

Claims (5)

ドリフトチューブが一端に接続され、軸線方向に対して垂直な面である第１位置決め面が形成された棒状のステムと、
前記ステムが壁部上部に設置され、前記ステムの軸線方向に対して垂直な面であり、前記第１位置決め面と接触する第２位置決め面が形成された円筒状の加速空洞部と、
を備え、
前記第１位置決め面、又は前記第２位置決め面は、前記加速空洞部と、前記加速空洞部内部における前記ドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、前記ステム、又は前記加速空洞部にそれぞれ形成されるドリフトチューブ型線形加速器。 A rod-shaped stem in which a drift tube is connected to one end and a first positioning surface which is a surface perpendicular to the axial direction is formed;
A cylindrical acceleration cavity portion in which the stem is installed at the upper portion of the wall portion and is a surface perpendicular to the axial direction of the stem, and a second positioning surface is formed in contact with the first positioning surface;
With
The first positioning surface or the second positioning surface is formed in the stem or the acceleration cavity portion based on the relationship between the acceleration cavity portion and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity portion, respectively. Drift tube type linear accelerator. 前記ステムの外周面は、該外周面上の上下方向が前記ステムの軸線方向に対して平行である第３位置決め面であり、
前記加速空洞部は、前記ステムが軸線方向に挿入される開口部を有し、
前記開口部の内周面は、該内周面上の上下方向が前記ステムの軸線方向に対して平行な面で、前記第３位置決め面と接触する第４位置決め面であり、
前記第３位置決め面、又は前記第４位置決め面は、前記加速空洞部と、前記加速空洞部内部における前記ドリフトチューブの設置位置との関係に基づいて、前記ステム、又は加速空洞部にそれぞれ形成される請求項１に記載のドリフトチューブ型線形加速器。 The outer peripheral surface of the stem is a third positioning surface in which the vertical direction on the outer peripheral surface is parallel to the axial direction of the stem,
The acceleration cavity has an opening into which the stem is inserted in the axial direction,
The inner peripheral surface of the opening is a fourth positioning surface that is in contact with the third positioning surface, with the vertical direction on the inner peripheral surface being parallel to the axial direction of the stem,
The third positioning surface or the fourth positioning surface is formed in the stem or the acceleration cavity portion based on the relationship between the acceleration cavity portion and the installation position of the drift tube inside the acceleration cavity portion, respectively. The drift tube type linear accelerator according to claim 1. 前記第２位置決め面は、前記加速空洞部内部側に形成され、
前記第１位置決め面は、前記ステムにおいて前記加速空洞部の外部側向きに形成される請求項１又は２に記載のドリフトチューブ型線形加速器。 The second positioning surface is formed on the inside of the acceleration cavity,
3. The drift tube type linear accelerator according to claim 1, wherein the first positioning surface is formed on the stem toward the outside of the acceleration cavity portion. 4. 前記第２位置決め面は、前記加速空洞部外部側に形成され、
前記第１位置決め面は、前記ステムにおいて前記加速空洞部の内部側向きに形成される請求項１又は２に記載のドリフトチューブ型線形加速器。 The second positioning surface is formed on the outer side of the acceleration cavity,
The drift tube type linear accelerator according to claim 1, wherein the first positioning surface is formed in the stem so as to face the inner side of the acceleration cavity portion. 前記ステムの周囲に金属製のリング状のシール部材が設置される請求項１から４のいずれか１項に記載のドリフトチューブ型線形加速器。
The drift tube type linear accelerator according to any one of claims 1 to 4, wherein a metal ring-shaped seal member is installed around the stem.
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