JP2013201426A - 半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 - Google Patents
半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013201426A JP2013201426A JP2013028611A JP2013028611A JP2013201426A JP 2013201426 A JP2013201426 A JP 2013201426A JP 2013028611 A JP2013028611 A JP 2013028611A JP 2013028611 A JP2013028611 A JP 2013028611A JP 2013201426 A JP2013201426 A JP 2013201426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- electromagnetic wave
- predetermined frequency
- eff
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体基板10の表面10a及び裏面10bのそれぞれに、所定の周波数の電磁波を透過する性質を有し半導体基板10よりも熱伝導性の低い材料から構成される部材20a、20bを接触させ、2つの部材20a、20bに挟まれた半導体基板10に対して、前記所定の周波数の電磁波を所定時間照射する。前記所定の周波数の電磁波は、周波数が10MHz〜1THzの電磁波である。
【選択図】 図1
Description
前記半導体基板の表面及び裏面のそれぞれに、所定の周波数の電磁波を透過する性質を有し前記半導体基板よりも熱伝導性の低い材料から構成される部材を接触させ、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、前記所定の周波数の電磁波を所定時間照射し、
前記所定の周波数の電磁波は、周波数が10MHz〜1THzの電磁波であることを特徴とする。
前記半導体基板の表面及び裏面のそれぞれに接触させる部材と、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、所定の周波数の電磁波を照射する電磁波発生部とを含み、
前記部材は、前記所定の周波数の電磁波を透過する性質を有し前記半導体基板よりも熱伝導性の低い材料から構成される部材であり、
前記所定の周波数の電磁波は、周波数が10MHz〜1THzの電磁波であることを特徴とする。
前記所定の周波数の電磁波は、マイクロ波でもよい。
前記部材は、SiO2を主成分とするガラス(例えば、石英ガラス)、セラミック、アルミナ及びサファイアのいずれか1つから構成される部材でもよい。
前記半導体基板は、結晶性半導体基板でもよい。
前記結晶性半導体基板は、結晶性シリコン基板でもよい。
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、前記所定の周波数の電磁波を照射して前記半導体基板を800℃未満に加熱してもよい。
図1は、本実施形態に係る半導体基板の処理方法の一例について説明するための模式図である。
次に、本実施形態の処理方法の原理について説明する。
する。この運動減衰時間は運動のライフタイムとして知られている。例えば、結晶性シリコンの場合、このライフタイムは0.1p秒といった小さい値であることが知られている。すなわち、電子及びホールは電磁波により振動励起されるが、直ちに減衰する。減衰時に放出されたエネルギーは半導体格子の熱励起に供され、電子及びホール周辺の半導体格子を加熱することになる。このような作用はフリーキャリヤ電磁波吸収として知られている(T.Sameshima, H.Hayasaka, and T.Haba: “Analysis of Microwave Absorption Caused by Free Carriers in Silicon”, Jpn.J.Appl.Phys.48(2009)021204-1-6参照)。
本実施形態の処理方法により半導体基板を加熱処理し、加熱処理前と加熱処理後の半導体基板の少数キャリヤの実効ライフタイムτeffを測定した。
本実施例では、半導体基板10として、100nm厚の熱酸化膜(SiO2膜)を両面に形成した500μm厚のn型シリコン基板及びp型シリコン基板を用いた。また、シリコン基板を挟む2つの板状部材20a、20bとして、1mm厚の石英基板を用いた。また、加熱装置30として、出力700W、周波数2.45GHzのマイクロ波を発生するマイクロ波発生器を備えた加熱装置を用いた。マイクロ波の照射時間(加熱時間)は、120秒とした。
本実施例では、半導体基板10として、100nm厚の熱酸化膜(SiO2膜)を両面に形成した520μm厚のn型シリコン基板及びp型シリコン基板を用いた。また、シリコン基板を挟む2つの板状部材20a、20bとして、2mm厚の石英基板(ガラス基板)を用いた。また、加熱装置30として、出力700W、周波数2.45GHzのマイクロ波を発生するマイクロ波発生器を備えた加熱装置を用いた。
で長くすることで、実効ライフタイムτeff(top)、τeff(rear)が、1.8×10−3(加熱前の初期値)から2.4×10−3に増大した。また、図4(B)に示すように、p型シリコン基板では、60秒の加熱時間で、実効ライフタイムτeff(top)、τeff(rear)が、2.5×10−4(加熱前の初期値)から3.2×10−4に増大し、180秒の加熱時間まで同等の値を維持した。すなわち、この場合の適切な加熱時間は60秒であることがわかった。
る。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (12)
- 半導体基板の少数キャリヤの実効ライフタイムを制御する半導体基板の処理方法において、
前記半導体基板の表面及び裏面のそれぞれに、所定の周波数の電磁波を透過する性質を有し前記半導体基板よりも熱伝導性の低い材料から構成される部材を接触させ、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、前記所定の周波数の電磁波を所定時間照射し、
前記所定の周波数の電磁波は、周波数が10MHz〜1THzの電磁波である、半導体基板の処理方法。 - 請求項1において、
前記所定の周波数の電磁波は、マイクロ波である、半導体基板の処理方法。 - 請求項1又は2において、
前記部材は、SiO2を主成分とするガラス、セラミック、アルミナ及びサファイアのいずれか1つから構成される部材である、半導体基板の処理方法。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記半導体基板は、結晶性半導体基板である、半導体基板の処理方法。 - 請求項4において、
前記結晶性半導体基板は、結晶性シリコン基板である、半導体基板の処理方法。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、前記所定の周波数の電磁波を照射して前記半導体基板を800℃未満に加熱する、半導体基板の処理方法。 - 半導体基板の少数キャリヤの実効ライフタイムを制御する半導体基板処理装置において、
前記半導体基板の表面及び裏面のそれぞれに接触させる部材と、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、所定の周波数の電磁波を照射する電磁波発生部とを含み、
前記部材は、前記所定の周波数の電磁波を透過する性質を有し前記半導体基板よりも熱伝導性の低い材料から構成される部材であり、
前記所定の周波数の電磁波は、周波数が10MHz〜1THzの電磁波である、半導体基板処理装置。 - 請求項7において、
前記所定の周波数の電磁波は、マイクロ波である、半導体基板処理装置。 - 請求項7又は8において、
前記部材は、SiO2を主成分とするガラス、セラミック、アルミナ及びサファイアのいずれか1つから構成される部材である、半導体基板処理装置。 - 請求項7乃至9のいずれかにおいて、
前記半導体基板は、結晶性半導体基板である、半導体基板処理装置。 - 請求項10において、
前記結晶性半導体基板は、結晶性シリコン基板である、半導体基板処理装置。 - 請求項7乃至11のいずれかにおいて、
前記電磁波発生部は、
前記2つの部材に挟まれた前記半導体基板に対して、前記所定の周波数の電磁波を照射して前記半導体基板を800℃未満に加熱する、半導体基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013028611A JP2013201426A (ja) | 2012-02-20 | 2013-02-18 | 半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034288 | 2012-02-20 | ||
JP2012034288 | 2012-02-20 | ||
JP2013028611A JP2013201426A (ja) | 2012-02-20 | 2013-02-18 | 半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013201426A true JP2013201426A (ja) | 2013-10-03 |
Family
ID=49521362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013028611A Pending JP2013201426A (ja) | 2012-02-20 | 2013-02-18 | 半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013201426A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010517294A (ja) * | 2007-01-25 | 2010-05-20 | ビーティーユー インターナショナル インコーポレイテッド | 半導体ウェーハのマイクロ波ハイブリッドおよびプラズマ急速熱処理 |
-
2013
- 2013-02-18 JP JP2013028611A patent/JP2013201426A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010517294A (ja) * | 2007-01-25 | 2010-05-20 | ビーティーユー インターナショナル インコーポレイテッド | 半導体ウェーハのマイクロ波ハイブリッドおよびプラズマ急速熱処理 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110136348A1 (en) | Phonon-enhanced crystal growth and lattice healing | |
JP5819978B2 (ja) | 成膜方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | |
JPWO2011136016A1 (ja) | エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | |
Huang et al. | Investigation on thermodynamics of ion-slicing of GaN and heterogeneously integrating high-quality GaN films on CMOS compatible Si (100) substrates | |
WO2015186625A1 (ja) | ゲッタリング層を持つ半導体の製造方法、半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP2001338894A (ja) | 固体試料のアニール方法および半導体不純物ドーピング層形成方法 | |
US8716106B2 (en) | Method for producing a bonded substrate | |
Harada et al. | Suppression of stacking fault expansion in a 4H-SiC epitaxial layer by proton irradiation | |
Utamuradova et al. | Raman spectroscopy of silicon, doped with platinum and irradiated by protons | |
Chen et al. | Pores in p-type GaN by annealing under nitrogen atmosphere: formation and photodetector | |
Prucnal et al. | Optoelectronic properties of ZnO film on silicon after SF6 plasma treatment and milliseconds annealing | |
US8569149B2 (en) | Method of treating a semiconductor device | |
JP2013201426A (ja) | 半導体基板の処理方法及び半導体基板処理装置 | |
Prucnal et al. | Millisecond annealing for advanced doping of dirty-silicon solar cells | |
WO2019113925A1 (zh) | 一种掺铒或铒氧的硅基室温通讯波段发光材料的制备方法、该发光材料及掺铒或铒氧的硅基激光器 | |
Chung et al. | Layer-transferred GaN template by ion cut for nitride-based light-emitting diodes | |
Korbutyak et al. | Effect of microwave irradiation on the photoluminescence of bound excitons in CdTe: Cl single crystals | |
Xu et al. | 1-kHz repetitive operation of quenched high-gain GaAs photoconductive semiconductor switches at 8-nJ excitation | |
US9059079B1 (en) | Processing of insulators and semiconductors | |
Hu et al. | High‐Quality GaN Crystal Grown on Laser Decomposed GaN–Sapphire Substrate and Its Application in Photodetector | |
JP2005019472A (ja) | 半導体装置、テラヘルツ波発生装置、及びそれらの製造方法 | |
Ostapenko et al. | Ultrasound stimulated defect reactions in semiconductors | |
WO2012117711A1 (ja) | 赤外発光素子の製造方法 | |
JP6415918B2 (ja) | シリコン表面パッシベーション方法、表面パッシベーション処理されたシリコンの製造方法、及び、太陽電池の製造方法 | |
Wang et al. | Modulating the Photoresponse Performance of Two‐Dimensional GeSe Photodetectors in Visible Region by Ion Irradiation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161027 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161221 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170125 |